JPH10330968A - Surface treatment device for long size stock - Google Patents

Surface treatment device for long size stock

Info

Publication number
JPH10330968A
JPH10330968A JP15747697A JP15747697A JPH10330968A JP H10330968 A JPH10330968 A JP H10330968A JP 15747697 A JP15747697 A JP 15747697A JP 15747697 A JP15747697 A JP 15747697A JP H10330968 A JPH10330968 A JP H10330968A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
long material
speed
processing
etching
long
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15747697A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenichi Shimada
憲一 嶋田
Toshikimi Takeuchi
稔公 武内
Naotake Tanaka
尚武 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd filed Critical Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority to JP15747697A priority Critical patent/JPH10330968A/en
Publication of JPH10330968A publication Critical patent/JPH10330968A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Weting (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a time required to charge a long size stock and to improve a production capacity in a treatment line by detecting that a start end of a long size stock, which is charged in a treatment line guided with a long size guide member, passes a non-treatment part and switching a transfer speed of a long size stock based on the signal. SOLUTION: When a metal thin sheet 12 of long size is charged to, for example, an etching line by a guide belt 30, at beginning, a roller drive motor 46 is driven in high speed to drive a main drive roller 24, the guide belt 30 is transferred by a roller 24, the metal thin sheet 12 is transferred so as to be guided to the etching line by the guide belt 30. An optical detection type sensor 34 detects that a start end of the metal thin sheet 12 reaches an inlet of a facing part, the detected signal is amplified by an amplifier 36, the signal is sent to CPU38 and then from CPU38 to a controller 44, a control signal is sent from the controller 44 to a roller drive motor 46, a rotation speed of the motor 46 is switched to a low speed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、長尺素材をその
長手方向へ搬送させつつ、その長尺素材に対し所定の表
面処理を施す長尺素材の表面処理装置に関し、特に、カ
ラー受像管用のシャドウマスク、トリニトロン(登録商
標)管用等のアパーチャグリル、半導体素子用リードフ
レームなどを、フォトエッチング法を利用して製造する
場合に好適に用いられる長尺素材の表面処理装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface treatment apparatus for a long material, which carries out a predetermined surface treatment on the long material while transporting the long material in a longitudinal direction thereof. The present invention relates to a surface treatment apparatus for a long material that is suitably used when manufacturing shadow masks, aperture grills for Trinitron (registered trademark) pipes and the like, lead frames for semiconductor elements, and the like by using a photoetching method.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えばシャドウマスクを製造するための
製造装置は、一般に、主面に所定のパターンを有するレ
ジスト膜が形成された長尺の金属薄板をその長手方向へ
搬送させつつ、金属薄板の主面へエッチング液を供給し
て、金属薄板の主面の金属露出面をエッチングし、金属
薄板にその表裏で貫通する多数の微細な透孔を形成する
エッチングラインを備えている。このエッチングライン
には、例えば特開平8−81786号公報に開示されて
いるように、長尺の金属薄板を一時的に蓄積するバッフ
ァ装置(ダンサーローラ装置)、面出し装置、エッチン
グ装置、洗浄装置、剥離装置などが所定の方向において
直列に配置されている。
2. Description of the Related Art In general, a manufacturing apparatus for manufacturing a shadow mask, for example, transports a long metal thin plate having a resist film having a predetermined pattern formed on a main surface thereof in the longitudinal direction thereof, An etching line is provided for supplying an etchant to the main surface to etch the exposed metal surface of the main surface of the thin metal plate and to form a large number of fine through holes in the thin metal plate on both sides thereof. As disclosed in, for example, JP-A-8-81786, a buffer device (dancer roller device) for temporarily storing a long metal thin plate, a surface setting device, an etching device, and a cleaning device are provided in this etching line. , A peeling device and the like are arranged in series in a predetermined direction.

