JPH1048171A - 接触燃焼式ガスセンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法 - Google Patents
接触燃焼式ガスセンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法Info
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- JPH1048171A JPH1048171A JP20499996A JP20499996A JPH1048171A JP H1048171 A JPH1048171 A JP H1048171A JP 20499996 A JP20499996 A JP 20499996A JP 20499996 A JP20499996 A JP 20499996A JP H1048171 A JPH1048171 A JP H1048171A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 回路構成を複雑化することなく、正確なガス
濃度検出を行う。 【解決手段】 測定対象雰囲気中に一定濃度の測定対象
ガスが存在する場合にブリッジ回路２の入力電流を変化
させることにより得られるブリッジ回路２の出力電圧変
化を、測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在しない場
合に入力電流を変化させることにより得られるブリッジ
回路２の出力電圧変化である基準出力電圧変化により相
殺するので、入力電流の変化、すなわち、電源電圧が変
化してもその影響を抑制することができ、正確な測定対
象ガス濃度を測定することができる。
濃度検出を行う。 【解決手段】 測定対象雰囲気中に一定濃度の測定対象
ガスが存在する場合にブリッジ回路２の入力電流を変化
させることにより得られるブリッジ回路２の出力電圧変
化を、測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在しない場
合に入力電流を変化させることにより得られるブリッジ
回路２の出力電圧変化である基準出力電圧変化により相
殺するので、入力電流の変化、すなわち、電源電圧が変
化してもその影響を抑制することができ、正確な測定対
象ガス濃度を測定することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、接触燃焼式ガスセ
ンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法に係り、特
に、メタンガスの濃度を検出するための接触燃焼式ガス
センサ及びその製造方法に関する。
ンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法に係り、特
に、メタンガスの濃度を検出するための接触燃焼式ガス
センサ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】水素ガス、メタンガス、エタノールガス
等の可燃性ガスの濃度を検出するために用いられる接触
燃焼式ガスセンサは測定精度が高いという特徴を有して
いる。図６に接触燃焼式ガスセンサの概要構成図を示
す。
等の可燃性ガスの濃度を検出するために用いられる接触
燃焼式ガスセンサは測定精度が高いという特徴を有して
いる。図６に接触燃焼式ガスセンサの概要構成図を示
す。
【０００３】接触燃焼式ガスセンサ１１は、大別する
と、測定対象ガスの濃度に応じた出力電圧信号を出力す
るブリッジ回路１２、ブリッジ回路１２に検出用電源を
印加する電源１３と、を備えて構成されている。ブリッ
ジ回路１２は、白金線上に可燃性ガスに対する酸化触
媒、例えば、Ｐｄ等の第８属金属をアルミナ等の担体上
に担持させたものを付着させた検知素子１４と、検知素
子１４に直列に接続され、検知素子と同様な構造ではあ
るが、測定対象の可燃性ガスに対し感応しないように不
活性処理をした温度補償素子１５と、互いに直列に接続
されるとともに、検知素子１４及び温度補償素子１５と
並列に接続された二つの抵抗１６，１７と、検知素子１
４及び温度補償素子１５の中間接続点に接続された第１
出力端子１８と、二つの抵抗１６，１７の中間接続点に
接続された第２出力端子１９と、を備え、第１出力端子
１８及び第２出力端子１９を介して、可燃性ガスの燃焼
に伴う反応熱に対応して出力電圧信号Ｖout’を出力す
る。
と、測定対象ガスの濃度に応じた出力電圧信号を出力す
るブリッジ回路１２、ブリッジ回路１２に検出用電源を
印加する電源１３と、を備えて構成されている。ブリッ
ジ回路１２は、白金線上に可燃性ガスに対する酸化触
媒、例えば、Ｐｄ等の第８属金属をアルミナ等の担体上
に担持させたものを付着させた検知素子１４と、検知素
子１４に直列に接続され、検知素子と同様な構造ではあ
るが、測定対象の可燃性ガスに対し感応しないように不
活性処理をした温度補償素子１５と、互いに直列に接続
されるとともに、検知素子１４及び温度補償素子１５と
並列に接続された二つの抵抗１６，１７と、検知素子１
４及び温度補償素子１５の中間接続点に接続された第１
出力端子１８と、二つの抵抗１６，１７の中間接続点に
接続された第２出力端子１９と、を備え、第１出力端子
１８及び第２出力端子１９を介して、可燃性ガスの燃焼
に伴う反応熱に対応して出力電圧信号Ｖout’を出力す
る。
【０００４】図４に濃度３０００ｐｐｍのメタンガスに
ついての接触燃焼式ガスセンサのガス感度特性、図７に
濃度３０００ｐｐｍの水素ガスについてのガス感度特
性、図８に濃度２０００ｐｐｍのエタノールガスに対す
るガス感度特性を示す。縦軸は、ブリッジ回路の出力電
圧信号（以下、センサ出力電圧という。）Ｖout’、横
軸は、検出用電圧に対応する接触燃焼式ガスセンサの入
力電流（以下、センサ電流という。）であり、各図にお
いて、ＮＯ．１〜ＮＯ．５は、試料番号１〜５を示す。
ついての接触燃焼式ガスセンサのガス感度特性、図７に
濃度３０００ｐｐｍの水素ガスについてのガス感度特
性、図８に濃度２０００ｐｐｍのエタノールガスに対す
るガス感度特性を示す。縦軸は、ブリッジ回路の出力電
圧信号（以下、センサ出力電圧という。）Ｖout’、横
軸は、検出用電圧に対応する接触燃焼式ガスセンサの入
力電流（以下、センサ電流という。）であり、各図にお
いて、ＮＯ．１〜ＮＯ．５は、試料番号１〜５を示す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図７及び図８に示すよ
うに、水素ガス及びエタノールガスは、センサ電流が変
化（すなわち、検出用電源の電圧が変化）しても、セン
サ出力電圧Ｖout’はさほど変化しないが（１［ｍＶ］
以下の変化）、図４に示すように、メタンガスの場合に
はセンサ電流が増加するにつれて、５［ｍＶ］以上もセ
ンサ出力電圧Ｖout’が増加することとなり、このまま
では、正確なメタンガスの濃度を測定することはできな
い。
うに、水素ガス及びエタノールガスは、センサ電流が変
化（すなわち、検出用電源の電圧が変化）しても、セン
サ出力電圧Ｖout’はさほど変化しないが（１［ｍＶ］
以下の変化）、図４に示すように、メタンガスの場合に
はセンサ電流が増加するにつれて、５［ｍＶ］以上もセ
ンサ出力電圧Ｖout’が増加することとなり、このまま
では、正確なメタンガスの濃度を測定することはできな
い。
【０００６】そこで従来においては、正確なメタンガス
濃度を測定すべく、定電圧回路を用いて、検出用電圧の
変動を抑制することにより、センサ電流を安定化させる
ことにより、正確なセンサ出力電圧を得られるような構
成としていた。ところがこのような接触燃焼式ガスセン
サにおいては、図９に示すように、電源電圧の変動に対
し、対象ガスであるメタンに対する感度が変化するとい
う特性を有しており、定電圧回路を用い電源電圧を安定
化させる方式等が採られていた。
濃度を測定すべく、定電圧回路を用いて、検出用電圧の
変動を抑制することにより、センサ電流を安定化させる
