JPH11108941A - 磁気状態観察装置および方法、磁気記録装置、ならびに、カンチレバー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 試料の局所的な磁気状態を観察するための磁
気状態観察装置を提供する。 【解決手段】 カンチレバー１に形成される導体パター
ンに電源１１により交流電流を供給して探針１ａに交流
磁界を形成し、カンチレバー１の変位をビーム光源８お
よび光位置検出器９により検出し、検出された変位の前
記交流電流の周波数における振幅および位相をロックイ
ンアンプ１２により抽出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に情
報を記録するための磁気記録装置、局所的な磁気状態を
観察するための磁気状態観察装置および方法、ならび
に、磁気力顕微鏡のカンチレバーに係り、特に、記録の
高密度化に好適な磁気記録装置、微弱な磁気状態を観察
するために好適な、磁気状態観察装置および方法、なら
びに、カンチレバーに関する。

【０００２】

【従来の技術】記憶媒体に情報を記録するための磁気記
録装置として、フロッピーディスクドライブや光磁気デ
ィスクドライブなどが用いられている。これらの装置で
は、磁気ヘッドを用いて記憶媒体の磁気状態を変更して
いる。

【０００３】また、磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）が、磁性体
膜の磁気状態を高空間分解能で観察するために用いられ
ている。磁気力顕微鏡は、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰ
Ｍ）の一種であり、永久磁化された探針がカンチレバー
に設けられている。そして、探針と磁性体膜との間に働
く力が、探針が設けられているカンチレバーの撓みとし
て計測される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、フロッピーデ
ィスク、光磁気ディスクに適用されている技術では、１
μｍ以下の空間分解能を実現することは困難である。

【０００５】一方、磁気力顕微鏡では、永久磁化された
探針を磁性体膜に近接させるため、探針に形成される磁
界が、磁性体膜の保磁力よりも大きいと、磁性体膜の磁
気状態を変えてしまうことが起こり得る。また、磁性体
膜の磁気状態を変化させることにより、磁気情報を記録
しようとしても、磁気状態の変化を生じさせる箇所を任
意に操作することは困難である。

【０００６】さらに、カンチレバーを撓ませる要因に
は、磁性体膜と探針との間の磁気力のほかに、磁性体膜
の起伏形状、磁性体膜と探針との間に働く電気力などが
ある。従来の磁気力顕微鏡では、カンチレバーの撓みを
直流的に計測しているため、磁気力による撓みを、他の
要因による撓みと区別して測定することは困難である。
このため、磁気力以外の要因による撓みが測定の不確定
要因となっている。

【０００７】本発明は、磁気記録の空間分解能が向上さ
れた磁気記録装置を提供することを第１の目的とする。

【０００８】また、試料の局所的な磁気状態を、磁気力
以外の要因による不確定要因を低減することができる磁
気状態観察装置及び方法を提供することを第２の目的と
する。さらに、本明細書では、このような磁気状態観察
装置に好適なカンチレバーを提供することとする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１の態様によれば、試料の表面における
局所的な磁気状態を観察するための磁気状態観察装置に
おいて、探針が形成されたカンチレバーと、前記カンチ
レバーに設けられ、前記探針に磁界を形成するための導
体パターンと、時間的に変化する変動電流を前記導体パ
ターンに供給するための電源と、前記探針の変位を検出
するための変位検出部と、前記変位検出部により検出さ
れた変位から、前記変動電流の時間変化に伴って変化す
る成分を抽出するための抽出部とを有することを特徴と
する磁気状態観察装置が提供される。

【００１０】本発明の第２の態様によれば、試料の表面
における局所的な磁気状態を観察するための磁気状態観
察装置において、探針が設けられたカンチレバーを、探
針の先端を試料の表面に近接させて支持するための支持
部と、前記探針に、強度が変調された磁界を形成するた
めの磁界形成部と、前記カンチレバーの変位のうち、前
記探針に形成された強度変調と同周期で変化する変位成
分の振幅または位相を計測するための計測部とを備える
ことを特徴とする磁気状態観察装置。

