JPH1056289A - Light transmissive electromagnetic wave shield material and its manufacturing method - Google Patents

Light transmissive electromagnetic wave shield material and its manufacturing method

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JPH1056289A
JPH1056289A JP9479297A JP9479297A JPH1056289A JP H1056289 A JPH1056289 A JP H1056289A JP 9479297 A JP9479297 A JP 9479297A JP 9479297 A JP9479297 A JP 9479297A JP H1056289 A JPH1056289 A JP H1056289A
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JP
Japan
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metal layer
layer
black
laminating
electromagnetic wave
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Withdrawn
Application number
JP9479297A
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Japanese (ja)
Inventor
Shuzo Okumura
秀三 奥村
Tatsuo Ishibashi
達男 石橋
Hiroshi Suyama
寛志 陶山
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Nissha Printing Co Ltd
Original Assignee
Nissha Printing Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/245Reinforcing conductive patterns made by printing techniques or by other techniques for applying conductive pastes, inks or powders; Reinforcing other conductive patterns by such techniques

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  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transmissive electromagnetic wave shield material and its manufacturing method wherein visibility is excellent and the effect of electromagnetic wave shielding is high. SOLUTION: With a polyester film of 100μm thickness as a transparent substrate 1, a copper foil of 35μm thickness is bonded on the transparent substrate 1 as a metal layer 2, and with photolithography, the metal layer 2 is patterned into a lattice of line thickness 10μm and scale division 100×100μm. Connected to a conductive line, it is submerged in an aqueous solution containing 1% of carbon black, 20% of aminate-epoxidized-polibutadiene (number average molecular weight about 1000), and 1% of triethylamine, and then applied with 10V for one minute to form a black electronic deposition layer 3 of 1μm thickness. The substrate is dried for 30 minutes at 60 deg.C, and then cooled down, and a film is laminated on it, so that a transmissive electromagnetic wave shield material is provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術の分野】本発明は、電磁波をシール
ドする働きをし、かつ材料の反対側を透視することがで
きる透光性電磁波シールド材料とその製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light-transmitting electromagnetic wave shielding material which functions to shield an electromagnetic wave and can see through the opposite side of the material, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】ICやLSIが多量に使用されているコ
ンピュータなどの電子機器は電磁波を発生しやすく、こ
の電磁波が周囲の機器を誤動作させるなどの障害を起こ
す。近年、電磁波障害に関わる機器の広まりに従い、ま
た電磁波の人体に対する影響が論じられるようになっ
て、電磁波シールド材料に対する要求はますます高くな
っている。
2. Description of the Related Art Electronic devices such as computers in which ICs and LSIs are used in large quantities are apt to generate electromagnetic waves, and these electromagnetic waves cause malfunctions such as malfunctions of peripheral devices. In recent years, with the spread of devices related to electromagnetic wave interference and the influence of electromagnetic waves on the human body has been discussed, the demand for electromagnetic wave shielding materials has been increasing.

【0003】電磁波シールド材料の中には、電磁波をシ
ールドする働きをするだけではなく、たとえば、ディス
プレイなどの前面パネルにしたり、電子レンジの窓にし
たりすることができるように電磁波シールド材料を通し
て電磁波シールド材料の後方を視ることができる透光性
のものがある。とくに、ディスプレイなどの前面パネル
にする場合には、電磁波シールド材料を通してディスプ
レイ画面を視ることになるので、電磁波シールド性を保
ちながらディスプレイ画面の視認性に優れたものが望ま
れる。
Some electromagnetic wave shielding materials not only function to shield electromagnetic waves, but also, for example, can be used as a front panel of a display or a microwave oven window so that they can be used as a window of a microwave oven. Some are translucent so that the back of the material can be seen. In particular, when a front panel such as a display is used, a display screen is viewed through an electromagnetic wave shielding material. Therefore, a display screen having excellent visibility while maintaining electromagnetic wave shielding properties is desired.

【0004】従来から、電磁波シールドする働きをし、
かつ材料の反対側を透視することができる透光性電磁波
シールド材料としては、1)ガラスや透明樹脂板間に導
電性ネットを挟み込んだり、ガラスや透明樹脂板に導電
性ネットを埋め込んだもの、2)ガラスや透明樹脂板上
に、蒸着やスパッタリングによって金やITOなどの透
明導電薄膜を形成したものなどがあった。なお、1)の
透光性電磁波シールド材料の場合には、視認性を高める
ために導電性ネット表面を黒色に染めてネット表面の反
射を抑えることも行われている。
Conventionally, it has a function of shielding electromagnetic waves,
As a translucent electromagnetic wave shielding material that can see through the opposite side of the material, 1) a material in which a conductive net is sandwiched between glass or transparent resin plates, or a conductive net is embedded in a glass or transparent resin plate, 2) There is a case where a transparent conductive thin film such as gold or ITO is formed on a glass or transparent resin plate by vapor deposition or sputtering. In the case of the translucent electromagnetic wave shielding material of 1), the conductive net surface is dyed black to suppress the reflection on the net surface in order to enhance the visibility.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、1)の透光性
電磁波シールド材料の場合、導電性ネットとして、線幅
やピッチなどの規格が決まった金網や、織物繊維または
編物繊維をメッキしたものが使われているため、ネット
の線幅やピッチなどの設計が著しく制限を受けていた。
そのため、視認性や電磁波シールド効果の点で最適とな
る設計で導電性ネットが得られず、視認性に劣ったり、
電磁波シールド効果が低かった。
However, in the case of the light-transmitting electromagnetic wave shielding material of 1), the conductive net is formed by plating a wire mesh or a woven fiber or a knitted fiber having a standard such as a line width and a pitch. , The design of the line width and pitch of the net was severely restricted.
For this reason, a conductive net cannot be obtained with a design that is optimal in terms of visibility and electromagnetic wave shielding effect, and visibility is poor,
The electromagnetic wave shielding effect was low.

【0006】また、2)の透光性電磁波シールド材料の
場合、金膜では金属光沢が出るために視認性が悪く、I
TO膜では導電性が低いために電磁波シールド効果が低
かった。
In the case of the light-transmitting electromagnetic wave shielding material 2), visibility is poor due to the metallic luster of the gold film.
Since the TO film has low conductivity, the electromagnetic wave shielding effect was low.

【0007】したがって、本発明は、視認性が優れ、電
磁波シールド効果も高い透光性電磁波シールド材料とそ
の製造方法を提供することを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a translucent electromagnetic wave shielding material having excellent visibility and a high electromagnetic wave shielding effect, and a method for producing the same.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の透光性電磁波シールド材料は、透明基体
上に金属層がパターン状に積層され、金属層上に金属層
と見当一致した黒色電気析出層が積層されているように
構成した。
In order to achieve the above-mentioned object, a light-transmitting electromagnetic wave shielding material according to the present invention has a metal layer laminated on a transparent substrate in a pattern, and the metal layer is registered on the metal layer. It was configured such that the matched black electrodeposition layers were laminated.

【0009】また、黒色電気析出層は、アース部を除い
て金属層と見当一致するように積層してもよい。
The black electrodeposition layer may be laminated so as to be in register with the metal layer except for the ground portion.

【0010】また、上記各構成において、黒色電気析出
層を、イオン性高分子中に黒色系粒子を含むもの、ある
いは黒色系の導電性高分子からなるもの、黒色系の色調
を有する電気めっき被膜で構成した。上記イオン性高分
子としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリブ
タジエン樹脂、マレイン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン
樹脂、ポリアミド樹脂あるいはその変性体をアミノ化ま
たはカルボキシル化したものを用いることができる。ま
た、上記黒色系粒子としては、カーボンブラック、チタ
ンブラック、アニリンブラックを用いることができる。
また、上記導電性高分子としては、ピロール、アニリ
ン、チオフェンおよびその誘導体の重合物を用いること
ができる。また、上記黒色系の色調を有する電気めっき
被膜としては、ニッケル系、クロム系、ロジウム系、ス
ズ-ニッケル-銅三元合金系またはスズ-ニッケル-モリブ
デン三元合金系とすることができる。
In each of the above structures, the black electrodeposited layer may be a layer containing black particles in an ionic polymer, a layer made of a black conductive polymer, or an electroplated film having a black color tone. It consisted of. As the above-mentioned ionic polymer, an acrylic resin, a polyester resin, a polybutadiene resin, a maleic resin, an epoxy resin, a urethane resin, a polyamide resin or a modified product thereof, which is aminated or carboxylated, can be used. In addition, carbon black, titanium black, and aniline black can be used as the black particles.
Further, as the conductive polymer, a polymer of pyrrole, aniline, thiophene, and a derivative thereof can be used. Further, the electroplating film having the black color tone may be a nickel-based, chromium-based, rhodium-based, tin-nickel-copper ternary alloy-based, or tin-nickel-molybdenum ternary alloy-based.

【0011】本発明の透光性電磁波シールド材料の製造
方法は、透明基体上に金属層をパターン状に積層する工
程と、黒色系粒子を含むイオン性高分子の溶液中に前工
程で金属層を積層した透明基体を対向電極と共に浸漬し
て通電することにより金属層上に黒色電気析出層を積層
する工程よりなるように構成した。
According to the method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material of the present invention, a step of laminating a metal layer in a pattern on a transparent substrate and a step of laminating the metal layer in a solution of an ionic polymer containing black particles in a preceding step are performed. The transparent substrate on which was laminated was immersed together with the counter electrode, and a current was applied to the transparent substrate to laminate the black electrodeposition layer on the metal layer.

