JPH10323064A - Fine positioning actuator - Google Patents
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- JPH10323064A JPH10323064A JP9137742A JP13774297A JPH10323064A JP H10323064 A JPH10323064 A JP H10323064A JP 9137742 A JP9137742 A JP 9137742A JP 13774297 A JP13774297 A JP 13774297A JP H10323064 A JPH10323064 A JP H10323064A
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、微小位置決めアク
チュエータに係り、さらに詳しくは、微小位置決めを行
う際、Ｘ−Ｙ方向での微小位置決めを自在とすることに
より位置決め精度を向上させ、同時に周辺部品に対し磁
気的な悪影響を及ぼさないようにした固体素子型の微小
位置決めアクチュエータに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a micro-positioning actuator, and more particularly, to fine positioning in the X-Y direction when fine positioning is performed, thereby improving positioning accuracy and, at the same time, improving peripheral components. The present invention relates to a solid-element-type minute positioning actuator which does not adversely affect the magnetic field.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、精密加工などの分野においては、
サブミクロンのオーダで微小位置決めを行う微小位置決
めアクチュエータに対する需要が増大しており、特にア
クチュエータ自体の微小化という点から電気式のものに
対する需要の伸びが著しい。2. Description of the Related Art In recent years, in fields such as precision processing,
The demand for minute positioning actuators that perform minute positioning on the order of submicrons is increasing, and in particular, the demand for electric actuators is remarkably growing in terms of miniaturization of the actuators themselves.
【０００３】図３は、従来からある微小位置決めアクチ
ュエータの一例を示す説明図である。この微小位置決め
アクチュエータは、ステップモータ８に直結された送り
ネジ９に送りナット１０を螺合させ、この送りナット１
０にテーブル１１を固定させた構造としたものである。
この場合、ステップモータ８の回転運動は、送りネジ９
と送りナット１０との螺合によって直進運動に変換さ
れ、ステップモータ８への入力パルスに応じてテーブル
１１を移動させることができるようになっている。FIG. 3 is an explanatory view showing an example of a conventional fine positioning actuator. This fine positioning actuator screwes a feed nut 10 into a feed screw 9 directly connected to a step motor 8, and the feed nut 1
This is a structure in which the table 11 is fixed to 0.
In this case, the rotation of the step motor 8 is controlled by the feed screw 9.
The movement is converted into a linear motion by screwing with the feed nut 10, and the table 11 can be moved according to an input pulse to the step motor 8.
【０００４】しかし、上記微小位置決めアクチュエータ
は、構造が複雑で小型化が困難である。また、送りネジ
９や送りナット１０の加工精度に伴うバックラッシュが
最後まで位置決め誤差として残ってしまう。また、ネジ
ピッチの微小化には限界があるので、精度の高い微小位
置決めは期待できない。また、移動範囲の狭いプローブ
の微小位置決めには、適用できない。However, the minute positioning actuator has a complicated structure and is difficult to miniaturize. In addition, backlash accompanying the processing accuracy of the feed screw 9 and the feed nut 10 remains as a positioning error to the end. In addition, since there is a limit to miniaturization of the screw pitch, it is not possible to expect high-precision fine positioning. Further, it cannot be applied to fine positioning of a probe having a narrow moving range.
【０００５】図４は、従来からある微小位置決めアクチ
ュエータの他例を示す説明図である。この微小位置決め
アクチュエータは、端部にプローブ孔１２を有するスラ
イダ１３に直結され、かつバネ１８で付勢された空心型
可動コイル１４を、固定鉄心１５と永久磁石１６とで形
成される磁気回路１７内にフリーな状態で設け、空心型
可動コイル１４に流れる電流に応じてスライダ１３を移
動させる構造としたものである。FIG. 4 is an explanatory view showing another example of a conventional fine positioning actuator. This micro-positioning actuator directly connects an air-core movable coil 14, which is directly connected to a slider 13 having a probe hole 12 at an end and is urged by a spring 18, to a magnetic circuit 17 formed by a fixed iron core 15 and a permanent magnet 16. The slider 13 is provided in a free state, and the slider 13 is moved in accordance with a current flowing through the air-core type movable coil 14.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、図４に示す
微小位置決めアクチュエータによれば、移動範囲の狭い
プローブの微小位置決めを容易に行うことはできる。According to the micro-positioning actuator shown in FIG. 4, micro-positioning of a probe having a narrow moving range can be easily performed.
