JPH11110061A - 自己回帰モデルの光学的スペクトル計算方法と装置。 - Google Patents
自己回帰モデルの光学的スペクトル計算方法と装置。Info
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- JPH11110061A JPH11110061A JP9310989A JP31098997A JPH11110061A JP H11110061 A JPH11110061 A JP H11110061A JP 9310989 A JP9310989 A JP 9310989A JP 31098997 A JP31098997 A JP 31098997A JP H11110061 A JPH11110061 A JP H11110061A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】高速に自己回帰モデルのパワースペクトルを求
める。 【解決手段】 光学的フーリエ変換計算装置に置いて、
電子計算機３で入力に自己回帰モデルの次数Ｍの係数Ａ
ｉ（ｉ＜＝Ｍ）を、周波数変換面での分解能に依存する
独立の成分数ＬＭ以下でｂが１以上の整数で表される数
Ｍ＊ｂ個になるように０を追加し、ゼロ次をＡ０＝１と
して、液晶等の空間変調器１の振幅透過率ＴｉにＡＭ変
調した入力波形として設定し、フーリエ変換用有効瞳の
ｉの方向の径を、フーリエ変換光学系２でフーリエ変換
を行ない、変換面で光り強度分布ｌ（ｆｉ）ｊを二次元
光検出器４で測定し、増幅器５で増幅し、アナログデジ
タル変換器６で変換、演算装置３で近似的にパワースペ
クトルＰ（ｆｉ）ｊを求める方法とこれを利用する装
置。
める。 【解決手段】 光学的フーリエ変換計算装置に置いて、
電子計算機３で入力に自己回帰モデルの次数Ｍの係数Ａ
ｉ（ｉ＜＝Ｍ）を、周波数変換面での分解能に依存する
独立の成分数ＬＭ以下でｂが１以上の整数で表される数
Ｍ＊ｂ個になるように０を追加し、ゼロ次をＡ０＝１と
して、液晶等の空間変調器１の振幅透過率ＴｉにＡＭ変
調した入力波形として設定し、フーリエ変換用有効瞳の
ｉの方向の径を、フーリエ変換光学系２でフーリエ変換
を行ない、変換面で光り強度分布ｌ（ｆｉ）ｊを二次元
光検出器４で測定し、増幅器５で増幅し、アナログデジ
タル変換器６で変換、演算装置３で近似的にパワースペ
クトルＰ（ｆｉ）ｊを求める方法とこれを利用する装
置。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】自己回帰モデルのスペクトル高速
ハイブリット計算装置装置や方法。レーダーやライダ
ー、通信装置や音声認識装置その他のスペクトル計算装
置や方法。 【０００２】 【従来の技術】電子計算装置で、ＦＦＴやＤＦＴを行っ
て計算させていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】高速に自己回帰モデル
のパワースペクトルを求める方法を求める事。 【０００４】 【課題を解決するための手段】光学的フーリエ変換計算
装置に置いて、電子計算機３で入力に自己回帰モデルの
次数Ｍの係数Ａｉ（ｉ〈＝Ｍ）を周波数変換面での分解
能に依存する独立の成分数ＬＭ以下でｂが一以上の整数
で表される数Ｍ＊ｂ個になるように０を追加し、ゼロ次
をＡ０＝１として、式１で１以下の非負の値に正規化し