ことにより、正確なセンサ出力電圧を得られるような構
成としていた。ところがこのような接触燃焼式ガスセン
サにおいては、図９に示すように、電源電圧の変動に対
し、対象ガスであるメタンに対する感度が変化するとい
う特性を有しており、定電圧回路を用い電源電圧を安定
化させる方式等が採られていた。
【０００７】従って、正確なメタン濃度を検出するため
には、回路構成が複雑化してしまうという問題点があっ
た。そこで、本発明の目的は、回路構成を複雑化するこ
となく、正確なガス濃度検出を行うことが可能な接触燃
焼式ガスセンサ及びその製造方法を提供することにあ
る。
には、回路構成が複雑化してしまうという問題点があっ
た。そこで、本発明の目的は、回路構成を複雑化するこ
となく、正確なガス濃度検出を行うことが可能な接触燃
焼式ガスセンサ及びその製造方法を提供することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、測定対象ガスの燃焼時に発
生する反応熱を検出する検知素子及び前記検知素子の温
度補償を行うための温度補償素子を用いてブリッジ回路
を構成し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触
燃焼式ガスセンサにおいて、測定対象雰囲気中に一定濃
度の前記測定対象ガスが存在する場合に前記ブリッジ回
路の入力電流を変化させることにより得られる前記ブリ
ッジ回路の出力電圧変化を、前記測定対象雰囲気中に前
記測定対象ガスが存在しない場合に前記入力電流を変化
させることにより得られる前記ブリッジ回路の出力電圧
変化である基準出力電圧変化により相殺するように構成
する。
め、請求項１記載の発明は、測定対象ガスの燃焼時に発
生する反応熱を検出する検知素子及び前記検知素子の温
度補償を行うための温度補償素子を用いてブリッジ回路
を構成し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触
燃焼式ガスセンサにおいて、測定対象雰囲気中に一定濃
度の前記測定対象ガスが存在する場合に前記ブリッジ回
路の入力電流を変化させることにより得られる前記ブリ
ッジ回路の出力電圧変化を、前記測定対象雰囲気中に前
記測定対象ガスが存在しない場合に前記入力電流を変化
させることにより得られる前記ブリッジ回路の出力電圧
変化である基準出力電圧変化により相殺するように構成
する。
【０００９】請求項１記載の発明によれば、測定対象雰
囲気中に一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブリ
ッジ回路の入力電流を変化させることにより得られるブ
リッジ回路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測定
対象ガスが存在しない場合に入力電流を変化させること
により得られるブリッジ回路の出力電圧変化である基準
出力電圧変化により相殺する。
囲気中に一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブリ
ッジ回路の入力電流を変化させることにより得られるブ
リッジ回路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測定
対象ガスが存在しない場合に入力電流を変化させること
により得られるブリッジ回路の出力電圧変化である基準
出力電圧変化により相殺する。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記検知素子は、白金線コイル上に検知用
酸化触媒を塗布した構造を有しており、前記温度補償素
子は、白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を塗布した
構造を有しており、前記検知素子における前記検知用酸
化触媒の塗布量と、前記温度補償素子における前記温度
補償用酸化触媒の塗布量と、を相対的に変化させるよう
に構成する。
明において、前記検知素子は、白金線コイル上に検知用
酸化触媒を塗布した構造を有しており、前記温度補償素
子は、白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を塗布した
構造を有しており、前記検知素子における前記検知用酸
化触媒の塗布量と、前記温度補償素子における前記温度
補償用酸化触媒の塗布量と、を相対的に変化させるよう
に構成する。
【００１１】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の作用に加えて、検知素子における検知用酸化
触媒の塗布量と、温度補償素子における温度補償用酸化
触媒の塗布量と、を相対的に変化させる。請求項３記載
の発明は、請求項２記載の発明において、前記測定対象
雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場合における前
記ブリッジ回路の入力電流の増加に伴って前記出力電圧
が増加する場合には、前記温度補償用酸化触媒の塗布量
を増加させ、前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガス
が存在する場合における前記ブリッジ回路の入力電流の
増加に伴って前記出力電圧が減少する場合には、前記温
度補償用酸化触媒の塗布量を減少させるように構成す
る。
載の発明の作用に加えて、検知素子における検知用酸化
触媒の塗布量と、温度補償素子における温度補償用酸化
触媒の塗布量と、を相対的に変化させる。請求項３記載
の発明は、請求項２記載の発明において、前記測定対象
雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場合における前
記ブリッジ回路の入力電流の増加に伴って前記出力電圧
が増加する場合には、前記温度補償用酸化触媒の塗布量
を増加させ、前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガス
が存在する場合における前記ブリッジ回路の入力電流の
増加に伴って前記出力電圧が減少する場合には、前記温
度補償用酸化触媒の塗布量を減少させるように構成す
る。
【００１２】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明の作用に加えて、測定対象雰囲気中に測定対象
ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電流の
増加に伴って出力電圧が増加する場合には、温度補償用
酸化触媒の塗布量を増加させ、測定対象雰囲気中に測定
対象ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電
流の増加に伴って出力電圧が減少する場合には、温度補
償用酸化触媒の塗布量を減少させる。
載の発明の作用に加えて、測定対象雰囲気中に測定対象
ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電流の
増加に伴って出力電圧が増加する場合には、温度補償用
酸化触媒の塗布量を増加させ、測定対象雰囲気中に測定
対象ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電
流の増加に伴って出力電圧が減少する場合には、温度補
償用酸化触媒の塗布量を減少させる。
【００１３】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記検知素子は、白金線コイル上に検知用
酸化触媒を塗布した構造を有しており、前記温度補償素
子は、白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を塗布した
構造を有しており、前記検知素子における白金線コイル
の抵抗値と、前記温度補償素子における前記白金線コイ
ルの抵抗値と、を相対的に変化させるように構成する。
明において、前記検知素子は、白金線コイル上に検知用
