JPH109200A - Fluid suction and/or fluid force-feed device - Google Patents
Fluid suction and/or fluid force-feed deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、小型でありながら
も少量の加圧流体を供給することにより多量の被送流体
を流すことができるのであり、しかも、耐久性、耐熱性
及び耐食性の優れた流体吸引及び／又は流体圧送装置に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is capable of supplying a large amount of fluid to be supplied by supplying a small amount of pressurized fluid while being small, and has excellent durability, heat resistance and corrosion resistance. Fluid suction and / or fluid pumping device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、流路内の被送流体に流れを与え
るためには、所定の圧力で被送流体を収容した圧力容器
の供給圧、ピストンポンプ、ロータリポンプなどのポン
プの吐出圧あるいは吸引圧、ポンプの吸引圧、ポンプと
ポンプから吐出される圧力流体を所定の圧力で貯留する
蓄圧器とを備えるコンプレッサの供給圧、遠心ファンで
流れを形成するブロアの吐出圧あるいは吸引圧などが利
用される。2. Description of the Related Art Generally, in order to apply a flow to a fluid to be transmitted in a flow path, the supply pressure of a pressure vessel containing the fluid to be transmitted at a predetermined pressure, the discharge pressure of a pump such as a piston pump or a rotary pump, or the like. The suction pressure, the suction pressure of the pump, the supply pressure of a compressor having a pump and a pressure accumulator that stores the pressure fluid discharged from the pump at a predetermined pressure, the discharge pressure or suction pressure of a blower that forms a flow with a centrifugal fan, etc. Used.
【０００３】即ち、流路の上流に接続された圧力容器の
供給圧で被送流体を流路に圧入したり、流路の上流側に
接続したポンプ、コンプレッサ、ブロアで被送流体を流
路に圧入したり、流路の下流に接続した吸引ポンプで被
送流体を吸引したり、流路の途中にポンプ、ブロア、吸
引ポンプなどを介在させてその上流側の被送流体を吸入
すると共に下流側に被送流体を圧入したり、これらを併
用したりしている。That is, the fluid to be transmitted is press-fitted into the flow channel with the supply pressure of a pressure vessel connected upstream of the flow channel, or the fluid to be transported is supplied to the flow channel by a pump, compressor, or blower connected upstream of the flow channel. Or suction the fluid to be sent by a suction pump connected to the downstream of the flow path, and suck the fluid to be transported upstream by interposing a pump, blower, suction pump, etc. in the middle of the flow path. The fluid to be transferred is press-fitted into the downstream side, or these are used together.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】これら被送流体に流れ
を与える流体吸引及び／又は流体圧入装置のうち、ポン
プ、コンプレッサ、ブロアなどにおいては、被送流体の
流量がポンプ、コンプレッサ、ブロア、吸引ポンプなど
の能力に依存するので、多量の被送流体を流通させる場
合には必然的に能力の大きい、大型のポンプ、コンプレ
ッサ、ブロアなどが用いられ、設備の設置容積が大きく
なると共に設備費用が著しく高価になるという問題があ
る。Among these fluid suction and / or fluid press-in devices for giving a flow to the fluid to be delivered, the pump, compressor, blower, suction, etc., of the pump, compressor, blower, etc. Since large quantities of fluid to be sent are inevitably used, large pumps, compressors, blowers, etc., which are necessarily large in capacity, are used because they depend on the capacity of pumps, etc. There is a problem that it becomes extremely expensive.
【０００５】又、被送流体が高温流体である場合には、
これらポンプ、コンプレッサ、ブロア、吸引ポンプなど
の部品が高温にさらされて変形したり、熱疲労によって
破損したりして耐久性や耐熱性が低下するという問題が
ある。When the fluid to be sent is a high temperature fluid,
There is a problem that these pumps, compressors, blowers, suction pumps, and other components are deformed by being exposed to high temperatures, or are damaged by thermal fatigue, resulting in reduced durability and heat resistance.
【０００６】更に、被送流体がフッ化水素、塩化水素な
どの腐食性を有する成分を含む腐食性流体である場合に
は、これらポンプ、コンプレッサ、ブロア、吸引ポンプ
などの部品が被送流体によって比較的短期間内に腐蝕さ
れ、機能が著しく低下したり、使用不能になるという問
題がある。Further, when the fluid to be transmitted is a corrosive fluid containing corrosive components such as hydrogen fluoride and hydrogen chloride, components such as these pumps, compressors, blowers, suction pumps and the like are changed by the fluid to be transmitted. There is a problem in that it is corroded within a relatively short period of time, and its function is remarkably deteriorated or unusable.
【０００７】本発明は、前記の技術的課題を解決し、小
型でありながらも少量の加圧流体を供給することにより
多量の被送流体を流すことができるのであり、しかも、
耐久性、耐熱性及び耐食性が優れている流体吸引及び／
又は流体圧入装置を提供することを目的とするものであ
る。[0007] The present invention solves the above-mentioned technical problems, and is capable of flowing a large amount of fluid to be transmitted by supplying a small amount of pressurized fluid while being small.
Fluid suction and / or excellent in durability, heat resistance and corrosion resistance
Another object is to provide a fluid press-fitting device.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明に係る流体吸引及
び／又は流体圧入装置においては、前記の目的を達成す
るため、被送流体が一方向に流される流路内に配置さ
れ、加圧流体を被送流体の流れの下流方向に噴出するノ
ズルと、前記流路外からこのノズルに加圧流体を供給す
る加圧流体供給装置とを設けたことを特徴とするもので
ある。In order to achieve the above object, a fluid suction and / or fluid press-fitting device according to the present invention is arranged in a flow path through which a fluid to be fed flows in one direction and is pressurized. A nozzle for ejecting a fluid in a downstream direction of a flow of a fluid to be transmitted, and a pressurized fluid supply device for supplying a pressurized fluid to the nozzle from outside the flow path are provided.
