JPH1038980A - Apparatus and method for probing circuit board - Google Patents

Apparatus and method for probing circuit board

Info

Publication number
JPH1038980A
JPH1038980A JP8198804A JP19880496A JPH1038980A JP H1038980 A JPH1038980 A JP H1038980A JP 8198804 A JP8198804 A JP 8198804A JP 19880496 A JP19880496 A JP 19880496A JP H1038980 A JPH1038980 A JP H1038980A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit board
lead
probe
stage
fpc
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8198804A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2870496B2 (en
Inventor
Hideo Mihashi
秀男 三橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP8198804A priority Critical patent/JP2870496B2/en
Publication of JPH1038980A publication Critical patent/JPH1038980A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2870496B2 publication Critical patent/JP2870496B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform probing without a defect in electrical connection even if a flexible circuit board (FPC) deforms. SOLUTION: A lead position and height position data are obtained from an output signal of a capacitive displacement sensor 8 with waveforms having periodicity wherein the lead 11 shows a summit and a base shows a bottom of a valley with the capacitive sensor 8 across the lead of an FPC 1. Base on the obtained position data, the lead 11 to be probed is positioned immediately below a probe 4, while based on height data of the lead 11, a support 6 is brought close to a rear face of the FPC 1. Finally the probe 4 is brought into contact with the lead 11, wherein an amount of pushing the probe 4 is controlled based on the height data of the probe 11 so that pushing of the probe 4 is at a predetermined value.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板プロービ
ング装置及び方法に関し、特に不良フレキシブル回路基
板の解析に適用し得るフレキシブル回路基板プロービン
グ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit board probing apparatus and method, and more particularly to a flexible circuit board probing apparatus applicable to the analysis of a defective flexible circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の技術としては、例えば、特開昭5
8−052576号公報に記載の回路基板のプロービン
グ装置がある。
2. Description of the Related Art The prior art is disclosed in, for example,
There is a circuit board probing apparatus described in JP-A-8-052576.

【0003】図4は、従来の回路基板のプロービング装
置を示す構成図である。図4に示す回路基板プロービン
グ装置は、プロービング対象であるフレキシブル回路基
板(以下FPCという)1を載せるベース2と、ベース
2の下側にあってベース2をFPC1ごと水平面内で移
動させる移動ステージ3と、ベース2の上側に配置され
FPC1の上面に設けられたリード11と電気的な接続
を行うプローブ4と、プローブ4を上下させるプローブ
ステージ5と、ベース2の上側に移動ステージ3の移動
方向にプローブ4と重ならないように所定量離して配置
され、リード11を撮像して画像信号dを出力するカメ
ラ19と、カメラ19に接続され、画像信号dを受け
て、画像処理によりリード11の水平面内での位置を検
出してリード位置データeを出力する画像処理部20
と、移動ステージ3とプローブステージ5と画像処理部
20とに接続され、リード位置データeを基に、リード
11をプローブ4の真下に位置決めするように移動ステ
ージ3を制御する制御部10とを備えている。FPC1
は矩形で、リード11は多数がFPC1の一辺(または
複数辺)に沿って列設されている。また、FPC1には
搭載される集積回路装置等の端子との接続用のリード1
1もこれらの端子に対応して列設されている。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a conventional circuit board probing apparatus. The circuit board probing apparatus shown in FIG. 4 includes a base 2 on which a flexible circuit board (hereinafter, referred to as FPC) 1 to be probed is mounted, and a moving stage 3 under the base 2 for moving the base 2 together with the FPC 1 in a horizontal plane. A probe 4 disposed above the base 2 and electrically connected to the lead 11 provided on the upper surface of the FPC 1, a probe stage 5 for moving the probe 4 up and down, and a moving direction of the moving stage 3 above the base 2 A camera 19 that is arranged at a predetermined distance from the probe 4 so as not to overlap with the probe 4 and captures the lead 11 and outputs an image signal d. The camera 19 is connected to the camera 19 and receives the image signal d. Image processing unit 20 for detecting a position in a horizontal plane and outputting lead position data e
And a control unit 10 connected to the moving stage 3, the probe stage 5, and the image processing unit 20 and controlling the moving stage 3 to position the lead 11 directly below the probe 4 based on the lead position data e. Have. FPC1
Is a rectangle, and many leads 11 are arranged in a row along one side (or a plurality of sides) of the FPC 1. A lead 1 for connecting to a terminal of an integrated circuit device or the like mounted on the FPC 1 is provided.
Reference numerals 1 are also arranged in line corresponding to these terminals.