Ｃｉとし、液晶等の空間変調器１の振幅透過率Ｔｉに光
軸が０次として遠く離れるごとにｉが増加する方向に又
は、一列に物体面の最小値の負の値の座標が０次、又は
逆に最大値が０次で設定し、又はＡｃｏｕｓｔｉｃ Ｏ
ｐｔｉｃａｌ Ｃｅｌｌの一つの時間サンプル中に全て
のＭ＊ｂ個の係数Ｃｉが有効変調窓の中に存在する用に
ＡＭ変調した入力波形としてに設定し、フーリエ変換用
有効瞳のｉの方向の径をＥａ、変調器の各画素間の距離
をｄＸとすると式４を満たす径Ｅａを持つフーリエ変換
レンズ、フーリエ変換シリンドリカルレンズ系、フーリ
エ変換ホログラムで同等の物、フーリエ変換用光導波路
等のフーリエ変換光学系２で、フーリエ変換を行ない変
換面で光り強度分布ｌ（ｆｉ）ｊを二次元光検出器４で
測定し、増幅器５で増幅し、アナログデジタル変換器６
で変換し、演算装置３で近似的にパワースペクトルＰ
（ｆｉ）ｊを式２、又は、低周波成分はより正確に式３
で求める方法。 【式１】Ｄｉ＝Ｃ０１＊（Ａｉ−Ａｍｉｎ）／（Ａｍａ
ｘ−Ａｍｉｎ）＋Ｃ０ Ｃ０１＋Ｃ０＝１ Ａｍｉｎ：係数Ａｉの最小値 【式３】 【請求項２】Ｇｏｕｔｉｓ法の最適化時や最大エントロ
ピー法のスペクトル計算の簡易的計算用にハイブリッド
スペクトル光学的計算装置において、最大次数Ｍｍａｘ
までの各Ｍ次（ｉ〈＝Ｍ）の予測誤差フィルター列ＥＰ
ｉｊの次数をｉとし、計算する予測誤差フィルター列の
特定化のインデックスをｊとするとこれらを電子計算機
３で計算し、自己回帰モデルの計数列Ａｉｊに変換し、
更にゼロ次をＡ０ｊ＝１として、式１で正規化し、空間
変調素子にｉの方向に一次元的に計数列Ｄｉｊ（ｊ＜＝
Ｍ）を設定し、これを他の次数の係数列をその横のｊ方
向に同様に設定して、光学系のフーリエ変換用有効瞳の
ｉの方向の径をＥａとすると、変調器の各画素間の距離
をｄＸとすると式４を満たす径のシリンドリカルレンズ
系かホログラムで同等の物、又は、同等の物で一次元の
フーリエ変換を多数並列に出来るフーリエ変換光学系２
でフーリエ変換を行ない変換面で光り強度分布ｌ（ｆ
ｉ）ｊを二次元光検出器４で測定し、増幅器５で増幅
し、アナログデジタル変換器６で変換し、演算装置３
で、求める最大エントロピー法による複素振幅スペクト
ルをＭＥ（ｆｉ）ｊとすると式５が成り立つ為パワース
ペクトルＰ（ｆｉ）ｊを之で求め、必要であれば近似的
にパワースペクトルＰ（ｆｉ）ｊを式６で求める方法と
これを利用する装置。 【式４】Ｅａ＞ｄＸ＊Ｍｍａｘ＊ｂ 【式５】Ｉ（ｆｉ）ｊ＝｜Ｃ１ｊ＊ＭＥ（ｆｉ）ｊ＋Ｃ
２ｊ＊Ｎ（ｆｉ）ｊ｜ Ｃ１ｊ＝Ｃ０１／（Ａｍａｘ ｊ−Ａｍｉｎ ｊ） Ｃ２ｊ＝−Ａｍｉｎ ｊ＊Ｃ０１／（Ａｍａｘｊ−Ａｍ
ｉｎｊ）＋Ｃ０ Ａｍａｘ：係数Ａｉの最大値 Ｃ０，Ｃ０１：定数 【式２】Ｐ（ｆｉ）＝Ｃ３／Ｉ（ｆｉ），ｆｉ＞＝２／
（Ｍ＊ｂ＊ｄＸ） Ｃ３＝Ｃ１＊Ｃ１＊Ｐ０，Ｃ１＝Ｃ０１／（Ａｍａｘ−
Ａｍｉｎ） Ｐ０：定数。 【式３】 Ｇｏｕｔｉｓ法の最適化時や最大エントロピー法のスペ
クトル計算の簡易的計算用にハイブリッドスペクトル光
学的計算装置において、最大次数Ｍｍａｘまでの各Ｍ次
（ｉ〈＝Ｍ）の予測誤差フィルター列ＥＰｉｊの次数を
ｉとし、計算する予測誤差フィルター列の特定化のイン
デックスをｊとするとこれらを電子計算機３で計算し、
自己回帰モデルの計数列Ａｉｊに変換し、更にゼロ次を