酸化触媒を塗布した構造を有しており、前記温度補償素
子は、白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を塗布した
構造を有しており、前記検知素子における白金線コイル
の抵抗値と、前記温度補償素子における前記白金線コイ
ルの抵抗値と、を相対的に変化させるように構成する。
【００１４】請求項４記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の作用に加えて、検知素子における白金線コイ
ルの抵抗値と、温度補償素子における白金線コイルの抵
抗値と、を相対的に変化させる。請求項５記載の発明
は、白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗布した構造を
有し、測定対象ガスの燃焼時に発生する反応熱を検出す
る検知素子及び白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を
塗布した構造を有し前記検知素子の温度補償を行うため
の温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前記反
応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセンサ
の製造方法であって、第１所定量の検知用酸化触媒をバ
インダとともに白金線コイル上に塗布する第１塗布工程
と、測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場
合における前記ブリッジ回路の入力電流−出力電圧変化
曲線の傾き及び前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガ
スが存在しない場合における前記入力電流−出力電圧変
化曲線である基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並
びに前記第１所定量に基づく第２所定量の温度補償用酸
化触媒をバインダとともに白金線コイル上に塗布する第
２塗布工程と、前記検知用酸化触媒が塗布された白金線
コイル及び前記温度補償用酸化触媒が塗布された白金線
コイルを所定温度で焼成する焼成工程と、を備えて構成
する。
載の発明の作用に加えて、検知素子における白金線コイ
ルの抵抗値と、温度補償素子における白金線コイルの抵
抗値と、を相対的に変化させる。請求項５記載の発明
は、白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗布した構造を
有し、測定対象ガスの燃焼時に発生する反応熱を検出す
る検知素子及び白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を
塗布した構造を有し前記検知素子の温度補償を行うため
の温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前記反
応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセンサ
の製造方法であって、第１所定量の検知用酸化触媒をバ
インダとともに白金線コイル上に塗布する第１塗布工程
と、測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場
合における前記ブリッジ回路の入力電流−出力電圧変化
曲線の傾き及び前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガ
スが存在しない場合における前記入力電流−出力電圧変
化曲線である基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並
びに前記第１所定量に基づく第２所定量の温度補償用酸
化触媒をバインダとともに白金線コイル上に塗布する第
２塗布工程と、前記検知用酸化触媒が塗布された白金線
コイル及び前記温度補償用酸化触媒が塗布された白金線
コイルを所定温度で焼成する焼成工程と、を備えて構成
する。
【００１５】請求項５記載の発明によれば、第１塗布工
程は、第１所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに
白金線コイル上に塗布する。第２塗布工程は、測定対象
雰囲気中に測定対象ガスが存在する場合におけるブリッ
ジ回路の入力電流−出力電圧変化曲線の傾き及び測定対
象雰囲気中に測定対象ガスが存在しない場合における入
力電流−出力電圧変化曲線である基準入力電流−出力電
圧変化曲線の傾き並びに第１所定量に基づく第２所定量
の温度補償用酸化触媒をバインダとともに白金線コイル
上に塗布する。
程は、第１所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに
白金線コイル上に塗布する。第２塗布工程は、測定対象
雰囲気中に測定対象ガスが存在する場合におけるブリッ
ジ回路の入力電流−出力電圧変化曲線の傾き及び測定対
象雰囲気中に測定対象ガスが存在しない場合における入
力電流−出力電圧変化曲線である基準入力電流−出力電
圧変化曲線の傾き並びに第１所定量に基づく第２所定量
の温度補償用酸化触媒をバインダとともに白金線コイル
上に塗布する。
【００１６】焼成工程は、検知用酸化触媒が塗布された
白金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された白金
線コイルを所定温度で焼成する。請求項６記載の発明
は、白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗布した構造を
有し、測定対象ガスの燃焼時に発生する反応熱を検出す
る検知素子及び白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を
塗布した構造を有し前記検知素子の温度補償を行うため
の温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前記反
応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセンサ
の製造方法であって、所定量の検知用酸化触媒をバイン
ダとともに第１の抵抗値を有する第１白金線コイル上に
塗布する第１塗布工程と、測定対象雰囲気中に前記測定
対象ガスが存在する場合における前記ブリッジ回路の入
力電流−出力電圧変化曲線の傾き及び前記測定対象雰囲
気中に前記測定対象ガスが存在しない場合における前記
入力電流−出力電圧変化曲線である基準入力電流−出力
電圧変化曲線の傾き並びに前記第１の抵抗値に基づく第
２の抵抗値を有する第２白金線コイル上に所定量の温度
補償用酸化触媒をバインダとともに塗布する第２塗布工
程と、前記検知用酸化触媒が塗布された第１白金線コイ
ル及び前記温度補償用酸化触媒が塗布された第２白金線
コイルを所定温度で焼成する焼成工程と、を備えて構成
する。
白金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された白金
線コイルを所定温度で焼成する。請求項６記載の発明
は、白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗布した構造を
有し、測定対象ガスの燃焼時に発生する反応熱を検出す
る検知素子及び白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を
塗布した構造を有し前記検知素子の温度補償を行うため
の温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前記反
応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセンサ
の製造方法であって、所定量の検知用酸化触媒をバイン
ダとともに第１の抵抗値を有する第１白金線コイル上に
塗布する第１塗布工程と、測定対象雰囲気中に前記測定