【0003】このようなエッチングラインへ長尺の金属
薄板を投入する際には、例えば特開平6−150816
号公報に開示されているように、幅寸法が金属薄板の幅
寸法より小さい長尺のガイドベルトを金属薄板の始端側
に接続する。そして、最初に、ガイドベルトをエッチン
グラインへ投入して、ガイドベルトをエッチングライン
の全長にわたって配置し、その後に、ガイドベルトによ
って金属薄板をエッチングラインへ導き入れるようにす
る。
When a long metal sheet is introduced into such an etching line, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-150816
As disclosed in the publication, a long guide belt having a width dimension smaller than the width dimension of the metal sheet is connected to the starting end side of the metal sheet. Then, first, the guide belt is put into the etching line, and the guide belt is arranged over the entire length of the etching line, and thereafter, the sheet metal is guided into the etching line by the guide belt.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】近年、長尺の金属薄板
が面出し処理、エッチング処理、洗浄処理、剥膜処理な
どの各種の表面処理を施されながらエッチングライン中
を搬送される金属薄板の搬送速度は、シャドウマスクの
高精細化に伴って遅くなってきている。ところが、長尺
の金属薄板をエッチングラインへ投入する際に、エッチ
ングライン中を搬送されるガイドベルトの搬送速度は、
金属薄板が表面処理されながらエッチングライン中を搬
送される金属薄板の搬送速度と同じである。このため、
ガイドベルトに導かれた金属薄板の始端が、エッチング
ラインにおける最初の表面処理装置、例えば面出し装置
に到達するまでに、相当の時間を要することとなる。こ
の結果、エッチングラインにおける生産能力が低下す
る、といった問題点がある。
In recent years, a long metal sheet has been subjected to various surface treatments such as surface treatment, etching, cleaning, and film stripping, and is conveyed through an etching line. The transport speed has become slower with higher definition of the shadow mask. However, when feeding a long metal sheet into the etching line, the transport speed of the guide belt transported in the etching line,
The transport speed is the same as the transport speed of the metal sheet that is transported through the etching line while the metal sheet is being surface-treated. For this reason,
It takes a considerable amount of time for the starting end of the sheet metal guided to the guide belt to reach the first surface treatment device in the etching line, for example, the surface treatment device. As a result, there is a problem that the production capacity in the etching line is reduced.

【0005】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、長尺の金属薄板などの長尺素材を、
長尺のガイド部材により導いてエッチングラインなどの
処理ラインへ投入する際に、その長尺素材の投入に要す
る時間を短縮することが可能であり、処理ラインにおけ
る生産能力を向上させることが可能になるような長尺素
材の表面処理装置を提供することを目的とする。
[0005] The present invention has been made in view of the above circumstances, and a long material such as a long metal sheet is used.
When guided by a long guide member and inserted into a processing line such as an etching line, it is possible to reduce the time required for inputting the long material and improve the production capacity in the processing line. It is an object of the present invention to provide a surface treatment device for a long material.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
所定の方向において直列に配置された非処理部と少なく
とも1つの表面処理部とで構成される処理ライン、およ
び、この処理ラインに沿って長尺素材をその長手方向へ
搬送する搬送手段を有し、前記処理ラインへ前記長尺素
材を投入する際に、長尺素材の始端側に接続された長尺
のガイド部材によって長尺素材を導くようにする長尺素
材の表面処理装置において、前記ガイド部材が前記処理
ライン中を搬送されガイド部材によって導かれた前記長
尺素材の始端が前記非処理部を通過し終わったことを検
知する検知手段と、この検知手段から出力される検知信
号により前記搬送手段を制御して前記長尺素材の搬送速
度を切り替える速度切替え手段とを有することを特徴と
する。
The invention according to claim 1 is
A processing line composed of a non-processing portion and at least one surface processing portion arranged in series in a predetermined direction, and a conveying means for conveying the long material in the longitudinal direction along the processing line. In the surface treatment apparatus for a long material, the long material is guided by a long guide member connected to the starting end of the long material when the long material is charged into the processing line. Detecting means for detecting that the starting end of the long material guided by the guide member is conveyed through the processing line and has passed through the non-processing portion; and a detecting signal output from the detecting means, Speed switching means for controlling the transport means to switch the transport speed of the long material.

【0007】請求項2に係る発明は、請求項1記載の表
面処理装置において、ガイド部材によって導かれた長尺
素材の始端が非処理部を通過し終わるまでの長尺素材の
搬送速度を速くし、長尺素材の始端が非処理部を通過し
終わったことが検知手段によって検知された時点で、速
度切替え手段により長尺素材の搬送速度を低速に切り替
えることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the surface treatment apparatus according to the first aspect, the conveying speed of the long material is increased until the starting end of the long material guided by the guide member has completely passed through the non-processing portion. Then, when the detecting means detects that the starting end of the long material has passed through the non-processing portion, the conveying speed of the long material is switched to a low speed by the speed switching means.

