JPH1076647A - Ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head

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Publication number
JPH1076647A
JPH1076647A JP23209896A JP23209896A JPH1076647A JP H1076647 A JPH1076647 A JP H1076647A JP 23209896 A JP23209896 A JP 23209896A JP 23209896 A JP23209896 A JP 23209896A JP H1076647 A JPH1076647 A JP H1076647A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording head
ink
ink jet
jet recording
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP23209896A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshihiro Mori
利浩 森
Mitsuji Kitani
充志 木谷
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP23209896A priority Critical patent/JPH1076647A/en
Publication of JPH1076647A publication Critical patent/JPH1076647A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate the disconnection or bonding, the breakage of lead and the like due to the bending stress at the bending part in a wiring board by a method wherein the relationship between the width of the bending part of a flexible board and the width of the board, in which lead electrodes for electrically connecting with an element board is specified. SOLUTION: An ink jet recording head is equipped with element boards (or heater boards) 2 basically made of single crystal silicon, on each of which a plurality of thermoelectric transducers 13 as energy generating element are arranged in parallel at a predetermined pitch, and flexible wiring boards 3, each of which plays the roll of a relay board for transmitting recording signals sent from a recording device to the heater board and is made of TAB film or the like. In this case, the width of the bending part 20 of the wiring board 3 is made narrower than the width of the electrical connecting part of the heater board 2 by laying-out wiring. Concretely, the width of the bending part 20 of the wiring board 3 is made to be 70-40% of the width of the board at the electrical connecting part of the heater board in the preferable shape that no abrupt change of the width occurs at the bending part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録用の液体(イ
ンク等)を飛翔液滴として吐出口(オリフィス)から吐
出させて、記録媒体に付着させることによって記録を行
うインクジェット記録装置に取り外し自由に配設される
インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録ヘッド
カートリッジ及びこれを搭載した記録装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording apparatus which performs recording by discharging a recording liquid (ink or the like) as flying droplets from a discharge port (orifice) and attaching the liquid to a recording medium. The present invention relates to an ink jet recording head, an ink jet recording head cartridge, and a recording apparatus equipped with the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来インクジェット記録ヘッドについ
て、特開平5−169660号公報には支持部材の上に
配線板とシリコン基板とを同一面上に接着し、シリコン
基板上には電気熱変換体を配し、前記支持部材の裏面に
プリンター本体との接続部を配した構成が開示されてい
る。
2. Description of the Related Art With respect to a conventional ink jet recording head, a wiring board and a silicon substrate are adhered on the same surface on a support member, and an electrothermal converter is arranged on the silicon substrate in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-169660. A configuration in which a connection portion with a printer main body is disposed on the back surface of the support member is disclosed.

【0003】また別のインクジェット記録ヘッドにおい
て、USP第4635073号又はUSP第48272
94号に開示されているように、インク吐出用電気熱変
換体を備えた基板の抵抗体と配線板として連続したシー
ト状の可とう性配線板(以後連続したシート状の可撓性
配線板をTABテープ、一個ずつ分割したものをTAB
フィルムと称する)を用い前記TABテープのリードを
サーモソニックボンディングにより接続して電気的接続
をとり、及び印字装置本体との電気接点を兼ね備えた形
態のインクジェット記録ヘッドが知られている。
In another ink jet recording head, US Pat. No. 4,635,073 or US Pat.
No. 94, a continuous sheet-like flexible wiring board (hereinafter referred to as a continuous sheet-like flexible wiring board) is used as a wiring board and a resistor of a substrate provided with an electrothermal transducer for ink ejection. Is a TAB tape, and the one divided one by one is TAB
Ink jet recording heads are known in which the leads of the TAB tape are connected by thermosonic bonding using a film (referred to as a film) to establish electrical connection, and also serve as electrical contacts with the printing apparatus main body.

【0004】更に、前記インク吐出用電気熱変換体と前
記電気熱変換体を駆動する駆動回路を備えた基板の入出
力端子とTABフィルムのリードを接続して電気配線、
及び印字装置本体との電気接点を兼ね備えた形態のイン
クジェット記録ヘッドが知られている。
Further, input / output terminals of a substrate having the electrothermal transducer for discharging ink and a drive circuit for driving the electrothermal transducer and leads of a TAB film are connected to form an electric wiring.
Ink jet recording heads that have both electrical contacts with a printing apparatus body are known.

【0005】通常TABフィルムを用いるインクジェッ
ト記録ヘッドの場合、シリコンチップの4辺を囲みシリ
コンチップとTABフィルムの開口部をまたいで電気的
接続をとるリード電極が配されていて、印字装置本体と
の電気的な接点を、配線板上の前記シリコン基板の電気
熱変換体を並べ配した面と同じ側に配している。
[0005] In the case of an ink jet recording head using a normal TAB film, a lead electrode which surrounds four sides of the silicon chip and makes electrical connection across the opening of the silicon chip and the TAB film is arranged. Electrical contacts are arranged on the same side of the wiring board as the surface on which the electrothermal transducers of the silicon substrate are arranged.

【0006】これに対し記録装置からの記録信号を記録
ヘッドに伝送するための配線基板(例えば可撓性フィル
ム等)を任意の位置で折り曲げて使用する構成が、例え
ば特開平05−169660や特開平05−16966
2等で提案されている。
On the other hand, a configuration in which a wiring board (for example, a flexible film or the like) for transmitting a recording signal from a recording apparatus to a recording head is bent at an arbitrary position and used is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 05-169660. Kaihei 05-16966
2 etc.

【0007】この種のインクジェット記録ヘッドの一般
的な構成を図11に示す。支持体1’の上面には、電気
熱変換体を表面に成膜形成したSi等を基材としたヒー
ターボード2’と、記録装置本体からヒーターボード
2’への電気信号を伝達するガラスエポキシ等を基材と
し電気的配線が施された配線基板3’とが接着され、ヒ
ーターボード2’と配線基板3’はワイヤボンディング
7’により接続される。
FIG. 11 shows a general configuration of this type of ink jet recording head. On the upper surface of the support 1 ', a heater board 2' made of Si or the like on which an electrothermal transducer is formed on the surface, and a glass epoxy for transmitting an electric signal from the main body of the recording apparatus to the heater board 2 '. The wiring board 3 'on which electric wiring is provided using the base material or the like is bonded, and the heater board 2' and the wiring board 3 'are connected by wire bonding 7'.

【0008】配線基板3’の上面には、記録装置本体の
フレキシブル配線基板との接触によって電気的に接続さ
れるコンタクトパッド4’が配設されており、任意の位
置で折り曲げられ支持板1’の裏面に接着される。
On the upper surface of the wiring board 3 ', there are provided contact pads 4' which are electrically connected by contact with the flexible wiring board of the recording apparatus main body. Adhered to the back surface.

【0009】インクはインク供給部材6’を介して、イ
ンクタンク(不図示)又は記録装置側から、ヒーターボ
ード2’と天板5’との接合によって形成される共通液
室及び液路へ供給され、吐出口8’より吐出される。
Ink is supplied from an ink tank (not shown) or a recording device via an ink supply member 6 'to a common liquid chamber and a liquid path formed by joining the heater board 2' and the top plate 5 '. And is discharged from the discharge port 8 '.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような構成は強固な支持板1’に各部品が接着固定さ
れている場合は、ヒーターボード2’と配線基板3’と
の電気的接続部に応力がかからないが、支持板が無い構
成にする場合は、配線基板3’を折り曲げることにより
発生する曲げ応力が前記接続部に作用し、破損してしま
う問題が発生した。
However, in the above-described structure, when each component is bonded and fixed to the strong support plate 1 ', the electrical connection between the heater board 2' and the wiring board 3 'is made. However, when a structure is used in which no stress is applied but the support plate is not provided, a bending stress generated by bending the wiring board 3 ′ acts on the connection portion, and there is a problem that the connection portion is broken.

【0011】特にインクジェット記録ヘッドに用いる場
合には、インクによるショートを防止するためにソルダ
ーレジストは不可欠であり配線基板の曲げ応力増大の一
因となっている。そこで本発明の第1の目的は、配線基
板における屈曲部の曲げ応力に起因するボンディング外
れやリード切れ等の不良の無い、安価で小型、高信頼性
のインクジェット記録ヘッドを提供することである。
In particular, when used in an ink jet recording head, a solder resist is indispensable to prevent a short circuit due to ink, and this is one of the causes of an increase in bending stress of a wiring board. Accordingly, a first object of the present invention is to provide an inexpensive, compact, and highly reliable ink jet recording head free from defects such as bonding disconnection and lead breakage due to bending stress at a bent portion of a wiring board.

【0012】本発明の第2の目的は、前記ヒーターボー
ドと、記録装置本体からヒーターボードへの電気信号を
伝達する可撓性の前記配線基板との改良された配置およ
び電気的接合を有するインクジェット記録ヘッドを提供
することである。
A second object of the present invention is to provide an ink jet apparatus having an improved arrangement and electrical connection between the heater board and the flexible wiring board for transmitting an electric signal from the printing apparatus main body to the heater board. It is to provide a recording head.

【0013】本発明の第3の目的は、上記第1および第
2の目的に適うインクジェット記録ヘッドを備えたイン
クジェットカートリッジを提供することである。
A third object of the present invention is to provide an ink jet cartridge provided with an ink jet recording head which meets the above first and second objects.

