JPH1080166A - Vibration driving device and apparatus with vibration driving device - Google Patents

Vibration driving device and apparatus with vibration driving device

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JPH1080166A
JPH1080166A JP8233179A JP23317996A JPH1080166A JP H1080166 A JPH1080166 A JP H1080166A JP 8233179 A JP8233179 A JP 8233179A JP 23317996 A JP23317996 A JP 23317996A JP H1080166 A JPH1080166 A JP H1080166A
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JP
Japan
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guide member
driving device
vibration driving
light
vibration
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Pending
Application number
JP8233179A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hironobu Takano
裕宣 高野
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Publication of JPH1080166A publication Critical patent/JPH1080166A/en
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  • Lens Barrels (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration driving device which is low-cost and which can detect a movement amount with a simple configuration by a method in which the rotation of a guide member is detected by a detection means. SOLUTION: When voltages, at a specific frequency, whose value is different from each other by 90 deg. are applied in a state that an A-phase electrode film and a B-phase electrode film at a vibrator are set to continuity, a piezoelectric element repeats expansion and contraction motions whose phase is different by 90 deg.. As a result, a moving body 4 is moved by an elliptical motion. When the moving body 4 is moved, a guide member 7b which is supported by ball bearings 8b, 8d is turned, and also a light-shielding plate 9 is turned. When the light-shielding plate 9 is turned, a beam of light from a light source at a photointerrupter 10 is shielded intermittently by the light-shielding plate 9. At this time, an intermittent output signal is output from the output terminal of the photointerrupter 10, the output signal is counted by a pulse detection circuit which is connected to the photointerrupter 10, and the movement amount of the moving body 4 can be detected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リニア型の振動駆
動装置および振動駆動装置を有する機器に係り、特に位
置検出のためのエンコーダに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear vibration driving device and an apparatus having the vibration driving device, and more particularly to an encoder for detecting a position.

【0002】[0002]

【従来の技術】振動波を利用したリニア型の振動駆動装
置には、矩形板状に形成された振動体を振動させて、こ
の振動体に接触させた移動体(移動部材)をリニア駆動
するものがあり、このような振動駆動装置としては、例
えば図11に示すように構成されている。
2. Description of the Related Art In a linear vibration driving device utilizing vibration waves, a vibrating body formed in a rectangular plate shape is vibrated, and a moving body (moving member) brought into contact with the vibrating body is linearly driven. For example, such a vibration drive device is configured as shown in FIG.

【0003】この図において、111は金属等の弾性材
料により形成された弾性体、112a,112bは弾性
体111に振動を励起させるための圧電素子である。弾
性体111と圧電素子112a,112bとから上記振
動体が構成される。
In FIG. 1, reference numeral 111 denotes an elastic body formed of an elastic material such as a metal, and 112a and 112b denote piezoelectric elements for exciting the elastic body 111 to vibrate. The vibrating body is composed of the elastic body 111 and the piezoelectric elements 112a and 112b.

【0004】さらに、114a,114b,114c,
114dは圧電素子112a,112bに特定周波数の
電圧を印加するための電極膜で、115は移動体であ
る。また、116は移動体115を弾性体111に適度
な力で押圧するための押圧バネであり、117は押圧バ
ネ116と移動体115との間の摩擦抵抗を低減するた
めのベアリングである。
Further, 114a, 114b, 114c,
114d is an electrode film for applying a voltage of a specific frequency to the piezoelectric elements 112a and 112b, and 115 is a moving body. Reference numeral 116 denotes a pressing spring for pressing the moving body 115 against the elastic body 111 with an appropriate force, and 117 denotes a bearing for reducing frictional resistance between the pressing spring 116 and the moving body 115.

【0005】このように構成されたリニア振動駆動装置
では、図示していない電圧制御回路によって電極膜11
4aと114d(A相電極膜)、114bと114c
(B相電極膜)をそれぞれ導通させた状態でA相電極膜
114aとB相電極膜114bとに互いに90度位相が
異なる特定周波数の電圧(図中には、sin,cosで
示す)を印加すると、圧電素子112a,112bはそ
の周波数で伸縮を繰り返す。この圧電素子112a,1
12bの伸縮によって弾性体111には縦振動(例え
ば、1次モード振動)と屈曲振動(例えば、4次モード
振動)が励起され、これらの振動(定在波)の合成によ
って、移動体115を移動させるため駆動波が形成され
る。そして、この定在波の合成により弾性体111の表
面の各質点が互いに同方向に回転する駆動波としての楕
円運動を行う。
[0005] In the linear vibration driving device constructed as described above, a voltage control circuit (not shown) controls the electrode film 11.
4a and 114d (A-phase electrode film), 114b and 114c
With the (B-phase electrode film) conductive, voltages of specific frequencies (indicated by sin and cos in the figure) having phases different from each other by 90 degrees are applied to the A-phase electrode film 114a and the B-phase electrode film 114b. Then, the piezoelectric elements 112a and 112b repeat expansion and contraction at the frequency. This piezoelectric element 112a, 1
A longitudinal vibration (for example, a first mode vibration) and a bending vibration (for example, a fourth mode vibration) are excited in the elastic body 111 by the expansion and contraction of 12b, and the moving body 115 is generated by combining these vibrations (standing wave). A driving wave is formed for the movement. Then, by combining the standing waves, each mass point on the surface of the elastic body 111 performs an elliptical motion as a driving wave that rotates in the same direction.

【0006】このため、弾性体111に移動体115を
加圧接触させると、両者間の摩擦によって移動体115
が図中の矢印方向に駆動される。尚、弾性体111に
は、上記楕円運動を増幅して移動体115に伝達するた
めの運動抽出体113a,113bが取り付けられてい
る。
For this reason, when the moving body 115 is brought into pressure contact with the elastic body 111, the moving body 115
Is driven in the direction of the arrow in the figure. The elastic body 111 is provided with motion extractors 113a and 113b for amplifying the elliptical motion and transmitting the amplified elliptic motion to the moving body 115.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したリ
ニア振動駆動装置では、移動体115の制御の為に、移
動体115の移動量を検出することが必要である。この
移動体115の移動量を検出する手段としては、例え
ば、本出願人より提案される検出手段や、特開昭61−
125460号公報にて提案されている検出手段があ
る。
In the linear vibration driving device described above, it is necessary to detect the amount of movement of the moving body 115 for controlling the moving body 115. Means for detecting the amount of movement of the moving body 115 include, for example, a detecting means proposed by the present applicant and
There is a detecting means proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 125460.

