JPH10318904A - Apparatus for analyzing particle image and recording medium recording analysis program therefor - Google Patents
Apparatus for analyzing particle image and recording medium recording analysis program thereforInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は粒子を撮像し、粒
子像を画像解析することによって、粒子の大きさや形状
に関する情報を求める粒子画像分析装置およびその分析
用プログラムを記録した記録媒体に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a particle image analyzer for obtaining information on the size and shape of particles by imaging particles and analyzing the image of the particles, and a recording medium on which an analysis program is recorded.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ファインセラミックス粒子、トナー、顔
料、研磨剤等の粉体の品質を管理する上で、粒子の粒径
を測定、管理することは非常に重要である。また最近で
は、より付加価値の高い粉体の開発、商品化が進められ
ており、粒子の大きさだけでなく、形状パラメータの計
測およびその品質管理も重要になってきている。2. Description of the Related Art To control the quality of fine ceramic particles, toners, pigments, abrasives, and other powders, it is very important to measure and control the particle size of the particles. In recent years, development and commercialization of powders with higher added value have been promoted, and measurement of not only particle size but also shape parameters and quality control thereof have become important.
【０００３】粒子の粒度分布測定装置としては、古くか
ら液相沈降法、電気的検知帯法（クールター法）による
測定装置があり、最近ではレーザ回折散乱法による測定
装置が広く利用されている。As an apparatus for measuring the particle size distribution of particles, a measuring apparatus based on a liquid phase sedimentation method and an electric detection band method (Coulter method) has been used for a long time. Recently, a measuring apparatus based on a laser diffraction scattering method has been widely used.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
いづれの方式による測定装置においても、その測定精度
（正確度）は、いまだに満足できるものではない。特
に、対象とする粒子が偏平であったり細長い形をしてい
る場合には、測定原理の違いによって、求められる粒径
は大きく異なることがある。また、トナー粒子のよう
に、トナー本来の粒子だけでなく、印字品質を向上させ
るための微小粒子を添加した混合粉体などでは、両方の
種類の粒子を同時に正しく測定することは困難なことが
多い。また、一般的に微小な粒子は凝集しやすく、その
場合にも正確な粒度分布を求めることができない。ま
た、従来の粒度分布測定装置では、粒子の球形度（円形
度）や凝集度合い等に関する情報を求めることは不可能
である。However, the measurement accuracy (accuracy) of any of the above-described systems is still not satisfactory. In particular, when the target particle is flat or elongated, the required particle size may vary greatly depending on the measurement principle. In addition, it is difficult to correctly measure both types of particles simultaneously, not only with toner particles but also with mixed powders added with fine particles to improve print quality, such as toner particles. Many. Further, generally, fine particles are easily aggregated, and in such a case, an accurate particle size distribution cannot be obtained. Further, with a conventional particle size distribution measuring device, it is impossible to obtain information on the sphericity (degree of circularity) and the degree of aggregation of particles.
【０００５】懸濁液中の粒子の内、大きい粒子の方が速
く沈降するので、粒子濃度が時間的、空間的に変化す
る。この変化を光の透過量で検知して粒度分布を求める
方法が、沈降法として代表的な液相沈降光透過法であ
る。この沈降法では、同じ体積の粒子でも、その粒子の
形状が異なると沈降速度は異なる。また、粒子どうしが
凝集していると、その凝集粒子は速く沈降する。[0005] Among the particles in the suspension, the larger particles settle faster, so that the particle concentration changes temporally and spatially. A typical liquid phase sedimentation light transmission method is a sedimentation method in which this change is detected by the amount of transmitted light to determine the particle size distribution. In this sedimentation method, even particles of the same volume have different sedimentation velocities if the shape of the particles is different. When the particles are aggregated, the aggregated particles settle quickly.
【０００６】電気的検知帯法による装置は、電解液に浮
遊させた粒子が小さな穴を通過する時の電気抵抗の変化
を検出するものであり、１個１個の粒子の体積相当径が
形状にほとんど影響されず測定できる。逆に言えば、電
気的検知帯法では、粒子の形状に関する情報を得ること
は困難である。An apparatus based on the electric detection band method detects a change in electric resistance when particles suspended in an electrolytic solution pass through a small hole, and the volume equivalent diameter of each particle has a shape. Can be measured with little effect on Conversely, it is difficult to obtain information on the shape of particles by the electrical detection band method.
【０００７】また、細孔径が１種類の大きさの検出器で
は粒径測定レンジが狭く、大きさの異なる２種類以上の
粒子が含まれる粉体を、１回で正しく測定することは難
しい場合が多い。また、粒子の大きさと比較して電気的
検知領域がかなり広いので、粒子どうしが近接あるいは
凝集していると、正確な粒度分布を求めることができな
い。[0007] Further, in the case of a detector having one kind of pore size, the particle size measurement range is narrow, and it is difficult to correctly measure a powder containing two or more kinds of particles having different sizes at one time. There are many. In addition, since the electrical detection area is considerably wider than the size of the particles, if the particles are close to each other or agglomerated, an accurate particle size distribution cannot be obtained.
【０００８】最近広く使用されているレーザ回折散乱法
の装置は、浮遊している粒子群にレーザ光を照射して得
られる回折光／散乱光強度の角度分布情報から、ミー散
乱理論に基づいて粒径分布を推定、算出するものであ
る。この装置では粒度が未知の試料や屈折率が同じ粒子
の混合試料でも、粒径が０．１μｍから数百μｍまでの
粒子に対して、１回の測定で粒度分布が得られるという
利点がある。An apparatus of the laser diffraction / scattering method widely used recently is based on Mie scattering theory based on angular distribution information of diffracted light / scattered light intensity obtained by irradiating a floating particle group with laser light. It estimates and calculates the particle size distribution. This apparatus has the advantage that a particle size distribution of 0.1 μm to several hundred μm can be obtained with a single measurement even for a sample whose particle size is unknown or a mixed sample of particles having the same refractive index. .
【０００９】しかし、この方式の装置には次に挙げるよ
うな問題点がある。 １）粒子による散乱光強度分布は、形状、屈折率、表面
状態等の違いによる影響を大きく受け、正確な粒度分布
を求めるのは難しい。 ２）測定する粒子の正確な屈折率を入力する必要がある
が、粒子の表面が酸化していたり、不純物が混ざってい
ることがあり、文献値を入力しても正しく粒度分布が求
められないことがある。However, this type of apparatus has the following problems. 1) The scattered light intensity distribution due to particles is greatly affected by differences in shape, refractive index, surface condition, and the like, and it is difficult to obtain an accurate particle size distribution. 2) It is necessary to input the exact refractive index of the particles to be measured. However, the particle surface may be oxidized or mixed with impurities, and the particle size distribution cannot be obtained correctly even if the document values are input. Sometimes.
【００１０】３）粒子が球形で表面が滑らかであり凝集
していないという仮定のもとに、多数の粒子による回折
光／散乱光強度分布についての連立方程式を解いて粒度
分布を推定する。その仮定を満足しない粉体に対して
は、その連立方程式はまともに解けないことがあり、独
自の補正を行っている。3) Under the assumption that the particles are spherical and the surface is smooth and not agglomerated, a simultaneous equation for the diffracted light / scattered light intensity distribution by a large number of particles is solved to estimate the particle size distribution. For powders that do not satisfy the assumption, the simultaneous equations may not be able to be solved properly, and original corrections are made.
【００１１】４）上記のような独自の補正のために、同
じレーザ回折法の装置でも機種間の測定結果に大きな差
が生じることがある。 以上のように、上記従来の粒度分布測定装置では、粒子
の形状や凝集影響を大きく受け、正確な粒度分布を求め
るのは難しい。また、粒子の形状（円形度等）に関する
情報を得ることも不可能である。4) Due to the above-described unique correction, a large difference may occur in the measurement results between the models even with the same laser diffraction method apparatus. As described above, with the above-described conventional particle size distribution measuring apparatus, it is difficult to obtain an accurate particle size distribution due to the influence of the shape and aggregation of particles. Also, it is impossible to obtain information on the shape of the particles (such as the degree of circularity).
【００１２】粒子の形状を測定する方法としては、顕微
鏡又は電子顕微鏡と画像処理装置を組み合わせる方法が
ある。しかし、工業用の粉体は、粉砕して作られた粒子
が多く、そのような粉体では、ひとつの試料でも各粒子
の大きさが著しく異なり、スライドグラス上の粒子の全
てにピントを合わすことはできない。すなわち、小さな
粒子に対してピントを合わすと大きな粒子に対してピン
トが合わなくなる。大きな粒子に対してピントを合わす
と小さな粒子に対してピントが合わなくなる。従って、
この顕微鏡方式は、粒子の大きさが揃っている場合にし
か利用できない。As a method of measuring the shape of particles, there is a method of combining a microscope or an electron microscope with an image processing device. However, industrial powders are often made by crushing particles, and in such powders, the size of each particle is significantly different even in a single sample, and focuses on all the particles on the slide glass. It is not possible. In other words, if small particles are focused, large particles will not be focused. If a large particle is focused, small particles will not be focused. Therefore,
This microscope method can be used only when the particle sizes are uniform.