【００１１】本発明の第３の態様によれば、媒体に磁気
情報を記録するための磁気記録装置において、探針が形
成されたカンチレバーと、前記カンチレバーに設けら
れ、前記探針に磁界を形成するための導体パターンと、
記録すべき情報に応じた時刻に、直流電流を前記導体パ
ターンに供給するための電源とを有することを特徴とす
る磁気記録装置。

【００１２】本発明の第４の態様によれば、対象の局所
的な磁気状態を検出するためのカンチレバーにおいて、
少なくとも先端部が軟磁性体で形成される探針と、前記
探針を囲む形状の導体パターンとを有することを特徴と
するカンチレバーが提供される。

【００１３】本発明の第５の態様によれば、試料の表面
における局所的な磁気状態を観察するための磁気状態観
察方法において、カンチレバーに設けられた探針の先端
を試料の表面に近接させて支持し、前記探針に、強度が
変調された磁界を形成し、前記カンチレバーの変位のう
ち、前記強度の変調と同周期で変化する変位成分の振幅
または位相を計測することを特徴とする磁気状態観察方
法が提供される。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について説明する。

【００１５】まず、図１を参照して、本発明の第１の実
施の形態について説明する。本実施の形態における磁気
状態観察装置は、磁性体膜などの試料における局所的な
磁気状態を観察するためのものである。

【００１６】図１において、本実施の形態の磁気状態観
察装置１００は、試料となる磁性体膜２を載置するため
の試料台１８と、探針１ａが設けられたカンチレバー１
と、探針１ａに磁界を形成するための電源１１と、カン
チレバー１を支持するためのホルダー３と、探針１ａを
励振するためのセラミック振動子４および発振器６と、
探針１ａおよび磁性体膜を相対移動するための３次元ス
キャナー５および電源７と、カンチレバー１の撓みを検
出するためのビーム光源８および光検出器９と、前記検
出された撓みの前記磁界の変化に伴う変化成分を計測す
るためのロックインアンプ１２と、前記検出された撓み
の前記励振した振動に伴う変化成分を計測するためのロ
ックインアンプ１０と、装置全体を制御するためのコン
トローラ１３とを有して構成される。

【００１７】前記カンチレバー１は、探針１ａに形成さ
れる磁界を用いて、磁性体膜２の表面での局所的な磁気
状態を観察するためのものである。カンチレバー１の詳
細については後述する。

【００１８】前記セラミック振動子４は、ホルダー３に
支持されるカンチレバー１を励振して、探針１ａを、前
記磁性体膜２の表面に垂直な方向に振動させるためのも
のである。セラミック振動子４は、交流電圧を発振器６
から印加されることにより振動する。この振動がホルダ
ー３およびカンチレバー１を介して探針１ａに伝わる。

【００１９】前記３次元スキャナー５は、電源７によっ
て駆動され、探針１ａと磁性体膜２とを３次元的に走査
することができる。これによって、探針１ａおよび磁性
体膜２の間隔を操作することと、探針１ａを磁性体膜２
の表面に沿って走査することとができる。

【００２０】３次元スキャナー５は、例えば、チューブ
型ピエゾ素子を用いて構成することができる。

【００２１】本実施の形態では、カンチレバー１を移動
させることにより、探針１ａと磁性体膜２とを相対移動
させているが、磁性体膜２を移動させる構成でもよい。
磁性体膜２を移動させるためには、例えば、試料台１８
に移動機構を設けることでもよい。

