JPH1057946A - 脱気装置 - Google Patents
脱気装置Info
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- JPH1057946A JPH1057946A JP24104196A JP24104196A JPH1057946A JP H1057946 A JPH1057946 A JP H1057946A JP 24104196 A JP24104196 A JP 24104196A JP 24104196 A JP24104196 A JP 24104196A JP H1057946 A JPH1057946 A JP H1057946A
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- Japan
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- fluororesin
- tube
- deaerator
- tube bundle
- vacuum chamber
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液体中の溶存ガスを真空下で除去する脱気作
業において、脱気効率を低下させることなく装置全体を
コンパクト化することのできる脱気装置を提供するこ
と。 【解決手段】 複数本のフッ素樹脂製チューブの両端部
を結束してなるチューブ束が真空チャンバー内に配設さ
れてなる脱気装置において、該チューブ束の外周に少な
くとも前記チューブ以上の気体透過率を有する材料によ
る保護層を設けた脱気装置とする。
業において、脱気効率を低下させることなく装置全体を
コンパクト化することのできる脱気装置を提供するこ
と。 【解決手段】 複数本のフッ素樹脂製チューブの両端部
を結束してなるチューブ束が真空チャンバー内に配設さ
れてなる脱気装置において、該チューブ束の外周に少な
くとも前記チューブ以上の気体透過率を有する材料によ
る保護層を設けた脱気装置とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は脱気装置に係り、そ
の目的は液体中の溶存ガスを真空下で除去する脱気作業
において、脱気効率を低下させることなく装置全体をコ
ンパクト化することのできる脱気装置を提供することに
ある。
の目的は液体中の溶存ガスを真空下で除去する脱気作業
において、脱気効率を低下させることなく装置全体をコ
ンパクト化することのできる脱気装置を提供することに
ある。
【０００２】
【従来の技術】半導体メモリやＬＣＤ用ガラス基板の製
造ラインでは、薬液塗工の際に種々の欠陥を引き起こす
溶存ガスの存在が問題となっている。このような溶存ガ
スを除去する方法として薬液を真空脱気する方法が知ら
れており、この真空脱気方法において気体透過性に優れ
たフッ素樹脂製チューブを膜材として使用した真空脱気
装置が提案されている。このような真空脱気装置として
は、例えば特開昭５７−１６５００７号に開示の技術が
存在している。特開昭５７−１６５００７号開示の脱気
装置は、図４に示すように、フッ素樹脂等の合成樹脂か
らなるチューブ（Ａ）内に脱気すべき液体を入れ、チュ
ーブ（Ａ）を減圧装置と連通接続された脱気用密閉容器
（Ｂ）内に収容してなるものであった。尚、図中（Ｃ）
は液体の入口、（Ｄ）は出口、（Ｆ）は減圧装置との接
続口である。
造ラインでは、薬液塗工の際に種々の欠陥を引き起こす
溶存ガスの存在が問題となっている。このような溶存ガ
スを除去する方法として薬液を真空脱気する方法が知ら
れており、この真空脱気方法において気体透過性に優れ
たフッ素樹脂製チューブを膜材として使用した真空脱気
装置が提案されている。このような真空脱気装置として
は、例えば特開昭５７−１６５００７号に開示の技術が
存在している。特開昭５７−１６５００７号開示の脱気
装置は、図４に示すように、フッ素樹脂等の合成樹脂か
らなるチューブ（Ａ）内に脱気すべき液体を入れ、チュ
ーブ（Ａ）を減圧装置と連通接続された脱気用密閉容器
（Ｂ）内に収容してなるものであった。尚、図中（Ｃ）
は液体の入口、（Ｄ）は出口、（Ｆ）は減圧装置との接
続口である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
５７−１６５００７号に代表されるような従来の脱気装
置には以下に述べる課題が存在した。先ず、脱気処理を
効率的に行うためにはチューブの厚みを薄くすることが
効果的であるが、他方、脱気装置をコンパクトにするた
