JPH11119840A - Elliptical vibration device - Google Patents

Elliptical vibration device

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JPH11119840A
JPH11119840A JP30368397A JP30368397A JPH11119840A JP H11119840 A JPH11119840 A JP H11119840A JP 30368397 A JP30368397 A JP 30368397A JP 30368397 A JP30368397 A JP 30368397A JP H11119840 A JPH11119840 A JP H11119840A
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vibration
vibration system
controller
elliptical
displacement
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Kyoji Murakishi
恭次 村岸
Yutaka Kurita
裕 栗田
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Shinko Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an elliptical vibration device that suppresses the influence of disturbance having a frequency near the natural frequency and can surely perform a desired control. SOLUTION: The displacement X of the first machine vibration system 32 of the elliptical vibration device 26 is supplied to the first controller 39 and the second controller 34. The first controller 39 outputs a command signal r1 , transmits the signal to the first vibration driving source 41 by way of the first electronic amplifier 40, generates a vibration force in a horizontal direction and vibrates the first machine vibration system 32. The second controller 34 outputs a command signal r2 , communicates this to the second vibration driving source 36 by way of the second electronic amplifier 35, generates a vibration force in the vertical direction and vibrates the second machine vibration system 37. Furthermore, a vibration displacement Y of this second machine vibration system 37 is detected, a value of this amplified by a gain Kk is applied a negative feedback to an output of the second controller 34, a pseudo spring constant of the second machine vibration system 37 is enlarged, a resonance frequency of the second machine vibration system 37 is heightened, and transfer ratio Y/E2 near the natural frequency f2 is reduced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば振動により
部品を供給する楕円振動装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an elliptical vibration device for supplying a component by, for example, vibration.

【0002】[0002]

【従来の技術】図11において、楕円振動装置である楕
円振動パーツフィーダは全体として1で示され、楕円振
動が行われるボウル2を備えている。ボウル2の内周面
にはスパイラル状のトラックが形成され、この下流側の
適所にワイパーが設けられている。このワイパーはすで
に周知であるので図を省略するが、平板を折り曲げて成
り、その下端とトラックの移送面との距離は整送すべき
部品m(平板状とする)の厚さよりは大きいが、この倍
よりは小さい。トラックの排出端には姿勢保持手段が設
けられ、ここを通って所望の姿勢の部品(例えば長辺を
移送方向に向けた部品m)が図示しない直線式振動フィ
ーダに供給される。
2. Description of the Related Art In FIG. 11, an elliptical vibration parts feeder, which is an elliptical vibration device, is indicated by 1 as a whole and includes a bowl 2 for performing elliptical vibration. A spiral track is formed on the inner peripheral surface of the bowl 2, and a wiper is provided at an appropriate position on the downstream side. This wiper is already well-known and its illustration is omitted, but the wiper is formed by bending a flat plate, and the distance between the lower end of the wiper and the transport surface of the truck is larger than the thickness of the component m (to be flat) to be fed. It is smaller than this double. At the discharge end of the truck, a posture holding means is provided, through which a component having a desired posture (for example, a component m having a long side directed in the transfer direction) is supplied to a linear vibration feeder (not shown).

【0003】ボウル2は図12に明示される十字状の上
側可動フレーム7に固定されており、この上側可動フレ
ーム7に、図13に明示されるやはり十字状の下側可動
フレーム8が直立した4組の重ね板ばね9により結合さ
れている。すなわち、上側可動フレーム7の4つの端部
7aに重ね板ばね9の上端部がボルトにより固定され、
下側可動フレーム8の4つの端部8aに重ね板ばね9の
下端がボルトにより固定されている。なお、端部7a、
8aは上下方向に整列している。
[0003] The bowl 2 is fixed to a cross-shaped upper movable frame 7 shown in FIG. 12, and the lower movable frame 8 also shown in FIG. They are connected by four sets of leaf springs 9. That is, the upper end of the leaf spring 9 is fixed to the four ends 7a of the upper movable frame 7 by bolts,
The lower ends of the leaf springs 9 are fixed to the four ends 8a of the lower movable frame 8 by bolts. In addition, the end 7a,
8a are arranged vertically.

【0004】上側可動フレーム7の下面には水平駆動電
磁石14a、14bに対向して水平可動コア16a、1
6bが固定されている。更に、上側可動フレーム7の下
面の中央部には、垂直可動コア13が固定されており、
これに対向して固定フレーム10の中央部には垂直駆動
電磁石11が固定されている。なお、図において12
は、垂直駆動電磁石11に巻装されているコイルであ
る。また、固定フレーム10の相対向する側壁部には垂
直駆動電磁石11を挟んで対照的に一対の水平駆動電磁
石14a、14bが固定され、これら電磁石14a、1
4bにはそれぞれコイル15a、15bが巻装されてい
る。
On the lower surface of the upper movable frame 7, horizontal movable cores 16a, 1b are opposed to the horizontal drive electromagnets 14a, 14b.
6b is fixed. Further, a vertical movable core 13 is fixed to a central portion of the lower surface of the upper movable frame 7,
A vertical drive electromagnet 11 is fixed to the center of the fixed frame 10 in opposition thereto. In the figure, 12
Is a coil wound around the vertical drive electromagnet 11. Further, a pair of horizontal drive electromagnets 14a and 14b are fixed to opposite side wall portions of the fixed frame 10 with the vertical drive electromagnet 11 interposed therebetween.
4b are wound with coils 15a and 15b, respectively.

【0005】固定フレーム10にはこれと一体的に4個
の脚部17が形成され、これら脚部17が防振ゴム18
を介して基台上に支持されている。脚部17には横方向
に延在するばね取付部17aが一体的に形成され、これ
らばね取付部17aに図13に示されるように垂直駆動
用の重ね板ばね19が両端部で4組、ボルトにより固定
されている。重ね板ばね19は図に示されるようにスペ
ーサ20を介して重ねられ、これらの中央部分が下側可
動フレーム8にボルトにより固定されている。
[0005] The fixed frame 10 is integrally formed with four legs 17, and these legs 17 are attached to the vibration isolating rubber 18.
Supported on the base via The leg 17 is formed integrally with a laterally extending spring mounting portion 17a. As shown in FIG. 13, the spring mounting portion 17a has four sets of leaf springs 19 for vertical driving at both ends, as shown in FIG. It is fixed by bolts. The overlapping leaf springs 19 are overlapped with a spacer 20 interposed therebetween as shown in the figure, and their central portions are fixed to the lower movable frame 8 by bolts.

【0006】以上の構成において、水平駆動電磁石14
a、14bは、水平方向の加振力を発生させる第1振動
駆動源であり、これによって駆動される第1の振動系は
ボウル2、重ね板ばね9、水平可動コア16a、16b
などから成る。すなわち、電流が供給されると水平駆動
電磁石14a、14bが、磁気吸引力を発生し、これに
より水平可動コア16a、16bが吸引されること、及
びこのとき引っ張られる重ね板ばね9の復元力により、
上側可動フレーム7は、水平方向に振動する。また、垂
直駆動電磁石11は、垂直方向の加振力を発生させる第
2振動駆動源であり、これによって駆動される第2の振
動系はボウル2、重ね板ばね19、垂直可動コア13な
どから成る。すなわち、垂直駆動電磁石11が、供給さ
れる電流によって、磁気吸引力を発生し、上側可動フレ
ーム7の垂直可動コア13が吸引され、及びこのとき重
ね板ばね19の下側可動フレーム8(これは上側可動フ
レーム7と重ね板ばね9を介して取り付けられている)
に接続されている部分が下方に引っ張られるので、この
重ね板ばね19の復元力により上側可動フレーム7は、
垂直方向に振動する。すなわち、水平方向と垂直方向と
を独立に振動させ、その振動の間に位相差を持たせるこ
とにより、上側可動フレーム7及びこれに一体的に形成
されたボウル2は、楕円振動を行わせている。
In the above configuration, the horizontal drive electromagnet 14
Reference numerals a and 14b denote first vibration drive sources for generating a horizontal excitation force, and the first vibration system driven by the first vibration drive source includes a bowl 2, a leaf spring 9, and horizontal movable cores 16a and 16b.
Etc. That is, when current is supplied, the horizontal drive electromagnets 14a and 14b generate a magnetic attraction force, whereby the horizontal movable cores 16a and 16b are attracted, and the restoring force of the overlapping leaf spring 9 pulled at this time. ,
The upper movable frame 7 vibrates in the horizontal direction. The vertical drive electromagnet 11 is a second vibration drive source that generates a vertical excitation force, and the second vibration system driven by the second drive system is composed of the bowl 2, the leaf spring 19, the vertical movable core 13, and the like. Become. That is, the vertical drive electromagnet 11 generates a magnetic attraction force by the supplied current, the vertical movable core 13 of the upper movable frame 7 is attracted, and at this time, the lower movable frame 8 (which is (Attached via upper movable frame 7 and leaf spring 9)
Is pulled downward, and the restoring force of the overlapping leaf spring 19 causes the upper movable frame 7 to
Vibrates vertically. In other words, the upper and lower movable frames 7 and the bowl 2 formed integrally with the upper movable frame 7 are caused to perform elliptical vibration by vibrating the horizontal direction and the vertical direction independently and by giving a phase difference between the vibrations. I have.

【0007】なお、この楕円振動において、重ね板ばね
19の結合による水平方向の剛性が強いために下側可動
フレーム8は、水平方向にほとんど動かないが、固定さ
れてはいないので、例えば、上側可動フレーム7が水平
方向の振動を受けると、下側可動フレーム8は、その反
力を受ける。そのため、例えば、水平方向に振動を発生
しようとすると、その重ね板ばね9や下側可動フレーム
8によって、その反力が垂直方向に作用し、垂直方向の
振動をも発生する。
In this elliptical vibration, the lower movable frame 8 hardly moves in the horizontal direction because the rigidity in the horizontal direction is strong due to the connection of the leaf springs 19, but it is not fixed. When the movable frame 7 receives horizontal vibration, the lower movable frame 8 receives the reaction force. Therefore, for example, when an attempt is made to generate a vibration in the horizontal direction, the reaction force acts in the vertical direction by the overlapping leaf spring 9 and the lower movable frame 8, and the vibration also occurs in the vertical direction.

