JP5064955B2 - Fine movement stage, fine movement actuator device, and magnetic head inspection device - Google Patents

Fine movement stage, fine movement actuator device, and magnetic head inspection device Download PDF

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Description

本発明は、微動ステージ装置、及び、微動ステージを用いた微粗動アクチュエータ装置、及び、磁気ヘッド検査装置に関するものである。   The present invention relates to a fine movement stage device, a fine coarse movement actuator device using a fine movement stage, and a magnetic head inspection device.

磁気ディスク装置の部品である磁気ヘッドを検査するために磁気ヘッド検査装置が用いられる。磁気ヘッド検査装置は、典型的には、円板と円板を回転させる回転装置と検査対象の磁気ヘッドを円板に対して駆動する駆動装置を有する。この駆動装置は、磁気ヘッドを円板上に正確に位置決めするように構成されている。   A magnetic head inspection device is used to inspect a magnetic head that is a component of a magnetic disk device. The magnetic head inspection apparatus typically includes a disk, a rotating device that rotates the disk, and a drive device that drives the magnetic head to be inspected with respect to the disk. This drive device is configured to accurately position the magnetic head on the disk.

近年、磁気ディスク装置では、高記録密度化が進み、それに伴い、トラック幅が極めて狭くなっている。従って、磁気ヘッド検査装置において、磁気ヘッドの円板に対する位置決め精度を高くする必要性が生じている。   In recent years, in the magnetic disk device, the recording density has been increased, and accordingly, the track width has become extremely narrow. Therefore, in the magnetic head inspection apparatus, it is necessary to increase the positioning accuracy of the magnetic head with respect to the disk.

磁気ヘッド検査装置に用いられる駆動装置としては、例えば、特開平１１−２７１４７９公報（特許文献１）に記載された微動ステージ装置を用いることができる。
特開平１１−２７１４７９号公報 As a driving device used in the magnetic head inspection device, for example, a fine movement stage device described in Japanese Patent Laid-Open No. 11-271479 (Patent Document 1) can be used.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-271479

特開平１１−２７１４７９公報（特許文献１）に記載された微動ステージ装置では、ステージは、折り曲げバネによって基体に支持されている。このような構造では、磁気ヘッドの検査精度及び検査能率を高めるために、ステージの固有振動数を高くする必要がある。ステージの固有振動数を高くするには、折り曲げバネの微動方向に対する剛性を高くすればよい。   In the fine movement stage device described in Japanese Patent Laid-Open No. 11-271479 (Patent Document 1), the stage is supported on the base by a bending spring. In such a structure, it is necessary to increase the natural frequency of the stage in order to increase the inspection accuracy and inspection efficiency of the magnetic head. In order to increase the natural frequency of the stage, the rigidity of the bending spring in the fine movement direction may be increased.

しかしながら、折り曲げバネの剛性を高くすると、ステージを移動させるための駆動力を増加させる必要がある。更に、ステージを移動させた場合に折り曲げバネに発生する応力が大きくなる。折り曲げバネの最大許容応力は、折り曲げバネを形成する材料により定まった一定値である。従って、従来の微動ステージ装置ではステージの固有振動数を高くすることが困難であった。   However, when the rigidity of the bending spring is increased, it is necessary to increase the driving force for moving the stage. Furthermore, when the stage is moved, the stress generated in the bending spring increases. The maximum allowable stress of the bending spring is a constant value determined by the material forming the bending spring. Therefore, it is difficult to increase the natural frequency of the stage in the conventional fine movement stage device.

本発明の目的は、微動ステージ装置において、ステージの固有振動数を高くすることができる機構を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a mechanism capable of increasing the natural frequency of a stage in a fine movement stage device.

本発明の微動ステージ装置は、基体と、該基体に対して相対的に可動なステージと、該ステージを前記基体に対して弾性的に支持する弾性支持部材と、を有する。   The fine movement stage device of the present invention includes a base, a stage that is relatively movable with respect to the base, and an elastic support member that elastically supports the stage with respect to the base.

弾性支持部材は、前記ステージの移動方向に沿って伸縮するように配置され、前記ステージの移動方向に沿って延びる前記ステージの２つの側面の各々に沿って直列に配置されている。   The elastic support members are arranged so as to expand and contract along the moving direction of the stage, and are arranged in series along each of the two side surfaces of the stage extending along the moving direction of the stage.

