JPH10510635A - 二つの傾斜角度を提供するための薄膜作動式ミラー・アレイ - Google Patents
二つの傾斜角度を提供するための薄膜作動式ミラー・アレイInfo
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Abstract
(57)【要約】
台座(14)と、上記台座(14)上に装着されている圧電構造体(12)と、圧電材料層(18)の変形に応じてミラー面(32)が傾斜するように、圧電構造体(12)に相互接続している上記ミラー面(32)とを含む作動式ミラー・アレイ用薄膜作動式ミラー。台座(14)は、第一の台座セクション(38)と第二の台座セクション(40)とを含み、圧電構造体(12)は第一の部分(42)および第二の部分(44)に分割されている。上記圧電構造体(12)は、二つの対向する面および二つの金属電極を備えた圧電材料層(18)を含み、上記電極は圧電材料の対向する面上に装着されている。圧電構造体の第一の部分(42)は、圧電構造体(12)の近い方の端部(28)で、第一の台座セクション(38)に装着され、第二の部分(44)は、圧電構造体(12)の遠い方の端部(30)で、第二の台座セクション(40)に装着されている。
Description
【発明の詳細な説明】
二つの傾斜角度を提供するための薄膜作動式ミラー・アレイ
関連出願データ
本出願は、引用によって本明細書の記載に援用する、1994年2月23日付
けの共通所有の、同時係属出願第08/200,861号の部分継続出願である
。
発明の分野
本発明は、概して、光学的投影ビデオ・システム用の作動式ミラー・アレイ、
特に光学的投影システム用の薄膜作動式ミラー・アレイに関する。
発明の背景
光学的投影ビデオ・ディスプレイ・システムの場合には、各ピクセルに対する
光変調を制御するために、作動式ミラー・アレイが使用される。あるシステムの
場合には、ミラー・アレイは、光学的エネルギー源により照射される。電子制御
の下で、各ミラーから反射する光ビームの伝播経路を決定するために、アレイ内
の各ミラーの方向があちこちに向けられる。図1は、光学的投影ビデオ・ディス
プレイ・システムの一例である。このシステムの場合には、光は光源120から
放射され、作動式ミラー・アレイ124の方向に、ある角度で傾いているシュリ
ーレン・ストップ・ミラー122により反射される。この光は、作動式ミラー・
アレイから、ある制御された角度で反射される。上記角度は、ミラー・アレイの
作動により制御される。ミラー・アレイ124により反射された光は、第二のレ
ンズ126を通り、シュリーレン・ストップ・ミラーをバイパスし、第三のレン
ズ128を通ってスクリーンに達する。本発明は、上記光学的投影ビデオ・ディ
スプレイ・システムで使用されるミラー・アレイ用の作動式ミラーを開示する。
ユニモルフは、金属材料の層に外部から接着した圧電素子である。金属層は、
圧電材料の両端に加えられる、圧電材料の形状を変化させるDC電気信号により
制御される。圧電材料の形が変化すると、金属層内に軸方向の座屈、すなわち、
たわみが生じる。何故なら、金属層は圧電材料の動きに対抗しているからである
。金属層の座屈の大きさは、DC電気信号の振幅により制御される。バイモルフ
は、圧電素子の二つの層を含む。直接蒸着または圧電素子に金属層を接着するた
めに接着剤を使用して、ユニモルフおよびバイモルフを製造する方法は、当業者
にとっては周知である。例えば、米国特許第5,085,497号は、光学的投
影システム用のミラー・アレイを製造する方法を開示している。
しかし、周知の作動式ミラー・アレイは、各圧電材料層に対して一つの傾斜角
度しか提供しない。そのため、二つの傾斜角度を提供する薄膜作動式ミラー・ア
レイが待望されている。
発明の概要
従って、本発明の主な目的は、従来技術の一つまたはそれ以上の欠点および限
界を克服することである。本発明の重要な目的は、高い解像度を持ち製造が容易
な作動式ミラー・アレイを提供することである。
本発明のもう一つの目的は、変位の二つの傾斜角度を提供する作動式ミラー・
アレイを提供することである。
本発明を全体的に見ると、本発明は、台座と、台座に装着されている圧電構造
体と;圧電材料層の変形に応じてミラー面が傾斜するように、圧電構造体に相互
接続しているミラー面を含む作動式ミラー・アレイ用薄膜作動式ミラーである。
上記台座は、第一の台座セクションと第二の台座セクションを含み、上記圧電構
造体は第一の部分および第二の部分に分割されている。上記圧電構造体は、二つ
の対向する面および二つの金属電極を備えた圧電材料層を含み、上記電極は圧電
材料の対向する面上に装着されている。圧電構造体の第一の部分は、圧電構造体
の近い方の端部で、第一の台座セクションに装着され、第二の部分は、圧電構造
体の遠い方の端部で、第二の台座セクションに装着されている。
本発明のもう一つの特徴は、薄膜作動式ミラー・アレイを容易に製造すること
ができることである。
本発明のもう一つの特徴は、薄膜作動式ミラー・アレイが変位の二つの傾斜角
度を提供することである。
当業者なら、添付の図面および請求の範囲と共に、例示としての好適な実施形
態の下記の説明を読めば、本発明の上記および他の目的、利点および特徴を容易
に理解することができるだろう。
図面の簡単な説明
図1は、薄膜作動式ミラー・アレイの光学系の実行を示す図である。
図2は、薄膜作動式ミラー・アレイの第一の実施形態の側面図である。
