JPH10549A

JPH10549A - 研磨加工装置

Info

Publication number: JPH10549A
Application number: JP17425296A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Omori; 裕志大森
Original assignee: Nisshinbo Industries Inc; Nisshin Spinning Co Ltd
Current assignee: Nisshinbo Holdings Inc
Priority date: 1996-06-12
Filing date: 1996-06-12
Publication date: 1998-01-06

Abstract

(57)【要約】【課題】コンタクトホイール等の回転加工手段に関す
る検知情報によって能動的に制御可能な研磨加工を行え
るようにする。【解決手段】研磨ヘッド１０は、研磨ベルト１２を掛
け回したコンタクトホイール１の位置を、サーボモータ
１８とボールネジ２１、２３により調節可能とする。ト
ッププレート２４にコンタクトホイール１を取り付ける
ための支持部２５に力センサを内蔵し、ロボット３０の
ワークチャック７で把持したワーク２から受ける押し付
け力を検知可能とする。支持部２５の力センサが検知し
た押し付け力を入力値としてサーボモータ１８を所定の
制御アルゴリズムによって駆動し、コンタクトホイール
１の位置と速度を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ベルト研磨装置のコン
タクトホイール等のように被加工物に対して押し付け可
能なホイール状の回転加工手段を有する研磨装置と、被
加工物の把持等を行うロボット等のハンドリング装置と
からなる研磨加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来の
この種の研磨加工装置では、被加工物（以下ワークとい
う。）の保持、把持状態や位置の制御を工業用ロボット
で行い、ベルト研磨装置のコンタクトホイール等の回転
加工手段をエアシリンダやバネで常に一定方向に押し付
けて加工を行っている（例えば特開平１−２８１８６４
号公報、特開平２−１５０１４１号公報、特開昭５９−
２２４２５７１号公報等参照）。

【０００３】ところが、ワークがアルミダイキャストや
プレス品の場合、寸法精度があまり高いものではなく、
またパーティングラインを含むものでは、パーティング
ラインの寸法が不揃いであり、このため従来は、ワーク
寸法から研磨軌跡を求めてロボットが正確にワークの位
置等を制御しても、あまりよい研磨結果は得られなかっ
た。そのため、ワークの形状に合わせてコンタクトホイ
ール等の回転加工手段をフローティングさせる技術が用
いられてきた。この技術は、研磨量や凹凸の差が大きく
なければ十分に効果があるが、研磨量が場所によって大
きく異なったり、凹凸の差が大きい場合には、研磨残り
や削り過ぎが発生しやすいという不具合があった。例え
ば図６に示すように、コンタクトホイール１がワーク２
の外形にならうために、加工前のワーク面に鋳物のパー
ティングライン、溶接ビード、鋳肌等の凹凸形状５があ
るとこれらを除去できないことが多かった。

【０００４】またこの種の研磨加工装置では、研磨ベル
トが高速で回転しているため、ワークに接触した瞬間に
ワークを削り取り、位置や加工負荷が瞬間的に変化す
る。このため、加工中の切り込み量をワークへの押し付
け力の変更や押し付け位置を変更して制御することにな
るが、ロボットのようにワークを３次元的に移動させる
ハンドリング装置を用いる場合、制御駆動部の自由度
（軸数）が多いために演算処理時間が掛かり、慣性力や
駆動系のガタ等の影響によって動作遅れ、位置精度、軌
跡精度の低下等が発生しやすく、満足のいく形状に研磨
できるほどにワークの動きを滑らかにすることはできな
かった。

【０００５】特に、４〜６軸程度の垂直多関節型ロボッ
トでは、図７に示すドアのレバーハンドルのような複雑
な曲面形状を有するワーク２の角部の小径Ｒ部を加工す
るような場合、自動運転中の軌跡のブレでワーク２が切
り込まれ、コンタクトホイール１が後退するというよう
な状態が生じやすく、切り込みの過不足が発生しやすか
った。なお図中６はロボットのアームの先端部分、７は
ワークチャックである。

【０００６】また、ロボットのワークチャック７に掛か
る力を検知して、アーム６の動作にフィードバックする
力制御やコンタクトホイール１の回転負荷電流を検知す
ることによって研磨状況をフィードバックしてアーム６
の動きを修正する場合、力や負荷の検知量から押し付け
方向や位置の修正する演算処理に時間が掛かり、特に小
物ワークでは十分な形状に研削加工できなかった。