【0008】特に、楕円振動機械では、効率を向上させ
るという面から、一般に、水平方向の固有振動数と垂直
方向の固有振動数とを近接するように(例えば、水平方
向の固有振動数より垂直方向の固有振動数より数パーセ
ント高くなるように)設定し、また垂直方向よりも振幅
を大きくしている水平方向の固有周波数に駆動周波数を
一致させている。そのため、水平方向を振動したことに
より、上述のように垂直方向の振動がわずかでも発生す
ると、この振動は、増幅されて大きな加振力となり、垂
直方向を振動させてしまう。すなわち、水平方向の振動
が垂直方向の振動に対して大きな外乱として作用するの
で、垂直方向の振幅制御や位相差制御(通常、水平方向
と垂直方向との位相差は60度近辺で最適条件、すなわ
ちボウル2内のトラック上の部品を最大の搬送速度で搬
送できることが判明している。)に悪影響が生じ、所望
の制御ができなくなるという問題があった。
In particular, in an elliptical vibration machine, in order to improve the efficiency, generally, the horizontal natural frequency and the vertical natural frequency are set to be close to each other (for example, the vertical natural frequency is higher than the horizontal natural frequency). The driving frequency is set to be a few percent higher than the natural frequency in the direction, and the driving frequency is matched to the natural frequency in the horizontal direction, the amplitude of which is larger than that in the vertical direction. Therefore, even if a slight amount of vertical vibration occurs as described above due to the vibration in the horizontal direction, the vibration is amplified and becomes a large excitation force, and vibrates in the vertical direction. That is, since the horizontal vibration acts as a large disturbance with respect to the vertical vibration, the vertical amplitude control and the phase difference control (the phase difference between the horizontal direction and the vertical direction is usually the optimum condition at around 60 degrees, That is, it has been found that the components on the truck in the bowl 2 can be transported at the maximum transport speed.), Which causes a problem that desired control cannot be performed.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の問題に
鑑みてなされ、例えば、水平方向の振動系(第1振動
系)又は垂直方向の振動系(第2振動系)を加振してい
る加振力が、他方の振動系に作用する場合など、振動系
の固有周波数付近の周波数を有する外乱が作用する場合
の楕円振動装置における外乱の影響を少なくし、楕円振
動装置の制御を従来よりも確実に行え得る楕円振動装置
を提供することを課題とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems. For example, a vibration system in a horizontal direction (first vibration system) or a vibration system in a vertical direction (second vibration system) is excited. In the case where a vibration force having a frequency near the natural frequency of the vibration system acts on the other vibration system, such as when the applied excitation force acts on the other vibration system, the influence of the disturbance on the elliptical vibration device is reduced, and the control of the elliptical vibration device is It is an object of the present invention to provide an elliptical vibration device that can be performed more reliably.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】以上の課題は、少なくと
も、水平方向に加振する第1加振力によって前記水平方
向に振動し、かつ垂直方向に加振する第2加振力によ
り、前記水平方向の振動と所定の位相差を有して、前記
垂直方向に振動することにより楕円振動を行う可動部を
有する楕円振動機(例えば、実施例の26、31、6
1;以下、同様)と、少なくとも増幅部(43)を有す
る第1コントローラ(39、63)と、該第1コントロ
ーラ(39、63)の出力を電力増幅する第1電力増幅
器(40、64)と、該第1電力増幅器(40、64)
の出力を受け前記第1加振力を発生させる第1振動駆動
源(41、65)と、該第1振動駆動源(41、65)
の前記第1加振力を受けて前記水平方向に振動する前記
楕円振動機(26、31、61)の第1振動系(32、
66)と、少なくとも増幅部を有する第2コントローラ
(34、68)と、該第2コントローラ(34、68)
の出力を電力増幅する第2電力増幅器(35、69)
と、該第2電力増幅器(35、69)の出力を受け前記
第2加振力を発生させる第2振動駆動源(36、70)
と、該第2振動駆動源(36、70)の前記第2加振力
を受けて前記垂直方向に振動する前記楕円振動機の第2
振動系(37、71)とを有した楕円振動装置におい
て、前記可動部の前記水平方向の振動変位を検出する第
1振動変位検出手段を設け、該第1振動変位検出手段に
よって検出された前記水平方向の振動変位を、第1の所
定ゲインで増幅し、これを前記第1コントローラと前記
第1振動駆動源との間に帰還させて、第1の閉ループを
形成することにより、前記第1振動系に、該第1振動系
の固有周波数付近の周波数を有する外乱が作用するとき
には、前記第1振動系の疑似ばね定数を変え、前記第1
振動系の伝達率を小さくする及び/又は前記可動部の前
記垂直方向の振動変位(Y)を検出する第2振動変位検
出手段(38、72)を設け、該第2振動変位検出手段
(38、72)によって検出された前記垂直方向の振動
変位(Y)を、第2の所定ゲイン(Kk )で増幅し、こ
れを前記第2コントローラ(34、68)と前記第2振
動駆動源(36、70)との間に帰還させて、第2の閉
ループを形成することにより、前記第2振動系に、該第
2振動系(37、71)の固有周波数付近の周波数を有
する外乱(D1 )が作用するときには、前記第2振動系
の疑似ばね定数を変えて、前記第2振動系の伝達率(Y
/r2 )を小さくすることを特徴とする楕円振動装置、
によって解決される。
The above object is at least achieved by the first vibrating force vibrating in the horizontal direction and the second vibrating force vibrating in the vertical direction. An elliptical vibrator (for example, 26, 31, or 6 of the embodiment) having a movable portion that has a predetermined phase difference from the horizontal vibration and performs the elliptical vibration by vibrating in the vertical direction.
1; hereinafter the same), a first controller (39, 63) having at least an amplifier (43), and a first power amplifier (40, 64) for power-amplifying the output of the first controller (39, 63). And the first power amplifier (40, 64)
A first vibration drive source (41, 65) for receiving the output of the first vibration drive and generating the first vibration force; and a first vibration drive source (41, 65).
A first vibrating system (32, 32) of the elliptical vibrator (26, 31, 61) vibrating in the horizontal direction by receiving the first vibrating force of
66), a second controller (34, 68) having at least an amplification section, and the second controller (34, 68)
Power amplifier (35, 69) for power-amplifying the output of the second power amplifier
A second vibration drive source (36, 70) for receiving the output of the second power amplifier (35, 69) and generating the second excitation force
The second vibration drive source (36, 70) receives the second excitation force and vibrates in the vertical direction.
An elliptical vibration device having a vibration system (37, 71), wherein first vibration displacement detection means for detecting the horizontal vibration displacement of the movable portion is provided, and the first vibration displacement detection means detects the vibration displacement. By amplifying the horizontal vibration displacement with a first predetermined gain and feeding it back between the first controller and the first vibration drive source to form a first closed loop, When a disturbance having a frequency near the natural frequency of the first vibration system acts on the vibration system, the pseudo-spring constant of the first vibration system is changed, and
A second vibration displacement detection means (38, 72) for reducing the transmission rate of the vibration system and / or detecting the vertical vibration displacement (Y) of the movable portion is provided. , 72) are amplified by a second predetermined gain (K k ), and amplified by the second controller (34, 68) and the second vibration drive source (Y). 36, 70) to form a second closed loop, whereby a disturbance (D) having a frequency near the natural frequency of the second vibration system (37, 71) is applied to the second vibration system. 1 ) operates, the pseudo-spring constant of the second vibration system is changed to change the transmission rate (Y
/ R 2 ), an elliptical vibration device characterized in that
Solved by

【0011】このような構成によって、第1振動系及び
第2振動系のうちどちらか一方の振動系又は両方の振動
系に、その固有周波数付近での周波数を有する外乱が大
きく生じた場合には、その外乱が生じた振動系の振動変
位を検出し、この振動変位を、(第1又は第2の)所定
ゲインで増幅し、これを、コントローラからの指令信号
が振動駆動源に伝達される間に帰還させ、その外乱が生
じた振動系の疑似ばね定数(これは、振動系を制御する
制御系を含めた振動系全体のばね定数であり、振動系が
有する固有のばね定数と区別するためこのような用語を
用いている)を変える。この疑似ばね定数を変えたこと
により、第1振動系及び/又は第2振動系の共振周波数
が固有周波数から大きくずらして、第1振動系の固有周
波数付近及び/又は第2振動系の固有周波数付近の伝達
率を小さくし、外乱の影響を小さくして、所望の制御を
確実に行うことができる。
With this configuration, when a disturbance having a frequency near the natural frequency is generated in one or both of the first vibration system and the second vibration system, Detecting the vibration displacement of the vibration system in which the disturbance has occurred, amplifying the vibration displacement with a (first or second) predetermined gain, and transmitting a command signal from the controller to the vibration driving source. And a pseudo-spring constant of the vibration system in which the disturbance has occurred (this is the spring constant of the entire vibration system including the control system that controls the vibration system, and is distinguished from the inherent spring constant of the vibration system. Therefore, such a term is used). By changing the pseudo-spring constant, the resonance frequency of the first vibration system and / or the second vibration system deviates greatly from the natural frequency, and the vicinity of the natural frequency of the first vibration system and / or the natural frequency of the second vibration system Desired control can be reliably performed by reducing the transmission rate in the vicinity and reducing the influence of disturbance.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につき
図面を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0013】本発明の楕円振動装置は、少なくとも、水
平方向に加振する第1加振力によって前記水平方向に振
動し、かつ垂直方向に加振する第2加振力により、水平
方向の振動と所定の位相差を有して、垂直方向に振動す
ることにより楕円振動を行う可動部を有する楕円振動機
と、少なくとも増幅部を有する第1コントローラと、こ
の第1コントローラの出力を電力増幅する第1電力増幅
器と、この第1電力増幅器の出力を受け第1加振力を発
生させる第1振動駆動源と、この第1振動駆動源の第1
加振力を受けて水平方向に振動する楕円振動機の第1振
動系と、少なくとも増幅部を有する第2コントローラ
と、この第2コントローラの出力を電力増幅する第2電
力増幅器と、この第2電力増幅器の出力を受け第2加振
力を発生させる第2振動駆動源と、この第2振動駆動源
の前記第2加振力を受けて垂直方向に振動する楕円振動
機の第2振動系とを有した楕円振動装置において、可動
部の水平方向の振動変位を検出する第1振動変位検出手
段を設け、この第1振動変位検出手段によって検出され
た水平方向の振動変位を、第1の所定ゲインで増幅し、
これを第1コントローラと第1振動駆動源との間に負帰
還させ又は正帰還させて、第1の閉ループを形成するこ
とにより、第1振動系に、この振動系の固有周波数付近
の周波数を有する外乱が作用するときには、第1振動系
の疑似ばね定数を変え、第1振動系の伝達率を小さくす
る及び/又は可動部の垂直方向の振動変位を検出する第
2振動変位検出手段を設け、この第2振動変位検出手段
によって検出された垂直方向の振動変位を、第2の所定
ゲインで増幅し、これを第2コントローラと第2振動駆
動源との間に負帰還させ又は正帰還させて、第2の閉ル
ープを形成することにより、第2振動系に、この振動系
の固有周波数付近の周波数を有する外乱が作用するとき
には、第2振動系の疑似ばね定数を変えて、第2振動系
の伝達率を小さくする。
The elliptical vibration device according to the present invention is characterized in that at least a horizontal vibration is caused by the first vibration force vibrating in the horizontal direction and a second vibration force is vibrated in the vertical direction by the second vibration force. And an elliptical vibrator having a movable portion that performs an elliptical vibration by vibrating in the vertical direction with a predetermined phase difference, a first controller having at least an amplifier, and power-amplifying an output of the first controller. A first power amplifier, a first vibration drive source receiving an output of the first power amplifier and generating a first excitation force, and a first vibration drive source of the first vibration drive source.
A first vibration system of an elliptical vibrator that vibrates in a horizontal direction by receiving an exciting force, a second controller having at least an amplifying unit, a second power amplifier for power-amplifying an output of the second controller, and a second power amplifier. A second vibration drive source that receives an output of the power amplifier and generates a second vibration force, and a second vibration system of an elliptical vibrator that vibrates vertically by receiving the second vibration force of the second vibration drive source And a first vibration displacement detecting means for detecting a horizontal vibration displacement of the movable portion, and the first vibration displacement detecting means detects the horizontal vibration displacement detected by the first vibration displacement detecting means. Amplify with a predetermined gain,
This is negatively or positively fed back between the first controller and the first vibration drive source to form a first closed loop, so that a frequency near the natural frequency of this vibration system is given to the first vibration system. A second vibration displacement detecting means for changing a pseudo-spring constant of the first vibration system to reduce a transmissibility of the first vibration system and / or detecting a vertical vibration displacement of the movable portion when a disturbance is applied; The vertical vibration displacement detected by the second vibration displacement detection means is amplified by a second predetermined gain, and the amplified vibration displacement is negatively or positively fed back between the second controller and the second vibration drive source. By forming a second closed loop, when a disturbance having a frequency near the natural frequency of this vibration system acts on the second vibration system, the pseudo-spring constant of the second vibration system is changed to change the second vibration system. Reduce system transmissibility That.