【0004】次に動作を説明する。まず、移動ステージ
3により、所定の列設されたリード11をカメラ19の
下に位置決めし、撮像を行う。次に画像信号dを画像処
理部20で処理し、リード11の位置を検出する。具体
的には、画像信号dを2値化してリード11の領域のみ
を抽出し、画像上の所定ライン(リード11が並べられ
た列の方向の各リード11上を通る直線)におけるその
抽出領域の中心座標と移動ステージ3の位置座標から、
個々のリード11の位置を算出する。次に、上記動作で
得られたリード位置データeに基づいて移動ステージ3
により位置補正を行い、リード11をプローブ4の真下
に位置決めする。最後に、プローブステージ5にてプロ
ーブ4をFPC1側に所定量押込むことでプロービング
が完了する。
Next, the operation will be described. First, the movable stage 3 positions the leads 11 arranged in a predetermined row below the camera 19, and performs imaging. Next, the image signal d is processed by the image processing unit 20, and the position of the lead 11 is detected. More specifically, the image signal d is binarized to extract only the region of the lead 11, and the extracted region on a predetermined line (a straight line passing on each lead 11 in the direction of the column in which the leads 11 are arranged) on the image From the center coordinates of the moving stage 3 and the position coordinates of the moving stage 3
The position of each lead 11 is calculated. Next, based on the read position data e obtained by the above operation, the moving stage 3
Is performed, and the lead 11 is positioned just below the probe 4. Finally, the probing is completed by pushing the probe 4 toward the FPC 1 by a predetermined amount on the probe stage 5.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】液晶表示装置などで装
置基板に貼着されたFPCに故障が生じるとFPCをそ
の装置基板から引き剥がし解析することがあるが、この
ように装置基板から引き剥がすとFPCには波打つよう
な変形が生じてしまう。
When a failure occurs in an FPC affixed to a device substrate in a liquid crystal display device or the like, the FPC may be peeled off from the device substrate and analyzed. In this manner, the FPC is peeled off from the device substrate. In this case, wavy deformation occurs in the FPC.

【0006】上述した従来の回路基板プロービング装置
では、解析のために引き剥した場合のようにFPCに波
打つような変形があると、カメラ19の焦点が定らずに
撮像ができず、さらに、変形が大きい箇所ではプローブ
荷重が増加するため、FPCやプローブの破損が発生
し、またプローブを押し付けるとFPCが変形しプロー
ブとリードとの位置ずれによる接触不良が発生するとい
う欠点があった。
In the above-described conventional circuit board probing apparatus, if the FPC has a wavy deformation as in the case where the FPC is peeled off for analysis, the camera 19 cannot be focused and the image cannot be taken. The probe load increases in a portion where the deformation is large, so that the FPC and the probe are damaged. Further, when the probe is pressed, the FPC is deformed and a contact failure occurs due to a displacement between the probe and the lead.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の回路基板プロー
ビング装置は、回路基板を載置し、この回路基板のプロ
ービング領域の下方は開放されているベースと、前記回
路基板のリードが設けられた面側に配置され前記回路基
板のリードと電気的な接続を行うためのブローブと、前
記プローブを上下させるプローブステージと、前記回路
基板のリードが設けられた面とは反対の面側であって前
記プローブと対向する位置に配置された支えと、前記支
えを上下させる支えステージと、前記プローブ及び前記
支えに対し前記ベースを水平面内で相対的に移動させる
移重ステージと、前記回路基板のリードの位置及び高さ
を検出するリード位置検出手段と、前記リード位置検出
手段が検出した前記回路基板のリードの位置及び高さに
応じて前記回路基板のリードを前記プローブの真下に位
置決めするよう前記移動ステージを制御し、前記支えの
先端が前記回路基板に近接するように前記支えステージ
を制御し、前記プローブの荷重が適切になるように前記
プローブステージを制御する制御部とを含むことを特徴
とし、リード位置検出手段は、前記回路基板のリードが
設けられた面に対向するように設けられた静電容量型変
位センサ、または前記回路基板のリードが設けられた面
に光ビームを照射する光源と前記光ビームに対し傾いた
光軸上にあって前記光ビームの前記回路基板からの反射
光を受光する光位置検出素子との組合わせによる三角測
量方式の測距センサを用いることができ、さらに、回路
基板としてFPCを対象としてもよい。
According to the present invention, there is provided a circuit board probing apparatus on which a circuit board is placed, and a base which is open below a probing area of the circuit board and a lead of the circuit board are provided. A probe arranged on the surface side for making electrical connection with the circuit board leads, a probe stage for raising and lowering the probe, and a surface side opposite to the surface on which the circuit board leads are provided, A support disposed at a position facing the probe, a support stage for raising and lowering the support, a transfer stage for moving the base relative to the probe and the support in a horizontal plane, and a lead of the circuit board Lead position detecting means for detecting the position and height of the circuit board, and the circuit board according to the position and height of the leads on the circuit board detected by the lead position detecting means. Controlling the moving stage so as to position the lead directly below the probe, controlling the support stage so that the tip of the support is close to the circuit board, and controlling the probe so that the load of the probe is appropriate. And a control unit for controlling the stage, wherein the lead position detecting means is provided with a capacitive displacement sensor provided so as to face the surface of the circuit board on which the leads are provided, or By a combination of a light source that irradiates a light beam on a surface provided with a lead and a light position detecting element that is on an optical axis inclined with respect to the light beam and receives reflected light of the light beam from the circuit board. A triangulation distance measuring sensor can be used, and an FPC may be used as a circuit board.

