JP5009093B2 - Piezoelectric actuator, liquid discharge head, liquid discharge apparatus, and image forming apparatus - Google Patents

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Description

本発明は圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び画像形成装置に関し、詳細にはFPC這いまわしによる作業効率向上と圧電素子とFPC接続の剥がれに対する歩留まり向上の技術に関する。   The present invention relates to a piezoelectric actuator, a liquid ejection head, a liquid ejection apparatus, and an image forming apparatus, and more particularly to a technique for improving work efficiency by FPC turning and improving yield against peeling of a piezoelectric element and FPC connection.
一般に、プリンタ、ファクシミリ、コピア或いはこれらの機能を複合した画像形成装置としては、例えば記録液などの液滴を吐出する吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを含む液体吐出装置を用いて、記録媒体を搬送しながら液体としての記録液を記録媒体に付着させて画像形成を行うものがある。ここで、画像形成とは、用紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の記録媒体に液体を吐出して、文字や図形等の画像を記録媒体に対して付与するだけでなく、パターン等の画像を記録媒体に付与することも含まれる。液体吐出ヘッドとしては、液室内の液体を加圧する圧力を発生するための圧力発生手段(アクチュエータ手段)として圧電素子、特に圧電層と内部電極を交互に積層した積層型圧電素子を用いて、積層型圧電素子のd33又はd31方向の変位で液室の壁面を形成する弾性変形可能な振動板を変形させ、液室内容積又は圧力を変化させて液滴を吐出させるいわゆる圧電アクチュエータを用いた圧電素子が知られている。   In general, as a printer, a facsimile machine, a copier, or an image forming apparatus combining these functions, for example, a recording medium is transported using a liquid ejection apparatus including a recording head composed of ejection heads that eject liquid droplets such as recording liquid. However, there are some which perform image formation by attaching a recording liquid as a liquid to a recording medium. Here, image formation means that liquid is ejected onto a recording medium such as paper, thread, fiber, cloth, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics, etc., and images such as characters and figures are recorded on the recording medium. It includes not only providing but also providing an image such as a pattern on a recording medium. As a liquid discharge head, a piezoelectric element is used as a pressure generating means (actuator means) for generating a pressure to pressurize a liquid in a liquid chamber, and in particular, a laminated piezoelectric element in which piezoelectric layers and internal electrodes are alternately laminated is used. Piezoelectric element using a so-called piezoelectric actuator that deforms an elastically deformable diaphragm that forms the wall surface of a liquid chamber by displacement in the d33 or d31 direction of the piezoelectric element, and changes the volume or pressure of the liquid chamber to discharge droplets It has been known.
具体的な積層型圧電素子を用いた液体ヘッドとしては、例えば特許文献1に記載されているように、圧電層と内部電極とを交互に積層し、両端面に個別側外部電極及び共通側外部電極を形成した積層型圧電素子に、一部を残して溝加工を施すことによって複数の駆動部とその両端に非駆動部とを形成し、積層型圧電素子のd31方向の変位を用いて液室内液体を加圧するとともに、この積層型圧電素子の共通電極を駆動部の並び方向両端の非駆動部から取り出すようにしたものがある。   As a liquid head using a specific multilayer piezoelectric element, for example, as described in Patent Document 1, piezoelectric layers and internal electrodes are alternately stacked, and individual side external electrodes and common side external electrodes are formed on both end faces. A plurality of driving portions and non-driving portions are formed at both ends of the laminated piezoelectric element on which the electrode is formed by performing groove processing while leaving a part of the laminated piezoelectric element, and liquid is obtained using the displacement in the d31 direction of the laminated piezoelectric element. There is one in which the indoor liquid is pressurized and the common electrode of the stacked piezoelectric element is taken out from the non-driving portions at both ends in the arrangement direction of the driving portions.
また、積層型圧電素子のd33方向の変位を用いるものとしては、特許文献2に記載されているように、ベース上に接合した圧電素子に溝加工することによってノズルが連通する各液室に対応する圧電素子を形成したものがある。   In addition, as described in Patent Document 2, the displacement of the laminated piezoelectric element in the d33 direction corresponds to each liquid chamber in which the nozzle communicates by forming a groove in the piezoelectric element bonded on the base. There is one in which a piezoelectric element is formed.
更に、液滴を吐出する方法として、圧電素子を用いて弾性変形可能な振動板を変形させ、液室内容積/圧力を変化させて液滴を吐出させる方法とは別に、ノズル近傍の流路又は液室に熱変換素子を設けて、急激に液体を加熱して泡を発生させて液体を吐出させるいわゆるサーマルアクチュエータもある。   Further, as a method for ejecting droplets, apart from a method for ejecting droplets by changing a volume / pressure in a liquid chamber by deforming an elastically deformable diaphragm using a piezoelectric element, There is also a so-called thermal actuator in which a heat conversion element is provided in the liquid chamber, and the liquid is rapidly heated to generate bubbles to discharge the liquid.
また、例えば特許文献3は一列配置の圧電アクチュエータの配列の例であり、圧電素子のGND(共通電極)をベースからとる方法も記載されている。
特開平8−142325号公報 特開2003−250281号公報 特開2006−175845号公報
Further, for example, Patent Document 3 is an example of an array of piezoelectric actuators arranged in a row, and a method of taking a GND (common electrode) of a piezoelectric element from a base is also described.
JP-A-8-142325 JP 2003-250281 A JP 2006-175845 A
しかしながら、従来より、圧電アクチュエータ又はサーマルアクチュエータを液体吐出ヘッドの筐体(以下、フレーム部材と言う)内に収める工程で、アクチュエータに接続されたFPC(フレキシブルプリント基板)がフレーム部材に引っかかってしまい、FPCがベースから剥離してしまうという課題があった。そこで、剥離防止のために、圧電素子が固定されたベースにFPCを接着する等の方法も取られている。この場合、接着等の工程追加による工数増など課題の他に、強固な固定の場合、FPCが斜めに固定された場合には、圧電素子との接合端子部に余分な力が働き、圧電素子自体の変位の阻止や半田亀裂の障害も発生する。   However, conventionally, in the process of housing the piezoelectric actuator or the thermal actuator in the casing (hereinafter referred to as a frame member) of the liquid ejection head, the FPC (flexible printed circuit board) connected to the actuator is caught by the frame member, There existed a subject that FPC will peel from a base. Therefore, in order to prevent peeling, a method such as bonding an FPC to a base to which a piezoelectric element is fixed has been taken. In this case, in addition to the problems such as an increase in the man-hours due to the addition of processes such as bonding, in the case of firm fixation, when the FPC is obliquely fixed, an extra force acts on the junction terminal portion with the piezoelectric element, and the piezoelectric element It also prevents the displacement of itself and obstructs solder cracks.
ところで、近年では長尺配置による高速化の液体吐出ヘッドが提案されており、液体吐出ヘッド内にアクチュエータを複数配置するようになった。1つのアクチュエータのFPC剥離があると液体吐出ヘッド自体の欠陥となり、大きな失損となる。   By the way, in recent years, a high-speed liquid discharge head with a long arrangement has been proposed, and a plurality of actuators have been arranged in the liquid discharge head. If there is FPC peeling of one actuator, the liquid discharge head itself becomes defective, resulting in a large loss.
また、複数配置の場合、近傍に他のアクチュエータが存在するため、圧電素子とFPC接続の剥離を防ぎながらの作業には多大な注意が必要とする課題があった。   Further, in the case of a plurality of arrangements, there is another actuator in the vicinity, and thus there is a problem that requires great care in the work while preventing the separation of the piezoelectric element and the FPC connection.
更に、上記特許文献3のように一列圧電アクチュエータ一列配列の場合にはGND(共通電極)の接続も課題の一つとなる。   Furthermore, in the case of a single-row piezoelectric actuator array as in Patent Document 3, connection of GND (common electrode) is also an issue.
本発明はこれらの問題点を解決するためのものであり、液体吐出ヘッドのフレーム部材に圧電アクチェータを挿入配置する工程でのFPC這いまわしによる作業効率を向上でき、かつ圧電素子とFPC接続の剥がれに対する歩留まりを向上できる、圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び画像形成装置を提供することを目的とする。   The present invention is intended to solve these problems, and can improve the work efficiency of the FPC rotation in the process of inserting and arranging the piezoelectric actuator in the frame member of the liquid discharge head, and the piezoelectric element and the FPC are separated from each other. An object of the present invention is to provide a piezoelectric actuator, a liquid discharge head, a liquid discharge apparatus, and an image forming apparatus that can improve the yield with respect to the above.
