JPH11128657A - Purifying device - Google Patents

Purifying device

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JPH11128657A
JPH11128657A JP9262277A JP26227797A JPH11128657A JP H11128657 A JPH11128657 A JP H11128657A JP 9262277 A JP9262277 A JP 9262277A JP 26227797 A JP26227797 A JP 26227797A JP H11128657 A JPH11128657 A JP H11128657A
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dust
gas
electrode
ground electrode
discharge
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Tsuyoshi Oishi
強 大石
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To save time for maintenance administration and to simplify a constitution. SOLUTION: A dust collecting means 3 and a plasma generating means 4 generating a non-equilibrium plasma are provided in the purifying device 1. A gas containing dust such as soot and dust is supplied to the dust collecting means 3, and the dust is captured and removed by the dust collecting means 3, and the gas from which the dust is removed is supplied to the plasma generating means 4, and a malodorous component and a harmful component in the gas are decomposed and removed by the plasma generating means 4. In this way, the time such as for cleaning of the plasma generating means 4 is saved and the maintenance administration of the purifying device is facilitated since only the gas from which the dust is removed is supplied to the plasma generating means 4. The disposing of a cooling means, etc., at the plasma generating means 4 becomes unnecessary and the constitution is simplified since the plasma generating means 4 generates the non-equilibrium plasma.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、浄化装置に関し、
さらに詳しくは、都市ごみ処理プラントなどから排出さ
れるガスを処理するために好適に用いられる浄化装置に
関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a purification device,
More specifically, the present invention relates to a purification device suitably used for treating gas discharged from a municipal solid waste treatment plant or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】都市ごみの破砕分別プラントおよびRD
Fプラントなどの都市ごみ処理プラントでは、ごみから
発生する臭気をプラント外に排出させないように浄化装
置である脱臭装置が設置される。従来の技術の脱臭装置
は活性炭による吸着を主体とする吸着式脱臭装置であ
り、臭気を含んだ排ガスを吸着式脱臭装置に導いて活性
炭に臭気を吸着させて脱臭を行っている。
2. Description of the Related Art Municipal solid waste crushing and sorting plant and RD
In a municipal solid waste treatment plant such as an F plant, a deodorizing device, which is a purification device, is installed so that odors generated from the garbage are not discharged out of the plant. The deodorizing device of the prior art is an adsorption type deodorizing device mainly comprising adsorption with activated carbon, and an exhaust gas containing an odor is guided to an adsorption type deodorizing device to deodorize the activated carbon by adsorbing the odor.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術において、前記吸着式脱臭装置の活性炭が飽和吸着
量に達したときには、活性炭を再生または交換しなけれ
ばならず、また充填使用する活性炭の量が多ければ長期
間の使用に耐えることができるが、前記装置が大形にな
って設備コストが増大し、活性炭の量が少なければ前記
装置の小形化を図ることができるが、前記装置の使用期
間が短くなり、活性炭の再生または交換を度々行わなけ
ればならず、保守管理に手間がかかるという問題があ
る。
However, in the prior art, when the activated carbon of the adsorption-type deodorizer reaches the saturated adsorption amount, the activated carbon must be regenerated or replaced, and the amount of the activated carbon to be used for filling is reduced. If the amount is large, the device can withstand long-term use, but the device becomes large and equipment cost increases, and if the amount of activated carbon is small, the device can be downsized. There is a problem that the period is shortened, and the regeneration or replacement of the activated carbon must be performed frequently, and the maintenance management is troublesome.

【0004】また都市ごみ焼却プラントからの排ガス中
には塩化水素、NOX、SOXおよびダイオキンなどの有
害成分が含まれているが、前記脱臭装置によって前記有
害成分を排ガス中から除去することはできず、前記有害
成分を除去するための装置が別途必要となり、設備の構
成が複雑化するという問題がある。
Further, harmful components such as hydrogen chloride, NO X , SO X and Dioquin are contained in the exhaust gas from the municipal solid waste incineration plant, but it is not possible to remove the harmful components from the exhaust gas by the deodorizing device. However, there is a problem that an apparatus for removing the harmful component is separately required, and the configuration of the equipment is complicated.

【0005】本発明の目的は、保守管理に手間がかから
ず、構成の簡略化を図ることができる浄化装置を提供す
ることである。
[0005] An object of the present invention is to provide a purifying apparatus that can simplify the configuration without requiring any maintenance work.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明
は、煤塵などの塵埃を含むガスが供給され、このガスか
ら塵埃を捕集して除去する集塵手段と、塵埃が除去され
たガスが供給され、放電電極およびアース電極間の放電
によってプラズマを発生するプラズマ発生手段とを含む
ことを特徴とする浄化装置である。
According to the first aspect of the present invention, a gas containing dust such as dust is supplied, and dust collecting means for collecting and removing dust from the gas, and the dust is removed. A purifying apparatus characterized by including a plasma generating means to which gas is supplied and which generates plasma by a discharge between a discharge electrode and a ground electrode.

【0007】本発明に従えば、集塵手段は煤塵などの塵
埃を含むガス、たとえば煤塵などの塵埃と臭気成分およ
び有害成分とを含む空気から塵埃を捕集して除去し、プ
ラズマ発生手段には塵埃が除去されたガスだけが供給さ
れるので、放電によって発生したプラズマによって塵埃
が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を分解し
て除去することができ、プラズマ発生手段の清掃などの
手間がかからず、浄化装置の保守管理を容易にすること
ができる。
According to the present invention, the dust collecting means collects and removes dust from a gas containing dust such as dust, for example, air containing dust such as dust and odorous components and harmful components. Since only gas from which dust has been removed is supplied, the odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed can be decomposed and removed by the plasma generated by the discharge. It does not require much work, and maintenance and management of the purification device can be facilitated.

【0008】請求項2記載の本発明は、請求項1記載の
発明の構成において、前記プラズマ発生手段は、非平衡
プラズマを発生させることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the plasma generating means generates non-equilibrium plasma.

【0009】本発明に従えば、前記プラズマ発生手段は
放電電極およびアース電極間のガスを放電によって電子
とイオンとに電離させ、電子の電子温度がイオンのイオ
ン温度に比べて高い状態で電子とイオンとが熱力学的に
平衡していない状態のプラズマである非平衡プラズマを
発生させるので、放電によって発生する各電極間のプラ
ズマの温度が常温に保たれた状態で高速の電子を得るこ
とができ、この高速の電子を塵埃が除去されたガス中の
臭気成分および有害成分に衝突させてラジカルを形成
し、化学反応を起こさせてガス中の臭気成分および有害
成分を除去することができる。また放電によって発生す
る各電極間のプラズマの温度は常温に保たれているの
で、プラズマ発生手段に冷却手段などを設ける必要がな
く、またプラズマ発生手段から排出されるガスの温度も
常温に保たれ、熱プラズマを用いるときのように高温の
ガスが排出されることがなく、排出されるガスの冷却手
段などを設ける必要がなく、構成の簡略化を図ることが
できる。
According to the present invention, the plasma generating means ionizes the gas between the discharge electrode and the ground electrode into electrons and ions by discharging, and when the electron temperature of the electrons is higher than the ion temperature of the ions, the plasma is generated. Since non-equilibrium plasma, which is plasma in a state where ions and thermodynamics are not in equilibrium, is generated, it is possible to obtain high-speed electrons while maintaining the temperature of the plasma between the electrodes generated by discharge at room temperature. The high-speed electrons collide with the odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed to form radicals, causing a chemical reaction to remove the odorous and harmful components in the gas. Further, since the temperature of the plasma between the electrodes generated by the discharge is maintained at a normal temperature, there is no need to provide a cooling means or the like in the plasma generation means, and the temperature of the gas discharged from the plasma generation means is also maintained at a normal temperature. In addition, unlike the case of using thermal plasma, a high-temperature gas is not discharged, and there is no need to provide a cooling means for the discharged gas, so that the configuration can be simplified.

【0010】請求項3記載の本発明は、請求項2記載の
発明の構成において、前記放電電極は線状体から成り、
前記アース電極は複数の透孔が形成される筒状体から成
り、アース電極によって囲まれた空間には同軸に放電電
極が配置されることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the configuration of the second aspect, the discharge electrode is formed of a linear body,
The earth electrode is formed of a cylindrical body having a plurality of through holes, and a discharge electrode is coaxially arranged in a space surrounded by the earth electrode.

【0011】本発明に従えば、前記アース電極には複数
の透孔が形成されるので、塵埃が除去されたガスを各透
孔を介して非平衡プラズマが発生するアース電極によっ
て囲まれた空間に供給して、前記ガス中の臭気成分およ
び有害成分を分解除去し、この分解除去したガスを前記
空間から各透孔を介して排出することができ、アース電
極の軸線方向だけでなくこの軸線方向に交差する方向に
塵埃が除去されたガスを通過させることができるととも
に、アース電極の表面積を複数の透孔が形成されていな
い同一寸法のアース電極の表面積よりも小さくすること
ができ、これによって放電電極およびアース電極間の静
電容量を小さくして放電に要する時間を短縮し、非平衡
プラズマを発生させやすくして、高速の電子を得ること
ができる。
According to the present invention, since a plurality of through holes are formed in the earth electrode, the gas from which dust has been removed is surrounded by the earth electrode through which the non-equilibrium plasma is generated. To decompose and remove the odorous and harmful components in the gas, and the decomposed and removed gas can be discharged from the space through each through-hole, not only in the axial direction of the ground electrode but also in the axial direction. The gas from which dust has been removed can pass in the direction intersecting the direction, and the surface area of the ground electrode can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size where a plurality of through holes are not formed. As a result, the capacitance between the discharge electrode and the ground electrode is reduced, the time required for discharge is reduced, non-equilibrium plasma is easily generated, and high-speed electrons can be obtained.

【0012】請求項4記載の本発明は、請求項2記載の
発明の構成において、前記放電電極は線状体から成り、
かつ相互に間隔をあけて複数設けられ、前記アース電極
は複数の透孔が形成される板状体から成り、前記複数の
放電電極から一定の間隔をあけて両側に配置されること
を特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the configuration of the second aspect, the discharge electrode comprises a linear body,
A plurality of ground electrodes are provided at a distance from each other, and the ground electrode is formed of a plate-like body having a plurality of through-holes, and is disposed on both sides of the plurality of discharge electrodes at a constant interval. I do.

【0013】本発明に従えば、前記アース電極には複数
の透孔が形成されるので、塵埃が除去されたガスを各透
孔を介して非平衡プラズマが発生する各放電電極および
アース電極間の空間に供給して、前記ガス中の臭気成分
および有害成分を分解除去し、この分解除去したガスを
前記空間から各透孔を介して排出することができ、アー
ス電極に平行な方向でかつ放電電極に交差する方向およ
び各放電電極に沿う方向だけでなく、アース電極側から
各放電電極に交差する方向に、塵埃が除去されたガスを
大きな流量で通過させて前記ガスを処理することができ
るとともに、アース電極の表面積を複数の透孔が形成さ
れていない同一寸法のアース電極の表面積よりも小さく
することができ、これによって各放電電極およびアース
電極間の静電容量を小さくして放電に要する時間を短縮
して非平衡プラズマを発生させやすくして、高速の電子
を得ることができる。
According to the present invention, since a plurality of through holes are formed in the earth electrode, the gas from which dust has been removed is transferred between each discharge electrode and the earth electrode where non-equilibrium plasma is generated through each through hole. To decompose and remove odor components and harmful components in the gas, and the decomposed and removed gas can be discharged from the space through each through-hole, in a direction parallel to the ground electrode and It is possible to treat the gas by passing a gas from which dust has been removed at a large flow rate, not only in a direction intersecting with the discharge electrodes and along the respective discharge electrodes, but also in a direction intersecting with the respective discharge electrodes from the ground electrode side. And the surface area of the ground electrode can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size where a plurality of through holes are not formed, whereby the capacitance between each discharge electrode and the ground electrode can be reduced. And easily to generate non-equilibrium plasma by shortening the time required for discharging small, it is possible to obtain a high-speed electrons.

【0014】請求項5記載の本発明は、請求項4記載の
発明の構成において、前記複数の透孔が形成される板状
体は、平板状に形成されることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the configuration of the fourth aspect, the plate-like body in which the plurality of through holes are formed is formed in a flat plate shape.