【0008】本発明の回路基板プロービング方法は、ベ
ースに回路基板を載置し、前記回路基板上のリードの位
置及び高さを測定し、この位置及び高さに従って前記回
路基板の当該リードの反対側の部分に支えを近接させ、
前記位置及び高さに従って当該リードの真上に位置させ
たプローブを適切な接触荷重となるように当該リードの
押し付けることを特徴とする。
According to the circuit board probing method of the present invention, a circuit board is placed on a base, the position and height of a lead on the circuit board are measured, and the lead on the circuit board is opposite to the lead according to the position and height. Place the support close to the side part,
A probe positioned directly above the lead according to the position and the height is pressed against the lead so as to have an appropriate contact load.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して詳細に説明する。
Next, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0010】図1は、本発明の第1の実施の形態を示す
構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of the present invention.

【0011】図1に示す回路基板プロービング装置は、
FPC1のプロービング領域に開口部21を有しFPC
1を載せFPC1の一部を接着して固定するベース2
と、ベース2の下側にあってベース2をFPC1ごと水
平面内で移動させる移動ステージ3と、ベース2の上側
に配置されFPC1の上面に設けられたリード11と電
気的な接続を行うプローブ4と、プローブ4を上下させ
るプローブステージ5と、ベース2の下側であってプロ
ーブ4と対向する位置に配置された支え6と、支え6を
上下させる支えステージ7と、ベース2の上側であって
移動ステージ3の移動方向にプローブ4と重ならないよ
うに所定量離して配置され、FPC1のリード11の位
置と高さを検出するリード位置検出手段としての、静電
容量型変位センサ8および静電容量型変位センサ8の出
力aを増幅してリード検出信号bを出力するアンプ9
と、移動ステージ3プローブステージ5、支えステージ
7及びアンプ9とに接続され、リード検出信号bを基
に、リード11をプローブ4の真下に位置決めするよう
移動ステージ3を制御し、プローブ4の荷重が一定にな
るようにプローブステージ5の移動量を制御し、支え6
の高さ位置がFPC1の裏面に近接するように支えステ
ージ7の移動量を制御する制御部10とを備えている。
静電容量型変位センサ8は先端に金属面が接近するほど
大きな出力を発生するセンサである。
The circuit board probing apparatus shown in FIG.
FPC 1 has an opening 21 in the probing area
Base 2 on which FPC 1 is mounted and a part of FPC 1 is bonded and fixed
A moving stage 3 below the base 2 for moving the base 2 together with the FPC 1 in a horizontal plane, and a probe 4 disposed above the base 2 and electrically connecting to a lead 11 provided on the upper surface of the FPC 1 A probe stage 5 for raising and lowering the probe 4, a support 6 disposed below the base 2 at a position facing the probe 4, a support stage 7 for raising and lowering the support 6, and an upper side of the base 2. The capacitance type displacement sensor 8 serving as a lead position detecting means for detecting the position and height of the lead 11 of the FPC 1 and being arranged at a predetermined distance so as not to overlap with the probe 4 in the moving direction of the moving stage 3. Amplifier 9 for amplifying output a of capacitance displacement sensor 8 and outputting read detection signal b
The moving stage 3 is connected to the probe stage 5, the supporting stage 7 and the amplifier 9, and controls the moving stage 3 to position the lead 11 directly below the probe 4, based on the lead detection signal b, The moving amount of the probe stage 5 is controlled so that
And a control unit 10 that controls the amount of movement of the stage 7 so that the height position of the stage 7 approaches the back surface of the FPC 1.
The capacitance type displacement sensor 8 is a sensor that generates a larger output as the metal surface approaches the tip.