【0012】また、本発明の透光性電磁波シールド材料
の製造方法は、透明基体上に金属層をパターン状に積層
する工程と、導電性高分子のモノマーの溶液中に前工程
で金属層を積層した透明基体を対向電極と共に浸漬して
通電することにより金属層上に黒色電気析出層を積層す
る工程よりなるように構成した。
The method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material according to the present invention includes a step of laminating a metal layer on a transparent substrate in a pattern, and a step of forming a metal layer in a solution of a monomer of a conductive polymer in a previous step. The laminated transparent substrate was immersed together with the counter electrode and energized to form a black electrodeposition layer on the metal layer.

【0013】また、本発明の透光性電磁波シールド材料
の製造方法は、透明基体上に金属層をパターン状に積層
する工程と、黒色系の色調を有する電気めっき被膜を形
成するめっき液中に前工程で金属層を積層した透明基体
を対向電極と共に浸漬して通電することにより金属層上
に黒色電気析出層を積層する工程よりなるように構成し
た。
The method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material according to the present invention comprises a step of laminating a metal layer in a pattern on a transparent substrate, and a method of forming an electroplating film having a black color tone in a plating solution. The transparent substrate on which the metal layer was laminated in the previous step was immersed together with the counter electrode and energized to form a step of laminating a black electrodeposition layer on the metal layer.

【0014】また、上記製造方法にかかる各構成におい
て、黒色電気析出層を積層する前にパターン状の金属層
上の一部にマスク層を積層しておき、その上に黒色電気
析出層を積層した後にマスク層を除去して金属層の露出
した部分をアース部としてもよい。
In each of the above-described manufacturing methods, a mask layer is laminated on a part of the patterned metal layer before the black electrodeposition layer is laminated, and the black electrodeposition layer is laminated on the mask layer. After that, the mask layer may be removed and the exposed portion of the metal layer may be used as a ground portion.

【0015】あるいは、上記製造方法にかかる各構成に
おいて、マスク層を用いずにパターン状の金属層上に黒
色電気析出層を積層した後に黒色電気析出層の一部を除
去して金属層の露出した部分をアース部としてもよい。
Alternatively, in each configuration according to the above-described manufacturing method, a black electrodeposition layer is laminated on a patterned metal layer without using a mask layer, and then a part of the black electrodeposition layer is removed to expose the metal layer. The part that has been set may be used as a ground part.

【0016】また、上記製造方法にかかる各構成におい
て、透明基体全面に金属層を積層する工程と、金属層上
にポジ型レジスト層をパターン状に積層する工程、ポジ
型レジスト層で覆われていない部分の金属層をエッチン
グにより除去する工程、一部を残してポジ型レジスト層
を露光および現像により除去する工程を経た後に金属層
上に黒色電気析出層を積層し、残存のポジ型レジスト層
を除去して金属層の露出した部分をアース部としてもよ
い。
In each of the above structures, a step of laminating a metal layer over the entire surface of the transparent substrate, a step of laminating a positive resist layer on the metal layer in a pattern, and a step of covering with a positive resist layer. After the step of removing the metal layer of the non-existing part by etching, the step of exposing and developing the positive resist layer while leaving a part, a black electrodeposition layer is laminated on the metal layer, and the remaining positive resist layer And the exposed portion of the metal layer may be used as a ground portion.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながらこの発
明の実施の形態をさらに詳しく説明する。図1および図
8、図10、図12は本発明の透光性電磁波シールド材
料の製造工程の一実施例を示す模式図、図2〜5は黒色
電気析出層のパターンの一実施例を示す模式図、図6お
よび図9、図11、図13は本発明の黒色電気析出層を
金属層上に析出させる装置を示す模式図、図7はアース
部を有する透光性電磁波シールド材料の一実施例を示す
模式図である。1は透明基体、2は金属層、3は黒色電
気析出層、4は対向電極、5はアース部、6は透光性電
磁波シールド部、7はマスク層、8はポジ型レジスト層
をそれぞれ示す。
Embodiments of the present invention will be described below in more detail with reference to the drawings. FIGS. 1, 8, 10, and 12 are schematic diagrams showing one embodiment of a manufacturing process of the translucent electromagnetic wave shielding material of the present invention, and FIGS. 2 to 5 show one embodiment of a pattern of a black electrodeposition layer. FIG. 6, FIG. 6, FIG. 9, FIG. 11, and FIG. 13 are schematic diagrams showing an apparatus for depositing a black electrodeposition layer on a metal layer according to the present invention, and FIG. 7 is one example of a translucent electromagnetic wave shielding material having an earth portion. It is a schematic diagram which shows an Example. 1 is a transparent substrate, 2 is a metal layer, 3 is a black electrodeposition layer, 4 is a counter electrode, 5 is a ground portion, 6 is a translucent electromagnetic wave shield portion, 7 is a mask layer, and 8 is a positive resist layer. .

【0018】図1に示す透光性電磁波シールド材料の製
造工程は、まず第一に、透明基体1に金属層2をパター
ン状に設ける(図1a参照)。
In the manufacturing process of the translucent electromagnetic wave shielding material shown in FIG. 1, first, a metal layer 2 is provided on a transparent substrate 1 in a pattern (see FIG. 1A).

【0019】透明基体1の材質としては、ガラス、アク
リル系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレン樹
脂、AS樹脂、酢酸ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポ
リプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリサルホン樹
脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリ塩化ビニルのよう
に透明なものであればよい。また、透明基体1は、板、
フィルムなどがある。
The material of the transparent substrate 1 includes glass, acrylic resin, polycarbonate resin, polyethylene resin, AS resin, vinyl acetate resin, polystyrene resin, polypropylene resin, polyester resin, polysulfone resin, polyethersulfone resin, and polychlorinated resin. What is necessary is just to be transparent like vinyl. Further, the transparent substrate 1 is a plate,
There are films.

【0020】金属層2の材質としては、たとえば、金、
銀、銅、鉄、ニッケル、クロムなど、充分に電磁波をシ
ールドできる程度の導電性を持つものを使用する。ま
た、金属層2は単体でなくても、合金あるいは多層であ
ってもよい。金属層2の形成方法としては、蒸着、スパ
ッタリング、イオンプレーティングなどの気相から析出
させる方法、金属箔を貼り合わせる方法、透明基体1表
面を無電解メッキする方法などがある。金属層2の膜厚
は、0.1μm〜50μmとするのが好ましい。50μ
mを超えるとパターンを精度よく仕上げるのが困難にな
り、0.1μmより小さいと電磁波シールド効果を保つ
ために必要最低限の導電性が安定して確保できなくな
る。
The material of the metal layer 2 is, for example, gold,
Use a conductive material such as silver, copper, iron, nickel, and chromium that can sufficiently shield electromagnetic waves. Further, the metal layer 2 is not limited to a simple substance, but may be an alloy or a multilayer. Examples of the method of forming the metal layer 2 include a method of depositing from a gas phase such as vapor deposition, sputtering, and ion plating, a method of attaching a metal foil, and a method of electrolessly plating the surface of the transparent substrate 1. It is preferable that the thickness of the metal layer 2 be 0.1 μm to 50 μm. 50μ
If it exceeds m, it becomes difficult to finish the pattern with high accuracy, and if it is less than 0.1 μm, it becomes impossible to stably secure the minimum necessary conductivity for maintaining the electromagnetic wave shielding effect.

【0021】金属層2をパターン化する方法として、透
明基体1全面に金属層2を設けてそれをフォトリソグラ
フィー等を用いる方法がある。また、あらかじめ導電性
金属膜のパターンをつくっておき、それを透明基体1に
貼り合わせるのもよい。金属層2のパターンは、たとえ
ば、格子状(図2参照)、ハニカム状(図3参照)、ラ
ダー状(図4参照)、逆水玉状(図5参照)などのパタ
ーンがある。
As a method for patterning the metal layer 2, there is a method in which the metal layer 2 is provided on the entire surface of the transparent substrate 1, and the metal layer 2 is subjected to photolithography or the like. Alternatively, a pattern of a conductive metal film may be formed in advance, and the pattern may be bonded to the transparent substrate 1. The pattern of the metal layer 2 has, for example, a lattice shape (see FIG. 2), a honeycomb shape (see FIG. 3), a ladder shape (see FIG. 4), a reverse polka dot shape (see FIG. 5), and the like.

【0022】次に、このパターン化された金属層2上
に、金属層2と見当一致した黒色電気析出層3を積層す
る(図1b参照)。
Next, on the patterned metal layer 2, a black electrodeposition layer 3 which is in register with the metal layer 2 is laminated (see FIG. 1b).

【0023】黒色電気析出層3は、金属層2表面の反射
を抑えて視認性を高めるための層であり、たとえば、イ
オン性高分子中に黒色系粒子を含有させたものがある。
このような黒色電気析出層3を積層するには、黒色系粒
子を含むイオン性高分子の溶液中に前工程で金属層2を
積層した透明基体1を対向電極4と共に浸漬し、通電す
ればいい(図6参照)。
The black electrodeposition layer 3 is a layer for suppressing the reflection on the surface of the metal layer 2 to enhance visibility, and for example, there is a layer in which black particles are contained in an ionic polymer.
In order to laminate such a black electrodeposition layer 3, the transparent substrate 1 on which the metal layer 2 has been laminated in the previous step is immersed in a solution of an ionic polymer containing black particles together with the counter electrode 4 and energized. Good (see Figure 6).