【０００７】さらに、従来の研磨加工装置のようにホイ
ールを常に一定方向に押し付けている装置にあっては、
ワークへの押し付け力の変更をエアシリンダに掛ける空
気圧やバネ力を変化させることで行っているが、空気圧
やバネ力は変化が遅いためにダレ等と称する形状不良が
発生しやすかった。即ち、図８に示すように加工の最後
にコンタクトホイール１が被加工物であるワーク２の端
縁Ｅよりも外側へ前進したときに、フローティング装置
（エアシリンダやバネ等）３によるフローティング動作
のためにコンタクトホイール１がワーク２の端縁よりも
外側に出てしまい（図中点線で示す状態）、しかも他の
部位よりも長時間にわたって当たるために、過剰に研磨
してしまうことによってダレ４が生じることが多い。特
に、コンタクトホイール１を鉛直線方向に沿って上下さ
せる場合、重力の影響を受けて特に応答が遅くなりやす
いため、この不具合が生じやすかった。なお図８中の矢
印は、説明のためにワーク２を固定したときのコンタク
トホイール１の送り方向を示すが、実際にはワーク２が
移動する。

【０００８】このようなダレ４の発生を防ぐために、ワ
ーク２の図８中の左角部で押し動作を固定あるいは後退
させることもあるが、前述のような応答遅れがあるため
にタイミングや押し付け力の調整に試行錯誤が必要で、
特にワーク２の形状にばらつきがある場合は、削り過ぎ
や削り残しを完全になくすことができなかった。

【０００９】本発明は上記従来の問題点に鑑み、ベルト
研磨装置のコンタクトホイールやバフ研磨装置の研磨ホ
イール等の回転加工手段に関する種々の検知情報によっ
て回転加工手段を能動的に制御するようにした研磨装置
及びこれを用いた研磨加工装置を提供することを目的と
する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の研磨装置のうち
請求項１にかかるものは、上記目的を達成するために、
ベルト研磨装置のコンタクトホイール等のように被加工
物に対して押し付け可能なホイール状の回転加工手段を
有する研磨装置と、少なくとも上記被加工物の把持を行
うロボット等のハンドリング装置とからなる研磨加工装
置において、上記研磨装置が、上記回転加工手段を上記
被加工物に対して押し付ける手段として上記回転加工手
段の位置を制御可能なアクチュエータを備え、該アクチ
ュエータを上記回転加工手段に関して検知した情報に応
じて駆動し、上記回転加工手段の位置や回転速度を制御
して上記被加工物への押し付け力や切り込み量を可変さ
せることを特徴とす。

【００１１】同請求項２に係るものは、上記押し付け方
向で上記回転加工手段に掛かる力を検知する手段を備
え、該検知手段により検知した力に関する情報により上
記押し付け力を制御することを特徴とする。

【００１２】同請求項３に係るものは、上記アクチュエ
ータを駆動する負荷電流あるいは負荷電力を検知する手
段を備え、該検知手段により検知した負荷電流あるいは
負荷電力に関する情報により上記回転加工手段の位置を
制御することを特徴とする。

【００１３】同請求項４に係るものは、上記押し付け方
向で上記回転加工手段に掛かる力を検知する手段と、上
記アクチュエータを駆動する負荷電流あるいは負荷電力
を検知する手段とを備え、上記力の検知手段により検知
した力に関する情報と、上記負荷電流の検知手段により
検知した負荷電流あるいは負荷電力に関する情報とによ
り上記押し付け力と上記回転加工手段の位置とを制御す
ることを特徴とする。

【００１４】同請求項５に係るものは、上記アクチュエ
ータを上記ロボット等の自動ハンドリング装置の外部軸
としてなることを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。なお図６〜８で説明した従来の例と
共通する部分には共通する符号を付して説明する。

【００１６】本実施形態に係る研磨加工装置は、図１に
示すように本発明の実施形態に係る研磨ヘッド１０と多
関節型ロボット３０を組み合わせて構成してあり、図示
の状態は、架台１１上に搭載した研磨ヘッド１０を水平
にし、研磨ヘッド１０が備えるコンタクトホイール１に
対してワーク２を把持したロボット３０のワークチャッ
ク７を対向配置した状態である。図中３１はロボットコ
ントローラである。