【0008】本出願人が先に提案した検出手段では、ガ
イドバーの軸方向の一部に、等間隔に磁化された磁気記
録媒体よりなる磁気スケールを添設させ、一方、移動体
(レンズ保持部材)には前記磁気スケールの磁化を感知
する磁気抵抗素子やホール素子等の磁気検出素子を内設
し、移動体(レンズ保持部材)の移動量を検出するもの
である。
In the detecting means proposed by the present applicant, a magnetic scale made of a magnetic recording medium magnetized at equal intervals is attached to a part of the guide bar in the axial direction. The member includes a magnetism detecting element such as a magnetoresistive element or a Hall element that senses the magnetization of the magnetic scale, and detects the amount of movement of the moving body (lens holding member).

【0009】しかしながら、この検出手段ではガイドバ
ーの一部を磁化するため、ガイドバーが磁性体である必
要があり、さらに、使用するガイドバーはその表面精度
をサブミクロンオーダーで管理しなければならないの
で、総合的に非常に高価なものになってしまう、という
問題があった。
However, in this detection means, since a part of the guide bar is magnetized, the guide bar needs to be made of a magnetic material, and the surface accuracy of the guide bar to be used must be controlled on the order of submicrons. Therefore, there has been a problem that it becomes very expensive overall.

【0010】本出願に係る第1の発明の目的は、安価
で、しかも簡易な構成で移動量を検出できる振動駆動装
置を提供することにある。
It is an object of the first invention according to the present application to provide a vibration drive device which can detect the amount of movement with a simple and inexpensive structure.

【0011】本出願に係る第2の発明の目的は、振動駆
動装置を駆動源として駆動される被駆動手段を高精度に
位置決めできる振動駆動装置を有する機器を提供するこ
とにある。
A second object of the present invention is to provide an apparatus having a vibration driving device capable of positioning a driven unit driven by using the vibration driving device as a driving source with high accuracy.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本出願に係る第1の発明
の目的を実現する第1の構成は、電気−機械エネルギー
変換素子により弾性体を振動させる振動体と、前記振動
体を収納するケース部材と、前記ケース部材に回転可能
に支持されたガイド部材と、前記ガイド部材と前記振動
体とに接触するように配置され移動方向に延びる接触部
材と、前記接触部材を前記振動体と前記ガイド部材に加
圧接触させる押圧手段とを有し、前記振動体に形成され
る振動により前記ケース部材と前記接触体とを相対的に
移動させる振動駆動装置において、前記ガイド部材の回
転を検出する検出手段を有することを特徴とする振動駆
動装置にある。
A first configuration for realizing the object of the first invention according to the present application is a vibrating body that vibrates an elastic body by an electro-mechanical energy conversion element, and houses the vibrating body. A case member, a guide member rotatably supported by the case member, a contact member arranged to be in contact with the guide member and the vibrating body, and extending in a moving direction; and A vibration driving device that has a pressing unit that presses and contacts the guide member and that relatively moves the case member and the contact member by vibration formed in the vibrating body, wherein rotation of the guide member is detected. A vibration drive device comprising a detection unit.

【0013】本出願に係る第1の発明の目的を実現する
第2の構成は、上記した第1の構成において、前記検出
手段を回転検出位相にずれを有して複数設けたことを特
徴とする振動駆動装置にある。
A second configuration for realizing the object of the first invention according to the present application is characterized in that, in the first configuration, a plurality of the detecting units are provided with a rotation detection phase shifted. Vibration driving device.

【0014】本出願に係る第1の発明の目的を実現する
第3の構成は、上記した第1または第2の構成におい
て、前記検出手段は、前記ケース部材に支持された光源
と、前記ケース部材に支持され、且つ前記光源からの光
線を受光する受光部と、前記ガイド部材に取り付けら
れ、前記光源からの光線を遮る遮光板とから構成される
エンコーダであることを特徴とする振動駆動装置にあ
る。
According to a third configuration for realizing the object of the first invention according to the present application, in the above-mentioned first or second configuration, the detecting means comprises: a light source supported by the case member; A vibration drive device, comprising: a light receiving unit supported by a member and receiving a light beam from the light source; and a light shielding plate attached to the guide member and blocking the light beam from the light source. It is in.

【0015】本出願に係る第1の発明の目的を実現する
第4の構成は、上記した第1または第2の構成におい
て、前記検出手段は、前記ケース部材に形成されたブラ
シ機構と、前記ガイド部材に取り付けられ、且つ導電部
分と絶縁部分とに区分されるパターン部を有するパルス
板とから構成されるエンコーダであることを特徴とする
振動駆動装置にある。
According to a fourth configuration for realizing the object of the first invention according to the present application, in the first or second configuration described above, the detecting means includes a brush mechanism formed on the case member, A vibration drive device is an encoder that is an encoder that is attached to a guide member and includes a pulse plate having a pattern portion divided into a conductive portion and an insulating portion.

【0016】本出願に係る第1の発明の目的を実現する
第5の構成は、上記した第1または第2の構成におい
て、前記検出手段は、前記ケース部材に形成された磁気
検知素子と、前記ガイド部材に取り付けられ、且つ磁極
を所定ピッチで連続的に着磁してある磁極部を有する磁
気スケール板とから構成されるエンコーダであることを
特徴とする振動駆動装置にある。
According to a fifth configuration for realizing the object of the first invention according to the present application, in the first or second configuration described above, the detecting means includes: a magnetic sensing element formed on the case member; And a magnetic scale plate having a magnetic pole portion attached to the guide member and having magnetic poles continuously magnetized at a predetermined pitch.

【0017】本出願に係る第1の発明の目的を実現する
第6の構成は、上記の各構成において、前記振動体は矩
形板状に形成されていることを特徴とする振動駆動装置
にある。
A sixth configuration for realizing the object of the first invention according to the present application is the vibration driving device, wherein in each of the above-mentioned configurations, the vibrator is formed in a rectangular plate shape. .

【0018】本出願に係る第1の発明の目的を実現する
第7の構成は、上記の各構成において、前記ガイド部材
は前記ケース部材にボールベアリングを介して回転可能
に取り付けられていることを特徴とする振動駆動装置に
ある。
According to a seventh aspect of the present invention for achieving the object of the first invention, in each of the above aspects, the guide member is rotatably attached to the case member via a ball bearing. The feature is a vibration drive device.

【0019】本出願に係る第1の発明の目的を実現する
第8の構成は、上記した第7の構成において、前記接触
体とガイド部材との摩擦係数を、前記ガイド部材と前記
ボールベアリングとの摩擦係数よりも十分大きくしたこ
とを特徴とする振動駆動装置にある。
According to an eighth configuration for realizing the object of the first invention according to the present application, in the above-mentioned seventh configuration, the coefficient of friction between the contact member and the guide member is determined by comparing the coefficient of friction between the guide member and the ball bearing with each other. The vibration driving device is characterized in that the coefficient of friction is sufficiently larger than the coefficient of friction.