本発明によると、微動ステージ装置において、ステージの固有振動数を高くすることができる。   According to the present invention, in the fine movement stage device, the natural frequency of the stage can be increased.

以下、本発明の複数の実施形態について図を用いて説明する。各実施形態図における同一符号は同一物または相当物を示す。   Hereinafter, a plurality of embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The same reference numerals in the respective embodiments indicate the same or equivalent.

図１を参照して、本発明の微動ステージ装置の第１の例を説明する。本例の微動ステージ装置は、ステージ１と基材２とピエゾ素子３とを有する。基材２には孔２ａが形成され、この孔２ａにステージ１が配置されており、ステージ１は基材２に対して相対的に可動である。ピエゾ素子３は、ステージ１と基材２の間に配置されており、ピエゾ素子３を駆動することにより、ステージ１は基材２に対して矢印Ｍにて示す方向に移動する。図示のように基材２の長手方向に沿ってＸ軸、幅方向に沿ってＹ軸、厚さ方向に沿ってＺ軸をとる。ステージ１の移動方向はＸ軸方向である。   A first example of the fine movement stage device of the present invention will be described with reference to FIG. The fine movement stage apparatus of this example includes a stage 1, a base material 2, and a piezo element 3. A hole 2 a is formed in the base material 2, and a stage 1 is disposed in the hole 2 a, and the stage 1 is relatively movable with respect to the base material 2. The piezo element 3 is disposed between the stage 1 and the substrate 2, and the stage 1 moves in the direction indicated by the arrow M with respect to the substrate 2 by driving the piezo element 3. As shown, the X axis is taken along the longitudinal direction of the substrate 2, the Y axis is taken along the width direction, and the Z axis is taken along the thickness direction. The moving direction of the stage 1 is the X-axis direction.

ステージ１は矩形の本体１ａとその両側の突起部１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅからなる。突起部１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅは、ステージ１のＸ軸方向に沿って延びる２つの側面の各々に２個、合計４個設けられている。各突起部は、Ｙ軸方向に延びる互いに平行な２つの側面と、先端のＸ軸方向に延びる端面を有する。   The stage 1 includes a rectangular main body 1a and projecting portions 1b, 1c, 1d, and 1e on both sides thereof. Two protrusions 1b, 1c, 1d, and 1e are provided on each of two side surfaces extending along the X-axis direction of the stage 1, for a total of four. Each protrusion has two parallel side surfaces extending in the Y-axis direction, and an end surface extending in the X-axis direction at the tip.

本例によると、ステージ１の突起部１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅの２つの側面は、弾性支持部４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇ、４ｈによって基材２に接続されている。即ち、ステージ１の突起部１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅの各々は、両側の２つの弾性支持部４ａ及び４ｂ、４ｃ及び４ｄ、４ｅ及び４ｆ、４ｇ及び４ｈに挟まれて支持されている。こうして、ステージ１は、８個の弾性支持部によって、基材１に支持されている。弾性支持部は、弾性変形可能な支持部材であればどのようなものであってもよく、バネ、ゴム、等によって構成されてよい。しかしながら、本例及び以下の例では、弾性支持部は、折り曲げバネであるものとして説明する。折り曲げバネは、薄い板材を折り曲げて形成されたものであり、例えば、金属板材を１回又は複数回折り曲げて形成する。   According to this example, the two side surfaces of the projecting portions 1b, 1c, 1d, and 1e of the stage 1 are connected to the base material 2 by the elastic support portions 4a, 4b, 4c, 4d, 4e, 4f, 4g, and 4h. . That is, each of the protrusions 1b, 1c, 1d, and 1e of the stage 1 is supported by being sandwiched between two elastic support portions 4a and 4b, 4c and 4d, 4e and 4f, 4g and 4h on both sides. Thus, the stage 1 is supported on the base material 1 by the eight elastic support portions. The elastic support portion may be any elastic support member that can be elastically deformed, and may be constituted by a spring, rubber, or the like. However, in this example and the following examples, the elastic support portion will be described as a bending spring. The bending spring is formed by bending a thin plate material. For example, the bending spring is formed by bending a metal plate material once or a plurality of times.

折り曲げバネ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇ、４ｈの伸縮方向はＸ軸方向である。従って、ステージ１は、折り曲げバネの伸縮によって、Ｘ軸方向に沿って可動である。   The expansion and contraction direction of the bending springs 4a, 4b, 4c, 4d, 4e, 4f, 4g, and 4h is the X-axis direction. Therefore, the stage 1 is movable along the X-axis direction by expansion and contraction of the bending spring.