【0014】すなわち、第1振動系及び/又は第2振動
系に、それぞれの固有周波数付近の周波数を有する外乱
が作用するときには、図7に示すように、その外乱Dが
作用する機械振動系21の変位A(これは実際には振幅
値を意味する)を振動変位検出手段22で検出し、これ
を所定のゲイン(このときのフィードバックゲインは図
においてkf として示している)で増幅し、すなわち変
位の大きさに基づいてフィードバックされる量を変え、
コントローラからの指令信号rが振動駆動源23に伝達
されるまでの間に、Rで示すように帰還させて、閉ルー
プを形成する。これにより、その機械振動系21の疑似
ばね定数が変わり、みかけの共振周波数が変わる。な
お、第1の所定ゲイン及び/又は第2の所定ゲインは、
外乱となる振動系の固有周波数付近の周波数での伝達率
を小さくし、その外乱が充分に抑制できるような値に設
定する。
That is, when a disturbance having a frequency near each natural frequency acts on the first vibration system and / or the second vibration system, the mechanical vibration system 21 on which the disturbance D acts as shown in FIG. displacement a (this actually means amplitude value) is detected by the vibration displacement detector 22, which was amplified with a predetermined gain (feedback gain at this time is shown as k f in the figure), That is, the amount of feedback is changed based on the magnitude of the displacement,
Until the command signal r from the controller is transmitted to the vibration drive source 23, feedback is performed as indicated by R to form a closed loop. Thereby, the pseudo spring constant of the mechanical vibration system 21 changes, and the apparent resonance frequency changes. Note that the first predetermined gain and / or the second predetermined gain are:
The transmissibility at a frequency near the natural frequency of the vibration system that becomes a disturbance is reduced, and set to a value that can sufficiently suppress the disturbance.

【0015】すなわち、図8は、図7の詳細なブロック
図を示しているが、機械振動系21の変位Aを、コント
ローラと振動駆動源との間に帰還しない場合には、その
機械振動系21の疑似ばね定数(すなわち制御系を含め
て、1つの機械振動系を表したときのばね定数である)
は、その機械振動系21の固有のばね定数kであり、こ
のときの伝達率(すなわち指令信号r=r0 ・sin
(ωt)としたときの信号r0 によって生じる静的変位
Eと、指令信号r(=r0 ・sin(ωt))によって
生じる変位Aとの比)は、図9(縦軸に伝達率、横軸に
周波数をとっており、この系の固有周波数のfn におい
て、伝達率は最大値となっている)に、実線で示される
ような形状となる特性を有する。なお、このときの伝達
率A/Eは、公知のように次の式(1)で表せる。
FIG. 8 is a detailed block diagram of FIG. 7. When the displacement A of the mechanical vibration system 21 is not fed back between the controller and the vibration drive source, the mechanical vibration system 21 pseudo-spring constants (that is, the spring constants when representing one mechanical vibration system including the control system)
Is the inherent spring constant k of the mechanical vibration system 21, and the transmission rate at this time (that is, the command signal r = r 0 · sin)
(Ωt), the ratio of the static displacement E caused by the signal r 0 to the displacement A caused by the command signal r (= r 0 · sin (ωt)) is shown in FIG. adopts a frequency on the horizontal axis, the f n of the natural frequency of the system, the transmission ratio has a maximum value), it has the property of a shape as shown by the solid line. The transmissivity A / E at this time can be expressed by the following equation (1) as is known.

【0016】[0016]

【数1】 (Equation 1)

【0017】しかしながら、機械振動系21の振動変位
Aを上述のようにフィードバックゲインkf で増幅し、
正帰還又は負帰還させることによって、この閉ループ
は、図8に点線で示されているように、機械振動系21
にゲインk”を付加したのと同じ効果となる。ただし、
このゲインk”は、閉ループのフィードバックゲインk
f を、駆動振動源23が有するゲインIで割った値、す
なわちk”=kf /Iである。すなわち、このときの振
動系21の全体のばね定数(すなわち疑似ばね定数)
は、固有のばね定数率kと、閉ループを形成したために
付加されたばね定数率k”との和になる。なお、このと
きの伝達率A/Eは次の式(2)で表せる。
[0017] However, amplifies the vibration displacement A mechanical vibration system 21 in the feedback gain k f as described above,
With positive feedback or negative feedback, this closed loop is controlled by the mechanical vibration system 21 as shown by the dotted line in FIG.
Has the same effect as adding a gain k ″ to
This gain k ″ is a closed-loop feedback gain k
The value obtained by dividing f by the gain I of the driving vibration source 23, that is, k ″ = k f / I. That is, the overall spring constant of the vibration system 21 at this time (ie, a pseudo spring constant).
Is the sum of the inherent spring constant ratio k and the spring constant ratio k ″ added due to the formation of the closed loop. The transmission rate A / E at this time can be expressed by the following equation (2).

【0018】[0018]

【数2】 (Equation 2)

【0019】そのため、例えば検出した変位を所定のゲ
インで増幅して負帰還させることにより、疑似ばね定数
が大きくなると、振動機械系21の共振周波数fn
は、図9に一点鎖線で示すように、高くなる。また、例
えば検出した変位を所定のゲインで増幅して正帰還させ
ることにより、疑似ばね定数が小さくなると、図9に二
点鎖線で示すように、低くなる。従って、振動系の固有
周波数付近の周波数での伝達率が小さくなるようにフィ
ードバックゲインを定めれば、固有周波数付近の周波数
を有する外乱が生じた場合であっても、その外乱が大き
く増幅されて、その振動系に大きな影響を及ぼすことは
ない。そのため、所望の制御を、従来よりも確実に行う
ことができる。なお、固有周波数付近の周波数での伝達
率が大きくならない範囲であれば、同時に、質量や減衰
率を変化させてもよい。
Therefore, for example, by amplifying the detected displacement with a predetermined gain and performing negative feedback, when the pseudo spring constant increases, the resonance frequency f n ′ of the vibrating mechanical system 21 is increased.
Is higher as shown by the dashed line in FIG. Further, for example, when the pseudo-spring constant is reduced by amplifying the detected displacement with a predetermined gain and feeding it back positively, the pseudo-spring constant is reduced as shown by the two-dot chain line in FIG. Therefore, if the feedback gain is determined so that the transmissibility at a frequency near the natural frequency of the vibration system becomes small, even when a disturbance having a frequency near the natural frequency occurs, the disturbance is greatly amplified. Does not significantly affect the vibration system. Therefore, desired control can be performed more reliably than before. The mass and the attenuation may be changed at the same time as long as the transmission at a frequency near the natural frequency does not increase.

【0020】また、振動駆動源が電磁石である場合な
ど、振動駆動源が遅れ要素を含む場合には、図10に示
すように、外乱が生じた振動系に形成される閉ループの
途中に、振動駆動源の位相遅れを補償する位相調節器2
4を設けるようにする。これにより、帰還された値に位
相遅れが生じることなく、伝達率を小さくすることがで
き、外乱の影響を小さくすることができる。従って、所
望の制御を確実に行うことができる。
When the vibration drive source includes a delay element, such as when the vibration drive source is an electromagnet, as shown in FIG. Phase adjuster 2 for compensating for phase delay of drive source
4 is provided. As a result, the transmission rate can be reduced without causing a phase delay in the feedback value, and the influence of disturbance can be reduced. Therefore, desired control can be reliably performed.

【0021】更に、一般の楕円振動装置では、水平方向
の振幅が、垂直方向の振幅より大きくなるように加振し
ている。共振振動を用いれば、効率よく大きな振幅を得
ることができる。従って、水平方向の振動は共振振動に
よって得るとよい。また、水平方向の振幅が垂直方向の
振幅より大きいため、水平方向を加振するための加振力
は垂直方向を加振するための加振力より大きく、そのた
め垂直方向に作用する外乱は、水平方向に作用する外乱
よりも大きい。そこで、垂直方向に振動される機械振動
系に閉ループを形成し、その疑似ばね定数を変えて、共
振周波数をずらすことにより、固有周波数付近での外乱
を小さくすれば、より効果的に所望の制御を行い得る。
Further, in a general elliptical vibration device, vibration is applied so that the amplitude in the horizontal direction is larger than the amplitude in the vertical direction. If resonance vibration is used, a large amplitude can be obtained efficiently. Therefore, the horizontal vibration may be obtained by resonance vibration. Also, since the amplitude in the horizontal direction is larger than the amplitude in the vertical direction, the excitation force for exciting the horizontal direction is larger than the excitation force for exciting the vertical direction, and therefore, the disturbance acting in the vertical direction is It is larger than the disturbance acting in the horizontal direction. Therefore, if a closed loop is formed in the mechanical vibration system vibrated in the vertical direction, the pseudo-spring constant is changed, and the resonance frequency is shifted, the disturbance near the natural frequency is reduced, so that the desired control can be performed more effectively. Can be performed.

【0022】また、固有周波数付近での外乱が作用する
ときに、機械振動系の疑似ばね定数を変えて、共振周波
数を変えても、その疑似ばね定数を変える前と何ら位相
が変化しないように、機械振動系を設計するのが好まし
い。なお、機械振動系の疑似ばね定数を変えて、共振周
波数を変えた際に、その機械振動系に位相遅れが生じる
ような機械振動系とした場合には、その位相遅れを補償
するような構成、例えば、位相遅れが生じたときに作動
して、その位相遅れを補償するような位相調節器を設け
るようにする。このようにすれば、第1振動系及び第2
振動系の位相遅れが防止できるので、常に水平方向と垂
直方向の振動系との間の位相差を所定の値に保つことが
できる。
Also, when a disturbance near the natural frequency acts, even if the pseudo-spring constant of the mechanical vibration system is changed to change the resonance frequency, the phase does not change at all before changing the pseudo-spring constant. It is preferable to design a mechanical vibration system. If the mechanical vibration system is such that a phase delay occurs when the resonance frequency is changed by changing the pseudo-spring constant of the mechanical vibration system, a configuration that compensates for the phase delay is used. For example, a phase adjuster that operates when a phase delay occurs and compensates for the phase delay is provided. By doing so, the first vibration system and the second vibration system
Since the phase delay of the vibration system can be prevented, the phase difference between the horizontal and vertical vibration systems can always be maintained at a predetermined value.

【0023】また、第1振動系及び/又は第2振動系の
伝達率を小さくする場合であっても、外乱が作用する周
波数における伝達率は、常に、1以上になるように、第
1の所定ゲイン及び/又は第2の所定ゲインを定めれ
ば、すなわち指令信号より得られる静的変位よりも出力
変位の大きさが常に大きくなるようにすれば、指令信号
を与えても、その信号が小さ過ぎて振動しないという現
象が起こることはない。なお、楕円振動機の可動部を楕
円振動させるために、水平方向の振動変位と垂直方向の
振動変位との位相差が約60度となるようにするのがよ
い。この位相差にすると、可動部のトラック上の部品を
最大の搬送速度で搬送できる。
Further, even when the transmissivity of the first vibration system and / or the second vibration system is reduced, the first transmissivity at the frequency where the disturbance acts always becomes 1 or more. If the predetermined gain and / or the second predetermined gain is determined, that is, if the magnitude of the output displacement is always larger than the static displacement obtained from the command signal, even if the command signal is given, the signal becomes The phenomenon that it is too small and does not vibrate does not occur. In order to cause the movable part of the elliptical vibrator to perform the elliptical vibration, it is preferable that the phase difference between the horizontal vibration displacement and the vertical vibration displacement is about 60 degrees. With this phase difference, components on the track of the movable section can be transported at the maximum transport speed.