【0014】本発明の第4の目的は、上記第3の目的に
適うインクジェットカートリッジを搭載したインクジェ
ット記録装置を提供することである。
A fourth object of the present invention is to provide an ink jet recording apparatus equipped with an ink jet cartridge which meets the above third object.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記、目的を達成する本
発明は次のようである。 1.吐出口から記録用インクを吐出して記録を行うイン
クジェット記録ヘッドであって、(A)少なくとも、イ
ンクを吐出するためのエネルギーを発生する複数のエネ
ルギー素子、及び前記各エネルギー素子と外部の配線と
電気的に接続するための複数の電極パッドが設けられた
素子基板(B)一端部に前記素子基板と電気的に接続す
るための複数のリード電極部、これと反対の端部に記録
装置と電気的に接続するための複数のコンタクトパッド
部、および前記リード電極部と前記コンタクトパッド部
を電気的に結び前記記録装置からの記録信号を伝送する
ための複数の配線とが設けられたフレキシブル基板とを
有し、(C)前記(A)の電極パッドと、前記(B)の
リード電極とを電気的に接続し、(D)前記素子基板
と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路お
よび共通液室を備えた天板とを接合することにより形成
され、かつ(E)前記フレキシブル基板が、前記リード
電極部およびコンタクトパッド部をのぞく任意の部位で
任意の角度に折り曲げて記録装置に装着されるインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、前記フレキシブル基板の、
折り曲げ部の幅が、前記素子基板と電気的に接続するた
めのリード電極を配した基板の幅の70%〜40%であ
ることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 2.前記フレキシブル基板が可撓性を有するポリイミド
を基材とするフィルムであることを特徴とする上記1に
記載のインクジェット記録ヘッド。 3.前記フレキシブル基板に設けられた記録装置と電気
的に接続するための複数のコンタクトパッド部が、前記
素子基板に設けられた複数の電気熱変換体が形成されて
いる面とは反対の面上に設けられたことを特徴とする上
記1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。 4.前記素子基板の電極パッドと、前記フレキシブル基
板のリード電極との電気的接続は、間にバンプを介在す
る熱圧着であることを特徴とする上記1、2または3に
記載のインクジェット記録ヘッド。 5.前記記録装置側の接続端子と、記録ヘッド側のフレ
キシブル基板のコンタクトパッドとの電気的接続は、圧
接であることを特徴とする上記1、2、3に記載のイン
クジェット記録ヘッド。 6.前記各エネルギー発生素子は、熱エネルギーを発生
するための電気熱変換体である上記1に記載のインクジ
ェット記録ヘッド。 7.前記電気熱変換体によって印加される熱エネルギー
により、インクに生ずる膜沸騰を利用して前記吐出口か
らインクを吐出させる上記6に記載のインクジェット記
録ヘッド。 8.吐出口から記録用インクを吐出して記録を行うイン
クジェット記録ヘッドであって、(A)少なくとも、イ
ンクを吐出するためのエネルギーを発生する複数のエネ
ルギー素子、及び前記各エネルギー素子と外部の配線と
電気的に接続するための複数の電極パッドが設けられた
素子基板(B)一端部に前記素子基板と電気的に接続す
るための複数のリード電極、これと反対の端部に記録装
置と電気的に接続するための複数のコンタクトパッド
部、および前記リード電極部と前記コンタクトパッド部
を電気的に結び前記記録装置からの記録信号を伝送する
ための複数の配線とが設けられたフレキシブル基板とを
有し、(C)前記(A)の電極パッドと、前記(B)の
リード電極とを電気的に接続し、(D)前記素子基板
と、前記吐出口にインクを供給するためのインク流路お
よび共通液室を備えた天板とを接合することにより形成
され、かつ(E)前記フレキシブル基板が、前記リード
電極部およびコンタクトパッド部をのぞく任意の部位で
任意の角度に折り曲げて記録装置に装着されるインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、前記素子基板が方形であっ
て、前記エネルギー素子が電気熱変換体であり、かつ、
素子基板の一辺の縁部に沿って電気熱変換体が配列さ
れ、他の三辺は前記フレキシブル基板にとり囲まれて形
成されるインクジェット記録ヘッド。 9.前記フレキシブル基板の一辺が、前記素子基板の電
気熱変換体が配列されている側の辺と反対の辺に対向
し、その対向しているフレキシブル基板の辺の両端部が
細長く突出して前記素子基板の二辺にそれぞれ対向し、
かつ、その突出した両端部上に上記電気熱変換体の電源
配線を配してなる上記8に記載のインクジェット記録ヘ
ッド。 10.前記素子基板の電気熱変換体を配した面に対し、
記録装置との電気的接合をとるフレキシブル基板の面が
反対側になることを特徴とする上記8または9に記載の
インクジェット記録ヘッド。 11.前記フレキシブル基板が、あらかじめ曲げをつけ
られてから前記天板と接合されてなる上記8ないし10
のいずれか一つに記載のインクジェット記録ヘッド。 12.前記フレキシブル基板が可撓性ポリイミドフィル
ムであり、シート状のポリイミドフィルム上に順次切断
可能な配線基板形状を画き、素子基板を配して電気的接
合をした後該シートから切り出してなる上記11に記載
のインクジェット記録ヘッド。 13.前記天板が、2個の前記素子基板と対称に接合し
て異種のインクを同方向に吐出する2個の吐出口を形成
しうる形状である上記1ないし12のいずれか一つに記
載のインクジェット記録ヘッド。 14.上記1ないし13のいずれか1つに記載のインク
ジェット記録ヘッドと、この記録ヘッドに着脱可能なイ
ンクタンクとを有することを特徴とするインクジェット
記録ヘッドカートリッジ。 15.14に記載のインクジェット記録ヘッドカートリ
ッジと、該インクジェット記録ヘッドカートリッジを載
置する部材とを備え、前記コンタクトパッドを介して送
られる記録信号に応じて前記インクジェット記録ヘッド
からインクを吐出させて記録を行なうインクジェット記
録装置。
The present invention which achieves the above object is as follows. 1. An ink jet recording head for performing recording by discharging recording ink from a discharge port, comprising: (A) at least a plurality of energy elements for generating energy for discharging ink, and each of the energy elements and external wiring A plurality of lead electrode portions for electrically connecting to the element substrate at one end of the element substrate (B) provided with a plurality of electrode pads for electrical connection, and a recording device at the opposite end. A flexible substrate provided with a plurality of contact pad portions for electrical connection, and a plurality of wirings for electrically connecting the lead electrode portion and the contact pad portion and transmitting a recording signal from the recording device (C) electrically connecting the electrode pad of (A) with the lead electrode of (B), and (D) connecting the ink to the element substrate and the discharge port. (E) the flexible substrate is formed by joining an ink flow path for supply and a top plate having a common liquid chamber, and the flexible substrate is provided at an arbitrary portion except for the lead electrode portion and the contact pad portion. In an ink jet recording head that is bent at an angle and attached to a recording apparatus, the flexible substrate includes:
An ink jet recording head, wherein the width of the bent portion is 70% to 40% of the width of the substrate on which the lead electrodes for electrically connecting to the element substrate are arranged. 2. 2. The ink jet recording head according to the above item 1, wherein the flexible substrate is a film made of a polyimide having flexibility. 3. A plurality of contact pad portions for electrically connecting to a recording device provided on the flexible substrate are provided on a surface opposite to a surface on which a plurality of electrothermal transducers provided on the element substrate are formed. 3. The inkjet recording head according to 1 or 2, wherein the inkjet recording head is provided. 4. 4. The ink jet recording head according to the above 1, 2 or 3, wherein the electrical connection between the electrode pads of the element substrate and the lead electrodes of the flexible substrate is thermocompression bonding with a bump interposed therebetween. 5. The ink jet print head according to any one of the above-described items 1, 2, and 3, wherein the electrical connection between the connection terminal on the printing apparatus side and the contact pad of the flexible substrate on the print head side is pressure contact. 6. 2. The ink jet recording head according to the above item 1, wherein each of the energy generating elements is an electrothermal converter for generating thermal energy. 7. 7. The ink jet recording head according to the item 6, wherein the ink is ejected from the ejection port by utilizing film boiling generated in the ink by the thermal energy applied by the electrothermal transducer. 8. An ink jet recording head for performing recording by discharging recording ink from a discharge port, comprising: (A) at least a plurality of energy elements for generating energy for discharging ink, and each of the energy elements and external wiring A plurality of lead electrodes for electrically connecting to the element substrate at one end of the element substrate (B) provided with a plurality of electrode pads for electrical connection, and a recording device and an electrical connector at the opposite end. A flexible substrate provided with a plurality of contact pad portions for electrically connecting, and a plurality of wirings for electrically connecting the lead electrode portion and the contact pad portion and transmitting a recording signal from the recording device. (C) electrically connecting the electrode pad of (A) with the lead electrode of (B), and (D) applying ink to the element substrate and the ejection port. (E) the flexible substrate is formed by joining an ink flow path for supplying and a top plate provided with a common liquid chamber, and the flexible substrate is provided at an arbitrary portion except for the lead electrode portion and the contact pad portion. In an inkjet print head that is bent at an angle and mounted on a printing apparatus, the element substrate is rectangular, the energy element is an electrothermal transducer, and
An ink jet recording head in which electrothermal transducers are arranged along the edge of one side of the element substrate, and the other three sides are surrounded by the flexible substrate. 9. One side of the flexible substrate faces a side opposite to the side of the element substrate on which the electrothermal transducers are arranged, and both ends of the facing side of the flexible substrate are elongated and protrude from the element substrate. Opposite each other,
9. The ink jet recording head according to the item 8, wherein power supply wiring of the electrothermal transducer is arranged on both protruding end portions. 10. For the surface of the element substrate on which the electrothermal converter is arranged,
10. The ink jet recording head according to the above item 8 or 9, wherein the surface of the flexible substrate for electrical connection with the recording device is on the opposite side. 11. 8 to 10 wherein the flexible substrate is bent in advance and then joined to the top plate.
The inkjet recording head according to any one of the above. 12. The flexible substrate is a flexible polyimide film, a wiring substrate shape that can be sequentially cut on a sheet-like polyimide film is formed, an element substrate is arranged, and after electrical bonding, the substrate is cut out from the sheet. The inkjet recording head according to the above. 13. 13. The device according to any one of 1 to 12, wherein the top plate has a shape capable of forming two ejection ports for ejecting different types of ink in the same direction by symmetrically joining the two element substrates. Ink jet recording head. 14. 14. An ink jet recording head cartridge comprising: the ink jet recording head according to any one of the above items 1 to 13; and an ink tank detachable from the recording head. 15. An ink jet recording head cartridge according to 15.14, and a member for mounting the ink jet recording head cartridge, wherein ink is ejected from the ink jet recording head in accordance with a recording signal sent via the contact pad to perform recording. Inkjet recording device that performs

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して説明する。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0017】図1は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの一例の斜視図であり、図2はその構成の要部を切断
した説明用の斜視図である。ここでは説明の便宜上、配
線基板を約90°に折り曲げた場合について図示してい
るが、本発明はこれに限定されることなく、これ以外の
角度で折り曲げる場合においても有効であるのは言うま
でもないことである。
FIG. 1 is a perspective view of an example of an ink jet recording head according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view for explanation in which a main part of the structure is cut. Here, for convenience of explanation, the case where the wiring board is bent at about 90 ° is shown, but the present invention is not limited to this, and it is needless to say that the present invention is also effective when bent at other angles. That is.

【0018】図において、本発明のインクジェット記録
ヘッドは、基本的にはエネルギー発生素子としての複数
の電気熱変換体13が所定のピッチで並列配置された単
結晶シリコンから成る素子基板(以後ヒーターボードと
呼ぶ。)2と、ヒーターボード2に記録装置(不図示)
から送られてくる記録信号を伝送する中継基板の役割を
なす例えばTABフィルム等の可撓性を有する配線基板
3と、各電気熱変換体の配置位置に対応するインク流路
26をヒーターボード2と接合することにより構成する
溝や吐出口25等が形成されるオリフィスプレート5a
および溝付き天板5から成る溝付部材と、前記ヒーター
ボード2と前記天板5とを強固に押圧固定する板バネ1
1と、記録用インクが貯蔵されており自在に交換可能な
インクタンク9で構成されている。
Referring to FIG. 1, an ink jet recording head according to the present invention basically comprises an element substrate (hereinafter referred to as a heater board) made of single-crystal silicon in which a plurality of electrothermal transducers 13 as energy generating elements are arranged in parallel at a predetermined pitch. 2) and a recording device (not shown) on the heater board 2.
A flexible wiring board 3 such as a TAB film, for example, serving as a relay board for transmitting a recording signal sent from the printer, and an ink flow path 26 corresponding to an arrangement position of each electrothermal transducer are connected to the heater board 2. Orifice plate 5a in which grooves, discharge ports 25, etc. are formed by joining with
And a grooved member including a grooved top plate 5, and a leaf spring 1 for firmly pressing and fixing the heater board 2 and the top plate 5
1 and an ink tank 9 in which recording ink is stored and which can be exchanged freely.

