JPH1044444A

JPH1044444A - インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド

Info

Publication number: JPH1044444A
Application number: JP21605496A
Authority: JP
Inventors: Genji Inada; 源次稲田; Akira Goto; 顕後藤
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-07-29
Filing date: 1996-07-29
Publication date: 1998-02-17

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】第１基板と天板の良好な密着を達成し、記録品
位の良好なインクジェットヘッドを形成する製造方法及
びインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】第２基板２は第１基板との接合によりノズ
ルが形成されるノズル壁１２と、ノズルに連通した共通
液室が形成される液室枠９とを有し、ノズル壁１２およ
び／または液室枠９の第１基板との接合面の一部には、
接合により少なくとも一部がつぶれ変形可能なリブ部材
１０が形成されてなる。第２基板２の形成に樹脂成形工
程を用い、樹脂成形工程と該樹脂成形工程後のノズル壁
１２および／または前記液室枠９のリブ部材１０を加工
する工程との間に、第１基板と第２基板２との接合面を
基準にしたときの第２基板２の接合面の形状の変形量を
測定する工程を選択的に行い、変形量測定工程により得
られる測定値に基づきリブ部材の形状を変更する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は記録装置などに用い
るインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット
ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットヘッドの構成の１つとし
て、特開平０５−１３８８９６号公報に開示された形態
が考えられる。図１は特開平０５−１３８８９６号公報
に記載された類似の従来知られているインクジェットヘ
ッド構成を説明する図である。図１のインクジェットヘ
ッドは記録信号に応じて熱エネルギーを発生し、バブル
を生成することでインクを吐出する熱インクジェットヘ
ッドである。支持体上では第１の基板と第２の基板であ
る天板２が接合される。第１基板１には滴形成のための
エネルギー発生手段であるヒータが配設されている。

【０００３】天板２（図２）は、接合面に設けられ基板
１との接合（以下、天板接合）によりノズルを構成する
溝３、溝を構成するノズル壁１２、各々の溝に連通し液
滴を吐出するオリフィス４、複数の溝が連通し接合後に
共通液室となる凹部５、該液室を囲む液室枠９、オリフ
ィスを複数有するオリフィスプレート６を一体に備え
る。これらの機能部を有する天板２は液晶ポリマー、ポ
リサルフォンなどにより一体成形により形成することが
可能であり、加工の容易さを考慮すれば、オリフィス開
口の工程以外を射出成形を含む１度のモールド成形工程
で一括で構成し、オリフィスをエキシマレーザーなどで
開口する別の工程を用いることが好ましい。図３は図２
のＡ方向から見た溝３のオリフィス開口部付近の形状で
ある。

【０００４】基板１と天板２は、所定の位置関係の元、
押えばね８により圧接される。押えばね８はその中央で
天板２の液室に対応する部分を押圧するとともに天板２
のノズルに対応する部分を線接触で押圧する。これによ
って天板接合が完了する。より安定な接合状態を得るた
めに、シリコーン等を主成分とする封止剤で両者の接合
部を密封することが好ましい。