【0008】請求項3に係る発明は、請求項1または請
求項2記載の表面処理装置において、非処理部が、長尺
素材を蓄積するバッファ部を有することを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the surface treatment apparatus according to the first or second aspect, the non-processing section has a buffer section for accumulating a long material.

【0009】請求項4に係る発明は、請求項1ないし請
求項3のいずれかに記載の表面処理装置において、表面
処理部が、主面に所定のパターンを有するレジスト膜が
形成された金属薄板からなる長尺素材にエッチング液を
供給してエッチング処理するエッチング処理部であるこ
とを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the surface treatment apparatus according to any one of the first to third aspects, the surface treatment section has a main surface on which a resist film having a predetermined pattern is formed. An etching processing section for supplying an etching solution to a long material made of and performing an etching process.

【0010】請求項1に係る発明の表面処理装置を使用
した場合には、長尺素材がガイド部材により導かれて処
理ラインに投入される際に、検知手段により、長尺素材
の始端が非処理部を通過し終わったことが検知され、速
度切替え手段により、検知手段から出力される検知信号
を受けて搬送手段が制御され、長尺素材の搬送速度が切
り替えられる。従って、長尺素材の始端が非処理部を通
過し終わるまでの搬送速度と、長尺素材の始端が非処理
部を通過し終わった以後の搬送速度とを、処理ラインの
種類に応じて適切に切り替えることができ、例えば、長
尺素材の始端が非処理部を通過し終わるまでの搬送速度
を、長尺素材の始端が非処理部を通過し終わった以後の
搬送速度より速くしたときは、ガイド部材および長尺素
材の一部が非処理部を通過する時間が短くなって、長尺
素材の投入に要する時間が短縮されることとなる。
In the case where the surface treatment apparatus according to the first aspect of the present invention is used, when the long material is introduced into the processing line by being guided by the guide member, the start of the long material is not detected by the detecting means. It is detected that the sheet has passed through the processing unit, and the speed switching unit receives the detection signal output from the detection unit, controls the conveyance unit, and switches the conveyance speed of the long material. Therefore, the transport speed until the starting end of the long material has passed through the non-processing portion and the transport speed after the starting end of the long material has passed through the non-processing portion are appropriately determined according to the type of the processing line. For example, when the transport speed until the starting end of the long material has passed through the non-processing portion is faster than the transport speed after the starting end of the long material has passed through the non-processing portion, The time required for the guide member and a part of the long material to pass through the non-processing portion is shortened, and the time required for feeding the long material is shortened.

【0011】請求項2に係る発明の表面処理装置では、
長尺素材の始端が非処理部を通過し終わるまでの搬送速
度が速くされ、長尺素材の始端が非処理部を通過し終わ
った時点で搬送速度が低速に切り替えられるので、ガイ
ド部材および長尺素材の一部が非処理部を通過する時間
が短くなって、長尺素材の投入に要する時間が短縮され
ることとなる。
In the surface treatment apparatus according to the second aspect of the present invention,
The transport speed until the starting end of the long material has passed through the non-processing section is increased, and the transport speed is switched to low when the starting end of the long material has passed through the non-processing section. The time required for a part of the length material to pass through the non-processing portion is shortened, and the time required for feeding the long material is shortened.

【0012】請求項3に係る発明の表面処理装置では、
長尺素材の表面処理と関係の無いバッファ部内をガイド
部材および長尺素材の一部が搬送されるときは、その搬
送速度が、長尺素材が表面処理部内を搬送されるときの
搬送速度と変えられ、例えば長尺素材が表面処理部内を
搬送されるときの搬送速度より速くされる。
In the surface treatment apparatus according to the third aspect of the present invention,
When the guide member and a part of the long material are conveyed in the buffer unit irrelevant to the surface treatment of the long material, the conveyance speed is the same as the conveyance speed when the long material is conveyed in the surface treatment unit. For example, the transfer speed is made faster than the transfer speed when the long material is transferred in the surface treatment section.