【0024】黒色系粒子としては、カーボンブラック、
チタンブラック、アニリンブラックなどがある。また、
黒色系粒子の替わりに黒色系以外の粒子をいくつか組み
合わせて、実質的に黒色系を呈するようにしてもよい。
なお、本発明でいう黒色系とは、真黒以外の、たとえ
ば、黒っぽい茶色とか、黒っぽい緑色とかも含む。イオ
ン性高分子としては、アクリル樹脂、ポリエステル樹
脂、ポリブタジエン樹脂、マレイン樹脂、エポキシ樹
脂、ウレタン樹脂、ポリアミド樹脂あるいはその変性体
をアミノ化またはカルボキシル化したものを用いる。こ
れらイオン性高分子の水溶液中への含有量は、固形分1
〜30重量部である。また、通電時の条件を安定させた
り、黒色電気析出層3の導電性、機械的表面性などを向
上させたりする目的で無機塩、有機塩、界面活性剤、有
機溶剤などの添加剤をイオン性高分子の溶液に加えても
よい。
As the black particles, carbon black,
There are titanium black, aniline black and the like. Also,
Instead of the black-based particles, some particles other than the black-based particles may be combined to have a substantially black-based appearance.
Note that the black type in the present invention includes, besides pure black, for example, a dark brown or a dark green. As the ionic polymer, an acrylic resin, a polyester resin, a polybutadiene resin, a maleic resin, an epoxy resin, a urethane resin, a polyamide resin or a modified product thereof, which is aminated or carboxylated, is used. The content of these ionic polymers in the aqueous solution is 1 solid content.
-30 parts by weight. In addition, additives such as inorganic salts, organic salts, surfactants, and organic solvents are used to stabilize the conditions at the time of energization and to improve the conductivity and mechanical surface properties of the black electrodeposition layer 3. May be added to the solution of the conductive polymer.

【0025】通電は、透明基体1に積層された金属層2
の一部を液界面から上に露出させるか絶縁被覆したリー
ド線をつなぎ、対向電極4との間に1〜300Vの電圧
をかければよい。
Electric current is applied to the metal layer 2 laminated on the transparent substrate 1.
Is exposed from the liquid interface or a lead wire coated with insulation is connected, and a voltage of 1 to 300 V may be applied to the counter electrode 4.

【0026】また、黒色電気析出層3は、黒色系の導電
性高分子からなるものでもよい。このような黒色電気析
出層3を積層するには、導電性高分子のモノマーの溶液
中に前工程で金属層2を積層した透明基体1を対向電極
4と共に浸漬し、通電すればいい(図6参照)。いわゆ
る電解重合である。
The black electrodeposition layer 3 may be made of a black conductive polymer. In order to laminate such a black electrodeposited layer 3, the transparent substrate 1 on which the metal layer 2 has been laminated in the previous step is immersed in a solution of a monomer of a conductive polymer together with the counter electrode 4 and energized (FIG. 6). This is so-called electrolytic polymerization.

【0027】導電性高分子のモノマーとしては、ピロー
ル、アニリン、チオフェンおよびその誘導体などより選
ばれる。また、モノマーを溶解させるための溶媒として
は、水、アセトニトリル、プロピオンカーボネイト、テ
トラヒドロフラン、ニトロメタン、メタノール、エタノ
ール、スルホランなどがある。
The monomer of the conductive polymer is selected from pyrrole, aniline, thiophene and derivatives thereof. Examples of the solvent for dissolving the monomer include water, acetonitrile, propion carbonate, tetrahydrofuran, nitromethane, methanol, ethanol, and sulfolane.

【0028】なお、通電を安定化しかつ電気化学的にド
ーピングするため、導電性高分子のモノマーの溶液中に
ドーパントを溶液中に加えて行う。ドーパントとして
は、過塩素酸リチウム、ホウフッ化テトラアルキルアン
モニウム、硫酸などがある。さらに、黒色電気析出層3
の形成をより安定に行うためには、参照電極を用いて電
位をコントロールするのが望ましい。また、通電方法と
しては、定電位電解法、定電流電解法の他、周期的に電
位を上下させる方法がある。
In order to stabilize the current supply and perform electrochemical doping, a dopant is added to the solution of the conductive polymer monomer in the solution. Examples of the dopant include lithium perchlorate, tetraalkylammonium borofluoride, and sulfuric acid. Furthermore, the black electrodeposition layer 3
In order to more stably form GaN, it is desirable to control the potential using a reference electrode. Further, as a method of energization, there is a method of periodically increasing and decreasing the potential, in addition to the constant potential electrolysis method and the constant current electrolysis method.

【0029】析出した導電性高分子の色は、通電時の条
件、重合程度、モノマーの種類などにより様々な色を呈
するが、一般的には黒色系であり、金属層2表面の反射
を抑えることができる。黒色電気析出層3の膜厚は、
0.1μm〜10μmとするのが好ましい。10μmを
超えると上記パターンを精度よく仕上げるのが困難にな
り、0.1μmより小さいと充分な遮光性を保てず金属
層2表面の反射を抑えにくくなる。
The color of the deposited conductive polymer exhibits various colors depending on the conditions at the time of energization, the degree of polymerization, the type of monomer, etc., but is generally black and suppresses reflection on the surface of the metal layer 2. be able to. The thickness of the black electrodeposition layer 3 is
The thickness is preferably 0.1 μm to 10 μm. If it exceeds 10 μm, it becomes difficult to finish the above pattern with high accuracy, and if it is less than 0.1 μm, sufficient light-shielding properties cannot be maintained and it is difficult to suppress reflection on the surface of the metal layer 2.

【0030】また、黒色電気析出層3については、上記
した二例の他に、荷電性の黒色系粒子からなる黒色電気
析出層3や、製造工程においてミセル中に黒色系粒子を
含む溶液を用いるものなどが得られると予想される。
As the black electrodeposition layer 3, in addition to the above two examples, a black electrodeposition layer 3 composed of charged black particles or a solution containing black particles in micelles in the production process is used. It is expected that things will be obtained.

【0031】また、黒色電気析出層3としては、黒色系
の色調を有する電気めっき被膜を用いてもよい。このよ
うな黒色電気析出層3を積層するには、黒色系の色調を
有する被膜を形成する電気めっき液溶液中に前工程で金
属層2を積層した透明基体1を浸漬し、通電すればよい
(図6参照)。
As the black electrodeposition layer 3, an electroplating film having a black color tone may be used. In order to laminate such a black electrodeposited layer 3, the transparent substrate 1 on which the metal layer 2 has been laminated in the previous step may be immersed in an electroplating solution for forming a film having a black color tone, and then energized. (See FIG. 6).

【0032】黒色系の色調を有する電気めっき被膜とし
ては、ニッケル系、クロム系、ロジウム系、スズ-ニッ
ケル-銅三元合金系またはスズ-ニッケル-モリブデン三
元合金系のものを用いることができる。なお、本発明で
いう黒色系とは、真黒以外の、たとえば、黒っぽい茶色
とか、黒っぽい緑色とかも含む。
As the electroplated film having a black color tone, a nickel-based, chromium-based, rhodium-based, tin-nickel-copper ternary alloy-based or tin-nickel-molybdenum ternary alloy-based one can be used. . Note that the black type in the present invention includes, besides pure black, for example, a dark brown or a dark green.

【0033】電気めっきの方法としては、たとえば金属
層2を積層した透明基体1をラックに納めたり、吊るし
たりして浸漬、通電してめっきする方法、スプレーノズ
ルからめっき液を金属層2を積層した透明基体1に噴射
しながら通電してめっきする方法などがある。また、金
属層2を積層した透明基体1が巻き取り可能なフィルム
状の場合は、連続(フープ)めっき法を用いることもで
きる。
As a method of electroplating, for example, a method in which a transparent substrate 1 on which a metal layer 2 is laminated is placed in a rack or hung, dipped, and energized to perform plating, or a plating solution is deposited on a metal layer 2 from a spray nozzle. There is a method of plating while energizing while spraying the transparent substrate 1 thus formed. In the case where the transparent substrate 1 on which the metal layer 2 is laminated is in the form of a film that can be wound, a continuous (hoop) plating method can be used.

【0034】析出した電気めっき被膜の色調は、通電時
の条件、めっき液成分の組成等により微妙に異なるが、
基本的には黒色系であり、金属層2表面の反射を抑える
ことができる。黒色電気析出層3の膜厚は、0.1μm
〜10μmとするのが好ましい。10μmを超えると上
記パターンを精度よく仕上げるのが困難になり、0.1
μmより小さいと充分な遮光性を保てず金属層2表面の
反射を抑えにくくなる。
The color tone of the deposited electroplated film slightly varies depending on the conditions at the time of energization, the composition of the plating solution components, and the like.
Basically, it is a black type, and can suppress reflection on the surface of the metal layer 2. The thickness of the black electrodeposition layer 3 is 0.1 μm
The thickness is preferably from 10 to 10 μm. If it exceeds 10 μm, it becomes difficult to finish the above pattern with high precision,
If it is smaller than μm, sufficient light-shielding properties cannot be maintained, and it is difficult to suppress reflection on the surface of the metal layer 2.

