JP3369454B2 - Purification device - Google Patents

Purification device

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JP3369454B2
JP3369454B2 JP35816597A JP35816597A JP3369454B2 JP 3369454 B2 JP3369454 B2 JP 3369454B2 JP 35816597 A JP35816597 A JP 35816597A JP 35816597 A JP35816597 A JP 35816597A JP 3369454 B2 JP3369454 B2 JP 3369454B2
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JP
Japan
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gas
electrode
discharge
ground electrode
dust
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Inventor
強 大石
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オリエンタル機電株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、浄化装置に関し、
さらに詳しくは、都市ごみ処理プラントなどから排出さ
れるガスを処理するために好適に用いられる浄化装置に
関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a purifying device,
More specifically, the present invention relates to a purification device that is preferably used for treating gas discharged from a municipal solid waste treatment plant or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】都市ごみの破砕分別プラントおよびRD
Fプラントなどの都市ごみ処理プラントでは、ごみから
発生する臭気をプラント外に排出させないように浄化装
置である脱臭装置が設置される。従来の技術の脱臭装置
は活性炭による吸着を主体とする吸着式脱臭装置であ
り、臭気を含んだ排ガスを吸着式脱臭装置に導いて活性
炭に臭気を吸着させて脱臭を行っている。
2. Description of the Related Art Municipal solid waste crushing and sorting plant and RD
In an urban waste treatment plant such as an F plant, a deodorizing device, which is a purifying device, is installed so as to prevent the odor generated from the waste from being discharged outside the plant. The conventional deodorizing device is an adsorption type deodorizing device which is mainly adsorbed by activated carbon, and exhaust gas containing odor is guided to the adsorption type deodorizing device to adsorb the odor to the activated carbon for deodorization.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術において、前記吸着式脱臭装置の活性炭が飽和吸着
量に達したときには、活性炭を再生または交換しなけれ
ばならず、また充填使用する活性炭の量が多ければ長期
間の使用に耐えることができるが、前記装置が大形にな
って設備コストが増大し、活性炭の量が少なければ前記
装置の小形化を図ることができるが、前記装置の使用期
間が短くなり、活性炭の再生または交換を度々行わなけ
ればならず、保守管理に手間がかかるという問題があ
る。
However, in the prior art, when the amount of activated carbon in the adsorption type deodorizing device reaches the saturated adsorption amount, the activated carbon must be regenerated or replaced, and the amount of the activated carbon to be filled and used. If the amount of activated carbon is large, the device can withstand long-term use, but the device becomes large and the equipment cost increases, and if the amount of activated carbon is small, the device can be downsized. There is a problem that the period becomes short, activated carbon must be frequently regenerated or replaced, and maintenance is time-consuming.

【0004】また都市ごみ焼却プラントからの排ガス中
には塩化水素、NOX、SOXおよびダイオキシンなどの
有害成分が含まれているが、前記脱臭装置によって前記
有害成分を排ガス中から除去することはできず、前記有
害成分を除去するための装置が別途必要となり、設備の
構成が複雑化するという問題がある。
[0004] While the off-gas from municipal waste incineration plants contains harmful components such as hydrogen chloride, NO X, SO X and dioxins, removing the harmful components from the exhaust gas by the deodorizing device However, there is a problem in that a device for removing the harmful components is additionally required, which complicates the configuration of the equipment.

【0005】本発明の目的は、保守管理に手間がかから
ず、構成の簡略化を図ることができる浄化装置を提供す
ることである。
An object of the present invention is to provide a purifying device which requires no troublesome maintenance and can be simplified in construction.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、煤塵などの塵
埃を含むガスが供給され、このガスから塵埃を捕集して
除去する集塵手段と、塵埃が除去されたガスが供給さ
れ、放電電極およびアース電極間の放電によって非平衡
プラズマを発生させるプラズマ発生手段とを含み、前記
放電電極は線状体から成り、前記アース電極は前記放電
電極の軸線に沿って延び、前記放電電極を中心としてほ
ぼ一定の内径を有する螺旋状に形成されることを特徴と
する浄化装置である。また本発明は、煤塵などの塵埃を
含むガスが供給され、このガスから塵埃を捕集して除去
する集塵手段と、塵埃が除去されたガスが供給され、放
電電極およびアース電極間の放電によって非平衡プラズ
マを発生させるプラズマ発生手段とを含み、前記放電電
極は線状体から成り、前記アース電極は、前記放電電極
の軸線に沿って延び、前記放電電極を中心としてほぼ一
定の内径を有するリング状に形成され、前記放電電極の
軸線に沿ってほぼ一定の間隔p2をあけて配置される複
数のリング状体と、各リング状体の外周部に固定され
て、各リング状体の間隔p2を保持する複数の保持部材
とから成ることを特徴とする浄化装置である。
According to the present invention, a gas containing dust such as soot dust is supplied, and dust collecting means for collecting and removing dust from the gas, and gas from which the dust is removed are supplied. Plasma generating means for generating non-equilibrium plasma by discharge between the discharge electrode and the ground electrode, the discharge electrode is made of a linear body, the ground electrode extends along the axis of the discharge electrode, The purification device is characterized by being formed in a spiral shape having a substantially constant inner diameter as a center. Further, the present invention is provided with a gas containing dust such as soot dust, dust collecting means for collecting and removing the dust from the gas, and a gas from which the dust has been removed to supply the discharge between the discharge electrode and the ground electrode. Plasma generating means for generating non-equilibrium plasma by means of which the discharge electrode comprises a linear body, the ground electrode extends along the axis of the discharge electrode, and has a substantially constant inner diameter about the discharge electrode. A plurality of ring-shaped bodies that are formed in a ring shape and that are arranged at substantially constant intervals p2 along the axis of the discharge electrode, and that are fixed to the outer peripheral portion of each ring-shaped body. It is a purification device comprising a plurality of holding members for holding a space p2.

【0007】本発明に従えば、集塵手段は煤塵などの塵
埃を含むガス、たとえば煤塵などの塵埃と臭気成分およ
び有害成分とを含む空気から塵埃を捕集して除去し、プ
ラズマ発生手段には塵埃が除去されたガスだけが供給さ
れるので、放電によって発生したプラズマによって、塵
埃が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を分解
して除去することができ、プラズマ発生手段の清掃など
の手間がかからず、簡単な構成で浄化装置の保守管理を
容易にすることができる。
According to the present invention, the dust collecting means collects and removes dust from gas containing dust such as soot, for example, air containing dust such as soot and odorous components and harmful components, and the plasma collecting means removes the dust. Since only the gas from which dust has been removed is supplied, the plasma generated by the discharge can decompose and remove the odorous components and harmful components in the gas from which dust has been removed. The maintenance work of the purifying device can be facilitated with a simple structure without any trouble.

【0008】[0008]

【0009】本発明に従えば、前記プラズマ発生手段は
放電電極およびアース電極間のガスを放電によって電子
とイオンとに電離させ、電子の電子温度がイオンのイオ
ン温度に比べて高い状態で電子とイオンとが熱力学的に
平衡していない状態のプラズマである非平衡プラズマを
発生させるので、放電によって発生する各電極間のプラ
ズマ雰囲気中のガスの温度が常温に保たれた状態で高速
の電子を得ることができ、この高速の電子を塵埃が除去
されたガス中の臭気成分および有害成分に衝突させて、
反応性に富む化学的活性種を生成し、化学反応を起こさ
せて前記ガス中の臭気成分および有害成分を除去するこ
とができる。また放電によって発生する各電極間のプラ
ズマ雰囲気中のガスの温度は常温に保たれているので、
プラズマ発生手段に冷却手段などを設ける必要がない。
またプラズマ発生手段から排出されるガスの温度も常温
に保たれ、熱プラズマを用いるときのように高温のガス
が排出されることがなく、排出されるガスの冷却手段な
どを設ける必要がなく、構成の簡略化を図ることができ
る。本発明に従えば、前記アース電極は、前記放電電極
の軸線に沿って延び、前記放電電極を中心としてほぼ一
定の内径を有する螺旋状またはリング状に形成されるの
で、放電電極およびアース電極間の距離を一定に保つこ
とができ、放電距離を高精度に保持することができる。
また前記アース電極の製造が容易であり、前記放電電極
および前記アース電極間の高速の電子が得られる放電領
域は、螺旋状またはリング状に形成される。したがって
塵埃の除去された臭気成分および有害成分を含むガス
を、前記アース電極の軸線方向および軸線方向に交差す
る方向のいずれか一方に通過させることによって、前記
ガスを確実に処理することができる。これとともに、前
記アース電極の表面積を、たとえば円筒状に形成された
同一寸法のアース電極の表面積よりも小さくすることが
できる。これによって放電電極およびアース電極間の静
電容量を小さくして、放電電位に達するために要する時
間を短縮し、非平衡プラズマを発生させやすくして、高
速の電子を得ることができる。
According to the invention, the plasma generating means ionizes the gas between the discharge electrode and the ground electrode into electrons and ions by discharge, and the electrons are separated from each other in a state where the electron temperature of the electrons is higher than the ion temperature of the ions. Since non-equilibrium plasma, which is a plasma that is not thermodynamically balanced with ions, is generated, high-speed electrons are generated while the temperature of the gas in the plasma atmosphere between the electrodes generated by the discharge is kept at room temperature. Can be obtained by colliding these high-speed electrons with odorous components and harmful components in the gas from which dust has been removed,
It is possible to generate a highly reactive chemically active species and cause a chemical reaction to remove odorous components and harmful components in the gas. Also, since the temperature of the gas in the plasma atmosphere between the electrodes generated by the discharge is kept at room temperature,
It is not necessary to provide cooling means or the like in the plasma generating means.
Further, the temperature of the gas discharged from the plasma generating means is also kept at room temperature, high temperature gas is not discharged unlike the case of using thermal plasma, and it is not necessary to provide a cooling means for the discharged gas. The configuration can be simplified. According to the invention, the ground electrode extends along the axis of the discharge electrode and is formed in a spiral shape or a ring shape having a substantially constant inner diameter with the discharge electrode as a center. Can be kept constant, and the discharge distance can be kept with high accuracy.
In addition, the ground electrode is easy to manufacture, and the discharge region between the discharge electrode and the ground electrode where high-speed electrons are obtained is formed in a spiral shape or a ring shape. Therefore, the gas containing the odorous component and the harmful component from which dust has been removed can be reliably treated by passing the gas in either the axial direction of the earth electrode or the direction intersecting the axial direction. At the same time, the surface area of the ground electrode can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size formed in a cylindrical shape, for example. As a result, the capacitance between the discharge electrode and the ground electrode can be reduced, the time required to reach the discharge potential can be shortened, non-equilibrium plasma can be easily generated, and high-speed electrons can be obtained.

【0010】[0010]

【0011】[0011]

【0012】[0012]

【0013】[0013]

【0014】[0014]

【0015】[0015]

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【0018】[0018]

【0019】[0019]

【0020】[0020]

【0021】[0021]

【0022】本発明において、前記集塵手段は、前記ア
ース電極を外囲するバグフィルタであることを特徴とす
る。
In the present invention, the dust collecting means is a bag filter surrounding the earth electrode.

【0023】本発明に従えば、前記集塵手段は前記アー
ス電極を外囲するバグフィルタであるので、バグフィル
タの周囲から煤塵などの塵埃を含むガスをバグフィルタ
に導き、バグフィルタによって煤塵などの塵埃を捕集
し、塵埃が除去されたガスを放電電極とアース電極との
間の空間に導いて、放電電極およびアース電極間に発生
するプラズマによって塵埃が除去されたガス中の臭気成
分および有害成分を分解除去することができる。またバ
グフィルタに導かれる前記塵埃を含むガスは、バグフィ
ルタの周囲から導かれるので、バグフィルタの設置位置
にかかわらず、ほぼ均等に塵埃を捕集することができ
る。
According to the invention, since the dust collecting means is a bag filter which surrounds the earth electrode, a gas containing dust such as soot is guided to the bag filter from around the bag filter, and the bag filter causes soot and so on. Of the dust, and guides the gas from which the dust has been removed to the space between the discharge electrode and the ground electrode, and the odorous components in the gas from which the dust has been removed by the plasma generated between the discharge electrode and the ground electrode. It can decompose and remove harmful components. Further, since the dust-containing gas introduced to the bag filter is introduced from around the bag filter, the dust can be collected almost uniformly regardless of the installation position of the bag filter.

【0024】本発明において、前記集塵手段は、前記放
電電極と前記アース電極との間の空間から予め定める放
出位置に処理後のガスを導く導気手段を含むことを特徴
とする。
In the present invention, the dust collecting means includes an air guiding means for guiding the treated gas from a space between the discharge electrode and the ground electrode to a predetermined discharge position.

【0025】本発明に従えば、導気手段には処理後のガ
スが導かれるので、導気手段の汚損が少ない。特に、集
塵手段は前記放電電極と前記アース電極との間の空間か
ら予め定める放出位置に処理後のガスを導く導気手段を
含むので、導気手段によってバグフィルタの周囲の煤塵
などの塵埃を含むガスをバグフィルタに導き、バグフィ
ルタによって煤塵などの塵埃を捕集し、塵埃が除去され
たガスを放電電極とアース電極との間の空間に導いて、
放電電極およびアース電極間に発生するプラズマによっ
て塵埃が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を
分解除去し、この処理後のガスをたとえばアース電極の
軸線に沿う方向に導いて予め定める放出位置に導くこと
ができる。
According to the present invention, the treated gas is introduced into the air introducing means, so that the air introducing means is less contaminated. In particular, since the dust collecting means includes the gas guiding means for guiding the treated gas from the space between the discharge electrode and the ground electrode to the predetermined discharge position, the gas guiding means allows dust such as soot and dust around the bag filter. The gas containing the gas is guided to the bag filter, dust such as soot and dust is collected by the bag filter, and the gas from which the dust is removed is guided to the space between the discharge electrode and the ground electrode,
The odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed by the plasma generated between the discharge electrode and the ground electrode are decomposed and removed, and the gas after this treatment is guided, for example, in the direction along the axis of the ground electrode to a predetermined discharge position. Can lead to.

【0026】図1は、本発明の基礎となる実施の形態で
ある浄化装置1の構成を簡略化して示す断面図である。
浄化装置1は、入側蓋体2と、集塵手段3と、プラズマ
発生手段4と、出側蓋体5とを含み、煤塵などの塵埃を
含むガス、たとえば煤塵などの塵埃と臭気成分および有
害成分とを含む空気の流下方向A上流側からこの順番で
配置される。入側蓋体2は、前記ガスを導くダクトが接
続される第1筒部6と、第1筒部6に連なり、第1筒部
6の軸線方向に沿って拡開して形成される拡開部7と、
拡開部7に連なり、前記軸線方向に延びる第2筒部8
と、第2筒部8の周壁から外方に向かって延びる外向き
フランジ9とから成る。
FIG. 1 is a sectional view showing a simplified structure of a purifying apparatus 1 which is an embodiment which is the basis of the present invention.
The purifying device 1 includes an inlet lid 2, a dust collector 3, a plasma generator 4, and an outlet lid 5, and includes a gas containing dust such as soot and dust such as soot and odor components. The air containing the harmful components is arranged in this order from the upstream side in the downward direction A. The inlet-side lid body 2 is connected to the first tubular portion 6 to which the duct for guiding the gas is connected, and is expanded to extend along the axial direction of the first tubular portion 6 and to be formed. Open part 7,
A second tubular portion 8 which is continuous with the expanding portion 7 and extends in the axial direction.
And an outward flange 9 that extends outward from the peripheral wall of the second tubular portion 8.

【0027】集塵手段3は、煤塵を含む塵埃、たとえば
繊維状および粒子状の塵埃を含むガスが供給され、この
ガスから繊維状の塵埃を捕集して除去する濾過集塵部1
0と、繊維状の塵埃が除去された粒子状の塵埃を含むガ
スが供給され、このガスから粒子状の塵埃を捕集して除
去する電気集塵部11と、後述の導気手段150とを含
む。濾過集塵部10は、繊維状の塵埃を捕集する濾過フ
ィルタ12とこの濾過フィルタ12が収納される略筒状
のハウジング13と、ハウジング13の軸線方向両端部
の周壁から外方に向かって延びる外向きフランジ14,
15と、ハウジング13の上部でかつガスの通過領域よ
りも外方に設けられ、ロール状の濾過フィルタ12が装
着される供給ロール16と、ハウジング13の下部でか
つ供給ロール16に装着された濾過フィルタ12が架け
渡されて巻取られる巻取ロール17とから成る。
The dust collecting means 3 is supplied with a dust-containing dust, for example, a gas containing fibrous and particulate dust, and collects and removes the fibrous dust from this gas.
0, a gas containing particulate dust from which fibrous dust has been removed, and an electric dust collector 11 that collects and removes particulate dust from this gas; including. The filtration dust collecting portion 10 is a filter 12 that collects fibrous dust, a substantially cylindrical housing 13 in which the filtration filter 12 is housed, and a circumferential wall at both ends of the housing 13 in the axial direction. Outwardly extending flange 14,
15, a supply roll 16 provided on the upper part of the housing 13 and outside the gas passage region, to which the roll-shaped filtration filter 12 is mounted, and a filtration roll mounted on the lower part of the housing 13 and to the supply roll 16. The filter 12 is wound around and wound around a winding roll 17.

【0028】濾過フィルタ12は、たとえば目の粗い濾
布から成る。供給ロール16には、ロール状の濾過フィ
ルタ12が装着される。濾過フィルタ12は巻取ロール
17に架け渡されており、濾過フィルタ12を通過する
前記ガスの通気抵抗が大きくなると、巻取りロール17
は濾過フィルタ12を巻取って新しい濾過面を露出させ
ている。また濾過フィルタ12が架け渡された領域は、
ガスの通過領域を含む。濾過フィルタ12が全て巻取ロ
ール17に巻取られると、塵埃捕集後の濾過フィルタ1
2を巻取ロール17から取外し、新しい濾過フィルタ1
2を供給ロール16に装着して巻取ロール17に架け渡
す。
The filter 12 is made of, for example, a coarse filter cloth. A roll-shaped filter 12 is attached to the supply roll 16. The filtration filter 12 is stretched over the take-up roll 17, and when the ventilation resistance of the gas passing through the filtration filter 12 becomes large, the take-up roll 17 is provided.
Rolls up the filter 12 to expose a new filter surface. The area where the filtration filter 12 is bridged is
Includes gas passage areas. When the filtration filter 12 is entirely wound up by the winding roll 17, the filtration filter 1 after collecting dust
2 is removed from the winding roll 17 and a new filtration filter 1
2 is attached to the supply roll 16 and bridged over the winding roll 17.

【0029】電気集塵部11は、たとえば電気集塵器に
よって実現される。電気集塵部11には、粒子状の塵埃
を捕集する塵埃捕集部分18と、捕集された粒子状の塵
埃を貯留し、回収するホッパ19とを有する。塵埃捕集
部分18は、たとえば線状の放電電極と、平板状の集塵
電極とを含む。粒子状の塵埃の捕集は、放電電極を負極
とし、集塵電極を正極として放電電極および集塵電極間
にコロナ放電を起こさせて粒子状の塵埃を帯電させ、集
塵電極にクーロン力によって吸着される。集塵電極に付
着した粒子状の塵埃が所定の厚さに達したときには、槌
打によって集塵電極から払い落とし、ホッパ19で回収
される。また電気集塵部11のハウジング20の周壁に
は、外向きフランジ21,22が設けられる。
The electric dust collector 11 is realized by, for example, an electric dust collector. The electric dust collector 11 includes a dust collecting portion 18 that collects particulate dust, and a hopper 19 that stores and collects the collected particulate dust. The dust collecting portion 18 includes, for example, a linear discharge electrode and a flat plate-shaped dust collecting electrode. The particulate dust is collected by using the discharge electrode as the negative electrode and the dust collecting electrode as the positive electrode to cause corona discharge between the discharge electrode and the dust collecting electrode to charge the particulate dust, and the dust collecting electrode by the Coulomb force. Adsorbed. When the particulate dust adhering to the dust collecting electrode reaches a predetermined thickness, it is blown off from the dust collecting electrode by hammering and is collected by the hopper 19. Further, outward flanges 21 and 22 are provided on the peripheral wall of the housing 20 of the electrostatic precipitator 11.