【0013】請求項4に係る発明の表面処理装置では、
非処理部内をガイド部材および長尺の金属薄板の一部が
搬送されるときの搬送速度が、金属薄板がエッチング処
理部内を搬送されてエッチング処理されるときの搬送速
度と変えられ、例えば金属薄板がエッチング処理部内を
搬送されるときの搬送速度より速くされる。
[0013] In the surface treatment apparatus of the invention according to claim 4,
The conveyance speed when the guide member and a part of the long metal sheet are conveyed in the non-processing portion is changed to the conveyance speed when the metal sheet is conveyed in the etching processing portion and subjected to the etching process. Is made faster than the transport speed when transported in the etching section.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図面を参照しながら説明する。
Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0015】図1は、長尺の金属薄板のエッチング処理
装置の概略構成図である。この図示例のエッチング処理
装置のエッチングラインは、主面に所定のパターンを有
するレジスト膜が形成された長尺の金属薄板をコイル状
に巻いた材料コイル10から金属薄板12を繰り出す巻
出し部14、長尺の金属薄板12を一時的に蓄積するバ
ッファ部(ダンサーローラ部)16、金属薄板12の両
サイドの腐食防止処置を行う再塗布部18、エッチング
の前処理として金属薄板12の面出しを行う面出し部2
0、および、金属薄板12にエッチング液を供給してエ
ッチング処理するエッチング処理部22から構成されて
おり、それら各部が所定の方向において直列に配置され
ている。そして、金属薄板12は、主駆動ローラ24、
ダンサーローラ26および複数の搬送ローラ28から構
成される搬送機構により、その長手方向へ処理ラインに
沿って搬送される。
FIG. 1 is a schematic structural view of an apparatus for etching a long metal thin plate. An etching line of the etching apparatus of the illustrated example is provided with an unwinding unit 14 for feeding a metal thin plate 12 from a material coil 10 in which a long metal thin plate having a resist film having a predetermined pattern formed on a main surface is wound in a coil shape. A buffer section (dancer roller section) 16 for temporarily accumulating the long metal sheet 12, a re-coating section 18 for performing a corrosion preventing treatment on both sides of the metal sheet 12, and a surface treatment of the metal sheet 12 as a pretreatment for etching. Surface section 2 that performs
0 and an etching unit 22 for supplying an etching solution to the metal sheet 12 to perform an etching process, and these units are arranged in series in a predetermined direction. And the metal thin plate 12 is a main drive roller 24,
The sheet is conveyed along the processing line in the longitudinal direction by a conveying mechanism including a dancer roller 26 and a plurality of conveying rollers 28.

【0016】このエッチングラインにおいて、金属薄板
12に対して所要の処理が施されるように所定の適正搬
送速度で金属薄板12を搬送する必要があるのは、面出
し部20内およびエッチング処理部22内(面出し部2
0の入口以降)であり、巻出し部14から面出し部20
の入口までの区間は、エッチング処理とは関係無く適当
な搬送速度で、例えば装置の最大搬送速度で金属薄板1
2を搬送すればよい。巻出し部14から面出し部20の
入口までの区間の長さは、通常、全長の50%近く(例
えば、金属薄板12の全搬送距離約200mに対し巻出
し部14から面出し部20入口までの搬送距離約100
m)を占めている。
In this etching line, the metal sheet 12 needs to be conveyed at a predetermined appropriate conveyance speed so that the metal sheet 12 can be subjected to a required process. 22 (exposed part 2
0), and the unwinding part 14 to the unwinding part 20
The section up to the entrance of the metal sheet 1 has an appropriate transport speed irrespective of the etching process, for example, at the maximum transport speed of the apparatus.
2 may be transported. The length of the section from the unwinding section 14 to the entrance of the unwinding section 20 is usually close to 50% of the entire length (for example, for the total transport distance of the metal sheet 12 of about 200 m, the unwinding section 14 to the entrance of the unwinding section 20). Transport distance up to 100
m).

【0017】巻出し部14の材料コイル10から金属薄
板12を繰り出してその金属薄板12をエッチングライ
ンへ投入する際には、図2に平面図を、図3に側面図を
それぞれ示すように、金属薄板12の始端側に、幅寸法
が金属薄板12の幅寸法より小さいガイドベルト30
を、接合用フィルム32などによって接続する。そし
て、最初に、ガイドベルト30をその始端からエッチン
グラインへ投入して、ガイドベルト30をエッチングラ
インの全長にわたって配置し、その後に、ガイドベルト
30によって金属薄板12をエッチングラインへ導き入
れるようにする。なお、図1には、実線部分が金属薄板
12を示し、点線部分がガイドベルト30を示してい
る。
When the metal sheet 12 is unwound from the material coil 10 of the unwinding section 14 and the metal sheet 12 is fed into the etching line, a plan view is shown in FIG. 2 and a side view is shown in FIG. A guide belt 30 having a width dimension smaller than the width dimension of the metal sheet 12 is provided on the starting end side of the sheet metal 12.
Are connected by a bonding film 32 or the like. Then, first, the guide belt 30 is fed into the etching line from its start end, and the guide belt 30 is arranged over the entire length of the etching line. Thereafter, the thin metal plate 12 is guided into the etching line by the guide belt 30. . In FIG. 1, a solid line indicates the metal sheet 12 and a dotted line indicates the guide belt 30.