【0020】本出願に係る第1の発明の目的を実現する
第9の構成は、上記した第4の構成において、前記ブラ
シ機構と前記パルス板との摩擦係数は、前記移動部材と
前記ガイド部材との摩擦係数より十分小さいことを特徴
とする振動駆動装置にある。本出願に係る第2の発明の
目的を実現する第1の構成は、上記の各構成の振動駆動
装置を駆動手段として被駆動体を駆動することを特徴と
する振動駆動装置を有する機器にある。
According to a ninth configuration for realizing the object of the first invention according to the present application, in the above-described fourth configuration, the coefficient of friction between the brush mechanism and the pulse plate is determined by changing the moving member and the guide member. The vibration drive device is characterized in that the coefficient of friction is sufficiently smaller than the coefficient of friction. A first configuration for realizing the object of the second invention according to the present application is an apparatus having a vibration driving device characterized in that a driven body is driven using the vibration driving device of each of the above-described configurations as driving means. .

【0021】本出願に係る第2の発明の目的を実現する
第2の構成は、上記の振動駆動装置を有する機器におい
て、前記被駆動体はレンズであることを特徴とする。
A second configuration for realizing the object of the second invention according to the present application is characterized in that in the apparatus having the above-mentioned vibration driving device, the driven body is a lens.

【0022】上述の構成によれば、前記検出手段は前記
ガイド部材の回転を検出する、例えばガイド部材に支持
された遮光板とから構成される光学式エンコーダ、ケー
ス部材に形成されたブラシ機構とガイド部材に支持され
たパルス板とから構成される刷子式エンコーダ、ケース
部材に形成された磁気検知素子とガイド部材に支持され
た磁気スケール板とから構成される磁気式エンコーダ等
とすることができるので、移動部材の移動を妨げること
なく、正確に移動部材の移動量を検出でき、しかも安価
に提供できる。
According to the above arrangement, the detecting means detects the rotation of the guide member, and comprises, for example, an optical encoder comprising a light shielding plate supported by the guide member, and a brush mechanism formed on the case member. A brush type encoder composed of a pulse plate supported by a guide member, a magnetic encoder composed of a magnetic sensing element formed on a case member and a magnetic scale plate supported by a guide member, and the like can be provided. Therefore, the amount of movement of the moving member can be accurately detected without hindering the movement of the moving member, and can be provided at low cost.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

(第1の実施の形態)図1は本発明による振動波駆動装
置の第1の実施の形態を示す。
(First Embodiment) FIG. 1 shows a first embodiment of a vibration wave driving device according to the present invention.

【0024】図1は、本発明に係る第1の実施の形態を
示すリニア振動駆動装置の分解斜視図である。この図に
おいて、1はリニア振動駆動装置の駆動源となる振動部
材としての振動子であり、振動状態を誇張して示してい
る。この振動子1は、図2に詳しく示すように、略矩形
板状をした真鍮、燐青銅あるいはステンレス等からなる
弾性体1aと、この弾性体1aの上下面に貼り合わされ
た圧電素子1b,1cと、圧電素子1cの上面に貼り付
けられた運動抽出体1d,1eと、圧電素子1b,1c
の長手方向中央で分かれるように所定の幅で分割形成さ
れた電極膜1f,1g,1h,1iとにより構成されて
いる。
FIG. 1 is an exploded perspective view of a linear vibration driving device according to a first embodiment of the present invention. In this figure, reference numeral 1 denotes a vibrator as a vibration member serving as a drive source of a linear vibration driving device, and the vibration state is exaggerated. As shown in detail in FIG. 2, the vibrator 1 has a substantially rectangular plate-shaped elastic body 1a made of brass, phosphor bronze, stainless steel, or the like, and piezoelectric elements 1b and 1c bonded to the upper and lower surfaces of the elastic body 1a. Motion extractors 1d and 1e attached to the upper surface of piezoelectric element 1c, and piezoelectric elements 1b and 1c
The electrode films 1f, 1g, 1h, and 1i are formed so as to be divided at a predetermined width so as to be divided at the center in the longitudinal direction.

【0025】2a,2bはフェルト等の振動を吸収する
振動吸収部材であり、振動子1に設けた運動抽出体1
d,1eの略反対側に位置するように配置される。3は
振動吸収部材2a,2bを介して振動子1を支持する支
持部材であり、振動吸収部材2a,2bの下面に接着
剤、あるいは両面テープ等で固定される。なお、本実施
の形態では振動吸収部材2a,2bを2つ設けている
が、運動抽出体1d,1eの略反対側に位置すれば、1
つでも3つ以上でもよい。
Reference numerals 2a and 2b denote vibration absorbing members for absorbing vibration of felt or the like.
It is arranged so that it may be located substantially opposite to d and 1e. Reference numeral 3 denotes a support member that supports the vibrator 1 via the vibration absorbing members 2a and 2b, and is fixed to the lower surfaces of the vibration absorbing members 2a and 2b with an adhesive or a double-sided tape. In the present embodiment, two vibration absorbing members 2a and 2b are provided, but if they are located on substantially opposite sides of the motion extractors 1d and 1e, 1
Or three or more.

【0026】4は運動抽出体1d,1eに当接してこの
運動抽出体1d,1eに発生した楕円運動を直線運動に
変換するための移動体である。この移動体4は下面がフ
ラットなD形断面形状を有する。
Reference numeral 4 denotes a moving body which comes into contact with the motion extractors 1d and 1e and converts the elliptical motion generated in the motion extractors 1d and 1e into a linear motion. The moving body 4 has a D-shaped cross section with a flat lower surface.

【0027】5は移動体4を振動子1の運動抽出体1
d,1eとを所定の押圧力で当接させるための押圧バ
ネ、6は振動子1を収納するためのケースである。この
ケース6の下面には、支持部材3を上下方向に移動可能
に嵌合させることができる開口面積を有した開口部が形
成されている。
Reference numeral 5 designates the moving body 4 as the motion extracting body 1 of the vibrator 1.
A pressing spring 6 for bringing d and 1e into contact with a predetermined pressing force, and 6 is a case for housing the vibrator 1. An opening having an opening area in which the support member 3 can be movably fitted in the up-down direction is formed on the lower surface of the case 6.

