JPH1080831A - Positioning device - Google Patents

Positioning device

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Publication number
JPH1080831A
JPH1080831A JP23619796A JP23619796A JPH1080831A JP H1080831 A JPH1080831 A JP H1080831A JP 23619796 A JP23619796 A JP 23619796A JP 23619796 A JP23619796 A JP 23619796A JP H1080831 A JPH1080831 A JP H1080831A
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JP
Japan
Prior art keywords
nut
ball screw
positioning
motor
detection sensor
Prior art date
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Pending
Application number
JP23619796A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobuaki Hirata
展章 平田
Norio Okuya
憲男 奥谷
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a positioning device which corrects a positioning error produced by distorsion caused by a load applied on a ball screw mechanism to carry out positioning with an excellent accuracy. SOLUTION: A first nut 5 which mounts a table 3 to a ball screw 2 and a second nut 6 which is coupled with the table 3 through a guide 9 are engaged with each other by threading, the relative distance between the second nut 6 and the first nut 5 is detected by a relative distance detection sensor 7 attached to the second nut 6, and any change of the position of the end part of the ball screw is detected by a position detection sensor 8. When distorsion is produced in a ball screw mechanism by a load applied by a work 12 placed on the table 3, a movement lag is produced for the first nut 5 to produce a positioning error. However, when the positioning command data in a control part 10 is corrected by the detected values of the relative position detection sensor 7 and the position detection sensor 8, the error produced by distorsion of the mechanism is corrected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ボールネジ機構を
用いた位置決め装置に関し、特に、負荷の影響により機
構歪みが生じたときの位置決め誤差を補正することがで
きる位置決め装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positioning device using a ball screw mechanism, and more particularly to a positioning device capable of correcting a positioning error when a mechanical distortion occurs due to a load.

【0002】[0002]

【従来の技術】図2は、ボールネジ機構を用いた位置決
め装置の従来例構成を示す正面図である。図2におい
て、位置決め装置20は、モータ21によって回転駆動
されるボールネジ22と、このボールネジ22に螺合す
るナット23と、このナット23上に固定されたテーブ
ル24と、ナット23の位置を検出するセンサ25と、
このセンサ25の検出出力によるフィードバック制御に
よりモータ21の回転を制御する制御部26とを備えて
構成されている。
2. Description of the Related Art FIG. 2 is a front view showing the configuration of a conventional positioning device using a ball screw mechanism. In FIG. 2, a positioning device 20 detects the position of a ball screw 22 that is rotationally driven by a motor 21, a nut 23 screwed to the ball screw 22, a table 24 fixed on the nut 23, and the nut 23. A sensor 25;
The control unit 26 controls the rotation of the motor 21 by feedback control based on the detection output of the sensor 25.