【００１３】また、この顕微鏡方式で何千個もの粒子像
を解析しようとすると、撮像する視野を変更するために
スライドグラスを少しずつ移動させて何百枚も画像を取
り込んで解析する必要があり、手間と時間がかかる。こ
のような理由で、工業用粉体に対しては、粒子像から粒
子の大きさや形状を測定することはあまり行われていな
いのが現状である。In order to analyze thousands of particle images using this microscope method, it is necessary to move the slide glass little by little to change the field of view to capture and analyze hundreds of images. It takes time and effort. For these reasons, the measurement of the size and shape of the particles from the particle image has not been performed on industrial powders at present.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】この発明は、複数粒子を
移動させる粒子移動手段と、移動粒子に対して光を照射
する光照射部と、照射された粒子を撮像する撮像部と、
撮像された粒子像を解析する画像解析部と、出力部とを
備え、画像解析部は、撮像された各粒子像の面積および
周囲長についての粒子データを測定して粒子の円形度を
算出する算出部と、円形度を表すパラメータについて分
析データ（ヒストグラムデータ）を作成し、分布図（ヒ
ストグラム）としてて出力部に出力する図表作成部から
なることを特徴とする粒子画像分析装置を提供するもの
である。ここで複数粒子を移動させる手段として、スラ
イドグラス上に粒子を塗布し、スライドグラスを移動さ
せる機構や、シースフローセル中に粒子懸濁液の流れを
シース液で取り囲んだ流れに変換する機構を使用するこ
とができる。According to the present invention, there is provided a particle moving means for moving a plurality of particles, a light irradiation unit for irradiating the moving particles with light, an imaging unit for imaging the irradiated particles,
An image analysis unit that analyzes the captured particle image and an output unit, and the image analysis unit calculates particle data for the area and perimeter of each captured particle image to calculate the circularity of the particle. A particle image analyzing apparatus comprising: a calculating unit; and a chart creating unit that creates analysis data (histogram data) for a parameter representing circularity and outputs the data as a distribution map (histogram) to an output unit. It is. Here, as a means for moving a plurality of particles, a mechanism for applying the particles on a slide glass and moving the slide glass, or a mechanism for converting the flow of the particle suspension into a sheath flow cell into a flow surrounded by a sheath liquid is used. can do.
【００１５】また、この発明は、撮像された各粒子像の
短径および長径についての粒子データを測定し粒子の長
短径比を算出する算出部と、長短径比を表すパラメータ
について分析データ（ヒストグラムデータ）を作成し、
分布図（ヒストグラム）として出力部に出力する図表作
成部からなることを特徴とする粒子画像分析装置を提供
するものである。Further, the present invention provides a calculating section for measuring particle data on the minor axis and major axis of each of the imaged particle images and calculating the major / minor axis ratio of the particles, and analyzing data (histogram) for a parameter representing the major / minor axis ratio. Data)
An object of the present invention is to provide a particle image analyzing apparatus comprising a chart creating unit that outputs a distribution chart (histogram) to an output unit.
【００１６】さらに、この発明は、撮像された各粒子像
の面積、周囲長、短径および長径についての粒子データ
を測定しその粒子データから粒子の粒径と円形度と長短
径比を算出する算出部と、粒径と長短径比を表すパラメ
ータによる分布データ（２次元スキャッタグラムデー
タ）又は長短径比と円形度を表すパラメータによる分布
データ（２次元スキャッタグラムデータ）を作成し、分
布図（２次元スキャッタグラム）として出力部に表示す
る図表作成部からなることを特徴とする粒子画像分析装
置を提供するものである。Further, according to the present invention, the particle data on the area, perimeter, minor axis and major axis of each imaged particle image are measured, and the particle diameter, circularity and major / minor axis ratio of the particles are calculated from the particle data. A calculation unit and distribution data (two-dimensional scattergram data) based on parameters representing the particle diameter and the major / minor diameter ratio or distribution data (two-dimensional scattergram data) based on parameters representing the major / minor diameter ratio and the circularity are created, and the distribution diagram ( The present invention provides a particle image analyzer which comprises a chart creating unit which displays the data as a two-dimensional scattergram on an output unit.
【００１７】さらに、この発明は、撮像された各粒子像
の面積、周囲長、短径および長径についての粒子データ
を測定しその粒子データから粒子の粒径と円形度と長短
径比を算出する算出部と、粒径と円形度と長短径比とに
対応する３つのパラメータによる分布データ（３次元ス
キャッタグラムデータ）を作成し、分布図（３次元スキ
ャッタグラム）として出力部に表示する図表作成部から
なることを特徴とする粒子画像分析装置を提供するもの
である。Further, the present invention measures particle data on the area, perimeter, minor axis, and major axis of each imaged particle image, and calculates the particle diameter, circularity, and major / minor axis ratio from the particle data. A calculation unit and a chart for generating distribution data (three-dimensional scattergram data) based on three parameters corresponding to the particle diameter, circularity, and ratio of major axis to minor axis, and displaying the data on the output unit as a distribution map (three-dimensional scattergram) The present invention provides a particle image analyzer characterized by comprising:
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】この発明の装置の分析対象は、ト
ナー、ファインセラミックス、研磨剤、顔料、化粧品用
パウダーのような無機物の粉体および食品添加物のよう
な有機物の粉体を含むものであり、予め染料や標識試薬
によって染色処理された粒子であってもよい。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The objects to be analyzed by the apparatus of the present invention include inorganic powders such as toners, fine ceramics, abrasives, pigments, cosmetic powders, and organic powders such as food additives. The particles may be dyed in advance with a dye or a labeling reagent.
【００１９】シースフローセルは、粒子を含む試料液、
すなわち、粒子懸濁液の流れをシース液で包んで流すこ
とにより流体力学的効果によって、細いあるいは偏平な
流れに変換することができるセルであり、これには、従
来公知のものを用いることができる。The sheath flow cell includes a sample liquid containing particles,
That is, the cell can be converted into a thin or flat flow by a hydrodynamic effect by wrapping the flow of the particle suspension with the sheath liquid and flowing the same. it can.
【００２０】なお、シースフローセルに供給されるシー
ス液については、粒子懸濁液の性質（粒子や溶媒の性
質）対応してその種類を選択することが好ましい。光照
射部には、パルス発光するストロボやレーザ光源を用い
ることが好ましい。連続的に発光する光源を用いること
もできるが、この場合には、撮像部にシャッターを設け
る必要がある。撮像部には、一般的な２次元画像を撮像
するビデオカメラを用いることができる。It is preferable that the type of the sheath liquid supplied to the sheath flow cell be selected in accordance with the properties of the particle suspension (the properties of the particles and the solvent). It is preferable to use a strobe or a laser light source that emits pulse light for the light irradiation unit. A light source that emits light continuously can be used, but in this case, it is necessary to provide a shutter in the imaging unit. As the imaging unit, a video camera that captures a general two-dimensional image can be used.
【００２１】光照射部と撮像部とはシースフローセルを
挟んで配置され、シースフローセルにおいて粒子懸濁液
が偏平な流れに変換される場合、光照射部は、粒子懸濁
流の偏平な一面に直交して光を照射し、撮像部はその光
軸上に配置されることが好ましい。The light irradiation unit and the imaging unit are arranged with the sheath flow cell interposed therebetween. When the particle suspension is converted into a flat flow in the sheath flow cell, the light irradiation unit is orthogonal to one flat surface of the particle suspension flow. It is preferable that the imaging unit is disposed on the optical axis.
【００２２】画像解析部は、１／３０秒ごとの撮像画面
を実時間で処理できるパイプライン処理方式の画像処理
機能を有するパーソナルコンピュータで構成できる。入
力部には、キーボードやマウス、あるいは、フロッピー
ディスクのような記録媒体を機械的に読み取る装置など
を用いることができる。The image analyzing section can be constituted by a personal computer having an image processing function of a pipeline processing system capable of processing an imaging screen every 1/30 second in real time. As the input unit, a keyboard, a mouse, or a device that mechanically reads a recording medium such as a floppy disk can be used.