本例によると、ステージ１の一方の側面に装着された４個の折り曲げバネ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは直列に配置され、ステージ１の他方の側面に装着された４個の折り曲げバネ４ｅ、４ｆ、４ｇ、４ｈは直列に配置されている。ステージ１の一方の側面に装着された４個の折り曲げバネ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの伸縮量の合計は、ステージ１の他方の側面に装着された４個の折り曲げバネ４ｅ、４ｆ、４ｇ、４ｈの伸縮量の合計に等しくなるように構成されてよい。それによって、ステージ１は、Ｘ軸方向に沿って直線状に移動する。尚、例えば、８個の折り曲げバネのバネ常数は同一であってよい。   According to this example, the four bending springs 4a, 4b, 4c, 4d mounted on one side surface of the stage 1 are arranged in series, and the four bending springs 4e mounted on the other side surface of the stage 1; 4f, 4g and 4h are arranged in series. The total amount of expansion / contraction of the four bending springs 4a, 4b, 4c, 4d attached to one side surface of the stage 1 is the four bending springs 4e, 4f, 4g attached to the other side surface of the stage 1. You may comprise so that it may become equal to the sum total of the expansion-contraction amount of 4h. Thereby, the stage 1 moves linearly along the X-axis direction. For example, the spring constants of the eight bending springs may be the same.

本例によると、ステージ１の両側は、それぞれ、直列に配置された４個の折り曲げバネによって弾性的に支持されている。即ち、ステージ１は８個の折り曲げバネによって支持されている。従って、本例の微動ステージ装置の折り曲げバネの個数は、特開平１１−２７１４７９公報（特許文献１）の図１に記載された微動ステージ装置の折り曲げバネの個数の２倍である。従って、本例の微動ステージ装置のステージのＸ軸方向の固有振動数は、特開平１１−２７１４７９公報に記載された微動ステージ装置のステージのＸ軸方向の固有振動数の約１．４倍である。   According to this example, both sides of the stage 1 are elastically supported by four bending springs arranged in series. That is, the stage 1 is supported by eight bending springs. Therefore, the number of the bending springs of the fine movement stage apparatus of this example is twice the number of the bending springs of the fine movement stage apparatus described in FIG. 1 of JP-A-11-271479 (Patent Document 1). Therefore, the natural frequency in the X-axis direction of the stage of the fine movement stage apparatus of this example is about 1.4 times the natural frequency in the X-axis direction of the stage of the fine movement stage apparatus described in JP-A-11-271479. is there.

また、特開平１１−２７１４７９公報に記載された微動ステージ装置では、ステージと折り曲げバネは、ステージの移動方向に沿って直列に配置されているが、本例によると、ステージと折り曲げバネは、ステージの移動方向に沿って並列に配置されている。従って、本例の微動ステージ装置では、折り曲げバネの個数を増加させても、ステージの移動方向の寸法は増加しない。   Further, in the fine movement stage apparatus described in JP-A-11-271479, the stage and the bending spring are arranged in series along the moving direction of the stage. According to this example, the stage and the bending spring are Are arranged in parallel along the moving direction. Therefore, in the fine movement stage device of this example, the dimension in the moving direction of the stage does not increase even if the number of bending springs is increased.

図２を参照して、本発明の微動ステージ装置の第２の例を説明する。本例の微動ステージ装置は、ステージ１と基材２とピエゾ素子３とを有する。ステージ１は矩形の本体１ａとその両側の突起部１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇからなる。突起部１ｂ〜１ｇは、ステージ１のＸ軸方向に沿って延びる２つの側面の各々に３個、合計６個設けられている。各突起部は、Ｙ軸方向に延びる互いに平行な２つの側面と、先端のＸ軸方向に延びる端面を有する。   A second example of the fine movement stage device of the present invention will be described with reference to FIG. The fine movement stage apparatus of this example includes a stage 1, a base material 2, and a piezo element 3. The stage 1 includes a rectangular main body 1a and protrusions 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, and 1g on both sides thereof. Three projecting portions 1b to 1g are provided on each of two side surfaces extending along the X-axis direction of the stage 1, for a total of six. Each protrusion has two parallel side surfaces extending in the Y-axis direction, and an end surface extending in the X-axis direction at the tip.