対象ガスが存在する場合における前記ブリッジ回路の入
力電流−出力電圧変化曲線の傾き及び前記測定対象雰囲
気中に前記測定対象ガスが存在しない場合における前記
入力電流−出力電圧変化曲線である基準入力電流−出力
電圧変化曲線の傾き並びに前記第１の抵抗値に基づく第
２の抵抗値を有する第２白金線コイル上に所定量の温度
補償用酸化触媒をバインダとともに塗布する第２塗布工
程と、前記検知用酸化触媒が塗布された第１白金線コイ
ル及び前記温度補償用酸化触媒が塗布された第２白金線
コイルを所定温度で焼成する焼成工程と、を備えて構成
する。
【００１７】請求項６記載の発明によれば、第１塗布工
程は、所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに第１
の抵抗値を有する第１白金線コイル上に塗布する。第２
塗布工程は、測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在す
る場合におけるブリッジ回路の入力電流−出力電圧変化
曲線の傾き及び測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在
しない場合における入力電流−出力電圧変化曲線である
基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並びに第１の抵
抗値に基づく第２の抵抗値を有する第２白金線コイル上
に所定量の温度補償用酸化触媒をバインダとともに塗布
する。 焼成工程は、検知用酸化触媒が塗布された第１
白金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された第２
白金線コイルを所定温度で焼成する。
程は、所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに第１
の抵抗値を有する第１白金線コイル上に塗布する。第２
塗布工程は、測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在す
る場合におけるブリッジ回路の入力電流−出力電圧変化
曲線の傾き及び測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在
しない場合における入力電流−出力電圧変化曲線である
基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並びに第１の抵
抗値に基づく第２の抵抗値を有する第２白金線コイル上
に所定量の温度補償用酸化触媒をバインダとともに塗布
する。 焼成工程は、検知用酸化触媒が塗布された第１
白金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された第２
白金線コイルを所定温度で焼成する。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に図面を参照して本発明の好適
な実施形態を説明する。図１に接触燃焼式ガスセンサの
概要構成図を示す。接触燃焼式ガスセンサ１は、大別す
ると、測定対象ガスの濃度に応じた出力電圧信号を出力
するブリッジ回路２と、ブリッジ回路２に検出用電源を
印加する電源３と、を備えて構成されている。
な実施形態を説明する。図１に接触燃焼式ガスセンサの
概要構成図を示す。接触燃焼式ガスセンサ１は、大別す
ると、測定対象ガスの濃度に応じた出力電圧信号を出力
するブリッジ回路２と、ブリッジ回路２に検出用電源を
印加する電源３と、を備えて構成されている。
【００１９】ブリッジ回路２は、白金線上に可燃性ガス
に対する検知用酸化触媒を付着させた検知素子４と、温
度補償用酸化触媒が付着されるとともに検知素子４に直
列に接続された温度補償素子５と、互いに直列に接続さ
れるとともに検知素子４及び温度補償素子５と並列に接
続された二つの抵抗６、７と、検知素子４及び温度補償
素子５の中間接続点に接続された第１出力端子８と、二
つの抵抗６、７の中間接続点に接続された第２出力端子
９と、を備え、第１出力端子８及び第２出力端子９を介
して、可燃性ガスの燃焼に伴う反応熱に対応してセンサ
出力電圧信号ＶOUTを出力する。
に対する検知用酸化触媒を付着させた検知素子４と、温
度補償用酸化触媒が付着されるとともに検知素子４に直
列に接続された温度補償素子５と、互いに直列に接続さ
れるとともに検知素子４及び温度補償素子５と並列に接
続された二つの抵抗６、７と、検知素子４及び温度補償
素子５の中間接続点に接続された第１出力端子８と、二
つの抵抗６、７の中間接続点に接続された第２出力端子
９と、を備え、第１出力端子８及び第２出力端子９を介
して、可燃性ガスの燃焼に伴う反応熱に対応してセンサ
出力電圧信号ＶOUTを出力する。
【００２０】ここで、動作説明に先立ち、検知素子４及
び温度補償素子５の製造方法について説明する。 ａ） 検知素子の製造 まず、検知素子４の製造方法について説明する。検知素
子に用いる白金線コイル上に付着させる検知用酸化触媒
としては、ベーマイト（Boehmite）型水酸化アルミニウ
ムを８００［℃］〜９００［℃］の範囲内で焼成脱水し
て得られたγ−アルミナにＰｄを５〜１５［％］担持さ
せる。
び温度補償素子５の製造方法について説明する。 ａ） 検知素子の製造 まず、検知素子４の製造方法について説明する。検知素
子に用いる白金線コイル上に付着させる検知用酸化触媒
としては、ベーマイト（Boehmite）型水酸化アルミニウ
ムを８００［℃］〜９００［℃］の範囲内で焼成脱水し
て得られたγ−アルミナにＰｄを５〜１５［％］担持さ
せる。
【００２１】そして、このγ−アルミナに所定量の水及
び少量のバインダを加えてペースト状とし、例えば、
２．０［μｌ］程度を白金線コイル上に付着させる。そ
の後、７００［℃］で加熱焼成し、検知素子４とする。 ｂ） 温度補償素子の製造 次に温度補償素子５の製造方法について説明する。
び少量のバインダを加えてペースト状とし、例えば、
２．０［μｌ］程度を白金線コイル上に付着させる。そ
の後、７００［℃］で加熱焼成し、検知素子４とする。 ｂ） 温度補償素子の製造 次に温度補償素子５の製造方法について説明する。
【００２２】温度補償素子５に用いる白金線コイル上に
付着させる温度補償用酸化触媒としては、ベーマイト
（Boehmite）型水酸化アルミニウムを８００［℃］〜９
００［℃］の範囲内で焼成脱水して得られたγ−アルミ
ナに所定量の水及び少量のバインダを加えてペースト状
とし、例えば、２．０［μｌ］〜２．４［μｌ］程度を
白金線コイル上に付着させる。
付着させる温度補償用酸化触媒としては、ベーマイト
（Boehmite）型水酸化アルミニウムを８００［℃］〜９
００［℃］の範囲内で焼成脱水して得られたγ−アルミ
ナに所定量の水及び少量のバインダを加えてペースト状
とし、例えば、２．０［μｌ］〜２．４［μｌ］程度を
白金線コイル上に付着させる。
【００２３】その後、７００［℃］で加熱焼成し、温度
補償素子５とする。この場合において、温度補償用酸化
触媒のほうが検知用酸化触媒と比較して塗布量が多いた
め、温度補償用酸化触媒の粒径と検知用酸化触媒の粒径
とを比較すると、温度補償用酸化触媒の粒径が大きくな
る。これに伴い、温度補償素子５の熱容量は検知素子４
の熱容量に比較して大きくなる。
補償素子５とする。この場合において、温度補償用酸化
触媒のほうが検知用酸化触媒と比較して塗布量が多いた
め、温度補償用酸化触媒の粒径と検知用酸化触媒の粒径
とを比較すると、温度補償用酸化触媒の粒径が大きくな
る。これに伴い、温度補償素子５の熱容量は検知素子４
の熱容量に比較して大きくなる。
【００２４】ところで、一般に可燃性ガスの接触燃焼に
よって生ずる検知素子の抵抗変化ΔＲｆは、次式により
表される。 ΔＲｆ＝ρ・ａ・ｍ・Ｑ／Ｃ ここで、 ρ：検知素子の電気抵抗の温度係数 ａ：検知素子の触媒能によって定まる定数 ｍ：可燃性ガスの濃度（ｖｏｌ％） Ｑ：可燃性ガスの燃焼熱 Ｃ：検知素子の熱容量 である。