【０００７】しかし、この微小位置決めアクチュエータ
においては、直進移動のみによる微小位置決めであるた
め、Ｘ−Ｙ方向の微小位置決めができないという問題が
あった。また、永久磁石などの磁界を完全に遮蔽するこ
とが困難であるので、ＩＣなどの検査実装部品に磁気的
悪影響を及ぼすという問題があった。また、空心型可動
コイルが可動を前提とし、保持が不充分であるので、バ
ックラッシュによる微小位置決め精度の低下をきたすと
いう問題があった。また、機械的構造からしてもアクチ
ュエータ自体を極端に微小化することは困難であるとい
う問題もあった。However, in this fine positioning actuator, there is a problem that fine positioning in the X-Y direction cannot be performed because the fine positioning is performed only by linear movement. In addition, since it is difficult to completely shield a magnetic field of a permanent magnet or the like, there is a problem that a magnetically adverse effect is exerted on an inspection mounting component such as an IC. In addition, since the air-core type movable coil is assumed to be movable and is insufficiently held, there is a problem that the minute positioning accuracy is reduced due to backlash. Also, there is a problem that it is difficult to extremely miniaturize the actuator itself even from the mechanical structure.
【０００８】本発明は従来技術の上記課題に鑑みてなさ
れたものであり、その目的は、微小位置決めを行う際、
Ｘ−Ｙ方向での微小位置決めを自在として精度を向上さ
せることができるほか、周辺部品に対し磁気的な悪影響
を及ぼすこともなくすることができる固体素子型の微小
位置決めアクチュエータを提供することにある。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to perform fine positioning.
An object of the present invention is to provide a solid-element-type minute positioning actuator which can improve accuracy by freely performing minute positioning in the X-Y direction and can also eliminate adverse magnetic effects on peripheral components. .
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
しようとするものであり、その構成上の特徴は、微小位
置決めアクチュエータにおいて、Ｘ方向に伸縮可能な変
位蓄積用の圧電素子と、この変位蓄積用の圧電素子の両
側に接合部を介して接着されるＹ方向に伸縮可能な保持
用の圧電素子とを備えたＸ方向リニアアクチュエータ
を、Ｘ方向に延びる溝内にＸ方向への移動を可能に設
け、Ｙ方向に伸縮可能な変位蓄積用の圧電素子と、この
変位蓄積用の圧電素子の両側に接合部を介して接着され
るＸ方向に伸縮可能な保持用の圧電素子と、微小位置決
めすべき対象物を保持する保持部とを備えたＹ方向リニ
アアクチュエータを、前記Ｘ方向リニアアクチュエータ
内にＹ方向への移動を可能に収納したことにある。な
お、前記保持用の圧電素子と変位蓄積用の圧電素子と
は、圧電ディスクを多数貼り合わせた積層構造とするの
が望ましい。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made to achieve the above object, and its structural features include a displacement accumulating piezoelectric element which can expand and contract in the X direction in a minute positioning actuator. An X-direction linear actuator having a Y-direction expandable and contractable holding piezoelectric element adhered to both sides of a displacement accumulation piezoelectric element via a joint portion in an X-direction groove is moved in an X-direction groove. And a piezoelectric element for displacement accumulation that can expand and contract in the Y direction, and a holding piezoelectric element that can expand and contract in the X direction that is bonded to both sides of the piezoelectric element for displacement accumulation via bonding portions, A Y-direction linear actuator including a holding portion for holding an object to be minutely positioned is housed in the X-direction linear actuator so as to be movable in the Y direction. It is desirable that the holding piezoelectric element and the displacement accumulating piezoelectric element have a laminated structure in which a large number of piezoelectric disks are bonded.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】図１は、本発明についての実施の
形態を具現化した微小位置決めアクチュエータを示す説
明図である。この微小位置決めアクチュエータは、イン
サーキットテスタなどの基板検査装置のプローブをＸ−
Ｙ方向に移動させてＸ−Ｙ方向の微小位置決めを行う際
に好適に使用することができる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is an explanatory view showing a minute positioning actuator which embodies an embodiment of the present invention. This micro-positioning actuator connects a probe of a board inspection device such as an in-circuit tester with an X-
It can be suitably used when performing fine positioning in the XY direction by moving in the Y direction.