【００２３】出力部には、例えば、ＣＲＴや液晶ディス
プレイに表示するような表示装置や、レーザプリンタの
ように紙に印刷する印刷装置、あるいは、フロッピーデ
ィスクのような記録媒体に書き込む装置などを用いるこ
とができる。As the output unit, for example, a display device for displaying on a CRT or a liquid crystal display, a printing device for printing on paper such as a laser printer, or a device for writing on a recording medium such as a floppy disk is used. be able to.
【００２４】この発明において、シースフローセルは、
粒子懸濁液の流れをシース液で取り囲み、細いあるいは
偏平な流れに変換し、光照射部は、変換された懸濁液流
に対して光を照射し、撮像部は、光照射された粒子を撮
像する。画像解析部は、撮像された粒子像を解析して解
析結果を出力部に出力する。In the present invention, the sheath flow cell comprises:
The flow of the particle suspension is surrounded by a sheath liquid, converted into a thin or flat flow, the light irradiation unit irradiates the converted suspension flow with light, and the imaging unit emits the light-irradiated particles. Is imaged. The image analysis unit analyzes the captured particle image and outputs an analysis result to the output unit.
【００２５】つまり、画像解析部においては、算出部
が、撮像された各粒子像の面積および周囲長についての
粒子データを算出し、そのデータから円形度を算出し、
図表作成部が、円形度を表すパラメータについてヒスト
グラムデータを作成し、ヒストグラムとして出力部に出
力する。That is, in the image analysis unit, the calculation unit calculates particle data for the area and perimeter of each of the captured particle images, and calculates the circularity from the data.
The chart creating unit creates histogram data for the parameter representing the circularity, and outputs the created histogram data to the output unit.
【００２６】具体的には、粒子懸濁液を透明なフローセ
ルに導き、その懸濁液を細い又は偏平な流れにする。そ
の流れに対して光照射することによって、流れの中の粒
子をビデオカメラで撮像する。撮像された各粒子像の投
影面積と周囲長を算出し、円形度を算出する。さらに、
円形度によるヒストグラムを作成する。このヒストグラ
ムから粒子の形状、とくに、表面の凹凸に関する情報を
得ることができる。Specifically, the particle suspension is directed to a transparent flow cell, which turns the suspension into a narrow or flat stream. By irradiating the stream with light, particles in the stream are imaged by a video camera. The projected area and perimeter of each captured particle image are calculated, and the circularity is calculated. further,
Create a histogram based on circularity. From this histogram, it is possible to obtain information on the shape of the particles, especially on the surface irregularities.
【００２７】また、画像解析部は、撮像された各粒子像
の短径および長径についての粒子データを測定して粒子
の長短径比を算出する算出部と、長短径比を表すパラメ
ータについてヒストグラムデータを作成し、ヒストグラ
ムとして出力部に出力する図表作成部から構成されても
よい。この場合には、このヒストグラムから粒子の形
状、とくに粒子の長細さに関する情報を得ることができ
る。Further, the image analysis unit measures the particle data of the minor axis and the major axis of each of the captured particle images to calculate the major / minor axis ratio of the particles, and the histogram data for the parameter representing the major / minor axis ratio. And a chart creating unit that creates a histogram and outputs the histogram to the output unit. In this case, information on the shape of the particles, particularly the length of the particles, can be obtained from the histogram.
【００２８】さらに、図表作成部は、撮像部が複数の粒
子懸濁液について撮像を行うとき、各粒子懸濁液につい
てのヒストグラムを１つのヒストグラムに合成して出力
部に出力させてもよい。これによって、統計的に偏りの
少ないヒストグラムが作成できる。特に、懸濁液中の粒
子数が少ない場合に、この方法は有効である。Further, when the imaging section images a plurality of particle suspensions, the chart creating section may combine the histograms for each particle suspension into one histogram and output it to the output section. As a result, a histogram having a statistically small bias can be created. This method is particularly effective when the number of particles in the suspension is small.
【００２９】なお、この装置が、ヒストグラムの領域を
指定する指定部と、指定された領域のパラメータについ
て統計的解析を行い解析結果を出力部に出力する解析部
とをさらに備えれば、指定領域における上記の粒子形状
に関する情報を定量的に得ることが可能となる。指定部
は、新たに設ける事が可能であるが、入力部に兼用させ
ることも可能である。If the apparatus further comprises a designation unit for designating a region of the histogram and an analysis unit for performing statistical analysis on the parameters of the designated region and outputting an analysis result to the output unit, It is possible to quantitatively obtain the information on the particle shape in the above. The designation section can be newly provided, but can also be used as the input section.
【００３０】また、画像解析部は、撮像された各粒子像
の面積、周囲長・短径および長径についての粒子データ
を測定しその粒子データから粒子の粒径と円形度と長短
径比を算出する算出部と、粒径と長短径比を表すパラメ
ータによる２次元スキャッタグラムデータ又は長短径比
と円形度を表すパラメータによる２次元スキャッタグラ
ムデータを作成し、２次元スキャッタグラムとして出力
部に表示する図表作成部から構成されてもよい。この場
合には、粒子の円形度と長短径比の相関関係から、粒子
形状、とくに、表面の凹凸および長細さに関する情報を
さらに詳細に得ることができる。The image analysis unit measures the particle data on the area, perimeter, minor axis and major axis of each of the captured particle images, and calculates the particle diameter, circularity and major / minor axis ratio from the particle data. Calculating unit and two-dimensional scattergram data based on parameters representing the particle diameter and the major / minor diameter ratio or two-dimensional scattergram data based on the parameters representing the major / minor diameter ratio and the circularity are displayed on the output unit as a two-dimensional scattergram. It may be composed of a chart creation unit. In this case, from the correlation between the degree of circularity of the particles and the ratio of the major axis to the minor axis, it is possible to obtain more detailed information on the particle shape, in particular, the surface irregularities and the fineness.
【００３１】また、画像解析部は、撮像された各粒子像
の面積、周囲長・短径および長径についての粒子データ
を測定し、その粒子データから粒子の粒径と円形度と長
短径比を算出する算出部と、粒径と円形度と長短径比と
に対応する３つのパラメータによる３次元スキャッタグ
ラムデータを作成し、３次元スキャッタグラムとして出
力部に表示する図表作成部から構成されてもよい。この
場合には、粒子の粒径と円形度と長短径比の相関関係か
ら、粒子形状および粒子の凝集の程度などの情報を詳細
に得ることができる。The image analysis unit measures the particle data of the area, perimeter, minor axis, and major axis of each of the captured particle images, and determines the particle diameter, circularity, and major / minor axis ratio of the particles from the particle data. It may be composed of a calculating unit for calculating, and a chart creating unit for creating three-dimensional scattergram data based on three parameters corresponding to the particle diameter, the circularity, and the ratio of major axis to minor axis, and displaying the data on the output unit as a three-dimensional scattergram. Good. In this case, information such as the particle shape and the degree of agglomeration of the particles can be obtained in detail from the correlation between the particle diameter of the particles, the circularity, and the ratio of the major and minor diameters.
【００３２】図表作成部は、撮像部が複数の粒子懸濁液
について撮像を行うとき、各粒子懸濁液についてのスキ
ャッタグラムを１つのスキャッタグラムに合成して出力
手段に出力させてもよい。これによって、統計的に偏り
の少ないスキャッタグラムが作成できる。特に、懸濁液
中の粒子数が少ない場合にこの方法は有効である。When the imaging unit images a plurality of particle suspensions, the chart creating unit may combine the scattergrams of each particle suspension into one scattergram and output the scattergram to the output unit. As a result, a scattergram with less statistical bias can be created. This method is particularly effective when the number of particles in the suspension is small.
【００３３】なお、この装置が、スキャッタグラムの領
域を指定する指定部と、指定された領域のパラメータに
ついて統計的解析を行い解析結果を出力部に出力する解
析部とをさらに備えれば、指定領域における上記の各情
報を定量的に得ることができる。指定部は、新たに設け
る事も可能であるが、入力部に兼用させることも可能で
ある。If the apparatus further comprises a designation unit for designating a scattergram area and a analyzing unit for performing statistical analysis on parameters of the designated area and outputting an analysis result to an output unit, Each of the above information in the area can be obtained quantitatively. The designation unit can be newly provided, but can also be used as the input unit.
【００３４】また、上記の解析とは、統計的解析を含む
ものであって、例えば粒径、円形度又は長短径比につい
て、平均値、標準偏差、変動係数、メジアン値、モード
値、１０％累積値、５０％累積値、９０％累積値および
限定粒子比率などを算出することである。The above-mentioned analysis includes a statistical analysis. For example, the average value, standard deviation, coefficient of variation, median value, mode value, and 10% It is to calculate a cumulative value, a 50% cumulative value, a 90% cumulative value, a limited particle ratio, and the like.