【0019】天板5には、凹部と、各電気熱変換体13
のピッチに対応して形成されそれぞれ凹部に連通する複
数の溝が形成されており、天板5がヒーターボード2と
接合されることで、凹部はインクタンク9から供給され
たインクを一時的に保持する共通液室24を構成し、各
溝は共通液室24からのインクを吐出口25に導くイン
ク流路26を構成する。各溝の先端は天板5の端面に開
口しており、それぞれインクが吐出される吐出口25と
なっている。
The top plate 5 has a concave portion and each electrothermal converter 13.
A plurality of grooves are formed corresponding to the pitches and are respectively communicated with the concave portions. When the top plate 5 is joined to the heater board 2, the concave portions temporarily store the ink supplied from the ink tank 9. The common liquid chamber 24 to be held is formed, and each groove forms an ink flow path 26 that guides the ink from the common liquid chamber 24 to the discharge port 25. The leading end of each groove is opened at the end face of the top plate 5, and serves as a discharge port 25 for discharging ink.

【0020】一方、ヒーターボード2は所定のピッチで
並列配置された複数の電気熱変換体13と、各電気熱変
換体13を駆動するための駆動回路(不図示)が、既知
の半導体プロセスにより成膜形成されたものである。電
気熱変換体13は、熱エネルギーを発生することでイン
ク流路26内のインクに膜沸騰を生じさせ、この膜沸騰
により発生する気泡の成長により、インクを吐出口25
から吐出させるもので、その詳細な構造については後述
する。
On the other hand, the heater board 2 includes a plurality of electrothermal converters 13 arranged in parallel at a predetermined pitch and a driving circuit (not shown) for driving each electrothermal converter 13 by a known semiconductor process. It was formed as a film. The electrothermal transducer 13 generates thermal energy to cause film boiling in the ink in the ink flow path 26, and the growth of bubbles generated by the film boiling causes the ink to be discharged from the ejection port 25.
, And its detailed structure will be described later.

【0021】ヒーターボード2の天板5と接合される
面、すなわち各電気熱変換体13が設けられている面に
は、各電気熱変換体13の駆動回路と接続されるアルミ
ニウムからなる複数の電極パッド21が形成されてい
る。これら各電極パッド(図中不指示)上には例えばA
uのスタッドバンプもしくはめっきバンプが形成され、
記録装置からの記録信号を受ける配線基板3に設けられ
た各リード電極12と、ギャングボンディングまたはシ
ングルポイントボンディング等に代表される熱圧着によ
りそれぞれ電気的に接続されている。
On the surface of the heater board 2 to be joined to the top plate 5, that is, on the surface on which the electrothermal converters 13 are provided, a plurality of aluminum members connected to the drive circuit of each electrothermal converter 13 are provided. An electrode pad 21 is formed. On each of these electrode pads (not indicated in the figure), for example, A
u stud bumps or plated bumps are formed,
Each lead electrode 12 provided on the wiring board 3 for receiving a recording signal from the recording device is electrically connected to each other by thermocompression bonding represented by gang bonding, single point bonding, or the like.

【0022】配線基板3には、各電気熱変換体13に接
続される共通電極(不図示)や個別電極(不図示)等の
各配線22が形成されており、一端にはヒーターボード
2とのボンディング接続用のリード電極12、対向する
他端の裏面側には記録装置に具備されているキャリッジ
(不図示)との圧接用コンタクトパッド4が形成されて
いる。
Each wiring 22 such as a common electrode (not shown) and an individual electrode (not shown) connected to each of the electrothermal transducers 13 is formed on the wiring board 3. The contact electrode 4 for pressure contact with a carriage (not shown) provided in the recording apparatus is formed on the back surface of the other end of the lead electrode 12 for bonding connection.

【0023】ここで、電気熱変換体13について説明す
る。図3は、図2に示した電気熱変換体13の拡大平面
図であり、図4は、図3に示したA−A線断面図であ
る。
Here, the electrothermal converter 13 will be described. FIG. 3 is an enlarged plan view of the electrothermal converter 13 shown in FIG. 2, and FIG. 4 is a sectional view taken along line AA shown in FIG.

【0024】図3及び図4に示すように、ヒーターボー
ドの表面には、熱酸化により得られるSiO2 膜からな
る蓄熱層15が1〜7μm、好ましくは2〜4μmの膜
厚で形成される。蓄熱層15上には、各インク流路26
(図2参照)の位置に対応する複数の発熱抵抗層16が
形成される。発熱抵抗層16は例えばHfB2 膜または
TaNx を含む膜からなり、その膜厚は100〜300
0オングストローム、好ましくは500〜1500オン
グストロームである。
As shown in FIGS. 3 and 4, on the surface of the heater board, a heat storage layer 15 made of a SiO 2 film obtained by thermal oxidation is formed with a thickness of 1 to 7 μm, preferably 2 to 4 μm. . On the heat storage layer 15, each ink flow path 26
A plurality of heat generating resistive layers 16 corresponding to the positions (see FIG. 2) are formed. The heat generating resistance layer 16 is made of, for example, an HfB 2 film or a film containing TaN x and has a thickness of 100 to 300.
0 angstroms, preferably 500-1500 angstroms.

【0025】そして、例えばAl膜またはAl−Cu膜
またはAl−Si膜を、3000〜10000オングス
トローム、好ましくは5000〜7000オングストロ
ームの膜厚で形成し、フォトリソグラフィ工程により所
望の形状にパターニングして、発熱抵抗層16に電力を
供給するための対(共通電極と個別電極)の電極17
a、17bを、上記駆動回路の配線(不図示)と共に形
成する。対の電極17a、17bを介して発熱抵抗層1
6に電圧を印加することで発熱抵抗層16が発熱する。
すなわち、発熱抵抗層16と、対の電極17a、17b
とで電気熱変換体13が構成され、特に、対の電極17
a、17bで挟まれた部位が、インクに熱エネルギーを
与える熱作用部14となる。
Then, for example, an Al film, an Al—Cu film, or an Al—Si film is formed with a thickness of 3000 to 10000 angstroms, preferably 5000 to 7000 angstroms, and is patterned into a desired shape by a photolithography process. A pair of electrodes (common electrode and individual electrode) 17 for supplying power to the heating resistor layer 16
a and 17b are formed together with the wiring (not shown) of the drive circuit. Heating resistance layer 1 via pair of electrodes 17a, 17b
When a voltage is applied to 6, the heating resistance layer 16 generates heat.
That is, the heating resistance layer 16 and the pair of electrodes 17a, 17b
Constitutes the electrothermal converter 13, and in particular, the pair of electrodes 17.
The portion sandwiched between a and 17b becomes the heat acting portion 14 that applies thermal energy to the ink.

【0026】また、多層配線の場合は、上記の電極17
a、17b上に、層間絶縁層(不図示)として例えばS
iO2 膜またはSiNx を含む膜を1〜5μm、好まし
くは1〜3μmの膜厚で形成した後、第2の電極(不図
示)として例えばAl膜またはAl−Cu膜またはAl
−Si膜を3000〜10000オングストローム、好
ましくは5000〜7000オングストロームの膜厚で
形成し、所望の形状にパターン形成する。
In the case of a multilayer wiring, the above-mentioned electrode 17 is used.
a, 17b as an interlayer insulating layer (not shown)
After an iO 2 film or a film containing SiN x is formed to a thickness of 1 to 5 μm, preferably 1 to 3 μm, an Al film, an Al—Cu film, or an Al film is formed as a second electrode (not shown).
A-Si film is formed with a thickness of 3000 to 10000 angstroms, preferably 5000 to 70000 angstroms, and is patterned into a desired shape.

【0027】上記各層は、第1の保護層18により保護
され、更に第1の保護層18の表面には第2の保護層1
9(「耐キャビテーション層」ともいう。)が設けられ
ている。第1の保護層18は、例えばSiO2 膜または
SiNx を含む膜からなり、CVD法またはスパッタリ
ング法により、0.5〜2μmの膜厚で形成される。第
2の保護層19は、熱作用部14より伝わった熱により
発生したインクの気泡が消滅する時に生じる衝撃から、
熱作用部14を保護する目的で設けられている。第2の
保護層19は、例えばTa膜をスパッタリング法によっ
て500〜5000オングストローム、好ましくは10
00〜2500オングストロームの膜厚で形成した後、
フォトリソグラフィ工程により所望の形状にパターニン
グすることによって得られる。
Each of the above layers is protected by a first protective layer 18, and a second protective layer 1 is provided on the surface of the first protective layer 18.
9 (also referred to as “anti-cavitation layer”). The first protective layer 18 is made of, for example, an SiO 2 film or a film containing SiN x, and is formed to a thickness of 0.5 to 2 μm by a CVD method or a sputtering method. The second protective layer 19 is formed by a shock generated when bubbles of the ink generated by the heat transmitted from the heat acting portion 14 disappear.
It is provided for the purpose of protecting the heat acting portion 14. The second protective layer 19 is formed, for example, by sputtering a Ta film to a thickness of 500 to 5000 Å, preferably 10 to 500 Å.
After forming with a thickness of 00 to 2500 Å,
It is obtained by patterning into a desired shape by a photolithography process.

【0028】上述のように複数の電気熱変換体13が形
成されたヒーターボード2を天板5に対して、上記各電
気熱変換体13とインク流路26とが1対1で対応する
ように位置決めし、次いで板バネ11により強固に押圧
して両者の位置関係を固定する。
The heater board 2 on which the plurality of electrothermal transducers 13 are formed as described above is arranged such that each of the electrothermal transducers 13 and the ink flow path 26 correspond to the top plate 5 on a one-to-one basis. And then firmly pressed by the leaf spring 11 to fix the positional relationship between them.

【0029】次に、配線基板3のもう一方の端面を、記
録装置との圧接用コンタクトパッド4を有する面が上に
なるようにおよそ90°の角度に折り曲げて、記録ヘッ
ド上の所定の位置に接着固定する。
Next, the other end surface of the wiring substrate 3 is bent at an angle of about 90 ° so that the surface having the contact pads 4 for press-contact with the recording device faces upward, so that a predetermined position on the recording head is obtained. Adhesively fixed.

【0030】このようにしてヒーターボード2と天板5
との密着力を向上させた後、例えばシリコーン系の封止
剤(不図示)によりヒーターボード2と天板5との接合
部位、ボンディング部、及び露出しているリード電極1
2の封止を同時に行ない、インクジェット記録ヘッドが
完成する。
In this manner, the heater board 2 and the top plate 5
After the adhesion between the heater board 2 and the top plate 5 is improved by, for example, a silicone-based sealant (not shown), the bonding portion and the exposed lead electrode 1 are improved.
2 are simultaneously performed to complete the ink jet recording head.

【0031】このようにして完成したインクジェット記
録ヘッドは、記録装置に具備されるキャリッジに搭載す
る際、キャリッジに配置されている圧接用端子を有する
配線部材と、記録ヘッドの配線基板3に配される記録装
置本体との圧接用コンタクトパッド4とが圧接されて記
録装置と記録ヘッドとの電気的接続が行われる。
When the ink jet recording head thus completed is mounted on a carriage provided in a recording apparatus, it is disposed on a wiring member having pressure contact terminals arranged on the carriage and on a wiring substrate 3 of the recording head. The pressure contact pad 4 is pressed against the main body of the recording apparatus, and the recording apparatus is electrically connected to the recording head.

【0032】こうして構成された図1の記録ヘッド構成
を含むインクジェット記録ヘッドの一例を図2に示す。
図2に示すようにヒーターボード2には、複数の吐出口
25に連通するインク流路26を形成するための流路壁
部材27とインク供給口28を有する天板5とが取り付
けられており、各インク流路26とインク供給口28と
は、共通液室24を介して連通されている。
FIG. 2 shows an example of an ink jet recording head including the recording head configuration of FIG. 1 thus constructed.
As shown in FIG. 2, the heater board 2 is provided with a flow path wall member 27 for forming an ink flow path 26 communicating with the plurality of discharge ports 25 and a top plate 5 having an ink supply port 28. The ink flow paths 26 and the ink supply ports 28 communicate with each other via a common liquid chamber 24.