【００１１】すなわち、微小位置決めアクチュエータ
は、Ｘ方向に延びる溝１内にＸ方向リニアアクチュエー
タ２をＸ方向への移動を可能に設け、このＸ方向リニア
アクチュエータ２内にＹ方向リニアアクチュエータ３を
Ｙ方向への移動を可能に収納することによりその全体が
構成されている。That is, in the micro-positioning actuator, an X-direction linear actuator 2 is provided in a groove 1 extending in the X-direction so as to be movable in the X-direction. The whole is configured by being housed so that it can be moved to.
【００１２】このうち、Ｘ方向リニアアクチュエータ２
は、対称構造で中心位置にＹ方向リニアアクチュエータ
３用の収納部４を有し、この収納部４の両側には、Ｘ方
向に伸縮可能な変位蓄積用の圧電素子Ａがそれぞれ接着
され、伸縮により変位の蓄積と放出とを行う機能を有す
る。変位蓄積用の圧電素子Ａの端部には、Ｙ方向に伸縮
可能な保持用の圧電素子Ｂ，Ｃが接合部７を介してそれ
ぞれ接着され、伸縮により溝１に対し保持状態とフリー
状態とを得る機能を有する。Among them, the X-direction linear actuator 2
Has a storage portion 4 for the Y-direction linear actuator 3 at a central position in a symmetrical structure, and a piezoelectric element A for displacement accumulation that can expand and contract in the X direction is bonded to both sides of the storage portion 4, respectively. Has the function of accumulating and releasing displacement. At the end of the displacement accumulating piezoelectric element A, holding piezoelectric elements B and C, which can expand and contract in the Y direction, are respectively bonded via joints 7, so that the holding and free states of the groove 1 are changed by the expansion and contraction. Has the function of obtaining
【００１３】また、Ｙ方向リニアアクチュエータ３は、
対称構造で中心位置に微小位置決めすべき対象物である
例えばプローブなどをスライド可能に保持する保持孔５
を備える保持部６を有し、この保持部６の両側には、Ｙ
方向に伸縮可能な変位蓄積用の圧電素子Ａがそれぞれ接
着され、これらの圧電素子Ａの端部には、Ｘ方向に伸縮
可能な保持用の圧電素子Ｂ，Ｃが接合部７を介してそれ
ぞれ接着され、伸びによって収納部４に対し保持される
構造となっている。圧電素子Ａ，Ｂ，Ｃは、圧電ディス
クを多数貼り合わせて積層構造としたものを好適に用い
ることができる。Further, the Y-direction linear actuator 3
A holding hole 5 that slidably holds an object to be minutely positioned at the center position, such as a probe, in a symmetric structure.
And a holding portion 6 provided with
Displacement accumulating piezoelectric elements A that can expand and contract in the X direction are bonded to each other, and holding piezoelectric elements B and C that can expand and contract in the X direction are respectively connected to the ends of these piezoelectric elements A via the joints 7. It has a structure in which it is adhered and held to the storage part 4 by elongation. As the piezoelectric elements A, B, and C, those having a laminated structure formed by bonding a large number of piezoelectric disks can be suitably used.