【０００９】本発明によれば、加圧流体供給装置から供
給される加圧流体がノズルから被送流体の流れの中にそ
の流れの下流方向に向けて噴出され、いわゆる、エジェ
クタ作用によって被送流体が下流側に吸引される結果、
少量の加圧流体を供給することにより流路に多量の被送
流体を流通させることができる。According to the present invention, the pressurized fluid supplied from the pressurized fluid supply device is ejected from the nozzle into the flow of the fluid to be transmitted in the downstream direction of the flow, and the fluid to be transmitted is ejected by the so-called ejector action. As a result of the fluid being sucked downstream,
By supplying a small amount of pressurized fluid, a large amount of fluid to be transmitted can flow through the flow path.
【００１０】又、高温及び／又は腐食性の被送流体が流
される流路内にはノズルと加圧流体供給装置の端末配管
とが配置されるに過ぎないので、これらを耐熱性及び／
又は耐食性を有する素材で形成することによって耐久性
や耐熱性更に耐食性を高めたり、或いは、部品を適宜交
換することにより耐久性や耐熱性更に耐食性を高めるこ
とができる。[0010] Further, since only the nozzle and the terminal pipe of the pressurized fluid supply device are arranged in the flow path through which the high-temperature and / or corrosive fluid to be transmitted flows, they are heat-resistant and / or heat-resistant.
Alternatively, the durability, heat resistance, and corrosion resistance can be enhanced by forming the material with a corrosion resistant material, or the durability, heat resistance, and corrosion resistance can be enhanced by appropriately replacing components.
【００１１】以下、本発明を詳細に説明する。本発明に
おいて被送流体は流体であれば特に限定されず、その組
成、温度、腐食性の有無などは問わない。又、被送流体
の用途は特に限定されず、燃焼、化学処理用ガス、搬送
キャリア、機械駆動などの他に種々の装置から大気中に
放出される排ガスも含まれる。Hereinafter, the present invention will be described in detail. In the present invention, the fluid to be transferred is not particularly limited as long as it is a fluid, and its composition, temperature, corrosiveness, and the like are not limited. The use of the fluid to be transferred is not particularly limited, and includes exhaust gas discharged into the atmosphere from various devices in addition to combustion, gas for chemical treatment, carrier carrier, mechanical drive, and the like.
【００１２】燃焼用の被送流体としては、空気、気体燃
料、液体燃料、空気と燃料との混合気などをその例とし
て挙げることができ、その供給先としては塵埃焼却炉な
どの燃焼器、焼却炉の炉室、蒸気発生用ボイラー、暖房
用ボイラー、内燃機関などをその例として挙げることが
できる。Examples of the fluid to be transmitted for combustion include air, gaseous fuel, liquid fuel, and a mixture of air and fuel. The supply destination is a combustor such as a dust incinerator or the like. Examples thereof include a furnace chamber of an incinerator, a boiler for generating steam, a boiler for heating, and an internal combustion engine.
【００１３】化学処理用の被送流体は、化学処理の原因
物質である反応性流体、化学反応を促進あるいは抑制す
る触媒性流体、反応性流体や触媒性流体を希釈する希釈
用流体などに分類することができる。[0013] Fluids for chemical treatment are classified into reactive fluids that cause chemical treatment, catalytic fluids that promote or suppress chemical reactions, and reactive fluids and dilution fluids that dilute the catalytic fluids. can do.
【００１４】前記反応性流体としては、例えば燃焼に用
いる空気（酸素）、フッ化水素、塩化水素、ＮＯやＮＯ
2などの含窒素酸性ガス、ＳＯ2やＳＯ3などの含硫黄酸
性ガス等をその例として挙げることができる。又、化学
処理を促進する触媒作用を有する触媒性流体としては、
遷移金属や白金族の塩化物や酸化物更に硫酸塩等をその
例として挙げることができるのであり、化学処理を抑制
する触媒作用を有する触媒性流体としては、塩素と水素
との反応における酸素や臭素、鉄触媒によるアンモニア
分解反応における水素の作用などをその例として挙げる
ことができる。更に希釈性流体としては、水、溶媒液、
空気、不活性ガスなどをその例として挙げることができ
る。Examples of the reactive fluid include air (oxygen) used for combustion, hydrogen fluoride, hydrogen chloride, NO and NO.
Nitrogen-containing acidic gases, such as 2, a sulfur-containing acid gases such as such as SO 2 and SO 3 may be mentioned as an example. In addition, as a catalytic fluid having a catalytic action to promote chemical treatment,
Examples thereof include transition metals, platinum group chlorides and oxides, and sulfates.Catalyst fluids having a catalytic action to suppress chemical treatment include oxygen and oxygen in the reaction between chlorine and hydrogen. The action of hydrogen in an ammonia decomposition reaction using a bromine or iron catalyst can be cited as an example. Further, as a diluting fluid, water, a solvent liquid,
Air, inert gas and the like can be mentioned as examples.
【００１５】本発明の被送流体を一方向に流すための流
路の断面形状は特に限定されず、一般に使用されている
矩形、正方形などの四角形、円形、楕円形などに形成す
ればよい。The cross-sectional shape of the flow path for flowing the fluid to be sent in one direction according to the present invention is not particularly limited, and may be a generally used rectangle such as a rectangle or square, a circle, or an ellipse.
【００１６】又、流路内の被送流体の流れを形成する手
段としては、本発明が、いわゆる、エジェクタ作用によ
り流体に一方向の流れを形成する機能を有するので、本
発明の吸入圧及び／又は吐出圧のみによってもよいが、
圧力容器の供給圧、例えばピストンポンプ、ロータリポ
ンプなどのポンプの吸引圧及び／又は吐出圧、コンプレ
ッサの供給圧、ブロアの吸引圧及び／又は吐出圧などと
本発明の吸入圧及び／又は吐出圧とを併用してもよい。As means for forming the flow of the fluid to be transferred in the flow path, the present invention has a function of forming a unidirectional flow in the fluid by a so-called ejector action. And / or only the discharge pressure,
The supply pressure of a pressure vessel, for example, the suction pressure and / or discharge pressure of a pump such as a piston pump or a rotary pump, the supply pressure of a compressor, the suction pressure and / or discharge pressure of a blower, and the suction pressure and / or discharge pressure of the present invention. May be used in combination.
