JPH103319A - 過マンガン酸溶液自動管理システム - Google Patents
過マンガン酸溶液自動管理システムInfo
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- JPH103319A JPH103319A JP15677996A JP15677996A JPH103319A JP H103319 A JPH103319 A JP H103319A JP 15677996 A JP15677996 A JP 15677996A JP 15677996 A JP15677996 A JP 15677996A JP H103319 A JPH103319 A JP H103319A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】酸化処理の際に、過マンガン酸塩およびｐＨ調
整剤からなる過マンガン酸溶液の各成分濃度を精度良く
調整することにより、二酸化マンガン析出量を安定化す
る。 【解決手段】反応槽Ｂ内の過マンガン酸溶液Ｌによる絶
縁基板Ｂの酸化処理の際に、レベルセンサ２、光電セン
サ３およびｐＨセンサ４は、経時的に各々、過マンガン
酸溶液Ｌの液面レベル、絶縁基板Ｐの酸化処理面積、過
マンガン酸溶液ＬのｐＨを検出して、それらの検出値を
溶液成分管理部１に出力する。溶液成分管理部１は、こ
れらの検出値に基づき、蒸発による過マンガン酸溶液Ｌ
からの水分の減少変化を検出し、反応槽ｂ内の溶液の総
量が一定となるよう随時水を供給すると同時に、酸化処
理に伴う過マンガン酸塩濃度の減少およびｐＨ上昇を検
出し、各成分が一定となるように過マンガン酸塩および
ｐＨ調整剤を供給する。
整剤からなる過マンガン酸溶液の各成分濃度を精度良く
調整することにより、二酸化マンガン析出量を安定化す
る。 【解決手段】反応槽Ｂ内の過マンガン酸溶液Ｌによる絶
縁基板Ｂの酸化処理の際に、レベルセンサ２、光電セン
サ３およびｐＨセンサ４は、経時的に各々、過マンガン
酸溶液Ｌの液面レベル、絶縁基板Ｐの酸化処理面積、過
マンガン酸溶液ＬのｐＨを検出して、それらの検出値を
溶液成分管理部１に出力する。溶液成分管理部１は、こ
れらの検出値に基づき、蒸発による過マンガン酸溶液Ｌ
からの水分の減少変化を検出し、反応槽ｂ内の溶液の総
量が一定となるよう随時水を供給すると同時に、酸化処
理に伴う過マンガン酸塩濃度の減少およびｐＨ上昇を検
出し、各成分が一定となるように過マンガン酸塩および
ｐＨ調整剤を供給する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、酸化反応中の過マ
ンガン酸溶液各成分を精度良く管理する過マンガン酸溶
液自動管理システムに関する。
ンガン酸溶液各成分を精度良く管理する過マンガン酸溶
液自動管理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】ドイツ国特許第３８０６８８４号公報等
に開示されている、導電性ポリマーを用いて絶縁基板の
スルーホール内壁を導電化する方法では、建浴初期の過
マンガン酸溶液のｐＨが低いのみで、重合反応するのに
充分な二酸化マンガンの析出量が得られ、全てのスルー
ホールに良好な導電性ポリマーが形成される。
に開示されている、導電性ポリマーを用いて絶縁基板の
スルーホール内壁を導電化する方法では、建浴初期の過
マンガン酸溶液のｐＨが低いのみで、重合反応するのに
充分な二酸化マンガンの析出量が得られ、全てのスルー
ホールに良好な導電性ポリマーが形成される。
【０００３】ところで、上記方法では、酸化処理による
絶縁基板の処理量に伴って過マンガン酸溶液のｐＨが上
昇し、二酸化マンガンの析出量も低下するため、良好な
導電性ポリマーを得るためには過マンガン酸溶液のｐＨ
を適切に管理する必要があり、過マンガン酸溶液の管理
は良好な導電性ポリマーを形成するのに必要な管理項目
である。
絶縁基板の処理量に伴って過マンガン酸溶液のｐＨが上