【0012】次に、動作を説明する。図2(a)は、F
PC1上のリード11に対する静電容量型変位センサ8
の位置を示し、図2(b)は図2(a)に示す位置と検
出信号bの関係を示す模式図である。
Next, the operation will be described. FIG.
Capacitive displacement sensor 8 for lead 11 on PC 1
FIG. 2B is a schematic diagram showing the relationship between the position shown in FIG. 2A and the detection signal b.

【0013】図2(a)に示すようにFPC1の端辺に
沿ってリード11が列設されている場合について説明す
ると、移動ステージ3で、FPC1の端辺から少し内側
の線上に静電容量型変位センサ8を位置決め後、静電容
量型変位センサ8がFPC1の側辺から対向する側辺ま
でリード11を横切るようにベース2を移動させる。こ
のとき、FPC1上のリード11は金属でありFPC1
のリード11以外の部分の基材12は絶縁体であるた
め、アンプ9から得られるリード検出信号bは、図2
(b)に示すように静電容量型変位センサ8がリード1
1上にある時に山の頂点で基材12上にある時に谷の底
となるような周期性を持つ波形となる。よって、この波
形の山の頂点に対応する位置がリード11の位置とな
る。また、FPC1は波うつような変形を有しており、
波形の各山の頂点での出力値はリード11と静電容量セ
ンサ8の距離に応じて変化する。よって、この山の頂点
での出力値から、その対応する位置でのリード11の高
さを求めることができる。すなわち、検出信号bからリ
ード11各々の位置と高さのデータが得られる。
The case where the leads 11 are arranged in line along the edge of the FPC 1 as shown in FIG. 2A will be described. After positioning the mold displacement sensor 8, the base 2 is moved so that the capacitance displacement sensor 8 crosses the lead 11 from the side of the FPC 1 to the opposite side. At this time, the lead 11 on the FPC 1
2 is an insulator, the lead detection signal b obtained from the amplifier 9 is the same as that shown in FIG.
As shown in (b), the capacitance type displacement sensor 8 is connected to the lead 1.
The waveform has a periodicity such that the peak is at the top of the mountain when it is on 1 and the bottom of the valley when it is on the substrate 12. Therefore, the position corresponding to the peak of the peak of this waveform is the position of the lead 11. Also, FPC1 has a wave-like deformation,
The output value at the top of each peak of the waveform changes according to the distance between the lead 11 and the capacitance sensor 8. Therefore, the height of the lead 11 at the corresponding position can be obtained from the output value at the peak of this mountain. That is, data of the position and height of each lead 11 is obtained from the detection signal b.

【0014】次に、制御部10により、移動ステージ
3、プローブステージ5及び支えステージ7の移動を制
御し、所定のリード11に対してプロービングを行う。
すなわち、上記動作で得られたリード11の位置データ
の基づき、移動ステージ3によりプロービングすべきリ
ード11をプローブ4の真下に位置決めする。次に、上
記動作で得られたリード11の高さデータに基づき、支
えステージ7により支え6の先端をFPC1の裏面に近
接させる。最後に、プローブステージ5にてプローブ4
をリード11に接触させるが、このとき、プローブ4の
押し込みが所定量になるように、すなわちプロービング
荷重が一定量になるように、リード11の高さデータに
基づいてプローブ4の移動量を制御する。
Next, the control unit 10 controls the movement of the moving stage 3, the probe stage 5, and the support stage 7, and performs probing on a predetermined lead 11.
That is, the lead 11 to be probed by the moving stage 3 is positioned directly below the probe 4 based on the position data of the lead 11 obtained by the above operation. Next, based on the height data of the lead 11 obtained by the above operation, the tip of the support 6 is brought close to the back surface of the FPC 1 by the support stage 7. Finally, the probe 4
Is brought into contact with the lead 11. At this time, the moving amount of the probe 4 is controlled based on the height data of the lead 11 so that the pushing of the probe 4 becomes a predetermined amount, that is, the probing load becomes a constant amount. I do.

【0015】なお、静電容量型変位センサ8は、変位検
出方向と垂直な方向の計測領域がリード11のピッチの
1/2以下であるものを使用する。
The capacitance type displacement sensor 8 has a measurement area in a direction perpendicular to the displacement detection direction which is equal to or less than の of the pitch of the leads 11.