【0033】また、各インク流路26内には、ヒーター
ボード2に設けられた吐出口25近傍の発熱部23と、
この発熱部23への配線22とが配置されている。この
ように構成されたインクジェット記録方式の記録ヘッド
では、インク供給口28から注入されるインクが内部の
共通液室24へ蓄えられて各インク流路26へ供給さ
れ、その状態でヒーターボード2の発熱部23を駆動す
ることで吐出口25からインクの吐出がなされる。
In each of the ink flow paths 26, a heat generating portion 23 near the discharge port 25 provided on the heater board 2 is provided.
The wiring 22 to the heating section 23 is arranged. In the recording head of the ink jet recording system configured as described above, the ink injected from the ink supply port 28 is stored in the internal common liquid chamber 24 and supplied to each ink flow path 26, and in this state, By driving the heating unit 23, ink is ejected from the ejection port 25.

【0034】以上のような構成のインクジェット記録ヘ
ッドにおいて前記第1の目的を達成する発明の特徴は、
配線基板における屈曲部の応力緩和対策として、配線基
板の屈曲部20の幅を、ヒーターボードとの電気的接続
部の幅より細くなるような配線レイアウトとすることで
ある。この構成においては、打ち抜き用金型との関係は
配線基板の外形のみ考慮すれば良いので配線基板を小型
化でき、配線基板の曲げ応力を効率よく緩和できる。し
たがって曲げ応力に起因するボンディング外れやリード
切れ等の不良を防止できる小型で高信頼性を有するイン
クジェット記録ヘッド及び記録装置が得られるので、設
計・製造・コストの面で非常に有利になる。上記の幅は
ヒーターボードとの電気的接続部の基板の幅の70〜4
0%、好ましくは50〜40%で、その形状は、特に限
定されるものではないが、例えば図5に示したように曲
げ部分で幅が急激に変わらない形が好ましい。
The features of the present invention that achieves the first object in the ink jet recording head having the above-described structure are as follows.
As a measure to alleviate the stress in the bent portion of the wiring board, a wiring layout is adopted in which the width of the bent portion 20 of the wiring board is smaller than the width of the electrical connection portion with the heater board. In this configuration, since only the outer shape of the wiring board needs to be considered in relation to the punching die, the size of the wiring board can be reduced, and the bending stress of the wiring board can be efficiently reduced. Therefore, a compact and highly reliable ink jet recording head and recording apparatus capable of preventing defects such as bond disconnection and lead breakage due to bending stress can be obtained, which is extremely advantageous in terms of design, manufacture and cost. The above width is 70 to 4 times the width of the board of the electrical connection with the heater board.
It is 0%, preferably 50 to 40%, and the shape is not particularly limited. For example, a shape in which the width does not suddenly change at the bent portion as shown in FIG. 5 is preferable.

【0035】前記第2の目的を達成する本発明は、前記
8および9であり、図5および図6を参照して説明す
る。
The present invention that achieves the second object is the aforementioned 8 and 9, and will be described with reference to FIGS. 5 and 6.

【0036】図5において100は方形の素子基板(ヒ
ーターボード)、105は電気熱変換体で、ヒーターボ
ードの1辺に沿って並べられる。110はTABフィル
ムからなるフレキシブル基板、200はヒーターボード
上のパッドに設けられたバンプで本例においてはスタッ
ドバンプである。210はリードでバンプと接続され
る。接続後に前記リードとヒーターボードのエッジとシ
ョートしないようにフォーミングされている。250は
ヒーターボード上の電源パッド、260は本発明のフレ
キシブル基板(TABフィルム)上の電源配線である。
In FIG. 5, reference numeral 100 denotes a rectangular element substrate (heater board), and 105 denotes an electrothermal converter, which is arranged along one side of the heater board. Reference numeral 110 denotes a flexible substrate made of a TAB film, and reference numeral 200 denotes a bump provided on a pad on the heater board, which is a stud bump in this example. A lead 210 is connected to the bump. After the connection, the leads and the edges of the heater board are formed so as not to be short-circuited. Reference numeral 250 denotes a power supply pad on the heater board, and reference numeral 260 denotes a power supply wiring on the flexible substrate (TAB film) of the present invention.

【0037】図6はヒーターボード(シリコン基板)1
00とTABテープ110を接続した状態で、TABフ
ィルムが連続して複数個つながった状態の図である。図
5は、図6のシリコン基板とTABテープを接続した状
態から切り出した図である。図6において300はTA
Bフィルムに設けられたスプロケットホール、310は
TABフィルムとTABテープの接続部で本部分を切断
することによりTABフィルムを切り出す。この切断時
にヒーターボードの電気熱変換体を並べた辺に対向する
部分のフィルム部は除去されインク吐出の邪魔にならな
いようになっている。
FIG. 6 shows a heater board (silicon substrate) 1
FIG. 2 is a diagram showing a state in which a plurality of TAB films are continuously connected in a state where 00 and the TAB tape 110 are connected. FIG. 5 is a diagram cut out from a state where the silicon substrate and the TAB tape of FIG. 6 are connected. In FIG. 6, 300 is TA
The sprocket hole 310 provided in the B film cuts out the TAB film by cutting the main portion at the connection between the TAB film and the TAB tape. At the time of this cutting, the film portion of the portion of the heater board facing the side where the electrothermal transducers are arranged is removed so as not to hinder the ink ejection.

【0038】TABフィルムと接続されたシリコン基板
はインク吐出用ノズルである溝付き天板の溝と、シリコ
ン基板上の電気熱変換体と位置を合わせて接合され、シ
リコン基板の裏面から溝付き天板に密着するようにバネ
部材で押さえられ固定される。この状態では、シリコン
基板のみが天板に固定されTABフィルムは固定されて
いない。
The silicon substrate connected to the TAB film is joined with the groove of the grooved top plate, which is an ink discharge nozzle, and the electrothermal transducer on the silicon substrate in alignment with each other. It is pressed and fixed by a spring member so as to be in close contact with the plate. In this state, only the silicon substrate is fixed to the top plate, and the TAB film is not fixed.

【0039】前記シリコン基板はウエハーの状態でパッ
ド部にバンプを形成する。形成方法としては、めっきバ
ンプ法、或いは、スタッドバンプ法のいずれかが用いら
れ本例においてはスタッドバンプで形成されている。バ
ンプを形成した状態で、ウエハーからシリコン基板を切
り出す。またウエハー上にバンプを形成する方式ではな
く、TABのリード側にバンプを形成する転写バンプ方
式でもなんら問題はない。
The silicon substrate forms bumps on pad portions in a wafer state. As a forming method, either a plating bump method or a stud bump method is used, and in this example, it is formed by a stud bump. With the bumps formed, a silicon substrate is cut out of the wafer. There is no problem in the transfer bump method in which a bump is formed on the lead side of the TAB instead of the method in which a bump is formed on a wafer.

【0040】次に、TABテープの状態でシリコン基板
と接合を行う。本例においては、接合はギャングボンデ
ィングで行われ、ボンディング時にシリコン基板と配線
板であるTABフィルムの下に支持部材はなく、従来の
シリコン基板の電気熱変換体を配した面と平行にインク
を吐出する形式のインクジェット記録ヘッドから支持部
材が除かれ部品点数が削減されておりコストダウンとな
っている。
Next, bonding with the silicon substrate is performed in the state of the TAB tape. In this example, the bonding is performed by gang bonding, and there is no support member under the TAB film which is the silicon substrate and the wiring board at the time of bonding, and ink is applied in parallel to the surface of the conventional silicon substrate on which the electrothermal converter is arranged. Since the supporting member is removed from the ink jet recording head of the ejection type, the number of components is reduced, and the cost is reduced.

【0041】シリコン基板とTABテープの接合後は図
6の状態になり、この状態から所定部分を切断し、TA
Bテープの状態から図5に示すようなTABフィルムを
切り放す。従って、シリコン基板のインク吐出方向側を
除く3辺に対向するようにTABのフィルムを設け、ボ
ンディングリードをシリコン基板の前記3辺のTABの
フィルム上に設け、シリコン基板との接続をパッド上の
バンプとリード接合するようになっている。
After joining the silicon substrate and the TAB tape, the state shown in FIG. 6 is obtained.
The TAB film as shown in FIG. 5 is cut off from the state of the B tape. Therefore, a TAB film is provided so as to face three sides of the silicon substrate except for the ink ejection direction side, bonding leads are provided on the TAB film on the three sides of the silicon substrate, and connection with the silicon substrate is provided on a pad. The bump and the lead are connected.

【0042】次に、この後工程で曲げ癖を付けて、図1
のように溝付き天板に接合されることになる。
Next, a bending habit is given in the subsequent step, and FIG.
It is joined to the grooved top plate as shown in FIG.

【0043】図5においてシリコン基板上の電源端子は
シリコン基板の電気熱変換体を並べた辺に交わる両側の
辺に沿って電源配線の電極を配し、可撓性の絶縁フィル
ムをシリコン基板の両側に延在させ、可撓性フィルム部
に配線及び接合用のリードを配し前記リードを接合する
ことにより電源配線を形成している。以上のように電源
配線を配置することにより、従来電気熱変換体を並び配
した辺に対向する辺側に並べられていたワイヤーボンデ
ィングパッドまでの細い配線を設ける必要がなくなり、
シリコン基板内の電源配線の長さを短くすることが可能
となり、配線抵抗が低減でき、電源配線内の電圧降下が
少なくなった。従来それぞれヒーターの発泡開始電圧が
全吐時、単吐時でも満足するように電源配線に印加する
電圧に余裕を持たせて設定していたが、配線部の電圧降
下が少なくなった結果、設定する電圧を低く押さえるこ
とが可能となり、各ノズル内のヒーターにかかる電圧の
ばらつきを少なくでき、ヒーターの耐久性が向上する。
In FIG. 5, the power supply terminals on the silicon substrate are provided with power supply wiring electrodes along both sides intersecting the sides of the silicon substrate on which the electrothermal transducers are arranged, and a flexible insulating film is formed on the silicon substrate. A power supply wiring is formed by extending to both sides, arranging wiring and bonding leads on the flexible film portion, and bonding the leads. By arranging the power supply wiring as described above, it is not necessary to provide a thin wiring up to the wire bonding pad which has been conventionally arranged on the side opposite to the side on which the electrothermal transducers are arranged.
The length of the power supply wiring in the silicon substrate can be reduced, the wiring resistance can be reduced, and the voltage drop in the power supply wiring has been reduced. Conventionally, the voltage applied to the power supply wiring was set with a margin so that the foaming start voltage of the heater was satisfied at all discharges and at the time of single discharge, but it was set as a result of reduced voltage drop at the wiring part This makes it possible to reduce the voltage applied to the heater, thereby reducing variations in the voltage applied to the heater in each nozzle, and improving the durability of the heater.

