JPH1098315A - Dielectric laminated device, its manufacture and mobile communication equipment - Google Patents

Dielectric laminated device, its manufacture and mobile communication equipment

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JPH1098315A
JPH1098315A JP9188481A JP18848197A JPH1098315A JP H1098315 A JPH1098315 A JP H1098315A JP 9188481 A JP9188481 A JP 9188481A JP 18848197 A JP18848197 A JP 18848197A JP H1098315 A JPH1098315 A JP H1098315A
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JP
Japan
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dielectric
line
strip line
laminated
strip
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Application number
JP9188481A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideaki Nakakubo
英明 中久保
Toshio Ishizaki
俊雄 石崎
Toru Yamada
徹 山田
Hiroshi Kagata
加賀田博司
Tatsuya Inoue
竜也 井上
Shoichi Kitazawa
祥一 北沢
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH1098315A publication Critical patent/JPH1098315A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the reliability of the mounting of a dielectric laminated device and to improve the non-load Q of a dielectric laminated resonator. SOLUTION: This device is provided with a dielectric including a low- temperature sintered material, a strip line 49 buried into the dielectric, an input/ output electrode 42 connected to the line 49, exposed to a surface along the line direction of the line 49 among the outer surface of the dielectric and formed along the layer direction of the laminated structure of the dielectric, a first shield electrode 44 formed on the top surface of the dielectric, a side surface shield electrode 48 and a ground electrode 46 formed on a side surface.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、主として携帯電話
などの高周波無線機器等に用いられる誘電体積層デバイ
ス、その製造方法及び移動体通信装置に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric laminated device mainly used for high-frequency radio equipment such as a cellular phone, a method of manufacturing the same, and a mobile communication device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、移動体通信の発展にともない、携
帯に便利な小型の携帯電話に対する強い要望がある。特
に誘電体積層共振器を用いた誘電体フィルタは、携帯電
話の無線回路に使われる高周波部品の中で最も重要な部
品のひとつであるため、小型、高性能化が強く求められ
ている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the development of mobile communication, there has been a strong demand for a small portable telephone which is convenient to carry. In particular, a dielectric filter using a dielectric laminated resonator is one of the most important components among high-frequency components used in a wireless circuit of a mobile phone, and therefore, a small size and high performance are strongly required.

【0003】以下に図面を参照しながら、上記した従来
の誘電体積層共振器の一例について説明する。図41は
従来の誘電体積層共振器の分解斜視図を示すものであ
る。また、図42は図41における線X−X’を含む面
の断面図を示すものである。さらに、図43は図41に
おける線Y−Y’を含む面の断面図を示すものである。
An example of the above-described conventional dielectric laminated resonator will be described below with reference to the drawings. FIG. 41 is an exploded perspective view of a conventional dielectric laminated resonator. FIG. 42 is a cross-sectional view of a plane including line XX ′ in FIG. FIG. 43 is a sectional view of a plane including a line YY ′ in FIG.

【0004】図41、図42、図43において、第1の
誘電体シート201の上にストリップ線路202を形成
し、ストリップ線路202の上下に積層した誘電体シー
ト201、203を介してそれぞれシールド電極204
を設ける。ストリップ線路202の一端を接地電極20
5を介して接地することによって先端短絡ストリップ線
路共振器が構成される。ストリップ線路の長さが4分の
1波長となる周波数で開放端でのインピーダンスが無限
大となり並列共振する。このような構造の誘電体積層共
振器は、例えば、特開平2−290303号公報に開示
された図1などに示されている。
In FIG. 41, FIG. 42, and FIG. 43, a strip line 202 is formed on a first dielectric sheet 201, and shield electrodes are respectively provided via dielectric sheets 201 and 203 stacked on and under the strip line 202. 204
Is provided. One end of the strip line 202 is connected to the ground electrode 20.
By grounding via 5, a short-circuited stripline resonator at the tip is formed. At the frequency where the length of the strip line becomes a quarter wavelength, the impedance at the open end becomes infinite and parallel resonance occurs. A dielectric laminated resonator having such a structure is shown in, for example, FIG. 1 disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-290303.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな従来の構成では、共振器の薄型化及び小型化は可能
であるが、ストリップ線路をスクリーン印刷で形成する
ので、線路厚みを20μm以上に形成することが困難で
あり、また、ストリップ線路を誘電体シートの上に形成
することで凸部が生じ、ストリップ線路の上下に誘電体
シートを積層して加圧することで、ストリップ線路の側
辺のエッジがつぶれてしまい、ストリップ線路の側辺部
分の線路厚みを薄くしてしまっている。したがって、高
周波電流はストリップ線路の側辺に集中することから、
ストリップ線路の導体損失が大きくなり、無負荷Qが低
下するという課題を有していた。又、ストリップ線路を
外部回路と接続させるための入出力電極を取り付ける別
工程が必要であった。
However, in the above-described conventional structure, the thickness and thickness of the resonator can be reduced, but the strip line is formed by screen printing, so that the line thickness is formed to 20 μm or more. It is difficult to form the strip line on the dielectric sheet, and a convex portion is generated. The edge has been crushed, and the line thickness at the side of the strip line has been reduced. Therefore, since the high frequency current is concentrated on the side of the strip line,
There has been a problem that the conductor loss of the strip line increases and the no-load Q decreases. In addition, a separate step of attaching input / output electrodes for connecting the strip line to an external circuit is required.

【0006】本発明は、誘電体積層デバイスの実装の信
頼性向上が、入出力電極を実質上別部品として扱うこと
なく行える誘電体積層デバイス、その製造方法及びそれ
を用いた移動体通信装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、誘電体積層デバイスの性能を良好に保
持しながら、小型で低コストの誘電体積層デバイス、そ
の製造方法及びそれを用いた移動体通信装置を提供する
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a dielectric laminated device capable of improving the reliability of mounting of the dielectric laminated device without substantially treating the input / output electrodes as separate components, a method of manufacturing the same, and a mobile communication device using the same. The purpose is to provide.
Another object of the present invention is to provide a small-sized and low-cost dielectric laminated device, a method of manufacturing the same, and a mobile communication device using the same while maintaining good performance of the dielectric laminated device.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明
は、低温焼結材料を含む誘電体部材と、前記誘電体部材
に埋め込まれたストリップ線路と、前記ストリップ線路
に接続されており、前記誘電体部材の外面の内、前記ス
トリップ線路の線路方向に沿った面に露出した入出力電
極とを備えた誘電体積層デバイスである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a dielectric member including a low-temperature sintering material, a strip line embedded in the dielectric member, and connected to the strip line. A dielectric laminated device including an input / output electrode exposed on a surface along a line direction of the strip line among outer surfaces of the dielectric member.

【0008】請求項4記載の本発明は、低温焼結材料を
含む誘電体部材と、前記誘電体部材に埋め込まれたスト
リップ線路とを備え、前記ストリップ線路の厚み又は幅
が、前記ストリップ線路の線路方向を基準として変化し
ている誘電体積層デバイスである。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a dielectric member including a low-temperature sintering material, and a strip line embedded in the dielectric member, wherein the thickness or width of the strip line is less than that of the strip line. This is a dielectric laminated device that changes with reference to the line direction.

【0009】請求項5記載の本発明は、低温焼結材料を
含む誘電体部材と、前記誘電体部材に埋め込まれた複数
のストリップ線路と、前記複数のストリップ線路の一方
又は他方の側の前記誘電体部材に埋め込まれ結合電極
と、前記複数のストリップ線路の一方又は他方の側の前
記誘電体部材に埋め込まれ入出力結合電極とを備え、前
記ストリップ線路の厚みが、前記結合電極及び前記入出
力結合電極の各厚みよりも大きい誘電体積層デバイスで
ある。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a dielectric member including a low-temperature sintering material, a plurality of striplines embedded in the dielectric member, and the one or other side of the plurality of striplines. A coupling electrode embedded in a dielectric member; and an input / output coupling electrode embedded in the dielectric member on one or the other side of the plurality of strip lines, wherein the thickness of the strip line is reduced by the coupling electrode and the input electrode. It is a dielectric laminated device larger than each thickness of the output coupling electrode.

【0010】請求項7記載の本発明は、複数の誘電体シ
ートが積層された誘電体部材と、前記誘電体部材の外面
に配置されたシールド電極と、前記複数の誘電体シート
の内、一部の誘電体シートの内部に埋め込まれた、電極
材料により形成されたストリップ線路と、前記ストリッ
プ線路に接続されており、前記誘電体部材の外面の内、
前記ストリップ線路の線路方向に沿った面に露出した入
出力電極とを備えた誘電体積層デバイスである。
[0010] According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a dielectric member in which a plurality of dielectric sheets are stacked, a shield electrode disposed on an outer surface of the dielectric member, and one of the plurality of dielectric sheets. A strip line formed of an electrode material and embedded in the inside of the dielectric sheet of the portion, connected to the strip line, and an outer surface of the dielectric member,
A dielectric laminated device including an input / output electrode exposed on a surface of the strip line along a line direction.

【0011】請求項9記載の本発明は、第1及び第2及
び第3の誘電体シートを含む複数の誘電体シートが積層
された誘電体部材と、前記誘電体部材の外面に配置され
たシールド電極と、前記第1の誘電体シートの内部に埋
め込まれた、電極材料により形成された第1のストリッ
プ線路と、前記第1の誘電体シートの一方の面に積層さ
れた前記第2の誘電体シートの内部に埋め込まれた、前
記電極材料により形成された第2のストリップ線路と、
前記第1の誘電体シートの他方の面に積層された前記第
3の誘電体シートの内部に埋め込まれた、前記電極材料
により形成された第3のストリップ線路とを有し、前記
第2及び第3のストリップ線路の面は、前記第1のスト
リップ線路の線路方向に沿って前記第1のストリップ線
路の面に接触しており、前記第2及び第3のストリップ
線路のそれぞれの長さは前記第1のストリップ線路の長
さに比べて短く、前記第1のストリップ線路の一端は、
前記2及び第3のストリップ線路の一端と共に電気的に
開放されており、前記第1のストリップ線路の他端は前
記誘電体部材の外面に配置された接地電極に電気的に接
続されている誘電体積層デバイスである。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a dielectric member in which a plurality of dielectric sheets including first, second, and third dielectric sheets are laminated, and the dielectric member is disposed on an outer surface of the dielectric member. A shield electrode, a first strip line formed of an electrode material, embedded in the first dielectric sheet, and the second strip line laminated on one surface of the first dielectric sheet. A second strip line formed of the electrode material, embedded in a dielectric sheet;
A third strip line formed of the electrode material and embedded in the third dielectric sheet laminated on the other surface of the first dielectric sheet; The surface of the third strip line is in contact with the surface of the first strip line along the line direction of the first strip line, and the length of each of the second and third strip lines is One end of the first strip line is shorter than the length of the first strip line,
A dielectric is electrically open together with one end of the second and third strip lines, and the other end of the first strip line is electrically connected to a ground electrode disposed on an outer surface of the dielectric member. It is a body laminated device.

【0012】請求項18記載の本発明は、複数の開口部
を有する第1の誘電体シートと、前記複数の開口部に電
極を埋め込んで形成した複数のストリップ線路と、前記
第1の誘電体シートの一方の面に積層された第2の誘電
体シートと、前記第1の誘電体シートの他方の面に積層
された第3の誘電体シートと、前記第2の誘電体シート
に内層された、前記複数のストリップ線路との間に結合
容量を形成する結合電極と、前記第3の誘電体シートに
内層された、前記複数のストリップ線路との間に入出力
容量を形成する入出力結合電極と、前記第2の誘電体シ
ートの上面に設けられた第1のシールド電極と、前記第
3の誘電体シートの下面に設けられた第2のシールド電
極とを備え、前記複数のストリップ線路の一端が接地電
極に接続されており、前記複数のストリップ線路の他端
は開放されており、前記第1から第3の誘電体シートが
同じセラミック材料を用い一体焼成されている誘電体積
層フィルタである。
According to the present invention, there is provided a first dielectric sheet having a plurality of openings, a plurality of strip lines formed by embedding electrodes in the plurality of openings, and the first dielectric sheet. A second dielectric sheet laminated on one side of the sheet, a third dielectric sheet laminated on the other side of the first dielectric sheet, and an inner layer on the second dielectric sheet; A coupling electrode for forming a coupling capacitance between the plurality of strip lines, and an input / output coupling for forming an input / output capacitance between the plurality of strip lines, which is formed on the third dielectric sheet. An electrode, a first shield electrode provided on an upper surface of the second dielectric sheet, and a second shield electrode provided on a lower surface of the third dielectric sheet; Is connected to the ground electrode The other end of the plurality of strip lines are open, said first to third dielectric sheet is a dielectric multilayer filter that has been integrally sintered with the same ceramic material.

【0013】請求項19記載の本発明は、誘電体シート
に導電性部材を埋め込むための埋め込み用空間を形成す
る埋め込みよう空間形成工程と、前記埋め込み用空間に
導電性部材を埋め込み、ストリップ線路とそのストリッ
プ線路に接続させる入出力電極とを形成する埋め込み工
程と、前記ストリップ線路及び前記入出力電極の形成さ
れた誘電体シートに他の誘電体シートを単数又は複数積
層して積層体を形成する積層工程とを備えた誘電体積層
デバイスの製造方法であって、前記入出力電極を、前記
3つの工程に基づいて製造される誘電体積層デバイスの
外面の内、前記ストリップ線路の線路方向に沿った面に
露出させる様に製造する誘電体積層デバイスの製造方法
である。
According to a nineteenth aspect of the present invention, there is provided an embedding space forming step of forming an embedding space for embedding a conductive member in a dielectric sheet, and embedding the conductive member in the embedding space to form a strip line. An embedding step of forming input / output electrodes to be connected to the strip line, and forming a laminate by laminating one or more other dielectric sheets on the dielectric sheet on which the strip line and the input / output electrodes are formed. A method of manufacturing a dielectric laminated device, comprising: laminating the input / output electrodes along a line direction of the strip line on an outer surface of the dielectric laminated device manufactured based on the three steps. This is a method of manufacturing a dielectric laminated device manufactured so as to be exposed on the side of the substrate.

【0014】請求項21記載の本発明は、複数の誘電体
シートに導電性部材を埋め込むための埋め込み用空間を
形成する埋め込みよう空間形成工程と、前記複数の誘電
体シートの内、一の誘電体シートの前記埋め込み用空間
に導電性部材を埋め込みストリップ線路を形成するスト
リップ線路形成工程と、前記複数の誘電体シートの内、
別の誘電体シートの前記埋め込み用空間に導電体部材を
埋め込み入出力電極を形成する入出力電極形成工程と、
前記入出力電極と前記ストリップ線路を接続させる様
に、前記導電性部材が埋め込まれた誘電体シートを積層
し、その積層された誘電体シートの上に他の誘電体シー
トを単数又は複数積層して積層体を形成する積層工程と
を備えた誘電体積層デバイスの製造方法であって、前記
入出力電極を、前記積層体の外面の内、前記ストリップ
線路の線路方向に沿った面に露出させる様に製造する誘
電体積層デバイスの製造方法である。
According to a twenty-first aspect of the present invention, there is provided an embedding space forming step of forming an embedding space for embedding a conductive member in a plurality of dielectric sheets, and one of the plurality of dielectric sheets. A strip line forming step of forming a strip line by embedding a conductive member in the embedding space of the body sheet; and, among the plurality of dielectric sheets,
An input / output electrode forming step of forming an input / output electrode by embedding a conductive member in the embedding space of another dielectric sheet,
In order to connect the input / output electrode and the strip line, a dielectric sheet in which the conductive member is embedded is laminated, and one or more other dielectric sheets are laminated on the laminated dielectric sheet. A lamination step of forming a laminated body by exposing the input / output electrodes to a surface of the outer surface of the laminated body along a line direction of the strip line, among the outer surfaces of the laminated body. This is a method for manufacturing a dielectric laminated device manufactured in the same manner.

【0015】請求項23記載の本発明は、誘電体シート
に導電性部材を埋め込むための埋め込み用空間を形成す
る埋め込み用空間形成工程と、前記埋め込み用空間に導
電性部材を埋め込み、ストリップ線路を形成する埋め込
み工程と、前記ストリップ線路の形成された複数の誘電
体シート及び他の誘電体シートを積層して積層体を形成
する積層工程とを備えた誘電体積層デバイスの製造方法
であって、前記複数の誘電体シートの各層に埋め込まれ
たストリップ線路の内、一のストリップ線路の線路長さ
が他のストリップ線路の線路長さより長い誘電体積層デ
バイスの製造方法である。
According to a twenty-third aspect of the present invention, there is provided an embedding space forming step of forming an embedding space for embedding a conductive member in a dielectric sheet, and embedding the conductive member in the embedding space to form a strip line. A method of manufacturing a dielectric laminated device, comprising: an embedding step of forming; and a laminating step of laminating a plurality of dielectric sheets on which the stripline is formed and another dielectric sheet to form a laminate. A method of manufacturing a dielectric laminated device in which, among strip lines embedded in each layer of the plurality of dielectric sheets, a line length of one strip line is longer than a line length of another strip line.

【0016】請求項25記載の本発明は、上記何れか一
つの誘電体積層デバイスを用いた移動体通信装置であ
る。
According to a twenty-fifth aspect of the present invention, there is provided a mobile communication apparatus using any one of the above-described dielectric laminate devices.

【0017】請求項26記載の本発明は、上記何れか一
つの誘電体積層デバイスの製造方法により製造した誘電
体積層デバイスを用いた移動体通信装置である。
According to a twenty-sixth aspect of the present invention, there is provided a mobile communication apparatus using a dielectric laminate device manufactured by any one of the above-described methods for manufacturing a dielectric laminate device.

