JPH1048171A - 接触燃焼式ガスセンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法 - Google Patents
接触燃焼式ガスセンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法Info
- Publication number
- JPH1048171A JPH1048171A JP20499996A JP20499996A JPH1048171A JP H1048171 A JPH1048171 A JP H1048171A JP 20499996 A JP20499996 A JP 20499996A JP 20499996 A JP20499996 A JP 20499996A JP H1048171 A JPH1048171 A JP H1048171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output voltage
- oxidation catalyst
- wire coil
- platinum wire
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
濃度検出を行う。 【解決手段】 測定対象雰囲気中に一定濃度の測定対象
ガスが存在する場合にブリッジ回路2の入力電流を変化
させることにより得られるブリッジ回路2の出力電圧変
化を、測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在しない場
合に入力電流を変化させることにより得られるブリッジ
回路2の出力電圧変化である基準出力電圧変化により相
殺するので、入力電流の変化、すなわち、電源電圧が変
化してもその影響を抑制することができ、正確な測定対
象ガス濃度を測定することができる。
Description
ンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法に係り、特
に、メタンガスの濃度を検出するための接触燃焼式ガス
センサ及びその製造方法に関する。
等の可燃性ガスの濃度を検出するために用いられる接触
燃焼式ガスセンサは測定精度が高いという特徴を有して
いる。図6に接触燃焼式ガスセンサの概要構成図を示
す。
と、測定対象ガスの濃度に応じた出力電圧信号を出力す
るブリッジ回路12、ブリッジ回路12に検出用電源を
印加する電源13と、を備えて構成されている。ブリッ
ジ回路12は、白金線上に可燃性ガスに対する酸化触
媒、例えば、Pd等の第8属金属をアルミナ等の担体上
に担持させたものを付着させた検知素子14と、検知素
子14に直列に接続され、検知素子と同様な構造ではあ
るが、測定対象の可燃性ガスに対し感応しないように不
活性処理をした温度補償素子15と、互いに直列に接続
されるとともに、検知素子14及び温度補償素子15と
並列に接続された二つの抵抗16,17と、検知素子1
4及び温度補償素子15の中間接続点に接続された第1
出力端子18と、二つの抵抗16,17の中間接続点に
接続された第2出力端子19と、を備え、第1出力端子
18及び第2出力端子19を介して、可燃性ガスの燃焼
に伴う反応熱に対応して出力電圧信号Vout’を出力す
る。
ついての接触燃焼式ガスセンサのガス感度特性、図7に
濃度3000ppmの水素ガスについてのガス感度特
性、図8に濃度2000ppmのエタノールガスに対す
るガス感度特性を示す。縦軸は、ブリッジ回路の出力電
圧信号(以下、センサ出力電圧という。)Vout’、横
軸は、検出用電圧に対応する接触燃焼式ガスセンサの入
力電流(以下、センサ電流という。)であり、各図にお
いて、NO.1〜NO.5は、試料番号1〜5を示す。
うに、水素ガス及びエタノールガスは、センサ電流が変
化(すなわち、検出用電源の電圧が変化)しても、セン
サ出力電圧Vout’はさほど変化しないが(1[mV]
以下の変化)、図4に示すように、メタンガスの場合に
はセンサ電流が増加するにつれて、5[mV]以上もセ
ンサ出力電圧Vout’が増加することとなり、このまま
では、正確なメタンガスの濃度を測定することはできな
い。
濃度を測定すべく、定電圧回路を用いて、検出用電圧の
変動を抑制することにより、センサ電流を安定化させる
ことにより、正確なセンサ出力電圧を得られるような構
成としていた。ところがこのような接触燃焼式ガスセン
サにおいては、図9に示すように、電源電圧の変動に対
し、対象ガスであるメタンに対する感度が変化するとい
う特性を有しており、定電圧回路を用い電源電圧を安定
化させる方式等が採られていた。
には、回路構成が複雑化してしまうという問題点があっ
た。そこで、本発明の目的は、回路構成を複雑化するこ
となく、正確なガス濃度検出を行うことが可能な接触燃
焼式ガスセンサ及びその製造方法を提供することにあ
る。
め、請求項1記載の発明は、測定対象ガスの燃焼時に発
生する反応熱を検出する検知素子及び前記検知素子の温
度補償を行うための温度補償素子を用いてブリッジ回路
を構成し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触
燃焼式ガスセンサにおいて、測定対象雰囲気中に一定濃
度の前記測定対象ガスが存在する場合に前記ブリッジ回
路の入力電流を変化させることにより得られる前記ブリ
ッジ回路の出力電圧変化を、前記測定対象雰囲気中に前
記測定対象ガスが存在しない場合に前記入力電流を変化
させることにより得られる前記ブリッジ回路の出力電圧
変化である基準出力電圧変化により相殺するように構成
する。
囲気中に一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブリ
ッジ回路の入力電流を変化させることにより得られるブ
リッジ回路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測定
対象ガスが存在しない場合に入力電流を変化させること