【００３５】また、画像解析部は、円形度および長短径
比の少なくとも一方が任意に設定される時、その設定値
以下の円形度又は長短径比を有する粒子の数の比率を算
出して出力部に出力する算出部を備えることが好まし
い。これによって、例えば、円形度又は長短径比が平均
値よりも小さい粒子の比率が求められ、粒子形状を微妙
に評価することができる。When at least one of the circularity and the major / minor diameter ratio is arbitrarily set, the image analyzer calculates and outputs the ratio of the number of particles having a circularity or a major / minor diameter ratio equal to or less than the set value. Preferably, a calculation unit for outputting the data to the unit is provided. Thus, for example, the ratio of particles having a circularity or a ratio of major axis to minor axis smaller than the average value is obtained, and the particle shape can be finely evaluated.
【００３６】[0036]
【実施例】この発明の粒子画像分析装置の実施例の構成
を図１および図２に示す。これらの図において、まず粒
子懸濁液はダイヤフラムポンプ等の吸引部（図示してい
ない）によって吸引ピペット１から吸引され、サンプル
フィルター２を通りフローセル５の上部の試料チャージ
ングライン３へ引き込まれる。サンプルフィルター２に
よって、懸濁液中の粗大な粒子やごみが取り除かれ、流
路の細い（狭い）フローセル５が詰まらないようにして
いる。また、このサンプルフィルタ２は、粗大な凝集塊
をほぐす効果も持っている。1 and 2 show the configuration of an embodiment of a particle image analyzer according to the present invention. In these figures, first, a particle suspension is sucked from a suction pipette 1 by a suction unit (not shown) such as a diaphragm pump and is drawn into a sample charging line 3 above a flow cell 5 through a sample filter 2. The sample filter 2 removes coarse particles and dust in the suspension, and prevents the flow cell 5 having a narrow (narrow) flow path from being clogged. The sample filter 2 also has an effect of loosening coarse aggregates.
【００３７】測定する粒子が半透明状の場合には、その
粒子に対して適当な染色を施すのが好ましい。図１には
図示していないが、装置内に染色液ボトルを設け、吸引
した試料をその染色液で染色するための反応チャンバー
を付加してもよい。When the particles to be measured are translucent, it is preferable to appropriately dye the particles. Although not shown in FIG. 1, a staining solution bottle may be provided in the apparatus, and a reaction chamber for staining the aspirated sample with the staining solution may be added.
【００３８】チャージングライン３に引き込まれた粒子
懸濁液は、シースシリンジ４を動作させることによって
フローセル５に導かれ、サンプルノズル５ａの先端から
懸濁液が少しずつ押し出される。それと同時にシース液
もシース液ボトル６からシース液チャンバー７を介して
フローセル５に送り込まれ、粒子懸濁液はそのシース液
で取り囲まれ、図２に示すように、液体力学的に懸濁液
流は偏平に絞られてフローセル５の内を流れ、廃液チャ
ンバー１４へ排出される。The particle suspension drawn into the charging line 3 is guided to the flow cell 5 by operating the sheath syringe 4, and the suspension is gradually extruded from the tip of the sample nozzle 5a. At the same time, the sheath liquid is also sent from the sheath liquid bottle 6 to the flow cell 5 through the sheath liquid chamber 7, and the particle suspension is surrounded by the sheath liquid, and the suspension flow is hydrodynamically performed as shown in FIG. Is squeezed flat and flows through the flow cell 5 and is discharged to the waste liquid chamber 14.
【００３９】このように偏平に絞られた懸濁液流に対し
て、ストロボ８からパルス光を１／３０秒ごとに周期的
に照射することによって、１／３０秒ごとに粒子の静止
画像が対物レンズ９を介して撮像部としてのビデオカメ
ラ１０で撮像される。粒子を懸濁する溶媒は粒子特性
（粒径や比重）に応じて最適なものを選べばよい。By irradiating the flattened suspension flow with pulse light periodically from the strobe 8 every 1/30 second, a still image of particles is obtained every 1/30 second. An image is captured by a video camera 10 as an imaging unit via the objective lens 9. The optimum solvent for suspending the particles may be selected according to the characteristics of the particles (particle diameter and specific gravity).
【００４０】また、懸濁液の流れを確実に偏平にあるい
は細く絞り込むため懸濁液の特性に応じて、例えば溶媒
の粘度や比重に応じて、シース液の粘度や比重を変更す
るのが好ましい。図１には図示していないが、複数種類
のシース液ボトルを設け、測定する試料に応じて使用す
るシース液の種類を容易に切り換えられるような機構を
付加してもよい。It is preferable to change the viscosity and specific gravity of the sheath liquid in accordance with the characteristics of the suspension, for example, in accordance with the viscosity and specific gravity of the solvent, in order to ensure that the flow of the suspension is flattened or narrowed down. . Although not shown in FIG. 1, a plurality of types of sheath liquid bottles may be provided, and a mechanism capable of easily switching the type of sheath liquid to be used according to the sample to be measured may be added.
【００４１】懸濁液流の偏平な面をビデオカメラ１０で
撮像すれば、ビデオカメラ１０の撮像エリア全体に渡っ
て粒子像を捉えることができ、１回の撮像で多数の粒子
を撮像できる。また、撮像される粒子の重心とビデオカ
メラ１０の撮像面との距離をほぼ一定にすることができ
るので、粒子の大きさに関わらず常にピントの合った粒
子像が得られる。さらに、流体力学的な効果によって、
偏平な粒子や細長い粒子の向きが揃いやすく、粒子像を
解析して得られる特徴パラメータは、ばらつきが小さく
再現性が良い。If the flat surface of the suspension flow is imaged by the video camera 10, a particle image can be captured over the entire imaging area of the video camera 10, and a large number of particles can be imaged by one imaging. Further, since the distance between the center of gravity of the particles to be imaged and the imaging surface of the video camera 10 can be made substantially constant, a focused particle image can always be obtained regardless of the size of the particles. Furthermore, due to the hydrodynamic effect,
The orientation of flat particles or elongated particles is easy to be uniform, and the characteristic parameters obtained by analyzing the particle images have small variations and good reproducibility.
【００４２】複数回のパルス光照射によって撮像される
粒子像の数は、懸濁液流を偏平にした場合には、ビデオ
カメラ１０の撮像エリアの面積、試料流の厚み、粒子懸
濁液の単位体積当たりの粒子数、および撮像回数（フレ
ーム数）によって決まる。例えば、撮像エリアを２００
×２００μｍ、試料流の厚みを５μｍ、粒子濃度を１０
０００個／μｌ、撮像フレーム数を１８００（撮像時間
を６０秒）とした時に撮像される粒子数は３６００個と
なる。When the suspension flow is flattened, the number of particle images picked up by a plurality of pulsed light irradiations is determined by the area of the imaging area of the video camera 10, the thickness of the sample flow, and the number of particle suspensions. It is determined by the number of particles per unit volume and the number of times of imaging (the number of frames). For example, if the imaging area is 200
× 200 μm, sample flow thickness 5 μm, particle concentration 10
When 000 particles / μl and the number of imaging frames are 1800 (imaging time is 60 seconds), the number of particles imaged is 3600.
【００４３】撮像エリアの面積は、ビデオカメラ１０の
受光面に対する結像倍率とそのサイズによって決まる。
対物レンズ９の倍率を大きくすれば撮像エリアが小さく
なるが、小さな粒子まで大きく撮像できる。対物レンズ
９の倍率を小さくすれば撮像エリアが大きくなり、大き
な粒子を撮像するのに適している。この装置では、対物
レンズ９の倍率を選択あるいは測定途中に切り換えでき
るようにしており（図示していない）、粒径の測定レン
ジを広くしている。The area of the image pickup area is determined by the imaging magnification and the size of the video camera 10 with respect to the light receiving surface.
If the magnification of the objective lens 9 is increased, the imaging area becomes smaller, but large particles can be imaged. Decreasing the magnification of the objective lens 9 increases the imaging area, which is suitable for imaging large particles. In this apparatus, the magnification of the objective lens 9 can be selected or switched during measurement (not shown), and the measurement range of the particle diameter is widened.
【００４４】図１８は、この実施例における画像処理系
を示すブロック図であり、ビデオカメラ１０からの画像
信号は、画像処理部（パーソナルコンピュータ）１１で
処理され、出力部としてのモニターテレビ１２に表示さ
れる。１３は各種の入力操作や指令操作等を行なうため
の入力部（キーボード及びマウス）である。さらに、画
像処理部１１は、算出部２１、図表作成部２２および解
析部２３を備える。FIG. 18 is a block diagram showing an image processing system in this embodiment. An image signal from a video camera 10 is processed by an image processing section (personal computer) 11 and is sent to a monitor television 12 as an output section. Is displayed. Reference numeral 13 denotes an input unit (keyboard and mouse) for performing various input operations and command operations. Further, the image processing unit 11 includes a calculation unit 21, a chart creation unit 22, and an analysis unit 23.