【００２２】前記ビーム光源８および光位置検出器９
は、光てこ法を用いてカンチレバー１の撓みを検出す
る。すなわち、ビーム光源８から射出されたビーム光束
がカンチレバー１の背面で反射され、光位置検出器９の
受光面上に光スポットを形成する。そして、カンチレバ
ー１の撓みが変化すると、受光面上に形成される光スポ
ットの位置が変化する。この変化を、光位置検出器９で
検出する。ビーム光源８としては、例えば、半導体レー
ザを用いることができる。また、光位置検出器９として
は、例えば、２分割された受光素子を用いることができ
る。

【００２３】前記ロックインアンプ１０は、前記光位置
検出器９の出力と、前記発振器６で発振される交流電圧
とを入力する。そして、発振器６から出力された交流電
圧とほぼ同周期で変化する信号成分を、光位置検出器９
の出力から抽出し、その抽出された信号の振幅および位
相を出力する。これにより、セラミック振動子４で励振
される周波数における、探針１ａの振動の振幅および位
相をモニターすることができる。

【００２４】前記ロックインアンプ１２は、前記光位置
検出器９の出力と、電源１１で供給する電流を示す信号
とを入力する。そして、交流電源１１が供給する交流電
流と同周期で変化する信号成分を、光位置検出器９の出
力から抽出し、その抽出された信号の振幅および位相を
出力する。これにより、探針１ａに形成される磁界の変
調周波数（すなわち、交流磁界の周波数）と同周期で変
化する、探針１ａの振動成分を抽出し、その振動成分の
振幅および位相をモニターすることができる。

【００２５】次に、図２および図５を参照して、カンチ
レバーについて説明する。

【００２６】まず、図２を参照して、カンチレバーの構
成について説明する。

【００２７】図２において、カンチレバー１は、支持体
２３と、レバー部２２とを有し、レバー部２２の先端に
は、探針１ａが凸設されている。探針１ａは、少なくと
もその先端部が磁性材料で形成される。

【００２８】また、カンチレバー１の探針１ａが設けら
れている面には、導体パターン２１およびパット２４が
形成されている。導体パターン２１は、探針１ａに磁界
を形成するためのコイル部２１Ｃと、当該コイル部２１
Ｃおよび前記パット２４を接続するためのリード部２１
Ｌとを有する。

【００２９】導体パターン２１は、電気的な導通が得ら
れればよく、例えば、金属で形成される。より具体的に
は、例えば、ニッケルクロムと金とを用いて形成するこ
とができる。

【００３０】また、前記パット２４は、導体パターン２
１の両端に形成されている。パット２４にワイヤーボン
ディングを施すことにより、外部との電気的な接続を容
易に行うことができる。

【００３１】次に、図５を参照して、探針と導体パター
ンとの位置関係、および、磁性材料で形成される探針の
部位について説明する。図５の（ａ）から（ｃ）では、
ハッチングを施した領域１ｍは、磁性材料で形成される
部位を表す。

【００３２】図５の（ａ）において、探針１ａの全体を
含む部位１ｍが磁性材料で形成される。そして、探針１
ａを、この磁性材料で形成される部位１ｍを含んで囲む
形状に、導体パターン２１のコイル部２１Ｃが形成され
ている。なお、コイル部２１Ｃが探針１ａを囲む態様
は、コイル部２１Ｃを流れる電流によって、探針１ａに
磁界を形成できればよく、１周に渡り囲む態様に限ら
ず、また、その経路が閉じていなくてもよい。すなわ
ち、図５の（ａ）のコイル部２１Ｃのように、リード部
２１Ｃに接続する部分で開いていてもよい。もちろん、
１周の４分の３にわたって囲む態様であっても、絶縁体
を挟んで多層化するなどして、複数回囲む態様であって
もよい。

【００３３】また、図５の（ｂ）では、探針１ａの全体
が磁性材料で形成されている。そして、探針の先端部
（四角錐の頂部）の周りに、コイル部２１Ｃが形成され
ている。すなわち、コイル部２１Ｃは、探針１ａの全体
を囲む形状だけではなく、その先端部を含む一部を囲ん
でいればよい。