【0030】プラズマ発生手段4は、ハウジング26
と、非平衡プラズマを発生させる非平衡プラズマ発生部
27と、非平衡プラズマによって引起こされる化学反応
によって生じた固形物を貯留し、回収するホッパ28と
を含む。ハウジング26には、外向きフランジ29,3
0が設けられる。ここで非平衡プラズマとは、プラズマ
中の電子の電子温度がプラズマ中のイオンのイオン温度
に比べて高い状態で電子とイオンとが熱力学的に平衡し
ていない状態のプラズマのことである。非平衡プラズマ
発生部27は、放電電極と、アース電極と、電源(図示
せず)とを含む。非平衡プラズマを発生させるには、放
電電極およびアース電極間にコロナ放電を発生させ、放
電電極およびアース電極間のガスを電離させる。このと
き放電電極およびアース電極間には、図2に示されるよ
うに、直流電圧30k〜200kV、好ましくは100
k〜200kV、周波数100〜2000Hz、すなわ
ち周期T=500μs〜10ms、好ましくは周波数1
000Hz、すなわち周期T=1msのパルス電圧が印
加される。また電圧の立上り時間τは、たとえば20〜
300ns、好ましくは100nsであり、この極端に
短い立上り時間τの間に質量の小さい電子だけが加速さ
れて高速の電子が得られる。またパルス電圧の周期は立
上り時間τに比べて充分に長いので、この期間中に冷却
が行われて次のパルス電圧印加時には再び初期状態に復
帰し、ガスの温度上昇が抑制され、ガスの温度は常温に
保たれる。ここでパルス電圧の極性は、放電電極を正極
とし、アース電極を負極とする。これは正のストリーマ
コロナが強い進展傾向を有し、放電電極およびアース電
極間の空間を橋絡し、全空間にわたって非平衡プラズマ
を発生させて単位容積あたりの反応効果が大幅に向上す
るためである。
The plasma generating means 4 includes a housing 26.
A non-equilibrium plasma generating unit 27 that generates non-equilibrium plasma; and a hopper 28 that stores and collects solid matter generated by a chemical reaction caused by the non-equilibrium plasma. The housing 26 has outwardly facing flanges 29, 3
0 is provided. Here, the non-equilibrium plasma is plasma in which the electron temperature of electrons in the plasma is higher than the ion temperature of ions in the plasma and the electrons and ions are not thermodynamically balanced. The non-equilibrium plasma generating unit 27 includes a discharge electrode, a ground electrode, and a power source (not shown). To generate non-equilibrium plasma, corona discharge is generated between the discharge electrode and the ground electrode, and the gas between the discharge electrode and the ground electrode is ionized. At this time, as shown in FIG. 2, a DC voltage of 30 k to 200 kV, preferably 100 V is applied between the discharge electrode and the ground electrode.
k to 200 kV, frequency 100 to 2000 Hz, that is, period T = 500 μs to 10 ms, preferably frequency 1
A pulse voltage of 000 Hz, that is, a period T = 1 ms is applied. The rise time τ of the voltage is, for example, 20 to
It is 300 ns, preferably 100 ns, and during this extremely short rise time τ, only electrons having a small mass are accelerated to obtain high-speed electrons. Also, since the cycle of the pulse voltage is sufficiently longer than the rise time τ, cooling is performed during this period, and when the next pulse voltage is applied, it returns to the initial state again and the temperature rise of the gas is suppressed and the temperature of the gas is suppressed. Is kept at room temperature. Here, the polarity of the pulse voltage is such that the discharge electrode has a positive polarity and the ground electrode has a negative polarity. This is because the positive streamer corona has a strong development tendency, bridges the space between the discharge electrode and the ground electrode, generates non-equilibrium plasma over the entire space, and significantly improves the reaction effect per unit volume. is there.

【0031】印加される電圧は、放電電極およびアース
電極間の放電距離に対して決定される。すなわち前記放
電距離が大きいときには高い電圧が印加され、前記放電
距離が小さいときには低い電圧が印加される。印加電圧
が30kV未満であるときには、前記放電距離は小さく
て済み、これにともなって非平衡プラズマ発生部27に
設けられる放電電極およびアース電極の数が増加してし
まい、構成が複雑化するという問題がある。印加電圧が
200kVを超えるときには、このような電源は高価で
あり、入手が困難であるという問題がある。
The applied voltage is determined with respect to the discharge distance between the discharge electrode and the ground electrode. That is, a high voltage is applied when the discharge distance is large, and a low voltage is applied when the discharge distance is small. When the applied voltage is less than 30 kV, the discharge distance may be small, and accordingly, the number of discharge electrodes and ground electrodes provided in the non-equilibrium plasma generating unit 27 increases, which complicates the structure. There is. When the applied voltage exceeds 200 kV, there is a problem that such a power source is expensive and difficult to obtain.

【0032】印加されるパルス電圧の周波数が100H
z未満であるときには、放電の回数が減少することによ
って電子の放出回数が減少する。これによって電子がガ
スに衝突する回数が減少し、ガスを確実に処理するため
に、放電領域における滞留時間を長くする必要があり、
ガスの処理効率が低下するという問題がある。印加され
るパルス電圧の周波数が2000Hzを超えるときに
は、パルス休止期間中にガスの充分な冷却が行われず、
ガスの温度が上昇し、熱プラズマに遷移してしまうとい
う問題がある。
The frequency of the applied pulse voltage is 100H
When it is less than z, the number of discharges is reduced and the number of electron emission is reduced. This reduces the number of times electrons collide with the gas, and in order to reliably process the gas, it is necessary to lengthen the residence time in the discharge region,
There is a problem that the gas processing efficiency decreases. When the frequency of the applied pulse voltage exceeds 2000 Hz, the gas is not sufficiently cooled during the pulse rest period,
There is a problem that the temperature of the gas rises and transitions to thermal plasma.

【0033】印加されるパルス電圧の立上り時間τを短
くするには、放電に必要な電力を供給するための電源に
対する負荷、すなわち放電電極およびアース電極間の静
電容量を小さくすることによって実現される。前記静電
容量を小さくするには、1つの電源に接続される放電電
極の数を減らすことによって、またはアース電極の表面
積を小さくすることによって、前記電源に対する前記静
電容量を小さくすることができる。立上り時間τが20
ns未満であるときには、アース電極の表面積を変えな
いときにおいて、立上り時間τを短くするために前記電
源に接続される放電電極の数を減らす必要がある。これ
にともなって非平衡プラズマ発生部27に設けられる前
記電源の数が増加してしまうという問題がある。前記立
上り時間τが300nsを超えるときには、パルス電圧
の立上りは急峻ではなくなり、プラズマ中の電子のみな
らず、プラズマ中のイオンおよび分子も加速されて、火
花放電が生じ、熱プラズマへ遷移するという問題があ
る。
The rise time τ of the applied pulse voltage can be shortened by reducing the load on the power supply for supplying the power required for discharge, that is, the capacitance between the discharge electrode and the ground electrode. It To reduce the capacitance, the capacitance to the power source can be reduced by reducing the number of discharge electrodes connected to one power source or by reducing the surface area of the ground electrode. . Rise time τ is 20
When it is less than ns, it is necessary to reduce the number of discharge electrodes connected to the power source in order to shorten the rise time τ when the surface area of the ground electrode is not changed. Along with this, there is a problem that the number of power sources provided in the non-equilibrium plasma generating unit 27 increases. When the rise time τ exceeds 300 ns, the rise of the pulse voltage is not steep, and not only the electrons in the plasma but also the ions and molecules in the plasma are accelerated to cause a spark discharge and transition to thermal plasma. There is.

【0034】出側蓋体5は、前記入側蓋体2の第2筒部
8の内径にほぼ等しい内径を有する第1筒部31と、第
1筒部31に連なり、内周面が第1筒部31の軸線に近
接する方向に傾斜して形成される絞り部32と、絞り部
32に連なり、清浄なガスが導かれるダクトに接続され
る第2筒部33と、第1筒部31の開口端側の周壁から
外方に向かって延びる外向きフランジ34とから成る。
The outlet lid 5 is connected to the first tubular portion 31 having an inner diameter substantially equal to the inner diameter of the second tubular portion 8 of the inlet lid 2 and the first tubular portion 31, and the inner peripheral surface is the first. First throttle portion 32, which is formed so as to be inclined in a direction close to the axis of the first cylinder portion 31, second tubular portion 33 which is connected to the throttle portion 32 and which is connected to a duct through which clean gas is guided, and first tubular portion And an outward flange 34 extending outward from the peripheral wall of the open end 31 of the base member 31.

【0035】入側蓋体2と集塵手段3の濾過集塵部10
とは、外向きフランジ9,14を介して連結される。濾
過集塵部10と電気集塵部11とは、外向きフランジ2
3,24を有する筒状の連結管路25に外向きフランジ
15,21を介して連結される。集塵手段3の電気集塵
部11とプラズマ発生手段4とは、外向きフランジ2
2,29を介して連結される。プラズマ発生手段4と出
側蓋体5とは、外向きフランジ30,34を介して連結
される。
A filter dust collecting portion 10 of the inlet side lid 2 and the dust collecting means 3.
And are connected via outward flanges 9 and 14. The filter dust collecting portion 10 and the electric dust collecting portion 11 are the outward flange 2
It is connected to the cylindrical connecting pipe line 25 having 3, 24 via the outward flanges 15, 21. The electric dust collecting portion 11 of the dust collecting means 3 and the plasma generating means 4 are connected to the outward flange 2
2, 29 are connected. The plasma generating means 4 and the outlet cover 5 are connected to each other via outward flanges 30 and 34.

【0036】このようにして入側蓋体2と、濾過集塵部
10のハウジング13と、連結管路25と、電気集塵部
11のハウジング20と、プラズマ発生手段4のハウジ
ング26と、出側蓋体5とを含んで形成される内部空間
を通過した処理後のガスは、管路などによって実現され
る導気手段150を介して予め定める放出位置である前
記管路の開口部150aから大気へ放出される。
In this way, the inlet side lid 2, the housing 13 of the filter dust collector 10, the connecting conduit 25, the housing 20 of the electrostatic dust collector 11, the housing 26 of the plasma generator 4, and the outlet. The processed gas that has passed through the internal space formed including the side lid 5 is discharged from the opening 150a of the pipeline, which is a predetermined discharge position, through the air guiding means 150 realized by the pipeline or the like. Released into the atmosphere.

【0037】煤塵などの塵埃を含むガスは、入側蓋体2
の第1筒部6から図1の左方から図1の右方へ向かう前
記ガスの流下方向Aに供給される。第1筒部6に供給さ
れたガスは、拡開部7で前記ガスの流速が、たとえば1
m/sに減速されて濾過フィルタ12を通過する。この
とき濾過フィルタ12では、前記ガス中の繊維状の塵埃
が捕集される。この繊維状の塵埃が除去された粒子状の
塵埃を含むガスは、電気集塵部11に供給される。電気
集塵部11では、粒子状の塵埃が塵埃捕集部分18で捕
集され、プラズマ発生手段4に塵埃が除去されたガスが
供給される。プラズマ発生手段4では、塵埃が除去され
たガス中の臭気成分および有害成分に、放電電極および
アース電極間に発生する非平衡プラズマの高速の電子が
衝突して、イオン、ラジカルおよび励起分子などの反応
性に富む化学的活性種を生成し、プラズマ発生手段4内
で化学反応を起こさせて前記ガス中の臭気成分および有
害成分を化学的に分解し、臭気成分および有害成分が除
去された清浄なガスをプラズマ発生手段4から排出す
る。この化学反応は、励起分子の化学反応ならびにイオ
ンおよびラジカルを連鎖連絡体とする連鎖反応が生じて
いる。このような励起分子の化学反応および前記連鎖反
応は、少なくとも高速の電子が放出されている限り継続
する。プラズマ発生手段4から排出された清浄なガス
は、出側蓋体5の絞り部32で絞られて流速を増加させ
て、第2筒部33を介して浄化装置1から排出される。
The gas containing dust such as soot and dust is used for the inlet side cover 2
The gas is supplied from the first tubular portion 6 in the downward direction A of the gas from the left side of FIG. 1 to the right side of FIG. The gas supplied to the first tubular portion 6 has a flow velocity of 1
It is decelerated to m / s and passes through the filtration filter 12. At this time, the filtration filter 12 collects the fibrous dust in the gas. The gas containing the particulate dust from which the fibrous dust has been removed is supplied to the electric dust collector 11. In the electric dust collector 11, particulate dust is collected by the dust collector 18, and the plasma generating means 4 is supplied with the dust-free gas. In the plasma generation means 4, high-speed electrons of non-equilibrium plasma generated between the discharge electrode and the ground electrode collide with odorous components and harmful components in the gas from which dust has been removed, so that ions, radicals, excited molecules, etc. Cleaner from which odorous components and harmful components are removed by chemically reacting the plasma generating means 4 with chemically reactive species that are highly reactive to chemically decompose the odorous components and harmful components. Such a gas is discharged from the plasma generating means 4. In this chemical reaction, a chemical reaction of an excited molecule and a chain reaction in which ions and radicals are used as a chain-linker are generated. The chemical reaction of the excited molecule and the chain reaction continue as long as at least high-speed electrons are emitted. The clean gas discharged from the plasma generating means 4 is throttled by the throttling portion 32 of the outlet cover 5 to increase the flow velocity, and is discharged from the purifying device 1 through the second tubular portion 33.

【0038】すなわち、プラズマ発生手段4に供給され
るガス、たとえばアンモニア、硫化水素、メチルメルカ
プタン、硫化メチル、トリメチルアミン、アセトアルデ
ヒド、スチレン、および二硫化メチルなどの臭気成分、
ならびに塩化水素、NOX、SOX、およびダイオキシン
などの有害成分を含む空気は、プラズマ発生手段4の放
電電極およびアース電極間で得られる高速の電子と前記
ガス中の臭気成分および有害成分との衝突によって化学
的活性種が生成され、化学反応を起こさせてガス中の臭
気成分および有害成分が除去される。このようにして前
記臭気成分および有害成分を含む空気は、処理されて清
浄な空気となる。
That is, the gas supplied to the plasma generating means 4, for example, odorous components such as ammonia, hydrogen sulfide, methyl mercaptan, methyl sulfide, trimethylamine, acetaldehyde, styrene, and methyl disulfide,
In addition, the air containing harmful components such as hydrogen chloride, NO x , SO x , and dioxin is generated between the high-speed electrons obtained between the discharge electrode and the ground electrode of the plasma generating means 4 and the odorous components and harmful components in the gas. The collision produces chemically active species and causes a chemical reaction to remove odorous components and harmful components in the gas. In this way, the air containing the odorous components and harmful components is treated to be clean air.

【0039】ここでこの浄化装置1を用いて臭気成分お
よび有害成分を含むガスを処理すると、臭気成分では9
9%程度、ダイオキシンでは90〜99%程度、一酸化
窒素NOでは90%程度、NOxでは50%程度、SO
xでは90%程度がガス中から除去される。
When a gas containing an odorous component and a harmful component is treated using this purifying apparatus 1, the odorous component is 9
About 9%, about 90-99% for dioxins, about 90% for nitric oxide NO, about 50% for NOx, SO
At x, about 90% is removed from the gas.

【0040】プラズマ発生手段4に塵埃が供給される
と、塵埃が非平衡プラズマの高速の電子によって帯電し
てアース電極に付着し、プラズマ発生手段4の清掃など
の手間がかかってしまう。また塵埃が繊維状であるとき
には、この塵埃がアース電極に対して垂直に付着して、
放電電極および塵埃の先端間で火花放電が生じて電圧が
下がり、高速の電子が得られなくなるという不具合が生
じてしまう。しかしながら、本発明の浄化装置1におい
て、プラズマ発生手段4には塵埃が除去されたガスが供
給されるので、このような不具合が生じない。
When dust is supplied to the plasma generating means 4, the dust is charged by the high-speed electrons of the non-equilibrium plasma and adheres to the ground electrode, which requires time and effort for cleaning the plasma generating means 4. When the dust is fibrous, the dust adheres to the ground electrode vertically,
A spark discharge is generated between the discharge electrode and the tip of the dust to lower the voltage, which causes a problem that high-speed electrons cannot be obtained. However, in the purifying device 1 of the present invention, since the gas from which dust has been removed is supplied to the plasma generating means 4, such a problem does not occur.

【0041】集塵手段3は、煤塵などの塵埃を含むガス
から塵埃を捕集して除去し、プラズマ発生手段4には塵
埃が除去されたガスだけが供給されるので、放電によっ
て発生したプラズマによって、塵埃が除去されたガス中
の臭気成分および有害成分を分解して除去することがで
き、プラズマ発生手段4の清掃などの手間がかからず、
簡単な構成で浄化装置1の保守管理を容易にすることが
できる。
The dust collecting means 3 collects and removes dust from a gas containing dust such as soot dust, and since only the gas from which dust has been removed is supplied to the plasma generating means 4, plasma generated by discharge is generated. By this, the odorous components and harmful components in the gas from which the dust has been removed can be decomposed and removed, and the trouble of cleaning the plasma generating means 4 and the like is eliminated,
Maintenance of the purification device 1 can be facilitated with a simple configuration.

【0042】また前記プラズマ発生手段4は、放電電極
およびアース電極間のガスを放電、たとえばコロナ放電
によって電子とイオンとに電離させ、電子の電子温度が
イオンのイオン温度に比べて高い状態で、電子とイオン
とが熱力学的に平衡していない状態のプラズマである非
平衡プラズマを発生させるので、放電によって発生する
各電極間のプラズマ雰囲気中のガスの温度が常温に保た
れた状態で高速の電子を得ることができ、この高速の電
子を塵埃が除去されたガス中の臭気成分および有害成分
に衝突させてラジカルを形成し、化学反応を起こさせて
ガス中の臭気成分および有害成分を除去することができ
る。さらに放電によって発生する各電極間のプラズマ雰
囲気中のガスの温度は常温に保たれているので、プラズ
マ発生手段4に冷却手段などを設ける必要がない。また
プラズマ発生手段4から排出されるガスの温度も常温に
保たれ、熱プラズマを用いるときのように高温のガスが
排出されることがなく、排出されるガスの冷却手段など
を設ける必要がなく、構成の簡略化を図ることができ
る。
The plasma generating means 4 ionizes the gas between the discharge electrode and the ground electrode into electrons and ions by discharge, for example, corona discharge, and the electron temperature of the electrons is higher than the ion temperature of the ions. Since non-equilibrium plasma, which is a plasma in which electrons and ions are not thermodynamically equilibrated, is generated, the gas in the plasma atmosphere between the electrodes generated by the discharge is rapidly heated at room temperature. The electrons can be obtained, and these high-speed electrons collide with the odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed to form radicals, which causes a chemical reaction to remove the odorous and harmful components in the gas. Can be removed. Furthermore, since the temperature of the gas in the plasma atmosphere between the electrodes generated by the discharge is kept at room temperature, it is not necessary to provide the plasma generating means 4 with a cooling means or the like. Further, the temperature of the gas discharged from the plasma generating means 4 is also kept at room temperature, high temperature gas is not discharged unlike the case of using thermal plasma, and it is not necessary to provide a cooling means for the discharged gas. The configuration can be simplified.

【0043】図3は浄化装置1に備えられる非平衡プラ
ズマ発生部27の放電電極40およびアース電極41を
簡略化して示す正面図であり、図4は図3の切断面線I
V−IVから見た断面図である。図3および図4におい
て、放電電極40は図解を容易にするため、その直径を
拡大して示している。
FIG. 3 is a simplified front view showing the discharge electrode 40 and the ground electrode 41 of the non-equilibrium plasma generator 27 provided in the purifying device 1, and FIG. 4 is a sectional line I of FIG.
It is sectional drawing seen from V-IV. In FIG. 3 and FIG. 4, the discharge electrode 40 is shown with its diameter enlarged for ease of illustration.

【0044】放電電極40は導電性を有する材料、たと
えば鋼から成り、断面形状が円形状の線状体から成る。
アース電極41は導電性を有する材料、たとえば鋼から
成り、複数の透孔42が形成される筒状体から成る。す
なわちアース電極41はいわゆる網目状に形成される。
アース電極41によって囲まれた空間43には、同軸に
放電電極40が配置される。放電電極40は、少なくと
もアース電極41の長手方向全長に臨んで配置される。
この放電電極40およびアース電極41は、非平衡プラ
ズマ発生部27にアース電極41が相互に接触した状態
で複数設けられる。塵埃が除去されたガスは、図4の下
方から上方に向かう前記ガスの流下方向Aに供給され
る。前記ガスはアース電極41の側面側から各透孔42
を介して非平衡プラズマが発生するアース電極41によ
って囲まれた空間43に供給され、ガス中の臭気成分お
よび有害成分を分解除去し、この分解除去したガスを前
記空間43から各透孔42を介して排出する。
The discharge electrode 40 is made of a conductive material such as steel, and is a linear body having a circular cross section.
The ground electrode 41 is made of a conductive material, such as steel, and is made of a tubular body having a plurality of through holes 42 formed therein. That is, the ground electrode 41 is formed in a so-called mesh shape.
The discharge electrode 40 is coaxially arranged in the space 43 surrounded by the ground electrode 41. The discharge electrode 40 is arranged so as to face at least the entire length of the ground electrode 41 in the longitudinal direction.
A plurality of the discharge electrodes 40 and the ground electrodes 41 are provided in the non-equilibrium plasma generating unit 27 with the ground electrodes 41 in contact with each other. The gas from which the dust has been removed is supplied in the downward direction A of the gas from the lower side to the upper side in FIG. The gas is passed through the through holes 42 from the side surface of the ground electrode 41.
Is supplied to the space 43 surrounded by the ground electrode 41 in which non-equilibrium plasma is generated, and decomposes and removes odorous components and harmful components in the gas, and the decomposed and removed gas is discharged from the space 43 to the through holes 42. Discharge through.