【０００５】天板接合に際しては、天板のソリ変形によ
る第１基板との接合面の密着不良、接合時の互いの傾き
等による接合不良、などの問題が発生する可能性があ
る。これらの課題を解決するために、本出願人は次の手
段を提案している。すなわち、特開平０４−２５００４
８号公報、０５−１３８８９６号公報に開示したよう
に、ノズル面１４および液室の枠面１１に各々天板接合
時に変形可能なノズルリブ部材１．３、枠リブ部材１０
を設けている。さらに図２の例では、ノズル面１４と枠
面１１の接続部には、天板接合時に、隣接するノズル間
の好ましくない連通が生じることを防止するために、ノ
ズル壁部の接合面が第１基板に接合した状態で液室壁部
の接合面と前記第１基板の間に隙間を生じる方向の段差
（順段差）を設けている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記モールド成形工程
での射出成形により天板を形成する場合には、上記のご
とき天板２の特徴的な様々な形状を一括して作り込むこ
とが最も好ましい。しかし実際には天板のソリ変形量が
キャビティ毎、また経時的に変化するため、リブ部材等
に求められる寸法、形状は個々の天板毎に変わってしま
う。仮に上記モールド成形工程でリブ部材等も一括に作
り込んでも、該リブ部材自体が接合前の好ましい形状か
ら変形し、天板接合時に十分に機能しない危険がある。
また、例えば液室枠９がＺ正方向に当初予想よりも大き
くソリ変形した場合には、明らかにノズルリブ部材１３
の接合時の変形可能な量を所定値より大きくとる必要が
ある。また金型の駒構成によっては、枠面１１とノズル
面の段差量や段差の方向が個々の天板により変わること
も考えられる。例えば枠面とノズル面を構成する駒が異
なる場合には、成形時の射出圧力によって、経時的に該
段差の方向が順段差と逆の状態の段差（逆段差）になる
ことも考えられる。この対策として、各部のソリ量のレ
ンジ等を予測し、それらを補いうるリブ部材の形状を決
めてしまうことも考えられるが、ノズル面、枠面のソリ
量、両面の段差とその方向の違いにより必要なリブ部材
の形状変更の方法が異なるため、様々な不良モードに対
処できるようなノズルリブ部材、枠リブ部材の形状を１
通りに決定することは困難である。

【０００７】そこで、本発明は、上記従来技術における
課題を解決し、天板である第２基板の不良モードや寸法
精度の変化を補い、接合に適した天板を形成して第１基
板と天板の良好な密着を達成し、記録品位の良好なイン
クジェットヘッドを形成することのできるインクジェッ
トヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドを提供す
ることを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドの製造方法は、上記課題を解決するため、インク
を吐出するためのエネルギー発生手段が複数形成された
第１基板と該第１基板に接合される天板である第２基板
とを備え、該第２基板は前記第１基板との接合により前
記吐出エネルギー発生手段の各々に対応したノズルが形
成されるノズル壁と、該ノズルに連通した共通液室が形
成される液室壁とを有し、該ノズル壁および／または該
液室壁の前記第１基板との接合面の一部には、接合によ
り少なくとも一部がつぶれ変形可能なリブ状の凸部材
（以下、リブ部材という）が形成されてなるインクジェ
ットヘッドの製造方法において、前記第２基板の形成に
樹脂成形工程（以下、第１の工程という）を用い、該第
１の工程と該第１の工程後の前記ノズル壁および／また
は前記液室壁のリブ部材を加工する工程（以下、第２の
工程という）との間に、前記第１基板と第２基板との接
合面を基準にしたときの前記第２基板の接合面の形状の
変形量を測定する工程を選択的に行い、該変形量測定工
程により得られる測定値に基づきリブ部材の形状を変更
することを特徴としている。また、本発明のインクジェ
ットヘッドの製造方法は、つぎのような構成を有するこ
とを特徴としている。（ａ）前記変形量測定工程での測定値が、ノズル壁部の
接合面（以下、ノズル面という）のソリ変形量と、液室
壁部の接合面（以下、枠面という）のソリ変形量の少な
くとも一つの量を含んでいること。（ｂ）前記変形量測定工程での測定値が、前記ノズル面
と前記枠面の段差の大きさを含んでいること。（ｃ）前記ノズル面のソリ変形量をΔ１、前記ノズル面
と前記枠面の段差の大きさをＨ0、前記ノズル面に形成
するリブ部材（以下、ノズルリブ部材という）の前記ノ
ズル面からの高さをｈ1とするとき、次式（１）〜
（２）の少なくとも１つを満たすこと。

【０００９】Δ１≦ ｈ1 （１）Ｈ0 ≦ ｈ1 （２）（ｄ）前記枠面のソリ変形量をΔ2、前記ノズル面と前
記枠面の段差の大きさをＨ0、前記枠面に形成するリブ
部材（以下、枠リブ部材）の前記枠面からの高さをｈ2
とするとき、次式（３）〜（４）の少なくとも１つを満
たすこと。

【００１０】Δ2 ≦ ｈ2 （３）Ｈ0 ≦ ｈ2 （４）（ｅ）前記リブ部材を加工する工程によって前記ノズル
面と前記枠面双方にリブ部材を形成し、かつこれらのリ
ブ部材の高さを実質的に等しく形成し、該高さをｈと
し、前記ノズル壁部の接合面のソリ変形量をΔ１、前記
液室壁部の接合面のソリ変形量をΔ2とするとき、次式
（５）を満たすこと。