ステージ１の突起部の２つの側面は、折り曲げバネ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇ、４ｈ、４ｉ、４ｊ、４ｋ、４ｌによって基材２に接続されている。即ち、ステージ１の突起部の各々は、両側の２つの折り曲げバネ４ａ及び４ｂ、４ｃ及び４ｄ、４ｅ及び４ｆ、４ｇ及び４ｈ、４ｉ及び４ｊ、４ｋ及び４ｌに挟まれて支持されている。こうして、ステージ１は、１２個の折り曲げバネによって、基材２に支持されている。   Two side surfaces of the projecting portion of the stage 1 are connected to the substrate 2 by bending springs 4a, 4b, 4c, 4d, 4e, 4f, 4g, 4h, 4i, 4j, 4k, and 4l. That is, each of the protrusions of the stage 1 is supported by being sandwiched between two bending springs 4a and 4b, 4c and 4d, 4e and 4f, 4g and 4h, 4i and 4j, 4k and 4l on both sides. Thus, the stage 1 is supported on the base material 2 by the twelve bending springs.

本例の微動ステージ装置を図１の第１の例と比較すると、本例の微動ステージでは、ステージ１の突起部１ｂ〜１ｇ、及び、折り曲げバネ４ａ〜４ｌの個数が異なり、それ以外の構成は、図１の第１の例と同様であってよい。   When the fine movement stage apparatus of this example is compared with the first example of FIG. 1, the fine movement stage of this example is different in the number of protrusions 1b to 1g and bending springs 4a to 4l of the stage 1, and other configurations. May be similar to the first example of FIG.

本例によると、ステージ１の一方の側面に装着された６個の折り曲げバネ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆは直列に配置され、ステージ１の他方の側面に装着された６個の折り曲げバネ４ｇ、４ｈ、４ｉ、４ｊ、４ｋ、４ｌは直列に配置されている。ステージ１の一方の側面に装着された６個の折り曲げバネ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆの伸縮量の合計は、ステージ１の他方の側面に装着された６個の折り曲げバネ４ｇ、４ｈ、４ｉ、４ｊ、４ｋ、４ｌの伸縮量の合計に等しくなるように構成されてよい。それによって、ステージ１は、Ｘ軸方向に沿って直線状に移動する。尚、例えば、１２個の折り曲げバネのバネ常数は同一であってよい。   According to this example, the six bending springs 4 a, 4 b, 4 c, 4 d, 4 e, 4 f mounted on one side surface of the stage 1 are arranged in series, and the six bending springs mounted on the other side surface of the stage 1 The bending springs 4g, 4h, 4i, 4j, 4k, 4l are arranged in series. The total amount of expansion and contraction of the six bending springs 4a, 4b, 4c, 4d, 4e, and 4f attached to one side of the stage 1 is six bending springs 4g attached to the other side of the stage 1, You may comprise so that it may become equal to the sum total of the expansion-contraction amount of 4h, 4i, 4j, 4k, 4l. Thereby, the stage 1 moves linearly along the X-axis direction. For example, the spring constants of the twelve bending springs may be the same.

本例によると、ステージ１の両側は、それぞれ、直列に配置された６個の折り曲げバネによって弾性的に支持されている。即ち、ステージ１は１２個の折り曲げバネによって支持されている。従って、本例の微動ステージ装置の折り曲げバネの個数は、特開平１１−２７１４７９公報（特許文献１）の図１に記載された微動ステージ装置の折り曲げバネの個数の３倍である。従って、本例の微動ステージ装置のステージのＸ軸方向の固有振動数は、特開平１１−２７１４７９公報に記載された微動ステージ装置のステージのＸ軸方向の固有振動数の約１．７倍である。   According to this example, both sides of the stage 1 are elastically supported by six bending springs arranged in series. That is, the stage 1 is supported by 12 bending springs. Therefore, the number of bending springs of the fine movement stage apparatus of this example is three times the number of bending springs of the fine movement stage apparatus described in FIG. 1 of Japanese Patent Laid-Open No. 11-271479 (Patent Document 1). Therefore, the natural frequency in the X-axis direction of the stage of the fine movement stage apparatus of this example is about 1.7 times the natural frequency in the X-axis direction of the stage of the fine movement stage apparatus described in JP-A-11-271479. is there.