【0028】7a,7bは移動体4をその移動方向にガ
イドするガイド部材であり、このガイド部材7a,7b
は、耐磨耗性および摺動性に優れ、しかも押圧バネ5の
押圧力で変形しない樹脂、金属等であることが望まし
い。
7a and 7b are guide members for guiding the moving body 4 in the moving direction.
Is preferably a resin, metal, or the like which has excellent wear resistance and slidability and does not deform under the pressing force of the pressing spring 5.

【0029】8a,8b,8c,8dはガイド部材7
a,7bを回転可能に支持するボールベアリングであ
り、ケース6の幅方向側面に形成されたボールベアリン
グ取付け部の嵌合穴に嵌合、又は圧入することにより、
支持される。なお、本実施の形態ではガイド部材7a,
7bを回転可能に支持する部材として、ボールベアリン
グを用いたが、同様の効果が得られれば、これに限るも
のではない。
8a, 8b, 8c and 8d are guide members 7
a and 7b are rotatably supported ball bearings, which are fitted or press-fitted into fitting holes of ball bearing attachment portions formed on the side surface in the width direction of the case 6.
Supported. In the present embodiment, the guide members 7a,
Although a ball bearing is used as a member for rotatably supporting the member 7b, the member is not limited to this, as long as a similar effect can be obtained.

【0030】ケース6の幅方向側面には、図3に示すよ
うに振動子1用のガイド支持部6a,6bが2箇所設け
てあり、振動子1の弾性体1aの幅方向両面に設けた2
箇所の凸部1m,1nと嵌合させて、振動子1をケース
6の高さ方向にガイドする。また、支持部材3には凸部
3a(不図示)があり、この凸部3aが押圧バネ5の長
手方向中央に形成された穴部5aに嵌合することによ
り、支持部材3は押圧バネ5に位置決め支持される。
As shown in FIG. 3, two guide support portions 6a and 6b for the vibrator 1 are provided on the side surface in the width direction of the case 6, and are provided on both sides of the elastic body 1a of the vibrator 1 in the width direction. 2
The vibrator 1 is guided in the height direction of the case 6 by fitting with the convex portions 1m and 1n at the locations. The support member 3 has a protrusion 3a (not shown). The protrusion 3a fits into a hole 5a formed in the center of the pressing spring 5 in the longitudinal direction. Is positioned and supported.

【0031】押圧バネ5には、その長手方向両端部に、
幅方向両端に分かれて上方に延びる係止アームを有し、
これら係止アームの上部には、凸状の係止部5c,5
d,5e,5fが形成されている。また、ケース6にお
けるこれら係止部5c〜5fにそれぞれ対応する位置に
は、凸状の係止突起6c,6d,6e,6fが形成され
ている。そして、押圧バネ5の係止部5c〜5fをケー
ス6の係止突起6c〜6fにそれぞれ係合させることに
より係止される。なお、係止突起6c〜6fの下部はそ
れぞれテーパ状に形成されており、係止部5c〜5fを
下側から係合させ易くなっている。さらに、係止部5c
〜5fの下方向長さは係止突起6c〜6fの上下方向長
さよりも長いため、押圧バネ5のケース6に対する上下
動が許容されるようになっている。
The pressing spring 5 has two longitudinal ends.
It has a locking arm that is divided into both ends in the width direction and extends upward,
On the upper portions of these locking arms, convex locking portions 5c, 5c are provided.
d, 5e and 5f are formed. Further, convex locking projections 6c, 6d, 6e, 6f are formed at positions corresponding to the locking portions 5c to 5f in the case 6, respectively. Then, the locking portions 5c to 5f of the pressing spring 5 are locked by engaging with the locking protrusions 6c to 6f of the case 6, respectively. The lower portions of the locking projections 6c to 6f are each formed in a tapered shape, so that the locking portions 5c to 5f can be easily engaged from below. Further, the locking portion 5c
Since the downward length of .about.5f is longer than the vertical length of the locking projections 6c.about.6f, the vertical movement of the pressing spring 5 with respect to the case 6 is allowed.

【0032】次に、上記構成による移動体の移動量検出
手段について説明する。9はガイド部材7bの回転軸に
圧入支持された円盤形状をした遮光板であり、その周方
向に複数箇所の貫通穴が所定ピッチで形成されている。
10はケース部材6の幅方向側面に設けた支持部6gの
嵌合穴にケース6の下面から挿入することにより嵌合支
持されるフォトインタラプタである。このフォトインタ
ラプタ10には光源と、この光源からの光線を受光する
受光部とが形成されている。図4に上記説明した主要部
分を組み立てた時の組立て斜視図を示す。この図からわ
かるように、ガイド部材7bに取り付けられた遮光板9
は、フォトインタラプタ10の光源からの光線を断続的
に遮るよう配置されている。このように構成することに
より、移動体4の移動量を検出する光学式エンコーダが
形成される。
Next, a description will be given of the moving amount detecting means of the moving body having the above configuration. Reference numeral 9 denotes a disk-shaped light-shielding plate which is press-fitted and supported on the rotating shaft of the guide member 7b, and a plurality of through holes are formed at a predetermined pitch in the circumferential direction.
Reference numeral 10 denotes a photointerrupter which is fitted and supported by being inserted from the lower surface of the case 6 into a fitting hole of a support portion 6g provided on a side surface of the case member 6 in the width direction. The photo-interrupter 10 is provided with a light source and a light-receiving unit that receives light from the light source. FIG. 4 shows an assembled perspective view when the main parts described above are assembled. As can be seen from this figure, the light shielding plate 9 attached to the guide member 7b
Are arranged so as to intermittently block light rays from the light source of the photo interrupter 10. With this configuration, an optical encoder that detects the amount of movement of the moving body 4 is formed.

【0033】次に、リニア型の本実施の形態の振動駆動
装置の駆動方法について簡単に説明する。振動子1の電
極膜1eと1h(A相電極膜)、1fと1i(B相電極
膜)をそれぞれ導通させた状態でA相電極膜1eとB相
電極膜1fとを互いに90°位相の異なる特定周波数の
電圧を図示していない印加用フレキシブルプリント基板
を介して印加すると、圧電素子1aは電極膜に対応した
部分において、互いに90°位相の異なる伸縮運動を繰
り返す。その結果、弾性体1aに縦振動と屈曲振動が励
起され、これにより運動抽出体1d,1eは同方向に回
転する楕円運動を行う。そしてこの楕円運動が、運動抽
出体1d,1eと移動体4との摩擦によって、移動体4
を例えば図1中の矢印方向に移動する。
Next, a brief description will be given of a driving method of the linear vibration driving device of the present embodiment. In a state where the electrode films 1e and 1h (A-phase electrode film), 1f and 1i (B-phase electrode film) of the vibrator 1 are respectively made conductive, the A-phase electrode film 1e and the B-phase electrode film 1f are in phase with each other by 90 °. When a voltage of a different specific frequency is applied via a flexible printed circuit board for application (not shown), the piezoelectric element 1a repeats expansion and contraction movements having a phase difference of 90 ° from each other in a portion corresponding to the electrode film. As a result, longitudinal vibration and bending vibration are excited in the elastic body 1a, whereby the motion extractors 1d and 1e perform an elliptical motion rotating in the same direction. This elliptical motion is caused by friction between the motion extractors 1d and 1e and the mobile
Is moved, for example, in the direction of the arrow in FIG.