【0018】以上の構成によれば、例えば、誘電体シー
トの開口部に電極を埋め込んでストリップ線路と入出力
電極を設けることにより、共振器の性能を良好に保持し
ながら、小型で信頼性の高い誘電体積層デバイス、その
製造方法及びそれを用いた移動体通信装置を実現するこ
とができる。
According to the above arrangement, for example, by providing a strip line and an input / output electrode by burying an electrode in the opening of the dielectric sheet, a small-sized and reliable A high dielectric laminate device, a method of manufacturing the same, and a mobile communication device using the same can be realized.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下本発明の一実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。 (実施形態1)図1は、本発明の誘電体積層デバイスの
一実施の形態における誘電体積層共振器の斜視図であ
る。また、図2は、図1に示した誘電体積層共振器の分
解斜視図である。さらに、図3は、図1の誘電体積層共
振器における線X−X’を含む面の断面図である。又、
図32〜図34は、本実施形態の誘電体積層共振器の製
造工程の概略図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. (Embodiment 1) FIG. 1 is a perspective view of a dielectric laminated resonator according to an embodiment of the dielectric laminated device of the present invention. FIG. 2 is an exploded perspective view of the dielectric laminated resonator shown in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of a plane including line XX ′ in the dielectric laminated resonator of FIG. or,
FIGS. 32 to 34 are schematic views showing the steps of manufacturing the dielectric laminated resonator of the present embodiment.

【0020】ここでは、先ず、図32〜図34を参照し
ながら、本実施形態の誘電体積層共振器の製造工程につ
いての概要を述べ、次に、その詳細を説明しながら、同
誘電体積層共振器の構成を同時に説明する。
Here, first, an outline of a manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 32 to 34, and then the dielectric laminated resonator will be described in detail. The configuration of the resonator will be described at the same time.

【0021】即ち、図32に示すように、誘電体シート
401はパンチャーもしくは打ち抜き金型等によって打
ち抜かれた複数の開口部404を有している。
That is, as shown in FIG. 32, the dielectric sheet 401 has a plurality of openings 404 punched by a puncher or a punching die.

【0022】前記誘電体シート401は下方に配置した
誘電体シート403と積層され、開口部404に銀ペー
ストもしくはメタルプレート等の電極材料を埋め込んで
ストリップ線路405を形成し、その後、更に誘電体シ
ート401の上方に配置した誘電体シート402と積層
される。
The dielectric sheet 401 is laminated with a dielectric sheet 403 disposed below, and a strip line 405 is formed by embedding an electrode material such as a silver paste or a metal plate in the opening 404, and then further forming a dielectric sheet. It is laminated with a dielectric sheet 402 arranged above 401.

【0023】その後、図33に示すように、上記の各誘
電体シート401、402、403を積層して形成され
た積層体410は、プレスされる。そして、積層体41
0は、図34に示すように切断されて、同一形状の6個
の切断個片411となる。即ち、この切断工程では、積
層体410を、ストリップ線路405の端面あるいは断
面が、各切断個片411の側面に露出するように、切断
するものである。尚、図33に示した点線により、積層
体410の切断箇所の概略を示す。
Thereafter, as shown in FIG. 33, the laminated body 410 formed by laminating the respective dielectric sheets 401, 402, 403 is pressed. Then, the laminate 41
0 is cut as shown in FIG. 34 into six cut pieces 411 of the same shape. That is, in this cutting step, the laminated body 410 is cut such that the end face or the cross section of the strip line 405 is exposed on the side face of each cutting piece 411. It should be noted that the dotted line shown in FIG.

【0024】さらに、切断個片411は、焼成工程にお
いて、銀の融点である960℃以下で焼成され、焼成
後、外部電極が焼き付けられる。
Further, in the firing step, the cut pieces 411 are fired at 960 ° C. or less, which is the melting point of silver, and after firing, the external electrodes are baked.

【0025】以上のような製造工程によって作成された
誘電体積層共振器について、次に、図1〜図3を参照し
ながら、上記切断工程後の製造工程を中心に更に詳細に
説明し、同時に同誘電体積層共振器の構成も述べる。
Next, the laminated dielectric resonator manufactured by the above-described manufacturing process will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 3, focusing on the manufacturing process after the cutting process. The configuration of the dielectric laminated resonator will also be described.

【0026】図1、図2及び図3において、1は第1の
誘電体シート、2は第2の誘電体シート、3は第3の誘
電体シートである。これらの誘電体シートには40μm
以上の厚みを有するグリーンシート化した低温焼結誘電
体セラミックが使用される。
In FIGS. 1, 2 and 3, reference numeral 1 denotes a first dielectric sheet, 2 denotes a second dielectric sheet, and 3 denotes a third dielectric sheet. These dielectric sheets have a thickness of 40 μm.
A low-temperature sintered dielectric ceramic formed into a green sheet having the above thickness is used.

【0027】第1の誘電体シート1には、開口部(即
ち、打ち抜き孔)4が形成されている。この開口部4
は、パンチャーもしくは打ち抜き金型等によって打ち抜
かれた直方体の空間である。開口部4は、第1の誘電体
シート1の一側面から対向する他の側面まで伸びる形で
形成されると共に、その両端面(即ち、断面)は、上記
一側面及び他の側面の中央に配置される様に形成されて
いる。
Openings (ie, punched holes) 4 are formed in the first dielectric sheet 1. This opening 4
Is a rectangular parallelepiped space punched by a puncher or a punching die. The opening 4 is formed so as to extend from one side surface of the first dielectric sheet 1 to another side surface facing the first dielectric sheet 1, and both end surfaces (that is, cross sections) are formed in the center of the one side surface and the other side surface. It is formed so as to be arranged.

【0028】また、第2の誘電体シート2と第3の誘電
体シート3とは、同じ厚みで形成されている。
The second dielectric sheet 2 and the third dielectric sheet 3 are formed with the same thickness.

【0029】第1の誘電体シート1は下方に配置した第
3の誘電体シート3と積層され、開口部4に銀ペースト
もしくはメタルプレート等の電極材料を埋め込んで直方
体のストリップ線路5を形成し、第1の誘電体シート1
の上方に配置した第2の誘電体シート2と積層されてい
る。
The first dielectric sheet 1 is laminated with the third dielectric sheet 3 disposed below, and a rectangular parallelepiped strip line 5 is formed by embedding an electrode material such as a silver paste or a metal plate in the opening 4. , First dielectric sheet 1
Is laminated with the second dielectric sheet 2 disposed above.

【0030】又、上記各誘電体シート1、2、3を積層
した積層体(図34に示した切断個片411に対応)
は、上記焼成工程で述べた通り、その内部電極であるス
トリップ線路5と共に、銀の融点である960℃以下で
同時に焼成される。
Further, a laminated body obtained by laminating the dielectric sheets 1, 2, and 3 (corresponding to the cut piece 411 shown in FIG. 34)
Is fired simultaneously with the strip line 5, which is the internal electrode, at 960 ° C. or less, which is the melting point of silver, as described in the firing step.

【0031】以下、外部電極などの形成工程等につい
て、図1〜図3を参照しながら詳細に述べる。
Hereinafter, the steps of forming the external electrodes and the like will be described in detail with reference to FIGS.

【0032】即ち、上記の様にして焼成された積層体の
上表面の全面、即ち第2の誘電体シート2の上面の全面
に第1のシールド電極6が銀ペースト等の電極材料を用
いたスクリーン印刷等の手段で外部電極として形成され
る。
That is, the first shield electrode 6 is made of an electrode material such as silver paste on the entire upper surface of the laminated body fired as described above, that is, on the entire upper surface of the second dielectric sheet 2. It is formed as an external electrode by means such as screen printing.

【0033】また、焼成された積層体の下表面の全面、
即ち第3の誘電体シート3の下面の全面に第2のシール
ド電極7が第1のシールド電極6と同様の手段で外部電
極として形成される。
Also, the entire lower surface of the fired laminate,
That is, the second shield electrode 7 is formed as an external electrode on the entire lower surface of the third dielectric sheet 3 by the same means as the first shield electrode 6.

【0034】さらに、焼成された積層体において、スト
リップ線路5の線路長さ方向と直交する一側面に接地電
極8が第1のシールド電極6と同様の手段で外部電極と
して形成され、ストリップ線路5の幅方向に直交する両
側面に帯状に、そえぞれ側面電極9、10が第1のシー
ルド電極6と同様の手段で外部電極として形成されてい
る。
Further, in the fired laminate, a ground electrode 8 is formed as an external electrode on one side surface orthogonal to the line length direction of the strip line 5 by the same means as the first shield electrode 6. Side electrodes 9 and 10 are formed as strip electrodes on both side surfaces orthogonal to the width direction of the first shield electrode 6 in the same manner as the first shield electrode 6.

【0035】加えて、ストリップ線路5の一端は接地電
極8に接続され、他端は入出力電極として使用され、第
1のシールド電極6と第2のシールド電極7とは、互い
に、接地電極8及び側面電極9、10を介して接続され
ている。
In addition, one end of the strip line 5 is connected to the ground electrode 8, the other end is used as an input / output electrode, and the first shield electrode 6 and the second shield electrode 7 are connected to the ground electrode 8 And side electrodes 9 and 10.

【0036】以上のように製造され、構成された誘電体
積層共振器について、次に、その動作を説明する。
Next, the operation of the dielectric laminated resonator manufactured and configured as described above will be described.

【0037】ストリップ線路5の一端を接地電極8を介
して接地することによって先端短絡ストリップ線路共振
器が構成される。ストリップ線路の長さが4分の1波長
となる周波数でストリップ線路の他端(開放端)でのイ
ンピーダンスが無限大となり並列共振する。
The one end of the strip line 5 is grounded via the ground electrode 8 to form a short-circuited strip line resonator at the tip. At the frequency at which the length of the strip line becomes a quarter wavelength, the impedance at the other end (open end) of the strip line becomes infinite and parallel resonance occurs.

【0038】このような構造及び製造工程の誘電体積層
共振器は、例えば、特開平5−315183号公報に開
示された図4、特開平7−66078号公報に開示され
た図3、特開平9−8514号公報に開示された図1な
どに示されている。
The dielectric laminated resonator having such a structure and a manufacturing process is disclosed in, for example, FIG. 4 disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-315183, FIG. 3 disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-66078, and FIG. FIG. 1 and the like disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-8514.

【0039】しかしながら、本実施形態によれば、誘電
体シートの開口部4に電極を埋め込んで直方体のストリ
ップ線路5を形成することで、ストリップ線路の線路厚
みを約1mm程度まで厚くすることが可能であり、スク
リーン印刷等で形成するよりも線路厚みを厚くすること
ができると共に、少ない製造工程で線路を厚くすること
ができるのでストリップ線路の形状寸法を精度良く形成
することができる。また、誘電体シートに、ストリップ
線路を形成することによる凸部が生じない、即ち、誘電
体シート面を平にすることができるので、積層体をプレ
スすることで生じるストリップ線路の側辺のエッジのつ
ぶれをなくすことができる。さらに、第2の誘電体シー
ト2と第3の誘電体シート3を同じ厚みで形成し、線路
断面を第1の誘電体シート1の中央に位置させること
で、ストリップ線路5を共振器の中央に位置させること
ができる。したがって、ストリップ線路5の側面に高周
波電流をほぼ均一に流すことがでるので、ストリップ線
路の導体損失による誘電体積層共振器の無負荷Qの劣化
をさらに少なくすることができ、結果として、小型高性
能な誘電体積層共振器を提供することができる。
However, according to the present embodiment, by embedding the electrode in the opening 4 of the dielectric sheet to form the rectangular parallelepiped strip line 5, it is possible to increase the line thickness of the strip line to about 1 mm. In addition, the thickness of the line can be made thicker than that formed by screen printing or the like, and the line can be made thicker with fewer manufacturing steps, so that the shape and dimensions of the strip line can be formed with higher precision. Also, no protrusions are formed on the dielectric sheet due to the formation of the strip line, that is, since the surface of the dielectric sheet can be flattened, the side edges of the strip line generated by pressing the laminated body are formed. Can be eliminated. Furthermore, the second dielectric sheet 2 and the third dielectric sheet 3 are formed with the same thickness, and the line cross section is located at the center of the first dielectric sheet 1, so that the strip line 5 is located at the center of the resonator. Can be located. Therefore, since the high-frequency current can be made to flow substantially uniformly on the side surface of the strip line 5, the deterioration of the no-load Q of the dielectric laminated resonator due to the conductor loss of the strip line can be further reduced. A high performance dielectric laminated resonator can be provided.

【0040】図20に、本実施形態における誘電体積層
共振器のシミュレーション結果の一例を示す。図1に示
す積層誘電体共振器において、例えば、Bi23−Ca
O−Nd25系の誘電体材料(誘電率Er=58、材料
Q=2000)を使用し、電極に銀ペースト(導体抵抗
R=5.2μΩ/cm)を使用し、誘電体積層共振器の
幅B=2mm、高さH=2mm、長さL=5mm、スト
リップ線路5の線路幅W=0.5mmに設定し、線路厚
みTを変化させた場合の無負荷Qの変化をグラフ221
に示す。
FIG. 20 shows an example of a simulation result of the dielectric laminated resonator according to the present embodiment. In the laminated dielectric resonator shown in FIG. 1, for example, Bi 2 O 3 —Ca
O-Nd 2 O 5 dielectric material (dielectric constant Er = 58, material Q = 2000) is used, silver paste (conductor resistance R = 5.2 μΩ / cm) is used for the electrode, and dielectric laminate resonance is used. The change of the no-load Q when the width B of the container is set to 2 mm, the height H is 2 mm, the length L is 5 mm, the line width W of the strip line 5 is 0.5 mm, and the line thickness T is changed. 221
Shown in

【0041】図20において、ストリップ線路をスクリ
ーン印刷で形成した場合の線路厚みは約15μmであ
り、シミュレーションによる無負荷Q=141となる
が、ストリップ線路の側辺のエッジがつぶれ、無負荷Q
=120に劣化する。対して、本実施形態によると、ス
トリップ線路の側辺のエッジのつぶれをなくすことがで
きるので、線路厚みTを厚くすることでほぼシミュレー
ションどうりに無負荷Qは向上し、線路厚みT=0.5
mmの時無負荷Q=201となり、約50%以上の無負
荷Qの向上を実現することが可能であることが確認でき
る。
In FIG. 20, when the strip line is formed by screen printing, the line thickness is about 15 μm, and the unloaded Q by simulation is 141. However, the side edge of the strip line is flattened and the unloaded Q
= 120. On the other hand, according to the present embodiment, the collapse of the side edges of the strip line can be eliminated, so that the thicker line thickness T improves the no-load Q almost as in the simulation, and the line thickness T = 0. .5
mm, the no-load Q = 201, and it can be confirmed that the no-load Q can be improved by about 50% or more.

【0042】また、第1のシールド電極6と第2のシー
ルド電極7とを、互いに、接地電極8及び側面電極9、
10を介して接続することで、第1のシールド電極6及
び第2のシールド電極7を等電位にたもつことができ
る。従って、第1及び第2のシールド電極6,7は、い
ずれも自己共振することは無い。 (実施形態2)以下、本発明の第2の実施形態について
図面を参照しながら説明する。
Further, the first shield electrode 6 and the second shield electrode 7 are connected to each other by a ground electrode 8 and a side electrode 9,
By connecting via the first 10, the first shield electrode 6 and the second shield electrode 7 can be kept at the same potential. Therefore, neither the first nor the second shield electrode 6, 7 self-resonates. (Embodiment 2) Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0043】図4は本発明の誘電体積層デバイスの一実
施形態における誘電体積層共振器の斜視図を示すもので
ある。また、図5は図4における分解斜視図である。さ
らに、図6は図4における線X−X’を含む面の断面図
である。又、図35〜図37は、本実施形態の誘電体積
層共振器の製造工程の概略図である。
FIG. 4 is a perspective view of a dielectric laminated resonator in one embodiment of the dielectric laminated device of the present invention. FIG. 5 is an exploded perspective view of FIG. FIG. 6 is a sectional view of a plane including a line XX ′ in FIG. FIGS. 35 to 37 are schematic diagrams showing the steps of manufacturing the dielectric laminated resonator of the present embodiment.

【0044】ここでは、先ず、図35〜図37を参照し
ながら、本実施形態の誘電体積層共振器の製造工程につ
いての概要を述べ、次に、その詳細を説明しながら、同
誘電体積層共振器の構成を同時に説明する。
Here, first, the outline of the manufacturing process of the dielectric laminated resonator of this embodiment will be described with reference to FIGS. 35 to 37, and then the dielectric laminated resonator will be described in detail. The configuration of the resonator will be described at the same time.

【0045】本発明の実施形態における誘電体積層共振
器の製造工程は、第1の実施形態で述べた工程と以下の
点を除きほぼ同様であり、同一の積層体から複数の誘電
体積層共振器を製造するものである。
The manufacturing process of the dielectric multilayer resonator according to the embodiment of the present invention is almost the same as the process described in the first embodiment except for the following points. To manufacture vessels.

【0046】次に、図35〜図37を用いて、上記相違
点を中心に述べる。
Next, the differences will be mainly described with reference to FIGS.

【0047】図35に示すように、本実施の形態の場
合、本発明の一の誘電体シートに対応する誘電体シート
401の他に、本発明の別の誘電体シートに対応する誘
電体シート451をも使用する。
As shown in FIG. 35, in the case of the present embodiment, in addition to the dielectric sheet 401 corresponding to one dielectric sheet of the present invention, a dielectric sheet corresponding to another dielectric sheet of the present invention 451 is also used.

【0048】誘電体シート451は、本発明の埋め込み
用空間に対応する複数個の貫通孔452を有している。
この貫通孔452に導電性部材である電極材料を埋め込
み、貫通孔電極22を形成する。
The dielectric sheet 451 has a plurality of through holes 452 corresponding to the embedding space of the present invention.
An electrode material, which is a conductive member, is embedded in the through hole 452 to form the through hole electrode 22.

【0049】一方、誘電体シート401については、誘
電体シート451の上に積層し、上記第1の実施の形態
で述べたのと同様の手順でストリップ線路405を形成
する。
On the other hand, the dielectric sheet 401 is laminated on the dielectric sheet 451, and the strip line 405 is formed in the same procedure as described in the first embodiment.

【0050】その他の工程は、上記第1の実施の形態の
場合と同じである。
The other steps are the same as those in the first embodiment.

【0051】以上のような製造工程によって作成された
誘電体積層共振器について、次に、図4〜図6を参照し
ながら、更にその製造工程の詳細について説明し、同時
に同誘電体積層共振器の構成も述べる。
Next, with reference to FIGS. 4 to 6, details of the manufacturing process of the laminated dielectric resonator manufactured by the above-described manufacturing process will be described. Is also described.