前記問題点を解決するために、本発明の圧電アクチュエータはベース部材に固定された圧電素子にフレキシブルプリント基板を直接接続し、ベース部材の側面に、フレキシブルプリント基板と圧電素子との接着方向にフレキシブルプリント基板を加圧する押さえ部材を有する。そして、ベース部材及び押さえ部材が導電体であり、押さえ部材の加圧部でフレキシブルプリント基板に貫通穴又は切欠きを設け、該貫通穴又は切欠きを介してベース部材と押さえ部材が電気的に導通接続することに特徴がある。よって、フレキシブルプリント基板のゆがみなしに押さえ部材の正確な位置決めができ、圧電素子とフレキシブルプリント基板の接合部の剥離を防止できる。 In order to solve the above-mentioned problems, the piezoelectric actuator of the present invention has a flexible printed circuit board directly connected to a piezoelectric element fixed to the base member, and is flexible on the side surface of the base member in the bonding direction of the flexible printed circuit board and the piezoelectric element. A pressing member for pressing the printed circuit board is included . The base member and the pressing member are conductors, and a through hole or a notch is provided in the flexible printed circuit board at the pressurizing portion of the pressing member, and the base member and the pressing member are electrically connected through the through hole or the notch. It is characterized by conducting connection . Therefore, it is possible to accurately position the pressing member without distortion of the flexible printed circuit board, and it is possible to prevent peeling of the joint portion between the piezoelectric element and the flexible printed circuit board.
更に、押さえ部材がフレキシブルプリント基板の圧電素子との接続端子と逆側の端が接続する基板と固定されることにより、押さえ部材が基板のブラケットも兼ねることができる。   Furthermore, since the pressing member is fixed to the substrate to which the end opposite to the connection terminal with the piezoelectric element of the flexible printed circuit board is connected, the pressing member can also serve as the bracket of the substrate.
また、押さえ部材がフレキシブルプリント基板の圧電素子との接続端子と逆側の端が接続する基板の共通電極ラインと電気的に導通接続することにより、圧電素子とフレキシブルプリント基板の接合部の剥離を防止できると共に、共通電極との接続が可能となる。更に、フレキシブルプリント基板に貫通穴又は切欠きを介してベース部材と押さえ部材が電気的に導通接続する押さえ部材部分は、フレキシブルプリント基板を押さえる部分とは独立したアーム形状になっている。 In addition, the pressing member is electrically connected to the common electrode line of the substrate to which the end opposite to the connection terminal with the piezoelectric element of the flexible printed circuit board is connected, so that the bonding portion between the piezoelectric element and the flexible printed circuit board is peeled off. This can be prevented and can be connected to a common electrode. Further, the pressing member portion where the base member and the pressing member are electrically connected to the flexible printed circuit board through the through hole or notch has an arm shape independent of the portion pressing the flexible printed circuit board.
更に、ベース部材に、押さえ部材と嵌合して位置決めを行う例えば溝や穴などの位置決め部を設けたことにより、押さえ部材の正確な位置決めができて圧電素子とフレキシブルプリント基板の接合部の剥離を防止できる。また、フレキシブルプリント基板に貫通穴又は切欠きを介してベース部材と押さえ部材が電気的に導通接続する押さえ部材部分は、フレキシブルプリント基板を押さえる部分とは独立したアーム形状部分は、押さえ部材と嵌合して位置決めを行う位置決め部を兼ねているFurthermore, the base member is provided with a positioning portion such as a groove or a hole that is positioned by fitting with the pressing member, so that the pressing member can be accurately positioned and the piezoelectric element and the flexible printed circuit board are separated from each other. Can be prevented. In addition, the holding member portion where the base member and the holding member are electrically connected to the flexible printed circuit board through the through hole or notch is the arm-shaped portion that is independent from the portion that holds the flexible printed circuit board. It also serves as a positioning unit for positioning .
更に、別の発明としての液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルと、該ノズルが連通する液室と、該液室の少なくとも1つの壁面を形成する振動板と、該振動板を変形させるための、上記の圧電アクチュエータとを有することに特徴がある。よって、圧電素子とフレキシブルプリント基板の接合部の剥離を防止できる液体吐出ヘッドを提供できる。   Furthermore, a liquid discharge head as another invention includes a nozzle that discharges liquid, a liquid chamber that communicates with the nozzle, a vibration plate that forms at least one wall surface of the liquid chamber, and a shape that deforms the vibration plate. The above-mentioned piezoelectric actuator is characterized. Therefore, it is possible to provide a liquid discharge head that can prevent peeling of the joint between the piezoelectric element and the flexible printed board.
また、別の発明としての液体吐出装置は、上記の液体吐出ヘッドを有することに特徴がある。よって、圧電素子とフレキシブルプリント基板の接合部の剥離を防止できる液体吐出装置を提供できる。   Another aspect of the invention is a liquid ejection apparatus having the above-described liquid ejection head. Therefore, it is possible to provide a liquid ejection device that can prevent peeling of the joint between the piezoelectric element and the flexible printed board.
更に、別の発明としての画像形成装置は、上記の液体吐出ヘッドから液滴を吐出させて画像を形成することに特徴がある。よって、圧電素子とフレキシブルプリント基板の接合部の剥離を防止できる画像形成装置を提供できる。   Furthermore, an image forming apparatus as another invention is characterized in that an image is formed by discharging droplets from the liquid discharge head. Therefore, it is possible to provide an image forming apparatus that can prevent peeling of the joint between the piezoelectric element and the flexible printed board.
本発明の圧電アクチュエータは、ベース部材及び押さえ部材が導電体であり、押さえ部材の加圧部でフレキシブルプリント基板に貫通穴又は切欠きを設け、該貫通穴又は切欠きを介してベース部材と押さえ部材が電気的に導通接続する。よって、フレキシブルプリント基板のゆがみなしに押さえ部材の正確な位置決めができ、圧電素子とフレキシブルプリント基板の接合部の剥離を防止できる。
In the piezoelectric actuator of the present invention, the base member and the pressing member are conductors, and a through hole or a notch is provided in the flexible printed circuit board at the pressurizing portion of the pressing member, and the base member and the pressing member are pressed through the through hole or the notch. The member is electrically connected. Therefore, it is possible to accurately position the pressing member without distortion of the flexible printed circuit board, and it is possible to prevent peeling of the joint portion between the piezoelectric element and the flexible printed circuit board.
図1は本発明の一実施の形態に係る圧電アクチェータを備えた液体吐出ヘッドの構成を示す図である。図2は図1の(b)のA−A’線に沿うヘッド短手方向の断面図、図3は図1の(b)のA−A’線に沿うヘッド長手方向の断面図である。図示した液体吐出ヘッドは、1.27インチ幅での画像形成が可能なヘッドである。   FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a liquid discharge head including a piezoelectric actuator according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view in the short direction of the head along the line AA ′ in FIG. 1B, and FIG. 3 is a cross-sectional view in the longitudinal direction of the head along the line AA ′ in FIG. . The illustrated liquid discharge head is a head capable of forming an image with a width of 1.27 inches.
本実施の形態に係る圧電アクチェータを備えた液体吐出ヘッド10は、SUS基板で形成した流路基板(液室基板)11と、この流路基板11の下面に接合した振動板12と、流路基板11の上面に接合したノズル板13とを有している。更に、これらによってインク滴を吐出するノズル14が連通する圧力室、加圧室などの加圧液室15と、加圧液室15に液体であるインク(記録液)を供給し、供給路を兼ねた流体抵抗部16と、後述する共通液室の圧力変動を抑制するためのバッファ室17とが形成されている。   A liquid discharge head 10 including a piezoelectric actuator according to the present embodiment includes a flow path substrate (liquid chamber substrate) 11 formed of a SUS substrate, a vibration plate 12 bonded to the lower surface of the flow path substrate 11, and a flow path. And a nozzle plate 13 bonded to the upper surface of the substrate 11. In addition, a pressure chamber 15 such as a pressure chamber, a pressurizing chamber, or the like that communicates with a nozzle 14 that discharges ink droplets, and a liquid ink (recording liquid) is supplied to the pressurizing fluid chamber 15. A fluid resistance portion 16 that also serves as a buffer chamber 17 for suppressing pressure fluctuations in a common liquid chamber, which will be described later, is formed.
ここで、流路基板11は、リストリクタプレート11aとチャンバーブレート11bとを接着して構成している。この流路基板11は、SUS基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜きなどの機械加工することで、加圧液室15、流体抵抗部16、バッファ室17などの開口をそれぞれ形成している。なお、流体抵抗部16は、リストリクタプレート11aの部分を開口し、チャンバーブレート11bの部分を開口しないことで形成されている。   Here, the flow path substrate 11 is configured by bonding a restrictor plate 11a and a chamber plate 11b. In the flow path substrate 11, openings such as the pressurized liquid chamber 15, the fluid resistance portion 16, and the buffer chamber 17 are formed by etching or punching the SUS substrate using an acidic etching solution. ing. The fluid resistance portion 16 is formed by opening a portion of the restrictor plate 11a and not opening a portion of the chamber plate 11b.
また、振動板12は、流路基板11を構成するチャンバーブレート11bに接着接合されている。この振動板12は、例えばポリイミドなどの樹脂部材12aにSUS基板から形成した凸部12bを接合して形成されている。この他、例えば、ニッケルの金属プレートから形成したものなどを用いることもできる。   The diaphragm 12 is bonded and bonded to a chamber plate 11 b that constitutes the flow path substrate 11. The diaphragm 12 is formed by bonding a convex portion 12b formed from a SUS substrate to a resin member 12a such as polyimide. In addition, for example, one formed from a nickel metal plate can be used.