【0018】このエッチング処理装置には、金属薄板1
2およびガイドベルト30の搬送速度を切り替えるため
の機構が設けられている。この速度切替え機構につい
て、図2および図3を参照しながら次に説明する。
The etching apparatus includes a metal sheet 1
2 and a mechanism for switching the transport speed of the guide belt 30 are provided. This speed switching mechanism will be described next with reference to FIGS.

【0019】面出し部20の入口付近の位置に、ガイド
ベルト30によって導かれた長尺の金属薄板12の始端
が通過するのを検知する光検知式センサ34が設置され
ている。センサ34は、金属薄板12の水平搬送面を挾
んで互いに対向するように上下に配置された投光部34
aと受光部34bとから構成され、受光部34bは、ア
ンプ36を経てCPU38に電気接続されている。CP
U38には、入力用操作パネル40およびメモリ42が
接続されている。また、CPU38は、金属薄板12の
搬送速度を制御するコントローラ44に接続されてお
り、コントローラ44は、主駆動ローラ24を駆動させ
るローラ駆動用モータ46に接続されている。
At a position near the entrance of the exposed portion 20, there is provided a light detection type sensor 34 for detecting that the starting end of the long metal sheet 12 guided by the guide belt 30 passes. The sensors 34 are vertically arranged so as to face each other with the horizontal conveying surface of the thin metal plate 12 therebetween.
a and a light receiving section 34b. The light receiving section 34b is electrically connected to the CPU 38 via the amplifier 36. CP
The input operation panel 40 and the memory 42 are connected to U38. Further, the CPU 38 is connected to a controller 44 for controlling the transport speed of the metal sheet 12, and the controller 44 is connected to a roller driving motor 46 for driving the main driving roller 24.

【0020】上記した構成を有するエッチング処理装置
において、ガイドベルト30により長尺の金属薄板12
をエッチングラインへ導いて投入するときは、最初に、
ローラ駆動用モータ46を高速回転、例えば最大速度で
回転駆動させて、主駆動ローラ24を回転させ、ローラ
24によりガイドベルト30を搬送し、ガイドベルト3
0によって金属薄板12をエッチングラインへ導くよう
に搬送する。このようにしてガイドベルト30および金
属薄板12が搬送され、金属薄板12の始端が面出し部
20の入口に到達する(図1に示した状態)と、センサ
34の投光部34aから照射された光が金属薄板12の
始端部分で遮られて受光部34bへ入射しないことによ
り、金属薄板12の始端が面出し部20の入口に到達し
たことが検知される。そして、センサ34の受光部34
bからその検知信号がアンプ36へ送られ、アンプ36
から増幅された検知信号がCPU38へ送られる。CP
U38へ検知信号が入力されると、その検知信号を受け
てCPU38からコントローラ44へ信号が送られ、コ
ントローラ44からローラ駆動用モータ46へ制御信号
が送られて、モータ46の回転速度が低速に切り替えら
れる。そして、主駆動ローラ24により、金属薄板12
に対して面出しおよびエッチングの各処理が適正に施さ
れるように金属薄板12が所定の搬送速度で搬送され
る。以後は、その生産速度で金属薄板12が面出し部2
0内およびエッチング処理部22内を搬送されながら、
金属薄板12に対し面出しおよびエッチングの各処理が
施されていく。このように、このエッチング処理装置で
は、ガイドベルト30および巻出し部14のコイル材料
10から繰り出された金属薄板12の始端側の一部が、
非処理部であるバッファ部16内および再塗布部18内
を高速で搬送されるので、その通過時間が短くなり、金
属薄板12の投入に要する時間が短縮される。
In the etching apparatus having the above-described structure, the elongated metal sheet 12 is
When introducing and introducing into the etching line, first,
The roller driving motor 46 is driven to rotate at high speed, for example, at the maximum speed, to rotate the main drive roller 24, to transport the guide belt 30 by the roller 24, and
By 0, the metal sheet 12 is conveyed so as to be guided to the etching line. In this way, the guide belt 30 and the thin metal plate 12 are conveyed, and when the starting end of the thin metal plate 12 reaches the entrance of the exposed portion 20 (the state shown in FIG. 1), the light is emitted from the light emitting portion 34a of the sensor 34. Since the light which has been blocked by the start end of the thin metal plate 12 and does not enter the light receiving portion 34b, it is detected that the start end of the thin metal plate 12 has reached the entrance of the exposed portion 20. Then, the light receiving section 34 of the sensor 34
b sends the detection signal to the amplifier 36,
Is sent to the CPU 38. CP
When the detection signal is input to U38, the detection signal is received, a signal is transmitted from the CPU 38 to the controller 44, a control signal is transmitted from the controller 44 to the roller driving motor 46, and the rotation speed of the motor 46 is reduced. Can be switched. The main driving roller 24 causes the metal sheet 12
The metal sheet 12 is conveyed at a predetermined conveying speed so that the respective processes of face-out and etching are appropriately performed. Thereafter, the metal sheet 12 is moved to the surfaced portion 2 at the production speed.
0 and the inside of the etching unit 22,
The metal sheet 12 is subjected to surface treatment and etching. As described above, in this etching apparatus, a part of the guide belt 30 and the unwinding portion 14 on the starting end side of the metal sheet 12 unwound from the coil material 10 is
Since the sheet is conveyed at a high speed in the buffer section 16 and the recoating section 18 which are the non-processing sections, the passage time is shortened, and the time required for loading the metal sheet 12 is shortened.