【0052】図4、図5及び図6において、1は第1の
誘電体シート、2は第2の誘電体シート、3は第3の誘
電体シートである。これらの誘電体シートには40μm
以上の厚みを有するグリーンシート化した低温焼結誘電
体セラミックが使用される。
4, 5 and 6, reference numeral 1 denotes a first dielectric sheet, 2 denotes a second dielectric sheet, and 3 denotes a third dielectric sheet. These dielectric sheets have a thickness of 40 μm.
A low-temperature sintered dielectric ceramic formed into a green sheet having the above thickness is used.

【0053】第1の誘電体シート1は、パンチャーもし
くは打ち抜き金型等によって打ち抜かれた直方体の開口
部4を有し、前記開口部4は、第1の誘電体シート1の
一側面から対向する他の側面まで伸びる形で形成される
と共に、その両端部は、上記一側面及び他の側面の中央
に配置される様に形成されている。
The first dielectric sheet 1 has a rectangular parallelepiped opening 4 punched by a puncher or a punching die, and the opening 4 is opposed from one side of the first dielectric sheet 1. It is formed so as to extend to the other side surface, and both end portions are formed so as to be arranged at the center of the one side surface and the other side surface.

【0054】また、前記開口部4の断面幅は、第1の誘
電体シート1のシート厚みと同じに、即ちその断面形状
が正方形になるように形成されている。
The sectional width of the opening 4 is formed to be the same as the sheet thickness of the first dielectric sheet 1, that is, the sectional shape thereof is square.

【0055】第3の誘電体シート3は、パンチャーもし
くは打ち抜き金型等によって打ち抜かれた貫通孔21を
有し、貫通孔21に銀ペーストもしくはメタルプレート
等の電極材料を埋め込んで貫通孔電極22が形成されて
いる。
The third dielectric sheet 3 has a through-hole 21 punched by a puncher or a punching die or the like, and an electrode material such as a silver paste or a metal plate is embedded in the through-hole 21 to form a through-hole electrode 22. Is formed.

【0056】また、第3の誘電体シート3は、第2の誘
電体シート2と同じ厚みで形成されている。
The third dielectric sheet 3 is formed with the same thickness as the second dielectric sheet 2.

【0057】前記第1の誘電体シート1は、下方に配置
した前記第3の誘電体シート3と積層され、開口部4に
銀ペーストもしくはメタルプレート等の電極材料が埋め
込まれ直方体のストリップ線路5が形成されており、第
1の誘電体シート1の上方に配置した第2の誘電体シー
ト2と積層されている。なお、貫通孔電極22の一端
は、ストリップ線路5に接続されている。
The first dielectric sheet 1 is laminated with the third dielectric sheet 3 disposed below, and the opening 4 is filled with an electrode material such as a silver paste or a metal plate. Is formed, and is laminated on the second dielectric sheet 2 disposed above the first dielectric sheet 1. Note that one end of the through-hole electrode 22 is connected to the strip line 5.

【0058】又、上記各誘電体シート1、2、3を積層
した積層体(図37に示した切断個片411に対応)
は、上記焼成工程で述べた通り、その内部電極であるス
トリップ線路5及び貫通孔電極22と共に、銀の融点で
ある960℃以下で同時に焼成される。
Also, a laminated body obtained by laminating the dielectric sheets 1, 2, and 3 (corresponding to the cut piece 411 shown in FIG. 37)
As described in the baking step, together with the strip line 5 and the through-hole electrode 22 as the internal electrodes, the baking is simultaneously performed at 960 ° C. or lower which is the melting point of silver.

【0059】以下、外部電極などの形成工程等につい
て、図4〜図6を参照しながら詳細に述べる。
Hereinafter, the steps of forming the external electrodes and the like will be described in detail with reference to FIGS.

【0060】即ち、上記の様にして焼成された積層体の
上表面の全面、即ち第2の誘電体シート2の上面の全面
に第1のシールド電極6が銀ペースト等の電極材料のス
クリーン印刷等の手段で外部電極として形成され、前記
焼成された積層体の下表面、即ち第3の誘電体シート3
の下面に第2のシールド電極7及び島状の入出力電極1
1が第1のシールド電極6と同様の手段で、外部電極と
して同時に形成される。
That is, the first shield electrode 6 is screen-printed with an electrode material such as silver paste on the entire upper surface of the laminated body fired as described above, that is, on the entire upper surface of the second dielectric sheet 2. And the like, and the lower surface of the fired laminate, ie, the third dielectric sheet 3
Shield electrode 7 and island-shaped input / output electrode 1
1 is simultaneously formed as an external electrode by the same means as the first shield electrode 6.

【0061】さらに、前記焼成された積層体において、
ストリップ線路5の線路長さ方向と直交する一側面の全
面に、接地電極8を第1のシールド電極6と同様の手段
で外部電極として形成し、ストリップ線路5の幅方向に
直交する両側面の全面に、そえぞれ側面シールド電極1
2、13が外部電極として形成されている。
Further, in the fired laminate,
A ground electrode 8 is formed as an external electrode on the entire surface of one side of the strip line 5 perpendicular to the line length direction by the same means as the first shield electrode 6. Side shield electrode 1 on the entire surface
2 and 13 are formed as external electrodes.

【0062】加えて、ストリップ線路5の一端は接地電
極8に接続され、貫通孔電極22の他端は入出力電極1
1に接続され、第1のシールド電極6と第2のシールド
電極7とは、互いに、接地電極8及び側面シールド電極
12、13を介して接続されている。
In addition, one end of the strip line 5 is connected to the ground electrode 8, and the other end of the through-hole electrode 22 is connected to the input / output electrode 1.
1 and the first shield electrode 6 and the second shield electrode 7 are connected to each other via a ground electrode 8 and side shield electrodes 12 and 13.

【0063】以上のように本実施形態によれば、第1の
実施形態と同一の動作、特徴を有するほかに、直方体の
開口部4の断面形状を正方形、即ち直方体のストリップ
線路5の断面形状を正方形にすることで、高周波電流が
ストリップ線路5の側面に集中することがなくなり、よ
り均一に高周波電流を流すことができ、ストリップ線路
の導体損失をさらに低減することができる。また、スト
リップ線路5を誘電体積層共振器の断面の中央に位置す
るように設けることで、誘電体積層共振器における電磁
界分布を第1の実施形態よりも均一にすることができ
る。
As described above, according to the present embodiment, in addition to having the same operation and features as the first embodiment, the cross-sectional shape of the rectangular parallelepiped opening 4 is square, that is, the cross-sectional shape of the rectangular parallelepiped strip line 5. Is squared, the high-frequency current does not concentrate on the side surface of the strip line 5, the high-frequency current can flow more uniformly, and the conductor loss of the strip line can be further reduced. Further, by providing the strip line 5 at the center of the cross section of the dielectric multilayer resonator, the electromagnetic field distribution in the dielectric multilayer resonator can be made more uniform than in the first embodiment.

【0064】これらの内容は、図20のシミュレーショ
ン結果からも明らかであり、断面形状が正方形となる線
路厚みT=0.5mmの時、無負荷Qは最大となりQ=
201を示す。
These contents are also evident from the simulation results in FIG. 20. When the line thickness T = 0.5 mm where the cross-sectional shape is square, the no-load Q becomes maximum and Q =
201 is shown.

【0065】また、側面シールド電極12、13を設け
ることで共振器を完全にシールドすることができ、高周
波電流の放射損失をほぼ完全になくすことができる。し
たがって、無負荷Qの高い小型高性能な誘電体積層共振
器を実現する事ができる。
Further, by providing the side shield electrodes 12 and 13, the resonator can be completely shielded and the radiation loss of the high-frequency current can be almost completely eliminated. Therefore, it is possible to realize a small and high-performance dielectric laminated resonator having a high unloaded Q.

【0066】さらに、側面シールド電極12、13によ
り、共振器を完全にシールドすることができるので、誘
電体積層共振器と外部回路の間の電磁干渉や、誘電体積
層共振器同志を近接して並べる場合の共振器間の結合を
防ぐことができる。
Further, the resonator can be completely shielded by the side shield electrodes 12 and 13, so that the electromagnetic interference between the dielectric laminated resonator and the external circuit and the dielectric laminated resonator can be brought close to each other. It is possible to prevent coupling between the resonators when they are arranged.

【0067】加えて、貫通孔電極22及び入出力電極1
1を設けることで、外部回路との接続を容易にすること
ができ、入出力金具等の部品を削減することができ、誘
電体積層共振器の実質の実装面積を小さくすることがで
きるので、小型の誘電体フィルタ等のモジュールを実現
することができる。
In addition, the through-hole electrode 22 and the input / output electrode 1
By providing 1, the connection with an external circuit can be facilitated, the number of components such as input / output fittings can be reduced, and the substantial mounting area of the dielectric laminated resonator can be reduced. A module such as a small dielectric filter can be realized.

【0068】尚、本実施の形態では、貫通孔電極22と
別に入出力電極11を設ける場合について述べたが、貫
通孔電極に入出力電極の機能を兼ねさせる構成とするこ
とも可能である。即ち、この場合は、貫通孔電極の断面
積を更に大きくする等の工夫が必要である。その点につ
いては、実施の形態9で更に詳細に述べる。 (実施形態3)以下本発明の第3の実施形態について図
面を参照しながら説明する。
In the present embodiment, the case where the input / output electrode 11 is provided separately from the through-hole electrode 22 has been described. However, a configuration in which the through-hole electrode also has the function of the input / output electrode is also possible. That is, in this case, it is necessary to take measures such as further increasing the cross-sectional area of the through-hole electrode. This will be described in more detail in Embodiment 9. (Embodiment 3) Hereinafter, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0069】図7は本発明の実施形態における誘電体積
層共振器の斜視図を示すものである。また、図8は図7
における分解斜視図を示すものである。さらに、図9は
図7における線X−X’を含む面の断面図を示すもので
ある。加えて、図10は図7における線Y−Y’を含む
面の断面図及び実装図を示すものである。又、図38〜
図40は、本実施形態の誘電体積層共振器の製造工程の
概略図である。
FIG. 7 is a perspective view of a dielectric laminated resonator according to the embodiment of the present invention. FIG. 8 shows FIG.
2 is an exploded perspective view of FIG. FIG. 9 is a sectional view of a plane including a line XX ′ in FIG. In addition, FIG. 10 shows a cross-sectional view and a mounting view of a plane including the line YY ′ in FIG. Also, FIG.
FIG. 40 is a schematic diagram of the manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the present embodiment.

【0070】ここでは、先ず、図38〜図40を参照し
ながら、本実施形態の誘電体積層共振器の製造工程につ
いての概要を述べ、次に、その詳細を説明しながら、同
誘電体積層共振器の構成を同時に説明する。
First, the outline of the manufacturing process of the dielectric laminated resonator of this embodiment will be described with reference to FIGS. 38 to 40, and then the dielectric laminated resonator will be described in detail. The configuration of the resonator will be described at the same time.

【0071】本発明の実施形態における誘電体積層共振
器の製造工程は、第1の実施形態で述べた工程と以下の
点を除きほぼ同様であり、同一の積層体から複数の誘電
体積層共振器を製造するものである。
The manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the embodiment of the present invention is almost the same as the process described in the first embodiment except for the following points. To manufacture vessels.

【0072】次に、図38〜図40を用いて、上記相違
点を中心に述べる。
Next, the differences will be mainly described with reference to FIGS.

【0073】図38に示すように、本実施の形態の場
合、誘電体シート401を2枚と、その間に積層する誘
電体シート461が使用される。即ち、誘電体シート4
61には、3つのスリット状の開口部464の一部にそ
れぞれ2箇所つづ、切り欠き状の孔464aが形成され
る。この切り欠き状の孔464aに埋め込まれる電極材
料により、入出力電極を含む入出力線路42を構成す
る。
As shown in FIG. 38, in this embodiment, two dielectric sheets 401 and a dielectric sheet 461 laminated between them are used. That is, the dielectric sheet 4
In 61, notch-shaped holes 464 a are formed at two portions in each of three slit-shaped openings 464. The input / output line 42 including the input / output electrodes is constituted by the electrode material embedded in the cutout hole 464a.

【0074】以上のような製造工程によって作成された
誘電体積層共振器について、次に、図4〜図6を参照し
ながら、更にその製造工程の詳細について説明し、同時
に同誘電体積層共振器の構成も述べる。
Next, with reference to FIGS. 4 to 6, details of the manufacturing process of the laminated dielectric resonator manufactured by the above-described manufacturing process will be described. Is also described.

【0075】図7、図8及び図9において、31は第1
の誘電体シート、32は第2の誘電体シート、33は第
3の誘電体シート、34は第4の誘電体シート、35は
第5の誘電体シートである。これらの誘電体シートには
40μm以上の厚みを有するグリーンシート化した低温
焼結誘電体セラミックが使用される。
In FIG. 7, FIG. 8 and FIG.
, 32 is a second dielectric sheet, 33 is a third dielectric sheet, 34 is a fourth dielectric sheet, and 35 is a fifth dielectric sheet. For these dielectric sheets, a low-temperature sintered dielectric ceramic formed into a green sheet having a thickness of 40 μm or more is used.

【0076】第1、第2、第3の誘電体シート31、3
2、33は、それぞれパンチャーもしくは打ち抜き金型
等によって打ち抜かれた直方体の開口部36、38、3
9を有し、前記各開口部は、各誘電体シートの一側面か
ら対向する他の側面まで伸びる形で形成されると共に、
その断面を前記一側面及び他の側面の中央に位置させて
いる。
First, second and third dielectric sheets 31 and 3
Reference numerals 2 and 33 denote rectangular parallelepiped openings 36, 38 and 3 respectively punched by a puncher or a punching die.
9, each of the openings is formed so as to extend from one side surface of each dielectric sheet to the other side surface facing each other,
The cross section is located at the center of the one side and the other side.

【0077】また、第1の誘電体シート31は、パンチ
ャーもしくは打ち抜き金型等によって打ち抜かれた直方
体の開口部37を有し、前記開口部37は、開口部36
の前記一側面側から開口部36に対し直角に、即ちL字
型に曲がるように第1の誘電体シート31の側面まで形
成されている。
The first dielectric sheet 31 has a rectangular parallelepiped opening 37 punched by a puncher or a punching die or the like.
From the one side surface to the side surface of the first dielectric sheet 31 so as to be bent at right angles to the opening 36, that is, in an L-shape.

【0078】さらに、第2の誘電体シート32と第3の
誘電体シート33は同じ厚みで形成され、それぞれの開
口部38、39の断面幅は、開口部36の断面幅より狭
く形成されている。
Further, the second dielectric sheet 32 and the third dielectric sheet 33 are formed with the same thickness, and the cross-sectional width of each of the openings 38 and 39 is formed smaller than the cross-sectional width of the opening 36. I have.

【0079】又、第4の誘電体シート34と第5の誘電
体シート35は、同じ厚みで形成されている。第3の誘
電体シート33は、下方に配置した第5の誘電体シート
35と積層され、開口部39には銀ペーストもしくはメ
タルプレート等の電極材料が埋め込まれて、直方体の第
3のストリップ線路40が形成されている。又、第1の
誘電体シート31が前記第3の誘電体シート33の上に
積層され、第1の開口部36及び第2の開口部37に、
前記開口部39と同様にして直方体の第1のストリップ
線路41及び直方体の入出力線路42が形成されてい
る。又、第2の誘電体シート32が、前記第1の誘電体
シート31の上に積層され、開口部38に前記開口部3
9と同様にして直方体の第2のストリップ線路43が形
成されており、前記第2の誘電体シート32の上に第4
の誘電体シート34が積層されている。
The fourth dielectric sheet 34 and the fifth dielectric sheet 35 are formed with the same thickness. The third dielectric sheet 33 is laminated with the fifth dielectric sheet 35 disposed below, and the opening 39 is filled with an electrode material such as a silver paste or a metal plate. 40 are formed. In addition, a first dielectric sheet 31 is laminated on the third dielectric sheet 33, and a first opening 36 and a second opening 37 are provided.
A rectangular parallelepiped first strip line 41 and a rectangular parallelepiped input / output line 42 are formed in the same manner as the opening 39. Further, a second dielectric sheet 32 is laminated on the first dielectric sheet 31, and the opening
9, a rectangular parallelepiped second strip line 43 is formed, and a fourth strip line 43 is formed on the second dielectric sheet 32.
Of dielectric sheets 34 are laminated.

【0080】又、入出力線路42の一端は第1のストリ
ップ線路に接続されている。
Further, one end of the input / output line 42 is connected to the first strip line.

【0081】さらに、各ストリップ線路40、41、4
3はそれぞれ面接続され、十字の形をした断面形状を持
つストリップ線路積層体49を形成している。
Further, each of the strip lines 40, 41, 4
Numerals 3 are surface-connected to each other to form a strip line laminate 49 having a cross-shaped cross section.

【0082】又、上記各誘電体シート31、32、3
3、34、35を積層した積層体(図40に示した切断
個片411に対応)は、上記焼成工程で述べた通り、そ
の内部電極である各ストリップ線路40、41、43及
び入出力線路42と共に、銀の融点である960℃以下
で同時に焼成される。
Each of the dielectric sheets 31, 32, 3
As described in the above-described firing step, the laminated body in which 3, 34, and 35 are laminated (corresponding to the cut piece 411 shown in FIG. Simultaneous firing is carried out at 960 ° C. or lower, which is the melting point of silver, together with 42.

【0083】以下、外部電極などの形成工程等につい
て、図7〜図9を参照しなから詳細に述べる。
Hereinafter, the steps for forming the external electrodes and the like will be described in detail with reference to FIGS.

【0084】即ち、上記の様にして焼成された積層体の
上表面の全面、即ち第4の誘電体シート34の上面の全
面に第1のシールド電極44が銀ペースト等の電極材料
のスクリーン印刷等の手段で外部電極として形成され、
前記焼成された積層体の下表面、即ち第5の誘電体シー
ト35の下面のに第2のシールド電極45が第1のシー
ルド電極44と同様の手段で外部電極として形成され
る。
That is, the first shield electrode 44 is screen-printed with an electrode material such as silver paste on the entire upper surface of the laminated body fired as described above, that is, on the entire upper surface of the fourth dielectric sheet 34. Formed as external electrodes by such means as
A second shield electrode 45 is formed as an external electrode on the lower surface of the fired laminate, that is, on the lower surface of the fifth dielectric sheet 35, in the same manner as the first shield electrode 44.