更に、ノズル板13は、加圧液室15に対応して直径10〜30μmのノズル14を形成し、流路基板11のリストリクタプレート11Aに接着剤接合されている。このノズル板13としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面(吐出方向の表面:吐出面)には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。   Further, the nozzle plate 13 forms a nozzle 14 having a diameter of 10 to 30 μm corresponding to the pressurized liquid chamber 15, and is bonded to the restrictor plate 11 </ b> A of the flow path substrate 11 with an adhesive. As this nozzle plate 13, what consists of metals, such as stainless steel and nickel, resin, such as a polyimide resin film, silicon | silicone, and those combinations can be used. Further, a water repellent film is formed on the nozzle surface (surface in the ejection direction: ejection surface) by a known method such as a plating film or a water repellent coating in order to ensure water repellency with ink.
そして、振動板12の面外側(加圧液室15と反対面側)に加圧液室15に対応して圧力発生手段を構成する積層型圧電素子をそれぞれ接合し、これらの積層型圧電素子を形成する圧電素子部材18をベース部材19に接合している。これらの圧電素子部材18とベース部材19とによって可動部分である振動板12を変形させる本発明に係る圧電アクチュエータ10を構成している。   Then, the laminated piezoelectric elements constituting the pressure generating means corresponding to the pressurized liquid chamber 15 are joined to the outer side of the diaphragm 12 (on the side opposite to the pressurized liquid chamber 15), respectively. The piezoelectric element member 18 that forms the structure is joined to the base member 19. These piezoelectric element member 18 and base member 19 constitute a piezoelectric actuator 10 according to the present invention that deforms the diaphragm 12 which is a movable part.
この圧電アクチェータを備えた液体吐出ヘッドでは、これら複数の圧電素子部材18(1つを個別圧電素子18aともいう。)を溝加工(スリット加工)によって分断することなく形成している。   In the liquid discharge head provided with this piezoelectric actuator, the plurality of piezoelectric element members 18 (one is also referred to as individual piezoelectric element 18a) are formed without being divided by groove processing (slit processing).
この場合、圧電素子部材18を振動板12との接合面との反対側の面をベース部材(基台)19上に接着剤で接合して固定した後、図3に示すように、溝加工によって溝20を形成することで個別圧電素子18aを形成する。また、圧電素子部材18の一端面には各個別圧電素子18aに駆動波形を与えるためのFPCケーブル21が接続されている。   In this case, after the piezoelectric element member 18 is fixed on the base member (base) 19 by bonding the surface opposite to the bonding surface with the vibration plate 12 with an adhesive, as shown in FIG. Thus, the individual piezoelectric elements 18a are formed by forming the grooves 20. Further, an FPC cable 21 for applying a driving waveform to each individual piezoelectric element 18a is connected to one end face of the piezoelectric element member 18.
なお、個別圧電素子18aの圧電方向としてd33方向の変位を用いて加圧液室15内インクを加圧する構成とすることも、個別圧電素子18aの圧電方向としてd31方向の変位を用いて加圧液室15内のインクを加圧する構成とすることもできる。本実施の形態ではd33方向の変位を用いた構成をとっている。   It should be noted that the ink in the pressurized liquid chamber 15 may be pressurized using the displacement in the d33 direction as the piezoelectric direction of the individual piezoelectric element 18a, or may be pressurized using the displacement in the d31 direction as the piezoelectric direction of the individual piezoelectric element 18a. A configuration may be adopted in which the ink in the liquid chamber 15 is pressurized. In this embodiment, a configuration using displacement in the d33 direction is adopted.
ベース部材19は金属又はセラミックス材料で形成することが好ましい。ベース部材19の材質(材料)が金属、セラミックスであれば、個別圧電素子18a(圧電素子部材18)の自己発熱による蓄熱を防止することができる。圧電素子部材18とベース部材19は接着剤により接着接合しているが、チャンネル数が増えると、個別圧電素子18aの自己発熱により100℃近くまで温度が上昇し、接合強度が著しく低下することになる。また、自己発熱によりヘッド内部の温度上昇が発生し、インク温度が上昇するが、インクの温度が上昇すると、インク粘度が低下し、噴射特性に大きな影響を与える。従って、ベース部材19を金属材料で形成して個別圧電素子18aの自己発熱による蓄熱を防止することで、これらの接合強度の低下、インク粘度の低下による噴射特性の劣化を防止することができる。   The base member 19 is preferably formed of a metal or a ceramic material. If the material (material) of the base member 19 is a metal or ceramic, heat storage due to self-heating of the individual piezoelectric element 18a (piezoelectric element member 18) can be prevented. The piezoelectric element member 18 and the base member 19 are bonded and bonded with an adhesive. However, when the number of channels increases, the temperature rises to near 100 ° C. due to self-heating of the individual piezoelectric elements 18a, and the bonding strength decreases significantly. Become. Further, due to self-heating, the temperature inside the head increases, and the ink temperature rises. However, when the ink temperature rises, the ink viscosity decreases, and the ejection characteristics are greatly affected. Therefore, by forming the base member 19 with a metal material and preventing heat storage due to self-heating of the individual piezoelectric elements 18a, it is possible to prevent the deterioration of the jetting characteristics due to the decrease in the bonding strength and the decrease in the ink viscosity.
更に、ベース部材19の線膨張係数が大きいと、高温又は低温でベース部材19と圧電素子部材18の接合界面で接着剤の剥離が発生することがある。すなわち、従前は圧電素子の全長が長くなかったため、環境変動による温度差で圧電素子部材18とベース部材19が剥離するという問題はほとんどなかったが、300dpiで約400ノズル程度を有する全体で30〜40mm以上の長さの圧電素子を用いることでこの問題が顕在化するようになった。   Further, when the linear expansion coefficient of the base member 19 is large, the adhesive may be peeled off at the bonding interface between the base member 19 and the piezoelectric element member 18 at a high temperature or a low temperature. In other words, since the total length of the piezoelectric element was not long, there was almost no problem that the piezoelectric element member 18 and the base member 19 were separated due to a temperature difference due to environmental fluctuations, but the total of about 30 nozzles having about 400 nozzles at 300 dpi. This problem has become apparent by using a piezoelectric element having a length of 40 mm or more.
従って、ベース部材19の材料としては線膨張係数が10E−6/℃以下の材質を用いることが好ましく、この線膨張係数の範囲にすることにより、環境変動による温度差で、圧電素子部材18との接合界面が剥離することを防止できる。特に、圧電素子部材18に接着接合される部品の線膨張係数を全て10E−6/℃以下にすると、接合界面の剥離に対し、非常に効果的であることが確認された。   Accordingly, it is preferable to use a material having a linear expansion coefficient of 10E-6 / ° C. or less as the material of the base member 19. By setting the linear expansion coefficient within the range of the piezoelectric element member 18 and the temperature difference due to environmental fluctuations. Can be prevented from peeling off. In particular, it has been confirmed that if all the linear expansion coefficients of the parts bonded and bonded to the piezoelectric element member 18 are 10E-6 / ° C. or less, it is very effective against peeling of the bonding interface.
また、FPCケーブル21には各チャンネル(各加圧液室15に対応する)を駆動する駆動波形(電気信号)を印加するためドライバIC22を複数搭載している。このように、FPCケーブル21に複数のドライバIC22を搭載することにより、各ドライバIC毎に電気信号を設定することができ、個別圧電素子18aの各駆動チャンネルの変位特性のばらつきを容易に補正することができるようになる。   In addition, a plurality of driver ICs 22 are mounted on the FPC cable 21 in order to apply drive waveforms (electric signals) for driving each channel (corresponding to each pressurized liquid chamber 15). As described above, by mounting a plurality of driver ICs 22 on the FPC cable 21, it is possible to set an electrical signal for each driver IC, and easily correct variations in displacement characteristics of each drive channel of the individual piezoelectric element 18a. Will be able to.
更に、振動板12の周囲にはフレーム部材23を接着剤で接合している。そして、このフレーム部材23には、ドライバIC22と少なくともベース部材19を挟んで反対側に配置されるように、加圧液室15に外部からインクを供給するための共通液室24を形成している。この共通液室24は、振動板12の貫通穴25を介して流体抵抗部16及び加圧液室15に連通している。   Further, a frame member 23 is joined around the diaphragm 12 with an adhesive. The frame member 23 is provided with a common liquid chamber 24 for supplying ink from the outside to the pressurized liquid chamber 15 so as to be disposed on the opposite side of the driver IC 22 and at least the base member 19. Yes. The common liquid chamber 24 communicates with the fluid resistance portion 16 and the pressurized liquid chamber 15 through the through hole 25 of the diaphragm 12.