Ａ０ｊ＝１として、式１で正規化し、空間変調素子にｉ
の方向に一次元的に計数列Ｄｉｊ（ｊ＜＝Ｍ）を設定
し、これを他の次数の係数列をその横のｊ方向に同様に
設定して、光学系のフーリエ変換用有効瞳のｉの方向の
径をＥａとすると、変調器の各画素間の距離をｄＸとす
ると式４を満たす径のシリンドリカルレンズ系がホログ
ラムで同等の物、又は、同等の物で一次元のフーリエ変
換を多数並列に出来るフーリエ変換光学系２でフーリエ
変換を行ない変換面で光り強度分布ｌ（ｆｉ）ｊを二次
元光検出器４で測定し、増幅器５で増幅し、アナログデ
ジタル変換器６で変換し、演算装置３で、求める最大エ
ントロピー法による複素振幅スペクトルをＭＥ（ｆｉ）
ｊとすると式５が成り立つ為パワースペクトルＰ（ｆ
ｉ）ｊを之で求め必要であれば近似的にパワースペクト
ルＰ（ｆｉ）ｊを式６で求める方法。 【式４】Ｅａ＞ｄＸ＊Ｍｍａｘ＊ｂ 【式５】 【式６】Ｐ（ｆｉ）ｊ＝Ｃ３ｊ／Ｉ（ｆｉ）ｊ，ｆｉ＞
＝２／Ｍｍａｘ＊ｂ＊ｄＸ． Ｃ３ｊ＝Ｐｍｊ＊Ｃ１ｊ＊Ｃ１ｊ，Ｐｍｊ：予測誤差フ
ィルターの誤差のパワー。 前記の方法で、信号のＭ次（ｉ＜＝Ｍ）の予測誤差フィ
ルターＥＰｉｊを各種の方法で最大Ｍｍａｘ次まで算出
し、これらのフィルター列群Ａｉｊの最適のフィルター
を選定する一つの評価関数であるスペクトルＰ（ｆｉ）
が同等のｌ（ｆｉ）ｊを測定し次数の決定に役立てる方
法。これをＧｏｕｔｉｓ法の各最適化ループの結果の高
速可視化を並列で行える為の、モニター装置に利用する
方法。上記の方法で、係数Ｄｉｊを光軸に対し直交する
水平軸に対して対称に光軸が０次として遠く離れるごと
にｉが増加する方向に設定しＳＮ比を向上させる方法。
上記の全ての光学系で、Ｓｈｉｆｔ Ｖａｒｉａｎｔで
あるため、フーリエ変換面の測定範囲で最大のスポット
サイズをｄｍとすると、有効瞳径Ｅａをこのｄｍに光軸
上で対応するスポットサイズとした場合の径以上の値を
とらせる用にした光学系で、平行光を入射させ変調器を
フーリエ光学系に密着させた系を例にとると、変換面ま
での距離をＺとするとＥａはシリンドリカルレンズ系で
は、式７に表される様にする方法。 【式７】Ｅａ＞＝λＺ／ｄｍ これらの方法とこの方法を用いた装置により解決する。 【０００５】 【発明の実施の形態】同上。 【０００６】 【発明の効果】同上の方法により高速に自己回帰モデル
のパワースペクトルを求める事が出来る。
ハイブリット計算装置装置や方法。レーダーやライダ
ー、通信装置や音声認識装置その他のスペクトル計算装
置や方法。 【０００２】 【従来の技術】電子計算装置で、ＦＦＴやＤＦＴを行っ
て計算させていた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】高速に自己回帰モデル
のパワースペクトルを求める方法を求める事。 【０００４】 【課題を解決するための手段】光学的フーリエ変換計算
装置に置いて、電子計算機３で入力に自己回帰モデルの
次数Ｍの係数Ａｉ（ｉ〈＝Ｍ）を周波数変換面での分解
能に依存する独立の成分数ＬＭ以下でｂが一以上の整数
で表される数Ｍ＊ｂ個になるように０を追加し、ゼロ次
をＡ０＝１として、式１で１以下の非負の値に正規化し
Ｃｉとし、液晶等の空間変調器１の振幅透過率Ｔｉに光
軸が０次として遠く離れるごとにｉが増加する方向に又
は、一列に物体面の最小値の負の値の座標が０次、又は