【0085】さらに、前記焼成された積層体において、
ストリップ線路の線路長さ方向と直交する一側面の全面
に接地電極46が、ストリップ線路の幅方向に直交する
一側面の全面に側面シールド電極47が、又、ストリッ
プ線路の幅方向に直交する他の側面に、入出力線路42
の他端と接触しないようにして側面シールド電極48
が、それぞれ第1のシールド電極44と同様の手段で、
外部電極として形成される。
Further, in the fired laminate,
A ground electrode 46 is provided on the entire surface of one side surface of the strip line orthogonal to the line length direction, a side shield electrode 47 is provided on an entire surface of one side surface of the strip line orthogonal to the width direction. I / O line 42 on the side of
Side electrode 48 so as not to contact the other end of
Are respectively the same means as the first shield electrode 44,
It is formed as an external electrode.

【0086】又、各ストリップ線路40、41、43の
一端は接地電極46に接続され、第1のシールド電極4
4と第2のシールド電極45とは、互いに、接地電極4
6及び側面シールド電極47、48を介して接続され
る。
One end of each strip line 40, 41, 43 is connected to the ground electrode 46, and the first shield electrode 4
4 and the second shield electrode 45 are mutually connected to the ground electrode 4
6 and side shield electrodes 47 and 48.

【0087】以上のように本実施形態によれば、第2の
実施形態と同一の動作、特徴を有するほかに、第1、第
2及び第3のストリップ線路41、43、40を面接続
して十字の断面を持つストリップ線路積層体49を形成
することで、断面をより円形に近い形にすることがで
き、断面における角を4角から12角に増やすことがで
きる。すなわち、断面の角に集中する傾向のある高周波
電流を分散させることができ、ストリップ線路の導体損
失をさらに低減することができる。また、ストリップ線
路積層体49を誘電体積層共振器の断面の中央に位置す
るように設けることで、誘電体積層共振器における電磁
界分布を第2の実施形態よりも均一にすることができ
る。したがって、さらに無負荷Qの高い小型高性能な誘
電体積層共振器を実現する事ができる。
As described above, according to the present embodiment, in addition to having the same operation and characteristics as the second embodiment, the first, second, and third strip lines 41, 43, and 40 are connected by plane. By forming the strip line laminate 49 having a cross-shaped cross-section, the cross-section can be made more circular and the cross-sectional corner can be increased from four to twelve. That is, the high-frequency current that tends to concentrate on the corner of the cross section can be dispersed, and the conductor loss of the strip line can be further reduced. Further, by providing the strip line laminated body 49 at the center of the cross section of the dielectric laminated resonator, the electromagnetic field distribution in the dielectric laminated resonator can be made more uniform than in the second embodiment. Therefore, it is possible to realize a small-sized and high-performance dielectric laminated resonator having a higher unloaded Q.

【0088】また、入出力線路42を設けることで、外
部回路との接続を容易にすることができ、入出力金具等
の部品を削減することができ、誘電体積層共振器の実質
の実装面積を小さくすることができるので、小型の誘電
体フィルタ等のモジュールを実現することができる。
Further, by providing the input / output line 42, connection with an external circuit can be facilitated, the number of components such as input / output fittings can be reduced, and the actual mounting area of the dielectric laminated resonator can be reduced. Therefore, a module such as a small-sized dielectric filter can be realized.

【0089】さらに、入出力線路42を第1のストリッ
プ線路41の他端から直角に第1の誘電体シート31の
側面までのばすことで、外部回路と接続するための入出
力電極を入出力線路42の他端で代用することができ
る。したがって、誘電体積層共振器の外部電極の加工工
数を削減することができる。
Further, by extending the input / output line 42 at right angles from the other end of the first strip line 41 to the side surface of the first dielectric sheet 31, the input / output electrode for connecting to an external circuit is provided. The other end of 42 can be substituted. Therefore, it is possible to reduce the man-hour for processing the external electrodes of the dielectric laminated resonator.

【0090】加えて、図10に示すように、入出力線路
42の側面を誘電体積層共振器の開放端面50に露出さ
せることで、リフロー半田付け等で誘電体積層共振器を
実装基板501に実装した場合、半田フィレット500
が生じ、入出力電極での半田付けの確認が容易になると
共に、半田付け強度が強くなる。また、極厚電極である
入出力線路42の他端を入出力電極にしているので、半
田に電極が溶け込んで、電極が無くなってしまうと言う
現象であるいわゆる電極食われによる接続不良が生じに
くくなる。したがって、実装信頼性の良い誘電体積層共
振器を実現することができる。また、言うまでもなく、
従来は、別部品として取り付けていた入出力電極は必要
ない。 (実施形態4)以下本発明の第4の実施形態について図
面を参照しながら説明する。
In addition, as shown in FIG. 10, by exposing the side faces of the input / output line 42 to the open end face 50 of the dielectric laminated resonator, the dielectric laminated resonator is mounted on the mounting substrate 501 by reflow soldering or the like. If mounted, solder fillet 500
As a result, it becomes easy to confirm the soldering at the input / output electrodes and the soldering strength is increased. Further, since the other end of the input / output line 42, which is an extremely thick electrode, is used as the input / output electrode, the electrode is melted into the solder and the electrode is lost. Become. Therefore, a dielectric laminated resonator with high mounting reliability can be realized. Also, needless to say,
Conventionally, the input / output electrodes that were separately mounted are not required. Embodiment 4 Hereinafter, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0091】図11は本発明の実施形態における誘電体
積層共振器の斜視図を示すものである。また、図12は
図11における分解斜視図を示すものである。さらに、
図12は図11における線X−X’を含む面の断面図を
示すものである。
FIG. 11 is a perspective view of a dielectric laminated resonator according to the embodiment of the present invention. FIG. 12 is an exploded perspective view of FIG. further,
FIG. 12 is a cross-sectional view of a plane including line XX ′ in FIG.

【0092】本発明の実施形態における誘電体積層共振
器の製造工程は、第3の実施形態と同様である。即ち、
複数の誘電体積層共振器を同一積層体に含め、前記同一
積層体を切断して複数の切断個片とし、それら複数の切
断個片を焼成した後に外部電極を焼き付けて、複数の誘
電体積層共振器を作成する。
The manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the embodiment of the present invention is the same as that of the third embodiment. That is,
A plurality of dielectric laminated resonators are included in the same laminated body, and the same laminated body is cut into a plurality of cut pieces, and after firing the plurality of cut pieces, an external electrode is burned to form a plurality of dielectric laminates. Create a resonator.

【0093】以上のような製造工程によって作成された
誘電体積層共振器について、その詳細を説明する。
The dielectric laminated resonator manufactured by the above-described manufacturing process will be described in detail.

【0094】図11、図12及び図13において、構造
は第3の実施形態に示したものと以下の2点を除いて同
じである。相違点の1つは、第3の実施形態では、第2
の誘電体シート32には開口部38が、第2の誘電体シ
ート32の一側面から対向する他の側面まで伸びる形で
形成され、第3の誘電体シート33には開口部39が、
前記開口部38と同様かつ同型状に形成されているが、
本実施形態においては、第2の誘電体シート32には直
方体の開口部38が、第2の誘電体シート32の一側面
から誘電体シートの途中まで伸びる形で形成され、第3
の誘電体シート33には直方体の開口部39が、前記開
口部38と同様かつ同型状に形成されている点である。
In FIGS. 11, 12, and 13, the structure is the same as that shown in the third embodiment except for the following two points. One difference is that in the third embodiment, the second
An opening 38 is formed in the dielectric sheet 32 so as to extend from one side surface of the second dielectric sheet 32 to the other opposite side, and an opening portion 39 is formed in the third dielectric sheet 33.
It is formed in the same shape as the opening 38,
In the present embodiment, a rectangular parallelepiped opening 38 is formed in the second dielectric sheet 32 so as to extend from one side surface of the second dielectric sheet 32 to the middle of the dielectric sheet.
The dielectric sheet 33 has a rectangular parallelepiped opening 39 formed in the same shape as the opening 38.

【0095】また、他の相違点は、第3の実施形態で
は、開口部38、39の幅を開口部36より狭く形成
し、各ストリップ線路40、41、43をそれぞれ面接
続することで、十字の形をした断面形状を持つストリッ
プ線路積層体49を形成しているが、本実施形態におい
ては、開口部38、39の幅を開口部36と同じに形成
し、各直方体のストリップ線路40、41、43をそれ
ぞれ面接続することでストリップ線路積層体49を形成
している点である。
Another difference is that in the third embodiment, the widths of the openings 38 and 39 are formed smaller than the width of the opening 36, and the strip lines 40, 41 and 43 are respectively connected by plane. Although the strip line laminate 49 having a cross-sectional shape in the shape of a cross is formed, in the present embodiment, the width of the openings 38 and 39 is formed to be the same as the width of the opening 36, and the strip line 40 of each rectangular solid is formed. , 41, and 43 are connected to each other to form a strip line laminate 49.

【0096】以上のように本実施形態によれば、第3の
実施形態において、十字の形をした断面形状を持つスト
リップ線路積層体49を形成した点をのぞいて、同一の
動作、特徴を有する。又、そのほかに、接地電極46が
接続されたストリップ線路積層体49の一端側が、断面
厚みの薄い「厚み薄部」として形成されると共に、前記
ストリップ線路積層体49の他端側は、断面厚みの厚い
「厚み厚部」として形成され、前記ストリップ線路積層
体49の途中から、その他端側までの断面厚みが厚くな
るように形成されている。即ち、誘電体積層共振器のイ
ンピーダンスを途中でステップ状に変化させる、SIR
型共振器を構成するので、共振周波数が低くなり、共振
器の長さを短縮できる。
As described above, according to the present embodiment, the third embodiment has the same operations and features except that a strip line laminate 49 having a cross-sectional shape in the shape of a cross is formed. . In addition, one end of the strip line laminate 49 to which the ground electrode 46 is connected is formed as a “thin portion” having a small cross-sectional thickness, and the other end of the strip line laminate 49 has a cross-sectional thickness. And is formed so that the cross-sectional thickness from the middle of the strip line laminated body 49 to the other end side is increased. That is, the impedance of the dielectric laminated resonator is changed stepwise on the way.
Since the type resonator is formed, the resonance frequency is reduced, and the length of the resonator can be shortened.

【0097】また、各ストリップ線路40、41、43
の線路幅を狭くすることなくSIR型共振器を構成する
ことができるので、高い無負荷Qを維持したまま共振器
の長さを短縮することができる。したがって、さらに小
型、高性能な誘電体積層共振器を実現することができ
る。
Further, each of the strip lines 40, 41, 43
Since the SIR resonator can be configured without reducing the line width, the length of the resonator can be reduced while maintaining a high no-load Q. Therefore, a more compact and high-performance dielectric laminated resonator can be realized.

【0098】図21に、本実施形態における誘電体積層
共振器のシミュレーション結果の一例を示す。図11に
示す積層誘電体共振器において、例えば、Bi23−C
aO−Nd25系の誘電体材料(誘電率Er=58、材
料Q=2000)を使用し、電極に銀ペースト(導体抵
抗R=5.2μΩ/cm)を使用し、誘電体積層共振器
幅B=2mm、誘電体積層共振器高さH=2mm、誘電
体積層共振器長さL=5mm、各ストリップ線路40、
41、43の線路幅W=0.5mm、第2、3のストリ
ップ線路40、43の線路長さLL=2.5mm、第1
のストリップ線路41の線路厚みT1=0.1mm、に
設定し、第2、3のストリップ線路40、43の線路厚
みT2を変化させた場合の共振周波数と無負荷Qの関係
をグラフ231に示す。また、図1に示す積層誘電体共
振器において、ストリップ線路5の接地電極8が接続さ
れた一端側は、断面幅の狭い幅細部に形成されると共
に、前記ストリップ線路5の他端側は、断面幅の広い幅
広部に形成されて、前記ストリップ線路5の途中から、
その他端側までの断面幅を広く設定することにより、図
22に示されるようなSIR型誘電体積層共振器を形成
した。図22に示すSIR型誘電体積層共振器におい
て、Bi23−CaO−Nd25系の誘電体材料(誘電
率Er=58、材料Q=2000)を使用し、電極に銀
ペースト(導体抵抗R=5.2μΩ/cm)を使用し、
誘電体積層共振器の幅B=2mm、高さH=2mm、長
さL=5mm、ストリップ線路5の幅広部の線路幅W1
=0.5mm、ストリップ線路5の幅広部の線路長さL
1=2.5mm、ストリップ線路5の線路厚みT=0.
1mmに設定し、ストリップ線路5の幅細部の線路幅W
2を変化させた場合の、共振周波数と無負荷Qの関係
を、図21中のグラフ232により示す。
FIG. 21 shows an example of a simulation result of the dielectric laminated resonator according to the present embodiment. In the laminated dielectric resonator shown in FIG. 11, for example, Bi 2 O 3 -C
aO-Nd 2 O 5 dielectric material (dielectric constant Er = 58, material Q = 2000) is used, silver paste (conductor resistance R = 5.2 μΩ / cm) is used for electrodes, and dielectric laminate resonance is used. Device width B = 2 mm, dielectric laminated resonator height H = 2 mm, dielectric laminated resonator length L = 5 mm, each strip line 40,
The line width W of each of the strip lines 41 and 43 is 0.5 mm, the line length LL of each of the second and third strip lines 40 and 43 is 2.5 mm,
231 shows the relationship between the resonance frequency and the no-load Q when the line thickness T1 of the strip line 41 is set to 0.1 mm and the line thickness T2 of the second and third strip lines 40 and 43 is changed. . In the laminated dielectric resonator shown in FIG. 1, one end of the strip line 5 to which the ground electrode 8 is connected is formed to have a narrow cross-sectional width, and the other end of the strip line 5 is It is formed in a wide portion having a large sectional width, and from the middle of the strip line 5,
The SIR type dielectric laminated resonator as shown in FIG. 22 was formed by setting the cross-sectional width up to the other end side wide. In SIR type dielectric laminated resonator shown in FIG. 22, Bi 2 O 3 -CaO- Nd 2 O 5 based dielectric material (dielectric constant Er = 58, material Q = 2000) was used to electrode silver paste ( Conductor resistance R = 5.2 μΩ / cm)
The width B = 2 mm, the height H = 2 mm, the length L = 5 mm of the dielectric laminated resonator, and the line width W1 of the wide portion of the strip line 5
= 0.5 mm, the line length L of the wide portion of the strip line 5
1 = 2.5 mm, the line thickness T of the strip line 5 = 0.
1 mm, the width W of the width of the strip line 5
The relationship between the resonance frequency and the no-load Q when 2 is changed is shown by a graph 232 in FIG.

【0099】図21において、図22に示すSIR型誘
電体積層共振器では、グラフ232に示すように幅細部
の線路幅W2=0.1mmにしてインピーダンス比を大
きくして、共振周波数を1660MHzまで低くする
と、無負荷Q=105になり、約40%の無負荷Qが劣
化する。
In FIG. 21, in the SIR type dielectric laminated resonator shown in FIG. 22, as shown in graph 232, the impedance ratio is increased by setting the line width W2 = 0.1 mm to a small width, and the resonance frequency is increased to 1660 MHz. When it is lowered, no-load Q = 105, and about 40% of no-load Q deteriorates.

【0100】これに対して、図11に示す本実施形態に
よるSIR型誘電体積層共振器では、第2、3のストリ
ップ線路40、43の線路厚みT2=0.3mmにして
インピーダンス比を大きくし、共振周波数を1634M
Hzまで低くしても、無負荷Q=162となり、無負荷
Qの劣化を約5%にとどめることができる。すなわち、
高い無負荷Qを維持したまま、同一形状で共振周波数を
低くすることができる。よって、小型高性能化を実現で
きることが確認できる。 (実施形態5)以下本発明の第5の実施形態について図
面を参照しながら説明する。
On the other hand, in the SIR type dielectric laminated resonator according to the present embodiment shown in FIG. 11, the impedance ratio is increased by setting the line thickness T2 of the second and third strip lines 40 and 43 to 0.3 mm. , The resonance frequency is 1634M
Even when the frequency is lowered to Hz, the no-load Q = 162, and the deterioration of the no-load Q can be kept to about 5%. That is,
The resonance frequency can be reduced with the same shape while maintaining a high no-load Q. Therefore, it can be confirmed that miniaturization and high performance can be realized. (Embodiment 5) Hereinafter, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0101】図14は本発明の実施形態における誘電体
積層共振器の斜視図を示すものである。また、図15は
図14における分解斜視図を示すものである。さらに、
図15は図14における線X−X’を含む面の断面図を
示すものである。
FIG. 14 is a perspective view of a dielectric laminated resonator according to the embodiment of the present invention. FIG. 15 is an exploded perspective view of FIG. further,
FIG. 15 is a cross-sectional view of a plane including line XX ′ in FIG.

【0102】本発明の実施形態における誘電体積層共振
器の製造工程は、第3の実施形態と同様である。即ち、
複数の誘電体積層共振器を同一積層体に含め、前記同一
積層体を切断して複数の切断個片とし、それら複数の切
断個片を焼成した後に外部電極を焼き付けて、複数の誘
電体積層共振器を作成する。
The manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the embodiment of the present invention is the same as that of the third embodiment. That is,
A plurality of dielectric laminated resonators are included in the same laminated body, and the same laminated body is cut into a plurality of cut pieces, and after firing the plurality of cut pieces, an external electrode is burned to form a plurality of dielectric laminates. Create a resonator.

【0103】以上のような製造工程によって作成された
誘電体積層共振器について、その詳細を説明する。
The details of the laminated dielectric resonator manufactured by the above manufacturing steps will be described.