【００１４】次に、本発明に係る微小位置決めアクチュ
エータの動作を説明する。図２（ａ）〜（Ｅ）は、微小
位置決めアクチュエータの動作を示す工程図である。
（ａ）に示すように、初期状態では、保持用の圧電素子
Ｂ，Ｃおよび変位蓄積用の圧電素子Ａは、伸びきった状
態にあり、保持用の圧電素子Ｂ，Ｃの位置は、伸びが溝
１により拘束されて発生する圧力で保持されている。Next, the operation of the minute positioning actuator according to the present invention will be described. 2A to 2E are process diagrams showing the operation of the fine positioning actuator.
As shown in (a), in the initial state, the holding piezoelectric elements B and C and the displacement accumulating piezoelectric element A are in the fully extended state, and the positions of the holding piezoelectric elements B and C are in the extended state. Is held by the pressure generated by being restrained by the groove 1.
【００１５】Ｘ方向リニアアクチュエータ２をＸ方向に
移動させる場合、まず、（ｂ）に示すように、保持用の
圧電素子Ｂを短縮させると、保持用の圧電素子Ｂは、フ
リー状態となる。次に、（ｃ）に示すように、変位蓄積
用の圧電素子Ａを短縮させると、保持用の圧電素子Ｂが
移動し、変位蓄積用の圧電素子Ａの縮みきった位置で停
止する。When the X-direction linear actuator 2 is moved in the X-direction, first, as shown in (b), when the holding piezoelectric element B is shortened, the holding piezoelectric element B enters a free state. Next, as shown in (c), when the displacement accumulating piezoelectric element A is shortened, the holding piezoelectric element B moves and stops at the position where the displacement accumulating piezoelectric element A is completely contracted.
【００１６】次に、（ｄ）に示すように、保持用の圧電
素子Ｂを伸長させ、その後、保持用の圧電素子Ｃを短縮
させると、保持用の圧電素子Ｂの位置が保持され、保持
用の圧電素子Ｃはフリーな状態となる。次に、（ｅ）に
示すように、変位蓄積用の圧電素子Ａを伸長させ、その
後、保持用の圧電素子Ｃを伸長させると、保持用の圧電
素子Ｃが移動し、圧電素子Ａの伸びきった位置で保持さ
れる。その結果、Ｘ方向リニアアクチュエータ２は、微
小距離Ｈだけ移動し、以上の工程を１ステップとし、こ
れを反復させることにより、Ｘ方向に微小距離Ｈ分のス
トロークずつ移動させることができることになる。な
お、Ｙ方向リニアアクチュエータ３もＸ方向リニアアク
チュエータ２と同様にして構成されているので、Ｘ方向
リニアアクチュエータ２の動作と同様にしてＹ方向での
微小距離の移動が可能となる。Next, as shown in (d), when the holding piezoelectric element B is extended and then the holding piezoelectric element C is shortened, the position of the holding piezoelectric element B is held, and the holding piezoelectric element B is held. Piezoelectric element C is in a free state. Next, as shown in (e), when the piezoelectric element A for accumulating displacement is extended, and then the piezoelectric element C for holding is extended, the piezoelectric element C for holding moves and the extension of the piezoelectric element A is extended. It will be held in the right position. As a result, the X-direction linear actuator 2 moves by the minute distance H, and the above-described steps are made into one step, and by repeating these steps, the X-direction linear actuator 2 can be moved by a stroke of the minute distance H in the X direction. Since the Y-direction linear actuator 3 is also configured in the same manner as the X-direction linear actuator 2, it is possible to move a small distance in the Y-direction in the same manner as the operation of the X-direction linear actuator 2.