図１の例では、ステージ１の突起部は４個であり、折り曲げバネは８個である。図２の例では、ステージ１の突起部は６個であり、折り曲げバネは１２個である。従って、ステージ１の突起部の個数を多くすることにより、折り曲げバネの個数を多くすることができる。ステージ１の突起部の個数を多くするには、突起部のＸ方向の寸法を小さくすればよい。本発明によると、ステージ１の突起部の個数を多くすることによって、折り曲げバネの個数を増加することができる。   In the example of FIG. 1, the stage 1 has four protrusions and eight bending springs. In the example of FIG. 2, the number of protrusions on the stage 1 is six, and the number of bending springs is twelve. Therefore, the number of bending springs can be increased by increasing the number of protrusions of the stage 1. In order to increase the number of protrusions of the stage 1, the dimension of the protrusions in the X direction may be reduced. According to the present invention, the number of bending springs can be increased by increasing the number of protrusions of the stage 1.

図１及び図２に示した本発明による微動ステージ装置は、以下に説明するように、磁気ヘッド検査装置に適用可能である。しかしながら、本発明による微動ステージ装置は、半導体分野及び光学分野の検査装置にも適用可能である。即ち、本発明の微動ステージ装置は、微小移動が必要な機構、又は、微小位置決め用機構にも適用可能である。   The fine movement stage apparatus according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2 can be applied to a magnetic head inspection apparatus as described below. However, the fine movement stage device according to the present invention is also applicable to inspection devices in the semiconductor field and the optical field. That is, the fine movement stage device of the present invention can be applied to a mechanism that requires a minute movement or a minute positioning mechanism.

図３を参照して本発明による微粗動アクチュエータ装置の例を説明する。本例の微粗動アクチュエータ装置は、微動ステージ装置１０、粗動テーブル１１、基台１２、シャフト１３及びシャフト１３を回転させる駆動手段（図示なし）を有し、リニアアクチュエータである。微動ステージ装置１０は図２に記載された微動ステージ装置である。しかしながら、微動ステージ装置１０は、図１に記載された微動ステージ装置であってもよい。微動ステージ装置１０は、ステージ１と基材２とピエゾ素子３とを有する。   An example of the fine coarse actuator device according to the present invention will be described with reference to FIG. The fine coarse actuator device of this example is a linear actuator having fine movement stage device 10, coarse movement table 11, base 12, shaft 13 and drive means (not shown) for rotating shaft 13. The fine movement stage device 10 is the fine movement stage device shown in FIG. However, fine movement stage apparatus 10 may be the fine movement stage apparatus described in FIG. The fine movement stage device 10 includes a stage 1, a base material 2, and a piezo element 3.

図示のように微動ステージ装置１０の基材２の長手方向に沿ってＸ軸、基材２の幅方向に沿ってＹ軸、基材２の厚さ方向に沿ってＺ軸をとる。ステージ１の移動方向ＭはＸ軸方向である。   As shown in the figure, the X-axis is taken along the longitudinal direction of the substrate 2 of the fine movement stage apparatus 10, the Y-axis is taken along the width direction of the substrate 2, and the Z-axis is taken along the thickness direction of the substrate 2. The moving direction M of the stage 1 is the X-axis direction.

微動ステージ装置１０は、粗動テーブル１１上に装着されている。駆動手段によってシャフト１３を回転させると、粗動テーブル１１は、シャフト１３に沿って移動することができる。粗動テーブル１１の移動方向ＮはＸ軸方向である。粗動テーブル１１とシャフト１３の間には、シャフトの回転を粗動テーブル１１の直線運動に変換する機構が設けられている。このような機構として、例えば、シャフト１３の周囲に形成されたネジと、粗動テーブル１１の下面に設けられた雌ネジからなるネジ機構が使用されてよい。シャフト１３が回転すると、シャフトのネジに係合する雌ねじがネジの進む方向と反対方向に移動する。それによって、粗動テーブル１１はＸ軸方向に沿って移動する。   The fine movement stage device 10 is mounted on the coarse movement table 11. When the shaft 13 is rotated by the driving means, the coarse motion table 11 can move along the shaft 13. The movement direction N of the coarse motion table 11 is the X-axis direction. A mechanism for converting the rotation of the shaft into the linear motion of the coarse motion table 11 is provided between the coarse motion table 11 and the shaft 13. As such a mechanism, for example, a screw mechanism including a screw formed around the shaft 13 and a female screw provided on the lower surface of the coarse motion table 11 may be used. When the shaft 13 rotates, the female screw engaged with the screw of the shaft moves in the direction opposite to the direction in which the screw advances. Thereby, the coarse motion table 11 moves along the X-axis direction.