【0015】本発明に従えば、前記複数の透孔が形成さ
れる板状体は平板状に形成されるので、入手が容易な平
板状の板状体をアース電極として用いることができ、こ
れによって構成が簡単でかつ安価なプラズマ発生手段を
形成することができる。
According to the present invention, since the plate-like body in which the plurality of through holes are formed is formed in a plate-like shape, a plate-like body easily available can be used as a ground electrode. Thus, a simple and inexpensive plasma generating means can be formed.

【0016】請求項6記載の本発明は、請求項4記載の
発明の構成において、前記複数の透孔が形成される板状
体は、波板状に形成されることを特徴とする。
According to a sixth aspect of the present invention, in the configuration of the fourth aspect, the plate-like body in which the plurality of through holes are formed is formed in a corrugated shape.

【0017】本発明に従えば、前記複数の透孔が形成さ
れる板状体は波板状に形成されるので、板状体が平板状
に形成されているときよりも放電電極およびアース電極
間で高速の電子が得られる領域が増え、これによって板
状体が平板状に形成されているときよりもガスを処理す
る能力が向上し、構成が簡単でかつ安価なプラズマ発生
手段を形成することができる。また前記板状体を波板状
に形成することによって板状体が平板状に形成されてい
るときよりも各アース電極間の間隔を小さくして波板状
のアース電極を配置することができ、プラズマ発生手段
を小形化することができる。
According to the present invention, since the plate-like body in which the plurality of through-holes are formed is formed in a corrugated plate shape, the discharge electrode and the ground electrode are formed more than when the plate-like body is formed in a flat plate-like shape. The area where high-speed electrons can be obtained increases, thereby improving the ability to process gas as compared with the case where the plate is formed in a flat plate shape, and forming a simple and inexpensive plasma generating means. be able to. Further, by forming the plate-like body in a corrugated shape, the interval between the ground electrodes can be made smaller than when the plate-like body is formed in a flat shape, and the corrugated earth electrode can be arranged. In addition, the size of the plasma generating means can be reduced.

【0018】請求項7記載の本発明は、請求項4〜6の
いずれかに記載の発明の構成において、相互に隣接する
各放電電極間の中央部には、第2のアース電極が配置さ
れることを特徴とする。
According to a seventh aspect of the present invention, in the configuration according to any one of the fourth to sixth aspects, a second ground electrode is disposed at a central portion between the mutually adjacent discharge electrodes. It is characterized by that.

【0019】本発明に従えば、相互に隣接する各放電電
極間の中央部には第2のアース電極が配置されるので、
放電電極およびアース電極間で高速の電子が得られると
ともに、放電電極および第2のアース電極間においても
高速の電極を得ることができ、ガスを処理する能力をさ
らに向上させることができる。
According to the present invention, since the second ground electrode is disposed at the center between the mutually adjacent discharge electrodes,
High-speed electrons can be obtained between the discharge electrode and the ground electrode, and a high-speed electrode can be obtained between the discharge electrode and the second ground electrode, so that the gas processing ability can be further improved.

【0020】請求項8記載の本発明は、請求項1〜7の
いずれかに記載の発明の構成において、前記集塵手段
は、前記アース電極を外囲するバグフィルタであること
を特徴とする。
According to an eighth aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the dust collecting means is a bag filter surrounding the ground electrode. .

【0021】本発明に従えば、前記集塵手段は前記アー
ス電極を外囲するバグフィルタであるので、バグフィル
タの周囲から煤塵などの塵埃を含むガスをバグフィルタ
に導き、バグフィルタによって煤塵などの塵埃を捕集
し、塵埃が除去されたガスを放電電極とアース電極との
間の空間に導いて、放電電極およびアース電極間に発生
するプラズマによって塵埃が除去されたガス中の臭気成
分および有害成分を分解除去することができる。またバ
グフィルタに導かれる前記塵埃を含むガスは、バグフィ
ルタの周囲から導かれるので、バグフィルタの設置位置
にかかわらず、ほぼ均等に塵埃を捕集することができ
る。
According to the present invention, since the dust collecting means is a bag filter surrounding the ground electrode, a gas containing dust such as dust is guided to the bag filter from the periphery of the bag filter, and the dust filter is provided by the bag filter. Of dust, guide the gas from which the dust has been removed to the space between the discharge electrode and the ground electrode, and remove the odor component in the gas from which the dust has been removed by the plasma generated between the discharge electrode and the ground electrode. Harmful components can be decomposed and removed. Further, since the gas containing dust guided to the bag filter is guided from around the bag filter, dust can be collected substantially uniformly regardless of the installation position of the bag filter.

【0022】請求項9記載の本発明は、請求項1〜8の
いずれかに記載の発明の構成において、前記集塵手段
は、前記放電電極と前記アース電極との間の空間から予
め定める放出位置に処理後のガスを導く導気手段を含む
ことを特徴とする。
According to a ninth aspect of the present invention, in the configuration according to any one of the first to eighth aspects, the dust collecting means includes a predetermined discharge from a space between the discharge electrode and the ground electrode. It is characterized by including an air guiding means for guiding the processed gas to the position.

【0023】本発明に従えば、集塵手段は前記放電電極
と前記アース電極との間の空間から予め定める放出位置
に処理後のガスを導く導気手段を含むので、導気手段に
よってバグフィルタの周囲の煤塵などの塵埃を含むガス
をバグフィルタに導き、バグフィルタによって煤塵など
の塵埃を捕集し、塵埃が除去されたガスを放電電極とア
ース電極との間の空間に導いて、放電電極およびアース
電極間に発生するプラズマによって塵埃が除去されたガ
ス中の臭気成分および有害成分を分解除去し、この処理
後のガスをたとえばアース電極の軸線方向に導いて予め
定める放出位置に導くことができる。また導気手段には
処理後のガスが導かれるので、導気手段の汚損が少な
い。
According to the present invention, the dust collecting means includes air guiding means for guiding the treated gas from the space between the discharge electrode and the ground electrode to a predetermined discharge position. Gas containing dust such as dust around the surroundings is guided to the bag filter, dust such as dust is collected by the bag filter, and the gas from which dust has been removed is guided to the space between the discharge electrode and the ground electrode to discharge the dust. Decompose and remove odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed by the plasma generated between the electrode and the ground electrode, and guide the processed gas, for example, in the axial direction of the ground electrode to a predetermined discharge position. Can be. In addition, since the treated gas is guided to the air guiding means, the air guiding means is less contaminated.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の一形態で
ある浄化装置1の構成を簡略化して示す断面図である。
浄化装置1は、供給管路2と、集塵手段3と、プラズマ
発生手段4と、排出管路5とを含み、煤塵などの塵埃を
含むガス、たとえば煤塵などの塵埃と臭気成分および有
害成分とを含む空気の流下方向A上流側からこの順番で
配置される。供給管路2は、前記ガスを導くダクトが接
続される第1筒部6と、第1筒部6に連なり、第1筒部
6の軸線方向に沿って拡開して形成される拡開部7と、
拡開部7に連なり、前記軸線方向に延びる第2筒部8
と、第2筒部8の周壁から外方に向かって延びる外向き
フランジ9とから成る。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a simplified structure of a purification apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.
The purification device 1 includes a supply pipe 2, a dust collection means 3, a plasma generation means 4, and a discharge pipe 5, and includes a gas containing dust such as dust, for example, dust such as dust, an odor component, and a harmful component. Are arranged in this order from the upstream side in the downflow direction A of air including the following. The supply pipe line 2 is connected to a first cylindrical portion 6 to which the duct for guiding the gas is connected, and is connected to the first cylindrical portion 6 and is formed by expanding along the axial direction of the first cylindrical portion 6. Part 7,
A second cylindrical portion 8 connected to the expanding portion 7 and extending in the axial direction;
And an outward flange 9 extending outward from the peripheral wall of the second cylindrical portion 8.

【0025】集塵手段3は、煤塵を含む塵埃、たとえば
繊維状および粒子状の塵埃を含むガスが供給され、この
ガスから繊維状の塵埃を捕集して除去する濾過集塵部1
0と、繊維状の塵埃が除去された粒子状の塵埃を含むガ
スが供給され、このガスから粒子状の塵埃を捕集して除
去する電気集塵部11とを含む。濾過集塵部10は、繊
維状の塵埃を捕集する濾過フィルタ12とこの濾過フィ
ルタ12が収納される略筒状のハウジング13と、ハウ
ジング13の軸線方向両端部の周壁から外方に向かって
延びる外向きフランジ14,15と、ハウジング13の
上部でかつガスの通過領域よりも外方に設けられ、ロー
ル状の濾過フィルタ12が装着される供給ロール16
と、ハウジング13の下部でかつ供給ロール16に装着
された濾過フィルタ12が架け渡されて巻取られる巻取
ロール17とから成る。
The dust collecting means 3 is supplied with dust containing dust, for example, gas containing fibrous and particulate dust, and filters and collects and removes fibrous dust from the gas.
0, a gas containing particulate dust from which fibrous dust has been removed, and an electric dust collector 11 for collecting and removing particulate dust from the gas. The filtering and dust collecting unit 10 includes a filtering filter 12 that collects fibrous dust, a substantially cylindrical housing 13 in which the filtering filter 12 is stored, and outward from peripheral walls at both axial ends of the housing 13. Extending outward flanges 14, 15, and a supply roll 16 provided at an upper portion of the housing 13 and outside the gas passage area, to which a roll-shaped filtration filter 12 is attached.
And a take-up roll 17 that is wound at a lower portion of the housing 13 and wound around the filter 12 attached to the supply roll 16.

【0026】濾過フィルタ12は、たとえば目の粗い濾
布から成る。供給ロール16には、ロール状の濾過フィ
ルタ12が装着される。濾過フィルタ12は巻取ロール
17に架け渡されており、濾過フィルタ12を通過する
前記ガスの通気抵抗が大きくなると、巻取りロール17
は濾過フィルタ12を巻取って新しい濾過面を露出させ
ている。また濾過フィルタ12が架け渡された領域は、
ガスの通過領域を含む。濾過フィルタ12が全て巻取ロ
ール17に巻取られると、塵埃捕集後の濾過フィルタ1
2を巻取ロール17から取外し、新しい濾過フィルタ1
2を供給ロール16に装着して巻取ロール17に架け渡
す。
The filter 12 is made of, for example, a coarse filter cloth. A roll-shaped filtration filter 12 is mounted on the supply roll 16. The filter 12 is wound around a take-up roll 17. When the gas passing through the filter 12 has a high airflow resistance, the take-up roll 17
Winds the filtration filter 12 to expose a new filtration surface. The region where the filtration filter 12 is bridged is
Includes a gas passage area. When all of the filtration filters 12 are wound on the take-up roll 17, the filtration filters 1 after dust collection are removed.
2 is removed from the winding roll 17 and a new filtration filter 1 is removed.
2 is mounted on a supply roll 16 and is wound over a take-up roll 17.

【0027】電気集塵部11は、たとえば電気集塵器に
よって実現される。電気集塵部11には、粒子状の塵埃
を捕集する塵埃捕集部分18と、捕集された粒子状の塵
埃を貯留し、回収するホッパ19とを有する。塵埃捕集
部分18は、たとえば線状の放電電極と、平板状の集塵
電極とを含む。粒子状の塵埃の捕集は、放電電極を負極
とし、集塵電極を正極として放電電極および集塵電極間
にコロナ放電を起こさせて粒子状の塵埃を帯電させ、集
塵電極にクーロン力によって吸着される。集塵電極に付
着した粒子状の塵埃が所定の厚さに達したときには、槌
打によって集塵電極から払い落とし、ホッパ19で回収
される。また電気集塵部11のハウジング20の周壁に
は、外向きフランジ21,22が設けられる。
The electric precipitator 11 is realized by, for example, an electric precipitator. The electric dust collecting section 11 has a dust collecting portion 18 for collecting particulate dust, and a hopper 19 for storing and collecting the collected particulate dust. The dust collecting portion 18 includes, for example, a linear discharge electrode and a plate-shaped dust collection electrode. The collection of particulate dust is performed by using a discharge electrode as a negative electrode and a dust collection electrode as a positive electrode to cause corona discharge between the discharge electrode and the dust collection electrode to charge the particulate dust and to apply a Coulomb force to the dust collection electrode. Adsorbed. When the particulate dust adhering to the dust collecting electrode reaches a predetermined thickness, the dust is hammered off the dust collecting electrode and collected by the hopper 19. Outward flanges 21 and 22 are provided on the peripheral wall of the housing 20 of the electric dust collector 11.