【００１１】MAX（Δ1，Δ2）≦ｈ（５）（ｆ）前記第１基板と第２基板の接合に際して、リブ部
材の変形を伴わない状態での接合時に、前記ノズル面が
前記第１基板に接合した状態で前記枠面と前記第１基板
の間に隙間を生じる方向の段差を前記第２基板が有する
とき、次式（６）を満たすように前記ノズルリブ部材の
高さｈ１を決めること。

【００１２】Δ2＋Ｈ0≦ｈ1 （６）（ｇ）前記第１基板と第２基板の接合に際して、リブ部
材の変形を伴わない状態での接合時に、前記枠面が前記
第１基板に接合した状態で前記ノズル面と前記第１基板
の間に隙間を生じる方向の段差を前記第２基板が有する
とき、次式（７）を満たすように前記枠リブ部材の高さ
ｈ2を決めること。

【００１３】Δ1＋Ｈ0≦ｈ2 （７）（ｈ）前記リブ部材は、ＵＶ光を被加工面に照射するこ
とにより加工形成され、また、このＵＶ光が、エキシマ
レーザー光であること。また、本発明のインクジェット
ヘッドは、インクを吐出するためのエネルギー発生手段
が複数形成された第１基板と該第１基板に接合される第
２基板とを備え、該第２基板は前記第１基板との接合に
より前記吐出エネルギー発生手段の各々に対応したノズ
ルが形成されるノズル壁と、該ノズルに連通した共通液
室が形成される液室壁とを有し、該ノズル壁および／ま
たは該液室壁の前記第１基板との接合面の一部には、接
合により少なくとも一部がつぶれ変形可能なリブ状の凸
部材が形成されてなるインクジェットヘッドにおいて、
上記本発明のインクジェットヘッドの製造方法及び上記
（ａ）〜（ｈ）のいずれかに記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法によって製作された第２基板を有し、該第
２基板を前記第１基板に接合してなることを特徴として
いる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本出願にかかる第１の発明の構成
によれば、第１工程になる天板の寸法精度、例えばノズ
ル面・枠面のソリ量、両者の段差とその方向等が、金型
のキャビティ毎あるいは経時的に変わっても、天板接合
に際する天板の不良を補うリブ部材を、第１工程の精度
によらずに得ることができる。また第１工程後に前記変
形量測定工程により天板の所定の部分を測定すること
で、第１工程によるところの不良の程度が変化した場合
であっても、確実に該不良を補いうるリブ部材を天板に
もたせることが可能である。本発明においては、リブ部
材の形状として幅、接合面からの高さ、断面形状、配
置、の少なくとも１つを決定あるいは変更する。また第
１工程後に得られる天板のノズル面あるいは枠面のソリ
変形量、第１工程後にノズル面と枠面の接続部に段差が
存在する場合はその量、の少なくとも１つを第２の工程
の前工程としての変形量測定工程において測定し、該変
形量測定工程により得られる測定値に応じて必要なリブ
形状を変更する。また本発明においては、第２工程で
は、前記変形量測定工程による測定値に基づいて、好ま
しくは各々のリブ部材の天板接合によるつぶれ変形の可
能量を制御するように前記リブ部材の形状、すなわち
幅、接合面からの高さ、断面形状を変更すればよい。さ
らに好ましくは、各々のリブ部材の高さ寸法を好適な値
に変更すればよい。上記での接合面とは、ノズル面と枠
面のうち天板を第１基板に接合した姿勢で該基板に先に
接触する面であり、例えば順段差の状態では、ノズル面
が接合面に該当する。本出願にかかる発明においては、
必ずしも天板にノズルケガキ、枠ケガキの両方を設ける
必要はない。またノズル面と枠面の段差がない場合は、
順段差の量が０．０と考えても本発明の思想に相違しな
い。