昇し、二酸化マンガンの析出量も低下するため、良好な
導電性ポリマーを得るためには過マンガン酸溶液のｐＨ
を適切に管理する必要があり、過マンガン酸溶液の管理
は良好な導電性ポリマーを形成するのに必要な管理項目
である。
【０００４】このため、例えば、過マンガン酸塩濃度、
ｐＨ値を各々経時的に測定し、前者については予め設定
した管理限定値より低い場合は、補充液および水を添加
して各成分濃度を所望の管理値に調整しながら、酸化処
理を継続する一方、後者については、管理限界値を越え
た場合は溶液を更新しなければならなかった。
ｐＨ値を各々経時的に測定し、前者については予め設定
した管理限定値より低い場合は、補充液および水を添加
して各成分濃度を所望の管理値に調整しながら、酸化処
理を継続する一方、後者については、管理限界値を越え
た場合は溶液を更新しなければならなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の過マンガン酸溶液の管理においては、過マンガン
酸溶液の必要な成分濃度を分析して、これらの濃度が低
下した場合には、補充液を添加して過マンガン酸溶液の
状態を一定に保持しているが、この場合、補充液の添加
量は、予め設定しておいた各成分濃度の管理値に基づい
て決定している。
従来の過マンガン酸溶液の管理においては、過マンガン
酸溶液の必要な成分濃度を分析して、これらの濃度が低
下した場合には、補充液を添加して過マンガン酸溶液の
状態を一定に保持しているが、この場合、補充液の添加
量は、予め設定しておいた各成分濃度の管理値に基づい
て決定している。
【０００６】しかしながら、過マンガン酸塩による酸化
処理は、約９０℃の高温状態で行うようにしているた
め、過マンガン酸溶液から水分が蒸発して、前記反応槽
内における溶液の総量が減少し、反応槽内における実際
の過マンガン酸溶液の総量が、酸化操作開始時に予め設
定しておいた過マンガン酸溶液の総量と異なってきてし
まい、補充液を添加した際の実際の成分濃度が予め設定
した管理値とずれてしまう、という課題があった。
処理は、約９０℃の高温状態で行うようにしているた
め、過マンガン酸溶液から水分が蒸発して、前記反応槽
内における溶液の総量が減少し、反応槽内における実際
の過マンガン酸溶液の総量が、酸化操作開始時に予め設
定しておいた過マンガン酸溶液の総量と異なってきてし
まい、補充液を添加した際の実際の成分濃度が予め設定
した管理値とずれてしまう、という課題があった。
【０００７】また、その過マンガン酸溶液は、絶縁基板
の処理に伴ってｐＨが上昇するので、二酸化マンガンの
析出量が低下する、という課題があった。
の処理に伴ってｐＨが上昇するので、二酸化マンガンの
析出量が低下する、という課題があった。
【０００８】本発明は、過マンガン酸溶液の各成分を管
理値に精度良く調整することのできる過マンガン酸溶液
自動管理システムを提供することにある。
理値に精度良く調整することのできる過マンガン酸溶液
自動管理システムを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る過マンガン酸溶液自動管理システムで
は、過マンガン酸塩およびｐＨ調整剤からなる過マンガ
ン酸溶液が充填された反応槽内に絶縁基板を入れて酸化
処理する際、上記過マンガン酸溶液の各成分が一定とな
るように管理する過マンガン酸溶液自動管理システムで
あって、上記過マンガン酸溶液の総量、過マンガン酸塩
濃度およびｐＨの各管理値を予め設定しておき、上記酸
化処理の際は、上記過マンガン酸溶液の総量の減少変
化、および過マンガン酸塩の減少変化、ｐＨ値の上昇変
化を検出して、それらが変化した場合には、上記過マン
ガン酸溶液の総量、過マンガン酸塩濃度およびｐＨ値が
各々上記予め設定した各管理値に一致するように、水、
過マンガン酸塩、ｐＨ調整剤を供給する、ことを特徴と
する。
め、本発明に係る過マンガン酸溶液自動管理システムで
は、過マンガン酸塩およびｐＨ調整剤からなる過マンガ