逆に最大値が０次で設定し、又はＡｃｏｕｓｔｉｃ Ｏ
ｐｔｉｃａｌ Ｃｅｌｌの一つの時間サンプル中に全て
のＭ＊ｂ個の係数Ｃｉが有効変調窓の中に存在する用に
ＡＭ変調した入力波形としてに設定し、フーリエ変換用
有効瞳のｉの方向の径をＥａ、変調器の各画素間の距離
をｄＸとすると式４を満たす径Ｅａを持つフーリエ変換
レンズ、フーリエ変換シリンドリカルレンズ系、フーリ
エ変換ホログラムで同等の物、フーリエ変換用光導波路
等のフーリエ変換光学系２で、フーリエ変換を行ない変
換面で光り強度分布ｌ（ｆｉ）ｊを二次元光検出器４で
測定し、増幅器５で増幅し、アナログデジタル変換器６
で変換し、演算装置３で近似的にパワースペクトルＰ
（ｆｉ）ｊを式２、又は、低周波成分はより正確に式３
で求める方法。 【式１】Ｄｉ＝Ｃ０１＊（Ａｉ−Ａｍｉｎ）／（Ａｍａ
ｘ−Ａｍｉｎ）＋Ｃ０ Ｃ０１＋Ｃ０＝１ Ａｍｉｎ：係数Ａｉの最小値 【式３】 【請求項２】Ｇｏｕｔｉｓ法の最適化時や最大エントロ
ピー法のスペクトル計算の簡易的計算用にハイブリッド
スペクトル光学的計算装置において、最大次数Ｍｍａｘ
までの各Ｍ次（ｉ〈＝Ｍ）の予測誤差フィルター列ＥＰ
ｉｊの次数をｉとし、計算する予測誤差フィルター列の
特定化のインデックスをｊとするとこれらを電子計算機
３で計算し、自己回帰モデルの計数列Ａｉｊに変換し、
更にゼロ次をＡ０ｊ＝１として、式１で正規化し、空間
変調素子にｉの方向に一次元的に計数列Ｄｉｊ（ｊ＜＝
Ｍ）を設定し、これを他の次数の係数列をその横のｊ方
向に同様に設定して、光学系のフーリエ変換用有効瞳の
ｉの方向の径をＥａとすると、変調器の各画素間の距離
をｄＸとすると式４を満たす径のシリンドリカルレンズ
系かホログラムで同等の物、又は、同等の物で一次元の
フーリエ変換を多数並列に出来るフーリエ変換光学系２
でフーリエ変換を行ない変換面で光り強度分布ｌ（ｆ
ｉ）ｊを二次元光検出器４で測定し、増幅器５で増幅
し、アナログデジタル変換器６で変換し、演算装置３
で、求める最大エントロピー法による複素振幅スペクト
ルをＭＥ（ｆｉ）ｊとすると式５が成り立つ為パワース
ペクトルＰ（ｆｉ）ｊを之で求め、必要であれば近似的
にパワースペクトルＰ（ｆｉ）ｊを式６で求める方法と
これを利用する装置。 【式４】Ｅａ＞ｄＸ＊Ｍｍａｘ＊ｂ 【式５】Ｉ（ｆｉ）ｊ＝｜Ｃ１ｊ＊ＭＥ（ｆｉ）ｊ＋Ｃ
２ｊ＊Ｎ（ｆｉ）ｊ｜ Ｃ１ｊ＝Ｃ０１／（Ａｍａｘ ｊ−Ａｍｉｎ ｊ） Ｃ２ｊ＝−Ａｍｉｎ ｊ＊Ｃ０１／（Ａｍａｘｊ−Ａｍ
ｉｎｊ）＋Ｃ０ Ａｍａｘ：係数Ａｉの最大値 Ｃ０，Ｃ０１：定数 【式２】Ｐ（ｆｉ）＝Ｃ３／Ｉ（ｆｉ），ｆｉ＞＝２／
（Ｍ＊ｂ＊ｄＸ） Ｃ３＝Ｃ１＊Ｃ１＊Ｐ０，Ｃ１＝Ｃ０１／（Ａｍａｘ−
Ａｍｉｎ） Ｐ０：定数。 【式３】 Ｇｏｕｔｉｓ法の最適化時や最大エントロピー法のスペ
クトル計算の簡易的計算用にハイブリッドスペクトル光
学的計算装置において、最大次数Ｍｍａｘまでの各Ｍ次
（ｉ〈＝Ｍ）の予測誤差フィルター列ＥＰｉｊの次数を
ｉとし、計算する予測誤差フィルター列の特定化のイン
デックスをｊとするとこれらを電子計算機３で計算し、
自己回帰モデルの計数列Ａｉｊに変換し、更にゼロ次を
Ａ０ｊ＝１として、式１で正規化し、空間変調素子にｉ
の方向に一次元的に計数列Ｄｉｊ（ｊ＜＝Ｍ）を設定
し、これを他の次数の係数列をその横のｊ方向に同様に
設定して、光学系のフーリエ変換用有効瞳のｉの方向の