により得られるブリッジ回路の出力電圧変化である基準
出力電圧変化により相殺する。
明において、前記検知素子は、白金線コイル上に検知用
酸化触媒を塗布した構造を有しており、前記温度補償素
子は、白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を塗布した
構造を有しており、前記検知素子における前記検知用酸
化触媒の塗布量と、前記温度補償素子における前記温度
補償用酸化触媒の塗布量と、を相対的に変化させるよう
に構成する。
載の発明の作用に加えて、検知素子における検知用酸化
触媒の塗布量と、温度補償素子における温度補償用酸化
触媒の塗布量と、を相対的に変化させる。請求項3記載
の発明は、請求項2記載の発明において、前記測定対象
雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場合における前
記ブリッジ回路の入力電流の増加に伴って前記出力電圧
が増加する場合には、前記温度補償用酸化触媒の塗布量
を増加させ、前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガス
が存在する場合における前記ブリッジ回路の入力電流の
増加に伴って前記出力電圧が減少する場合には、前記温
度補償用酸化触媒の塗布量を減少させるように構成す
る。
載の発明の作用に加えて、測定対象雰囲気中に測定対象
ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電流の
増加に伴って出力電圧が増加する場合には、温度補償用
酸化触媒の塗布量を増加させ、測定対象雰囲気中に測定
対象ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電
流の増加に伴って出力電圧が減少する場合には、温度補
償用酸化触媒の塗布量を減少させる。
明において、前記検知素子は、白金線コイル上に検知用
酸化触媒を塗布した構造を有しており、前記温度補償素
子は、白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を塗布した
構造を有しており、前記検知素子における白金線コイル
の抵抗値と、前記温度補償素子における前記白金線コイ
ルの抵抗値と、を相対的に変化させるように構成する。
載の発明の作用に加えて、検知素子における白金線コイ
ルの抵抗値と、温度補償素子における白金線コイルの抵
抗値と、を相対的に変化させる。請求項5記載の発明
は、白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗布した構造を
有し、測定対象ガスの燃焼時に発生する反応熱を検出す
る検知素子及び白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を
塗布した構造を有し前記検知素子の温度補償を行うため
の温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前記反
応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセンサ
の製造方法であって、第1所定量の検知用酸化触媒をバ
インダとともに白金線コイル上に塗布する第1塗布工程
と、測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場
合における前記ブリッジ回路の入力電流−出力電圧変化
曲線の傾き及び前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガ
スが存在しない場合における前記入力電流−出力電圧変
化曲線である基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並
びに前記第1所定量に基づく第2所定量の温度補償用酸
化触媒をバインダとともに白金線コイル上に塗布する第
2塗布工程と、前記検知用酸化触媒が塗布された白金線
コイル及び前記温度補償用酸化触媒が塗布された白金線
コイルを所定温度で焼成する焼成工程と、を備えて構成
する。
程は、第1所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに
白金線コイル上に塗布する。第2塗布工程は、測定対象
雰囲気中に測定対象ガスが存在する場合におけるブリッ
ジ回路の入力電流−出力電圧変化曲線の傾き及び測定対
象雰囲気中に測定対象ガスが存在しない場合における入
力電流−出力電圧変化曲線である基準入力電流−出力電
圧変化曲線の傾き並びに第1所定量に基づく第2所定量
の温度補償用酸化触媒をバインダとともに白金線コイル
上に塗布する。
白金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された白金
線コイルを所定温度で焼成する。請求項6記載の発明
は、白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗布した構造を
有し、測定対象ガスの燃焼時に発生する反応熱を検出す
る検知素子及び白金線コイル上に温度補償用酸化触媒を
塗布した構造を有し前記検知素子の温度補償を行うため
の温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前記反
応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセンサ
の製造方法であって、所定量の検知用酸化触媒をバイン
ダとともに第1の抵抗値を有する第1白金線コイル上に
塗布する第1塗布工程と、測定対象雰囲気中に前記測定
対象ガスが存在する場合における前記ブリッジ回路の入
力電流−出力電圧変化曲線の傾き及び前記測定対象雰囲
気中に前記測定対象ガスが存在しない場合における前記
入力電流−出力電圧変化曲線である基準入力電流−出力
電圧変化曲線の傾き並びに前記第1の抵抗値に基づく第
2の抵抗値を有する第2白金線コイル上に所定量の温度
補償用酸化触媒をバインダとともに塗布する第2塗布工
