JPH11119109A - Transmission microscope and stereoscopic observation device attachable to and detachable from the same - Google Patents

Transmission microscope and stereoscopic observation device attachable to and detachable from the same

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JPH11119109A
JPH11119109A JP9293168A JP29316897A JPH11119109A JP H11119109 A JPH11119109 A JP H11119109A JP 9293168 A JP9293168 A JP 9293168A JP 29316897 A JP29316897 A JP 29316897A JP H11119109 A JPH11119109 A JP H11119109A
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JP
Japan
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light
sample
condenser lens
microscope
illumination
Prior art date
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JP9293168A
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Japanese (ja)
Inventor
Kei Horie
圭 堀江
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transmission microscope capable of stereostatic observa tion. SOLUTION: This transmission microscope comprises a stage 410 for mounting a sample 409, an illumination system irradiating the sample 409 with illuminating light through a condenser lens 406, an observation optical system for forming the image of a light beam transmitted through the sample among the illuminating light beams and two partial areas 405a, 405b, arranged on the pupil plane of the condenser lens 406 in the optical path of the illumination system and being eccentric to the optical axis (m) of the condenser lens 406, and provided with a dividing means 405 transmitting the light from the sample 409 through the two partial areas and dividing it into two light beams, a deflecting means 404 arranged in the optical path of the illumination system, deflecting two light beams transmitted through the dividing means and taking them out of the optical path of the illumination system and binocular eyepiece parts 417, 418 for stereostatic observation of the sample 409 on which two deflected light beams are made incident and form their images, respectively.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、透過型顕微鏡に関
し、特に実体観察機能を備えた透過型顕微鏡、及び透過
型顕微鏡に着脱可能な実体観察装置に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transmission microscope, and more particularly, to a transmission microscope having a stereoscopic observation function and a stereoscopic observation apparatus detachable from the transmission microscope.

【0002】[0002]

【従来の技術】微小な物体に対して様々な操作を加えた
いとき、しばしば顕徴鏡を用いて拡大観察をしながら作
業が行われる。例えば、生物学の実験では、生きた細胞
に非常に細い微小電極を挿入したり、必要によっては超
小型カッターを用いて細胞組織を切断することがある。
このような動きが微量な操作を手で行うことは不可能で
あるために、マニピュレータあるいはマイクロアクチュ
エータと呼ばれる装置が広く用いられている。この装置
を用いれば、電極やカッターを微小量ずつ動かすことが
できる。
2. Description of the Related Art When it is desired to perform various operations on a minute object, the operation is often performed while performing a magnified observation using a microscope. For example, in biological experiments, very thin microelectrodes may be inserted into living cells, or, if necessary, microstructured cutters may be used to cut tissue.
Since it is impossible for such a movement to perform a small amount of operation by hand, a device called a manipulator or a microactuator is widely used. If this device is used, the electrodes and the cutter can be moved by minute amounts.

【0003】ところが、実際には、マニピュレータある
いはマイクロアクチュエータの先端を顕微鏡の視野内に
導くことは容易ではない。マニピュレータが顕微鏡の焦
点位置から大きく外れている場合、その像がはっきりと
見えないために、視野内にあるか否かの判断がつきにく
い。また、うまく導くことが出来ても、通常の顕微鏡で
は遠近感がつかめないために、細胞の操作を加えたい箇
所にマニピュレータの先端を接触させることが非常に困
難である。このような理由のため、マニピュレータの操
作は実験者にとって非常に神経を便う作業であり、十分
熟練した実験者でなければ効率よく作業を行うことはで
きない。
In practice, however, it is not easy to guide the tip of the manipulator or microactuator into the field of view of the microscope. When the manipulator is far away from the focal position of the microscope, it is difficult to determine whether or not the manipulator is within the field of view because the image is not clearly seen. In addition, even if it can be guided well, it is very difficult to bring the tip of the manipulator into contact with a part where cell manipulation is to be performed because a normal microscope cannot grasp the perspective. For such a reason, manipulator operation is a very nervous operation for an experimenter, and only a sufficiently skilled experimenter can perform the operation efficiently.

【0004】そこで、この作業をより簡単に行えるよう
に、実験用の顕微鏡とは別に低倍の実体顕微鏡を顕微鏡
の側に設置し、これによりマニピュレータの動きを観察
することが考え出された。図12によりこの方法を説明
する。図12は、倒立顕微鏡で試料を観察している様子
を示している。倒立顕徴鏡のステージ107上に試料1
06が載せられており、その上部に通常の顕微鏡用照明
光学系を構成する、照明用光源101、コレクタレンズ
102、ミラー103、及びコンデンサレンズ104が
配置されている。ステージ107の下方に倒立顕微鏡の
観察用の対物レンズ109が配置されている。
In order to make this operation easier, it has been proposed to install a low-magnification stereo microscope beside the experimental microscope on the side of the microscope to observe the movement of the manipulator. This method will be described with reference to FIG. FIG. 12 shows a state where the sample is observed with an inverted microscope. Sample 1 on stage 107 of inverted microscope
06, on which an illumination light source 101, a collector lens 102, a mirror 103, and a condenser lens 104, which constitute a normal microscope illumination optical system, are arranged. An objective lens 109 for observation of an inverted microscope is arranged below the stage 107.

【0005】いま、試料中の細胞に操作を加えるために
試料106にマニピュレータの先端105を近づけてお
り、コンデンサレンズ104の側方から小型実体顕微鏡
110により先端105の拡大観察を行っている。この
方法によれば立体視が可能になるため、マニピュレータ
の先端105と試料106との位置関係が把握しやすく
なる。
Now, in order to manipulate the cells in the sample, the tip 105 of the manipulator is brought close to the sample 106, and the tip 105 is observed under magnification from the side of the condenser lens 104 by a small stereo microscope 110. According to this method, stereoscopic vision becomes possible, so that the positional relationship between the tip 105 of the manipulator and the sample 106 can be easily grasped.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では、実験用顕微鏡と同じ観察部位が視
野に入るように実体顕微鏡の位置を調節しなければなら
ず、実体顕微鏡のセッティングに大変な労力を要する。
また、顕微鏡対物レンズの作動距離の制限から、実体顕
微鏡はマニピュレータを斜め上面から覗き込む位置に配
置せざるを得ないため、非常に覗きづらくマニビュレー
夕の操作も行いづらい。また、実体顕微鏡を顕微鏡の側
に設置して観察する場合に、無理な体勢での観察を強い
られ覗きにくい。更に、実体顕微鏡は顕微鏡ステージの
側に設置されることが多いが、マニピュレータもステー
ジの側に設置しなければならないため、狭いスペース上
に多くの機器が並び大変煩わしい。
However, in such a conventional method, the position of the stereomicroscope must be adjusted so that the same observation site as that of the experimental microscope is in the field of view. Requires great effort.
In addition, since the working distance of the microscope objective lens is limited, the stereoscopic microscope has to be disposed at a position where the manipulator can be seen from an oblique upper surface, so that it is very difficult to see the manipulator and it is difficult to operate the manipulator. Further, when a stereoscopic microscope is installed on the side of the microscope for observation, it is difficult to observe because the observation is made in an unreasonable posture. Further, a stereomicroscope is often installed on the side of a microscope stage, but the manipulator must also be installed on the stage side, so that many devices are arranged in a narrow space, which is very troublesome.

【0007】本発明の目的は、実体観察のできる透過型
顕微鏡及び透過型顕微鏡に着脱可能な実体観察装置を提
供することである。
It is an object of the present invention to provide a transmission microscope capable of observing the body and a body observation apparatus detachable from the transmission microscope.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明は、試料を載せるステージと、コンデンサレ
ンズを介して試料に照明光を照射する照明系と、前記照
明光のうち試料を透過した光を結像する観察光学系とを
有する透過型顕微鏡において、前記照明系の光路中の前
記コンデンサレンズの瞳面に配置され、前記コンデンサ
レンズの光軸に対して偏心した2つの部分領域を有し、
前記試料からの光を前記2つの部分領域で透過させて2
つの光束に分割する分割手段と、前記照明系の光路中に
配置され、前記分割手段を透過した2つの光束を偏向
し、前記照明系の光路から外す偏向手段と、前記偏向手
段によって偏向された2つの光束を入射してそれぞれ結
像する、前記試料を実体観察するための双眼接眼部とを
具備することを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a stage on which a sample is mounted, an illumination system for irradiating the sample with illumination light via a condenser lens, and a sample among the illumination light. In a transmission microscope having an observation optical system that forms an image of transmitted light, two partial regions disposed on a pupil plane of the condenser lens in an optical path of the illumination system and decentered with respect to an optical axis of the condenser lens. Has,
The light from the sample is transmitted through the two partial
Splitting means for splitting the light into two light fluxes, deflecting means arranged in the optical path of the illumination system, deflecting the two light fluxes transmitted through the splitting means, and removing the two light fluxes from the optical path of the illumination system; A binocular eyepiece for observing the sample in real form, wherein the binocular eyepieces receive two light beams and form images respectively.