【0016】リード11がFPC1の端辺に沿って並設
されていない場合でも、静電容量型変位センサ8がリー
ド11上を横切るようにベース2を移動させることによ
りリード11の位置及び高さを求めることができる。静
電容量型変位センサ8をリード11上を横切るようにベ
ース2を移動させる方法は、作業者がFPC1を見て制
御部10を指令するようにしてもできるし、FPC1を
ベース2上に正確に位置決めして固定し、FPC1上の
リード11の位置の設計データに基づいて制御部10が
自動的に移動ステージ3を駆動するようにして行っても
よい。
Even when the leads 11 are not arranged side by side along the edges of the FPC 1, the position and height of the leads 11 can be obtained by moving the base 2 so that the capacitive displacement sensor 8 crosses over the leads 11. Can be requested. The method of moving the base 2 so that the capacitance type displacement sensor 8 crosses over the lead 11 may be such that the operator looks at the FPC 1 and commands the control unit 10, or the FPC 1 can be accurately placed on the base 2. And the control unit 10 may automatically drive the moving stage 3 based on the design data of the position of the lead 11 on the FPC 1.

【0017】なお、ベース2を固定し、静電容量型変位
センサ8,プローブステージ5及び支えステージ7を水
平方向に移動させるようにしても本発明は可能である。
The present invention is also possible when the base 2 is fixed and the capacitance type displacement sensor 8, the probe stage 5, and the support stage 7 are moved in the horizontal direction.

【0018】図3は、本発明の第2の実施の形態を示す
構成図である。
FIG. 3 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention.

【0019】図3に示すフレキシブル回路基板プロービ
ング装置は、図1に示したフレキシブル回路基板プロー
ビング装置と、リード検出手段の構成と動作が異なる以
外は、構成、動作とも同一である。よって、以下には、
図3のフレキシブル回路基板プロービング装置のリード
検出手段の構成と、リード11の位置および高さ検出動
作のみを説明する。
The flexible circuit board probing apparatus shown in FIG. 3 has the same configuration and operation as the flexible circuit board probing apparatus shown in FIG. 1 except that the configuration and operation of the lead detecting means are different. So, below:
Only the configuration of the lead detecting means of the flexible circuit board probing apparatus of FIG. 3 and the operation of detecting the position and height of the lead 11 will be described.

【0020】図3のフレキシブル回路基板プロービング
装置に使用するリード検出手段は、レーザ光13をFP
C1に対して垂直に照射するレーザダイオード(以下L
Dという)14と、レーザ光13の照射光軸上にあっ
て、レーザ光13をFPC1上にてリード11の幅寸法
程度に集光する投光レンズ15と、レーザ光13の光軸
から所定量傾いた光軸上にあってFPC1上にできたレ
ーザ光13のスポット像の変位を検出する光位置検出素
子(以下PSDという)16及びその結像レンズである
受光レンズ17と、PSD16の出力cを受けてリード
検出信号bを出力するPSDアンプ18とで構成され
る。
The lead detecting means used in the flexible circuit board probing apparatus shown in FIG.
A laser diode (hereinafter referred to as L
D) 14, a projection lens 15 on the irradiation optical axis of the laser beam 13 for condensing the laser beam 13 on the FPC 1 to about the width of the lead 11, and a position from the optical axis of the laser beam 13. An optical position detecting element (hereinafter referred to as PSD) 16 which detects a displacement of a spot image of the laser beam 13 formed on the FPC 1 on the optical axis inclined by a fixed amount, a light receiving lens 17 which is an image forming lens thereof, and an output of the PSD 16 and a PSD amplifier 18 that receives c and outputs a read detection signal b.

【0021】LD14からFPC1に向けて照射された
レーザ光13は、投光レンズ15でFPC1上に集光さ
れた後、その反射光が受講レンズ17でPSD16の受
光面上に結像される。レーザ光13がFPC1上のリー
ド11を横切るようにベース2を移動させた時のレーザ
光13がリード11を横切る線上のリード11の位置
は、リード11と基材12ではレーザ光13の散乱反射
率が異なるため、PSD16に入射するレーザ光13の
光量から検出できる。また、PSD16は受光面上の入
射光点の位置を検出できるのでFPC1の高さは、三角
測量の原理によって、PSD16でのレーザ光13の結
像位置から算出できる。
The laser light 13 emitted from the LD 14 toward the FPC 1 is condensed on the FPC 1 by the light projecting lens 15, and the reflected light is imaged on the light receiving surface of the PSD 16 by the student lens 17. When the base 2 is moved so that the laser light 13 crosses the lead 11 on the FPC 1, the position of the lead 11 on the line where the laser light 13 crosses the lead 11 is scattered and reflected by the lead 11 and the base material 12. Since the rates are different, it can be detected from the amount of laser light 13 incident on the PSD 16. Further, since the PSD 16 can detect the position of the incident light point on the light receiving surface, the height of the FPC 1 can be calculated from the image forming position of the laser beam 13 on the PSD 16 by the principle of triangulation.