【0003】上記構成において、モータ21の回転によ
りボールネジ22が回転すると、ボールネジ22に螺合
したナット23がボールネジ22に沿って直線移動す
る。ボールネジ22の回転数に対するナット23の移動
距離は既知なので、制御部26によりモータ21の回転
数を制御すれば、ナット23上に固定されたテーブル2
4を所定位置に位置決めすることができる。しかし、ボ
ールネジ22の慣性モーメントや摩擦などの影響により
位置決め誤差が発生するので、この誤差を補正して高精
度に位置決めするため、ナット23の位置をセンサ25
により検出し、検出値を制御部26に入力し、位置決め
指令データを補正してモータ21の回転を制御する。前
記テーブル24上の所定位置には、位置決めの対象とな
るワーク28が載置されるので、テーブル24の位置決
めにより、ワーク28を所定位置に位置決めすることが
できる。
In the above configuration, when the ball screw 22 is rotated by the rotation of the motor 21, the nut 23 screwed to the ball screw 22 moves linearly along the ball screw 22. Since the moving distance of the nut 23 with respect to the rotation speed of the ball screw 22 is known, if the rotation speed of the motor 21 is controlled by the control unit 26, the table 2 fixed on the nut 23
4 can be positioned at a predetermined position. However, since a positioning error occurs due to the influence of the moment of inertia and friction of the ball screw 22, the position of the nut 23 is determined by correcting the error and positioning the nut 23 with high accuracy.
, And the detected value is input to the control unit 26, and the rotation of the motor 21 is controlled by correcting the positioning command data. Since the work 28 to be positioned is placed at a predetermined position on the table 24, the work 28 can be positioned at a predetermined position by positioning the table 24.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記従来構成におい
て、テーブル24上にワーク28を載置し、テーブル2
4に負荷を加えた状態でモータ21を回転させると、モ
ータ出力によりボールネジ22やナット23、あるいは
ボールネジ22の支持軸受け27に歪みが生じて、モー
タ出力に対するテーブル24の移動遅れが発生し、位置
決めに時間を要する問題点があった。また、センサ25
によりナット23の全ストロークを検出しようとする
と、センサ25が大型化し、コスト高になる問題点もあ
った。
In the above conventional construction, a work 28 is placed on a table 24,
When the motor 21 is rotated with a load applied to the motor 4, the ball screw 22 and the nut 23 or the support bearing 27 of the ball screw 22 are distorted due to the motor output, causing a delay in the movement of the table 24 with respect to the motor output. There was a problem that required time. In addition, the sensor 25
In order to detect the entire stroke of the nut 23, the size of the sensor 25 is increased, and the cost is increased.

【0005】本発明は、従来構成の問題点を解決すべく
創案されたもので、ボールネジ機構の剛性に関係なく、
またコスト高をまねくことなく精度よく位置決めができ
る位置決め装置を提供することを目的とする。
[0005] The present invention was conceived to solve the problems of the conventional configuration, and regardless of the rigidity of the ball screw mechanism,
It is another object of the present invention to provide a positioning device that can accurately perform positioning without increasing costs.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本願の第1発明は、モー
タにより回転駆動されるボールネジに螺合するナット上
に搭載されたテーブルを、前記モータの回転を制御する
ことにより所定位置に位置決めする位置決め装置におい
て、前記テーブルを搭載して前記ボールネジに螺合する
第1ナットと、この第1ナットと所定距離を隔てて前記
ボールネジに螺合する第2ナットと、この第2ナットと
前記第1ナットとの相対距離の変化を検出する相対距離
検出センサと、この相対距離検出センサの検出値に基づ
き位置決め指令データを補正して前記モータの回転を制
御する制御部とを具備してなることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, a table mounted on a nut screwed to a ball screw driven and rotated by a motor is positioned at a predetermined position by controlling the rotation of the motor. In the positioning device, a first nut mounted with the table and screwed to the ball screw, a second nut screwed to the ball screw at a predetermined distance from the first nut, a second nut and the first nut A relative distance detection sensor that detects a change in relative distance to the nut, and a control unit that corrects positioning command data based on a detection value of the relative distance detection sensor and controls rotation of the motor. Features.

【0007】上記第1発明の構成によれば、第1ナット
がテーブルからの負荷の影響を受けて移動遅れを生じる
のに対して、第2ナットはテーブルからの負荷の影響を
受けない。そこで、第2ナットに対する第1ナットの移
動遅れ量を相対距離として検出し、この検出値により位
置決め指令データを補正すると、負荷の影響で遅れを生
じているテーブルの位置を補正した制御ができる。
According to the configuration of the first invention, the first nut is affected by the load from the table, causing a movement delay, whereas the second nut is not affected by the load from the table. Therefore, by detecting the movement delay amount of the first nut with respect to the second nut as a relative distance and correcting the positioning command data based on the detected value, it is possible to perform control in which the position of the table that is delayed due to the load is corrected.