【0044】また、記録装置本体との接合部をシリコン
基板上のヒーターを配した面と反対側のTABフィルム
面側に配することによって、一体の天板の両側にシリコ
ン基板を密接させて設け、2ヘッド分を1個分の天板で
充当できる。例えば一方を黒インクを印字するヘッド、
他方をカラーインクを印字するヘッドとすることがで
き、2個のシリコン基板及びTABフィルムを電気熱変
換体を設けた面と角度をつけて電気的接合面を設ける記
録装置本体と電気的接合をとることが可能となった。
Further, by arranging the joint portion with the recording apparatus main body on the surface of the TAB film opposite to the surface on which the heater is provided on the silicon substrate, the silicon substrates are provided on both sides of the integrated top plate in close contact with each other. And two heads can be covered by one top plate. For example, one head prints black ink,
The other can be a head for printing color ink, and the two silicon substrates and the TAB film are electrically connected to the main body of the recording apparatus in which an electrical connection surface is formed at an angle to the surface on which the electrothermal transducer is provided. It became possible to take.

【0045】次に、上述のインクジェット記録ヘッドを
備えたインクジェット記録ヘッドカートリッジを装着し
たインクジェット記録装置の例について、図7および図
8を用いて説明する。
Next, an example of an ink jet recording apparatus equipped with an ink jet recording head cartridge having the above-described ink jet recording head will be described with reference to FIGS.

【0046】本発明のインクジェット記録装置は、前記
本発明のインクジェット記録ヘッドと、前記インクジェ
ット記録ヘッドを載置する部材とを備え、前記接続端子
を介して送られる記録信号に応じて前記インクジェット
記録ヘッドからインクを吐出させるものである。
An ink jet recording apparatus according to the present invention includes the ink jet recording head according to the present invention, and a member on which the ink jet recording head is mounted. The ink jet recording head according to a recording signal sent through the connection terminal. The ink is ejected from the printer.

【0047】図7は、インクジェット記録装置の一例の
主要部を示す模式的斜視図である。図において、320
はプラテン324上に搬送された被記録媒体である記録
紙(不図示)の記録面に対向してインクの吐出口を複数
備えた、記録液体貯留部一体構造の取りはずし自在カー
トリッジ型のインクジェット記録ヘッドカートリッジで
ある。316はインクジェット記録ヘッドカートリッジ
320を載置するためのキャリッジであり、駆動モータ
317の駆動力を伝達する駆動ベルト318の一部と連
結され、互いに平行に配設された2本のガイドシャフト
329A、329Bと摺動可能とされている。これによ
り、インクジェット記録ヘッドカートリッジ320は、
記録紙の全幅にわたる往復移動が可能とされている。
FIG. 7 is a schematic perspective view showing a main part of an example of the ink jet recording apparatus. In the figure, 320
Is a removable cartridge type ink jet recording head having a plurality of recording liquid storage unit integrated structures, provided with a plurality of ink ejection ports facing a recording surface of a recording medium (not shown) as a recording medium conveyed on a platen 324. It is a cartridge. Reference numeral 316 denotes a carriage for mounting the ink jet recording head cartridge 320. The carriage 316 is connected to a part of a drive belt 318 that transmits the driving force of the drive motor 317, and has two guide shafts 329A arranged in parallel with each other. 329B. Thereby, the ink jet recording head cartridge 320 is
Reciprocating movement over the entire width of the recording paper is enabled.

【0048】326は記録ヘッドからのインク吐出不良
の回復及び予防を行なう回復装置であり、インクジェッ
ト記録ヘッドカートリッジ320の移動範囲の所定個
所、例えばホームポジションと対向する位置に配設され
る。回復装置326は、伝動機構323を介したモータ
322の駆動力によってインクジェット記録ヘッドの吐
出口のキャッピングを行なう。この回復装置326のキ
ャップ326Aによるインクジェット記録ヘッドの吐出
口のキャッピング動作に関連して、回復装置326に設
けられた適宜の吸引手段(不図示)による吐出口からの
インク吸引、若しくは装置側からのインクが記録ヘッド
に供給される形態の装置(不図示)においては、インク
ジェット記録ヘッドへのインク供給経路に設けられた適
宜の加圧手段(不図示)によるインク圧送が行なわれ
る。これにより、インクを吐出口から強制的に排出させ
て、吐出口内包の増粘インク等の異物を除去するといっ
た回復処理がなされる。
Reference numeral 326 denotes a recovery device for recovering and preventing ink discharge failure from the print head, and is provided at a predetermined position in the moving range of the ink jet print head cartridge 320, for example, at a position facing the home position. The recovery device 326 caps the ejection port of the inkjet recording head by the driving force of the motor 322 via the transmission mechanism 323. In connection with the capping operation of the ejection port of the ink jet recording head by the cap 326A of the recovery device 326, ink is sucked from the ejection port by an appropriate suction means (not shown) provided in the recovery device 326, or from the device side. In an apparatus (not shown) in which the ink is supplied to the recording head, the ink is fed by an appropriate pressurizing means (not shown) provided in the ink supply path to the ink jet recording head. Thus, a recovery process is performed in which the ink is forcibly discharged from the discharge port and foreign substances such as thickened ink contained in the discharge port are removed.

【0049】330は回復装置326の側面に配設さ
れ、シリコーンゴムで形成されたワイピング用部材とし
てのブレードである。このブレード330はブレード保
持部材330Aに片持ち梁形態で保持され、回復装置3
26と同様、モータ322及び伝動機構323によって
動作して、インクジェット記録ヘッドの吐出口面との係
合が可能となる。これにより、例えばインクジェット記
録ヘッドの記録動作中の適切なタイミングで、あるいは
回復装置326を用いた回復処理の後等に、インクジェ
ット記録ヘッドの移動動作に伴って吐出口面に付着した
結露、濡れあるいは塵埃等の異物を拭き取ることができ
る。
A blade 330 is disposed on the side surface of the recovery device 326 and is made of silicone rubber and serves as a wiping member. The blade 330 is held in a cantilever form by a blade holding member 330A, and the recovery device 3
Similarly to 26, it is operated by the motor 322 and the transmission mechanism 323 to enable engagement with the ejection port surface of the ink jet recording head. Accordingly, for example, at an appropriate timing during the recording operation of the inkjet recording head, or after a recovery process using the recovery device 326, dew condensation, wetness, or the like adhering to the ejection port surface due to the movement operation of the inkjet recording head. Foreign substances such as dust can be wiped off.

【0050】このインクジェット記録装置の記録紙搬送
手段、キャリッジ及び回復装置の駆動、更に記録ヘッド
の駆動等は、例えば装置本体側のCPUを含む制御手段
より出力された命令、信号に基づいて制御される。
The driving of the recording paper transport means, the carriage and the recovery device, and the driving of the recording head of the ink jet recording apparatus are controlled based on commands and signals output from control means including a CPU on the apparatus main body side, for example. You.

【0051】図8は本発明のインクジェット記録ヘッド
を用いたインクジェット記録装置の他の例の斜視図であ
る。キャリッジHCは駆動モーター5013正転逆転に
連動して駆動力伝達ギア5011、5010、5009
を介して回転するリードスクリュー5005の螺旋溝5
004に対して係合するように構成され、キャリッジH
C、図中不指示のピンを有し、矢印a、b方向に往復移
動される。キャリッジHCには、記録ヘッド部502
5、インクタンク部5026が装着されている。記録ヘ
ッドは、一つの記録ヘッド内に2個のシリコン基板を有
し一方は黒インク吐出用であり、もう一方はシリコン基
板上の液室が3液室に分離されておりイエロー、マゼン
タ、シアン色のインクを吐出するカラー用のヘッドであ
る。5002は紙押さえ板であり、キャリッジHCの移
動方向にわたって記録シートPをプラテン5000に対
して押圧している。5007、5008は各フォトカッ
プラーであり、キャリッジHCのレバー5006のこの
領域での存在を確認してモーター5013の回転方向切
り替え等を行うためのホームポジション検知手段であ
る。
FIG. 8 is a perspective view of another example of an ink jet recording apparatus using the ink jet recording head of the present invention. The carriage HC drives the drive motor 5013 in forward and reverse rotations to drive force transmitting gears 5011, 5010, and 5009.
Spiral groove 5 of lead screw 5005 rotating through
004 and the carriage H
C, which has a pin not indicated in the figure, and is reciprocated in the directions of arrows a and b. The carriage HC includes a print head unit 502.
5. The ink tank unit 5026 is mounted. The recording head has two silicon substrates in one recording head, one is for discharging black ink, and the other is one in which a liquid chamber on the silicon substrate is divided into three liquid chambers, and yellow, magenta, and cyan. This is a color head for discharging color ink. Reference numeral 5002 denotes a paper pressing plate, which presses the recording sheet P against the platen 5000 in the moving direction of the carriage HC. Reference numerals 5007 and 5008 denote photocouplers, which are home position detecting means for confirming the presence of the lever 5006 of the carriage HC in this area and switching the rotation direction of the motor 5013.

【0052】5016は、記録ヘッド5025の両面を
キャップするためのキャップ部材5022を支持する部
材、5015はこのキャップ内を吸引する手段であり、
キャップ内開口5023を介して記録ヘッドの吸引回復
を行う。5017はクリーニングブレード、5019は
このブレード5017を前後方向に移動可能にする部材
であり、本体支持体5018にこれらは支持されてい
る。ブレード5017はこの図例の形態のみでなく、周
知のクリーニングブレードが本例に適用できることは言
うまでもない。また、5012は吸引回復を開始するた
めのレバーでありキャリッジHCと係合するカム502
0の移動に伴って移動し、駆動モーター5013からの
駆動力がクラッチ切り替え等の公知の伝達手段で移動制
御される。
Reference numeral 5016 denotes a member for supporting a cap member 5022 for capping both sides of the recording head 5025, and 5015 means for sucking the inside of the cap.
The suction recovery of the recording head is performed through the opening 5023 in the cap. Reference numeral 5017 denotes a cleaning blade, and reference numeral 5019 denotes a member capable of moving the blade 5017 in the front-rear direction. These members are supported by a main body support 5018. It goes without saying that the blade 5017 is not limited to the embodiment shown in this figure, and that a well-known cleaning blade can be applied to this embodiment. Reference numeral 5012 denotes a lever for starting suction recovery, and a cam 502 which engages with the carriage HC.
It moves with the movement of 0, and the driving force from the drive motor 5013 is controlled by a known transmission means such as clutch switching.

【0053】これらのキャッピング、クリーニング手
段、吸引回復はキャリッジHCがホームポジション側領
域に位置づけられたときに、リードスクリュー5005
の作用によってそれらの対応位置での所望の処理が行え
るように構成されているが、周知のタイミングで所望の
動作を行うようにすれば、本例はいずれにも適用でき
る。また本説明事例に限らず、記録ヘッド5025とイ
ンクタンク5026とが分離可能に構成されているイン
クジェットヘッドカートリッジにおいても本例は適用可
能である。
The capping, cleaning means, and suction recovery are performed when the carriage HC is positioned in the home position side area.
Are arranged so that desired processing can be performed at those corresponding positions by the operation described above. However, if desired operations are performed at well-known timings, this example can be applied to any of them. Further, the present invention is not limited to the present description, but is applicable to an ink jet head cartridge in which the recording head 5025 and the ink tank 5026 are configured to be separable.

【0054】次に本例に関する記録装置を組み込んだ情
報処理装置に関して、その構成と電気回路について説明
する。
Next, the configuration and electric circuit of an information processing apparatus incorporating the recording apparatus according to this embodiment will be described.