【0009】本発明によれば、透過型顕微鏡に備えられ
た照明系のコンデンサレンズを試料の実体観察のための
対物レンズとして用い、ステージ上の試料からの反射光
をコンデンサレンズにより収集し、この光を分割手段に
より2つの光束に分割させて、双眼接眼部に入射させる
ことにより、試料を実体観察することができる。従っ
て、透過型顕微鏡自体に実体観察機能を備えさせること
ができるから、別個に実体顕微鏡を設置する必要はなく
なる。このため、観察姿勢に無理が生じることがなく、
自然な姿勢で実体観察をすることができる。また、透過
型顕微鏡と同じ光軸方向から試料を実体観察することが
できるため、透過型顕微鏡の観察と実体観察とを同じ方
向から行うことができ、例えば試料をマニピュレータの
先端により操作する場合、両者間の位置関係を把握し易
く、好ましい。
According to the present invention, the condenser lens of the illumination system provided in the transmission microscope is used as an objective lens for observing the sample in its actual state, and the reflected light from the sample on the stage is collected by the condenser lens. By splitting the light into two light beams by the splitting means and entering the binocular eyepiece, the sample can be observed in substance. Therefore, since the transmission microscope can be provided with the stereoscopic observation function, it is not necessary to separately install the stereoscopic microscope. For this reason, the observation posture does not cause excessive force,
You can observe the body in a natural posture. In addition, since the specimen can be observed in the same optical axis direction as the transmission microscope, the observation of the transmission microscope and the observation of the substance can be performed from the same direction.For example, when the sample is operated with the tip of the manipulator, This is preferable because it is easy to grasp the positional relationship between the two.

【0010】また、前記2つの部分領域は、偏光方向が
互いにほぼ直交する第1の偏光部材及び第2の偏光部材
から構成することができる。
[0010] The two partial regions may be composed of a first polarizing member and a second polarizing member whose polarization directions are substantially orthogonal to each other.

【0011】また、前記分割手段は、前記光軸に対称な
一対の開口部を備える絞り部材から構成することができ
る。
Further, the dividing means may be constituted by a diaphragm member having a pair of openings symmetrical to the optical axis.

【0012】また、前記双眼接眼部に前記各偏光方向に
応じた検光子をそれぞれ配置することができる。これに
より、分割手段を出射した2つの光束間にクロストーク
が生じても、実体観察機能に問題は生じない。
Further, analyzers corresponding to the respective polarization directions can be arranged in the binocular eyepiece. Thereby, even if crosstalk occurs between the two light beams emitted from the dividing means, no problem occurs in the entity observation function.

【0013】また、互いに異なる光透過波長域特性を有
する一対のフィルタ手段を前記一対の開口部の近傍にそ
れぞれ配置するとともに、前記一対のフィルタ手段と同
一の各光透過波長域特性を有する別の一対のフィルタ手
段を前記双眼接眼部にそれぞれ配置することができる。
これにより、絞り部材を出射した2つの光束間にクロス
トークが生じても、実体観察機能に問題は生じない。
A pair of filter means having different light transmission wavelength band characteristics are arranged near the pair of openings, respectively, and another filter means having the same light transmission wavelength band characteristics as the pair of filter means is provided. A pair of filter means can be arranged in each of the binocular eyepieces.
Thus, even if crosstalk occurs between two light beams emitted from the aperture member, no problem occurs in the entity observation function.

【0014】また、前記コンデンサレンズの光軸に対し
て傾斜した方向から前記ステージに向けて照明する光源
を前記照明光学系の光源と別に備えることができる。
Further, a light source for illuminating the stage from a direction inclined with respect to the optical axis of the condenser lens can be provided separately from the light source of the illumination optical system.

【0015】また、実体観察時に前記照明光学系の光源
から前記ステージを照明するように構成し、前記分割手
段が前記コンデンサレンズと前記第1及び第2の偏光部
材との間に配置された偏光解消部材を備えることができ
る。試料または試料を操作するマニピュレータの先端部
等において完全に鏡面反射したときにその反射光が試料
を照明した光の偏光状態と同じであるために、偏光部材
を再び通過することができないが、本発明のように、偏
光解消部材を配置することにより、反射光の偏光状態を
変えて偏光部材を再び透過させることができる。
In addition, the stage is illuminated from the light source of the illumination optical system during the observation of the entity, and the splitting means is a polarized light disposed between the condenser lens and the first and second polarizing members. A cancellation member can be provided. When the sample or the tip of the manipulator for manipulating the sample is completely specularly reflected, the reflected light is the same as the polarization state of the light illuminating the sample, and therefore cannot pass through the polarizing member again. By arranging the depolarizing member as in the invention, it is possible to change the polarization state of the reflected light and transmit the reflected light again.

【0016】また、前記偏向手段は、前記照明光を透過
するとともに、実体観察時に前記照明光を前記試料に照
射することができる。これにより、実体観察時に外部光
源を用いずに試料に照明することができる。
The deflecting means can transmit the illumination light and irradiate the sample with the illumination light at the time of actual observation. This allows the sample to be illuminated without using an external light source during the entity observation.

【0017】また、前記分割手段、前記偏向手段及び前
記双眼接眼部を一体的に保持する保持部材を有し、該保
持部材を前記顕微鏡に対して着脱可能に構成することが
できる。
In addition, a holding member for integrally holding the dividing means, the deflecting means and the binocular eyepiece can be provided, and the holding member can be configured to be detachable from the microscope.

【0018】また、前記分割手段を前記コンデンサレン
ズの光軸上に移行させ、退避させるように切り替えるよ
うに構成できる。
Further, it is possible to arrange so that the dividing means is shifted on the optical axis of the condenser lens and switched so as to be retracted.

【0019】また、本発明は、透過型顕微鏡に付加され
て、上述のような実体観察機能を果たす実体観察装置で
ある。即ち、試料を載せるステージと、試料に対して照
明光をコンデンサレンズを介して照射する照明系と、前
記照明光のうち試料を透過した光を結像する観察光学系
とを有する透過型顕微鏡に着脱可能に構成され、試料の
実体観察を行う実体観察装置であって、該実体観察装置
が前記顕微鏡に装着されたとき、前記照明系の光路中の
前記コンデンサレンズの瞳面に配置され、前記コンデン
サレンズの光軸に対して偏心した2つの部分領域を有
し、前記試料からの光を前記2つの部分領域で透過させ
て2つの光束に分割する分割手段と、該実体観察装置が
前記顕微鏡に装着されたとき、前記照明系の光路中に配
置され、前記分割手段を透過した2つの光束を偏向し、
前記照明系の光路から外す偏向手段と、前記偏向手段に
よって偏向された2つの光束を入射してそれぞれ結像す
る、前記試料を実体観察するための双眼接眼部とを有す
ることを特徴とする。
Further, the present invention is an entity observation apparatus which is added to a transmission microscope and performs the entity observation function as described above. That is, a transmission type microscope having a stage on which a sample is mounted, an illumination system for irradiating illumination light to the sample via a condenser lens, and an observation optical system for forming an image of the illumination light transmitted through the sample. A stereoscopic observation device configured to be detachable and performing stereoscopic observation of a sample, wherein the stereoscopic observation device is disposed on a pupil plane of the condenser lens in an optical path of the illumination system when the stereoscopic observation device is mounted on the microscope. Splitting means having two partial areas decentered with respect to the optical axis of the condenser lens, transmitting light from the sample through the two partial areas and splitting the light into two light beams; When mounted on, is arranged in the optical path of the illumination system, deflects the two light fluxes transmitted through the dividing means,
A deflecting unit for deviating from the optical path of the illumination system; and a binocular eyepiece for observing the sample in real form, wherein the two light beams deflected by the deflecting unit enter and form an image, respectively. .

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明による第1〜第7の
実施の形態について図1〜図11を用いて説明する。 〈第1の実施の形態〉図1及び図2に第1の実施の形態
を示す。図1は、本実施の形態における透過型顕微鏡に
付加される実体顕微鏡の原理を示すものである。透過型
顕微鏡のステージ212上の試料211近くにマニピュ
レータの先端209が配置されており、この先端209
等を光源210が照明している。透過型顕微鏡の照明光
学系のコンデンサレンズ208がステージ212の上方
に配置されている。このコンデンサレンズ208は、透
過型顕微鏡の使用時にこの透過型顕微鏡に備えた照明光
学系の光源(図示省略)からの光をステージ上の試料等
に収束し照明するために配置されているものであるが、
図1では実体観察時における対物レンズの機能を果たし
ている。また、図1では、実体観察時に試料211やマ
ニピュレータの先端209等は、透過型顕微鏡に備えた
照明光学系の光源(図示省略)から照明するのではな
く、ステージ212の斜め上方に別個に設けた光源21
0からコンデンサレンズ208の光軸mに対して傾斜し
た方向に照明している。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, first to seventh embodiments according to the present invention will be described with reference to FIGS. <First Embodiment> FIGS. 1 and 2 show a first embodiment. FIG. 1 shows the principle of a stereo microscope added to the transmission microscope in the present embodiment. The tip 209 of the manipulator is arranged near the sample 211 on the stage 212 of the transmission microscope.
Are illuminated by the light source 210. A condenser lens 208 of the illumination optical system of the transmission microscope is arranged above the stage 212. The condenser lens 208 is arranged to converge and illuminate light from a light source (not shown) of an illumination optical system provided in the transmission microscope when the transmission microscope is used. There is
In FIG. 1, the function of the objective lens at the time of entity observation is performed. In FIG. 1, the sample 211 and the tip 209 of the manipulator are not separately illuminated from a light source (not shown) of an illumination optical system provided in the transmission microscope and are separately provided obliquely above the stage 212 during the entity observation. Light source 21
The illumination is performed in a direction inclined from 0 to the optical axis m of the condenser lens 208.