【0008】また、本願の第2発明は、モータにより回
転駆動されるボールネジに螺合するナット上に搭載され
たテーブルを、前記モータの回転を制御することにより
所定位置に位置決めする位置決め装置において、前記テ
ーブルを搭載して前記ボールネジに螺合するナットと、
前記ボールネジの軸方向位置の変化を検出する位置検出
センサと、この位置検出センサの検出値に基づき位置決
め指令データを補正して前記モータの回転を制御する制
御部とを具備してなることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a positioning device for positioning a table mounted on a nut screwed to a ball screw driven by a motor at a predetermined position by controlling the rotation of the motor. A nut mounted on the table and screwed into the ball screw;
A position detection sensor that detects a change in the axial position of the ball screw; and a control unit that corrects positioning command data based on a detection value of the position detection sensor and controls rotation of the motor. And

【0009】上記第2発明の構成によれば、テーブルに
加わる負荷の影響によりボールネジ及びその軸受けに生
じる歪みにより、ボールネジの軸方向の位置が変化して
テーブル位置に誤差を生じるが、位置検出センサにより
ボールネジの軸方向位置の変化を検出し、この検出値に
より位置決め指令データを補正すると、負荷の影響で遅
れを生じているテーブル位置を補正した制御ができる。
According to the configuration of the second aspect of the present invention, the axial position of the ball screw changes due to the distortion generated in the ball screw and its bearing due to the load applied to the table, causing an error in the table position. When the change in the axial position of the ball screw is detected and the positioning command data is corrected based on the detected value, control can be performed to correct the table position that is delayed due to the load.

【0010】更に、本願の第3発明は、モータにより回
転駆動されるボールネジに螺合するナット上に搭載され
たテーブルを、前記モータの回転を制御することにより
所定位置に位置決めする位置決め装置において、前記テ
ーブルを搭載して前記ボールネジに螺合する第1ナット
と、この第1ナットと処理距離を隔てて前記ボールネジ
に螺合する第2ナットと、この第2ナットと前記第1ナ
ットとの相対距離の変化を検出する相対距離検出センサ
と、前記ボールネジの軸方向位置の変化を検出する位置
検出センサと、前記相対距離検出センサ及び前記位置検
出センサの検出値に基づき位置決め指令データを補正し
て前記モータの回転を制御する制御部とを具備してなる
ことを特徴とする。
Further, a third invention of the present application relates to a positioning device for positioning a table mounted on a nut screwed into a ball screw driven by a motor at a predetermined position by controlling the rotation of the motor. A first nut mounted on the table and screwed into the ball screw; a second nut screwed into the ball screw at a processing distance from the first nut; and a relative position between the second nut and the first nut. A relative distance detection sensor that detects a change in distance, a position detection sensor that detects a change in the axial position of the ball screw, and corrects positioning command data based on detection values of the relative distance detection sensor and the position detection sensor. A control unit for controlling rotation of the motor.

【0011】上記第3発明の構成によれば、第1ナット
がテーブルからの負荷の影響を受けて移動遅れを生じる
のに対して、第2ナットはテーブルからの負荷の影響を
受けないので、第2ナットに対する第1ナットの移動遅
れ量を相対距離として検出し、更に、テーブルに加わる
負荷の影響によりボールネジ及びその軸受けに生じる歪
みにより、ボールネジの軸方向の位置が変化してテーブ
ル位置に生じた誤差を位置検出センサにより検出し、前
記第1ナットの移動遅れ量の検出値と、ボールネジの位
置変化の検出値とを用いて位置決め指令データを補正す
ると、負荷の影響で遅れを生じているテーブル位置を補
正した制御ができる。
According to the configuration of the third aspect, the first nut is affected by the load from the table and causes a movement delay, whereas the second nut is not affected by the load from the table. The amount of delay in movement of the first nut with respect to the second nut is detected as a relative distance, and furthermore, the axial position of the ball screw changes due to the distortion generated in the ball screw and its bearing due to the effect of the load applied to the table, resulting in a change in the table position. When the positioning error is detected by the position detection sensor and the positioning command data is corrected using the detected value of the movement delay amount of the first nut and the detected value of the position change of the ball screw, a delay occurs due to the load. Control with corrected table position can be performed.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の一実施形態について説明し、本発明の理解に供する。
尚、以下の実施形態は本発明を具体化した一例であっ
て、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings to provide an understanding of the present invention.
The following embodiments are examples embodying the present invention and do not limit the technical scope of the present invention.