【0035】このようにして透明基体1上に形成された
金属層2と黒色電気析出層3が強度的に弱い場合は、必
要に応じて金属層2と黒色電気析出層3を形成した側に
保護層を塗布やフィルムラミネートにより設けてもよ
い。保護層の材質としては、保護層に様々な機能、例え
ばノングレア機能、帯電防止機能、アンチニュートンリ
ング機能などを含ませることができるので、各機能に応
じた材質を選択すればよく、特に限定されない。また、
本発明の透光性電磁波シールド材料は、通常、透明基体
1の金属層2および黒色電気析出層3を積層した面より
透視するように使用するが、金属層2が透明性を有する
程度に薄く形成される場合には、透明基体1側より透視
するように使用することもできる。
If the metal layer 2 and the black electrodeposition layer 3 formed on the transparent substrate 1 in this manner are weak in strength, the side where the metal layer 2 and the black electrodeposition layer 3 are formed may be provided if necessary. The protective layer may be provided by coating or film lamination. As the material of the protective layer, various functions can be included in the protective layer, for example, a non-glare function, an antistatic function, an anti-Newton ring function, and the like.Therefore, a material according to each function may be selected, and there is no particular limitation. . Also,
The translucent electromagnetic wave shielding material of the present invention is usually used so as to be seen through from the surface on which the metal layer 2 and the black electrodeposition layer 3 of the transparent substrate 1 are laminated, but is thin enough to have transparency. When formed, it can be used so as to be seen through from the transparent substrate 1 side.

【0036】また、透光性電磁波シールド材料はアース
をとる必要があり、その手段はいろいろあるがシールド
材料の黒色電気析出層3を形成した面で金属層2を一部
露出させるのが一番簡単である。すなわち、透明基体1
上に金属層2がパターン状に積層され、金属層2上にア
ース部5を除いて金属層2と見当一致した黒色電気析出
層3が積層されているように透光性電磁波シールド材料
を構成する。アース部5としては、たとえば透光性電磁
波シールド部6を囲む枠状部分(図7参照)や透光性電
磁波シールド部6の端辺に隣接する棒状部分などがあ
る。
The translucent electromagnetic wave shielding material needs to be grounded, and there are various means, but it is most preferable to partially expose the metal layer 2 on the surface where the black electrodeposition layer 3 of the shielding material is formed. Easy. That is, the transparent substrate 1
The translucent electromagnetic wave shielding material is configured such that the metal layer 2 is laminated on the metal layer 2 in a pattern, and the black electrodeposition layer 3 which is aligned with the metal layer 2 except for the ground portion 5 is laminated on the metal layer 2. I do. The grounding portion 5 includes, for example, a frame portion (see FIG. 7) surrounding the translucent electromagnetic wave shield portion 6 and a rod-shaped portion adjacent to an end of the translucent electromagnetic wave shield portion 6.

【0037】アース部5を有する透光性電磁波シールド
材料を製造するには、図8〜13に示すような工程で行
なう。
In order to manufacture a light-transmitting electromagnetic wave shielding material having the ground portion 5, a process as shown in FIGS.

【0038】図8に示す透光性電磁波シールド材料の製
造工程は、まず第一に、透明基体1に金属層2をパター
ン状に積層する(図8a参照)。
In the manufacturing process of the translucent electromagnetic wave shielding material shown in FIG. 8, first, the metal layer 2 is laminated on the transparent substrate 1 in a pattern (see FIG. 8A).

【0039】次に、金属層2上の一部にマスク層7を積
層する(図8b参照)。マスク層7は、金属層2をパタ
ーン化する際に金属層2のアース部5となる部分をエッ
チング液より保護し、パターン化完了後には剥離除去さ
れる層である。マスク層7には、一般に市販されている
印刷レジストやフォトレジスト材料を用いる。マスク層
7の形成方法としては、印刷レジスト材料を用いてスク
リーン印刷法などにて金属層2上の一部に形成したり、
フォトレジスト材料を用いてロールコーティング法、ス
ピンコーティング法、全面印刷法、転写法などにより金
属層2上にベタ形成し、フォトマスクを用いて露光し、
現像して部分的に形成したものである。
Next, a mask layer 7 is laminated on a part of the metal layer 2 (see FIG. 8B). The mask layer 7 is a layer that protects a portion of the metal layer 2 serving as the ground portion 5 from being etched when the metal layer 2 is patterned, and that is removed after patterning is completed. For the mask layer 7, a printing resist or a photoresist material which is generally commercially available is used. The mask layer 7 may be formed on a part of the metal layer 2 by a screen printing method using a printing resist material,
Using a photoresist material, a solid coating is formed on the metal layer 2 by a roll coating method, a spin coating method, a full-surface printing method, a transfer method, and the like, and is exposed using a photomask,
It is partially formed by development.

【0040】次に、金属層2上に黒色電気析出層3を積
層した後(図8c参照)、マスク層7を除去して金属層
2の露出した部分をアース部5とする(図8d参照)。
この結果、透明基体1上に金属層2がパターン状に積層
され、金属層2上にアース部を除いて金属層2と見当一
致した黒色電気析出層3が積層されている透光性電磁波
シールド材料が得られる。マスク層7を除去する方法と
しては、たとえば剥離液により溶解除去する方法などが
ある。なお、図9はこの方法における黒色電気析出層3
を積層するための析出装置である。
Next, after laminating the black electrodeposition layer 3 on the metal layer 2 (see FIG. 8C), the mask layer 7 is removed and the exposed portion of the metal layer 2 is used as the ground part 5 (see FIG. 8D). ).
As a result, a translucent electromagnetic wave shield in which the metal layer 2 is laminated on the transparent substrate 1 in a pattern, and the black electrodeposition layer 3 which coincides with the metal layer 2 except for the ground portion is laminated on the metal layer 2. The material is obtained. As a method for removing the mask layer 7, for example, there is a method for dissolving and removing with a stripping solution. FIG. 9 shows the black electrodeposition layer 3 in this method.
This is a deposition device for stacking.

【0041】また、図10に示すアース部5を有する透
光性電磁波シールド材料の製造工程は、マスク層7を用
いずにアース部5を形成するものである。すなわち、透
明基体1上に金属層2をパターン状に積層し(図10a
参照)、金属層2上に黒色電気析出層3を積層した後
(図10b参照)、黒色電気析出層3の一部を除去して
金属層2の露出した部分をアース部5とする(図10c
参照)。黒色電気析出層3の一部を除去する方法として
は、たとえば接着性のテープなどに接着させて剥離する
方法、機械的に削りとる方法などがある。なお、図11
はこの方法における黒色電気析出層3を積層するための
析出装置である。
In the manufacturing process of the light-transmitting electromagnetic wave shielding material having the ground portion 5 shown in FIG. 10, the ground portion 5 is formed without using the mask layer 7. That is, the metal layer 2 is laminated in a pattern on the transparent substrate 1 (FIG. 10A).
After the black electrodeposition layer 3 is laminated on the metal layer 2 (see FIG. 10B), a part of the black electrodeposition layer 3 is removed and the exposed portion of the metal layer 2 is used as a ground portion 5 (see FIG. 10B). 10c
reference). As a method for removing a part of the black electrodeposited layer 3, for example, there is a method in which the black electrodeposited layer is adhered to an adhesive tape or the like, and a method in which it is mechanically scraped off. Note that FIG.
Is a deposition apparatus for laminating the black electrodeposition layer 3 in this method.

【0042】また、図12に示すアース部5を有する透
光性電磁波シールド材料の製造工程は、透明基体1上に
金属層2をパターン状に積層する工程で使用したポジ型
レジスト層8を加工してマスク層7の代わりとする方法
である。すなわち、透明基体1全面に金属層2を積層し
(図12a参照)、金属層2上にポジ型レジスト層8を
パターン状に積層した後(図12b参照)、ポジ型レジ
スト層8で覆われていない部分の金属層2をエッチング
により除去する(図12c参照)。次いで、一部を残し
てポジ型レジスト層8を露光および現像により除去し
(図12d参照)、金属層2上に黒色電気析出層3を積
層した後(図12e参照)、残存のポジ型レジスト層8
を除去して金属層2の露出した部分をアース部5とする
(図12f参照)。なお、図13はこの方法における黒
色電気析出層3を積層するための析出装置である。
The manufacturing process of the light-transmitting electromagnetic wave shielding material having the ground portion 5 shown in FIG. 12 is performed by processing the positive resist layer 8 used in the step of laminating the metal layer 2 on the transparent substrate 1 in a pattern. Then, the mask layer 7 is used instead. That is, the metal layer 2 is laminated on the entire surface of the transparent substrate 1 (see FIG. 12A), the positive resist layer 8 is laminated on the metal layer 2 in a pattern (see FIG. 12B), and then covered with the positive resist layer 8. The remaining metal layer 2 is removed by etching (see FIG. 12C). Next, the positive resist layer 8 is removed by exposure and development while leaving a part (see FIG. 12d), and after the black electrodeposition layer 3 is laminated on the metal layer 2 (see FIG. 12e), the remaining positive resist is removed. Layer 8
Is removed to make the exposed portion of the metal layer 2 a ground portion 5 (see FIG. 12F). FIG. 13 shows a deposition apparatus for laminating the black electrodeposition layer 3 in this method.

【0043】[0043]

【実施例】【Example】

実施例1 厚さ35μmの銅箔を貼り合わせた厚さ100μmのポ
リエステルフィルムの金属層を、フォトリソグラフィー
で線幅10μm、目の大きさ100×100μmの格子
状にパターン化した。これに導電線を接続し、カーボン
ブラック1%、アミノ化エポキシ化ポリブタジエン(数
平均分子量約1000)20%、トリエチルアミン1%を
含んだ水溶液中に浸漬し、10Vの電圧を1分かけて厚
さ1μmの黒色電気析出層を形成した。この基板を60
℃で30分乾燥し、冷却後この上にフィルムをラミネー
トして透光性電磁波シールド材料を得た。
Example 1 A metal layer of a polyester film having a thickness of 100 μm to which a copper foil having a thickness of 35 μm was bonded was patterned by photolithography into a lattice shape having a line width of 10 μm and a mesh size of 100 × 100 μm. A conductive wire was connected to this, immersed in an aqueous solution containing 1% of carbon black, 20% of aminated epoxidized polybutadiene (number-average molecular weight: about 1000), and 1% of triethylamine. A 1 μm black electrodeposition layer was formed. This substrate is
After drying at 30 ° C. for 30 minutes, and after cooling, a film was laminated thereon to obtain a translucent electromagnetic wave shielding material.