程と、前記検知用酸化触媒が塗布された第1白金線コイ
ル及び前記温度補償用酸化触媒が塗布された第2白金線
コイルを所定温度で焼成する焼成工程と、を備えて構成
する。
程は、所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに第1
の抵抗値を有する第1白金線コイル上に塗布する。第2
塗布工程は、測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在す
る場合におけるブリッジ回路の入力電流−出力電圧変化
曲線の傾き及び測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在
しない場合における入力電流−出力電圧変化曲線である
基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並びに第1の抵
抗値に基づく第2の抵抗値を有する第2白金線コイル上
に所定量の温度補償用酸化触媒をバインダとともに塗布
する。 焼成工程は、検知用酸化触媒が塗布された第1
白金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された第2
白金線コイルを所定温度で焼成する。
な実施形態を説明する。図1に接触燃焼式ガスセンサの
概要構成図を示す。接触燃焼式ガスセンサ1は、大別す
ると、測定対象ガスの濃度に応じた出力電圧信号を出力
するブリッジ回路2と、ブリッジ回路2に検出用電源を
印加する電源3と、を備えて構成されている。
に対する検知用酸化触媒を付着させた検知素子4と、温
度補償用酸化触媒が付着されるとともに検知素子4に直
列に接続された温度補償素子5と、互いに直列に接続さ
れるとともに検知素子4及び温度補償素子5と並列に接
続された二つの抵抗6、7と、検知素子4及び温度補償
素子5の中間接続点に接続された第1出力端子8と、二
つの抵抗6、7の中間接続点に接続された第2出力端子
9と、を備え、第1出力端子8及び第2出力端子9を介
して、可燃性ガスの燃焼に伴う反応熱に対応してセンサ
出力電圧信号VOUTを出力する。
び温度補償素子5の製造方法について説明する。 a) 検知素子の製造 まず、検知素子4の製造方法について説明する。検知素
子に用いる白金線コイル上に付着させる検知用酸化触媒
としては、ベーマイト(Boehmite)型水酸化アルミニウ
ムを800[℃]〜900[℃]の範囲内で焼成脱水し
て得られたγ−アルミナにPdを5〜15[%]担持さ
せる。
び少量のバインダを加えてペースト状とし、例えば、
2.0[μl]程度を白金線コイル上に付着させる。そ
の後、700[℃]で加熱焼成し、検知素子4とする。 b) 温度補償素子の製造 次に温度補償素子5の製造方法について説明する。
付着させる温度補償用酸化触媒としては、ベーマイト
(Boehmite)型水酸化アルミニウムを800[℃]〜9
00[℃]の範囲内で焼成脱水して得られたγ−アルミ
ナに所定量の水及び少量のバインダを加えてペースト状
とし、例えば、2.0[μl]〜2.4[μl]程度を
白金線コイル上に付着させる。
補償素子5とする。この場合において、温度補償用酸化
触媒のほうが検知用酸化触媒と比較して塗布量が多いた
め、温度補償用酸化触媒の粒径と検知用酸化触媒の粒径
とを比較すると、温度補償用酸化触媒の粒径が大きくな
る。これに伴い、温度補償素子5の熱容量は検知素子4
の熱容量に比較して大きくなる。
よって生ずる検知素子の抵抗変化ΔRfは、次式により
表される。 ΔRf=ρ・a・m・Q/C ここで、 ρ:検知素子の電気抵抗の温度係数 a:検知素子の触媒能によって定まる定数 m:可燃性ガスの濃度(vol%) Q:可燃性ガスの燃焼熱 C:検知素子の熱容量 である。
検知素子の熱容量Cに反比例することが分かる。このこ
とは、可燃性ガスの燃焼により生じた熱量が検知素子の
熱容量が大きいほど伝わりにくく、ひいては、接触燃焼
式ガスセンサの出力電圧への影響も小さくなる。
温度補償素子5の温度補償用酸化触媒の粒径は大きいの
で熱容量が大きく、検知素子4の検知用酸化触媒の粒径
は小さいので熱容量が小さい。従って、温度補償用素子
5側では、白金線コイル熱量の変化の影響を受けにく
く、検知素子4側では、白金線コイル熱量の変化の影響
を受けやすくなる。
し、温度補償用酸化触媒の塗布量を変化させてセンサ電
流=300[mA]とした時の空気(AIR)雰囲気の
場合のセンサ出力電圧(以下、空気雰囲気におけるセン
サ出力電圧をベースセンサ出力電圧という。)を示す。
塗布量を増加させるにつれて、ベースセンサ出力電圧を
上昇させることができることがわかる。従って、測定対
象の可燃性ガスの検出対象濃度に合わせて、検知用酸化
触媒と温度補償用酸化触媒の塗布量を変化させることに
より、センサ電流の変化に対する実際のセンサ出力電圧
(=可燃性ガスの存在に基づくセンサ出力電圧−ベース
センサ出力電圧)の変化を抑制することができ、すなわ
ち、電源電圧の変化に伴うセンサ出力電圧変化を抑制し
て正確な検出を行うことができる。
流、すなわち、ベースセンサ出力電圧と電源電圧との関
係を示す。ここでベースセンサ出力電圧BVoutは、図
1のブリッジ回路中の抵抗6 、7を同一にした場合の
値を示している。
500℃付近で使用されている。この使用条件下でベー
スセンサ出力電圧の傾きが正の場合、すなわち、センサ
電流の増加に伴いベースセンサ出力電圧が増加する場合
には、検知素子4及び温度補償素子5の比抵抗温度係数
がともに正の値を有し、かつ、検知素子4と温度補償素
子5との間に温度係数の大きな違いが無いとすると、電
源電圧を下げるとベースセンサ出力電圧は減少し、電源
電圧を上げるとベースセンサ出力電圧は増加することと
なる。
力電圧の傾きが負の場合には、検知素子4及び温度補償
素子5の比抵抗温度係数がともに正の値を有し、かつ、
検知素子4と温度補償素子5との間に温度係数の大きな
違いが無いとすると、電源電圧を下げるとベースセンサ
出力電圧は増加し、電源電圧を上げるとベースセンサ出
力電圧は減少することとなる。