【0022】なお、ベース2の下側にプローブ4を配置
し、上側に支え6を配置してFPC1をリード11が設
けられた面が下に向くようにベース2に載置するように
してもよい。また、FPC1の両面にリード11が設け
られている場合にプローブ4をベース2の上側にも下側
にも配置し、支え6もベース2の上側にも下側にも配置
するようにしてもよい。
It should be noted that the probe 4 may be disposed below the base 2 and the support 6 may be disposed above, so that the FPC 1 is mounted on the base 2 such that the surface on which the leads 11 are provided faces downward. Good. When the leads 11 are provided on both sides of the FPC 1, the probe 4 may be arranged above and below the base 2, and the support 6 may be arranged above and below the base 2. Good.

【0023】また、本発明はフレキシブル回路基板のみ
にかかわらずガラスエポキシ製のプリント基板に対して
も適用でき、このようなプリント基板でも反りが大きい
場合に本発明は特に有効である。
The present invention can be applied not only to a flexible circuit board but also to a printed board made of glass epoxy, and the present invention is particularly effective when such a printed board has a large warpage.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明の回路基板プロービング装置及び
方法は、リード位置検出手段により検出したリードの位
置と高さのデータに基づいてリードの位置決めとプロー
ブの押し込み量を制御する。そのため、FPCに変形が
あってもプローブ荷重が一定にできるので、FPCがプ
ローブを破損することがなく、またプローブの位置ずれ
が発生することがないので電気的接続を確実に行うこと
ができる、という効果がある。
According to the circuit board probing apparatus and method of the present invention, the positioning of the lead and the amount of pushing of the probe are controlled based on the data of the position and height of the lead detected by the lead position detecting means. Therefore, even if the FPC is deformed, the probe load can be kept constant, so that the FPC does not damage the probe, and there is no displacement of the probe, so that the electrical connection can be reliably performed. This has the effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態を示す構成図であ
る。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of the present invention.

【図2】図1に示すFPC1上のリード11上を横切る
静電容量変位センサ8の位置とリード検出信号bとの関
係を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a relationship between a position of a capacitance displacement sensor 8 crossing over a lead 11 on the FPC 1 shown in FIG. 1 and a lead detection signal b.

【図3】本発明の第2の実施の形態を示す構成図であ
る。
FIG. 3 is a configuration diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図4】従来の回路基板プロービング装置を示す構成図
である。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a conventional circuit board probing device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 FPC 2 ベース 3 移動ステージ 4 プローブ 5 プローブステージ 6 支え 7 支えステージ 8 静電容量型変位センサ 9 アンプ 10 制御部 11 リード 13 レーザ光 14 LD 15 投光レンズ 16 PSD 17 受光レンズ 18 PSDアンプ 19 カメラ 20 画像処理部 a 静電容量センサ出力 b リード検出信号 c PSD出力 d 画像信号 e リード位置データ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 FPC 2 Base 3 Moving stage 4 Probe 5 Probe stage 6 Support 7 Support stage 8 Capacitive displacement sensor 9 Amplifier 10 Control part 11 Lead 13 Laser beam 14 LD 15 Light projection lens 16 PSD 17 Light receiving lens 18 PSD amplifier 19 Camera 20 Image processing unit a Capacitance sensor output b Lead detection signal c PSD output d Image signal e Lead position data

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 3/00 H05K 3/00 T ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Agency reference number FI Technical display location H05K 3/00 H05K 3/00 T