ン酸溶液が充填された反応槽内に絶縁基板を入れて酸化
処理する際、上記過マンガン酸溶液の各成分が一定とな
るように管理する過マンガン酸溶液自動管理システムで
あって、上記過マンガン酸溶液の総量、過マンガン酸塩
濃度およびｐＨの各管理値を予め設定しておき、上記酸
化処理の際は、上記過マンガン酸溶液の総量の減少変
化、および過マンガン酸塩の減少変化、ｐＨ値の上昇変
化を検出して、それらが変化した場合には、上記過マン
ガン酸溶液の総量、過マンガン酸塩濃度およびｐＨ値が
各々上記予め設定した各管理値に一致するように、水、
過マンガン酸塩、ｐＨ調整剤を供給する、ことを特徴と
する。
【００１０】特に、反応槽内における過マンガン酸溶液
からの蒸発による水分の減少変化は、反応槽に液面レベ
ルを検出するレベルセンサを設けて、液面が一定レベル
以下となった際に水を供給し、更に液面が一定のレベル
に達した際に水の供給を停止するようにする。
からの蒸発による水分の減少変化は、反応槽に液面レベ
ルを検出するレベルセンサを設けて、液面が一定レベル
以下となった際に水を供給し、更に液面が一定のレベル
に達した際に水の供給を停止するようにする。
【００１１】また、反応槽内における絶縁基板の酸化処
理によるｐＨの上昇変化は、反応槽外部にｐＨを検出す
るｐＨセンサを設けてｐＨを測定し、ｐＨの上昇に比例
して、ｐＨ調整剤を補給するように設定することができ
る。
理によるｐＨの上昇変化は、反応槽外部にｐＨを検出す
るｐＨセンサを設けてｐＨを測定し、ｐＨの上昇に比例
して、ｐＨ調整剤を補給するように設定することができ
る。
【００１２】このため、一般に、過マンガン酸溶液の管
理項目は過マンガン酸塩濃度およびｐＨ値の成分であっ
て、酸化処理中は経時的に過マンガン酸溶液中の各成分
を測定して、その測定値に基づき各成分濃度が管理範囲
内になるように、各成分の添加量を決定して過マンガン
酸溶液に補充添加することにより、過マンガン溶液を調
整しているが、本発明では、さらに、酸化処理中の反応
槽内における過マンガン酸溶液からの蒸発による水分の
減少も検出して、この減少分を補うように水を随時供給
し、反応槽内の過マンガン酸溶液の総量を常に一定とす
るので、酸化処理中の水分蒸発も考慮した状態で、過マ
ンガン酸溶液の成分を管理範囲内に精度良く調整するこ
とができ、このように的確に管理された過マンガン酸溶
液を使用することにより、良好な品質の導電性ポリマー
を得ることができる。
理項目は過マンガン酸塩濃度およびｐＨ値の成分であっ
て、酸化処理中は経時的に過マンガン酸溶液中の各成分
を測定して、その測定値に基づき各成分濃度が管理範囲
内になるように、各成分の添加量を決定して過マンガン
酸溶液に補充添加することにより、過マンガン溶液を調
整しているが、本発明では、さらに、酸化処理中の反応
槽内における過マンガン酸溶液からの蒸発による水分の
減少も検出して、この減少分を補うように水を随時供給
し、反応槽内の過マンガン酸溶液の総量を常に一定とす
るので、酸化処理中の水分蒸発も考慮した状態で、過マ
ンガン酸溶液の成分を管理範囲内に精度良く調整するこ
とができ、このように的確に管理された過マンガン酸溶
液を使用することにより、良好な品質の導電性ポリマー
を得ることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る過マンガン酸
溶液自動管理システムの実施形態を説明する。
溶液自動管理システムの実施形態を説明する。
【００１４】図１に、本発明に係る過マンガン酸溶液自
動管理システムの構成を示す。
動管理システムの構成を示す。
【００１５】この過マンガン酸溶液自動管理システム
は、過マンガン酸溶液Ｌが充填された反応槽Ｂ内に絶縁
基板Ｐを入れて、絶縁基板Ｐに穿孔されたスルーホール
内壁に導電性ポリマーを形成する酸化処理の際に、過マ
ンガン酸溶液Ｌの各成分が一定となるように管理するも
ので、本実施形態では、図に示すように、容液成分管理
部１と、レベルセンサ２と、光電センサ３と、ｐＨセン