【0021】なお、上記した実施形態では、金属薄板の
エッチング処理装置を例にとって説明したが、この発明
は、エッチング処理装置以外にも、非処理部を有する各
種の長尺薄板の表面処理装置に適用可能である。また、
上記した実施形態では、ラインスタート時における金属
薄板の投入所要時間の短縮化について説明したが、この
発明は、先行条件出し投入時などにおいても、同様の制
御を行うことにより同様の効果が得られる。さらに、上
記した実施形態では、金属薄板の搬送速度を高速から低
速へ切り替えるようにしたが、処理ラインの種類によっ
ては長尺素材の搬送速度を低速から高速へ切り替えるよ
うにしてもよい。
Although the above embodiment has been described by taking an example of an apparatus for etching a thin metal plate, the present invention is applicable not only to an etching apparatus but also to various surface processing apparatuses for a long thin sheet having a non-processing portion. Applicable. Also,
In the above-described embodiment, the shortening of the time required to insert the metal sheet at the time of starting the line has been described. However, the present invention can obtain the same effect by performing the same control also at the time of putting in the preceding condition. . Further, in the above-described embodiment, the transport speed of the metal sheet is switched from high speed to low speed, but the transport speed of the long material may be switched from low speed to high speed depending on the type of the processing line.

【0022】[0022]

【発明の効果】請求項1に係る発明の長尺素材の表面処
理装置を使用すると、長尺の金属薄板などの長尺素材
を、長尺のガイド部材により導いてエッチングラインな
どの処理ラインへ投入する際に、長尺素材の始端が非処
理部を通過し終わるまでの搬送速度と、長尺素材の始端
が非処理部を通過し終わった以後の搬送速度とを切り替
えることができ、例えば、長尺素材の始端が非処理部を
通過し終わるまでの搬送速度を、長尺素材の始端が非処
理部を通過し終わった以後の搬送速度より速くしたとき
は、長尺素材の投入に要する時間を短縮することが可能
となり、処理ラインにおける生産能力を向上させること
ができる。
According to the present invention, a long material such as a long metal sheet is guided by a long guide member to a processing line such as an etching line. When loading, it is possible to switch between the transport speed until the beginning of the long material has passed through the non-processing portion and the transport speed after the beginning of the long material has passed through the non-processing portion, for example, When the transport speed until the start end of the long material has passed through the non-processing section is faster than the transport speed after the start end of the long material has passed through the non-processing section, the feeding of the long material is started. The required time can be shortened, and the production capacity in the processing line can be improved.

