JPH1052669A - Ultrasonic vibrator unit, ultrasonic cleaning device, and throw-in type ultrasonic cleaning device - Google Patents
Ultrasonic vibrator unit, ultrasonic cleaning device, and throw-in type ultrasonic cleaning deviceInfo
- Publication number
- JPH1052669A JPH1052669A JP11335497A JP11335497A JPH1052669A JP H1052669 A JPH1052669 A JP H1052669A JP 11335497 A JP11335497 A JP 11335497A JP 11335497 A JP11335497 A JP 11335497A JP H1052669 A JPH1052669 A JP H1052669A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- vibrator unit
- cleaning device
- throw
- ultrasonic vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、圧電セラミックス素子
を用いた超音波振動子およびこの超音波振動子を用いた
超音波洗浄装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic vibrator using a piezoelectric ceramic element and an ultrasonic cleaning apparatus using the ultrasonic vibrator.
【0002】[0002]
【従来の技術】現在一般的に用いられている超音波洗浄
装置のなかに、ボルト締めランジュバン型振動子を超音
波振動源として用いた数10KHzの周波数を利用した
洗浄装置がある。このボルト締めランジュバン型超音波
振動子を用いた洗浄装置は、ハイパワー入力が可能であ
り、洗浄槽の底面あるいは側面に振動子を接合材等で接
合したり、あるいはネジ止め等で固定して使用されてい
る。そして、洗浄槽内に被洗浄物と洗浄液を入れ、これ
らに超音波を放射して、液中にキャビテーション(空洞
現象とも呼ばれる)を発生させ、この衝撃力により被洗
浄物に付着している汚れを、直接破砕して洗浄液中に分
解させたり、粒子加速度を利用することにより洗浄を行
っていた。図9はボルト締めランジュバン型の超音波振
動子91,92,93,94の超音波放射面を洗浄槽8
の底部に固定した例を示している。この固定は洗浄槽1
の下面に溶接された雄ねじに対してボルト締めランジュ
バン型振動子を螺合する方法や、洗浄槽の底面に接着剤
によって接合する方法により行う。各超音波振動子の端
子に各々同期された駆動信号を発振器から供給すること
により、各超音波振動子が駆動し、超音波振動子から放
射された超音波により洗浄槽内の被洗浄物を洗浄する。
なお、駆動信号の供給に関与する発振器、リード線等の
図示はしていない。2. Description of the Related Art Among ultrasonic cleaning apparatuses generally used at present, there is a cleaning apparatus using a frequency of several tens KHz using a bolted Langevin type vibrator as an ultrasonic vibration source. The cleaning device using this bolted Langevin type ultrasonic vibrator is capable of high power input, and the vibrator is bonded to the bottom or side surface of the cleaning tank with a bonding material or fixed with screws or the like. It is used. Then, the object to be cleaned and the cleaning liquid are put into the cleaning tank, and ultrasonic waves are radiated to these to generate cavitation (also called cavitation) in the liquid, and the dirt attached to the object to be cleaned due to the impact force. Were directly crushed and decomposed in the washing liquid, or the washing was performed by utilizing the particle acceleration. FIG. 9 shows the ultrasonic radiating surfaces of the bolt-fastened Langevin type ultrasonic vibrators 91, 92, 93, 94 with the cleaning tank 8.
2 shows an example of fixing to the bottom of a. This fixation is for washing tank 1
This is performed by a method of screwing a bolted Langevin type vibrator to the male screw welded to the lower surface of the cleaning tank, or a method of bonding to the bottom of the cleaning tank with an adhesive. By supplying a drive signal synchronized from the oscillator to the terminal of each ultrasonic transducer, each ultrasonic transducer is driven, and the object to be cleaned in the cleaning tank is ultrasonically radiated from the ultrasonic transducer. Wash.
Note that oscillators, lead wires, and the like involved in the supply of the drive signal are not shown.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】超音波振動子の洗浄槽
への固定方法は、それぞれに次のような欠点を有してい
た。すなわち洗浄槽に設けられた雄ねじに螺合する方法
では、超音波放射面において、ネジ近傍では洗浄槽に強
く密着するのに対して、ネジから遠い端部付近ではその
密着力は小さくなることがある。このような状態で超音
波の放射を行うと洗浄槽内において超音波の強度が均一
ではなくなり、図9に示すように音圧のムラW2が生じ
ていた。このような音圧のムラは被洗浄物の洗浄状態に
ムラを生じさせる原因となっていた。また、接着剤によ
る接合方法では、超音波振動子の駆動時に発生する熱
や、洗浄槽内の熱により、接着剤が剥離し超音波振動子
と洗浄槽との接合状態が不安定になることがあった。ま
た、洗浄槽に取り付けた状態で最適の共振状態が得られ
るよう振動のバランス調整を行う必要があるので、超音
波振動子個々を洗浄槽に取り付けた後、再度調整をする
必要があった。さらに、洗浄槽に超音波振動子を強固に
螺合した場合、洗浄槽の取付部分に歪みが生じ、洗浄槽
の底面81がねじれた状態となり、エロージョン(腐食
現象)の原因となっていた。The method of fixing the ultrasonic vibrator to the cleaning tank has the following disadvantages. In other words, in the method of screwing into the male screw provided in the cleaning tank, the ultrasonic radiation surface is strongly adhered to the cleaning tank in the vicinity of the screw, whereas the adhesive force is small near the end far from the screw. is there. When the ultrasonic wave is emitted in such a state, the intensity of the ultrasonic wave is not uniform in the cleaning tank, and the unevenness W2 of the sound pressure occurs as shown in FIG. Such unevenness in sound pressure has caused unevenness in the cleaning state of the object to be cleaned. In addition, in the bonding method using an adhesive, heat generated when the ultrasonic vibrator is driven or heat in the cleaning tank causes the adhesive to peel off, and the bonding state between the ultrasonic vibrator and the cleaning tank becomes unstable. was there. Further, since it is necessary to adjust the vibration balance so as to obtain an optimum resonance state in a state where the ultrasonic vibrator is attached to the cleaning tank, it is necessary to adjust the ultrasonic vibrator individually after attaching it to the cleaning tank. Furthermore, when the ultrasonic vibrator is firmly screwed into the cleaning tank, distortion occurs in the mounting portion of the cleaning tank, and the bottom surface 81 of the cleaning tank is twisted, causing erosion (corrosion phenomenon).