流の変化に対して一定であると仮定した場合に、測定対
象の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増加に伴いセ
ンサ出力電圧が増加する場合には、ベースセンサ出力電
圧の傾きが負であるように設定すれば、センサ出力電圧
の変動を相殺することができる。
の変化に対して一定であると仮定した場合に、測定対象
の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増加に伴いセン
サ出力電圧が減少する場合にはベースセンサ出力電圧の
傾きが正であるように設定すれば、センサ出力電圧の変
動を相殺することができる。
ように、測定対象の可燃性ガスをメタンガスとする場合
には、電源電圧を上げるとセンサ出力電圧が増加する傾
向があるので、ベースセンサ出力電圧の傾きが負である
ように設定すればよい。すなわち、ベースセンサ出力電
圧がセンサ電流290[mA]の場合に−4[mV]程
度となるように、検知用酸化触媒及び温度補償用酸化触
媒の塗布量を制御すると、図5に示すようにメタンガス
に対する実際のセンサ出力電圧をセンサ出力電圧の変化
をベースセンサ出力電圧の変化で相殺してほぼ一定化す
ることができ、正確な検出を行うことができる。
電圧の制御に検知用酸化触媒及び温度補償用酸化触媒の
塗布量を制御することにより行っていたが、検知用酸化
触媒及び温度補償用酸化触媒の塗布量を一定とし、白金
線コイルの抵抗値を検知素子と温度補償素子との間で変
更するように構成しても同様の効果が得られる。
がセンサ電流の変化に対して一定であると仮定した場合
に、測定対象の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増
加に伴いセンサ出力電圧が増加する場合には、検知素子
の白金線コイルの抵抗値を温度補償素子の白金線コイル
の抵抗値に対してより熱容量が大きくなるように設定す
れば、センサ出力電圧の変動を相殺することができる。
の変化に対して一定であると仮定した場合に、測定対象
の可燃性ガスの存在下で、センサ電流の増加に伴いセン
サ出力電圧が減少する場合には、検知素子の白金線コイ
ルの抵抗値を温度補償素子の白金線コイルの抵抗値に対
してより熱容量が小さくなるように設定すれば、センサ
出力電圧の変動を相殺することができる。
雰囲気中に一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブ
リッジ回路の入力電流を変化させることにより得られる
ブリッジ回路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測
定対象ガスが存在しない場合に入力電流を変化させるこ
とにより得られるブリッジ回路の出力電圧変化である基
準出力電圧変化により相殺するので、入力電流の変化、
すなわち、電源電圧が変化してもその影響を抑制するこ
とができ、正確な測定対象ガス濃度を測定することがで
きる。
載の発明の作用に加えて、検知素子における検知用酸化
触媒の塗布量と、温度補償素子における温度補償用酸化
触媒の塗布量と、を相対的に変化させることにより、ブ
リッジ回路の出力電圧変化の基準出力電圧変化による相
殺量を容易に制御することができるので、容易に正確な
測定を行うための検知素子及び温度補償用素子を得るこ
とができる。
載の発明の作用に加えて、測定対象雰囲気中に測定対象
ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電流の
増加に伴って出力電圧が増加する場合には、温度補償用
酸化触媒の塗布量を増加させ、測定対象雰囲気中に測定
対象ガスが存在する場合におけるブリッジ回路の入力電
流の増加に伴って出力電圧が減少する場合には、温度補
償用酸化触媒の塗布量を減少させるので、定量的に相殺
量を制御することが可能な接触燃焼式ガスセンサを得る
ことができる。
載の発明の作用に加えて、検知素子における白金線コイ
ルの抵抗値と、温度補償素子における白金線コイルの抵
抗値と、を相対的に変化させるので、抵抗値変化に伴う
熱容量変化を利用して、定量的に相殺量を制御すること
により、容易に電源電圧の変化を抑制して正確なガス濃
度測定が行える。
程は、第1所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに
白金線コイル上に塗布し、第2塗布工程は、測定対象雰
囲気中に測定対象ガスが存在する場合におけるブリッジ
回路の入力電流−出力電圧変化曲線の傾き及び測定対象
雰囲気中に測定対象ガスが存在しない場合における入力
電流−出力電圧変化曲線である基準入力電流−出力電圧
変化曲線の傾き並びに第1所定量に基づく第2所定量の
温度補償用酸化触媒をバインダとともに白金線コイル上
に塗布し、焼成工程は、検知用酸化触媒が塗布された白
金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された白金線
コイルを所定温度で焼成するので、測定対象雰囲気中に
一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブリッジ回路
の入力電流を変化させることにより得られるブリッジ回
路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測定対象ガス
が存在しない場合に入力電流を変化させることにより得
られるブリッジ回路の出力電圧変化である基準出力電圧
変化により相殺することができ、正確な測定を行うこと
ができるる接触燃焼式ガスセンサを容易、かつ、確実に
得ることができる。
程は、所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに第1
の抵抗値を有する第1白金線コイル上に塗布するし、第
2塗布工程は、測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存在
する場合におけるブリッジ回路の入力電流−出力電圧変