【0021】図1に示すように、コンデンサレンズ20
8の上部には偏光板207が配置されている。図2
(a)にこの偏光板207の平面図を示すが、偏光板2
07は、中心線207cを境にして偏光面が互いに直交
する2枚の半円状の平面形状をした偏光板207a,2
07bが円状に組み合わされて構成されている。図1に
示すように、偏光板207は、その中心線207cの中
心がコンデンサレンズ208の光軸mに一致するように
コンデンサレンズ208の瞳面に配置されている。
As shown in FIG.
A polarizing plate 207 is arranged on the upper part of 8. FIG.
(A) is a plan view of the polarizing plate 207, and the polarizing plate 2
Reference numeral 07 denotes two semicircular polarizing plates 207a and 207a whose polarizing planes are orthogonal to each other with respect to the center line 207c.
07b are combined in a circular shape. As shown in FIG. 1, the polarizing plate 207 is arranged on the pupil plane of the condenser lens 208 such that the center of the center line 207c coincides with the optical axis m of the condenser lens 208.

【0022】偏光板207の上方には、一対の接眼レン
ズ201,202が配置され、双眼接眼部が構成されて
いる。また、接眼レンズ210,202と偏光板207
との間には、偏光板207a,207bのそれぞれの偏
光方向に応じた一対の検光子203、204が配置され
ている。
Above the polarizing plate 207, a pair of eyepieces 201 and 202 are arranged to form a binocular eyepiece. Also, the eyepieces 210 and 202 and the polarizing plate 207
A pair of analyzers 203 and 204 corresponding to the respective polarization directions of the polarizing plates 207a and 207b are arranged between the two.

【0023】図2(a)に示す矢印301と矢印302
は、それぞれ偏光板207の左半分の偏光板207aと
右半分の偏光板207bの各偏光方向を示している。説
明を容易にするため、図2(b)に示すように、偏光板
207を横から見たときの偏光方向301を記号303
で、偏光方向302を記号304で表す。
The arrows 301 and 302 shown in FIG.
Indicates the polarization directions of the left half polarizing plate 207a and the right half polarizing plate 207b of the polarizing plate 207, respectively. For ease of explanation, as shown in FIG. 2B, the polarization direction 301 when the polarizing plate 207 is viewed from the side is denoted by a symbol 303.
, The polarization direction 302 is represented by the symbol 304.

【0024】以上のような実体観察装置を備えた透過型
顕微鏡においてマニピュレータの先端を実体観察をする
場合について説明する。いま、マニピュレータの先端2
09において、光源210の光による反射光が生じてい
る。このとき、コンデンサレンズ208の焦点付近にマ
ニピュレータの先端209を配置する。反射光はコンデ
ンサレンズ208によって収集され、偏光板207に入
射する。偏光板207は左右の偏光板207a,207
bにおいて透過できる偏光方向が異なるので、図1のよ
うに偏光板207の左半分の偏光板207aでは偏光方
向205(303)の光のみ、右半分の偏光板207b
では偏光方向206(304)の光のみが通過すること
になる。
A case in which the tip of the manipulator is observed in the transmission type microscope equipped with the above-described entity observation apparatus will be described. Now, the tip 2 of the manipulator
At 09, light reflected by the light of the light source 210 is generated. At this time, the tip 209 of the manipulator is arranged near the focal point of the condenser lens 208. The reflected light is collected by the condenser lens 208 and enters the polarizing plate 207. The polarizing plate 207 includes left and right polarizing plates 207a and 207.
b, the polarization directions that can be transmitted are different, and as shown in FIG. 1, only the light in the polarization direction 205 (303) in the left half of the polarization plate 207a as shown in FIG.
In this case, only light in the polarization direction 206 (304) passes.

【0025】このようにして偏光方向に応じて分割され
た光はそれぞれ図1の矢印n1,n2の方向に進み、検
光子203,204、接眼レンズ201,202を介し
て左右それぞれの目で見ると、左目に入る光線の主軸と
右目に入る光線の主軸とが傾きを持っていることになる
ので、立体視的な効果を得ることができ、マニピュレー
タの先端209を立体的に観察することができる。
The light split in accordance with the polarization direction in this manner proceeds in the directions of arrows n1 and n2 in FIG. 1, respectively, and is viewed by the right and left eyes via analyzers 203 and 204 and eyepieces 201 and 202. Since the main axis of the light ray entering the left eye and the main axis of the light ray entering the right eye have an inclination, a stereoscopic effect can be obtained, and the tip 209 of the manipulator can be observed three-dimensionally. it can.

【0026】また、接眼レンズ201,202の前にそ
れぞれの偏光方向に応じた検光子203、204が配置
されているから、偏光板207と接眼レンズ201、2
02との距離が離れた場合等に2つの光線のクロストー
クが生じた場合でも、クロストークした偏光方向の光は
検光子を透過せず、かかる立体視効果は損なわれないこ
とになる。 〈第2の実施の形態〉図3は、本発明の第2の実施の形
態を示し、図1と基本的に同様の立体観察機能を付加し
た倒立透過型顕徴鏡のより具体的構成を示すものであ
る。図3の倒立透過型顕微鏡では、通常の照明光学系の
構成要素である光源401、コレクタレンズ402、ミ
ラー403、及びコンデンサレンズ406等に加えて、
立体視を可能にするために新たに光源407、偏光板4
05、及び双眼鏡筒部が追加されている。双眼鏡筒部
は、菱プリズム404、プリズム413〜415、検光
子416、417、接眼レンズ418、419等を含ん
で一体に構成され、図3の2点鎖線に示すように支持部
材490内に支持されて納められている。この場合、支
持部材490を図3の矢印左側に移動させて透過型顕微
鏡に装着することができる。また、光源407は、通常
の顕微鏡用観察光源として用いられるタングステンラン
プ等であってよい。なお、ステージ410の下方には、
透過型顕微鏡の観察用の対物レンズ411が配置されて
いる。
Since the analyzers 203 and 204 corresponding to the respective polarization directions are arranged in front of the eyepieces 201 and 202, the polarizing plate 207 and the eyepieces 201 and 202 are arranged.
Even when crosstalk occurs between two light beams when the distance from the light source 02 is large, the crosstalked light in the polarization direction does not pass through the analyzer, and the stereoscopic effect is not impaired. <Second Embodiment> FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention, and shows a more specific configuration of an inverted transmission microscope in which a stereoscopic observation function basically similar to that of FIG. 1 is added. It is shown. In the inverted transmission microscope of FIG. 3, in addition to a light source 401, a collector lens 402, a mirror 403, a condenser lens 406, and the like, which are components of a normal illumination optical system,
New light source 407 and polarizing plate 4 to enable stereoscopic vision
05 and a binocular tube portion are added. The binocular tube is integrally formed including a rhomb prism 404, prisms 413 to 415, analyzers 416 and 417, eyepieces 418 and 419, and is supported in a support member 490 as shown by a two-dot chain line in FIG. Have been put. In this case, the support member 490 can be moved to the left side of the arrow in FIG. 3 to be mounted on the transmission microscope. The light source 407 may be a tungsten lamp or the like used as a normal microscope observation light source. In addition, below the stage 410,
An objective lens 411 for observation of a transmission microscope is arranged.

【0027】また、偏光板405は、偏光方向が互いに
直交する2枚の偏光板405a,405bを組み合わせ
て図2と同様に構成されている。検光子416、417
は、偏光板405の各偏光方向に対応して、検出する偏
光面が互いに直交する向きに配置されている。偏光板4
05は、コンデンサレンズ406の瞳面に位置すること
が必要であり、微分干渉観察時に使われる位相リング回
転切り換え盤と同様の切り替え手段にセットされてい
る。これにより、偏光板405をコンデンサレンズ40
6の瞳面に位置するように光軸mの直角方向に移動さ
せ、またその位置から退避させることができる。このよ
うにして、偏光板405の切り換えが回転により簡単に
でき、扱いやすく、実体観察と透過型顕微鏡による観察
との切替に便利である。
The polarizing plate 405 is configured in the same manner as in FIG. 2 by combining two polarizing plates 405a and 405b whose polarization directions are orthogonal to each other. Analyzer 416, 417
Are arranged so that the polarization planes to be detected are orthogonal to each other, corresponding to the respective polarization directions of the polarizing plate 405. Polarizing plate 4
Reference numeral 05 needs to be located on the pupil plane of the condenser lens 406, and is set on the same switching means as the phase ring rotation switching board used for differential interference observation. Thereby, the polarizing plate 405 is connected to the condenser lens 40.
6 can be moved in a direction perpendicular to the optical axis m so as to be located on the pupil plane 6, and can be retracted from that position. In this manner, the switching of the polarizing plate 405 can be easily performed by rotation, it is easy to handle, and it is convenient to switch between the stereoscopic observation and the observation by the transmission microscope.