【0013】図1は、本実施形態に係る位置決め装置の
構成を示す正面図である。位置決め装置1は、ボールネ
ジ2と、このボールネジ2を回転駆動するモータ4と、
前記ボールネジ2に螺合する第1ナット5と、同じくボ
ールネジ2に螺合する第2ナット6と、前記第1ナット
5に搭載されたテーブル3と、前記第2ナット6に取り
付けられた相対距離検出センサ7と、前記ボールネジ2
の軸方向端部側に配置された位置検出センサ8と、前記
テーブル3の移動方向に摺動自在に前記第2ナット6を
テーブル3に連結するガイド9と、前記第1センサ7及
び第2センサ8による検出値により位置決め指令データ
を補正して前記モータ4の回転を制御する制御部10と
を備えて構成されている。
FIG. 1 is a front view showing the configuration of the positioning device according to the present embodiment. The positioning device 1 includes a ball screw 2, a motor 4 that rotationally drives the ball screw 2,
A first nut 5 screwed to the ball screw 2, a second nut 6 also screwed to the ball screw 2, a table 3 mounted on the first nut 5, and a relative distance attached to the second nut 6 The detection sensor 7 and the ball screw 2
A guide 9 for connecting the second nut 6 to the table 3 so as to be slidable in the direction of movement of the table 3, a first sensor 7 and a second The control unit 10 is configured to correct the positioning command data based on the value detected by the sensor 8 and control the rotation of the motor 4.

【0014】上記構成において、テーブル3上に載置さ
れるワーク12を所定位置に位置決めするためには、テ
ーブル3を搭載した第1ナット5をボールネジ2の回転
により直線移動させればよい。ボールネジ2の回転数に
対する第1ナット5の移動距離は既知なので、制御部1
0にテーブル3の原点位置からの位置決め点までの移動
距離を指令データとして入力すれば、制御部10は移動
距離に相当する回転数でモータ4を駆動制御する。モー
タ4の回転によりボールネジ2が所定回転数で回転する
と、第1ナット5は所定距離を直線移動し、搭載したテ
ーブル3を所定位置に移動させることができる。
In the above configuration, in order to position the work 12 placed on the table 3 at a predetermined position, the first nut 5 on which the table 3 is mounted may be moved linearly by rotating the ball screw 2. Since the moving distance of the first nut 5 with respect to the rotation speed of the ball screw 2 is known, the controller 1
If the moving distance from the origin position of the table 3 to the positioning point is input to 0 as command data, the control unit 10 controls the driving of the motor 4 at the number of revolutions corresponding to the moving distance. When the ball screw 2 rotates at a predetermined number of rotations by the rotation of the motor 4, the first nut 5 linearly moves a predetermined distance, and can move the mounted table 3 to a predetermined position.

【0015】しかしながら、テーブル3上にワーク12
による負荷が加わった状態でモータ4を回転駆動させる
と、モータ出力によりボールネジ2やその軸受け11、
第1ナット5に歪みが生じて、第1ナット5に移動遅れ
が生じ、テーブル3の位置決めに誤差が発生する。上記
構成には、この位置決め誤差を補正する手段が設けられ
ている。
However, the work 12 is placed on the table 3.
When the motor 4 is rotationally driven in a state in which a load due to is applied, the ball screw 2 and its bearing 11,
The first nut 5 is distorted, causing a delay in the movement of the first nut 5 and causing an error in the positioning of the table 3. In the above configuration, means for correcting this positioning error is provided.

【0016】上記テーブル3の位置決め誤差を補正する
第1の手段は、図1に示す第2ナット6と、この第2ナ
ット6に取り付けられた相対位置検出センサ7と、第2
ナット6にテーブル3からの負荷が加わらないように第
2ナット6をテーブル3に連結するガイド9とによる構
成である。
The first means for correcting the positioning error of the table 3 includes a second nut 6 shown in FIG. 1, a relative position detecting sensor 7 attached to the second nut 6,
The second nut 6 is configured to be connected to the table 3 by a guide 9 so that a load from the table 3 is not applied to the nut 6.