化曲線の傾き及び測定対象雰囲気中に測定対象ガスが存
在しない場合における入力電流−出力電圧変化曲線であ
る基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並びに第1の
抵抗値に基づく第2の抵抗値を有する第2白金線コイル
上に所定量の温度補償用酸化触媒をバインダとともに塗
布し、焼成工程は、検知用酸化触媒が塗布された第1白
金線コイル及び温度補償用酸化触媒が塗布された第2白
金線コイルを所定温度で焼成するので、測定対象雰囲気
中に一定濃度の測定対象ガスが存在する場合にブリッジ
回路の入力電流を変化させることにより得られるブリッ
ジ回路の出力電圧変化を、測定対象雰囲気中に測定対象
ガスが存在しない場合に入力電流を変化させることによ
り得られるブリッジ回路の出力電圧変化である基準出力
電圧変化により相殺することができ、正確な測定を行う
ことができる接触燃焼式ガスセンサを容易、かつ、確実
に得ることができる。
である。
係説明図である。
−センサ出力電圧の関係説明図である。
る。
センサ出力電圧の関係説明図である。
−センサ出力電圧の関係説明図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 測定対象ガスの燃焼時に発生する反応熱
を検出する検知素子及び前記検知素子の温度補償を行う
ための温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前
記反応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセ
ンサにおいて、 測定対象雰囲気中に一定濃度の前記測定対象ガスが存在
する場合に前記ブリッジ回路の入力電流を変化させるこ
とにより得られる前記ブリッジ回路の出力電圧変化を、
前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在しない
場合に前記入力電流を変化させることにより得られる前
記ブリッジ回路の出力電圧変化である基準出力電圧変化
により相殺するように構成したことを特徴とする接触燃
焼式ガスセンサ。 - 【請求項2】 請求項1記載の接触燃焼式ガスセンサに
おいて、 前記検知素子は、白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗
布した構造を有しており、 前記温度補償素子は、白金線コイル上に温度補償用酸化
触媒を塗布した構造を有しており、 前記検知素子における前記検知用酸化触媒の塗布量と、
前記温度補償素子における前記温度補償用酸化触媒の塗
布量と、を相対的に変化させたことを特徴とする接触燃
焼式ガスセンサ。 - 【請求項3】 請求項2記載の接触燃焼式ガスセンサに
おいて、 前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場
合における前記ブリッジ回路の入力電流の増加に伴って
前記出力電圧が増加する場合には、前記温度補償用酸化
触媒の塗布量を増加させ、 前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場
合における前記ブリッジ回路の入力電流の増加に伴って
前記出力電圧が減少する場合には、前記温度補償用酸化
触媒の塗布量を減少させることを特徴とする接触燃焼式
ガスセンサ。 - 【請求項4】 請求項1記載の接触燃焼式ガスセンサに
おいて、 前記検知素子は、白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗
布した構造を有しており、 前記温度補償素子は、白金線コイル上に温度補償用酸化
触媒を塗布した構造を有しており、 前記検知素子における白金線コイルの抵抗値と、前記温
度補償素子における前記白金線コイルの抵抗値と、を相
対的に変化させたことを特徴とする接触燃焼式ガスセン
サ。 - 【請求項5】 白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗布
した構造を有し、測定対象ガスの燃焼時に発生する反応
熱を検出する検知素子及び白金線コイル上に温度補償用
酸化触媒を塗布した構造を有し前記検知素子の温度補償
を行うための温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成
し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式
ガスセンサの製造方法であって、 第1所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに白金線
コイル上に塗布する第1塗布工程と、 測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場合に
おける前記ブリッジ回路の入力電流−出力電圧変化曲線
の傾き及び前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが
存在しない場合における前記入力電流−出力電圧変化曲
線である基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並びに
前記第1所定量に基づく第2所定量の温度補償用酸化触
媒をバインダとともに白金線コイル上に塗布する第2塗
布工程と、 前記検知用酸化触媒が塗布された白金線コイル及び前記
温度補償用酸化触媒が塗布された白金線コイルを所定温
度で焼成する焼成工程と、 を備えたことを特徴とする接触燃焼式ガスセンサの製造
方法。 - 【請求項6】 白金線コイル上に検知用酸化触媒を塗布
した構造を有し、測定対象ガスの燃焼時に発生する反応
熱を検出する検知素子及び白金線コイル上に温度補償用
酸化触媒を塗布した構造を有し前記検知素子の温度補償
を行うための温度補償素子を用いてブリッジ回路を構成
し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式