【0028】いま、光源407から光がコンデンサレン
ズ406の光軸mに対して傾斜した方向に出て、ステー
ジ410上の試料409および試料409付近にあるマ
ニピュレータ先端408に照射されている。この照射光
によって、マニピュレータ先端408において乱反射光
が生じ、この光がコンデンサレンズ406によって集め
られ、各偏光板405a,405bに入射する。この乱
反射による戻り光には様々な偏光状態が混在している
が、偏光板405を通ることによって偏光面が互いに直
交した2本の直線偏光のみが抽出され、光軸mに関し偏
心した位置からそれぞれ出射する。
Now, light is emitted from the light source 407 in a direction inclined with respect to the optical axis m of the condenser lens 406, and is irradiated on the sample 409 on the stage 410 and the manipulator tip 408 near the sample 409. Due to this irradiation light, irregularly reflected light is generated at the manipulator tip 408, and this light is collected by the condenser lens 406 and is incident on each of the polarizing plates 405a and 405b. Although various polarization states are mixed in the return light due to the irregular reflection, only two linearly polarized lights whose polarization planes are orthogonal to each other are extracted by passing through the polarizing plate 405, and each of them is shifted from the position decentered with respect to the optical axis m. Emit.

【0029】このようにして分割した光は菱プリズム4
04に入射し、この菱プリズム404により向きを変え
られてプリズム413へ、更に414,415へと導か
れ、光路が2つに分けられ、これらの2つの光束には、
偏光面が互いに直交した2本の直線偏光の光が含まれて
いるので、検光子416、417によってそれぞれの光
を検出する。接眼レンズ418、419を通してこれら
の光の像を観察することにより、マニピュレータ先端部
分408の立体的な像を観察することが可能となる。
The light split in this way is applied to the rhomb prism 4
04, is redirected by the rhombic prism 404 and guided to the prism 413 and further to 414 and 415, the optical path is divided into two, and these two light fluxes
Since two linearly polarized lights whose polarization planes are orthogonal to each other are included, the respective lights are detected by the analyzers 416 and 417. By observing the images of these lights through the eyepieces 418 and 419, it becomes possible to observe a three-dimensional image of the manipulator tip portion 408.

【0030】また、菱プリズム404、プリズム413
〜415、検光子416,417、及び接眼レンズ41
8,419等からなる双眼鏡筒部を収納した支持部材4
90を図3の矢印方向右側に移動させ、また、偏光板4
05は光軸mから外れるように回転させることにより、
それぞれを照明系の光路上から外すことが可能になって
いる。これにより速やかに元の観察照明光学系に戻すこ
とができる。
Further, the rhomb prism 404 and the prism 413
To 415, analyzers 416 and 417, and eyepiece 41
A support member 4 containing a binocular tube section made of 8,419 or the like
90 is moved to the right in the direction of the arrow in FIG.
05 is rotated away from the optical axis m,
Each can be removed from the optical path of the illumination system. Thereby, it is possible to quickly return to the original observation illumination optical system.

【0031】以上のように、本実施の形態によれば、工
具の必要なく簡単に通常の顕微鏡光学系と実体観察との
切替ができ、従来技術に比べて非常に簡便である。ま
た、立体像は正立像となるので、マニピュレータの微動
方向と立体視の方向が同一方向になり、マニピュレータ
の先端の操作が容易である。また、マニピュレータの先
端付近を真上から確認しながら操作でき、無理な体勢で
の観察を強いられることはないので、実体観察し易く、
マニピュレータの先端の位置を掴むことが極めて容易で
ある。また、従来のように、実体顕微鏡を透過型顕微鏡
の側に配置する必要もなくなり、透過型顕微鏡の周囲の
スペースに余裕ができ、狭いスペースに多くの機器が並
び大変煩わしいといった問題も解消できる。 〈第3の実施の形態〉図4は、本発明の第3の実施の形
態を示し、図3と同様に構成された倒立透過型顕徴鏡を
示すものである。図3では、外部光源を便ってマニピュ
レータの先端部を照明したが、図4では、顕微鏡の内蔵
光源を実体観察時の光源に用いている。これにより、外
部光源が不必要となり、よりコンパクトに実体観察機能
を付加した透過型顕微鏡を実現することができる。図4
において、図3と同様の機能を有する部分には、同一の
符号を付し、その説明は省略する。
As described above, according to the present embodiment, it is possible to easily switch between the ordinary microscope optical system and the entity observation without the need for tools, which is very simple as compared with the prior art. Further, since the stereoscopic image is an erect image, the direction of fine movement of the manipulator and the direction of stereoscopic vision are in the same direction, and the tip of the manipulator can be easily operated. In addition, it is possible to operate while checking the vicinity of the tip of the manipulator from directly above, and it is not necessary to observe in an unreasonable posture, so it is easy to observe the entity,
It is extremely easy to grasp the position of the tip of the manipulator. Further, unlike the related art, there is no need to dispose the stereoscopic microscope on the side of the transmission microscope, so that the space around the transmission microscope can be spared, and the problem that many devices are arranged in a small space can be solved. <Third Embodiment> FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention, and shows an inverted transmission microscope constructed similarly to FIG. In FIG. 3, the distal end of the manipulator is illuminated by using an external light source, but in FIG. 4, the built-in light source of the microscope is used as a light source for observation of a real object. This eliminates the need for an external light source and makes it possible to realize a more compact transmission microscope to which an entity observation function is added. FIG.
In FIG. 7, portions having the same functions as in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0032】図4(a)は本実施の形態における照明状
態を説明するためのものであり、図4(b)は実体観察
状態を説明するためのものである。図4(a)に示すよ
うに、偏光板405の上方にはハーフプリズム504が
コンデンサレンズ406の光軸m上に配置されており、
照明光学系の光源401からの光を透過させることがで
きるとともに、実体観察時には偏光板405からでた光
を双眼鏡筒部のプリズム413の方向に光路の向きを変
えることができる。このハーフプリズム504は、反射
機能と透過機能とを併せて持つ他の光学素子から構成し
てもよく、例えばハーフミラー等であってよい。
FIG. 4A is for explaining an illumination state in the present embodiment, and FIG. 4B is for explaining an entity observation state. As shown in FIG. 4A, a half prism 504 is arranged above the polarizing plate 405 on the optical axis m of the condenser lens 406,
The light from the light source 401 of the illumination optical system can be transmitted, and the direction of the optical path of the light emitted from the polarizing plate 405 can be changed to the direction of the prism 413 of the binocular tube at the time of actual observation. The half prism 504 may be formed of another optical element having both the reflection function and the transmission function, and may be, for example, a half mirror.

【0033】図4(a)に示すように、透過型顕微鏡に
内蔵の照明光学系の光源401から出た光はコレクタレ
ンズ402を出て、ミラー403によりその向きが図の
下方に向けられ、ハーフプリズム504を透過して偏光
板405に入射する。ここで偏光板405は図2と同様
のものであり、偏光板405に入射した光は互いに直交
する直線偏光の光となってコンデンサレンズ406に入
射し、試料408上に収束されて照射される。もし、マ
ニピュレータ先端408が焦点位置にある程度近い位置
にあればそこにも光が照射されるが、このときマニピュ
レータ先端408において乱反射が生じる。
As shown in FIG. 4A, light emitted from a light source 401 of an illumination optical system built in a transmission microscope exits a collector lens 402, and its direction is directed downward by a mirror 403. The light passes through the half prism 504 and enters the polarizing plate 405. Here, the polarizing plate 405 is the same as that shown in FIG. 2. Light incident on the polarizing plate 405 becomes linearly polarized light orthogonal to each other, enters the condenser lens 406, and is converged and irradiated on the sample 408. . If the tip 408 of the manipulator is located at a position close to the focal position to some extent, light is irradiated to the tip, but at this time, irregular reflection occurs at the tip 408 of the manipulator.