【0034】移動体4が移動すると、ボールベアリング
8b,8dに支持されたガイド部材7bは回転し、遮光
板9も回転する。遮光板9が回転すると、フォトインタ
ラプタ10の光源からの光線は遮光板9によって断続的
に遮光される。この時、フォトインタラプタ10から
は、図5に示したOUT端子から断続的な出力信号が出
力され、さらにフォトインタラプタ10に接続した図示
していないパルス検出回路でこの出力信号をカウントす
ることにより、移動体4の移動量を検出することができ
る。なお、本実施の形態ではケース6に形成した光源及
び受光部をフォトインタラプタとしたが、同じ効果が得
られればこれに限るものではない。
When the moving body 4 moves, the guide member 7b supported by the ball bearings 8b and 8d rotates, and the light shielding plate 9 also rotates. When the light shielding plate 9 rotates, light from the light source of the photo interrupter 10 is intermittently shielded by the light shielding plate 9. At this time, the photointerrupter 10 outputs an intermittent output signal from the OUT terminal shown in FIG. 5, and the output signal is counted by a pulse detection circuit (not shown) connected to the photointerrupter 10, whereby the output signal is counted. The moving amount of the moving body 4 can be detected. In the present embodiment, the light source and the light receiving unit formed in the case 6 are photointerrupters, but the present invention is not limited to this as long as the same effect can be obtained.

【0035】また、移動体4の移動に対し遮光板9が装
着されるガイド部材7bが滑ることなく一対一に回転す
るために、移動体4とガイド部材7bとの摩擦係数を、
ガイド部材7bとボールベアリング8b,8dとの摩擦
係数よりも十分大きくしておくことが望ましい。その手
段として、移動体4とガイド部材7bとの摩擦係数を、
ガイド部材7bとボールベアリング8b,8dとの摩擦
係数よりも十分大きくするために、図6(a)〜(c)
に示したように、移動体4にゴム部材4aを貼り付けた
場合、塗装部4bを形成した場合、面粗さを悪くした部
分4cを形成すること等ができる。
Further, since the guide member 7b on which the light shielding plate 9 is mounted rotates one-to-one without slipping with respect to the movement of the moving body 4, the coefficient of friction between the moving body 4 and the guide member 7b is reduced.
It is desirable that the friction coefficient between the guide member 7b and the ball bearings 8b and 8d be sufficiently larger. As the means, the coefficient of friction between the moving body 4 and the guide member 7b is
6 (a) to 6 (c), in order to sufficiently increase the friction coefficient between the guide member 7b and the ball bearings 8b, 8d.
As shown in (1), when the rubber member 4a is attached to the moving body 4, when the coating portion 4b is formed, the portion 4c having a reduced surface roughness can be formed.

【0036】(第1の実施の形態の変形例)図7は第1
の実施の形態の変形例を示す。
(Modification of First Embodiment) FIG.
A modification of the embodiment will be described.

【0037】本変形例は、移動体4の移動方向を判断す
るとともに、センサの分解能を向上させるために、ガイ
ド部材7aに第2の遮光板を設け、ケース6に第2の光
源と、この第2の光源の光線を受光する受光部とを設け
たものである。図7に示すように、ガイド部材7a,7
bの回転軸先端部をD形断面形状に形成し、一方、第1
の遮光板9と第2の遮光板709のガイド部材7a,7
bとの係合部をD形断面穴形状に形成する。
In this modification, a guide member 7a is provided with a second light-shielding plate, and a case 6 is provided with a second light source and a second light source in order to determine the moving direction of the moving body 4 and improve the resolution of the sensor. And a light receiving unit for receiving the light beam of the second light source. As shown in FIG. 7, the guide members 7a, 7
b is formed into a D-shaped cross-section, while the first
Guide members 7a, 7 of the light shielding plate 9 and the second light shielding plate 709.
The engagement portion with b is formed in a D-shaped cross section hole shape.

【0038】このように形成したガイド部材7a,7b
に、第1の遮光板9と第2の遮光板709をそれぞれ固
定支持する。この時に、第1の遮光板9と第2の遮光板
709の位相差を90度に設定するために、ガイド部材
7a,7bのD形断面形状に形成された回転軸先端部の
フラット面を基準にし、所定の治具を用いて同位相に固
定支持する。この状態で第1の遮光板9と第2の遮光板
709を例えば圧入支持する。第1の遮光板9と第2の
遮光板709には、それぞれのD形断面穴形状のフラッ
ト面を基準にするとそれぞれの遮光板に形成された貫通
穴が90度の位相差を有するように形成されている。
The guide members 7a, 7b thus formed
Then, the first light shielding plate 9 and the second light shielding plate 709 are fixedly supported. At this time, in order to set the phase difference between the first light-shielding plate 9 and the second light-shielding plate 709 to 90 degrees, the flat surface of the tip end of the rotating shaft formed into a D-shaped cross-section of the guide members 7a and 7b is set. Using the reference as a reference, it is fixedly supported at the same phase using a predetermined jig. In this state, the first light shielding plate 9 and the second light shielding plate 709 are, for example, press-fitted and supported. The first light-shielding plate 9 and the second light-shielding plate 709 are so formed that the through holes formed in the respective light-shielding plates have a phase difference of 90 degrees with respect to the flat surfaces of the respective D-shaped cross-sectional holes. Is formed.

【0039】以上により、第1の遮光板9と第1の光源
及び受光部から構成される第1のエンコーダと、第2の
遮光板709と第2の光源及び受光部から構成される第
2のエンコーダとが、互いに90度の位相差を有するよ
うに構成できるので、移動体4の移動方向を判断すると
ともに、センサの分解能を上げるためのエンコーダが形
成可能となる。
As described above, the first encoder composed of the first light shielding plate 9 and the first light source and the light receiving unit, and the second encoder composed of the second light shielding plate 709 and the second light source and the light receiving unit. Can be configured so as to have a phase difference of 90 degrees from each other, so that an encoder for determining the moving direction of the moving body 4 and increasing the resolution of the sensor can be formed.