【0028】プラズマ発生手段4は、ハウジング26
と、非平衡プラズマを発生させる非平衡プラズマ発生部
27と、非平衡プラズマによって引起こされる化学反応
によって生じた固形物を貯留し、回収するホッパ28と
を含む。ハウジング26には、外向きフランジ29,3
0が設けられる。ここで非平衡プラズマとは、プラズマ
中の電子の電子温度がプラズマ中のイオンのイオン温度
に比べて高い状態で電子とイオンとが熱力学的に平衡し
ていない状態のプラズマのことである。非平衡プラズマ
発生部27は、放電電極と、アース電極と、電源(図示
せず)とを含む。非平衡プラズマを発生させるには、放
電電極およびアース電極間にコロナ放電を発生させ、放
電電極およびアース電極間のガスを電離させる。このと
き放電電極およびアース電極間には、直流電圧100〜
200kV、周波数100〜2000Hzのパルス電圧
が印加される。また電圧の立上り時間は、たとえば10
0〜300nsであり、この極端に短い立上り時間の間
に質量の小さい電子だけが加速されて高速の電子が得ら
れる。またパルス電圧の周期は立上り時間に比べて充分
に長いので、この期間中に冷却が行われて次のパルス印
加時には再び初期状態に復帰し、ガスの温度上昇が抑制
され、ガスの温度は常温に保たれる。ここでパルス電圧
の極性は、放電電極を正極とし、アース電極を負極とす
る。これは正のストリーマコロナが強い進展傾向を有
し、放電電極およびアース電極間の空間を橋絡し、全空
間にわたって非平衡プラズマを発生させて単位容積あた
りの反応効果が大幅に向上するためである。
The plasma generating means 4 includes a housing 26
And a non-equilibrium plasma generation unit 27 for generating non-equilibrium plasma, and a hopper 28 for storing and recovering solid matter generated by a chemical reaction caused by the non-equilibrium plasma. The housing 26 has outward flanges 29, 3
0 is provided. Here, the non-equilibrium plasma refers to a plasma in which electrons and ions are not thermodynamically equilibrated while the electron temperature of electrons in the plasma is higher than the ion temperature of ions in the plasma. Non-equilibrium plasma generator 27 includes a discharge electrode, a ground electrode, and a power supply (not shown). In order to generate non-equilibrium plasma, corona discharge is generated between the discharge electrode and the ground electrode, and the gas between the discharge electrode and the ground electrode is ionized. At this time, a DC voltage of 100 to 100 is applied between the discharge electrode and the ground electrode.
A pulse voltage of 200 kV and a frequency of 100 to 2000 Hz is applied. The rise time of the voltage is, for example, 10
0 to 300 ns, and during this extremely short rise time, only electrons having a small mass are accelerated to obtain high-speed electrons. Since the cycle of the pulse voltage is sufficiently longer than the rise time, cooling is performed during this period, and when the next pulse is applied, the state returns to the initial state again, the temperature rise of the gas is suppressed, and the temperature of the gas becomes room temperature. Is kept. Here, the polarity of the pulse voltage is such that the discharge electrode is a positive electrode and the ground electrode is a negative electrode. This is because the positive streamer corona has a strong tendency to develop, bridging the space between the discharge electrode and the earth electrode, generating non-equilibrium plasma over the entire space, and greatly improving the reaction effect per unit volume. is there.

【0029】プラズマ発生手段4に供給されるガス、た
とえばアンモニア、硫化水素、メチルメルカプタン、硫
化メチル、トリメチルアミン、アセトアルデヒド、スチ
レン、および二硫化メチルなどの臭気成分、ならびに塩
化水素、NOX、SOX、およびダイオキシンなどの有害
成分を含む空気は、プラズマ発生手段4の放電電極およ
びアース電極間で得られる高速の電子と前記ガス中の臭
気成分および有害成分との衝突によってラジカルが形成
され、化学反応を起こさせてガス中の臭気成分および有
害成分が除去されて清浄な空気となる。
Gases supplied to the plasma generating means 4, for example, odor components such as ammonia, hydrogen sulfide, methyl mercaptan, methyl sulfide, trimethylamine, acetaldehyde, styrene, and methyl disulfide, and hydrogen chloride, NO X , SO X , And air containing harmful components such as dioxin, radicals are formed by the collision of the high-speed electrons obtained between the discharge electrode and the ground electrode of the plasma generating means 4 with the odorous components and harmful components in the gas, and a chemical reaction occurs. Occurrence of odor components and harmful components in the gas is removed to produce clean air.

【0030】排出管路5は、前記供給管路2の第2筒部
8の内径にほぼ等しい内径を有する第1筒部31と、第
1筒部31に連なり、内周面が第1筒部31の軸線に近
接する方向に傾斜して形成される絞り部32と、絞り部
32に連なり、清浄なガスが導かれるダクトに接続され
る第2筒部33と、第1筒部31の開口端側の周壁から
外方に向かって延びる外向きフランジ34とから成る。
The discharge pipe 5 is connected to a first pipe 31 having an inner diameter substantially equal to the inner diameter of the second pipe 8 of the supply pipe 2 and the first pipe 31, and has an inner peripheral surface formed by the first pipe 31. A throttle portion 32 formed to be inclined in a direction approaching the axis of the portion 31; a second cylindrical portion 33 connected to a duct connected to the narrow portion 32 and through which a clean gas is led; An outward flange 34 extending outward from the peripheral wall on the open end side.

【0031】供給管路2と集塵手段3の濾過集塵部10
とは、外向きフランジ9,14を介して連結される。濾
過集塵部10と電気集塵部11とは、外向きフランジ2
3,24を有する筒状の連結管路25に外向きフランジ
15,21を介して連結される。集塵手段3の電気集塵
部11とプラズマ発生手段4とは、外向きフランジ2
2,29を介して連結される。プラズマ発生手段4と排
出管路5とは、外向きフランジ30,34を介して連結
される。
The supply duct 2 and the filter dust collecting unit 10 of the dust collecting means 3
And are connected via outward flanges 9 and 14. The filtration dust collecting unit 10 and the electric dust collecting unit 11 are connected to the outward flange 2.
It is connected to a cylindrical connecting pipe 25 having 3 and 24 via outward flanges 15 and 21. The electric dust collecting part 11 of the dust collecting means 3 and the plasma generating means 4
2, 29 are connected. The plasma generating means 4 and the exhaust pipe 5 are connected via outward flanges 30 and 34.

【0032】このようにして供給管路2と、濾過集塵部
10のハウジング13と、連結管路25と、電気集塵部
11のハウジング20と、プラズマ発生手段4のハウジ
ング26と、排出管路5とを含んで導気手段が構成さ
れ、予め定める放出位置である排出管路5の第2筒部3
3の開口部にガスを導く。
In this manner, the supply line 2, the housing 13 of the filter and dust collecting unit 10, the connecting line 25, the housing 20 of the electric dust collecting unit 11, the housing 26 of the plasma generating means 4, and the discharge tube And a second pipe portion 3 of the discharge conduit 5 at a predetermined discharge position.
The gas is led to the opening 3.

【0033】煤塵などの塵埃を含むガスは、供給管路2
の第1筒部6から図1の左方から図1の右方へ向かう前
記ガスの流下方向Aに供給される。第1筒部6に供給さ
れたガスは、拡開部7で前記ガスの流速が、たとえば1
m/sに減速されて濾過フィルタ12を通過する。この
とき濾過フィルタ12では、前記ガス中の繊維状の塵埃
が捕集される。この繊維状の塵埃が除去された粒子状の
塵埃を含むガスは、電気集塵部11に供給される。電気
集塵部11では、粒子状の塵埃が塵埃捕集部分18で捕
集され、プラズマ発生手段4に塵埃が除去されたガスが
供給される。プラズマ発生手段4では、塵埃が除去され
たガス中の臭気成分および有害成分に、放電電極および
アース電極間に発生する非平衡プラズマの高速の分子が
衝突してラジカルを形成し、プラズマ発生手段4内で化
学反応を起こさせて前記ガス中の臭気成分および有害成
分を除去して清浄なガスをプラズマ発生手段4から排出
する。プラズマ発生手段4から排出された清浄なガス
は、排出管路5の絞り部32で絞られて流速を増速させ
て第2筒部33を介して浄化装置1から排出される。
Gas containing dust such as dust is supplied to the supply line 2
The gas is supplied from the first cylindrical portion 6 in a flowing direction A from the left side of FIG. 1 to the right side of FIG. The gas supplied to the first cylindrical portion 6 has a flow rate of 1
The speed is reduced to m / s and passes through the filter 12. At this time, the filter filter 12 collects the fibrous dust in the gas. The gas containing the particulate dust from which the fibrous dust has been removed is supplied to the electrostatic precipitator 11. In the electric dust collecting section 11, particulate dust is collected by the dust collecting portion 18, and the gas from which the dust is removed is supplied to the plasma generating means 4. In the plasma generating means 4, high-speed molecules of non-equilibrium plasma generated between the discharge electrode and the earth electrode collide with odor components and harmful components in the gas from which dust has been removed to form radicals. A chemical reaction is caused inside the gas to remove odor components and harmful components from the gas, and a clean gas is discharged from the plasma generating means 4. The clean gas discharged from the plasma generating means 4 is throttled by the throttle portion 32 of the discharge pipe 5 to increase the flow velocity, and is discharged from the purification device 1 through the second cylindrical portion 33.

【0034】プラズマ発生手段4に塵埃が供給される
と、塵埃が非平衡プラズマの高速の電子によって帯電し
てアース電極に付着し、プラズマ発生手段4の清掃など
の手間がかかってしまう。また塵埃が繊維状であるとき
には、この塵埃がアース電極に対して垂直に付着して、
放電電極および塵埃の先端間で火花放電が生じて電圧が
下がり、高速の電子が得られなくなるという不具合が生
じてしまう。しかしながら、本発明の浄化装置1におい
て、プラズマ発生手段4には塵埃が除去されたガスが供
給されるので、このような不具合が生じない。
When the dust is supplied to the plasma generating means 4, the dust is charged by the high-speed electrons of the non-equilibrium plasma and adheres to the ground electrode, and it takes time to clean the plasma generating means 4. When the dust is fibrous, the dust adheres perpendicularly to the ground electrode,
A spark discharge occurs between the discharge electrode and the tip of the dust, the voltage drops, and a problem that high-speed electrons cannot be obtained occurs. However, in the purification device 1 of the present invention, such a problem does not occur because the gas from which dust has been removed is supplied to the plasma generation means 4.

【0035】集塵手段3は、煤塵などの塵埃を含むガス
から塵埃を捕集して除去し、プラズマ発生手段4には塵
埃が除去されたガスだけが供給されるので、放電によっ
て発生したプラズマによって、塵埃が除去されたガス中
の臭気成分および有害成分を分解して除去することがで
き、プラズマ発生手段4の清掃などの手間がかからず、
浄化装置1の保守管理を容易にすることができる。
The dust collecting means 3 collects and removes dust from a gas containing dust such as dust, and the plasma generating means 4 is supplied with only the gas from which dust has been removed. Thereby, the odor component and the harmful component in the gas from which the dust has been removed can be decomposed and removed, and the trouble such as cleaning of the plasma generating means 4 is not required.
Maintenance management of the purification device 1 can be facilitated.