【0045】放電電極40およびアース電極41の寸法
の一例を示すと、放電電極40の直径D1は1〜5mm
程度に選ばれる。アース電極41の内径D2は、250
mm程度に選ばれる。アース電極41の軸線方向長さL
1は、3〜10m程度に選ばれる。アース電極41の周
壁の厚さtは、2mm程度に選ばれる。
As an example of the dimensions of the discharge electrode 40 and the ground electrode 41, the diameter D1 of the discharge electrode 40 is 1 to 5 mm.
Selected to the degree. The inner diameter D2 of the ground electrode 41 is 250
It is selected to be about mm. Axial length L of the earth electrode 41
1 is selected to be about 3 to 10 m. The thickness t of the peripheral wall of the ground electrode 41 is selected to be about 2 mm.

【0046】前記アース電極41には複数の透孔42が
形成されるので、塵埃が除去されたガスを各透孔42を
介して非平衡プラズマが発生するアース電極41によっ
て囲まれた空間43に供給して、前記ガス中の臭気成分
および有害成分を分解除去し、この分解除去したガスを
前記空間43から各透孔42を介して排出することがで
きる。またアース電極41の軸線方向だけでなく、この
軸線方向に交差する方向に塵埃が除去されたガスを通過
させることができる。これとともに、アース電極41の
表面積を、複数の透孔42が形成されていない同一寸法
のアース電極の表面積よりも小さくすることができる。
これによって放電電極40およびアース電極41間の静
電容量を小さくして、放電電位に達するために要する時
間を短縮し、非平衡プラズマを発生させやすくして、高
速の電子を得ることができる。
Since a plurality of through holes 42 are formed in the ground electrode 41, the dust-free gas is introduced into the space 43 surrounded by the ground electrode 41 where non-equilibrium plasma is generated through the through holes 42. The gas can be supplied to decompose and remove odorous components and harmful components in the gas, and the decomposed and removed gas can be discharged from the space 43 through the through holes 42. Further, not only the axial direction of the ground electrode 41, but also the gas from which dust has been removed can be passed in a direction intersecting with this axial direction. At the same time, the surface area of the ground electrode 41 can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size in which the plurality of through holes 42 are not formed.
As a result, the capacitance between the discharge electrode 40 and the ground electrode 41 is reduced, the time required to reach the discharge potential is shortened, non-equilibrium plasma is easily generated, and high-speed electrons can be obtained.

【0047】また各アース電極41は相互に接触した状
態で配置されるので、前記ガスは確実にアース電極41
を通過することができ、前記ガスを確実に処理すること
ができる。これによって前記ガスの処理効率を向上する
ことができる。これとともに、各アース電極は個別に接
地される必要はなく、構成を簡略化することができる。
Further, since the respective ground electrodes 41 are arranged in contact with each other, the gas is surely kept in contact with the ground electrodes 41.
Can be passed through, and the gas can be reliably processed. As a result, the processing efficiency of the gas can be improved. At the same time, each ground electrode does not need to be individually grounded, and the configuration can be simplified.

【0048】前記ガスをアース電極41の軸線方向に通
過させるとき、前記ガスはアース電極41内の空間43
を通過するとともに、相互に隣接する複数のアース電極
41によって囲まれる空間44を通過する。アース電極
41内の空間43では、高速の電子の衝突によって前記
ガス中の臭気成分および有害成分が分解除去される。相
互に隣接する複数のアース電極41によって囲まれる空
間44では、前記ガス中の臭気成分および有害成分が分
解除去されずに通過する。したがって前記ガスの処理効
率を向上するためには、前記空間44はできるだけ小さ
くしなければならない。このためにアース電極41の内
径D2を小さくして、アース電極41が密に配置される
必要がある。大量のガスを処理するときには、アース電
極41が密に配置されているので、多数の放電電極40
およびアース電極41を使用しなければならず、構成が
複雑化する。またアース電極41密に配置した状態で、
放電電極40およびアース電極41の数を減らすと、処
理するガスのガス量を小さくしなければならず、ガスの
排出量に制約を受ける。したがって前記ガスをアース電
極41の軸線方向に交差する方向に通過させることによ
って、前記ガスはアース電極41の長手方向全長にわた
って前記空間43を通過することができる。これによっ
て前記ガスの処理領域は増加し、大量のガスを処理する
ことができる。
When the gas is passed in the axial direction of the ground electrode 41, the gas flows in the space 43 inside the ground electrode 41.
And a space 44 surrounded by a plurality of ground electrodes 41 adjacent to each other. In the space 43 inside the ground electrode 41, odorous components and harmful components in the gas are decomposed and removed by collision of electrons at high speed. In the space 44 surrounded by the plurality of ground electrodes 41 adjacent to each other, the odorous components and harmful components in the gas pass without being decomposed and removed. Therefore, in order to improve the processing efficiency of the gas, the space 44 should be as small as possible. Therefore, it is necessary to reduce the inner diameter D2 of the ground electrode 41 and arrange the ground electrodes 41 densely. When processing a large amount of gas, since the ground electrodes 41 are closely arranged, a large number of discharge electrodes 40 are provided.
Also, the ground electrode 41 must be used, which complicates the configuration. Also, with the ground electrode 41 densely arranged,
If the numbers of the discharge electrodes 40 and the ground electrodes 41 are reduced, the amount of gas to be processed must be reduced, and the amount of discharged gas is restricted. Therefore, by passing the gas in a direction intersecting the axial direction of the earth electrode 41, the gas can pass through the space 43 over the entire length of the earth electrode 41 in the longitudinal direction. As a result, the processing area of the gas is increased, and a large amount of gas can be processed.

【0049】アース電極41は円筒状に形成されている
が、これに限られるものではなく、角筒状に形成されて
いてもよい。また各アース電極41は相互に接触した状
態で配置されているが、これに限られるものではなく、
相互に離間して配置されていてもよい。
Although the ground electrode 41 is formed in a cylindrical shape, it is not limited to this and may be formed in a rectangular tube shape. The ground electrodes 41 are arranged in contact with each other, but the invention is not limited to this.
They may be arranged apart from each other.

【0050】このように構成することによって、すべて
のアース電極41が相互に接触しているときと比べて、
1つのアース電極41が不所望にずれたとしても、すべ
てのアース電極がずれてしまうという不具合が生じず、
各放電電極40および各アース電極41間の距離を高精
度に保持することができる。
With this configuration, compared to the case where all the ground electrodes 41 are in contact with each other,
Even if one earth electrode 41 is displaced undesirably, the problem that all the earth electrodes are displaced does not occur,
The distance between each discharge electrode 40 and each ground electrode 41 can be maintained with high accuracy.

【0051】図5は本発明の実施の一形態である浄化装
置に備えられる非平衡プラズマ発生部27aの放電電極
110およびアース電極111を簡略化して示す正面図
であり、図6は非平衡プラズマ発生部27aの一部を示
す平面図である。図5および図6において、放電電極1
10は図解を容易にするため、その太さを拡大して示し
ている。
FIG. 5 is a simplified front view showing the discharge electrode 110 and the ground electrode 111 of the non-equilibrium plasma generating portion 27a provided in the purifying apparatus according to one embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a non-equilibrium plasma. It is a top view which shows a part of generation part 27a. 5 and 6, the discharge electrode 1
In order to facilitate the illustration, reference numeral 10 is shown with its thickness enlarged.

【0052】放電電極110は導電性を有する材料、た
とえば鋼から成り、断面形状が正方形状の線状体から成
る。アース電極111は、導電性を有する材料、たとえ
ば鋼から成る。またアース電極111は、螺旋状体11
2と複数(本実施形態において2)の保持部材113と
から成る。螺旋状体112は、前記放電電極110の軸
線に沿って延び、断面形状が円形状の線状体から成り、
この線状体を前記放電電極110を中心としてほぼ一定
の内径D10およびほぼ一定のピッチp1を有するルー
プ状である螺旋状に形成される。複数の保持部材113
は、前記放電電極110の軸線に延び、かつ断面形状が
円形状に形成され、前記螺旋状体112の外周部に前記
螺旋状体112のピッチp1を保持する。各保持部材1
13は、前記螺旋状体112の一直径線上で中心軸線に
関して線対称に設けられる。各保持部材113は、たと
えば鋼から成り、前記螺旋状体112の外周部に前記軸
線方向に間隔をあけて複数箇所で溶接される。アース電
極111によって囲まれた空間114には、放電電極1
10が同軸に配置される。放電電極110は、少なくと
もアース電極111の長手方向全長に臨んで配置され
る。
The discharge electrode 110 is made of a conductive material such as steel, and is a linear body having a square cross section. The ground electrode 111 is made of a conductive material such as steel. Further, the ground electrode 111 is the spiral body 11
Two and a plurality (two in the present embodiment) of holding members 113. The spiral body 112 extends along the axis of the discharge electrode 110 and has a circular cross-section.
This linear body is formed in a spiral shape having a loop shape having a substantially constant inner diameter D10 and a substantially constant pitch p1 around the discharge electrode 110. A plurality of holding members 113
Extends in the axis of the discharge electrode 110 and has a circular cross section, and holds the pitch p1 of the spiral body 112 on the outer peripheral portion of the spiral body 112. Each holding member 1
13 is provided in line symmetry with respect to the central axis on one diameter line of the spiral body 112. Each holding member 113 is made of, for example, steel, and is welded to the outer peripheral portion of the spiral body 112 at a plurality of positions at intervals in the axial direction. In the space 114 surrounded by the ground electrode 111, the discharge electrode 1
10 are arranged coaxially. The discharge electrode 110 is arranged so as to face at least the entire length of the ground electrode 111 in the longitudinal direction.

【0053】放電電極110およびアース電極111
は、非平衡プラズマ発生部27aに、前記軸線方向が鉛
直方向(図5の上下方向)になるように、かつ各保持部
材113が後述のガスの流下方向Aに臨むように複数配
置される。また各放電電極110および各アース電極1
11は、相互に間隔をあけて千鳥状に配置される。各放
電電極110の下端部には、重錘115がそれぞれ設け
られる。塵埃が除去されたガスは、図6の下方から上方
に向かう前記ガスの流下方向Aに供給される。ここで本
発明の実施の形態において、「千鳥状」とは、前記ガス
の流下方向Aに垂直な方向(図6の左右方向)に等間隔
d10をあけて予め定める第1位置116に各放電電極
110が配置され、かつ各放電電極110と同軸になる
ように各アース電極111が配置され、第1位置116
における隣接する各放電電極110間の距離d10を一
辺とする正三角形の頂点の位置である第2位置117
に、各放電電極110および各アース電極111が配置
された状態をいう。
Discharge electrode 110 and ground electrode 111
In the non-equilibrium plasma generating part 27a, a plurality of the holding members 113 are arranged so that the axial direction is the vertical direction (vertical direction in FIG. 5) and each holding member 113 faces a gas flowing direction A described later. In addition, each discharge electrode 110 and each ground electrode 1
11 are arranged in a zigzag pattern with an interval between them. A weight 115 is provided at the lower end of each discharge electrode 110. The gas from which the dust has been removed is supplied in the downward direction A of the gas from the lower side to the upper side in FIG. Here, in the embodiment of the present invention, "staggered" means that each discharge is at a predetermined first position 116 at equal intervals d10 in a direction perpendicular to the gas flow direction A (left-right direction in FIG. 6). The electrodes 110 are arranged, and the ground electrodes 111 are arranged so as to be coaxial with the discharge electrodes 110.
The second position 117, which is the position of the apex of an equilateral triangle whose side is the distance d10 between the adjacent discharge electrodes 110 in
In this state, the discharge electrodes 110 and the ground electrodes 111 are arranged.

【0054】第2位置117におけるハウジング26の
鉛直方向(図6の紙面に垂直な方向)に延びて対向する
一対の内周面26a,26bには、鉛直方向に延び、か
つハウジング26の対向する各内周面26a,26bに
向かって突出する一対のバッフルプレート118a,1
18bがそれぞれ設けられる。各バッフルプレート11
8a,118bと第2位置117における各バッフルプ
レート118a,118bに隣接する各アース電極11
1a,111bとの間隔は、各内周面26a,26bと
第1位置116における各内周面26a,26bに隣接
する各アース電極111c,111dとの間隔と等しく
選ばれる。
At the second position 117, a pair of inner peripheral surfaces 26a and 26b extending in the vertical direction of the housing 26 (direction perpendicular to the paper surface of FIG. 6) and facing each other extend in the vertical direction and face the housing 26. A pair of baffle plates 118a, 1 protruding toward the inner peripheral surfaces 26a, 26b
18b are provided respectively. Each baffle plate 11
8a, 118b and each ground electrode 11 adjacent to each baffle plate 118a, 118b at the second position 117
The distance between the inner peripheral surfaces 26a, 26b and the respective ground electrodes 111c, 111d adjacent to the inner peripheral surfaces 26a, 26b at the first position 116 is selected to be equal to the distance between the inner peripheral surfaces 26a, 26b.

【0055】前記ガスは、アース電極111の側方側か
ら前記螺旋状体112の空隙119を介して、非平衡プ
ラズマが発生するアース電極111によって囲まれた空
間114に供給され、前記ガス中の臭気成分および有害
成分を分解除去し、この分解除去したガスが前記空間1
14から前記空隙119を介して排出される。また第1
位置116における各アース電極111間を通過した前
記ガスは、第2位置117における非平衡プラズマが発
生するアース電極111によって囲まれた空間114に
導かれる。このようにして前記ガスが処理される。
The gas is supplied to the space 114 surrounded by the ground electrode 111 where non-equilibrium plasma is generated from the side of the ground electrode 111 through the void 119 of the spiral body 112, and the gas in the gas is supplied. The odorous components and harmful components are decomposed and removed, and the gas thus decomposed and removed is the space 1
14 is discharged through the gap 119. Also the first
The gas passing between the ground electrodes 111 at the positions 116 is guided to the space 114 surrounded by the ground electrodes 111 in which the non-equilibrium plasma is generated at the second positions 117. In this way, the gas is treated.

【0056】各放電電極110および各アース電極11
1の寸法の一例を示すと、放電電極110の断面の一辺
の長さB1は2〜6mm程度、好ましくは4mm程度に
選ばれる。アース電極111の内径D10は、50〜1
000mm程度、好ましくは200mm程度に選ばれ
る。アース電極111の軸線方向長さL10は3〜10
m程度、好ましくは3m程度に選ばれる。螺旋状体11
2を形成する線状体の直径D11は2〜7mm程度、好
ましくは5mm程度に選ばれる。螺旋状体112のピッ
チp1は、30mm程度に選ばれる。各放電電極110
間の距離d10は、220mm程度に選ばれる。各保持
部材113の軸線方向長さL11は、3m程度に選ばれ
る。各保持部材113の直径D12は、4mm程度に選
ばれる。
Each discharge electrode 110 and each ground electrode 11
For example, the length B1 of one side of the cross section of the discharge electrode 110 is selected to be about 2 to 6 mm, preferably about 4 mm. The inner diameter D10 of the ground electrode 111 is 50 to 1
It is selected to be about 000 mm, preferably about 200 mm. The axial length L10 of the ground electrode 111 is 3 to 10
m, preferably about 3 m. Spiral 11
The diameter D11 of the linear body forming 2 is selected to be about 2 to 7 mm, preferably about 5 mm. The pitch p1 of the spiral body 112 is selected to be about 30 mm. Each discharge electrode 110
The distance d10 between them is selected to be about 220 mm. The axial length L11 of each holding member 113 is selected to be about 3 m. The diameter D12 of each holding member 113 is selected to be about 4 mm.

【0057】前記アース電極111は螺旋状に形成され
るので、前記アース電極111の軸線と同軸に設けられ
る放電電極110およびアース電極111間の距離を一
定に保つことができ、放電距離を高精度に保持すること
ができる。
Since the earth electrode 111 is formed in a spiral shape, the distance between the discharge electrode 110 and the earth electrode 111 provided coaxially with the axis of the earth electrode 111 can be kept constant, and the discharge distance can be highly accurate. Can be held at.

【0058】また本発明の実施の形態のアース電極11
1は、その形状を、たとえば網状に形成したときよりも
製造が容易である。すなわちアース電極を網状に形成す
るときには、網目を形成する各部材の交点をそれぞれ溶
接して網状の部材を形成した後、この部材を円筒状に形
成して、その連結部分を溶接しなければならない。した
がって製造作業に手間がかかるとともに、加工精度のよ
いアース電極を製造することが困難である。本発明の実
施の形態のアース電極111は、線状体をロールなどに
巻きつけて螺旋状体112を形成し、螺旋状体112の
外周部に複数の保持部材113をその軸線方向に間隔を
あけて複数箇所を溶接するだけで製造することができ
る。したがって加工精度のよいアース電極111を容易
に製造することができる。
Further, the ground electrode 11 according to the embodiment of the present invention.
1 is easier to manufacture than when it is formed in a net shape, for example. That is, when forming the ground electrode in a mesh shape, it is necessary to weld the intersections of the members forming the mesh to form a mesh member, then form the member in a cylindrical shape, and weld the connecting portion. . Therefore, it takes time and labor for manufacturing, and it is difficult to manufacture a ground electrode with high processing accuracy. In the ground electrode 111 according to the embodiment of the present invention, a linear body is wound around a roll or the like to form a spiral body 112, and a plurality of holding members 113 are provided on the outer peripheral portion of the spiral body 112 in the axial direction. It can be manufactured simply by opening and welding multiple points. Therefore, the ground electrode 111 with good processing accuracy can be easily manufactured.

【0059】さらに前記放電電極110および前記アー
ス電極111間の高速の電子が得られる放電領域は、螺
旋状に形成される。また前記螺旋状体112のピッチを
p1に選ぶことによって、放電電極110およびアース
電極111間の放電領域を高精度な仮想円柱状に形成す
ることができる。したがって塵埃の除去された臭気成分
および有害成分を含むガスを、アース電極111の軸線
方向および軸線方向に交差する方向のいずれか一方に通
過させることによって、前記ガスを確実に処理すること
ができる。これとともに前記アース電極111の表面積
は、たとえば円筒状に形成された同一寸法のアース電極
の表面積よりも非常に小さくすることができる。これに
よって放電電極110およびアース電極111間の静電
容量を小さくして、放電電位に達するために要する時間
を短縮し、非平衡プラズマを発生させやすくして、高速
の電子を得ることができる。
Furthermore, the discharge region between the discharge electrode 110 and the ground electrode 111, in which high-speed electrons are obtained, is formed in a spiral shape. Further, by selecting the pitch of the spiral body 112 as p1, the discharge region between the discharge electrode 110 and the ground electrode 111 can be formed in a highly accurate virtual columnar shape. Therefore, the gas containing the odorous component and the harmful component from which dust is removed can be reliably treated by passing the gas in either the axial direction of the earth electrode 111 or the direction intersecting the axial direction. At the same time, the surface area of the ground electrode 111 can be made much smaller than the surface area of the ground electrode of the same size formed in a cylindrical shape, for example. As a result, the capacitance between the discharge electrode 110 and the ground electrode 111 can be reduced, the time required to reach the discharge potential can be shortened, non-equilibrium plasma can be easily generated, and high-speed electrons can be obtained.

【0060】さらに前記アース電極111のピッチp1
を変えることによって、一定の内径D10および一定の
長さL10におけるアース電極111の表面積を調整す
ることが容易である。
Further, the pitch p1 of the ground electrodes 111
By changing, it is easy to adjust the surface area of the ground electrode 111 at a constant inner diameter D10 and a constant length L10.

【0061】各保持部材113は、前記螺旋状体112
の外周部にそれぞれ溶接されて固定されるので、各保持
部材113の前記螺旋状体112の固定が容易である。
これとともに、溶接部分が前記螺旋状体112から半径
方向内方に突出することがなく、溶接部分の突出によっ
て生じるアース電極111の損傷を防ぐことができる。
すなわち、溶接部分の突出によって放電距離が短くな
り、放電距離の2乗に比例して、この放電電極110お
よび溶接部分間で火花放電が生じやすくなり、アーク放
電へと遷移して、アース電極111が溶融してしまう。
この溶融した部分では、さらにアーク放電が生じてしま
い、アース電極111が損傷してしまう。アース電極1
11の損傷を防ぐためには、溶接部分を前記螺旋状体1
12から突出させないように螺旋状体112の外周部側
で溶接することによって実現される。このように構成す
ることによってアーク放電が生じず、アース電極111
が損傷することが防がれる。
Each holding member 113 has the spiral body 112.
Since each of the holding members 113 is welded and fixed to the outer periphery of the holding member 113, the spiral member 112 can be easily fixed.
At the same time, the welded portion does not protrude radially inward from the spiral body 112, and damage to the ground electrode 111 caused by the protrusion of the welded portion can be prevented.
That is, the discharge distance is shortened due to the protrusion of the welded portion, and spark discharge is likely to occur between the discharge electrode 110 and the welded portion in proportion to the square of the discharge distance, and transition to arc discharge occurs. Melts.
Arc discharge is further generated in the melted portion, and the ground electrode 111 is damaged. Ground electrode 1
In order to prevent damage to the welded portion 11,
It is realized by welding on the outer peripheral side of the spiral body 112 so as not to project from 12. With this configuration, arc discharge does not occur, and the earth electrode 111
Is prevented from being damaged.