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回路基板を載置し、この回路基板のプロ
ービング領域の下方は開放されているベースと、前記回
路基板のリードが設けられた面側に配置され前記回路基
板のリードと電気的な接続を行うためのプローブと、前
記プローブを上下させるプローブステージと、前記回路
基板のリードが設けられた面とは反対の面側であって前
記プローブと対向する位置に配置された支えと、前記支
えを上下させる支えステージと、前記プローブ及び前記
支えに対し前記ベースを水平面内で相対的に移動させる
移動ステージと、前記回路基板のリードの位置及び高さ
を検出するリード位置検出手段と、前記リード位置検出
手段が検出した前記回路基板のリードの位置及び高さに
応じて前記回路基板のリードを前記プローブの真下に位
置決めするよう前記移動ステージを制御し、前記支えの
先端が前記回路基板に近接するように前記支えステージ
を制御し、前記プローブの荷重が適切になるように前記
プローブステージを制御する制御部とを含むことを特徴
とする回路基板プロービング装置。
A circuit board is mounted, and a base which is open below a probing area of the circuit board is disposed on a surface of the circuit board on which a lead is provided, and is electrically connected to a lead of the circuit board. A probe for making a proper connection, a probe stage for raising and lowering the probe, and a support disposed at a position opposite to the surface of the circuit board opposite to the surface on which the leads are provided, and A support stage for raising and lowering the support, a moving stage for relatively moving the base in a horizontal plane with respect to the probe and the support, and a lead position detecting means for detecting a position and a height of a lead of the circuit board, According to the position and height of the lead of the circuit board detected by the lead position detecting means, the lead of the circuit board is positioned just below the probe. A controller that controls a moving stage, controls the supporting stage so that the tip of the supporting member is close to the circuit board, and controls the probe stage so that the load of the probe is appropriate. Circuit board probing device.
【請求項2】 リード位置検出手段は、前記回路基板の
リードが設けられた面に対向するように設けられた静電
容量型変位センサからなることを特徴とする請求項1記
載の回路基板プロービング装置。
2. The circuit board probing according to claim 1, wherein the lead position detecting means comprises a capacitance type displacement sensor provided so as to face a surface of the circuit board on which the leads are provided. apparatus.
【請求項3】 リード位置検出手段は、前記回路基板の
リードが設けられた面に光ビームを照射する光源と前記
光ビームに対し傾いた光軸上にあって前記光ビームの前
記回路基板からの反射光を受光する光位置検出素子との
組合わせによる三角測量方式の測距センサからなること
を特徴とする請求項1記載の回路基板プロービング装
置。
3. A circuit according to claim 1, wherein said lead position detecting means comprises: a light source for irradiating a light beam on a surface of the circuit board on which the lead is provided; and a light source on the optical axis inclined with respect to the light beam. 2. The circuit board probing apparatus according to claim 1, further comprising a triangulation distance measuring sensor in combination with a light position detecting element for receiving the reflected light.
【請求項4】 回路基板はフレキシブル回路基板である
ことを特徴とする請求項1,2または3記載の回路基板
プロービング装置。
4. The circuit board probing apparatus according to claim 1, wherein the circuit board is a flexible circuit board.
【請求項5】 ベースに回路基板を載置し、前記回路基
板上のリードの位置及び高さを測定し、この位置及び高
さに従って前記回路基板の当該リードの反対側の部分に
支えを近接させ、前記位置及び高さに従って当該リード
の真上に位置させたプローブを適切な接触荷重となるよ
うに当該リードの押し付けることを特徴とする回路基板
のプロービング方法。
5. A circuit board is mounted on a base, and a position and a height of a lead on the circuit board are measured, and a support is brought close to a portion of the circuit board opposite to the lead according to the position and the height. And probing the probe positioned directly above the lead according to the position and height so that the probe has an appropriate contact load.
JP8198804A 1996-07-29 1996-07-29 Circuit board probing apparatus and method Expired - Lifetime JP2870496B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8198804A JP2870496B2 (en) 1996-07-29 1996-07-29 Circuit board probing apparatus and method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8198804A JP2870496B2 (en) 1996-07-29 1996-07-29 Circuit board probing apparatus and method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1038980A true JPH1038980A (en) 1998-02-13
JP2870496B2 JP2870496B2 (en) 1999-03-17

Family

ID=16397197

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8198804A Expired - Lifetime JP2870496B2 (en) 1996-07-29 1996-07-29 Circuit board probing apparatus and method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2870496B2 (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001330579A (en) * 2000-05-23 2001-11-30 Nec Ibaraki Ltd Pattern inspection method and pattern inspection device and recording medium
KR100451384B1 (en) * 2002-06-15 2004-10-06 (주)티에스이 Socket Testing Machine and Method
WO2004099802A1 (en) * 2003-05-09 2004-11-18 Atg Test System Gmbh & Co. Kg Method for testing empty printed circuit boards
CN103777130A (en) * 2012-10-22 2014-05-07 昆山意力电路世界有限公司 Capacitance uniformity tester
GB2545496A (en) * 2015-12-18 2017-06-21 Teraview Ltd Automated test system for integrated circuits
JP2017211277A (en) * 2016-05-25 2017-11-30 ヤマハファインテック株式会社 Electric inspection method and electric inspection device
JP2019066372A (en) * 2017-10-03 2019-04-25 ヤマハ発動機株式会社 Height measuring device, height measuring method, and substrate working device
CN109990702A (en) * 2019-03-04 2019-07-09 深圳市派科斯科技有限公司 A kind of flexible circuit board detecting device and method
GB2579752A (en) * 2015-12-18 2020-07-01 Teraview Ltd A test system