【００３４】そして、図５の（ｃ）では、探針１ａの磁
性材料で形成される領域１ｍは、探針１ａの先端部を含
む一部となっている。このように、探針１ａは、その少
なくとも先端部が磁性材料で形成されることにより、コ
イル部２１Ｃを流れる電流によって形成される磁界を、
探針１ａの先端近傍に集めることができる。なぜなら、
磁性材料で形成される領域１ｍの透磁率は、他の領域の
透磁率より大きく、コイル部２１Ｃを流れる電流がつく
る磁束が領域１ｍを通るように集束して、探針１ａの先
端近傍における磁界を強め、かつ、他の範囲に及ぶ磁界
を低減するからである。

【００３５】このように、探針１ａの先端部を含む一部
が磁性材料で形成される場合、磁性材料で形成される領
域１ｍを囲むように、コイル部２１Ｃを形成することに
より、発生する磁束のほとんどが領域１ｍを貫く。従っ
て、図５の（ａ）に示す探針１ａの全体を囲むようにコ
イル部２１Ｃを形成する場合より、さらに、磁界を探針
１ａの先端近傍に集めることができる。

【００３６】なお、探針１ａとして導電性の材料、例え
ば、金属材料を用いる場合には、探針１ａと導体パター
ン２１との絶縁をとる必要がある。絶縁の形態として
は、絶縁膜を用いてもよく、図５（ｃ）の様な構造にし
てもよい。

【００３７】探針１ａを形成するための磁性材料として
は、透磁率が大きく、保持力が小さいことが望ましく、
軟磁性体を用いることができる。透磁率が大きいことに
より、磁束を集める効果が向上する。また、保持力が小
さいことにより、探針１ａに形成される磁界の、コイル
部２１Ｃを流れる電流への追従性を向上させることがで
きる。

【００３８】具体的な、磁性材料としては、例えば、マ
グネタイト（Ｆｅ₃Ｏ₄）、鉄、コバルト、ニッケルなど
の磁性を有する金属、各種のフェライト材料、Supermal
loy、Feroxcubeなどの磁性材料を用いることができる。

【００３９】次に、図１および図４を参照して、本実施
の形態の磁気状態観察装置の動作について説明する。

【００４０】図４には、探針１ａおよび導体パターン２
１のみがえがかれているが、これらは、図１のカンチレ
バー１の下面に形成されているものである。

【００４１】まず、図４の（ａ）に示すように、導体パ
ターン２１に対して電流Ｉ_aを流すと、探針１ａには、
下向き（カンチレバーから試料に向かう向き）の磁界Ｈ
_aが形成される。一方、電流を流す向きを逆にして、図
４の（ｂ）に示すように電流Ｉ_bを流すと、探針１ａに
は、上向きの磁界Ｈ_bが形成される。

【００４２】探針１ａを形成する磁性材料としては、透
磁率が大きく、保持力が小さい磁性材料を選ぶことが好
ましく、探針１ａの先端での磁束の大きさと向きとは、
導体パターンに流れる電流の大きさと向きとに追従して
変化する。例えば、導体パターンに印加する電圧を、例
えば１ｋＨｚの交流とすると、カンチレバー１に働く力
が１ｋＨｚで変化するため、カンチレバー１が１ｋＨｚ
で振動する。この１ｋＨｚの振動成分は、純粋に磁気力
によるものであるため、このカンチレバー１の１ｋＨｚ
での振動振幅および位相をロックインアンプ１２で検出
することで、磁性体膜２の局所的な磁気特性を計測でき
る。

【００４３】より一般的には、導体パターンに対して、 Ｉ＝Ｉ_dc＋Ｉ_ac・ｃｏｓ（ω・ｔ） の電流を流して、ω成分でのカンチレバーの振動の振幅
および位相（電流の位相を基準とする位相）を検出す
る。ただし、Ｉ_dcおよびＩ_acは、任意の定数である。