めには、装置内でのチューブの曲げ半径を小さくする必
要がある。しかしながら、チューブの厚みを薄くすると
曲げによりチューブが折れて液の滞留や内面洗浄性の低
下などの問題が発生するため曲げ半径を小さくすること
ができず、逆に厚くすると曲げには強くなるが今度は脱
気処理の効率が低下してしまう。また、半導体やＬＣＤ
製造に使用される薬液は、基材に対する濡れ性が重要視
されることから表面張力の低いものが多用される傾向に
あるが、このような薬液の性状を損なわずに真空脱気処
理するには、使用するフッ素樹脂性チューブを液体浸透
性のない非多孔質材料とする必要があった。
５７−１６５００７号に代表されるような従来の脱気装
置には以下に述べる課題が存在した。先ず、脱気処理を
効率的に行うためにはチューブの厚みを薄くすることが
効果的であるが、他方、脱気装置をコンパクトにするた
めには、装置内でのチューブの曲げ半径を小さくする必
要がある。しかしながら、チューブの厚みを薄くすると
曲げによりチューブが折れて液の滞留や内面洗浄性の低
下などの問題が発生するため曲げ半径を小さくすること
ができず、逆に厚くすると曲げには強くなるが今度は脱
気処理の効率が低下してしまう。また、半導体やＬＣＤ
製造に使用される薬液は、基材に対する濡れ性が重要視
されることから表面張力の低いものが多用される傾向に
あるが、このような薬液の性状を損なわずに真空脱気処
理するには、使用するフッ素樹脂性チューブを液体浸透
性のない非多孔質材料とする必要があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記従来の課
題を解決するためになされたものであって、請求項１の
発明では、複数本のフッ素樹脂製チューブの両端部を結
束してなるチューブ束が真空チャンバー内に配設されて
なる脱気装置において、該チューブ束の外周に少なくと
も前記チューブ以上の気体透過率を有する材料による保
護層を設けたことを特徴とする脱気装置とした。また、
請求項２の発明では、前記保護層が、チューブの１０倍
以上の気体透過性率を有するフッ素樹脂多孔質材からな
ることを特徴とする請求項１記載の脱気装置とした。更
に、請求項３の発明では、前記フッ素樹脂製チューブ
が、液体浸透性がない非多孔質構造であることを特徴と
する請求項１又は２記載の脱気装置とした。請求項４の
発明では、前記保護層が、チューブ状又はシートを巻き
付けた形状からなることを特徴とする請求項１乃至３い
ずれかに記載の脱気装置とした。
題を解決するためになされたものであって、請求項１の
発明では、複数本のフッ素樹脂製チューブの両端部を結
束してなるチューブ束が真空チャンバー内に配設されて
なる脱気装置において、該チューブ束の外周に少なくと
も前記チューブ以上の気体透過率を有する材料による保
護層を設けたことを特徴とする脱気装置とした。また、
請求項２の発明では、前記保護層が、チューブの１０倍
以上の気体透過性率を有するフッ素樹脂多孔質材からな
ることを特徴とする請求項１記載の脱気装置とした。更
に、請求項３の発明では、前記フッ素樹脂製チューブ
が、液体浸透性がない非多孔質構造であることを特徴と
する請求項１又は２記載の脱気装置とした。請求項４の
発明では、前記保護層が、チューブ状又はシートを巻き
付けた形状からなることを特徴とする請求項１乃至３い
ずれかに記載の脱気装置とした。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る脱気装置の好
適な実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１
は、本発明に係る脱気装置の実施形態の一例を示す概略
図であり、図２は本発明に係る脱気装置に使用されるフ
ッ素樹脂製チューブ束の概略横断面図であり、図３は本
発明に係る脱気装置に使用されるフッ素樹脂製チューブ
束の概略縦断面図である。本発明に係る脱気装置（１）
は図１に示す如く、真空チャンバー（２）と該真空チャ
ンバー（２）内に配設されるフッ素樹脂製チューブ束
（３）から構成される。尚、図１はフッ素樹脂製チュー
ブ束（３）を真空チャンバー（２）内でとぐろ状に巻回
して配設した例であるが、フッ素樹脂製チューブ束
（３）の真空チャンバー（２）内への配設方法はこれに
限定されない。
適な実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１
は、本発明に係る脱気装置の実施形態の一例を示す概略
図であり、図２は本発明に係る脱気装置に使用されるフ
ッ素樹脂製チューブ束の概略横断面図であり、図３は本