サ４と、から構成されている。
は、過マンガン酸溶液Ｌが充填された反応槽Ｂ内に絶縁
基板Ｐを入れて、絶縁基板Ｐに穿孔されたスルーホール
内壁に導電性ポリマーを形成する酸化処理の際に、過マ
ンガン酸溶液Ｌの各成分が一定となるように管理するも
ので、本実施形態では、図に示すように、容液成分管理
部１と、レベルセンサ２と、光電センサ３と、ｐＨセン
サ４と、から構成されている。
【００１６】酸化処理液である過マンガン酸溶液Ｌは、
過マンガン酸塩である過マンガン酸カリウムを水に溶解
し、これをほう酸で所定のｐＨに調整したもので、酸化
処理の際は、約９０℃の高温状態に保持される。
過マンガン酸塩である過マンガン酸カリウムを水に溶解
し、これをほう酸で所定のｐＨに調整したもので、酸化
処理の際は、約９０℃の高温状態に保持される。
【００１７】溶液成分管理部１は、過マンガン酸溶液の
総量、過マンガン酸塩濃度およびｐＨの各管理値が予め
設定されており、上記酸化処理の際は、レベルセンサ
２、光電センサ３およびｐＨセンサ４の検出出力によ
り、過マンガン酸溶液の総量、過マンガン酸塩濃度およ
びｐＨ値が各々予め設定しておいた上記各管理値に一致
するように、水、過マンガン酸塩溶液、ｐＨ調整剤を、
それぞれ供給管１ａ〜１ｃを介して供給するように構成
されている。
総量、過マンガン酸塩濃度およびｐＨの各管理値が予め
設定されており、上記酸化処理の際は、レベルセンサ
２、光電センサ３およびｐＨセンサ４の検出出力によ
り、過マンガン酸溶液の総量、過マンガン酸塩濃度およ
びｐＨ値が各々予め設定しておいた上記各管理値に一致
するように、水、過マンガン酸塩溶液、ｐＨ調整剤を、
それぞれ供給管１ａ〜１ｃを介して供給するように構成
されている。
【００１８】レベルセンサ２は、反応槽Ｂ内外に設けら
れ、過マンガン酸溶液Ｌの液面レベルを検出して、溶液
成分管理部１に出力するように構成されている。
れ、過マンガン酸溶液Ｌの液面レベルを検出して、溶液
成分管理部１に出力するように構成されている。
【００１９】光電センサ３は、絶縁基板Ｐ上の酸化処理
面積を検出して溶液成分管理部１に出力するためのもの
で、酸化処理操作に伴う過マンガン酸カリウム濃度の減
少変化が絶縁基板上の酸化処理面積に比例するので、溶
液成分管理部１が絶縁基板Ｐ上の酸化処理面積から過マ
ンガン酸カリウム濃度の減少変化を検出するようにした
ものである。
面積を検出して溶液成分管理部１に出力するためのもの
で、酸化処理操作に伴う過マンガン酸カリウム濃度の減
少変化が絶縁基板上の酸化処理面積に比例するので、溶
液成分管理部１が絶縁基板Ｐ上の酸化処理面積から過マ
ンガン酸カリウム濃度の減少変化を検出するようにした
ものである。
【００２０】ｐＨセンサ４は、反応槽Ｂ外部に設けら
れ、サンプリングポンプ４ａにより反応槽Ｂ内の過マン
ガン酸溶液Ｌを吸い上げ過マンガン酸溶液ＬのｐＨを測
定して、溶液成分管理部１に出力するためのもので、冷
却装置（図示せず）も具備している。
れ、サンプリングポンプ４ａにより反応槽Ｂ内の過マン
ガン酸溶液Ｌを吸い上げ過マンガン酸溶液ＬのｐＨを測
定して、溶液成分管理部１に出力するためのもので、冷
却装置（図示せず）も具備している。
【００２１】尚、本実施形態では、以上のように構成し
ているが、本発明では、光電センサ３の代わりに、反応
槽Ｂにフローセル方式の吸光光度計を設けて、この吸光
光度計の検出出力により溶液成分管理部１が過マンガン
酸カリウムの濃度を算出するようにしてもよい。また、
さらに反応槽Ｂ上部に冷却器を設けて蒸気を凝縮し、反
応層Ｂ内に蒸発した水を貫流させるように構成してもよ
い。
ているが、本発明では、光電センサ３の代わりに、反応
槽Ｂにフローセル方式の吸光光度計を設けて、この吸光
光度計の検出出力により溶液成分管理部１が過マンガン
酸カリウムの濃度を算出するようにしてもよい。また、
さらに反応槽Ｂ上部に冷却器を設けて蒸気を凝縮し、反
応層Ｂ内に蒸発した水を貫流させるように構成してもよ
い。
【００２２】次に、以上のように構成された過マンガン