【0036】また前記プラズマ発生手段4は、放電電極
およびアース電極間のガスを放電、たとえばコロナ放電
によって電子とイオンとに電離させ、電子の電子温度が
イオンのイオン温度に比べて高い状態で、電子とイオン
とが熱力学的に平衡していない状態のプラズマである非
平衡プラズマを発生させるので、放電によって発生する
各電極間のプラズマの温度が常温に保たれた状態で高速
の電子を得ることができ、この高速の電子を塵埃が除去
されたガス中の臭気成分および有害成分に衝突させてラ
ジカルを形成し、化学反応を起こさせてガス中の臭気成
分および有害成分を除去することができる。さらに放電
によって発生する各電極間のプラズマの温度は常温に保
たれているので、プラズマ発生手段4に冷却手段などを
設ける必要がなく、またプラズマ発生手段4から排出さ
れるガスの温度も常温に保たれ、熱プラズマを用いると
きのように高温のガスが排出されることがなく、排出さ
れるガスの冷却手段などを設ける必要がなく、構成の簡
略化を図ることができる。
The plasma generating means 4 ionizes the gas between the discharge electrode and the earth electrode into electrons and ions by discharging, for example, corona discharge, and in a state where the electron temperature of the electrons is higher than the ion temperature of the ions, Since non-equilibrium plasma, which is a plasma in which electrons and ions are not thermodynamically balanced, is generated, high-speed electrons are obtained with the temperature of the plasma between the electrodes generated by discharge kept at room temperature. The high-speed electrons can collide with the odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed to form radicals and cause a chemical reaction to remove the odorous and harmful components in the gas. it can. Further, since the temperature of the plasma between the electrodes generated by the discharge is maintained at a normal temperature, there is no need to provide a cooling means or the like in the plasma generating means 4, and the temperature of the gas discharged from the plasma generating means 4 is also at the normal temperature As a result, high-temperature gas is not discharged as in the case of using thermal plasma, and there is no need to provide cooling means for the discharged gas, so that the configuration can be simplified.

【0037】図2は浄化装置1に備えられる非平衡プラ
ズマ発生部27の放電電極40およびアース電極41を
簡略化して示す正面図であり、図3は図2の切断面線I
II−IIIから見た断面図である。図2および図3に
おいて、放電電極40は図解を容易にするため、その直
径を拡大して示している。放電電極40は導電性を有す
る材料、たとえば鋼から成り、断面形状が円形状の線状
体から成る。アース電極41は導電性を有する材料、た
とえば鋼から成り、複数の透孔42が形成される筒状体
から成る。すなわちアース電極41はいわゆる網目状に
形成される。アース電極41によって囲まれた空間43
には、同軸に放電電極40が配置される。放電電極40
は、少なくともアース電極41の長手方向全長に臨んで
配置される。この放電電極40およびアース電極41
は、非平衡プラズマ発生部27にアース電極41が相互
に接触した状態で複数設けられる。塵埃が除去されたガ
スは、図3の下方から上方に向かう前記ガスの流下方向
Aに供給される。前記ガスはアース電極41の側面側か
ら各透孔42を介して非平衡プラズマが発生するアース
電極41によって囲まれた空間43に供給され、ガス中
の臭気成分および有害成分を分解除去し、この分解除去
したガスを前記空間43から各透孔42を介して排出す
る。
FIG. 2 is a simplified front view showing the discharge electrode 40 and the ground electrode 41 of the non-equilibrium plasma generator 27 provided in the purification device 1. FIG. 3 is a sectional view taken along the line I in FIG.
It is sectional drawing seen from II-III. 2 and 3, the discharge electrode 40 is shown with its diameter enlarged for ease of illustration. The discharge electrode 40 is made of a conductive material, for example, steel, and is a linear body having a circular cross section. The ground electrode 41 is formed of a conductive material, for example, steel, and is formed of a cylindrical body having a plurality of through holes 42 formed therein. That is, the ground electrode 41 is formed in a so-called mesh shape. Space 43 surrounded by earth electrode 41
, A discharge electrode 40 is arranged coaxially. Discharge electrode 40
Are arranged facing at least the entire length of the ground electrode 41 in the longitudinal direction. The discharge electrode 40 and the ground electrode 41
Are provided in a state where the earth electrode 41 is in contact with the non-equilibrium plasma generating section 27. The gas from which dust has been removed is supplied in the gas flowing direction A from the lower side to the upper side in FIG. The gas is supplied from the side surface of the earth electrode 41 to the space 43 surrounded by the earth electrode 41 where non-equilibrium plasma is generated through the respective through holes 42 to decompose and remove odorous and harmful components in the gas. The decomposed and removed gas is discharged from the space 43 through the through holes 42.

【0038】放電電極40およびアース電極41の寸法
の一例を示すと、放電電極40の直径D1は1〜5mm
程度に選ばれる。アース電極41の内径D2は、250
mm程度に選ばれる。アース電極41の軸線方向長さL
1は、3〜10m程度に選ばれる。アース電極41の周
壁の厚さtは、2mm程度に選ばれる。
As an example of the dimensions of the discharge electrode 40 and the ground electrode 41, the diameter D1 of the discharge electrode 40 is 1 to 5 mm.
Chosen by degree. The inner diameter D2 of the ground electrode 41 is 250
mm. The axial length L of the ground electrode 41
1 is selected to be about 3 to 10 m. The thickness t of the peripheral wall of the ground electrode 41 is selected to be about 2 mm.

【0039】前記アース電極41には複数の透孔42が
形成されるので、塵埃が除去されたガスを各透孔42を
介して非平衡プラズマが発生するアース電極41によっ
て囲まれた空間43に供給して、前記ガス中の臭気成分
および有害成分を分解除去し、この分解除去したガスを
前記空間43から各透孔42を介して排出することがで
き、アース電極41の軸線方向だけでなく、この軸線方
向に交差する方向に塵埃が除去されたガスを通過させる
ことができる。これとともに、アース電極41の表面積
を、複数の透孔42が形成されていない同一寸法のアー
ス電極の表面積よりも小さくすることができ、これによ
って放電電極40およびアース電極41間の静電容量を
小さくして放電に要する時間を短縮し、非平衡プラズマ
を発生させやすくして、高速の電子を得ることができ
る。
Since a plurality of through holes 42 are formed in the earth electrode 41, the gas from which dust has been removed is passed through each through hole 42 into a space 43 surrounded by the earth electrode 41 where non-equilibrium plasma is generated. The gas is supplied to decompose and remove odor components and harmful components in the gas, and the decomposed and removed gas can be discharged from the space 43 through the respective through-holes 42. The gas from which dust has been removed can pass in a direction intersecting with the axial direction. At the same time, the surface area of the ground electrode 41 can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size in which the plurality of through holes 42 are not formed, thereby reducing the capacitance between the discharge electrode 40 and the ground electrode 41. By reducing the size, the time required for discharge can be shortened, non-equilibrium plasma can be easily generated, and high-speed electrons can be obtained.

【0040】アース電極41は円筒状に形成されている
が、他の形態として、角筒状に形成されていてもよい。
The ground electrode 41 is formed in a cylindrical shape, but may be formed in a rectangular tube shape in another form.

【0041】図4は本発明の実施の他の形態である浄化
装置に備えられる非平衡プラズマ発生部27aの放電電
極50およびアース電極51を簡略化して示す正面図で
あり、図5は図4の切断面線V−Vから見た断面図であ
る。図4および図5において、放電電極50は図解を容
易にするため、その直径を拡大して示している。放電電
極50は導電性を有する材料、たとえば鋼から成り、断
面形状が円形状の線状体から成り、かつ相互に間隔をあ
けて複数設けられる。アース電極51は導電性を有する
材料、たとえば鋼から成り、複数の透孔52が形成され
る平板状の板状体から成り、前記複数の放電電極50か
ら一定の間隔d2をあけて両側に配置される。すなわち
アース電極51はいわゆる網目状に形成される。複数の
放電電極50は、非平衡プラズマ発生部27aに複数列
設けられる。放電電極50は、少なくともアース電極5
1の長手方向全長に臨んで配置される。
FIG. 4 is a simplified front view showing a discharge electrode 50 and a ground electrode 51 of a non-equilibrium plasma generator 27a provided in a purifying apparatus according to another embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line VV of FIG. 4 and 5, the diameter of the discharge electrode 50 is enlarged for ease of illustration. The discharge electrode 50 is made of a conductive material, for example, steel, is made of a linear body having a circular cross section, and is provided with a plurality of them at intervals. The ground electrode 51 is made of a conductive material, for example, steel, and is made of a flat plate-like body having a plurality of through-holes 52. The ground electrode 51 is arranged on both sides of the plurality of discharge electrodes 50 at a predetermined interval d2. Is done. That is, the ground electrode 51 is formed in a so-called mesh shape. The plurality of discharge electrodes 50 are provided in a plurality of rows in the non-equilibrium plasma generation unit 27a. The discharge electrode 50 has at least the ground electrode 5
1 are arranged facing the entire length in the longitudinal direction.

【0042】塵埃が除去されたガスは、図5の下方から
上方に向かう前記ガスの流下方向Aに供給される。この
ガスは、アース電極51の側面側から各透孔52を介し
て非平衡プラズマが発生するアース電極51間の空間5
3に供給され、前記ガス中の臭気成分および有害成分を
分解除去し、この分解除去したガスを前記空間53から
各透孔52を介して排出する。
The gas from which dust has been removed is supplied in the gas flowing direction A from the bottom to the top in FIG. This gas flows into the space 5 between the ground electrodes 51 where non-equilibrium plasma is generated from the side surface of the ground electrode 51 through each through hole 52.
The odor component and the harmful component in the gas are decomposed and removed, and the decomposed and removed gas is discharged from the space 53 through the through holes 52.

【0043】放電電極50およびアース電極51の寸法
の一例を示すと、放電電極50の直径D1は、1〜5m
m程度に選ばれる。各放電電極50間の間隔d1は、1
00m程度に選ばれる。各放電電極50およびアース電
極51間の間隔d2は、125mm程度に選ばれる。ア
ース電極51の厚さtは、たとえば2mm程度に選ばれ
る。アース電極51の幅Wは、3m程度に選ばれる。ア
ース電極51の長手方向長さL2は、3〜10m程度に
選ばれる。
As an example of the dimensions of the discharge electrode 50 and the ground electrode 51, the diameter D1 of the discharge electrode 50 is 1 to 5 m.
m. The interval d1 between the discharge electrodes 50 is 1
It is selected to be about 00m. The distance d2 between each discharge electrode 50 and the ground electrode 51 is selected to be about 125 mm. The thickness t of the ground electrode 51 is selected to be, for example, about 2 mm. The width W of the ground electrode 51 is selected to be about 3 m. The longitudinal length L2 of the ground electrode 51 is selected to be about 3 to 10 m.

【0044】アース電極51には複数の透孔52が形成
されるので、塵埃が除去されたガスを各透孔52を介し
て非平衡プラズマが発生するアース電極51間の空間5
3に供給して、前記ガスの臭気成分および有害成分を分
解除去し、この分解除去したガスを前記空間53から各
透孔52を介して排出することができ、アース電極51
に平行な方向でかつ放電電極50に交差する方向および
各放電電極50に沿う方向だけでなく、アース電極51
側から各放電電極52に交差する方向に塵埃が除去され
たガスを大きな流量で通過させて前記ガスを処理するこ
とができる。これとともに、アース電極51の表面積を
複数の透孔52が形成されていない同一寸法のアース電
極の表面積よりも小さくすることができ、これによって
各放電電極50およびアース電極51間の静電容量を小
さくして放電に要する時間を短縮して非平衡プラズマを
発生させやすくして高速の電子を得ることができる。
Since a plurality of through holes 52 are formed in the earth electrode 51, the gas from which dust has been removed is passed through each through hole 52 to a space 5 between the earth electrodes 51 where non-equilibrium plasma is generated.
3 to decompose and remove the odorous and harmful components of the gas, and the decomposed and removed gas can be discharged from the space 53 through the respective through-holes 52.
Not only in a direction parallel to and in a direction crossing the discharge electrode 50 and in a direction along each discharge electrode 50, but also in a direction
The gas from which dust has been removed can be passed at a large flow rate from the side in a direction intersecting each discharge electrode 52 to process the gas. At the same time, the surface area of the ground electrode 51 can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size where the plurality of through-holes 52 are not formed, thereby reducing the capacitance between each discharge electrode 50 and the ground electrode 51. By reducing the size, the time required for the discharge can be shortened, non-equilibrium plasma can be easily generated, and high-speed electrons can be obtained.

【0045】また前記複数の透孔52が形成される板状
体から成るアース電極51は平板状に形成されるので、
入手が容易な平板状の板状体をアース電極51として用
いることができ、これによって構成が簡単でかつ安価な
プラズマ発生手段4を形成することができる。
Further, since the ground electrode 51 made of a plate-like body in which the plurality of through holes 52 are formed is formed in a flat plate shape,
An easily available flat plate-like body can be used as the ground electrode 51, whereby the simple and inexpensive plasma generating means 4 can be formed.