本例の微粗動アクチュエータ装置では、粗動テーブル１１の移動とステージ１の移動を組み合わせることができる。比較的大きな移動が必要なときは、シャフト１３を回転させることにより、粗動テーブル１１を移動させる。比較的小さな移動、例えば、微動が必要な場合には、ピエゾ素子３により、ステージ１を移動させる。   In the fine coarse actuator device of this example, the movement of the coarse movement table 11 and the movement of the stage 1 can be combined. When a relatively large movement is required, the coarse motion table 11 is moved by rotating the shaft 13. When relatively small movement, for example, fine movement is required, the stage 1 is moved by the piezo element 3.

図４を参照して本発明による磁気ヘッド検査装置の例を説明する。本例の磁気ヘッド検査装置は、微粗動アクチュエータ装置２０と、ヘッド固定ジグ３１と、円板３２と、円板回転機構３３を有する。ヘッド固定ジグ３１の先端には、磁気ヘッド３５が装着されている。円板３２は、円板回転機構３３により回転する。   An example of a magnetic head inspection apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. The magnetic head inspection apparatus of this example includes a fine coarse actuator device 20, a head fixing jig 31, a disk 32, and a disk rotating mechanism 33. A magnetic head 35 is attached to the tip of the head fixing jig 31. The disc 32 is rotated by a disc rotation mechanism 33.

微粗動アクチュエータ装置２０は、図３に示した微粗動アクチュエータ装置であってよい。従って、微粗動アクチュエータ装置２０は、微動ステージ装置１０、粗動テーブル１１、基台１２、シャフト１３及びシャフト１３を回転させる駆動手段（図示なし）を有する。更に、微動ステージ装置１０は、図１又は図２に記載された微動ステージ装置であってよい。従って、微動ステージ装置１０は、ステージ１と基材２とピエゾ素子３と折り曲げばね４ａ〜４ｈ、又は、４ａ〜４ｌを有する。ヘッド固定ジグ３１は、微動ステージ装置１０のステージ１に固定されている。   The fine coarse actuator device 20 may be the fine coarse actuator device shown in FIG. Therefore, the fine coarse actuator device 20 includes a fine moving stage device 10, a coarse moving table 11, a base 12, a shaft 13, and a drive means (not shown) for rotating the shaft 13. Further, the fine movement stage device 10 may be the fine movement stage device described in FIG. 1 or FIG. Therefore, the fine movement stage apparatus 10 includes the stage 1, the substrate 2, the piezo element 3, and the bending springs 4a to 4h or 4a to 4l. The head fixing jig 31 is fixed to the stage 1 of the fine movement stage device 10.

本例の磁気ヘッド検査装置では、微粗動アクチュエータ装置２０の粗動テーブル１１の移動によって、磁気ヘッド３５を円板３２の半径方向Ｒに移動可能であるが、ステージ１の移動によっても、磁気ヘッド３５を円板３２の半径方向Ｒに移動可能である。磁気ヘッド３２を半径方向Ｒに比較的大きな距離移動させる場合には、シャフト１３を回転させることにより、駆粗動テーブル１１を移動させる。磁気ヘッド３５を半径方向Ｒに比較的小さな距離移動させる場合、例えば、微動が必要な場合には、ピエゾ素子３により、ステージ１を移動させる。   In the magnetic head inspection apparatus of this example, the magnetic head 35 can be moved in the radial direction R of the disk 32 by the movement of the coarse movement table 11 of the fine coarse movement actuator device 20. The head 35 can be moved in the radial direction R of the disc 32. When the magnetic head 32 is moved in a radial direction R by a relatively large distance, the rough driving table 11 is moved by rotating the shaft 13. When the magnetic head 35 is moved in the radial direction R by a relatively small distance, for example, when fine movement is required, the stage 1 is moved by the piezo element 3.

こうして、本例によると、粗動テーブル１１の移動とステージ１の移動を組み合わせることによって、磁気ヘッド３５を円板３２上の所定の位置に高精度にて、且つ、能率的に、位置決めすることができる。従って、高記録密度の磁気ディスク、即ち、トラック幅の狭い磁気ディスクのための磁気ヘッド３５の検査が可能である。   Thus, according to this example, the magnetic head 35 can be positioned with high accuracy and efficiency at a predetermined position on the disk 32 by combining the movement of the coarse movement table 11 and the movement of the stage 1. Can do. Therefore, it is possible to inspect the magnetic head 35 for a magnetic disk having a high recording density, that is, a magnetic disk having a narrow track width.