【0062】各保持部材113は、前記螺旋状体112
の一直径線上で中心軸線に関して線対称に設けられ、前
記ガスの流下方向Aに臨むように配置されるので、各保
持部材113と放電電極110とは、前記ガスの流下方
向Aに平行な一直径線上に配置されることになる。これ
によって、各保持部材113と放電電極110とが前記
ガスの流下方向Aに交差する方向に平行な一直径線上に
配置されているときよりも、前記ガスの圧力損失は小さ
くなり、前記ガスが前記アース電極111によって囲ま
れた空間114を容易に通過することができる。
Each holding member 113 has the spiral body 112.
Since the holding member 113 and the discharge electrode 110 are arranged in line symmetry with respect to the central axis line on one diameter line and face the downflow direction A of the gas, the holding member 113 and the discharge electrode 110 are parallel to the downflow direction A of the gas. It will be arranged on the diameter line. As a result, the pressure loss of the gas becomes smaller than that when each holding member 113 and the discharge electrode 110 are arranged on one diameter line parallel to the direction intersecting the flow-down direction A of the gas. The space 114 surrounded by the ground electrode 111 can easily pass through.

【0063】前記ハウジング26の各内周面26a,2
6bの第2位置117にはバッフルプレート118a,
118bがそれぞれ設けられるので、第1位置116に
おける各内周面26a,26bに隣接する各アース電極
111c,111dと各内周面26a,26bとの間の
空隙120を流れる前記ガスを、バッフルプレート11
8a,118bによって第2位置117に配置される各
アース電極111に導くことができ、前記ガスを確実に
処理することができる。
Each inner peripheral surface 26a, 2 of the housing 26
The baffle plate 118a, the second position 117 of 6b,
Since the respective 118b are provided, the gas flowing through the gap 120 between the respective inner peripheral surfaces 26a, 26b and the respective ground electrodes 111c, 111d adjacent to the respective inner peripheral surfaces 26a, 26b at the first position 116 is baffled by the baffle plate. 11
The gas can be guided to each of the ground electrodes 111 arranged at the second position 117 by 8a and 118b, and the gas can be reliably processed.

【0064】各アース電極111は相互に間隔をあけて
配置されるので、すべてのアース電極111が相互に接
触しているときと比べて、1つのアース電極111が不
所望にずれたとしても、すべてのアース電極111がず
れてしまうという不具合が生じず、各放電電極110お
よび各アース電極111間の距離を高精度に保持するこ
とができる。
Since the respective ground electrodes 111 are arranged at a distance from each other, even if one ground electrode 111 is displaced undesirably compared with the case where all the ground electrodes 111 are in contact with each other, The problem that all the ground electrodes 111 are displaced does not occur, and the distance between each discharge electrode 110 and each ground electrode 111 can be maintained with high accuracy.

【0065】図7は、本発明の実施の他の形態である浄
化装置に備えられる非平衡プラズマ発生部27a1の一
部を示す平面図である。本実施形態において、前述の実
施形態の構成に対応する部分には同一の参照符を付し、
説明を省略する。図7において、放電電極110は図解
を容易にするため、その太さを拡大して示している。
FIG. 7 is a plan view showing a part of non-equilibrium plasma generating portion 27a1 provided in the purifying apparatus according to another embodiment of the present invention. In the present embodiment, the same reference numerals are attached to the portions corresponding to the configurations of the above-described embodiments,
The description is omitted. In FIG. 7, the thickness of the discharge electrode 110 is shown in an enlarged scale for ease of illustration.

【0066】放電電極110およびアース電極111
は、非平衡プラズマ発生部27a1に、放電電極110
およびアース電極111の軸線方向が鉛直方向(図7の
紙面に垂直な方向)になるように、かつ各保持部材11
3が塵埃が除去された臭気成分および有害成分を含むガ
スの流下方向A(図7の下方から上方へ向かう方向)に
臨むように複数配置される。また各放電電極110およ
び各アース電極111は、相互に間隔をあけて千鳥状に
配置される。ここで本発明の実施の形態において、「千
鳥状」とは、前記ガスの流下方向Aに垂直な方向(図7
の左右方向)に等間隔d10をあけて予め定める第1位
置121に配置される各放電電極110、および各放電
電極110と同軸となるように配置される各アース電極
111の数と、第1位置における各放電電極110間の
距離d10を一辺とする正三角形の頂点の位置である第
2位置122に配置される各放電電極110、および各
放電電極110と同軸となるように配置される各アース
電極111の数とが等しく、第2位置122の各放電電
極110および各アース電極111が、第1位置121
の各放電電極110および各アース電極111に対し
て、前記ガスの流下方向Aに垂直な方向に前記間隔d1
0の半分だけずれて配置された状態をいう。
Discharge electrode 110 and ground electrode 111
The discharge electrode 110 in the non-equilibrium plasma generating unit 27a1.
And the holding electrode 11 such that the axial direction of the ground electrode 111 is the vertical direction (direction perpendicular to the paper surface of FIG. 7).
A plurality of 3 are arranged so as to face in the downward direction A (the direction from the lower side to the upper side in FIG. 7) of the gas containing the odorous component and the harmful component from which dust has been removed. The discharge electrodes 110 and the ground electrodes 111 are arranged in a zigzag pattern with a space between them. Here, in the embodiment of the present invention, "staggered" means a direction perpendicular to the gas flow direction A (see FIG. 7).
The number of each discharge electrode 110 arranged at a predetermined first position 121 at equal intervals d10 in the left-right direction), and the number of each ground electrode 111 arranged coaxially with each discharge electrode 110; Each of the discharge electrodes 110 arranged at the second position 122, which is the position of the apex of an equilateral triangle having the distance d10 between the discharge electrodes 110 at each position as one side, and each arranged so as to be coaxial with each discharge electrode 110. The number of the ground electrodes 111 is the same, and the discharge electrodes 110 and the ground electrodes 111 at the second position 122 are connected to the first position 121.
With respect to each discharge electrode 110 and each ground electrode 111 in the direction perpendicular to the gas flow direction A.
It means a state where they are displaced by half of 0.

【0067】第1位置121におけるハウジング26の
鉛直方向に延びて対向する一対の内周面26a,26b
のうち、一方(図7の右方)側の内周面26aには、鉛
直方向に延び、かつ他方(図7の左方)側の内周面26
bに向かって突出する第1バッフルプレート123aが
設けられる。第2位置122の他方側の内周面26bに
は、鉛直方向に延び、かつ一方側の内周面26aに向か
って突出する第2バッフルプレート123bが設けられ
る。第1バッフルプレート123aと、第1位置121
における第1バッフルプレート123aに隣接するアー
ス電極111eとの間隔は、他方側の内周面26bと、
第1位置121における他方側の内周面26bに隣接す
るアース電極111fとの間隔と等しく選ばれる。第2
バッフルプレート123bと、第2位置122における
第2バッフルプレート123bに隣接するアース電極1
11との間隔は、一方側の内周面26aと、第2位置1
22における一方側の内周面26aに隣接するアース電
極111hとの間隔と等しく選ばれる。第1位置121
における第1バッフルプレート123aと他方側の内周
面26bとの間隔は、第2位置122における第2バッ
フルプレート123bと一方側の内周面26aとの間隔
と等しく選ばれる。
A pair of inner peripheral surfaces 26a, 26b extending in the vertical direction of the housing 26 at the first position 121 and facing each other.
Among them, the inner peripheral surface 26a on one side (right side in FIG. 7) extends in the vertical direction and the inner peripheral surface 26 on the other side (left side in FIG. 7).
A first baffle plate 123a protruding toward b is provided. A second baffle plate 123b that extends in the vertical direction and projects toward the inner peripheral surface 26a on one side is provided on the inner peripheral surface 26b on the other side of the second position 122. First baffle plate 123a and first position 121
The distance from the ground electrode 111e adjacent to the first baffle plate 123a in the
The distance from the ground electrode 111f adjacent to the inner peripheral surface 26b on the other side at the first position 121 is selected to be equal. Second
The baffle plate 123b and the ground electrode 1 adjacent to the second baffle plate 123b at the second position 122
The distance between the inner peripheral surface 26a on one side and the second position 1
The distance to the ground electrode 111h adjacent to the inner peripheral surface 26a on one side of 22 is selected to be equal. First position 121
The distance between the first baffle plate 123a and the inner peripheral surface 26b on the other side is selected to be equal to the distance between the second baffle plate 123b and the inner peripheral surface 26a on the one side at the second position 122.

【0068】塵埃の除去された臭気成分および有害成分
を含むガスは、流下方向Aに供給される。第1位置12
1における各アース電極111に臨む位置を通過する前
記ガスは、非平衡プラズマが発生するアース電極111
によって囲まれた空間114を通過する。第1位置12
1における各アース電極111間、ならびに第1バッフ
ルプレート123aおよび前記アース電極111b間を
通過する前記ガスは、第2位置122における非平衡プ
ラズマが発生するアース電極111によって囲まれた空
間114を通過する。第1位置121よりも前記ガスの
流下方向A上流側の一方側の内周面26a付近を通過す
る前記ガスは、第1バッフルプレート123aによって
他方側の内周面26b側に導かれて、非平衡プラズマが
発生するアース電極111によって囲まれた空間114
を通過する。他方側の内周面26bと前記アース電極1
11fとの間の空隙124を通過する前記ガスは、第2
バッフルプレート123bによって一方側の内周面26
a側に導かれて、非平衡プラズマが発生するアース電極
111によって囲まれた空間114を通過する。このよ
うにして前記ガスは、そのガス中の臭気成分および有害
成分が非平衡プラズマによって分解除去されて、排出さ
れる。
The gas containing the odorous component and the harmful component from which dust has been removed is supplied in the downward direction A. First position 12
The gas passing through the positions facing the respective ground electrodes 111 in No. 1 is the ground electrodes 111 in which non-equilibrium plasma is generated.
It passes through a space 114 surrounded by. First position 12
The gas passing between the respective ground electrodes 111 in No. 1 and between the first baffle plate 123a and the ground electrode 111b passes through the space 114 surrounded by the ground electrodes 111 in which the non-equilibrium plasma is generated at the second position 122. . The gas passing near the inner peripheral surface 26a on the one side on the upstream side of the gas downward direction A from the first position 121 is guided to the inner peripheral surface 26b on the other side by the first baffle plate 123a, and Space 114 surrounded by the ground electrode 111 in which equilibrium plasma is generated
Pass through. The inner peripheral surface 26b on the other side and the ground electrode 1
The gas passing through the gap 124 between the
The inner peripheral surface 26 on one side by the baffle plate 123b
It is guided to the a side and passes through the space 114 surrounded by the ground electrode 111 in which non-equilibrium plasma is generated. In this manner, the gas is discharged after the odorous components and harmful components in the gas are decomposed and removed by the nonequilibrium plasma.

【0069】第1位置121における第1バッフルプレ
ート123aと他方側の内周面26bとの間隔と、第2
位置122における第2バッフルプレート123bと一
方側の内周面26aとの間隔とは等しく選ばれるので、
前記ガスの流路断面積の変化が小さくなり、前記ガスの
圧力損失を小さくすることができる。これによって前記
ガスが、前記アース電極111によって囲まれた空間1
14を容易に通過することができ、前記ガスを確実に処
理することができる。
The distance between the first baffle plate 123a and the inner peripheral surface 26b on the other side at the first position 121, and the second
Since the distance between the second baffle plate 123b and the inner peripheral surface 26a on one side at the position 122 is selected to be equal,
The change in the cross-sectional area of the flow path of the gas is reduced, and the pressure loss of the gas can be reduced. As a result, the gas is enclosed in the space 1 surrounded by the earth electrode 111.
The gas can be easily passed through and the gas can be reliably processed.

【0070】図8は本発明の実施のさらに他の形態であ
る浄化装置に備えられる非平衡プラズマ発生部27bの
放電電極130およびアース電極131を簡略化して示
す正面図であり、図9は非平衡プラズマ発生部27bの
一部を示す平面図である。図8および図9において、放
電電極130は図解を容易にするために、その太さを拡
大して示している。
FIG. 8 is a simplified front view showing the discharge electrode 130 and the ground electrode 131 of the non-equilibrium plasma generating part 27b provided in the purifying apparatus according to still another embodiment of the present invention, and FIG. It is a top view which shows a part of equilibrium plasma generation part 27b. In FIG. 8 and FIG. 9, the discharge electrode 130 is shown by enlarging its thickness in order to facilitate the illustration.

【0071】放電電極130は導電性を有する材料、た
とえば鋼から成り、断面形状が正方形状の線状体から成
る。アース電極131は、導電性を有する材料、たとえ
ば鋼から成る。またアース電極131は、複数のリング
状体132と複数(本実施形態において2)の保持部材
133とから成る。複数のリング状体132は、断面形
状が円形状の線状体を、前記放電電極130を中心とし
てほぼ一定の内径D13を有するループ状である外形が
円形のリング状に形成される。各リング状体132は、
前記放電電極130の軸線に沿ってほぼ一定の間隔p2
をあけて配置される。複数の保持部材132は、前記軸
線2方向に延び、かつ断面形状が円形状に形成され、各
リング状体132の一直径線上で中心軸線に関して線対
称に設けられる。各保持部材133は、各リング状体1
32の外周部に固定されて、各リング状体132の間隔
p2を保持する。各リング状体132は、その中心軸線
が前記放電電極130の軸線と同軸になるように配置さ
れる。各リング状体132と各保持部材133とは、各
リング状体132の一直径線上でそれぞれ溶接される。
アース電極131によって囲まれた空間134には、放
電電極130が同軸に配置される。放電電極130は、
少なくともアース電極131の長手方向全長に臨んで配
置される。
The discharge electrode 130 is made of a conductive material such as steel, and is a linear body having a square cross section. The ground electrode 131 is made of a conductive material such as steel. The ground electrode 131 is composed of a plurality of ring-shaped bodies 132 and a plurality of (two in the present embodiment) holding members 133. Each of the plurality of ring-shaped bodies 132 is a linear body having a circular cross-section, and has a loop-shaped outer shape having a substantially constant inner diameter D13 centered on the discharge electrode 130 and a circular ring-shaped outer shape. Each ring-shaped body 132
A substantially constant interval p2 is provided along the axis of the discharge electrode 130.
Will be placed. The plurality of holding members 132 extend in the direction of the axis 2 and have a circular cross-sectional shape, and are provided line-symmetrically with respect to the central axis on one diameter line of each ring-shaped body 132. Each holding member 133 corresponds to each ring-shaped body 1
It is fixed to the outer peripheral portion of 32 and holds the interval p2 between the ring-shaped bodies 132. Each ring-shaped body 132 is arranged so that its central axis is coaxial with the axis of the discharge electrode 130. Each ring-shaped body 132 and each holding member 133 are welded on one diameter line of each ring-shaped body 132.
The discharge electrode 130 is coaxially arranged in the space 134 surrounded by the ground electrode 131. The discharge electrode 130 is
It is arranged so as to face at least the entire length of the ground electrode 131 in the longitudinal direction.

【0072】放電電極130およびアース電極131
は、非平衡プラズマ発生部27bに、前記軸線方向が鉛
直方向(図8の上下方向)になるように、かつ各保持部
材133が後述のガスの流下方向Aに臨むように複数配
置される。また各放電電極130および各アース電極1
31は、相互に間隔をあけて千鳥状に配置される。また
各放電電極130の下端部には、重錘135がそれぞれ
設けられる。塵埃が除去されたガスは、図9の下方から
上方に向かう前記ガスの流下方向Aに供給される。ここ
で本発明の実施の形態において、「千鳥状」とは、前記
ガスの流下方向Aに垂直な方向(図9の左右方向)に等
間隔d11をあけて予め定める第1位置136に各放電
電極130が配置され、かつ各放電電極130と同軸に
なるように各アース電極131が配置され、第1位置1
36における隣接する各放電電極130間の距離d11
を一辺とする正三角形の頂点の位置である第2位置13
7に、各放電電極130および各アース電極131が配
置された状態をいう。
Discharge electrode 130 and ground electrode 131
In the non-equilibrium plasma generating unit 27b, a plurality of the holding members 133 are arranged so that the axial direction is the vertical direction (vertical direction in FIG. 8) and each holding member 133 faces a gas flowing direction A described later. In addition, each discharge electrode 130 and each ground electrode 1
The 31s are arranged in a zigzag pattern at intervals. A weight 135 is provided at the lower end of each discharge electrode 130. The gas from which the dust is removed is supplied in the downward direction A of the gas from the lower side to the upper side in FIG. Here, in the embodiment of the present invention, “staggered” means that each discharge is at a predetermined first position 136 with an equal interval d11 in the direction perpendicular to the gas flow direction A (left-right direction in FIG. 9). The electrodes 130 are arranged, and the ground electrodes 131 are arranged so as to be coaxial with the discharge electrodes 130.
The distance d11 between adjacent discharge electrodes 130 at 36
The second position 13 which is the position of the vertex of an equilateral triangle having
7 shows a state in which each discharge electrode 130 and each ground electrode 131 are arranged.

【0073】第2位置137におけるハウジング26の
鉛直方向(図9の紙面に垂直な方向)に延びて対向する
一対の内周面26a,26bには、鉛直方向に延び、か
つハウジング26の対向する各内周面26a,26bに
向かって突出する一対のバッフルプレート138a,1
38bがそれぞれ設けられる。各バッフルプレート13
8a,138bと、第2位置137における各バッフル
プレート138a,138bに隣接する各アース電極1
31a,131bとの間隔は、各内周面26a,26b
と、第1位置136における各内周面26a,26bに
隣接する各アース電極131c,131dとの間隔と等
しく選ばれる。
At the second position 137, a pair of inner peripheral surfaces 26a and 26b extending in the vertical direction of the housing 26 (direction perpendicular to the paper surface of FIG. 9) and facing each other extend in the vertical direction and face the housing 26. A pair of baffle plates 138a, 1 protruding toward the inner peripheral surfaces 26a, 26b
38b are provided respectively. Each baffle plate 13
8a, 138b and each ground electrode 1 adjacent to each baffle plate 138a, 138b at the second position 137.
The intervals between the inner peripheral surfaces 26a and 26b are 31a and 131b.
Is set to be equal to the distance between each of the ground electrodes 131c and 131d adjacent to each of the inner peripheral surfaces 26a and 26b at the first position 136.

【0074】前記ガスは、アース電極131の側方側か
ら各リング状体132間の空隙139を介して、非平衡
プラズマが発生するアース電極131によって囲まれた
空間134に供給され、前記ガス中の臭気成分および有
害成分を分解除去し、この分解除去したガスが前記空間
134から前記空隙139を介して排出される。また、
第1位置136における各アース電極131間を通過し
た前記ガスは、第2位置137における非平衡プラズマ
が発生するアース電極131によって囲まれた空間13
4に導かれる。このようにして、前記ガスが処理され
る。
The gas is supplied to the space 134 surrounded by the ground electrode 131 where non-equilibrium plasma is generated from the side of the ground electrode 131 through the gap 139 between the ring-shaped bodies 132, and The odorous components and harmful components are decomposed and removed, and the decomposed and removed gas is discharged from the space 134 through the void 139. Also,
The gas that has passed between the ground electrodes 131 at the first position 136 is surrounded by the ground electrode 131 at which the non-equilibrium plasma is generated at the second position 137.
Guided to 4. In this way, the gas is processed.