【0040】(第2の実施の形態)図8は第2の実施の
形態を示す。
(Second Embodiment) FIG. 8 shows a second embodiment.

【0041】図8は本発明に係る第2の実施の形態を示
すリニア振動駆動装置である。この図において、前述し
た図1〜図7に示す構成部品と同じ部材には同じ符号を
付し、その説明を省略する。
FIG. 8 shows a linear vibration driving device according to a second embodiment of the present invention. In this figure, the same members as those shown in FIGS. 1 to 7 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.

【0042】本発明に係る第2の実施の形態による移動
体の移動量検出手段について説明する。図8において、
809はガイド部材7bの回転軸に圧入支持された円盤
形状をしたパルス板であり、その周方向に複数箇所の導
電パターン部が所定ピッチで形成されている。810は
ケース部材6の幅方向側面に設けた支持部806gの位
置決めピンを基準としてケース6の側面から取付けビス
810cで固定支持されるブラシ機構である。このブラ
シ機構810は弾力性を有した導電体からなるブラシ部
810aとブラシコネクタ810bとからなる。図9に
上記説明した主要部分を組み立てた時の組立て斜視図を
示す。この図からわかるように、ガイド部材7bに取り
付けられたパルス板809は、ブラシ機構810のブラ
シ部810aが接触するよう配置されている。このよう
に構成することにより、移動体4の移動量を検出する刷
子式エンコーダが形成される。
A description will be given of the moving amount detecting means of the moving body according to the second embodiment of the present invention. In FIG.
Reference numeral 809 denotes a disk-shaped pulse plate which is press-fitted and supported on the rotating shaft of the guide member 7b, and a plurality of conductive pattern portions are formed at a predetermined pitch in the circumferential direction. Reference numeral 810 denotes a brush mechanism that is fixedly supported by the mounting screws 810c from the side surface of the case 6 with reference to the positioning pins of the support portions 806g provided on the width side surface of the case member 6. The brush mechanism 810 includes a brush portion 810a made of a conductive material having elasticity and a brush connector 810b. FIG. 9 shows an assembled perspective view when the main parts described above are assembled. As can be seen from this figure, the pulse plate 809 attached to the guide member 7b is arranged so that the brush portion 810a of the brush mechanism 810 contacts. With this configuration, a brush-type encoder that detects the amount of movement of the moving body 4 is formed.

【0043】上記構成によれば、リニア振動駆動装置が
第1の実施の形態で記載した手段によって駆動されるこ
とにより、移動体4が移動すると、ボールベアリング8
b,8dに支持されたガイド部材7bは回転し、パルス
板809も回転する。パルス板809が回転すると、ブ
ラシ機構810のブラシ部810aはパルス板809と
摺動し、ブラシ部810aはパルス板809の導電部分
と絶縁部分とを交互に接触することになる。
According to the above configuration, the linear vibration driving device is driven by the means described in the first embodiment, so that when the moving body 4 moves, the ball bearings 8 move.
The guide member 7b supported by b and 8d rotates, and the pulse plate 809 also rotates. When the pulse plate 809 rotates, the brush portion 810a of the brush mechanism 810 slides with the pulse plate 809, and the brush portion 810a alternately contacts the conductive portion and the insulating portion of the pulse plate 809.

【0044】従って、この際、ブラシコネクタ810b
と接続された図示していない検出回路からは移動体4の
移動量に対応した断続的な出力信号が出力され、この出
力信号をカウントすることにより、移動体4の移動量を
検出することができる。
Therefore, at this time, the brush connector 810b
An intermittent output signal corresponding to the amount of movement of the moving body 4 is output from a detection circuit (not shown) connected to the controller. By counting the output signals, the amount of movement of the moving body 4 can be detected. it can.

【0045】なお、移動体4の移動に対しガイド部材7
bが滑ることなく一対一に回転するために、第1の実施
の形態で記載した手段を移動体4に施しておくことが望
ましい。
It is to be noted that the guide member 7 is moved with respect to the movement of the moving body 4.
In order for b to rotate one-to-one without slipping, it is desirable that the means described in the first embodiment be applied to the moving body 4 in advance.

【0046】また、パルス板809とブラシ部810a
の摩擦係数も移動体4とガイド部材7bとの摩擦係数よ
りも十分小さくしておくことが望ましい。
Also, the pulse plate 809 and the brush part 810a
Is preferably sufficiently smaller than the friction coefficient between the moving body 4 and the guide member 7b.

【0047】さらに、移動体4の移動方向を判断すると
ともに、センサの分解能を上げるためには、第1の実施
の形態で記載した構成を採用すればよい。
Further, in order to determine the moving direction of the moving body 4 and increase the resolution of the sensor, the configuration described in the first embodiment may be adopted.

【0048】(第3の実施の形態)図10は第3の実施
の形態を示す。
(Third Embodiment) FIG. 10 shows a third embodiment.

【0049】図10は、本発明に係る第3の実施の形態
を示すリニア型の振動駆動装置の組立て斜視図である。
この図において、前述した図1〜図9に示す実施の形態
の構成部品と同じものには同じ符号を付しその説明を省
略する。
FIG. 10 is an assembled perspective view of a linear vibration driving device according to a third embodiment of the present invention.
In this figure, the same components as those of the embodiment shown in FIGS. 1 to 9 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0050】本発明に係る第3の実施の形態による移動
体の移動量検出手段について説明する。図10におい
て、1009はガイド部材7bの回転軸に圧入支持され
た円盤形状をした磁気スケール板であり、その周方向に
磁極を所定のピッチで連続的に着磁してある磁極部を有
する。1010はケース部材6の幅方向側面に設けた支
持部1006gの嵌合穴にケース6の下面から挿入する
ことにより嵌合支持される磁気抵抗素子又はホール素子
等の磁気検知素子である。この図からわかるように、ガ
イド部材7bに取り付けられた磁気スケール板1009
は、磁気検知素子1010の感磁部と磁気スケール板1
009の磁極部が対向するよう配置されている。このよ
うに構成することにより、移動体4の移動量を検出する
磁気式エンコーダが形成される。
A description will be given of a moving amount detecting means of the moving body according to the third embodiment of the present invention. In FIG. 10, reference numeral 1009 denotes a disk-shaped magnetic scale plate which is press-fitted and supported on the rotating shaft of the guide member 7b, and has a magnetic pole portion in which the magnetic poles are continuously magnetized at a predetermined pitch in the circumferential direction. Reference numeral 1010 denotes a magnetic sensing element such as a magnetoresistive element or a Hall element that is fitted and supported by being inserted from the lower surface of the case 6 into the fitting hole of the support portion 1006g provided on the widthwise side surface of the case member 6. As can be seen from this figure, the magnetic scale plate 1009 attached to the guide member 7b
Are the magnetic sensing part of the magnetic sensing element 1010 and the magnetic scale plate 1
The magnetic pole portions 009 are arranged to face each other. With this configuration, a magnetic encoder that detects the amount of movement of the moving body 4 is formed.