【0104】図14、図15及び図16において、構造
は第4の実施形態に示したものと以下の点を除いて同じ
である。相違点は、第4の実施形態では第1の開口部3
6、即ち、第1のストリップ線路41は第1の誘電体シ
ート31の一側面から対向する他の側面まで同じ断面幅
に形成されているが、本実施形態においては、第1のス
トリップ線路41の接地電極46が接続された一端側
は、断面幅の狭い幅細部に形成されると共に、前記第1
のストリップ線路41の他端側は、断面幅の広い幅広部
に形成されて、前記第1のストリップ線路41の途中か
ら、その他端側までの断面幅を広く設定することでSI
R型共振器を形成し、第2及び第3のストリップ線路4
3、40の一端を前記第1のストリップ線路41の他端
に接続すると共に、前記第2及び第3のストリップ線路
43、40の他端を前記第1のストリップ線路41の前
記途中に接続した点である。
In FIGS. 14, 15 and 16, the structure is the same as that shown in the fourth embodiment except for the following points. The difference is that in the fourth embodiment, the first opening 3
6, that is, the first strip line 41 is formed to have the same cross-sectional width from one side surface of the first dielectric sheet 31 to the other side surface opposed thereto, but in the present embodiment, the first strip line 41 The one end to which the ground electrode 46 is connected is formed in a narrow width with a small cross-sectional width, and the first
The other end of the strip line 41 is formed in a wide portion having a large cross-sectional width, and the cross-sectional width from the middle of the first strip line 41 to the other end is set to be wide.
An R-type resonator is formed, and the second and third strip lines 4
One end of each of the third and third strip lines 41 and 40 was connected to the other end of the first strip line 41, and the other end of the second and third strip lines 43 and 40 was connected to the middle of the first strip line 41. Is a point.

【0105】以上のように本実施形態によれば、第4の
実施形態と同一の動作、特徴を有するほかに、第1のス
トリップ線路41をSIR型共振器とすることで誘電体
積層共振器のインピーダンス・ステップ比が大きくな
り、誘電体積層共振器の長さをさらに短縮することがで
きる。さらに、各誘電体シート31、32、33の厚み
と、各ストリップ線路40、41、43の線路幅を調整
することでストリップ線路積層体49の断面形状を正方
形にすることが可能となり、第2の実施形態と同様の特
徴を有することが可能になる。したがって、さらに小型
高性能な誘電体積層共振器を実現することができる。 (実施形態6)以下本発明の第6の実施形態について図
面を参照しながら説明する。
As described above, according to the present embodiment, in addition to having the same operation and characteristics as those of the fourth embodiment, the dielectric layered resonator is provided by using the first strip line 41 as an SIR type resonator. Is increased, and the length of the dielectric laminated resonator can be further reduced. Further, by adjusting the thickness of each of the dielectric sheets 31, 32, and 33 and the line width of each of the strip lines 40, 41, and 43, the cross-sectional shape of the strip line laminated body 49 can be made square. It is possible to have the same feature as the embodiment. Therefore, a more compact and high-performance dielectric laminated resonator can be realized. (Embodiment 6) Hereinafter, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0106】図17は本発明の実施形態における誘電体
積層共振器の斜視図を示すものである。また、図18は
図17における分解斜視図を示すものである。さらに、
図18は図17における線X−X’を含む面の断面図を
示すものである。
FIG. 17 is a perspective view of a dielectric laminated resonator according to the embodiment of the present invention. FIG. 18 is an exploded perspective view of FIG. further,
FIG. 18 is a cross-sectional view of a plane including a line XX ′ in FIG.

【0107】本発明の実施形態における誘電体積層共振
器の製造工程は、第3の実施形態と同様である。即ち、
複数の誘電体積層共振器を同一積層体に含め、前記同一
積層体を切断して複数の切断個片とし、それら複数の切
断個片を焼成した後に外部電極を焼き付けて、複数の誘
電体積層共振器を作成する。
The manufacturing process of the laminated dielectric resonator according to the embodiment of the present invention is the same as that of the third embodiment. That is,
A plurality of dielectric laminated resonators are included in the same laminated body, and the same laminated body is cut into a plurality of cut pieces, and after firing the plurality of cut pieces, an external electrode is burned to form a plurality of dielectric laminates. Create a resonator.

【0108】以上のような製造工程によって作成された
誘電体積層共振器について、その詳細を説明する。
The dielectric laminated resonator manufactured by the above manufacturing steps will be described in detail.

【0109】図17、図18及び図19において、61
は第1の誘電体シート、62は第2の誘電体シート、6
3は第3の誘電体シート、64は第4の誘電体シート、
65は第5の誘電体シート、66は第6の誘電体シー
ト、67は第7の誘電体シート、68は第8の誘電体シ
ート、69は第9の誘電体シートである。これらの誘電
体シートには40μm以上の厚みを有するグリーンシー
ト化した低温焼結誘電体セラミックが使用される。
In FIG. 17, FIG. 18 and FIG.
Is a first dielectric sheet, 62 is a second dielectric sheet, 6
3 is a third dielectric sheet, 64 is a fourth dielectric sheet,
65 is a fifth dielectric sheet, 66 is a sixth dielectric sheet, 67 is a seventh dielectric sheet, 68 is an eighth dielectric sheet, and 69 is a ninth dielectric sheet. For these dielectric sheets, a low-temperature sintered dielectric ceramic formed into a green sheet having a thickness of 40 μm or more is used.

【0110】各誘電体シート61、62、63、64、
65、66、67はパンチャーもしくは打ち抜き金型等
によって打ち抜かれた直方体の開口部71、72、7
3、74、75、76、77有し、前記各開口部は、各
誘電体シートの一側面から対向する他の側面まで伸びる
形で形成されると共に、その断面を前記一側面及び他の
側面の中央に位置させている。
Each dielectric sheet 61, 62, 63, 64,
Numerals 65, 66 and 67 are rectangular parallelepiped openings 71, 72, 7 punched by a puncher or a punching die or the like.
3, 74, 75, 76, 77, wherein each of the openings is formed so as to extend from one side of each dielectric sheet to another side opposite thereto, and has a cross section of the one side and the other side. It is located in the center of.

【0111】また、第1の誘電体シート61は、パンチ
ャーもしくは打ち抜き金型等によって打ち抜かれた直方
体の開口部78を有し、前記開口部78は開口部71の
前記他の側面側から開口部71に対し直角に、即ちL字
型に曲がるように第1の誘電体シート61の側面まで形
成されている。
The first dielectric sheet 61 has a rectangular parallelepiped opening 78 punched by a puncher or a punching die or the like, and the opening 78 is opened from the other side of the opening 71. The first dielectric sheet 61 is formed so as to bend at a right angle to 71, that is, in an L-shape.

【0112】さらに、各誘電体シート61、62、6
3、64、65、66、67の各厚みt1,t2,t
3,t4,t5,t6,t7及び、各開口部71、7
2、73、74、75、76、77の各断面幅w1,w
2,w3,w4,w5,w6,w7は、以下の式で表す
関係で形成されている。
Further, each of the dielectric sheets 61, 62, 6
The thicknesses t1, t2, t of 3, 64, 65, 66, 67
3, t4, t5, t6, t7 and each opening 71, 7
2, 73, 74, 75, 76, 77 each sectional width w1, w
2, w3, w4, w5, w6, and w7 are formed by the relationship represented by the following equation.

【0113】 t1×1/2=t2=t3=t4=t5=t6=t7 w2=w3=t1×3/4 w4=w5=t1×1/2 w6=w7=t1×1/4 第7の誘電体シート67は下方に配置した第9の誘電体
シート69と積層され、開口部77に銀ペーストもしく
はメタルプレート等の電極材料を埋め込んで直方体の第
7のストリップ線路87を形成し、前記第7の誘電体シ
ート67は上方に配置した第5の誘電体シート65と積
層され、開口部75に前記開口部77と同様にして直方
体の第5のストリップ線路85を形成し、前記第5の誘
電体シート65は上方に配置した第3の誘電体シート6
3と積層され、開口部73に前記開口部77と同様にし
て直方体の第3のストリップ線路83を形成し、前記第
3の誘電体シート63は上方に配置した第1の誘電体シ
ート61と積層され、開口部71及び開口部78に前記
開口部77と同様にして直方体の第1のストリップ線路
81及び入出力線路88を形成し、前記第1の誘電体シ
ート61は上方に配置した第2の誘電体シート62と積
層され、開口部72に前記開口部77と同様にして直方
体の第2のストリップ線路82を形成し、前記第2の誘
電体シート62は上方に配置した第4の誘電体シート6
4と積層され、開口部74に前記開口部77と同様にし
て直方体の第4のストリップ線路84を形成し、前記第
4の誘電体シート64は上方に配置した第6の誘電体シ
ート66と積層され、開口部76に前記開口部77と同
様にして直方体の第6のストリップ線路86を形成し、
前記第6の誘電体シート66は上方に配置した第8の誘
電体シート68と積層されている。
T1 × 1/2 = t2 = t3 = t4 = t5 = t6 = t7 w2 = w3 = t1 × 3/4 w4 = w5 = t1 × 1/2 w6 = w7 = t1 × 1/4 Seventh The dielectric sheet 67 is laminated with the ninth dielectric sheet 69 disposed below, and the opening 77 is filled with an electrode material such as a silver paste or a metal plate to form a rectangular parallelepiped seventh strip line 87. The seventh dielectric sheet 67 is laminated on the fifth dielectric sheet 65 disposed above, and forms a rectangular parallelepiped fifth strip line 85 in the opening 75 in the same manner as the opening 77, and The dielectric sheet 65 is the third dielectric sheet 6 disposed above.
3 and a rectangular parallelepiped third strip line 83 is formed in the opening 73 in the same manner as the opening 77, and the third dielectric sheet 63 is formed by the first dielectric sheet 61 disposed above and A first rectangular parallelepiped strip line 81 and an input / output line 88 are formed in the opening 71 and the opening 78 in the same manner as the opening 77, and the first dielectric sheet 61 is disposed on the upper side. And a second strip line 82 having a rectangular parallelepiped shape is formed in the opening 72 in the same manner as the opening 77, and the second dielectric sheet 62 is disposed above the fourth dielectric sheet 62. Dielectric sheet 6
4 and a rectangular parallelepiped fourth strip line 84 is formed in the opening 74 in the same manner as the opening 77, and the fourth dielectric sheet 64 is connected to the sixth dielectric sheet 66 disposed above. A sixth rectangular parallelepiped strip line 86 is formed in the opening 76 in the same manner as the opening 77,
The sixth dielectric sheet 66 is laminated on an eighth dielectric sheet 68 disposed above.

【0114】また、入出力線路88の一端は第1のスト
リップ線路81に接続されている。
Further, one end of the input / output line 88 is connected to the first strip line 81.

【0115】さらに、各ストリップ線路81、82、8
3、84、85、86、87はそれぞれ面接続され、略
円形をした断面形状を持つストリップ線路積層体90を
形成している。
Further, each of the strip lines 81, 82, 8
3, 84, 85, 86, and 87 are respectively surface-connected to form a strip line laminate 90 having a substantially circular cross-sectional shape.

【0116】各誘電体シートを積層した積層体は、プレ
スされ、各誘電体シートと内部電極である各ストリップ
線路及び入出力線路は、銀の融点である960℃以下で
同時に焼成される。
The laminate obtained by laminating the dielectric sheets is pressed, and the dielectric sheets and the strip lines and the input / output lines, which are the internal electrodes, are simultaneously fired at 960 ° C. or less, which is the melting point of silver.

【0117】また、前記焼成された積層体の上表面の全
面、即ち第8の誘電体シート68の上面の全面に第1の
シールド電極91が銀ペースト等の電極材料のスクリー
ン印刷等の手段で外部電極として形成され、前記焼成さ
れた積層体の下表面、即ち第9の誘電体シート69の下
面に第2のシールド電極92が第1のシールド電極91
と同様の手段で外部電極として形成される。
The first shield electrode 91 is formed on the entire upper surface of the fired laminate, that is, on the entire upper surface of the eighth dielectric sheet 68 by means such as screen printing of an electrode material such as silver paste. A second shield electrode 92 is formed on the lower surface of the fired laminated body, that is, the lower surface of the ninth dielectric sheet 69, as a first shield electrode 91 formed as an external electrode.
It is formed as an external electrode by the same means as described above.

【0118】さらに、前記焼成された積層体において、
ストリップ線路の線路長さ方向と直交する一側面の全面
に接地電極93を、ストリップ線路の幅方向に直交する
一側面の全面に側面シールド電極94を、ストリップ線
路の幅方向に直交する他の側面に入出力線路88の他端
が接触しないようにして側面シールド電極95を、それ
ぞれ第1のシールド電極91と同様の手段で、外部電極
として形成されている。
Further, in the fired laminate,
A ground electrode 93 is provided on the entire surface of one side of the strip line orthogonal to the line length direction, a side shield electrode 94 is provided on the entire surface of one side of the strip line orthogonal to the width direction, and the other side surface is orthogonal to the width direction of the strip line. The side shield electrode 95 is formed as an external electrode by means similar to the first shield electrode 91 so that the other end of the input / output line 88 does not come into contact with the first shield electrode 91.

【0119】加えて、各ストリップ線路の一端は接地電
極93に接続され、第1のシールド電極91と第2のシ
ールド電極92とは、互いに、接地電極93及び側面シ
ールド電極94、95を介して接続されている。
In addition, one end of each strip line is connected to the ground electrode 93, and the first shield electrode 91 and the second shield electrode 92 are mutually connected via the ground electrode 93 and the side shield electrodes 94 and 95. It is connected.

【0120】以上のように本実施形態によれば、第3の
実施形態と同一の動作、特徴を有するほかに、各ストリ
ップ線路を面接続して略円形の断面を持つストリップ線
路積層体90を形成することで、断面の角に集中する傾
向のある高周波電流をさらに分散させることができ、ス
トリップ線路の導体損失をさらに低減することができ
る。また、ストリップ線路積層体49を誘電体積層共振
器の断面の中央に位置するように設けることで、誘電体
積層共振器における電磁界分布を第3の実施形態よりも
均一にすることができる。したがって、誘電体同軸共振
器とほぼ同じ特性を得ることができるので、さらに無負
荷Qの高い小型高性能な誘電体積層共振器を実現する事
ができる。 (実施形態7)以下本発明の第7の実施形態について図
面を参照しながら説明する。
As described above, according to the present embodiment, in addition to having the same operation and characteristics as those of the third embodiment, a strip line laminate 90 having a substantially circular cross section by connecting the respective strip lines in plane is provided. By forming the high-frequency current, the high-frequency current that tends to concentrate on the corner of the cross section can be further dispersed, and the conductor loss of the strip line can be further reduced. Further, by providing the strip line laminated body 49 at the center of the cross section of the dielectric laminated resonator, the electromagnetic field distribution in the dielectric laminated resonator can be made more uniform than in the third embodiment. Therefore, since substantially the same characteristics as those of the dielectric coaxial resonator can be obtained, it is possible to realize a small-sized and high-performance dielectric laminated resonator having a higher unloaded Q. (Embodiment 7) Hereinafter, a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0121】図23は本発明の実施形態における誘電体
積層フィルタの斜視図を示すものである。また、図24
は図23における分解斜視図を示すものである。さら
に、図25は図23における線Y−Y’を含む面の断面
図を示すものである。
FIG. 23 is a perspective view of a dielectric laminated filter according to an embodiment of the present invention. FIG.
23 shows an exploded perspective view in FIG. FIG. 25 is a sectional view of a plane including a line YY ′ in FIG.

【0122】本発明の実施形態における誘電体積層フィ
ルタの製造工程は、第1の実施形態とほぼ同様である。
即ち、複数の誘電体積層フィルタを同一積層体に含め、
前記同一積層体を切断して複数の切断個片とし、それら
複数の切断個片を焼成した後に外部電極を焼き付けて、
複数の誘電体積層フィルタを作成する。
The manufacturing process of the dielectric laminated filter according to the embodiment of the present invention is almost the same as that of the first embodiment.
That is, a plurality of dielectric laminated filters are included in the same laminated body,
Cutting the same laminate into a plurality of cut pieces, firing the external electrodes after firing the plurality of cut pieces,
Create multiple dielectric laminate filters.

【0123】以上のような製造工程によって作成された
誘電体積層フィルタについて、その詳細を説明する。
The details of the dielectric laminated filter manufactured by the above-described manufacturing process will be described.

【0124】図23、図24及び図25において、25
1は第1の誘電体シート、252は第2の誘電体シー
ト、253は第3の誘電体シートである。これらの誘電
体シートには40μm以上の厚みを有するグリーンシー
ト化した低温焼結誘電体セラミックが使用される。
23, 24 and 25, 25
1 is a first dielectric sheet, 252 is a second dielectric sheet, and 253 is a third dielectric sheet. For these dielectric sheets, a low-temperature sintered dielectric ceramic formed into a green sheet having a thickness of 40 μm or more is used.

【0125】第1の誘電体シート251はパンチャーも
しくは打ち抜き金型等によって打ち抜かれた直方体の開
口部254a、254bを有し、前記開口部254a、
254bは、第1の誘電体シート251の一側面から対
向する他の側面まで伸びる形で形成されている。
The first dielectric sheet 251 has rectangular parallelepiped openings 254a and 254b punched by a puncher or a punching die or the like.
254b is formed so as to extend from one side surface of the first dielectric sheet 251 to the other side surface.

【0126】また、第3の誘電体シート253は、第2
の誘電体シート252と同じ厚みで形成され、入出力結
合電極301は第2の誘電体シート252に内層され、
結合電極302は第3の誘電体シート253に内層され
ている。
Further, the third dielectric sheet 253 is formed on the second dielectric sheet 253.
The input / output coupling electrode 301 is formed in the second dielectric sheet 252 with the same thickness as that of the dielectric sheet 252 of FIG.
The coupling electrode 302 is internally layered on the third dielectric sheet 253.

【0127】前記第1の誘電体シート251は下方に配
置した第3の誘電体シート253と積層され、開口部2
54a、254bに銀ペーストもしくはメタルプレート
等の電極材料を埋め込んで直方体のストリップ線路25
5a、255bを形成し、第1の誘電体シート251の
上方に配置した第2の誘電体シート252と積層され
る。
The first dielectric sheet 251 is laminated with the third dielectric sheet 253 disposed below, and the opening 2
An electrode material such as a silver paste or a metal plate is embedded in each of 54a and 254b to form a rectangular strip line 25.
5a and 255b are formed, and are laminated with the second dielectric sheet 252 disposed above the first dielectric sheet 251.

【0128】前記各誘電体シート251、252、25
3を積層した積層体は、プレスされ、各誘電体シート2
51、252、253と内部電極であるストリップ線路
255a、255b、入出力結合電極301、結合電極
302は銀の融点である960℃以下で同時に焼成され
る。
Each of the dielectric sheets 251, 252, 25
3 are pressed, and each dielectric sheet 2 is pressed.
51, 252, 253 and the strip lines 255a, 255b as the internal electrodes, the input / output coupling electrode 301, and the coupling electrode 302 are simultaneously fired at 960 ° C. or less, which is the melting point of silver.