【0055】図9は上記記録装置を組み込んだ情報処理
装置604の外観を表わす模式的斜視図である。同図に
おいて、601は上述のプリンタ部、602は文字や数
字及びその他のキャラクタを入力するためのキーや、各
種指令を与えるためのキー等を備えたキーボード部、6
03は表示器を備える表示部である。
FIG. 9 is a schematic perspective view showing the appearance of an information processing device 604 incorporating the recording device. 6, reference numeral 601 denotes the above-described printer unit; 602, a keyboard unit having keys for inputting characters, numerals, and other characters, keys for giving various commands, and the like;
03 is a display unit provided with a display.

【0056】図10は、本実施例に関する情報処理装置
の電気回路構成を表すブロック図である。
FIG. 10 is a block diagram showing an electric circuit configuration of the information processing apparatus according to this embodiment.

【0057】同図において、501は主制御をなすコン
トローラであり、502はある手順を実行する例えばマ
イクロコンピュータ形態のCPU、503はテキストデ
ータや画像データを展開したりする領域や作業用の領域
等を設けたRAM、504は前記手順に対応したプログ
ラムやその他フォントデータ等の固定データを格納した
ROM、505はCPU502の実行サイクルを作り出
したりプリンタ部601による記録動作の際必要なタイ
ミングを作り出したりするタイマ、506はCPU50
2からの信号と周辺装置を結ぶインターフェース部であ
る。
Referring to FIG. 5, reference numeral 501 denotes a controller for performing main control; 502, a CPU in the form of a microcomputer for executing a certain procedure; 503, an area for expanding text data and image data, an area for work, and the like. RAM 504 stores a program corresponding to the above-mentioned procedure and other ROM storing fixed data such as font data, and 505 generates an execution cycle of the CPU 502 and timing necessary for a printing operation by the printer unit 601. Timer 506 is CPU 50
2 is an interface unit that connects the signal from the peripheral device 2 and peripheral devices.

【0058】また、507はプリンタ部601のコント
ローラであり、508はヘッドカートリッジ100に記
録信号や電力等を送出するヘッドドライバ、509a、
bはそれぞれキャリアモータ402a、搬送モータ40
2bを駆動するのに必要な信号や電力等を送出するモー
タドライバ、510はキャリア102の位置を検出し例
えばホームポジションにキャリア102があるかどうか
判断するためのキャリアセンサ、511は記録媒体が未
挿入であったりページ終端まで記録が終了してしまった
時に記録媒体以外の所に記録を行なわせないために記録
媒体の有無を検出するペーパセンサである。
Reference numeral 507 denotes a controller of the printer unit 601; 508, a head driver for transmitting a recording signal, electric power, and the like to the head cartridge 100;
b denotes a carrier motor 402a and a transport motor 40, respectively.
A motor driver 510 detects a position of the carrier 102 and determines whether the carrier 102 is located at a home position, for example. This is a paper sensor that detects the presence or absence of a recording medium in order to prevent recording from being performed in a place other than the recording medium when insertion is completed or recording is completed up to the end of the page.

【0059】更に、605は例えばFDD、HDD、R
AMカード等の外部記憶装置、512は例えば他の情報
処理装置と通信を行なったり、内部のバスに直接接続し
て周辺機器を制御したりするための外部インターフェイ
スである。
Further, reference numeral 605 denotes, for example, FDD, HDD, R
An external storage device 512 such as an AM card is an external interface for communicating with, for example, another information processing device, or for controlling a peripheral device by directly connecting to an internal bus.

【0060】なお、図10のブロック図に含まれていな
いが、他に上記の電気回路に電力を供給するための電源
部があり、これには、例えば充電式のバッテリーや使い
捨ての乾電池、或は情報処理装置本体を固定して使用す
る場合のAC電源用変換器等がある。
Although not included in the block diagram of FIG. 10, there is another power supply unit for supplying power to the above-described electric circuit, such as a rechargeable battery or a disposable dry battery. There is a converter for AC power supply when the information processing apparatus body is fixed and used.

【0061】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも熱エネルギーを利用して飛翔的液滴を形成し、記
録を行うインクジェット方式の記録ヘッド、記録装置に
おいて、優れた効果をもたらすものである。
The present invention provides an excellent effect particularly in an ink jet recording head and a recording apparatus which perform recording by forming flying droplets by utilizing thermal energy among ink jet recording methods.

【0062】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書、同第4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体(インク)
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくともひとつの駆動信
号を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギ
ーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じ
させて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
(インク)内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体(イン
ク)を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体(イン
ク)の吐出が達成でき、より好ましい。
The typical configuration and principle are described in, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4,740.
It is preferable to use the basic principle disclosed in the specification of Japanese Patent No. 796. This method can be applied to both the so-called on-demand type and continuous type. In particular, in the case of the on-demand type, liquid (ink)
By applying at least one drive signal corresponding to the recorded information and providing a rapid temperature rise exceeding the nucleate boiling to the electrothermal transducer arranged corresponding to the sheet or liquid path in which This is effective because heat energy is generated in the electrothermal transducer, causing film boiling on the heat-acting surface of the recording head, and as a result, air bubbles in the liquid (ink) corresponding one-to-one to this drive signal can be formed. It is. By discharging the liquid (ink) through the discharge opening by the growth and contraction of the bubble, at least one droplet is formed. When the drive signal is formed into a pulse shape, the growth and shrinkage of the bubble are performed immediately and appropriately, so that the ejection of a liquid (ink) having particularly excellent responsiveness can be achieved, which is more preferable.

【0063】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第4463359号明細書、同第4345262号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第4313124号明細書に記載されている条件を採用
すると、更に優れた記録を行うことができる。
As the pulse-shaped drive signal, those described in US Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345,262 are suitable. If the conditions described in U.S. Pat. No. 4,313,124 relating to the temperature rise rate of the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【0064】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成(直線状液流路または直角液流路)の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を
開示する米国特許第4558333号明細書、米国特許
第4459600号明細書を用いた構成も本発明に含ま
れるものである。
As the configuration of the recording head, in addition to the combination of the discharge port, the liquid path, and the electrothermal converter (linear liquid flow path or right-angled liquid flow path) as disclosed in the above-mentioned respective specifications, The present invention also includes a configuration using U.S. Pat. No. 4,558,333 and U.S. Pat. No. 4,459,600, which disclose a configuration in which a heat acting portion is arranged in a bending region.

【0065】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭59−123670号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭59−138461号公報に基づいた構成
としても本発明は有効である。
In addition, JP-A-59-123670, which discloses a configuration in which a common slit is used as a discharge portion of an electrothermal transducer for a plurality of electrothermal transducers, or absorbs pressure waves of thermal energy. The present invention is also effective as a configuration based on JP-A-59-138461, which discloses a configuration in which an opening corresponds to a discharge unit.

【0066】更に、本発明が有効に利用される記録ヘッ
ドとしては、記録装置が記録できる最大記録媒体の幅に
対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドが
ある。このフルラインタイプの記録ヘッドとしては、上
述した明細書に開示されているような複数個の記録ヘッ
ドの組み合わせによってその長さを満たす構成や、一体
的に形成された1個の記録ヘッドとしての構成のいずれ
でも良い。
Further, as a recording head in which the present invention is effectively used, there is a full line type recording head having a length corresponding to the width of the maximum recording medium that can be recorded by the recording apparatus. The full-line type recording head may have a configuration that satisfies the length by a combination of a plurality of recording heads as disclosed in the above specification, or a single recording head that is integrally formed. Any of the configurations may be used.

【0067】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能となる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも
本発明は有効である。
In addition, the print head is replaceable with a print head of an interchangeable chip type, which can be electrically connected to the main body of the apparatus or supplied with ink from the main body of the apparatus, or is integrated with the print head itself. The present invention is also effective when a cartridge type recording head provided with an ink tank is used.

【0068】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。
It is preferable to add recovery means for the printhead, preliminary auxiliary means, and the like provided as components of the printing apparatus of the present invention since the effects of the present invention can be further stabilized. If you list these specifically,
Capping means, cleaning means, pressurizing or suction means for the printhead, preheating means using an electrothermal transducer or another heating element or a combination thereof, and a preliminary ejection mode for performing ejection other than recording Is also effective for performing stable recording.

【0069】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッド
を一体的に構成するか複数個の組み合わせによってでも
よいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフル
カラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極め
て有効である。
Further, the recording mode of the recording apparatus is not limited to the recording mode of only the mainstream color such as black, and the recording head may be integrally formed or a combination of a plurality of recording heads. The present invention is also extremely effective for an apparatus provided with at least one of full colors by color mixture.

【0070】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは
液体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式で
はインク自体を30℃以上70℃以下の範囲内で温度調
整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温
度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与
時にインクが液状をなすものであれば良い。
In the embodiments of the present invention described above, the ink is described as a liquid. However, an ink which solidifies at room temperature or below and which softens at room temperature, or which is liquid, In general, in the ink jet method, the temperature of the ink itself is controlled within a range of 30 ° C. or more and 70 ° C. or less to control the temperature so that the viscosity of the ink is in a stable ejection range. What is necessary is just liquid thing.

【0071】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで防止するか、またはイン
クの蒸発防止を目的として放置状態で固化するインクを
用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号
に応じた付与によってインクが液化し、液状インクとし
て吐出するものや、記録媒体に到達する時点では既に固
化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初め
て液化する性質のインクの使用も本発明には適用可能で
ある。このような場合インクは、特開昭54−5684
7号公報あるいは特開昭60−71260号公報に記載
されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状ま
たは固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としても良い。本発明において
は、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述
した膜沸騰方式を実行するものである。
In addition, the temperature rise due to thermal energy is positively prevented by using it as energy for changing the state of the ink from the solid state to the liquid state, or the ink is solidified in a standing state to prevent evaporation of the ink. Either ink may be used, or in any case, the ink may be liquefied by application of heat energy according to the recording signal and ejected as a liquid ink, or may already start to solidify when reaching the recording medium. The use of ink having a property of being liquefied for the first time by heat energy is also applicable to the present invention. In such a case, the ink is disclosed in JP-A-54-5684.
No. 7 or Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-71260, in which the porous sheet is opposed to the electrothermal converter while being held in a liquid or solid state in the concave portions or through holes of the porous sheet. It is good. In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.

【0072】更に加えて、本発明にかかる記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、更に
は送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採るも
のであっても良い。
Further, as a form of the recording apparatus according to the present invention, in addition to those provided integrally or separately as an image output terminal of an information processing device such as a word processor and a computer, a copying apparatus combined with a reader and the like, May take the form of a facsimile machine having a transmission / reception function.

【0073】以上の実施例においてはインクジェット記
録ヘッドのうちでも特に熱エネルギーを利用しインクを
発泡させてインク滴を吐出させる形態の記録ヘッドにつ
いて示したが、その他の方式、例えば電歪素子等を用い
てインク滴を吐出させる形態の記録ヘッドにも本発明は
好適に適用できる。
In the above embodiment, among the ink jet recording heads, the recording head in which the ink is foamed by using thermal energy to discharge the ink droplets has been described. However, other methods such as an electrostrictive element are used. The present invention can also be suitably applied to a recording head in which ink droplets are ejected by using the recording head.

【0074】[0074]

【発明の効果】本発明のインクジェット記録ヘッドは、
配線基板を折り曲げて使用することにより、記録装置と
電気的接続する場所を自由に設定することが可能とな
る。更に配線基板を小型化できるので、記録ヘッド及び
記録装置をも小型化することが可能となり、設計・製造
・コストの面で非常に有利となる。
The ink jet recording head of the present invention is
By bending and using the wiring board, it is possible to freely set a place to be electrically connected to the recording device. Further, since the size of the wiring board can be reduced, the size of the recording head and the recording apparatus can be reduced, which is very advantageous in terms of design, manufacturing, and cost.