発明に係る脱気装置に使用されるフッ素樹脂製チューブ
束の概略縦断面図である。本発明に係る脱気装置（１）
は図１に示す如く、真空チャンバー（２）と該真空チャ
ンバー（２）内に配設されるフッ素樹脂製チューブ束
（３）から構成される。尚、図１はフッ素樹脂製チュー
ブ束（３）を真空チャンバー（２）内でとぐろ状に巻回
して配設した例であるが、フッ素樹脂製チューブ束
（３）の真空チャンバー（２）内への配設方法はこれに
限定されない。
【０００６】フッ素樹脂製チューブ束（３）を構成する
フッ素樹脂製チューブ（３１）の本数は特に限定され
ず、数本、数十本、数百本単位等任意の本数で構成する
ことができる。フッ素樹脂製チューブ束（３）の形成方
法としては、複数本のフッ素樹脂製気体透過性チューブ
（３１）を端部において熱融着性を有するフッ素樹脂粉
末により融着一体化する方法が好ましく採用されるが、
特にこれに限定されるものではない。フッ素樹脂製チュ
ーブ（３１）は、液体浸透性がない非多孔質構造を有す
る材料であれば特に限定されるものではなく、エチレン
−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリ
クロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）なども使用
できるが、耐薬品性の点からはパーフロロ系のものが特
に好ましく、具体的には、ポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パ−フルオロ
アルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフ
ルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体
（ＦＥＰ）が挙げられる。また、熱融着性を有するフッ
素樹脂粉末についても特に限定されるものではないが、
具体的には、溶融粘度が低く被着体に対する濡れ性に富
むテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン
共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン−パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、エ
チレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）
などの粉末を好適な例として例示することができる。
フッ素樹脂製チューブ（３１）の本数は特に限定され
ず、数本、数十本、数百本単位等任意の本数で構成する
ことができる。フッ素樹脂製チューブ束（３）の形成方
法としては、複数本のフッ素樹脂製気体透過性チューブ
（３１）を端部において熱融着性を有するフッ素樹脂粉
末により融着一体化する方法が好ましく採用されるが、
特にこれに限定されるものではない。フッ素樹脂製チュ
ーブ（３１）は、液体浸透性がない非多孔質構造を有す
る材料であれば特に限定されるものではなく、エチレン
−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリ
クロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）なども使用
できるが、耐薬品性の点からはパーフロロ系のものが特
に好ましく、具体的には、ポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パ−フルオロ
アルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフ
ルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体
（ＦＥＰ）が挙げられる。また、熱融着性を有するフッ
素樹脂粉末についても特に限定されるものではないが、
具体的には、溶融粘度が低く被着体に対する濡れ性に富
むテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン
共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン−パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、エ
チレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）