【００１５】

【実施例】

［実施例１］図４〜８は本発明の実施例１を説明する図
である。本実施例は、第２工程に先立ってノズルリブ部
材が形成されていない図４の天板のノズル面のソリ変形
量を測定し、該測定値に基づいてノズルリブ部材の形状
を決定し、第２工程にて該形状を加工する。図７は、第
２工程の加工の前後の被加工部の形状変化の状態を示
す。

【００１６】本実施例での第１工程から天板接合にいた
る手順は図５に示す。天板の測定を行う第２の工程の前
工程としての変形量測定工程を全てのワークすなわち天
板に対して行うことも考えられるが、定期間毎、例えば
天板製造中の適当な時間毎あるいは適当なワーク個数毎
にワークを測定サンプルとして取りだし、該サンプルに
対し該変形量測定工程を実施し、その結果に基づいて後
に続く定期間の第２工程でのリブ部材の形状を固定して
決めることも考えられる。

【００１７】本実施例では、天板はポリサルフォンを材
料として成形される。第２工程でのノズルリブの加工は
エキシマレーザーを被加工面に照射することで行う。エ
キシマレーザーは遮光マスクを通過してリブ部材のＸ−
Ｙ平面上の形状にパターン化され、被加工面を掘りこ
む。この際、単位面積あたり照射エネルギー量を制御す
ることで、リブ部材の高さすなわちＺ寸法を所望の値に
制御する。例えば、エキシマレーザーの照射時間を制御
することが考えられる。

【００１８】具体的には、図４の天板２のノズル面にノ
ズルリブ部材１３を形成することで、図６（ａ）の加工
後に図６（ｂ）の形状を得る。第１工程にて樹脂成形さ
れた図４の天板２には、天板接合後にノズルとなる溝３
が予め設けられ、ノズル面と枠面１１の境には順段差が
ある。図７（ｃ）（ｄ）は各々図６（ａ）（ｂ）のＢ−
Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面である。図６（ｂ）、図７（ｄ）で
は、第２工程の被加工面が加工後の接合面となり、レー
ザーで掘り込みで作られたノズル面と接合面の距離がノ
ズルリブ部材の高さｈ１となる。

【００１９】本出願の発明の説明で述べる、ソリ変形量
を測定すべきノズル面は、レーザーで掘り込みで作られ
た面ではなく、リブ部材を加工する以前の面であること
はいうまでもない。また同様にソリ変形量を測定すべき
枠面は、リブ部材を加工する以前の面である。なお、被
加工面、接合面、ノズル面の関係を図７（ｅ）のように
してもよい。またＨｎは求められる滴吐出性能により決
る溝深さである。第１工程では成形材料としてポリスチ
レン液晶ポリマー等の材料を用いることも考えられる。
また第２工程においては、リブ部材の加工のためにダイ
シングソーなどの機械的な加工手段を用いることも考え
られる。

【００２０】次に本実施例でのノズルリブ部材の形状の
決定および加工の手順について、図８、及び図１１を用
いて具体的に説明する。図８では、各々面とリブ部材の
関係の説明を容易にするために、天板の形状を簡略化し
且つ、本実施例の特徴の主要部のみを示した。図１１は
第２の工程の前工程としての変形量測定工程のフローチ
ャートである。第１加工後の天板図８（ａ）に対して、
リブ部材の加工前に、ノズル面のソリ変形量として平面
度Δ１を測定する。また段差の量Ｈ０を計測する。段差
量が部分的に異なる場合には測定値の最大値を段差量と
すればよい。測定の際には、半導体レーザーの干渉を利
用した非接触型マイクロメーターや触針式の深度計など
を用いればよい。本実施例では天板２はノズル面平面度
３ｕｍおよび順段差４ｕｍである。