以上本発明の例を説明したが本発明は上述の例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内にて様々な変更が可能であることは当業者に容易に理解されよう。   Although the example of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described example, and it is easy for those skilled in the art to make various modifications within the scope of the invention described in the claims. Will be understood.

本発明の微動ステージ装置の第１の例を示す図である。It is a figure which shows the 1st example of the fine movement stage apparatus of this invention. 本発明の微動ステージ装置の第２の例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd example of the fine movement stage apparatus of this invention. 本発明の微粗動アクチュエータ装置の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the fine coarse actuator apparatus of this invention. 本発明の磁気ヘッド検査装置の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the magnetic head test | inspection apparatus of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１…ステージ、１ａ…ステージ本体、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ…ステージ突起部、２…基材、２ａ…孔、３…ピエゾ素子、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇ、４ｈ、４ｉ、４ｊ、４ｋ、４ｌ…折り曲げバネ（弾性支持部材）、１０…微動ステージ装置、１１…粗動テーブル、１２…基台、１３…シャフト、２０…微粗動アクチュエータ装置、３１…ヘッド固定ジグ、３２…円板、３３…円板回転機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Stage 1a ... Stage main body 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g ... Stage protrusion part, 2 ... Base material, 2a ... Hole, 3 ... Piezo element, 4a, 4b, 4c, 4d, 4e, 4f 4g, 4h, 4i, 4j, 4k, 4l ... bending spring (elastic support member), 10 ... fine movement stage device, 11 ... coarse motion table, 12 ... base, 13 ... shaft, 20 ... fine coarse motion actuator device, 31 ... Head fixing jig, 32 ... Disc, 33 ... Disc rotating mechanism

Claims (10)