酸溶液自動管理システムの動作を説明する。
酸溶液自動管理システムの動作を説明する。
【００２３】まず、この反応層Ｂ内には、酸化処理液で
ある過マンガン酸溶液Ｌが充填されて約９０℃に保たれ
ており、その中に絶縁基板Ｐが沈められて、絶縁基板Ｐ
に穿孔されたスルーホール（図示せず）を導体化する酸
化処理が繰り返し行われている。
ある過マンガン酸溶液Ｌが充填されて約９０℃に保たれ
ており、その中に絶縁基板Ｐが沈められて、絶縁基板Ｐ
に穿孔されたスルーホール（図示せず）を導体化する酸
化処理が繰り返し行われている。
【００２４】このため、このような酸化処理が繰り返し
行われると、過マンガン酸溶液Ｌから水分が蒸発して、
反応槽Ｂ内における過マンガン酸溶液Ｌの総量が減少
し、その液面が低下してくる。
行われると、過マンガン酸溶液Ｌから水分が蒸発して、
反応槽Ｂ内における過マンガン酸溶液Ｌの総量が減少
し、その液面が低下してくる。
【００２５】また、絶縁基板Ｐを酸化処理することによ
り、過マンガン酸溶液Ｌ中の過マンガン酸カリウムの濃
度は減少し、そのｐＨが徐々に上昇してくる。
り、過マンガン酸溶液Ｌ中の過マンガン酸カリウムの濃
度は減少し、そのｐＨが徐々に上昇してくる。
【００２６】ところで、レベルセンサ２、光電センサ３
およびｐＨセンサ４は、各々、経時的に、反応槽Ｂ内に
おける過マンガン酸溶液Ｌの液面レベル、絶縁基板Ｐの
酸化処理面積、および過マンガン酸溶液ＬのｐＨを検出
して、それらの検出値を溶液成分管理部１に出力する。
およびｐＨセンサ４は、各々、経時的に、反応槽Ｂ内に
おける過マンガン酸溶液Ｌの液面レベル、絶縁基板Ｐの
酸化処理面積、および過マンガン酸溶液ＬのｐＨを検出
して、それらの検出値を溶液成分管理部１に出力する。
【００２７】溶液成分管理部１は、レベルセンサ２、光
電センサ３およびｐＨセンサ４からの検出出力を入力し
て、過マンガン酸溶液Ｌの液面が一定レベル以下となっ
たと判断した場合には、供給管１ａを介し反応槽Ｂ内に
水を供給する。そして、この供給により、過マンガン酸
溶液Ｌの液面が一定レベルに達した際には、水の供給を
直ちに停止するようにして、過マンガン酸溶液Ｌの総量
値が予め設定した管理値に一致するように水の供給・停
止制御を行う。
電センサ３およびｐＨセンサ４からの検出出力を入力し
て、過マンガン酸溶液Ｌの液面が一定レベル以下となっ
たと判断した場合には、供給管１ａを介し反応槽Ｂ内に
水を供給する。そして、この供給により、過マンガン酸
溶液Ｌの液面が一定レベルに達した際には、水の供給を
直ちに停止するようにして、過マンガン酸溶液Ｌの総量
値が予め設定した管理値に一致するように水の供給・停
止制御を行う。
【００２８】また、光電センサ３の検出出力により、絶
縁基板Ｐの酸化処理面積がわかると、過マンガン酸カリ
ウム濃度の低減量もわかるので、溶液成分管理部１は、
過マンガン酸カリウム濃度が予め設定したその管理値に
一致するように、絶縁基板上の処理面積に比例した過マ
ンガン酸カリウム溶液の補充を供給管１ｂを介し行う。
縁基板Ｐの酸化処理面積がわかると、過マンガン酸カリ
ウム濃度の低減量もわかるので、溶液成分管理部１は、
過マンガン酸カリウム濃度が予め設定したその管理値に
一致するように、絶縁基板上の処理面積に比例した過マ
ンガン酸カリウム溶液の補充を供給管１ｂを介し行う。
【００２９】さらに、ｐＨセンサ４の検出出力により、
反応槽Ｂ内における過マンガン酸溶液ＬのｐＨ値が上昇
変化した場合には、溶液成分管理部１は、過マンガン酸
溶液ＬのｐＨ値が予め設定したその管理値に一致するよ
うに、その上昇変化に比例したｐＨ調整剤の供給を供給
管１ｃを介し行う。
反応槽Ｂ内における過マンガン酸溶液ＬのｐＨ値が上昇
変化した場合には、溶液成分管理部１は、過マンガン酸
溶液ＬのｐＨ値が予め設定したその管理値に一致するよ
うに、その上昇変化に比例したｐＨ調整剤の供給を供給
管１ｃを介し行う。
【００３０】従って、本実施形態によれば、酸化処理の
際は、経時的に過マンガン酸カリウム濃度の減少および