【0034】図4(b)に示すように、この乱反射光は
コンデンサレンズ406によって再び集められ、偏光板
405に入射する。これらの光が照射時と同じ偏光状態
を保ったままであれば、偏光面が直交しているために偏
光板505を通過することは出来ないが、通常は乱反射
によってその偏光面が回転しているため、偏光方向が偏
光板405のものと一致する成分の光は透過することが
できる。透過したそれぞれの光はハーフプリズム504
によってプリズム413へと導かれ、光路が2つに分け
られ、これら2つの光束には、偏光面が互いに直交した
2本の直線偏光の光が含まれているので、図3の場合と
同様に検光子415,417によってそれぞれの光を検
出する。接眼レンズ418,419を通してこれらの光
の像を観察することにより、マニピュレータ先端408
の立体的な像を観察することができる。
As shown in FIG. 4B, the diffusely reflected light is collected again by the condenser lens 406 and enters the polarizing plate 405. If these lights maintain the same polarization state as at the time of irradiation, they cannot pass through the polarizing plate 505 because the polarization planes are orthogonal, but the polarization plane is usually rotated by irregular reflection. Therefore, light having a component whose polarization direction matches that of the polarizing plate 405 can be transmitted. The transmitted light is converted into a half prism 504
The light is guided to the prism 413, and the optical path is divided into two. These two light fluxes include two linearly polarized lights whose polarization planes are orthogonal to each other. Each light is detected by the analyzers 415 and 417. By observing these light images through eyepieces 418 and 419, the manipulator tip 408
Can be observed.

【0035】以上のようにして、図4の実施の形態によ
れば、図3の場合と同様の効果が得られ、また、実体観
察時の光源を別に配置しなくて済むから、透過型顕微鏡
の周囲のスペースに更に余裕ができて好ましい。 〈第4の実施の形態〉図5及び図6は、本発明の第4の
実施の形態を示し、図4と同様に構成され透過型顕微鏡
に内蔵された光源を実体観察時にも用いるものである
が、図4においてマニピュレータ先端部408の表面が
完全に鏡面であるとき、反射光が偏光板を通過できない
ためマニピュレータの先端部の像が見えないことがある
点に鑑み、この対策を施したものである。図5及び図6
において、図3及び図4と同様の機能を有する部分に
は、同一の符号を付し、その説明は省略する。
As described above, according to the embodiment of FIG. 4, the same effect as that of FIG. 3 can be obtained, and it is not necessary to separately arrange a light source at the time of observing the entity. It is preferable because the space around the space can be more relaxed. <Fourth Embodiment> FIGS. 5 and 6 show a fourth embodiment of the present invention, in which a light source constructed in the same manner as in FIG. 4 and incorporated in a transmission microscope is also used for actual observation. However, in FIG. 4, when the surface of the manipulator tip 408 is completely specular, the countermeasure was taken in view of the fact that the image of the manipulator tip may not be visible because the reflected light cannot pass through the polarizing plate. Things. 5 and 6
In FIG. 7, portions having the same functions as those in FIGS. 3 and 4 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0036】図5(a)に示すように、偏光板405を
通過した光がマニピュレータの先端部408で反射され
るが、完全に鏡面反射したときその反射光は照射光の偏
光状態と同じであるために、偏光板601を再び通過す
ることができない。
As shown in FIG. 5A, the light passing through the polarizing plate 405 is reflected by the tip 408 of the manipulator. When the light is completely specularly reflected, the reflected light has the same polarization state as the irradiation light. For this reason, the light cannot pass through the polarizing plate 601 again.

【0037】この問題を解決するため、図5(b)に示
すように、本実施の形態では偏光板405とコンデンサ
レンズ406との間に偏光解消板(デポラライザ)60
5を配置する。いま、図5(b)において、偏光板40
5の右半分の領域(405a)を通過した光604は、
直線偏光になっているが、次に通過する偏光解消板60
5により楕円偏光が集まった光606(ここでは「ラン
ダム偏光」と呼ぶ。)に変換される。マニピュレータの
先端部408からの反射光は、偏光解消板605を再び
透過して偏光板の左半分の領域(405b)に入射す
る。このとき光607はランダム偏光の状態であるた
め、反射光が照射光の偏光状態と同じであっても、この
光線のうち右半分の領域(405a)と偏光方向が一致
する光608だけが偏光板405を通過することができ
る。
In order to solve this problem, as shown in FIG. 5B, in the present embodiment, a depolarizer (depolarizer) 60 is provided between the polarizing plate 405 and the condenser lens 406.
5 is arranged. Now, in FIG. 5B, the polarizing plate 40
Light 604 passing through the right half area (405a) of 5 is
Depolarized plate 60 which is linearly polarized light but passes next
5, the light is converted into light 606 (herein referred to as “randomly polarized light”) in which elliptically polarized light is collected. The reflected light from the tip 408 of the manipulator again passes through the depolarizing plate 605 and enters the left half area (405b) of the polarizing plate. At this time, since the light 607 is in the state of random polarization, even if the reflected light has the same polarization state as the irradiation light, only the light 608 whose polarization direction matches the right half region (405a) of the light is polarized. It can pass through the plate 405.

【0038】図6(a),(b)は、図5(b)の偏光
解消板605を配置した場合の透過型顕微鏡における全
体構成を示す図であり、偏光解消板605以外は、図4
(a),(b)と同様の構成である。図6に示す透過型
顕微鏡によれば、図4の場合と同様の効果が得られ、ま
た、マニピュレータ408で照明光が鏡面反射しても、
マニピュレータの先端408の立体的な像を観察するこ
とができる。 〈第5の実施の形態〉図7は、本発明の第5の実施の形
態を示し、上述の実施の形態と同様に顕微鏡における照
明系のコンデンサレンズを実体観察のための対物レンズ
に用いているが、図1の偏光板を用いる構成とは異な
り、コンデンサレンズの瞳面に2つの開口部を有する絞
り部材を設置することにより、試料の実体観察を可能に
したものである。
FIGS. 6A and 6B are diagrams showing the overall configuration of a transmission microscope in which the depolarizing plate 605 shown in FIG. 5B is arranged.
It has the same configuration as (a) and (b). According to the transmission microscope shown in FIG. 6, the same effect as in the case of FIG. 4 is obtained, and even if the illumination light is specularly reflected by the manipulator 408,
A three-dimensional image of the tip 408 of the manipulator can be observed. <Fifth Embodiment> FIG. 7 shows a fifth embodiment of the present invention, in which a condenser lens of an illumination system in a microscope is used as an objective lens for observing an entity similarly to the above-described embodiment. However, unlike the configuration using the polarizing plate of FIG. 1, the sample can be observed in substance by installing a diaphragm member having two openings on the pupil plane of the condenser lens.

【0039】図7は、本実施の形態における実体観察機
能を付加した透過型顕微鏡の原理を示すものであるが、
図1のものと同一の機構を有する部分には同一の符号を
付しその説明は省略する。図7に示すように、透過型顕
微鏡の照明系のコンデンサレンズ208の上方には絞り
部材625が設置され、この絞り部材625は、コンデ
ンサレンズ208の瞳面に配置されている。図8に絞り
部材625の平面図を示すが、絞り部材625は円盤状
に構成され、その中心を対称に偏心して設けられた一対
の開口部625a,625bを有する。コンデンサレン
ズ208からの光が絞り部材625の各開口部625
a,625bを通過して分岐することにより2つの光束
に分割される。
FIG. 7 shows the principle of a transmission microscope provided with a function of observing an entity in this embodiment.
Parts having the same mechanisms as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. As shown in FIG. 7, an aperture member 625 is provided above the condenser lens 208 of the illumination system of the transmission microscope, and the aperture member 625 is arranged on the pupil plane of the condenser lens 208. FIG. 8 is a plan view of the diaphragm member 625. The diaphragm member 625 is formed in a disk shape and has a pair of openings 625a and 625b provided symmetrically and eccentrically at the center. Light from the condenser lens 208 is applied to each opening 625 of the diaphragm member 625.
a, 625b and split into two light fluxes.

【0040】また、図7に示すように、接眼レンズ20
1,202をそれぞれ保持し、双眼鏡筒部を構成する一
対の鏡筒623,624が設けられ、これらの鏡筒62
3,624に、絞り部材625により分割された各光束
がそれぞれ図7の実線及び破線の各矢印のように入射す
る。
Further, as shown in FIG.
A pair of lens barrels 623 and 624 that respectively hold the lens barrels 202 and 202 and constitute a binocular tube part are provided.
Each of the light beams split by the stop member 625 is incident on the light beams 3, 624 as indicated by the solid and broken arrows in FIG.

【0041】いま、マニピュレータの先端209におい
て、光源210による反射光が生じているとすると、コ
ンデンサレンズ208の焦点はマニピュレータの先端2
09付近にあるので、反射光はコンデンサレンズ208
によって収集され、絞り部材625に入射する。この絞
り部材625には2つの開口部625a,625bがあ
るので、絞り部材625を通過した光は左右2つの光路
に分岐する。これらの光線は双眼鏡筒部の左右別々の鏡
筒623,624に入射し、接眼レンズ201、202
によって像として結ばれる。
Assuming that light reflected by the light source 210 is generated at the tip 209 of the manipulator, the focal point of the condenser lens 208 is set at the tip 2 of the manipulator.
09, the reflected light is reflected by the condenser lens 208.
And enters the aperture member 625. Since the aperture member 625 has two openings 625a and 625b, the light passing through the aperture member 625 is split into two left and right optical paths. These light beams enter the left and right separate lens barrels 623 and 624 of the binocular tube part, and the eyepieces 201 and 202
Tied together as an image.