【0004】本発明は、超音波放射面から均一な超音波
放射を容易にし、各振動子部分の振動の調整を容易にす
るとともに、振動の損失を極力抑制し、かつ洗浄槽と超
音波振動子との接合を安定して行うことのできる超音波
振動子および超音波洗浄装置および投げ込み型超音波洗
浄装置を提供することを目的とし、また、任意の方向に
超音波を放射させることのできる超音波振動子および超
音波洗浄装置および投げ込み型超音波洗浄装置を提供す
ることを目的とする。[0004] The present invention facilitates uniform ultrasonic emission from the ultrasonic emission surface, facilitates adjustment of vibration of each vibrator portion, minimizes the loss of vibration, minimizes vibration of the cleaning tank, and controls the ultrasonic vibration. It is an object of the present invention to provide an ultrasonic vibrator, an ultrasonic cleaning device, and a throw-in type ultrasonic cleaning device capable of stably performing bonding with a transducer, and capable of emitting ultrasonic waves in an arbitrary direction. It is an object of the present invention to provide an ultrasonic vibrator, an ultrasonic cleaning device, and a throw-in type ultrasonic cleaning device.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明による超音波振動
子ユニットは、超音波放射面を有するとともに、周囲に
取付部を有する基台と、この基台の複数の位置に少なく
とも1つの圧電素子が金属ブロックを介してスタッドボ
ルトにて挟持された状態で取り付けられたことを特徴と
するものであり、このユニットを洗浄槽に設けられた取
り付け孔に取り付け据え置き型の超音波洗浄装置とした
り、あるいは密封ケースに超音波放射面以外を収納した
投げ込み型の超音波洗浄装置を構成する。さらに、超音
波放射面の少なくとも一部を凸状、あるいは凹状にする
ことにより、超音波の放射される方向を制御する。SUMMARY OF THE INVENTION An ultrasonic transducer unit according to the present invention has a base having an ultrasonic radiation surface and a mounting portion around the base, and at least one piezoelectric element at a plurality of positions on the base. Is mounted in a state sandwiched by stud bolts via a metal block, and this unit is attached to a mounting hole provided in a cleaning tank to be a stationary ultrasonic cleaning device, Alternatively, a throw-in type ultrasonic cleaning device in which a portion other than the ultrasonic radiation surface is stored in a sealed case is configured. Further, by making at least a part of the ultrasonic wave emitting surface convex or concave, the direction in which the ultrasonic wave is emitted is controlled.
【0006】[0006]
【発明の実施の形態】本発明による超音波振動子ユニッ
トは、超音波放射面を有するとともに、周囲に取り付け
用の取付部を有する基台と、この基台の一つの面の複数
の位置に圧電素子が金属ブロックを介してスタッドボル
トにて挟持された状態で取り付けられたことを特徴とす
るものである。基台はステンレス等の金属が用いられ、
取付部は基台本体に較べて薄い構成であるか、あるいは
圧電素子取付領域から離れている構成が好ましい。ま
た、この基台本体から取付部へは漸次厚さが薄くなる部
分を有する構成としてもよい。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An ultrasonic transducer unit according to the present invention has a base having an ultrasonic radiation surface and a mounting portion for mounting around the base, and a plurality of positions on one surface of the base. The piezoelectric element is mounted in a state where the piezoelectric element is sandwiched by stud bolts via a metal block. The base is made of metal such as stainless steel,
It is preferable that the mounting portion has a configuration that is thinner than the base body or a configuration that is separated from the piezoelectric element mounting region. Further, the base body may be configured to have a portion whose thickness is gradually reduced from the base body to the mounting portion.
【0007】上記構成によれば、圧電素子と金属ブロッ
クとの複数の組が基台上に固定される構成であるので、
各組の振動特性を調整しながら超音波振動子ユニットと
しての調整が容易にできる。また、基台に形成された取
付部は基台に較べて薄い構成であるか、あるいは圧電素
子取付領域から離れている構成であると、基台本体で強
勢に振動している振動エネルギーは減衰させられて取付
部に伝わる。すなわち取付部では振動エネルギーは充分
に小さくなっており、この部分を用いて他の構成部品と
の取り付けを行っても、ユニット全体としての振動状態
が大きく変化することはなく、取り付け後の微調整を行
わなくてもよい。According to the above configuration, a plurality of sets of the piezoelectric element and the metal block are fixed on the base.
Adjustment as an ultrasonic transducer unit can be easily performed while adjusting the vibration characteristics of each set. In addition, if the mounting portion formed on the base is thinner than the base or is away from the piezoelectric element mounting area, the vibration energy vibrating strongly in the base body is attenuated. It is transmitted to the mounting part. That is, the vibration energy is sufficiently small in the mounting part, and even if this part is used to mount other components, the vibration state of the whole unit does not change significantly, and fine adjustment after mounting is performed. Need not be performed.
【0008】また、超音波振動子ユニットの取付孔を形
成した洗浄槽に、上述の超音波振動子ユニットを気密的
に取り付けてなるとともに、当該超音波振動子ユニット
に駆動信号を供給する発振器を具備してなる超音波洗浄
装置であって、洗浄槽内に超音波が放射されるよう超音
波振動子ユニットの取付部と前記取付孔周囲とを気密接
続したことを特徴とする構成としてもよい。気密接合は
パッキンを介してボルトによって螺合により接合する
例、あるいは溶接により接合する例があげられる。In addition, the above-mentioned ultrasonic vibrator unit is hermetically attached to a cleaning tank having a mounting hole for the ultrasonic vibrator unit, and an oscillator for supplying a drive signal to the ultrasonic vibrator unit. An ultrasonic cleaning apparatus provided, wherein the mounting portion of the ultrasonic vibrator unit and the periphery of the mounting hole are hermetically connected so that ultrasonic waves are radiated into the cleaning tank. . Examples of the airtight joining include an example of joining by screwing with a bolt via a packing or an example of joining by welding.