【００４５】１／３０秒ごとの粒子撮像画面に対する画
像処理の手順を図３に示す。図３において、算出部２１
はステップＳ１〜Ｓ９およびＳ１４の処理を、図表作成
部２２はステップＳ１０，Ｓ１１の処理を、解析部２３
はステップＳ１２，Ｓ１３の処理をそれぞれ実行する。FIG. 3 shows the procedure of image processing on the particle image screen every 1/30 second. In FIG. 3, the calculating unit 21
Represents the processing of steps S1 to S9 and S14, the chart creating unit 22 performs the processing of steps S10 and S11,
Executes the processing of steps S12 and S13, respectively.
【００４６】画像信号は、画像処理部１１に取り込まれ
てＡ／Ｄ変換され、画像データとして取り込まれる（ス
テップＳ１）。まず懸濁液流に対する照射光の強度むら
（シェーディング）を補正するためのバックグランド補
正が行われる（ステップＳ２）。The image signal is captured by the image processing section 11, A / D converted, and captured as image data (step S1). First, background correction is performed to correct the intensity unevenness (shading) of the irradiation light with respect to the suspension flow (step S2).
【００４７】具体的には、粒子がフローセル５を通過し
ていない時に光照射して得られる画像データを、測定前
にあらかじめ取り込んでおき、その画像データと実際の
粒子撮像画面の画像データとを比較演算することであ
り、画像処理として一般的によく知られた処理である。
次に、粒子像の輪郭を的確に抽出するための前処理とし
て輪郭強調処理を行う（ステップＳ３）。具体的には、
一般的によく知られたラプラシアン強調処理を行う。More specifically, image data obtained by irradiating light when the particles do not pass through the flow cell 5 is previously captured before measurement, and the image data and the image data of the actual particle imaging screen are compared. This is a comparison operation, which is a process generally well known as image processing.
Next, contour emphasis processing is performed as preprocessing for accurately extracting the contour of the particle image (step S3). In particular,
A generally well-known Laplacian enhancement process is performed.
【００４８】次に、画像データをある適当なスレシホー
ルドレベルで２値化する（ステップＳ４）。次に、２値
化された粒子像に対してエッジ点かどうかを判定すると
ともに、着目しているエッジ点に対して隣合うエッジ点
がどの方向にあるかの情報、すなわちチェインコードを
生成する（ステップＳ５）。次に、このチェインコード
を参照しながら粒子像のエッジトレースを行い、各粒子
像の総画素数、総エッジ数、斜めエッジ数を求める（ス
テップＳ６）。Next, the image data is binarized at an appropriate threshold level (step S4). Next, it is determined whether or not the binarized particle image is an edge point, and information on the direction of an edge point adjacent to the focused edge point, that is, a chain code is generated. (Step S5). Next, an edge trace of the particle image is performed with reference to the chain code, and the total number of pixels, the total number of edges, and the number of oblique edges of each particle image are obtained (step S6).
【００４９】高性能のパイプライン処理可能な画像処理
装置を使用すれば、以上の画像処理を、１／３０秒ごと
に撮像される画面に対してリアルタイムに処理すること
ができる。この装置では、ある倍率で撮像される複数の
画面に対して上記画像処理を繰り返し行い、次に異なる
撮像倍率に切り換えて撮像し、同様の画像処理を行う。
また、撮像されたフレームから粒子像の切り出しを行
い、切り出した粒子像を画像処理装置１１の画像メモリ
に格納する（ステップＳ７）。If an image processing apparatus capable of high-performance pipeline processing is used, the above image processing can be performed in real time on a screen imaged every 1/30 second. In this apparatus, the above-described image processing is repeatedly performed on a plurality of screens imaged at a certain magnification, and then the imaging is switched to a different imaging magnification to perform the same image processing.
Further, a particle image is cut out from the captured frame, and the cut-out particle image is stored in the image memory of the image processing device 11 (step S7).
【００５０】撮像が終了すると（ステップＳ８）、次の
ようにして、円相当径（粒度）、円形度および長短径比
の算出を行なう（ステップＳ９）。まず、各粒子像に対
して求められた総画素数、総エッジ数、斜めエッジ数か
ら、下記の式によって各粒子像の投影面積Ｓと周囲長Ｌ
を求める。When the imaging is completed (step S8), the circle equivalent diameter (granularity), the circularity, and the major / minor axis ratio are calculated as follows (step S9). First, from the total number of pixels, the total number of edges, and the number of oblique edges obtained for each particle image, the projection area S and the perimeter L of each particle image are calculated by the following equation.
Ask for.
【００５１】図４に示すように、２値画像の周囲のエッ
ジの中心を結んでできる枠内の面積Ｓおよび枠の長さ
（周期長Ｌ）は、１画素当たりの面積を１とした場合、 面積Ｓ＝総画素数−（総エッジ×０．５）−１……(1) 周囲長Ｌ=(総エッジ数−斜めエッジ数)+(斜めエッジ数×√2)……(2)As shown in FIG. 4, the area S in the frame formed by connecting the centers of the edges around the binary image and the length of the frame (period length L) are assuming that the area per pixel is 1. Area S = total number of pixels− (total edge × 0.5) −1 (1) Perimeter L = (total number of edges−number of oblique edges) + (number of oblique edges × √2) (2)
【００５２】次に、上記面積Ｓと周囲長Ｌを用いて円相
当径と円形度を求める。円形当径とは、粒子像の投影面
積と同じ面積を持つ円の直径のことであり、式(3)で表
される。円形度は、式(4)で定義される値であり、粒子
像が円形の時に円形度は１になり、粒子像の外周の凹凸
の程度が大きくなればなるほど円形度は小さい値にな
る。Next, using the area S and the perimeter L, the equivalent circle diameter and the circularity are determined. The circular equivalent diameter is the diameter of a circle having the same area as the projected area of the particle image, and is represented by Expression (3). The circularity is a value defined by the equation (4). The circularity becomes 1 when the particle image is circular, and the circularity becomes smaller as the degree of the irregularities on the outer periphery of the particle image increases.
【００５３】 円相当径＝（粒子投影像面積値／π）1/2×２……(3) 円形度＝（粒子像と同じ投影面積値を持つ円の周囲長）／（粒子投影像の周囲 長） ……(4)Circle equivalent diameter = (particle projected image area value / π) 1/2 × 2 (3) circularity = (perimeter of a circle having the same projected area value as the particle image) / (particle projected image Around length) …… (4)
【００５４】次に、図４より、長径Ｄ１および短径Ｄ２
を求める。フローセル５において、粒子懸濁液流は流体
的学的に細い偏平な試料流に変換され、偏平な粒子や細
長い粒子の向きが流れ方向に沿って揃うので、粒子像に
おいてその流れの方向を考慮することにより長径Ｄ１と
短径Ｄ２が算出される。つまり、図４においてはＸ軸方
向が流れの方向に対応するため、粒子像のエッジ部のＸ
座標、Ｙ座標の最大差分△Ｘ、△Ｙから、それぞれ長径
Ｄ１、短径Ｄ２が次のように算出される。Next, according to FIG. 4, the major axis D1 and the minor axis D2
Ask for. In the flow cell 5, the particle suspension flow is converted into a fluidically thin flat sample flow, and the direction of flat particles and elongated particles is aligned along the flow direction. Therefore, the flow direction is considered in the particle image. By doing so, the major axis D1 and the minor axis D2 are calculated. That is, since the X-axis direction corresponds to the flow direction in FIG.
From the maximum difference △ X, △ Y between the coordinates and the Y coordinate, the major axis D1 and the minor axis D2 are calculated as follows.
【００５５】 Ｄ１＝△Ｘ＝Ｘ4−Ｘ1＋１ ……(5) Ｄ２＝△Ｙ＝Ｙ3−Ｙ2＋１ ……(6) 従って、 長短径比＝Ｄ２／Ｄ１ ……(7) となる。つまり、粒子像が円形や正方形に近い時に長短
径比は１に近くなり、細長くなるほど長短径比は１より
小さい値になる。D1 = △ X = X 4 −X 1 +1 (5) D2 = △ Y = Y 3 −Y 2 +1 (6) Accordingly, the ratio of major axis to minor axis = D2 / D1 (7) Become. That is, when the particle image is close to a circle or a square, the ratio of major axis to minor axis is close to 1, and as the particle image becomes elongated, the ratio of major axis to minor axis becomes a value smaller than 1.