【0042】ここで、絞り部材625によって分割され
た2つの光路の主光線は、コンデンサレンズ208と焦
点位置であるマニピュレータの先端209との間で傾き
を持っていることになるので、2つの接眼レンズ20
1、202によって形成される像をそれぞれ左右の目で
見ると、マニピュレータの先端209を観察している2
つの視線の光軸が傾いていることになる。これによっ
て、図1の場合と同様の効果が得られ、マニピュレータ
の先端209を立体視することができる。 〈第6の実施の形態〉図9は、本発明の第6の実施の形
態を示し、図7と基本的に同様の立体観察機能を付加し
た倒立透過型顕徴鏡のより具体的構成を示すものであ
り、図4(a),(b)と同様に顕微鏡の内蔵光源を実
体観察時の光源に用いている。これにより、外部光源が
不必要となり、よりコンパクトに実体観察機能を付加し
た透過型顕微鏡を実現することができる。なお、図9に
おいて、上述した部分と同様の機能を有する部分には同
一の符号を付し、その説明を省略する。
Here, the principal rays of the two optical paths split by the stop member 625 have an inclination between the condenser lens 208 and the tip 209 of the manipulator, which is the focal position, so that the two eyepieces are used. Lens 20
When the images formed by 1, 202 are viewed with the left and right eyes, respectively, the manipulator tip 209 is observed.
The optical axis of one line of sight is inclined. Thereby, the same effect as in the case of FIG. 1 is obtained, and the distal end 209 of the manipulator can be stereoscopically viewed. <Sixth Embodiment> FIG. 9 shows a sixth embodiment of the present invention, and shows a more specific configuration of an inverted transmission microscope in which a stereoscopic observation function basically similar to that of FIG. 7 is added. 4A and 4B, the built-in light source of the microscope is used as the light source for observation of the entity, similarly to FIGS. 4A and 4B. This eliminates the need for an external light source and makes it possible to realize a more compact transmission microscope to which an entity observation function is added. In FIG. 9, portions having the same functions as those described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0043】図9(a),(b)に示すように、絞り部
材625とミラー403との間の照明系の光路上にはハ
ーフプリズム704が配置されており、実体観察時に光
源401からの光を試料409に向けて透過させる一
方、試料409からの反射光であって絞り部材625で
分割された2つの光束を照明系の光路から偏向させて、
接眼レンズ611,612にそれぞれ向かわせる。
As shown in FIGS. 9A and 9B, a half prism 704 is disposed on the optical path of the illumination system between the stop member 625 and the mirror 403, and receives light from the light source 401 during actual observation. While the light is transmitted toward the sample 409, two light beams reflected by the sample 409 and divided by the aperture member 625 are deflected from the optical path of the illumination system,
The eyepieces are directed toward the eyepieces 611 and 612, respectively.

【0044】図9(a)に示すように、顕微鏡内蔵光源
401から出た光はコレクタレンズ402によって収集
され、ミラー403で反射された後、ハーフプリズム7
04を通って絞り部材625に入射する。絞り部材60
5は、上に述べたようにコンデンサレンズ406の瞳面
にあることが必要であるが、上述の偏光板と同様に微分
干渉観察時に使われる位相リング切り換え盤等ににセッ
トすると切り換えも簡単になり、扱いやすい。絞り部材
605を通過した光は、コンデンサレンズ406によっ
て、焦点位置付近にあるマニピュレータの先端409に
照射される。
As shown in FIG. 9A, light emitted from a built-in microscope light source 401 is collected by a collector lens 402, reflected by a mirror 403, and then reflected by a half prism 7.
Then, the light enters the aperture member 625 through the light emitting element 04. Aperture member 60
5 needs to be on the pupil plane of the condenser lens 406 as described above, but if it is set on a phase ring switching board or the like used for differential interference observation as in the case of the above-described polarizing plate, switching can be easily performed. It is easy to handle. The light that has passed through the aperture member 605 is irradiated by the condenser lens 406 on the tip 409 of the manipulator near the focal position.

【0045】図9(b)に示すように、この照射光によ
ってマニピュレータの先端409で乱反射光が生じ、こ
の光がコンデンサレンズ406によって再び集められ、
絞り部材625に入射する。この絞り部材625の2つ
の開口部625a,625bを通過した光は左右2つの
光線に分割される。これらの光線はハーフプリズム70
4によって双眼鏡筒部の左右別々の鏡筒(図示省略)に
入射し、接眼レンズ611、612によって像として結
ばれる。従って、接眼レンズ611、612を通してこ
れらの光の像を観察することにより、マニピュレータ先
端部分の立体的な像を観察することができる。
As shown in FIG. 9B, the irradiation light causes irregularly reflected light at the tip 409 of the manipulator, and this light is collected again by the condenser lens 406.
The light enters the aperture member 625. The light that has passed through the two openings 625a and 625b of the aperture member 625 is split into two right and left light beams. These rays are transmitted through the half prism 70
The light enters the left and right separate lens barrels (not shown) of the binocular tube part by 4 and is formed as an image by eyepieces 611 and 612. Therefore, by observing the images of these lights through the eyepieces 611 and 612, a three-dimensional image of the tip of the manipulator can be observed.

【0046】なお、図9では、顕微鏡の内蔵光源を用い
るので、従来技術に比べてコンパクトな実体顕微鏡機能
を実現することができ、顕微鏡の周囲の空間に余裕がで
きる。また、ハーフプリズムを利用することで双眼鏡筒
部を着脱しなくても倒立透過型顕微鏡による観察を行う
ことができるので、マニピュレータを用いるような微小
操作時で大きな問題となる振動を避けることができ、好
ましい。また、マニピュレータの先端部分を真上から確
認しながら操作することができるので、マニピュレー夕
の先端位置を明確に掴み易い。このため、マニピュレー
タの操作がし易くなる。 〈第7の実施の形態〉図10及び図11は、本発明の第
7の実施の形態を示し、図9と同様に構成されている
が、実体観察時の試料の照明に外部光源210を用い、
絞り部材と接眼レンズとの距離が長くなると2つに分割
された光線がクロストークするという問題が生じる場合
がある点に鑑み、この対策を施したものである。図10
において、上述した部分と同様の機能を有する部分に
は、同一の符号を付し、その説明を省略する。
In FIG. 9, since the built-in light source of the microscope is used, a function of a stereoscopic microscope which is more compact than that of the prior art can be realized, and a space around the microscope can be provided. In addition, by using a half prism, it is possible to perform observation with an inverted transmission microscope without attaching and detaching the binocular tube, so that vibration that is a major problem at the time of minute operation such as using a manipulator can be avoided. ,preferable. In addition, since the manipulator can be operated while confirming the distal end portion from directly above, it is easy to clearly grasp the distal end position of the manipulator. Therefore, the manipulator can be easily operated. <Seventh Embodiment> FIGS. 10 and 11 show a seventh embodiment of the present invention, which is configured in the same manner as FIG. 9, except that an external light source 210 is used to illuminate the sample during observation of the entity. Use
This measure has been taken in view of the fact that if the distance between the aperture member and the eyepiece is increased, a problem may occur in which the two divided light beams crosstalk. FIG.
In the above, portions having the same functions as those described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0047】図10に示すように、絞り部材705にそ
の中心を対称に偏心して設けられた一対の開口部には、
それぞれ赤色の光のみを通すバンドパスフィルタ512
と青色の光のみを通すバンドパスフィルタ513が装着
されている。図11(a)に赤色の光のみを通すバンド
パスフィルタ512の光透過波長域特性を、図11
(b)に青色の光のみを通すバンドパスフィルタ513
の光透過波長域特性を示している。ここで、各フィルタ
512、513は、光透過波長域が重なり合わないよう
特性が決定されている。従って、フィルタ512側を透
過した光線は、フィルタ512の光透過波長域と一致す
る赤色の光となり、フィルタ513側を透過した光線は
フィルタ513の光透過波長域と一致する青色の光とな
る。
As shown in FIG. 10, a pair of openings provided in the diaphragm member 705 with their centers symmetrically eccentric are provided.
Bandpass filter 512 that passes only red light
And a band-pass filter 513 that transmits only blue light. FIG. 11A shows a light transmission wavelength range characteristic of the band-pass filter 512 that transmits only red light.
(B) Bandpass filter 513 that passes only blue light
2 shows the light transmission wavelength range characteristics of FIG. Here, the characteristics of the filters 512 and 513 are determined so that the light transmission wavelength ranges do not overlap. Accordingly, the light beam transmitted through the filter 512 becomes red light that matches the light transmission wavelength range of the filter 512, and the light beam transmitted through the filter 513 becomes blue light that matches the light transmission wavelength range of the filter 513.