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、個別圧電素子18aに対して選択的に20〜50Vの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された個別圧電素子18aが積層方向に伸びて振動板12をノズル14方向に変形させ、加圧液室15の容積/体積変化によって加圧液室15内の記録液が加圧され、ノズル14から液滴が吐出(噴射)される。   In the liquid discharge head configured as described above, by selectively applying a drive pulse voltage of 20 to 50 V to the individual piezoelectric element 18a, the individual piezoelectric element 18a to which the pulse voltage is applied extends in the stacking direction. The diaphragm 12 is deformed in the direction of the nozzle 14, the recording liquid in the pressurizing liquid chamber 15 is pressurized by the volume / volume change of the pressurizing liquid chamber 15, and droplets are ejected (jetted) from the nozzle 14.
そして、液滴の吐出に伴って加圧液室15内の液圧力が低下し、このときの液体の流れの慣性によって加圧液室15内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、個別圧電素子18aへの電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板12が元の位置に戻って加圧液室15が元の形状になるため、更に負圧が発生する。このとき、共通液室24、流体抵抗部(インク供給路)16を経て加圧液室15内にインクが充填される。そこで、ノズル14のインクメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の滴吐出のために個別圧電素子18aにパルス電圧を印加し、液滴を吐出させる。   As the liquid droplets are ejected, the liquid pressure in the pressurized liquid chamber 15 decreases, and a slight negative pressure is generated in the pressurized liquid chamber 15 due to the inertia of the liquid flow at this time. Under this state, when the voltage application to the individual piezoelectric element 18a is turned off, the diaphragm 12 returns to the original position and the pressurized liquid chamber 15 becomes the original shape. appear. At this time, the pressurized liquid chamber 15 is filled with ink through the common liquid chamber 24 and the fluid resistance portion (ink supply path) 16. Therefore, after the vibration of the ink meniscus surface of the nozzle 14 is attenuated and stabilized, a pulse voltage is applied to the individual piezoelectric element 18a for the next droplet discharge to discharge the droplet.
なお、ここでは、押し打ちで液滴を吐出させる方式で説明しているが、圧電素子に中間電位を印加した状態から電位を立ち下げた後電位を中間電位に立ち上げる方式の引き打ち、あるいは圧電素子に中間電位を印加した状態から電位を立ち下げた後電位を中間電位よりも高い電位まで立ち上げる方式の引き−押し打ちで、液滴を吐出させる方式とすることもでき、これらは駆動波形によって設定することができる。   Here, the method of ejecting droplets by pushing is described, but the method of raising the potential to the intermediate potential after lowering the potential from the state where the intermediate potential is applied to the piezoelectric element, or It is also possible to discharge droplets by pulling-pushing a method in which the potential is lowered from a state where an intermediate potential is applied to the piezoelectric element and then the potential is raised to a potential higher than the intermediate potential. Can be set by the waveform.
それぞれの部品の接合順序として、以下の2つの接合順序がある。先ず、第1の接合順序は、圧電アクチェータ20の挿入口の開いたフレーム部材23に振動板12と流路基板(液室基板)11及びノズル板13を接合した後に、圧電アクチェータ10をフレーム部材23に挿入し振動板12と位置合わせを行い、圧電アクチェータ10と振動板12を接着する順序である。また、第2の接合順序は、圧電アクチェータ10を振動板12に位置合わせを行って、圧電アクチェータ10と振動板12を接着後、圧電アクチェータ10の挿入口の開いたフレーム部材23をベース部材19側から挿入して、振動板12と流路基板(液室基板)11及びノズル板13をフレーム部材23に接合する順序がある。   There are the following two joining orders as the joining order of each component. First, in the first joining sequence, the diaphragm 12, the flow path substrate (liquid chamber substrate) 11 and the nozzle plate 13 are joined to the frame member 23 having the insertion opening of the piezoelectric actuator 20, and then the piezoelectric actuator 10 is attached to the frame member. In this order, the piezoelectric actuator 10 and the diaphragm 12 are bonded together. In the second joining sequence, the piezoelectric actuator 10 is aligned with the diaphragm 12, the piezoelectric actuator 10 and the diaphragm 12 are bonded, and then the frame member 23 with the insertion opening of the piezoelectric actuator 10 is opened as the base member 19. There is an order in which the diaphragm 12, the flow path substrate (liquid chamber substrate) 11 and the nozzle plate 13 are joined to the frame member 23 by inserting from the side.
上記第1の接合順序の場合には、ベース部材19の両側にFPCケーブル21が配置されているため、圧電アクチェータ10を保持する時にFPCケーブル21を広げてしまう可能性がある。上記第2の順序の場合には、FPCケーブル21を先にフレーム部材23の挿入穴に挿入するため、その時にFPCケーブル21がフレーム部材23に引っかかると、FPCケーブル21が広がりやすくなる。
このように、圧電アクチェータ10はFPCケーブル21がベース部材19より長いことにより、FPCケーブル21が広がった時に圧電素子部材18とFPCケーブル21の接合部が剥離する可能性がある。
In the case of the first joining sequence, since the FPC cables 21 are arranged on both sides of the base member 19, there is a possibility that the FPC cables 21 are spread when the piezoelectric actuator 10 is held. In the case of the second order, since the FPC cable 21 is inserted into the insertion hole of the frame member 23 first, if the FPC cable 21 is caught by the frame member 23 at that time, the FPC cable 21 is likely to spread.
Thus, in the piezoelectric actuator 10, since the FPC cable 21 is longer than the base member 19, there is a possibility that the joint between the piezoelectric element member 18 and the FPC cable 21 is peeled when the FPC cable 21 spreads.
そこで、本発明では、図1及び図2に示すように、押さえ部材26がFPCケーブル21を挟んでベース部材19に押圧している。ここで、圧電素子部材18とFPCケーブル21の接合端部から上流部分で固定され、上記接合部の剥がれを防止するために有効である。   Therefore, in the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, the pressing member 26 presses against the base member 19 with the FPC cable 21 interposed therebetween. Here, the piezoelectric element member 18 and the FPC cable 21 are fixed at the upstream portion from the joint end portion, which is effective for preventing the joint portion from peeling off.
図4は本実施の形態に係る圧電アクチェータにおける押さえ部材を示す斜視図である。同図において、FPCケーブル21の圧電素子に電圧を供給する側のベース部材19は圧電素子接合側に対して狭い幅になっている。ベース部材19の一部に押さえ部材26と嵌合する形状を形成して位置決めされる。その部分のFPCケーブル21は穴ないし切欠き個所となり、FPCケーブル21が押さえ部材26に押圧されて変形することを防止している。   FIG. 4 is a perspective view showing a pressing member in the piezoelectric actuator according to the present embodiment. In the figure, the base member 19 on the side for supplying a voltage to the piezoelectric element of the FPC cable 21 is narrower than the piezoelectric element bonding side. The base member 19 is positioned by forming a shape that fits with the pressing member 26. The FPC cable 21 in that portion becomes a hole or a notch, and the FPC cable 21 is prevented from being deformed by being pressed by the pressing member 26.
また、ベース部材19と押さえ部材26と嵌合する形状例として、ベース部材19に凹部19a、19bを設け、押さえ部材26に凸部26aを設けることにより可能である。嵌合個所はベース部材19の端部付近の2箇所が望ましい。ベース部材19の凹部19aが丸穴、もう一箇所の凹部19bが長い穴、押さえ部材26の凸部26aはどちらも丸凸としている。圧電アクチェータ10の長手方向は凹部19aと凸部26aで位置決めされ、圧電アクチェータ10の短手方向は凹部19bと凸部26aで位置決めされる。凸部と凹部の嵌合が一番簡単かつ安価な方法であるが、他の方法でも嵌合形状になっていれば機能は満足される。実際の嵌合位置は、ベース部材19の長手方向側面とベースの端面もしくは全周で行える。押さえ部材26で、位置決め、押さえ部に関係ない個所は、箱形状の立ち面を切欠くことにより、FPCケーブル21の押さえ部材26の開口への挿入が簡単になることは言うまでもない。   Further, as an example of a shape fitting the base member 19 and the pressing member 26, it is possible to provide the base member 19 with concave portions 19a and 19b and provide the pressing member 26 with a convex portion 26a. Two fitting points are desirable near the end of the base member 19. The concave portion 19a of the base member 19 is a round hole, the other concave portion 19b is a long hole, and the convex portion 26a of the pressing member 26 is a round convex. The longitudinal direction of the piezoelectric actuator 10 is positioned by the concave portion 19a and the convex portion 26a, and the short side direction of the piezoelectric actuator 10 is positioned by the concave portion 19b and the convex portion 26a. The fitting of the convex portion and the concave portion is the simplest and cheapest method, but the function is satisfied if the fitting shape is obtained by other methods. The actual fitting position can be performed on the side surface in the longitudinal direction of the base member 19 and the end surface or the entire circumference of the base. It goes without saying that the portions of the pressing member 26 that are not related to positioning and the pressing portion are easily inserted into the opening of the pressing member 26 of the FPC cable 21 by notching the box-shaped standing surface.
なお、押さえ部材26は圧電素子部材18とFPCケーブル21の剥離のみを目的としており、圧電素子部材18への接続端子圧接合と違い、ベース部材19とFPCケーブル21の押圧のばらつきがある程度しても差し支えない。   The pressing member 26 is intended only for the separation of the piezoelectric element member 18 and the FPC cable 21. Unlike the connection terminal pressure bonding to the piezoelectric element member 18, there is some variation in pressing between the base member 19 and the FPC cable 21. There is no problem.