などの粉末を好適な例として例示することができる。
【０００７】フッ素樹脂製チューブ束（３）の外周に
は、保護層（４）が設けられる。保護層（４）は、少な
くともフッ素樹脂製チューブ以上の気体透過性率を有す
る材料、より好ましくはフッ素樹脂製チューブの１０倍
以上の気体透過性率を有するフッ素樹脂多孔質材から構
成される。この保護層（４）は、薬液に接触しないため
必ずしも耐薬品性を必要としないが、使用環境の発塵汚
染を防止する観点からポリテトラフルオロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ）を延伸加工することにより製造される多孔質材
料を使用することが好ましい。また保護層（４）は、チ
ューブ状とする構成やシートを巻き付けることにより形
成する構成が好適に使用されるが、他の形態としてもよ
い。
は、保護層（４）が設けられる。保護層（４）は、少な
くともフッ素樹脂製チューブ以上の気体透過性率を有す
る材料、より好ましくはフッ素樹脂製チューブの１０倍
以上の気体透過性率を有するフッ素樹脂多孔質材から構
成される。この保護層（４）は、薬液に接触しないため
必ずしも耐薬品性を必要としないが、使用環境の発塵汚
染を防止する観点からポリテトラフルオロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ）を延伸加工することにより製造される多孔質材
料を使用することが好ましい。また保護層（４）は、チ
ューブ状とする構成やシートを巻き付けることにより形
成する構成が好適に使用されるが、他の形態としてもよ
い。
【０００８】なお、本発明に係る脱気装置（１）におい
ては、フッ素樹脂製チューブ束（３）の真空チャンバー
（２）内への接続固定方法については、適宜任意の方法
を採用することができる。真空チャンバー（２）は、金
属、プラスチック、ガラス等、適宜任意の素材から構成
することができるが、耐久性や耐薬品性の点から、金属
材料を用いる場合はステンレス鋼を、プラスチック材料
を用いる場合はポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）やテトラフルオロエチレン−パープルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂、ポ
リプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂等を用いることが
好ましい。真空チャンバー（２）の形状及び大きさにつ
いては、真空ポンプ等の減圧手段と接続可能な吸引口
（２１）とフッ素樹脂製チューブ束（３）に処理液を通
過させるための入液口（２２）及び出液口（２３）を有
し且つフッ素樹脂製チューブ束（３）をその内部に収め
ることが可能な大きさであれば特に限定されるものでは
ない。
ては、フッ素樹脂製チューブ束（３）の真空チャンバー
（２）内への接続固定方法については、適宜任意の方法
を採用することができる。真空チャンバー（２）は、金
属、プラスチック、ガラス等、適宜任意の素材から構成
することができるが、耐久性や耐薬品性の点から、金属
材料を用いる場合はステンレス鋼を、プラスチック材料
を用いる場合はポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）やテトラフルオロエチレン−パープルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂、ポ
リプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂等を用いることが
好ましい。真空チャンバー（２）の形状及び大きさにつ
いては、真空ポンプ等の減圧手段と接続可能な吸引口
（２１）とフッ素樹脂製チューブ束（３）に処理液を通
過させるための入液口（２２）及び出液口（２３）を有
し且つフッ素樹脂製チューブ束（３）をその内部に収め
ることが可能な大きさであれば特に限定されるものでは
ない。
【０００９】以上のような構成を有する脱気装置（１）
では、フッ素樹脂製チューブ束（３）の外周に、少なく
ともフッ素樹脂製チューブ以上の気体透過性率を有する
材料、或いはフッ素樹脂製チューブの１０倍以上の気体
透過性率を有するフッ素樹脂多孔質材からなる保護層
（４）が設けられているので、チューブの気体透過性を
損なうことなくチューブの曲げ強度を向上させることが
でき、装置内でのチューブの曲げ半径を小さくして脱気
装置をコンパクトにすることができ、しかもチューブの
折れが発生しにくいので内面洗浄性にも優れる。