【0048】また、双眼鏡筒部における接眼レンズ51
6、517の直前には、絞り部材705に設けられてい
るフィルタ512、513と同じ特性を持つバンドパス
フィルタ514、515が配置されている。これによ
り、絞り部材705とフィルタ514,515との間で
たとえクロストークが発生しても、絞り部材705で分
割されたそれぞれの光線による像のみを各接眼レンズ5
16,517で観察することができる。
The eyepiece 51 in the binocular tube section
Immediately before 6, 517, band-pass filters 514, 515 having the same characteristics as the filters 512, 513 provided in the diaphragm member 705 are arranged. As a result, even if crosstalk occurs between the stop member 705 and the filters 514 and 515, only the image formed by each light beam split by the stop member 705 is transferred to each eyepiece lens 5.
16,517.

【0049】いま、外部光源210から出た光がマニピ
ュレータの先端408が照明され、これによって乱反射
光が生じる。この光はコンデンサレンズ406によって
集められ、絞り部材705に入射する。ここで、左の開
口部(512)を透過した光線はフィルタ512の光透
過波長域と一致する赤色の光となり、右の開口部(51
3)を透過した光線はフィルタ513の光透過波長域と
一致する青色の光となる。図10の実線及び波線で示す
各矢印のように、それぞれの光線は、照明系の光路上に
配置されたプリズム504によって双眼鏡筒部の左右別
々の鏡筒(図示省略)に入射する。もし、クロストーク
が発生すると2つの光線が入り交じった状態で鏡筒に入
射してしまう。ところが、図10では、接眼レンズ51
6、517直前にバンドパスフィルタ514、515が
挿入されているから、たとえクロストークが発生して
も、絞り部材705により分割された各光線による像の
みを各接眼レンズ516、517で観察することがで
き、実体観察に問題は生じない。
Now, light emitted from the external light source 210 illuminates the tip 408 of the manipulator, thereby generating diffusely reflected light. This light is collected by the condenser lens 406 and enters the aperture member 705. Here, the light beam that has passed through the left opening (512) becomes red light that matches the light transmission wavelength region of the filter 512, and the right opening (51).
The light beam transmitted through 3) becomes blue light that matches the light transmission wavelength range of the filter 513. As shown by the solid and wavy arrows in FIG. 10, the respective light beams enter the left and right separate lens barrels (not shown) of the binocular tube by the prism 504 arranged on the optical path of the illumination system. If crosstalk occurs, two light beams enter the lens barrel in a mixed state. However, in FIG.
Since the band-pass filters 514 and 515 are inserted immediately before 6, 517, even if crosstalk occurs, only the image formed by each light beam divided by the aperture member 705 must be observed by the eyepieces 516 and 517. And there is no problem in entity observation.

【0050】また、プリズム504、バンドパスフィル
タ514、515、接眼レンズ516、517等からな
る双眼鏡筒部は、スウィングアウトさせることにより照
明系の光路上から外すことが可能になっている。これに
より速やかに元の観察照明光学系に戻すことが出来る。
The binocular tube section including the prism 504, band pass filters 514, 515, eyepieces 516, 517, etc. can be removed from the optical path of the illumination system by swinging out. Thereby, it is possible to quickly return to the original observation illumination optical system.

【0051】なお、絞り部材の各開口部に、図2のよう
に互いに偏光方向が直交するように2つの偏光部材を配
置してもよい。
Incidentally, two polarizing members may be arranged in each opening of the aperture member so that the polarizing directions are orthogonal to each other as shown in FIG.

【0052】以上のように各実施の形態によれば、透過
型顕微鏡下でマニピュレータを操作する際に、顕微鏡に
実体視の機能を簡単に付加することができ、別個に実体
顕微鏡を透過型顕微鏡の側に配置する必要はない。ま
た、顕微鏡に内蔵された照明系のコンデンサレンズを実
体顕微鏡の対物レンズとして用いるために、マニピュレ
ータを顕微鏡と同じ光軸方向から観察でき、従来技術に
比ベマニピュレータと試料との位置関係を把握し易く、
マニピュレータ操作を容易にする。また、実体観察の機
能部が顕微鏡と一体化されるため、自然な姿勢で観察可
能となり実体観察がし易く、また非常にコンパクトに構
成でき、顕微鏡周囲のスペースを有効利用することがで
きる。
As described above, according to each embodiment, when the manipulator is operated under the transmission microscope, a stereoscopic function can be easily added to the microscope. It is not necessary to arrange it on the side of. In addition, because the condenser lens of the illumination system built in the microscope is used as the objective lens of the stereo microscope, the manipulator can be observed from the same optical axis direction as the microscope, and the positional relationship between the manipulator and the sample can be grasped compared to the conventional technology. Easy,
Facilitates manipulator operation. In addition, since the function section for stereoscopic observation is integrated with the microscope, observation can be performed in a natural posture, the stereoscopic observation can be easily performed, the configuration can be made very compact, and the space around the microscope can be effectively used.

【0053】なお、本発明は、上述の各実施の形態に限
定されることなく、本発明の技術的思想の範囲内で様々
な変形が可能である。例えば、本発明では透過型顕微鏡
であれば、倒立型でも正立型でもよい。
The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made within the scope of the technical concept of the present invention. For example, in the present invention, a transmission microscope may be an inverted type or an upright type.

【0054】[0054]

【発明の効果】本発明によれば 実体観察のできる透過
型顕微鏡及び透過型顕微鏡に着脱可能な実体観察装置を
提供することができる。従って、顕微鏡の側に別に実体
顕微鏡を設置する必要はないから、顕微鏡の周囲のスペ
ースを有効に利用でき、実体顕微鏡のセッティングに大
変な労力を要することもなく、また、実体観察を自然な
姿勢で行うことができる。更に、顕微鏡に備えられた照
明系のコンデンサレンズを実体顕微鏡の対物レンズとし
て用いるから、顕微鏡と同じ光軸方向から実体観察でき
る。従って、例えば試料をマニピュレータにより操作す
る場合、従来技術に比ベマニピュレータと試料との位置
関係を把握し易く、マニピュレータ操作がきわめて容易
になる。
According to the present invention, it is possible to provide a transmission microscope capable of observing the body and a body observation apparatus detachable from the transmission microscope. Therefore, there is no need to install a stereo microscope separately on the side of the microscope, so the space around the microscope can be used effectively, and no great effort is required for setting the stereo microscope. Can be done with Further, since the condenser lens of the illumination system provided in the microscope is used as the objective lens of the stereoscopic microscope, the stereoscopic observation can be performed from the same optical axis direction as the microscope. Therefore, for example, when manipulating a sample with a manipulator, it is easier to grasp the positional relationship between the manipulator and the sample than in the prior art, and the manipulator operation becomes extremely easy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による第1の実施の形態の透過型顕微鏡
についての説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a transmission microscope according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す偏光板の平面図(a)、及び側面図
(b)である。
FIG. 2 is a plan view (a) and a side view (b) of the polarizing plate shown in FIG.

【図3】本発明による第2の実施の形態の透過型顕微鏡
についての説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a transmission microscope according to a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明による第3の実施の形態の透過型顕微鏡
について、試料照明状態の説明図(a)、及び実体観察
状態の説明図(b)である。
FIG. 4 is an explanatory view (a) of a sample illumination state and an explanatory view (b) of a stereoscopic observation state of a transmission microscope according to a third embodiment of the present invention.

【図5】本発明による第4の実施の形態についての説明
図であり、鏡面反射した反射光の場合の問題点の説明図
(a)、及び偏光解消板を配置した状態の説明図(b)
である。
FIGS. 5A and 5B are explanatory diagrams of a fourth embodiment according to the present invention, in which FIG. 5A is a diagram illustrating a problem in the case of specularly reflected light, and FIG. )
It is.

【図6】図5(b)の構成を有する第4の実施の形態の
透過型顕微鏡について、試料照明状態の説明図(a)、
及び実体観察状態の説明図(b)である。
6A and 6B are explanatory diagrams of a sample illumination state of a transmission microscope according to a fourth embodiment having the configuration of FIG.
FIG. 4B is an explanatory diagram (b) of the entity observation state.

【図7】本発明による第5の実施の形態の透過型顕微鏡
についての説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a transmission microscope according to a fifth embodiment of the present invention.

【図8】図7に示す絞り部材の平面図である。FIG. 8 is a plan view of the aperture member shown in FIG. 7;

【図9】本発明による第6の実施の形態の透過型顕微鏡
について、試料照明状態の説明図(a)、及び実体観察
状態の説明図(b)である。
FIG. 9 is an explanatory view (a) of a sample illumination state and an explanatory view (b) of a stereoscopic observation state in the transmission microscope according to the sixth embodiment of the present invention.

【図10】本発明による第7の実施の形態の透過型顕微
鏡についての説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram of a transmission microscope according to a seventh embodiment of the present invention.