【0046】さらに各放電電極50間の中央部に1また
は複数の第2のアース電極を配置することによって、高
速の電子が得られる領域が増え、ガスを処理する能力を
向上させることができる。
Further, by arranging one or a plurality of second earth electrodes at the center between the discharge electrodes 50, the area where high-speed electrons can be obtained increases, and the ability to process gas can be improved.

【0047】図6は本発明の実施のさらに他の形態であ
る浄化装置に備えられる非平衡プラズマ発生部27bの
放電電極60ならびにアース電極61および第2アース
電極63を簡略化して示す正面図であり、図7は図6の
切断面線VII−VIIから見た断面図である。図6お
よび図7は、図解を容易にするため、放電電極60およ
び第2のアース電極63の直径および幅を拡大して示し
ている。放電電極60は導電性を有する材料、たとえば
鋼から成り、断面形状が円形状の線状体から成り、かつ
相互に間隔をあけて複数設けられる。アース電極61は
導電性を有する材料、たとえば鋼から成り、複数の透孔
62が形成される波板状の板状体から成り、前記複数の
放電電極60から一定の間隔をあけて両側に配置され
る。すなわちアース電極61はいわゆる網目状に形成さ
れる、複数の放電電極60は、非均衡プラズマ発生部2
7bに複数列設けられる。相互に隣接する各放電電極6
0の位置関係は、正三角形をなすように配置される。相
互に隣接する各放電電極60間の中央部には、第2のア
ース電極63が配置される。第2のアース電極63は、
導電性を有する材料、たとえば鋼から成り、断面形状が
正方形状の線状体から成る。アース電極61は、各放電
電極60およびこの放電電極に隣接する第2のアース電
極63間の間隔を半径とする仮想円筒面の一部を形成す
るように弯曲している。放電電極60および第2のアー
ス電極63は、少なくともアース電極61の長手方向全
長に臨んで配置される。
FIG. 6 is a simplified front view showing a discharge electrode 60, a ground electrode 61, and a second ground electrode 63 of a non-equilibrium plasma generating section 27b provided in a purification apparatus according to still another embodiment of the present invention. FIG. 7 is a sectional view taken along section line VII-VII in FIG. FIGS. 6 and 7 show the diameter and width of the discharge electrode 60 and the second ground electrode 63 in an enlarged manner for ease of illustration. The discharge electrode 60 is made of a conductive material, for example, steel, is made of a linear body having a circular cross section, and is provided with a plurality of them at intervals. The ground electrode 61 is made of a conductive material, for example, steel, and is made of a corrugated plate having a plurality of through-holes 62 formed thereon. Is done. That is, the ground electrode 61 is formed in a so-called mesh shape.
7b are provided in a plurality of rows. Discharge electrodes 6 adjacent to each other
The positional relationship of 0 is arranged so as to form an equilateral triangle. A second ground electrode 63 is arranged at the center between the discharge electrodes 60 adjacent to each other. The second ground electrode 63 is
It is made of a conductive material, for example, steel, and has a square linear shape in cross section. The ground electrode 61 is curved so as to form a part of an imaginary cylindrical surface whose radius is the distance between each discharge electrode 60 and the second ground electrode 63 adjacent to this discharge electrode. The discharge electrode 60 and the second earth electrode 63 are arranged facing at least the entire length of the earth electrode 61 in the longitudinal direction.

【0048】塵埃が除去されたガスは、図7の下方から
上方に向かう前記ガスの流下方向Aに供給される。この
ガスは、アース電極61側から各透孔62を介して非平
衡プラズマが発生するアース電極61間の空間64に供
給され、前記ガス中の臭気成分および有害成分を分解除
去し、この分解除去したガスを前記空間64から各透孔
62を介して排出する。
The gas from which the dust has been removed is supplied in the gas flowing direction A going upward from below in FIG. This gas is supplied from the side of the earth electrode 61 to the space 64 between the earth electrodes 61 where non-equilibrium plasma is generated through the respective through holes 62 to decompose and remove odorous and harmful components in the gas. The exhausted gas is discharged from the space 64 through the through holes 62.

【0049】放電電極60、アース電極61および第2
のアース電極63の寸法の一例を示すと、放電電極60
の直径D1は、1〜5mm程度に選ばれる。アース電極
61の幅Wは、3m程度に選ばれる。アース電極61の
長手方向長さL2は、3〜10m程度に選ばれる。アー
ス電極61の厚さtは、2mm程度に選ばれる。アース
電極61の放電電極60に臨む弯曲した面の半径Rは、
125mm程度に選ばれる。第2のアース電極63の一
辺の長さBは、4mm程度に選ばれる。各放電電極60
間の間隔d3は、たとえば250mm程度に選ばれる。
放電電極60および第2のアース電極63間の間隔d4
は、125mmに選ばれる。各放電電極60およびアー
ス電極61間の間隔d5は、たとえば125mm程度に
選ばれる。
The discharge electrode 60, the ground electrode 61 and the second
An example of the dimensions of the ground electrode 63 is as follows.
Is selected to be about 1 to 5 mm. The width W of the ground electrode 61 is selected to be about 3 m. The longitudinal length L2 of the ground electrode 61 is selected to be about 3 to 10 m. The thickness t of the ground electrode 61 is selected to be about 2 mm. The radius R of the curved surface of the earth electrode 61 facing the discharge electrode 60 is:
It is selected to be about 125 mm. The length B of one side of the second ground electrode 63 is selected to be about 4 mm. Each discharge electrode 60
The interval d3 between them is selected to be, for example, about 250 mm.
Distance d4 between discharge electrode 60 and second earth electrode 63
Is selected to be 125 mm. The distance d5 between each discharge electrode 60 and the ground electrode 61 is selected to be, for example, about 125 mm.

【0050】アース電極61には複数の透孔62が形成
されるので、塵埃が除去されたガスを各透孔62を介し
て非平衡プラズマが発生するアース電極61間の空間6
4に供給して、前記ガス中の臭気成分および有害成分を
分解除去し、この分解除去したガスを前記空間64から
各透孔62を介して排出することができ、アース電極6
1に平行な方向でかつ放電電極60に交差する方向およ
び各放電電極60に沿う方向だけでなく、アース電極6
1側から各放電電極60に交差する方向に塵埃が除去さ
れたガスを大きな流量で通過させて前記ガスを処理する
ことができる。これとともに、アース電極61の表面積
を複数の透孔が形成されていない同一寸法のアース電極
の表面積よりも小さくすることができ、これによって各
放電電極60およびアース電極61間の静電容量を小さ
くして放電に要する時間を短縮して非平衡プラズマを発
生させやすくし、高速の電子を容易に得ることができ
る。
Since a plurality of through holes 62 are formed in the earth electrode 61, the gas from which dust has been removed is passed through each through hole 62 into the space 6 between the earth electrodes 61 where non-equilibrium plasma is generated.
4 to decompose and remove odorous and harmful components in the gas, and the decomposed and removed gas can be discharged from the space 64 through the respective through-holes 62.
1 and in a direction intersecting the discharge electrodes 60 and the directions along each discharge electrode 60, as well as the ground electrode 6
The gas from which dust has been removed can be passed at a large flow rate from the first side in a direction intersecting each discharge electrode 60 to process the gas. At the same time, the surface area of the ground electrode 61 can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size where a plurality of through holes are not formed, thereby reducing the capacitance between each discharge electrode 60 and the ground electrode 61. As a result, the time required for discharge is shortened, non-equilibrium plasma is easily generated, and high-speed electrons can be easily obtained.

【0051】また前記複数の透孔62が形成される板状
体であるアース電極61は、波板状に形成されるので、
アース電極61が平板状に形成されているときよりも放
電電極60およびアース電極61間で高速の電子が得ら
れる領域が増え、アース電極61が平板状に形成されて
いるときよりも、ガスを処理する能力が向上し、構成が
簡単でかつ安価なプラズマ発生手段4を形成することが
できる。
The ground electrode 61, which is a plate-like body in which the plurality of through holes 62 are formed, is formed in a corrugated plate shape.
The region where high-speed electrons can be obtained between the discharge electrode 60 and the ground electrode 61 is increased as compared with the case where the ground electrode 61 is formed in a flat plate shape. The processing ability is improved, and the plasma generating means 4 having a simple configuration and a low cost can be formed.

【0052】さらにアース電極61を波板状に形成する
ことによって、アース電極61が平板状に形成されてい
るときよりも各アース電極61間の間隔を小さくして波
板状のアース電極61を配置することができ、プラズマ
発生手段4を小形化することができる。
Further, by forming the earth electrode 61 in a corrugated plate shape, the interval between the ground electrodes 61 is made smaller than when the earth electrode 61 is formed in a flat plate shape, and the corrugated earth electrode 61 is formed. They can be arranged, and the size of the plasma generating means 4 can be reduced.

【0053】さらに相互に隣接する各放電電極60間の
中央部には第2のアース電極63が配置されるので、放
電電極60およびアース電極61間で高速の電子が得ら
れるとともに、放電電極60および第2のアース電極6
3間においても高速の電子を得ることができ、プラズマ
発生手段4がガスを処理する能力をさらに向上させるこ
とができる。
Further, since the second earth electrode 63 is disposed at the center between the mutually adjacent discharge electrodes 60, high-speed electrons can be obtained between the discharge electrode 60 and the earth electrode 61, and the discharge electrode 60 And the second ground electrode 6
High-speed electrons can be obtained even between the three, and the ability of the plasma generating means 4 to process gas can be further improved.

【0054】本実施形態において第2のアース電極63
は断面形状が四角形状に形成される線状体からなってい
るが、これに代えて断面形状が円形状の線状体から成っ
ていてもよく、また帯板から成っていてもよい。さらに
この帯板に透孔が形成されていてもよい。さらに、第2
のアース電極63は相互に隣接する各放電電極60間の
中央部に1つ設けられているが、複数設けられていても
よい。
In this embodiment, the second ground electrode 63
Is made of a linear body having a square cross section, but may be made of a linear body having a circular cross section or a strip. Further, a through hole may be formed in this band plate. Furthermore, the second
Although one earth electrode 63 is provided at the center between the discharge electrodes 60 adjacent to each other, a plurality of earth electrodes 63 may be provided.

【0055】また本実施形態において、アース電極61
は複数の透孔62が形成される波板状の板状体から成っ
ているが、これに代えて、複数の透孔が形成されていな
い波板状の板状体から成っていてもよい。
In the present embodiment, the ground electrode 61
Is made of a corrugated plate having a plurality of through-holes 62 formed therein, but may alternatively be made of a corrugated plate having no plurality of through-holes formed therein. .

【0056】図8は本発明の実施のさらに他の形態であ
る浄化装置70の構成を簡略化して示す断面図であり、
図9は図8の切断面線IX−IXから見た拡大断面図で
あり、図10はバグフィルタ72付近の構成を簡略化し
て示す拡大縦断面図である。本実施形態において前述の
実施形態の構成に対応する部分には同一の参照符を付
す。浄化装置70は、ハウジング71と、集塵手段であ
るバグフィルタ72と、プラズマ発生手段4と、塵埃回
収手段100とを含む。ハウジング71は、ほぼ水平に
延び、四角形状に形成される端板71aと、端板71a
の長手方向両端部と長手方向に垂直な幅方向両端部とか
ら鉛直下方に延びる4つの側板71bと、各側板71b
の下端部に連なり、鉛直下方に向かうにつれて近接する
方向に傾斜する案内面を有するホッパ部73とを含む。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a simplified structure of a purifying apparatus 70 according to still another embodiment of the present invention.
FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view taken along section line IX-IX of FIG. 8, and FIG. 10 is an enlarged vertical cross-sectional view showing a simplified configuration around the bag filter 72. In this embodiment, portions corresponding to the configuration of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals. The cleaning device 70 includes a housing 71, a bag filter 72 serving as dust collecting means, a plasma generating means 4, and a dust collecting means 100. The housing 71 includes an end plate 71a extending substantially horizontally and formed in a square shape, and an end plate 71a.
And four side plates 71b extending vertically downward from both ends in the longitudinal direction and both ends in the width direction perpendicular to the longitudinal direction.
And a hopper 73 having a guide surface inclined in a direction approaching vertically downward.