径をＥａとすると、変調器の各画素間の距離をｄＸとす
ると式４を満たす径のシリンドリカルレンズ系がホログ
ラムで同等の物、又は、同等の物で一次元のフーリエ変
換を多数並列に出来るフーリエ変換光学系２でフーリエ
変換を行ない変換面で光り強度分布ｌ（ｆｉ）ｊを二次
元光検出器４で測定し、増幅器５で増幅し、アナログデ
ジタル変換器６で変換し、演算装置３で、求める最大エ
ントロピー法による複素振幅スペクトルをＭＥ（ｆｉ）
ｊとすると式５が成り立つ為パワースペクトルＰ（ｆ
ｉ）ｊを之で求め必要であれば近似的にパワースペクト
ルＰ（ｆｉ）ｊを式６で求める方法。 【式４】Ｅａ＞ｄＸ＊Ｍｍａｘ＊ｂ 【式５】 【式６】Ｐ（ｆｉ）ｊ＝Ｃ３ｊ／Ｉ（ｆｉ）ｊ，ｆｉ＞
＝２／Ｍｍａｘ＊ｂ＊ｄＸ． Ｃ３ｊ＝Ｐｍｊ＊Ｃ１ｊ＊Ｃ１ｊ，Ｐｍｊ：予測誤差フ
ィルターの誤差のパワー。 前記の方法で、信号のＭ次（ｉ＜＝Ｍ）の予測誤差フィ
ルターＥＰｉｊを各種の方法で最大Ｍｍａｘ次まで算出
し、これらのフィルター列群Ａｉｊの最適のフィルター
を選定する一つの評価関数であるスペクトルＰ（ｆｉ）
が同等のｌ（ｆｉ）ｊを測定し次数の決定に役立てる方
法。これをＧｏｕｔｉｓ法の各最適化ループの結果の高
速可視化を並列で行える為の、モニター装置に利用する
方法。上記の方法で、係数Ｄｉｊを光軸に対し直交する
水平軸に対して対称に光軸が０次として遠く離れるごと
にｉが増加する方向に設定しＳＮ比を向上させる方法。
上記の全ての光学系で、Ｓｈｉｆｔ Ｖａｒｉａｎｔで
あるため、フーリエ変換面の測定範囲で最大のスポット
サイズをｄｍとすると、有効瞳径Ｅａをこのｄｍに光軸
上で対応するスポットサイズとした場合の径以上の値を
とらせる用にした光学系で、平行光を入射させ変調器を
フーリエ光学系に密着させた系を例にとると、変換面ま
での距離をＺとするとＥａはシリンドリカルレンズ系で
は、式７に表される様にする方法。 【式７】Ｅａ＞＝λＺ／ｄｍ これらの方法とこの方法を用いた装置により解決する。 【０００５】 【発明の実施の形態】同上。 【０００６】 【発明の効果】同上の方法により高速に自己回帰モデル
のパワースペクトルを求める事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】液晶空間変調装置を用いた自己回帰モデルのパ
ワースペクトル計算装置の一例の概要図。 【図２】上記自己回帰モデルのパワースペクトル計算装
置の一例での係数Ｃｉの設定の概要図。 【図３】ＳＮ比向上型自己回帰モデルのパワースペクト
ル計算装置の一例での係数Ｃｉの設定の概要図。 １、空間変調器。 ２、径Ｅａを持つフーリエ変換光学系。 ３、演算装置。 ４、二次元光検出器。 ５、増幅器。 ６、アナログデジタル変換器。 ７、レーザー、コヒーレント光源。 ８、ビーム エクスパンダー光学系。 ９、偏光板。 １０、光軸。 １１、アナログデジタル変換器用インターフェイス カ
ード。 １２、空間変調器駆動及び駆動サブシステム用インター
フェイス カード。 １３、空間変調器駆動及び制御信号。 １４、主記憶装置。 １５、システム内通信用システムバス。 １６、０を追加された自己回帰モデル係数Ａｉと線形関
係にある透過率分布Ｔｉ。 １７、Ａ０＝１に対応する透過率Ｔ０。 １８、ＡＭに対応する透過率ＴＭ。 １９、最後の追加された係数Ａ Ｍ＊ｂに対応する透過
率Ｔ Ｍ＊ｂ。