【００１７】したがって、保持孔５を介して保持部６に
保持させた微小位置決めすべきプローブなどの対象物
は、Ｘ−Ｙ方向に微小距離を１ストロークとして移動さ
せることができるので、Ｘ−Ｙ方向の微小位置決めによ
り、微小位置決め精度を向上させることができる。Therefore, an object such as a probe to be finely positioned and held by the holding portion 6 through the holding hole 5 can be moved in the XY direction with a small distance as one stroke, and thus the XY direction can be achieved. The fine positioning in the direction can improve the fine positioning accuracy.
【００１８】また、Ｘ方向リニアアクチュエータ２およ
びＹ方向リニアアクチュエータ３は、圧電素子Ａ，Ｂ，
Ｃで構成されているので、ＩＣなどの検査実装部品に磁
気的悪影響を与えることもなくすることができる。さら
に、Ｘ方向リニアアクチュエータ２およびＹ方向リニア
アクチュエータ３は、ステップごとに圧電素子Ａ，Ｂ，
Ｃの伸縮により移動させる構造としたので、移動ピッチ
を微小化することができる。しかも、Ｘ方向リニアアク
チュエータ２およびＹ方向リニアアクチュエータ３は、
ステップごとに保持用の圧電素子Ｂ，Ｃで保持する構造
としたので、保持性に優れ、機械的構造によるバックラ
ッシュをなくすことができる。また、微小位置決めアク
チュエータを固体素子型のアクチュエータとしたので、
アクチュエータ自体の微小化を図ることができる。ま
た、圧電素子Ａ，Ｂ，Ｃは、圧電ディスクを多数貼り合
わせて積層構造としたので、応答性に優れ、大きい保持
力が得られる。The X-direction linear actuator 2 and the Y-direction linear actuator 3 are composed of piezoelectric elements A, B,
Since it is composed of C, it is possible to prevent a magnetically adverse effect on the inspection mounting component such as an IC. Further, the X-direction linear actuator 2 and the Y-direction linear actuator 3 include the piezoelectric elements A, B,
Since the movement is performed by the expansion and contraction of C, the movement pitch can be reduced. Moreover, the X-direction linear actuator 2 and the Y-direction linear actuator 3
Since the holding elements are held by the holding piezoelectric elements B and C for each step, the holding properties are excellent, and the backlash due to the mechanical structure can be eliminated. Also, since the micro-positioning actuator is a solid-state actuator,
The actuator itself can be miniaturized. Further, since the piezoelectric elements A, B, and C have a laminated structure in which a large number of piezoelectric disks are bonded, excellent responsiveness and a large holding force can be obtained.
【００１９】なお、本明細書における保持用の圧電素子
Ｂ，Ｃおよび変位蓄積用の圧電素子Ａには、電歪素子を
用いて形成されているものも含むものとする。また、ト
ンネル効果を利用して分子構造の解析を行う装置のプロ
ーブの微小位置決めに本発明を適用することもできる。It is to be noted that the holding piezoelectric elements B and C and the displacement accumulating piezoelectric element A in this specification include those formed using electrostrictive elements. Further, the present invention can be applied to fine positioning of a probe of an apparatus for analyzing a molecular structure using a tunnel effect.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上述べたように、請求項１記載の発明
によれば、微小位置決めアクチュエータにおいて、Ｘ方
向に延びる溝内に固定素子型のＸ方向リニアアクチュエ
ータをＸ方向への移動を可能に設け、このＸ方向リニア
アクチュエータ内に固定素子型のＹ方向リニアアクチュ
エータをＹ方向への移動を可能に収納した構造となって
いるので、プローブなどのような微小位置決めすべき対
象物をＸ−Ｙ方向に移動させ、Ｘ−Ｙ方向の微小位置決
めにより、微小位置決め精度を向上させることができ
る。As described above, according to the first aspect of the present invention, in the minute positioning actuator, the fixed element type X-direction linear actuator can be moved in the X-direction in the groove extending in the X-direction. A fixed element type Y-direction linear actuator is accommodated in the X-direction linear actuator so as to be movable in the Y-direction. In the X and Y directions to improve the fine positioning accuracy.