【００１７】ノズルによって被送流体の流れの下流方向
に噴出される加圧流体は被送流体よりも高圧に加圧され
た流体であれば特に限定されず、その組成は被送流体と
同じであっても、異なっていてもよい。従って、腐食性
の有無などは問われず、又、加圧流体の温度、供給圧、
供給量などは用途及びその規模に応じて適宜設定すれば
よい。The pressurized fluid ejected in the downstream direction of the flow of the fluid to be transmitted by the nozzle is not particularly limited as long as it is a fluid pressurized to a higher pressure than the fluid to be transmitted, and its composition is the same as that of the fluid to be transmitted. Or different. Therefore, the presence or absence of corrosiveness is not important, and the temperature of the pressurized fluid, supply pressure,
The supply amount and the like may be appropriately set according to the application and the scale.
【００１８】更に、加圧流体の組成が被送流体のそれと
異なる場合には、被送流体との反応性の有無も問わな
い。被送流体との反応性を有する加圧流体としては、有
害物質を含む被送流体と反応して無害化する物質（例え
ば酸化剤、還元剤など）を含有する流体の他、被送流体
と爆発的に反応する物質（例えば燃料）を含有するもの
なども含まれる。被送流体との反応性が無い加圧流体と
しては窒素、二酸化炭素、アルゴンなどの不活性ガスが
代表的である。Further, when the composition of the pressurized fluid is different from that of the fluid to be transmitted, the presence or absence of reactivity with the fluid to be transmitted does not matter. Examples of the pressurized fluid having reactivity with the fluid to be transmitted include a fluid containing a substance (for example, an oxidizing agent, a reducing agent, etc.) that reacts with the fluid to be transported containing a harmful substance (for example, an oxidizing agent, a reducing agent, etc.). Those containing substances that react explosively (for example, fuel) are also included. As the pressurized fluid having no reactivity with the fluid to be transmitted, an inert gas such as nitrogen, carbon dioxide, or argon is representative.
【００１９】この加圧流体を前記被送流体の流れの下流
方向に噴出するノズルの形状は、加圧流体を被送流体の
流れの下流方向に噴出できるように形成してあればよい
が、ノズルの全周囲に被送流体が流れる通路が形成され
る場合には、その外形は周囲の被送流体の流れをできる
だけ乱さない形状に形成することが好ましく、いわゆ
る、流線形の外形を有することが好ましい。The shape of the nozzle for ejecting the pressurized fluid in the downstream direction of the flow of the fluid to be transmitted may be any shape so long as the pressurized fluid can be ejected in the downstream direction of the flow of the fluid to be transmitted. When a passage through which the fluid to be transmitted flows is formed around the entire nozzle, it is preferable that the outer shape is formed in a shape that does not disturb the flow of the surrounding fluid to be transmitted as much as possible, that is, it has a so-called streamlined outer shape. Is preferred.
【００２０】前記ノズルのノズル孔の形状は、特に限定
されるものではなく、加圧流体を被送流体の流れの下流
方向に噴出できるように形成してあればよく、例えば単
純に流路内で被送流体の流れの下流方向に開口する流路
断面が一定の筒孔状であってもよい。The shape of the nozzle hole of the nozzle is not particularly limited as long as it is formed so that the pressurized fluid can be ejected in the downstream direction of the flow of the fluid to be conveyed. The cross section of the flow passage opening in the downstream direction of the flow of the fluid to be transmitted may have a constant cylindrical hole shape.
【００２１】しかし、エジェクト作用を高める上では、
前記ノズルがその内部に下流側に開口する加圧流体噴出
路と、これに連続してこれよりも大径に形成され、ノズ
ルの下流側端面に開口する流体混合路と、この流体混合
路に前記流路の上流側を連通させる吸入孔とを備えるよ
うに形成することが推奨される。However, in order to enhance the eject action,
A pressurized fluid ejection passage in which the nozzle opens downstream on the inside thereof, a fluid mixing passage formed continuously to this and having a larger diameter than this, and opening on the downstream end face of the nozzle, It is recommended to provide a suction hole for communicating the upstream side of the flow path.
【００２２】この場合、加圧流体噴出路から噴出する加
圧流体のエジェクト作用により、流路内の被送流体の一
部が吸入孔を介して流体混合路に吸引され、加圧流体と
混合されて流体混合路から流路に噴出する。そして、こ
の加圧流体と被送流体との混合流体の流体混合路からの
噴出により生じるエジェクト作用によって吸入路に流入
しなかった被送流体が吸引され、下流側に圧送されるこ
とになる。つまり、いわば二重のエジェクト作用によっ
て被送流体が上流側から下流側に吸引され、後述するよ
うに、加圧流体をノズルから噴出させることにより、そ
の噴出量の３倍以上、好ましくは１０倍以上、特に好ま
しくは１５倍以上の被送流体としての排ガスを下流側に
流すことができるようになるのである。In this case, due to the ejecting action of the pressurized fluid ejected from the pressurized fluid ejection passage, a part of the fluid to be transmitted in the flow passage is sucked into the fluid mixing passage through the suction hole, and mixed with the pressurized fluid. Then, the fluid is ejected from the fluid mixing channel to the channel. Then, the ejected fluid generated by the ejection of the mixed fluid of the pressurized fluid and the fluid to be transmitted from the fluid mixing channel sucks the fluid that has not flowed into the suction channel, and is pumped downstream. In other words, the fluid to be sent is sucked from the upstream side to the downstream side by the so-called double eject action, and as described later, by ejecting the pressurized fluid from the nozzle, the ejection amount is three times or more, preferably ten times. As described above, it is particularly preferable that the exhaust gas as the fluid to be transmitted, which is preferably 15 times or more, can be caused to flow to the downstream side.
【００２３】なお、ノズル孔の形状としては、上述のよ
うに流路断面が一様の筒孔状であってもよいが、噴出時
の圧力変動をできるだけ小さくしてエジェクト作用を高
めるために、少なくとも出口の近傍で出口に向かってダ
イバージェント、即ち、末拡がりに形成されることが好
ましい。As described above, the shape of the nozzle hole may be a cylindrical hole having a uniform flow path cross section, but in order to minimize the pressure fluctuation at the time of ejection and to enhance the ejecting action. It is preferable that the divergent portion is formed at least in the vicinity of the outlet toward the outlet.