【0024】[0024]

【実施例】以下、本発明の各実施例について、図面を参
照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0025】図1は、本発明の第1実施例による楕円振
動装置(例えばこれは、従来例で示した楕円振動パーツ
フィーダである)のブロック図を示すが、全体として、
26で示されている。水平方向の振動系、すなわち第1
機械振動系32の変位Xが水平振動変位検出器33で検
出されている。この水平振動変位検出器33の出力は、
水平方向の振動を制御する第1コントローラ39及び垂
直方向の振動を制御する第2コントローラ34に供給さ
れている。第1コントローラ39の出力は、第1電力増
幅器40を介して第1振動駆動源41に供給され、ここ
で水平方向に加振力が発生して、楕円振動装置26の水
平方向の振動系、すなわち第1機械振動系32に供給さ
れる。すなわち、水平方向の制御系は、全体として閉ル
ープを形成している。他方、第2コントローラ34の出
力は、第2電力増幅器35を介して、第2振動駆動源3
6に供給され、ここで垂直方向に加振力が発生して、楕
円振動装置26の垂直方向の振動系、すなわち第2機械
振動系37に供給される。更に、この第2機械振動系3
7の垂直方向の振動変位Yが、垂直振動変位検出器38
で検出され、これが第2コントローラ34の出力にフィ
ードバックされている。
FIG. 1 shows a block diagram of an elliptical vibration device according to a first embodiment of the present invention (for example, this is the elliptical vibration parts feeder shown in the conventional example).
26. The horizontal vibration system, ie the first
The displacement X of the mechanical vibration system 32 is detected by the horizontal vibration displacement detector 33. The output of the horizontal vibration displacement detector 33 is
It is supplied to a first controller 39 for controlling horizontal vibration and a second controller 34 for controlling vertical vibration. The output of the first controller 39 is supplied to a first vibration drive source 41 via a first power amplifier 40, where an exciting force is generated in the horizontal direction, and a horizontal vibration system of the elliptical vibration device 26, That is, it is supplied to the first mechanical vibration system 32. That is, the control system in the horizontal direction forms a closed loop as a whole. On the other hand, the output of the second controller 34 is supplied to the second vibration drive source 3 via the second power amplifier 35.
6, where an exciting force is generated in the vertical direction, and is supplied to the vertical vibration system of the elliptical vibration device 26, that is, the second mechanical vibration system 37. Further, the second mechanical vibration system 3
7 is a vertical vibration displacement detector 38.
And this is fed back to the output of the second controller 34.

【0026】図2は、本実施例の図1を更に詳細に示す
ブロック図である。すなわち、本実施例における第1コ
ントローラ39は、例えば位相器42、ハイゲインアン
プ43及び振幅調整リミッタ(飽和要素)44からなっ
ている。そして、この第1コントローラ39の出力が、
ゲインKa1を有する第1電力増幅器40に供給され、こ
の出力は第1振動駆動源41である電磁石に供給され
る。電磁石は電圧と力に位相差があり、1/(s+a
1 )(sはラプラス変換子(以下同様)であり、a1
定数である)なる遅れ要素を有している。これにより水
平方向の第1機械振動系32が加振される。第1機械振
動系32では、その質量m’、すなわち可動部の質量
m’が加速度d2 X/dt2 で振動しているとき、1/
sの積分要素を介すると、速度dX/dtとなり、これ
に第1機械振動系32の減衰率c1 をかけたものが減衰
率として質量m’に作用する。また、速度dX/dtが
積分要素を介すると変位Xとなり、これに第1機械振動
系32のばね定数k1 をかけたものが復元力として作用
する。この水平方向の振動変位は水平振動変位検出器3
3で検出され、これが第1コントローラ39及び第2コ
ントローラ34に供給される。すなわち、第1機械振動
系32は共振振動が行われているので、力と変位の位相
差は90度であり、水平方向の電磁石41の位相遅れも
90度であるので、第1コントローラ34の入力から第
1機械振動系32の変位Xとの位相差は、180度であ
り、この水平方向の制御系は、自励振動を行わせている
ので、第1コントローラ39の位相調節器42の設定位
相差αは零である。
FIG. 2 is a block diagram showing FIG. 1 of this embodiment in more detail. That is, the first controller 39 in the present embodiment includes, for example, a phase shifter 42, a high gain amplifier 43, and an amplitude adjustment limiter (saturation element) 44. The output of the first controller 39 is
The output is supplied to a first power amplifier 40 having a gain K a1 , and this output is supplied to an electromagnet as a first vibration drive source 41. An electromagnet has a phase difference between voltage and force, and 1 / (s + a
1 ) (s is a Laplace transformer (the same applies hereinafter), and a 1 is a constant). Thereby, the first mechanical vibration system 32 in the horizontal direction is vibrated. In the first mechanical vibration system 32, when the mass m ′, that is, the mass m ′ of the movable portion is vibrating at the acceleration d 2 X / dt 2 , 1 /
When via the integral element of s, the speed dX / dt, and the is multiplied by the attenuation factor c 1 of the first mechanical vibration system 32 to act on the mass m 'as an attenuation factor. The speed dX / dt is the displacement X becomes through the integral element, is multiplied by the spring constant k 1 of the first mechanical vibration system 32 to act as a restoring force. This horizontal vibration displacement is obtained by the horizontal vibration displacement detector 3
3 is supplied to the first controller 39 and the second controller 34. That is, since the first mechanical vibration system 32 performs the resonance vibration, the phase difference between the force and the displacement is 90 degrees, and the phase delay of the electromagnet 41 in the horizontal direction is also 90 degrees. The phase difference between the input and the displacement X of the first mechanical vibration system 32 is 180 degrees. Since the horizontal control system performs self-excited vibration, the phase controller 42 of the first controller 39 The set phase difference α is zero.

【0027】他方、第1機械振動系32の変位Xが供給
された第2コントローラ34は、第1コントローラ39
と同様に、位相器45、ハイゲインアンプ46及び振幅
調整リミッタ(飽和要素)47からなっており、この出
力は、ゲインKa2を有する第2電力増幅器35に供給さ
れ、この第2電力増幅器35の出力が第2振動駆動源3
6である電磁石に供給される。この第2振動駆動源36
も、1/(s+a2 )なる遅れ要素を有し、第1振動駆
動源41と同様に、90度の位相遅れを生じる。これに
より楕円振動機械26の垂直方向の第2機械振動系37
が加振される。この第2機械振動系37も、第1機械振
動系32と同様に、その質量m’が加速度d2 Y/dt
2 で振動しているとき、1/sの積分要素を介すると、
速度dY/dtとなり、これに第2機械振動系37の減
衰率c2 をかけたものが振動減衰率として質量m’に作
用し、また、速度dY/dtが積分要素を介すると変位
Yとなり、これに第2機械振動系37のばね定数k2
かけたものが復元力として作用する。なお、このときの
第2機械振動系37は、その固有周波数よりも数パーセ
ント低い周波数で強制振動されるので、力と変位の位相
差は、0度であり、第2コントローラ34の位相器45
の設定位相差は、30度の位相進みに設定されている。
On the other hand, the second controller 34 supplied with the displacement X of the first mechanical vibration system 32
Similarly to the first embodiment, the second power amplifier 35 includes a phase shifter 45, a high gain amplifier 46, and an amplitude adjustment limiter (saturation element) 47. The output is supplied to a second power amplifier 35 having a gain Ka2 . Output is the second vibration drive source 3
6 is supplied to the electromagnet. This second vibration drive source 36
Also has a delay element of 1 / (s + a 2 ), and, like the first vibration drive source 41, produces a phase delay of 90 degrees. Thereby, the second mechanical vibration system 37 in the vertical direction of the elliptical vibration machine 26
Is excited. Similarly to the first mechanical vibration system 32, the mass m ′ of the second mechanical vibration system 37 has an acceleration d 2 Y / dt.
When oscillating at 2 , through the integral element of 1 / s,
The velocity dY / dt is multiplied by the damping rate c 2 of the second mechanical vibration system 37 to act on the mass m ′ as the vibration damping rate. Further, when the speed dY / dt passes through the integral element, the displacement becomes Y. , multiplied by the spring constant k 2 of the second mechanical vibration system 37 acts as a restoring force thereto. At this time, the second mechanical vibration system 37 is forcibly vibrated at a frequency several percent lower than its natural frequency, so that the phase difference between the force and the displacement is 0 degree, and the phase shifter 45 of the second controller 34
Is set to a phase lead of 30 degrees.

【0028】更に、本実施例では、第2機械振動系37
の振動変位をフィードバックした閉ループ中は、第2振
動駆動源36の位相遅れを補償している。すなわち位相
調節器27は、γ=90度の進み要素を有している位相
調節器27(なお、これは微分器であってもよい)及び
ゲインKk を介して、第2コントローラ34の出力に供
給されている。このゲインKk は、例えば、本実施例で
は、第2機械振動系37のばね定数kの数倍程度の値に
設定されている。
Further, in this embodiment, the second mechanical vibration system 37
During the closed loop in which the vibration displacement is fed back, the phase delay of the second vibration drive source 36 is compensated. That is, the phase adjuster 27 outputs the output of the second controller 34 via the phase adjuster 27 (which may be a differentiator) having a lead element of γ = 90 degrees and the gain K k. Is supplied to This gain K k is set to, for example, a value about several times the spring constant k of the second mechanical vibration system 37 in this embodiment.

【0029】なお、振幅調節リミッタ44には、図示せ
ずとも水平方向の水平振動変位検出器33の出力を受け
る振幅コントローラが、振幅調節リミッタ47には、図
示せずとも垂直方向の振動変位の出力を受ける振幅コン
トローラがそれぞれ接続されている。これらの振幅コン
トローラは同じ構造をしており、これは比較器を有して
いるが、この一方の入力端子には所望の振幅が設定され
ており、他方の入力には水平振動変位検出器33の出力
又は垂直振動変位検出器38の出力が供給されて、その
偏差に応じて振幅調節リミッタ44、47を自動的に調
節して、一定の長軸、短軸を持った一定方向の楕円振動
をボウルに行なわせるようにしている。
The amplitude adjustment limiter 44 has an amplitude controller (not shown) which receives the output of the horizontal vibration displacement detector 33 in the horizontal direction, and the amplitude adjustment limiter 47 has a vertical vibration displacement (not shown). Amplitude controllers receiving the outputs are respectively connected. These amplitude controllers have the same structure, and have a comparator. The desired amplitude is set at one input terminal, and the horizontal vibration displacement detector 33 is set at the other input. Or the output of the vertical vibration displacement detector 38 is supplied, and the amplitude adjustment limiters 44 and 47 are automatically adjusted in accordance with the deviation, so that the elliptical vibration in a certain direction having a certain long axis and a certain short axis. In a bowl.

【0030】本実施例の楕円振動装置26は以上のよう
に構成されるが、次に、この作用について説明する。
The elliptical vibration device 26 according to the present embodiment is configured as described above. Next, this operation will be described.

【0031】すなわち、第1電力増幅器40及び第2電
力増幅器35は図示せずともスイッチを介して直流電源
が接続されており、このスイッチを閉じることにより作
動状態となる。水平方向の第1機械振動系32は、共振
周波数で振動を行うので、第1コントローラ39の入力
と、第1機械振動系32の出力とは、180度の位相差
を有して自励振動を行う。この第1機械振動系32の変
位X、すなわち振動変位検出器33の出力は、第1コン
トローラ39に供給されるだけでなく、第2コントロー
ラ34にも供給され、第2電力増幅器35を介して、第
2振動駆動源36の電磁石が励磁されて、その共振周波
数から数パーセント低い周波数で強制振動が行われる。
また、共振振動状態にある水平方向の振動系の力と変位
との位相差は90度に安定に保持されており、またこれ
から強制振動においては共振周波数が若干変化しても、
その位相差がほとんど変化しないことにより、水平方向
の変位と垂直方向の変位は60度に保たれ、最適な楕円
振動条件を得ている。
That is, the first power amplifier 40 and the second power amplifier 35 are connected to a DC power supply via a switch (not shown), and are turned on by closing the switches. Since the first mechanical vibration system 32 in the horizontal direction vibrates at the resonance frequency, the input of the first controller 39 and the output of the first mechanical vibration system 32 have a phase difference of 180 degrees and are self-excited. I do. The displacement X of the first mechanical vibration system 32, that is, the output of the vibration displacement detector 33 is supplied not only to the first controller 39 but also to the second controller 34, and is supplied to the second controller 34 via the second power amplifier 35. Then, the electromagnet of the second vibration drive source 36 is excited, and forced vibration is performed at a frequency several percent lower than the resonance frequency.
In addition, the phase difference between the force and displacement of the horizontal vibration system in the resonance vibration state is stably maintained at 90 degrees. From now on, even if the resonance frequency slightly changes in the forced vibration,
Since the phase difference hardly changes, the displacement in the horizontal direction and the displacement in the vertical direction are maintained at 60 degrees, and the optimum elliptical vibration condition is obtained.