【００１７】図４は研磨ヘッド１０の平面図、図５は同
部分側面図である。この研磨ヘッド１０は、無端の研磨
ベルト１２を大径の駆動プーリ１３と一対の小径のアイ
ドルプーリ１４、１４及びコンタクトホイール１に掛け
回し、駆動プーリ１３をモータ１５で回転駆動して研磨
ベルト１２を回転させるとともに、コンタクトホイール
１の位置（図中左右方向の位置）をスライド駆動装置１
６により調節可能として構成してある。

【００１８】スライド駆動装置１６は、架台１１上に載
置固定するベース１７上に、サーボモータ１８と一対の
ガイドプレート１９、１９を設け、サーボモータ１８の
出力軸にジョイント２０を介してボールネジ（雄）２１
を連結し、ガイドプレート１９、１９間に設けた軸受体
２２、２２でボールネジ２１の両端を回転可能に支持
し、ボールネジ（雌）２３を下面に取り付けたトッププ
レート２４をガイドプレート１９、１９により図中左右
方向でスライド可能に支持して構成してある。板状のト
ッププレート２４の図中左端にコンタクトホイール１を
取り付けてあり、コンタクトホイール１の支持部２５に
は図示を省略するが力センサを内蔵し、ワーク２から受
ける押し付け力を検知できるようになっている。なお図
中２６はスライダで、トッププレート２４の下面に取り
付けてあり、ガイドプレート１９と組み合わせてトップ
プレート２４の移動をガイドするようになっている。

【００１９】そしてサーボモータ１８は、コンタクトホ
イール１の支持部２５に内蔵した力センサが検知した押
し付け力に対応する検出信号を入力値とし、所定の制御
アルゴリズムによって位置と速度が制御される。

【００２０】ところで、ワーク７のビードや鋳バリの除
去からワーク母材面にならった表面仕上げまでの基本研
削ステップは、（１）刃具磨耗の補正による磨耗分の一
定量シフトを行う、（２）凹凸の除去のため、一定スト
ローク範囲内で、ストロークが目標値となるように押し
付け力を制御する、（３）最終仕上げのため、常に一定
の力となるように、ストロークを制御する（従来のなら
い、母材面にならう最終研磨に有効）、となる。図５
は、このような加工を行うための上記実施形態装置の制
御系の構成を示すブロック図である。この図では、各構
成要素を上記実施形態装置のうちの関連する構成要素を
まとめたものとして記載してある。

【００２１】即ち、図中の研磨部４０は、コンタクトホ
イール１や研磨ベルト１２等の研磨を実際に行う要素を
示し、アクチュエータ４１は、スライド駆動装置１６や
サーボモータ１８等のコントロールホイール１の位置を
駆動する要素を示し、検知部４２は、図示しなかった力
センサあるいは負荷電流検知手段、またあるいは位置検
出手段及びそれに付随する電気回路等を示す。また図中
４３は研磨装置コントローラで、動作制御部４４及び動
作条件記憶・動作プログラム作成部４５等からなる。ロ
ボットコントローラ３１も動作制御部３２及び動作条件
記憶・動作プログラム作成部３３等を備えている。なお
研磨装置コントローラ４３とロボットコントローラ３１
は、周知のようにマイクロコンピュータ及び適宜のアル
ゴリズムを実行するためのソフトウェアを利用したもの
を用いることができる。