次に、本発明の圧電アクチェータを一列に配列したライン型の液体吐出ヘッドについて、図5〜図7を参照して説明する。なお、図5は液体吐出ヘッドの要部斜視図、図6は図5のB−B’線に沿う断面図、図7は図5のC−C’線に沿う断面図である。   Next, a line type liquid discharge head in which the piezoelectric actuators of the present invention are arranged in a line will be described with reference to FIGS. 5 is a perspective view of a main part of the liquid discharge head, FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line B-B ′ in FIG. 5, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line C-C ′ in FIG.
この圧電アクチェータを一列に配列したライン型の液体吐出ヘッド30は、複数の個別圧電素子18aを溝加工(スリット加工)によって分断することなく形成した複数の圧電素子部材18を、3個以上、個別圧電素子18aの並び方向(圧電素子部材18の長手方向)に沿ってベース部材19上に固定配置している。この第2の実施の形態は、第1の実施の形態と同じ構成の圧電アクチェータ30で積層型の圧電素子部材18を長手方向に6個2列配列し、長さが約330mmのヘッドとしている。ヘッドの長さを約330mmとすることで、A3サイズの用紙の短手方向幅をカバーすることができ、A3サイズの用紙に印字できるラインヘッドを得ることができる。   The line-type liquid discharge head 30 in which the piezoelectric actuators are arranged in a line individually includes three or more piezoelectric element members 18 formed by dividing the plurality of individual piezoelectric elements 18a by groove processing (slit processing). It is fixedly arranged on the base member 19 along the direction in which the piezoelectric elements 18a are arranged (longitudinal direction of the piezoelectric element member 18). In the second embodiment, the piezoelectric actuator 30 having the same configuration as that of the first embodiment has six stacked piezoelectric element members 18 arranged in two rows in the longitudinal direction to form a head having a length of about 330 mm. . By setting the length of the head to about 330 mm, it is possible to cover the width in the short direction of A3 size paper, and to obtain a line head capable of printing on A3 size paper.
この場合、複数の圧電素子部材18を振動板12との接合面との反対側の面をベース部材(基台)19上に接着剤で接合して固定した後、溝加工によって溝を形成することで複数の個別圧電素子18aを形成する。また、圧電素子部材18の一端面には各個別圧電素子18aに駆動波形を与えるための複数のFPCケーブル21が接続されている。但し、長手方向に2個の積層型の圧電素子部材18を並べた場合には、共通電極は積層型の圧電素子部材の長手方向の外側端から取ることができるが、本実施の形態のように長手方向に3個以上の積層型圧の電素子部材18を並べた場合には、ヘッドの両端に位置する積層型の圧電素子部材以外の内側の積層型の圧電素子部材は共通電極を端に持ってくることはできない。   In this case, after a plurality of piezoelectric element members 18 are bonded and fixed on the base member (base) 19 with an adhesive on the surface opposite to the bonding surface with the diaphragm 12, grooves are formed by groove processing. Thus, a plurality of individual piezoelectric elements 18a are formed. A plurality of FPC cables 21 for applying a driving waveform to each individual piezoelectric element 18 a are connected to one end face of the piezoelectric element member 18. However, when the two laminated piezoelectric element members 18 are arranged in the longitudinal direction, the common electrode can be taken from the outer end in the longitudinal direction of the laminated piezoelectric element member. When three or more laminated pressure element elements 18 are arranged in the longitudinal direction, the inner laminated piezoelectric element members other than the laminated piezoelectric element members located at both ends of the head are connected to the common electrode. Can't bring it to.
そこで、ここでは、ベース部材19を共通電極と接続するようにしている。つまり、図6に示すように、内部電極31aは共通側外部電極32に接続し、この共通外部電極32には積層型の圧電素子部材18の裏面側に延長した延長部32aを設けている。そして、この共通側外部電極32の積層型の圧電素子部材18の裏面の延長部32aはSUSなどの金属からなる導電性のベース部材19と電気的に接続している。ベース部材19は金属からなる導電性の部材のほかに、セラミックスなどの絶縁材料より作製し、ベース部材19の表面に電極薄膜を形成したものでも問題ない。よって、積層型の圧電素子部材18の裏面の共通側外部電極32の延長部32aとベース部材19を導電性接着剤により接合することによって、接合と電気的接続を同時に行うことができ、製造工程数が削減でき低コスト化を図れる。   Therefore, here, the base member 19 is connected to the common electrode. That is, as shown in FIG. 6, the internal electrode 31 a is connected to the common-side external electrode 32, and the common external electrode 32 is provided with an extension portion 32 a that extends to the back surface side of the laminated piezoelectric element member 18. And the extension part 32a of the back surface of the laminated piezoelectric element member 18 of the common side external electrode 32 is electrically connected to the conductive base member 19 made of metal such as SUS. There is no problem even if the base member 19 is made of an insulating material such as ceramics in addition to a conductive member made of metal and an electrode thin film is formed on the surface of the base member 19. Therefore, by joining the extended portion 32a of the common-side external electrode 32 on the back surface of the laminated piezoelectric element member 18 and the base member 19 with the conductive adhesive, the joining and the electrical connection can be performed at the same time. The number can be reduced and the cost can be reduced.
そして、図7に示すように、ベース部材19の側面は押さえ部材26によりFCPケーブル21のGNDパターン端子21cと接続している。従って、積層型の圧電素子部材18の内部電極31aは、ベース部材19を介してFCPケーブル21と接続されることになる。   As shown in FIG. 7, the side surface of the base member 19 is connected to the GND pattern terminal 21 c of the FCP cable 21 by a pressing member 26. Therefore, the internal electrode 31 a of the laminated piezoelectric element member 18 is connected to the FCP cable 21 through the base member 19.
このように、長手方向に3個以上の積層型の圧電素子部材を配置する場合、積層型の圧電素子部材のそれぞれにおいて、ベース部材13と電気的に接続することによって、共通電極を取ることができる。ベース部材を介して共通電極を取っているので、このような長尺のヘッドでヘッドの中心部においても、電圧降下の影響もほとんどない。   Thus, when three or more laminated piezoelectric element members are arranged in the longitudinal direction, a common electrode can be taken by electrically connecting to the base member 13 in each of the laminated piezoelectric element members. it can. Since the common electrode is taken through the base member, such a long head is hardly affected by the voltage drop even at the center of the head.
次に、押さえ部材と圧電アクチェータの関係を詳しく説明する。FPCケーブル幅をアクチェータ長さにした場合、FPCケーブル21と個別圧電素子18a端子との接合を全幅で精度よく行う必要がある。本実施例のヘッド長さの330mmでFPCの端子幅を、累積誤差を踏まえて精度よく製造することの歩留まり及び長尺幅にしたことによる材料の有効利用率の低下によるコストアップ、接合精度の歩留まり等を考慮すると、各圧電素子12毎に接合することを選択している。その場合、第1の実施の形態と同じようにFPCケーブルの上流部は配線が集約できるため、幅を狭めることができる。   Next, the relationship between the pressing member and the piezoelectric actuator will be described in detail. When the FPC cable width is set to the actuator length, it is necessary to accurately join the FPC cable 21 and the individual piezoelectric element 18a terminal over the entire width. In this embodiment, the head length is 330 mm, the FPC terminal width is accurately manufactured in consideration of the accumulated error, and the yield is increased, and the effective width of the material is reduced due to the increased width. Considering the yield and the like, it is selected that each piezoelectric element 12 is bonded. In that case, since the wiring can be concentrated in the upstream portion of the FPC cable as in the first embodiment, the width can be reduced.
また、押さえ部材の開口にFPCケーブルを通し、押さえ部材で押圧してせん断による剥離及び広がりによる剥離を防止することと、ヘッドの短手方向の開口幅は、概略アクチェータの短手幅と等しいため、FPCケーブルの広がり自体を規制している。   Further, the FPC cable is passed through the opening of the pressing member and pressed by the pressing member to prevent peeling due to shearing and spreading, and the opening width in the short direction of the head is substantially equal to the short width of the actuator. The spread of the FPC cable itself is regulated.
更に、押さえ部材と圧電アクチェータの固定は、第1の実施の形態と同じように、ベースの左右端面で行う方法、ベースの側面で行う場合もしくは前面で行う場合が考えられる。どの方法にしても、押さえ部分には切欠き部分ができ、フレーム部材の穴に挿入するよりは楽である。   Further, as in the first embodiment, the fixing member and the piezoelectric actuator may be fixed on the left and right end surfaces of the base, on the side surface of the base, or on the front surface. Whichever method is used, the holding portion has a notch, which is easier than inserting it into the hole of the frame member.