【0057】各側板71bには、端板71aに間隔をあ
けて仕切り板76が設けられる。仕切り板76は、その
周縁部76aが各側板71bの上部に気密に固定され
る。仕切り板76には、全面にわたって相互に間隔をあ
けて複数の透孔79が形成される。このようにしてハウ
ジング71の内部空間75は、仕切り板76によって煤
塵などの塵埃を含むガスが供給される第1空間77と、
処理後のガスが供給される第2空間78とに仕切られ
る。
Each side plate 71b is provided with a partition plate 76 spaced from the end plate 71a. The peripheral part 76a of the partition plate 76 is air-tightly fixed to the upper part of each side plate 71b. A plurality of through holes 79 are formed in the partition plate 76 at intervals over the entire surface. In this manner, the internal space 75 of the housing 71 includes a first space 77 to which a gas containing dust such as dust is supplied by the partition plate 76,
It is partitioned into a second space 78 to which the processed gas is supplied.

【0058】バグフィルタ72は、たとえばガラス繊維
から成り、袋状に形成される。バグフィルタ72の上端
部は、仕切り板76に気密に設けられる取付手段93に
外挿され、したがってバグフィルタ72が仕切り板76
から垂れ下がり、バグフィルタ72の内部空間と第2空
間78とが各透孔79を介して連通する。ハウジング7
1の上部には、端板71aと、各側板71bの上部71
b1と、仕切り板76と、取付手段93とによってヘッ
ダ92が形成される。さらにハウジング71の下部のバ
グフィルタ72の下端部よりも下方には、煤塵などの塵
埃を含むガスを第1空間77に供給する供給管路80が
接続される。
The bag filter 72 is made of, for example, glass fiber and is formed in a bag shape. The upper end of the bag filter 72 is extrapolated to a mounting means 93 which is provided on the partition plate 76 in an airtight manner.
, And the internal space of the bag filter 72 and the second space 78 communicate with each other through the through holes 79. Housing 7
1, an end plate 71a and an upper portion 71 of each side plate 71b.
A header 92 is formed by b1, the partition plate 76, and the mounting means 93. Further, below the lower end of the bag filter 72 at the lower portion of the housing 71, a supply pipe 80 for supplying a gas containing dust such as dust to the first space 77 is connected.

【0059】取付手段93は、端板76の各透孔79の
周縁部から鉛直下方に延びる筒状の取付体94と、前記
取付体94の外周面に当接し、外挿されたバグフィルタ
72の内周面を支持し、バグフィルタ72を補強する網
状の補強体95と、バグフィルタ72の上部の外周面に
当接し、バグフィルタ72を補強体95を介して取付体
94に締結して保持する保持体96とを含む。バグフィ
ルタ72の上端面と仕切り板76の下方に臨む一表面と
の間には、パッキン97が介在され、第1空間77とヘ
ッダ92の内部空間である第2空間78との間の気密状
態を保持する。
The mounting means 93 includes a cylindrical mounting body 94 extending vertically downward from the peripheral edge of each through hole 79 of the end plate 76, and an externally inserted bag filter 72 abutting on the outer peripheral surface of the mounting body 94. And a mesh-like reinforcing member 95 for supporting the inner peripheral surface of the bag filter 72 and reinforcing the bag filter 72, and abutting on the outer peripheral surface of the upper portion of the bag filter 72, and fastening the bag filter 72 to the mounting body 94 via the reinforcing member 95. And a holding body 96 for holding. A packing 97 is interposed between the upper end surface of the bag filter 72 and one surface facing the lower side of the partition plate 76, and an airtight state between the first space 77 and the second space 78 which is an internal space of the header 92. Hold.

【0060】プラズマ発生手段4は、非平衡プラズマを
発生させる非平衡プラズマ発生部27を含み、非平衡プ
ラズマ発生部27は、図2および図3に示される構成と
同一の構成を有する複数の放電電極40と、複数のアー
ス電極41と、電源98とを含む。バグフィルタ72は
各アース電極41を外囲し、相互に接触しないように間
隔をあけてそれぞれ設けられる。
The plasma generating means 4 includes a non-equilibrium plasma generating section 27 for generating non-equilibrium plasma. The non-equilibrium plasma generating section 27 has a plurality of discharges having the same configuration as those shown in FIGS. It includes an electrode 40, a plurality of ground electrodes 41, and a power supply 98. The bag filters 72 surround the respective ground electrodes 41 and are provided at intervals so as not to contact each other.

【0061】導気手段74は、少なくとも取付手段93
と、ヘッダ92と、第1管路81と、吸引ファン82
と、第2管路83と、第1開閉弁90とを含む。厳密に
いえば導気手段74は、供給管路80と、ヘッダ92を
含むハウジング71と、取付手段93と、第1管路81
と、吸引ファン82と、第2管路83と、第1開閉弁9
0と、第2開閉弁86と、第3管路84と、複数の第3
開閉弁87と、複数の第4管路85とを含む。
The air guiding means 74 includes at least the mounting means 93
, Header 92, first conduit 81, suction fan 82
, A second conduit 83, and a first on-off valve 90. Strictly speaking, the air guiding means 74 includes a supply pipe 80, a housing 71 including a header 92, a mounting means 93, and a first pipe 81.
, Suction fan 82, second conduit 83, first on-off valve 9
0, the second on-off valve 86, the third conduit 84, and a plurality of third
An on-off valve 87 and a plurality of fourth conduits 85 are included.

【0062】第1管路81は、その一端部がヘッダ92
を構成する端板71aに接続され、他端部が吸引ファン
82の供給口に接続されてヘッダ92内の第2空間78
と吸引ファン82内の空間とを連通する。吸引ファン8
2の排気口には、第2管路83が接続される。第2管路
83には、ガスの流下方向下流側に第3管路84が接続
される。また第2管路83には、第2管路83と第3管
路84との接続位置89よりもガスの流下方向下流側に
第1開閉弁90が介在される。
One end of the first conduit 81 has a header 92.
, And the other end is connected to the supply port of the suction fan 82 so that the second space 78 in the header 92 is connected.
And the space in the suction fan 82. Suction fan 8
A second pipe 83 is connected to the second exhaust port. A third pipe 84 is connected to the second pipe 83 on the downstream side in the gas flowing direction. Further, a first opening / closing valve 90 is interposed in the second conduit 83 on the downstream side in the gas flow-down direction from the connection position 89 between the second conduit 83 and the third conduit 84.

【0063】第3管路84には、一端部が第3管路84
の流下方向下流側にそれぞれ接続され、他端部が放電電
極40とアース電極41との間の空間である各アース電
極41によって囲まれた空間43に臨んでそれぞれ配置
される複数の第4管路85が設けられる。第3管路84
のガスの流下方向上流側には、第2開閉弁86が介在さ
れる。各第4管路85には、第3開閉弁87がそれぞれ
介在される。集塵手段は、バグフィルタ72と上述の導
気手段74とを含んで構成される。
One end of the third conduit 84 is connected to the third conduit 84.
A plurality of fourth tubes respectively connected to the downstream side in the flow-down direction, and each of which has the other end facing a space 43 surrounded by each ground electrode 41 which is a space between the discharge electrode 40 and the ground electrode 41. A road 85 is provided. Third conduit 84
A second on-off valve 86 is interposed on the upstream side of the gas flow direction. In each of the fourth conduits 85, a third on-off valve 87 is interposed. The dust collecting means includes a bag filter 72 and the above-described air guiding means 74.

【0064】塵埃回収手段100は、前記ホッパ部73
と、スクリューコンベヤ101と、ロータリフィーダ1
02と、排出口103とを含む。スクリューコンベヤ1
01は、ホッパ部73の下部に設けられ、図8の紙面に
垂直な水平軸線まわりに回転駆動され、ホッパ部73に
貯留された塵埃を排出口73aに移送する。ロータリフ
ィーダ102は、ホッパ部73の排出口73aの下方に
設けられ、ケーシング105内で回転駆動されるロータ
106が設けられるロータリバルブ107と、前記ロー
タ106を所定の回転速度で回転駆動するモータ108
とを有し、スクリューコンベヤ101によって移送され
た塵埃をロータリフィーダ102の下方に設けられる排
出口103に移送し、排出する。さらに詳しく述べる
と、スクリューコンベヤ101を定期的または所定の貯
留量に達したときに駆動して、塵埃を含む粉粒体をスク
リューコンベヤ101によって強制的に排出してロータ
リフィーダ102に導き、ケーシング105内のガスを
漏出することなく排出口103から排出することができ
る。
The dust collecting means 100 includes the hopper 73
, Screw conveyor 101 and rotary feeder 1
02 and an outlet 103. Screw conveyor 1
Numeral 01 is provided below the hopper 73 and is driven to rotate about a horizontal axis perpendicular to the plane of FIG. 8 to transfer the dust stored in the hopper 73 to the discharge port 73a. The rotary feeder 102 is provided below the discharge port 73a of the hopper 73, and is provided with a rotary valve 107 provided with a rotor 106 that is rotationally driven in a casing 105, and a motor 108 that rotationally drives the rotor 106 at a predetermined rotational speed.
The dust transported by the screw conveyor 101 is transported to a discharge port 103 provided below the rotary feeder 102 and discharged. More specifically, the screw conveyor 101 is driven periodically or when a predetermined storage amount is reached, and the powder or dust containing dust is forcibly discharged by the screw conveyor 101 and guided to the rotary feeder 102, and the casing 105 The gas inside can be discharged from the discharge port 103 without leaking.

【0065】第1開閉弁90が開放され、第2開閉弁8
6および各第3開閉弁87が閉鎖されているときに吸引
ファン82が運転されると、ヘッダ92内の空間である
第2空間78の圧力は負圧となって、バグフィルタ72
によって囲まれた空間が負圧とされ、供給管路80から
煤塵などの塵埃を含むガスが第1空間77に供給され
る。供給された前記ガスは、バグフィルタ72の周囲か
らバグフィルタ72に導かれ、バグフィルタ72によっ
て前記ガスから煤塵などの塵埃を除去する。煤塵などの
塵埃が除去されたガスは、アース電極41によって囲ま
れた空間43に導かれる。アース電極41によって囲ま
れた空間43に導かれたガスは、放電電極40およびア
ース電極41間に発生する非平衡プラズマによって塵埃
が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を分解除
去する。この処理後のガス、すなわち清浄な空気はアー
ス電極41の軸線方向上方に導かれ、透孔79を介して
第2空間78に導かれ、第1管路81、吸引ファン82
および第2管路83および第1開閉弁90を介して予め
定める放出位置88に放出される。
The first on-off valve 90 is opened and the second on-off valve 8 is opened.
When the suction fan 82 is operated while the valve 6 and each of the third on-off valves 87 are closed, the pressure in the second space 78, which is the space in the header 92, becomes a negative pressure and the bag filter 72.
The space surrounded by the pressure is negative pressure, and gas containing dust such as dust is supplied to the first space 77 from the supply pipe 80. The supplied gas is guided from around the bag filter 72 to the bag filter 72, and the bag filter 72 removes dust such as dust from the gas. The gas from which dust such as dust has been removed is guided to a space 43 surrounded by a ground electrode 41. The gas guided to the space 43 surrounded by the ground electrode 41 decomposes and removes odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed by the non-equilibrium plasma generated between the discharge electrode 40 and the ground electrode 41. The gas after this treatment, that is, clean air, is guided upward in the axial direction of the ground electrode 41, guided to the second space 78 through the through-hole 79, and the first pipe 81 and the suction fan 82.
And, it is discharged to a predetermined discharge position 88 via the second conduit 83 and the first on-off valve 90.

【0066】またバグフィルタ72に捕集された塵埃を
回収するには、第1開閉弁90を閉鎖し、第2開閉弁8
6を開放して、塵埃を回収しようとするバグフィルタ7
2に対応する第3開閉弁87を開放することによって、
第2管路83を流れる清浄な空気を第3管路84に導
き、選択された第3開閉弁87を介して選択された第4
管路85に導き、アース電極41によって囲まれた空間
43に導く。前記空間43に導かれた清浄な空気は、バ
グフィルタ72の内方から外方に向かって放出され、バ
グフィルタ72に捕捉された塵埃を吹き払う。吹き払わ
れた塵埃は、ホッパ部73に落下して貯留された後、ロ
ータリフィーダ102を介して排出口103から回収さ
れる。
To collect the dust collected by the bag filter 72, the first on-off valve 90 is closed and the second on-off valve 8 is closed.
6 to open the bag filter to collect dust
By opening the third on-off valve 87 corresponding to No. 2,
The clean air flowing through the second pipe 83 is guided to the third pipe 84, and the fourth air selected via the third on-off valve 87 is selected.
It is guided to a pipe 85 and to a space 43 surrounded by a ground electrode 41. The clean air guided to the space 43 is released from the inside of the bag filter 72 to the outside, and blows off the dust captured by the bag filter 72. The dust blown off falls into the hopper 73 and is stored, and then collected from the outlet 103 via the rotary feeder 102.