【００２２】次にこのような制御系でのプログラム作成
から最終仕上げまでの工程を順に説明する。まずプログ
ラム作製工程としては、コンタクトホイール１の動きを
少な目にして、ワーク形状の速い変化に追従する必要が
ある場合は、最終仕上げ品となるワーク２をロボット３
０のワークチャック７に把持させ、コンタクトホイール
１を中間位置付近に固定させてロボット３０をティーチ
ングし、動作条件記憶・動作プログラム作成部３３に記
憶させる。プログラム動作中のコンタクトホイール１の
目標位置は、この中間位置に基づいて設定する。またコ
ンタクトホイール１の動きは多少大きいが、ティーチン
グ時間を短縮したい場合は、ワーク２をロボット３０の
ワークチャック７に把持させ、コンタクトホイール１の
位置制御のアクチュエータ４１の剛性（ソフト剛性ある
いはサーボ剛性）を軽く押し当て気味にして、コンタク
トホイール１をワーク２に追従させ、ティーチングすべ
きポイントをロボット３０にまず記憶させ、次にコンタ
クトホイール１を回転させずにロボット３０をプログラ
ム通りに動作させてコンタクトホイール１を追従させ、
刻々のコンタクトホイール１の位置を研磨装置コントロ
ーラ４３の動作条件記憶・動作プログラム作成部４５に
記憶させる。この場合、一連の動作のまとまりや、特別
にタイミングの調整が必要な位置では、周知のように同
期信号の交換部を挿入する。プログラム動作中のコンタ
クトホイール１の目標位置は、この記憶された位置に基
づいて設定される。なお、アクチュエータ４１をロボッ
ト３０の外部軸とする場合、例えば６軸ロボットの場
合、第７軸目の制御軸としてアクチュエータ４１を駆動
する。ロボットコントローラ３１でワーク２の指令位置
を演算制御するとともに、ワーク２と第７軸のアクチュ
エータ４１との相対位置をもロボットコントローラ３１
側で制御できる。この場合、ワーク２をロボット３０の
ワークチャック７に把持させ、アクチュエータ４１をフ
リーにして、即ちソフト剛性を小さくし、ワーク２をコ
ンタクトホイール１に当てたときにアクチュエータ４１
を動かしやすくしておき、コンタクトホイール１にワー
ク２を押し当て、ティーチングすべきポイントでロボッ
ト３０とアクチュエータ４１の位置をそれぞれ動作条件
記憶・動作プログラム作成部４５と動作条件記憶・動作
プログラム作成部３３に記憶させる。

【００２３】加工によりコンタクトホイール１の径が変
化する場合の磨耗補正は、加工中にコンタクトホイール
１の位置を複数のタイミングで監視し、ティーチングし
た際のホイール位置と比較し、比較した偏差量の平均値
を計算し、さらに各加工回数毎に偏差量を監視し、経時
的に変化していく量をコンタクトホイール１の位置制御
量から一定シフトさせる。コンタクトホイール１の磨耗
量を監視するには、ティーチングした形状に近い状態で
コンタクトホイール１の位置を監視して比較する必要が
あり、従って凹凸のない後述の最終仕上げ工程で監視す
るが、監視すべき位置は任意の加工位置でよい。ただ
し、母材面にならう最終仕上げ等の特定の工程では、ロ
ボットコントローラ３１からロボット３０への信号によ
るタイミングでもよい。なお、コンタクトホイール１側
ではなく、ロボット３０側の動作でシフトさせることも
可能である。

【００２４】次にワーク２の凹凸の除去工程を説明す
る。ロボット３０は、ティーチング通りに動作させる
が、研磨装置１０側のアクチュエータ４１は、プログラ
ム作成時に設定されたデータを基に設定された各工程の
目標値となるように押し付け力を変化させて（所定の位
置となるようにソフト剛性と出力を上げて）切り込む。
ただし、切り込み量が多く、コンタクトホイール１の切
削能力を超える場合は過負荷状態と判定し、コンタクト
ホイール１を待避させたり、それ以上切り込まないよう
に制御する。また、加工前の素材から最終面までに切り
込み厚さが厚い場合は、予め複数工程に分けた加工とす
る。この場合、各切り込み工程での一定の切り込み範囲
内（図４のワーク２に描いた各線間）で、制御する。

【００２５】即ち、図４に示すように、凹凸形状５のあ
るワーク２等で切り込み量が不明な場合、ワーク２が接
触した位置を加工負荷や力で検出してコンタクトホイー
ル１の位置制御を停止させ、その停止位置から一定の切
り込み量分だけコンタクトホイール１を前進（図では下
降）させてワーク２をティーチング通り送って加工す
る。切り込み量の設定としては、コンタクトホイール１
の位置は固定し、ロボットのティーチング位置を一定量
だけコンタクトホイール１の方向にシフトさせて、ワー
ク２の位置を一定量押し込む場合等がある。この加工中
に、力や加工負荷の過大値を検出したならばアラームと
ともにシステム停止させ、またはコンタクトホイール１
あるいはワーク２を逃がし、またはワーク２の送り速度
を減速させる等の処置を行う。

【００２６】また、コンタクトホイール１とワーク２が
接触したことを力や加工負荷の増加で検出し、その時点
のコンタクトホイール１の位置情報とワーク２を把持し
ているロボット位置からコンタクトホイール１とワーク
２の傾き等の相対位置あるいは位置関係を演算し、加工
後の正規位置からの凹凸形状５の厚さを推定し、掛ける
べき切り込み量を演算、設定することもできる。コンタ
クトホイール１の位置を検出することで、ビード取りや
パーティングラインの除去が可能となる。