【0044】このようにして得られた透光性電磁波シー
ルド材料は、視認性が優れ、シールド効果も高いもので
あった。
The light-transmitting electromagnetic wave shielding material thus obtained had excellent visibility and a high shielding effect.

【0045】実施例2 透明基体として厚さ100μmのポリメチルメタクリレ
ートフィルムを用い、その一面にニッケル蒸着して厚さ
0.2μmの金属層を設けた。この金属層をフォトリソ
グラフィーにより線幅20μm、目の直径200μmの
ハニカム状にパターン化した。この金属層に導電線を接
続し、カーボンブラック1%、マレイン化ポリブタジエ
ン15%、トリエチルアミン1%を含んだ水溶液中に浸漬
し、30Vの電圧を5分かけて厚さ1μmの黒色電気析
出層を形成した。この基板を60℃で30分乾燥し、冷
却後この上にフィルムをラミネートして透光性電磁波シ
ールド材料を得た。
Example 2 A polymethyl methacrylate film having a thickness of 100 μm was used as a transparent substrate, and a metal layer having a thickness of 0.2 μm was formed on one side of the film by nickel vapor deposition. This metal layer was patterned into a honeycomb shape having a line width of 20 μm and an eye diameter of 200 μm by photolithography. A conductive wire was connected to the metal layer, immersed in an aqueous solution containing 1% of carbon black, 15% of maleated polybutadiene and 1% of triethylamine, and a voltage of 30 V was applied for 5 minutes to form a black electrodeposited layer having a thickness of 1 μm. Formed. This substrate was dried at 60 ° C. for 30 minutes, and after cooling, a film was laminated thereon to obtain a light-transmitting electromagnetic wave shielding material.

【0046】このようにして得られた透光性電磁波シー
ルド材料は、視認性が優れ、シールド効果も高いもので
あった。
The light-transmitting electromagnetic wave shielding material thus obtained had excellent visibility and a high shielding effect.

【0047】実施例3 透明基体として厚さ3mmのアクリル板を用い、その一
面にアクリル樹脂(三菱レイヨン社製BR−77)を塗
布し1%水酸化カリウム中に5分間浸漬した後、塩化パ
ラジウム/塩化錫コロイド溶液に浸漬し、1%水酸化カ
リウム中に1分間浸漬し、無電解ニッケルメッキを施し
た。次にフォトリソグラフィーにより金属層を線幅30
μm、目の大きさ150×150μmの格子状にパター
ン化した。この金属層に導電線を接続し、チタンブラッ
ク1%、アミノ化エポキシ化ポリブタジエン20%、トリ
エチルアミン1%を含んだ水溶液中に浸漬し、30Vの電
圧を3分かけて厚さ1μmの黒色電気析出層を形成し
た。この基板を60℃で30分乾燥し、冷却後この上に
フィルムをラミネートして透光性電磁波シールド材料を
得た。
Example 3 An acrylic plate having a thickness of 3 mm was used as a transparent substrate, and an acrylic resin (BR-77 manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) was applied on one surface of the plate and immersed in 1% potassium hydroxide for 5 minutes. / Tin chloride colloid solution, dipped in 1% potassium hydroxide for 1 minute, and subjected to electroless nickel plating. Next, the metal layer is formed with a line width of 30 by photolithography.
The pattern was formed into a grid having a size of 150 μm and a mesh size of 150 × 150 μm. A conductive wire is connected to this metal layer, immersed in an aqueous solution containing 1% of titanium black, 20% of aminated epoxidized polybutadiene and 1% of triethylamine, and applied with a voltage of 30 V for 3 minutes to give a black electrodeposit of 1 μm in thickness. A layer was formed. This substrate was dried at 60 ° C. for 30 minutes, and after cooling, a film was laminated thereon to obtain a light-transmitting electromagnetic wave shielding material.

【0048】このようにして得られた透光性電磁波シー
ルド材料は、視認性が優れ、シールド効果も高いもので
あった。
The light-transmitting electromagnetic wave shielding material thus obtained had excellent visibility and a high shielding effect.

【0049】実施例4 厚さ0.3μmのニッケルを蒸着した厚さ1.1mmの
ホウケイ酸ガラス板の金属層を、フォトリソグラフィー
で内径100μm、ピッチ110μmの逆水玉状にパター
ン化した。この金属層に導電線を接続し、さらに、ピロ
ール0.5M、硫酸0.5M、ホウフッ化テトラエチル
アンモニウム0.2Mを含むアセトニリル溶液に浸漬
し、対向電極として白金板、参照電極として飽和カロメ
ル電極を設置し、0.8Vvs.SCEで3分間通電して厚さ
1μmの黒色電気析出層を形成した。その後60℃で3
0分乾燥し、冷却後この上にフィルムをラミネートして
透光性電磁波シールド材料を得た。
Example 4 A metal layer of a borosilicate glass plate having a thickness of 1.1 mm on which nickel having a thickness of 0.3 μm was vapor-deposited was patterned by photolithography into an inverted polka dot shape having an inner diameter of 100 μm and a pitch of 110 μm. A conductive wire was connected to this metal layer, and further immersed in an acetonitrile solution containing 0.5 M of pyrrole, 0.5 M of sulfuric acid, and 0.2 M of tetraethylammonium borofluoride, and a platinum plate as a counter electrode and a saturated calomel electrode as a reference electrode. The electrode was placed and energized at 0.8 V vs. SCE for 3 minutes to form a black electrodeposited layer having a thickness of 1 μm. Then at 60 ° C 3
After drying for 0 minutes and cooling, a film was laminated thereon to obtain a light-transmitting electromagnetic wave shielding material.

【0050】このようにして得られた透光性電磁波シー
ルド材料は、視認性が優れ、シールド効果も高いもので
あった。
The translucent electromagnetic wave shielding material thus obtained was excellent in visibility and high in the shielding effect.

【0051】実施例5 厚さ35μmの銅箔を貼り合わせた厚さ100μmのポ
リエステルフィルムの金属層を、フォトリソグラフィー
で線幅10μm、目の大きさ100μm×100μmの格
子状にパターン化した。これに導電線を接続し、硫酸ニ
ッケル70g/l、硫酸ニッケルアンモニウム40g/
l、硫酸亜鉛20g/l、チオシアン酸ナトリウム20
g/lを含んだ55℃のめっき液中に浸漬し、1A/d
2の電流を3分かけて黒色電気析出層を形成した。こ
の基板を60℃で30分乾燥し、冷却後この上にフィル
ムをラミネートして電気めっき被膜が黒色系の色調を有
する透光性電磁波シールド材料を得た。
Example 5 A metal layer of a polyester film having a thickness of 100 μm to which a copper foil having a thickness of 35 μm was bonded was patterned by photolithography into a lattice shape having a line width of 10 μm and a mesh size of 100 μm × 100 μm. A conductive wire was connected to this, and nickel sulfate 70 g / l and nickel ammonium sulfate 40 g /
1, zinc sulfate 20 g / l, sodium thiocyanate 20
g / l of plating solution at 55 ° C containing 1 A / d
A current of m 2 was applied for 3 minutes to form a black electrodeposited layer. This substrate was dried at 60 ° C. for 30 minutes, and after cooling, a film was laminated thereon to obtain a light-transmitting electromagnetic wave shielding material having an electroplating film having a black color tone.

【0052】このようにして得られた透光性電磁波シー
ルド材料は、視認性が優れ、シールド効果も高いもので
あった。
The light-transmitting electromagnetic wave shielding material thus obtained had excellent visibility and a high shielding effect.

【0053】実施例6 透明基体として厚さ100μmのポリメチルメタクリレ
ートフィルムを用い、その一面にニッケル蒸着して厚さ
0.2μmの金属層を設けた。この金属層をフォトリソ
グラフィーにより線幅20μm、目の直径200μmのハ
ニカム状にパターン化した。この金属層に導電線を接続
し、三酸化クロム200g/l、酢酸バリウム4.5g
/l、硝酸ナトリウム8.5g/lを含んだ30℃のめ
っき液中に浸漬し、100A/dm2の電流を5分かけ
て厚さ1μmの黒色電気析出層を形成した。この基板を
60℃で30分乾燥し、冷却後この上にフィルムをラミ
ネートして電気めっき被膜が黒色系の色調を有する透光
性電磁波シールド材料を得た。
Example 6 A 100 μm thick polymethyl methacrylate film was used as a transparent substrate, and a metal layer having a thickness of 0.2 μm was provided on one side of the film by nickel vapor deposition. This metal layer was patterned into a honeycomb shape having a line width of 20 μm and an eye diameter of 200 μm by photolithography. A conductive wire was connected to this metal layer, and 200 g / l of chromium trioxide and 4.5 g of barium acetate were used.
/ L and 8.5 g / l of sodium nitrate were immersed in a plating solution at 30 ° C, and a current of 100 A / dm 2 was applied for 5 minutes to form a black electrodeposited layer having a thickness of 1 µm. This substrate was dried at 60 ° C. for 30 minutes, and after cooling, a film was laminated thereon to obtain a light-transmitting electromagnetic wave shielding material having an electroplating film having a black color tone.