【0075】各放電電極130および各アース電極13
1の寸法の一例を示すと、放電電極130の断面の一辺
の長さB2は、2〜6mm程度、好ましくは4mm程度
に選ばれる。アース電極131の内径D13は、50〜
1000mm程度、好ましくは200mm程度に選ばれ
る。アース電極131の軸線方向長さおよび保持部材1
33の軸線方向長さL13は、3〜10m程度、好まし
くは3m程度に選ばれる。各リング状体132を形成す
る線状体の直径D14は、2〜7mm程度、好ましくは
5mm程度に選ばれる。各リング状体132間の間隔p
2は、30mm程度に選ばれる。各放電電極130間の
距離d11は、220mm程度に選ばれる。
Each discharge electrode 130 and each ground electrode 13
For example, the length B2 of one side of the cross section of the discharge electrode 130 is selected to be about 2 to 6 mm, preferably about 4 mm. The inner diameter D13 of the ground electrode 131 is 50 to
It is selected to be about 1000 mm, preferably about 200 mm. Axial length of ground electrode 131 and holding member 1
The axial length L13 of 33 is selected to be about 3 to 10 m, preferably about 3 m. The diameter D14 of the linear body forming each ring-shaped body 132 is selected to be about 2 to 7 mm, preferably about 5 mm. Interval p between each ring-shaped body 132
2 is selected to be about 30 mm. The distance d11 between the discharge electrodes 130 is selected to be about 220 mm.

【0076】前記アース電極131は複数のリング状体
132が放電電極130の軸線に沿って相互に間隔をあ
けてループ状に形成されるので、前記アース電極131
の軸線と同軸に設けられる放電電極130およびアース
電極131間の距離を一定に保つことができ、放電距離
を高精度に保持することができる。
Since the plurality of ring-shaped bodies 132 are formed in a loop shape along the axis of the discharge electrode 130 with a space between each other, the ground electrode 131 is formed.
The distance between the discharge electrode 130 and the ground electrode 131 provided coaxially with the axis can be kept constant, and the discharge distance can be kept with high accuracy.

【0077】また本発明の実施の形態のアース電極13
1は、その形状を、たとえば網状に形成したときよりも
製造が容易である。すなわちアース電極を網状に形成す
るときには、網目を形成する各部材の交点をそれぞれ溶
接して網状の部材を形成した後、この部材を円筒状に形
成して、その連結部分を溶接しなければならない。した
がって製造作業に手間がかかるとともに、加工精度のよ
いアース電極を製造することが困難である。本発明の実
施の形態のアース電極131は、線状体をリング状に形
成してリング状体132を複数形成し、各リング状体1
32の外周部に複数の保持部材133をその軸線方向に
間隔をあけてそれぞれ溶接するだけで製造することがで
きる。したがって、加工精度のよいアース電極131を
容易に製造することができる。
Further, the ground electrode 13 according to the embodiment of the present invention.
1 is easier to manufacture than when it is formed in a net shape, for example. That is, when forming the ground electrode in a mesh shape, it is necessary to weld the intersections of the members forming the mesh to form a mesh member, then form the member in a cylindrical shape, and weld the connecting portion. . Therefore, it takes time and labor for manufacturing, and it is difficult to manufacture a ground electrode with high processing accuracy. In the ground electrode 131 according to the embodiment of the present invention, a linear body is formed in a ring shape to form a plurality of ring-shaped bodies 132.
A plurality of holding members 133 can be manufactured by simply welding the plurality of holding members 133 to the outer peripheral portion of 32 at intervals in the axial direction. Therefore, the ground electrode 131 with good processing accuracy can be easily manufactured.

【0078】さらに前記放電電極130および前記アー
ス電極131間の高速の電子が得られる放電領域は、円
板状に形成される。また各リング状体132の間隔をp
2に選ぶことによって、放電電極130およびアース電
極131間の放電領域を高精度な仮想円柱状に形成する
ことができる。したがって塵埃の除去された臭気成分お
よび有害成分を含むガスを、アース電極131の軸線方
向および軸線方向に交差する方向のいずれか一方に通過
させることによって、前記ガスを確実に処理することが
できる。これとともに前記アース電極131の表面積
は、たとえば円筒状に形成された同一寸法のアース電極
の表面積よりも非常に小さくすることができる。これに
よって放電電極130およびアース電極131間の静電
容量を小さくして、放電電位に達するために要する時間
を短縮し、非平衡プラズマを発生させやすくして、高速
の電子を得ることができる。
Furthermore, the discharge region between the discharge electrode 130 and the ground electrode 131, in which high-speed electrons are obtained, is formed in a disc shape. In addition, the interval between the ring-shaped bodies 132 is p
By selecting 2, the discharge region between the discharge electrode 130 and the ground electrode 131 can be formed in a highly accurate virtual columnar shape. Therefore, the gas containing the odorous component and the harmful component from which dust has been removed can be reliably treated by passing the gas in either the axial direction of the ground electrode 131 or the direction intersecting the axial direction. At the same time, the surface area of the ground electrode 131 can be made much smaller than the surface area of the ground electrode of the same size formed in a cylindrical shape, for example. As a result, the capacitance between the discharge electrode 130 and the ground electrode 131 can be reduced, the time required to reach the discharge potential can be shortened, non-equilibrium plasma can be easily generated, and high-speed electrons can be obtained.

【0079】各リング状体132の間隔がp2よりも大
きく選ばれたときには、放電領域が前記軸線方向に間隔
をあけて形成されることになる。これにともなって前記
ガスが各放電領域間の高速の電子が得られない領域を通
過して、前記ガスが処理されないという不具合が生じ
る。この問題を解決するためには、第2位置137のア
ース電極131の各リング状体132を、第1位置13
6のアース電極131の各リング状体132間の中間部
に臨むような位置に配置するとよい。これによって、第
1位置136のアース電極131の各放電領域間の高速
の電子が得られない領域に臨む位置に、第2位置137
のアース電極131の高速の電子が得られる放電領域が
臨むことになり、前記ガスを確実に処理することができ
る。
When the spacing between the ring-shaped bodies 132 is selected to be larger than p2, the discharge regions are formed with a spacing in the axial direction. Along with this, the gas passes through a region in which high-speed electrons cannot be obtained between the discharge regions, resulting in a problem that the gas is not processed. In order to solve this problem, each ring-shaped body 132 of the ground electrode 131 at the second position 137 is replaced by the first position 13
The ground electrode 131 of No. 6 may be arranged at a position so as to face the intermediate portion between the ring-shaped bodies 132. As a result, the second position 137 is located at a position facing the region where high-speed electrons cannot be obtained between the discharge regions of the ground electrode 131 at the first position 136.
The discharge area of the ground electrode 131 where high-speed electrons can be obtained is exposed, and the gas can be reliably processed.

【0080】さらに各リング状体132の軸線は、放電
電極130の軸線と同軸に設けられるので、各リング状
体132は前記ガスの流下方向A上流側から見て、アー
ス電極131が螺旋状に形成されているときよりも、各
リング状体132間の開口面積が大きくなる。したがっ
て前記ガスをアース電極131に通過させるときの圧力
損失を小さくすることができ、前記ガスがアース電極1
31によって囲まれた空間134を容易に通過すること
ができる。
Further, since the axis of each ring-shaped body 132 is provided coaxially with the axis of the discharge electrode 130, each ring-shaped body 132 has a spiral ground electrode 131 when viewed from the upstream side of the gas flow direction A. The opening area between the ring-shaped bodies 132 is larger than when they are formed. Therefore, it is possible to reduce the pressure loss when the gas is passed through the ground electrode 131, and the gas is prevented from flowing into the ground electrode 1.
It is possible to easily pass through the space 134 surrounded by 31.

【0081】各保持部材133は、各リング状体132
の外周部にそれぞれ溶接されて固定されるので、各保持
部材133の各リング状体132への固定が容易であ
る。これとともに、溶接部分が各リング状体132から
半径方向内方に突出することがなく、溶接部分の突出に
よって生じるアース電極131の損傷を防ぐことができ
る。すなわち、溶接部分の突出によって放電距離が短く
なり、放電距離の2乗に比例して、この放電電極130
および溶接部分間で火花放電が生じやすくなり、アーク
放電へと遷移して、アース電極131が溶融してしま
う。この溶融した部分では、さらにアーク放電が生じて
しまい、アース電極131が損傷してしまう。アース電
極131の損傷を防ぐためには、溶接部分を各リング状
体132から突出させないように各リング状体132の
外周部側で溶接することによって実現される。このよう
に構成することによってアーク放電が生じず、アース電
極131が損傷することが防がれる。
Each holding member 133 has a ring-shaped body 132.
Since each of the holding members 133 is fixed to the ring-shaped body 132 by welding and fixed to the outer peripheral portion thereof, it is easy to fix the holding members 133 to the ring-shaped bodies 132. At the same time, the welded portion does not protrude radially inward from each ring-shaped body 132, and damage to the ground electrode 131 caused by the protrusion of the welded portion can be prevented. That is, the protrusion of the welded portion shortens the discharge distance, and the discharge electrode 130 is proportional to the square of the discharge distance.
Also, spark discharge is likely to occur between the welded portions, transition to arc discharge, and the ground electrode 131 is melted. Arc discharge is further generated in the melted portion, and the ground electrode 131 is damaged. In order to prevent the ground electrode 131 from being damaged, welding is performed on the outer peripheral side of each ring-shaped body 132 so that the welded portion does not protrude from each ring-shaped body 132. With this structure, arc discharge does not occur and the ground electrode 131 is prevented from being damaged.

【0082】各保持部材133は、各リング状体132
の一直径線上で中心軸線に関して線対称に設けられ、前
記ガスの流下方向Aに臨むように配置されるので、各保
持部材133と放電電極130とは、前記ガスの流下方
向Aに平行な一直径線上に配置されることになる。これ
によって、各保持部材133と放電電極130とが前記
ガスの流下方向Aに交差する方向に平行な一直径線上に
配置されているときよりも、前記ガスの圧力損失は小さ
くなり、前記ガスが前記アース電極131によって囲ま
れた空間134を容易に通過することができる。
Each holding member 133 has a ring-shaped body 132.
The holding member 133 and the discharge electrode 130 are arranged in line symmetry with respect to the central axis line on one diameter line and face the downflow direction A of the gas. It will be arranged on the diameter line. As a result, the pressure loss of the gas becomes smaller than that when each holding member 133 and the discharge electrode 130 are arranged on one diameter line parallel to the direction intersecting the downflow direction A of the gas. The space 134 surrounded by the ground electrode 131 can easily pass through.

【0083】前記ハウジング26の各内周面26a,2
6bの第2位置137には一対のバッフルプレート13
8a,138bがそれぞれ設けられるので、第1位置1
36における各内周面26a,26bに隣接する各アー
ス電極131c,131dと各内周面26a,26bと
の間の空隙140を流れる前記ガスを、各バッフルプレ
ート138a,138bによって第2位置137に配置
される各アース電極131に導くことができ、前記ガス
を確実に処理することができる。
Each inner peripheral surface 26a, 2 of the housing 26
The second position 137 of 6b has a pair of baffle plates 13
Since 8a and 138b are provided respectively, the first position 1
The gas flowing through the gap 140 between the respective inner peripheral surfaces 26a, 26b adjacent to the respective inner peripheral surfaces 26a, 26b in the reference numeral 36 and the respective inner peripheral surfaces 26a, 26b is moved to the second position 137 by the respective baffle plates 138a, 138b. The gas can be guided to each of the arranged ground electrodes 131, and the gas can be reliably processed.

【0084】各アース電極131は相互に間隔をあけて
配置されるので、すべてのアース電極131が相互に接
触しているときと比べて、1つのアース電極131が不
所望にずれたとしても、すべてのアース電極131がず
れてしまうという不具合が生じず、各放電電極130お
よび各アース電極131間の距離を高精度に保持するこ
とができる。
Since the respective ground electrodes 131 are arranged at a distance from each other, even if one ground electrode 131 is undesirably displaced as compared with the case where all the ground electrodes 131 are in contact with each other, The problem that all the ground electrodes 131 are displaced does not occur, and the distance between each discharge electrode 130 and each ground electrode 131 can be maintained with high accuracy.

【0085】図10は、本発明の実施のさらに他の形態
である浄化装置に備えられる非平衡プラズマ発生部27
b1の一部を示す平面図である。本実施形態において、
前述の実施形態の構成に対応する部分には同一の参照符
を付し、説明を省略する。図10において、放電電極1
30は図解を容易にするため、その太さを拡大して示し
ている。
FIG. 10 shows a non-equilibrium plasma generating section 27 provided in a purifying apparatus according to still another embodiment of the present invention.
It is a top view which shows a part of b1. In this embodiment,
The same reference numerals are given to the portions corresponding to the configurations of the above-described embodiments, and the description will be omitted. In FIG. 10, the discharge electrode 1
Reference numeral 30 shows the thickness in an enlarged manner for ease of illustration.

【0086】放電電極130およびアース電極131
は、非平衡プラズマ発生部27b1に、放電電極130
およびアース電極131の軸線方向が鉛直方向(図10
の紙面に垂直な方向)になるように、かつ各保持部材1
33が、塵埃が除去された臭気成分および有害成分を含
むガスの流下方向A(図10の下方から上方へ向かう方
向)に臨むように複数配置される。また各放電電極13
0および各アース電極131は、相互に間隔をあけて千
鳥状に配置される。ここで本発明の実施の形態におい
て、「千鳥状」とは、前記ガスの流下方向Aに垂直な方
向(図10の左右方向)に等間隔d11をあけて予め定
める第1位置141に配置される各放電電極130、お
よび各放電電極130と同軸となるように配置される各
アース電極131の数と、第1位置141における各放
電電極130間の距離d11を一辺とする正三角形の頂
点の位置である第2位置142に配置される各放電電極
130、および各放電電極130と同軸となるように配
置される各アース電極131の数とが等しく、第2位置
142の各放電電極130および各アース電極131
が、第1位置141の各放電電極130および各アース
電極131に対して、前記ガスの流下方向Aに垂直な方
向に前記間隔d11の半分だけずれて配置された状態を
いう。
Discharge electrode 130 and ground electrode 131
The discharge electrode 130 in the non-equilibrium plasma generating unit 27b1.
And the axial direction of the ground electrode 131 is vertical (see FIG.
(Perpendicular to the paper surface of) and each holding member 1
A plurality of 33 are arranged so as to face the downward direction A of the gas containing the odorous component and the harmful component from which dust has been removed (the direction from the lower side to the upper side in FIG. 10). In addition, each discharge electrode 13
The zero electrodes and the ground electrodes 131 are arranged in a zigzag pattern with a space therebetween. Here, in the embodiment of the present invention, "staggered" is arranged at a predetermined first position 141 at equal intervals d11 in a direction perpendicular to the gas flow direction A (left-right direction in FIG. 10). The number of discharge electrodes 130 and the number of ground electrodes 131 arranged coaxially with each discharge electrode 130, and the apex of an equilateral triangle having the distance d11 between the discharge electrodes 130 at the first position 141 as one side. The number of the discharge electrodes 130 arranged at the second position 142, which is the position, and the number of the ground electrodes 131 arranged coaxially with the discharge electrodes 130 are equal to each other. Each ground electrode 131
Of the first position 141 with respect to each of the discharge electrodes 130 and each of the ground electrodes 131 are displaced by a half of the distance d11 in the direction perpendicular to the gas flow direction A.

【0087】第1位置141におけるハウジング26の
鉛直方向に延びて対向する一対の内周面26a,26b
のうち、一方(図10の右方)側の内周面26aには、
鉛直方向に延び、かつ他方(図10の左方)側の内周面
26bに向かって突出する第1バッフルプレート143
aが設けられる。第2位置142の他方側の内周面26
bには、鉛直方向に延び、かつ一方側の内周面26aに
向かって突出する第2バッフルプレート143bが設け
られる。第1バッフルプレート143aと、第1位置1
41における第1バッフルプレート143aに隣接する
アース電極131eとの間隔は、他方側の内周面26b
と、第1位置141における他方側の内周面26bに隣
接するアース電極131fとの間隔と等しく選ばれる。
第2バッフルプレート143bと、第2位置142にお
ける第2バッフルプレート143bに隣接するアース電
極131gとの間隔は、一方側の内周面26aと、第2
位置142における一方側の内周面26bに隣接するア
ース電極131hとの間隔と等しく選ばれる。第1位置
141における第1バッフルプレート143aと他方側
の内周面26bとの間隔は、第2位置142における第
2バッフルプレート143bと一方側の内周面26aと
の間隔と等しく選ばれる。
A pair of inner peripheral surfaces 26a, 26b extending in the vertical direction of the housing 26 at the first position 141 and facing each other.
Of the inner peripheral surface 26a on one side (right side of FIG. 10),
The first baffle plate 143 that extends in the vertical direction and projects toward the inner peripheral surface 26b on the other side (the left side in FIG. 10).
a is provided. Inner peripheral surface 26 on the other side of second position 142
The b is provided with a second baffle plate 143b that extends in the vertical direction and projects toward the inner peripheral surface 26a on one side. First baffle plate 143a and first position 1
The space between the first electrode 41e and the ground electrode 131e adjacent to the first baffle plate 143a is equal to the inner peripheral surface 26b on the other side.
And the ground electrode 131f adjacent to the inner peripheral surface 26b on the other side at the first position 141 are selected to be equal to each other.
The interval between the second baffle plate 143b and the ground electrode 131g adjacent to the second baffle plate 143b at the second position 142 is equal to the inner peripheral surface 26a on one side and the second inner surface 26a.
The distance to the ground electrode 131h adjacent to the inner peripheral surface 26b on one side at the position 142 is selected to be equal. The distance between the first baffle plate 143a and the inner peripheral surface 26b on the other side at the first position 141 is selected to be equal to the distance between the second baffle plate 143b and the inner peripheral surface 26a on the one side at the second position 142.

【0088】塵埃の除去された臭気成分および有害成分
を含むガスは、流下方向Aに供給される。第1位置14
1における各アース電極131に臨む位置を通過する前
記ガスは、非平衡プラズマが発生するアース電極131
によって囲まれた空間134を通過する。第1位置14
1における各アース電極131間、ならびに第1バッフ
ルプレート143aおよび第1アース電極131e間を
通過する前記ガスは、第2位置142における非平衡プ
ラズマが発生するアース電極131によって囲まれた空
間134を通過する。第1位置141よりも前記ガスの
流下方向A上流側の一方側の内周面26a付近を通過す
るガスは、第1バッフルプレート143aによって他方
側の内周面26b側に導かれて、非平衡プラズマが発生
するアース電極131によって囲まれた空間134を通
過する。他方側の内周面26bと前記アース電極131
fとの間の空隙144を通過する前記ガスは、第2バッ
フルプレート143bによって一方側の内周面26a側
に導かれて、非平衡プラズマが発生するアース電極13
1によって囲まれた空間134を通過する。このように
して前記ガスは、そのガス中の臭気成分および有害成分
が非平衡プラズマによって分解除去されて、排出され
る。
The gas containing dust-removed odorous components and harmful components is supplied in the downward direction A. First position 14
The gas passing through the positions facing the respective ground electrodes 131 in No. 1 has the ground electrodes 131 in which non-equilibrium plasma is generated.
It passes through a space 134 surrounded by. First position 14
The gas passing between the respective ground electrodes 131 in No. 1 and between the first baffle plate 143a and the first ground electrode 131e passes through the space 134 surrounded by the ground electrodes 131 in which the non-equilibrium plasma is generated at the second position 142. To do. The gas passing near the inner peripheral surface 26a on the one side on the upstream side in the downward direction A of the gas from the first position 141 is guided to the inner peripheral surface 26b on the other side by the first baffle plate 143a to be unbalanced. The plasma passes through a space 134 surrounded by the ground electrode 131. The inner peripheral surface 26b on the other side and the ground electrode 131
The gas passing through the space 144 between the earth electrode 13 and the inner electrode 26a is guided by the second baffle plate 143b toward the inner peripheral surface 26a on one side, and the non-equilibrium plasma is generated.
It passes through a space 134 surrounded by 1. In this manner, the gas is discharged after the odorous components and harmful components in the gas are decomposed and removed by the nonequilibrium plasma.

【0089】第1位置141における第1バッフルプレ
ート143aと他方側の内周面26bとの間隔と、第2
位置142における第2バッフルプレート143bと一
方側の内周面26aとの間隔とは等しく選ばれるので、
前記ガスの流路断面積の変化が小さくなり、前記ガスの
圧力損失を小さくすることができる。これによって前記
ガスが、前記アース電極131によって囲まれた空間1
34を容易に通過することができ、前記ガスを確実に処
理することができる。
The distance between the first baffle plate 143a and the inner peripheral surface 26b on the other side at the first position 141, and the second
Since the distance between the second baffle plate 143b and the inner peripheral surface 26a on one side at the position 142 is selected to be equal,
The change in the cross-sectional area of the flow path of the gas is reduced, and the pressure loss of the gas can be reduced. As a result, the gas is enclosed in the space 1 surrounded by the earth electrode 131.
The gas can be easily passed through 34, and the gas can be reliably processed.

【0090】図11は本発明の基礎となる実施の形態で
ある浄化装置に備えられる非平衡プラズマ発生部27c
の放電電極50およびアース電極51を簡略化して示す
正面図であり、図12は図11の切断面線XII−XI
Iから見た断面図である。図11および図12におい
て、放電電極50は図解を容易にするため、その直径を
拡大して示している。
FIG. 11 shows a non-equilibrium plasma generating part 27c provided in the purifying apparatus which is the basic embodiment of the present invention.
12 is a simplified front view showing the discharge electrode 50 and the ground electrode 51 of FIG. 12, and FIG. 12 is a section line XII-XI of FIG.
It is the sectional view seen from I. In FIGS. 11 and 12, the discharge electrode 50 is shown with its diameter enlarged for ease of illustration.