【００４４】次に、図３の（ａ）から（ｅ）を参照し
て、カンチレバーを作成するためのプロセスについて説
明する。

【００４５】まず、図３の（ａ）に示すステップにおい
て、厚さ２５０μｍの（１００）方位のシリコンウェハ
ー５１に約０．２μｍ厚の熱酸化膜５２および５３を成
膜する。そして、探針を形成するための６μｍ角の開口
を、表の熱酸化膜５２にフォトリソグラフィー法により
形成する。シリコンウェハー５１の開口により露出され
た部分に、ＴＭＡＨにより異方性エッチングして、ピッ
ト部６０をピラミッド型に形成する。

【００４６】次に、図３の（ｂ）に示すステップにおい
て、マグネタイトをスパッタ蒸着した後、レジストを除
去してピット部６０にのみ０．１μｍ厚のマグネタイト
膜５４を形成する。

【００４７】次に、図３の（ｃ）に示すステップにおい
て、シリコンウェハー５１の表側に、フォトリソグラフ
ィー法によりパターンニングし、ニッケルクロム／金
（２ｎｍ／３０ｎｍ）のパターン５５をスパッタ蒸着に
より形成する。

【００４８】そして、図３の（ｄ）に示すステップにお
いて、シリコンウェハー５１のピット部６０が形成され
た面に０．７μｍの窒化シリコン５６をスパッタ蒸着に
より成膜した後、この窒化シリコン５６をフォトリソグ
ラフィー法によりパターンニングし、ピット部６０を先
端に有するカンチレバーの形状に形成する。

【００４９】さらに、図３の（ｅ）に示すステップにお
いて、窒化シリコン５６にガラスの支持体５７を接着し
た後、裏面のシリコン酸化膜５３、および、シリコンウ
ェハー５１をエッチングにより除去し、片持ちバネのカ
ンチレバー構造を形成する。

【００５０】次に、図１を参照して、本実施の形態にお
ける磁気状態観察装置を用いて、磁性体膜の局所的な磁
性状態を観察するための手順について説明する。

【００５１】はじめに、探針１ａを磁性体膜２表面に近
接させる。

【００５２】探針１が磁性体膜２表面に近接する状態と
するために、カンチレバー１の共振周波数２５０ｋＨｚ
より僅かに高い周波数のサイン波の交流電圧を発振器６
で発生し、その交流電圧をセラミック振動子４に印加す
る。これにより、前記サイン波でカンチレバー１が励振
され、カンチレバー１は、磁性体膜２に垂直な方向に振
動する。カンチレバー１が振動している状態で、探針１
ａを磁性体膜２表面に近接させると、探針１ａおよび磁
性体膜２の間に働くファンデルワールス力によりカンチ
レバー１の振動状態が変化する。この変化をビーム光源
８および光位置検出器９ならびにロックインアンプ１０
により検知する。そして、検知したカンチレバー１の振
動状態の変化をコントローラ１３に入力させ、その入力
信号に基づきカンチレバー１の振動状態が一定になるよ
うに、コントローラ１３は、３次元スキャナー５をフィ
ードバック制御する。これにより、探針１ａを磁性体膜
２表面に近接させた状態で保持することができる。

【００５３】また、探針１ａを一旦磁性体膜２表面に接
触させた後に、微小量だけ磁性体膜２から引き離しても
よい。この場合には、セラミック振動子４を使わずに探
針１ａを磁性体膜２表面に近接させることができる。従
って、磁性体膜２に探針１ａを接触させてもよい場合に
は、磁気状態観察装置１００を、セラミック振動子４を
省略した構成とすることができる。