過マンガン酸溶液ＬのｐＨ値の上昇だけでなく、蒸発に
よる過マンガン酸溶液Ｌからの水分の減少も検出して、
その検出値に基づき各成分濃度が管理範囲内になるよう
に、過マンガン酸カリウム、ｐＨ調製剤および水を過マ
ンガン酸溶液に補充添加することにより、過マンガン酸
溶液を調整するようにしたので、酸化処理中の水分蒸発
も考慮した状態で、過マンガン酸溶液の成分を管理範囲
内に精度良く調整することができる。
際は、経時的に過マンガン酸カリウム濃度の減少および
過マンガン酸溶液ＬのｐＨ値の上昇だけでなく、蒸発に
よる過マンガン酸溶液Ｌからの水分の減少も検出して、
その検出値に基づき各成分濃度が管理範囲内になるよう
に、過マンガン酸カリウム、ｐＨ調製剤および水を過マ
ンガン酸溶液に補充添加することにより、過マンガン酸
溶液を調整するようにしたので、酸化処理中の水分蒸発
も考慮した状態で、過マンガン酸溶液の成分を管理範囲
内に精度良く調整することができる。
【００３１】このため、このように水分の蒸発も考慮し
て的確に管理された過マンガン酸溶液を使用することに
より、二酸化マンガン析出量の安定化が図られ、良好な
品質の導電性ポリマーを得ることができる。
て的確に管理された過マンガン酸溶液を使用することに
より、二酸化マンガン析出量の安定化が図られ、良好な
品質の導電性ポリマーを得ることができる。
【００３２】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明では、蒸
発による過マンガン酸溶液からの水分の減少も検出し
て、この減少に対応する量の水を随時供給して、反応槽
内の過マンガン酸溶液の総量を常に一定とすると同時
に、ｐＨおよび過マンガン酸塩濃度の変化を検出して、
ｐＨおよび過マンガン酸塩濃度が予め設定した管理値と
なるようにｐＨ調整剤および過マンガン酸塩を補充する
ようにしたので、酸化処理の際の水分蒸発も考慮した形
で過マンガン酸溶液の成分を管理範囲内に精度良く調整
することができる。
発による過マンガン酸溶液からの水分の減少も検出し
て、この減少に対応する量の水を随時供給して、反応槽
内の過マンガン酸溶液の総量を常に一定とすると同時
に、ｐＨおよび過マンガン酸塩濃度の変化を検出して、
ｐＨおよび過マンガン酸塩濃度が予め設定した管理値と
なるようにｐＨ調整剤および過マンガン酸塩を補充する
ようにしたので、酸化処理の際の水分蒸発も考慮した形
で過マンガン酸溶液の成分を管理範囲内に精度良く調整
することができる。
【００３３】このため、このように水分の蒸発も考慮し
て的確に管理された過マンガン酸溶液を使用することに
より、二酸化マンガン析出量の安定化が図られ、良好な
品質の導電性ポリマーを得ることができる。
て的確に管理された過マンガン酸溶液を使用することに
より、二酸化マンガン析出量の安定化が図られ、良好な
品質の導電性ポリマーを得ることができる。
【図１】本発明に係る過マンガン酸溶液自動管理システ
ムの構成を示す構成図。
ムの構成を示す構成図。
１．溶液成分管理部 １ａ，１ｂ，１
ｃ．供給管 ２．レベルセンサ ３．光電センサ ４．ｐＨセンサ ４ａ．サンプリ
ングポンプ Ｂ．反応槽 Ｌ．過マンガン
酸溶液 Ｐ．絶縁基板
ｃ．供給管 ２．レベルセンサ ３．光電センサ ４．ｐＨセンサ ４ａ．サンプリ
ングポンプ Ｂ．反応槽 Ｌ．過マンガン
酸溶液 Ｐ．絶縁基板
Claims (4)
- 【請求項１】過マンガン酸塩およびｐＨ調整剤からなる
過マンガン酸溶液が充填された反応槽内に絶縁基板を入
れて酸化処理する際、上記過マンガン酸溶液の各成分が
一定となるように管理する過マンガン酸溶液自動管理シ
ステムであって、上記過マンガン酸溶液の総量、過マン
ガン酸塩濃度およびｐＨの各管理値を予め設定してお
き、上記酸化処理の際は、上記過マンガン酸溶液の総量
の減少変化、および過マンガン酸塩の減少変化、ｐＨ値
の上昇変化を検出して、それらが変化した場合には、上
記過マンガン酸溶液の総量、過マンガン酸塩濃度および