ワースペクトル計算装置の一例の概要図。 【図２】上記自己回帰モデルのパワースペクトル計算装
置の一例での係数Ｃｉの設定の概要図。 【図３】ＳＮ比向上型自己回帰モデルのパワースペクト
ル計算装置の一例での係数Ｃｉの設定の概要図。 １、空間変調器。 ２、径Ｅａを持つフーリエ変換光学系。 ３、演算装置。 ４、二次元光検出器。 ５、増幅器。 ６、アナログデジタル変換器。 ７、レーザー、コヒーレント光源。 ８、ビーム エクスパンダー光学系。 ９、偏光板。 １０、光軸。 １１、アナログデジタル変換器用インターフェイス カ
ード。 １２、空間変調器駆動及び駆動サブシステム用インター
フェイス カード。 １３、空間変調器駆動及び制御信号。 １４、主記憶装置。 １５、システム内通信用システムバス。 １６、０を追加された自己回帰モデル係数Ａｉと線形関
係にある透過率分布Ｔｉ。 １７、Ａ０＝１に対応する透過率Ｔ０。 １８、ＡＭに対応する透過率ＴＭ。 １９、最後の追加された係数Ａ Ｍ＊ｂに対応する透過
率Ｔ Ｍ＊ｂ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】光学的フーリエ変換計算装置に置いて、電
子計算機３で入力に自己回帰モデルの次数Ｍの係数Ａｉ
（ｉ＜＝Ｍ）を周波数変換面での分解能に依存する独立
の成分数ＬＭ以下でｂが一以上の整数で表される数Ｍ＊
ｂ個になるように０を追加し、ゼロ次をＡ０＝１とし
て、式１で１以下の非負の値に正規化しＣｉとし、液晶
等の空間変調器１の振幅透過率Ｔｉに光軸が０次として
遠く離れるごとにｉが増加する方向に又は、一列に物体
面の最小値の負の値の座標が０次、又は逆に最大値が０
次で設定し、又はＡｃｏｕｓｔｉｃ Ｏｐｔｉｃａｌ
Ｃｅｌｌの一つの時間サンプル中に全てのＭ＊ｂ個の係
数Ｃｉが有効変調窓の中に存在する用にＡＭ変調した入
力波形としてに設定し、フーリエ変換用有効瞳のｉの方
向の径をＥａ、変調器の各画素間の距離をｄＸとすると
式４を満たす径Ｅａを持つフーリエ変換レンズ、フーリ
エ変換シリンドリカルレンズ系、フーリエ変換ホログラ
ムで同等の物、フーリエ変換用光導波路等のフーリエ変
換光学系２で、フーリエ変換を行ない変換面で光り強度
分布ｌ（ｆｉ）ｊを二次元光検出器４で測定し、増幅器
５で増幅し、アナログデジタル変換器６で変換し、演算
装置３で近似的にパワースペクトルＰ（ｆｉ）ｊを式
２、又は、低周波成分はより正確に式３で求める方法と
これを利用する装置。 【式１】Ｄｉ＝Ｃ０１＊（Ａｉ−Ａｍｉｎ）／（Ａｍａ
ｘ−Ａｍｉｎ）−Ｃ０ Ｃ０１＋Ｃ０＝１ Ａｍｉｎ：係数Ａｉの最小値 Ａｍａｘ：係数Ａｉの最大値 Ｃ０，Ｃ０１：定数 【式２】 【式６】Ｐ（ｆｉ）ｊ＝Ｃ３ｊ／Ｉ（ｆｉ）ｊ，ｆｉ＞
＝２／Ｍｍａｘ＊ｂ＊ｄＸ． Ｃ３ｊ＝Ｐｍｊ＊Ｃ１ｊ＊Ｃ１ｊ，Ｐｍｊ：予測誤差フ
ィルターの誤差のパワー。 【請求項３】上記の方法で、係数Ｄｉｊを、光軸に対し
直交する水平軸に対して対称に光軸が０次として遠く離
れるごとにｉが増加する方向に設定し、ＳＮ比を向上さ
せる方法とこれを用いる装置。 【請求項４】請求項２で、信号のＭ次（ｉ＜＝Ｍ）の予
測誤差フィルターＥＰｉｊを各種の方法で最大Ｍｍａｘ
次まで算出し、これらのフィルター列群Ａｉｊの最適の
フィルターを選定する一つの評価関数であるスペクトル
Ｐ（ｆｉ）か同等のｌ（ｆｉ）ｊを測定し、次数の決定
に役立てる方法とこれを用いる装置。例えば、Ｇｏｕｔ