【００５４】前述のようにして探針１ａを磁性体膜２表
面に近接させた状態で、導体パターンの両端に２０ｋＨ
ｚの交流電圧を印加して交流電流を流す。このとき、探
針１ａと磁性体の磁性体膜２との間に働く磁気力によ
り、カンチレバーは２０ｋＨｚで振動する。この振動の
振幅および位相をロックインアンプ１２で検出する。こ
の検出を、探針１ａを磁性体膜ａ上を走査させながら行
うことにより、磁性体膜２の表面における磁気状態の分
布を示す情報を得ることができる。

【００５５】このようにして、探針１ａに形成される磁
界に変調を与えた状態で、探針１ａおよび磁性体膜２の
間に働く磁気力を、上記変調周波数における振動状態で
検出することにより、磁気力以外の要因による影響を低
減して磁気状態の観察を行うことができる。

【００５６】次に、図１を参照して、本発明の第２の実
施の形態について説明する。本実施の形態における磁気
記録装置は、磁性体膜などの記憶媒体の表面での、磁気
状態を局所的に変化させて情報を記録するためのもので
ある。

【００５７】本実施の形態の磁気記録装置は、第１の実
施の形態における磁気情報観察装置と同様に構成するこ
とができる。ただし、探針１ａに磁界を形成するための
電源１１が、コントローラ１３からの指示に応じて、直
流電流を供給することにおいて相違する。

【００５８】この直流電流は、前記磁気情報観察装置の
場合の交流電流の振幅より大きな電流値とする。より具
体的には、磁性体膜２の保持力を越える大きさの磁界
を、探針１ａの先端近傍に形成することができる電流値
とする。これにより、磁性体膜２の探針１ａ直下におけ
る磁化状態を変化させ、記録すべき情報を表す磁化状態
とすることができる。このとき、探針１ａに直流電流を
流すタイミングは、記録すべき情報に応じてコントロー
ラ１３により制御される。これにより、磁化状態の変化
が不要な部位に探針１ａが対応している状態では、探針
１ａに磁界を形成せず、磁化状態の変化を避けることが
できる。

【００５９】なお、このようにして、探針１ａにより磁
性体膜２の磁化状態を変更する際には、カンチレバー１
の撓みは、必ずしも検出する必要がない。従って、探針
１ａおよび磁性体膜２が接触する状態に、カンチレバー
１を支持してもよい。

【００６０】このようにして記録した情報は、第１の実
施の形態において前述した手順と同様にして磁気状態を
観察して、情報を取得することができる。また、電源１
１が交流電流および直流電流を出力するものであるなら
ば、磁気情報の観察および磁気記録を両方行うことがで
きる。別々の装置で磁気記録、磁気観察を行う場合と比
較して、同じ位置で記録・観察を行う際に、プロープの
位置決めを省略することができるといった利点がある。

【００６１】なお、磁性体膜２の磁気状態を観察して、
現在探針１ａが対応している記録トラック、記録ブロッ
クなどを示す情報を取得し、情報を記録すべき部位に探
針１ａが対応したときに、前述の記録の動作を行っても
よい。

【００６２】磁性体膜２の磁化状態を変化させるための
磁界は、カンチレバー１の探針１ａの微小な先端付近に
集中させることができる。このため、磁化状態の変化を
局所的に起こさせることが可能となる。従って、情報を
記録する空間分解能を向上させることができる。

【００６３】

【発明の効果】本発明によれば、磁性体膜の任意位置に
局所的に、磁性情報を書き込むことができる。このた
め、磁気記録の空間分解能は、カンチレバーに形成され
る微小な探針の先端程度まで向上させることができる。
従って、高い空間分解能で記録することができる磁気記
録装置が提供される。

【００６４】また、探針に形成する磁界の変調に伴う、
磁気力を、他の要因による影響を低減して計測すること
ができる。従って、試料の局所的な磁気状態を、磁気力
以外の要因による影響を低減して観察することができる
磁気状態観察装置及び方法が提供される。