【図11】バンドパスフィルタ512の光透過波長域特
性(赤色)を示す図(a)、及びバンドパスフィルタ5
13の光透過波長域特性(青色)を示す図(b)であ
る。
11A is a diagram showing a light transmission wavelength region characteristic (red) of the bandpass filter 512, and FIG.
13 is a diagram (b) showing a light transmission wavelength region characteristic (blue) of No. 13.

【図12】従来の透過型顕微鏡の説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram of a conventional transmission microscope.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

201、202、417、418 接眼レンズ 203、204、416、417 検光子 207、405 偏光板 208、406 照明系のコンデ
ンサレンズ 209、408 マニピュレータ
の先端部 210、407 外部光源 211、409 試料 212、410 ステージ 401 照明系の光源 411 顕微鏡の観察用
対物レンズ 404 菱プリズム 413、414、415 プリズム 490 支持部材 504、704 ハーフプリズム 605 偏光解消板 625 絞り部材 625a、625b 開口部 725 絞り部材 512、513、514、515 バンドパスフィ
ルタ m コンデンサレン
ズの光軸
201, 202, 417, 418 Eyepiece 203, 204, 416, 417 Analyzer 207, 405 Polarizer 208, 406 Condenser lens 209, 408 for illumination system Manipulator tip 210, 407 External light source 211, 409 Sample 212, 410 Stage 401 Light source of illumination system 411 Microscope observation objective lens 404 Diamond prism 413, 414, 415 Prism 490 Support member 504, 704 Half prism 605 Depolarizing plate 625 Aperture member 625a, 625b Opening 725 Aperture member 512, 513, 514 , 515 Bandpass filter m Optical axis of condenser lens

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 試料を載せるステージと、コンデンサレ
ンズを介して試料に照明光を照射する照明系と、前記照
明光のうち試料を透過した光を結像する観察光学系とを
有する透過型顕微鏡において、 前記照明系の光路中の前記コンデンサレンズの瞳面に配
置され、前記コンデンサレンズの光軸に対して偏心した
2つの部分領域を有し、前記試料からの光を前記2つの
部分領域で透過させて2つの光束に分割する分割手段
と、 前記照明系の光路中に配置され、前記分割手段を透過し
た2つの光束を偏向し、前記照明系の光路から外す偏向
手段と、 前記偏向手段によって偏向された2つの光束を入射して
それぞれ結像する、前記試料を実体観察するための双眼
接眼部と、を具備することを特徴とする透過型顕微鏡。
1. A transmission microscope comprising a stage on which a sample is mounted, an illumination system for irradiating the sample with illumination light via a condenser lens, and an observation optical system for forming an image of the illumination light transmitted through the sample. In the optical system of the illumination system is disposed on the pupil plane of the condenser lens in the optical path, has two partial regions decentered with respect to the optical axis of the condenser lens, the light from the sample in the two partial regions Splitting means for transmitting and splitting into two light fluxes; deflecting means arranged in an optical path of the illumination system, for deflecting the two light fluxes transmitted through the splitting means and removing the two light fluxes from the optical path of the illumination system; And a binocular eyepiece for observing the sample in real form, wherein the two light fluxes deflected by the light beam enter and form images, respectively.
【請求項2】 前記2つの部分領域は、偏光方向が互い
にほぼ直交する第1の偏光部材及び第2の偏光部材から
構成されることを特徴とする請求項1記載の透過型顕微
鏡。
2. The transmission microscope according to claim 1, wherein the two partial regions include a first polarizing member and a second polarizing member whose polarization directions are substantially orthogonal to each other.
【請求項3】 前記分割手段は、前記光軸に対称な一対
の開口部を備える絞り部材から構成されることを特徴と
する請求項1記載の透過型顕微鏡。
3. The transmission microscope according to claim 1, wherein said dividing means comprises a stop member having a pair of openings symmetrical to said optical axis.
【請求項4】 前記双眼接眼部に前記各偏光方向に応じ
た検光子をそれぞれ配置したことを特徴とする請求項2
記載の透過型顕微鏡。
4. The analyzer according to claim 2, wherein analyzers corresponding to the respective polarization directions are arranged in the binocular eyepiece.
Transmission microscope as described.
【請求項5】 互いに異なる光透過波長域特性を有する
一対のフィルタ手段を前記一対の開口部の近傍にそれぞ
れ配置するとともに、前記一対のフィルタ手段と同一の
各光透過波長域特性を有する別の一対のフィルタ手段を
前記双眼接眼部にそれぞれ配置したことを特徴とする請
求項3記載の透過型顕微鏡。
5. A pair of filter means having mutually different light transmission wavelength band characteristics are respectively disposed near said pair of openings, and another filter having the same light transmission wavelength band characteristics as said pair of filter means. 4. The transmission microscope according to claim 3, wherein a pair of filter means are arranged in each of the binocular eyepieces.
【請求項6】 前記コンデンサレンズの光軸に対して傾
斜した方向から前記ステージに向けて照明する光源を前
記照明光学系の光源と別に備えることを特徴とする請求
項1〜5いずれか記載の透過型顕微鏡。
6. A light source for illuminating the stage from a direction inclined with respect to an optical axis of the condenser lens, separately from a light source of the illumination optical system. Transmission microscope.
【請求項7】 実体観察時に前記照明光学系の光源から
前記ステージを照明するように構成し、 前記分割手段が前記コンデンサレンズと前記第1及び第
2の偏光部材との間に配置された偏光解消部材を備える
ことを特徴とする請求項2または4記載の透過型顕微
鏡。
7. A polarized light which is configured to illuminate the stage from a light source of the illumination optical system during a stereoscopic observation, and wherein the splitting unit is disposed between the condenser lens and the first and second polarizing members. The transmission microscope according to claim 2, further comprising a canceling member.
【請求項8】 前記偏向手段は、前記照明光を透過する
とともに、実体観察時に前記照明光を前記試料に照射す
ることを特徴とする請求項1〜7いずれか記載の透過型
顕微鏡。
8. The transmission microscope according to claim 1, wherein said deflecting unit transmits said illumination light and irradiates said sample with said illumination light at the time of actual observation.
【請求項9】 前記分割手段、前記偏向手段及び前記双
眼接眼部を一体的に保持する保持部材を有し、該保持部
材を前記顕微鏡に対して着脱可能に構成したことを特徴
とする請求項1〜8いずれか記載の透過型顕微鏡。
9. A microscope according to claim 1, further comprising: a holding member for integrally holding said dividing means, said deflecting means and said binocular eyepiece, said holding member being configured to be detachable from said microscope. Item 9. The transmission microscope according to any one of Items 1 to 8.
【請求項10】 前記分割手段を前記コンデンサレンズ
の光軸上に移行させ、退避させるように切り替える切り
替え手段をさらに有することを特徴とする請求項1〜9
いずれか記載の透過型顕微鏡。
10. The apparatus according to claim 1, further comprising switching means for switching said dividing means to be on the optical axis of said condenser lens and for retracting.
The transmission microscope according to any one of the above.
【請求項11】 試料を載せるステージと、試料に対し
て照明光をコンデンサレンズを介して照射する照明系
と、前記照明光のうち試料を透過した光を結像する観察
光学系とを有する透過型顕微鏡に着脱可能に構成され、
試料の実体観察を行う実体観察装置であって、 該実体観察装置が前記顕微鏡に装着されたとき、前記照
明系の光路中の前記コンデンサレンズの瞳面に配置さ
れ、前記コンデンサレンズの光軸に対して偏心した2つ
の部分領域を有し、前記試料からの光を前記2つの部分
領域で透過させて2つの光束に分割する分割手段と、 該実体観察装置が前記顕微鏡に装着されたとき、前記照
明系の光路中に配置され、前記分割手段を透過した2つ
の光束を偏向し、前記照明系の光路から外す偏向手段
と、 前記偏向手段によって偏向された2つの光束を入射して
それぞれ結像する、前記試料を実体観察するための双眼
接眼部と、を有することを特徴とする実体観察装置。
11. A transmission system comprising: a stage on which a sample is mounted; an illumination system for irradiating the sample with illumination light via a condenser lens; and an observation optical system for forming an image of the illumination light transmitted through the sample. Is configured to be detachable from the microscope,
A stereoscopic observation apparatus that performs stereoscopic observation of a sample, wherein when the stereoscopic observation apparatus is mounted on the microscope, the stereoscopic observation apparatus is disposed on a pupil plane of the condenser lens in an optical path of the illumination system, and is disposed on an optical axis of the condenser lens. Splitting means having two partial areas decentered with respect to each other, transmitting light from the sample through the two partial areas and splitting the light into two light beams, when the entity observation device is mounted on the microscope, A deflecting unit that is disposed in the optical path of the illumination system and deflects two light beams transmitted through the dividing unit and removes the two light beams from the optical path of the illumination system; and enters and couples the two light beams deflected by the deflecting unit. And a binocular eyepiece for imaging the sample for stereoscopic observation.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005096063A1 (en) * 2004-03-30 2005-10-13 Olympus Corporation Manipulator device, manipulator, and method of operating treatment tool using manipulator device

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