【0051】上記構成によれば、リニア振動駆動装置が
第1の実施の形態で記載した手段によって駆動すること
により、移動体4が移動すると、ボールベアリング8
b,8dに支持されたガイド部材7bは回転し、磁気ス
ケール板1009も回転する。磁気スケール板1009
が回転すると、磁気検知素子1010の感磁部は磁気ス
ケール板1009の磁極部の磁極を周期的に検出する。
従って、この際、磁気検知素子1010と接続された図
示していない検出回路からは移動体4の移動量に対応し
た断続的な出力信号が出力され、この出力信号をカウン
トすることにより、移動体4の移動量を検出することが
できる。
According to the above configuration, when the moving body 4 moves by the linear vibration driving device being driven by the means described in the first embodiment, the ball bearings 8 move.
The guide member 7b supported by b and 8d rotates, and the magnetic scale plate 1009 also rotates. Magnetic scale plate 1009
Is rotated, the magnetic sensing part of the magnetic sensing element 1010 periodically detects the magnetic pole of the magnetic pole part of the magnetic scale plate 1009.
Therefore, at this time, a detection circuit (not shown) connected to the magnetic sensing element 1010 outputs an intermittent output signal corresponding to the amount of movement of the moving body 4, and by counting the output signals, the moving body 4 can be detected.

【0052】なお、本実施の形態では磁気スケール板1
009の磁極部は磁気スケール板1009と一体的に形
成されていれば良く、同材質であっても、別材質で磁気
スケール板1009に貼り付けたものであっても何ら問
題はない。また、移動体4の移動に対しガイド部材7b
が滑ることなく一対一に回転するために、第1の実施の
形態で記載した手段を移動体4に施しておくことが望ま
しい。さらに、移動体4の移動方向を判断するととも
に、センサの分解能を上げるためには、第1の実施の形
態で記載した構成を採用すればよい。
In the present embodiment, the magnetic scale plate 1
The magnetic pole portion 009 may be formed integrally with the magnetic scale plate 1009, and there is no problem whether the magnetic pole portion is made of the same material or is attached to the magnetic scale plate 1009 with another material. In addition, the guide member 7 b
It is desirable that the means described in the first embodiment be applied to the moving body 4 in order to rotate one-to-one without slipping. Furthermore, in order to determine the moving direction of the moving body 4 and increase the resolution of the sensor, the configuration described in the first embodiment may be adopted.

【0053】上記の各実施の形態においては、振動体に
接触する接触体としての移動体4を振動体に対して移動
させるようにしているが、逆に接触体に対して振動体を
移動させるようにしてもよい。
In each of the above embodiments, the moving body 4 as a contact body that comes into contact with the vibrating body is moved with respect to the vibrating body. Conversely, the vibrating body is moved with respect to the contacting body. You may do so.

【0054】また上記の各実施の形態においては、振動
駆動装置により駆動される被駆動体については特に示し
ていないが、振動駆動装置を各種の機器、例えばレンズ
鏡筒内に振動駆動装置を設け、オートフォーカスやパワ
ーズーム動作を行うために被駆動体としてのレンズを駆
動するようにしてもよく、この場合レンズを高精度に位
置決め制御することができる。
In each of the above embodiments, the driven body driven by the vibration driving device is not particularly shown, but the vibration driving device is provided with various devices, for example, a vibration driving device provided in a lens barrel. Alternatively, a lens as a driven body may be driven to perform an autofocus or power zoom operation, and in this case, positioning control of the lens can be performed with high accuracy.

【0055】[0055]

【発明の効果】請求項1〜11に係る発明によれば、前
記検出手段は前記ガイド部材の回転を検出する、例えば
ガイド部材に支持された遮光板とから構成される光学式
エンコーダ、ケース部材に形成されたブラシ機構とガイ
ド部材に支持されたパルス板とから構成される刷子式エ
ンコーダ、ケース部材に形成された磁気検知素子とガイ
ド部材に支持された磁気スケール板とから構成される磁
気式エンコーダ等とすることができるので、接触部材と
の相対移動を妨げることなく駆動することができる。
According to the inventions according to the first to eleventh aspects, the detecting means detects the rotation of the guide member, for example, an optical encoder and a case member comprising a light shielding plate supported by the guide member. Brush type encoder composed of a brush mechanism formed on the base member and a pulse plate supported by the guide member, and a magnetic type encoder composed of a magnetic sensing element formed on the case member and a magnetic scale plate supported on the guide member Since it can be an encoder or the like, it can be driven without hindering relative movement with the contact member.

【0056】また、レンズ鏡筒内に設けてレンズを駆動
するようにすると、レンズの移動量を正確に検出でき
る。
When the lens is driven in the lens barrel, the amount of movement of the lens can be accurately detected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態を示す振動駆動装置
の分解斜視図。
FIG. 1 is an exploded perspective view of a vibration drive device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の振動子を示し、(a)は平面図、(b)
は断面図。
FIGS. 2A and 2B show the vibrator of FIG. 1, wherein FIG.
Is a sectional view.

【図3】図2の振動子の支持状態を示し平面図。FIG. 3 is a plan view showing a support state of the vibrator of FIG. 2;

【図4】本発明の第1の実施の形態におけるエンコーダ
の斜視図。
FIG. 4 is a perspective view of an encoder according to the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第1の実施の形態のフォトインタラプ
タの等価回路図。
FIG. 5 is an equivalent circuit diagram of the photointerrupter according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第1の実施の形態における移動体の斜
視図。
FIG. 6 is a perspective view of a moving body according to the first embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第1の実施の形態の変形例を示す斜視
図。
FIG. 7 is a perspective view showing a modification of the first embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第2の実施の形態を示す振動駆動装置
の分解斜視図。
FIG. 8 is an exploded perspective view of a vibration driving device according to a second embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第2の実施の形態におけるエンコーダ
の斜視図。
FIG. 9 is a perspective view of an encoder according to a second embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第3の実施の形態におけるエンコー
ダの斜視図。
FIG. 10 is a perspective view of an encoder according to a third embodiment of the present invention.