【0129】また、前記焼成された積層体の上表面に第
1のシールド電極256が銀ペースト等の電極材料を用
いたスクリーン印刷等の手段で外部電極として形成さ
れ、前記焼成された積層体の下表面に第2のシールド電
極257が第1のシールド電極256と同様の手段で外
部電極として形成される。
Further, a first shield electrode 256 is formed as an external electrode on the upper surface of the fired laminate by means of screen printing using an electrode material such as a silver paste. On the lower surface, a second shield electrode 257 is formed as an external electrode by the same means as the first shield electrode 256.

【0130】さらに、前記焼成された積層体において、
ストリップ線路255a、255bの線路長さ方向と直
交する一側面に接地電極258が第1のシールド電極2
56と同様の手段で外部電極として形成され、ストリッ
プ線路255a、255bの幅方向の両側面に帯状に、
そえぞれ側面電極259、260、入出力電極303が
第1のシールド電極256と同様の手段で外部電極とし
て形成されている。
Further, in the fired laminate,
A ground electrode 258 is provided on one side surface of the strip lines 255a and 255b orthogonal to the line length direction.
An external electrode is formed by the same means as that of the strip line, and strip-shaped on both side surfaces in the width direction of the strip lines 255a and 255b.
The side electrodes 259 and 260 and the input / output electrode 303 are formed as external electrodes by the same means as the first shield electrode 256, respectively.

【0131】加えて、ストリップ線路255a、255b
の一端は接地電極258に接続され、他端は解放され、
第1のシールド電極256と第2のシールド電極257
とは、互いに、接地電極258及び側面電極259、2
60を介して接続されている。また、入出力結合電極3
01の一端は入出力電極303に接続されている。
In addition, strip lines 255a and 255b
Is connected to the ground electrode 258, the other end is released,
First shield electrode 256 and second shield electrode 257
Means that the ground electrode 258 and the side electrodes 259, 2
60 are connected. Also, the input / output coupling electrode 3
01 is connected to the input / output electrode 303.

【0132】以上のように構成された誘電体積層フィル
タについて、その動作を説明する。
The operation of the thus-configured dielectric laminated filter will be described.

【0133】ストリップ線路255a、255bの一端
を接地電極258を介して接地することによって先端短
絡ストリップ線路共振器が構成される。ストリップ線路
の長さが4分の1波長となる周波数でストリップ線路の
他端(開放端)でのインピーダンスが無限大となり並列
共振する。また、ストリップ線路255a、255b
は、互に電磁界結合し、結合電極302との間に結合容
量を形成し、入出力結合電極301との間で入出力容量
を形成することで、入出力電極303を入出力端子とす
るバンドパスフィルタを形成している。
By connecting one end of each of the strip lines 255a and 255b to the ground via the ground electrode 258, a short-circuited strip line resonator at the tip is formed. At the frequency at which the length of the strip line becomes a quarter wavelength, the impedance at the other end (open end) of the strip line becomes infinite and parallel resonance occurs. Also, the strip lines 255a, 255b
Are electromagnetically coupled to each other, form a coupling capacitance with the coupling electrode 302, and form an input / output capacitance with the input / output coupling electrode 301, so that the input / output electrode 303 is used as an input / output terminal. A bandpass filter is formed.

【0134】以上のように本実施形態によれば、誘電体
シートの開口部254a、254bに電極を埋め込んで
直方体のストリップ線路255a、255bを形成する
ことで、ストリップ線路の線路厚みを約1mm程度まで
厚くすることが可能であり、スクリーン印刷等で形成す
るよりも線路厚みを厚くすることができる。したがっ
て、ストリップ線路255a、255b間の電磁界結合
を強くすることができ、広帯域のフィルタを実現するこ
とができる。
As described above, according to the present embodiment, the rectangular parallelepiped strip lines 255a and 255b are formed by embedding electrodes in the openings 254a and 254b of the dielectric sheet. The thickness of the line can be increased as compared with the case where the line is formed by screen printing or the like. Therefore, the electromagnetic field coupling between the strip lines 255a and 255b can be strengthened, and a wide band filter can be realized.

【0135】また、誘電体シートに、ストリップ線路を
形成することによる凸部が生じない、即ち、誘電体シー
ト面を平にすることができるので、積層体をプレスする
ことで生じるストリップ線路の側辺のエッジのつぶれを
なくすことができる。したがって、ストリップ線路25
5a、255bの間隔を精度良く実現することができる
ので、安定したフィルタ特性を実現することができる。
[0135] Also, no projections are formed on the dielectric sheet due to the formation of the strip line, that is, since the surface of the dielectric sheet can be flattened, the side of the strip line generated by pressing the laminated body is not formed. The collapse of the side edge can be eliminated. Therefore, the strip line 25
Since the interval between 5a and 255b can be realized with high accuracy, stable filter characteristics can be realized.

【0136】さらに、第1の実施形態と同様にストリッ
プ線路255a、255bの側面に高周波電流をほぼ均
一に流すことがでるので、ストリップ線路の導体損失に
よる誘電体積層共振器の無負荷Qの劣化を少なくするこ
とができ、結果として、小型高性能な誘電体積層フィル
タを実現することができる。
Further, since the high-frequency current can be made to flow substantially uniformly on the side surfaces of the strip lines 255a and 255b as in the first embodiment, the degradation of the no-load Q of the dielectric laminated resonator due to the conductor loss of the strip lines. Can be reduced, and as a result, a compact and high-performance dielectric laminated filter can be realized.

【0137】加えて、第1のシールド電極256と第2
のシールド電極257とを、互いに、接地電極258及
び側面電極259、260を介して接続することで、第
1のシールド電極256及び第2のシールド電極257
を等電位にたもつことができるので、それぞれが自己共
振するのを無くすことができるので、さらに安定したフ
ィルタ特性を実現することができる。 (実施形態8)以下本発明の第8の実施形態について図
面を参照しながら説明する。
In addition, the first shield electrode 256 and the second
Are connected to each other via a ground electrode 258 and side electrodes 259 and 260 to form a first shield electrode 256 and a second shield electrode 257.
Can be kept at the same potential, so that self-resonance of each can be eliminated, so that more stable filter characteristics can be realized. Embodiment 8 Hereinafter, an eighth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0138】図26は本発明の実施形態における誘電体
積層共振器の斜視図を示すものである。また、図27は
図26における分解斜視図を示すものである。さらに、
図30は図26における線X−X’を含む面の断面図を
示すものである。
FIG. 26 is a perspective view of a dielectric laminated resonator according to the embodiment of the present invention. FIG. 27 is an exploded perspective view of FIG. further,
FIG. 30 is a sectional view of a plane including a line XX ′ in FIG.

【0139】本発明の実施形態における誘電体積層共振
器の製造工程は、第1の実施形態と同様である。即ち、
複数の誘電体積層共振器を同一積層体に含め、前記同一
積層体を切断して複数の切断個片とし、それら複数の切
断個片を焼成した後に外部電極を焼き付けて、複数の誘
電体積層共振器を作成する。
The manufacturing process of the laminated dielectric resonator according to the embodiment of the present invention is the same as that of the first embodiment. That is,
A plurality of dielectric laminated resonators are included in the same laminated body, and the same laminated body is cut into a plurality of cut pieces, and after firing the plurality of cut pieces, an external electrode is burned to form a plurality of dielectric laminates. Create a resonator.

【0140】以上のような製造工程によって作成された
誘電体積層共振器について、その詳細を説明する。
The details of the dielectric laminated resonator manufactured by the above manufacturing steps will be described.

【0141】図26、図27及び図28において、構造
は第1の実施形態に示したものと以下の点を除いて同じ
である。相違点は、第1の誘電体シート1に、パンチャ
ーもしくは打ち抜き金型等によって打ち抜かれた直方体
の開口部331を有し、前記開口部331は、開口部4
に対し直角に曲がるように第1の誘電体シート1の側面
まで形成され、開口部331に銀ペーストもしくはメタ
ルプレート等の電極材料を埋め込んで直方体の入出力線
路332が形成され、入出力線路332の一端がストリ
ップ線路5に接続されている点である。
26, 27 and 28, the structure is the same as that shown in the first embodiment except for the following points. The difference is that the first dielectric sheet 1 has a rectangular parallelepiped opening 331 punched by a puncher, a punching die or the like, and the opening 331 is
Is formed up to the side surface of the first dielectric sheet 1 so as to bend at a right angle to the first dielectric sheet 1, and an electrode material such as a silver paste or a metal plate is embedded in the opening 331 to form a rectangular parallelepiped input / output line 332. Is connected to the strip line 5 at one end.

【0142】以上のように本実施形態によれば、第1の
実施形態と同一の動作、特徴を有するほかに、入出力線
路332を設けることで、外部回路との接続を容易にす
ることができ、入出力金具等の部品を削減することがで
き、誘電体積層共振器の実質の実装面積を小さくするこ
とができるので、小型の誘電体フィルタ等のモジュール
を実現することができる。
As described above, according to the present embodiment, in addition to having the same operation and characteristics as those of the first embodiment, the provision of the input / output line 332 facilitates the connection with an external circuit. It is possible to reduce the number of components such as input / output fittings and to reduce the actual mounting area of the dielectric laminated resonator, so that a module such as a small dielectric filter can be realized.

【0143】また、入出力線路332をストリップ線路
5から直角に第1の誘電体シート1の側面までのばすこ
とで、外部回路と接続するための入出力電極を入出力線
路332の他端で代用することができる。したがって、
誘電体積層共振器の外部電極の加工工数を削減すること
ができる。
Further, by extending the input / output line 332 from the strip line 5 at right angles to the side surface of the first dielectric sheet 1, the other end of the input / output line 332 substitutes the input / output electrode for connection to an external circuit. can do. Therefore,
It is possible to reduce the man-hour for processing the external electrodes of the dielectric laminated resonator.

【0144】さらに、極厚電極である入出力線路332
の他端を入出力電極にしているので、半田付け等による
電極食われでの接続不良が生じにくくなる。したがっ
て、実装信頼性の良い誘電体積層共振器を実現すること
ができる。 (実施形態9)以下本発明の第9の実施形態について図
面を参照しながら説明する。
Further, the input / output line 332 which is a very thick electrode
The other end is used as an input / output electrode, so that connection failure due to electrode erosion due to soldering or the like is less likely to occur. Therefore, a dielectric laminated resonator with high mounting reliability can be realized. Embodiment 9 Hereinafter, a ninth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0145】図29は本発明の実施形態における誘電体
積層共振器の斜視図を示すものである。また、図30は
図29における分解斜視図を示すものである。さらに、
図33は図29における線X−X’を含む面の断面図を
示すものである。
FIG. 29 is a perspective view of a laminated dielectric resonator according to an embodiment of the present invention. FIG. 30 is an exploded perspective view of FIG. further,
FIG. 33 is a sectional view of a plane including a line XX ′ in FIG. 29.

【0146】本発明の実施形態における誘電体積層共振
器の製造工程は、第1の実施形態と同様に、複数の誘電
体積層共振器を同一積層体に含め、前記同一積層体を切
断して切断個片とし、焼成後に外部電極を焼き付けて作
成される。
In the manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the embodiment of the present invention, similarly to the first embodiment, a plurality of dielectric laminated resonators are included in the same laminated body, and the same laminated body is cut. It is made by cutting an individual electrode after baking and firing the external electrode.

【0147】以上のような製造工程によって作成された
誘電体積層共振器について、その詳細を説明する。
The dielectric laminated resonator manufactured by the above manufacturing steps will be described in detail.

【0148】図29、図30及び図31において、構造
は第2の実施形態に示したものと以下の点を除いて同じ
である。相違点は、窪み(貫通孔)21を第3の誘電体
シート3の一側面側(開放端側)に設け、貫通孔電極2
2の側面を誘電体積層共振器の開放端面350に露出さ
せると共に、外部回路と接続するための入出力電極を貫
通孔電極22の他端で代用している点である。尚、窪み
21は、本発明の導電性部材を埋め込むための埋め込み
用空間に対応する。
29, 30, and 31, the structure is the same as that shown in the second embodiment except for the following points. The difference is that the recess (through hole) 21 is provided on one side surface (open end side) of the third dielectric sheet 3 and the through hole electrode 2
2 is that the side face is exposed to the open end face 350 of the laminated dielectric resonator, and the other end of the through-hole electrode 22 is substituted for an input / output electrode for connection to an external circuit. The depression 21 corresponds to an embedding space for embedding the conductive member of the present invention.

【0149】以上のように本実施形態によれば、第2の
実施形態と同一の動作、特徴を有するほかに、外部回路
と接続するための入出力電極を貫通孔電極22の他端で
代用することで、誘電体積層共振器の外部電極の加工工
数を削減することができる。
As described above, according to the present embodiment, in addition to having the same operation and characteristics as the second embodiment, an input / output electrode for connecting to an external circuit is substituted for the other end of the through-hole electrode 22. By doing so, it is possible to reduce man-hours for processing the external electrodes of the dielectric multilayer resonator.

【0150】また、貫通孔電極22の側面を誘電体積層
共振器の開放端面350に露出させることで、リフロー
半田付け等で誘電体積層共振器を実装した場合、半田フ
ィレットが生じ、入出力電極での半田付けの確認が容易
になると共に、半田付け強度が強くなる。
By exposing the side surface of the through-hole electrode 22 to the open end face 350 of the dielectric laminated resonator, when the dielectric laminated resonator is mounted by reflow soldering or the like, a solder fillet is generated, and the input / output electrode is formed. This makes it easy to confirm the soldering and increases the soldering strength.

【0151】さらに、極厚電極である貫通孔電極22の
他端を入出力電極にしているので、半田付け等による電
極食われでの接続不良が生じにくくなる。
Further, since the other end of the through-hole electrode 22, which is a very thick electrode, is used as an input / output electrode, connection failure due to electrode erosion due to soldering or the like is less likely to occur.

【0152】したがって、実装信頼性の良い誘電体積層
共振器を実現することができる。
Therefore, it is possible to realize a dielectric laminated resonator with high mounting reliability.

【0153】上述した様に、誘電体積層デバイスとして
の誘電体積層共振器は、高周波発振回路等の共振素子と
して単独で用いられることがあるほかに、複数個の誘電
体積層共振器を組み合わせてバンドパスフィルタやバン
ドエリミネーションフィルタとして動作する誘電体フィ
ルタを構成するのに用いられるものである。
As described above, a dielectric laminated resonator as a dielectric laminated device may be used alone as a resonance element such as a high-frequency oscillation circuit, or may be a combination of a plurality of dielectric laminated resonators. It is used to form a dielectric filter that operates as a bandpass filter or a band elimination filter.

【0154】又、上述した各実施の形態の構成による誘
電体積層デバイスを携帯電話などの無線通信装置の端末
等に用いることが可能である。これにより、例えば、携
帯電話の無線回路に使われる高周波部品の中で、最も重
要な部品の一つである誘電体フィルタの小型高性能化を
実現することが出来る。その結果として携帯電話等の小
型高性能化が図れるという効果を発揮する。
Further, the dielectric laminate device having the configuration of each of the above embodiments can be used for a terminal of a wireless communication device such as a mobile phone. As a result, for example, it is possible to realize a small and high-performance dielectric filter, which is one of the most important components among high-frequency components used in a wireless circuit of a mobile phone. As a result, there is an effect that the size and performance of a mobile phone or the like can be improved.

【0155】以上述べたように、請求項1又は7に記載
の本発明の誘電体積層デバイスによれば、例えば、誘電
体シートの開口部に電極を埋め込んでストリップ線路を
形成することで、ストリップ線路の線路厚みを、スクリ
ーン印刷で形成するよりも厚くすることができるので、
ストリップ線路の側辺へ高周波電流が集中するのを緩和
することができる。
As described above, according to the dielectric laminated device of the first or seventh aspect of the present invention, for example, the strip line is formed by embedding the electrode in the opening of the dielectric sheet. Since the line thickness of the line can be made thicker than that formed by screen printing,
Concentration of high-frequency current on the side of the strip line can be reduced.

【0156】すなわち、高周波電流をストリップ線路の
側面にほぼ均一に流すことがでるので、ストリップ線路
の導体損失による誘電体積層共振器の無負荷Qの劣化を
少なくするという効果を有する。また、入出力電極を誘
電体積層共振器の側面に形成したものであり、誘電体積
層共振器の電気特性を劣化させることなく容易に外部回
路と接続することができると共に、リフロー等の実装時
における信頼性を向上できるという効果を有する。
That is, since the high-frequency current can be made to flow almost uniformly on the side surface of the strip line, there is an effect that deterioration of the no-load Q of the dielectric laminated resonator due to the conductor loss of the strip line is reduced. In addition, the input / output electrodes are formed on the side surfaces of the dielectric multilayer resonator, so that they can be easily connected to an external circuit without deteriorating the electrical characteristics of the dielectric multilayer resonator, and can be used during mounting such as reflow. Has the effect of improving the reliability in

【0157】又、請求項4、9又は10に記載の発明の
誘電体積層デバイスによれば、例えば、誘電体積層共振
器の無負荷Qを向上させると共に、誘電体積層共振器の
インピーダンスが途中でステップ状に変化するSIR構
造となって、共振周波数が低くなり、共振器の長さ短縮
できるという効果を有する。
According to the dielectric laminated device of the present invention, for example, the no-load Q of the dielectric laminated resonator is improved, and the impedance of the dielectric laminated resonator is reduced. As a result, the SIR structure changes stepwise, and the resonance frequency is reduced, and the length of the resonator can be shortened.

【0158】又、請求項11に記載の発明の誘電体積層
デバイスによれば、例えば、ストリップ線路の断面を十
字形にちかずけることで、さらに無負荷Qを向上できる
という効果を有する。
Further, according to the dielectric laminated device of the present invention, for example, there is an effect that the no-load Q can be further improved by making the cross section of the strip line close to a cross.

【0159】又、請求項12又は14に記載の発明の誘
電体積層デバイスによれば、例えば、ストリップ線路の
電磁界分布を上下方向において均一化させることがで
き、ストリップ線路の導体損失による誘電体積層共振器
の無負荷Qの劣化をさらに少なくするという効果を有す
る。
According to the dielectric laminated device of the twelfth or fourteenth aspect, for example, the electromagnetic field distribution of the strip line can be made uniform in the vertical direction, and the dielectric material due to the conductor loss of the strip line can be obtained. This has the effect of further reducing the degradation of the no-load Q of the multilayer resonator.