【0032】このように第1機械振動系32及び第2機
械振動系37を駆動すると、第1振動駆動源41の加振
力の反力が、図2の一点鎖線で示すように、第2機械振
動系37を加振し、第2振動駆動源36の加振力の反力
も、図の二点鎖線で示すように、第1機械振動系32を
加振する。すなわち、第1振動駆動源41の加振力が第
2機械振動系37に外乱D1 として作用し、第2振動駆
動源36の加振力が第1機械振動系32に外乱D2 とし
て作用する。ただし、本実施例では、上述したように水
平方向に大きな加振力を与えているので、その反対側、
すなわち楕円振動装置26の垂直方向を振動させている
第2機械振動系37に作用する外乱D1のほうが、第1
機械振動系32に作用する外乱D2 よりも大きくなって
いる。そこで、本実施例では、この第2機械振動系37
の振動変位を検出し、これをフィードバックゲインKk
で増幅し、これを第2コントローラ34の出力r2 に負
帰還して、閉ループを構成する。
When the first mechanical vibration system 32 and the second mechanical vibration system 37 are driven as described above, the reaction force of the excitation force of the first vibration drive source 41 is changed to the second mechanical vibration system as shown by the one-dot chain line in FIG. The mechanical vibration system 37 is vibrated, and the reaction force of the excitation force of the second vibration drive source 36 also vibrates the first mechanical vibration system 32 as shown by a two-dot chain line in the figure. That is, the excitation force of the first vibration driving source 41 acts as a disturbance D 1 to the second mechanical vibration system 37, the excitation force of the second vibrating drive source 36 is applied to the first mechanical vibration system 32 as a disturbance D 2 I do. However, in the present embodiment, since a large excitation force is given in the horizontal direction as described above, the opposite side,
That is, the disturbance D1 acting on the second mechanical vibration system 37 that vibrates the elliptical vibration device 26 in the vertical direction is the first disturbance.
It is larger than the disturbance D 2 acting on the mechanical vibration system 32. Therefore, in the present embodiment, the second mechanical vibration system 37
Is detected, and this is calculated as a feedback gain K k
, And this is negatively fed back to the output r 2 of the second controller 34 to form a closed loop.

【0033】出力r2 を負帰還させると、疑似ばね定数
が大きくなり、共振周波数が高くなる。そのため、垂直
方向の伝達率、すなわち第2コントローラからの出力r
2 =r2 ’・sin(ωt)としたときの信号r2 ’に
よって生じる静的変位E2 と、出力r2 によって生じる
第2機械振動系37の出力変位Yとの比(すなわち伝達
率=Y/E2 である)の特性曲線は、図3の実線L2
で示されるような形状となる。なお、このときの共振周
波数はf2 ’で示されている。また、f2 は垂直方向の
振動系、すなわち第2機械振動系37の固有周波数であ
り、一点鎖線L2 は、振動変位検出器38からの出力を
第2コントローラ34に負帰還させなかったとき、すな
わち、閉ループを構成しなかったときの垂直方向の伝達
率の特性曲線である。すなわち、楕円振動装置26の駆
動周波数における水平方向の伝達率は、検出された変位
を所定のゲインで増幅した後、負帰還するような閉ルー
プを設けたことにより、t2 からt1 へと低下する。従
って、第2機械振動系37に作用した、第2機械振動系
37の固有周波数付近の外乱D1 の増幅率(伝達率)
は、従来よりも小さくなり、その外乱D1 を抑えること
ができる。なお、このとき、伝達率を低下させること
で、第2コントローラ34からの指令信号の伝達率も小
さくなるため、閉ループのフィードバックゲインKk
は、指令信号r2 により所望の振動が生じないというこ
とがなく、かつ充分に外乱が抑制できるような伝達率と
なるように、定めている。なおまた、図3において、f
1 は水平方向の振動系、すなわち第1機械振動系32の
固有周波数(これは駆動周波数とほぼ一致している)で
あり、二点鎖線で示されているL1 は水平方向の伝達
率、すなわち第1コントローラからの出力r1 =r1
・sin(ωt)としたときの信号r1 ’によって生じ
る静的変位E1 と、出力r1 によって生じる第1機械振
動系37の出力変位Xとの比(すなわち伝達率=X/E
1 である)の特性曲線である。
When the output r 2 is negatively fed back, the pseudo spring constant increases and the resonance frequency increases. Therefore, the transmission rate in the vertical direction, that is, the output r from the second controller
The ratio of the static displacement E 2 caused by the signal r 2 ′ when 2 = r 2 ′ · sin (ωt) to the output displacement Y of the second mechanical vibration system 37 caused by the output r 2 (that is, the transmission rate = Y / E 2 ) is represented by a solid line L 2 ′ in FIG.
The shape is as shown by. The resonance frequency at this time is indicated by f 2 ′. Further, f 2 is the natural frequency of the vibration system in the vertical direction, that is, the second mechanical vibration system 37, and the dashed line L 2 indicates the case where the output from the vibration displacement detector 38 is not negatively fed back to the second controller 34. That is, it is a characteristic curve of the transmissivity in the vertical direction when a closed loop is not formed. That is, the transmissivity in the horizontal direction at the driving frequency of the elliptical vibration device 26 is reduced from t 2 to t 1 by providing a closed loop for negatively feedbacking after amplifying the detected displacement by a predetermined gain. I do. Accordingly, the amplification factor (transmissivity) of the disturbance D 1 acting on the second mechanical vibration system 37 near the natural frequency of the second mechanical vibration system 37
Is smaller than the conventional, it is possible to suppress the disturbance D 1. At this time, by reducing the transmission rate, the transmission rate of the command signal from the second controller 34 also decreases, so that the closed-loop feedback gain K k
Is determined so that the desired vibration does not occur due to the command signal r 2 , and the transmissivity is such that disturbance can be sufficiently suppressed. In addition, in FIG.
1 is a natural frequency of the horizontal vibration system, that is, the natural frequency of the first mechanical vibration system 32 (which substantially coincides with the drive frequency), and L 1 indicated by a two-dot chain line is a horizontal transmissivity, That is, the output from the first controller r 1 = r 1
The ratio of the static displacement E 1 caused by the signal r 1 ′ when sin (ωt) is set to the output displacement X of the first mechanical vibration system 37 caused by the output r 1 (ie, transmissivity = X / E)
1 ).

【0034】本実施例では、このように大きな外乱D1
が発生する第2機械振動系37に、この第2機械振動系
37の変位を検出し、この検出された値をゲインKk
増幅し、第2コントローラ34から第2振動駆動源36
までの間に負帰還させて、閉ループを形成し、第2機械
振動系37の疑似ばね定数を大きくして、垂直方向の伝
達率(これは伝達率=Y/E2 を示す)を小さくしてい
る。そのため、第1機械振動系32を加振する第1振動
駆動源41による外乱D1 の影響を低く抑えることがで
き、所望の制御を、従来よりも確実に行うことができ
る。なお、本実施例では、第2機械振動系37の検出さ
れた変位を、ゲインKk で増幅し、これを負帰還させた
ので、疑似ばね定数は大きくなり、第2機械振動系37
の共振周波数が高くなる。本実施例では、第2機械振動
系37の力と変位の位相差が零であるとして設定されて
いるため、この場合には、この位相差は変わらない。
In this embodiment, such a large disturbance D 1
Second mechanical vibration system 37 but that occurs, and detecting the displacement of the second mechanical vibration system 37, the detected value is amplified by the gain K k, from the second controller 34 second vibrating drive source 36
To form a closed loop, increase the quasi-spring constant of the second mechanical vibration system 37, and reduce the vertical transmission rate (this indicates transmission rate = Y / E 2 ). ing. Therefore, the first vibration driving source 41 by can be suppressed to a low level influence of disturbance D 1 to vibrate the first mechanical vibration system 32, the desired control can be performed reliably than before. In the present embodiment, since the detected displacement of the second mechanical vibration system 37 is amplified by the gain K k and negatively fed back, the pseudo-spring constant becomes large and the second mechanical vibration system 37
Becomes higher. In this embodiment, since the phase difference between the force and the displacement of the second mechanical vibration system 37 is set to be zero, the phase difference does not change in this case.

【0035】なおまた、図3の点線で示されるL2 ”は
垂直振動変位検出器38からの出力を第2コントローラ
に正帰還させたときの伝達率(これは、伝達率=Y/E
2 を示す)の特性曲線であり、f2 ”は、このときの共
振周波数であるが、この場合には、楕円振動装置26の
駆動周波数における垂直方向の伝達率は、検出された変
位を所定のゲインで増幅した後、正帰還する閉ループを
設けたことにより、t2 からt0 へと低下する。このよ
うに正帰還させて伝達率を低下させて、外乱の影響を低
減させてもよい。しかし、この場合には、この第2機械
振動系37の共振周波数から高い周波数で共振振動が行
われる(駆動周波数は第1機械振動系32の固有周波数
1 とほぼ同じである)ため、第2機械振動系37の力
と変位の位相差をー180度となる。本実施例では、第
2機械振動系37の力と変位の位相差が0度に設定して
いるので、疑似ばね定数を減少させたことで変化した位
相差を補うための位相調節器を、この場合には設ける必
要がある。
In addition, L 2 ″ shown by a dotted line in FIG. 3 is a transmissivity when the output from the vertical vibration displacement detector 38 is fed back to the second controller (this is transmissivity = Y / E
2 ), and f 2 ″ is the resonance frequency at this time. In this case, the transmission rate in the vertical direction at the driving frequency of the elliptical vibration device 26 is determined by determining the detected displacement by a predetermined value. After amplifying with a gain of, a closed loop for positive feedback is provided, so that it decreases from t 2 to t 0. In this way, the positive feedback may be used to reduce the transmissibility and reduce the influence of disturbance. . However, in this case, resonant vibration is performed at a high frequency from the resonant frequency of the second mechanical vibration system 37 (the driving frequency is substantially the same as the natural frequency f 1 of the first mechanical vibration system 32) for, The phase difference between the force and the displacement of the second mechanical vibration system 37 is -180 degrees In this embodiment, since the phase difference between the force and the displacement of the second mechanical vibration system 37 is set to 0 degrees, the pseudo spring is used. Phase to compensate for the phase difference changed by reducing the constant A regulator must be provided in this case.

【0036】次に、図4及び図5を参照して、本発明の
第2実施例による楕円振動装置を示すが、上記実施例と
同様な部分には同一の符号を付し、その詳細な説明は省
略する。
Next, referring to FIGS. 4 and 5, an elliptical vibration device according to a second embodiment of the present invention will be described. Description is omitted.