【0009】上記構成によれば、前述したように取付部
では振動エネルギーは充分に小さくなっており、この部
分を用いて洗浄槽の取り付け孔部分に取り付けを行って
も、ユニット全体として振動状態が大きく変化すること
はなく、取り付け後の微調整を行わなくてもよい。ま
た、基台はボルト締めランジュバン型圧電振動子の超音
波放射面を有するフロントマスを形成しているので、一
般にその肉厚が厚く、全体として重厚なマスを形成して
いる。従って、スタッドボルトで圧電素子、金属ブロッ
ク等を締め付け固定しても、基台が歪むことがない。こ
れにより従来問題となっていた洗浄槽内における超音波
の強度のバラツキを極めて小さくすることができ、図1
のW1で示すように超音波放射面全面においてほぼ均一
な音圧の超音波放射を得ることができる。また、エロー
ジョンの発生を抑制することができる。さらに、洗浄槽
と超音波振動子ユニットとの接合を接着剤を用いない接
合をすることができるので、超音波振動子ユニットが駆
動時等に高温になった場合においても、接合状態が不安
定になったりすることはない。According to the above configuration, as described above, the vibration energy is sufficiently small in the mounting portion. Even if the mounting portion is used to mount the cleaning tank in the mounting hole, the vibration state of the entire unit is maintained. There is no significant change, and fine adjustment after mounting does not have to be performed. Further, since the base forms a front mass having an ultrasonic wave emitting surface of the bolted Langevin type piezoelectric vibrator, the base generally has a large thickness and a heavy mass as a whole. Therefore, even if the piezoelectric element, the metal block, and the like are fastened and fixed with the stud bolt, the base is not distorted. As a result, the variation in the intensity of the ultrasonic waves in the cleaning tank, which has conventionally been a problem, can be extremely reduced.
As shown by W1, it is possible to obtain ultrasonic radiation with substantially uniform sound pressure over the entire ultrasonic radiation surface. Further, generation of erosion can be suppressed. Furthermore, since the bonding between the cleaning tank and the ultrasonic vibrator unit can be performed without using an adhesive, the bonding state is unstable even when the ultrasonic vibrator unit becomes hot during driving or the like. It does not become.
【0010】また、超音波振動子ユニットの取付孔を少
なくとも1つ形成した密封ケースに、上述の超音波振動
子ユニットを少なくとも1つ気密的に取り付けるととも
に、前記超音波振動子ユニットに駆動エネルギーを供給
する発振器およびケーブルを具備してなる投げ込み型超
音波洗浄装置であって、外部に超音波が放射されるよう
超音波振動子ユニットの取付部と前記取付孔周囲とを気
密接続したことを特徴とする構成としてもよい。[0010] Further, at least one of the above-described ultrasonic vibrator units is hermetically attached to a sealed case having at least one mounting hole for the ultrasonic vibrator unit, and drive energy is supplied to the ultrasonic vibrator unit. A throw-in type ultrasonic cleaning device comprising an oscillator and a cable to be supplied, wherein an attachment portion of the ultrasonic vibrator unit and the periphery of the attachment hole are hermetically connected so that ultrasonic waves are radiated outside. May be adopted.
【0011】上記構成によれば、取り付け後の微調整が
不要で、超音波放射強度のバラツキが極めて小さく、か
つ接着剤を用いない接合方法とすることのできる投げ込
み型超音波洗浄装置を得ることができる。According to the above construction, there is provided a cast-in type ultrasonic cleaning apparatus which does not require fine adjustment after mounting, has a very small variation in ultrasonic radiation intensity, and can be used as a bonding method without using an adhesive. Can be.
【0012】さらに、上記各構成において、超音波放射
面の一部あるいは全部に漸次厚さの厚くなる凸部を形成
したり、逆に超音波放射面の一部あるいは全部に漸次厚
さの薄くなる凹部を形成してもよい。Further, in each of the above structures, a convex portion having a gradually increasing thickness is formed on a part or the entirety of the ultrasonic wave emitting surface, and conversely, a gradually thinner portion is formed on a part or the entirety of the ultrasonic wave emitting surface. May be formed.
【0013】上記構成のうち、超音波放射面の一部ある
いは全部に漸次厚さの厚くなる凸部を形成することによ
り、超音波をより広角に放射することができ、洗浄装置
の洗浄領域を広げることができる。また超音波放射面の
一部あるいは全部に漸次厚さの薄くなる凹部を形成する
ことにより、超音波をより収束させて放射することがで
き、スポット洗浄を効率よく行うことができる。In the above configuration, by forming a convex portion having a gradually increasing thickness on a part or the whole of the ultrasonic wave emitting surface, the ultrasonic wave can be emitted at a wider angle, and the cleaning area of the cleaning device can be increased. Can be spread. Further, by forming a concave portion having a gradually decreasing thickness on a part or all of the ultrasonic wave emitting surface, the ultrasonic wave can be more converged and emitted, and spot cleaning can be performed efficiently.
【0014】[0014]
【実施例】本発明の第1の実施例について図面を参照し
ながら詳述する。図1は洗浄槽に超音波振動子を取り付
けた超音波洗浄装置の一部破断断面図であり、図2は図
1の部分拡大図である。超音波振動子ユニット2は、基
台20上に、複数のボルト締めランジュバン型超音波振
動子21,22,23,24を配置した構成で、基台上
に少なくとも圧電素子とこの圧電素子に電極を印加する
電極板と、金属ブロックと、これら各構成部品を締め付
け固定するスタッドボルトの複数の組を配置して構成さ
れている。基台20はステンレス等の金属材料からな
り、全体として台形状であり、超音波放射面20cの反
対面には複数のボルト孔20d(一部のみ図2に図示)
が所定の間隔を持ってマトリクス状に形成されている。
またこの基台の超音波放射面の周囲には、基台本体より
薄いフランジ部20aが形成され、取付部を構成すると
ともに、このフランジ部の複数箇所にはボルト貫通孔2
0bが設けられている。図2に一部例示するように、こ
の基台20に形成されたボルト孔20d部分には、基台
に接してチタンジルコン酸鉛等のセラミックスからなる
円環形状の圧電素子21aを設置し、その上に引出電極
部を有する円環状の電極板21b、円環形状の圧電素子
21c、引出電極部を有する円環状の電極板21d、ス
テンレス等からなり中央部分に貫通孔の形成された金属
ブロック21eの順で重ね合わされ、スタッドボルト2
1fで締め付け固定されている。このようにして1つの
基台にボルト締めランジュバン型超音波振動子の組を配
置した超音波振動子ユニット2を構成する。なお、図示
していないが、実用面から、超音波振動子はマトリクス
状に多数個配置されることが多い。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a partially cutaway sectional view of an ultrasonic cleaning apparatus in which an ultrasonic vibrator is attached to a cleaning tank, and FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG. The ultrasonic vibrator unit 2 has a configuration in which a plurality of bolted Langevin type ultrasonic vibrators 21, 22, 23, and 24 are arranged on a base 20, and at least a piezoelectric element and electrodes are provided on the base. And a metal block, and a plurality of sets of stud bolts for fastening and fixing these components. The base 20 is made of a metal material such as stainless steel and has a trapezoidal shape as a whole, and a plurality of bolt holes 20d (only a part is shown in FIG. 2) on the surface opposite to the ultrasonic wave emitting surface 20c.