【0091】放電電極50は導電性を有する材料、たと
えば鋼から成り、断面形状が円形状の線状体から成り、
かつ相互に間隔をあけて複数設けられる。アース電極5
1は導電性を有する材料、たとえば鋼から成り、複数の
透孔52が形成される平板状の板状体から成り、前記複
数の放電電極50から一定の間隔d2をあけて両側に配
置される。すなわちアース電極51はいわゆる網目状に
形成される。複数の放電電極50は、非平衡プラズマ発
生部27cに複数列設けられる。放電電極50は、少な
くともアース電極51の長手方向全長に臨んで配置され
る。
The discharge electrode 50 is made of a conductive material such as steel, and is a linear body having a circular cross section.
In addition, a plurality of them are provided at intervals. Ground electrode 5
Reference numeral 1 denotes a conductive material, for example, steel, which is a flat plate-like body having a plurality of through holes 52 formed therein, and is arranged on both sides of the plurality of discharge electrodes 50 with a certain distance d2. . That is, the ground electrode 51 is formed in a so-called mesh shape. The plurality of discharge electrodes 50 are provided in a plurality of rows in the non-equilibrium plasma generating unit 27c. The discharge electrode 50 is arranged so as to face at least the entire length of the ground electrode 51 in the longitudinal direction.

【0092】塵埃が除去されたガスは、図12の下方か
ら上方に向かう前記ガスの流下方向Aに供給される。こ
のガスは、アース電極51の側面側から各透孔52を介
して非平衡プラズマが発生するアース電極51間の空間
53に供給され、前記ガス中の臭気成分および有害成分
を分解除去し、この分解除去したガスを前記空間53か
ら各透孔52を介して排出する。
The gas from which the dust has been removed is supplied in the downward direction A of the gas from the lower side to the upper side in FIG. This gas is supplied to the space 53 between the ground electrodes 51 where non-equilibrium plasma is generated from the side surface side of the ground electrode 51 through each through hole 52, and decomposes and removes the odorous components and harmful components in the gas. The decomposed and removed gas is discharged from the space 53 through each through hole 52.

【0093】放電電極50およびアース電極51の寸法
の一例を示すと、放電電極50の直径D1は、1〜5m
m程度に選ばれる。各放電電極50間の間隔d1は、1
00m程度に選ばれる。各放電電極50およびアース電
極51間の間隔d2は、125mm程度に選ばれる。ア
ース電極51の厚さtは、たとえば2mm程度に選ばれ
る。アース電極51の幅Wは、3m程度に選ばれる。ア
ース電極51の長手方向長さL2は、3〜10m程度に
選ばれる。
As an example of the dimensions of the discharge electrode 50 and the ground electrode 51, the diameter D1 of the discharge electrode 50 is 1 to 5 m.
m is selected. The distance d1 between the discharge electrodes 50 is 1
It is selected to be around 00m. The distance d2 between each discharge electrode 50 and the ground electrode 51 is selected to be about 125 mm. The thickness t of the ground electrode 51 is selected to be about 2 mm, for example. The width W of the ground electrode 51 is selected to be about 3 m. The length L2 in the longitudinal direction of the ground electrode 51 is selected to be about 3 to 10 m.

【0094】アース電極51には複数の透孔52が形成
されるので、塵埃が除去されたガスを各透孔52を介し
て非平衡プラズマが発生するアース電極51間の空間5
3に供給して、前記ガスの臭気成分および有害成分を分
解除去し、この分解除去したガスを前記空間53から各
透孔52を介して排出することができる。またアース電
極51に平行な方向で、かつ放電電極50に交差する方
向および各放電電極50に沿う方向だけでなく、アース
電極51側から各放電電極52に交差する方向に塵埃が
除去されたガスを大きな流量で通過させて前記ガスを処
理することができる。これとともに、アース電極51の
表面積を、複数の透孔52が形成されていない同一寸法
のアース電極の表面積よりも小さくすることができる。
これによって各放電電極50およびアース電極51間の
静電容量を小さくして、放電電位に達するために要する
時間を短縮し、非平衡プラズマを発生させやすくして高
速の電子を得ることができる。
Since a plurality of through holes 52 are formed in the ground electrode 51, the space 5 between the ground electrodes 51 in which non-equilibrium plasma is generated through the through holes 52 for the gas from which dust has been removed
3, the odorous components and harmful components of the gas are decomposed and removed, and the decomposed and removed gas can be discharged from the space 53 through each through hole 52. Further, not only in the direction parallel to the ground electrode 51 and in the direction intersecting with the discharge electrode 50 and the direction along each discharge electrode 50, but also in the direction in which the dust is removed from the ground electrode 51 side in the direction intersecting each discharge electrode 52. Can be processed at high flow rates to treat the gas. Along with this, the surface area of the ground electrode 51 can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size in which the plurality of through holes 52 are not formed.
As a result, the capacitance between each discharge electrode 50 and the ground electrode 51 can be reduced, the time required to reach the discharge potential can be shortened, non-equilibrium plasma can be easily generated, and high-speed electrons can be obtained.

【0095】また前記複数の透孔52が形成される板状
体から成るアース電極51は平板状に形成されるので、
入手が容易な平板状の板状体をアース電極51として用
いることができ、これによって構成が簡単でかつ安価な
プラズマ発生手段4を形成することができる。
Further, since the earth electrode 51, which is a plate-shaped body in which the plurality of through holes 52 are formed, is formed in a flat plate shape,
A flat plate member that is easily available can be used as the ground electrode 51, whereby the plasma generating means 4 having a simple structure and a low cost can be formed.

【0096】さらに各放電電極50間の中央部に1また
は複数の第2のアース電極を配置することによって、高
速の電子が得られる領域が増え、ガスを処理する能力を
向上させることができる。
Further, by disposing one or a plurality of second ground electrodes in the central portion between the discharge electrodes 50, the area where high-speed electrons can be obtained is increased and the gas processing capability can be improved.

【0097】図13は本発明の基礎となる実施の形態で
ある浄化装置に備えられる非平衡プラズマ発生部27d
の放電電極60ならびにアース電極61および第2アー
ス電極63を簡略化して示す正面図であり、図14は図
13の切断面線XIV−XIVから見た断面図である。
図13および図14は、図解を容易にするため、放電電
極60および第2のアース電極63の直径および幅を拡
大して示している。
FIG. 13 is a non-equilibrium plasma generating section 27d provided in the purifying apparatus according to the embodiment of the present invention.
14 is a simplified front view showing the discharge electrode 60, the ground electrode 61, and the second ground electrode 63 of FIG. 14, and FIG. 14 is a sectional view taken along the section line XIV-XIV of FIG.
13 and 14, the diameter and width of the discharge electrode 60 and the second ground electrode 63 are shown in an enlarged manner for the sake of simplicity of illustration.

【0098】放電電極60は導電性を有する材料、たと
えば鋼から成り、断面形状が円形状の線状体から成り、
かつ相互に間隔をあけて複数設けられる。アース電極6
1は導電性を有する材料、たとえば鋼から成り、複数の
透孔62が形成される波板状の板状体から成り、前記複
数の放電電極60から一定の間隔をあけて両側に配置さ
れる。すなわちアース電極61はいわゆる網目状に形成
される、複数の放電電極60は、非均衡プラズマ発生部
27dに複数列設けられる。相互に隣接する各放電電極
60の位置関係は、正三角形をなすように配置される。
相互に隣接する各放電電極60間の中央部には、第2の
アース電極63が配置される。第2のアース電極63
は、導電性を有する材料、たとえば鋼から成り、断面形
状が正方形状の線状体から成る。アース電極61は、各
放電電極60およびこの放電電極に隣接する第2のアー
ス電極63間の間隔を半径とする仮想円筒面の一部を形
成するように弯曲している。放電電極60および第2の
アース電極63は、少なくともアース電極61の長手方
向全長に臨んで配置される。
The discharge electrode 60 is made of a conductive material such as steel, and is a linear body having a circular cross section.
In addition, a plurality of them are provided at intervals. Earth electrode 6
Reference numeral 1 denotes a conductive material, for example, steel, which is a corrugated plate-shaped body having a plurality of through holes 62 formed therein, and is disposed on both sides of the plurality of discharge electrodes 60 at regular intervals. . That is, the ground electrode 61 is formed in a so-called mesh shape, and the plurality of discharge electrodes 60 are provided in a plurality of rows in the non-equilibrium plasma generating unit 27d. The positions of the discharge electrodes 60 adjacent to each other are arranged so as to form an equilateral triangle.
The second ground electrode 63 is arranged in the central portion between the discharge electrodes 60 adjacent to each other. Second ground electrode 63
Is made of an electrically conductive material such as steel and has a linear shape with a square cross section. The ground electrode 61 is curved so as to form a part of an imaginary cylindrical surface whose radius is the distance between each discharge electrode 60 and the second ground electrode 63 adjacent to this discharge electrode. The discharge electrode 60 and the second ground electrode 63 are arranged so as to face at least the entire length of the ground electrode 61 in the longitudinal direction.

【0099】塵埃が除去されたガスは、図14の下方か
ら上方に向かう前記ガスの流下方向Aに供給される。こ
のガスは、アース電極61側から各透孔62を介して非
平衡プラズマが発生するアース電極61間の空間64に
供給され、前記ガス中の臭気成分および有害成分を分解
除去し、この分解除去したガスを前記空間64から各透
孔62を介して排出する。
The gas from which dust has been removed is supplied in the downward direction A of the gas from the lower side to the upper side in FIG. This gas is supplied from the ground electrode 61 side through each through hole 62 to the space 64 between the ground electrodes 61 where non-equilibrium plasma is generated, decomposes and removes odorous components and harmful components in the gas, and decomposes and removes them. The generated gas is discharged from the space 64 through the through holes 62.

【0100】放電電極60、アース電極61および第2
のアース電極63の寸法の一例を示すと、放電電極60
の直径D1は、1〜5mm程度に選ばれる。アース電極
61の幅Wは、3m程度に選ばれる。アース電極61の
長手方向長さL2は、3〜10m程度に選ばれる。アー
ス電極61の厚さtは、2mm程度に選ばれる。アース
電極61の放電電極60に臨む弯曲した面の半径Rは、
125mm程度に選ばれる。第2のアース電極63の一
辺の長さBは、4mm程度に選ばれる。各放電電極60
間の間隔d3は、たとえば250mm程度に選ばれる。
放電電極60および第2のアース電極63間の間隔d4
は、125mmに選ばれる。各放電電極60およびアー
ス電極61間の間隔d5は、たとえば125mm程度に
選ばれる。
Discharge electrode 60, earth electrode 61 and second
As an example of the dimensions of the ground electrode 63 of the discharge electrode 60,
The diameter D1 is selected to be about 1 to 5 mm. The width W of the ground electrode 61 is selected to be about 3 m. The length L2 in the longitudinal direction of the ground electrode 61 is selected to be about 3 to 10 m. The thickness t of the ground electrode 61 is selected to be about 2 mm. The radius R of the curved surface of the earth electrode 61 facing the discharge electrode 60 is
It is selected to be about 125 mm. The length B of one side of the second ground electrode 63 is selected to be about 4 mm. Each discharge electrode 60
The distance d3 between them is selected to be, for example, about 250 mm.
Distance d4 between the discharge electrode 60 and the second ground electrode 63
Is selected to be 125 mm. The distance d5 between each discharge electrode 60 and the ground electrode 61 is selected to be about 125 mm, for example.

【0101】アース電極61には複数の透孔62が形成
されるので、塵埃が除去されたガスを各透孔62を介し
て非平衡プラズマが発生するアース電極61間の空間6
4に供給して、前記ガス中の臭気成分および有害成分を
分解除去し、この分解除去したガスを前記空間64から
各透孔62を介して排出することができる。またアース
電極61に平行な方向で、かつ放電電極60に交差する
方向および各放電電極60に沿う方向だけでなく、アー
ス電極61側から各放電電極60に交差する方向に塵埃
が除去されたガスを大きな流量で通過させて前記ガスを
処理することができる。これとともに、アース電極61
の表面積を複数の透孔が形成されていない同一寸法のア
ース電極の表面積よりも小さくすることができる。これ
によって各放電電極60およびアース電極61間の静電
容量を小さくして、放電電位に達するために要する時間
を短縮し、非平衡プラズマを発生させやすくし、高速の
電子を容易に得ることができる。
Since a plurality of through holes 62 are formed in the ground electrode 61, a space 6 between the ground electrodes 61 where non-equilibrium plasma is generated through the through holes 62 for the gas from which dust has been removed.
4, the odorous components and harmful components in the gas are decomposed and removed, and the decomposed and removed gas can be discharged from the space 64 through the through holes 62. Further, not only the direction parallel to the ground electrode 61 and the direction intersecting the discharge electrode 60 and the direction along each discharge electrode 60, but also the gas from which dust is removed from the ground electrode 61 side in the direction intersecting each discharge electrode 60. Can be processed at high flow rates to treat the gas. Along with this, the ground electrode 61
Can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size in which a plurality of through holes are not formed. As a result, the capacitance between each discharge electrode 60 and the ground electrode 61 is reduced, the time required to reach the discharge potential is shortened, non-equilibrium plasma is easily generated, and high-speed electrons can be easily obtained. it can.

【0102】また前記複数の透孔62が形成される板状
体であるアース電極61は、波板状に形成されるので、
アース電極61が平板状に形成されているときよりも放
電電極60およびアース電極61間で高速の電子が得ら
れる領域が増え、アース電極61が平板状に形成されて
いるときよりも、ガスを処理する能力が向上し、構成が
簡単でかつ安価なプラズマ発生手段4を形成することが
できる。
Further, since the ground electrode 61, which is a plate-shaped body in which the plurality of through holes 62 are formed, is formed in a corrugated plate shape,
A region in which high-speed electrons can be obtained between the discharge electrode 60 and the ground electrode 61 is increased as compared with the case where the ground electrode 61 is formed in a flat plate shape, and gas is generated more than when the ground electrode 61 is formed in a flat plate shape. It is possible to form the plasma generating means 4 with improved processing ability, simple structure, and low cost.

【0103】さらにアース電極61を波板状に形成する
ことによって、アース電極61が平板状に形成されてい
るときよりも各アース電極61間の間隔を小さくして波
板状のアース電極61を配置することができ、プラズマ
発生手段4を小形化することができる。
Further, by forming the ground electrode 61 in a corrugated plate shape, the interval between the ground electrodes 61 is made smaller than that in the case where the ground electrode 61 is formed in a flat plate shape, and the corrugated plate ground electrode 61 is formed. The plasma generating means 4 can be arranged, and the size of the plasma generating means 4 can be reduced.

【0104】さらに相互に隣接する各放電電極60間の
中央部には第2のアース電極63が配置されるので、放
電電極60およびアース電極61間で高速の電子が得ら
れるとともに、放電電極60および第2のアース電極6
3間においても高速の電子を得ることができ、プラズマ
発生手段4がガスを処理する能力をさらに向上させるこ
とができる。
Further, since the second ground electrode 63 is arranged in the central portion between the discharge electrodes 60 adjacent to each other, high-speed electrons can be obtained between the discharge electrode 60 and the ground electrode 61, and the discharge electrode 60 can be obtained. And the second ground electrode 6
High-speed electrons can be obtained even during the period of time 3, and the ability of the plasma generating means 4 to process the gas can be further improved.

【0105】本実施形態において第2のアース電極63
は断面形状が四角形状に形成される線状体からなってい
るが、これに代えて断面形状が円形状の線状体から成っ
ていてもよく、また帯板から成っていてもよい。さらに
この帯板に透孔が形成されていてもよい。さらに、第2
のアース電極63は相互に隣接する各放電電極60間の
中央部に1つ設けられているが、複数設けられていても
よい。
In this embodiment, the second ground electrode 63
Is made of a linear body having a quadrangular cross section, but may be made of a linear body having a circular cross section or a strip plate instead. Further, a through hole may be formed in this strip. Furthermore, the second
Although one earth electrode 63 is provided in the central portion between the discharge electrodes 60 adjacent to each other, a plurality of earth electrodes 63 may be provided.

【0106】また本実施形態において、アース電極61
は複数の透孔62が形成される波板状の板状体から成っ
ているが、これに代えて、複数の透孔が形成されていな
い波板状の板状体から成っていてもよい。
Further, in the present embodiment, the ground electrode 61
Is composed of a corrugated plate-shaped body in which a plurality of through holes 62 are formed. Alternatively, it may be composed of a corrugated plate-shaped plate in which a plurality of through holes are not formed. .

【0107】図15は本発明の基礎となる実施の形態で
ある浄化装置70の構成を簡略化して示す断面図であ
り、図16は図15の切断面線XVI−XVIから見た
拡大断面図であり、図17はバグフィルタ72付近の構
成を簡略化して示す拡大縦断面図である。本実施形態に
おいて前述の実施形態の構成に対応する部分には同一の
参照符を付す。
FIG. 15 is a sectional view showing a simplified structure of a purifying apparatus 70 which is an embodiment of the present invention, and FIG. 16 is an enlarged sectional view taken along the section line XVI-XVI of FIG. FIG. 17 is an enlarged vertical sectional view showing a simplified structure near the bag filter 72. In this embodiment, the same reference numerals are given to the portions corresponding to the configurations of the above-described embodiments.

【0108】浄化装置70は、ハウジング71と、集塵
手段であるバグフィルタ72と、プラズマ発生手段4
と、塵埃回収手段100とを含む。ハウジング71は、
ほぼ水平に延び、四角形状に形成される端板71aと、
端板71aの長手方向両端部と長手方向に垂直な幅方向
両端部とから鉛直下方に延びる4つの側板71bと、各
側板71bの下端部に連なり、鉛直下方に向かうにつれ
て近接する方向に傾斜する案内面を有するホッパ部73
とを含む。
The purifying device 70 comprises a housing 71, a bag filter 72 as a dust collecting means, and a plasma generating means 4
And a dust collecting means 100. The housing 71 is
An end plate 71a extending substantially horizontally and formed in a rectangular shape,
Four side plates 71b extending vertically downward from both ends in the longitudinal direction of the end plate 71a and both ends in the width direction perpendicular to the longitudinal direction are connected to the lower ends of the respective side plates 71b, and are inclined in a direction closer to each other toward the vertically downward direction. Hopper part 73 having a guide surface
Including and

【0109】各側板71bには、端板71aに間隔をあ
けて仕切り板76が設けられる。仕切り板76は、その
周縁部76aが各側板71bの上部に気密に固定され
る。仕切り板76には、全面にわたって相互に間隔をあ
けて複数の透孔79が形成される。このようにしてハウ
ジング71の内部空間75は、仕切り板76によって煤
塵などの塵埃を含むガスが供給される第1空間77と、
処理後のガスが供給される第2空間78とに仕切られ
る。
A partition plate 76 is provided on each side plate 71b at a distance from the end plate 71a. The peripheral edge 76a of the partition plate 76 is airtightly fixed to the upper portion of each side plate 71b. A plurality of through holes 79 are formed in the partition plate 76 over the entire surface at intervals. In this way, the internal space 75 of the housing 71 has a first space 77 to which a gas containing dust such as soot is supplied by the partition plate 76,
It is partitioned into a second space 78 to which the gas after the treatment is supplied.

【0110】バグフィルタ72は、たとえばガラス繊維
から成り、袋状に形成される。バグフィルタ72の上端
部は、仕切り板76に気密に設けられる取付手段93に
外挿され、したがってバグフィルタ72が仕切り板76
から垂れ下がり、バグフィルタ72の内部空間と第2空
間78とが各透孔79を介して連通する。ハウジング7
1の上部には、端板71aと、各側板71bの上部71
b1と、仕切り板76と、取付手段93とによってヘッ
ダ92が形成される。さらにハウジング71の下部のバ
グフィルタ72の下端部よりも下方には、煤塵などの塵
埃を含むガスを第1空間77に供給する供給管路80が
接続される。
The bag filter 72 is made of glass fiber, for example, and is formed in a bag shape. The upper end portion of the bag filter 72 is externally attached to the attachment means 93 that is airtightly provided on the partition plate 76, so that the bag filter 72 is attached to the partition plate 76.
The inner space of the bag filter 72 and the second space 78 communicate with each other through the through holes 79. Housing 7
1 has an end plate 71a and an upper part 71 of each side plate 71b.
A header 92 is formed by b1, the partition plate 76, and the attachment means 93. Further, below the lower end portion of the bag filter 72 in the lower part of the housing 71, a supply pipeline 80 for supplying a gas containing dust such as soot dust to the first space 77 is connected.