【0054】このようにして得られた透光性電磁波シー
ルド材料は、視認性が優れ、シールド効果も高いもので
あった。
The light-transmitting electromagnetic wave shielding material thus obtained had excellent visibility and a high shielding effect.

【0055】実施例7 透明基体として厚さ3mmのアクリル板を用い、その一面
にアクリル樹脂(三菱レイヨン社製BR−77)を塗布
し1%水酸化カリウム中に5分間浸漬した後、塩化パラ
ジウム/塩化錫コロイド溶液に浸漬し、1%水酸化カリ
ウム中に1分間浸漬し、無電解ニッケルメッキを施し
た。次にフォトリソグラフィーにより金属層を線幅30
μm、目の大きさ150×150μmの格子状にパターン
化した。この金属層に導電線を接続し、ロジウム濃度
3.0g/l、硫酸濃度27g/lの、25℃のめっき
液中に浸漬し、4A/dm2の電流を5分かけて厚さ
0.4μmの黒色電気析出層を形成した。この基板を6
0℃で30分乾燥し、冷却後この上にフィルムをラミネ
ートして電気めっき被膜が黒色系の色調を有する透光性
電磁波シールド材料を得た。
Example 7 An acrylic plate having a thickness of 3 mm was used as a transparent substrate, an acrylic resin (BR-77, manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) was applied on one surface thereof, immersed in 1% potassium hydroxide for 5 minutes, and then palladium chloride. / Tin chloride colloid solution, dipped in 1% potassium hydroxide for 1 minute, and subjected to electroless nickel plating. Next, the metal layer is formed with a line width of 30 by photolithography.
The pattern was formed into a grid having a size of 150 μm and an eye size of 150 × 150 μm. A conductive wire was connected to the metal layer, immersed in a plating solution at 25 ° C. having a rhodium concentration of 3.0 g / l and a sulfuric acid concentration of 27 g / l, and subjected to a current of 4 A / dm 2 for 5 minutes. A black electrodeposited layer of 4 μm was formed. 6
After drying at 0 ° C. for 30 minutes, and after cooling, a film was laminated thereon to obtain a light-transmitting electromagnetic wave shielding material having an electroplated film having a black color tone.

【0056】このようにして得られた透光性電磁波シー
ルド材料は、視認性が優れ、シールド効果も高いもので
あった。
The light-transmitting electromagnetic wave shielding material obtained in this manner had excellent visibility and a high shielding effect.

【0057】実施例8 厚さ0.3μmのニッケルを蒸着した厚さ1.1mmの
ホウケイ酸ガラス板の金属層を、フォトリソグラフィー
で内径100μm、ピッチ110μmの逆水玉状にパタ
ーン化した。この金属層に導電線を接続し、ピロリン酸
カリウム200g/l、ピロリン酸スズ15g/l、硫
酸ニッケル15g/l、モリブデン酸ナトリウム105
g/l、グリシン20g/lを含む50℃のめっき溶液
に浸漬し、0.2A/dm2の電流を3分間通電して厚
さ1μmの黒色電気析出層を形成した。その後60℃で
30分乾燥し、冷却後この上にフィルムをラミネートし
て電気めっき被膜が黒色系の色調を有する透光性電磁波
シールド材料を得た。
Example 8 A metal layer of a borosilicate glass plate having a thickness of 1.1 mm on which nickel having a thickness of 0.3 μm was vapor-deposited was patterned by photolithography into an inverted polka dot shape having an inner diameter of 100 μm and a pitch of 110 μm. A conductive wire is connected to this metal layer, and potassium pyrophosphate 200 g / l, tin pyrophosphate 15 g / l, nickel sulfate 15 g / l, sodium molybdate 105
The electrode was immersed in a plating solution containing 50 g / l and glycine at 20 g / l at 50 ° C., and a current of 0.2 A / dm 2 was passed for 3 minutes to form a black electrodeposited layer having a thickness of 1 μm. Thereafter, the film was dried at 60 ° C. for 30 minutes, and after cooling, a film was laminated thereon to obtain a light-transmitting electromagnetic wave shielding material having an electroplated film having a black color tone.

【0058】このようにして得られた透光性電磁波シー
ルド材料は、視認性が優れ、シールド効果も高いもので
あった。
The light-transmitting electromagnetic wave shielding material thus obtained had excellent visibility and a high shielding effect.

【0059】実施例9 厚さ35μmの銅箔を貼り合わせた厚さ100μmのポ
リエステルフィルムの金属層を、フォトリソグラフィー
で線幅10μm、目の大きさ100μm×100μmの格
子状にパターン化した。次に、この金属層上にフィルム
の四方の端から幅10mmの帯状に印刷レジストMA83
0(太陽インキ社製)をスクリーン印刷により印刷し、
70℃で30分間乾燥し、マスク層を形成した。これに
導電線を接続し、硫酸ニッケル70g/l、硫酸ニッケ
ルアンモニウム40g/l、硫酸亜鉛20g/l、チオ
シアン酸ナトリウム20g/lを含んだ55℃のめっき
液中に浸漬し、1A/dm2の電流を3分かけて黒色電
気析出層を形成した。次に、マスク層をブチルセロソル
ブで溶解除去し、端部に金属層の露出したアース部を有
し、かつ電気めっき被膜が黒色系の色調を有する透光性
電磁波シールド材料を得た。
Example 9 A metal layer of a polyester film having a thickness of 100 μm to which a copper foil having a thickness of 35 μm was bonded was patterned by photolithography into a lattice shape having a line width of 10 μm and a mesh size of 100 μm × 100 μm. Next, a printing resist MA83 is formed on this metal layer in a strip shape with a width of 10 mm from the four edges of the film.
0 (manufactured by Taiyo Ink) by screen printing,
After drying at 70 ° C. for 30 minutes, a mask layer was formed. A conductive wire was connected to this, immersed in a plating solution at 55 ° C. containing 70 g / l of nickel sulfate, 40 g / l of nickel ammonium sulfate, 20 g / l of zinc sulfate, and 20 g / l of sodium thiocyanate, and 1 A / dm 2 Was applied for 3 minutes to form a black electrodeposited layer. Next, the mask layer was dissolved and removed with butyl cellosolve to obtain a translucent electromagnetic wave shielding material having a grounded portion where the metal layer was exposed at the end and having an electroplated film having a black color tone.

【0060】このようにして得られた透光性電磁波シー
ルド材料は、視認性が優れ、シールド効果も高いもので
あった。
The translucent electromagnetic wave shielding material thus obtained was excellent in visibility and high in the shielding effect.

【0061】[0061]

【発明の効果】本発明の透光性電磁波シールド材料とそ
の製造方法は、上記のような構成を有するので次のよう
な効果を奏する。
The light-transmitting electromagnetic wave shielding material and the method of manufacturing the same according to the present invention have the above-described structure, and therefore have the following effects.

【0062】すなわち、透明基体上に金属層をパターン
状に積層するので、線幅やピッチについての規格による
制限がなく、視認性や電磁波シールド効果の点で最適と
なる設計が自由に行えるる。したがって、透光性電磁波
シールド材料の視認性や電磁波シールド効果が向上す
る。
That is, since the metal layer is laminated in a pattern on the transparent substrate, there is no restriction on the line width and the pitch according to the standard, and a design that is optimal in terms of visibility and electromagnetic wave shielding effect can be freely performed. Therefore, the visibility of the translucent electromagnetic wave shielding material and the electromagnetic wave shielding effect are improved.

【0063】また、金属層上に金属層と見当が一致した
黒色電気析出層が積層されるので、金属光沢が出ない。
したがって、透光性電磁波シールド材料の視認性が向上
する。また、金属層をパターン状に積層するので、導電
材料を透明にしなくても視認性が得られる。したがっ
て、透明な導電材料に限定する必要がなく、より広い材
料の中から導電性の高いものを選択することができ、電
磁波シールド効果が向上する。
Further, since a black electrodeposition layer having the same register as that of the metal layer is laminated on the metal layer, no metallic luster is produced.
Therefore, the visibility of the translucent electromagnetic wave shielding material is improved. Further, since the metal layers are laminated in a pattern, visibility can be obtained without making the conductive material transparent. Therefore, there is no need to limit the material to a transparent conductive material, and a material having high conductivity can be selected from a wider range of materials, and the electromagnetic wave shielding effect is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の透光性電磁波シールド材料の製造工程
の一実施例を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing one embodiment of a manufacturing process of a translucent electromagnetic wave shielding material of the present invention.

【図2】黒色電気析出層のパターンの一実施例を示す模
式図である。
FIG. 2 is a schematic view showing one example of a pattern of a black electrodeposition layer.

【図3】黒色電気析出層のパターンの一実施例を示す模
式図である。
FIG. 3 is a schematic view showing an example of a pattern of a black electrodeposition layer.

【図4】黒色電気析出層のパターンの一実施例を示す模
式図である。
FIG. 4 is a schematic view showing an example of a pattern of a black electrodeposition layer.

【図5】黒色電気析出層のパターンの一実施例を示す模
式図である。
FIG. 5 is a schematic view showing one example of a pattern of a black electrodeposition layer.

【図6】本発明の黒色電気析出層を金属層上に析出させ
る装置を示す模式図である。
FIG. 6 is a schematic view showing an apparatus for depositing a black electrodeposition layer on a metal layer according to the present invention.

【図7】アース部を有する透光性電磁波シールド材料の
一実施例を示す模式図である。
FIG. 7 is a schematic view showing one embodiment of a translucent electromagnetic wave shielding material having a ground portion.