【0023】請求項2に係る発明の表面処理装置では、
長尺素材の始端が非処理部を通過し終わるまでの搬送速
度が速くされ、長尺素材の始端が非処理部を通過し終わ
った時点で搬送速度が低速に切り替えられるので、長尺
素材の投入に要する時間が短縮され、処理ラインにおけ
る生産能力が向上することとなる。
In the surface treatment apparatus according to the second aspect of the present invention,
The transfer speed until the start end of the long material has passed through the non-processing section is increased, and the transfer speed is switched to low when the start end of the long material has passed through the non-processing section. The time required for introduction is reduced, and the production capacity in the processing line is improved.

【0024】請求項3に係る発明の表面処理装置では、
長尺素材の表面処理と関係の無いバッファ部内をガイド
部材および長尺素材の一部が搬送されるときの搬送速度
が、長尺素材が表面処理部内を搬送されるときの搬送速
度と変えられ、例えば長尺素材が表面処理部内を搬送さ
れるときの搬送速度より速くされることにより、長尺素
材の投入に要する時間を短縮することが可能となり、処
理ラインにおける生産能力を向上させることができる。
In the surface treatment apparatus of the invention according to claim 3,
The conveyance speed when the guide member and a part of the long material are conveyed in the buffer unit irrelevant to the surface treatment of the long material is changed to the conveyance speed when the long material is conveyed in the surface treatment unit. For example, by making the conveying speed higher when the long material is conveyed in the surface treatment section, it is possible to shorten the time required for feeding the long material and improve the production capacity in the processing line. .

【0025】請求項4に係る発明の表面処理装置では、
非処理部内をガイド部材および長尺の金属薄板の一部が
搬送されるときの搬送速度が、金属薄板がエッチング処
理部内を搬送されてエッチング処理されるときの搬送速
度と変えられ、例えば金属薄板がエッチング処理部内を
搬送されるときの搬送速度より速くされることにより、
エッチングラインへの金属薄板の投入に要する時間を短
縮することが可能となり、エッチングラインにおける生
産能力を向上させることができる。
In the surface treatment apparatus of the invention according to claim 4,
The conveyance speed when the guide member and a part of the long metal sheet are conveyed in the non-processing portion is changed to the conveyance speed when the metal sheet is conveyed in the etching processing portion and subjected to the etching process. Is made faster than the transport speed when transported in the etching processing section,
It is possible to shorten the time required for putting the metal sheet into the etching line, and it is possible to improve the production capacity in the etching line.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】長尺の金属薄板のエッチング処理装置の概略構
成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an apparatus for etching a long metal thin plate.

【図2】金属薄板の始端側とガイドベルトとの接続部分
を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing a connection portion between a starting end side of a thin metal plate and a guide belt.

【図3】金属薄板の始端側とガイドベルトとの接続部分
の側面図と共に、この発明に係るエッチング処理装置の
速度切替え機構の1例のブロック図を示す図である。
FIG. 3 is a block diagram showing an example of a speed switching mechanism of the etching apparatus according to the present invention, together with a side view of a connecting portion between a starting end of a thin metal plate and a guide belt.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 材料コイル 12 長尺の金属薄板 14 巻出し部 16 バッファ部 18 再塗布部 20 面出し部 22 エッチング処理部 24 主駆動ローラ 30 ガイドベルト 34 光検知式センサ 38 CPU 44 コントローラ 46 ローラ駆動用モータ REFERENCE SIGNS LIST 10 material coil 12 long metal thin plate 14 unwinding part 16 buffer part 18 recoating part 20 face-out part 22 etching processing part 24 main drive roller 30 guide belt 34 light detection sensor 38 CPU 44 controller 46 roller driving motor