Are formed in a matrix at predetermined intervals.
Around the ultrasonic radiation surface of the base, a flange portion 20a thinner than the base main body is formed to form a mounting portion.
0b is provided. As partially illustrated in FIG. 2, an annular piezoelectric element 21 a made of ceramics such as lead titanium zirconate is placed in contact with the base at a bolt hole 20 d formed in the base 20, An annular electrode plate 21b having an extraction electrode portion thereon, an annular piezoelectric element 21c, an annular electrode plate 21d having an extraction electrode portion, a metal block made of stainless steel or the like and having a through hole formed in the center portion. 21e, and stud bolt 2
It is fastened and fixed at 1f. Thus, the ultrasonic transducer unit 2 in which the set of the bolted Langevin type ultrasonic transducer is arranged on one base is constituted. Although not shown, a large number of ultrasonic transducers are often arranged in a matrix from a practical point of view.
【0015】ところで、超音波振動子ユニットの振動状
態の調整は、例えばインピーダンスアナライザーでユニ
ット全体の共振波形を監視しながら、スタッドボルトの
締め付け状態を調整する。また、容量計で超音波振動子
各々の静電容量が等しくなるよう調整する。このように
締め付け条件を微調整することで、全体として均一な特
性とする。The vibration state of the ultrasonic transducer unit is adjusted by, for example, monitoring the resonance waveform of the entire unit with an impedance analyzer and adjusting the stud bolt tightening state. Also, the capacitance of the ultrasonic transducers is adjusted by a capacitance meter so that the capacitances of the ultrasonic transducers become equal. By finely adjusting the tightening conditions in this manner, uniform characteristics can be obtained as a whole.
【0016】この超音波振動子ユニット2には前述のと
おりフランジ部20aが形成されているので、このフラ
ンジ部を用いて、洗浄槽に設けられた貫通孔11部分に
取り付ける。洗浄槽と超音波振動子ユニットに設けられ
たボルト貫通孔をボルト41a,42aとナット41
b、42bの組で締め付け固定する。図面の記載上2組
しか示していないが、実際にはもっと多くの組のボル
ト、ナットで固定する。なお、パッキン41c、42c
を介在させることにより気密性を確保している。超音波
振動子ユニットの駆動は発振器3からケーブル31を介
して各電極板に駆動信号を供給することにより行う。以
上の構成により超音波洗浄装置を得ることができる。Since the ultrasonic transducer unit 2 has the flange portion 20a as described above, the ultrasonic transducer unit 2 is attached to the through hole 11 provided in the cleaning tank by using the flange portion. Bolts 41a, 42a and nuts 41 are provided in through holes provided in the cleaning tank and the ultrasonic vibrator unit.
b and 42b. Although only two sets are shown in the drawings, in practice, more sets of bolts and nuts are used. The packings 41c, 42c
Airtightness is ensured by interposing The ultrasonic transducer unit is driven by supplying a drive signal from the oscillator 3 to each electrode plate via the cable 31. With the above configuration, an ultrasonic cleaning device can be obtained.
【0017】なお、基台本体の振動エネルギーを洗浄槽
等の他の構成部品に伝えないようにするために、可能な
限りフランジの寸法を大きくする等の手段により基台全
体と取付孔の距離をとるように設計することが必要であ
る。In order to prevent the vibration energy of the base body from being transmitted to other components such as the cleaning tank, the distance between the entire base and the mounting hole is increased by means such as increasing the size of the flange as much as possible. It is necessary to design to take
【0018】本発明の第2の実施例について図面を参照
しながら詳述する。図3は投げ込み型超音波洗浄装置の
内部構造図である。投げ込み型超音波洗浄装置は、洗浄
装置本体を被洗浄物並びに洗浄液の入った洗浄槽に投入
して洗浄を実施する。このため洗浄装置本体には高い気
密性が要求される。投げ込み型洗浄装置5の基台50は
第1の実施例と同じく、ボルト孔並びにフランジ部が形
成されている。この実施例ではフランジ部50aは基台
本体から漸次板厚が薄くなる傾斜部分50bを有してい
る。これによりフランジ部の機械的強度を高めるととも
に、耐振動性能を向上させることができる。基台には、
圧電素子、電極板、金属ブロックの各構成部品がスタッ
ドボルトにより締め付け固定された超音波振動子51,
52,53,54が配置されている。より多くの超音波
振動子をマトリクス状に配置してもよい。これら超音波
振動子部分をケース55により気密封止するとともに、
シール部55aを介して各電極板に接続されたケーブル
を外部に導出している。ケーブルは発振器3に接続さ
れ、超音波振動子ユニットに駆動信号を供給する。A second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 3 is an internal structural view of the throw-in type ultrasonic cleaning device. The throw-in type ultrasonic cleaning device performs cleaning by putting the cleaning device main body into a cleaning tank containing an object to be cleaned and a cleaning liquid. For this reason, high airtightness is required for the cleaning device body. The base 50 of the throw-in type cleaning device 5 is provided with a bolt hole and a flange portion as in the first embodiment. In this embodiment, the flange portion 50a has an inclined portion 50b whose thickness gradually decreases from the base body. Thereby, the mechanical strength of the flange portion can be increased, and the vibration resistance can be improved. On the base,
An ultrasonic vibrator 51 in which respective components such as a piezoelectric element, an electrode plate, and a metal block are fastened and fixed by stud bolts,
52, 53 and 54 are arranged. More ultrasonic transducers may be arranged in a matrix. These ultrasonic vibrators are hermetically sealed by a case 55,
Cables connected to the respective electrode plates via the seal portions 55a are led out. The cable is connected to the oscillator 3 and supplies a drive signal to the ultrasonic transducer unit.