よって生ずる検知素子の抵抗変化ΔＲｆは、次式により
表される。 ΔＲｆ＝ρ・ａ・ｍ・Ｑ／Ｃ ここで、 ρ：検知素子の電気抵抗の温度係数 ａ：検知素子の触媒能によって定まる定数 ｍ：可燃性ガスの濃度（ｖｏｌ％） Ｑ：可燃性ガスの燃焼熱 Ｃ：検知素子の熱容量 である。
【００２５】上記式から検知素子の抵抗変化ΔＲｆは、
検知素子の熱容量Ｃに反比例することが分かる。このこ
とは、可燃性ガスの燃焼により生じた熱量が検知素子の
熱容量が大きいほど伝わりにくく、ひいては、接触燃焼
式ガスセンサの出力電圧への影響も小さくなる。
検知素子の熱容量Ｃに反比例することが分かる。このこ
とは、可燃性ガスの燃焼により生じた熱量が検知素子の
熱容量が大きいほど伝わりにくく、ひいては、接触燃焼
式ガスセンサの出力電圧への影響も小さくなる。
【００２６】上述したように、本実施形態においては、
温度補償素子５の温度補償用酸化触媒の粒径は大きいの
で熱容量が大きく、検知素子４の検知用酸化触媒の粒径
は小さいので熱容量が小さい。従って、温度補償用素子
５側では、白金線コイル熱量の変化の影響を受けにく
く、検知素子４側では、白金線コイル熱量の変化の影響
を受けやすくなる。
温度補償素子５の温度補償用酸化触媒の粒径は大きいの
で熱容量が大きく、検知素子４の検知用酸化触媒の粒径
は小さいので熱容量が小さい。従って、温度補償用素子
５側では、白金線コイル熱量の変化の影響を受けにく
く、検知素子４側では、白金線コイル熱量の変化の影響
を受けやすくなる。
【００２７】図２に検知用酸化触媒の塗布量を一定と
し、温度補償用酸化触媒の塗布量を変化させてセンサ電
流＝３００［ｍＡ］とした時の空気（ＡＩＲ）雰囲気の
場合のセンサ出力電圧（以下、空気雰囲気におけるセン
サ出力電圧をベースセンサ出力電圧という。）を示す。
し、温度補償用酸化触媒の塗布量を変化させてセンサ電
流＝３００［ｍＡ］とした時の空気（ＡＩＲ）雰囲気の
場合のセンサ出力電圧（以下、空気雰囲気におけるセン
サ出力電圧をベースセンサ出力電圧という。）を示す。
【００２８】図２に示すように、温度補償用酸化触媒の
塗布量を増加させるにつれて、ベースセンサ出力電圧を
上昇させることができることがわかる。従って、測定対
象の可燃性ガスの検出対象濃度に合わせて、検知用酸化
触媒と温度補償用酸化触媒の塗布量を変化させることに
より、センサ電流の変化に対する実際のセンサ出力電圧
（＝可燃性ガスの存在に基づくセンサ出力電圧−ベース
センサ出力電圧）の変化を抑制することができ、すなわ
ち、電源電圧の変化に伴うセンサ出力電圧変化を抑制し
て正確な検出を行うことができる。
塗布量を増加させるにつれて、ベースセンサ出力電圧を
上昇させることができることがわかる。従って、測定対
象の可燃性ガスの検出対象濃度に合わせて、検知用酸化
触媒と温度補償用酸化触媒の塗布量を変化させることに
より、センサ電流の変化に対する実際のセンサ出力電圧
（＝可燃性ガスの存在に基づくセンサ出力電圧−ベース
センサ出力電圧）の変化を抑制することができ、すなわ
ち、電源電圧の変化に伴うセンサ出力電圧変化を抑制し
て正確な検出を行うことができる。
【００２９】図３にベースセンサ出力電圧とセンサ電
流、すなわち、ベースセンサ出力電圧と電源電圧との関
係を示す。ここでベースセンサ出力電圧ＢＶoutは、図
１のブリッジ回路中の抵抗６ 、７を同一にした場合の
値を示している。
流、すなわち、ベースセンサ出力電圧と電源電圧との関
係を示す。ここでベースセンサ出力電圧ＢＶoutは、図
１のブリッジ回路中の抵抗６ 、７を同一にした場合の
値を示している。
【００３０】接触燃焼式ガスセンサ１は、通常４００〜
５００℃付近で使用されている。この使用条件下でベー
スセンサ出力電圧の傾きが正の場合、すなわち、センサ
電流の増加に伴いベースセンサ出力電圧が増加する場合
には、検知素子４及び温度補償素子５の比抵抗温度係数
がともに正の値を有し、かつ、検知素子４と温度補償素
子５との間に温度係数の大きな違いが無いとすると、電
源電圧を下げるとベースセンサ出力電圧は減少し、電源
電圧を上げるとベースセンサ出力電圧は増加することと
なる。
５００℃付近で使用されている。この使用条件下でベー
スセンサ出力電圧の傾きが正の場合、すなわち、センサ
電流の増加に伴いベースセンサ出力電圧が増加する場合
には、検知素子４及び温度補償素子５の比抵抗温度係数
がともに正の値を有し、かつ、検知素子４と温度補償素
子５との間に温度係数の大きな違いが無いとすると、電
源電圧を下げるとベースセンサ出力電圧は減少し、電源
電圧を上げるとベースセンサ出力電圧は増加することと
なる。
【００３１】また、同一の使用条件下でベースセンサ出
力電圧の傾きが負の場合には、検知素子４及び温度補償
素子５の比抵抗温度係数がともに正の値を有し、かつ、
検知素子４と温度補償素子５との間に温度係数の大きな
違いが無いとすると、電源電圧を下げるとベースセンサ
出力電圧は増加し、電源電圧を上げるとベースセンサ出
力電圧は減少することとなる。
力電圧の傾きが負の場合には、検知素子４及び温度補償
素子５の比抵抗温度係数がともに正の値を有し、かつ、
検知素子４と温度補償素子５との間に温度係数の大きな
違いが無いとすると、電源電圧を下げるとベースセンサ
出力電圧は増加し、電源電圧を上げるとベースセンサ出
力電圧は減少することとなる。
【００３２】従って、ベースセンサ出力電圧がセンサ電
流の変化に対して一定であると仮定した場合に、測定対
象の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増加に伴いセ
ンサ出力電圧が増加する場合には、ベースセンサ出力電
圧の傾きが負であるように設定すれば、センサ出力電圧
の変動を相殺することができる。
流の変化に対して一定であると仮定した場合に、測定対
象の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増加に伴いセ
ンサ出力電圧が増加する場合には、ベースセンサ出力電
圧の傾きが負であるように設定すれば、センサ出力電圧
の変動を相殺することができる。
【００３３】同様にベースセンサ出力電圧がセンサ電流
の変化に対して一定であると仮定した場合に、測定対象
の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増加に伴いセン
サ出力電圧が減少する場合にはベースセンサ出力電圧の
傾きが正であるように設定すれば、センサ出力電圧の変
動を相殺することができる。
の変化に対して一定であると仮定した場合に、測定対象
の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増加に伴いセン
サ出力電圧が減少する場合にはベースセンサ出力電圧の
傾きが正であるように設定すれば、センサ出力電圧の変
動を相殺することができる。
【００３４】より具体的な例を説明すると、図４に示す
ように、測定対象の可燃性ガスをメタンガスとする場合
には、電源電圧を上げるとセンサ出力電圧が増加する傾
向があるので、ベースセンサ出力電圧の傾きが負である
ように設定すればよい。すなわち、ベースセンサ出力電
圧がセンサ電流２９０［ｍＡ］の場合に−４［ｍＶ］程
度となるように、検知用酸化触媒及び温度補償用酸化触
媒の塗布量を制御すると、図５に示すようにメタンガス
に対する実際のセンサ出力電圧をセンサ出力電圧の変化
をベースセンサ出力電圧の変化で相殺してほぼ一定化す
ることができ、正確な検出を行うことができる。
ように、測定対象の可燃性ガスをメタンガスとする場合
には、電源電圧を上げるとセンサ出力電圧が増加する傾
向があるので、ベースセンサ出力電圧の傾きが負である
ように設定すればよい。すなわち、ベースセンサ出力電
圧がセンサ電流２９０［ｍＡ］の場合に−４［ｍＶ］程
度となるように、検知用酸化触媒及び温度補償用酸化触
媒の塗布量を制御すると、図５に示すようにメタンガス
に対する実際のセンサ出力電圧をセンサ出力電圧の変化
をベースセンサ出力電圧の変化で相殺してほぼ一定化す
ることができ、正確な検出を行うことができる。