【0017】図1に示すように、ガイド9は、テーブル
3の裏面にテーブル3の移動方向に長く凸状に形成され
たガイド板9aと、第2ナット6に形成されて前記ガイ
ド板9aの両側に摺動接触する摺動板9bとにより構成
され、テーブル3と第2ナット6とは直接接触せず、テ
ーブル3からの加重が第2ナット6に加わらないように
構成されている。従って、第2ナット6にはテーブル3
に加わる負荷の影響は及ばないので、テーブル3に加わ
る負荷の影響を受ける第1ナット5が移動遅れを生じた
とき、第1ナット5と第2ナット6との間の相対距離に
ΔL1の変化が生じる。第2ナット6には、第1ナット
5に取り付けられた距離検出板5aと対向して相対位置
検出センサ6が取り付けられ、第1ナット5と第2ナッ
ト6との相対距離を測定し、第1ナット5に移動遅れが
生じたときの相対距離の変化量ΔL1を検出する。この
検出された相対距離変化量ΔL1を制御部10に入力し
て、位置決め指令データを補正すると、第1ナット5の
移動遅れを補正した位置決めができる。
As shown in FIG. 1, the guide 9 has a guide plate 9a formed on the back surface of the table 3 in a long and convex shape in the moving direction of the table 3, and a guide nut 9 formed on the second nut 6. The table 3 and the second nut 6 do not directly contact each other, and are configured so that the weight from the table 3 is not applied to the second nut 6. Therefore, the second nut 6 has the table 3
When the first nut 5 affected by the load applied to the table 3 has a movement delay, the relative distance between the first nut 5 and the second nut 6 varies by ΔL1. Occurs. A relative position detection sensor 6 is attached to the second nut 6 so as to face a distance detection plate 5 a attached to the first nut 5, and measures a relative distance between the first nut 5 and the second nut 6. The amount of change ΔL1 in relative distance when a movement delay occurs in one nut 5 is detected. When the detected relative distance change amount ΔL1 is input to the control unit 10 and the positioning command data is corrected, positioning can be performed with the movement delay of the first nut 5 corrected.

【0018】上記テーブル3の位置決め誤差を補正する
第2の手段は、図1に示すボールネジ2の端部位置を検
出する位置検出センサ8による構成である。
The second means for correcting the positioning error of the table 3 is constituted by a position detecting sensor 8 for detecting the end position of the ball screw 2 shown in FIG.

【0019】ボールネジ2及びその軸受け11は、テー
ブル3からの負荷の影響により歪みが発生し、ボールネ
ジ2は軸方向にΔL2の位置変化が生じる。位置検出セ
ンサ8は、ホールネジ2の端部側に配設されてボールネ
ジ2の端部位置の位置変化を測定しているので、歪みに
よる軸方向の位置変化量ΔL2を検出することができ
る。この検出された位置変化量ΔL2を制御部10に入
力して、位置決め指令データを補正すると、ボールネジ
2の歪みに伴うテーブル3の位置決め誤差を補正するこ
とができる。
The ball screw 2 and its bearing 11 are distorted by the influence of the load from the table 3, and the ball screw 2 changes its position by ΔL2 in the axial direction. Since the position detection sensor 8 is arranged on the end side of the hole screw 2 and measures the position change of the end position of the ball screw 2, the position change amount ΔL2 in the axial direction due to the distortion can be detected. When the detected position change amount ΔL2 is input to the control unit 10 to correct the positioning command data, the positioning error of the table 3 due to the distortion of the ball screw 2 can be corrected.