ｉｓ法の各最適化ループの結果の高速可視化を並列で行
える為の、モニター装置に利用する方法と装置。 【請求項５】上記の全ての光学系で、Ｓｈｉｆｔ Ｖａ
ｒｉａｎｔであるため、フーリエ変換面の測定範囲で最
大のスポットサイズをｄｍとすると、有効瞳径Ｅａをこ
のｄｍに光軸上で対応するスポットサイズとした場合の
径以上の値をとらせる用にした光学系で、平行光を入射
させ変調器をフーリエ光学系に密着させた系を例にとる
と、変換面までの距離をＺとするとＥａはシリンドリカ
ルレンズ系では、式７に表される様にする方法とこれを
用いる装置。 【式７】Ｅａ＞＝λＺ／ｄｍ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9310989A JPH11110061A (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | 自己回帰モデルの光学的スペクトル計算方法と装置。 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9310989A JPH11110061A (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | 自己回帰モデルの光学的スペクトル計算方法と装置。 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11110061A true JPH11110061A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=18011812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9310989A Pending JPH11110061A (ja) | 1997-10-07 | 1997-10-07 | 自己回帰モデルの光学的スペクトル計算方法と装置。 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11110061A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2023386A2 (en) | 1999-04-16 | 2009-02-11 | Fujitsu Microelectronics Limited | Probe card for testing semiconductor device, and semiconductor device test method |
-
1997
- 1997-10-07 JP JP9310989A patent/JPH11110061A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2023386A2 (en) | 1999-04-16 | 2009-02-11 | Fujitsu Microelectronics Limited | Probe card for testing semiconductor device, and semiconductor device test method |
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