【0037】図4は、本発明の第2実施例による楕円振
動装置のブロック図を示すが、全体として、31で示さ
れている。本実施例では、楕円振動装置31の水平方向
の振動系、すなわち第1機械振動系32の出力変位Xを
検出している水平振動変位検出器33の出力は、垂直方
向の振動を制御する第2コントローラ34にのみ供給さ
れ、第2電力増幅器35、第2振動駆動源36を介し
て、楕円振動装置31の垂直方向の振動系、すなわち第
2機械振動系37に供給されている。そして、第2機械
振動系37の垂直方向の振動変位Yが、垂直振動変位検
出器38で検出され、水平方向用の第1コントローラ3
9に供給され、第1電力増幅器40、第1振動駆動源4
1を介して水平方向の第1機械振動系32に供給されて
いる。なお、水平振動変位検出器33の出力はそのまま
第2コントローラ34に供給されるが、垂直振動変位検
出器38の出力は第1コントローラ39に負帰還信号と
して供給される。
FIG. 4 shows a block diagram of an elliptical vibration device according to a second embodiment of the present invention, which is indicated generally by 31. In this embodiment, the output of the horizontal vibration displacement detector 33 which detects the output displacement X of the horizontal vibration system of the elliptical vibration device 31, that is, the first mechanical vibration system 32, controls the vertical vibration. 2 is supplied only to the controller 34, and is supplied to the vertical vibration system of the elliptical vibration device 31, that is, the second mechanical vibration system 37 via the second power amplifier 35 and the second vibration drive source 36. Then, the vertical vibration displacement Y of the second mechanical vibration system 37 is detected by the vertical vibration displacement detector 38, and the first controller 3 for the horizontal direction is detected.
9, the first power amplifier 40, the first vibration drive source 4
1 to a first mechanical vibration system 32 in the horizontal direction. The output of the horizontal vibration displacement detector 33 is supplied to the second controller 34 as it is, while the output of the vertical vibration displacement detector 38 is supplied to the first controller 39 as a negative feedback signal.

【0038】本実施例の第1機械振動系37は、共振振
動をしており、そのため力と変位との位相差は90度で
あるが、第2機械振動系37は、固有周波数より数パー
セント低い周波数で駆動されているので、力と変位との
位相差は0度である。また、上述したように第1振動駆
動源41及び第2振動駆動源36は電磁石であるので、
その位相遅れは90度であり、従って、本実施例では第
1コントローラ39の位相器42により位相αは60度
進められ、また第2コントローラ34の位相器45によ
り位相差βは30度位相が進められる。そのため、水平
方向を制御する第1コントローラ39の位相器42の入
力と、水平方向の振動系である第1機械振動系32の出
力との間には、合計で120度の位相差があり、また水
平振動変位検出器33の出力、すなわち垂直方向を制御
する第2コントローラ34の位相器45の入力と、垂直
方向の振動系である第2機械振動系37の出力との間に
は、合計で60度の位相差がある。従って、第1コント
ローラ39の入力側と、垂直振動変位検出器38の出力
側とを遮断した場合及びは第2コントローラ34の入力
側と水平振動変位検出器33の出力側とを遮断した場合
には、いずれの場合にも、この間に180度の位相差が
あり、第1機械振動系32及び第2機械振動系37は自
励振動を行う。
The first mechanical vibration system 37 of the present embodiment oscillates resonantly, and therefore the phase difference between the force and the displacement is 90 degrees, but the second mechanical vibration system 37 is a few percent of the natural frequency. Since it is driven at a low frequency, the phase difference between force and displacement is 0 degrees. Further, as described above, since the first vibration drive source 41 and the second vibration drive source 36 are electromagnets,
The phase delay is 90 degrees. Therefore, in this embodiment, the phase α is advanced by 60 degrees by the phase shifter 42 of the first controller 39, and the phase difference β is shifted by 30 degrees by the phase shifter 45 of the second controller 34. Can proceed. Therefore, there is a total phase difference of 120 degrees between the input of the phase shifter 42 of the first controller 39 that controls the horizontal direction and the output of the first mechanical vibration system 32 that is the horizontal vibration system. In addition, there is a total between the output of the horizontal vibration displacement detector 33, that is, the input of the phase shifter 45 of the second controller 34 for controlling the vertical direction and the output of the second mechanical vibration system 37 which is a vertical vibration system. Has a phase difference of 60 degrees. Therefore, when the input side of the first controller 39 and the output side of the vertical vibration displacement detector 38 are cut off, and when the input side of the second controller 34 and the output side of the horizontal vibration displacement detector 33 are cut off, In any case, there is a phase difference of 180 degrees between them, and the first mechanical vibration system 32 and the second mechanical vibration system 37 perform self-excited vibration.

【0039】本発明の第2実施例の楕円振動装置31は
以上のように構成されるが、次にこの作用について説明
する。
The elliptical vibration device 31 according to the second embodiment of the present invention is configured as described above. Next, this operation will be described.

【0040】やはり図示しないスイッチを介して、直流
電源を第1電力増幅器40及び第2電力増幅器35に接
続すると、水平方向の振動系は自励振動で共振振動を行
ない、垂直方向の振動系は自励振動で強制振動を行う。
なお、水平方向の第1機械振動系32は共振振動である
ので、常に力と変位との位相差が90度に維持され、ま
た、電磁石41の位相遅れは90度で一定であるので、
水平方向の振動と垂直方向の振動との位相差は、60度
に安定に保持される。従って最適条件で可動部は楕円振
動を行ない、部品はその内部に形成されたトラック上を
最大の搬送速度で搬送される。また、電源の変動やボウ
ル内の部品の負荷の変動が生じても、自励振動により常
に水平方向の振動系は共振振動を行って、力と変位との
位相差を90度に維持し、上記の最適条件を安定に続行
する。
When a DC power supply is connected to the first power amplifier 40 and the second power amplifier 35 via a switch (not shown), the horizontal vibration system performs resonance vibration by self-excited vibration, and the vertical vibration system operates. Forced vibration by self-excited vibration.
Since the first mechanical vibration system 32 in the horizontal direction is a resonance vibration, the phase difference between the force and the displacement is always maintained at 90 degrees, and the phase delay of the electromagnet 41 is constant at 90 degrees.
The phase difference between the horizontal vibration and the vertical vibration is stably maintained at 60 degrees. Therefore, the movable portion performs the elliptical vibration under the optimum condition, and the component is transported on the track formed therein at the maximum transport speed. In addition, even if the power supply or the load on the components in the bowl fluctuates, the horizontal vibration system always performs resonant vibration due to self-excited vibration, maintaining the phase difference between force and displacement at 90 degrees. Continue stably above optimal conditions.

【0041】本実施例でも、楕円振動を行うと、上記実
施例と同様に、第1振動駆動源41の加振力が第2機械
振動系37に外乱D1 として作用し、第2振動駆動源3
6の加振力が第1機械振動系32に外乱D2 として作用
するが、本実施例でも、水平方向に大きな加振力を与え
ているので、その反対側、すなわち楕円振動装置26の
垂直方向を振動している第2機械振動系37の外乱D1
のほうが、第1機械振動系32に加わる外乱D2 よりも
大きくなっている。そこで、本実施例では、この第2機
械振動系37の振動変位Yを検出し、これをゲインKk
で増幅して、第2コントローラ34からの出力(すなわ
ち指令信号)に負帰還している。そのため、その第2機
械振動系37の共振周波数は高くなる。本実施例では、
第2電力増幅器35のゲインKa1、第2振動駆動源36
のゲイン、第2機械振動系37のばね定数k1 及び質量
m’は、一定(正確には第2機械振動系37の質量m’
は少し変動する)であるので、第2コントローラ34か
らの出力r2 に対する第2機械振動系37の出力変位
Y、すなわち固有振動数付近での伝達率は確実に低下す
る。すなわち、垂直方向の振動系に外乱D2 として作用
する水平方向の加振力の周波数(これは第2機械振動系
37の固有周波数の近傍の周波数である)における第2
機械振動系37の伝達率は、従来よりもはるかに低下す
る。従って、第2機械振動系37の固有周波数の近傍の
周波数を有する外乱D1 の、第2機械振動系37への影
響を抑えることができる。
Also in this embodiment, when the elliptical vibration is performed, the excitation force of the first vibration drive source 41 acts on the second mechanical vibration system 37 as a disturbance D 1, as in the above embodiment, and the second vibration drive is performed. Source 3
6 acts as a disturbance D 2 on the first mechanical vibration system 32, but also in this embodiment, since a large excitation force is given in the horizontal direction, the opposite side, that is, the vertical direction of the elliptical vibration device 26 Disturbance D 1 of the second mechanical vibration system 37 oscillating in the direction
Is larger than the disturbance D 2 applied to the first mechanical vibration system 32. Therefore, in this embodiment, to detect the vibration displacement Y of the second mechanical vibration system 37, which gain K k
, And is negatively fed back to the output from the second controller 34 (that is, the command signal). Therefore, the resonance frequency of the second mechanical vibration system 37 increases. In this embodiment,
The gain K a1 of the second power amplifier 35 and the second vibration drive source 36
, The spring constant k 1 and the mass m ′ of the second mechanical vibration system 37 are constant (accurately, the mass m ′ of the second mechanical vibration system 37).
Since a little variation), output displacement Y of the second mechanical vibration system 37 to the output r 2 from the second controller 34, i.e. the transmission rate in the vicinity of the natural frequency decreases reliably. That is, at the frequency of the horizontal excitation force acting as a disturbance D 2 on the vertical vibration system (this is a frequency near the natural frequency of the second mechanical vibration system 37),
The transmission rate of the mechanical vibration system 37 is much lower than in the past. Therefore, it is possible to suppress the influence of the disturbance D 1 having a frequency near the natural frequency of the second mechanical vibration system 37 on the second mechanical vibration system 37.

【0042】本実施例でも、上記実施例と同様に、第1
機械振動系32を加振する第1振動駆動源41による外
乱の影響が抑えられるので、所望の制御を、従来より確
実に行うことができる。
In this embodiment, as in the above embodiment, the first
Since the influence of disturbance due to the first vibration drive source 41 that vibrates the mechanical vibration system 32 is suppressed, desired control can be performed more reliably than before.

【0043】図6は、本発明の第3実施例による楕円振
動装置のブロック図を示すが、全体として61で示され
ている。可変周波数電源62の出力は第1コントローラ
63に供給され、この出力は第1電力増幅器64で増幅
されて、第1振動駆動源65である圧電型のアクチュエ
ータに供給される。これにより上記実施例と同様に水平
方向の第1機械振動系66が加振され、この水平方向の
振動変位Xが水平振動変位検出器67で検出されて、こ
れが垂直方向の加振力を発生するための指令を出力する
第2コントローラ68に供給される。この第2コントロ
ーラ68の制御出力が第2電力増幅器69を介して垂直
方向の第2振動駆動源70である圧電型のアクチュエー
タに供給され、第2機械振動系71を加振する。なお、
第2コントローラ68の設定位相差は60度とされてい
る。ここにおいて、第1機械振動系66は可変周波数電
源62の調節により、共振振動が行なわれるが、この振
動に対して正確に60度の位相差を持って、第2機械振
動系71は垂直方向に加振される。更に、第2機械振動
系の振動変位Yは、垂直振動変位検出器72によって検
出され、この検出された出力が、上記第1実施例と同様
に、第2コントローラの出力へと負帰還されている。
FIG. 6 shows a block diagram of an elliptical vibration device according to a third embodiment of the present invention, which is indicated by reference numeral 61 as a whole. The output of the variable frequency power supply 62 is supplied to a first controller 63, and this output is amplified by a first power amplifier 64 and supplied to a piezoelectric actuator serving as a first vibration drive source 65. As a result, the first mechanical vibration system 66 in the horizontal direction is vibrated similarly to the above embodiment, and the horizontal vibration displacement X is detected by the horizontal vibration displacement detector 67, which generates a vertical vibration force. Is supplied to the second controller 68 which outputs a command for performing the operation. The control output of the second controller 68 is supplied to the piezoelectric actuator as the second vibration drive source 70 in the vertical direction via the second power amplifier 69, and vibrates the second mechanical vibration system 71. In addition,
The set phase difference of the second controller 68 is set to 60 degrees. Here, resonance of the first mechanical vibration system 66 is performed by adjusting the variable frequency power supply 62, but the second mechanical vibration system 71 has a phase difference of exactly 60 degrees with respect to this vibration, and Excited. Further, the vibration displacement Y of the second mechanical vibration system is detected by the vertical vibration displacement detector 72, and the detected output is negatively fed back to the output of the second controller as in the first embodiment. I have.