【0020】上記テーブル3の位置決め誤差を補正する
第1の手段及び第2の手段を併用することにより、より
高精度の位置決めができる。即ち、位置決め精度を阻害
する2つの変化量ΔL1とΔL2をリアルタイムに検出
して、この変化量ΔL1+ΔL2を制御部10に入力
し、位置決め指令データを変化量ΔL1+ΔL2で補正
したデータによりモータ4を回転駆動すると、より精度
よく位置決めを実施することができる。
By using both the first means and the second means for correcting the positioning error of the table 3, more accurate positioning can be performed. That is, two change amounts ΔL1 and ΔL2 that hinder positioning accuracy are detected in real time, the change amount ΔL1 + ΔL2 is input to the control unit 10, and the motor 4 is rotationally driven by data obtained by correcting the positioning command data by the change amount ΔL1 + ΔL2. Then, positioning can be performed more accurately.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上の説明の通り本願の第1発明によれ
ば、第1ナットがテーブルからの負荷の影響を受けて移
動遅れを生じるのに対して、第2ナットはテーブルから
の負荷の影響を受けない。そこで、第2ナットに対する
第1ナットの移動遅れ量を相対距離として検出し、この
検出値により位置決め指令データを補正すると、負荷の
影響で遅れを生じているテーブルの位置を補正した制御
ができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the first nut is affected by the load from the table to cause a movement delay, whereas the second nut is affected by the load from the table. Not affected. Therefore, by detecting the movement delay amount of the first nut with respect to the second nut as a relative distance and correcting the positioning command data based on the detected value, it is possible to perform control in which the position of the table that is delayed due to the load is corrected.

【0022】また、本願の第2発明によれば、テーブル
に加わる負荷の影響によりボールネジ及びその軸受けに
生じる歪みにより、ボールネジの軸方向の位置が変化し
てテーブル位置に誤差を生じるが、位置検出センサによ
りボールネジの軸方向位置の変化を検出し、この検出値
により位置決め指令データを補正すると、負荷の影響で
遅れを生じているテーブル位置を補正した制御ができ
る。
According to the second aspect of the present invention, the axial position of the ball screw changes due to the distortion generated in the ball screw and its bearing due to the load applied to the table, causing an error in the table position. When a change in the axial position of the ball screw is detected by the sensor and the positioning command data is corrected based on the detected value, control can be performed to correct the table position that is delayed due to the load.

【0023】更に、本願の第3発明によれば、第1ナッ
トがテーブルからの負荷の影響を受けて移動遅れを生じ
るのに対して、第2ナットはテーブルからの負荷の影響
を受けないので、第2ナットに対する第1ナットの移動
遅れ量を相対距離として検出し、更に、テーブルに加わ
る負荷の影響によりボールネジ及びその軸受けに生じる
歪みにより、ボールネジの軸方向の位置が変化してテー
ブル位置に生じた誤差を位置検出センサにより検出し、
前記第1ナットの移動遅れ量の検出値と、ボールネジの
位置変化の検出値とを用いて位置決め指令データを補正
すると、負荷の影響で遅れを生じているテーブル位置を
補正した制御ができる。
Further, according to the third aspect of the present invention, the first nut is affected by the load from the table, causing a movement delay, whereas the second nut is not affected by the load from the table. The amount of delay in the movement of the first nut with respect to the second nut is detected as a relative distance, and the axial position of the ball screw changes due to the distortion generated in the ball screw and its bearing due to the effect of the load applied to the table. The resulting error is detected by the position detection sensor,
When the positioning command data is corrected using the detected value of the movement delay amount of the first nut and the detected value of the change in the position of the ball screw, control can be performed in which the table position that is delayed due to the load is corrected.