【0067】前記集塵手段はアース電極41を外囲する
バグフィルタ72であり、前記集塵手段はアース電極4
1によって囲まれた空間43から予め定める放出位置8
8に処理後のガスを導く導気手段74を含むので、導気
手段74の吸引ファン82によってバグフィルタ72内
は負圧とされ、バグフィルタ72の周囲の煤塵などの塵
埃を含むガスをバグフィルタ72に導き、塵埃が除去さ
れたガスをアース電極41によって囲まれた空間43に
導いて、放電電極40およびアース電極41間に発生す
る非平衡プラズマによって塵埃が除去されたガス中の臭
気成分および有害成分を分解除去し、この処理後のガス
をアース電極41の軸線方向上方に導いて、予め定める
放出位置88に導くことができる。またアース電極41
の周囲にバグフィルタ72が設けられることによって、
図1〜図7に示される本発明の実施の形態と比較して構
成が簡略化され、集塵手段をプラズマ発生手段4の近傍
に配置することが可能となり、これによって図1〜図7
に示される本発明の実施の形態と比較して浄化装置70
の小形化を図ることができる。さらにバグフィルタ72
に導かれる前記塵埃を含むガスはバグフィルタ72の周
囲から導かれるので、バグフィルタ72の設置位置にか
かわらず、ほぼ均等に塵埃を捕集することができるとと
もに、導気手段74には処理後のガスが導かれるので、
導気手段74、特に吸引ファン82の汚損が少ない。
The dust collecting means is a bag filter 72 surrounding the ground electrode 41, and the dust collecting means is a ground filter 4.
A predetermined discharge position 8 from the space 43 surrounded by 1
8, the air inside the bag filter 72 is set to a negative pressure by the suction fan 82 of the air guide 74, and the gas containing dust such as dust around the bag filter 72 is removed. The gas from which the dust has been removed is led to the space 43 surrounded by the ground electrode 41, and the odor component in the gas from which the dust has been removed by the non-equilibrium plasma generated between the discharge electrode 40 and the ground electrode 41. The harmful components are decomposed and removed, and the gas after the treatment can be guided upward in the axial direction of the ground electrode 41, and can be guided to a predetermined discharge position 88. Also the earth electrode 41
The bag filter 72 is provided around the
The configuration is simplified as compared with the embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 7, and the dust collecting means can be arranged near the plasma generating means 4.
Purification device 70 in comparison with the embodiment of the present invention shown in FIG.
Can be reduced in size. Furthermore, a bag filter 72
Since the dust-containing gas guided to the bag filter is guided from around the bag filter 72, the dust can be collected almost uniformly regardless of the installation position of the bag filter 72, and the air guiding means 74 is provided with the post-treatment gas. Gas is led,
The air guide means 74, particularly the suction fan 82, is less contaminated.

【0068】図1〜図10に示される本発明の実施の形
態において、放電電極40,50,60、アース電極4
1,51,61および第2のアース電極63は、鋼から
成っているが、これに代えて、銅またはアルミニウムな
どの他の導電性を有する材料から成っていてもよい。
In the embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 10, the discharge electrodes 40, 50, 60 and the ground electrode 4
1, 51, 61 and the second earth electrode 63 are made of steel, but may be made of another conductive material such as copper or aluminum instead.

【0069】アース電極41,51,61は、その透孔
42,52,62を機械加工によって板状体を打ち抜い
て形成してもよいし、またアース電極41,51,61
にラス板または金網を用いてもよい。
The earth electrodes 41, 51, 61 may be formed by punching a plate-like body through the through holes 42, 52, 62 by machining, or the earth electrodes 41, 51, 61.
Alternatively, a lath plate or a wire net may be used.

【0070】図2〜図10に示される本発明の実施の形
態において、放電電極40,50,60は断面形状が円
形状であるが、これに限られるものではなく、環状、多
角形状などの他の形状であってもよい。
In the embodiment of the present invention shown in FIGS. 2 to 10, the discharge electrodes 40, 50, and 60 have a circular cross section, but are not limited thereto. Other shapes may be used.

【0071】図8〜図10に示される本発明の実施の形
態において、バグフィルタ72は各アース電極41を外
囲してそれぞれ設けられているが、本発明の実施のさら
に他の形態として、複数のアース電極41を外囲するよ
うに1つのバグフィルタ72を設けてもよい。このよう
に構成することによってバグフィルタ72の取付作業が
容易になる。
In the embodiment of the present invention shown in FIGS. 8 to 10, the bag filter 72 is provided so as to surround each ground electrode 41. However, as still another embodiment of the present invention, One bag filter 72 may be provided so as to surround a plurality of ground electrodes 41. With this configuration, the work of attaching the bag filter 72 is facilitated.

【0072】また図8〜図10に示される本発明の実施
の形態において、バグフィルタ72に捕集された塵埃を
バグフィルタ72から除去するには、予め定める放出位
置88に導かれる清浄な空気をアース電極41によって
囲まれた空間43に導いて、バグフィルタ72の内方か
ら外方に向かって放出しているが、これに代えて、バグ
フィルタ72を振動させることによって塵埃を除去して
もよい。
Further, in the embodiment of the present invention shown in FIGS. 8 to 10, in order to remove dust collected by the bag filter 72 from the bag filter 72, clean air guided to a predetermined discharge position 88 is used. Is guided to the space 43 surrounded by the ground electrode 41 and is emitted outward from the inside of the bag filter 72. Instead, the dust is removed by vibrating the bag filter 72. Is also good.

【0073】さらに図8〜図10に示される本発明の実
施の形態において、煤塵などの塵埃を含むガスは吸引フ
ァン82によってヘッダ92内の清浄な空気を吸引して
ヘッダ92内を負圧とすることによって第1空間77に
供給しているが、これに代えて、供給管路80のガスの
流下方向上流側に送風ファンを設け、ヘッダ92を大気
開放して前記ガスを第1空間77に供給してもよい。さ
らに送風ファンを用いず、前記ガスの排気圧によって第
1空間77に供給してもよい。
Further, in the embodiment of the present invention shown in FIGS. 8 to 10, gas containing dust such as dust is sucked by the suction fan 82 into the clean air in the header 92 to reduce the pressure in the header 92 to a negative pressure. However, the gas is supplied to the first space 77, but instead, a blower fan is provided on the upstream side in the gas flowing direction of the supply pipe 80, the header 92 is opened to the atmosphere, and the gas is supplied to the first space 77. May be supplied. Further, the gas may be supplied to the first space 77 by the exhaust pressure of the gas without using a blower fan.

【0074】さらに図8〜図10に示される本発明の実
施の形態において、バグフィルタ72は円筒状のアース
電極41を外囲して設けられているが、これに代えて、
図4〜図7に示される平板状または波板状のアース電極
51,61、もしくは第2のアース電極63が設けられ
た平板状または波板状のアース電極51,61を外囲し
て設けられていてもよい。
Further, in the embodiment of the present invention shown in FIGS. 8 to 10, the bag filter 72 is provided so as to surround the cylindrical ground electrode 41.
The plate-like or corrugated earth electrodes 51, 61 shown in FIGS. 4 to 7 or the plate-like or corrugated earth electrodes 51, 61 provided with the second ground electrode 63 are provided so as to surround them. It may be.

【0075】[0075]

【発明の効果】請求項1記載の本発明によれば、集塵手
段は煤塵などの塵埃を含むガス、たとえば煤塵などの塵
埃と臭気成分および有害成分とを含む空気から塵埃を捕
集して除去し、プラズマ発生手段には塵埃が除去された
ガスだけが供給されるので、放電によって発生したプラ
ズマによって塵埃が除去されたガス中の臭気成分および
有害成分を分解して除去することができ、プラズマ発生
手段の清掃などの手間がかからず、浄化装置の保守管理
を容易にすることができる。
According to the first aspect of the present invention, the dust collecting means collects dust from gas containing dust such as dust, for example, dust including dust and air containing odor components and harmful components. Since only the gas from which dust has been removed is supplied to the plasma generating means, the odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed by the plasma generated by the discharge can be decomposed and removed, This eliminates the need for cleaning of the plasma generating means and facilitates maintenance and management of the purification device.

【0076】請求項2記載の本発明によれば、前記プラ
ズマ発生手段は放電電極およびアース電極間のガスを放
電によって電子とイオンとに電離させ、電子の電子温度
がイオンのイオン温度に比べて高い状態で電子とイオン
とが熱力学的に平衡していない状態のプラズマである非
平衡プラズマを発生させるので、放電によって発生する
各電極間のプラズマの温度が常温に保たれた状態で高速
の電子を得ることができ、この高速の電子を塵埃が除去
されたガス中の臭気成分および有害成分に衝突させてラ
ジカルを形成し、化学反応を起こさせてガス中の臭気成
分および有害成分を除去することができる。また放電に
よって発生する各電極間のプラズマの温度は常温に保た
れているので、プラズマ発生手段に冷却手段などを設け
る必要がなく、またプラズマ発生手段から排出されるガ
スの温度も常温に保たれ、熱プラズマを用いるときのよ
うに高温のガスが排出されることがなく、排出されるガ
スの冷却手段などを設ける必要がなく、構成の簡略化を
図ることができる。
According to the present invention, the plasma generating means ionizes the gas between the discharge electrode and the ground electrode into electrons and ions by discharging, and the electron temperature of the electrons is lower than the ion temperature of the ions. Since non-equilibrium plasma, which is a plasma in which electrons and ions are not thermodynamically equilibrated in a high state, is generated, high-speed plasma is generated with the temperature of the plasma between the electrodes generated by discharge kept at room temperature. Electrons can be obtained, and these high-speed electrons collide with the odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed to form radicals, causing a chemical reaction to remove the odorous and harmful components in the gas. can do. Further, since the temperature of the plasma between the electrodes generated by the discharge is maintained at a normal temperature, there is no need to provide a cooling means or the like in the plasma generation means, and the temperature of the gas discharged from the plasma generation means is also maintained at a normal temperature. In addition, unlike the case of using thermal plasma, a high-temperature gas is not discharged, and there is no need to provide a cooling means for the discharged gas, so that the configuration can be simplified.

【0077】請求項3記載の本発明によれば、前記アー
ス電極には複数の透孔が形成されるので、塵埃が除去さ
れたガスを各透孔を介して非平衡プラズマが発生するア
ース電極によって囲まれた空間に供給して、前記ガス中
の臭気成分の分子および有害成分の分子を分解除去し、
この分解除去したガスを前記空間から各透孔を介して排
出することができ、アース電極の軸線方向だけでなくこ
の軸線方向に交差する方向に塵埃が除去されたガスを通
過させることができるとともに、アース電極の表面積を
複数の透孔が形成されていない同一寸法のアース電極の
表面積よりも小さくすることができ、これによって放電
電極およびアース電極間の静電容量を小さくして放電に
要する時間を短縮し、非平衡プラズマを発生させやすく
して、高速の電子を得ることができる。
According to the third aspect of the present invention, since a plurality of through holes are formed in the earth electrode, the gas from which dust has been removed is supplied to the earth electrode through which the non-equilibrium plasma is generated. Is supplied to the space surrounded by to decompose and remove the molecules of the odor component and the molecules of the harmful component in the gas,
The gas that has been decomposed and removed can be discharged from the space through each through-hole, and the gas from which dust has been removed can pass not only in the axial direction of the ground electrode but also in a direction intersecting with this axial direction. The surface area of the ground electrode can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size in which a plurality of through holes are not formed, thereby reducing the capacitance between the discharge electrode and the ground electrode and the time required for discharge. Is shortened, non-equilibrium plasma is easily generated, and high-speed electrons can be obtained.