【0075】更に、本構成によるとベースプレートを無
くすことができるので、部品点数が減ると共に、ベース
プレートに係る工程も無くなるので製造・コストの面で
非常に有利になるという利点もある。
Further, according to the present structure, the base plate can be eliminated, so that the number of parts is reduced, and the steps relating to the base plate are also eliminated, so that there is an advantage that the production and cost become very advantageous.

【0076】また、上記する記録ヘッドは既存の製法で
製造可能なので、新規に製法を開発する必要が無く製造
・コスト的に非常に有利となる。
Further, since the above-mentioned recording head can be manufactured by an existing manufacturing method, there is no need to develop a new manufacturing method, which is very advantageous in manufacturing and cost.

【0077】また、インクジョイント部とコンタクトパ
ッド部とを別の領域に分離したため、コンタクトパッド
部のインクによる汚染を防止することができ、ショート
や電食等による動作不良を防止することができる。
Further, since the ink joint portion and the contact pad portion are separated into different regions, contamination of the contact pad portion with ink can be prevented, and malfunctions due to short-circuit, electrolytic corrosion and the like can be prevented.

【0078】さらに本発明によれば、TABを用いシリ
コン基板のインク吐出方向側を除く3辺に対抗するよう
にTABのフィルムを設けボンディングリードをシリコ
ン基板のインク吐出方向側を除く3辺に対抗するように
TABのフィルム上に設けシリコン基板との接続をパッ
ド上のバンプとリード接合することによりシリコン基板
と配線部材の支持部材を設けることなくシリコン基板と
配線部材の接合を行うことが可能となり、部品点数を削
減することができ、より安価にインクジェット記録ヘッ
ドを提供することが可能になるものである。
Further, according to the present invention, a TAB film is provided using TAB so as to oppose the three sides of the silicon substrate excluding the ink ejection direction, and the bonding leads are opposed to the three sides of the silicon substrate excluding the ink ejection direction. In this way, the connection between the silicon substrate and the wiring member can be performed without providing a support member for the silicon substrate and the wiring member by providing the connection with the silicon substrate to the bump on the pad by lead bonding on the TAB film. Therefore, the number of components can be reduced, and an ink jet recording head can be provided at lower cost.

【0079】更に、シリコン基板の電気熱変換体を設け
た面とTABフィルム上の印字装置との電気的接合部は
前記電気熱変換体に対抗する面側に配することにより、
一体の天板に複数個のシリコン基板を設け、複数ヘッド
を1個分の天板ででき、例えば一方を黒インクを印字す
るヘッド、他方をカラーインクを印字するヘッドとする
事ができ、シリコン基板の電気熱変換体を設けた面と角
度をつけて電気的接合面を設けることが可能となりより
安価に高性能のヘッドを製造することが可能となる。
Further, the electrical joint between the surface of the silicon substrate on which the electrothermal converter is provided and the printing device on the TAB film is arranged on the surface facing the electrothermal converter,
A plurality of silicon substrates are provided on an integrated top plate, and a plurality of heads can be formed by one top plate. For example, one can be a head for printing black ink, and the other can be a head for printing color ink, The electrical connection surface can be provided at an angle to the surface of the substrate on which the electrothermal transducer is provided, and a high-performance head can be manufactured at lower cost.

【0080】また、シリコン基板の電気熱変換体を並べ
た辺に交わる辺に沿って電源配線の電極を配し、前記辺
に対向する可撓性の絶縁フィルムより前記電極に延在さ
せリードを接合してシリコン基板内の電源配線の長さを
短くすることにより電源配線内の電圧降下が少なくな
り、各ノズル内のヒーターにかかる電圧のばらつきが少
なくなり、ヒーターにかかる電圧余裕を小さくすること
ができヒーターの耐久性が向上しインクタンクを交換可
能にすることで1個のヘッドで印字可能な枚数が増しラ
ンニングコストを更に低減することが可能となる。
Further, an electrode of a power supply wiring is arranged along a side intersecting a side where the electrothermal transducers of the silicon substrate are arranged, and a lead is extended from the flexible insulating film facing the side to the electrode. By reducing the length of the power supply wiring in the silicon substrate by bonding, the voltage drop in the power supply wiring is reduced, the variation in the voltage applied to the heater in each nozzle is reduced, and the voltage margin applied to the heater is reduced. By increasing the durability of the heater and making the ink tank replaceable, the number of sheets that can be printed by one head increases, and the running cost can be further reduced.

【0081】本発明のインクジェット記録装置は、上述
した本発明のインクジェット記録ヘッド及びインクジェ
ット記録ヘッドカートリッジを備えることにより、高品
位ながら、小型で低コストのインクジェット記録装置を
提供することができる。
The ink jet recording apparatus of the present invention can provide a high quality, small size and low cost ink jet recording apparatus by including the above-described ink jet recording head and ink jet recording head cartridge of the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るインクジェット記録ヘッドカート
リッジをパーツに分解して示した外観斜視図である。
FIG. 1 is an external perspective view showing an inkjet recording head cartridge according to the present invention disassembled into parts.

【図2】本発明に係るインクジェット記録ヘッド構成の
一部を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a part of the configuration of an ink jet recording head according to the present invention.

【図3】図2に示した電気熱変換体の拡大平面図であ
る。
FIG. 3 is an enlarged plan view of the electrothermal converter shown in FIG.

【図4】図3に示した拡大図のA−A線断面図である。4 is a sectional view taken along line AA of the enlarged view shown in FIG. 3;

【図5】本発明のヒーターボードとフレキシブル基板と
の接合の一例を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an example of joining the heater board and the flexible substrate of the present invention.

【図6】本発明のフレキシブル基板を切出し可能にテー
プ状に作成し、ヒーターボードを接合した状態を示す模
式図である。
FIG. 6 is a schematic view showing a state in which the flexible substrate of the present invention is formed in a tape shape so that it can be cut out, and a heater board is joined thereto.

【図7】本発明のインクジェット記録ヘッドの一例の主
要部を示す模式的斜視図である。
FIG. 7 is a schematic perspective view showing a main part of an example of the ink jet recording head of the present invention.

【図8】本発明のインクジェット記録ヘッドの他の例の
主要部を示す模式的斜視図である。
FIG. 8 is a schematic perspective view showing a main part of another example of the ink jet recording head of the present invention.

【図9】本発明の記録装置を搭載した情報処理装置の模
式的外観を示す斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view showing a schematic external view of an information processing apparatus equipped with the recording apparatus of the present invention.

【図10】本発明の記録装置を搭載した情報処理装置の
主要な電気回路構成を表すブロック図である。
FIG. 10 is a block diagram illustrating a main electric circuit configuration of an information processing apparatus equipped with the recording apparatus of the present invention.

【図11】従来技術のインクジェット記録ヘッドを示す
模式断面図である。
FIG. 11 is a schematic sectional view showing a conventional ink jet recording head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1’ 支持板(ベースプレート) 2、2’ 素子基板(ヒーターボード) 3、3’ フレキシブル(FPC)配線基板 3a FPC基板スリット部 4、4’ コンタクトパッド 5、5’ 天板(溝付天板) 5a オリフィスプレート 6、6’ インク供給部材 7、7’ ワイヤボンディング 8、8’ 吐出口(オリフィス) 9 インクタンク 10 基板 11 板バネ 12 リード電極 13 電気熱変換体 14 熱作用部 15 蓄熱層 16 発熱抵抗層 17a、17b 電極 18 第1の保護層 19 第2の保護層(耐キャビテーション層) 20 屈曲部 21 電極パッド 22 配線 23 発熱部 24 共通液室 25 吐出口 26 インク流路 27 流路壁部材 28 インク供給口 100 素子基板(ヒーターボード)(シリコン基
板) 105 電気熱変換体 110 TABフィルム 200 バンプ 210 リード 250 電極パッド 260 電源配線 300 スプロケットホール 310 TABフィルムとTABテープの接続部 316 キャリッジ 317 駆動モータ 318 駆動ベルト 329A、329B ガイドシャフト 320 インクジェット記録ヘッドカートリッジ 322 クリーニング用モータ 323 伝動機構 324 プラテン 326 ヘッド回復装置 326A キャップ部材 330 ブレード 330A ブレード保持部材 402a キャリアモータ 402b 搬送モータ 501 コントローラ 502 CPU 503 RAM 504 ROM 505 タイマ 506 インターフェイス部 507 コントローラ(プリンタ部) 508 ヘッドドライバ 509a、b モータードライバ 510 キャリアセンサ 511 ペーパーセンサ 512 外部インターフェイス 601 プリンタ部 602 キーボード部 603 表示部 604 情報処理装置 605 外部記憶装置 5000 プラテン 5002 紙押さえ板 5004 螺旋溝 5005 リードスクリュー 5006 レバー 5007 フォトカップラー 5008 フォトカップラー 5009 駆動力伝達ギア 5010 駆動力伝達ギア 5011 駆動力伝達ギア 5012 レバー 5013 駆動モーター 5015 吸引手段 5016 支持部材 5017 クリーニングブレード 5018 本体支持体 5019 ブレードを移動する部材 5020 カム 5022 キャップ部材 5023 キャップ内開口 5025 記録ヘッド部 5026 インクタンク部 P 記録シート HC キャリッジ
1 'support plate (base plate) 2, 2' element board (heater board) 3, 3 'flexible (FPC) wiring board 3a FPC board slit part 4, 4' contact pad 5, 5 'top plate (groove top plate) Reference Signs List 5a Orifice plate 6, 6 'Ink supply member 7, 7' Wire bonding 8, 8 'Discharge port (orifice) 9 Ink tank 10 Substrate 11 Leaf spring 12 Lead electrode 13 Electrothermal transducer 14 Heat acting part 15 Thermal storage layer 16 Heat generation Resistance layer 17a, 17b Electrode 18 First protective layer 19 Second protective layer (anti-cavitation layer) 20 Bent portion 21 Electrode pad 22 Wiring 23 Heat generating portion 24 Common liquid chamber 25 Discharge port 26 Ink flow path 27 Flow path wall member 28 Ink supply port 100 Element substrate (heater board) (silicon substrate) 105 Electrothermal converter 110 TAB fill 200 Bump 210 Lead 250 Electrode pad 260 Power supply wiring 300 Sprocket hole 310 Connection between TAB film and TAB tape 316 Carriage 317 Drive motor 318 Drive belt 329A, 329B Guide shaft 320 Ink jet recording head cartridge 322 Cleaning motor 323 Transmission mechanism 324 Platen 326 Head recovery device 326A Cap member 330 Blade 330A Blade holding member 402a Carrier motor 402b Transport motor 501 Controller 502 CPU 503 RAM 504 ROM 505 Timer 506 Interface unit 507 Controller (printer unit) 508 Head driver 509a, b Motor driver 510 Carrier sensor 511 Papersen 512 External interface 601 Printer unit 602 Keyboard unit 603 Display unit 604 Information processing device 605 External storage device 5000 Platen 5002 Paper press plate 5004 Spiral groove 5005 Lead screw 5006 Lever 5007 Photocoupler 5008 Photocoupler 5009 Driving force transmission gear 5010 Driving force transmission gear 5011 Driving force transmission gear 5012 Lever 5013 Drive motor 5015 Suction means 5016 Support member 5017 Cleaning blade 5018 Main body support 5019 Member for moving blade 5020 Cam 5022 Cap member 5023 Opening in cap 5025 Recording head 5026 Ink tank P Recording sheet HC carriage