【００６５】そして、カンチレバーに形成される探針の
先端近傍に磁界を集中させ、かつ、その磁界が残留する
ことを避けることができる。このようなカンチレバー
は、前述の磁気観察装置、および磁気記録装置に好適に
用いることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 磁気状態観察装置または磁気記録装置の構成
を示すブロック図である。

【図２】 カンチレバーを示す斜視図である。

【図３】 カンチレバーの作製プロセスを示す断面図で
ある。

【図４】 パターンに流れる電流と、探針に形成される
磁界との関係を示す斜視図である。

【図５】 カンチレバーにおける、磁性材料と、探針
と、パターンとの位置関係を示す説明図である。

【符号の説明】

１…カンチレバー、１ａ…探針、１ｍ…磁性材料、２…
磁性体膜、３…ホルダー、４…セラミック振動子、５…
３次元スキャナー、６…発振器、７…電源、８…ビーム
光源、９…光位置検出器、１０…ロックインアンプ、１
１…電源、１２…ロックインアンプ、１３…コントロー
ラー、２１…導体パターン、２２…レバー、２３…支持
体、２４…パット。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料の表面における局所的な磁気状態を
   観察するための磁気状態観察装置において、 探針が形成されたカンチレバーと、 前記カンチレバーに設けられ、前記探針に磁界を形成す
   るための導体パターンと、 時間的に変化する変動電流を前記導体パターンに供給す
   るための電源と、 前記探針の変位を検出するための変位検出部と、 前記変位検出部により検出された変位から、前記変動電
   流の時間変化に伴って変化する成分を抽出するための抽
   出部とを有することを特徴とする磁気状態観察装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の磁気状態観察装置におい
   て、 前記探針は、軟磁性体で形成されることを特徴とする磁
   気状態観察装置。
3. 【請求項３】 試料の表面における局所的な磁気状態を
   観察するための磁気状態観察装置において、 探針が設けられたカンチレバーを、探針の先端を試料の
   表面に近接させて支持するための支持部と、 前記探針に、強度が変調された磁界を形成するための磁
   界形成部と、 前記カンチレバーの変位のうち、前記探針に形成された
   磁界の強度変調と同周期で変化する変位成分の振幅また
   は位相を計測するための計測部とを備えることを特徴と
   する磁気状態観察装置。
4. 【請求項４】 媒体に磁気情報を記録するための磁気記
   録装置において、 探針が形成されたカンチレバーと、 前記カンチレバーに設けられ、前記探針に磁界を形成す
   るための導体パターンと、 記録すべき情報に応じた時刻に、直流電流を前記導体パ
   ターンに供給するための電源とを有することを特徴とす
   る磁気記録装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の磁気記録装置において、 前記探針は、軟磁性体で形成されることを特徴とする磁
   気記録装置。
6. 【請求項６】 対象の局所的な磁気状態を検出するため
   のカンチレバーにおいて、 少なくとも先端部が軟磁性体で形成される探針と、 前記探針を囲む形状の導体パターンとを有することを特
   徴とするカンチレバー。
7. 【請求項７】 請求項６記載のカンチレバーにおいて、 前記探針は、四角錐状に形成され、外周の面に磁性体膜
   が形成されていることを特徴とするカンチレバー。
8. 【請求項８】 請求項７記載のカンチレバーにおいて、 カンチレバー支持部に形成されるパットを備え、 前記導体パターンは、前記探針を囲むコイル部と、当該
   コイル部および前記パットを接続するためのリード部と
   を有する形状に形成されることを特徴とするカンチレバ
   ー。
9. 【請求項９】 試料の表面における局所的な磁気状態を
   観察するための磁気状態観察方法において、 カンチレバーに設けられた探針の先端を試料の表面に近
   接させて支持し、 前記探針に、強度が変調された磁界を形成し、 前記カンチレバーの変位のうち、前記強度の変調と同周
   期で変化する変位成分の振幅または位相を計測すること
   を特徴とする磁気状態観察方法。