【0078】請求項4記載の本発明によれば、前記アー
ス電極には複数の透孔が形成されるので、塵埃が除去さ
れたガスを各透孔を介して非平衡プラズマが発生する各
放電電極およびアース電極間の空間に供給して、前記ガ
ス中の臭気成分および有害成分を分解除去し、この分解
除去したガスを前記空間から各透孔を介して排出するこ
とができ、アース電極に平行な方向でかつ放電電極に交
差する方向および各放電電極に沿う方向だけでなく、ア
ース電極側から各放電電極に交差する方向に塵埃が除去
されたガスを大きな流量で通過させて前記ガスを処理す
ることができるとともに、アース電極の表面積を複数の
透孔が形成されていない同一寸法のアース電極の表面積
よりも小さくすることができ、これによって各放電電極
およびアース電極間の静電容量を小さくして放電に要す
る時間を短縮して非平衡プラズマを発生させやすくし
て、高速の電子を得ることができる。
According to the fourth aspect of the present invention, since a plurality of through holes are formed in the ground electrode, the gas from which dust has been removed is discharged through each through hole to generate a non-equilibrium plasma. It is supplied to the space between the electrode and the earth electrode to decompose and remove odorous components and harmful components in the gas, and the decomposed and removed gas can be discharged from the space through each through-hole, and can be discharged to the ground electrode. The gas from which dust has been removed is passed at a large flow rate in a direction parallel to each discharge electrode in a direction parallel to the discharge electrode and along each discharge electrode, as well as in a direction crossing each discharge electrode from the ground electrode side. And the surface area of the ground electrode can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size where a plurality of through holes are not formed. It can be of a capacitance smaller to to shorten the time required for discharge and easy to generate non-equilibrium plasma, obtaining a high-speed electrons.

【0079】請求項5記載の本発明によれば、前記複数
の透孔が形成される板状体は平板状に形成されるので、
入手が容易な平板状の板状体をアース電極として用いる
ことができ、これによって構成が簡単でかつ安価なプラ
ズマ発生手段を形成することができる。
According to the fifth aspect of the present invention, since the plate-like body in which the plurality of through holes are formed is formed in a flat plate shape,
An easily available flat plate-like body can be used as the ground electrode, whereby a simple and inexpensive plasma generating means can be formed.

【0080】請求項6記載の本発明によれば、前記複数
の透孔が形成される板状体は波板状に形成されるので、
板状体が平板状に形成されているときよりも放電電極お
よびアース電極間で高速の電子が得られる領域が増え、
これによって板状体が平板状に形成されているときより
もガスを処理する能力が向上し、構成が簡単でかつ安価
なプラズマ発生手段を形成することができる。また前記
板状体を波板状に形成することによって板状体が平板状
に形成されているときよりも各アース電極間の間隔を小
さくして波板状のアース電極を配置することができ、プ
ラズマ発生手段を小形化することができる。
According to the sixth aspect of the present invention, since the plate-like body in which the plurality of through holes are formed is formed in a corrugated shape,
The area where high-speed electrons can be obtained between the discharge electrode and the ground electrode increases when the plate-like body is formed in a plate shape,
Thereby, the gas processing ability is improved as compared with the case where the plate-like body is formed in a plate-like shape, and a simple and inexpensive plasma generating means can be formed. Further, by forming the plate-like body in a corrugated shape, the interval between the ground electrodes can be made smaller than when the plate-like body is formed in a flat shape, and the corrugated earth electrode can be arranged. In addition, the size of the plasma generating means can be reduced.

【0081】請求項7記載の本発明によれば、相互に隣
接する各放電電極間の中央部には第2のアース電極が配
置されるので、放電電極およびアース電極間で高速の電
子が得られるとともに、放電電極および第2のアース電
極間においても高速の電子を得ることができ、ガスを処
理する能力をさらに向上させることができる。
According to the present invention, since the second earth electrode is disposed at the center between the mutually adjacent discharge electrodes, high-speed electrons can be obtained between the discharge electrode and the earth electrode. At the same time, high-speed electrons can be obtained between the discharge electrode and the second earth electrode, and the ability to process gas can be further improved.

【0082】請求項8記載の本発明によれば、前記集塵
手段は前記アース電極を外囲するバグフィルタであるの
で、バグフィルタの周囲から煤塵などの塵埃を含むガス
をバグフィルタに導き、バグフィルタによって煤塵など
の塵埃を捕集し、塵埃が除去されたガスを放電電極とア
ース電極との間の空間に導いて、放電電極およびアース
電極間に発生するプラズマによって塵埃が除去されたガ
ス中の臭気成分および有害成分を分解除去することがで
きる。またバグフィルタに導かれる前記塵埃を含むガス
は、バグフィルタの周囲から導かれるので、バグフィル
タの設置位置にかかわらず、ほぼ均等に塵埃を捕集する
ことができる。
According to the present invention, since the dust collecting means is a bag filter surrounding the ground electrode, a gas containing dust such as dust is guided to the bag filter from around the bag filter. A bag filter collects dust such as dust, guides the dust-removed gas to the space between the discharge electrode and the ground electrode, and removes the dust from the plasma generated between the discharge electrode and the ground electrode. It can decompose and remove odor components and harmful components. Further, since the gas containing dust guided to the bag filter is guided from around the bag filter, dust can be collected substantially uniformly regardless of the installation position of the bag filter.

【0083】請求項9記載の本発明によれば、集塵手段
は前記放電電極と前記アース電極との間の空間から予め
定める放出位置に処理後のガスを導く導気手段を含むの
で、導気手段によってバグフィルタの周囲の煤塵などの
塵埃を含むガスをバグフィルタに導き、バグフィルタに
よって煤塵などの塵埃を捕集し、塵埃が除去されたガス
を放電電極とアース電極との間の空間に導いて、放電電
極およびアース電極間に発生するプラズマによって塵埃
が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を分解除
去し、この処理後のガスをたとえばアース電極の軸線方
向に導いて予め定める放出位置に導くことができる。ま
た導気手段には処理後のガスが導かれるので、導気手段
の汚損が少ない。
According to the ninth aspect of the present invention, since the dust collecting means includes the air guiding means for guiding the treated gas from the space between the discharge electrode and the earth electrode to a predetermined discharge position, The gas containing dust such as dust around the bag filter is guided to the bag filter by the air means, the dust such as dust is collected by the bag filter, and the gas from which the dust has been removed is transferred to the space between the discharge electrode and the ground electrode. To decompose and remove odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed by the plasma generated between the discharge electrode and the ground electrode, and guide the gas after this treatment, for example, in the axial direction of the ground electrode. It can be guided to the discharge position. In addition, since the treated gas is guided to the air guiding means, the air guiding means is less contaminated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の一形態である浄化装置1の構成
を簡略化して示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a simplified configuration of a purification device 1 according to an embodiment of the present invention.

【図2】浄化装置1に備えられる非平衡プラズマ発生部
27の放電電極40およびアース電極41を簡略化して
示す正面図である。
FIG. 2 is a simplified front view showing a discharge electrode 40 and a ground electrode 41 of the non-equilibrium plasma generation unit 27 provided in the purification device 1.

【図3】図2の切断面線III−IIIから見た断面図
である。
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. 2;

【図4】本発明の実施の他の形態である浄化装置に備え
られる非平衡プラズマ発生部27aの放電電極50およ
びアース電極51を簡略化して示す正面図である。
FIG. 4 is a simplified front view showing a discharge electrode 50 and a ground electrode 51 of a non-equilibrium plasma generation section 27a provided in a purification apparatus according to another embodiment of the present invention.

【図5】図4の切断面線V−Vから見た断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG. 4;

【図6】本発明の実施のさらに他の形態である浄化装置
に備えられる非平衡プラズマ発生部27bの放電電極6
0ならびにアース電極61および第2のアース電極63
を簡略化して示す正面図である。
FIG. 6 shows a discharge electrode 6 of a non-equilibrium plasma generation unit 27b provided in a purification apparatus according to still another embodiment of the present invention.
0 and the ground electrode 61 and the second ground electrode 63
FIG.

【図7】図6の切断面線VII−VIIから見た断面図
である。
FIG. 7 is a sectional view taken along section line VII-VII of FIG. 6;

【図8】本発明の実施のさらに他の形態である浄化装置
70の構成を簡略化して示す断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a simplified configuration of a purification device 70 according to still another embodiment of the present invention.

【図9】図8の切断面線IX−IXから見た拡大断面図
である。
FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view as viewed from a section line IX-IX in FIG. 8;

【図10】バグフィルタ72付近の構成を簡略化して示
す拡大縦断面図である。
FIG. 10 is an enlarged vertical cross-sectional view showing a simplified configuration around a bag filter 72.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,70 浄化装置 3 集塵手段 4 プラズマ発生手段 40,50,60 放電電極 41,51,61 アース電極 42,52,62 透孔 43 アース電極内の空間 63 第2のアース電極 1,70 Purification device 3 Dust collecting means 4 Plasma generating means 40,50,60 Discharge electrode 41,51,61 Ground electrode 42,52,62 Through hole 43 Space in ground electrode 63 Second ground electrode

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 煤塵などの塵埃を含むガスが供給され、
このガスから塵埃を捕集して除去する集塵手段と、 塵埃が除去されたガスが供給され、放電電極およびアー
ス電極間の放電によってプラズマを発生するプラズマ発
生手段とを含むことを特徴とする浄化装置。
1. A gas containing dust such as dust is supplied,
Dust collecting means for collecting and removing dust from the gas, and plasma generating means for supplying a gas from which dust has been removed and generating plasma by discharge between a discharge electrode and a ground electrode. Purification device.
【請求項2】 前記プラズマ発生手段は、非平衡プラズ
マを発生させることを特徴とする請求項1記載の浄化装
置。
2. The purifying apparatus according to claim 1, wherein said plasma generating means generates non-equilibrium plasma.
【請求項3】 前記放電電極は線状体から成り、 前記アース電極は複数の透孔が形成される筒状体から成
り、アース電極によって囲まれた空間には同軸に放電電
極が配置されることを特徴とする請求項2記載の浄化装
置。
3. The discharge electrode is formed of a linear body, the ground electrode is formed of a cylindrical body having a plurality of through-holes, and the discharge electrode is disposed coaxially in a space surrounded by the ground electrode. The purification device according to claim 2, wherein:
【請求項4】 前記放電電極は線状体から成り、かつ相
互に間隔をあけて複数設けられ、 前記アース電極は複数の透孔が形成される板状体から成
り、前記複数の放電電極から一定の間隔をあけて両側に
配置されることを特徴とする請求項2記載の浄化装置。
4. The discharge electrode is formed of a linear body, and a plurality of discharge electrodes are provided at an interval from each other. The ground electrode is formed of a plate-like body having a plurality of through-holes. 3. The purifying device according to claim 2, wherein the purifying device is disposed on both sides with a fixed interval.
【請求項5】 前記複数の透孔が形成される板状体は、
平板状に形成されることを特徴とする請求項4記載の浄
化装置。
5. The plate-like body in which the plurality of through holes are formed,
The purification device according to claim 4, wherein the purification device is formed in a flat plate shape.
【請求項6】 前記複数の透孔が形成される板状体は、
波板状に形成されることを特徴とする請求項4記載の浄
化装置。
6. The plate-like body in which the plurality of through holes are formed,
The purification device according to claim 4, wherein the purification device is formed in a corrugated shape.
【請求項7】 相互に隣接する各放電電極間の中央部に
は、第2のアース電極が配置されることを特徴とする請
求項4〜6のいずれかに記載の浄化装置。
7. The purifying apparatus according to claim 4, wherein a second ground electrode is disposed at a central portion between the discharge electrodes adjacent to each other.
【請求項8】 前記集塵手段は、前記アース電極を外囲
するバグフィルタであることを特徴とする請求項1〜7
のいずれかに記載の浄化装置。
8. The apparatus according to claim 1, wherein said dust collecting means is a bag filter surrounding said ground electrode.
Purification device according to any one of the above.
【請求項9】 前記集塵手段は、前記放電電極と前記ア
ース電極との間の空間から予め定める放出位置に処理後
のガスを導く導気手段を含むことを特徴とする請求項1
〜8のいずれかに記載の浄化装置。
9. The dust collecting means includes an air guiding means for guiding the treated gas from a space between the discharge electrode and the ground electrode to a predetermined discharge position.
A purification device according to any one of claims 1 to 8.
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