【００２４】前記ノズルの材質は、特に限定されず、使
用条件によって適宜選択すればよい。従って、高温環境
で使用されるノズルの場合には耐熱性及び高温における
保形性の優れた金属（例えば、ステンレス鋼など）、セ
ラミックスあるいはこれらの複合材を用いればよい。
又、腐食性の被送流体あるいは加圧流体が用いられる場
合には耐食性の優れた金属（例えば、ステンレス鋼な
ど）、セラミックスあるいはこれらの複合材を用いれば
よい。The material of the nozzle is not particularly limited, and may be appropriately selected depending on the use conditions. Therefore, in the case of a nozzle used in a high-temperature environment, a metal (for example, stainless steel or the like), a ceramic, or a composite material thereof having excellent heat resistance and shape retention at a high temperature may be used.
When a corrosive fluid to be transmitted or a pressurized fluid is used, a metal (for example, stainless steel) having excellent corrosion resistance, ceramics, or a composite material thereof may be used.
【００２５】もっとも、高温及び／又は腐食による機能
低下ないし機能喪失が生じる場合であっても、ノズルを
交換することにより流体吸引及び／又は流体圧入装置と
しての機能を回復することが可能であり、これにより、
長期間にわたって安価に機能維持を図ることができるの
である。However, even if the function is deteriorated or lost due to high temperature and / or corrosion, the function as the fluid suction and / or fluid injection device can be restored by replacing the nozzle, This allows
The function can be maintained at low cost over a long period of time.
【００２６】前記加圧流体供給装置は、流体を所定の圧
力に加圧して供給できるようにしてあればよく、例えば
圧力容器、ピストンポンプ、ロータリポンプなどのポン
プ、ブロア、コンプレッサなどで構成すればよい。The pressurized fluid supply device may be configured to supply a fluid by pressurizing the fluid to a predetermined pressure. For example, the pressurized fluid supply device may include a pump such as a pressure vessel, a piston pump, a rotary pump, a blower, and a compressor. Good.
【００２７】又、ノズルに接続される加圧流体供給装置
の端末配管の一部分は高温及び／又は耐食性流体を流通
する流路内に配置され、高温及び／又は腐食による機能
低下ないし機能喪失が生じる場合が有るが、この場合に
は、端末配管を交換することにより機能を回復すること
が可能であり、これにより、長期間にわたって安価に流
体吸引及び／又は流体圧入装置としての機能維持を図る
ことができる。Further, a part of the terminal pipe of the pressurized fluid supply device connected to the nozzle is disposed in a flow path for flowing a high-temperature and / or corrosion-resistant fluid, and the function is reduced or lost due to the high temperature and / or corrosion. In some cases, the function can be restored by exchanging the terminal piping. In this case, the function as a fluid suction and / or fluid injection device can be maintained at low cost over a long period of time. Can be.
【００２８】上述のように、本発明は、被送流体が一方
向に流される流路内に配置され、加圧流体を前記被送流
体の流れの下流方向に噴出するノズルと、前記送風路外
からこのノズルに加圧流体を供給する加圧流体供給装置
とを設けるので、ノズルから噴出される加圧流体のエジ
ェクト作用により、流路内の被送流体を加圧流体の供給
量よりも増量して下流側に流すことができる作用が得ら
れる。As described above, the present invention relates to a nozzle disposed in a flow path through which a fluid to be transmitted flows in one direction, and for injecting a pressurized fluid in a downstream direction of the flow of the fluid to be transmitted; Since a pressurized fluid supply device for supplying a pressurized fluid to the nozzle from the outside is provided, the ejected action of the pressurized fluid ejected from the nozzle causes the fluid to be transferred in the flow path to be smaller than the supply amount of the pressurized fluid. The effect of increasing the amount and allowing it to flow downstream is obtained.
【００２９】又、流路内に配置される部品としては、そ
れ自体が回転したり往復したりすることがないノズルと
加圧流体供給装置の端末配管とであるので、流路を流れ
る流体の熱や腐食によって容易に機能を喪失しないとい
う作用が得られる。The components disposed in the flow path are a nozzle which does not rotate or reciprocate itself and a terminal pipe of the pressurized fluid supply device. The effect is obtained that the function is not easily lost by heat or corrosion.
【００３０】更に、流路内に配置される部品を耐熱性及
び／又は耐食性を有する素材で形成したり、交換したり
することにより容易に、かつ、安価に機能を維持できる
作用を得ることができる。Further, it is possible to obtain the function of easily and inexpensively maintaining the functions by forming or replacing components disposed in the flow path with a material having heat resistance and / or corrosion resistance. it can.
【００３１】[0031]
【発明の実施の形態】本発明の実施例を図面に基づいて
具体的に説明すれば、以下の通りである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings.
【００３２】図２は半導体製造装置のブロック図であ
り、この半導体製造装置の本体１は、圧力容器からなる
反応ガス供給源２から反応ガスを供給しながらシリコン
ウェハなどの半導体素材とドーピング材との間に電圧を
印加することにより半導体の表面に不純物をドーピング
するようにしている。又、本体１内にエアクリーナ３及
び吸気ダクト４を介して大気を導入する一方、本体１内
の排ガスを排ガス処理装置５を介して、大気中に放出す
るようにしている。FIG. 2 is a block diagram of a semiconductor manufacturing apparatus. The main body 1 of the semiconductor manufacturing apparatus includes a semiconductor material such as a silicon wafer and a doping material while supplying a reaction gas from a reaction gas supply source 2 composed of a pressure vessel. The impurity is doped on the surface of the semiconductor by applying a voltage during the period. In addition, while the atmosphere is introduced into the main body 1 through the air cleaner 3 and the intake duct 4, the exhaust gas in the main body 1 is released into the atmosphere through the exhaust gas treatment device 5.