【００５６】このようにして、各粒子像に対して円相当
径（粒度）、円形度および長短径比が算出されると、次
に、キーボード１３からの指令に基づいて、必要なスキ
ャッタグラムやヒストグラムを作成して表示する（ステ
ップＳ１０，Ｓ１１）。When the equivalent circle diameter (grain size), circularity, and major / minor axis ratio are calculated for each particle image in this manner, the necessary scattergram and A histogram is created and displayed (steps S10, S11).
【００５７】そして、表示したスキャッタグラムやヒス
トグラムについて、解析項目や解析領域がキーボード１
３から指定されると、その項目や領域について解析を行
い、つまり、平均値、標準偏差、変動係数、メジアン
値、モード値、１０％累積値、５０％累積値、９０％累
積値等の解析データを算出し、算出結果を表示する（ス
テップＳ１２，Ｓ１３）。Then, regarding the displayed scattergram and histogram, the analysis item and the analysis area are displayed on the keyboard 1.
If specified from 3, analysis is performed for the item or area, that is, analysis of average value, standard deviation, variation coefficient, median value, mode value, 10% cumulative value, 50% cumulative value, 90% cumulative value, etc. The data is calculated, and the calculation result is displayed (steps S12 and S13).
【００５８】図１７は、円相当径と円形度のパラメータ
に基づいて作成されて表示された２次元スキャッタグラ
ムが、破線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄで領域指定されたとき、その
領域における円相当径と円形度の各ヒストグラムと、そ
の領域における解析結果の数値をそれぞれ表示した例を
示している。また、キーボード１３からの指令により、
撮像した粒子像は図１６のように一括表示される（ステ
ップＳ１４）。なお、図１７において、％径は累積％
径、ＳＤとは標準偏差、ＣＶとは変動係数、限粒子率と
は破線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄで囲まれた粒子の比率、大、中、
小粒子率とは、大は破線Ｂより大きい粒子の比率，中は
破線ＡとＢで囲まれた粒子の比率，小は破線Ａより小さ
い粒子の比率である。FIG. 17 shows the two-dimensional scattergram created and displayed based on the parameters of the circle equivalent diameter and the circularity when the area is designated by broken lines A, B, C, and D. An example is shown in which each histogram of diameter and circularity and numerical values of analysis results in the area are displayed. Also, according to a command from the keyboard 13,
The captured particle images are displayed collectively as shown in FIG. 16 (step S14). In FIG. 17, the% diameter is the cumulative%.
The diameter and SD are the standard deviation, the CV is the coefficient of variation, and the limiting particle ratio is the ratio of particles surrounded by broken lines A, B, C, and D, large, medium,
The small particle ratio is a ratio of particles larger than the broken line B, a ratio of particles surrounded by broken lines A and B in the middle, and a ratio of particles smaller than the broken line A in the middle.
【００５９】この装置で得られた、円相当径、円形度、
長短径比による３次元スキャッタグラムの一例を図５に
示す。図５は、Ｘ軸、Ｙ軸を円形度、長短径比、Ｚ軸を
対数変換した円相当径とした例で、円相当径、円形度、
長短径比及びそれらの頻度値に応じて各プロット点（ド
ット）の色を変えて表示することができる。The circle equivalent diameter, circularity,
FIG. 5 shows an example of a three-dimensional scattergram based on the ratio of major axis to minor axis. FIG. 5 is an example in which the X axis and the Y axis are circularity, the ratio of major and minor axes, and the Z axis is logarithmically converted circle equivalent diameter.
The color of each plot point (dot) can be changed and displayed according to the ratio of major axis to minor axis and their frequency values.
【００６０】また、円相当径、円形度、長短径比を限定
することにより、ある特定の粒子（凝集、異物など）を
選択的に３次元スキャッタグラム上に表示することが可
能である。By limiting the circle equivalent diameter, the degree of circularity, and the ratio of the major axis to the minor axis, it is possible to selectively display certain specific particles (aggregates, foreign substances, etc.) on a three-dimensional scattergram.
【００６１】図５は、粒子表面に凹凸があり、比較的形
の揃った粉体（トナーなど）の測定例である。もし、測
定サンプル中に凝集があった場合、図５中の（ロ）、
（ハ）に示すような凝集物がスキャッタグラム上に現れ
ることが予想される。また、図５において円相当径、円
形度、長短径比の各領域を限定した場合、スキャッタグ
ラムは図６のように表示され、限定された粒子群の３次
元分布と比率がわかる。この場合、４０μｍ≦粒径≦１
００μｍ、０．６≦円形度≦０．８、０．２≦長短径比
≦０．４と限定し、比率５．３％として算出される。FIG. 5 shows an example of measurement of powder (toner or the like) having irregularities on the particle surface and having a relatively uniform shape. If there is aggregation in the measurement sample, (b) in FIG.
It is expected that aggregates as shown in (c) appear on the scattergram. In addition, when the respective regions of the circle equivalent diameter, the degree of circularity, and the ratio of major axis to minor axis are limited in FIG. 5, the scattergram is displayed as shown in FIG. 6, and the three-dimensional distribution and the ratio of the limited particle group can be understood. In this case, 40 μm ≦ particle size ≦ 1
It is limited to 00 μm, 0.6 ≦ circularity ≦ 0.8, 0.2 ≦ major axis ratio ≦ 0.4, and the ratio is calculated as 5.3%.
【００６２】図７は粒子が細長い形状の粉体（炭素繊維
など）の測定例である。図７中の（イ）、（ロ）に示す
ような形状の粒子が３次元スキャッタグラムに現れる。
また、図７において、円相当径、円形度、長短径比の各
領域を限定した場合、スキャッタグラムは図８のように
なり、限定された粒子群の３次元分布と比率がわかる。
この場合、２０μｍ≦粒径≦４０μｍ、０．６≦円形度
≦０．７、０．１≦長短径比≦０．３であり、比率＝１
６．３％として算出される。FIG. 7 shows a measurement example of a powder (e.g., carbon fiber) in which particles are elongated. Particles having shapes as shown in (a) and (b) in FIG. 7 appear in the three-dimensional scattergram.
In addition, in FIG. 7, when each area of the circle equivalent diameter, the degree of circularity, and the ratio of the major axis to the minor axis is limited, the scattergram is as shown in FIG.
In this case, 20 μm ≦ particle diameter ≦ 40 μm, 0.6 ≦ roundness ≦ 0.7, 0.1 ≦ major axis ratio ≦ 0.3, and the ratio = 1
Calculated as 6.3%.
【００６３】このように、３次元スキャッタグラムで表
すことにより、粒子の大きさ（粒子径）、粒子表面状態
（円形度）、粒子形状（長短径比）が３次元的に把握さ
れ、粒子特性が視覚的に確認でき、限定された粒子群の
比率がわかる。図５の３次元スキャッタグラムを２次元
スキャッタグラムに展開した例を図９〜図１１に示す。
図９は横軸を対数変換した円相当径、縦軸を円形度、図
１０は横軸を対数変換した円相当径、縦軸を長短径比、
図１１は横軸を長短径比、縦軸を円形度としたときの例
である。As described above, the three-dimensional scattergram is used to grasp the particle size (particle diameter), particle surface state (circularity), and particle shape (long-short diameter ratio) three-dimensionally. Can be visually confirmed, and the ratio of the limited particle group can be understood. FIGS. 9 to 11 show examples in which the three-dimensional scattergram of FIG. 5 is developed into a two-dimensional scattergram.
FIG. 9 is a circle-equivalent diameter obtained by logarithmically converting the horizontal axis, a vertical axis represents the degree of circularity, and FIG.
FIG. 11 shows an example in which the abscissa is the ratio of the major axis to the minor axis and the ordinate is the circularity.
【００６４】図９〜図１１の各プロット点（ドット）の
色は２次元頻度値に応じて変えることができる。図９は
円相当径と円形度の２次元スキャッタグラムであるが、
撮像された粒子像から、枠線Ａ，Ｂで囲まれた部分の粒
子はそれぞれ（イ）凝集粒子、（ロ）未凝集粒子である
と推測できるが、その凝集粒子の形については、推測で
きない。The color of each plot point (dot) in FIGS. 9 to 11 can be changed according to the two-dimensional frequency value. FIG. 9 is a two-dimensional scattergram of a circle equivalent diameter and a circularity,
From the captured particle images, the particles in the portions surrounded by the frame lines A and B can be estimated to be (A) aggregated particles and (B) unaggregated particles, respectively, but the shape of the aggregated particles cannot be estimated. .