【図8】本発明の透光性電磁波シールド材料の製造工程
の一実施例を示す模式図である。
FIG. 8 is a schematic view showing one embodiment of a manufacturing process of the translucent electromagnetic wave shielding material of the present invention.

【図9】本発明の黒色電気析出層を金属層上に析出させ
る装置を示す模式図である。
FIG. 9 is a schematic view showing an apparatus for depositing a black electrodeposition layer on a metal layer according to the present invention.

【図10】本発明の透光性電磁波シールド材料の製造工
程の一実施例を示す模式図である。
FIG. 10 is a schematic view showing one embodiment of a manufacturing process of the translucent electromagnetic wave shielding material of the present invention.

【図11】本発明の黒色電気析出層を金属層上に析出さ
せる装置を示す模式図である。
FIG. 11 is a schematic view showing an apparatus for depositing a black electrodeposition layer on a metal layer according to the present invention.

【図12】本発明の透光性電磁波シールド材料の製造工
程の一実施例を示す模式図である。
FIG. 12 is a schematic view showing one embodiment of a manufacturing process of the translucent electromagnetic wave shielding material of the present invention.

【図13】本発明の黒色電気析出層を金属層上に析出さ
せる装置を示す模式図である。
FIG. 13 is a schematic view showing an apparatus for depositing a black electrodeposition layer on a metal layer according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 透明基体 2 金属層 3 黒色電気析出層 4 対向電極 5 アース部 6 透光性電磁波シールド部 7 マスク層 8 ポジ型レジスト層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent base 2 Metal layer 3 Black electrodeposition layer 4 Counter electrode 5 Grounding part 6 Transparent electromagnetic wave shielding part 7 Mask layer 8 Positive resist layer