次に、FPCケーブルの信号ラインを集約する基板を圧電アクチェータに設ける場合を液体吐出ヘッドの要部斜視図である図8を用いて説明する。吐出範囲の長いライン型液体吐出ヘッドの場合には、各圧電アクチェータ毎に配線を行うと、液体吐出ヘッド周りの配線が複雑になってしまうため、配線を集約した配線集約基板41を設けることは有効な手段となる。そして、押さえ部材26は導電性部材で構成され、ベース部材19と係止めさた他端でベース部材19の延長上に配線集約基板41とネジ固定されている。更に、フレーム部材23ともネジ固定して配線集約基板41のぐらつきを防止している。ここで、第2の実施の形態のように共通電極をベース部材19の側面に押さえ部材26によりFCPケーブル21のGNDパターン21cで接続している。なお、配線集約基板41のぐらつきを防止するために、押さえ部材26をフレーム部材23とネジ止めとしたが、接着や熱溶着などでも構わない。また、配線集約基板41の保護のために、配線集約基板41の周りを囲うカバー42を設ける場合には、カバー42をフレームと固定する時に挟みこみで固定する方法もある。カバー42とフレーム部材23の固定はネジ止め、接着など記述しない従来方法が考えられる。   Next, a case where a substrate for collecting signal lines of the FPC cable is provided in the piezoelectric actuator will be described with reference to FIG. 8 which is a perspective view of a main part of the liquid discharge head. In the case of a line-type liquid discharge head having a long discharge range, wiring around each piezoelectric actuator becomes complicated when wiring is performed for each piezoelectric actuator. It becomes an effective means. The pressing member 26 is formed of a conductive member, and is screwed to the wiring aggregation board 41 on the extension of the base member 19 at the other end engaged with the base member 19. Further, the frame member 23 is also screwed to prevent the wiring aggregation board 41 from wobbling. Here, as in the second embodiment, the common electrode is connected to the side surface of the base member 19 by the GND pattern 21 c of the FCP cable 21 by the pressing member 26. In order to prevent wobbling of the wiring aggregation board 41, the pressing member 26 is screwed to the frame member 23. However, adhesion or heat welding may be used. Further, in order to protect the wiring aggregation board 41, when a cover 42 surrounding the wiring aggregation board 41 is provided, there is a method in which the cover 42 is fixed by pinching when fixing the cover 42 to the frame. The cover 42 and the frame member 23 can be fixed by conventional methods such as screwing and bonding.
このように、押さえ部材26を導電性部材にすることにより、ベース部材19とFPCケーブル21の上流となる配線集約基板41とを押さえ部材26を介して接続することが可能となる。この場合、FPCケーブルに共通電極の這いまわしをする必要が無くなりFPC内配線レイアウトに自由度がでる利点もある。   Thus, by using the holding member 26 as a conductive member, it is possible to connect the base member 19 and the wiring aggregation board 41 upstream of the FPC cable 21 via the holding member 26. In this case, it is not necessary to arrange the common electrode on the FPC cable, and there is an advantage that the FPC wiring layout is free.
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置について図9〜図11を参照して説明する。なお、図9は本発明の画像形成装置としてのインクジェット記録装置を前方から見た斜視図、図10はインクジェット記録装置の機構部の概要を示す側面図、図11はインクジェット記録装置の機構部の要部平面図である。   Next, an image forming apparatus including the liquid ejection apparatus according to the present invention including the liquid ejection head according to the present invention will be described with reference to FIGS. 9 is a perspective view of an ink jet recording apparatus as an image forming apparatus according to the present invention as seen from the front, FIG. 10 is a side view showing an outline of a mechanism part of the ink jet recording apparatus, and FIG. 11 is a mechanism part of the ink jet recording apparatus. It is a principal part top view.
図9に示す本発明の画像形成装置としてのインクジェット記録装置100は、装置本体101と、装置本体101に装着された用紙を装填するための給紙トレイ102と、装置本体101に着脱自在に装着されて画像が記録(形成)された用紙をストックするための排紙トレイ103とを備えている。また、装置本体101の前面の一端部側(給排紙トレイ部の側方)には、前面から装置本体101の前方側に突き出し、上面よりも低くなったインクカートリッジを装填するためのカートリッジ装填部104を有し、このカートリッジ装填部104の上面には操作ボタンや表示器などの操作/表示部105が設けられている。   An ink jet recording apparatus 100 as an image forming apparatus of the present invention shown in FIG. 9 includes an apparatus main body 101, a paper feed tray 102 for loading paper mounted on the apparatus main body 101, and a detachable attachment to the apparatus main body 101. And a paper discharge tray 103 for stocking the paper on which the image is recorded (formed). Further, a cartridge loading for loading an ink cartridge that protrudes from the front surface to the front side of the apparatus main body 101 and is lower than the upper surface is provided at one end of the front surface of the apparatus main body 101 (side of the paper supply / discharge tray section). The cartridge loading unit 104 is provided with an operation / display unit 105 such as operation buttons and a display.
このカートリッジ装填部104には、色の異なる色材である記録液(インク)、例えば黒(K)インク、シアン(C)インク、マゼンタ(M)インク、イエロー(Y)インクをそれぞれ収容した複数の記録液収容手段としての記録液カートリッジであるインクカートリッジ110k、110c、110m、110y(色を区別しないときは「インクカートリッジ110」という。)を、装置本体101の前面側から後方側に向って挿入して装填可能とし、このカートリッジ装填部104の前面側には、インクカートリッジ110を着脱するときに開く前カバー(カートリッジカバー)106が開閉可能に設けられている。また、インクカートリッジ110k、110c、110m、110yは縦置き状態で横方向に並べて装填する構成となっている。   The cartridge loading unit 104 stores a plurality of recording liquids (inks) that are different color materials, such as black (K) ink, cyan (C) ink, magenta (M) ink, and yellow (Y) ink. Ink cartridges 110k, 110c, 110m, and 110y (referred to as “ink cartridge 110” when the colors are not distinguished) are recording liquid cartridges serving as recording liquid storage units from the front side to the rear side of the apparatus main body 101. A front cover (cartridge cover) 106 that is opened when the ink cartridge 110 is attached or detached is provided on the front side of the cartridge loading unit 104 so as to be openable and closable. Further, the ink cartridges 110k, 110c, 110m, and 110y are configured to be loaded side by side in the horizontal direction in a vertically placed state.
また、操作/表示部105には、各色のインクカートリッジ110k、110c、110m、110yの装着位置(配置位置)に対応する配置位置で、各色のインクカートリッジ110k、110c、110m、110yの残量がニアーエンド及びエンドになったことを表示するための各色の残量表示部111k、111c、111m、111yを配置している。更に、この操作/表示部105には、電源ボタン112、用紙送り/印刷再開ボタン113、キャンセルボタン114も配置されている。   Further, the operation / display unit 105 has the remaining amounts of the ink cartridges 110k, 110c, 110m, and 110y for each color at an arrangement position corresponding to the installation position (arrangement position) of the ink cartridges 110k, 110c, 110m, and 110y for each color. The remaining amount display sections 111k, 111c, 111m, and 111y for each color for displaying the near end and the end are arranged. Further, the operation / display unit 105 is also provided with a power button 112, a paper feed / print resume button 113, and a cancel button 114.
更に、フレーム121を構成する左右の側板121A、121Bに横架したガイド部材であるガイドロッド131とステー132とでキャリッジ133を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図11で矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。   Further, the carriage 133 is slidably held in the main scanning direction by a guide rod 131 and a stay 132, which are guide members horizontally mounted on the left and right side plates 121A and 121B constituting the frame 121, and is timingd by a main scanning motor (not shown). It moves and scans in the direction indicated by the arrow (carriage main scanning direction) in FIG. 11 via the belt.
このキャリッジ133には、前述したようにイエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(Bk)の各色のインク滴を吐出する4個の液滴吐出ヘッドからなる記録ヘッド134を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。   As described above, the carriage 133 is provided with the recording head 134 including four droplet discharge heads that discharge ink droplets of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (Bk). A plurality of ink ejection openings are arranged in a direction crossing the main scanning direction, and are mounted with the ink droplet ejection direction facing downward.
記録ヘッド134を構成するインクジェットヘッドとしては、圧電素子などの圧電アクチュエータ、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するサーマルアクチュエータ、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータ、静電力を用いる静電アクチュエータなどを、液滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段として備えたものなどを使用できる。   As an inkjet head constituting the recording head 134, a piezoelectric actuator such as a piezoelectric element, a thermal actuator that uses a phase change due to liquid film boiling using an electrothermal conversion element such as a heating resistor, and a metal phase change due to a temperature change. It is possible to use a shape memory alloy actuator to be used, an electrostatic actuator using an electrostatic force, or the like provided as pressure generating means for generating a pressure for discharging a droplet.