図3は、図2の薄膜作動式ミラー・アレイの第一の実施形態の上面図である。
図4は、図2の薄膜作動式ミラー・アレイの第一の実施形態の平面図である。
図5は、薄膜作動式ミラー・アレイの二つの傾斜角度を示す線図である。
例示としての好適な実施形態の説明
図2について説明すると、この図は本発明の薄膜作動式ミラー・アレイの第一
の実施形態10である。上記第一の実施形態10は、圧電構造体12、台座部材
14および基板16を含む。圧電構造体12は、第一の金属層20と第二の金属
層22の間に設置された圧電材料層18を含む。圧電材料層18は、上面24と
下面26を含む。第一の金属層20は、圧電材料層の上面24に接触していて、
金属電極として機能する。第二の金属層22は、圧電材料層の下面26に接触し
ていて、金属電極として機能する。圧電構造体12は近い方の端部28および遠
い方の端部30を形成する。
圧電構造体12は、台座部材14により支持されている。台座部材14は、基
板16に接続している。ミラー面部材32は、第一の金属層20と相互接続して
いる。圧電構造体12は、さらに非作動層34を含む。非作動層34は、台座部
材14と第二の金属層22との間に設置されている。薄膜作動式ミラー・アレイ
の第一の実施形態10は、さらに圧電構造体12とミラー面部材32との間に装
着されているスペーサ部材36を含んでもよい。
図3および図4について説明すると、これらの図は、第一の部分42と第二の
部分44とに分割された圧電構造体12を備えた第一の実施形態10である。二
つの部分42および44は、一緒になって一つのピクセルとして動作する。より
詳細に説明すると、第一の実施形態10の台座14は、第一の台座セクション3
8と第二の台座セクション40とを含む。第一の台座セクション38は、圧電構
造体の近い方の端部28に設置され、第二の台座セクション40は、圧電構造体
の遠い方の端部30に設置されている。圧電構造体は、第一の部分42および第
二の部分44に分割されている。圧電構造体の第一の部分42は、圧電構造体の
第一の部分42が第一の台座セクション38から片持ちにされ、好適には、第二
の台座セクション40に接触しないように、圧電構造体の近い方の端部28で、
第一の台座セクション38に装着されていることが好ましい。圧電構造体の第二
の部分44は、圧電構造体の第二の部分44が第二の台座セクション40から片
持ちにされ、好適には、第一の台座セクション38に接触しないように、圧電構
造体の遠い方の端部30で、第二の台座セクション40に装着されていることが
好ましい。圧電構造体の第一および第二の部分42、44は、好適には、これら
部分が、図3に最も明確に示すように、狭い隙間46で分離状態で装着されてい
ることが好ましい。
使用中、電気信号を伝える台座14を通して、基板の能動マトリックス16か
ら、圧電構造体12に電界が加えられると、圧電材料のポーリングに対する電界
の極性により、圧電材料は伸縮する。例を上げて説明すると、電界の極性が圧電
材料の極性と同一の場合には、圧電材料は収縮する。電界の極性が圧電材料の極
性と異なっている場合には、圧電材料は伸張する。
図5について説明すると、この図は二つの傾斜角度を作り出す薄膜作動式ミラ
ー・アレイの第一の実施形態10の使用方法を示す。説明の便宜上、圧電材料お
よび電界の極性が、圧電材料が収縮するようなものであると仮定する。それ故、
圧電材料層の第一の部分42に電界が加えられると、圧電材料の第一の部分は収
縮する。その結果、圧電材料層の第一の部分42は、第一の台座セクション38
から上に向かって傾き、ミラー面部材32は、図5に示すように、角度48で上
に向かって傾斜する。ミラー面部材32の傾斜力により、圧電材料層の第二の部
分44も同じ角度で傾斜する。圧電材料層の第二の部分44に電界が加えられる
と、圧電材料の第二の部分は収縮する。その結果、圧電材料層の第二の部分44
は、第二の台座セクション40から上に向かって傾き、ミラー面部材32は、図
5に示すように、角度50で上に向かって傾斜する。ミラー面部材32の傾斜力
により、圧電材料層の第一の部分42も同じ角度で傾斜する。図5に示す通り、
角度48は角度50の反対の角度であり、そのため二つの傾斜角度が生じる。
すでに説明したように、圧電構造体はスペーサ36を含むことができる。図3
および図4に示す実施形態の場合には、スペーサ36は、第一のスペーサ部材5
2および第二のスペーサ部材54からなる。第一のスペーサ部材52は、圧電構
造体の第一の部分42に対応する。圧電構造体の第一の部分42は、圧電材料構
造体の近い方の端部28のところで、台座部材の第一のセクション38に装着さ
れ、第一のスペーサ部材52は、圧電材料構造体の遠い方の端部30上に配置さ
れている。ミラー層32の小さなセクションは、ミラー層が部分的に第一のスペ
ーサ部材52から片持ちにされ、第一のスペーサ部材52に固定されている。圧
電構造体の第二の部分44は、圧電材料構造体の遠い方の端部30のところで、
台座部材の第二のセクション40に装着され、第二のスペーサ部材54は圧電材
料構造体の近い方の端部28上に配置されている。ミラー層32の小さなセクシ
ョンは、ミラー層32が同様に部分的に第二のスペーサ部材54から片持ちにさ
れ、第二のスペーサ部材54に固定されている。
スペーサ部材52および54は、ミラー面32の有効な長さを増大する。より
詳細に説明すると、圧電材料に電界が掛けられ、圧電構造体が上に向かって湾曲
すると、ミラーはある角度で上に向かって傾斜するが、スペーサが使用されてい
るので平面状態に維持される。その結果、ミラーの有効な長さはミラーの全長に
なる。逆に、ミラー層がスペーサ部材にではなく、圧電材料層に直接固定されて
いる場合には、台座に固定されているミラーのその部分は、電界により湾曲しな
いで、平面に固定された状態のままである。その結果、ミラーの有効な長さは、
ミラーの長さから台座に固定されている圧電材料の部分の長さを引いたものであ
る。それ故、スペーサおよびミラー層を使用すると、ミラー・アレイの充填係数
および効率が増大する。別の利点としては、ミラー層の厚さを容易に変えること
ができることが上げられる。
薄膜作動式ミラー・アレイの他の実施形態の場合には、圧電構造体12をバイ
モルフ圧電構造体(図示せず)で作ることができる。バイモルフ構造体は、上部
圧電材料層と、下部圧電材料層と、第一の金属層と、第二の金属層と、第三の金
属層とを備えている。第一の金属層は、上部圧電材料層の上に接触した状態で設
置されていて、ミラー面と相互接触している。第二の金属層は、下部圧電材料層
の下に接触した状態で設置されている。第三の金属層は、上部圧電材料層の下面
と下部圧電材料層の上面との間に設置されている。バイモルフ構造体は、上向き
の角度または下向きの角度で傾斜を起こさせる別の能力を供給する。バイモルフ
構造体を使用する場合には、第一および第二の圧電構造体の部分42、44は、
相互に正確に位相がずれた状態で作動する。
実施形態についての説明には圧電材料を使用したが、他のタイプの動作を起こ
させる材料も使用することができることにも留意されたい。例えば、必要な伸縮
を行わせるために、電歪性材料または磁気歪性材料を使用することができる。
今まで、本発明の原理による薄膜作動式ミラー・アレイのいくつかの例示とし
ての好適な実施形態について説明してきた。当業者なら、本明細書に開示された
発明の精神から逸脱しないで、上記実施形態を種々に使用することができ修正す
ることができるだろう。従って、本発明は、下記の請求の範囲によってのみ制限
される。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.第一の台座セクションと第二の台座セクションを含む台座と、 上記台座に装着されてい少なくとも一つの圧電構造体と、上記圧電構造体は、 二つの対向する面および二つの金属電極を備えた圧電材料層をさらに有し、上記 各電極は上記の圧電材料の上記対向する各面上に装着されており、上記電極の間 の上記圧電材料に電気信号が加えられると、上記圧電材料層が変形を起こし、さ らに上記圧電構造体は第一の部分および第二の部分に分割されており、上記第一 の部分は、上記圧電構造体の近い方の端部で、上記第一の台座セクションに装着 され、上記第二の部分は、圧電構造体の遠い方の端部で、上記第二の台座セクシ ョンに装着されている圧電構造体と、 上記圧電材料層の変形に応じてミラー面が傾斜するように、上記圧電構造体に 相互接続しているミラー面とを備える薄膜作動式ミラー。 2.請求項1に記載の薄膜作動式ミラーにおいて、上記ミラー面が上記金属電 極の一つに直接装着されている薄膜作動式ミラー。 3.請求項1に記載の薄膜作動式ミラーにおいて、上記第一の部分と上記ミラ ー面との間に装着されている第一のスペーサ部材と、 上記第二の部分と上記ミラー面との間に装着されている第二のスペーサ部材と をさらに含む薄膜作動式ミラー。 4.請求項3に記載の薄膜作動式ミラーにおいて、上記第一のスペーサ部材は 上記圧電構造体の遠い方の端部に装着されており、上記第二のスペーサ部材は上 記圧電構造体の近い方の端部で、上記圧電構造体の第二の部分に装着されている 薄膜作動式ミラー。 5.請求項1に記載の薄膜作動式ミラーにおいて、上記圧電構造体の第一の部 分および上記圧電構造体の第二の部分が狭い隙間で分離されている薄膜作動式ミ ラー。 6.請求項1に記載の薄膜作動式ミラーにおいて、上記圧電構造体がバイモル フ構造である薄膜作動式ミラー。 7.請求項1に記載の薄膜作動式ミラーにおいて、上記圧電構造体が、上記台 座と上記第二の金属電極との間に非作動材の層をさらに含む薄膜作動式ミラー。
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Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2321114B (en) | 1997-01-10 | 2001-02-21 | Lasor Ltd | An optical modulator |
KR19980069199A (ko) * | 1997-02-27 | 1998-10-26 | 배순훈 | 광효율을 향상시킬 수 있는 박막형 광로 조절장치 및 그 제조 방법 |
GB9704769D0 (en) * | 1997-03-07 | 1997-04-23 | Powerbreaker Plc | Low component count release mechanism |
US5917645A (en) * | 1997-03-28 | 1999-06-29 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Thin film actuated mirror array in an optical projection system and method for manufacturing the same |
US6550116B2 (en) * | 1997-07-11 | 2003-04-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing a bimorph piezoelectric device for acceleration sensor |
US6724130B1 (en) * | 1999-10-22 | 2004-04-20 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Membrane position control |
US7005777B2 (en) * | 2001-01-10 | 2006-02-28 | Seagate Technology Llc | Tapered piezoelectric in-plane bimorph and method of fabricating |
US20030025981A1 (en) * | 2001-07-31 | 2003-02-06 | Ball Semiconductor, Inc. | Micromachined optical phase shift device |
US6947201B2 (en) | 2003-12-08 | 2005-09-20 | Xinetics, Inc. | Transverse electrodisplacive actuator array |
EP2503230A1 (en) * | 2011-03-22 | 2012-09-26 | Solvay Specialty Polymers Italy S.p.A. | A led lighting device with an adjustable spatial distribution of the emitted light |
US20160004032A1 (en) * | 2013-02-21 | 2016-01-07 | Empire Technology Development Llc | Shape memory alloy apparatus and methods of formation and operation thereof |
CN105022163B (zh) * | 2015-07-27 | 2017-09-19 | 宁波大学 | 一种可调焦距的反射镜 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4383763A (en) * | 1979-09-12 | 1983-05-17 | Litton Systems, Inc. | Controllable mirrors |
US4675960A (en) * | 1985-12-30 | 1987-06-30 | Motorola, Inc. | Method of manufacturing an electrically variable piezoelectric hybrid capacitor |
US4915492A (en) * | 1989-02-06 | 1990-04-10 | Toth Theodor A | Mirror transducer assembly with selected thermal compensation |
US5185660A (en) * | 1989-11-01 | 1993-02-09 | Aura Systems, Inc. | Actuated mirror optical intensity modulation |
US5085497A (en) * | 1990-03-16 | 1992-02-04 | Aura Systems, Inc. | Method for fabricating mirror array for optical projection system |
US5116128A (en) * | 1990-12-18 | 1992-05-26 | Litton Systems, Inc. | Mirror transducer assembly for ring laser gyroscope |
US5251056A (en) * | 1992-07-31 | 1993-10-05 | Eastman Kodak Company | High-speed light beam deflector |
KR970003007B1 (ko) * | 1993-05-21 | 1997-03-13 | 대우전자 주식회사 | 투사형 화상표시장치용 광로조절장치 및 그 구동방법 |
KR970003466B1 (ko) * | 1993-09-28 | 1997-03-18 | 대우전자 주식회사 | 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 제조 방법 |
US5481396A (en) * | 1994-02-23 | 1996-01-02 | Aura Systems, Inc. | Thin film actuated mirror array |
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