【0160】又、請求項15に記載の発明の誘電体積層
デバイスによれば、例えば、ほぼ完璧なシールド性が得
られると共に、高周波電流の放射損失による無負荷Qの
劣化をほぼなくすことができるという効果を有する。
According to the dielectric laminate device of the present invention, for example, almost perfect shielding properties can be obtained, and deterioration of no-load Q due to radiation loss of high-frequency current can be almost eliminated. It has the effect of.

【0161】又、請求項13に記載の発明の誘電体積層
デバイスによれば、例えば、ストリップ線路の断面形状
を略円形にすることができ、導体損失をさらに低減する
ことができるという効果を有する。
According to the dielectric laminated device of the present invention, for example, the cross-sectional shape of the strip line can be made substantially circular, and there is an effect that the conductor loss can be further reduced. .

【0162】又、請求項9又は11に記載の発明の誘電
体積層デバイスによれば、例えば、第2のストリップ線
路の線路幅と第3のストリップ線路の線路幅を同じに形
成することで、誘電体積層共振器における電磁界分布を
均一にすることができるので、誘電体損失を低減するこ
とができるという効果を有する。
According to the dielectric laminated device of the ninth or eleventh aspect, for example, by forming the line width of the second strip line and the line width of the third strip line to be the same, Since the electromagnetic field distribution in the dielectric laminated resonator can be made uniform, there is an effect that dielectric loss can be reduced.

【0163】又、請求項17に記載の発明の誘電体積層
デバイスによれば、例えば、誘電体積層共振器のインピ
ーダンスを途中でステップ状により大きく変化させるこ
ととなって、共振周波数がさらに低くなり、共振器の長
さをさらに短縮できるという効果を有する。
According to the dielectric laminated device of the present invention, for example, the impedance of the dielectric laminated resonator is greatly changed stepwise on the way, thereby further lowering the resonance frequency. This has the effect that the length of the resonator can be further reduced.

【0164】又、請求項5又は18に記載の発明の誘電
体積層フィルタによれば、例えば、誘電体シートの開口
部に電極を埋め込んでストリップ線路を形成すること
で、ストリップ線路の線路厚みを、スクリーン印刷で形
成するよりも厚くすることができるので、ストリップ線
路間の電磁界結合を強くすることができ、広帯域のフィ
ルタを実現することができる。また、誘電体シートに、
ストリップ線路を形成することによる凸部が生じない、
即ち、誘電体シート面を平にすることができるので、積
層体をプレスすることで生じるストリップ線路の側辺の
エッジのつぶれをなくすことができ、ストリップ線路の
間隔を精度良く実現することができるので、安定したフ
ィルタ特性を実現することができる。さらに、ストリッ
プ線路の側面に高周波電流をほぼ均一に流すことがでる
ので、ストリップ線路の導体損失による誘電体積層共振
器の無負荷Qの劣化を少なくすることができ、結果とし
て、小型高性能な誘電体積層フィルタを実現することが
できる。
According to the dielectric laminated filter of the invention described in claim 5 or 18, for example, the strip thickness is formed by embedding an electrode in the opening of the dielectric sheet, thereby reducing the line thickness of the strip line. Since the thickness can be made thicker than that formed by screen printing, the electromagnetic field coupling between the strip lines can be strengthened, and a broadband filter can be realized. Also, on the dielectric sheet,
No convex part due to the formation of the strip line is generated,
That is, since the surface of the dielectric sheet can be flattened, it is possible to eliminate the collapse of the side edge of the strip line caused by pressing the laminated body, and it is possible to accurately realize the interval between the strip lines. Therefore, stable filter characteristics can be realized. Further, since the high-frequency current can be made to flow almost uniformly on the side surface of the strip line, the deterioration of the no-load Q of the dielectric laminated resonator due to the conductor loss of the strip line can be reduced. A dielectric laminated filter can be realized.

【0165】尚、本発明の埋め込み用空間は、以上述べ
た実施の形態では、開口部や貫通孔であったが、これに
限らず、例えば、溝や隙間等でもよい。
The embedding space of the present invention is an opening or a through-hole in the above-described embodiment, but is not limited to this, and may be, for example, a groove or a gap.

【0166】又、本発明の誘電体積層デバイスの製造方
法は、以上述べた実施の形態では、複数の誘電体デバイ
スを一つの積層体を複数の切断個片に切断する切断工程
を有していたが、これに限らず例えば、上記切断工程を
有さずに、誘電体積層デバイスを、1つの積層体から1
個づつ製造する製造方法でもかまわない。この場合でも
上記と同様の効果を発揮する。
In the above-described embodiment, the method for manufacturing a dielectric laminate device of the present invention has a cutting step of cutting a plurality of dielectric devices into a single laminate of a plurality of cutting pieces. However, the present invention is not limited to this. For example, without having the cutting step, the dielectric laminated device
A manufacturing method of manufacturing one by one may be used. Even in this case, the same effect as described above is exerted.

【0167】又、本発明の結合電極と入出力結合電極
は、以上述べた実施の形態では、2つのストリップ線路
を含む層を基準として、前記結合電極が一方の側に、
又、前記入出力結合電極が他方の側に設けられていた
が、これに限らず例えば、双方の電極が、上記ストリッ
プ線路を含む層を基準として、何れも同じ側に設けられ
ている構成でも良い。
In the above-described embodiment, the coupling electrode and the input / output coupling electrode of the present invention are arranged such that the coupling electrode is on one side with respect to a layer including two strip lines.
Further, the input / output coupling electrode is provided on the other side, but the present invention is not limited to this. For example, both electrodes may be provided on the same side with reference to the layer including the strip line. good.

【0168】[0168]

【発明の効果】以上述べたところから明らかなように本
発明は、入出力電極を実質上別部品として扱うことなく
誘電体積層デバイスの実装の信頼性を向上出来ると言う
長所を有する。又、本発明は、誘電体積層デバイスをよ
り小型で低コストに出来ると言う長所を有する。製造工
程の工程数の削減が出来得ると言う長所を有する。
As apparent from the above description, the present invention has an advantage that the reliability of mounting of the dielectric laminated device can be improved without treating the input / output electrodes as substantially separate components. Further, the present invention has an advantage that the dielectric laminate device can be made smaller and lower in cost. It has the advantage that the number of manufacturing steps can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態における誘電体積層共
振器の斜視図
FIG. 1 is a perspective view of a dielectric laminated resonator according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施形態における誘電体積層共
振器の分解斜視図
FIG. 2 is an exploded perspective view of the dielectric laminated resonator according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1の実施形態における誘電体積層共
振器の線X−X’を含む面の断面図
FIG. 3 is a sectional view of a plane including a line XX ′ of the dielectric laminated resonator according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施形態における誘電体積層共
振器の斜視図
FIG. 4 is a perspective view of a dielectric laminated resonator according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第2の実施形態における誘電体積層共
振器の分解斜視図
FIG. 5 is an exploded perspective view of a dielectric laminated resonator according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第2の実施形態における誘電体積層共
振器の線X−X’を含む面の断面図
FIG. 6 is a cross-sectional view of a surface including a line XX ′ of the dielectric laminated resonator according to the second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第3の実施形態における誘電体積層共
振器の斜視図
FIG. 7 is a perspective view of a dielectric laminated resonator according to a third embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第3の実施形態における誘電体積層共
振器の分解斜視図
FIG. 8 is an exploded perspective view of a dielectric laminated resonator according to a third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第3の実施形態における誘電体積層共
振器の線X−X’を含む面の断面図
FIG. 9 is a cross-sectional view of a surface including a line XX ′ of a dielectric laminated resonator according to a third embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第3の実施形態における誘電体積層
共振器の線Y−Y’を含む面の断面図及び実装図
FIG. 10 is a cross-sectional view and a mounting view of a plane including a line YY ′ of the dielectric laminated resonator according to the third embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第4の実施形態における誘電体積層
共振器の斜視図
FIG. 11 is a perspective view of a laminated dielectric resonator according to a fourth embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第4の実施形態における誘電体積層
共振器の分解斜視図
FIG. 12 is an exploded perspective view of a dielectric laminated resonator according to a fourth embodiment of the present invention.

【図13】本発明の第4の実施形態における誘電体積層
共振器の線X−X’を含む面の断面図
FIG. 13 is a cross-sectional view of a plane including a line XX ′ of a dielectric laminated resonator according to a fourth embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第5の実施形態における誘電体積層
共振器の斜視図
FIG. 14 is a perspective view of a laminated dielectric resonator according to a fifth embodiment of the present invention.

【図15】本発明の第5の実施形態における誘電体積層
共振器の分解斜視図
FIG. 15 is an exploded perspective view of a dielectric laminated resonator according to a fifth embodiment of the present invention.

【図16】本発明の第5の実施形態における誘電体積層
共振器の線X−X’を含む面の断面図
FIG. 16 is a sectional view of a plane including a line XX ′ of a dielectric laminated resonator according to a fifth embodiment of the present invention.

【図17】本発明の第6の実施形態における誘電体積層
共振器の斜視図
FIG. 17 is a perspective view of a dielectric laminated resonator according to a sixth embodiment of the present invention.

【図18】本発明の第6の実施形態における誘電体積層
共振器の分解斜視図
FIG. 18 is an exploded perspective view of a laminated dielectric resonator according to a sixth embodiment of the present invention.

【図19】本発明の第6の実施形態における誘電体積層
共振器の線X−X’を含む面の断面図
FIG. 19 is a cross-sectional view of a surface including a line XX ′ of a dielectric laminated resonator according to a sixth embodiment of the present invention.

【図20】本発明の第1の実施形態における誘電体積層
共振器のシミュレーション結果を示す図
FIG. 20 is a diagram showing a simulation result of the dielectric laminated resonator according to the first embodiment of the present invention.

【図21】本発明の第4の実施形態における誘電体積層
共振器のシミュレーション結果を示す図
FIG. 21 is a diagram showing a simulation result of the dielectric laminated resonator according to the fourth embodiment of the present invention.

【図22】本発明の第1の実施形態におけるSIR型誘
電体積層共振器の分解斜視図
FIG. 22 is an exploded perspective view of the SIR type dielectric laminated resonator according to the first embodiment of the present invention.

【図23】本発明の第7の実施形態における誘電体積層
フィルタの斜視図
FIG. 23 is a perspective view of a dielectric laminated filter according to a seventh embodiment of the present invention.

【図24】本発明の第7の実施形態における誘電体積層
フィルタの分解斜視図
FIG. 24 is an exploded perspective view of a dielectric laminated filter according to a seventh embodiment of the present invention.

【図25】本発明の第7の実施形態における誘電体積層
フィルタの線Y−Y’を含む面の断面図
FIG. 25 is a sectional view of a surface including a line YY ′ of the dielectric multilayer filter according to the seventh embodiment of the present invention.

【図26】本発明の第8の実施形態における誘電体積層
共振器の斜視図
FIG. 26 is a perspective view of a laminated dielectric resonator according to an eighth embodiment of the present invention.

【図27】本発明の第8の実施形態における誘電体積層
共振器の分解斜視図
FIG. 27 is an exploded perspective view of a laminated dielectric resonator according to an eighth embodiment of the present invention.

【図28】本発明の第8の実施形態における誘電体積層
共振器の線X−X’を含む面の断面図
FIG. 28 is a cross-sectional view of a plane including a line XX ′ of the laminated dielectric resonator according to the eighth embodiment of the present invention.

【図29】本発明の第9の実施形態における誘電体積層
共振器の斜視図
FIG. 29 is a perspective view of a laminated dielectric resonator according to a ninth embodiment of the present invention.

【図30】本発明の第9の実施形態における誘電体積層
共振器の分解斜視図
FIG. 30 is an exploded perspective view of a laminated dielectric resonator according to a ninth embodiment of the present invention.

【図31】本発明の第9の実施形態における誘電体積層
共振器の線X−X’を含む面の断面図
FIG. 31 is a cross-sectional view of a surface including a line XX ′ of a dielectric laminated resonator according to a ninth embodiment of the present invention.

【図32】本発明の第1の実施形態における誘電体積層
共振器の製造工程を説明する図
FIG. 32 is a diagram illustrating a manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the first embodiment of the present invention.

【図33】本発明の第1の実施形態における誘電体積層
共振器の製造工程を説明する図
FIG. 33 is a diagram for explaining a manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the first embodiment of the present invention.

【図34】本発明の第1の実施形態における誘電体積層
共振器の製造工程を説明する図
FIG. 34 is a diagram for explaining a manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the first embodiment of the present invention.

【図35】本発明の第2の実施形態における誘電体積層
共振器の製造工程を説明する図
FIG. 35 is a diagram illustrating a manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the second embodiment of the present invention.

【図36】本発明の第2の実施形態における誘電体積層
共振器の製造工程を説明する図
FIG. 36 is a diagram illustrating a manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the second embodiment of the present invention.

【図37】本発明の第2の実施形態における誘電体積層
共振器の製造工程を説明する図
FIG. 37 is a diagram illustrating a manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the second embodiment of the present invention.

【図38】本発明の第3の実施形態における誘電体積層
共振器の製造工程を説明する図
FIG. 38 is a diagram illustrating a manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the third embodiment of the present invention.

【図39】本発明の第3の実施形態における誘電体積層
共振器の製造工程を説明する図
FIG. 39 is a diagram illustrating a manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the third embodiment of the present invention.

【図40】本発明の第3の実施形態における誘電体積層
共振器の製造工程を説明する図
FIG. 40 is a diagram for explaining a manufacturing process of the dielectric laminated resonator according to the third embodiment of the present invention.

【図41】従来の誘電体積層共振器の斜視図FIG. 41 is a perspective view of a conventional dielectric laminated resonator.

【図42】従来の誘電体積層共振器の線X−X’を含む
面の断面図
FIG. 42 is a cross-sectional view of a plane including a line XX ′ of a conventional dielectric laminated resonator.

【図43】従来の誘電体積層共振器の線Y−Y’を含む
面の断面図
FIG. 43 is a cross-sectional view of a conventional dielectric stacked resonator including a line YY ′.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第1の誘電体シート 2 第2の誘電体シート 3 第3の誘電体シート 4 開口部 5 ストリップ線路 6 第1のシールド電極 7 第2のシールド電極 8 接地電極 9、10 側面電極 11 入出力電極 12、13 側面シールド電極 21 貫通孔 22 貫通孔電極 42 入出力線路 49 ストリップ線路積層体 50 開放端面 REFERENCE SIGNS LIST 1 first dielectric sheet 2 second dielectric sheet 3 third dielectric sheet 4 opening 5 strip line 6 first shield electrode 7 second shield electrode 8 ground electrode 9, 10 side electrode 11 input / output Electrodes 12, 13 Side shield electrode 21 Through hole 22 Through hole electrode 42 Input / output line 49 Strip line laminate 50 Open end face

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加賀田博司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 井上 竜也 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 北沢 祥一 京都府京田辺市大住浜55番12 松下日東電 器株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroshi Kagata 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 72) Inventor Shoichi Kitazawa 55-12 Osumihama, Kyotanabe, Kyoto Prefecture Inside Matsushita Nitto Electric Co., Ltd.