この記録ヘッド134にはドライバICを搭載し、図示しない制御部との間でハーネス(フレキシブルプリントケーブル)122を介して接続している。また、キャリッジ133には、記録ヘッド134に各色のインクを供給するための各色のサブタンク135を搭載している。この各色のサブタンク135には各色のインク供給チューブ136を介して、前述したように、カートリッジ装填部104に装着された各色のインクカートリッジ110から各色のインクが補充供給される。なお、このカートリッジ装填104にはインクカートリッジ110内のインクを送液するための供給ポンプユニット124が設けられ、またインク供給チューブ136は這い回しの途中でフレーム121を構成する後板121Cに係止部材125にて保持されている。   A driver IC is mounted on the recording head 134 and is connected to a control unit (not shown) via a harness (flexible print cable) 122. In addition, the carriage 133 is equipped with a sub tank 135 for each color for supplying ink of each color to the recording head 134. As described above, each color sub-tank 135 is supplementarily supplied with each color ink from each color ink cartridge 110 mounted in the cartridge loading unit 104 via each color ink supply tube 136. The cartridge loading 104 is provided with a supply pump unit 124 for feeding ink in the ink cartridge 110, and the ink supply tube 136 is locked to the rear plate 121C constituting the frame 121 in the middle of turning. It is held by the member 125.
一方、給紙トレイ102の用紙積載部(圧板)141上に積載した用紙142を給紙するための給紙部として、用紙積載部141から用紙142を1枚ずつ分離給送する半月コロ(給紙コロ)143及び給紙コロ143に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド144を備え、この分離パッド144は給紙コロ143側に付勢されている。   On the other hand, as a paper feeding unit for feeding the paper 142 stacked on the paper stacking unit (pressure plate) 141 of the paper feeding tray 102, a half-moon roller (feeding) that separates and feeds the paper 142 from the paper stacking unit 141 one by one. A separation pad 144 made of a material having a large friction coefficient is provided facing the paper roller 143 and the paper feed roller 143, and the separation pad 144 is urged toward the paper feed roller 143 side.
そして、この給紙部から給紙された用紙142を記録ヘッド134の下方側に送り込むために、用紙142を案内するガイド部材145と、カウンタローラ146と、搬送ガイド部材147と、先端加圧コロ149を有する押さえ部材148とを備えるとともに、給送された用紙142を静電吸着して記録ヘッド134に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト151を備えている。   In order to feed the sheet 142 fed from the sheet feeding unit to the lower side of the recording head 134, a guide member 145 for guiding the sheet 142, a counter roller 146, a transport guide member 147, and a tip pressure roller. And a holding belt 148 that is a conveying means for electrostatically attracting the fed paper 142 and conveying it at a position facing the recording head 134.
この搬送ベルト151は、無端状ベルトであり、搬送ローラ152とテンションローラ153との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向(副走査方向)に周回するように構成している。また、この搬送ベルト151の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ156を備えている。この帯電ローラ156は、搬送ベルト151の表層に接触し、搬送ベルト151の回動に従動して回転するように配置されている。更に、搬送ベルト151の裏側には、記録ヘッド134による印写領域に対応してガイド部材157が配置されている。   The conveyor belt 151 is an endless belt, and is configured to wrap around the conveyor roller 152 and the tension roller 153 and circulate in the belt conveyance direction (sub-scanning direction). Further, a charging roller 156 that is a charging unit for charging the surface of the transport belt 151 is provided. The charging roller 156 is disposed so as to come into contact with the surface layer of the conveyor belt 151 and to rotate following the rotation of the conveyor belt 151. Further, a guide member 157 is disposed on the back side of the conveyance belt 151 so as to correspond to a printing area by the recording head 134.
この搬送ベルト151は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ152が回転駆動されることによって図11のベルト搬送方向に周回移動する。   The transport belt 151 rotates in the belt transport direction of FIG. 11 when the transport roller 152 is rotationally driven through timing by a sub-scanning motor (not shown).
更に、記録ヘッド134で記録された用紙142を排紙するための排紙部として、搬送ベルト151から用紙142を分離するための分離爪161と、排紙ローラ162及び排紙コロ163とを備え、排紙ローラ162の下方に排紙トレイ103を備えている。   Further, as a paper discharge unit for discharging the paper 142 recorded by the recording head 134, a separation claw 161 for separating the paper 142 from the transport belt 151, a paper discharge roller 162, and a paper discharge roller 163 are provided. A paper discharge tray 103 is provided below the paper discharge roller 162.
また、装置本体101の背面部には両面ユニット171が着脱自在に装着されている。この両面ユニット171は搬送ベルト151の逆方向回転で戻される用紙142を取り込んで反転させて再度カウンタローラ146と搬送ベルト151との間に給紙する。また、この両面ユニット171の上面は手差しトレイ172としている。   A double-sided unit 171 is detachably attached to the back surface of the apparatus main body 101. The duplex unit 171 takes in the paper 142 returned by the reverse rotation of the transport belt 151, reverses it, and feeds it again between the counter roller 146 and the transport belt 151. The upper surface of the duplex unit 171 is a manual feed tray 172.
更に、図11に示すように、キャリッジ133の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド134のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構181を配置している。   Further, as shown in FIG. 11, a maintenance / recovery mechanism 181 including a recovery means for maintaining and recovering the nozzle state of the recording head 134 is arranged in the non-printing area on one side of the carriage 133 in the scanning direction. Yes.
この維持回復機構181には、記録ヘッド134の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材(以下「キャップ」という。)182a〜182d(区別しないときは「キャップ182」という。)と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード183と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け184などを備えている。ここでは、キャップ182aを吸引及び保湿用キャップとし、他のキャップ182b〜182dは保湿用キャップとしている。   The maintenance / recovery mechanism 181 includes cap members (hereinafter referred to as “caps”) 182a to 182d (hereinafter referred to as “caps 182” when not distinguished) for capping each nozzle surface of the recording head 134, and nozzle surfaces. A wiper blade 183 that is a blade member for wiping the ink, and an empty discharge receiver 184 that receives liquid droplets when performing empty discharge for discharging liquid droplets that do not contribute to recording in order to discharge the thickened recording liquid. ing. Here, the cap 182a is a suction and moisture retention cap, and the other caps 182b to 182d are moisture retention caps.
そして、この維持回復機構181による維持回復動作で生じる記録液の廃液、キャップ182に排出されたインク、あるいはワイパーブレード183に付着してワイパークリーナ185で除去されたインク、空吐出受け194に空吐出されたインクは図示しない廃液タンクに排出されて収容される。   Then, the waste liquid of the recording liquid generated by the maintenance / recovery operation by the maintenance / recovery mechanism 181, the ink discharged to the cap 182, the ink attached to the wiper blade 183 and removed by the wiper cleaner 185, and the idle ejection to the idle ejection receptacle 194 The discharged ink is discharged and stored in a waste liquid tank (not shown).
また、図11に示すように、キャリッジ133の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け188を配置し、この空吐出受け188には記録ヘッド134のノズル列方向に沿った開口189などを備えている。   Further, as shown in FIG. 11, in the non-printing area on the other side in the scanning direction of the carriage 133, idle discharge is performed to discharge liquid droplets that do not contribute to recording in order to discharge the recording liquid that has been thickened during recording or the like. An empty discharge receiver 188 for receiving the droplets is disposed, and the empty discharge receiver 188 is provided with an opening 189 along the nozzle row direction of the recording head 134.
このように構成した本発明の画像形成装置としてのインクジェット記録装置においては、給紙トレイ102から用紙142が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙142はガイド145で案内され、搬送ベルト151とカウンタローラ146との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド137で案内されて先端加圧コロ149で搬送ベルト151に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。   In the ink jet recording apparatus as the image forming apparatus of the present invention configured as described above, the sheet 142 is separated and fed one by one from the sheet feeding tray 102, and the sheet 142 fed substantially vertically upward is guided by the guide 145. Then, the paper is sandwiched between the conveyor belt 151 and the counter roller 146 and conveyed, and further, the front end is guided by the conveyance guide 137 and pressed against the conveyance belt 151 by the front end pressure roller 149 to change the conveyance direction by approximately 90 °. The
このとき、制御部のACバイアス供給部から帯電ローラ156に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト151が交番する帯電電圧パターン、すなわち周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト151上に用紙142が給送されると、用紙142が搬送ベルト151に吸着され、搬送ベルト151の周回移動によって用紙142が副走査方向に搬送される。   At this time, a positive output and a negative output are alternately repeated from the AC bias supply unit of the control unit to the charging roller 156, that is, an alternating voltage is applied, and a charging voltage pattern in which the conveying belt 151 alternates, that is, a loop In the sub-scanning direction, which is the direction, plus and minus are alternately charged in a band shape with a predetermined width. When the sheet 142 is fed onto the conveying belt 151 that is alternately charged with plus and minus, the sheet 142 is attracted to the conveying belt 151, and the sheet 142 is conveyed in the sub-scanning direction by the circumferential movement of the conveying belt 151.
そこで、リニアエンコーダ137による主走査位置情報に基づいてキャリッジ133を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド134を駆動することにより、停止している用紙142にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙142を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙142の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙142を排紙トレイ103に排紙する。   Therefore, by driving the recording head 134 according to the image signal while moving the carriage 133 in the main scanning direction based on the main scanning position information by the linear encoder 137, the ink droplets are ejected onto the stopped paper 142. One line is recorded, and after the sheet 142 is conveyed by a predetermined amount, the next line is recorded. Upon receiving a recording end signal or a signal that the trailing edge of the sheet 142 has reached the recording area, the recording operation is terminated and the sheet 142 is discharged onto the discharge tray 103.