【００６５】そのため、図１０の円相当径と長短径比と
の２次元スキャッタグラム、および図１１の長短径比と
円形度との２次元スキャッタグラムにおける枠線Ａ，
Ｂ，Ｃで囲まれた粒子の形状がそれぞれ（イ）、
（ロ）、（ハ）に示すような形状であると推測出来るこ
とから、図９の枠線Ａで囲まれた凝集粒子の形は枝状に
繋がった形状と塊状を含むことが推測できる。Therefore, the frame lines A, 2 in the two-dimensional scattergram of the circle equivalent diameter and the ratio of the major axis to the minor axis in FIG. 10 and the two-dimensional scattergram of the ratio of the major axis to the minor axis in FIG.
The shapes of the particles surrounded by B and C are (a), respectively.
Since it can be inferred that the shapes are as shown in (b) and (c), it can be inferred that the shape of the aggregated particles surrounded by the frame A in FIG. 9 includes a shape connected in a branch and a lump.
【００６６】また、円形度と長短径比の比率（長短径比
／円形度）のパラメータを新たに算出し、円相当径との
２次元スキャッタグラムを図１２のように描かすことに
よっても、図１２の枠線Ａ，Ｂ，Ｃで囲まれた粒子が
（イ）、（ロ）、（ハ）に示すような形状であると推測
できるので、同様な効果が期待できる。Alternatively, a parameter of the ratio of the circularity to the major / minor diameter ratio (major / minor diameter ratio / circularity) is newly calculated, and a two-dimensional scattergram with the circle equivalent diameter is drawn as shown in FIG. Since the particles surrounded by the frame lines A, B, and C in FIG. 12 can be estimated to have the shapes shown in (a), (b), and (c), similar effects can be expected.
【００６７】また、上記スキャッタグラムを図１３〜図
１５に示すように円形度、長短径比／円形度あるいは長
短径比だけに着目して、その頻度分布や累積分布のヒス
トグラムに展開することができる。ここでは、円形度に
着目した頻度分布や累積分布の例を図１３に示す。この
ヒストグラムから解析データとして、平均円形度＝０．
８９５、円形度標準差＝０．１５２、５０％円形度＝
０．９０７、モード円形度＝０．９２０を算出し、表示
することが可能である。Further, as shown in FIGS. 13 to 15, the above scattergram can be developed into a histogram of its frequency distribution and cumulative distribution by focusing only on the degree of circularity, the ratio of major and minor diameters / circularity or the ratio of major and minor diameters. it can. Here, FIG. 13 shows an example of a frequency distribution and a cumulative distribution focusing on circularity. From this histogram, the average circularity = 0.
895, circularity standard difference = 0.152, 50% circularity =
It is possible to calculate and display 0.907 and mode circularity = 0.920.
【００６８】また、円形度を限定してその比率を求める
ことができる。例えば、図１３は粒子表面形状の異なる
２種類の粒子の混合された粒子の分布であり、目的の円
形度を持つ粒子の比率（枠線Ｒで囲まれた部分）を求め
ることができる。つまり、０．７５≦円形度≦０．８３
と限定することにより、比率３０．５％が算出される。Further, the ratio can be obtained by limiting the circularity. For example, FIG. 13 shows a distribution of particles in which two types of particles having different particle surface shapes are mixed, and a ratio of particles having a target circularity (portion surrounded by a frame line R) can be obtained. That is, 0.75 ≦ circularity ≦ 0.83
Is calculated, a ratio of 30.5% is calculated.
【００６９】同様に図１４および図１５に示すように長
短径比／円形度及び長短径比にそれぞれ着目した頻度分
布や累積分布のヒストグラムを描くことにより、２次元
スキャッタグラム（図１１）と同じような分析結果を１
次元ヒストグラムから得ることができる。このように、
粒子表面状態、粒子の形をコントロールしなければなら
ない粉体に対して、これらの分布データはきわめて有用
である。Similarly, as shown in FIGS. 14 and 15, histograms of the frequency distribution and the cumulative distribution focusing on the major / minor axis ratio / circularity and the major / minor axis ratio are drawn, thereby obtaining the same as the two-dimensional scattergram (FIG. 11). Such analysis results 1
It can be obtained from a dimensional histogram. in this way,
These distribution data are extremely useful for powders whose particle surface condition and particle shape must be controlled.
【００７０】さらに、この装置では、上記のように撮像
した粒子像から円相当径、円形度や長短径比を求めるだ
けでなく、撮像した粒子像を記憶しておき、測定後に大
きさ別にクラス分けして図１６に示すように、一括表示
する機能も有している。もっとも、画像を記憶する画像
メモリの容量に制限があるので、撮像された全ての粒子
像を記憶、表示するわけではない。撮像された粒子像を
一括表示できる機能を有しているので、粒子の形態や凝
集状態を直接使用者が確認することができる。Further, in this apparatus, not only the circle equivalent diameter, the circularity and the ratio of major axis to minor axis are obtained from the particle images captured as described above, but also the captured particle images are stored, and the class is classified by size after measurement. As shown in FIG. 16, a function of batch display is also provided. However, since the capacity of the image memory for storing images is limited, not all captured particle images are stored and displayed. The user can directly check the morphology and the aggregation state of the particles because the apparatus has a function of displaying the captured particle images all at once.
【００７１】粒子どうし凝集することが重要な意味を持
つような場合には、図１６に示す各枠内の粒子像につい
て、一次（単独）粒子像か、２個凝集粒子像か、３個凝
集粒子像か、高次凝集塊か、あるいは対象外の粒子か
を、使用者が判定し、キーボード１３を用いて入力す
る。その判定結果をもとにして、凝集している粒子の数
の比率を自動的に計算することができる。もし、一括表
示された粒子像の中に凝集粒子像が全く無い場合には、
図９や図１０の２次元スキャッタグラムでの円形度や長
短径比の算出値は、真に粒子の円形度や長短径比を表し
ていると考えてよい。When it is important that the particles are aggregated, the primary (single) particle image, the two-aggregate particle image, or the three-aggregate particle image in each frame shown in FIG. The user determines whether the image is a particle image, a higher-order aggregate, or a particle that is not a target, and inputs it using the keyboard 13. Based on the determination result, the ratio of the number of aggregated particles can be automatically calculated. If there is no agglomerated particle image in the collectively displayed particle image,
The calculated values of the circularity and the major / minor diameter ratio in the two-dimensional scattergrams of FIGS. 9 and 10 may be considered to truly represent the circularity and the major / minor diameter ratio of the particles.
【００７２】また、上記判定結果をもとにして、一次粒
子（凝集していない粒子）像だけを対象にして画像解析
し直すこともできる。記憶できる粒子像の数に限りがあ
るので、再現性の良い解析結果が得られない場合もある
が、対象外の粒子（ごみ等）や凝集粒子を除いて解析す
るので、より正確な粒度分布、円形度および、長短径比
が求められる。Further, based on the above determination result, the image analysis can be performed again only on the primary particle (non-aggregated particle) image. Because the number of memorized particle images is limited, analysis results with good reproducibility may not be obtained.However, since the analysis is performed excluding non-target particles (such as dust) and aggregated particles, a more accurate particle size distribution is obtained. , Circularity, and ratio of major axis to minor axis are required.
【００７３】上記実施例においては、図１８に示す画像
解析部としてのパーソナルコンピュータ（以下、パソコ
ンという）１１が、図３のステップＳ１〜Ｓ９およびＳ
１４を実行するための算出部２１、同図のステップＳ１
０，Ｓ１１を実行するための図表作成部２２、同図のス
テップＳ１２，Ｓ１３を実行するための解析部２３とし
て機能する。そのためのプログラムが図示しない記憶部
に格納されている。In the above embodiment, the personal computer (hereinafter, referred to as a personal computer) 11 as the image analysis unit shown in FIG.
14 for executing Step 14, Step S1 in FIG.
0 and S11, and an analysis unit 23 for executing steps S12 and S13 in FIG. A program for this is stored in a storage unit (not shown).
【００７４】図１９は、上記実施例の変形例を、図１８
に対応して示したブロック図である。この変形例では、
図１８におけるパソコン１１が、２台のパソコン１１
ａ，１１ｂから構成され、それぞれが入力部１３ａ，１
３ｂ，出力部１２ａ，１２ｂを備える。そして、パソコ
ン１１ａは図１８の算出部２１として機能するためのプ
ログラムを内蔵し、算出部２１は入力部（キーボード）
１３ａから入力される条件に従って図３のステップＳ１
〜Ｓ９を実行する。算出されたパラメータ、つまり、各
粒子像の円相当径、円形度および長短径比は出力部１２
ａでデータ記録媒体２６へ記録されて出力されるか、又
は、通信ケーブルによて直接データ記録部２５へ出力さ
れるようになっている。FIG. 19 shows a modification of the above embodiment, and FIG.