Claims (21)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基体上に金属層がパターン状に積層
され、金属層上に金属層と見当一致した黒色電気析出層
が積層されていることを特徴とする透光性電磁波シール
ド材料。
1. A light-transmitting electromagnetic wave shielding material comprising: a metal layer laminated on a transparent substrate in a pattern; and a black electrodeposition layer aligned with the metal layer laminated on the metal layer.
【請求項2】 透明基体上に金属層がパターン状に積層
され、金属層上にアース部を除いて金属層と見当一致し
た黒色電気析出層が積層されていることを特徴とする透
光性電磁波シールド材料。
2. A light-transmitting material, wherein a metal layer is laminated in a pattern on a transparent substrate, and a black electrodeposition layer which coincides with the metal layer except for a ground portion is laminated on the metal layer. Electromagnetic wave shielding material.
【請求項3】 黒色電気析出層が、イオン性高分子中に
黒色系粒子を含むものである請求項1または請求項2の
いずれかに記載の透光性電磁波シールド材料。
3. The light-transmitting electromagnetic wave shielding material according to claim 1, wherein the black electrodeposition layer contains black particles in the ionic polymer.
【請求項4】 イオン性高分子が、アクリル樹脂、ポリ
エステル樹脂、ポリブタジエン樹脂、マレイン樹脂、エ
ポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリアミド樹脂あるいはそ
の変性体をアミノ化またはカルボキシル化したものであ
る請求項3記載の透光性電磁波シールド材料。
4. The method according to claim 3, wherein the ionic polymer is obtained by aminating or carboxylating an acrylic resin, a polyester resin, a polybutadiene resin, a maleic resin, an epoxy resin, a urethane resin, a polyamide resin or a modified product thereof. Transparent electromagnetic wave shielding material.
【請求項5】 黒色系粒子が、カーボンブラック、チタ
ンブラック、アニリンブラックである請求項3記載の透
光性電磁波シールド材料。
5. The translucent electromagnetic wave shielding material according to claim 3, wherein the black particles are carbon black, titanium black, and aniline black.
【請求項6】 黒色電気析出層が、黒色系の導電性高分
子からなるものである請求項1または請求項2のいずれ
かに記載の透光性電磁波シールド材料。
6. The translucent electromagnetic wave shielding material according to claim 1, wherein the black electrodeposition layer is made of a black conductive polymer.
【請求項7】 導電性高分子が、ピロール、アニリン、
チオフェンおよびその誘導体の重合物である請求項6記
載の透光性電磁波シールド材料。
7. The conductive polymer is pyrrole, aniline,
The translucent electromagnetic wave shielding material according to claim 6, which is a polymer of thiophene and a derivative thereof.
【請求項8】 黒色電気析出層が、黒色系の色調を有す
る電気めっき被膜である請求項1または請求項2のいず
れかに記載の透光性電磁波シールド材料。
8. The translucent electromagnetic wave shielding material according to claim 1, wherein the black electrodeposition layer is an electroplated film having a black color tone.
【請求項9】 黒色系の色調を有する電気めっき被膜
が、ニッケル系、クロム系、ロジウム系、スズ-ニッケ
ル-銅三元合金系またはスズ-ニッケル-モリブデン三元
合金系である請求項8記載の透光性電磁波シールド材
料。
9. The electroplated coating having a black color tone is a nickel, chromium, rhodium, tin-nickel-copper ternary alloy or tin-nickel-molybdenum ternary alloy. Transparent electromagnetic wave shielding material.
【請求項10】 透明基体上に金属層をパターン状に積
層する工程と、黒色系粒子を含むイオン性高分子の溶液
中に前工程で金属層を積層した透明基体を対向電極と共
に浸漬して通電することにより金属層上に黒色電気析出
層を積層する工程よりなることを特徴とする透光性電磁
波シールド材料の製造方法。
10. A step of laminating a metal layer in a pattern on a transparent substrate, and immersing the transparent substrate having the metal layer laminated in the previous step together with a counter electrode in a solution of an ionic polymer containing black particles. A method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material, comprising a step of laminating a black electrodeposition layer on a metal layer by applying a current.
【請求項11】 透明基体上に金属層をパターン状に積
層する工程と、金属層上の一部にマスク層を積層する工
程、黒色系粒子を含むイオン性高分子の溶液中に前工程
で金属層およびマスク層を積層した透明基体を対向電極
と共に浸漬して通電することにより金属層上に黒色電気
析出層を積層する工程、マスク層を除去して金属層の露
出した部分をアース部とする工程よりなることを特徴と
する透光性電磁波シールド材料の製造方法。
11. A step of laminating a metal layer in a pattern on a transparent substrate, a step of laminating a mask layer on a part of the metal layer, and a step of preliminarily immersing in a solution of an ionic polymer containing black particles. A step of laminating a black electrodeposited layer on the metal layer by immersing the transparent substrate on which the metal layer and the mask layer are laminated together with the counter electrode and passing an electric current, removing the mask layer and leaving the exposed portion of the metal layer a ground part. A method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material, comprising the steps of:
【請求項12】 透明基体上に金属層をパターン状に積
層する工程と、黒色系粒子を含むイオン性高分子の溶液
中に前工程で金属層を積層した透明基体を対向電極と共
に浸漬して通電することにより金属層上に黒色電気析出
層を積層する工程、黒色電気析出層の一部を除去して金
属層の露出した部分をアース部とする工程よりなること
を特徴とする透光性電磁波シールド材料の製造方法。
12. A step of laminating a metal layer in a pattern on a transparent substrate, and immersing the transparent substrate having the metal layer laminated in the previous step together with a counter electrode in a solution of an ionic polymer containing black particles. A step of laminating a black electrodeposition layer on the metal layer by applying a current, and a step of removing a part of the black electrodeposition layer to make an exposed part of the metal layer a ground part. Manufacturing method of electromagnetic wave shielding material.
【請求項13】 透明基体全面に金属層を積層する工程
と、金属層上にポジ型レジスト層をパターン状に積層す
る工程、ポジ型レジスト層で覆われていない部分の金属
層をエッチングにより除去する工程、一部を残してポジ
型レジスト層を露光および現像により除去する工程、黒
色系粒子を含むイオン性高分子の溶液中に前工程で金属
層およびポジ型レジスト層を積層した透明基体を対向電
極と共に浸漬して通電することにより金属層上に黒色電
気析出層を積層する工程、残存のポジ型レジスト層を除
去して金属層の露出した部分をアース部とする工程より
なることを特徴とする透光性電磁波シールド材料の製造
方法。
13. A step of laminating a metal layer over the entire surface of a transparent substrate, a step of laminating a positive resist layer on the metal layer in a pattern, and removing portions of the metal layer not covered with the positive resist layer by etching. Step of removing the positive resist layer by exposing and developing while leaving a part, the transparent substrate laminated with the metal layer and the positive resist layer in the previous step in a solution of an ionic polymer containing black particles It is characterized by comprising the steps of immersing with the counter electrode and energizing to deposit a black electrodeposition layer on the metal layer, and removing the remaining positive resist layer to make the exposed part of the metal layer a ground part. A method for producing a translucent electromagnetic wave shielding material.
【請求項14】 透明基体上に金属層をパターン状に積
層する工程と、導電性高分子のモノマーの溶液中に前工
程で金属層を積層した透明基体を対向電極と共に浸漬し
て通電することにより金属層上に黒色電気析出層を積層
する工程よりなることを特徴とする透光性電磁波シール
ド材料の製造方法。
14. A step of laminating a metal layer in a pattern on a transparent substrate, and immersing the transparent substrate having the metal layer laminated in the previous step together with a counter electrode in a solution of a monomer of a conductive polymer together with a counter electrode, and applying a current. A step of laminating a black electrodeposition layer on a metal layer by a method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material.
【請求項15】 透明基体上に金属層をパターン状に積
層する工程と、金属層上の一部にマスク層を積層する工
程、導電性高分子のモノマーの溶液中に前工程で金属層
およびマスク層を積層した透明基体を対向電極と共に浸
漬して通電することにより金属層上に黒色電気析出層を
積層する工程、マスク層を除去して金属層の露出した部
分をアース部とする工程よりなることを特徴とする透光
性電磁波シールド材料の製造方法。
15. A step of laminating a metal layer in a pattern on a transparent substrate, a step of laminating a mask layer on a part of the metal layer, and a step of laminating the metal layer and a conductive polymer monomer solution in a previous step. A step of immersing the transparent substrate on which the mask layer is laminated together with the counter electrode and energizing to deposit a black electrodeposition layer on the metal layer, and a step of removing the mask layer and setting the exposed portion of the metal layer to a ground portion. A method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material, comprising:
【請求項16】 透明基体上に金属層をパターン状に積
層する工程と、導電性高分子のモノマーの溶液中に前工
程で金属層を積層した透明基体を対向電極と共に浸漬し
て通電することにより金属層上に黒色電気析出層を積層
する工程、黒色電気析出層の一部を除去して金属層の露
出した部分をアース部とする工程よりなることを特徴と
する透光性電磁波シールド材料の製造方法。
16. A step of laminating a metal layer in a pattern on a transparent substrate, and immersing the transparent substrate, in which the metal layer is laminated in the previous step, in a solution of a monomer of a conductive polymer together with a counter electrode, and energizing the same. A step of laminating a black electrodeposition layer on a metal layer by using the method, and a step of removing a part of the black electrodeposition layer to make an exposed part of the metal layer a ground part. Manufacturing method.
【請求項17】 透明基体全面に金属層を積層する工程
と、金属層上にポジ型レジスト層をパターン状に積層す
る工程、ポジ型レジスト層で覆われていない部分の金属
層をエッチングにより除去する工程、一部を残してポジ
型レジスト層を露光および現像により除去する工程、導
電性高分子のモノマーの溶液中に前工程で金属層および
ポジ型レジスト層を積層した透明基体を対向電極と共に
浸漬して通電することにより金属層上に黒色電気析出層
を積層する工程、残存のポジ型レジスト層を除去して金
属層の露出した部分をアース部とする工程よりなること
を特徴とする透光性電磁波シールド材料の製造方法。
17. A step of laminating a metal layer on the entire surface of a transparent substrate, a step of laminating a positive resist layer on the metal layer in a pattern, and removing portions of the metal layer not covered by the positive resist layer by etching. A step of exposing and developing the positive resist layer by exposing and developing a part thereof, and a transparent substrate having a metal layer and a positive resist layer laminated in the previous step in a solution of a monomer of a conductive polymer together with a counter electrode. A step of laminating a black electrodeposited layer on the metal layer by immersion and energizing, and a step of removing the remaining positive resist layer to make an exposed part of the metal layer a ground part. Manufacturing method of optical electromagnetic wave shielding material.
【請求項18】 透明基体上に金属層をパターン状に積
層する工程と、黒色系の色調を有する電気めっき被膜を
形成するめっき液中に前工程で金属層を積層した透明基
体を対向電極と共に浸漬して通電することにより金属層
上に黒色電気析出層を積層する工程よりなることを特徴
とする透光性電磁波シールド材料の製造方法。
18. A step of laminating a metal layer on a transparent substrate in a pattern, and a step of laminating a transparent substrate having a metal layer laminated in a previous step in a plating solution for forming an electroplating film having a black color tone together with a counter electrode. A method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material, comprising a step of laminating a black electrodeposition layer on a metal layer by immersing and applying a current.
【請求項19】 透明基体上に金属層をパターン状に積
層する工程と、金属層上の一部にマスク層を積層する工
程、黒色系の色調を有する電気めっき被膜を形成するめ
っき液中に前工程で金属層およびマスク層を積層した透
明基体を対向電極と共に浸漬して通電することにより金
属層上に黒色電気析出層を積層する工程、マスク層を除
去して金属層の露出した部分をアース部とする工程より
なることを特徴とする透光性電磁波シールド材料の製造
方法。
19. A step of laminating a metal layer in a pattern on a transparent substrate, a step of laminating a mask layer on a part of the metal layer, and a step of forming an electroplating film having a black color tone in a plating solution. A step of laminating the black electrodeposition layer on the metal layer by immersing the transparent substrate on which the metal layer and the mask layer are laminated together with the counter electrode in the previous step and applying a current, removing the mask layer and removing the exposed portion of the metal layer. A method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material, comprising a step of forming an earth part.
【請求項20】 透明基体上に金属層をパターン状に積
層する工程と、黒色系の色調を有する電気めっき被膜を
形成するめっき液中に前工程で金属層を積層した透明基
体を対向電極と共に浸漬して通電することにより金属層
上に黒色電気析出層を積層する工程、黒色電気析出層の
一部を除去して金属層の露出した部分をアース部とする
工程よりなることを特徴とする透光性電磁波シールド材
料の製造方法。
20. A step of laminating a metal layer on a transparent substrate in a pattern, and a step of laminating the transparent substrate having the metal layer laminated in a preceding step in a plating solution for forming an electroplating film having a black color tone together with a counter electrode. A step of laminating a black electrodeposited layer on the metal layer by immersing and applying a current, and a step of removing a part of the black electrodeposited layer to make an exposed part of the metal layer a ground part. A method for producing a translucent electromagnetic wave shielding material.
【請求項21】 透明基体全面に金属層を積層する工程
と、金属層上にポジ型レジスト層をパターン状に積層す
る工程、ポジ型レジスト層で覆われていない部分の金属
層をエッチングにより除去する工程、一部を残してポジ
型レジスト層を露光および現像により除去する工程、黒
色系の色調を有する電気めっき被膜を形成するめっき液
中に前工程で金属層およびポジ型レジスト層を積層した
透明基体を対向電極と共に浸漬して通電することにより
金属層上に黒色電気析出層を積層する工程、残存のポジ
型レジスト層を除去して金属層の露出した部分をアース
部とする工程よりなることを特徴とする透光性電磁波シ
ールド材料の製造方法。
21. A step of laminating a metal layer over the entire surface of a transparent substrate, a step of laminating a positive resist layer on the metal layer in a pattern, and removing portions of the metal layer not covered by the positive resist layer by etching. Step of removing the positive resist layer by exposing and developing while leaving a part, laminating the metal layer and the positive resist layer in the previous step in a plating solution for forming an electroplating film having a black color tone A step of laminating a black electrodeposition layer on the metal layer by immersing the transparent substrate together with the counter electrode and applying a current, and a step of removing the remaining positive resist layer to make the exposed portion of the metal layer a ground portion. A method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding material, comprising:
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000013475A1 (en) * 1998-08-28 2000-03-09 Nissha Printing Co., Ltd. Light-transmitting electromagnetic shielding material and method for manufacturing the same
US6448492B1 (en) 1997-12-24 2002-09-10 Gunze Limited Transparent member for shielding electromagnetic waves and method of producing the same
JP2002341780A (en) * 2001-05-16 2002-11-29 Bridgestone Corp Light transmitting window material with shielding property against electromagnetic wave
KR100765503B1 (en) 2004-09-24 2007-10-10 가부시키가이샤 덴소 Printed board and manufacturing method thereof
EP2416639A1 (en) * 2009-03-31 2012-02-08 JX Nippon Mining & Metals Corporation Electromagnetic shielding material and process for producing electromagnetic shielding material
US9549471B2 (en) 2010-07-15 2017-01-17 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil composite
US9955574B2 (en) 2012-01-13 2018-04-24 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil composite, formed product and method of producing the same
US9981450B2 (en) 2012-01-13 2018-05-29 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil composite, formed product and method of producing the same
US10178816B2 (en) 2011-05-13 2019-01-08 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil composite, copper foil used for the same, formed product and method of producing the same

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6448492B1 (en) 1997-12-24 2002-09-10 Gunze Limited Transparent member for shielding electromagnetic waves and method of producing the same
WO2000013475A1 (en) * 1998-08-28 2000-03-09 Nissha Printing Co., Ltd. Light-transmitting electromagnetic shielding material and method for manufacturing the same
US6713161B1 (en) 1998-08-28 2004-03-30 Nissha Printing Co., Ltd. Light-transmitting electromagnetic shielding material and method for manufacturing the same
JP2002341780A (en) * 2001-05-16 2002-11-29 Bridgestone Corp Light transmitting window material with shielding property against electromagnetic wave
KR100765503B1 (en) 2004-09-24 2007-10-10 가부시키가이샤 덴소 Printed board and manufacturing method thereof
EP2416639A1 (en) * 2009-03-31 2012-02-08 JX Nippon Mining & Metals Corporation Electromagnetic shielding material and process for producing electromagnetic shielding material
EP2416639A4 (en) * 2009-03-31 2013-04-24 Jx Nippon Mining & Metals Corp Electromagnetic shielding material and process for producing electromagnetic shielding material
US9079378B2 (en) 2009-03-31 2015-07-14 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Electromagnetic shielding material and method of producing electromagnetic shielding material
US9549471B2 (en) 2010-07-15 2017-01-17 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil composite
US10178816B2 (en) 2011-05-13 2019-01-08 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil composite, copper foil used for the same, formed product and method of producing the same
US9955574B2 (en) 2012-01-13 2018-04-24 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil composite, formed product and method of producing the same
US9981450B2 (en) 2012-01-13 2018-05-29 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil composite, formed product and method of producing the same

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