Claims (26)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】低温焼結材料を含む誘電体部材と、 前記誘電体部材に埋め込まれたストリップ線路と、 前記ストリップ線路に接続されており、前記誘電体部材
の外面の内、前記ストリップ線路の線路方向に沿った面
に露出した入出力電極と、を備えたことを特徴とする誘
電体積層デバイス。
1. A dielectric member including a low-temperature sintering material, a strip line embedded in the dielectric member, and connected to the strip line. A dielectric multilayer device comprising: an input / output electrode exposed on a surface along a line direction.
【請求項2】前記誘電体部材は、積層構造を有してお
り、前記入出力電極は前記積層構造の層方向に沿って形
成されていることを特徴とする請求項1記載の誘電体積
層デバイス。
2. The dielectric laminate according to claim 1, wherein said dielectric member has a laminated structure, and said input / output electrodes are formed along a layer direction of said laminated structure. device.
【請求項3】前記誘電体部材は、積層構造を有してお
り、前記入出力電極は前記積層構造の層方向と実質上直
角方向に形成されていることを特徴とする請求項1記載
の誘電体積層デバイス。
3. The dielectric member according to claim 1, wherein said dielectric member has a laminated structure, and said input / output electrodes are formed in a direction substantially perpendicular to a layer direction of said laminated structure. Dielectric laminate device.
【請求項4】低温焼結材料を含む誘電体部材と、 前記誘電体部材に埋め込まれたストリップ線路とを備
え、 前記ストリップ線路の厚み又は幅が、前記ストリップ線
路の線路方向を基準として変化していることを特徴とす
る誘電体積層デバイス。
4. A dielectric member including a low-temperature sintering material, and a strip line embedded in the dielectric member, wherein the thickness or width of the strip line changes with reference to the line direction of the strip line. A laminated dielectric device, comprising:
【請求項5】低温焼結材料を含む誘電体部材と、 前記誘電体部材に埋め込まれた複数のストリップ線路
と、 前記複数のストリップ線路の一方又は他方の側の前記誘
電体部材に埋め込まれ結合電極と、 前記複数のストリップ線路の一方又は他方の側の前記誘
電体部材に埋め込まれ入出力結合電極とを備え、 前記ストリップ線路の厚みが、前記結合電極及び前記入
出力結合電極の各厚みよりも大きいことを特徴とする誘
電体積層デバイス。
5. A dielectric member containing a low-temperature sintering material, a plurality of striplines embedded in the dielectric member, and embedded in and coupled to the dielectric member on one or the other side of the plurality of striplines. An electrode, and an input / output coupling electrode embedded in the dielectric member on one or the other side of the plurality of strip lines, wherein the thickness of the strip line is greater than the respective thicknesses of the coupling electrode and the input / output coupling electrode. A dielectric laminated device characterized by having a large size.
【請求項6】前記誘電体部材は、積層構造を有してお
り、 前記複数のストリップ線路を含む層を基準として、前記
結合電極が一方の側に、又、前記入出力結合電極が他方
の側に設けられていることを特徴とする請求項5記載の
誘電体積層デバイス。
6. The dielectric member has a laminated structure, with the coupling electrode on one side and the input / output coupling electrode on the other side with respect to the layer including the plurality of strip lines. The device according to claim 5, wherein the device is provided on a side.
【請求項7】 複数の誘電体シートが積層された誘電体
部材と、 前記誘電体部材の外面に配置されたシールド電極と、 前記複数の誘電体シートの内、一部の誘電体シートの内
部に埋め込まれた、電極材料により形成されたストリッ
プ線路と、 前記ストリップ線路に接続されており、前記誘電体部材
の外面の内、前記ストリップ線路の線路方向に沿った面
に露出した入出力電極と、を備えたことを特徴とする誘
電体積層デバイス。
7. A dielectric member in which a plurality of dielectric sheets are stacked; a shield electrode disposed on an outer surface of the dielectric member; and an inside of some of the plurality of dielectric sheets. And a strip line formed of an electrode material, embedded in, and an input / output electrode connected to the strip line and exposed on a surface along a line direction of the strip line among outer surfaces of the dielectric member. And a dielectric laminated device.
【請求項8】 前記入出力電極は前記誘電体シートの層
方向に沿って形成されているか、又は、前記層方向と実
質上直角方向に形成されていることを特徴とする請求項
7記載の誘電体積層デバイス。
8. The device according to claim 7, wherein the input / output electrodes are formed along a layer direction of the dielectric sheet, or are formed in a direction substantially perpendicular to the layer direction. Dielectric laminate device.
【請求項9】 第1及び第2及び第3の誘電体シートを
含む複数の誘電体シートが積層された誘電体部材と、 前記誘電体部材の外面に配置されたシールド電極と、 前記第1の誘電体シートの内部に埋め込まれた、電極材
料により形成された第1のストリップ線路と、 前記第1の誘電体シートの一方の面に積層された前記第
2の誘電体シートの内部に埋め込まれた、前記電極材料
により形成された第2のストリップ線路と、 前記第1の誘電体シートの他方の面に積層された前記第
3の誘電体シートの内部に埋め込まれた、前記電極材料
により形成された第3のストリップ線路とを有し、 前記第2及び第3のストリップ線路の面は、前記第1の
ストリップ線路の線路方向に沿って前記第1のストリッ
プ線路の面に接触しており、前記第2及び第3のストリ
ップ線路のそれぞれの長さは前記第1のストリップ線路
の長さに比べて短く、前記第1のストリップ線路の一端
は、前記2及び第3のストリップ線路の一端と共に電気
的に開放されており、前記第1のストリップ線路の他端
は前記誘電体部材の外面に配置された接地電極に電気的
に接続されていることを特徴とする誘電体積層デバイ
ス。
9. A dielectric member in which a plurality of dielectric sheets including first, second, and third dielectric sheets are stacked; a shield electrode disposed on an outer surface of the dielectric member; A first strip line formed of an electrode material, embedded in the inside of the dielectric sheet, and embedded in the second dielectric sheet laminated on one surface of the first dielectric sheet. A second strip line formed of the electrode material, and an electrode material embedded in the third dielectric sheet laminated on the other surface of the first dielectric sheet. A third strip line formed, wherein the surfaces of the second and third strip lines are in contact with the surface of the first strip line along the line direction of the first strip line. And the second and the second The length of each of the strip lines is shorter than the length of the first strip line, and one end of the first strip line is electrically opened together with one end of the second and third strip lines. The other end of the first strip line is electrically connected to a ground electrode disposed on an outer surface of the dielectric member.
【請求項10】 前記一部の誘電体シートは、第1、第
2及び第3の誘電体シートであり、 前記ストリップ線路は、前記第1の誘電体シートの内部
に埋め込まれた、電極材料により形成された第1のスト
リップ線路と、前記第1の誘電体シートの一方の面に積
層された前記第2の誘電体シートの内部に埋め込まれ
た、前記電極材料により形成された第2のストリップ線
路と、前記第1の誘電体シートの他方の面に積層された
前記第3の誘電体シートの内部に埋め込まれた、前記電
極材料により形成された第3のストリップ線路とを有
し、 前記第2及び第3のストリップ線路の面は、前記第1の
ストリップ線路の線路方向に沿って前記第1のストリッ
プ線路の面に接触しており、前記第2及び第3のストリ
ップ線路の長さは前記第1のストリップ線路の長さに比
べて短く、前記第1のストリップ線路の一端は、前記2
及び第3のストリップ線路の一端と共に電気的に開放状
態にあり、前記第1のストリップ線路の他端は接地電極
に電気的に接続されていることを特徴とする請求項8記
載の誘電体積層デバイス。
10. The electrode material, wherein the some dielectric sheets are first, second, and third dielectric sheets, and wherein the strip line is embedded inside the first dielectric sheet. And a second strip formed of the electrode material and embedded in the second dielectric sheet laminated on one surface of the first dielectric sheet. A strip line, and a third strip line formed of the electrode material, embedded in the third dielectric sheet laminated on the other surface of the first dielectric sheet, The surfaces of the second and third strip lines are in contact with the surface of the first strip line along the line direction of the first strip line, and the lengths of the second and third strip lines are long. The first strip Shorter than the length of the line, one end of the first strip line, the 2
9. The dielectric laminate according to claim 8, wherein the first strip line is electrically open together with one end of the third strip line, and the other end of the first strip line is electrically connected to a ground electrode. device.
【請求項11】 前記一部の誘電体シートは、第1及び
第2及び第3の誘電体シートであり、 前記ストリップ線路は、前記第1の誘電体シートの内部
に埋め込まれた、電極材料により形成された第1のスト
リップ線路と、前記第1の誘電体シートの一方の面に積
層された前記第2の誘電体シートの内部に埋め込まれ
た、前記電極材料により形成された第2のストリップ線
路と、前記第1の誘電体シートの他方の面に積層された
前記第3の誘電体シートの内部に埋め込まれた、前記電
極材料により形成された第3のストリップ線路とを有
し、 前記第2及び第3のストリップ線路の面は、前記第1の
ストリップ線路の線路方向に沿って前記第1のストリッ
プ線路の面に接触しており、前記第2及び第3のストリ
ップ線路の幅は前記第1のストリップ線路の幅に比べて
短く、前記各ストリップ線路の線路長さは実質上それぞ
れ同じであることを特徴とする請求項8記載の誘電体積
層デバイス。
11. The electrode material according to claim 11, wherein the part of the dielectric sheet is a first, a second, and a third dielectric sheet, and the strip line is embedded inside the first dielectric sheet. And a second strip formed of the electrode material and embedded in the second dielectric sheet laminated on one surface of the first dielectric sheet. A strip line, and a third strip line formed of the electrode material, embedded in the third dielectric sheet laminated on the other surface of the first dielectric sheet, The surfaces of the second and third strip lines are in contact with the surface of the first strip line along the line direction of the first strip line, and the widths of the second and third strip lines are Is the first strip Shorter than the width of the line, the dielectric laminated device according to claim 8, wherein the line length of each strip line is substantially on each same.
【請求項12】 前記一部の誘電体シートは、前記誘電
体部材の積層方向の厚みの実質上中央に積層された単数
又は複数の層であり、又、前記ストリップ線路は、前記
ストリップ線路の線路方向に対して直交する方向におけ
る前記一部の誘電体シートのシート面の幅の実質上中央
に設けられていることを特徴とする請求項7、又は8記
載の誘電体積層デバイス。
12. The one or more dielectric sheets are one or more layers laminated substantially at the center of the thickness of the dielectric member in the laminating direction. 9. The dielectric laminate device according to claim 7, wherein the dielectric laminate device is provided substantially at the center of the width of the sheet surface of the partial dielectric sheet in a direction orthogonal to the line direction.
【請求項13】前記一部の誘電体シートは互いに積層さ
れた複数の誘電体シートであり、その誘電体シートの積
層位置が前記複数の誘電体シートの中央層の位置から遠
ざかるほど、その誘電体シートに埋め込まれたストリッ
プ線路の線路幅がより狭くなることを特徴とする請求項
7、8、又は9記載の誘電体積層デバイス。
13. A part of the dielectric sheets is a plurality of dielectric sheets stacked on each other, and the dielectric layer is located at a position farther from a center layer of the plurality of dielectric sheets. 10. The dielectric laminate device according to claim 7, wherein the strip line embedded in the body sheet has a smaller line width.
【請求項14】 前記第1の誘電体シートは、前記誘電
体部材の積層方向の厚みの実質上中央に積層された層で
あり、又、前記各ストリップ線路は、前記各ストリップ
線路の線路方向に対して直交する方向における前記各誘
電体シートのシート面の幅の実質上中央にそれぞれ設け
られていることを特徴とする請求項9、又は11記載の
誘電体積層デバイス。
14. The first dielectric sheet is a layer laminated substantially at the center of the thickness of the dielectric member in the laminating direction, and each of the strip lines is arranged in a line direction of each of the strip lines. The dielectric laminated device according to claim 9, wherein the dielectric laminated device is provided substantially at a center of a width of a sheet surface of each of the dielectric sheets in a direction perpendicular to the direction.
【請求項15】前記シールド電極は、前記誘電体部材の
外面の内、前記ストリップ線路の線路方向と実質上直交
する面を除く面に形成されていることを特徴とする請求
項7、8、9、又は11に記載の誘電体積層デバイス。
15. The semiconductor device according to claim 7, wherein the shield electrode is formed on a surface of the dielectric member other than a surface substantially orthogonal to a line direction of the strip line. 12. The dielectric laminated device according to 9 or 11.
【請求項16】前記第2及び第3のストリップ線路の幅
は前記第1のストリップ線路の幅に比べて短いことを特
徴とする請求項9記載の誘電体積層デバイス。
16. The device according to claim 9, wherein the widths of the second and third strip lines are shorter than the width of the first strip line.
【請求項17】 前記第1のストリップ線路の線路幅
が、前記第1のストリップ線路の線路方向を基準として
変化していることを特徴とする請求項9に記載の誘電体
積層デバイス。
17. The dielectric laminate device according to claim 9, wherein the line width of the first strip line changes with reference to the line direction of the first strip line.
【請求項18】 複数の開口部を有する第1の誘電体シ
ートと、 前記複数の開口部に電極を埋め込んで形成した複数のス
トリップ線路と、 前記第1の誘電体シートの一方の面に積層された第2の
誘電体シートと、 前記第1の誘電体シートの他方の面に積層された第3の
誘電体シートと、 前記第2の誘電体シートに内層された、前記複数のスト
リップ線路との間に結合容量を形成する結合電極と、 前記第3の誘電体シートに内層された、前記複数のスト
リップ線路との間に入出力容量を形成する入出力結合電
極と、 前記第2の誘電体シートの上面に設けられた第1のシー
ルド電極と、 前記第3の誘電体シートの下面に設けられた第2のシー
ルド電極とを備え、 前記複数のストリップ線路の一端が接地電極に接続され
ており、前記複数のストリップ線路の他端は開放されて
おり、前記第1から第3の誘電体シートが同じセラミッ
ク材料を用い一体焼成されていることを特徴とする誘電
体積層フィルタ。
18. A first dielectric sheet having a plurality of openings, a plurality of strip lines formed by embedding electrodes in the plurality of openings, and stacked on one surface of the first dielectric sheet. A second dielectric sheet, a third dielectric sheet laminated on the other surface of the first dielectric sheet, and a plurality of strip lines internally layered on the second dielectric sheet. A coupling electrode that forms a coupling capacitance between the second dielectric layer and an input / output coupling electrode that forms an input / output capacitance between the plurality of strip lines, which is internally formed on the third dielectric sheet; A first shield electrode provided on an upper surface of a dielectric sheet; and a second shield electrode provided on a lower surface of the third dielectric sheet, wherein one ends of the plurality of strip lines are connected to a ground electrode. The plurality of strikes Tsu other end of the up line is open, a dielectric laminated filter, wherein said first to third dielectric sheets are integrally sintered with the same ceramic material.
【請求項19】 誘電体シートに導電性部材を埋め込む
ための埋め込み用空間を形成する埋め込みよう空間形成
工程と、 前記埋め込み用空間に導電性部材を埋め込み、ストリッ
プ線路とそのストリップ線路に接続させる入出力電極と
を形成する埋め込み工程と、 前記ストリップ線路及び前記入出力電極の形成された誘
電体シートに他の誘電体シートを単数又は複数積層して
積層体を形成する積層工程とを備えた誘電体積層デバイ
スの製造方法であって、 前記入出力電極を、前記3つの工程に基づいて製造され
る誘電体積層デバイスの外面の内、前記ストリップ線路
の線路方向に沿った面に露出させる様に製造することを
特徴とする誘電体積層デバイスの製造方法。
19. An embedding space forming step of forming an embedding space for embedding a conductive member in a dielectric sheet, and a step of embedding a conductive member in the embedding space and connecting the strip line to the strip line. An embedding step of forming an output electrode; and a laminating step of laminating one or more other dielectric sheets on the dielectric sheet on which the stripline and the input / output electrodes are formed to form a laminate. A method of manufacturing a stacked body device, wherein the input / output electrodes are exposed on a surface along a line direction of the strip line among outer surfaces of a stacked dielectric device manufactured based on the three steps. A method of manufacturing a dielectric laminated device, characterized by being manufactured.
【請求項20】前記積層体を複数個の片部材に切断する
切断工程を備え、 前記埋め込み用空間形成工程では、前記積層体の切断面
の内、前記ストリップ線路の線路方向に沿った面に前記
入出力電極が露出する様に、前記埋め込み用空間を形成
することを特徴とする請求項19記載の誘電体積層デバ
イスの製造方法。
20. A cutting step of cutting the laminated body into a plurality of pieces, and in the embedding space forming step, a cutting surface of the laminated body along a line direction of the strip line is selected. 20. The method according to claim 19, wherein the burying space is formed so that the input / output electrode is exposed.
【請求項21】 複数の誘電体シートに導電性部材を埋
め込むための埋め込み用空間を形成する埋め込みよう空
間形成工程と、 前記複数の誘電体シートの内、一の誘電体シートの前記
埋め込み用空間に導電性部材を埋め込みストリップ線路
を形成するストリップ線路形成工程と、 前記複数の誘電体シートの内、別の誘電体シートの前記
埋め込み用空間に導電体部材を埋め込み入出力電極を形
成する入出力電極形成工程と、 前記入出力電極と前記ストリップ線路を接続させる様
に、前記導電性部材が埋め込まれた誘電体シートを積層
し、その積層された誘電体シートの上に他の誘電体シー
トを単数又は複数積層して積層体を形成する積層工程と
を備えた誘電体積層デバイスの製造方法であって、 前記入出力電極を、前記積層体の外面の内、前記ストリ
ップ線路の線路方向に沿った面に露出させる様に製造す
ることを特徴とする誘電体積層デバイスの製造方法。
21. An embedding space forming step of forming an embedding space for embedding a conductive member in a plurality of dielectric sheets, and the embedding space of one of the plurality of dielectric sheets. A strip line forming step of forming a strip line by embedding a conductive member in the conductive member; and forming an input / output electrode by embedding a conductive member in the embedding space of another dielectric sheet among the plurality of dielectric sheets. An electrode forming step, a dielectric sheet having the conductive member embedded therein is laminated so as to connect the input / output electrode and the strip line, and another dielectric sheet is laminated on the laminated dielectric sheet. A laminating step of laminating one or a plurality of layers to form a laminated body, wherein the input / output electrodes are disposed on an outer surface of the laminated body. Method for manufacturing a dielectric laminated device which is characterized in that prepared as to expose the surface along the line direction of the strip line.
【請求項22】前記埋め込み用空間形成工程では、前記
別の誘電体シートの層方向と実質上直角方向に前記入出
力電極が形成される様に、前記別の誘電体シートに対し
て前記埋め込み様空間を形成することを特徴とする請求
項21記載の誘電体積層デバイスの製造方法。
22. In the embedding space forming step, the embedding is performed on the another dielectric sheet so that the input / output electrodes are formed in a direction substantially perpendicular to the layer direction of the another dielectric sheet. 22. The method according to claim 21, wherein a uniform space is formed.
【請求項23】誘電体シートに導電性部材を埋め込むた
めの埋め込み用空間を形成する埋め込み用空間形成工程
と、 前記埋め込み用空間に導電性部材を埋め込み、ストリッ
プ線路を形成する埋め込み工程と、 前記ストリップ線路の形成された複数の誘電体シート及
び他の誘電体シートを積層して積層体を形成する積層工
程とを備えた誘電体積層デバイスの製造方法であって、 前記複数の誘電体シートの各層に埋め込まれたストリッ
プ線路の内、一のストリップ線路の線路長さが他のスト
リップ線路の線路長さより長いことを特徴とする誘電体
積層デバイスの製造方法。
23. An embedding space forming step of forming an embedding space for embedding a conductive member in a dielectric sheet; an embedding step of embedding a conductive member in the embedding space to form a strip line; Laminating a plurality of dielectric sheets on which a strip line is formed and another dielectric sheet to form a laminate. A method of manufacturing a dielectric laminated device, wherein a line length of one strip line among strip lines embedded in each layer is longer than a line length of another strip line.
【請求項24】 前記一のストリップ線路の線路幅が、
前記一のストリップ線路の線路方向を基準として変化し
ていることを特徴とする請求項23記載の誘電体積層デ
バイスの製造方法。
24. The line width of the one strip line is:
24. The method of manufacturing a dielectric laminate device according to claim 23, wherein the direction is changed based on a line direction of the one strip line.
【請求項25】請求項1〜18の何れか一つに記載の誘
電体積層デバイスを用いたことを特徴とする移動体通信
装置。
25. A mobile communication apparatus using the dielectric laminate device according to claim 1. Description:
【請求項26】請求項19〜24の何れか一つに記載の
誘電体積層デバイスの製造方法により製造した誘電体積
層デバイスを用いたことを特徴とする移動体通信装置。
26. A mobile communication device using a dielectric laminated device manufactured by the method of manufacturing a dielectric laminated device according to claim 19.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006222519A (en) * 2005-02-08 2006-08-24 Tdk Corp Signal transmission line, electronic component, and process for manufacturing signal transmission line
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WO2021229991A1 (en) * 2020-05-12 2021-11-18 株式会社村田製作所 Signal transmission line and method for manufacturing signal transmission line

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