【0044】なお、本実施例の第1コントローラ63
は、上記第1実施例及び第2実施例とは異なり飽和要素
を有しないが、水平振動変位検出器67からの出力を図
示しない振幅コントローラに供給し、この内部で所定の
振幅と比較してその偏差を第1コントローラ63に供給
することにより、定振幅の閉ループを形成して、水平方
向の振動を常に一定としてもよい。また、第2コントロ
ーラ68の構成もこの第1コントローラ63と同様にし
てもよい。
The first controller 63 of the present embodiment
Differs from the first embodiment and the second embodiment in that it does not have a saturation element, but supplies the output from the horizontal vibration displacement detector 67 to an amplitude controller (not shown) and compares it with a predetermined amplitude inside. By supplying the deviation to the first controller 63, a closed loop having a constant amplitude may be formed to keep the horizontal vibration constant. The configuration of the second controller 68 may be the same as that of the first controller 63.

【0045】本実施例は、このような制御系を有する楕
円振動装置61であるが、本実施例でも、上記第1実施
例と同様な効果を奏することができる。すなわち、第2
機械振動系71の変位を所定のゲインで増幅した後、こ
れを第2コントローラ68の出力に負帰還するので、疑
似ばね定数が大きくなり、共振周波数が高くなるため、
第2機械振動系71の固有周波数付近での伝達率が小さ
くなる。従って、第2機械振動系71の固有周波数付近
での外乱、例えば第1振動駆動源による水平方向を加振
力のよる反力などの外乱の影響を従来よりも少なくする
ことができる。従って、所望の制御を、従来よりも確実
に行うことができる。
The present embodiment is an elliptical vibration device 61 having such a control system, but the present embodiment can also provide the same effects as those of the first embodiment. That is, the second
After amplifying the displacement of the mechanical vibration system 71 with a predetermined gain, this is negatively fed back to the output of the second controller 68, so that the pseudo-spring constant increases and the resonance frequency increases.
The transmission rate near the natural frequency of the second mechanical vibration system 71 is reduced. Therefore, the influence of the disturbance near the natural frequency of the second mechanical vibration system 71, for example, the influence of the disturbance such as the reaction force due to the exciting force in the horizontal direction by the first vibration drive source can be reduced as compared with the related art. Therefore, desired control can be performed more reliably than before.

【0046】以上、本発明の各実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is, of course, not limited to these, and various modifications can be made based on the technical concept of the present invention.

【0047】例えば、以上の実施例では第1振動駆動源
41及び第2振動駆動源36は、90度の位相遅れを有
する電磁石を用いたが、上記第3実施例で示したような
圧電型や動電型のように、位相遅れのないものを用いて
もよい。この場合には、当然、閉ループ中に位相遅れを
補償する位相調節器は不要である。また、楕円振動を行
う楕円振動機の水平方向の出力変位X及び垂直方向の出
力変位Yを制御する方法としては、他の構造でもよく、
例えば、水平方向の出力変位Xを水平方向を制御する第
1コントローラや垂直方向を制御する第2コントローラ
に供給せずに、各振幅を制御するような、すなわち水平
方向及び垂直方向を開ループで制御するような楕円振動
装置でも、本発明は、適用可能である。
For example, in the above embodiment, the first vibration drive source 41 and the second vibration drive source 36 use electromagnets having a phase delay of 90 degrees, but the piezoelectric type shown in the third embodiment is used. A device having no phase delay, such as an electrodynamic type, may be used. In this case, of course, there is no need for a phase adjuster to compensate for phase lag during the closed loop. Further, as a method of controlling the horizontal output displacement X and the vertical output displacement Y of the elliptical vibrator that performs the elliptical vibration, another structure may be used.
For example, each amplitude is controlled without supplying the horizontal output displacement X to the first controller for controlling the horizontal direction or the second controller for controlling the vertical direction. The present invention is applicable to an elliptical vibration device that performs control.

【0048】また、上記第2実施例及び第3実施例で
は、垂直方向の第2機械振動系37、71の検出された
変位は、第2コントローラ34、68の出力に負帰還さ
せて、疑似ばね定数を大きくし、共振周波数が高くなる
ようにしたが、上記第1実施例で述べたように正帰還さ
せて、共振周波数を低くし、固有周波数付近の外乱を低
減させるようにしてもよい。要は、ばね定数を変えて、
固有周波数と共振周波数とを遠ざけて、外乱の伝達率を
小さくしている。ただし、この場合には、上記実施例で
は、第2機械振動系37、71の力と変位の位相差は0
度と設定されているので、位相調節を行う必要がある。
又は、上記実施例では、第2機械振動系37、71の固
有周波数を、駆動周波数より数パーセント低くし、力と
変位の位相差をー180度と設定しておけば、垂直方向
の第2機械振動系37、71の検出された変位を第2コ
ントローラ34、68の出力に正帰還させて、疑似ばね
定数を小さくしても、第2機械振動系37、71の位相
差は変わらない。この場合には、位相調節を行う必要は
ない。
In the above-described second and third embodiments, the detected displacement of the second mechanical vibration systems 37 and 71 in the vertical direction is negatively fed back to the outputs of the second controllers 34 and 68 to generate a pseudo signal. Although the spring constant is increased to increase the resonance frequency, positive feedback may be performed to reduce the resonance frequency and reduce disturbance near the natural frequency as described in the first embodiment. . In short, change the spring constant,
The natural frequency and the resonance frequency are kept away from each other to reduce the transmission rate of disturbance. However, in this case, in the above embodiment, the phase difference between the force and the displacement of the second mechanical vibration systems 37 and 71 is 0.
Because the degree is set, it is necessary to adjust the phase.
Alternatively, in the above embodiment, if the natural frequency of the second mechanical vibration systems 37 and 71 is set to be several percent lower than the drive frequency and the phase difference between the force and the displacement is set to -180 degrees, the second vertical Even if the detected displacement of the mechanical vibration systems 37 and 71 is positively fed back to the outputs of the second controllers 34 and 68 to reduce the pseudo spring constant, the phase difference between the second mechanical vibration systems 37 and 71 does not change. In this case, there is no need to adjust the phase.

【0049】更に、上記実施例では、垂直方向の第2機
械振動系37、71の検出された変位は、第2コントロ
ーラ34、68の出力に負帰還させるようにしたが、第
2機械振動系37、71に与える指令信号の大きさが決
まった後で、第2機械振動系37、71に加振力を与え
る第2振動駆動源70の直前であれば、すなわち、第2
コントローラ34、68と第2機械振動系37、71の
間に、正帰還又は負帰還させるようにすればよい。従っ
て、例えば、第2コントローラ34、68の出力に正帰
還又は負帰還させるのではなく、第2電力増幅器35、
69の出力に正帰還又は負帰還させてもよい。
Furthermore, in the above embodiment, the detected displacement of the second mechanical vibration system 37, 71 in the vertical direction is negatively fed back to the output of the second controller 34, 68. After the magnitude of the command signal to be given to the first and second vibration driving sources 37 and 71 is determined, and immediately before the second vibration drive source 70 that applies the exciting force to the second mechanical vibration systems 37 and 71,
Positive feedback or negative feedback may be provided between the controllers 34, 68 and the second mechanical vibration systems 37, 71. Therefore, for example, instead of making the output of the second controller 34, 68 have a positive or negative feedback, the second power amplifier 35,
Positive feedback or negative feedback may be applied to the output of 69.

【0050】また、上記実施例では、垂直方向の第2機
械振動系37、71の振動変位Yを、垂直方向を制御す
る第2コントローラ34、68の出力に正帰還又は負帰
還させて、閉ループを形成し、第2機械振動系37の疑
似ばね定数を変えて、共振周波数を固有周波数から遠ざ
けて、垂直方向の伝達率を小さくした。しかしながら、
第1機械振動系32、66の固有周波数付近の周波数を
有する外乱が第1機械振動系32、66に大きく作用す
る場合には、水平方向の第1機械振動系32、66の振
動変位Yを、水平方向を制御する第1コントローラ3
9、63の出力に帰還させて、閉ループを形成し、第1
機械振動系37の疑似ばね定数を変えて、水平方向の伝
達率を小さくしてもよい。また、第1機械振動系32、
66の固有周波数付近の周波数を有する外乱が第1機械
振動系32、66に大きく作用し、かつ第2機械振動系
37、71の固有周波数付近の周波数を有する外乱が第
2機械振動系37、71に大きく作用する場合には、そ
れぞれの変位をフィードバックして、水平方向の伝達率
及び垂直方向の伝達率を小さくして、両方の振動系にお
いて、外乱の影響を抑えるようにしてもよい。
In the above-described embodiment, the vibration displacement Y of the second mechanical vibration system 37, 71 in the vertical direction is positively or negatively fed back to the output of the second controller 34, 68 for controlling the vertical direction, thereby providing a closed loop. The resonance frequency is kept away from the natural frequency by changing the pseudo-spring constant of the second mechanical vibration system 37, and the transmission rate in the vertical direction is reduced. However,
When a disturbance having a frequency near the natural frequency of the first mechanical vibration systems 32, 66 greatly affects the first mechanical vibration systems 32, 66, the vibration displacement Y of the first mechanical vibration systems 32, 66 in the horizontal direction is determined. , First controller 3 for controlling the horizontal direction
9 and 63 to form a closed loop.
The transmission rate in the horizontal direction may be reduced by changing the pseudo-spring constant of the mechanical vibration system 37. Also, the first mechanical vibration system 32,
A disturbance having a frequency near the natural frequency of 66 greatly affects the first mechanical vibration systems 32 and 66, and a disturbance having a frequency near the natural frequency of the second mechanical vibration systems 37 and 71 generates a second mechanical vibration system 37. In the case of acting largely on 71, the respective displacements may be fed back to reduce the horizontal transmissivity and the vertical transmissivity so as to suppress the influence of disturbance in both vibration systems.

【0051】なお、以上の実施例では、水平方向と垂直
方向との位相差角度が60度で最適としたが、楕円振動
の搬送理論によれば、長軸の振巾に応じて若干これが変
更されるので、60度でなくともよく、例えば45度乃
至75度の範囲で可変とするように位相差α、βを変え
るようにしてもよい。
In the above embodiment, the phase difference angle between the horizontal direction and the vertical direction is optimized at 60 degrees. However, according to the transport theory of the elliptical vibration, this is slightly changed according to the amplitude of the long axis. Therefore, the phase differences α and β may be changed so as to be variable, for example, in a range of 45 degrees to 75 degrees.