では、フッ素樹脂製チューブ束（３）の外周に、少なく
ともフッ素樹脂製チューブ以上の気体透過性率を有する
材料、或いはフッ素樹脂製チューブの１０倍以上の気体
透過性率を有するフッ素樹脂多孔質材からなる保護層
（４）が設けられているので、チューブの気体透過性を
損なうことなくチューブの曲げ強度を向上させることが
でき、装置内でのチューブの曲げ半径を小さくして脱気
装置をコンパクトにすることができ、しかもチューブの
折れが発生しにくいので内面洗浄性にも優れる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明に係る脱気装置の実施例及び比
較例を示すことにより、本発明に係る脱気装置の効果を
明確にする。但し、この発明は以下の実施例により何ら
限定されるものではない。 （実施例１）ＰＴＦＥよりなる気体透過性を有するチュ
ーブ両端部を結束一体化してチューブ束を作製し、この
チューブ束の外周にＰＴＦＥよりなる気孔率５０％の多
孔質チューブを全長にわたって被せて保護層を形成し、
これを真空チャンバー内に配設して脱気装置を形成し
た。この脱気装置を使用して、大気圧下で飽和濃度まで
酸素が溶解した純水の脱気処理を行ったところ、酸素除
去率は８５％であった。（処理液量５０ｍｍ／ｍｉｎ，
減圧度−７００ｍｍＨｇ） （実施例２）実施例１記載のチューブ束の外周に、ＰＴ
ＦＥよりなる気孔率５０％の多孔質シートを全長にわた
って巻き付け保護層を形成し、これをこれを真空チャン
バー内に配設して脱気装置を形成した。この脱気装置を
使用して、大気圧下で飽和濃度まで酸素が溶解した純水
の脱気処理を行ったところ、酸素除去率は８５％であっ
た。（処理液量５０ｍｍ／ｍｉｎ，減圧度−７００ｍｍ
Ｈｇ） （比較例）ＰＴＦＥよりなる気体透過性を有するチュー
ブ両端部を結束一体化してチューブ束を作製し、これを
真空チャンバー内に配設して脱気装置を形成した。この
脱気装置を使用して、大気圧下で飽和濃度まで酸素が溶
解した純水の脱気処理を行ったところ、酸素除去率は８
５％であった。（処理液量５０ｍｍ／ｍｉｎ，減圧度−
７００ｍｍＨｇ）
較例を示すことにより、本発明に係る脱気装置の効果を
明確にする。但し、この発明は以下の実施例により何ら
限定されるものではない。 （実施例１）ＰＴＦＥよりなる気体透過性を有するチュ
ーブ両端部を結束一体化してチューブ束を作製し、この
チューブ束の外周にＰＴＦＥよりなる気孔率５０％の多
孔質チューブを全長にわたって被せて保護層を形成し、
これを真空チャンバー内に配設して脱気装置を形成し
た。この脱気装置を使用して、大気圧下で飽和濃度まで
酸素が溶解した純水の脱気処理を行ったところ、酸素除
去率は８５％であった。（処理液量５０ｍｍ／ｍｉｎ，
減圧度−７００ｍｍＨｇ） （実施例２）実施例１記載のチューブ束の外周に、ＰＴ
ＦＥよりなる気孔率５０％の多孔質シートを全長にわた
って巻き付け保護層を形成し、これをこれを真空チャン
バー内に配設して脱気装置を形成した。この脱気装置を
使用して、大気圧下で飽和濃度まで酸素が溶解した純水
の脱気処理を行ったところ、酸素除去率は８５％であっ
た。（処理液量５０ｍｍ／ｍｉｎ，減圧度−７００ｍｍ
Ｈｇ） （比較例）ＰＴＦＥよりなる気体透過性を有するチュー
ブ両端部を結束一体化してチューブ束を作製し、これを
真空チャンバー内に配設して脱気装置を形成した。この
脱気装置を使用して、大気圧下で飽和濃度まで酸素が溶
解した純水の脱気処理を行ったところ、酸素除去率は８
５％であった。（処理液量５０ｍｍ／ｍｉｎ，減圧度−
７００ｍｍＨｇ）
【００１１】上記実施例１及び２の脱気装置において
は、チューブ束の最小曲げ半径を比較例の７０％まで小
さくすることが可能であった。すなわち、本発明に係る
脱気装置においては、チューブ束を真空チャンバー内に
配設するにあたり、真空チャンバーの径を７０％までコ
ンパクトにすることが可能であった。
は、チューブ束の最小曲げ半径を比較例の７０％まで小
さくすることが可能であった。すなわち、本発明に係る
脱気装置においては、チューブ束を真空チャンバー内に
配設するにあたり、真空チャンバーの径を７０％までコ
ンパクトにすることが可能であった。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、複数本
のフッ素樹脂製チューブの両端部を結束してなるチュー
ブ束が真空チャンバー内に配設されてなる脱気装置にお
いて、該チューブ束の外周に少なくとも前記チューブ以
上の気体透過率を有する材料による保護層を設けたこと
を特徴とする脱気装置であるから、チューブの気体透過