【0111】取付手段93は、端板76の各透孔79の
周縁部から鉛直下方に延びる筒状の取付体94と、前記
取付体94の外周面に当接し、外挿されたバグフィルタ
72の内周面を支持し、バグフィルタ72を補強する網
状の補強体95と、バグフィルタ72の上部の外周面に
当接し、バグフィルタ72を補強体95を介して取付体
94に締結して保持する保持体96とを含む。バグフィ
ルタ72の上端面と仕切り板76の下方に臨む一表面と
の間には、パッキン97が介在され、第1空間77とヘ
ッダ92の内部空間である第2空間78との間の気密状
態を保持する。
The mounting means 93 is in contact with the cylindrical mounting body 94 extending vertically downward from the peripheral edge of each through hole 79 of the end plate 76 and the outer peripheral surface of the mounting body 94, and the bag filter 72 externally inserted. The net-like reinforcing member 95 that supports the inner peripheral surface of the bag filter 72 and reinforces the bag filter 72 and the outer peripheral surface of the upper portion of the bag filter 72 are contacted, and the bag filter 72 is fastened to the mounting member 94 through the reinforcing member 95. And a holding body 96 for holding. A packing 97 is interposed between the upper end surface of the bag filter 72 and one surface of the partition plate 76 facing the lower side, and an airtight state between the first space 77 and the second space 78 which is an internal space of the header 92 is provided. Hold.

【0112】プラズマ発生手段4は、非平衡プラズマを
発生させる非平衡プラズマ発生部27を含み、非平衡プ
ラズマ発生部27は、図3および図4に示される構成と
同一の構成を有する複数の放電電極40と、複数のアー
ス電極41と、電源98とを含む。バグフィルタ72は
各アース電極41を外囲し、相互に接触しないように間
隔をあけてそれぞれ設けられる。
The plasma generating means 4 includes a non-equilibrium plasma generating section 27 for generating non-equilibrium plasma, and the non-equilibrium plasma generating section 27 has a plurality of discharges having the same configurations as those shown in FIGS. 3 and 4. It includes an electrode 40, a plurality of ground electrodes 41, and a power supply 98. The bag filters 72 surround the ground electrodes 41 and are provided at intervals so as not to contact each other.

【0113】導気手段74は、少なくとも取付手段93
と、ヘッダ92と、第1管路81と、吸引ファン82
と、第2管路83と、第1開閉弁90とを含む。厳密に
いえば導気手段74は、供給管路80と、ヘッダ92を
含むハウジング71と、取付手段93と、第1管路81
と、吸引ファン82と、第2管路83と、第1開閉弁9
0と、第2開閉弁86と、第3管路84と、複数の第3
開閉弁87と、複数の第4管路85とを含む。
The air guiding means 74 has at least the mounting means 93.
, Header 92, first conduit 81, and suction fan 82
And a second conduit 83 and a first opening / closing valve 90. Strictly speaking, the air guiding means 74 includes the supply pipeline 80, the housing 71 including the header 92, the mounting means 93, and the first pipeline 81.
A suction fan 82, a second conduit 83, and a first opening / closing valve 9
0, the second opening / closing valve 86, the third conduit 84, and the plurality of third
An on-off valve 87 and a plurality of fourth conduits 85 are included.

【0114】第1管路81は、その一端部がヘッダ92
を構成する端板71aに接続され、他端部が吸引ファン
82の供給口に接続されてヘッダ92内の第2空間78
と吸引ファン82内の空間とを連通する。吸引ファン8
2の排気口には、第2管路83が接続される。第2管路
83には、ガスの流下方向下流側に第3管路84が接続
される。また第2管路83には、第2管路83と第3管
路84との接続位置89よりもガスの流下方向下流側に
第1開閉弁90が介在される。
One end of the first conduit 81 has a header 92.
Of the second space 78 in the header 92 by connecting the other end to the supply port of the suction fan 82.
Communicates with the space inside the suction fan 82. Suction fan 8
The second conduit 83 is connected to the second exhaust port. The third conduit 84 is connected to the second conduit 83 on the downstream side in the gas flow direction. Further, a first opening / closing valve 90 is interposed in the second pipeline 83 on the downstream side in the gas flow direction with respect to a connection position 89 between the second pipeline 83 and the third pipeline 84.

【0115】第3管路84には、一端部が第3管路84
の流下方向下流側にそれぞれ接続され、他端部が放電電
極40とアース電極41との間の空間である各アース電
極41によって囲まれた空間43に臨んでそれぞれ配置
される複数の第4管路85が設けられる。第3管路84
のガスの流下方向上流側には、第2開閉弁86が介在さ
れる。各第4管路85には、第3開閉弁87がそれぞれ
介在される。集塵手段は、バグフィルタ72と上述の導
気手段74とを含んで構成される。
One end of the third conduit 84 is the third conduit 84.
A plurality of fourth tubes that are respectively connected to the downstream side in the downflow direction and face the space 43 surrounded by the ground electrodes 41, which is the space between the discharge electrode 40 and the ground electrode 41 at the other end. A path 85 is provided. Third conduit 84
A second opening / closing valve 86 is provided on the upstream side of the gas flow direction. A third opening / closing valve 87 is interposed in each of the fourth conduits 85. The dust collecting means includes a bag filter 72 and the air introducing means 74 described above.

【0116】塵埃回収手段100は、前記ホッパ部73
と、スクリューコンベヤ101と、ロータリフィーダ1
02と、排出口103とを含む。スクリューコンベヤ1
01は、ホッパ部73の下部に設けられ、図15の紙面
に垂直な水平軸線まわりに回転駆動され、ホッパ部73
に貯留された塵埃を排出口73aに移送する。ロータリ
フィーダ102は、ホッパ部73の排出口73aの下方
に設けられる。またロータリフィーダ102は、ケーシ
ング105内で回転駆動されるロータ106が設けられ
るロータリバルブ107と、前記ロータ106を所定の
回転速度で回転駆動するモータ108とを有する。さら
にロータリフィーダ102は、スクリューコンベヤ10
1によって移送された塵埃を、ロータリフィーダ102
の下方に設けられる排出口103に移送し、排出する。
さらに詳しく述べると、スクリューコンベヤ101を定
期的または所定の貯留量に達したときに駆動して、塵埃
を含む粉粒体をスクリューコンベヤ101によって強制
的に排出してロータリフィーダ102に導き、ケーシン
グ105内のガスを漏出することなく排出口103から
排出することができる。
The dust collecting means 100 includes the hopper section 73.
, Screw conveyor 101, and rotary feeder 1
02 and a discharge port 103. Screw conveyor 1
01 is provided in the lower part of the hopper unit 73, and is driven to rotate about a horizontal axis perpendicular to the paper surface of FIG.
The dusts stored in are discharged to the discharge port 73a. The rotary feeder 102 is provided below the discharge port 73a of the hopper 73. Further, the rotary feeder 102 has a rotary valve 107 provided with a rotor 106 which is rotationally driven in a casing 105, and a motor 108 which rotationally drives the rotor 106 at a predetermined rotational speed. Further, the rotary feeder 102 includes the screw conveyor 10
The dust transferred by the rotary feeder 102
It is transferred to and discharged from the discharge port 103 provided below.
More specifically, the screw conveyor 101 is driven regularly or when a predetermined storage amount is reached, forcibly discharging powder particles containing dust by the screw conveyor 101 and guiding them to the rotary feeder 102, and the casing 105. The gas inside can be discharged from the discharge port 103 without leaking.

【0117】第1開閉弁90が開放され、第2開閉弁8
6および各第3開閉弁87が閉鎖されているときに吸引
ファン82が運転されると、ヘッダ92内の空間である
第2空間78の圧力は負圧となって、バグフィルタ72
によって囲まれた空間が負圧とされ、供給管路80から
煤塵などの塵埃を含むガスが第1空間77に供給され
る。供給された前記ガスは、バグフィルタ72の周囲か
らバグフィルタ72に導かれ、バグフィルタ72によっ
て前記ガスから煤塵などの塵埃を除去する。煤塵などの
塵埃が除去されたガスは、アース電極41によって囲ま
れた空間43に導かれる。アース電極41によって囲ま
れた空間43に導かれたガスは、放電電極40およびア
ース電極41間に発生する非平衡プラズマによって塵埃
が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を分解除
去する。この処理後のガス、すなわち清浄な空気はアー
ス電極41の軸線方向上方に導かれ、透孔79を介して
第2空間78に導かれ、第1管路81、吸引ファン82
および第2管路83および第1開閉弁90を介して予め
定める放出位置88に放出される。
The first opening / closing valve 90 is opened and the second opening / closing valve 8 is opened.
When the suction fan 82 is operated while the 6 and each third on-off valve 87 are closed, the pressure in the second space 78, which is a space inside the header 92, becomes a negative pressure, and the bag filter 72
The space surrounded by is made negative pressure, and the gas containing dust such as soot is supplied to the first space 77 from the supply pipeline 80. The supplied gas is guided from the periphery of the bag filter 72 to the bag filter 72, and the bag filter 72 removes dust such as soot and dust from the gas. The gas from which dust such as soot has been removed is guided to the space 43 surrounded by the ground electrode 41. The gas introduced into the space 43 surrounded by the ground electrode 41 decomposes and removes odorous components and harmful components in the gas from which dust has been removed by the non-equilibrium plasma generated between the discharge electrode 40 and the ground electrode 41. The gas after this treatment, that is, clean air, is guided upward in the axial direction of the ground electrode 41 and is guided to the second space 78 through the through hole 79, the first conduit 81, and the suction fan 82.
And it is discharged to a predetermined discharge position 88 via the second conduit 83 and the first opening / closing valve 90.

【0118】またバグフィルタ72に捕集された塵埃を
回収するには、第1開閉弁90を閉鎖し、第2開閉弁8
6を開放して、塵埃を回収しようとするバグフィルタ7
2に対応する第3開閉弁87を開放する。これによっ
て、第2管路83を流れる清浄な空気は、第3管路84
に導かれ、選択された第3開閉弁87を介して選択され
た第4管路85に導かれて、アース電極41によって囲
まれた空間43に導かれる。前記空間43に導かれた清
浄な空気は、バグフィルタ72の内方から外方に向かっ
て放出され、バグフィルタ72に捕捉された塵埃を吹き
払う。吹き払われた塵埃は、ホッパ部73に落下して貯
留された後、ロータリフィーダ102を介して排出口1
03から回収される。
In order to collect the dust collected by the bag filter 72, the first opening / closing valve 90 is closed and the second opening / closing valve 8 is closed.
Bag filter 7 that tries to collect dust by opening 6
The third opening / closing valve 87 corresponding to 2 is opened. As a result, the clean air flowing through the second pipe line 83 passes through the third pipe line 84.
Is guided to the selected fourth pipeline 85 via the selected third opening / closing valve 87, and is guided to the space 43 surrounded by the ground electrode 41. The clean air guided to the space 43 is discharged from the inside to the outside of the bag filter 72 and blows off the dust trapped in the bag filter 72. The dust blown off is stored in the hopper 73 by being dropped, and then discharged through the rotary feeder 102.
Recovered from 03.

【0119】前記集塵手段はアース電極41を外囲する
バグフィルタ72であり、前記集塵手段はアース電極4
1によって囲まれた空間43から予め定める放出位置8
8に処理後のガスを導く導気手段74を含むので、導気
手段74の吸引ファン82によってバグフィルタ72内
は負圧とされ、バグフィルタ72の周囲の煤塵などの塵
埃を含むガスをバグフィルタ72に導き、塵埃が除去さ
れたガスをアース電極41によって囲まれた空間43に
導く。これによって放電電極40およびアース電極41
間に発生する非平衡プラズマによって、塵埃が除去され
たガス中の臭気成分および有害成分が分解除去され、こ
の処理後のガスをアース電極41の軸線に沿う方向に導
いて、予め定める放出位置88に導くことができる。ま
たアース電極41の周囲にバグフィルタ72が設けられ
ることによって、図1〜図14に示される本発明の実施
の形態と比較して構成が簡略化され、集塵手段をプラズ
マ発生手段4の近傍に配置することが可能となる。これ
によって図1〜図14に示される本発明の実施の形態と
比較して、浄化装置70の小形化を図ることができる。
さらにバグフィルタ72に導かれる前記塵埃を含むガス
は、バグフィルタ72の周囲から導かれるので、バグフ
ィルタ72の設置位置にかかわらず、ほぼ均等に塵埃を
捕集することができる。これとともに、導気手段74に
は処理後のガスが導かれるので、導気手段74、特に吸
引ファン82の汚損が少ない。
The dust collecting means is a bag filter 72 surrounding the earth electrode 41, and the dust collecting means is the earth electrode 4
A predetermined discharge position 8 from the space 43 surrounded by 1
8 includes the gas guiding means 74 for guiding the processed gas, the suction fan 82 of the gas guiding means 74 causes the inside of the bag filter 72 to have a negative pressure, so that the gas containing dust such as soot dust around the bag filter 72 is bagged. The dust-removed gas is guided to the filter 72 and is guided to the space 43 surrounded by the ground electrode 41. Thereby, the discharge electrode 40 and the ground electrode 41
The non-equilibrium plasma generated in between decomposes and removes the odorous components and harmful components in the gas from which the dust has been removed, guides the gas after this treatment in the direction along the axis of the earth electrode 41, and determines the predetermined discharge position 88. Can lead to. Further, by providing the bag filter 72 around the earth electrode 41, the structure is simplified as compared with the embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 14, and the dust collecting means is provided near the plasma generating means 4. Can be placed in As a result, the purification device 70 can be downsized as compared with the embodiment of the present invention shown in FIGS.
Further, since the dust-containing gas guided to the bag filter 72 is guided from around the bag filter 72, the dust can be collected almost uniformly regardless of the installation position of the bag filter 72. At the same time, the treated gas is guided to the air guiding means 74, so that the air guiding means 74, particularly the suction fan 82, is less likely to be contaminated.

【0120】図1〜図17に示される実施の形態におい
て、放電電極40,50,60,110,130、アー
ス電極41,51,61,111,131および第2の
アース電極63は、鋼から成っているが、これに代え
て、銅またはアルミニウムなどの他の導電性を有する材
料から成っていてもよい。
In the embodiment shown in FIGS. 1 to 17, the discharge electrodes 40, 50, 60, 110, 130, the ground electrodes 41, 51, 61, 111, 131 and the second ground electrode 63 are made of steel. However, it may alternatively be made of another electrically conductive material such as copper or aluminum.

【0121】アース電極41,51,61は、その透孔
42,52,62を機械加工によって板状体を打ち抜い
て形成してもよいし、またアース電極41,51,61
にラス板または金網を用いてもよい。
The ground electrodes 41, 51, 61 may be formed by punching the through holes 42, 52, 62 into a plate-like body by machining, or the ground electrodes 41, 51, 61.
Alternatively, a lath plate or a wire mesh may be used.

【0122】図3および図4ならびに図11〜図17に
示される実施の形態において、放電電極40,50,6
0は断面形状が円形状であるが、これに限られるもので
はなく、環状、多角形状などの他の形状であってもよ
い。
In the embodiment shown in FIGS. 3 and 4 and FIGS. 11 to 17, the discharge electrodes 40, 50, 6 are provided.
Although 0 has a circular cross-sectional shape, it is not limited to this and may have another shape such as an annular shape or a polygonal shape.

【0123】図5〜図10に示される本発明の実施の形
態において、アース電極111,131を構成する螺旋
状体112およびリング状体132は、断面形状が円形
状の線状体から成っているが、これに代えて、断面形状
が長方形状の帯状体から成っていてもよい。このとき帯
状体の断面における長辺の長さは、10〜20mm程度
に選ばれ、短辺の長さは、2〜3mm程度に選ばれる。
In the embodiment of the present invention shown in FIGS. 5 to 10, the spiral body 112 and the ring-shaped body 132 forming the ground electrodes 111 and 131 are made of a linear body having a circular cross section. However, instead of this, it may be formed of a band-shaped body having a rectangular cross section. At this time, the length of the long side in the cross section of the strip is selected to be about 10 to 20 mm, and the length of the short side is selected to be about 2 to 3 mm.

【0124】また図5〜図10に示される本発明の実施
の形態において、放電電極110,130は断面形状が
正方形状であるが、これに限られるものではなく、円形
状、環状および多角形状などの他の形状であってもよ
い。
In the embodiment of the present invention shown in FIGS. 5 to 10, the discharge electrodes 110 and 130 have a square cross section, but the shape is not limited to this, and the discharge electrodes 110 and 130 are not limited to the circular, annular and polygonal shapes. Other shapes such as

【0125】さらに図5〜図10に示される本発明の実
施の形態において、各アース電極111,131は相互
に間隔をあけて配置されているが、本発明の実施のさら
に他の形態として、各アース電極111,131は相互
に接触した状態で配置されていてもよい。このように構
成することによって、塵埃が除去された臭気成分および
有害成分を含むガスは、確実にアース電極111,13
1を通過することができ、前記ガスを確実に処理するこ
とができる。これによって前記ガスの処理効率を向上す
ることができる。これとともに各アース電極111,1
31は個別に接地される必要がなく、構成を簡略化する
ことができる。
Further, in the embodiment of the present invention shown in FIGS. 5 to 10, the ground electrodes 111 and 131 are arranged at a distance from each other, but as still another embodiment of the present invention, The ground electrodes 111 and 131 may be arranged in contact with each other. With this configuration, the dust-removed gas containing the odorous component and the harmful component can be reliably supplied to the ground electrodes 111, 13.
1 can be passed and the gas can be reliably processed. As a result, the processing efficiency of the gas can be improved. Along with this, each ground electrode 111, 1
31 does not need to be individually grounded, and the configuration can be simplified.

【0126】さらに図5〜図10に示される本発明の実
施の形態において、アース電極111,131は大略的
に円筒状に形成されているが、これに限られるものでは
なく、大略的に各筒状などの他の形状であってもよい。
Further, in the embodiment of the present invention shown in FIGS. 5 to 10, the ground electrodes 111 and 131 are formed in a substantially cylindrical shape, but the present invention is not limited to this, and each of the ground electrodes is generally formed. Other shapes such as a tubular shape may be used.

【0127】図8〜図10に示される本発明の実施の形
態において、アース電極131は各リング状体132の
外形が円形のリング状に形成され、各リング状体132
の中心軸線が放電電極130の軸線と同軸になるように
配置されて、各保持部材133に固定されているが、本
発明の実施のさらに他の形態として、各リング状体の外
形が楕円のリング状に形成され、各リング状体の中心軸
線が放電電極130の軸線に交差するように配置され
て、各保持部材133に固定されていてもよい。このよ
うに構成することによって、アース電極を大略的に円筒
状に形成することができる。これとともに、前記ガス
は、放電電極130およびアース電極間の各放電領域を
確実に通過することができ、前記ガスを確実に処理する
ことができる。このときの各リング状体の間隔はp2に
選ぶとよい。
In the embodiment of the present invention shown in FIGS. 8 to 10, each of the ring-shaped bodies 132 of the ground electrode 131 is formed in a circular ring shape.
Are arranged so that the central axis line of the is coaxial with the axis line of the discharge electrode 130 and are fixed to the holding members 133. It may be formed in a ring shape, arranged so that the central axis of each ring-shaped body intersects the axis of the discharge electrode 130, and fixed to each holding member 133. With this structure, the ground electrode can be formed into a substantially cylindrical shape. At the same time, the gas can reliably pass through each discharge region between the discharge electrode 130 and the ground electrode, and the gas can be reliably treated. At this time, the interval between the ring-shaped bodies may be selected as p2.

【0128】図3〜図10に示される実施の形態におい
て、放電電極40,110,130は線状体から成って
いるが、これに限られるものではなく、たとえば螺旋状
体から成っていてもよい。このように構成することによ
って、アース電極41,111,131によって囲まれ
た空間43,114,134における放電電極が占有す
る領域が増加する。放電電極およびアース電極間に印加
される所定の電圧に対して、放電電極およびアース電極
41,111,131間の距離は変わらないので、前記
空間43,114,134における放電電極が占有する
領域の増加に伴って、アース電極の直径を大きくするこ
とができる。したがって非平衡プラズマ発生部27,2
7a,27a1,27b,27b1に備えられる放電電
極およびアース電極41,111,131の数が減少
し、構成を簡略化することができる。
In the embodiment shown in FIGS. 3 to 10, the discharge electrodes 40, 110, 130 are made of linear bodies, but the present invention is not limited to this, and they may be made of spiral bodies, for example. Good. With this configuration, the area occupied by the discharge electrodes in the spaces 43, 114, 134 surrounded by the ground electrodes 41, 111, 131 increases. Since the distance between the discharge electrode and the ground electrodes 41, 111, 131 does not change with respect to a predetermined voltage applied between the discharge electrode and the ground electrode, the area occupied by the discharge electrode in the spaces 43, 114, 134 is reduced. With the increase, the diameter of the ground electrode can be increased. Therefore, the non-equilibrium plasma generators 27, 2
The number of discharge electrodes and ground electrodes 41, 111, 131 provided in 7a, 27a1, 27b, 27b1 is reduced, and the configuration can be simplified.