【００２１】また、Ｘ方向リニアアクチュエータおよび
Ｙ方向リニアアクチュエータを圧電素子で構成したの
で、周辺部品に磁気的悪影響を与えることをなくするこ
とができる。また、Ｘ方向リニアアクチュエータおよび
Ｙ方向リニアアクチュエータをステップごとに変位蓄積
用の圧電素子および保持用の圧電素子により移動させる
構造としたので、移動ピッチを微小化させることができ
る。また、Ｘ方向リニアアクチュエータおよびＹ方向リ
ニアアクチュエータをステップごとに保持用の圧電素子
で保持する構造としたので、保持性に優れ、機械的構造
によるバックラッシュをなくすことができる。微小位置
決めアクチュエータを固体素子型のアクチュエータとし
たので、アクチュエータ自体の微小化を図ることもでき
る。Further, since the X-direction linear actuator and the Y-direction linear actuator are constituted by the piezoelectric elements, it is possible to prevent the peripheral components from being adversely affected by magnetic fields. In addition, since the X-direction linear actuator and the Y-direction linear actuator are moved by the displacement accumulating piezoelectric element and the holding piezoelectric element for each step, the moving pitch can be reduced. Further, since the X-direction linear actuator and the Y-direction linear actuator are held by the holding piezoelectric element for each step, the holding properties are excellent, and the backlash due to the mechanical structure can be eliminated. Since the micro-positioning actuator is a solid-element type actuator, the actuator itself can be miniaturized.
【００２２】なお、請求項２記載の発明によれば、請求
項１記載の微小位置決めアクチュエータにおいて、前記
保持用の圧電素子および変位蓄積用の圧電素子は、圧電
ディスクを多数貼り合わせた積層構造となっているの
で、応答性に優れ、かつ、大きな保持力を得ることもで
きる。According to the second aspect of the present invention, in the micro-positioning actuator according to the first aspect, the holding piezoelectric element and the displacement accumulating piezoelectric element have a laminated structure in which a large number of piezoelectric disks are bonded. As a result, excellent responsiveness and a large holding force can be obtained.
【図１】本発明の実施の形態を具現化した微小位置決め
アクチュエータを示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a micro-positioning actuator embodying an embodiment of the present invention.
【図２】微小位置決めアクチュエータの動作を示す工程
図であり、（ａ）は全ての圧電素子が伸びきった初期状
態を、（ｂ）は左の保持用の圧電素子を短縮させた時の
状態を、（ｃ）は変位蓄積用の圧電素子を短縮させた時
の状態を、（ｄ）は左の保持用の圧電素子を伸長させ、
その後、右の保持用の圧電素子を短縮させた時の状態
を、（ｅ）は変位蓄積用の圧電素子を伸長させ、その
後、右の保持用の圧電素子を伸長させた時の終期状態を
それぞれ示す。FIGS. 2A and 2B are process diagrams showing the operation of a micro-positioning actuator, wherein FIG. 2A shows an initial state in which all piezoelectric elements are fully extended, and FIG. 2B shows a state in which the left holding piezoelectric element is shortened. (C) shows the state when the displacement accumulating piezoelectric element is shortened, (d) elongates the left holding piezoelectric element,
Thereafter, the state when the right holding piezoelectric element is shortened is shown. (E) is the end state when the displacement accumulating piezoelectric element is expanded and then the right holding piezoelectric element is expanded. Shown respectively.
【図３】従来からある微小位置決めアクチュエータの一
例を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory view showing an example of a conventional minute positioning actuator.
【図４】従来からある微小位置決めアクチュエータの他
例を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory view showing another example of a conventional minute positioning actuator.