【0019】本発明の第3の実施例について図面を参照
しながら詳述する。図4は投げ込み型超音波洗浄装置の
内部構造図である。この実施例では、超音波放射面を複
数箇所に形成するとともに、超音波振動子各々を構成す
る圧電素子を1つとしたものについて例示している。す
なわち基台60,65に取り付けられる各超音波振動子
61,62,63,64,66,67,68,69は、
それぞれ1つの圧電素子(格子線によるハッチングで図
示)と、電極板と、絶縁ブロック(縦線によるハッチン
グで図示)と、金属ブロックと、スタッドボルトからな
る。基台に形成されたフランジ部は超音波放射面から離
れた位置に形成されている。この実施例によれば全体と
してコンパクトでかつ多方向への超音波放射が可能とな
るので、限られたスペースでの洗浄能力向上に寄与す
る。A third embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 4 is an internal structural view of the throw-in type ultrasonic cleaning device. In this embodiment, an example is described in which an ultrasonic wave radiating surface is formed at a plurality of locations and a single piezoelectric element is included in each ultrasonic transducer. That is, each of the ultrasonic transducers 61, 62, 63, 64, 66, 67, 68, 69 attached to the bases 60, 65
Each is composed of one piezoelectric element (shown by hatching with grid lines), an electrode plate, an insulating block (shown by hatching with vertical lines), a metal block, and stud bolts. The flange portion formed on the base is formed at a position away from the ultrasonic wave emitting surface. According to this embodiment, the ultrasonic wave can be radiated in multiple directions as a whole, which contributes to the improvement of the cleaning ability in a limited space.
【0020】本発明の第4の実施例について図面を参照
しながら詳述する。この実施例では超音波放射面の形状
を変化させたいくつかの例(図5〜図7)を示してい
る。基本的な構成は第2の実施例で示した投げ込み型超
音波洗浄装置と同じであるので、同じ構造部分について
は同番号により説明するとともに、説明を一部割愛す
る。A fourth embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In this embodiment, several examples (FIGS. 5 to 7) in which the shape of the ultrasonic wave emitting surface is changed are shown. Since the basic configuration is the same as that of the throw-in type ultrasonic cleaning apparatus shown in the second embodiment, the same structural parts will be described with the same numbers, and the description will be partially omitted.
【0021】図5は投げ込み型超音波洗浄装置の超音波
放射面50cが、その中心部分に向かって漸次厚さの厚
くなる凸形状にした例を示している。この凸部は超音波
放射面全体に設けた構成であってもよいし、一部に設け
てもよいし、数カ所設けてもよい。また、図7に示すよ
うな凸部の中央部分に平坦部を設けた超音波放射面50
eとしてもよい。このような構成を採用することによ
り、図5,図7の矢印で示すように、超音波がより広角
に放射される。FIG. 5 shows an example in which the ultrasonic radiation surface 50c of the throw-in type ultrasonic cleaning device has a convex shape whose thickness gradually increases toward its central portion. This convex portion may be provided on the entire ultrasonic wave emitting surface, may be provided on a part thereof, or may be provided at several places. Further, an ultrasonic radiation surface 50 having a flat portion at the center of the convex portion as shown in FIG.
e may be used. By adopting such a configuration, as shown by arrows in FIGS. 5 and 7, ultrasonic waves are emitted at a wider angle.
【0022】図6は投げ込み型超音波洗浄装置の超音波
放射面50dが、その中心部分に向かって漸次厚さの薄
くなる凹形状にした例を示している。この凹部は超音波
放射面全体に設けた構成であってもよいし、一部に設け
てもよいし、数カ所設けてもよい。このような構成を採
用することにより、図6の矢印で示すように、超音波が
より収束して放射される。FIG. 6 shows an example in which the ultrasonic radiation surface 50d of the throw-in type ultrasonic cleaning device has a concave shape whose thickness gradually decreases toward the center thereof. The concave portion may be provided on the entire ultrasonic radiation surface, may be provided on a part thereof, or may be provided at several places. By employing such a configuration, the ultrasonic waves are more converged and emitted as indicated by the arrows in FIG.
【0023】本発明の第5の実施例について図8を参照
しながら説明する。本実施例は圧電素子の取付構成等に
おいて第1の実施例と同じ構造部分があるので、一部同
番号を用いて説明するとともに、一部説明を割愛する。
超音波振動子21,22,23,24の取り付けられた
基台の超音波放射面20eは、複数の凹部が形成された
構成である。この凹部の配置は被洗浄物の投入状態に対
応して形成されており、部分的に放射される超音波が集
中する構成となっている。また、基台の周囲には筒状の
取付部20fが取り付けられ、基台の外周と取付部の一
部が溶接接合され、水漏れの生じないよう構成されてい
る。この取付部20fの上部には筒状の洗浄槽枠12が
ボルト43a,44aにより螺合されている。螺合部分
は取付部20fと洗浄槽枠12を重ね合わせ、間にパッ
キン43c、44cを介して、ボルト43a,44aと
ナット43b、44bにより水漏れのないように締め付
け固定されている。図示していないが実際上は、より多
数の箇所がボルトとナットにより締め付け固定されてい
る。A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment has the same structural parts as those of the first embodiment in the mounting configuration of the piezoelectric element and the like.
The ultrasonic radiation surface 20e of the base on which the ultrasonic vibrators 21, 22, 23, and 24 are attached has a configuration in which a plurality of concave portions are formed. The arrangement of the concave portions is formed in accordance with the state of the object to be cleaned, so that the ultrasonic waves partially emitted are concentrated. Further, a cylindrical mounting portion 20f is mounted around the base, and the outer periphery of the base and a part of the mounting portion are welded and joined, so that water leakage does not occur. The cylindrical cleaning tank frame 12 is screwed to the upper portion of the mounting portion 20f by bolts 43a and 44a. The threaded portion overlaps the mounting portion 20f and the cleaning tank frame 12 and is fastened and fixed by means of bolts 43a, 44a and nuts 43b, 44b via packings 43c, 44c so as not to leak water. Although not shown, in practice, a larger number of locations are tightened and fixed with bolts and nuts.