【００２７】なお、複数工程に分割する場合、コンタク
トホイール１の過負荷状態の発生により切り込みを控え
たときは、同じ工程を繰り返すリトライ動作や、次の工
程の目標値を修正する制御としてもよい。またアクチュ
エータ４１をロボット３０の図示せぬ外部軸とする場
合、コンタクトホイール１はロボット３０の該外部軸に
同期してロボットコントローラ３１側から位置制御され
るが、押し付け力は、検知部４２によるコンタクトホイ
ール１の位置情報を基に、アクチュエータ４１側で変化
させる。

【００２８】そして最終仕上げ時には、ロボット３０を
ティーチング通りに動作させる。即ち、コンタクトホイ
ール１の押し付け力が所定の力となるように切り込みを
制御する。具体的には、コンタクトホイール１の支持部
２５に内蔵した力センサによってワーク２の押し付け力
を検知し、ボールネジ２１、２３の回転駆動によりトッ
ププレート２４の位置を可変させ、押し付け力が一定と
なるようにコンタクトホイール１の位置を制御する。ま
た、駆動プーリ１３を駆動するモータ１５の負荷電流値
あるいは電力値を加工負荷として検出し、これが一定と
なるようにコンタクトホイール１の位置を制御してもよ
い。いずれにしても、図８に示すようなダレ４を生じさ
せないためには、例えば図３に示すように、ワーク２の
端縁Ｅの位置で上述のような位置制御のゲインを変えて
コンタクトホイール１の位置を一定に保持する制御を行
う。

【００２９】上述のように押し付け力を一定とするので
はなく、所定のパターンで変化させる場合は、コンタク
トホイール１の加減速も制御する。例えば、あるワーク
の加工区間の始めに削り気味としたい場合は、コンタク
トホイール１の加減速を小さくして、遅れ気味とする。
また力や負荷の制御形態としては最初は弱く、徐々に強
くする等の可変パターンも採用できる。アクチュエータ
４１をロボット３０の外部軸とする場合は、コンタクト
ホイール１はロボット３０の外部軸に同期してロボット
コントローラ３１側から位置制御されるが、検知部４２
によるコンタクトホイール１に掛かる力の負荷情報を基
に研磨装置コントローラ４３側で位置制御量の補正分を
付加する。

【００３０】なお、コンタクトホイール１が鉛直線方向
に昇降する場合、コンタクトホイール１の自重が押し付
け方向に掛かるが、負荷電流や電力を検知することによ
る制御では自重の影響を受けない。また、力を検知する
ことによる制御の場合でも、ボールネジ２１、２３の伝
達系の減速比を高めることや、演算での重量補正により
自重の影響を補正できる。即ち、本実施形態装置の配置
方向には制約が少ない。またコンタクトホイール１の慣
性重量の影響は、予め研磨装置コントローラ４３に補正
情報として入力しておく。

【００３１】なお、上述してきた実施形態装置は、加工
中の切り込み量を監視し、予め想定された切り込みと比
較するだけの加工監視の用途にも使用可能である。ま
た、上記実施形態では、コンタクトホイール１を駆動す
るアクチュエータ４１としてサーボモータを用いている
が、コンタクトホイール１の位置を検知して移動量を制
御できるものであればサーボモータ以外のものであって
も採用できる。さらに、コンタクトホイール１の移動方
向としては直動ではなく回転あるいは揺動であってもよ
い。

【００３２】またさらに、コンタククトホイールではな
くバフホイールのような研磨ホイールを制御対象とする
場合にも本発明は適用可能である。この場合、研磨ホイ
ールが磨耗していくため、研磨ホイール位置とワーク位
置からワークの凹凸量の推定は、研磨ホイールの磨耗量
の推定情報（加工回数に応じた磨耗量や積算電流値等）
によって可能である。また、加工前に凹凸がなく寸法既
知の部材に押し当てた場合の研磨ホイールの位置から磨
耗量を計測することも可能である。

【００３３】

【発明の効果】本発明に係る研磨加工装置は、以上説明
してきたようなものなので、ホイール状の回転加工手段
の位置を制御できるために多彩な動きが可能で、被加工
物の形状によっては回転加工時間を短縮できるととも
に、被加工物の凹凸等の形状のばらつきに対応でき、安
定した加工品質の提供及び歩留まりの向上が期待できる
という効果がある。