基体と、該基体に対して相対的に可動なステージと、該ステージを前記基体に対して弾性的に支持する折り曲げばねと、を有する微動ステージ装置において、
前記折り曲げばねは、前記ステージの移動方向に沿って伸縮するように配置され、前記ステージの移動方向に沿って延びる前記ステージの２つの側面の各々に沿って直列に配置され、
前記ステージの２つの側面の各々に複数の突起部が設けられ、該突起部の２つの側面の各々に前記折り曲げばねが装着されていることを特徴とする微動ステージ装置。 In a fine movement stage device having a base, a stage relatively movable with respect to the base, and a bending spring that elastically supports the stage with respect to the base,
The bending spring is arranged so as to expand and contract along the moving direction of the stage, and is arranged in series along each of two side surfaces of the stage extending along the moving direction of the stage ,
A fine movement stage device , wherein a plurality of projections are provided on each of two side surfaces of the stage, and the bending spring is mounted on each of the two side surfaces of the projection . 請求項１記載の微動ステージ装置において、前記突起部の前記２つの側面が、前記折り曲げばねで挟んで支持されていることを特徴とする微動ステージ装置。2. The fine movement stage device according to claim 1, wherein the two side surfaces of the protrusion are supported by being sandwiched by the bending springs. 請求項１記載の微動ステージ装置において、前記ステージの一方の側面に配置された前記折り曲げばねの伸縮量の合計は、前記ステージの他方の側面に配置された前記折り曲げばねの伸縮量の合計に等しいことを特徴とする微動ステージ装置。 2. The fine movement stage device according to claim 1, wherein a total expansion amount of the bending spring disposed on one side surface of the stage is equal to a total expansion amount of the bending spring disposed on the other side surface of the stage. This is a fine movement stage device. 請求項１記載の微動ステージ装置において、前記ステージを前記基体に対して相対的に移動させるためのピエゾ素子が設けられていることを特徴とする微動ステージ装置。   2. The fine movement stage device according to claim 1, further comprising a piezo element for moving the stage relative to the base. 微動ステージ装置と、該微動ステージ装置を支持する粗動テーブルと、該粗動テーブルを移動可能に支持する基台と、前記粗動テーブルを前記基台に対して駆動する駆動装置と、を有する微粗動アクチュエータ装置において、
前記微動ステージ装置は、基体と、該基体に対して相対的に可動なステージと、該ステージを前記基体に対して弾性的に支持する折り曲げばねと、を有し、前記折り曲げばねは、前記ステージの移動方向に沿って伸縮するように配置され、前記ステージの移動方向に沿って延びる前記ステージの２つの側面の各々に沿って直列に配置されており、
前記ステージの２つの側面の各々に複数の突起部が設けられ、該突起部の２つの側面の各々に前記折り曲げばねが装着されていることを特徴とする微粗動アクチュエータ装置。 A fine movement stage device; a coarse movement table that supports the fine movement stage device; a base that movably supports the coarse movement table; and a drive device that drives the coarse movement table relative to the base. In the fine coarse actuator device,
The fine movement stage device includes a base, a stage relatively movable with respect to the base, and a bending spring that elastically supports the stage with respect to the base, and the bending spring includes the stage. Arranged along the direction of movement of the stage, and arranged in series along each of the two side surfaces of the stage extending along the direction of movement of the stage ,
A fine coarse actuator device , wherein a plurality of protrusions are provided on each of two side surfaces of the stage, and the bending spring is mounted on each of the two side surfaces of the protrusion . 請求項５記載の微粗動アクチュエータ装置において、前記突起部の前記２つの側面が、前記折り曲げばねで挟んで支持されていることを特徴とする微粗動アクチュエータ装置。6. The fine coarse actuator device according to claim 5, wherein the two side surfaces of the protrusion are supported by being sandwiched by the bending springs. 請求項５記載の微粗動アクチュエータ装置において、前記ステージの一方の側面に配置された前記折り曲げばねの伸縮量の合計は、前記ステージの他方の側面に配置された前記折り曲げばねの伸縮量の合計に等しいことを特徴とする微粗動アクチュエータ装置。 In the fine coarse actuator device according to claim 5, wherein the sum of the amount of extension of the bending springs of disposed on one side the stage, the total amount of extension of the bending spring which is arranged on the other side of the stage A coarse actuator device characterized in that 請求項５記載の微粗動アクチュエータ装置において、前記ステージを前記基体に対して相対的に移動させるためのピエゾ素子が設けられていることを特徴とする微粗動アクチュエータ装置。 6. The fine coarse actuator device according to claim 5 , further comprising a piezo element for moving the stage relative to the base. 円板と、該円板を回転させるための円板回転機構と、検査対象の磁気ヘッドを支持するヘッド支持部材と、前記磁気ヘッドが前記円板の半径方向に移動するように前記ヘッド支持部材を移動させるための微粗動アクチュエータ装置と、を有する磁気ヘッド検査装置において、
前記微粗動アクチュエータ装置は、微動ステージ装置と、該微動ステージ装置を支持する粗動テーブルと、該粗動テーブルを移動可能に支持する基台と、前記粗動テーブルを前記基台に対して駆動する駆動装置と、を有し、前記微動ステージ装置は、基体と、該基体に対して相対的に可動なステージと、該ステージを前記基体に対して弾性的に支持する折り曲げばねと、を有し、前記ヘッド支持部材は前記ステージに装着され、
前記折り曲げばねは、前記ステージの移動方向に沿って伸縮するように配置され、前記ステージの移動方向に沿って延びる前記ステージの２つの側面の各々に沿って直列に配置されており、
前記ステージの２つの側面の各々に複数の突起部が設けられ、該突起部の２つの側面の各々に前記折り曲げばねが装着されていることを特徴とする磁気ヘッド検査装置。 A disk, a disk rotation mechanism for rotating the disk, a head support member for supporting a magnetic head to be inspected, and the head support member so that the magnetic head moves in a radial direction of the disk In a magnetic head inspection device having a fine coarse actuator device for moving
The fine coarse actuator device includes a fine movement stage device, a coarse movement table that supports the fine movement stage device, a base that movably supports the coarse movement table, and the coarse movement table with respect to the base. The fine movement stage device includes a base, a stage relatively movable with respect to the base, and a bending spring that elastically supports the stage with respect to the base. The head support member is mounted on the stage;
The bending spring is arranged so as to expand and contract along the moving direction of the stage, and is arranged in series along each of two side surfaces of the stage extending along the moving direction of the stage ,
A magnetic head inspection apparatus , wherein a plurality of protrusions are provided on each of the two side surfaces of the stage, and the bending spring is mounted on each of the two side surfaces of the protrusions . 請求項９記載の磁気ヘッド検査装置において、前記突起部の前記２つの側面が、前記折り曲げばねで挟んで支持されていることを特徴とする磁気ヘッド検査装置。10. The magnetic head inspection apparatus according to claim 9, wherein the two side surfaces of the protrusion are supported by being sandwiched between the bending springs.
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