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の方向において直列に配置された非
処理部と少なくとも1つの表面処理部とで構成される処
理ライン、および、この処理ラインに沿って長尺素材を
その長手方向へ搬送する搬送手段を有し、 前記処理ラインへ前記長尺素材を投入する際に、長尺素
材の始端側に接続された長尺のガイド部材によって長尺
素材を導くようにする長尺素材の表面処理装置におい
て、 前記ガイド部材が前記処理ライン中を搬送されガイド部
材によって導かれた前記長尺素材の始端が前記非処理部
を通過し終わったことを検知する検知手段と、 この検知手段から出力される検知信号により前記搬送手
段を制御して前記長尺素材の搬送速度を切り替える速度
切替え手段と、を有することを特徴とする長尺素材の表
面処理装置。
1. A processing line comprising a non-processing section and at least one surface processing section arranged in series in a predetermined direction, and a long material is conveyed in the longitudinal direction along the processing line. A surface treatment of the long material, which has a conveying means and guides the long material by a long guide member connected to the starting end side of the long material when the long material is charged into the processing line. In the apparatus, detecting means for detecting that the guide member has been conveyed in the processing line and the starting end of the long material guided by the guide member has passed through the non-processing part, and output from the detecting means And a speed switching means for controlling the transport means in accordance with the detection signal to switch the transport speed of the long material.
【請求項2】 ガイド部材によって導かれた長尺素材の
始端が非処理部を通過し終わるまでの長尺素材の搬送速
度が速くされ、長尺素材の始端が非処理部を通過し終わ
ったことが検知手段によって検知された時点で、速度切
替え手段により長尺素材の搬送速度が低速に切り替えら
れる請求項1記載の長尺素材の表面処理装置。
2. The conveying speed of the long material until the starting end of the long material guided by the guide member has passed through the non-processing portion is increased, and the starting end of the long material has passed through the non-processing portion. 2. The long material surface treating apparatus according to claim 1, wherein the speed switching means switches the transport speed of the long material to a low speed at a point in time when the detection is detected by the detecting means.
【請求項3】 非処理部が、長尺素材を蓄積するバッフ
ァ部を有する請求項1または請求項2記載の長尺素材の
表面処理装置。
3. The surface treating apparatus for a long material according to claim 1, wherein the non-processing unit has a buffer unit for storing the long material.
【請求項4】 表面処理部が、主面に所定のパターンを
有するレジスト膜が形成された金属薄板からなる長尺素
材にエッチング液を供給してエッチング処理するエッチ
ング処理部である請求項1ないし請求項3のいずれかに
記載の長尺素材の表面処理装置。
4. The etching unit according to claim 1, wherein the surface treatment unit performs an etching process by supplying an etching solution to a long material made of a thin metal plate having a resist film having a predetermined pattern formed on a main surface thereof. The surface treatment device for a long material according to claim 3.
JP15747697A 1997-05-30 1997-05-30 Surface treatment device for long size stock Pending JPH10330968A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15747697A JPH10330968A (en) 1997-05-30 1997-05-30 Surface treatment device for long size stock

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15747697A JPH10330968A (en) 1997-05-30 1997-05-30 Surface treatment device for long size stock

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10330968A true JPH10330968A (en) 1998-12-15

Family

ID=15650523

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15747697A Pending JPH10330968A (en) 1997-05-30 1997-05-30 Surface treatment device for long size stock

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10330968A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008127655A (en) * 2006-11-22 2008-06-05 Shinko Electric Ind Co Ltd Carrier and method for treating workpiece

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008127655A (en) * 2006-11-22 2008-06-05 Shinko Electric Ind Co Ltd Carrier and method for treating workpiece

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007242833A (en) Substrate traeting apparatus
JP2000118678A (en) Board carrying conveyor
JP2008266016A (en) Non-tension roll-to-roll device and material transfer method using this device
JPH10330968A (en) Surface treatment device for long size stock
JP3672028B2 (en) Strip workpiece exposure system
JP6447487B2 (en) Plating equipment
JPH10284379A (en) Method and system for treating substrate
KR101902257B1 (en) The Device for Material Double ALD Vacuum Evaporation using Roll to Roll
JPS59187836A (en) Supplier for rubber-covered steel cord strip
KR102080762B1 (en) Speed Buffer, In-Line Type Substrate Processing System and Controlling Method Therefor
JP2005026554A (en) Substrate processing method and apparatus
JPH0985338A (en) Stable passing method of steel strip
CN210527790U (en) Conveying belt
JPS596317A (en) Continuous induction heater for axial object having heating unnecessary part
JP7402141B2 (en) Processing furnace
JP4593908B2 (en) Substrate processing equipment with processing liquid
KR20010060713A (en) Method for controlling the side-guide in rolling machine
JP3200919B2 (en) Vacuum differential pressure sealing device
JPH0539529A (en) Method for controlling and preventing meandering in strip heat treatment furnace
JPH1021764A (en) Automatic working device for electric cable
JPH07277565A (en) Controller for paper processing machine
JPH04164712A (en) Work transport method for printed wiring board manufacturing line
JPH11338066A (en) Printing processing device
JPH11228033A (en) Intermediate paper feeding device and method for controlling thereof
JP2004010226A (en) Substrate feeding device and conveyance type substrate processing facility