【0129】図15〜図17に示される本発明の基礎と
なる実施の形態において、バグフィルタ72は各アース
電極41を外囲してそれぞれ設けられているが、本発明
の実施のさらに他の形態として、複数のアース電極41
を外囲するように1つのバグフィルタ72を設けてもよ
い。このように構成することによってバグフィルタ72
の取付作業が容易になる。
In the embodiments of the present invention shown in FIGS. 15 to 17, the bag filters 72 are provided so as to surround the ground electrodes 41, respectively. As a form, a plurality of ground electrodes 41
You may provide one bag filter 72 so that it may surround. With this configuration, the bug filter 72
The installation work of becomes easy.

【0130】また図15〜図17に示される本発明の基
礎となる実施の形態において、バグフィルタ72に捕集
された塵埃をバグフィルタ72から除去するには、予め
定める放出位置88に導かれる清浄な空気をアース電極
41によって囲まれた空間43に導いて、バグフィルタ
72の内方から外方に向かって放出しているが、これに
代えて、バグフィルタ72を振動させることによって塵
埃を除去してもよい。
In the embodiment of the present invention shown in FIGS. 15 to 17, the dust collected in the bag filter 72 is removed from the bag filter 72 by guiding it to a predetermined discharge position 88. The clean air is guided to the space 43 surrounded by the ground electrode 41 and is discharged from the inside to the outside of the bag filter 72. Instead, the bag filter 72 is vibrated to remove dust. May be removed.

【0131】さらに図15〜図17に示される本発明の
基礎となる実施の形態において、煤塵などの塵埃を含む
ガスは吸引ファン82によってヘッダ92内の清浄な空
気を吸引してヘッダ92内を負圧とすることによって第
1空間77に供給しているが、これに代えて、供給管路
80のガスの流下方向上流側に送風ファンを設け、ヘッ
ダ92を大気開放して前記ガスを第1空間77に供給し
てもよい。さらに送風ファンを用いず、前記ガスの排気
圧によって第1空間77に供給してもよい。
Further, in the embodiment which is the basis of the present invention shown in FIG. 15 to FIG. 17, the gas containing dust such as soot dust sucks the clean air in the header 92 by the suction fan 82, and the gas inside the header 92 is sucked. Although the negative pressure is supplied to the first space 77, instead of this, a blower fan is provided on the upstream side of the gas in the supply pipeline 80 in the downstream direction, and the header 92 is opened to the atmosphere to release the gas. It may be supplied to one space 77. Further, the gas may be supplied to the first space 77 by the exhaust pressure of the gas without using a blower fan.

【0132】さらに図15〜図17に示される本発明の
基礎となる実施の形態において、バグフィルタ72は円
筒状のアース電極41を外囲して設けられているが、こ
れに代えて、本発明の実施の形態では図5〜図10に示
される螺旋状、またはリング状、アース電極111,1
31を外囲して設けられる。
Further, in the embodiment which is the basis of the present invention shown in FIGS. 15 to 17, the bag filter 72 is provided so as to surround the cylindrical ground electrode 41. In the embodiment of the invention, the spiral electrodes or the ring electrodes shown in FIGS.
It is provided by surrounding 31.

【0133】[0133]

【発明の効果】本発明によれば、集塵手段は煤塵などの
塵埃を含むガス、たとえば煤塵などの塵埃と臭気成分お
よび有害成分とを含む空気から塵埃を捕集して除去し、
プラズマ発生手段には塵埃が除去されたガスだけが供給
されるので、放電によって発生したプラズマによって、
塵埃が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を分
解して除去することができ、プラズマ発生手段の清掃な
どの手間がかからず、簡単な構成で浄化装置の保守管理
を容易にすることができる。
According to the present invention, the dust collecting means collects and removes dust from a gas containing dust such as soot, for example, dust containing soot and air containing odorous components and harmful components,
Since only the gas from which dust has been removed is supplied to the plasma generation means, the plasma generated by the discharge causes
It is possible to decompose and remove odorous components and harmful components in the gas from which dust has been removed, does not require cleaning of the plasma generation means, etc., and facilitates maintenance and management of the purification device with a simple configuration. You can

【0134】前記プラズマ発生手段は放電電極およびア
ース電極間のガスを放電によって電子とイオンとに電離
させ、電子の電子温度がイオンのイオン温度に比べて高
い状態で電子とイオンとが熱力学的に平衡していない状
態のプラズマである非平衡プラズマを発生させるので、
放電によって発生する各電極間のプラズマ雰囲気中のガ
スの温度が常温に保たれた状態で高速の電子を得ること
ができ、この高速の電子を塵埃が除去されたガス中の臭
気成分および有害成分に衝突させて、反応性に富む化学
的活性種を生成し、化学反応を起こさせて前記ガス中の
臭気成分および有害成分を除去することができる。また
放電によって発生する各電極間のプラズマ雰囲気中のガ
スの温度は常温に保たれているので、プラズマ発生手段
に冷却手段などを設ける必要がない。またプラズマ発生
手段から排出されるガスの温度も常温に保たれ、熱プラ
ズマを用いるときのように高温のガスが排出されること
がなく、排出されるガスの冷却手段などを設ける必要が
なく、構成の簡略化を図ることができる。
The plasma generating means ionizes the gas between the discharge electrode and the ground electrode into electrons and ions by discharge, and the electrons and ions are thermodynamically kept in a state where the electron temperature of the electrons is higher than the ion temperature of the ions. Since it generates a non-equilibrium plasma which is a plasma in the state of not being balanced,
High-speed electrons can be obtained while the temperature of the gas in the plasma atmosphere between the electrodes generated by the discharge is kept at room temperature, and these high-speed electrons can remove odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed. It is possible to remove the odorous component and the harmful component in the gas by causing a chemically active species having a high reactivity to generate a chemical reaction. Further, since the temperature of the gas in the plasma atmosphere between the electrodes generated by the discharge is kept at room temperature, it is not necessary to provide the plasma generating means with a cooling means or the like. Further, the temperature of the gas discharged from the plasma generating means is also kept at room temperature, high temperature gas is not discharged unlike the case of using thermal plasma, and it is not necessary to provide a cooling means for the discharged gas. The configuration can be simplified.

【0135】前記アース電極は、前記放電電極の軸線に
沿って延び、前記放電電極を中心としてほぼ一定の内径
を有する螺旋状またはリング状に形成されるので、放電
電極およびアース電極間の距離を一定に保つことがで
き、放電距離を高精度に保持することができる。また前
記アース電極の製造が容易であり、前記放電電極および
前記アース電極間の高速の電子が得られる放電領域は、
螺旋状またはリング状に形成される。したがって塵埃の
除去された臭気成分および有害成分を含むガスを、前記
アース電極の軸線方向および軸線方向に交差する方向の
いずれか一方に通過させることによって、前記ガスを確
実に処理することができる。これとともに、前記アース
電極の表面積を、たとえば円筒状に形成された同一寸法
のアース電極の表面積よりも小さくすることができる。
これによって放電電極およびアース電極間の静電容量を
小さくして、放電電位に達するために要する時間を短縮
し、非平衡プラズマを発生させやすくして、高速の電子
を得ることができる。
Since the ground electrode extends along the axis of the discharge electrode and is formed in a spiral shape or a ring shape having a substantially constant inner diameter with the discharge electrode as the center, the distance between the discharge electrode and the ground electrode is reduced. It can be kept constant and the discharge distance can be kept with high accuracy. Also, the production of the earth electrode is easy, and the discharge area between the discharge electrode and the earth electrode where high-speed electrons are obtained is
It is formed in a spiral shape or a ring shape. Therefore, the gas containing the odorous component and the harmful component from which dust has been removed can be reliably treated by passing the gas in either the axial direction of the earth electrode or the direction intersecting the axial direction. At the same time, the surface area of the ground electrode can be made smaller than the surface area of the ground electrode of the same size formed in a cylindrical shape, for example.
As a result, the capacitance between the discharge electrode and the ground electrode can be reduced, the time required to reach the discharge potential can be shortened, non-equilibrium plasma can be easily generated, and high-speed electrons can be obtained.

【0136】[0136]

【0137】[0137]

【0138】[0138]

【0139】[0139]

【0140】[0140]

【0141】本発明によれば、前記集塵手段は前記アー
ス電極を外囲するバグフィルタであるので、バグフィル
タの周囲から煤塵などの塵埃を含むガスをバグフィルタ
に導き、バグフィルタによって煤塵などの塵埃を捕集
し、塵埃が除去されたガスを放電電極とアース電極との
間の空間に導いて、放電電極およびアース電極間に発生
するプラズマによって塵埃が除去されたガス中の臭気成
分および有害成分を分解除去することができる。またバ
グフィルタに導かれる前記塵埃を含むガスは、バグフィ
ルタの周囲から導かれるので、バグフィルタの設置位置
にかかわらず、ほぼ均等に塵埃を捕集することができ
る。
According to the present invention, since the dust collecting means is a bag filter which surrounds the earth electrode, a gas containing dust such as soot dust is guided to the bag filter from the periphery of the bag filter, and the soot dust and the like are caused by the bag filter. Of the odor component in the gas from which dust is removed by the plasma generated between the discharge electrode and the ground electrode. It can decompose and remove harmful components. Further, since the dust-containing gas introduced to the bag filter is introduced from around the bag filter, the dust can be collected almost uniformly regardless of the installation position of the bag filter.

【0142】本発明によれば、導気手段には処理後のガ
スが導かれるので、導気手段の汚損が少ない。特に、集
塵手段は前記放電電極と前記アース電極との間の空間か
ら予め定める放出位置に処理後のガスを導く導気手段を
含むので、導気手段によってバグフィルタの周囲の煤塵
などの塵埃を含むガスをバグフィルタに導き、バグフィ
ルタによって煤塵などの塵埃を捕集し、塵埃が除去され
たガスを放電電極とアース電極との間の空間に導いて、
放電電極およびアース電極間に発生するプラズマによっ
て塵埃が除去されたガス中の臭気成分および有害成分を
分解除去し、この処理後のガスをたとえばアース電極の
軸線に沿う方向に導いて予め定める放出位置に導くこと
ができる。
According to the present invention, the treated gas is introduced into the air introducing means, so that the air introducing means is less contaminated. In particular, since the dust collecting means includes the gas guiding means for guiding the treated gas from the space between the discharge electrode and the ground electrode to the predetermined discharge position, the gas guiding means allows dust such as soot and dust around the bag filter. The gas containing the gas is guided to the bag filter, dust such as soot and dust is collected by the bag filter, and the gas from which the dust is removed is guided to the space between the discharge electrode and the ground electrode,
The odorous and harmful components in the gas from which dust has been removed by the plasma generated between the discharge electrode and the ground electrode are decomposed and removed, and the gas after this treatment is guided, for example, in the direction along the axis of the ground electrode to a predetermined discharge position. Can lead to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の基礎となる実施の形態である浄化装置
1の構成を簡略化して示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a simplified configuration of a purification device 1 that is an embodiment that is the basis of the present invention.

【図2】放電電極およびアース電極間に印加されるパル
ス電圧の波形図である。
FIG. 2 is a waveform diagram of a pulse voltage applied between a discharge electrode and a ground electrode.

【図3】浄化装置1に備えられる非平衡プラズマ発生部
27の放電電極40およびアース電極41を簡略化して
示す正面図である。
FIG. 3 is a simplified front view showing a discharge electrode 40 and a ground electrode 41 of a non-equilibrium plasma generation part 27 provided in the purification device 1.

【図4】図3の切断面線IV−IVから見た断面図であ
る。
FIG. 4 is a sectional view taken along the section line IV-IV in FIG.

【図5】本発明の実施の一形態である浄化装置に備えら
れる非平衡プラズマ発生部27aの放電電極110およ
びアース電極111を簡略化して示す正面図である。
FIG. 5 is a simplified front view showing a discharge electrode 110 and a ground electrode 111 of a non-equilibrium plasma generating unit 27a included in the purifying apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図6】非平衡プラズマ発生部27aの一部を示す平面
図である。
FIG. 6 is a plan view showing a part of a non-equilibrium plasma generating unit 27a.

【図7】本発明の実施の他の形態である浄化装置に備え
られる非平衡プラズマ発生部27a1の一部を示す平面
図である。
FIG. 7 is a plan view showing a part of a non-equilibrium plasma generating unit 27a1 included in a purifying apparatus according to another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施のさらに他の形態である浄化装置
に備えられる非平衡プラズマ発生部27bの放電電極1
30およびアース電極131を簡略化して示す正面図で
ある。
FIG. 8 is a discharge electrode 1 of a non-equilibrium plasma generating unit 27b provided in a purifying apparatus according to still another embodiment of the present invention.
It is a front view which simplifies and shows 30 and the earth electrode 131.

【図9】非平衡プラズマ発生部27bの一部を示す平面
図である。
FIG. 9 is a plan view showing a part of a non-equilibrium plasma generating unit 27b.

【図10】本発明の実施のさらに他の形態である浄化装
置に備えられる非平衡プラズマ発生部27b1の一部を
示す平面図である。
FIG. 10 is a plan view showing a part of a non-equilibrium plasma generating unit 27b1 provided in a purifying apparatus according to still another embodiment of the present invention.

【図11】本発明の基礎となる実施の形態である浄化装
置に備えられる非平衡プラズマ発生部27cの放電電極
50ならびにアース電極51を簡略化して示す正面図で
ある。
FIG. 11 is a simplified front view showing a discharge electrode 50 and a ground electrode 51 of a non-equilibrium plasma generating unit 27c included in a purifying apparatus that is an embodiment that is the basis of the present invention.

【図12】図11の切断面線XII−XIIから見た断
面図である。
12 is a cross-sectional view taken along the section line XII-XII in FIG.

【図13】本発明の基礎となる実施の形態である浄化装
置に備えられる非平衡プラズマ発生部27dの放電電極
60ならびにアース電極61および第2のアース電極6
3を簡略化して示す断面図である。
FIG. 13 is a discharge electrode 60, a ground electrode 61 and a second ground electrode 6 of the non-equilibrium plasma generating unit 27d provided in the purifying apparatus according to the embodiment which is the basis of the present invention.
It is sectional drawing which simplifies and shows 3.

【図14】図13の切断面線XIV−XIVから見た断
面図である。
14 is a cross-sectional view taken along the section line XIV-XIV in FIG.

【図15】本発明の基礎となる実施の形態である浄化装
置70の構成を簡略化して示す断面図である。
FIG. 15 is a cross-sectional view showing a simplified configuration of a purifying device 70 that is an embodiment that is the basis of the present invention.

【図16】図15の切断面線XVI−XVIから見た拡
大断面図である。
16 is an enlarged cross-sectional view taken along the section line XVI-XVI of FIG.

【図17】バグフィルタ72付近の構成を簡略化して示
す拡大縦断面図である。
FIG. 17 is an enlarged vertical sectional view showing a simplified configuration around the bag filter 72.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,70 浄化装置 3 集塵手段 4 プラズマ発生手段 40,50,60,110,130 放電電極 41,51,61,111,131 アース電極 42,52,62 透孔 43,114,134 アース電極内の空間 63 第2のアース電極 1,70 Purification device 3 Dust collection means 4 Plasma generation means 40, 50, 60, 110, 130 Discharge electrodes 41, 51, 61, 111, 131 Ground electrode 42, 52, 62 through hole 43,114,134 Space in the ground electrode 63 Second ground electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−312115(JP,A) 特開 平4−363115(JP,A) 特開 平2−227117(JP,A) 特開 平5−309231(JP,A) 特開 平7−116460(JP,A) 特開 平8−155249(JP,A) 特開 平7−265653(JP,A) 特開 平7−265655(JP,A) 特開 平11−128657(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B01D 53/34 - 53/75 B01D 53/32,46/42 B01J 19/08 H05H 1/46 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-6-312115 (JP, A) JP-A-4-363115 (JP, A) JP-A-2-227117 (JP, A) JP-A-5- 309231 (JP, A) JP 7-116460 (JP, A) JP 8-155249 (JP, A) JP 7-265653 (JP, A) JP 7-265655 (JP, A) JP-A-11-128657 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) B01D 53/34-53/75 B01D 53 / 32,46 / 42 B01J 19/08 H05H 1 / 46

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 煤塵などの塵埃を含むガスが供給され、
このガスから塵埃を捕集して除去する集塵手段と、 塵埃が除去されたガスが供給され、放電電極およびアー
ス電極間の放電によって非平衡プラズマを発生させるプ
ラズマ発生手段とを含み、 前記放電電極は線状体から成り、 前記アース電極は前記放電電極の軸線に沿って延び、前
記放電電極を中心としてほぼ一定の内径を有する螺旋状
に形成されることを特徴とする浄化装置。
1. A gas containing dust such as soot is supplied,
The discharge device includes a dust collecting unit that collects and removes dust from the gas, and a plasma generating unit that is supplied with the dust-free gas and that generates a non-equilibrium plasma by the discharge between the discharge electrode and the ground electrode. The purification device is characterized in that the electrode is made of a linear body, and the ground electrode extends along an axis of the discharge electrode and has a spiral shape having a substantially constant inner diameter with the discharge electrode as a center.
【請求項2】 前記アース電極は、前記放電電極の軸線
に沿って延び、前記放電電極を中心としてほぼ一定の内
径およびほぼ一定のピッチp1を有する螺旋状に形成さ
れる螺旋状体と、前記放電電極の軸線に沿って延び、前
記螺旋状体の外周部に固定されて、前記螺旋状体のピッ
チp1を保持する複数の保持部材とから成ることを特徴
とする請求項1記載の浄化装置。
2. The ground electrode extends along an axis of the discharge electrode, and has a spiral shape having a substantially constant inner diameter and a substantially constant pitch p1 about the discharge electrode, and The purification apparatus according to claim 1, comprising a plurality of holding members that extend along an axis of the discharge electrode, are fixed to an outer peripheral portion of the spiral body, and hold a pitch p1 of the spiral body. .
【請求項3】 煤塵などの塵埃を含むガスが供給され、
このガスから塵埃を捕集して除去する集塵手段と、 塵埃が除去されたガスが供給され、放電電極およびアー
ス電極間の放電によって非平衡プラズマを発生させるプ
ラズマ発生手段とを含み、 前記放電電極は線状体から成り、 前記アース電極は、前記放電電極の軸線に沿って延び、
前記放電電極を中心としてほぼ一定の内径を有するリン
グ状に形成され、前記放電電極の軸線に沿ってほぼ一定
の間隔p2をあけて配置される複数のリング状体と、各
リング状体の外周部に固定されて、各リング状体の間隔
p2を保持する複数の保持部材とから成ることを特徴と
する浄化装置。
3. A gas containing dust such as soot is supplied,
The discharge device includes a dust collecting unit that collects and removes dust from the gas, and a plasma generating unit that is supplied with the dust-free gas and that generates a non-equilibrium plasma by the discharge between the discharge electrode and the ground electrode. The electrode comprises a linear body, the ground electrode extends along the axis of the discharge electrode,
A plurality of ring-shaped bodies which are formed in a ring shape having a substantially constant inner diameter with the discharge electrode as a center and are arranged at a substantially constant interval p2 along the axis of the discharge electrode, and the outer periphery of each ring-shaped body. A purification device comprising a plurality of holding members fixed to a portion and holding a space p2 between the ring-shaped bodies.
【請求項4】 前記プラズマ発生手段は、放電電極およ
びアース電極の複数の組を相互に間隔をあけて千鳥状に
配置するように収納するハウジングを含み、該ハウジン
グの内周面にはバッフルプレートが設けられることを特
徴とする請求項1〜3のうちのいずれかに記載の浄化装
置。
4. The plasma generating means includes a housing for accommodating a plurality of sets of a discharge electrode and a ground electrode so as to be arranged in a zigzag pattern at intervals, and a baffle plate is provided on an inner peripheral surface of the housing. The purification device according to claim 1, wherein the purification device is provided.
【請求項5】 前記集塵手段は、前記アース電極を外囲
するバグフィルタであることを特徴とする請求項1〜4
のうちのいずれかに記載の浄化装置。
5. The dust collecting means is a bag filter which surrounds the earth electrode.
The purifying device according to any one of 1.
【請求項6】 前記集塵手段は、前記放電電極と前記ア
ース電極との間の空間から予め定める放出位置に処理後
のガスを導く導気手段を含むことを特徴とする請求項1
〜5のうちのいずれかに記載の浄化装置。
6. The dust collecting means includes an air guiding means for guiding the treated gas from a space between the discharge electrode and the ground electrode to a predetermined discharge position.
The purifier according to any one of 5 to 5.
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