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 吐出口から記録用インクを吐出して記録
を行うインクジェット記録ヘッドであって、(A)少な
くとも、インクを吐出するためのエネルギーを発生する
複数のエネルギー素子、及び前記各エネルギー素子と外
部の配線と電気的に接続するための複数の電極パッドが
設けられた素子基板(B)一端部に前記素子基板と電気
的に接続するための複数のリード電極部、これと反対の
端部に記録装置と電気的に接続するための複数のコンタ
クトパッド部、および前記リード電極部と前記コンタク
トパッド部を電気的に結び前記記録装置からの記録信号
を伝送するための複数の配線とが設けられたフレキシブ
ル基板とを有し、(C)前記(A)の電極パッドと、前
記(B)のリード電極とを電気的に接続し、(D)前記
素子基板と、前記吐出口にインクを供給するためのイン
ク流路および共通液室を備えた天板とを接合することに
より形成され、かつ(E)前記フレキシブル基板が、前
記リード電極部およびコンタクトパッド部をのぞく任意
の部位で任意の角度に折り曲げて記録装置に装着される
インクジェット記録ヘッドにおいて、前記フレキシブル
基板の、折り曲げ部の幅が、前記素子基板と電気的に接
続するためのリード電極を配した部分の基板の幅の70
%〜40%であることを特徴とするインクジェット記録
ヘッド。
1. An ink jet recording head for performing recording by discharging recording ink from a discharge port, wherein (A) at least a plurality of energy elements for generating energy for discharging ink, and each of the energy elements An element substrate provided with a plurality of electrode pads for electrical connection to an external wiring and a plurality of lead electrode portions for electrically connecting to the element substrate at one end of the element substrate (B); A plurality of contact pad portions for electrically connecting the recording device to the portion, and a plurality of wirings for electrically connecting the lead electrode portion and the contact pad portion and transmitting a recording signal from the recording device. (C) electrically connecting the electrode pad of (A) and the lead electrode of (B); and (D) electrically connecting the element substrate and the discharge board. (E) the flexible substrate is formed by joining an ink flow path for supplying ink to an outlet and a top plate provided with a common liquid chamber, and the flexible substrate is an arbitrary part except for the lead electrode part and the contact pad part. In an ink jet recording head that is bent at an arbitrary angle at a site and mounted on a recording apparatus, the width of the bent portion of the flexible substrate is a portion of the substrate on which a lead electrode for electrically connecting to the element substrate is arranged. 70 of width
% To 40%.
【請求項2】 前記フレキシブル基板が可撓性を有する
ポリイミドを基材とするフィルムであることを特徴とす
る請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the flexible substrate is a film made of a polyimide having flexibility.
【請求項3】 前記フレキシブル基板に設けられた記録
装置と電気的に接続するための複数のコンタクトパッド
部が、前記素子基板に設けられた複数の電気熱変換体が
形成されている面とは反対の面上に設けられたことを特
徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録
ヘッド。
3. A surface on which a plurality of contact pads for electrically connecting to a recording device provided on the flexible substrate are provided with a plurality of electrothermal converters provided on the element substrate. The inkjet recording head according to claim 1, wherein the inkjet recording head is provided on an opposite surface.
【請求項4】 前記素子基板の電極パッドと、前記フレ
キシブル基板のリード電極との電気的接続は、間にバン
プを介在する熱圧着であることを特徴とする請求項1、
2または3に記載のインクジェット記録ヘッド。
4. An electric connection between an electrode pad of the element substrate and a lead electrode of the flexible substrate is thermocompression bonding with a bump interposed therebetween.
4. The inkjet recording head according to 2 or 3.
【請求項5】 前記記録装置側の接続端子と、記録ヘッ
ド側のフレキシブル基板のコンタクトパッドとの電気的
接続は、圧接であることを特徴とする請求項1、2また
は3に記載のインクジェット記録ヘッド。
5. The ink jet recording according to claim 1, wherein the electrical connection between the connection terminal on the recording apparatus side and the contact pad of the flexible substrate on the recording head side is a pressure contact. head.
【請求項6】 前記各エネルギー発生素子は、熱エネル
ギーを発生するための電気熱変換体である請求項1に記
載のインクジェット記録ヘッド。
6. The ink jet recording head according to claim 1, wherein each of said energy generating elements is an electrothermal converter for generating thermal energy.
【請求項7】 前記電気熱変換体によって印加される熱
エネルギーにより、インクに生ずる膜沸騰を利用して前
記吐出口からインクを吐出させる請求項6に記載のイン
クジェット記録ヘッド。
7. The ink jet recording head according to claim 6, wherein the ink is ejected from the ejection port using film boiling generated in the ink by the thermal energy applied by the electrothermal transducer.
【請求項8】 吐出口から記録用インクを吐出して記録
を行うインクジェット記録ヘッドであって、(A)少な
くとも、インクを吐出するためのエネルギーを発生する
複数のエネルギー素子、及び前記各エネルギー素子と外
部の配線と電気的に接続するための複数の電極パッドが
設けられた素子基板(B)一端部に前記素子基板と電気
的に接続するための複数のリード電極、これと反対の端
部に記録装置と電気的に接続するための複数のコンタク
トパッド部、および前記リード電極部と前記コンタクト
パッド部を電気的に結び前記記録装置からの記録信号を
伝送するための複数の配線とが設けられたフレキシブル
基板とを有し、(C)前記(A)の電極パッドと、前記
(B)のリード電極とを電気的に接続し、(D)前記素
子基板と、前記吐出口にインクを供給するためのインク
流路および共通液室を備えた天板とを接合することによ
り形成され、かつ(E)前記フレキシブル基板が、前記
リード電極部およびコンタクトパッド部をのぞく任意の
部位で任意の角度に折り曲げて記録装置に装着されるイ
ンクジェット記録ヘッドにおいて、前記素子基板が方形
であって、前記エネルギー素子が電気熱変換体であり、
かつ、素子基板の一辺の縁部に沿って電気熱変換体が配
列され、他の三辺は前記フレキシブル基板にとり囲まれ
て形成されるインクジェット記録ヘッド。
8. An ink jet recording head for performing recording by discharging recording ink from a discharge port, wherein (A) at least a plurality of energy elements for generating energy for discharging ink, and each of the energy elements An element substrate provided with a plurality of electrode pads for electrically connecting to an external wiring, and a plurality of lead electrodes for electrically connecting to the element substrate at one end of the element substrate (B), and an end opposite thereto A plurality of contact pads for electrically connecting to the recording device, and a plurality of wirings for electrically connecting the lead electrode portion and the contact pad portion and transmitting a recording signal from the recording device. (C) electrically connecting the electrode pad of (A) with the lead electrode of (B); and (D) electrically connecting the element substrate and the discharge (E) The flexible substrate is formed by joining an ink flow path for supplying ink to a mouth and a top plate having a common liquid chamber, and the flexible substrate is any part except the lead electrode part and the contact pad part. In an ink jet recording head that is bent at an arbitrary angle at a site and attached to a recording device, the element substrate is rectangular, and the energy element is an electrothermal transducer,
In addition, an ink jet recording head is formed in which electrothermal transducers are arranged along the edge of one side of the element substrate, and the other three sides are surrounded by the flexible substrate.
【請求項9】 前記フレキシブル基板の一辺が、前記素
子基板の電気熱変換体が配列されている側の辺と反対の
辺に対向し、その対向しているフレキシブル基板の辺の
両端部が細長く突出して前記素子基板の二辺にそれぞれ
対向し、かつ、その突出した両端部上に上記電気熱変換
体の電源配線を配してなる請求項8に記載のインクジェ
ット記録ヘッド。
9. One side of the flexible substrate is opposed to a side of the element substrate opposite to the side on which the electrothermal transducers are arranged, and both ends of the opposed side of the flexible substrate are elongated. 9. The ink jet recording head according to claim 8, wherein a power supply wiring of the electrothermal transducer is arranged so as to protrude and oppose two sides of the element substrate, respectively, and to protrude both ends thereof.
【請求項10】 前記素子基板の電気熱変換体を配した
面に対し、記録装置との電気的接合をとるフレキシブル
基板の面が反対側になることを特徴とする請求項8また
は9に記載のインクジェット記録ヘッド。
10. The element substrate according to claim 8, wherein the surface of the element substrate on which the electrothermal transducer is disposed is opposite to the surface of the flexible substrate which electrically connects with the recording device. Inkjet recording head.
【請求項11】 前記フレキシブル基板が、あらかじめ
曲げをつけられてから前記天板と接合されてなる請求項
8ないし10のいずれか一つに記載のインクジェット記
録ヘッド。
11. The ink jet recording head according to claim 8, wherein the flexible substrate is bent in advance and then joined to the top plate.
【請求項12】 前記フレキシブル基板が可撓性ポリイ
ミドフィルムであり、シート状のポリイミドフィルム上
に順次切断可能な配線基板形状を画き、素子基板を配し
て電気的接合をした後該シートから切り出してなる請求
項11に記載のインクジェット記録ヘッド。
12. The flexible substrate is a flexible polyimide film, a wiring substrate shape that can be sequentially cut on a sheet-like polyimide film is formed, an element substrate is arranged, and after electrical connection, cut out from the sheet. The inkjet recording head according to claim 11, wherein:
【請求項13】 前記天板が、2個の前記素子基板と対
称に接合して異種のインクを同方向に吐出する2個の吐
出口を形成しうる形状である請求項1ないし12のいず
れか一つに記載のインクジェット記録ヘッド。
13. The top plate according to claim 1, wherein said top plate has a shape capable of forming two discharge ports for discharging different kinds of ink in the same direction by being symmetrically joined to said two element substrates. The inkjet recording head according to any one of the above.
【請求項14】 請求項1ないし13のいずれか1項に
記載のインクジェット記録ヘッドと、該記録ヘッドに着
脱可能なインクタンクとを有することを特徴とするイン
クジェット記録ヘッドカートリッジ。
14. An ink jet recording head cartridge comprising: the ink jet recording head according to claim 1; and an ink tank detachable from the recording head.
【請求項15】 請求項14に記載のインクジェット記
録ヘッドカートリッジと、該インクジェット記録ヘッド
カートリッジを載置する部材とを備え、前記コンタクト
パッドを介して送られる記録信号に応じて前記インクジ
ェット記録ヘッドからインクを吐出させて記録を行なう
インクジェット記録装置。
15. An ink jet recording head cartridge according to claim 14, and a member for mounting said ink jet recording head cartridge, wherein said ink is supplied from said ink jet recording head in response to a recording signal sent through said contact pad. An inkjet recording apparatus that performs recording by discharging ink.
JP23209896A 1996-09-02 1996-09-02 Ink jet recording head Pending JPH1076647A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1188567A2 (en) * 2000-09-06 2002-03-20 Canon Kabushiki Kaisha Electric contacts on ink jet recording head
US7784908B2 (en) 2004-10-13 2010-08-31 Canon Kabushiki Kaisha Flexible film wiring board and liquid discharge head

Cited By (3)

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EP1188567A2 (en) * 2000-09-06 2002-03-20 Canon Kabushiki Kaisha Electric contacts on ink jet recording head
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Effective date: 20040512