【００３３】前記本体１と排ガス処理装置５とは排気ダ
クト６を介して連通させてあり、この排気ダクト６の途
中に本発明の一実施例に係る流体吸引及び流体圧入装置
７のノズル８が設けられる。The main body 1 and the exhaust gas treatment device 5 are communicated via an exhaust duct 6, and a nozzle 8 of a fluid suction and fluid press-in device 7 according to one embodiment of the present invention is provided in the exhaust duct 6. Provided.
【００３４】この流体吸引及び流体圧入装置７は、前記
ノズル８の他に排気ダクト６外からこのノズル８に加圧
空気を供給する加圧空気供給装置９を備え、前記ノズル
８は、高温で反応性の排ガスに対する耐熱性及び耐食性
に優れている例えばステンレス鋼で形成されている。The fluid suction and fluid press-fitting device 7 includes a pressurized air supply device 9 for supplying pressurized air to the nozzle 8 from outside the exhaust duct 6 in addition to the nozzle 8. It is formed of, for example, stainless steel, which has excellent heat resistance and corrosion resistance to reactive exhaust gas.
【００３５】又、このノズル８は、図１の断面図に示す
ように、高能率に排ガスを流すために、その全周にわた
って排気ダクト６の内周面から適当な間隔を置いて配置
され、又、ノズル８及び加圧空気供給装置９の端末配管
２３の交換を容易にするために、排気ダクト６の接続部
１０に取付金具１１を介して固定される。As shown in the cross-sectional view of FIG. 1, the nozzle 8 is disposed at an appropriate distance from the inner peripheral surface of the exhaust duct 6 over the entire periphery thereof in order to flow the exhaust gas with high efficiency. In addition, in order to facilitate replacement of the nozzle 8 and the terminal pipe 23 of the pressurized air supply device 9, the nozzle 8 is fixed to the connection portion 10 of the exhaust duct 6 via a fitting 11.
【００３６】前記排気ダクト６の接続部１０の構造は特
に限定されないが、両側の排気ダクト６の端部にフレア
１２を形成し、両フレア１２の間に前記取付金具１１の
周縁部とシール部材Ｓとを挟み、両フレア１１の外周に
巻き付けたバンド１３を締めつける構造にしている。The structure of the connecting portion 10 of the exhaust duct 6 is not particularly limited. Flares 12 are formed at the ends of the exhaust ducts 6 on both sides, and the peripheral edge of the mounting bracket 11 and the sealing member are provided between the flare 12. S is sandwiched, and the band 13 wound around the outer periphery of both flares 11 is tightened.
【００３７】前記取付金具１１は皿形に形成され、その
中央部にノズル８の基端部１４が挿通されるランド１５
を有し、このランド１５と周縁部とは周方向に適当な間
隔を置いて配置された複数のフレーム１６により連結さ
れている。又、これらフレーム１６の間には、上流側と
下流側とを連通させる通気路１７が形成される。The mounting bracket 11 is formed in a dish shape, and a land 15 through which the base end 14 of the nozzle 8 is inserted is formed at the center thereof.
The land 15 and the peripheral edge are connected by a plurality of frames 16 arranged at appropriate intervals in the circumferential direction. In addition, between these frames 16, an air passage 17 for communicating the upstream side and the downstream side is formed.
【００３８】前記ノズル８の基端部１４は段付円筒状に
形成され、その段付面をランド１５の下流側面に受け止
めさせるようにランド１５に挿通され、ランド１５の上
流側から基端部１４に固定用ナット１８を螺締すること
により取付金具１１に固定される。The base end 14 of the nozzle 8 is formed in a stepped cylindrical shape, and is inserted through the land 15 so as to receive the stepped surface on the downstream side surface of the land 15. 14 is fixed to the mounting bracket 11 by screwing a fixing nut 18 to the mounting bracket 11.
【００３９】前記ノズル８は基端部１４の他にこの基端
部１４の下流側に連続するノズル部１９を有し、このノ
ズル部１９の外形は、その周囲に形成される排ガスの流
れをできるだけ乱さないように、上流側から順に半球面
と先細りテーパ面とが連続するいわゆる、流線形に形成
されている。The nozzle 8 has, in addition to the base end portion 14, a nozzle portion 19 which is continuous downstream of the base end portion 14. The outer shape of the nozzle portion 19 is such that the flow of exhaust gas formed around it is reduced. The so-called streamline is formed so that the hemispherical surface and the tapered taper surface are successively arranged in order from the upstream side so as not to disturb as much as possible.
【００４０】又、前記基端部１４内には円孔からなる加
圧空気噴出路２０が形成され、ノズル部１９内にはこの
加圧空気噴出路２０に連続して加圧空気噴出路２０より
も大径に形成され、かつ、ノズル８の下流側端面に開口
する空気混合路２１と、この空気混合路２１に排気ダク
ト６の上流側を連通させる吸入孔２２とが形成されてい
る。なお、この吸入口２２は周方向に当間隔を置いて４
口形成されているが、３口以下の吸入口２２を形成して
も、５口以上の吸入孔２２を形成しもよい。A pressurized air ejection passage 20 formed of a circular hole is formed in the base end portion 14, and a pressurized air ejection passage 20 is formed in the nozzle portion 19 continuously from the pressurized air ejection passage 20. An air mixing passage 21 having a larger diameter than that of the nozzle 8 and opening to the downstream end face of the nozzle 8, and a suction hole 22 for communicating the upstream side of the exhaust duct 6 with the air mixing passage 21 are formed. In addition, this suction port 22 is spaced at a certain interval in the circumferential direction.
Although the mouth is formed, three or less suction holes 22 may be formed, or five or more suction holes 22 may be formed.
【００４１】又、前記空気混合路２１の出口側部分は、
噴出時の圧力損失をできるだけ少なくするために、下流
側に向かって末広がり（ダイパージェント）に形成され
ている。The outlet side portion of the air mixing passage 21 is
In order to minimize the pressure loss at the time of ejection, it is formed so as to diverge toward the downstream side (die-pargent).