１ 溝 ２ Ｘ方向リニアアクチュエータ ３ Ｙ方向リニアアクチュエータ ４ 収納部 ５ 保持孔 ６ 保持部 ７ 接合部 ８ ステップモータ ９ 送りネジ １０ 送りナット １１ テーブル １２ プローブ保持孔 １３ スライダ １４ 空心型可動コイル １５ 固定鉄心 １６ 永久磁石 １７ 磁気回路 １８ バネ Ａ 変位蓄積用の圧電素子 Ｂ 保持用の圧電素子 Ｃ 保持用の圧電素子 Ｈ 微小距離 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Groove 2 X direction linear actuator 3 Y direction linear actuator 4 Storage part 5 Holding hole 6 Holding part 7 Joining part 8 Step motor 9 Feed screw 10 Feed nut 11 Table 12 Probe holding hole 13 Slider 14 Air-core type movable coil 15 Fixed iron core 16 Permanent magnet 17 Magnetic circuit 18 Spring A Piezoelectric element for displacement accumulation B Piezoelectric element for holding C Piezoelectric element for holding H Minute distance
Claims (2)
と、この変位蓄積用の圧電素子の両側に接合部を介して
接着されるＹ方向に伸縮可能な保持用の圧電素子とを備
えたＸ方向リニアアクチュエータを、Ｘ方向に延びる溝
内にＸ方向への移動を可能に設け、Ｙ方向に伸縮可能な
変位蓄積用の圧電素子と、この変位蓄積用の圧電素子の
両側に接合部を介して接着されるＸ方向に伸縮可能な保
持用の圧電素子と、微小位置決めすべき対象物を保持す
る保持部とを備えたＹ方向リニアアクチュエータを、前
記Ｘ方向リニアアクチュエータ内にＹ方向への移動を可
能に収納したことを特徴とする微小位置決めアクチュエ
ータ。1. A displacement accumulating piezoelectric element that can expand and contract in the X direction, and a holding piezoelectric element that can expand and contract in the Y direction bonded to both sides of the displacement accumulating piezoelectric element via bonding portions. The X-direction linear actuator provided is provided in a groove extending in the X-direction so as to be movable in the X-direction, and is joined to both sides of the displacement-accumulating piezoelectric element which can expand and contract in the Y-direction, and the displacement-accumulating piezoelectric element. A Y-direction linear actuator including a holding piezoelectric element that can be expanded and contracted in the X direction and a holding section that holds an object to be minutely positioned is bonded to the X-direction linear actuator in the Y direction. A micro-positioning actuator characterized by being housed so that it can be moved to a position.
素子とは、圧電ディスクを多数貼り合わせて積層構造と
したことを特徴とする請求項１記載の微小位置決めアク
チュエータ。2. The micro-positioning actuator according to claim 1, wherein the holding piezoelectric element and the displacement accumulating piezoelectric element have a laminated structure by bonding a large number of piezoelectric disks.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9137742A JPH10323064A (en) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | Fine positioning actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9137742A JPH10323064A (en) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | Fine positioning actuator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10323064A true JPH10323064A (en) | 1998-12-04 |
Family
ID=15205776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9137742A Pending JPH10323064A (en) | 1997-05-13 | 1997-05-13 | Fine positioning actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10323064A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100924096B1 (en) | 2007-11-20 | 2009-11-02 | 전자부품연구원 | Piezoelcetric device for piezoelcetric linear actuator |
| CN103326616A (en) * | 2013-05-28 | 2013-09-25 | 西安交通大学 | Large-step long-inchworm-type actuator |
| TWI722376B (en) * | 2018-01-30 | 2021-03-21 | 日商新川股份有限公司 | Actuator and wire bonding device |
-
1997
- 1997-05-13 JP JP9137742A patent/JPH10323064A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100924096B1 (en) | 2007-11-20 | 2009-11-02 | 전자부품연구원 | Piezoelcetric device for piezoelcetric linear actuator |
| CN103326616A (en) * | 2013-05-28 | 2013-09-25 | 西安交通大学 | Large-step long-inchworm-type actuator |
| TWI722376B (en) * | 2018-01-30 | 2021-03-21 | 日商新川股份有限公司 | Actuator and wire bonding device |
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Legal Events
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