ガスセンサの製造方法であって、 所定量の検知用酸化触媒をバインダとともに第1の抵抗
値を有する第1白金線コイル上に塗布する第1塗布工程
と、 測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが存在する場合に
おける前記ブリッジ回路の入力電流−出力電圧変化曲線
の傾き及び前記測定対象雰囲気中に前記測定対象ガスが
存在しない場合における前記入力電流−出力電圧変化曲
線である基準入力電流−出力電圧変化曲線の傾き並びに
前記第1の抵抗値に基づく第2の抵抗値を有する第2白
金線コイル上に所定量の温度補償用酸化触媒をバインダ
とともに塗布する第2塗布工程と、 前記検知用酸化触媒が塗布された第1白金線コイル及び
前記温度補償用酸化触媒が塗布された第2白金線コイル
を所定温度で焼成する焼成工程と、 を備えたことを特徴とする接触燃焼式ガスセンサの製造
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20499996A JP3316789B2 (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 接触燃焼式ガスセンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20499996A JP3316789B2 (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 接触燃焼式ガスセンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1048171A true JPH1048171A (ja) | 1998-02-20 |
JP3316789B2 JP3316789B2 (ja) | 2002-08-19 |
Family
ID=16499782
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20499996A Expired - Fee Related JP3316789B2 (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 接触燃焼式ガスセンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3316789B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003096001A1 (fr) * | 2002-05-14 | 2003-11-20 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Procedes de demarrage et d'arret de fonctionnement de capteur de gaz enferme dans un appareil de chauffage et methode de fonctionnement |
WO2003096000A1 (fr) * | 2002-05-13 | 2003-11-20 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Methode de diagnostic de la deterioration d'un capteur de gaz et equipement pour le diagnostic de la deterioration de gaz |
JP2010190580A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Riken Keiki Co Ltd | 接触燃焼式ガス検出装置 |
-
1996
- 1996-08-02 JP JP20499996A patent/JP3316789B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003096000A1 (fr) * | 2002-05-13 | 2003-11-20 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Methode de diagnostic de la deterioration d'un capteur de gaz et equipement pour le diagnostic de la deterioration de gaz |
EP1505385A1 (en) * | 2002-05-13 | 2005-02-09 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for diagnosing deterioration of gas sensor and equipment for diagnosing deterioration of gas sensor |
US7251981B2 (en) | 2002-05-13 | 2007-08-07 | Honda Motor Co., Ltd. | Method and device for diagnosing gas sensor degradation |
EP1505385A4 (en) * | 2002-05-13 | 2007-11-28 | Honda Motor Co Ltd | METHOD FOR DIAGNOSING THE DETERIORATION OF A GAS SENSOR AND EQUIPMENT FOR THE DIAGNOSIS OF GAS DETERIORATION |
WO2003096001A1 (fr) * | 2002-05-14 | 2003-11-20 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Procedes de demarrage et d'arret de fonctionnement de capteur de gaz enferme dans un appareil de chauffage et methode de fonctionnement |