【００４２】排気ダクト６の上流側端部には加圧空気供
給装置９の端末配管２３がユニオンナット２４により接
続され、固定ナット１８内にはこの端末配管２３に加圧
空気噴出路２０を連通させる通路２５が形成されてい
る。A terminal pipe 23 of the pressurized air supply device 9 is connected to an upstream end of the exhaust duct 6 by a union nut 24, and a pressurized air jet passage 20 communicates with the terminal pipe 23 in the fixed nut 18. A passage 25 is formed.
【００４３】前記加圧空気供給装置９は、例えば大気を
吸入して加圧し、制御可能な供給圧で加圧空気を供給す
るエアコンプレッサーを備え、任意に制御される所定の
流量及び供給圧でノズル８に加圧空気を供給するように
している。The pressurized air supply device 9 includes, for example, an air compressor that suctions and pressurizes the atmosphere and supplies pressurized air at a controllable supply pressure. Pressurized air is supplied to the nozzle 8.
【００４４】この加圧空気供給装置９により、ノズル８
に例えば４ｋｇ／ｃｍ2 の加圧空気を毎分２５０リット
ル供給すると、ノズル８内の加圧空気噴出路２０から空
気混合路２１に噴出した加圧空気が、エジェクト作用に
より排気ダクト６の上流側の排ガスを吸入孔２２を介し
て空気混合路２１に吸引し、この空気混合路２１内に吸
入された排ガスと混合されながらノズル８の下流側端面
から排気ダクト６の下流側に向けて噴出される。そし
て、このノズル８の下流側端面から排気ダクト６の下流
側に向けて噴出される混合気流のエジェクト作用によっ
て、排気ダクト６の上流側で吸入孔２２に吸入されなか
った排ガスが吸引され、ノズル８の下流側端面から噴出
した混合気流と共に下流側に流される。この場合、下流
側の流量は毎分３３７５リットル(１３．５倍)であり、
毎分約３１２５リットルの排ガスが上流側から下流側に
流されたことになる。The pressurized air supply device 9 causes the nozzle 8
When 250 liters of pressurized air of, for example, 4 kg / cm 2 is supplied per minute, the pressurized air ejected from the pressurized air ejection passage 20 in the nozzle 8 to the air mixing passage 21 is ejected to the upstream side of the exhaust duct 6. The exhaust gas is sucked into the air mixing passage 21 through the suction hole 22 and is ejected from the downstream end face of the nozzle 8 toward the downstream side of the exhaust duct 6 while being mixed with the exhaust gas sucked into the air mixing passage 21. You. Then, the exhaust gas that has not been sucked into the suction hole 22 on the upstream side of the exhaust duct 6 is sucked by the ejecting action of the mixed airflow that is ejected from the downstream end face of the nozzle 8 toward the downstream side of the exhaust duct 6. 8 and flows downstream along with the mixed gas flow ejected from the downstream end face. In this case, the downstream flow rate is 3375 liters per minute (13.5 times),
This means that about 3125 liters of exhaust gas per minute has flowed from the upstream side to the downstream side.
【００４５】つまり、毎分２５０リットルの加圧空気を
供給できる程度の大きさ及び能力のコンプレッサを用い
ることにより毎分約３１２５リットルの排ガスを流すこ
とができるから、毎分約３１２５リットルの排ガスを流
すコンプレッサよりも小型のコンプレッサを用いて装置
を小型にすることができる結果、効率良く排ガスを流す
ことができる。又、これにより、吸引ポンプ５の負担を
著しく大幅に軽減して、吸引ポンプを小型にすることが
でき、場合によっては吸引ポンプ５を省略することもで
きる。That is, about 3125 liters of exhaust gas per minute can be flowed by using a compressor having a size and capacity capable of supplying pressurized air of 250 liters per minute. As a result of using a smaller compressor than the flowing compressor to reduce the size of the device, the exhaust gas can be efficiently flown. In addition, the load on the suction pump 5 can be greatly reduced, and the size of the suction pump can be reduced. In some cases, the suction pump 5 can be omitted.
【００４６】又、耐熱性や耐食性が問題になる排気ダク
ト６内に配置されるノズル８及び加圧空気供給装置９の
端末配管２３はそれ自体回転したり、往復したりしない
ので、変形したり、腐蝕しても容易にその機能が大幅に
低下したり、喪失したりするには至らず、極めて長期間
にわたって使用することができる。Further, the nozzle 8 and the terminal pipe 23 of the pressurized air supply device 9 which are arranged in the exhaust duct 6 where heat resistance and corrosion resistance are problematic do not rotate or reciprocate, so that they may be deformed. However, even if it is corroded, its function is not greatly reduced or lost, and it can be used for an extremely long time.
【００４７】更に、ノズル８や加圧空気供給装置９の端
末配管２３が変形したり、腐蝕したりして機能が大幅に
低下した場合には、これらの一方又は両方を交換するこ
とにより簡単に流体吸引及び流体圧入装置７の機能を回
復させることができ、長期間にわたって流体吸引及び流
体圧入装置７の機能を維持できる。Further, when the nozzle 8 or the terminal pipe 23 of the pressurized air supply device 9 is deformed or corroded and its function is greatly reduced, one or both of them can be easily replaced. The function of the fluid suction and fluid press-in device 7 can be restored, and the function of the fluid suction and fluid press-in device 7 can be maintained for a long period of time.
【００４８】なお、図２に示すように、この半導体製造
装置においては、装置休止時に本体１から反応ガスや排
ガスが周囲に流出することを防止するために吸入ダクト
３及び排ガス処理装置５の放出路にそれぞれ開閉弁２
６，２７を介在させている。As shown in FIG. 2, in this semiconductor manufacturing apparatus, the discharge of the suction duct 3 and the exhaust gas processing apparatus 5 to prevent the reaction gas and exhaust gas from flowing out of the main body 1 to the surroundings when the apparatus is stopped. On-off valve 2 on each road
6, 27 are interposed.
【００４９】図３に示す半導体製造装置においては、本
体１に反応ガス循環路２８が設けられると共に、この反
応ガス循環路２８に本発明の流体吸引及び流体圧入装置
７’のノズル８が設けられる。この場合、流体吸引及び
流体圧入装置７’のノズル８は加圧空気供給装置として
機能する圧力容器からなる反応ガス供給源２に開閉弁２
９を介して接続され、本体１内の反応ガスの濃度が低下
するとこの開閉弁２９を開弁して反応ガス供給源２から
ノズル８を介して反応ガス循環路２８に反応ガスを補充
し、この補充に伴うエジェクタ作用により反応ガスを本
体１と反応ガス循環路２８にわたって循環させることに
より、短時間内に補充された反応ガスを本体１及び反応
ガス循環路２８内の既存ガスに拡散させ、短時間内に本
体１内の反応ガスの濃度調整が達成されるようにしてい
る。In the semiconductor manufacturing apparatus shown in FIG. 3, a reaction gas circulation path 28 is provided in the main body 1, and the nozzle 8 of the fluid suction and fluid press-in device 7 'of the present invention is provided in the reaction gas circulation path 28. . In this case, the nozzle 8 of the fluid suction and fluid press-fitting device 7 ′ is connected to the reaction gas supply source 2 composed of a pressure vessel functioning as a pressurized air supply device.
When the concentration of the reactant gas in the main body 1 decreases, the on-off valve 29 is opened to replenish the reactant gas from the reactant gas supply source 2 to the reactant gas circulation path 28 via the nozzle 8, By circulating the reaction gas through the main body 1 and the reaction gas circulation path 28 by the ejector action accompanying this replenishment, the reaction gas replenished within a short time is diffused into the existing gas in the main body 1 and the reaction gas circulation path 28, The concentration of the reaction gas in the main body 1 is adjusted within a short time.
【００５０】この半導体製造装置のその他の構成、作用
ないし効果は前例のそれらと同様であるので、それらの
詳細な説明は省略する。Other configurations, operations and effects of this semiconductor manufacturing apparatus are the same as those of the previous example, and therefore, detailed description thereof will be omitted.
【００５１】図４に示す塵埃焼却装置においては、着火
ないし燃焼維持用のバーナー３０に一次空気を供給する
一次空気供給路３１の始端と、炉室３２内の塵埃の燃焼
に必要な二次空気を供給する二次空気供給路３３の始端
とにそれぞれ本発明に係る空気圧入装置７”のノズル８
が設けられる。In the dust incinerator shown in FIG. 4, the starting point of the primary air supply passage 31 for supplying primary air to the burner 30 for ignition or combustion maintenance, and the secondary air required for burning dust in the furnace chamber 32 Nozzles of the air press-fitting device 7 ″ according to the present invention at the beginning of the secondary air supply passage 33 that supplies
Is provided.
【００５２】これにより、一次空気量及び二次空気量の
合計流量に比べて吐出能力が小さいコンプレッサを用い
た流体圧入装置７”により効率良く一次空気がバーナー
３０に、二次空気が炉体３２にそれぞれ供給される。With this arrangement, the primary air can be efficiently supplied to the burner 30 and the secondary air can be efficiently supplied to the furnace body 32 by the fluid injection device 7 ″ using a compressor having a smaller discharge capacity than the total flow rate of the primary air amount and the secondary air amount. Respectively.
【００５３】一次空気供給路３１のノズル８と二次空気
を供給する二次空気供給路３３のノズル８とは、規模が
大幅に異なるとはいうものの、それらはそれぞれ前２例
の流体吸引及び流体圧入装置７，７’のノズル８と同様
に構成されている。Although the nozzles 8 of the primary air supply passage 31 and the nozzles 8 of the secondary air supply passage 33 for supplying secondary air are significantly different in scale, they are respectively different from those of the previous two examples of fluid suction and suction. It is configured similarly to the nozzle 8 of the fluid press-fitting device 7, 7 '.
【００５４】なお、この実施例においては、塵埃焼却装
置の構成を簡単にするために、２つのノズル８を１台の
加圧空気供装置９に分岐管を介して接続しているが、各
ノズル８をそれぞれ独立した加圧空気供装置９に接続し
てもよい。In this embodiment, two nozzles 8 are connected to one pressurized air supply unit 9 via a branch pipe in order to simplify the configuration of the dust incinerator. The nozzles 8 may be connected to independent pressurized air supply devices 9 respectively.
【００５５】この塵埃焼却装置の各流体圧入装置７”の
作用ないし効果は、被送流体が大気であることを除け
ば、その作用ないし効果は本質的に前２例のそれらと同
様であるので、The operation and effect of each fluid injection device 7 "of this dust incinerator are essentially the same as those of the previous two examples, except that the fluid to be conveyed is air. ,
【００５６】[0056]
【発明の効果】以上に説明したように、本発明は、加圧
流体供給装置から供給される加圧流体を被送流体が一方
向に流される流路内にノズルで被送流体の流れの下流方
向に噴出するので、被送流体の流量よりも能力が小さい
ポンプ、ブロア、コンプレッサ、吸引ポンプなどを用い
て被送流体の所要の流量を得ることができ、小型ながら
も効率良く流体を流すことができる効果が得られる。As described above, according to the present invention, the pressurized fluid supplied from the pressurized fluid supply device is supplied to the nozzle through the nozzle in the flow path in which the fluid to be transmitted flows in one direction. Since the gas is ejected in the downstream direction, a required flow rate of the fluid to be transmitted can be obtained by using a pump, a blower, a compressor, a suction pump, or the like having a smaller capacity than the flow rate of the fluid to be transported, so that the fluid flows efficiently even though it is small. The effect that can be obtained is obtained.
【００５７】又、流路内にはそれ自体回転したり、往復
したりしないノズルとこれに接続される加圧流体供給装
置の端末配管とだけが配置されるので、熱や腐蝕による
機能低下ないし機能喪失を長期間にわたって防止でき、
これにより耐久性が著しく高められる効果が得られる。Further, since only the nozzle which does not rotate or reciprocate itself and the terminal pipe of the pressurized fluid supply device connected to the nozzle are arranged in the flow path, the function is not degraded due to heat or corrosion. Function loss can be prevented for a long time,
As a result, the effect of significantly improving the durability can be obtained.