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001330579A (en) * 2000-05-23 2001-11-30 Nec Ibaraki Ltd Pattern inspection method and pattern inspection device and recording medium
KR100451384B1 (en) * 2002-06-15 2004-10-06 (주)티에스이 Socket Testing Machine and Method
WO2004099802A1 (en) * 2003-05-09 2004-11-18 Atg Test System Gmbh & Co. Kg Method for testing empty printed circuit boards
JP2006525497A (en) * 2003-05-09 2006-11-09 アーテーゲー、テスト、ジステムス、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コンパニー、コマンディット、ゲゼルシャフト Non-mounted circuit board test method
US7250782B2 (en) 2003-05-09 2007-07-31 Atg Test Systems Gmbh & Co. Kg Method for testing non-componented circuit boards
KR100782109B1 (en) * 2003-05-09 2007-12-05 에이티지 테스트 시스템즈 게엠베하 Method For Testing Empty Printed Circuit Boards
CN103777130A (en) * 2012-10-22 2014-05-07 昆山意力电路世界有限公司 Capacitance uniformity tester
JP2019505776A (en) * 2015-12-18 2019-02-28 テラビュー リミテッド Test system
CN108474821A (en) * 2015-12-18 2018-08-31 特瑞视觉有限公司 Detecting system
GB2545496A (en) * 2015-12-18 2017-06-21 Teraview Ltd Automated test system for integrated circuits
GB2545496B (en) * 2015-12-18 2020-06-03 Teraview Ltd A Test System
GB2579752A (en) * 2015-12-18 2020-07-01 Teraview Ltd A test system
GB2579752B (en) * 2015-12-18 2020-10-14 Teraview Ltd A test system
JP2021170040A (en) * 2015-12-18 2021-10-28 テラビュー リミテッド Test system
US11366158B2 (en) 2015-12-18 2022-06-21 Teraview Limited Test system for testing the integrity of an electronic device
TWI794151B (en) * 2015-12-18 2023-03-01 英商塔拉檢視有限公司 Automated test system for integrated circuits
US11921154B2 (en) 2015-12-18 2024-03-05 Teraview Limited Test system
JP2017211277A (en) * 2016-05-25 2017-11-30 ヤマハファインテック株式会社 Electric inspection method and electric inspection device
JP2019066372A (en) * 2017-10-03 2019-04-25 ヤマハ発動機株式会社 Height measuring device, height measuring method, and substrate working device
CN109990702A (en) * 2019-03-04 2019-07-09 深圳市派科斯科技有限公司 A kind of flexible circuit board detecting device and method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2870496B2 (en) 1999-03-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4328553A (en) Method and apparatus for targetless wafer alignment
JP4245166B2 (en) Apparatus and method for testing circuit boards and test probe for the apparatus and method
KR100283834B1 (en) Bonding method of semiconductor chip and its device
JP2870496B2 (en) Circuit board probing apparatus and method
CN113547206A (en) Laser etching device, method and system
JP2939657B2 (en) Probe inspection device
JPH0621166A (en) Wafer prober
JPH067561B2 (en) Positioning method for semiconductor wafer chips
JP2000074845A (en) Bump inspection method and bump inspection device
JP2913609B2 (en) Probing apparatus, probing method and probe card
JP3223483B2 (en) Defect inspection method and device
JPH11190616A (en) Surface shape measuring device
US20060290368A1 (en) Circuit board test device comprising contact needles which are driven in diagonally protruding manner
JP2877061B2 (en) Coplanarity inspection equipment
JP2000088542A (en) Apparatus and method for inspecting soldering
JPS59192902A (en) Position checking device for parts attached to substrate
JP3316829B2 (en) Comparative inspection method and device
JPH0731130B2 (en) Recognition device
JP3601615B2 (en) Projection height measurement method and device
JPH0641164Y2 (en) Mounted printed circuit board automatic inspection device
JPH01286324A (en) Wafer prober
JP2554341B2 (en) Probe device
JPH09326426A (en) Apparatus and method for testing wafers
JPH0744208B2 (en) Method for recognizing special pattern position of semiconductor wafer
JPH0536768A (en) Probe apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19981201