【0024】このような構成を採用することにより、被
洗浄物の投入される位置に超音波の放射が集中するよう
に超音波放射面に凹凸を設けているので、用途に応じた
効率的な洗浄を行うことができる。もちろん超音波振動
ユニットの取付部の構成も台1の実施例で述べたような
フランジ部を有する構成とし、洗浄槽の底面に取り付け
る構成としても何ら問題はない。By adopting such a configuration, since the ultrasonic radiation surface is provided with irregularities so that the ultrasonic radiation is concentrated at the position where the object to be cleaned is thrown, an efficient method according to the application is provided. Washing can be performed. Of course, the configuration of the mounting portion of the ultrasonic vibration unit also has a flange portion as described in the embodiment of the base 1, and there is no problem even if it is configured to be mounted on the bottom surface of the cleaning tank.
【0025】[0025]
【発明の効果】請求項1によれば、圧電素子と金属ブロ
ックとの複数の組(超音波振動子)が1つの基台上に固
定される構成であるので、各組の振動特性を調整しなが
ら超音波振動子ユニットとしての調整が容易にできる。
これにより放射される超音波の音圧のムラを極力小さく
することができ、ムラのない安定した超音波放射を行う
ことができる。According to the first aspect, since a plurality of sets (ultrasonic vibrators) of the piezoelectric element and the metal block are fixed on one base, the vibration characteristics of each set are adjusted. Adjustment as an ultrasonic transducer unit can be easily performed.
As a result, the unevenness of the sound pressure of the emitted ultrasonic waves can be minimized, and stable ultrasonic emission without unevenness can be performed.
【0026】また、基台本体の振動エネルギーは減衰さ
れて取付部に伝わり、取付部では振動エネルギーは充分
に小さくなっている。従ってこの部分を用いて他の構成
部品との取り付けを行っても、ユニットの振動状態が大
きくは変化することなく、取り付け後の微調整を行わな
くてもよくなる。The vibration energy of the base body is attenuated and transmitted to the mounting portion, where the vibration energy is sufficiently small. Therefore, even when this component is used to mount other components, the vibration state of the unit does not significantly change, and fine adjustment after the mounting is not required.
【0027】請求項2によれば、取付部では振動エネル
ギーは充分に小さくなっており、この部分を用いて洗浄
槽の取り付け孔部分に取り付けを行っても、ユニットの
振動状態が大きくは変化することなく、取り付け後の微
調整を行わなくてもよい。また、基台はボルト締めラン
ジュバン型圧電振動子の超音波放射面を有する重厚なフ
ロントマスを形成しているので、スタッドボルトで圧電
素子、金属ブロック等を締め付け固定しても、基台が歪
むことがない。これにより従来問題となっていた洗浄槽
内において超音波の強度のバラツキを極めて小さくする
ことができるとともに、従来発生していた洗浄槽底部の
エロージョンの発生も抑制することができる。また、洗
浄槽と超音波振動子ユニットとの接合を接着剤を用いな
い接合とすることができるので、超音波振動子ユニット
が駆動時等に高温になった場合においても、接合状態が
不安定になったりすることはない。According to the second aspect, the vibration energy in the mounting portion is sufficiently small, and the vibration state of the unit is greatly changed even if the mounting portion is used to mount the cleaning tank on the mounting hole. It is not necessary to perform the fine adjustment after the mounting. In addition, since the base forms a heavy front mass having an ultrasonic radiation surface of a bolted Langevin type piezoelectric vibrator, the base is distorted even if the piezoelectric element, metal block, etc. are tightened and fixed with stud bolts. Nothing. This makes it possible to extremely reduce the variation in the intensity of the ultrasonic waves in the cleaning tank, which has been a problem in the past, and to suppress the occurrence of erosion at the bottom of the cleaning tank, which has conventionally occurred. Also, since the bonding between the cleaning tank and the ultrasonic vibrator unit can be performed without using an adhesive, the bonding state is unstable even when the ultrasonic vibrator unit becomes hot during driving or the like. It does not become.
【0028】従って、超音波放射面から均一な超音波放
射を容易にするとともに、振動の損失を極力抑制し、か
つ洗浄槽と超音波振動子との接合を安定して行うことの
できる超音波洗浄装置を得ることができる。Accordingly, an ultrasonic wave capable of facilitating uniform ultrasonic wave emission from the ultrasonic wave emitting surface, suppressing a loss of vibration as much as possible, and stably joining the cleaning tank and the ultrasonic vibrator. A cleaning device can be obtained.
【0029】請求項3によれば、超音波放射面から均一
な超音波放射を容易にするとともに、振動の損失を極力
抑制し、かつ洗浄槽と超音波振動子との接合を安定して
行うことのできる投げ込み型超音波洗浄装置を得ること
ができる。According to the third aspect, uniform ultrasonic emission from the ultrasonic emission surface is facilitated, the loss of vibration is suppressed as much as possible, and the bonding between the cleaning tank and the ultrasonic transducer is stably performed. It is possible to obtain a throw-in type ultrasonic cleaning apparatus that can perform the cleaning.
【0030】請求項4によれば、超音波放射面の一部あ
るいは全部に漸次厚さの厚くなる凸部を形成することに
より、超音波をより広角に放射することができ、洗浄装
置の洗浄領域を広げることができる。また、請求項5に
よれば、超音波放射面の一部あるいは全部に漸次厚さの
薄くなる凹部を形成することにより、超音波をより収束
させて放射することができ、局所的な洗浄が効率よく行
うことができる。従って、請求項4,5の構成を適宜選
択することにより、被洗浄物の構造、配置に対応させた
最適洗浄を行うことができる。According to the fourth aspect, by forming a convex portion having a gradually increasing thickness on a part or the whole of the ultrasonic wave emitting surface, the ultrasonic wave can be emitted at a wider angle, and the cleaning device can be cleaned. The area can be expanded. According to the fifth aspect, by forming a concave portion having a gradually decreasing thickness in a part or the whole of the ultrasonic wave emitting surface, the ultrasonic wave can be more converged and emitted, and the local cleaning can be performed. It can be performed efficiently. Therefore, by appropriately selecting the configuration of the fourth and fifth aspects, it is possible to perform the optimum cleaning corresponding to the structure and arrangement of the object to be cleaned.