【００３４】またコンタクトホイール等の回転加工手段
の押し付け駆動を油圧制御や電動モータ制御可能なアク
チュエータで行うことにより、従来のシリンダやバネを
用いた場合よりも数段速い応答制御が可能で、細かい起
伏形状の加工が可能となり、加工品質を向上させ得ると
いう効果がある。

【００３５】さらに、ロボット等の被加工物のハンドリ
ング装置側の多軸制御に比べると１軸制御となるために
応答が速く、回転加工手段の自重が押し付け方向に掛か
る場合でも回転加工手段の自重の影響を受けにくいた
め、装置の配置の制約が少なく、設計の自由度が広が
り、省スペース化やコストダウンが図れるという効果も
ある。

【００３６】またさらに、ロボット等で研磨加工装置自
体を把持して固定ワークを加工する場合に大きなワーク
に対応可能であり、ホイールの制御用のアクチュエータ
をロボットの制御軸の一部として制御して制御の一元化
や協調動作や同期動作を行うことが可能となるという効
果もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る研磨加工装置の一実施形態を示す
側面図である。

【図２】本発明に係る研磨装置の一実施形態の平面図
（Ａ）と同側面図（Ｂ）である。

【図３】本発明に係る研磨装置の一実施形態で、ワーク
の端部でのダレの発生を防止する状態を示す側面図であ
る。

【図４】本発明に係る研磨装置の一実施形態で、ワーク
の凹凸を除去する状態を示す側面図である。

【図５】本発明の実施形態装置の制御系の構成を示すブ
ロック図である。

【図６】従来の研磨装置でフローティング装置を用いる
場合に、ワークの凹凸にならうために凹凸が除去できな
い状態を示す側面図である。

【図７】従来の研磨装置で垂直多関節型ロボットと組み
合わせた場合に生じ得る、自動運転中の軌跡のブレと、
ワークの切り込みの過不足発生状態を示す側面図であ
る。

【図８】従来の研磨装置でフローティング装置を用いる
場合に、ワークの端部で発生し得るダレを示す側面図で
ある。

【符号の説明】

１コンタクトホイール２ワーク６ロボットのアーム７ワークチャック１０研磨ヘッド１２研磨ベルト１３駆動プーリ１４アイドルプーリ１５モータ１６スライド駆動装置１８サーボモータ１９ガイドプレート２１ボールネジ（雄）２３ボールネジ（雌）２４トッププレート２５コンタクトホイールの支持部２６スライダ３０多関節型ロボット３１ロボットコントローラ３２動作制御部３３動作条件記憶・動作プログラム作成部４０研磨部４１アクチュエータ４２検知部４３研磨装置コントローラ４４動作制御部４５動作条件記憶・動作プログラム作成部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベルト研磨装置のコンタクトホイール等
のように被加工物に対して押し付け可能なホイール状の
回転加工手段を有する研磨装置と、少なくとも上記被加
工物の把持を行うロボット等のハンドリング装置とから
なる研磨加工装置において、上記研磨装置が、上記回転
加工手段を上記被加工物に対して押し付ける手段として
上記回転加工手段の位置を制御可能なアクチュエータを
備え、該アクチュエータを上記回転加工手段に関して検
知した情報に応じて駆動し、上記回転加工手段の位置や
回転速度を制御して上記被加工物への押し付け力や切り
込み量を可変させることを特徴とする研磨加工装置。
【請求項２】上記押し付け方向で上記回転加工手段に
掛かる力を検知する手段を備え、該検知手段により検知
した力に関する情報により上記押し付け力を制御するこ
とを特徴とする請求項１の研磨加工装置。
【請求項３】上記アクチュエータを駆動する負荷電流
あるいは負荷電力を検知する手段を備え、該検知手段に
より検知した負荷電流あるいは負荷電力に関する情報に
より上記回転加工手段の位置を制御することを特徴とす
る請求項１の研磨加工装置。
【請求項４】上記押し付け方向で上記回転加工手段に
掛かる力を検知する手段と、上記アクチュエータを駆動
する負荷電流あるいは負荷電力を検知する手段とを備
え、上記力の検知手段により検知した力に関する情報
と、上記負荷電流の検知手段により検知した負荷電流あ
るいは負荷電力に関する情報とにより上記押し付け力と
上記回転加工手段の位置とを制御することを特徴とする
請求項１の研磨加工装置。
【請求項５】上記アクチュエータを上記ロボット等の
自動ハンドリング装置の外部軸としてなることを特徴と
する研磨加工装置。