ｐＨ値が各々上記予め設定した各管理値に一致するよう
に、水、過マンガン酸塩、ｐＨ調整剤を供給することを
特徴とする過マンガン酸溶液自動管理システム。 - 【請求項２】過マンガン酸溶液の総量の減少変化は、当
該過マンガン酸溶液の液面レベルを検出するレベルセン
サにより検出し、上記レベルセンサの検出出力に基づ
き、反応槽内における過マンガン酸溶液の液面が一定レ
ベル以下となった場合には、過マンガン酸溶液の総量値
が予め設定したその管理値に一致するように、上記反応
層内に水の供給を行うことを特徴とする請求項１に記載
の過マンガン酸溶液自動管理システム。 - 【請求項３】過マンガン酸溶液のｐＨ値の上昇変化は、
ｐＨセンサにより検出し、上記ｐＨセンサの検出出力に
基づき、反応槽内における過マンガン酸溶液のｐＨ値が
上昇変化した場合には、過マンガン酸溶液のｐＨ値が予
め設定したその管理値に一致するように、その上昇変化
に比例してｐＨ調整剤の供給を行うことを特徴とする請
求項１または２に記載の過マンガン酸溶液自動管理シス
テム。 - 【請求項４】過マンガン酸塩の減少変化は、絶縁基板上
の処理面積を検出する光電センサにより検出し、上記光
電センサの検出出力に基づき、絶縁基板上の処理面積が
増大した場合には、過マンガン酸塩濃度が予め設定した
その管理値に一致するように、絶縁基板上の処理面積に
比例して過マンガン酸塩の補充を行うことを特徴とする
請求項１〜３のうちいずれかに記載の過マンガン酸溶液
自動管理システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15677996A JPH103319A (ja) | 1996-06-18 | 1996-06-18 | 過マンガン酸溶液自動管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15677996A JPH103319A (ja) | 1996-06-18 | 1996-06-18 | 過マンガン酸溶液自動管理システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH103319A true JPH103319A (ja) | 1998-01-06 |
Family
ID=15635134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15677996A Pending JPH103319A (ja) | 1996-06-18 | 1996-06-18 | 過マンガン酸溶液自動管理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH103319A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104703411A (zh) * | 2015-04-01 | 2015-06-10 | 竞陆电子(昆山)有限公司 | 水平金属化孔生产线pH监测装置 |
| CN110079853A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-08-02 | 宁波锦辉光学科技有限公司 | 一种光学镀镍机 |
-
1996
- 1996-06-18 JP JP15677996A patent/JPH103319A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104703411A (zh) * | 2015-04-01 | 2015-06-10 | 竞陆电子(昆山)有限公司 | 水平金属化孔生产线pH监测装置 |
| CN110079853A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-08-02 | 宁波锦辉光学科技有限公司 | 一种光学镀镍机 |
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