【図1】本発明の第1の実施例を示す超音波洗浄装置の
内部構造図。FIG. 1 is an internal structural view of an ultrasonic cleaning apparatus showing a first embodiment of the present invention.
【図2】図1の部分拡大図。FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG.
【図3】第2の実施例を示す内部構造図。FIG. 3 is an internal structural diagram showing a second embodiment.
【図4】第3の実施例を示す内部構造図。FIG. 4 is an internal structure diagram showing a third embodiment.
【図5】第4の実施例を示す内部構造図。FIG. 5 is an internal structure diagram showing a fourth embodiment.
【図6】第4の実施例の他の例を示す内部構造図。FIG. 6 is an internal structural diagram showing another example of the fourth embodiment.
【図7】第4の実施例の他の例を示す内部構造図。FIG. 7 is an internal structural diagram showing another example of the fourth embodiment.
【図8】第5の実施例を示す内部構造図。FIG. 8 is an internal structural diagram showing a fifth embodiment.
【図9】従来例を示す図。FIG. 9 is a diagram showing a conventional example.
1,8・・・洗浄槽 2,5,6・・・超音波振動子ユニット 20,50,55・・・基台 20a,50a、60a・・・フランジ部(取付部) 21,22,23,24,51,52,53,54,6
1,62,63,64,66,67,68,69・・・
超音波振動子 24a・・・圧電素子 24b,24d・・・電極板 24e・・・リアマス 24f・・・スタッドボルト1,8 cleaning tank 2,5,6 ultrasonic transducer unit 20,50,55 base 20a, 50a, 60a flange part (mounting part) 21,22,23 , 24, 51, 52, 53, 54, 6
1,62,63,64,66,67,68,69 ...
Ultrasonic vibrator 24a: piezoelectric element 24b, 24d: electrode plate 24e: rear mass 24f: stud bolt
Claims (5)
放射面の周囲に取付部を有する基台と、この基台の超音
波放射面と反対に位置する面の複数の位置に、圧電素子
が金属ブロックを介してスタッドボルトにて挟持された
状態で取り付けられたことを特徴とする超音波振動子ユ
ニット。1. A base having an ultrasonic radiating surface and having a mounting portion around the ultrasonic radiating surface, and piezoelectric elements provided at a plurality of positions on a surface of the base opposite to the ultrasonic radiating surface. An ultrasonic vibrator unit characterized in that the ultrasonic vibrator unit is attached while being held between stud bolts via a metal block.
た洗浄槽に、請求項1記載の超音波振動子ユニットを気
密的に取り付けるとともに、当該超音波振動子ユニット
に駆動信号を供給する発振器を具備してなる超音波洗浄
装置であって、洗浄槽内に超音波が放射されるよう超音
波振動子ユニットの取付部と前記取付孔周囲とを気密接
続したことを特徴とする超音波洗浄装置。2. An oscillator for airtightly mounting the ultrasonic vibrator unit according to claim 1 in a cleaning tank in which a mounting hole for the ultrasonic vibrator unit is formed, and supplying a drive signal to the ultrasonic vibrator unit. An ultrasonic cleaning device comprising: a mounting portion of an ultrasonic vibrator unit and a periphery of the mounting hole are hermetically connected so that ultrasonic waves are emitted into a cleaning tank. apparatus.
とも1つ形成した密封ケースに、請求項1記載の超音波
振動子ユニットを少なくとも1つ気密的に取り付けると
ともに、前記超音波振動子ユニットに駆動エネルギーを
供給する発振器およびケーブルを具備してなる投げ込み
型超音波洗浄装置であって、外部に超音波が放射される
よう超音波振動子ユニットの取付部と前記取付孔周囲と
を気密接続したことを特徴とする投げ込み型超音波洗浄
装置。3. The ultrasonic vibrator unit according to claim 1, wherein at least one ultrasonic vibrator unit is hermetically attached to a sealed case having at least one mounting hole for the ultrasonic vibrator unit. A throw-in type ultrasonic cleaning device including an oscillator and a cable for supplying drive energy, wherein an attachment portion of an ultrasonic vibrator unit and the periphery of the attachment hole are hermetically connected so that ultrasonic waves are radiated outside. A throw-in type ultrasonic cleaning apparatus characterized by the above-mentioned.
厚さの厚くなる凸部が形成されていることを特徴とする
請求項1記載の超音波振動子ユニット、あるいは請求項
2記載の超音波洗浄装置、あるいは請求項3記載の投げ
込み型超音波洗浄装置。4. The ultrasonic transducer unit according to claim 1, wherein a convex portion having a gradually increasing thickness is formed on a part or all of the ultrasonic wave emitting surface. An ultrasonic cleaning apparatus, or the throw-in type ultrasonic cleaning apparatus according to claim 3.