【0052】[0052]

【発明の効果】以上、述べたように本発明の楕円振動装
置によれば、例えば、第1振動系を加振する際の第1振
動駆動源から第2振動系が受ける反力又は第2振動系を
加振する際の第2振動駆動源から第1振動系が受ける反
力など、第1振動系及び/又は第2振動系の固有周波数
付近の周波数を有する外乱が、第1振動系及び/又は第
2振動系に作用しても、その外乱の影響を抑えることが
できるので、所望の制御を、従来よりも確実に行うこと
が可能である。
As described above, according to the elliptical vibration device of the present invention, for example, the reaction force or the second force applied to the second vibration system from the first vibration drive source when the first vibration system is vibrated. When a disturbance having a frequency near the natural frequency of the first vibration system and / or the second vibration system, such as a reaction force received by the first vibration system from the second vibration drive source when exciting the vibration system, the first vibration system Even if it acts on the second vibration system, the influence of the disturbance can be suppressed, so that the desired control can be performed more reliably than before.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例による楕円振動装置のブロ
ック図である。
FIG. 1 is a block diagram of an elliptical vibration device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同装置の詳細を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing details of the device.

【図3】本発明の第1実施例による駆動周波数と伝達率
との関係を示す図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a relationship between a driving frequency and a transmission rate according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2実施例による楕円振動装置のブロ
ック図である。
FIG. 4 is a block diagram of an elliptical vibration device according to a second embodiment of the present invention.

【図5】同装置の詳細を示すブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing details of the device.

【図6】本発明の第3実施例による楕円振動装置のブロ
ック図である。
FIG. 6 is a block diagram of an elliptical vibration device according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施の形態における主要部の構成を示
す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a main part in the embodiment of the present invention.

【図8】同装置の詳細を示すブロック図である。FIG. 8 is a block diagram showing details of the device.

【図9】本発明の実施の形態における主要の周波数と伝
達率との関係を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a relationship between a main frequency and a transmissibility in the embodiment of the present invention.

【図10】本発明の実施の形態における、振動駆動源が
位相遅れを有する主要部の構成を示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a configuration of a main part in which a vibration driving source has a phase delay in the embodiment of the present invention.

【図11】本発明の従来例における楕円振動パーツフィ
ーダの部分断面図である。
FIG. 11 is a partial sectional view of an elliptical vibration parts feeder according to a conventional example of the present invention.

【図12】図11における[12]ー[12]線方向の
平面図である。
FIG. 12 is a plan view taken along the line [12]-[12] in FIG. 11;

【図13】図11の楕円振動パーツフィーダの底面図で
ある。
FIG. 13 is a bottom view of the elliptical vibration parts feeder of FIG. 11;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 機械振動系 22 振動変位検出手段 23 振動駆動源 24 位相調節器 26 楕円振動装置 27 位相調節器 31 楕円振動装置 32 第1機械振動系 33 水平振動変位検出器 34 第2コントローラ 35 第2電力増幅器 36 第2振動駆動源 37 第2機械振動系 38 垂直振動変位検出器 39 第1コントローラ 40 第1電力増幅器 41 第1振動駆動源 61 楕円振動装置 63 第1コントローラ 64 第1電力増幅器 65 第1振動駆動源 66 第1機械振動系 67 振動変位検出器 68 第2コントローラ 69 第2電力増幅器 70 第2振動駆動源 71 第2機械振動系 72 垂直振動変位検出器 A 変位 D 外乱 D1 外乱 D2 外乱 f1 第1機械振動系の固有周波数 f2 第2機械振動系の固有周波数 f2 ’ 第2機械振動系の共振周波数 f2 ” 第2機械振動系の共振周波数 fn 固有周波数 fn ’ (疑似ばね定数を大きくしたときの)共振周波
数 fn ” (疑似ばね定数を小さくしたときの)共振周波
数 I 振動駆動源のゲイン Kk フィードバックゲイン k ばね定数 k” ばね定数 kf ばね定数 r 指令信号 r1 指令信号 r2 指令信号 t0 伝達率 t1 伝達率 t2 伝達率 X (水平方向の)変位 Y (垂直方向の)変位
DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 Mechanical vibration system 22 Vibration displacement detection means 23 Vibration drive source 24 Phase adjuster 26 Elliptical vibration device 27 Phase adjuster 31 Elliptical vibration device 32 1st mechanical vibration system 33 Horizontal vibration displacement detector 34 2nd controller 35 2nd power amplifier 36 second vibration drive source 37 second mechanical vibration system 38 vertical vibration displacement detector 39 first controller 40 first power amplifier 41 first vibration drive source 61 elliptical vibration device 63 first controller 64 first power amplifier 65 first vibration Driving source 66 First mechanical vibration system 67 Vibration displacement detector 68 Second controller 69 Second power amplifier 70 Second vibration driving source 71 Second mechanical vibration system 72 Vertical vibration displacement detector A Displacement D disturbance D 1 disturbance D 2 disturbance f 1 natural frequency of the first mechanical vibration system f 2 natural frequency of the second mechanical vibration system f 2 ′ resonance frequency f of the second mechanical vibration system f 2 "resonance frequency f n the natural frequency f n '(when you increase the pseudo spring constant) resonant frequency f n of the second mechanical vibration system" (when the reduced pseudo spring constant) gain of the resonance frequency I oscillation drive source K k feedback gain k spring constant k ″ spring constant k f spring constant r command signal r 1 command signal r 2 command signal t 0 transmission rate t 1 transmission rate t 2 transmission rate X (horizontal) displacement Y (vertical direction) ) Displacement

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも、水平方向に加振する第1加
振力によって前記水平方向に振動し、かつ垂直方向に加
振する第2加振力により、前記水平方向の振動と所定の
位相差を有して、前記垂直方向に振動することにより楕
円振動を行う可動部を有する楕円振動機と、 少なくとも増幅部を有する第1コントローラと、該第1
コントローラの出力を電力増幅する第1電力増幅器と、
該第1電力増幅器の出力を受け前記第1加振力を発生さ
せる第1振動駆動源と、該第1振動駆動源の前記第1加
振力を受けて前記水平方向に振動する前記楕円振動機の
第1振動系と、 少なくとも増幅部を有する第2コントローラと、該第2
コントローラの出力を電力増幅する第2電力増幅器と、
該第2電力増幅器の出力を受け前記第2加振力を発生さ
せる第2振動駆動源と、該第2振動駆動源の前記第2加
振力を受けて前記垂直方向に振動する前記楕円振動機の
第2振動系とを有した楕円振動装置において、 前記可動部の前記水平方向の振動変位を検出する第1振
動変位検出手段を設け、該第1振動変位検出手段によっ
て検出された前記水平方向の振動変位を、第1の所定ゲ
インで増幅し、これを前記第1コントローラと前記第1
振動駆動源との間に帰還させて、第1の閉ループを形成
することにより、前記第1振動系に、該第1振動系の固
有周波数付近の周波数を有する外乱が作用するときに
は、前記第1振動系の疑似ばね定数を変え、前記第1振
動系の伝達率を小さくする及び/又は前記可動部の前記
垂直方向の振動変位を検出する第2振動変位検出手段を
設け、該第2振動変位検出手段によって検出された前記
垂直方向の振動変位を、第2の所定ゲインで増幅し、こ
れを前記第2コントローラと前記第2振動駆動源との間
に帰還させて、第2の閉ループを形成することにより、
前記第2振動系に、該第2振動系の固有周波数付近の周
波数を有する外乱が作用するときには、前記第2振動系
の疑似ばね定数を変えて、前記第2振動系の伝達率を小
さくすることを特徴とする楕円振動装置。
1. At least a predetermined phase difference between the horizontal vibration and a horizontal vibration by a first vibration force vibrating in the horizontal direction and a second vibration force vibrating in the vertical direction. An elliptical vibrator having a movable part that performs elliptical vibration by vibrating in the vertical direction; a first controller having at least an amplifying part;
A first power amplifier for power amplifying the output of the controller;
A first vibration drive source that receives the output of the first power amplifier and generates the first vibration force, and the elliptical vibration that vibrates in the horizontal direction by receiving the first vibration force of the first vibration drive source A first vibration system of the machine, a second controller having at least an amplification unit,
A second power amplifier for power amplifying the output of the controller;
A second vibration drive source that receives the output of the second power amplifier and generates the second excitation force, and the elliptical vibration that vibrates in the vertical direction by receiving the second excitation force of the second vibration drive source An elliptical vibration device having a second vibration system of the machine, comprising: a first vibration displacement detection means for detecting the horizontal vibration displacement of the movable portion; and the horizontal vibration detected by the first vibration displacement detection means. The vibration displacement in the direction is amplified by a first predetermined gain, and this is amplified by the first controller and the first controller.
When a disturbance having a frequency near the natural frequency of the first vibration system acts on the first vibration system by forming a first closed loop by feeding back the vibration to the vibration drive source, the first closed loop is formed. A second vibration displacement detecting means for changing a pseudo-spring constant of the vibration system to reduce a transmission rate of the first vibration system and / or detecting the vertical vibration displacement of the movable portion; The vertical vibration displacement detected by the detecting means is amplified by a second predetermined gain, and the amplified vibration displacement is fed back between the second controller and the second vibration drive source to form a second closed loop. By doing
When a disturbance having a frequency near the natural frequency of the second vibration system acts on the second vibration system, the pseudo-spring constant of the second vibration system is changed to reduce the transmissibility of the second vibration system. An elliptical vibration device characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 前記第1振動駆動源が位相遅れを有して
おり、該位相遅れを補償する位相調節器が、前記第1の
閉ループの途中に設けられている及び/又は前記第2振
動駆動源が位相遅れを有しており、該位相遅れを補償す
る位相調節器が、前記第2の閉ループの途中に設けられ
ている請求項1乃至請求項5の何れかに記載の楕円振動
装置。
2. The first vibration drive source has a phase delay, and a phase adjuster for compensating the phase delay is provided in the first closed loop and / or the second vibration drive source has a phase delay. 6. The elliptical vibration device according to claim 1, wherein the drive source has a phase delay, and a phase adjuster for compensating the phase delay is provided in the middle of the second closed loop. .
【請求項3】 前記第1振動系が共振振動をしており、
前記第2振動系の前記伝達率を小さくした請求項1又は
請求項2に記載の楕円振動装置。
3. The method according to claim 2, wherein the first vibration system is in resonance vibration.
The elliptical vibration device according to claim 1, wherein the transmissivity of the second vibration system is reduced.
【請求項4】 少なくとも前記第1振動系が自励振動を
している請求項1乃至請求項3の何れかに記載の楕円振
動装置。
4. The elliptical vibration device according to claim 1, wherein at least the first vibration system performs self-excited vibration.
【請求項5】 前記疑似ばね定数を変化させても、前記
第1の振動系及び/又は前記第2の振動系に、位相遅れ
が生じないように、前記第1の振動系及び/又は前記第
2の振動系が設定されている請求項1乃至請求項4の何
れかに記載の楕円振動装置。
5. The first vibration system and / or the first vibration system and / or the second vibration system so that a phase delay does not occur even when the pseudo spring constant is changed. 5. The elliptical vibration device according to claim 1, wherein a second vibration system is set.
【請求項6】 前記疑似ばね定数を変化させたことによ
り、前記第1の振動系及び/又は前記第2の振動系に、
位相遅れが生じた場合には、該位相遅れを補償するよう
にした請求項1乃至請求項4の何れかに記載の楕円振動
装置。
6. By changing the pseudo-spring constant, the first vibration system and / or the second vibration system
5. The elliptical vibration device according to claim 1, wherein when a phase delay occurs, the phase delay is compensated.
【請求項7】 作用する前記外乱の周波数における伝達
率が常に1以上の範囲にある請求項1乃至請求項6の何
れかに記載の楕円振動装置。
7. The elliptical vibration device according to claim 1, wherein the transmissivity at the frequency of the disturbance acting is always in a range of 1 or more.
【請求項8】 前記所定の位相差が60度となるような
位相差に設定されている請求項1乃至請求項7の何れか
に記載の楕円振動装置。
8. The elliptical vibration device according to claim 1, wherein the predetermined phase difference is set to a phase difference of 60 degrees.
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