【００２１】第２工程で形成すべきノズルリブ部材の高
さｈ１は次式により決定される。

【００２２】Δ１≦ ｈ１（１）Ｈ０≦ ｈ１（２） Δ１、Ｈ０として値３ｕｍ、４ｕｍが得られたとすれ
ば、ｈ１≧４ｕｍとする。ノズルリブ部材の高さｈ１＝
４ｕｍ＋αにおけるα値は正値であればよい。発明者の
検討によれば、隣接する溝３のピッチが１００ｕｍ以下
であり且つ溝深さＨｎが１０ｕｍ以上であれば、良好な
天板接合を行うためにはα値は１ｕｍ以上であることが
好ましい。図８ではｈ１＝５ｕｍとした。リブ部材幅が
５０ｕｍ以下ならば、より好ましくはノズルリブ部材の
高さはＭＡＸ（Δ１，Ｈ０）×（３／２）以上の値であ
る。ｈ１値を決定した後、第２工程においてノズルリブ
部材１３の加工を行い（図８（ｂ））、第１基板１との
接合を行う（図８（ｃ））。天板２と第１基板１は両者
の相対位置を所定の関係に調整後、ノズルリブ部材１３
が少なくとも４ｕｍ以上つぶれ変形する付勢力を作用さ
せ接合される。この結果、接合時のノズル面は第１基板
１と隙間なく密着し、ノズルリブ部材１３の潰れにより
ノズル面と枠面との段差が吸収され、接合後には両基板
間の隙間は生じない。

【００２３】本実施例では被加工面（ノズル面）のソリ
変形量と段差の双方を測定したが、一方が他方に比べ無
視できる程度の大きさであるならば、第２の工程の前工
程としての変形量測定工程では片方の値のみを測定し、
該測定値に基づいてエキシマレーザーで加工すべきノズ
ルリブ部材の高さｈ１を決めればよい。例えば、樹脂成
形後のサンプル検査などで段差Ｈ０が１ｕｍ以下の値で
安定しており且つΔ１が数ｕｍ以上である場合、または
金型の構成上段差が発生しない場合には、第３工程では
Δ１のみを測定し、式（１）によってノズルリブ部材の
形状を決定すればよい。この意味でｈ１は式（１）
（２）の少なくとも一方を満たす必要がある。逆にΔ１
がＨ０に対し無視できることが知られている場合は、段
差のみを測定し式（２）によっでノズルリブ部材の形状
を決定すればよい。本実施例では第１工程にて天板に溝
３を形成しているが、他の手順として、第１工程では溝
を有しない天板を製作し、第２工程でのリブ部材の加工
の前後にエキシマレーザーにて溝を作り込むことも考え
られる。

【００２４】［実施例２］本発明の実施例２は、第２工
程に先立って枠リブ部材が形成されていない図４の天板
２の枠面のソリ変形量を測定し、該測定値に基づいてノ
ズルリブ部材の形状を決定し、第２工程にて該形状を加
工する。本実施例での枠リブ部材の形状の決定および加
工の手順について、図９を用いて具体的に説明する。本
実施例の手順は、図１１のフローチャー卜において、ｈ
１をｈ２に、Δ１をΔ２に各々置き換えたものになる。
すなわち第２工程で形成すべき枠リブ部材の高さｈ２は
次式により決定される。

【００２５】Δ２≦ ｈ２（３）Ｈ０≦ ｈ２（４）枠リブ部材の高さｈ２＝ＭＡＸ（Δ２、Ｈ０）＋αにお
けるα値は正値であればよく、好ましくは１ｕｍ以上で
ある。より好ましくは枠リブ部材の高さはＭＡＸ（Δ
２，Ｈ０）×（３／２）以上の値である。枠リブ部材の
形状の際も、Δ２とＨ０の一方が他方に比べ無視できる
程度の大きさであることが予め知られているならば、前
記変形量測定工程では片方の値のみを測定し、該測定値
に基づいてエキシマレーザーで加工すべきノズルリブ部
材の高さｈ２を決めればよい。この意味でｈ２は式
（３）および／または式（４）を満たせばよい。

【００２６】［実施例３］実施例３では、同一の天板に
ノズルリブ部材と枠リブ部材の双方を設けた。前記変形
量測定工程の測定値によって両部材の高さを変更する場
合には、Δ１およびΔ２、および／または段差Ｈ０を測
定し、式（１）および／または式（２）を満たすように
ｈ１を決め、次に式（３）および／または式（４）を満
たすようにｈ２を決めればよい。具体的な例としては、
ノズル面と枠面１１の境に図４の天板が有するような段
差が生じない駒構成の金型になる図１３のような天板の
場合には、前記変形量測定工程においてノズル面と枠面
１１のソリ変形量として平面度Δ１、Δ２のみを測定
し、式（１）〜（４）を満たすようにｈ１、ｈ２を決め
ればよい。

【００２７】［実施例４］実施例４は、同一の天板にノ
ズルリブ部材と枠リブ部材の双方を設けるとともに、双
方の部材を同じ高さとする。本実施例では、樹脂成形に
より得られる天板の所定箇所を測定し、図１３のフロー
チャー卜に従い式（５）を満たすように双方のリブ部材
に共通のリブ部材高さｈを決める。

【００２８】ＭＡＸ（Δ１，Δ２）≦ｈ（５）図１３におけるα＝ｈ−ＭＡＸ（Δ１，Δ２）は、実施
例１、２と同様に、正値であればよい。また隣接する溝
のピッチが１００ｕｍ以下であり且つ溝深さＨｎが１０
ｕｍ以上であれば、好ましくはα値は１ｕｍ以上であ
る。リブ部材幅が５０ｕｍ以下ならば、より好ましくは
ノズルリブ部材の高さはＭＡＸ（Δ１，Ｈ０）×（３／
２）以上の値である。

【００２９】次に第２工程では被加工面すなわちノズル
面および枠面にパターン化したエキシマレーザーを照射
し、照射エネルギー量を制御することで、ノズルリブ部
材、枠リブ部材の高さｈを得る。天板接合時には、ノズ
ルリブ部材、枠リブ部材が各々Δ１、Δ２の大きさ以上
に潰れ変形する付勢力を加えることで、ノズル面および
枠面のソリ変形を天板接合時の各々の面のリブ部材の潰
れにより吸収できるので、天板と第１基板との良好な接
合が可能である。本実施例では、ノズルリブ部材と枠リ
ブ部材を同時に且つ同じ高さとなるように掘り込み、こ
の際、同一の遮光マスクにノズルリブ部材と枠リブ部材
のＸ−Ｙ平面上での形状を予め設けることでエキシマレ
ーザーをパターン化するマスクの交換が不要となり、第
２工程の生産性を向上することができる。

【００３０】［実施例５］実施例５は、同一の天板にノ
ズルリブ部材と枠リブ部材の双方を設けるとともに、双
方の部材を同じ高さとする。本実施例では、樹脂成形に
より得られる天板のソリ変形量、ノズル面と枠面の境の
段差および段差の方向を測定し、図１２のフローチャー
トに従い双方のリブ部材に共通のリブ部材高さｈを決め
る。

【００３１】まず順段差の場合の手順を説明する。ソリ
変形量として各面の平面度Δ１，Δ２を測定した後、段
差量とその方向を測定する。この際、段差量が無視でき
る程度である場合には、これ以降の手順は図１３と実質
的に同じとなる。測定の結果、順段差であれば、ノズル
部の第１基板との接合面と枠面１１は最大でΔ２＋Ｈ０
の隙間を有する可能性がある。ゆえに天板接合時のリブ
部材の潰れによって天板２と第１基板１を隙間なく接合
するためには式（６）を満たすようにｈを決定する。

【００３２】ＭＡＸ（Δ１，Δ２＋Ｈ０）≦ｈ（６）図１０は順段差の場合の本実施例の接合手順を具体的に
説明する。図１０の例では第２工程前のノズル面、枠面
１１の平面度、段差量は、各々Δ１＝３ｕｍ、Δ２＝５
ｕｍ、Ｈ０＝３ｕｍである。このとき、式（６）によれ
ばノズルリブ部材１３、枠リブ部材１０に共通の高さｈ
は、８ｕｍ以上の値とすればよい。図１０ではｈ＝１０
ｕｍとなるように、ノズル面および枠面１１にエキシマ
レーザーを照射した。この結果、ノズルリブ部材１３と
枠リブ部材１０は、図１０（ｂ）のようにほぼ第２工程
前の段差量の分をオフセットした状態で形成される。天
板接合の際には、少なくともノズルリブ部材１３が８ｕ
ｍ以上潰れるような付勢力を加えることで、図１０
（ｃ）のように良好な接合が可能である。段差の方向が
逆段差であれば、枠部の第１基板との接合面とノズル面
は最大でΔ１＋Ｈ０の隙間を有する可能性があり、良好
な接合のためには式（７）を満たすようにｈを決定すれ
ばよい。

【００３３】ＭＡＸ（Δ１十Ｈ０，Δ２）≦ｈ（７）なお、本明細書にて示した実施例では、天板の接合面の
段差がノズル面と枠面の境に生じる場合を例として取り
上げたが、かかる段差形状が接合面の他の場所に生じる
場合であっても本出願の発明を問題なく適用することが
できる。かかる段差が複数の箇所に存在する場合であっ
ても、第２の工程の前工程としての変形量測定工程にお
いて各々の段差に関して本発明の思想に沿ってリブ部材
の高さを算出し、その最大値を第２工程で加工すべきリ
ブ形状として採用すればよく、本発明の思想に沿うもの
であれば、その実施形態は、本明細書の実施例やその他
の具体的形状に限定されるものではない。また、本発明
における実施例では、ノズル壁、液室枠にリブ部材を設
ける例を示して説明したが、天板の接合面の他の箇所に
リブ部材を設ける構成において、本発明を用いてもよ
い。その具体的な例としては、特開平４−２４７９４６
号公報に開示されている特徴的なリブ部材を有する天
板、およびその製造に、本出願の発明を適用することも
可能である。

【００３４】

【発明の効果】以上のように、本発明は第２の工程の前
工程として変形量測定工程を実施し、該変形量測定工程
において得られる測定値に基づきリブ部材の形状を変更
するようにすることにより、第２基板である天板の寸法
精度、例えばノズル面・枠面のソリ量、両者の段差とそ
の方向等が、金型のキャビティ毎あるいは経時的に変わ
っても、またその不良の程度が変化した場合であって
も、それらの寸法精度の変化を確実に補うことが可能と
なり、接合に適した天板を形成して第１基板と天板の良
好な密着を得ることができ、インクの吐出性能の安定、
さらにはインクジェットヘッドの吐出性能のバラツキの
低減を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来例のインクジェットヘッドの構造の概略図
である。

【図２】天板の接合面側の構造を説明する図である。

【図３】天板の接合面側の構造を説明する図である。

【図４】本発明の実施例に用いる第２工程前の天板を示
す図である。

【図５】本発明のフローチャートの概略を示す図であ
る。

【図６】第２工程による加工を詳細に説明する図であ
る。

【図７】図６に示した工程に続く第２工程による加工を
詳細に説明する図である。

【図８】本発明の第１工程以降の手順を説明する概略図
である。

【図９】本発明の第１工程以降の手順を説明する概略図
である。

【図１０】本発明の第１工程以降の手順を説明する略図
である。

【図１１】本発明の実施例のフローチャー卜を示す図で
ある。

【図１２】本発明の実施例のフローチャー卜を示す図で
ある。

【図１３】本発明の実施例のフローチャー卜を示す図で
ある。

【図１４】本発明の実施例に用いる第２工程前の天板を
示す図である。

【符号の説明】

１：第１基板２：天板（第２基板）３：溝４：オリフィス５：凹部６：オリフィスプレート７：段差８：押えばね９：液室枠１０：枠リブ部材１１：枠面１２：ノズル壁１３：ノズルリブ部材１４：ノズル面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを吐出するためのエネルギー発生手
段が複数形成された第１基板と該第１基板に接合される
天板である第２基板とを備え、該第２基板は前記第１基
板との接合により前記吐出エネルギー発生手段の各々に
対応したノズルが形成されるノズル壁と、該ノズルに連
通した共通液室が形成される液室壁とを有し、該ノズル
壁および／または該液室壁の前記第１基板との接合面の
一部には、接合により少なくとも一部がつぶれ変形可能
なリブ部材が形成されてなるインクジェットヘッドの製
造方法において、前記第２基板の形成に樹脂成形工程を
用い、該樹脂成形工程と該樹脂成形工程後の前記ノズル
壁および／または前記液室壁のリブ部材を加工する工程
との間に、前記第１基板と第２基板との接合面を基準に
したときの前記第２基板の接合面の形状の変形量を測定
する工程を選択的に行い、該変形量測定工程により得ら
れる測定値に基づきリブ部材の形状を変更することを特
徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】前記変形量測定工程での測定値が、ノズル
壁部の接合面のソリ変形量と、液室壁部の接合面のソリ
変形量の少なくとも一つの量を含んでいることを特徴と
する請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方
法。
【請求項３】前記変形量測定工程での測定値が、前記ノ
ズル壁部の接合面と液室壁部の接合面の段差の大きさを
含んでいることを特徴とする請求項１または請求項２に
記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】前記ノズル壁部の接合面のソリ変形量をΔ
１、前記ノズル壁部の接合面と液室壁部の接合面の段差
の大きさをＨ0、前記ノズル壁部の接合面に形成するリ
ブ部材の前記ノズル壁部の接合面からの高さをｈ1とす
るとき、次式（１）〜（２）の少なくとも１つを満たす
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の
インクジェットヘッドの製造方法。 Δ１≦ ｈ1 （１）Ｈ0 ≦ ｈ1 （２）
【請求項５】液室壁部の接合面のソリ変形量をΔ2、前
記ノズル壁部の接合面と液室壁部の接合面の段差の大き
さをＨ0、前記液室壁部の接合面に形成するリブ部材の
前記液室壁部の接合面からの高さをｈ2とするとき、次
式（３）〜（４）の少なくとも１つを満たすことを特徴
とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法。 Δ2 ≦ ｈ2 （３）Ｈ0 ≦ ｈ2 （４）
【請求項６】前記リブ部材を加工する工程によって前記
ノズル壁部の接合面と前記液室壁部の接合面双方にリブ
部材を形成し、かつこれらのリブ部材の高さを実質的に
等しく形成し、該高さをｈとし、前記ノズル壁部の接合
面のソリ変形量をΔ１、前記液室壁部の接合面のソリ変
形量をΔ2とするとき、次式（５）を満たすことを特徴
とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法。 MAX（Δ1，Δ2）≦ｈ（５）
【請求項７】前記第１基板と第２基板の接合に際して、
リブ部材の変形を伴わない状態での接合時に、前記ノズ
ル壁部の接合面が前記第１基板に接合した状態で前記液
室壁部の接合面と前記第１基板の間に隙間を生じる方向
の段差を前記第２基板が有するとき、次式（６）を満た
すように前記ノズル壁部の接合面に形成するリブ部材の
高さｈ１を決めることを特徴とする請求項１〜６のいず
れか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 Δ2＋Ｈ0≦ｈ1 （６）
【請求項８】前記第１基板と第２基板の接合に際して、
リブ部材の変形を伴わない状態での接合時に、前記液室
壁部の接合面が前記第１基板に接合した状態で前記ノズ
ル壁部の接合面と前記第１基板の間に隙間を生じる方向
の段差を前記第２基板が有するとき、次式（７）を満た
すように前記液室壁部の接合面に形成するリブ部材の高
さｈ2を決めることを特徴とする請求項１〜６のいずれ
か１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 Δ1＋Ｈ0≦ｈ2 （７）
【請求項９】前記リブ部材は、ＵＶ光を被加工面に照射
することにより加工形成されることを特徴とする請求項
１〜８のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの
製造方法。
【請求項１０】前記ＵＶ光が、エキシマレーザー光であ
ることを特徴とする請求項９に記載ののインクジェット
ヘッドの製造方法。
【請求項１１】インクを吐出するためのエネルギー発生
手段が複数形成された第１基板と該第１基板に接合され
る第２基板とを備え、該第２基板は前記第１基板との接
合により前記吐出エネルギー発生手段の各々に対応した
ノズルが形成されるノズル壁と、該ノズルに連通した共
通液室が形成される液室壁とを有し、該ノズル壁および
／または該液室壁の前記第１基板との接合面の一部に
は、接合により少なくとも一部がつぶれ変形可能なリブ
状の凸部材が形成されてなるインクジェットヘッドにお
いて、請求項１〜１０のいずれか1項に記載のインクジ
ェットヘッドの製造方法によって製作された第２基板を
有し、該第２基板を前記第１基板に接合してなることを
特徴とするインクジェットヘッド。