【００５８】更に、このノズルやノズルに接続される加
圧流体供給装置の端末配管を交換することにより簡単
に、しかも、安価に機能を回復させて、流体吸引及び／
又は流体圧入装置全体としての耐久性を一層高めること
ができる。Further, by replacing the nozzle and the terminal piping of the pressurized fluid supply device connected to the nozzle, the function can be easily and inexpensively restored to achieve the fluid suction and / or
Alternatively, the durability of the entire fluid press-fitting device can be further enhanced.
【００５９】本発明において、特に、前記ノズルと流路
の内面との間にノズルの全周にわたって被送流体の通路
が形成され、前記ノズルの内部に加圧流体供給装置に連
通され、下流方向に開口する加圧流体噴出路と、これに
連続してこれよりも大径に形成され、ノズルの下流側端
面に開口する流体混合路と、この流体混合路に前記流路
の上流側を連通させる吸入孔とが形成された場合には、
流体混合室におけるエジェクト作用とノズルの下流側端
部におけるエジェクト作用といわば二重のエジェクト作
用により、一層少量の加圧流体で一層多量被送流体を上
流側から下流側に流すことができる効果が得られる。In the present invention, in particular, a passage for the fluid to be transferred is formed around the entire circumference of the nozzle between the nozzle and the inner surface of the flow path, and is communicated with the pressurized fluid supply device inside the nozzle, and is provided in the downstream direction. And a fluid mixing passage which is formed to have a larger diameter than that of the pressurized fluid ejection passage and which opens at the downstream end face of the nozzle, and communicates the fluid mixing passage with the upstream side of the flow passage. When a suction hole to be formed is formed,
The ejecting action in the fluid mixing chamber and the ejecting action at the downstream end of the nozzle, so to speak, the double ejecting action, make it possible to use the smaller amount of pressurized fluid to flow more fluid to be transferred from the upstream side to the downstream side. can get.
【００６０】更に、本発明において、特に前記ノズルが
耐熱性及び耐食性を有する金属、セラミックス、又はこ
れらの複合材料で形成された場合には、高温、腐食性の
被送流体に対するノズルの耐久性が一層高められる効果
が得られる。Further, in the present invention, especially when the nozzle is formed of metal, ceramics or a composite material having heat resistance and corrosion resistance, the nozzle has high durability against high temperature and corrosive fluid to be transmitted. The effect can be further enhanced.
【図１】図１は、本発明の断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of the present invention.
【図２】図２は、本発明を用いた半導体製造装置の排ガ
ス処理の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of an exhaust gas treatment of a semiconductor manufacturing apparatus using the present invention.
【図３】図３は、本発明を用いた半導体製造装置の排ガ
ス処理の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of an exhaust gas treatment of a semiconductor manufacturing apparatus using the present invention.
【図４】図４は、本発明を用いた塵埃焼却装置の構成図
である。FIG. 4 is a configuration diagram of a dust incinerator using the present invention.
６ 排気ダクト ７ 流体吸引及び流体圧入装置 ８ ノズル ９ 加圧流体供給源 Reference Signs List 6 exhaust duct 7 fluid suction and fluid press-in device 8 nozzle 9 pressurized fluid supply source
Claims (3)
置され、加圧流体を被送流体の流れの下流方向に噴出す
るノズルと、前記流路外からこのノズルに加圧流体を供
給する加圧流体供給装置とを備えることを特徴とする流
体吸引及び／又は流体圧入装置。1. A nozzle disposed in a flow path through which a fluid to be transmitted flows in one direction, and a nozzle for jetting a pressurized fluid in a downstream direction of the flow of the fluid to be transmitted, and a pressurized fluid from outside the flow path to the nozzle And a pressurized fluid supply device for supplying fluid.
周にわたって被送流体の通路が形成され、前記ノズルの
内部に加圧流体供給装置に連通され、下流方向に開口す
る加圧流体噴出路と、これに連続してこれよりも大径に
形成され、ノズルの下流側端面に開口する流体混合路
と、この流体混合路に前記流路の上流側を連通させる吸
入孔とが形成されている請求項１に記載の流体吸引及び
／又は流体圧入装置。2. A pressurized fluid passage is formed between the nozzle and the inner surface of the flow path over the entire circumference of the nozzle, and is communicated with a pressurized fluid supply device inside the nozzle, and the pressurized fluid opens in the downstream direction. A fluid ejection path, a fluid mixing path that is continuously formed with a larger diameter than this, and opens at the downstream end face of the nozzle, and a suction hole that communicates the fluid mixing path with the upstream side of the flow path. The fluid suction and / or fluid injection device according to claim 1, wherein the device is formed.
属、セラミックス、又はこれらの複合材料で形成されて
いる請求項１又は２に記載の流体吸引及び／又は流体圧
送装置。3. The fluid suction and / or fluid pumping device according to claim 1, wherein the nozzle is formed of a metal, a ceramic, or a composite material having heat resistance and corrosion resistance.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18143396A JP4002989B2 (en) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | Fluid suction and / or fluid press-fitting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18143396A JP4002989B2 (en) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | Fluid suction and / or fluid press-fitting device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH109200A true JPH109200A (en) | 1998-01-13 |
| JP4002989B2 JP4002989B2 (en) | 2007-11-07 |
Family
ID=16100696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18143396A Expired - Lifetime JP4002989B2 (en) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | Fluid suction and / or fluid press-fitting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4002989B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002170777A (en) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Kanken Techno Co Ltd | Exhaust device |
| JP2010024902A (en) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Tlv Co Ltd | Liquid pressure feeder |
| JP2011092813A (en) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Takuma Co Ltd | Two-fluid spray nozzle |
-
1996
- 1996-06-21 JP JP18143396A patent/JP4002989B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002170777A (en) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Kanken Techno Co Ltd | Exhaust device |
| JP2010024902A (en) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Tlv Co Ltd | Liquid pressure feeder |
| JP2011092813A (en) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Takuma Co Ltd | Two-fluid spray nozzle |
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| JP4002989B2 (en) | 2007-11-07 |
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