【００３５】以上の説明においては、ベースセンサ出力
電圧の制御に検知用酸化触媒及び温度補償用酸化触媒の
塗布量を制御することにより行っていたが、検知用酸化
触媒及び温度補償用酸化触媒の塗布量を一定とし、白金
線コイルの抵抗値を検知素子と温度補償素子との間で変
更するように構成しても同様の効果が得られる。
電圧の制御に検知用酸化触媒及び温度補償用酸化触媒の
塗布量を制御することにより行っていたが、検知用酸化
触媒及び温度補償用酸化触媒の塗布量を一定とし、白金
線コイルの抵抗値を検知素子と温度補償素子との間で変
更するように構成しても同様の効果が得られる。
【００３６】この場合において、ベースセンサ出力電圧
がセンサ電流の変化に対して一定であると仮定した場合
に、測定対象の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増
加に伴いセンサ出力電圧が増加する場合には、検知素子
の白金線コイルの抵抗値を温度補償素子の白金線コイル
の抵抗値に対してより熱容量が大きくなるように設定す
れば、センサ出力電圧の変動を相殺することができる。
がセンサ電流の変化に対して一定であると仮定した場合
に、測定対象の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増
加に伴いセンサ出力電圧が増加する場合には、検知素子
の白金線コイルの抵抗値を温度補償素子の白金線コイル
の抵抗値に対してより熱容量が大きくなるように設定す
れば、センサ出力電圧の変動を相殺することができる。
【００３７】同様にベースセンサ出力電圧がセンサ電流
の変化に対して一定であると仮定した場合に、測定対象
の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増加に伴いセン
サ出力電圧が減少する場合には、検知素子の白金線コイ
ルの抵抗値を温度補償素子の白金線コイルの抵抗値に対
してより熱容量が小さくなるように設定すれば、センサ
出力電圧の変動を相殺することができる。
の変化に対して一定であると仮定した場合に、測定対象
の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増加に伴いセン
サ出力電圧が減少する場合には、検知素子の白金線コイ
ルの抵抗値を温度補償素子の白金線コイルの抵抗値に対
してより熱容量が小さくなるように設定すれば、センサ
出力電圧の変動を相殺することができる。
【００３８】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、測定対象
雰囲気中に一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブ
リッジ回路の入力電流を変化させることにより得られる
ブリッジ回路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測
定対象ガスが存在しない場合に入力電流を変化させるこ
とにより得られるブリッジ回路の出力電圧変化である基
準出力電圧変化により相殺するので、入力電流の変化、
すなわち、電源電圧が変化してもその影響を抑制するこ
とができ、正確な測定対象ガス濃度を測定することがで
きる。
雰囲気中に一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブ
リッジ回路の入力電流を変化させることにより得られる
ブリッジ回路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測
定対象ガスが存在しない場合に入力電流を変化させるこ
とにより得られるブリッジ回路の出力電圧変化である基
準出力電圧変化により相殺するので、入力電流の変化、
すなわち、電源電圧が変化してもその影響を抑制するこ
とができ、正確な測定対象ガス濃度を測定することがで
きる。
【００３９】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の作用に加えて、検知素子における検知用酸化
触媒の塗布量と、温度補償素子における温度補償用酸化
触媒の塗布量と、を相対的に変化させることにより、ブ
リッジ回路の出力電圧変化の基準出力電圧変化による相
殺量を容易に制御することができるので、容易に正確な
測定を行うための検知素子及び温度補償用素子を得るこ
とができる。
載の発明の作用に加えて、検知素子における検知用酸化
触媒の塗布量と、温度補償素子における温度補償用酸化
触媒の塗布量と、を相対的に変化させることにより、ブ
リッジ回路の出力電圧変化の基準出力電圧変化による相
殺量を容易に制御することができるので、容易に正確な
測定を行うための検知素子及び温度補償用素子を得るこ
とができる。
【００４０】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明の作用に加えて、測定対象雰囲気中に測定対象
ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電流の
増加に伴って出力電圧が増加する場合には、温度補償用
酸化触媒の塗布量を増加させ、測定対象雰囲気中に測定
対象ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電
流の増加に伴って出力電圧が減少する場合には、温度補
償用酸化触媒の塗布量を減少させるので、定量的に相殺
量を制御することが可能な接触燃焼式ガスセンサを得る
ことができる。
載の発明の作用に加えて、測定対象雰囲気中に測定対象
ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電流の
増加に伴って出力電圧が増加する場合には、温度補償用
酸化触媒の塗布量を増加させ、測定対象雰囲気中に測定
対象ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電
流の増加に伴って出力電圧が減少する場合には、温度補
償用酸化触媒の塗布量を減少させるので、定量的に相殺
量を制御することが可能な接触燃焼式ガスセンサを得る
ことができる。
【００４１】請求項４記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の作用に加えて、検知素子における白金線コイ
ルの抵抗値と、温度補償素子における白金線コイルの抵
抗値と、を相対的に変化させるので、抵抗値変化に伴う
熱容量変化を利用して、定量的に相殺量を制御すること
により、容易に電源電圧の変化を抑制して正確なガス濃
度測定が行える。
載の発明の作用に加えて、検知素子における白金線コイ
ルの抵抗値と、温度補償素子における白金線コイルの抵
抗値と、を相対的に変化させるので、抵抗値変化に伴う
熱容量変化を利用して、定量的に相殺量を制御すること
により、容易に電源電圧の変化を抑制して正確なガス濃
度測定が行える。
【００４２】請求項５記載の発明によれば、第１塗布工
程は、第１所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに
白金線コイル上に塗布し、第２塗布工程は、測定対象雰
囲気中に測定対象ガスが存在する場合におけるブリッジ
回路の入力電流−出力電圧変化曲線の傾き及び測定対象
雰囲気中に測定対象ガスが存在しない場合における入力
電流−出力電圧変化曲線である基準入力電流−出力電圧
変化曲線の傾き並びに第１所定量に基づく第２所定量の
温度補償用酸化触媒をバインダとともに白金線コイル上
に塗布し、焼成工程は、検知用酸化触媒が塗布された白
金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された白金線
コイルを所定温度で焼成するので、測定対象雰囲気中に
一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブリッジ回路
の入力電流を変化させることにより得られるブリッジ回
路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測定対象ガス