JP2009075137A (ja) * | 2002-05-14 | 2009-04-09 | Honda Motor Co Ltd | ヒータ内蔵型ガスセンサの作動開始方法および作動停止方法および作動方法 |
US7820949B2 (en) | 2002-05-14 | 2010-10-26 | Honda Motor Co., Ltd. | Method of starting, stopping and operating gas sensor with built-in heater |
JP2010190580A (ja) * | 2009-02-16 | 2010-09-02 | Riken Keiki Co Ltd | 接触燃焼式ガス検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3316789B2 (ja) | 2002-08-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA1117789A (en) | Temperature compensated resistive exhaust gas sensor construction | |
CN101535799B (zh) | 用于确定测量用传感器温度的方法 | |
JP4580405B2 (ja) | 水素ガスセンサ | |
US4541988A (en) | Constant temperature catalytic gas detection instrument | |
GB2213271A (en) | Measuring the water vapour dew point in gases | |
US11467110B2 (en) | Method for operating a sensor device | |
CA1316710C (en) | Combustible gas detector having temperature stabilization capability | |
US20070274868A1 (en) | Combustible gas pellistor | |
EP0066852A2 (en) | Oxygen concentration detector | |
CN102375013B (zh) | 氧气传感器元件和氧气传感器 | |
JPH0690062B2 (ja) | 熱式流速検出装置 | |
EP0066853B1 (en) | Oxygen concentration detector | |
JP3316789B2 (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ及び接触燃焼式ガスセンサの製造方法 | |
US9304101B1 (en) | Method of sensor conditioning for improving signal output stability for mixed gas measurements | |
JP5467775B2 (ja) | ガスセンサの性能評価方法 | |
US4594569A (en) | Humidity sensitive device | |
JP4657805B2 (ja) | 熱式流量センサの温度特性調整方法 | |
JP2011145091A (ja) | ガス検出装置 | |
JP2017166845A (ja) | 混合ガス測定用に信号出力安定性を改良するセンサ調節方法 | |
JP3019165B2 (ja) | メタンガスの測定方法及び接触燃焼式メタンガスセンサ | |
JPH07190980A (ja) | 可燃性ガス検知素子 | |
JP2023183496A (ja) | ガス測定装置 | |
JPH07198652A (ja) | ガス検知装置 | |
JPH10153566A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ及びその調整方法 | |
EP3223007A1 (en) | Method of sensor conditioning for improving signal output stability for mixed gas measurements |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020423 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080614 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090614 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090614 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100614 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110614 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120614 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130614 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130614 Year of fee payment: 11 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130614 Year of fee payment: 11 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |