JPH1044370A - Screen printer and its controlling method - Google Patents

Screen printer and its controlling method

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JPH1044370A
JPH1044370A JP8204387A JP20438796A JPH1044370A JP H1044370 A JPH1044370 A JP H1044370A JP 8204387 A JP8204387 A JP 8204387A JP 20438796 A JP20438796 A JP 20438796A JP H1044370 A JPH1044370 A JP H1044370A
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substrate
image
printing
imaging
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Noboru Nishi
登 西
Katsumi Totani
克己 戸谷
Yuuji Odakamine
裕司 小高峯
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printer and its controlling method for correcting misalignment between a substrate and a screen with high accuracy. SOLUTION: The screen printer comprises a substrate support table 2 movable in X-axis and Y-axis directions and rotating in a horizontal plane, a screen support means 3 disposed above the table 2 and movable in the Y-axis direction, a first imaging means 4 disposed between the table 2 and the means 3, movable in the X-axis and Y-axis directions to image a substrate P, a second imaging means 5 disposed above the means 3, movable in the X-axis and Y-axis directions to image a screen S, and a control means for allowing the means 4 to image the substrate before printing is conducted on the substrate to recognize a position of the substrate, for allowing the means 5 to image the screen to recognize a position of the screen to calculate the misalignment between the substrate and the screen, and driving the table 2 and the means 3 to correct the misalignment.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を基板に
はんだ付けするためのクリームはんだ等のペーストを基
板に印刷するためのスクリーン印刷機及びその制御方法
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen printer for printing a paste such as a cream solder for soldering an electronic component on a substrate, and a control method therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のように、クリームはんだ等のペー
ストを基板に印刷するためにスクリーン印刷機が使用さ
れている。従来のスクリーン印刷機は、水平方向に延び
るX軸、Y軸の方向に移動するための移動機構及び垂直
方向に延びるZ軸の方向に移動するための移動機構及び
水平面内で回転するための回転機構を有する基板支持テ
ーブルと、この基板支持テーブルの上方に配されたスク
リーン支持手段と、基板支持テーブルとスクリーン支持
手段との間に配され、X軸及びY軸の方向に移動自在
で、基板支持テーブル上に載置された基板とスクリーン
支持手段に支持されたスクリーンとを撮像するカメラを
有する撮像手段とを備えている。
2. Description of the Related Art As is well known, a screen printing machine is used to print a paste such as cream solder on a substrate. Conventional screen printing machines include a moving mechanism for moving in the X-axis and Y-axis directions extending in the horizontal direction, a moving mechanism for moving in the Z-axis direction extending in the vertical direction, and rotation for rotating in a horizontal plane. A substrate supporting table having a mechanism, screen supporting means disposed above the substrate supporting table, and disposed between the substrate supporting table and the screen supporting means, the substrate supporting table being movable in the X-axis and Y-axis directions; There is provided imaging means having a camera for imaging the substrate placed on the support table and the screen supported by the screen support means.

【0003】このスクリーン印刷機によって基板にスク
リーン印刷を行うには、まず、基板支持テーブル上に載
置されたスクリーン印刷前の基板とスクリーン支持手段
に支持されたスクリーンとを撮像手段に撮像させて基板
とスクリーンの位置認識を行い、得られた基板とスクリ
ーンの位置情報から基板とスクリーンとの間のずれを算
出し、基板支持テーブルをX軸及びY軸の方向に移動さ
せるとともに水平面内で回転させてずれを補正する。そ
して、撮像手段を水平方向に退避させ、基板支持テーブ
ルを上昇させて基板をスクリーンの下面に押し付け、ス
キージをスクリーンの上面に沿って移動させて基板上に
ペーストを印刷する。
In order to perform screen printing on a substrate by using this screen printing machine, first, an imaging means is used to image the substrate before screen printing placed on the substrate support table and the screen supported by the screen support means. Recognizes the position of the substrate and the screen, calculates the displacement between the substrate and the screen from the obtained position information of the substrate and the screen, moves the substrate support table in the X-axis and Y-axis directions, and rotates in the horizontal plane. To correct the deviation. Then, the imaging unit is retracted in the horizontal direction, the substrate support table is raised, the substrate is pressed against the lower surface of the screen, and the squeegee is moved along the upper surface of the screen to print the paste on the substrate.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記従来のスクリーン
印刷機は、基板がスクリーンと接する位置にあるときに
基板とスクリーンとの間のずれを算出することができな
いため、基板支持テーブルをZ軸方向に移動させる機構
にひずみが有ると、基板とスクリーンとがずれた状態で
印刷が行われてしまうという問題があった。
The conventional screen printing machine cannot calculate the displacement between the substrate and the screen when the substrate is at a position in contact with the screen. If the mechanism for moving the screen is distorted, there is a problem that printing is performed in a state where the substrate and the screen are displaced.

【0005】また、従来のスクリーン印刷機では、一台
のカメラで基板とスクリーンとを撮像するようになって
おり、基板とスクリーンの画像は複雑な光学系を介して
カメラに取り込まれるため、光学系にひずみが生じ易
く、基板とスクリーンの正確な位置認識を行いにくいと
いう問題があった。
In a conventional screen printing machine, a single camera captures an image of a substrate and a screen. Images of the substrate and the screen are captured by a camera through a complicated optical system. There is a problem that distortion is easily generated in the system and it is difficult to accurately recognize the position of the substrate and the screen.

【0006】また、スクリーンの画像を取り込む光学系
は、画像の入射面をスクリーンの下面に向けた状態で配
されるため、スクリーンから滴下したペーストが光学系
の入射面に付着し、カメラがスクリーンの正確な位置を
認識できなくなるという問題があった。
Further, since the optical system for capturing the image on the screen is arranged with the incident surface of the image facing the lower surface of the screen, the paste dropped from the screen adheres to the incident surface of the optical system, and the camera is moved to the screen. There is a problem that the exact position of the camera cannot be recognized.

【0007】本発明は、上記の問題点を解決し、基板と
スクリーンとの間のずれを高い精度で補正することがで
きるスクリーン印刷機及びその制御方法を提供すること
を目的としてなされたものである。
An object of the present invention is to solve the above problems and to provide a screen printer capable of correcting a displacement between a substrate and a screen with high accuracy, and a control method thereof. is there.

【0008】また、本発明の他の目的は、欠けやかすれ
等が少ない高品質の印刷ペーストを有する基板を製造す
ることができるスクリーン印刷機を提供することにあ
る。
Another object of the present invention is to provide a screen printing machine capable of manufacturing a substrate having a high-quality printing paste with little chipping or blurring.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために、請求項1の発明は、水平方向に延びるX軸の方
向に移動するための第1移動機構及び垂直方向に延びる
Z軸の方向に移動するための第2移動機構及び水平面内
で回転するための回転機構を有する基板支持テーブル
と、この基板支持テーブルの上方に配され、水平方向に
延びるY軸の方向に移動するための移動機構を有するス
クリーン支持手段と、前記基板支持テーブルと前記スク
リーン支持手段との間に配され、X軸及びY軸の方向に
移動自在で、前記基板支持テーブル上に載置された基板
を撮像するカメラを有する第1撮像手段と、前記スクリ
ーン支持手段の上方に配され、X軸及びY軸の方向に移
動自在で、前記スクリーン支持手段に支持されたスクリ
ーンを撮像するカメラを有する第2撮像手段と、前記基
板にスクリーン印刷を行う前に、前記第1撮像手段に前
記基板を撮像させて前記基板の位置認識を行い、前記第
2撮像手段に前記スクリーンを撮像させて前記スクリー
ンの位置認識を行い、得られた前記基板及び前記スクリ
ーンの位置情報から前記基板と前記スクリーンとの間の
ずれを算出し、前記基板支持テーブルの第1移動機構及
び回転機構、前記スクリーン支持手段の移動機構を駆動
して前記ずれを補正する制御手段と、を備えたことを特
徴とするスクリーン印刷機である。
In order to achieve the above-mentioned object, the invention of claim 1 comprises a first moving mechanism for moving in the direction of the X-axis extending in the horizontal direction and a moving mechanism of the Z-axis extending in the vertical direction. A substrate supporting table having a second moving mechanism for moving in a horizontal direction and a rotating mechanism for rotating in a horizontal plane; and a moving unit for moving in a direction of a Y-axis extending in a horizontal direction and disposed above the substrate supporting table. A screen supporting means having a moving mechanism, disposed between the substrate supporting table and the screen supporting means, movable in the directions of the X axis and the Y axis, and imaging the substrate placed on the substrate supporting table; A first imaging unit having a camera that moves the camera, and a camera disposed above the screen supporting unit and movable in the X-axis and the Y-axis directions to image the screen supported by the screen supporting unit. Before performing screen printing on the substrate, causing the first imaging unit to image the substrate to recognize the position of the substrate, and causing the second imaging unit to image the screen. The position of the screen is recognized, a displacement between the substrate and the screen is calculated from the obtained position information of the substrate and the screen, and a first movement mechanism and a rotation mechanism of the substrate support table, the screen support Control means for driving the moving mechanism of the means to correct the displacement.

【0010】請求項2の発明は、請求項1のスクリーン
印刷機において、前記第1撮像手段が撮像したスクリー
ン印刷後の基板の画像から少なくとも印刷ペーストの位
置ずれを判別する印刷ペースト良否判別手段を設け、前
記制御手段が、前記印刷ペースト良否判別手段からの印
刷ペーストの位置ずれ情報に基づいて前記基板と前記ス
クリーンとの間のずれを補正することを特徴とするもの
である。
According to a second aspect of the present invention, in the screen printing machine according to the first aspect, there is provided a printing paste quality determining unit for determining at least a positional shift of the printing paste from an image of the board after screen printing captured by the first imaging unit. Wherein the control means corrects the displacement between the substrate and the screen based on the print paste positional deviation information from the print paste quality determining means.

【0011】請求項3の発明は、請求項2のスクリーン
印刷機において、前記制御手段が、周期的に前記第1撮
像手段にスクリーン印刷後の基板を撮像させ、得られた
画像から前記印刷ペースト良否判別手段に前記基板の印
刷ペーストの良否を判別させることを特徴とするもので
ある。
According to a third aspect of the present invention, in the screen printing machine according to the second aspect, the control means periodically causes the first imaging means to image the substrate after screen printing, and obtains the print paste from the obtained image. It is characterized in that the quality determining means determines the quality of the printed paste on the substrate.

【0012】請求項4の発明は、請求項1〜請求項3の
いずれかのスクリーン印刷機において、前記第2撮像手
段が撮像した前記スクリーンの画像から前記スクリーン
の開口部の目詰まりを判別する目詰まり判別手段を設け
たことを特徴とするものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the screen printing machine according to any one of the first to third aspects, the clogging of the opening of the screen is determined from the image of the screen captured by the second imaging means. It is characterized in that clogging determining means is provided.

【0013】請求項5の発明は、請求項4のスクリーン
印刷機において、前記制御手段が、周期的に前記第2撮
像手段に前記スクリーンを撮像させ、得られた画像から
前記目詰まり判別手段に前記スクリーンの開口部の目詰
まりを判別させることを特徴とするものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the screen printing machine according to the fourth aspect, the control means causes the second imaging means to periodically take an image of the screen, and causes the clogging determination means to perform the clogging determination based on the obtained image. The clogging of the opening of the screen is determined.

【0014】請求項6の発明は、請求項1〜請求項5の
いずれかのスクリーン印刷機において、前記スクリーン
の上方または下方に配され、垂直方向に移動自在で、前
記スクリーンに気体を吹き付ける気体吹付手段と、前記
スクリーンを挟んで前記気体吹付手段と対向するように
配され、垂直方向に移動自在で、前記スクリーンに付着
した印刷ペーストの残滓を吸引する吸引手段とを備えた
清掃手段を設けたことを特徴とするものである。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the screen printing machine according to any one of the first to fifth aspects, wherein the gas is disposed above or below the screen, is movable vertically, and blows gas to the screen. A cleaning unit provided with a spraying unit and a suction unit that is disposed to face the gas blowing unit with the screen interposed therebetween and that is vertically movable and sucks a residue of the printing paste attached to the screen. It is characterized by having.

【0015】請求項7の発明は、請求項6のスクリーン
印刷機において、前記清掃手段が、前記スクリーンと前
記吸引手段との間に配され、前記スクリーンに対して接
離し、前記印刷ペーストの残滓を付着させる通気性を有
する清掃シートを備えたことを特徴とするものである。
According to a seventh aspect of the present invention, in the screen printing machine according to the sixth aspect, the cleaning means is disposed between the screen and the suction means, comes into contact with and separates from the screen, and the residue of the printing paste. A cleaning sheet having air permeability for adhering to the cleaning sheet.

【0016】請求項8の発明は、請求項1〜請求項7の
いずれかに記載のスクリーン印刷機において、前記スク
リーンの下方に、垂直方向に移動自在で、前記スクリー
ンに付着した印刷ペーストの残滓を吸引する吸引手段
と、前記スクリーンと前記吸引手段との間に配され、前
記スクリーンに対して接離し、垂直方向に移動自在で、
前記印刷ペーストの残滓を付着させる通気性を有する清
掃シートとを備えた清掃手段を設けるとともに、前記ス
クリーン上を印刷ペースト塗布用のスキージが相対移動
することにより前記スクリーンが前記清掃シートに押し
付けられるようにしたことを特徴とするものである。
According to an eighth aspect of the present invention, there is provided the screen printing machine according to any one of the first to seventh aspects, wherein the residue of the printing paste attached to the screen is vertically movable below the screen. Suction means, which is disposed between the screen and the suction means, comes into contact with and separates from the screen, and is movable in the vertical direction,
A cleaning means including a cleaning sheet having air permeability for adhering the residue of the printing paste is provided, and the squeegee for applying the printing paste relatively moves on the screen so that the screen is pressed against the cleaning sheet. It is characterized by having made it.

【0017】請求項9の発明は、請求項6〜請求項8の
いずれかに記載のスクリーン印刷機において、前記制御
手段が、前記印刷ペースト良否判別手段または前記目詰
まり判別手段の判別結果が否である場合に前記清掃手段
に前記スクリーンを清掃させることを特徴とするもので
ある。
According to a ninth aspect of the present invention, in the screen printing machine according to any one of the sixth to eighth aspects, the control means determines whether or not the determination result of the print paste good / bad determination means or the clogging determination means is negative. In this case, the screen is cleaned by the cleaning means.

【0018】請求項10の発明は、請求項1〜請求項9
のいずれかに記載のスクリーン印刷機の制御方法であっ
て、前記基板支持テーブル上に載置した基板を前記第1
撮像手段に撮像させ、前記基板支持テーブルを印刷位置
に上昇させて前記基板を前記第2撮像手段に撮像させ、
前記第1撮像手段によって得られた前記基板の位置情報
と前記第2撮像手段によって得られた前記基板の位置情
報とのずれを算出させ、このずれによる誤差が解消され
るように前記基板と前記スクリーンとの間のずれを補正
させることを特徴とするものである。
The invention according to claim 10 is the invention according to claims 1 to 9
The method of controlling a screen printing machine according to any one of claims 1 to 3, wherein the substrate placed on the substrate support table is moved to the first position.
Causing the imaging means to take an image, raising the substrate support table to a printing position, and causing the second imaging means to image the substrate,
A difference between the position information of the substrate obtained by the first image pickup means and the position information of the substrate obtained by the second image pickup means is calculated, and the substrate and the substrate are moved so that an error due to the deviation is eliminated. It is characterized in that a deviation from the screen is corrected.

【0019】請求項11の発明は、請求項10に記載の
スクリーン印刷機の制御方法において、表面に校正用マ
ークを有しこの校正用マークの位置が既知の校正用治具
板を前記基板支持テーブル上に載置し、前記校正用マー
クを前記第1及び第2撮像手段に撮像させ、前記第1及
び第2撮像手段によって得られた前記校正用マークの位
置情報と前記校正用マークの既知の位置情報とのずれを
算出させ、このずれによる誤差が解消されるように前記
基板と前記スクリーンの位置認識を行わせることを特徴
とするものである。
According to an eleventh aspect of the present invention, in the method for controlling a screen printing machine according to the tenth aspect, the calibration jig plate having a calibration mark on a surface and having a known position of the calibration mark is supported on the substrate support. The calibration mark is placed on a table, and the calibration mark is imaged by the first and second imaging means. The position information of the calibration mark obtained by the first and second imaging means and the known information of the calibration mark are obtained. Is calculated, and the position of the substrate and the screen is recognized so as to eliminate the error due to the deviation.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態
を図面を参照しながら説明する。図1は本発明の第1実
施形態のスクリーン印刷機の要部の正面図、図2は図1
のA−A線矢視図、図3は図1のスクリーン印刷機の右
側面図、図4は図1のスクリーン印刷機の制御回路のブ
ロック図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of a main part of a screen printing machine according to a first embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a right side view of the screen printing machine of FIG. 1, and FIG. 4 is a block diagram of a control circuit of the screen printing machine of FIG.

【0021】図1に示すスクリーン印刷機は、基板上に
クリームはんだを印刷するためのもので、基台1上に設
置された基板支持テーブル2と、この基板支持テーブル
2の上方に配されたスクリーン支持手段3と、基板支持
テーブル2とスクリーン支持手段3との間に配され、基
板支持テーブル2上に載置された基板Pを撮像する第1
撮像手段4と、スクリーン支持手段3の上方に配され、
スクリーン支持手段3に支持されたスクリーンSを撮像
する第2撮像手段5と、スクリーンSの上方に配された
印刷ヘッド6と、基板Pを基板支持テーブル1上に供給
する供給コンベヤ7と、基板Pを基板支持テーブル1上
から排出する排出コンベヤ8と、基板支持テーブル2、
スクリーン支持手段3、第1撮像手段4、第2撮像手段
5、印刷ヘッド6、供給コンベヤ7、排出コンベヤ8を
駆動制御する制御手段9(図4参照)とを備えている。
The screen printing machine shown in FIG. 1 is for printing cream solder on a substrate, and is provided with a substrate supporting table 2 installed on a base 1 and above the substrate supporting table 2. A first screen supporting means, disposed between the substrate supporting table and the screen supporting means, for capturing an image of a substrate mounted on the substrate supporting table;
It is arranged above the imaging means 4 and the screen support means 3,
A second imaging means 5 for imaging the screen S supported by the screen support means 3, a print head 6 arranged above the screen S, a supply conveyor 7 for supplying the substrate P onto the substrate support table 1, and a substrate A discharge conveyor 8 for discharging P from the substrate support table 1, a substrate support table 2,
A control unit 9 (see FIG. 4) for driving and controlling the screen support unit 3, the first imaging unit 4, the second imaging unit 5, the print head 6, the supply conveyor 7, and the discharge conveyor 8 is provided.

【0022】基板支持テーブル2は、水平方向に延びる
X軸の方向(図1の左右方向)に移動するための第1移
動機構10と、この第1移動機構10上に設けられ、水
平面内で回転するための回転機構11と、この回転機構
11上に設けられ、垂直方向に延びるZ軸の方向に移動
するための第2移動機構12と、この第2移動機構12
上に設けられた基板支持プレート13と、基板支持プレ
ート13の上面に設けられ、基板PをX軸の方向に搬送
する搬送機構(不図示)とを備えている。なお、基板P
の表面には、二個の位置認識用マーク(不図示)が付さ
れている。
The substrate support table 2 is provided with a first moving mechanism 10 for moving in the direction of the X-axis extending in the horizontal direction (the left-right direction in FIG. 1), and is provided on the first moving mechanism 10 so as to be positioned in a horizontal plane. A rotating mechanism 11 for rotating, a second moving mechanism 12 provided on the rotating mechanism 11 for moving in a Z-axis direction extending in a vertical direction, and a second moving mechanism 12
The apparatus includes a substrate support plate 13 provided thereon, and a transfer mechanism (not shown) provided on the upper surface of the substrate support plate 13 for transferring the substrate P in the X-axis direction. The substrate P
Are provided with two position recognition marks (not shown).

【0023】スクリーン支持手段3は、スクリーンSの
周縁部の下面を支持するスクリーン支持枠14と、スク
リーン支持枠14の上方に配され、スクリーンSの周縁
部をスクリーン支持枠14に圧接する複数個のスクリー
ン押えシリンダ15と、水平方向に延びるY軸の方向
(図2参照)に移動するための移動機構16とを備えて
いる。なお、スクリーンSの上面には、二個の位置認識
用マーク(不図示)が付されている。
The screen support means 3 includes a screen support frame 14 for supporting the lower surface of the peripheral portion of the screen S, and a plurality of screen support means 3 disposed above the screen support frame 14 for pressing the peripheral portion of the screen S against the screen support frame 14. And a moving mechanism 16 for moving in the direction of the Y axis extending in the horizontal direction (see FIG. 2). It should be noted that two position recognition marks (not shown) are provided on the upper surface of the screen S.

【0024】第1撮像手段4は、カメラ17と、カメラ
17をX軸方向及びY軸方向に移動させる移動機構18
とを備えている。また、第2撮像手段5は、カメラ19
と、カメラ19をX軸方向に移動させる移動機構20と
を備えている。また、カメラ19は、印刷ヘッド6の移
動機構22(後述)によってY軸方向に移動自在に支持
されている。
The first imaging means 4 includes a camera 17 and a moving mechanism 18 for moving the camera 17 in the X-axis direction and the Y-axis direction.
And Further, the second imaging unit 5 includes a camera 19
And a moving mechanism 20 for moving the camera 19 in the X-axis direction. The camera 19 is supported movably in the Y-axis direction by a moving mechanism 22 (described later) of the print head 6.

【0025】印刷ヘッド6は、下部に設けられた印刷ペ
ースト塗布用のスキージ21と、Y軸方向に移動するた
めの移動機構22と、スキージ21をZ軸方向に移動す
るための垂直移動機構23とを備えている。
The print head 6 has a squeegee 21 for applying a printing paste provided at a lower portion, a moving mechanism 22 for moving in the Y-axis direction, and a vertical moving mechanism 23 for moving the squeegee 21 in the Z-axis direction. And

【0026】供給コンベヤ7は、基板支持テーブル2を
X軸方向に移動させることによって基板支持テーブル2
と連結され、この状態で供給コンベヤ7を駆動すると基
板支持テーブル2の搬送機構が連動するようになってい
る。
The supply conveyor 7 moves the substrate support table 2 in the X-axis direction so that the substrate support table 2
When the supply conveyor 7 is driven in this state, the transport mechanism of the substrate support table 2 is interlocked.

【0027】排出コンベヤ8は、基板支持テーブル2を
X軸方向に移動させることによって基板支持テーブル2
と連結され、この状態で排出コンベヤ8を駆動すると基
板支持テーブル2の搬送機構が連動するようになってい
る。
The discharge conveyor 8 moves the substrate support table 2 in the X-axis direction so that the substrate support table 2 is moved.
When the discharge conveyor 8 is driven in this state, the transport mechanism of the substrate support table 2 is interlocked.

【0028】図4に示すように、制御手段9は、認識ボ
ード24と、ROM(不図示)に格納されたプログラム
に従って全体の制御を行うCPU25と、モータ制御部
26とを備えており、認識ボード24はバス27を介し
てCPU25及びモータ制御部26に接続されている。
認識ボード24には第1撮像手段4のカメラ17及び第
2撮像手段5のカメラ19が接続されている。モータ制
御部26には、サーボモータドライバSMDまたはパル
スモータドライバPMDを介して、基板支持テーブル2
の第1及び第2移動機構10、12、回転機構11、ス
クリーン支持手段3の移動機構16、第1撮像手段4の
移動機構18、第2撮像手段5の移動機構20、印刷ヘ
ッド6の移動機構22のサーボモータSMまたはパルス
モータPMが接続されている。
As shown in FIG. 4, the control means 9 includes a recognition board 24, a CPU 25 for performing overall control according to a program stored in a ROM (not shown), and a motor control unit 26. The board 24 is connected to a CPU 25 and a motor control unit 26 via a bus 27.
The camera 17 of the first imaging unit 4 and the camera 19 of the second imaging unit 5 are connected to the recognition board 24. The motor control unit 26 is connected to the substrate support table 2 via a servo motor driver SMD or a pulse motor driver PMD.
The first and second moving mechanisms 10 and 12, the rotating mechanism 11, the moving mechanism 16 of the screen supporting means 3, the moving mechanism 18 of the first imaging means 4, the moving mechanism 20 of the second imaging means 5, and the movement of the print head 6. The servo motor SM or the pulse motor PM of the mechanism 22 is connected.

【0029】SM1は基板支持テーブル2の第2移動機
構12のサーボモータ、PM1は回転機構11のパルス
モータ、PM2は第1移動機構10のパルスモータ、P
M3はスクリーン支持手段3の移動機構16のパルスモ
ータ、PM4は第1撮像手段4の移動機構18のX軸の
パルスモータ、PM5は移動機構18のY軸のパルスモ
ータ、SM2は第2撮像手段5の移動機構20のサーボ
モータ、PM6は第2撮像手段5のカメラ19をY軸方
向に移動させる移動機構22のパルスモータである。
SM1 is a servo motor of the second moving mechanism 12 of the substrate support table 2, PM1 is a pulse motor of the rotating mechanism 11, PM2 is a pulse motor of the first moving mechanism 10, P
M3 is a pulse motor of the moving mechanism 16 of the screen support means 3, PM4 is an X-axis pulse motor of the moving mechanism 18 of the first imaging means 4, PM5 is a Y-axis pulse motor of the moving mechanism 18, and SM2 is a second imaging means. Reference numeral 5 denotes a servo motor of the moving mechanism 20, and reference numeral PM6 denotes a pulse motor of the moving mechanism 22 that moves the camera 19 of the second imaging means 5 in the Y axis direction.

【0030】なお、図3において、28はハウジング、
29及び30はハウジング28の前面及び後面に設けら
れた開口部(不図示)を開閉するためのガルウイング式
の扉である。
In FIG. 3, reference numeral 28 denotes a housing,
Numerals 29 and 30 denote gull-wing type doors for opening and closing openings (not shown) provided on the front and rear surfaces of the housing 28.

【0031】次に、上記のように構成したスクリーン印
刷装置の動作を説明する。まず、基板Pにスクリーン印
刷を行う前に、第1撮像手段4のカメラ17と第2撮像
手段5のカメラ19の位置合わせを行う。
Next, the operation of the screen printing apparatus configured as described above will be described. First, before performing screen printing on the substrate P, the camera 17 of the first imaging unit 4 and the camera 19 of the second imaging unit 5 are aligned.

【0032】基板Pを供給コンベヤ7上に載置すると、
フォトセンサ(不図示)がこれを検知し、基板ストッパ
(不図示)が下降し、基板Pを搬送中に移動しないよう
に押さえる。次に、基板支持テーブル2が左方向に移動
し、供給コンベヤ7と連結される。供給コンベヤ7が駆
動され、これに基板支持テーブル2の搬送機構が連動し
て基板Pが基板支持テーブル2に向かって搬送される。
基板Pが基板支持テーブル2上の所定位置に達すると、
供給コンベヤ7が停止する。そして、公知の位置決め機
構(不図示)によって基板Pが位置決めされた後、基板
支持テーブル2が右方向に移動して元の位置(以下、原
点位置と記す)に復帰する。
When the substrate P is placed on the supply conveyor 7,
A photo sensor (not shown) detects this, and a substrate stopper (not shown) is lowered to hold the substrate P so as not to move during transportation. Next, the substrate support table 2 moves to the left and is connected to the supply conveyor 7. The supply conveyor 7 is driven, and the substrate P is conveyed toward the substrate support table 2 in conjunction with the conveyance mechanism of the substrate support table 2.
When the substrate P reaches a predetermined position on the substrate support table 2,
The supply conveyor 7 stops. Then, after the substrate P is positioned by a known positioning mechanism (not shown), the substrate support table 2 moves rightward and returns to the original position (hereinafter, referred to as the origin position).

【0033】次に、第1撮像手段4のカメラ17がX軸
方向及びY軸方向に移動して基板P上の二個の位置認識
用マークを撮像する。その画像は認識ボード24に記憶
される。CPU25は、認識ボード24に記憶された画
像から各位置認識用マークの位置を認識し、RAM(不
図示)に記憶する。
Next, the camera 17 of the first image pickup means 4 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction to pick up two position recognition marks on the substrate P. The image is stored on the recognition board 24. The CPU 25 recognizes the position of each position recognition mark from the image stored in the recognition board 24 and stores the position in the RAM (not shown).

【0034】次に、カメラ17及びスクリーン支持手段
3が水平方向に退避し、基板支持テーブル2が上昇し、
基板Pが印刷位置に達すると基板支持テーブル2が停止
する。第2撮像手段5のカメラ19がX軸方向及びY軸
方向に移動して基板P上の二個の位置認識用マークを撮
像し、その画像は認識ボード24に記憶される。CPU
25は、認識ボード24に記憶された画像から各位置認
識用マークの位置を認識し、得られた位置情報をRAM
に記憶されている第1撮像手段4によって得られた位置
情報と比較して両者のずれを算出する。このずれはカメ
ラ17とカメラ19の位置ずれ及び基板支持テーブル2
をZ軸方向に移動させる第2移動機構12のひずみによ
って生じるものである。CPU25は、このずれを解消
するためのカメラ19の移動量を算出し、カメラ19を
移動させ、その位置をカメラ19の新しい基準位置とし
てRAMに記憶させる。そして、基板支持テーブル2が
原点位置に下降し、スクリーン支持手段3が印刷位置に
復帰するとともにカメラ17が基準位置に復帰する。
Next, the camera 17 and the screen supporting means 3 are retracted in the horizontal direction, and the substrate supporting table 2 is raised.
When the substrate P reaches the printing position, the substrate support table 2 stops. The camera 19 of the second imaging means 5 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction to capture two position recognition marks on the substrate P, and the images are stored in the recognition board 24. CPU
A RAM 25 recognizes the position of each position recognition mark from the image stored in the recognition board 24, and stores the obtained position information in a RAM.
Is compared with the position information obtained by the first image pickup means 4 stored in the first section. This displacement is caused by the displacement between the camera 17 and the camera 19 and the substrate support table 2.
Is caused by the distortion of the second moving mechanism 12 for moving in the Z-axis direction. The CPU 25 calculates the amount of movement of the camera 19 to eliminate the deviation, moves the camera 19, and stores the position in the RAM as a new reference position of the camera 19. Then, the substrate support table 2 moves down to the origin position, the screen support means 3 returns to the printing position, and the camera 17 returns to the reference position.

【0035】次に、実際に基板Pにスクリーン印刷を行
う場合について説明する。まず、第1撮像手段4のカメ
ラ17がX軸方向及びY軸方向に移動して基板P上の二
個の位置認識用マークを撮像し、その画像は認識ボード
24に記憶される。そして、CPU25が認識ボード2
4に記憶された画像から各位置認識用マークの位置を認
識し、位置情報がRAMに記憶される。また、第2撮像
手段5のカメラ19がX軸方向及びY軸方向に移動して
スクリーンS上の二個の位置認識用マークを撮像し、そ
の画像は認識ボード24に記憶される。そして、CPU
25が認識ボード24に記憶された画像から各位置認識
用マークの位置を認識し、得られた位置情報をRAMに
記憶された基板Pの位置認識用マークの位置情報と比較
して基板PとスクリーンSとの間のずれを算出する。
Next, a case where screen printing is actually performed on the substrate P will be described. First, the camera 17 of the first imaging means 4 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction to capture two position recognition marks on the substrate P, and the images are stored in the recognition board 24. Then, the CPU 25 sets the recognition board 2
The position of each position recognition mark is recognized from the image stored in No. 4, and the position information is stored in the RAM. The camera 19 of the second imaging means 5 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction to capture two position recognition marks on the screen S, and the images are stored in the recognition board 24. And CPU
25 recognizes the position of each position recognition mark from the image stored in the recognition board 24, compares the obtained position information with the position information of the position recognition mark of the substrate P stored in the RAM, and The deviation from the screen S is calculated.

【0036】CPU25は、このずれを補正するための
基板支持テーブル2とスクリーン支持手段3の移動量を
算出し、得られた値に基づいてモータ制御部26が基板
支持テーブル2の移動機構10、回転機構11、スクリ
ーン支持手段3の移動機構16のモータを駆動して基板
PとスクリーンSとのずれを補正する。
The CPU 25 calculates the amount of movement of the substrate support table 2 and the screen support means 3 for correcting this displacement, and based on the obtained values, the motor control unit 26 causes the moving mechanism 10 of the substrate support table 2 to The motor of the rotating mechanism 11 and the moving mechanism 16 of the screen supporting means 3 is driven to correct the displacement between the substrate P and the screen S.

【0037】次に、第1及び第2撮像手段4、5のカメ
ラ17、19が退避し、基板支持テーブル2が上昇し、
基板Pが印刷位置に達すると停止する。そして、印刷ヘ
ッド6が下降し、スキージ21がスクリーンSの上面に
沿って摺動し、基板P上にクリームはんだが印刷され
る。印刷が終了すると、基板支持テーブル2が下降し、
原点位置に達すると一旦停止し、右方向に移動して排出
コンベヤ8と連結される。そして、基板Pを位置決めし
ている位置決め機構が解除され、排出コンベヤ8が駆動
され、これに基板支持テーブル2の搬送機構が連動して
基板Pが排出コンベヤ8に向かって搬送される。基板P
が排出コンベヤ8上の所定位置に達すると、排出コンベ
ヤ8が停止する。そして、基板支持テーブル2は原点位
置に戻る。
Next, the cameras 17 and 19 of the first and second imaging means 4 and 5 are retracted, and the substrate support table 2 is raised.
When the substrate P reaches the printing position, it stops. Then, the print head 6 is lowered, the squeegee 21 slides along the upper surface of the screen S, and the cream solder is printed on the substrate P. When printing is completed, the substrate support table 2 is lowered,
When it reaches the home position, it temporarily stops, moves rightward, and is connected to the discharge conveyor 8. Then, the positioning mechanism for positioning the substrate P is released, the discharge conveyor 8 is driven, and the transfer mechanism of the substrate support table 2 is interlocked with the discharge conveyor 8 to transfer the substrate P toward the discharge conveyor 8. Substrate P
Reaches a predetermined position on the discharge conveyor 8, the discharge conveyor 8 stops. Then, the substrate support table 2 returns to the origin position.

【0038】その後、排出コンベヤ8が駆動され、基板
Pはチップマウンタ(不図示)に搬送され、電子部品が
取り付けられた後、炉内に搬送され、電子部品がはんだ
付けされる。一方、基板支持テーブル2は供給コンベヤ
7と連結され、供給コンベヤ7から次の基板Pを受け取
る。そして、上記の工程が繰り返されて基板Pにスクリ
ーン印刷が行われる。
Thereafter, the discharge conveyor 8 is driven, and the substrate P is transported to a chip mounter (not shown). After the electronic components are attached, the substrate P is transported into a furnace, where the electronic components are soldered. On the other hand, the substrate support table 2 is connected to the supply conveyor 7 and receives the next substrate P from the supply conveyor 7. Then, the above steps are repeated, and screen printing is performed on the substrate P.

【0039】なお、上記実施形態では、カメラ17、1
9の位置ずれや基板支持テーブル2の第2移動機構12
のひずみによって生じるずれを解消するためにカメラ1
9の基準位置を変更しているが、これに代えて、カメラ
17の基準位置を変更しても良い。また、カメラの基準
位置を変更する代わりに、前記ずれを補正するために基
板支持テーブル2及び/またはスクリーン支持手段3の
移動量に加算するオフセット値を算出し、このオフセッ
ト値を基板支持テーブル2及び/またはスクリーン支持
手段3の移動量に加算するようにしてもよい。なお、カ
メラ17とカメラ19の位置合わせや前記オフセット値
の算出は全基板について実施する必要はなく、所定の周
期(印刷を行った基板の枚数や経過時間等)毎に実施す
れば良い。
In the above embodiment, the cameras 17, 1
9 and the second moving mechanism 12 of the substrate support table 2.
Camera 1
Although the reference position of No. 9 is changed, the reference position of the camera 17 may be changed instead. Instead of changing the reference position of the camera, an offset value to be added to the movement amount of the substrate support table 2 and / or the screen support means 3 to correct the displacement is calculated, and this offset value is calculated. And / or may be added to the amount of movement of the screen support means 3. The alignment between the camera 17 and the camera 19 and the calculation of the offset value need not be performed for all the substrates, but may be performed at predetermined intervals (such as the number of printed substrates and the elapsed time).

【0040】次に、本発明の第2実施形態について説明
する。この実施形態では、表面に校正用マークを有する
校正用治具板(不図示)を使用して、第1撮像手段4の
カメラ17の移動機構18のひずみによって生じる位置
認識のずれと、第2撮像手段5のカメラ19の移動機構
20、22のひずみによって生じる位置認識のずれとを
算出し、これらのずれによる誤差が解消されるように基
板PとスクリーンSの位置認識を行う。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, using a calibration jig plate (not shown) having a calibration mark on the surface, the position recognition deviation caused by the distortion of the moving mechanism 18 of the camera 17 of the first imaging means 4 and the second The displacement of the position recognition caused by the distortion of the moving mechanism 20, 22 of the camera 19 of the imaging means 5 is calculated, and the position recognition of the substrate P and the screen S is performed so that the error due to these displacements is eliminated.

【0041】校正用治具板は、その表面に、格子状に設
けられた複数本の線からなる校正用マークを有してお
り、これらの線の基準点からの位置を測定機器によって
精密に測定し、制御手段9のRAMに記憶させる。
The calibration jig plate has, on its surface, a calibration mark composed of a plurality of lines provided in a grid pattern, and the positions of these lines from the reference point are precisely determined by a measuring instrument. The measured value is stored in the RAM of the control means 9.

【0042】次に、校正用治具板を供給コンベヤ7上に
載置する。校正用治具板は第1実施形態と同様のプロセ
スにしたがって基板支持テーブル2上に位置決めされ
る。そして、第1撮像手段4のカメラ17がX軸方向及
びY軸方向に移動して校正用マークの線を順次撮像し、
その画像は認識ボード24に記憶される。CPU25
は、認識ボード24に記憶された画像から、校正用マー
クの各線の基準点からの位置を算出し、これをあらかじ
めRAMに記憶されている校正用マークの各線の位置情
報と比較して両者のずれを算出する。このずれは、カメ
ラ17を移動させる機構18のひずみによって生じるも
のである。CPU25は、このずれを補正するためにカ
メラ17の移動量に加算するオフセット値を算出し、R
AMに記憶させる。
Next, the calibration jig plate is placed on the supply conveyor 7. The calibration jig plate is positioned on the substrate support table 2 according to the same process as in the first embodiment. Then, the camera 17 of the first imaging unit 4 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction to sequentially image the lines of the calibration mark,
The image is stored on the recognition board 24. CPU25
Calculates the position of each line of the calibration mark from the reference point from the image stored in the recognition board 24, compares the calculated position with the position information of each line of the calibration mark previously stored in the RAM, and Calculate the deviation. This displacement is caused by the distortion of the mechanism 18 for moving the camera 17. The CPU 25 calculates an offset value to be added to the movement amount of the camera 17 to correct this deviation,
Store in AM.

【0043】次に、カメラ17、スクリーン支持手段3
が退避し、基板支持テーブル2が上昇し、校正用治具板
が印刷位置に達すると停止する。そして、第2撮像手段
5のカメラ19がX軸方向及びY軸方向に移動して校正
用マークの線を順次撮像し、その画像を認識ボード24
に記憶する。CPU25は、認識ボード24に記憶され
た画像から、校正用マークの各線の基準点からの位置を
算出し、これをあらかじめRAMに記憶されている校正
用マークの各線の位置情報と比較して両者のずれを算出
する。このずれは、カメラ19を移動させる機構20、
22のひずみによって生じるものである。CPU25
は、このずれを補正するためにカメラ19の移動量に加
算するオフセット値を算出し、RAMに記憶させる。そ
して、基板支持テーブル2が原点位置に下降し、校正用
治具板が排出コンベヤ8によって排出される。
Next, the camera 17 and the screen supporting means 3
Is retracted, the substrate support table 2 moves up, and stops when the calibration jig plate reaches the printing position. Then, the camera 19 of the second imaging means 5 moves in the X-axis direction and the Y-axis direction to sequentially capture the lines of the calibration mark, and the images are recognized by the recognition board 24.
To memorize. The CPU 25 calculates the position of each line of the calibration mark from the reference point from the image stored in the recognition board 24, compares the calculated position with the position information of each line of the calibration mark stored in the RAM in advance, and compares them. Is calculated. This displacement is caused by the mechanism 20 for moving the camera 19,
22. CPU25
Calculates an offset value to be added to the movement amount of the camera 19 in order to correct this shift, and stores the calculated offset value in the RAM. Then, the substrate support table 2 is lowered to the origin position, and the calibration jig plate is discharged by the discharge conveyor 8.

【0044】基板Pにスクリーン印刷を行うにあたって
は、まず、第1実施形態と同様に、カメラ17で基板P
の位置認識用マークを撮像し、カメラ19でスクリーン
Sの位置認識用マークを撮像する。そして、得られた基
板PとスクリーンSの位置情報にそれぞれ前記オフセッ
ト値を加算して基板PとスクリーンSの位置認識を行
う。このようにすると、基板PとスクリーンSのより正
確な位置認識ができ、基板PとスクリーンSとのずれを
より高い精度で補正することができる。
When performing screen printing on the substrate P, first, as in the first embodiment, the camera 17
And the camera 19 images the position recognition mark on the screen S. Then, the offset value is added to the obtained position information of the substrate P and the screen S, and the position of the substrate P and the screen S is recognized. In this way, more accurate position recognition between the substrate P and the screen S can be performed, and the displacement between the substrate P and the screen S can be corrected with higher accuracy.

【0045】次に、本発明の第3実施形態について説明
する。この実施形態では、制御手段9に、第1撮像手段
4のカメラ17が撮像したスクリーン印刷後の基板Pの
画像から印刷ペーストの印刷ずれ、かけ、やせ、ブリッ
ジ、にじみ等を判別する印刷ペースト良否判別手段が設
けられている。この印刷ペースト良否判別手段はROM
に格納されたプログラムによって構成されており、この
印刷ペースト良否判別手段によって周期的に基板Pのク
リームはんだの良否を判別する。なお、周期は、例えば
印刷した基板の枚数や経過時間等によって決められる。
Next, a third embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, the control unit 9 determines whether the printing paste of the printing paste is misaligned, frayed, thinned, bridged, bleeding, or the like from the image of the substrate P after screen printing captured by the camera 17 of the first imaging unit 4. A determination means is provided. This print paste quality determination means is a ROM
The printed paste quality determining means periodically determines the quality of the cream solder on the substrate P. Note that the cycle is determined by, for example, the number of printed boards, elapsed time, and the like.

【0046】印刷ペースト良否判別手段によって印刷ペ
ーストの良否を判別する手順を図5、6のフローチャー
ト図に従って説明する。RAMにはあらかじめ基板P上
のクリームはんだ印刷領域の面積、形状、位置等の情報
が記憶されており、これに基づいて個々のクリームはん
だ印刷領域に対して検査範囲が設定される(ステップ#
5)。
The procedure for determining the quality of the print paste by the print paste quality determining means will be described with reference to the flowcharts of FIGS. Information such as the area, shape, and position of the cream solder print area on the substrate P is stored in the RAM in advance, and an inspection range is set for each cream solder print area based on the information (step #).
5).

【0047】次に、カメラ17が取り込んだ検査範囲内
の画像が二値化処理され(ステップ#10)、クリーム
はんだ印刷領域の形状をあらかじめRAMに記憶されて
いるクリームはんだ印刷領域の形状と照合することによ
りクリームはんだ印刷領域の中心が算出される(ステッ
プ#15)。この中心の位置をRAMに記憶されている
クリームはんだ印刷領域の中心の位置と比較することに
よりクリームはんだ印刷領域のずれが算出され(ステッ
プ#20)、このずれが許容値以下であるか否かが判定
され(ステップ#25)、許容値より大きい場合にはN
Gと判定され(ステップ#30)、ディスプレイ(不図
示)にNGを表す表示がなされ、処理が中断される。そ
して、得られた印刷ずれ情報に基づいてモータ制御部2
6が基板支持テーブル2の第1移動機構10、回転機構
11、スクリーン支持手段3の移動機構16のモータを
駆動して基板PとスクリーンSとのずれを補正する。
Next, the image in the inspection range captured by the camera 17 is binarized (step # 10), and the shape of the cream solder printing area is compared with the shape of the cream solder printing area stored in the RAM in advance. Then, the center of the cream solder print area is calculated (step # 15). By comparing this center position with the center position of the cream solder printing area stored in the RAM, a shift of the cream solder printing area is calculated (step # 20), and whether or not this shift is equal to or less than an allowable value is determined. Is determined (step # 25), and if it is larger than the allowable value, N
G is determined (step # 30), a display indicating NG is made on a display (not shown), and the process is interrupted. Then, based on the obtained print misalignment information, the motor control unit 2
6 drives the motors of the first moving mechanism 10 of the substrate supporting table 2, the rotating mechanism 11, and the moving mechanism 16 of the screen supporting means 3 to correct the displacement between the substrate P and the screen S.

【0048】ずれが許容値以下の場合には、クリームは
んだの欠け、やせが許容値以下であるか否かを判別する
工程に進む。まず、クリームはんだ印刷領域の画素数を
数えることによりクリームはんだ領域の面積が測定され
(ステップ#35)、測定面積とRAMに記憶されてい
る基準面積との差の絶対値が許容値以下であるか否かが
判定され(ステップ#40)、面積差が許容値より大き
い場合にはNGと判定され(ステップ#45)、ディス
プレイにNGを表す表示がなされ、処理が中断される。
If the deviation is equal to or less than the allowable value, the process proceeds to a step of determining whether or not the lack or thinness of the cream solder is equal to or less than the allowable value. First, the area of the cream solder area is measured by counting the number of pixels of the cream solder print area (step # 35), and the absolute value of the difference between the measured area and the reference area stored in the RAM is equal to or less than the allowable value. Is determined (step # 40), and if the area difference is larger than the allowable value, it is determined that the area is NG (step # 45), a display indicating NG is made on the display, and the process is interrupted.

【0049】面積差が許容値以下の場合には、クリーム
はんだのブリッジ、にじみが許容値以下であるか否かを
判別する工程に進む。まず、個々のクリームはんだ印刷
禁止領域に対して検査範囲が設定され(ステップ#5
0)、カメラ17が取り込んだ検査範囲内の画像が二値
化処理され(ステップ#55)、クリームはんだ領域の
画素数を数えることによりクリームはんだ領域の面積が
測定される(ステップ#60)。そして、測定面積がR
AMに記憶されている許容値以下であるか否かが判定さ
れ(ステップ#65)、許容値より大きい場合にはNG
と判定され(ステップ#70)、ディスプレイにNGを
表す表示がなされ、処理が中断される。許容値以下の場
合にはこの基板Pの印刷ペーストはOKであると判定さ
れ(ステップ#75)、ディスプレイにOKを表す表示
がなされ、処理が終了する。
If the area difference is equal to or less than the allowable value, the process proceeds to the step of determining whether the bridge and bleeding of the cream solder are equal to or less than the allowable value. First, an inspection range is set for each cream solder printing prohibited area (step # 5).
0), the image within the inspection range captured by the camera 17 is binarized (step # 55), and the area of the cream solder area is measured by counting the number of pixels of the cream solder area (step # 60). And the measurement area is R
It is determined whether the value is equal to or less than the allowable value stored in the AM (step # 65).
Is determined (step # 70), a display indicating NG is made on the display, and the process is interrupted. If the value is equal to or less than the allowable value, it is determined that the print paste on the substrate P is OK (step # 75), a message indicating OK is displayed on the display, and the process ends.

【0050】次に、本発明の第4実施形態について説明
する。この実施形態では、制御手段9に、第2撮像手段
5のカメラ19が撮像したスクリーン印刷後のスクリー
ンSの画像からスクリーンSの目詰まりを判別する目詰
まり判別手段が設けられている。この目詰まり判別手段
は、ROMに格納されたプログラムによって構成されて
いる。そして、図7に示すように、スクリーンSの退避
位置の手前の位置には、スクリーンSの下方に配された
第1清掃手段31と、この第1清掃手段31に対してス
クリーンSの退避方向側に並ぶように配された第2清掃
手段32とが設けられている。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, the control unit 9 is provided with a clogging determination unit that determines clogging of the screen S from an image of the screen S after screen printing captured by the camera 19 of the second imaging unit 5. This clogging determination means is constituted by a program stored in the ROM. As shown in FIG. 7, at a position before the retreat position of the screen S, a first cleaning unit 31 arranged below the screen S, and a retreat direction of the screen S with respect to the first cleaning unit 31. And second cleaning means 32 arranged side by side.

【0051】第1清掃手段31は、垂直方向に移動自在
で、スクリーンSに付着したクリームはんだの残滓を吸
引するノズル33と、スクリーンSと吸引ノズル33と
の間に配され、スクリーンSに対して接離し、クリーム
はんだの残滓を付着させる清掃シート34とを備えてい
る。ノズル33はスクリーンSの紙面と垂直方向の幅と
ほぼ同じ幅を有しており、コンプレッサ(不図示)に接
続されている。清掃シート34はスクリーンSの前記幅
とほぼ等しい幅を有する長尺状のもので、適度の通気性
を有する紙や不織布等によって構成され、アルコール等
の有機溶剤を浸透させてある。
The first cleaning means 31 is freely movable in the vertical direction, is disposed between the screen S and the suction nozzle 33, and is disposed between the nozzle S for sucking the residue of the cream solder adhered to the screen S and the screen S. And a cleaning sheet 34 to be attached and detached to adhere the residue of the cream solder. The nozzle 33 has substantially the same width as the width of the screen S in a direction perpendicular to the plane of the paper, and is connected to a compressor (not shown). The cleaning sheet 34 is a long sheet having a width substantially equal to the width of the screen S, and is made of paper or nonwoven fabric having appropriate air permeability, and is impregnated with an organic solvent such as alcohol.

【0052】清掃シート34は、紙面と垂直の方向に延
びる繰り出しローラ35に巻かれており、その先端は、
ローラ35に対してスクリーンSの退避方向に間隔をお
いて平行に配された巻き取りローラ36に接続されてい
る。繰り出しローラ35と巻き取りローラ36の間の部
分は、ローラ35、36の上方に平行に配された一対の
ガイドローラ37、38によってスクリーンSと対向す
るように案内されている。巻き取りローラ36にはモー
タ(不図示)が連結されており、このモータを駆動する
と清掃シート34が矢印の方向に移動するようになって
いる。
The cleaning sheet 34 is wound around a feed roller 35 extending in a direction perpendicular to the paper surface.
It is connected to a take-up roller 36 arranged in parallel with the roller 35 at a distance in the retreating direction of the screen S. A portion between the feeding roller 35 and the take-up roller 36 is guided by a pair of guide rollers 37 and 38 arranged in parallel above the rollers 35 and 36 so as to face the screen S. A motor (not shown) is connected to the winding roller 36, and when the motor is driven, the cleaning sheet 34 moves in the direction of the arrow.

【0053】第2清掃手段32は、スクリーンSの下方
に配され、垂直方向に移動自在で、スクリーンSに空気
を吹き付けるノズル39と、このノズル39とスクリー
ンSを挟んで対向するように配され、垂直方向に移動自
在で、スクリーンSに付着したクリームはんだの残滓を
吸引するノズル40と、スクリーンSとノズル40との
間に配され、スクリーンSに対して接離し、クリームは
んだの残滓を付着させる清掃シート41とを備えてい
る。ノズル39、40はスクリーンSの紙面と垂直方向
の幅とほぼ同じ幅を有しており、それぞれコンプレッサ
(不図示)に接続されている。清掃シート41は、スク
リーンSの前記幅とほぼ等しい幅を有する長尺状のもの
で、適度の通気性を有する紙によって構成されている。
The second cleaning means 32 is disposed below the screen S, is vertically movable, and is provided with a nozzle 39 for blowing air to the screen S, and is opposed to the nozzle 39 with the screen S interposed therebetween. A nozzle 40 that is vertically movable and sucks cream solder residue adhering to the screen S, and is disposed between the screen S and the nozzle 40, and comes into contact with and separates from the screen S to adhere the cream solder residue. And a cleaning sheet 41 to be cleaned. The nozzles 39 and 40 have substantially the same width as the width in the direction perpendicular to the paper surface of the screen S, and are each connected to a compressor (not shown). The cleaning sheet 41 is a long sheet having a width substantially equal to the width of the screen S, and is made of paper having appropriate air permeability.

【0054】清掃シート41は、紙面と垂直方向に延び
る繰り出しローラ42に巻かれており、その先端は、繰
り出しローラ42に対して上方に間隔をおいて平行に配
された巻き取りローラ43に接続されている。ローラ4
2、43間の部分は、ローラ42の下方に平行に配され
た一対のガイドローラ44、45によってスクリーンS
と対向するように案内され、ローラ43の下方に平行に
配されたガイドローラ46によって巻き取りローラ43
に案内されている。ローラ43にはモータ(不図示)が
連結されており、このモータを駆動すると清掃シート4
1が矢印の方向に移動するようになっている。
The cleaning sheet 41 is wound around a pay-out roller 42 extending in the direction perpendicular to the plane of the drawing, and its leading end is connected to a take-up roller 43 arranged in parallel with the feed roller 42 at an interval above. Have been. Roller 4
2 and 43, the screen S is formed by a pair of guide rollers 44 and 45 arranged in parallel below the roller 42.
The take-up roller 43 is guided by a guide roller 46 arranged in parallel below the roller 43.
Has been guided to. A motor (not shown) is connected to the roller 43.
1 moves in the direction of the arrow.

【0055】次に、この実施形態のスクリーン印刷機の
動作を説明する。まず、第2撮像手段5のカメラ19が
X軸及びY軸の方向に移動してスクリーン印刷後のスク
リーンSを撮像し、その画像が認識ボード24に記憶さ
れる。この画像は目詰まり判別手段によって処理され、
スクリーンSの目詰まりが判別される。以下にその手順
を図8に示すフローチャート図に従って説明する。
Next, the operation of the screen printing machine according to this embodiment will be described. First, the camera 19 of the second imaging means 5 moves in the directions of the X axis and the Y axis to image the screen S after screen printing, and the image is stored in the recognition board 24. This image is processed by the clogging determination means,
The clogging of the screen S is determined. The procedure will be described below with reference to the flowchart shown in FIG.

【0056】RAMにはあらかじめスクリーンSの個々
の開口部の面積、形状、位置等の情報が記憶されてお
り、これに基づいて、スクリーンSの個々の開口部に対
して検査範囲が設定される(ステップ#105)。次
に、カメラ19が取り込んだ検査範囲内の画像が二値化
処理され(ステップ#110)、クリームはんだ領域の
画素数を数えることによりクリームはんだ領域の面積が
測定される(ステップ#115)。そして、RAMには
あらかじめクリームはんだ領域の面積の許容値が記憶さ
れており、測定面積が許容値以下であるか否かが判定さ
れる(ステップ#120)。測定面積が許容値より大き
い場合にはNGと判定され(ステップ#125)、ディ
スプレイにNGを表す表示がなされ、第1及び第2清掃
手段31、32によってスクリーンSの清掃が行われた
後(ステップ#130)、ステップ#105に戻り、再
びスクリーンSの開口部の目詰まりが判定される。測定
面積が許容値以下の場合にはOKと判定され(ステップ
#135)、ディスプレイ(不図示)にOKを表す表示
がなされ、処理が終了する。
Information such as the area, shape, and position of each opening of the screen S is stored in the RAM in advance, and an inspection range is set for each opening of the screen S based on the information. (Step # 105). Next, the image within the inspection range captured by the camera 19 is binarized (step # 110), and the area of the cream solder area is measured by counting the number of pixels of the cream solder area (step # 115). Then, the allowable value of the area of the cream solder region is stored in the RAM in advance, and it is determined whether the measured area is equal to or smaller than the allowable value (step # 120). If the measured area is larger than the allowable value, it is determined as NG (Step # 125), a display indicating NG is made on the display, and the screen S is cleaned by the first and second cleaning means 31 and 32 ( (Step # 130), the process returns to Step # 105, and the clogging of the opening of the screen S is determined again. If the measured area is equal to or smaller than the allowable value, it is determined to be OK (step # 135), a display indicating OK is displayed on a display (not shown), and the process ends.

【0057】第1及び第2清掃手段31、32によるス
クリーンSの清掃について詳しく説明すると、まず、ス
クリーン支持手段3が退避位置に向かって移動し、スク
リーンSの先端が第1清掃手段31の位置に達すると、
スクリーン支持手段3が停止する。次に、第1清掃手段
31が上方に移動して清掃シート34がスクリーンSの
下面に接する位置で停止し、スキージ21が下降してス
クリーンSの上面に接する。次に、スクリーン支持手段
3が退避位置に向かって移動するとともに、第1清掃手
段31のノズル33に接続されたコンプレッサが駆動さ
れる。スクリーン支持手段3の移動に伴ってスクリーン
Sの下面が清掃シート34で拭かれ、スクリーンSの下
面に付着したクリームはんだ及びフラックスがノズル3
3によって清掃シート34上に吸引される。なお、スク
リーンSの上面にスキージ21が接しており、スクリー
ンSが清掃シート34に確実に密着するため、効果の高
い清掃を行うことができる。
The cleaning of the screen S by the first and second cleaning means 31 and 32 will be described in detail. First, the screen support means 3 moves toward the retreat position, and the tip of the screen S is moved to the position of the first cleaning means 31. Reaches
The screen support means 3 stops. Next, the first cleaning means 31 moves upward and stops at a position where the cleaning sheet 34 contacts the lower surface of the screen S, and the squeegee 21 descends and contacts the upper surface of the screen S. Next, the screen supporting means 3 moves toward the retreat position, and the compressor connected to the nozzle 33 of the first cleaning means 31 is driven. As the screen supporting means 3 moves, the lower surface of the screen S is wiped by the cleaning sheet 34, and the cream solder and the flux adhered to the lower surface of the screen S
3 sucks onto the cleaning sheet 34. Note that the squeegee 21 is in contact with the upper surface of the screen S, and the screen S surely adheres to the cleaning sheet 34, so that highly effective cleaning can be performed.

【0058】スクリーンSの先端が第2清掃手段32の
位置に達すると、スクリーン支持手段3が一旦停止す
る。そして、第2清掃手段32のノズル39が上昇し、
スクリーンSの下面から少し離れた位置で停止するとと
もに、ノズル40及び清掃シート41が下降して清掃シ
ート41がスクリーンSの上面に接すると停止する。そ
して、再びスクリーン支持手段3が退避位置に向かって
移動し始め、ノズル39、40に接続されたコンプレッ
サが駆動され、第1清掃手段32によって清掃されたス
クリーンSの下面にノズル39から噴射された空気が吹
き付けられ、開口部内に付着しているクリームはんだ及
びフラックスが吹き飛ばされ、吹き飛んだクリームはん
だ及びフラックスはノズル40に吸引され、清掃シート
41に付着し、浸み込む。
When the tip of the screen S reaches the position of the second cleaning means 32, the screen support means 3 stops temporarily. Then, the nozzle 39 of the second cleaning means 32 rises,
It stops at a position slightly away from the lower surface of the screen S, and stops when the nozzle 40 and the cleaning sheet 41 descend and the cleaning sheet 41 contacts the upper surface of the screen S. Then, the screen support means 3 starts to move toward the retreat position again, the compressor connected to the nozzles 39 and 40 is driven, and the screen is jetted from the nozzle 39 to the lower surface of the screen S cleaned by the first cleaning means 32. The air is blown, the cream solder and the flux adhering in the opening are blown away, and the blown cream solder and the flux are sucked by the nozzle 40, adhere to the cleaning sheet 41, and soak.

【0059】以上のように第1及び第2清掃手段31、
32によってスクリーンSの上下面と開口部内が清掃さ
れた後、清掃シート34、41、ノズル33、39、4
0はスクリーンSから離れ、スクリーン支持手段3は印
刷位置に戻る。そして、第1清掃手段31の巻き取りロ
ーラ36が駆動され、清掃シート34が所定量送られ、
清掃シート34の未使用の部分がスクリーンSと対向す
る位置に繰り出される。また、第2清掃手段32の巻き
取りローラ43が駆動され、清掃シート41が所定量送
られ、清掃シート41の未使用の部分がスクリーンSと
対向する位置に繰り出される。
As described above, the first and second cleaning means 31,
32, the upper and lower surfaces of the screen S and the inside of the opening are cleaned, and then the cleaning sheets 34, 41, the nozzles 33, 39, 4,
0 leaves the screen S and the screen support means 3 returns to the printing position. Then, the take-up roller 36 of the first cleaning unit 31 is driven, and the cleaning sheet 34 is fed by a predetermined amount.
An unused portion of the cleaning sheet 34 is fed to a position facing the screen S. Further, the take-up roller 43 of the second cleaning means 32 is driven, the cleaning sheet 41 is fed by a predetermined amount, and an unused portion of the cleaning sheet 41 is fed out to a position facing the screen S.

【0060】なお、上記実施形態では、目詰まり判別手
段の判別結果に基づいてスクリーンSの清掃を行うよう
にしているが、周期的にスクリーンSの清掃を行うよう
にしても良い。また、印刷ペースト良否判定手段の判別
結果に基づいてスクリーンSの清掃を行うようにしても
良い。
In the above-described embodiment, the screen S is cleaned based on the determination result of the clogging determination unit. However, the screen S may be cleaned periodically. Further, the screen S may be cleaned based on the determination result of the print paste quality determination unit.

【0061】また、上記実施形態では、清掃手段及びス
キージを停止させた状態でスクリーンを移動させること
によってスクリーンを清掃するようにしているが、これ
に代えて、スクリーンを停止させた状態で清掃手段及び
スキージを移動させることによってスクリーンを清掃す
るようにしても良い。
In the above-described embodiment, the screen is cleaned by moving the screen with the cleaning means and the squeegee stopped. Alternatively, the cleaning means may be cleaned with the screen stopped. The screen may be cleaned by moving the squeegee.

【0062】また、スクリーンSを清掃する手段は上記
実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に
記載した清掃手段や既存の清掃手段を種々組み合わせる
ことによって構成することができる。
The means for cleaning the screen S is not limited to the above embodiment, but can be constituted by variously combining the cleaning means described in the claims and existing cleaning means.

【0063】[0063]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のスクリー
ン印刷機によれば、スクリーンを撮像するカメラを別個
に設け、かつスクリーン支持手段をY軸方向に移動自在
としたことにより、基板がスクリーンと接する位置に有
るときの基板とスクリーンとのずれを算出することがで
きるため、基板支持テーブルをZ軸方向に移動させる機
構にひずみが有っても、それによって生じるずれを解消
するように基板とスクリーンとのずれを補正することが
できる。
As described above, according to the screen printer of the present invention, the camera for imaging the screen is separately provided, and the screen supporting means is movable in the Y-axis direction. It is possible to calculate the displacement between the substrate and the screen when the substrate is in contact with the substrate, so that even if there is a distortion in the mechanism for moving the substrate support table in the Z-axis direction, it is necessary to eliminate the displacement caused by the distortion. And the screen can be corrected.

【0064】また、基板を撮像するカメラとスクリーン
を撮像するカメラを別にしたことにより、一台のカメラ
で基板とスクリーンの双方を撮像する場合のように複雑
な光学系を必要としないので、光学系のひずみによる誤
差を少なくすることができる。
Further, since the camera for imaging the substrate and the camera for imaging the screen are separated, a complicated optical system is not required unlike the case where one camera images both the substrate and the screen. Errors due to system distortion can be reduced.

【0065】また、各カメラは画像入射面が下を向いた
状態でセットされているため、スクリーンから滴下した
印刷ペーストがカメラの画像入射面に付着することがな
い。
Further, since each camera is set with the image incident surface facing downward, the print paste dropped from the screen does not adhere to the image incident surface of the camera.

【0066】したがって、基板とスクリーンとの間のず
れを高い精度で補正することができるものである。ま
た、本発明のスクリーン印刷機は、スクリーン支持手段
をY軸方向に移動させることができるため、内部のメン
テナンスを行う際に作業性が良いという利点も有する。
Therefore, the displacement between the substrate and the screen can be corrected with high accuracy. Further, the screen printing machine of the present invention can move the screen supporting means in the Y-axis direction, and thus has an advantage that workability is good when performing internal maintenance.

【0067】請求項2のスクリーン印刷機によれば、第
1撮像手段が撮像したスクリーン印刷後の基板の画像か
ら少なくとも印刷ペーストの位置ずれを判別する印刷ペ
ースト良否判別手段を設け、制御手段が、印刷ペースト
良否判別手段からの印刷ペーストの位置ずれ情報に基づ
いて基板とスクリーンとの間のずれを補正するようにし
たことにより、基板とスクリーンとの間のずれをさらに
高い精度で補正することができる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a screen printing machine further comprising: a print paste quality determining means for determining at least a positional shift of a print paste from an image of a substrate after screen printing captured by the first image capturing means. By correcting the displacement between the substrate and the screen based on the displacement information of the print paste from the print paste quality determining means, the displacement between the substrate and the screen can be corrected with higher accuracy. it can.

【0068】請求項3のスクリーン印刷機によれば、制
御手段が、周期的に第1撮像手段にスクリーン印刷後の
基板を撮像させ、得られた画像から印刷ペースト良否判
別手段に印刷ペーストの良否を判別させ、印刷ペースト
良否判別手段からの印刷ペーストの位置ずれ情報に基づ
いて基板とスクリーンとの間のずれを補正するようにし
たことにより、基板支持テーブル、スクリーン支持手
段、第1及び第2撮像手段の移動機構に経時変化による
ひずみが生じても、そのひずみによる誤差を少なくする
ことができるので、基板とスクリーンとの間のずれをよ
り高い精度で補正することができる。
According to the screen printing machine of the third aspect, the control means periodically causes the first image pickup means to image the substrate after screen printing, and from the obtained image, the print paste good / bad judgment means judges whether the print paste is good or bad. Is determined, and the displacement between the substrate and the screen is corrected based on the positional displacement information of the print paste from the print paste quality determination means, thereby enabling the substrate support table, the screen support means, the first and second Even if a distortion due to a change over time occurs in the moving mechanism of the imaging means, an error due to the distortion can be reduced, so that the displacement between the substrate and the screen can be corrected with higher accuracy.

【0069】請求項4のスクリーン印刷機によれば、第
2撮像手段が撮像したスクリーンの画像からスクリーン
の開口部の目詰まりを判別する目詰まり判別手段を設け
たことにより、高品質の印刷ペーストを有する基板を得
ることができる。
According to the screen printing machine of the fourth aspect, the clogging determining means for determining the clogging of the opening of the screen from the image of the screen captured by the second imaging means is provided, so that a high-quality printing paste is provided. Can be obtained.

【0070】請求項5のスクリーン印刷機によれば、制
御手段が、周期的に第2撮像手段にスクリーン印刷後の
スクリーンを撮像させ、得られた画像から目詰まり判別
手段にスクリーンの開口部の目詰まりを判別させるよう
にしたことにより、高品質の印刷ペーストを有する基板
を安定して得ることができる。
According to the screen printing machine of the fifth aspect, the control means periodically causes the second image pickup means to image the screen after screen printing, and from the obtained image, the clogging determination means causes the opening of the screen to be opened. By determining the clogging, a substrate having a high-quality printing paste can be stably obtained.

【0071】請求項6のスクリーン印刷機によれば、ス
クリーンの上方または下方に配され、垂直方向に移動自
在で、スクリーンに気体を吹き付ける気体吹付手段と、
スクリーンを挟んで気体吹付手段と対向するように配さ
れ、垂直方向に移動自在で、スクリーンに付着した印刷
ペーストの残滓を吸引する吸引手段とを備えた清掃手段
を設けたことにより、高品質の印刷ペーストを有する基
板を得ることができる。また、スクリーン支持手段がY
軸方向に移動自在であるため、清掃手段は水平方向に移
動するための機構を必要とせず、構造が簡素であり、低
コストで製造することができる。
According to the screen printer of the sixth aspect, a gas blowing means which is disposed above or below the screen, is movable vertically, and blows gas to the screen;
By providing a cleaning means which is disposed to face the gas blowing means with the screen interposed therebetween, and which is freely movable in the vertical direction, and which has a suction means for suctioning the residue of the printing paste adhered to the screen, high quality is provided. A substrate having a printing paste can be obtained. Also, if the screen support means is Y
Since the cleaning means is movable in the axial direction, the cleaning means does not require a mechanism for moving in the horizontal direction, has a simple structure, and can be manufactured at low cost.

【0072】請求項7のスクリーン印刷機によれば、清
掃手段が、スクリーンと吸引手段との間に配され、スク
リーンに対して接離し、印刷ペーストの残滓を付着させ
る通気性を有する清掃シートを備えたことにより、さら
に高品質の印刷ペーストを有する基板を得ることができ
る。
According to the screen printing machine of the present invention, the cleaning means is disposed between the screen and the suction means, and comes into contact with and separates from the screen, and has a breathable cleaning sheet for adhering the residue of the printing paste. With this arrangement, a substrate having a higher-quality printing paste can be obtained.

【0073】請求項8のスクリーン印刷機によれば、ス
クリーンの下方に、垂直方向に移動自在で、スクリーン
に付着した印刷ペーストの残滓を吸引する吸引手段と、
スクリーンと吸引手段との間に配され、スクリーンに対
して接離し、垂直方向に移動自在で、印刷ペーストの残
滓を付着させる通気性を有する清掃シートとを備えた清
掃手段を設けるとともに、スクリーン上を印刷ペースト
塗布用のスキージが相対移動することによりスクリーン
が清掃シートに押し付けられるようにしたことにより、
清掃シートがスクリーンに密着した状態でスクリーンの
清掃が行われるので、効果の高いスクリーンの清掃を行
うことができ、高品質の印刷ペーストを有する基板を得
ることができる。
According to the screen printing machine of the eighth aspect, a suction means which is vertically movable below the screen and sucks the residue of the printing paste adhered to the screen,
A cleaning means provided with a cleaning sheet disposed between the screen and the suction means, which is in contact with and separated from the screen, is movable in the vertical direction, and has an air-permeable cleaning sheet for attaching the residue of the printing paste, is provided on the screen. The screen is pressed against the cleaning sheet by the relative movement of the printing paste application squeegee,
Since the screen is cleaned while the cleaning sheet is in close contact with the screen, the screen can be effectively cleaned, and a substrate having a high-quality printing paste can be obtained.

【0074】請求項9のスクリーン印刷機によれば、制
御手段が、印刷ペースト良否判別手段または目詰まり判
別手段の判別結果が否である場合に清掃手段にスクリー
ンを清掃させるようにしたことにより、高品質の印刷ペ
ーストを有する基板を安定して得ることができるととも
に、オペレータの負担を軽減することができる。
According to the screen printing machine of the ninth aspect, the control means causes the cleaning means to clean the screen when the judgment result of the print paste quality judgment means or the clogging judgment means is negative. A substrate having a high-quality printing paste can be stably obtained, and the burden on the operator can be reduced.

【0075】請求項10のスクリーン印刷機の制御方法
によれば、第1撮像手段のカメラと第2撮像手段のカメ
ラの位置ずれや基板支持テーブルをZ軸方向に移動させ
る第2移動機構のひずみによる誤差を少なくすることが
できるので、基板とスクリーンとの間のずれを高い精度
で補正することができる。
According to the control method of the screen printing machine of the tenth aspect, the displacement of the camera of the first imaging means and the camera of the second imaging means and the distortion of the second moving mechanism for moving the substrate support table in the Z-axis direction. Therefore, the displacement between the substrate and the screen can be corrected with high accuracy.

【0076】請求項11のスクリーン印刷機の制御方法
によれば、第1及び第2撮像手段のカメラを移動させる
機構のひずみによる基板及びスクリーンの位置認識の誤
差を少なくすることができるので、基板とスクリーンと
の間のずれをより高い精度で補正することができる。
According to the control method of the screen printing machine of the eleventh aspect, it is possible to reduce the error in the recognition of the position of the substrate and the screen due to the distortion of the mechanism for moving the cameras of the first and second imaging means. And the screen can be corrected with higher accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の第1実施形態のスクリーン印刷機の
要部の正面図。
FIG. 1 is a front view of a main part of a screen printing machine according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 図1のA−A線矢視図。FIG. 2 is a view taken along the line AA of FIG. 1;

【図3】 図1のスクリーン印刷機の右側面図。FIG. 3 is a right side view of the screen printing machine in FIG.

【図4】 図1のスクリーン印刷機の制御回路のブロッ
ク図。
FIG. 4 is a block diagram of a control circuit of the screen printing machine in FIG. 1;

【図5】 本発明の第3実施形態のスクリーン印刷機に
搭載された印刷ペースト良否判別手段によって印刷ペー
ストの良否を判別する手順を示すフローチャート図。
FIG. 5 is a flowchart showing a procedure for determining the quality of a print paste by a print paste quality determination unit mounted on a screen printing machine according to a third embodiment of the present invention.

【図6】 本発明の第3実施形態のスクリーン印刷機に
搭載された印刷ペースト良否判別手段によって印刷ペー
ストの良否を判別する手順を示すフローチャート図。
FIG. 6 is a flowchart illustrating a procedure for determining the quality of a print paste by a print paste quality determination unit mounted on a screen printing machine according to a third embodiment of the present invention.

【図7】 本発明の第4実施形態の要部を示す図。FIG. 7 is a diagram showing a main part of a fourth embodiment of the present invention.

【図8】 本発明の第4実施形態のスクリーン印刷機に
搭載された目詰まり判別手段によってスクリーンの開口
部の目詰まりを判別する手順を示すフローチャート図。
FIG. 8 is a flowchart illustrating a procedure for determining clogging of an opening of a screen by a clogging determination unit mounted on a screen printing machine according to a fourth embodiment of the present invention.

【符号の説明】 2 基板支持テーブル 3 スクリーン支持手段 4 第1撮像手段 5 第2撮像手段 9 制御手段 10 第1移動機構 11 回転機構 12 第2移動機構 16 スクリーン支持手段3の移動機構 17 第1撮像手段4のカメラ 19 第2撮像手段5のカメラ[Description of Signs] 2 Substrate support table 3 Screen support means 4 First imaging means 5 Second imaging means 9 Control means 10 First moving mechanism 11 Rotating mechanism 12 Second moving mechanism 16 Moving mechanism of screen supporting means 3 17 First Camera of imaging means 4 19 Camera of second imaging means 5

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 水平方向に延びるX軸の方向に移動する
ための第1移動機構及び垂直方向に延びるZ軸の方向に
移動するための第2移動機構及び水平面内で回転するた
めの回転機構を有する基板支持テーブルと、 この基板支持テーブルの上方に配され、水平方向に延び
るY軸の方向に移動するための移動機構を有するスクリ
ーン支持手段と、 前記基板支持テーブルと前記スクリーン支持手段との間
に配され、X軸及びY軸の方向に移動自在で、前記基板
支持テーブル上に載置された基板を撮像するカメラを有
する第1撮像手段と、 前記スクリーン支持手段の上方に配され、X軸及びY軸
の方向に移動自在で、前記スクリーン支持手段に支持さ
れたスクリーンを撮像するカメラを有する第2撮像手段
と、 前記基板にスクリーン印刷を行う前に、前記第1撮像手
段に前記基板を撮像させて前記基板の位置認識を行い、
前記第2撮像手段に前記スクリーンを撮像させて前記ス
クリーンの位置認識を行い、得られた前記基板及び前記
スクリーンの位置情報から前記基板と前記スクリーンと
の間のずれを算出し、前記基板支持テーブルの第1移動
機構及び回転機構、前記スクリーン支持手段の移動機構
を駆動して前記ずれを補正する制御手段と、を備えたこ
とを特徴とするスクリーン印刷機。
1. A first moving mechanism for moving in a direction of an X axis extending in a horizontal direction, a second moving mechanism for moving in a direction of a Z axis extending in a vertical direction, and a rotating mechanism for rotating in a horizontal plane. A screen supporting means disposed above the board supporting table and having a moving mechanism for moving in the Y-axis direction extending in the horizontal direction; and a substrate supporting table and the screen supporting means. A first imaging unit having a camera arranged between the first and second substrates, the camera being capable of moving in the directions of the X axis and the Y axis, and imaging the substrate placed on the substrate support table; and A second imaging unit having a camera that is movable in the directions of the X axis and the Y axis and captures an image of a screen supported by the screen supporting unit; and before performing screen printing on the substrate, Perform position recognition of the substrate by imaging the substrate to the first imaging means,
The second image pickup means picks up the image of the screen to recognize the position of the screen, calculates the displacement between the substrate and the screen from the obtained position information of the substrate and the screen, and calculates the displacement between the substrate and the screen. A first moving mechanism and a rotating mechanism, and control means for driving the moving mechanism of the screen supporting means to correct the displacement.
【請求項2】 前記第1撮像手段が撮像したスクリーン
印刷後の基板の画像から少なくとも印刷ペーストの位置
ずれを判別する印刷ペースト良否判別手段を設け、前記
制御手段が、前記印刷ペースト良否判別手段からの印刷
ペーストの位置ずれ情報に基づいて前記基板と前記スク
リーンとの間のずれを補正することを特徴とする請求項
1に記載のスクリーン印刷機。
2. A printing paste quality determining means for determining at least a positional shift of a printing paste from an image of a board after screen printing captured by the first imaging means, wherein the control means determines whether the printing paste is good or bad. 2. The screen printing machine according to claim 1, wherein the misalignment between the substrate and the screen is corrected based on the misalignment information of the printing paste.
【請求項3】 前記制御手段が、周期的に前記第1撮像
手段にスクリーン印刷後の基板を撮像させ、得られた画
像から前記印刷ペースト良否判別手段に前記基板の印刷
ペーストの良否を判別させることを特徴とする請求項2
に記載のスクリーン印刷機。
3. The control unit periodically causes the first imaging unit to image the substrate after screen printing, and causes the print paste quality determination unit to determine the quality of the print paste on the substrate from the obtained image. 3. The method according to claim 2, wherein
A screen printing machine according to claim 1.
【請求項4】 前記第2撮像手段が撮像した前記スクリ
ーンの画像から前記スクリーンの開口部の目詰まりを判
別する目詰まり判別手段を設けたことを特徴とする請求
項1〜請求項3のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
4. A clogging judging means for judging clogging of an opening of the screen from an image of the screen taken by the second imaging means. A screen printing machine as described in Crab.
【請求項5】 前記制御手段が、周期的に前記第2撮像
手段に前記スクリーンを撮像させ、得られた画像から前
記目詰まり判別手段に前記スクリーンの開口部の目詰ま
りを判別させることを特徴とする請求項4に記載のスク
リーン印刷機。
5. The control means periodically causes the second imaging means to image the screen, and causes the clogging determination means to determine clogging of an opening of the screen from an obtained image. The screen printing machine according to claim 4, wherein
【請求項6】 前記スクリーンの上方または下方に配さ
れ、垂直方向に移動自在で、前記スクリーンに気体を吹
き付ける気体吹付手段と、前記スクリーンを挟んで前記
気体吹付手段と対向するように配され、垂直方向に移動
自在で、前記スクリーンに付着した印刷ペーストの残滓
を吸引する吸引手段とを備えた清掃手段を設けたことを
特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載のスク
リーン印刷機。
6. A gas blowing means which is disposed above or below the screen, is vertically movable, and blows gas to the screen, and is disposed so as to face the gas blowing means with the screen interposed therebetween. The screen printing according to any one of claims 1 to 5, further comprising a cleaning unit that is vertically movable and includes a suction unit that suctions a residue of the printing paste attached to the screen. Machine.
【請求項7】 前記清掃手段が、前記スクリーンと前記
吸引手段との間に配され、前記スクリーンに対して接離
し、前記印刷ペーストの残滓を付着させる通気性を有す
る清掃シートを備えたことを特徴とする請求項6に記載
のスクリーン印刷機。
7. The cleaning device according to claim 1, wherein the cleaning unit is provided between the screen and the suction unit, and has a gas-permeable cleaning sheet that comes into contact with and separates from the screen and adheres the residue of the printing paste. The screen printing machine according to claim 6, wherein
【請求項8】 前記スクリーンの下方に、垂直方向に移
動自在で、前記スクリーンに付着した印刷ペーストの残
滓を吸引する吸引手段と、前記スクリーンと前記吸引手
段との間に配され、前記スクリーンに対して接離し、垂
直方向に移動自在で、前記印刷ペーストの残滓を付着さ
せる通気性を有する清掃シートとを備えた清掃手段を設
けるとともに、前記スクリーン上を印刷ペースト塗布用
のスキージが相対移動することにより前記スクリーンが
前記清掃シートに押し付けられるようにしたことを特徴
とする請求項1〜請求項7のいずれかに記載のスクリー
ン印刷機。
8. A suction means, which is vertically movable below the screen and sucks a residue of the printing paste adhered to the screen, and is disposed between the screen and the suction means. A cleaning sheet having a cleaning sheet that is movable toward and away from the screen and is movable in the vertical direction and that has air permeability for adhering the residue of the printing paste, and a squeegee for applying the printing paste relatively moves on the screen. The screen printing machine according to claim 1, wherein the screen is pressed against the cleaning sheet.
【請求項9】 前記制御手段が、前記印刷ペースト良否
判別手段または前記目詰まり判別手段の判別結果が否で
ある場合に前記清掃手段に前記スクリーンを清掃させる
ことを特徴とする請求項6〜請求項8のいずれかに記載
のスクリーン印刷機。
9. The printing apparatus according to claim 6, wherein said control means causes said cleaning means to clean said screen when the judgment result of said print paste quality judgment means or said clogging judgment means is negative. Item 10. A screen printing machine according to any one of items 8.
【請求項10】 請求項1〜請求項9のいずれかに記載
のスクリーン印刷機の制御方法であって、前記基板支持
テーブル上に載置した基板を前記第1撮像手段に撮像さ
せ、前記基板支持テーブルを印刷位置に上昇させて前記
基板を前記第2撮像手段に撮像させ、前記第1撮像手段
によって得られた前記基板の位置情報と前記第2撮像手
段によって得られた前記基板の位置情報とのずれを算出
させ、このずれによる誤差が解消されるように前記基板
と前記スクリーンとの間のずれを補正させることを特徴
とする制御方法。
10. The method of controlling a screen printing machine according to claim 1, wherein said first image pickup means takes an image of a substrate placed on said substrate support table, and The support table is raised to a printing position to cause the second imaging unit to image the substrate, and the position information of the substrate obtained by the first imaging unit and the position information of the substrate obtained by the second imaging unit And calculating a shift between the substrate and the screen so as to eliminate an error caused by the shift.
【請求項11】 表面に校正用マークを有しこの校正用
マークの位置が既知の校正用治具板を前記基板支持テー
ブル上に載置し、前記校正用マークを前記第1及び第2
撮像手段に撮像させ、前記第1及び第2撮像手段によっ
て得られた前記校正用マークの位置情報と前記校正用マ
ークの既知の位置情報とのずれを算出させ、このずれに
よる誤差が解消されるように前記基板と前記スクリーン
の位置認識を行わせることを特徴とする請求項10に記
載のスクリーン印刷機の制御方法。
11. A calibration jig plate having a calibration mark on the surface and having a known position of the calibration mark is placed on the substrate support table, and the calibration mark is attached to the first and second calibration marks.
An image is taken by an imaging unit, and a difference between the position information of the calibration mark obtained by the first and second imaging units and the known position information of the calibration mark is calculated. The method according to claim 10, wherein the position of the substrate and the screen is recognized.
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2359515A (en) * 2000-02-23 2001-08-29 Kistech Ltd Fabricating printed circuits
JP2002029027A (en) * 2000-07-18 2002-01-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Screen printing apparatus and method
US6836740B2 (en) * 2002-01-31 2004-12-28 Heidelberger Druckmaschinen Ag Method for determining the relative position of first and second imaging devices, method of correcting a position of a point of projection of the devices, printing form exposer, printing unit, printing unit group and printing press
US6923117B1 (en) 1999-07-26 2005-08-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Solder paste printing apparatus and printing method
WO2007052459A1 (en) * 2005-10-31 2007-05-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Screen printing method and screen printer for use therein
JP2007522970A (en) * 2004-02-19 2007-08-16 スピードライン・テクノロジーズ・インコーポレイテッド Method and apparatus for simultaneously inspecting and cleaning stencils
JP2008294035A (en) * 2007-05-22 2008-12-04 Panasonic Corp Screen printing device, and screen printing method
CN102481776A (en) * 2009-09-03 2012-05-30 应用材料公司 Substrate processing apparatus and method
KR20200036864A (en) * 2017-08-10 2020-04-07 마이크로·텍 가부시끼가이샤 Screen printing device and screen printing method

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7032513B2 (en) 1996-05-22 2006-04-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Printing screen cleaning method and apparatus
US6923117B1 (en) 1999-07-26 2005-08-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Solder paste printing apparatus and printing method
US6935232B2 (en) 1999-07-26 2005-08-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Solder paste printing apparatus and printing method
GB2359515B (en) * 2000-02-23 2003-12-03 Kistech Ltd Method of printing and printing machine
GB2359515A (en) * 2000-02-23 2001-08-29 Kistech Ltd Fabricating printed circuits
WO2001063988A1 (en) * 2000-02-23 2001-08-30 Kistech Limited Method of printing and printing machine
JP2002029027A (en) * 2000-07-18 2002-01-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Screen printing apparatus and method
US6836740B2 (en) * 2002-01-31 2004-12-28 Heidelberger Druckmaschinen Ag Method for determining the relative position of first and second imaging devices, method of correcting a position of a point of projection of the devices, printing form exposer, printing unit, printing unit group and printing press
JP2007522970A (en) * 2004-02-19 2007-08-16 スピードライン・テクノロジーズ・インコーポレイテッド Method and apparatus for simultaneously inspecting and cleaning stencils
WO2007052459A1 (en) * 2005-10-31 2007-05-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Screen printing method and screen printer for use therein
JPWO2007052459A1 (en) * 2005-10-31 2009-04-30 株式会社村田製作所 Screen printing method and screen printing apparatus used therefor
JP2008294035A (en) * 2007-05-22 2008-12-04 Panasonic Corp Screen printing device, and screen printing method
CN102481776A (en) * 2009-09-03 2012-05-30 应用材料公司 Substrate processing apparatus and method
KR20200036864A (en) * 2017-08-10 2020-04-07 마이크로·텍 가부시끼가이샤 Screen printing device and screen printing method

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