が存在しない場合に入力電流を変化させることにより得
られるブリッジ回路の出力電圧変化である基準出力電圧
変化により相殺することができ、正確な測定を行うこと
ができるる接触燃焼式ガスセンサを容易、かつ、確実に
得ることができる。
程は、第１所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに
白金線コイル上に塗布し、第２塗布工程は、測定対象雰
囲気中に測定対象ガスが存在する場合におけるブリッジ
回路の入力電流−出力電圧変化曲線の傾き及び測定対象
雰囲気中に測定対象ガスが存在しない場合における入力
電流−出力電圧変化曲線である基準入力電流−出力電圧
変化曲線の傾き並びに第１所定量に基づく第２所定量の
温度補償用酸化触媒をバインダとともに白金線コイル上
に塗布し、焼成工程は、検知用酸化触媒が塗布された白
金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された白金線
コイルを所定温度で焼成するので、測定対象雰囲気中に
一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブリッジ回路
の入力電流を変化させることにより得られるブリッジ回
路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測定対象ガス
が存在しない場合に入力電流を変化させることにより得
られるブリッジ回路の出力電圧変化である基準出力電圧
変化により相殺することができ、正確な測定を行うこと
ができるる接触燃焼式ガスセンサを容易、かつ、確実に
得ることができる。
【００４３】請求項６記載の発明によれば、第１塗布工
程は、所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに第１
の抵抗値を有する第１白金線コイル上に塗布するし、第
２塗布工程は、測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在
する場合におけるブリッジ回路の入力電流−出力電圧変
化曲線の傾き及び測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存
在しない場合における入力電流−出力電圧変化曲線であ
る基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並びに第１の
抵抗値に基づく第２の抵抗値を有する第２白金線コイル
上に所定量の温度補償用酸化触媒をバインダとともに塗
布し、焼成工程は、検知用酸化触媒が塗布された第１白
金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された第２白
金線コイルを所定温度で焼成するので、測定対象雰囲気
中に一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブリッジ
回路の入力電流を変化させることにより得られるブリッ
ジ回路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測定対象
ガスが存在しない場合に入力電流を変化させることによ
り得られるブリッジ回路の出力電圧変化である基準出力
電圧変化により相殺することができ、正確な測定を行う
ことができる接触燃焼式ガスセンサを容易、かつ、確実
に得ることができる。
程は、所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに第１
の抵抗値を有する第１白金線コイル上に塗布するし、第
２塗布工程は、測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在
する場合におけるブリッジ回路の入力電流−出力電圧変
化曲線の傾き及び測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存
在しない場合における入力電流−出力電圧変化曲線であ
る基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並びに第１の
抵抗値に基づく第２の抵抗値を有する第２白金線コイル
上に所定量の温度補償用酸化触媒をバインダとともに塗
布し、焼成工程は、検知用酸化触媒が塗布された第１白
金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された第２白
金線コイルを所定温度で焼成するので、測定対象雰囲気
中に一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブリッジ
回路の入力電流を変化させることにより得られるブリッ
ジ回路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測定対象
ガスが存在しない場合に入力電流を変化させることによ
り得られるブリッジ回路の出力電圧変化である基準出力
電圧変化により相殺することができ、正確な測定を行う
ことができる接触燃焼式ガスセンサを容易、かつ、確実
に得ることができる。
【図１】実施形態の接触燃焼式ガスセンサの概要構成図
である。
である。
【図２】酸化触媒の塗布量とベースセンサ出力電圧の関
係説明図である。
係説明図である。
【図３】ベースセンサ出力電圧の説明図である。
【図４】メタンガス３０００ｐｐｍの場合のセンサ電流
−センサ出力電圧の関係説明図である。
−センサ出力電圧の関係説明図である。
【図５】実施形態の効果を説明する図である。
【図６】従来の接触燃焼式ガスセンサの概要構成図であ
る。
る。
【図７】水素ガス３０００ｐｐｍの場合のセンサ電流−
センサ出力電圧の関係説明図である。
センサ出力電圧の関係説明図である。
【図８】エタノール２０００ｐｐｍの場合のセンサ電流
−センサ出力電圧の関係説明図である。
−センサ出力電圧の関係説明図である。
【図９】従来の問題点を説明する図である。
１ 接触燃焼式ガスセンサ ２ ブリッジ回路 ３ 電源 ４ 検知素子 ５ 温度補償素子 ６ （ブリッジ）抵抗 ７ （ブリッジ）抵抗
Claims (6)
- 【請求項１】 測定対象ガスの燃焼時に発生する反応熱
を検出する検知素子及び前記検知素子の温度補償を行う
ための温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前
記反応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセ
ンサにおいて、 測定対象雰囲気中に一定濃度の前記測定対象ガスが存在
する場合に前記ブリッジ回路の入力電流を変化させるこ
とにより得られる前記ブリッジ回路の出力電圧変化を、
前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在しない
場合に前記入力電流を変化させることにより得られる前
記ブリッジ回路の出力電圧変化である基準出力電圧変化
により相殺するように構成したことを特徴とする接触燃
焼式ガスセンサ。 - 【請求項２】 請求項１記載の接触燃焼式ガスセンサに
おいて、 前記検知素子は、白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗
布した構造を有しており、 前記温度補償素子は、白金線コイル上に温度補償用酸化
触媒を塗布した構造を有しており、 前記検知素子における前記検知用酸化触媒の塗布量と、
前記温度補償素子における前記温度補償用酸化触媒の塗
布量と、を相対的に変化させたことを特徴とする接触燃
焼式ガスセンサ。 - 【請求項３】 請求項２記載の接触燃焼式ガスセンサに
おいて、 前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場
合における前記ブリッジ回路の入力電流の増加に伴って
前記出力電圧が増加する場合には、前記温度補償用酸化