また、印字(記録)待機中にはキャリッジ133は維持回復機構181側に移動されて、キャップ182で記録ヘッド134がキャッピングされて、ノズルを湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、キャップ182で記録ヘッド134をキャッピングした状態で図示しない吸引ポンプによってノズルから記録液を吸引し(「ノズル吸引」又は「ヘッド吸引」という。)し、増粘した記録液や気泡を排出する回復動作を行う。また、記録開始前、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出する空吐出動作を行う。これによって、記録ヘッド134の安定した吐出性能を維持する。   During printing (recording) standby, the carriage 133 is moved to the maintenance / recovery mechanism 181 side, the recording head 134 is capped by the cap 182, and the nozzles are kept in a wet state, thereby preventing ejection failure due to ink drying. . Further, the recording liquid is sucked from the nozzle by a suction pump (not shown) with the recording head 134 capped by the cap 182 (referred to as “nozzle suction” or “head suction”), and the thickened recording liquid and bubbles are discharged. Perform recovery action. In addition, an idle ejection operation for ejecting ink not related to recording is performed before the start of recording or during recording. As a result, the stable ejection performance of the recording head 134 is maintained.
なお、上記実施の形態では本発明に係る液体吐出装置をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ/ファクシミリ/コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、インク以外の液体である記録液や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。   In the above embodiment, the liquid ejecting apparatus according to the present invention has been described as an example applied to an image forming apparatus having a printer configuration. However, the present invention is not limited to this. For example, image forming such as a printer / facsimile / copier multifunction machine It can be applied to the device. Further, the present invention can be applied to an image forming apparatus using a recording liquid or a fixing processing liquid that is a liquid other than ink.
また、本発明は上記実施の形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変形や置換可能であることは言うまでもない。   Further, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that various modifications and substitutions can be made as long as they are described in the claims.
本発明の一実施の形態に係る圧電アクチェータを備えた液体吐出ヘッドの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the liquid discharge head provided with the piezoelectric actuator which concerns on one embodiment of this invention. 図1の(b)のA−A’線に沿うヘッド短手方向の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view in the short direction of the head along the line A-A ′ in FIG. 図1の(b)のA−A’線に沿うヘッド長手方向の断面図である。It is sectional drawing of the head longitudinal direction in alignment with the A-A 'line of (b) of FIG. 本実施の形態に係る圧電アクチェータにおける押さえ部材を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the pressing member in the piezoelectric actuator which concerns on this Embodiment. 本発明の圧電アクチェータを具備した液体吐出ヘッドの要部斜視図である。It is a principal part perspective view of the liquid discharge head which comprised the piezoelectric actuator of this invention. 図5のB−B’線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the B-B 'line of FIG. 図5のC−C’線に沿う断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line C-C ′ of FIG. 5. FPCケーブルの信号ラインを集約する基板を圧電アクチェータに設ける場合の液体吐出ヘッドの要部斜視図である。It is a principal part perspective view of the liquid discharge head in case the board | substrate which collects the signal line of FPC cable is provided in a piezoelectric actuator. 本発明の画像形成装置としてのインクジェット記録装置を前方から見た斜視図である。1 is a perspective view of an ink jet recording apparatus as an image forming apparatus of the present invention as viewed from the front. 本発明の画像形成装置としてのインクジェット記録装置の機構部の概要を示す側面図である。1 is a side view showing an outline of a mechanism part of an ink jet recording apparatus as an image forming apparatus of the present invention. 本発明の画像形成装置としてのインクジェット記録装置の機構部の要部平面図である。FIG. 2 is a plan view of a main part of a mechanism part of an ink jet recording apparatus as an image forming apparatus of the present invention.
符号の説明Explanation of symbols
10,30;液体吐出ヘッド、11;流路基板、
11a;リストリクタプレート、11b;チャンバーブレート、
12;振動板、13;ノズル板、14;ノズル、15;加圧液室、
16;流体抵抗部、17;バッファ室、18;圧電素子部材、
18a;個別圧電素子、19;ベース部材、20;溝、
21;FPCケーブル、22;ドライバIC、23;フレーム部材、
24;共通液室、25;貫通穴、26;押さえ部材、
26a;凸部、31a;内部電極、32;共通側外部電極、
32a;延長部、41;配線集約基板、42;カバー、
100;インクジェット記録装置。
10, 30; liquid discharge head, 11; flow path substrate,
11a; restrictor plate, 11b; chamber plate,
12; vibration plate, 13; nozzle plate, 14; nozzle, 15; pressurized liquid chamber,
16; Fluid resistance portion, 17; Buffer chamber, 18; Piezoelectric element member,
18a; individual piezoelectric element, 19; base member, 20; groove,
21; FPC cable, 22; driver IC, 23; frame member,
24; common liquid chamber; 25; through hole; 26; pressing member;
26a; convex portion, 31a; internal electrode, 32; common side external electrode,
32a; extension, 41; wiring aggregation board, 42; cover,
100: Inkjet recording apparatus.

Claims (9)

  1. ベース部材に固定された圧電素子にフレキシブルプリント基板を直接接続し、前記ベース部材の側面に、前記フレキシブルプリント基板と前記圧電素子との接着方向に前記フレキシブルプリント基板を加圧する押さえ部材を有する圧電アクチュエータにおいて、
    前記ベース部材及び前記押さえ部材が導電体であり、前記押さえ部材の加圧部で前記フレキシブルプリント基板に貫通穴又は切欠きを設け、該貫通穴又は切欠きを介して前記ベース部材と前記押さえ部材が電気的に導通接続することを特徴とする圧電アクチュエータ
    A flexible printed circuit board connected directly to the piezoelectric element fixed to the base member, the side surface of the front SL base member, a piezoelectric having a pressing member for pressing the flexible printed circuit board in the adhesive direction of the flexible printed circuit board and the piezoelectric element In the actuator
    The base member and the pressing member are conductors, and a through hole or a notch is provided in the flexible printed circuit board at a pressurizing portion of the pressing member, and the base member and the pressing member are interposed through the through hole or the notch. A piezoelectric actuator characterized by electrically conducting connection .
  2. 記押さえ部材が前記フレキシブルプリント基板の前記圧電素子との接続端子と逆側の端が接続する基板と固定されることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。 The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the pre-Symbol pressing member is fixed to said substrate connecting terminal opposite end of the piezoelectric element is connected to the flexible printed circuit board.
  3. 前記押さえ部材が前記フレキシブルプリント基板の前記圧電素子との接続端子と逆側の端が接続する前記基板の共通電極ラインと電気的に導通接続することを特徴とする請求項2記載の圧電アクチュエータ。 3. The piezoelectric actuator according to claim 2, wherein the pressing member is electrically connected to a common electrode line of the substrate to which an end opposite to a connection terminal of the flexible printed substrate to the piezoelectric element is connected.
  4. 前記フレキシブルプリント基板に貫通穴又は切欠きを介して前記ベース部材と前記押さえ部材が電気的に導通接続する押さえ部材部分は、前記フレキシブルプリント基板を押さえる部分とは独立したアーム形状になっていることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。The holding member portion where the base member and the holding member are electrically connected to each other through the through hole or notch in the flexible printed board has an arm shape independent of the portion holding the flexible printed board. The piezoelectric actuator according to claim 1.
  5. 前記ベース部材に、前記押さえ部材と嵌合して位置決めを行う位置決め部を設けたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータ。 The piezoelectric actuator according to claim 1 , wherein the base member is provided with a positioning portion that is positioned by fitting with the pressing member.
  6. 前記フレキシブルプリント基板に貫通穴又は切欠きを介して前記ベース部材と前記押さえ部材が電気的に導通接続する押さえ部材部分は、前記フレキシブルプリント基板を押さえる部分とは独立したアーム形状部分は、前記押さえ部材と嵌合して位置決めを行う位置決め部を兼ねていること特徴とする請求項5記載の圧電アクチュエータ。The pressing member portion where the base member and the pressing member are electrically connected to the flexible printed circuit board through a through hole or notch is the arm-shaped portion independent of the portion pressing the flexible printed circuit board. 6. The piezoelectric actuator according to claim 5, wherein the piezoelectric actuator also serves as a positioning portion for positioning by fitting with a member.
  7. 体を吐出するノズルと、該ノズルが連通する液室と、該液室の少なくとも1つの壁面を形成する振動板と、該振動板を変形させるための、請求項1〜6のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータとを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。 A nozzle for discharging liquid body, a liquid chamber the nozzle communicates, a vibration plate forming at least one wall of the liquid chamber, for deforming the vibration plate, one of the preceding claims 1 A liquid discharge head comprising the piezoelectric actuator according to the item.
  8. 請求項7記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする液体吐出装置。 A liquid discharge apparatus comprising the liquid discharge head according to claim 7 .
  9. 請求項7記載の吐出ヘッドから液滴を吐出させて画像を形成することを特徴とする画像形成装置。 An image forming apparatus, wherein an image is formed by discharging droplets from the discharge head according to claim 7 .
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