厚さの薄くなる凹部が形成されていることを特徴とする
請求項1記載の超音波振動子ユニット、あるいは請求項
2記載の超音波洗浄装置、あるいは請求項3記載の投げ
込み型超音波洗浄装置。5. The ultrasonic transducer unit according to claim 1, wherein a concave portion having a gradually decreasing thickness is formed in a part or the whole of the ultrasonic radiation surface. An ultrasonic cleaning device, or the throw-in type ultrasonic cleaning device according to claim 3.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11335497A JPH1052669A (en) | 1996-05-22 | 1997-04-14 | Ultrasonic vibrator unit, ultrasonic cleaning device, and throw-in type ultrasonic cleaning device |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8-151536 | 1996-05-22 | ||
JP15153696 | 1996-05-22 | ||
JP11335497A JPH1052669A (en) | 1996-05-22 | 1997-04-14 | Ultrasonic vibrator unit, ultrasonic cleaning device, and throw-in type ultrasonic cleaning device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1052669A true JPH1052669A (en) | 1998-02-24 |
Family
ID=26452343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11335497A Pending JPH1052669A (en) | 1996-05-22 | 1997-04-14 | Ultrasonic vibrator unit, ultrasonic cleaning device, and throw-in type ultrasonic cleaning device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1052669A (en) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100473785B1 (en) * | 2002-06-20 | 2005-03-08 | 주식회사 울쏘하이텍 | Assembled In A Water Tank A Ultrasonic Vibration Device |
KR100489020B1 (en) * | 2002-06-28 | 2005-05-17 | 주식회사 울쏘하이텍 | Assembled In A Water Tank A Ultrasonic Vibration Device |
WO2005044440A3 (en) * | 2003-11-05 | 2007-05-10 | Crest Group Inc | Ultrasonic apparatus with multiple frequency transducers |
JP2008259998A (en) * | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Shinka Jitsugyo Kk | Ultrasonic cleaning apparatus and method therefor |
US7598654B2 (en) | 2004-11-05 | 2009-10-06 | Goodson J Michael | Megasonic processing apparatus with frequency sweeping of thickness mode transducers |
KR100931646B1 (en) | 2002-12-26 | 2009-12-14 | 주식회사 포스코 | Rolling Oil Homogenizer |
JP4491511B1 (en) * | 2009-11-30 | 2010-06-30 | 日本アレックス株式会社 | Ultrasonic transducer unit |
WO2010073442A1 (en) | 2008-12-25 | 2010-07-01 | 志摩環境事業協業組合 | Immersion-type membrane separation apparatus |
RU2486971C2 (en) * | 2011-07-13 | 2013-07-10 | Яков Яковлевич Вельц | Method of making ultrasound processing units |
CN108262303A (en) * | 2016-12-30 | 2018-07-10 | 中核建中核燃料元件有限公司 | One kind feeds intake container ultrasonic wave automatic washing device |
KR101974789B1 (en) * | 2018-10-02 | 2019-05-02 | 천성현 | Ultrasonic wave dish washer |
-
1997
- 1997-04-14 JP JP11335497A patent/JPH1052669A/en active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100473785B1 (en) * | 2002-06-20 | 2005-03-08 | 주식회사 울쏘하이텍 | Assembled In A Water Tank A Ultrasonic Vibration Device |
KR100489020B1 (en) * | 2002-06-28 | 2005-05-17 | 주식회사 울쏘하이텍 | Assembled In A Water Tank A Ultrasonic Vibration Device |
KR100931646B1 (en) | 2002-12-26 | 2009-12-14 | 주식회사 포스코 | Rolling Oil Homogenizer |
WO2005044440A3 (en) * | 2003-11-05 | 2007-05-10 | Crest Group Inc | Ultrasonic apparatus with multiple frequency transducers |
US7247977B2 (en) * | 2003-11-05 | 2007-07-24 | Goodson J Michael | Ultrasonic processing method and apparatus with multiple frequency transducers |
US7598654B2 (en) | 2004-11-05 | 2009-10-06 | Goodson J Michael | Megasonic processing apparatus with frequency sweeping of thickness mode transducers |
US8310131B2 (en) | 2004-11-05 | 2012-11-13 | Megasonic Sweeping, Inc. | Megasonic processing apparatus with frequency sweeping of thickness mode transducers |
JP2008259998A (en) * | 2007-04-13 | 2008-10-30 | Shinka Jitsugyo Kk | Ultrasonic cleaning apparatus and method therefor |
WO2010073442A1 (en) | 2008-12-25 | 2010-07-01 | 志摩環境事業協業組合 | Immersion-type membrane separation apparatus |
US9073012B2 (en) | 2008-12-25 | 2015-07-07 | Shimakankyoujigyou Kyougyoukumiai | Immersion-type membrane separation apparatus |
JP2011114776A (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Nippon Alex Kk | Ultrasonic transducer unit |
JP4491511B1 (en) * | 2009-11-30 | 2010-06-30 | 日本アレックス株式会社 | Ultrasonic transducer unit |
RU2486971C2 (en) * | 2011-07-13 | 2013-07-10 | Яков Яковлевич Вельц | Method of making ultrasound processing units |
CN108262303A (en) * | 2016-12-30 | 2018-07-10 | 中核建中核燃料元件有限公司 | One kind feeds intake container ultrasonic wave automatic washing device |
CN108262303B (en) * | 2016-12-30 | 2024-02-02 | 中核建中核燃料元件有限公司 | Throw material container ultrasonic wave self-cleaning device |
KR101974789B1 (en) * | 2018-10-02 | 2019-05-02 | 천성현 | Ultrasonic wave dish washer |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3198489A (en) | Compound ultrasonic transducer and mounting means therefor | |
JPH1052669A (en) | Ultrasonic vibrator unit, ultrasonic cleaning device, and throw-in type ultrasonic cleaning device | |
US6946773B2 (en) | Apparatus and methods for cleaning and/or processing delicate parts | |
JPS6034433B2 (en) | ultrasonic transducer | |
US7211927B2 (en) | Multi-generator system for an ultrasonic processing tank | |
RU2603562C2 (en) | Screen printing | |
US3735159A (en) | Method and apparatus for translating ultrasonic energy | |
KR200409300Y1 (en) | Ultrasonic washer for vibrator structure | |
TWI759566B (en) | Ultrasonic vibrator and ultrasonic cleaning device using ultrasonic vibrator | |
US2937292A (en) | Supporting structure for piezoelectric transducer | |
US5583293A (en) | Sonic or ultrasonic transducer | |
JPH09168770A (en) | Ultrasonic vibrator and ultrasonic cleaning apparatus | |
JPH1071365A (en) | Ultrasonic vibrator and ultrasonic washing apparatus | |
JPH08140984A (en) | Ultrasonic treatment device | |
KR20170057658A (en) | High efficiency ultrasonic vibrator | |
EP0479070B1 (en) | Mounting arrangement of an ultrasound transducer onto a washing tank | |
KR102021784B1 (en) | ultrasonic vibrator for dishwasher | |
KR20180013179A (en) | Ultrasonic vibration | |
JPH1157640A (en) | Method for fixing ultrasonic oscillator | |
JP3225974U (en) | Electrode mounting structure for Langevin type vibrator | |
JP2000209690A (en) | Underwater ultrasonic wave transducer | |
JPH07313939A (en) | Ultrasonic washing machine | |
JPH10429A (en) | Langevin type oscillator | |
JPH05207593A (en) | Ultrasonic wave transmitter | |
JPH09155289A (en) | Bolted langevin type vibrator |