【0024】上記のように本願の第1〜第3発明によれ
ば、従来例における大型で高コストのセンサを用いるこ
となく、低コストで、迅速にテーブルの位置決めを正確
に行うことができる。
As described above, according to the first to third aspects of the present invention, the table can be quickly and accurately positioned at low cost without using a large-sized and expensive sensor in the conventional example.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る位置決め装置の構成
を示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing a configuration of a positioning device according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来構成に係る位置決め装置の構成を示す正面
図である。
FIG. 2 is a front view showing a configuration of a positioning device according to a conventional configuration.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 位置決め装置 2 ボールネジ 3 テーブル 4 モータ 5 第1ナット 6 第2ナット 7 相対位置検出センサ 8 位置検出センサ 9 ガイド 10 制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Positioning device 2 Ball screw 3 Table 4 Motor 5 1st nut 6 2nd nut 7 Relative position detection sensor 8 Position detection sensor 9 Guide 10 Control part

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 モータにより回転駆動されるボールネジ
に螺合するナット上に搭載されたテーブルを、前記モー
タの回転を制御することにより所定位置に位置決めする
位置決め装置において、 前記テーブルを搭載して前記ボールネジに螺合する第1
ナットと、この第1ナットと所定距離を隔てて前記ボー
ルネジに螺合する第2ナットと、この第2ナットと前記
第1ナットとの間の相対距離の変化を検出する相対距離
検出センサと、この相対距離検出センサの検出値に基づ
き位置決め指令データを補正してモータの回転を制御す
る制御部とを具備してなることを特徴とする位置決め装
置。
1. A positioning device for positioning a table mounted on a nut screwed into a ball screw rotationally driven by a motor at a predetermined position by controlling the rotation of the motor. The first screwed into the ball screw
A nut, a second nut screwed into the ball screw at a predetermined distance from the first nut, a relative distance detection sensor for detecting a change in a relative distance between the second nut and the first nut, And a control unit for controlling the rotation of the motor by correcting the positioning command data based on the value detected by the relative distance detection sensor.
【請求項2】 モータにより回転駆動されるボールネジ
に螺合するナット上に搭載されたテーブルを、前記モー
タの回転を制御することにより所定位置に位置決めする
位置決め装置において、 前記テーブルを搭載して前記ボールネジに螺合するナッ
トと、前記ボールネジの軸方向位置の変化を検出する位
置検出センサと、この位置検出センサの検出値に基づき
位置決め指令データを補正してモータの回転を制御する
制御部とを具備してなることを特徴とする位置決め装
置。
2. A positioning device for positioning a table mounted on a nut screwed into a ball screw driven and rotated by a motor at a predetermined position by controlling the rotation of the motor. A nut screwed into the ball screw, a position detection sensor for detecting a change in the axial position of the ball screw, and a control unit for controlling the rotation of the motor by correcting the positioning command data based on the detection value of the position detection sensor. A positioning device, comprising:
【請求項3】 モータにより回転駆動されるボールネジ
に螺合するナット上に搭載されたテーブルを、前記モー
タの回転を制御することにより所定位置に位置決めする
位置決め装置において、 前記テーブルを搭載して前記ボールネジに螺合する第1
ナットと、この第1ナットと所定距離を隔てて前記ボー
ルネジに螺合する第2ナットと、この第2ナットと前記
第1ナットとの相対距離の変化を検出する相対距離検出
センサと、前記ボールネジの軸方向位置の変化を検出す
る位置検出センサと、前記相対距離検出センサ及び前記
位置検出センサの検出値に基づき位置決め指令データを
補正してモータの回転を制御する制御部とを具備してな
ることを特徴とする位置決め装置。
3. A positioning device for positioning a table mounted on a nut screwed to a ball screw driven and rotated by a motor at a predetermined position by controlling the rotation of the motor. The first screwed into the ball screw
A nut; a second nut screwed into the ball screw at a predetermined distance from the first nut; a relative distance detection sensor for detecting a change in a relative distance between the second nut and the first nut; A position detection sensor that detects a change in the axial position of the motor, and a control unit that controls the rotation of the motor by correcting the positioning command data based on the detection values of the relative distance detection sensor and the position detection sensor. A positioning device characterized by the above-mentioned.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014002165A (en) * 2013-08-08 2014-01-09 Nippon Thompson Co Ltd Small slide device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014002165A (en) * 2013-08-08 2014-01-09 Nippon Thompson Co Ltd Small slide device

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