触媒の塗布量を増加させ、 前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場
合における前記ブリッジ回路の入力電流の増加に伴って
前記出力電圧が減少する場合には、前記温度補償用酸化
触媒の塗布量を減少させることを特徴とする接触燃焼式
ガスセンサ。 - 【請求項４】 請求項１記載の接触燃焼式ガスセンサに
おいて、 前記検知素子は、白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗
布した構造を有しており、 前記温度補償素子は、白金線コイル上に温度補償用酸化
触媒を塗布した構造を有しており、 前記検知素子における白金線コイルの抵抗値と、前記温
度補償素子における前記白金線コイルの抵抗値と、を相
対的に変化させたことを特徴とする接触燃焼式ガスセン
サ。 - 【請求項５】 白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗布
した構造を有し、測定対象ガスの燃焼時に発生する反応
熱を検出する検知素子及び白金線コイル上に温度補償用
酸化触媒を塗布した構造を有し前記検知素子の温度補償
を行うための温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成
し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式
ガスセンサの製造方法であって、 第１所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに白金線
コイル上に塗布する第１塗布工程と、 測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場合に
おける前記ブリッジ回路の入力電流−出力電圧変化曲線
の傾き及び前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが
存在しない場合における前記入力電流−出力電圧変化曲
線である基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並びに
前記第１所定量に基づく第２所定量の温度補償用酸化触
媒をバインダとともに白金線コイル上に塗布する第２塗
布工程と、 前記検知用酸化触媒が塗布された白金線コイル及び前記
温度補償用酸化触媒が塗布された白金線コイルを所定温
度で焼成する焼成工程と、 を備えたことを特徴とする接触燃焼式ガスセンサの製造
方法。 - 【請求項６】 白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗布
した構造を有し、測定対象ガスの燃焼時に発生する反応
熱を検出する検知素子及び白金線コイル上に温度補償用
酸化触媒を塗布した構造を有し前記検知素子の温度補償
を行うための温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成
し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式
ガスセンサの製造方法であって、 所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに第１の抵抗
値を有する第１白金線コイル上に塗布する第１塗布工程
と、 測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場合に
おける前記ブリッジ回路の入力電流−出力電圧変化曲線
の傾き及び前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが
存在しない場合における前記入力電流−出力電圧変化曲
線である基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並びに
前記第１の抵抗値に基づく第２の抵抗値を有する第２白
金線コイル上に所定量の温度補償用酸化触媒をバインダ
とともに塗布する第２塗布工程と、 前記検知用酸化触媒が塗布された第１白金線コイル及び
前記温度補償用酸化触媒が塗布された第２白金線コイル
を所定温度で焼成する焼成工程と、 を備えたことを特徴とする接触燃焼式ガスセンサの製造
方法。
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| WO2003096000A1 (fr) * | 2002-05-13 | 2003-11-20 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Methode de diagnostic de la deterioration d'un capteur de gaz et equipement pour le diagnostic de la deterioration de gaz |
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1996
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003096000A1 (fr) * | 2002-05-13 | 2003-11-20 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Methode de diagnostic de la deterioration d'un capteur de gaz et equipement pour le diagnostic de la deterioration de gaz |
| EP1505385A1 (en) * | 2002-05-13 | 2005-02-09 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for diagnosing deterioration of gas sensor and equipment for diagnosing deterioration of gas sensor |
| US7251981B2 (en) | 2002-05-13 | 2007-08-07 | Honda Motor Co., Ltd. | Method and device for diagnosing gas sensor degradation |
| EP1505385A4 (en) * | 2002-05-13 | 2007-11-28 | Honda Motor Co Ltd | METHOD FOR DIAGNOSING THE DETERIORATION OF A GAS SENSOR AND EQUIPMENT FOR THE DIAGNOSIS OF GAS DETERIORATION |
| WO2003096001A1 (fr) * | 2002-05-14 | 2003-11-20 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Procedes de demarrage et d'arret de fonctionnement de capteur de gaz enferme dans un appareil de chauffage et methode de fonctionnement |
| JP2009075137A (ja) * | 2002-05-14 | 2009-04-09 | Honda Motor Co Ltd | ヒータ内蔵型ガスセンサの作動開始方法および作動停止方法および作動方法 |
| US7820949B2 (en) | 2002-05-14 | 2010-10-26 | Honda Motor Co., Ltd. | Method of starting, stopping and operating gas sensor with built-in heater |
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