性を損なうことなくチューブの曲げ強度を向上させるこ
とができるため、装置内でのチューブの曲げ半径を小さ
くして脱気装置をコンパクトにすることができ、しかも
チューブの折れが発生しにくいので内面洗浄性にも優れ
る。
のフッ素樹脂製チューブの両端部を結束してなるチュー
ブ束が真空チャンバー内に配設されてなる脱気装置にお
いて、該チューブ束の外周に少なくとも前記チューブ以
上の気体透過率を有する材料による保護層を設けたこと
を特徴とする脱気装置であるから、チューブの気体透過
性を損なうことなくチューブの曲げ強度を向上させるこ
とができるため、装置内でのチューブの曲げ半径を小さ
くして脱気装置をコンパクトにすることができ、しかも
チューブの折れが発生しにくいので内面洗浄性にも優れ
る。
【図１】本発明に係る脱気装置の実施形態の一例を示す
概略図である。
概略図である。
【図２】本発明に係る脱気装置に使用されるフッ素樹脂
製チューブ束の概略横断面図である。
製チューブ束の概略横断面図である。
【図３】本発明に係る脱気装置に使用されるフッ素樹脂
製チューブ束の概略縦断面図である。
製チューブ束の概略縦断面図である。
【図４】従来の脱気装置の例を示す断面図である。
１ 脱気装置 ２ 真空チャンバー ３ フッ素樹脂製チューブ束 ３１ フッ素樹脂製チューブ ４ 保護層
Claims (4)
- 【請求項１】 複数本のフッ素樹脂製チューブの両端部
を結束してなるチューブ束が真空チャンバー内に配設さ
れてなる脱気装置において、該チューブ束の外周に少な
くとも前記チューブ以上の気体透過率を有する材料によ
る保護層を設けたことを特徴とする脱気装置。 - 【請求項２】 前記保護層が、チューブの１０倍以上の
気体透過性率を有するフッ素樹脂多孔質材からなること
を特徴とする請求項１記載の脱気装置。 - 【請求項３】 前記フッ素樹脂製チューブが、液体浸透
性がない非多孔質構造であることを特徴とする請求項１
又は２記載の脱気装置。 - 【請求項４】 前記保護層が、チューブ状又はシートを
巻き付けた形状からなることを特徴とする請求項１乃至
３いずれかに記載の脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24104196A JPH1057946A (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24104196A JPH1057946A (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 脱気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1057946A true JPH1057946A (ja) | 1998-03-03 |
Family
ID=17068441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24104196A Pending JPH1057946A (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1057946A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006078110A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 加湿器 |
| JP2010194423A (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Junkosha Co Ltd | 脱気装置 |
| JP2016129889A (ja) * | 2011-09-12 | 2016-07-21 | アイデックス ヘルス アンド サイエンス エルエルシー | 過飽和流体の脱気 |
| CN114206479A (zh) * | 2019-08-13 | 2022-03-18 | Dic株式会社 | 管单元和脱气模块 |
-
1996
- 1996-08-22 JP JP24104196A patent/JPH1057946A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006078110A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 加湿器 |
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