【図11】従来のリニア振動駆動装置の断面図。FIG. 11 is a sectional view of a conventional linear vibration driving device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…振動体 1a…弾性体 1b…圧電振動体 1d,1e…運動抽出体 1f,1g,1h,1i…電極膜 2a,2b…弾性部材 3…弾性部材支持部材 4…移動体 5…押圧バネ 5a…穴部 5c,5d,5e,5f…係止部 6…ケース 6a,6b…振動子支持部 6c,6d,6e,6f…係止突起 7a,7b…ガイド部材 8a,8b,8c,8d…ボールベアリング 9…遮光板 10…フォトインタラプタ 709…第2の遮光板 710…第2のフォトインタラプタ 809…パルス板 810…ブラシ機構 1009…磁気スケール板 1010…磁気検知素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Vibrating body 1a ... Elastic body 1b ... Piezoelectric vibrating body 1d, 1e ... Motion extraction body 1f, 1g, 1h, 1i ... Electrode film 2a, 2b ... Elastic member 3 ... Elastic member support member 4 ... Moving body 5 ... Pressing spring 5a: hole portions 5c, 5d, 5e, 5f: locking portions 6: case 6a, 6b: vibrator support portions 6c, 6d, 6e, 6f: locking protrusions 7a, 7b: guide members 8a, 8b, 8c, 8d ... Ball bearing 9 ... Light shield plate 10 ... Photo interrupter 709 ... Second light shield plate 709 ... Second photo interrupter 809 ... Pulse plate 810 ... Brush mechanism 1009 ... Magnetic scale plate 1010 ... Magnetic detection element

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電気−機械エネルギー変換素子により弾
性体を振動させる振動体と、前記振動体を収納するケー
ス部材と、前記ケース部材に回転可能に支持されたガイ
ド部材と、前記ガイド部材と前記振動体とに接触するよ
うに配置され移動方向に延びる接触部材と、前記接触部
材を前記振動体と前記ガイド部材に加圧接触させる押圧
手段とを有し、前記振動体に形成される振動により前記
ケース部材と前記接触体とを相対的に移動させる振動駆
動装置において、 前記ガイド部材の回転を検出する検出手段を有すること
を特徴とする振動駆動装置。
A vibrating body for vibrating an elastic body by an electro-mechanical energy conversion element, a case member for housing the vibrating body, a guide member rotatably supported by the case member; A contact member that is disposed so as to be in contact with the vibrating body and extends in the moving direction; and a pressing unit that presses the contact member against the vibrating body and the guide member. A vibration driving device that relatively moves the case member and the contact body, further comprising a detection unit that detects rotation of the guide member.
【請求項2】 請求項1において、前記検出手段を回転
検出位相にずれを有して複数設けたことを特徴とする振
動駆動装置。
2. The vibration driving device according to claim 1, wherein a plurality of said detecting means are provided with a rotation detection phase shifted.
【請求項3】 請求項1または2において、前記検出手
段は、前記ケース部材に支持された光源と、前記ケース
部材に支持され、且つ前記光源からの光線を受光する受
光部と、前記ガイド部材に取り付けられ、前記光源から
の光線を遮る遮光板とから構成されるエンコーダである
ことを特徴とする振動駆動装置。
3. The device according to claim 1, wherein the detecting unit includes a light source supported by the case member, a light receiving unit supported by the case member and receiving a light beam from the light source, and the guide member. A vibration driving device, comprising: a light-shielding plate attached to the light source and configured to block a light beam from the light source.
【請求項4】 請求項1または2において、前記検出手
段は、前記ケース部材に形成されたブラシ機構と、前記
ガイド部材に取り付けられ、且つ導電部分と絶縁部分と
に区分されるパターン部を有するパルス板とから構成さ
れるエンコーダであることを特徴とする振動駆動装置。
4. The device according to claim 1, wherein the detecting means has a brush mechanism formed on the case member, and a pattern portion attached to the guide member and divided into a conductive portion and an insulating portion. A vibration drive device comprising an encoder including a pulse plate.
【請求項5】 請求項1または2において、前記検出手
段は、前記ケース部材に形成された磁気検知素子と、前
記ガイド部材に取り付けられ、且つ磁極を所定ピッチで
連続的に着磁してある磁極部を有する磁気スケール板と
から構成されるエンコーダであることを特徴とする振動
駆動装置。
5. The detecting means according to claim 1, wherein the detecting means is attached to the magnetic detecting element formed on the case member and the guide member, and the magnetic poles are continuously magnetized at a predetermined pitch. A vibration drive device comprising an encoder including a magnetic scale plate having a magnetic pole portion.
【請求項6】 請求項1、2、3、4または5におい
て、前記振動体は矩形板状に形成されていることを特徴
とする振動駆動装置。
6. The vibration driving device according to claim 1, wherein the vibrating body is formed in a rectangular plate shape.
【請求項7】 請求項1、2、3、4、5または6にお
いて、前記ガイド部材は前記ケース部材にボールベアリ
ングを介して回転可能に取り付けられていることを特徴
とする振動駆動装置。
7. The vibration drive device according to claim 1, wherein the guide member is rotatably attached to the case member via a ball bearing.
【請求項8】 請求項7において、前記接触体とガイド
部材との摩擦係数を、前記ガイド部材と前記ボールベア
リングとの摩擦係数よりも十分大きくしたことを特徴と
する振動駆動装置。
8. The vibration driving device according to claim 7, wherein a friction coefficient between the contact member and the guide member is sufficiently larger than a friction coefficient between the guide member and the ball bearing.
【請求項9】 請求項4において、前記ブラシ機構と前
記パルス板との摩擦係数は、前記移動部材と前記ガイド
部材との摩擦係数より十分小さいことを特徴とする振動
駆動装置。
9. The vibration driving device according to claim 4, wherein a coefficient of friction between the brush mechanism and the pulse plate is sufficiently smaller than a coefficient of friction between the moving member and the guide member.
【請求項10】 請求項1ないし9のいずれか一つに記
載の振動駆動装置を駆動手段として被駆動体を駆動する
ことを特徴とする振動駆動装置を有する機器。
10. A device having a vibration driving device, wherein the device is driven by using the vibration driving device according to claim 1 as driving means.
【請求項11】 請求項10において、前記被駆動体は
レンズであることを特徴とする振動駆動装置を有する機
器。
11. The apparatus according to claim 10, wherein the driven body is a lens.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US8164233B2 (en) 2006-08-28 2012-04-24 Panasonic Corporation Drive apparatus
US8436513B2 (en) 2010-04-06 2013-05-07 Panasonic Corporation Drive unit

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