FIG. 3 is a block diagram corresponding to FIG. In this variation,
The personal computer 11 in FIG.
a, 11b, each of which has an input unit 13a, 1b.
3b and output units 12a and 12b. The personal computer 11a incorporates a program for functioning as the calculating unit 21 in FIG. 18, and the calculating unit 21 includes an input unit (keyboard).
Step S1 in FIG.
Steps S9 to S9 are executed. The calculated parameters, that is, the circle equivalent diameter, circularity, and major / minor diameter ratio of each particle image are output from the output unit 12.
The data is recorded on the data recording medium 26 at step a, and is outputted, or is outputted directly to the data recording unit 25 via a communication cable.
【００７５】一方、パソコン１１ｂは、データ記録媒体
２６からパラメータを読み取ってデータ記憶部２５に格
納する。または、パソコン１１ａから通信ケーブルによ
って直接送信されたデータをデータ記憶部２５に格納す
る。そして、図表作成部２２および解析部２３は、入力
部（キーボード）１３ｂから設定される条件に基づい
て、図３のステップＳ１０〜Ｓ１３の処理を実行する。
なお、パソコン１１ｂは、予めプログラム記録媒体２７
からプログラム記憶部２４に読み込んだ分析用プログラ
ムを用いて、図１８の図表作成部２２および解析部２３
としての機能を実行する。On the other hand, the personal computer 11b reads parameters from the data recording medium 26 and stores them in the data storage unit 25. Alternatively, data transmitted directly from the personal computer 11a by a communication cable is stored in the data storage unit 25. Then, the chart creating unit 22 and the analyzing unit 23 execute the processing of steps S10 to S13 in FIG. 3 based on the conditions set from the input unit (keyboard) 13b.
Note that the personal computer 11b stores the program recording medium 27 in advance.
The chart creating unit 22 and the analyzing unit 23 shown in FIG.
Perform the function as
【００７６】図２０は、さらに他の実施例を示し、図１
に示す粒子画像分析装置にパソコン１１ｃを接続した例
である。ここでは、画像処理部１１から得られた円形度
ヒストグラム、長短径比ヒストグラム、粒径と長短径比
の２次元スキャッタグラム、長短径比と円形度の２次元
スキャッタグラム、粒径と円形度と長短径比の３次元ス
キャッタグラムの分布データがパソコン１１ｃに出力さ
れる。パソコン１１ｃは、プログラム記録媒体２７ａか
ら読み込んだ分析用プログラムを用いて、図３のステッ
プＳ１１〜Ｓ１３の処理を実行する。その処理結果は出
力部１２ｃに出力される。なお、入力部１３ｃは、パソ
コン１１ｃの各種処理条件を設定するためのキーボード
およびマウスから構成される。FIG. 20 shows still another embodiment, and FIG.
This is an example in which a personal computer 11c is connected to the particle image analyzer shown in FIG. Here, the circularity histogram, the major / minor diameter ratio histogram, the two-dimensional scattergram of the particle diameter and the major / minor diameter ratio, the two-dimensional scattergram of the major / minor diameter ratio and the circularity, the particle diameter and the circularity obtained from the image processing unit 11 are obtained. The distribution data of the three-dimensional scattergram with the ratio of the major axis to the minor axis is output to the personal computer 11c. The personal computer 11c executes the processing of steps S11 to S13 in FIG. 3 using the analysis program read from the program recording medium 27a. The processing result is output to the output unit 12c. The input unit 13c includes a keyboard and a mouse for setting various processing conditions of the personal computer 11c.
【００７７】ここで、データ記録媒体２６およびプログ
ラム記録媒体２７、２７ａには、ＲＯＭやＥＥＰＲＯＭ
からなるメモリーガード，フロッピーディスク，ハード
ディスク，又はＣＤ−ＲＯＭを用いることができる。こ
れらの変形例によれば、記録媒体２７，２７ａに記録さ
れたプログラムを変更することにより、パソコン１１
ｂ，１１ｃの分析機能の拡張や、分析仕様の変更を任意
に行うことができる。Here, the data recording medium 26 and the program recording media 27 and 27a are provided with a ROM or an EEPROM.
, A floppy disk, a hard disk, or a CD-ROM. According to these modified examples, by changing the program recorded on the recording media 27, 27a, the personal computer 11
It is possible to arbitrarily expand the analysis functions of b and 11c and change the analysis specifications.
【００７８】[0078]
【発明の効果】この発明は、次のような効果を奏する。 １．各粒子の円形度又は長短径比によるヒストグラムか
ら粒子形状を容易に把握することができる。 ２．円形度また長短径比のヒストグラムの解析結果の情
報を用いて、粒子の形状に関しての定量的な品質管理が
できる。The present invention has the following effects. 1. The particle shape can be easily grasped from a histogram based on the circularity or the ratio of the major axis to the minor axis of each particle. 2. Using the information of the analysis result of the histogram of the circularity or the ratio of the major axis to the minor axis, quantitative quality control regarding the shape of the particles can be performed.
【００７９】３．２種類以上の粒子を含む粉体の評価に
おいて、、円相当径に対する円形度または長短径比のパ
ラメータの２次元スキャッタグラムによって、それぞれ
の種類の粒子群を区分けすることが容易になり、対象と
している粒子群だけに着目しての解析を行うことがで
き、より有用で定量的な情報が得られる。 ４．各粒子の粒度、円形度および長短径比による３次元
スキャッタグラムから粒子形状についての情報を詳細に
得ることができる。3. In the evaluation of a powder containing two or more types of particles, it is easy to classify each type of particle group based on a two-dimensional scattergram of a parameter of circularity or ratio of major axis to minor axis relative to a circle equivalent diameter. Thus, the analysis can be performed by focusing only on the target particle group, and more useful and quantitative information can be obtained. 4. Information on the particle shape can be obtained in detail from a three-dimensional scattergram based on the particle size, circularity, and major / minor diameter ratio of each particle.
【図１】実施例の構成説明図である。FIG. 1 is a configuration explanatory diagram of an embodiment.
【図２】図１の要部拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of FIG.
【図３】粒子撮像画面の例を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating an example of a particle imaging screen.
【図４】実施例における粒子の撮影面積、周囲長、長
径、および短径の算出方法を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a method for calculating the imaging area, perimeter, major axis, and minor axis of a particle in the embodiment.
【図５】実施例において表示される３次元スキャッタグ
ラムである。FIG. 5 is a three-dimensional scattergram displayed in the embodiment.
【図６】実施例において表示される３次元スキャッタグ
ラムである。FIG. 6 is a three-dimensional scattergram displayed in the embodiment.
【図７】実施例において表示される３次元スキャッタグ
ラムである。FIG. 7 is a three-dimensional scattergram displayed in the embodiment.
【図８】実施例において表示される３次元スキャッタグ
ラムである。FIG. 8 is a three-dimensional scattergram displayed in the embodiment.
【図９】実施例において表示される２次元スキャッタグ
ラムである。FIG. 9 is a two-dimensional scattergram displayed in the embodiment.
【図１０】実施例において表示される２次元スキャッタ
グラムである。FIG. 10 is a two-dimensional scattergram displayed in the embodiment.
【図１１】実施例において表示される２次元スキャッタ
グラムである。FIG. 11 is a two-dimensional scattergram displayed in the embodiment.
【図１２】実施例において表示される２次元スキャッタ
グラムである。FIG. 12 is a two-dimensional scattergram displayed in the embodiment.
【図１３】実施例において表示されるヒストグラムであ
る。FIG. 13 is a histogram displayed in the embodiment.
【図１４】実施例において表示されるヒストグラムであ
る。FIG. 14 is a histogram displayed in the embodiment.
【図１５】実施例において表示されるヒストグラムであ
る。FIG. 15 is a histogram displayed in the embodiment.
【図１６】実施例の表示画像の例を示す説明図である。FIG. 16 is an explanatory diagram illustrating an example of a display image according to the embodiment.
【図１７】実施例において表示される表示例である。FIG. 17 is a display example displayed in the embodiment.
【図１８】実施例の要部の構成を示すブロック図であ
る。FIG. 18 is a block diagram illustrating a configuration of a main part of the embodiment.
【図１９】この発明の変形例の要部の構成を示すブロッ
ク図である。FIG. 19 is a block diagram showing a configuration of a main part of a modification of the present invention.
【図２０】この発明の他の変形例の要部の構成を示すブ
ロック図である。FIG. 20 is a block diagram showing a configuration of a main part of another modification of the present invention.
１ 吸引ピペット ２ サンプルフィルター ３ 試料チャージングライン ４ シースシリンジ ５ フローセル ６ シース液ボトル ７ シース液チャンバー ８ ストロボ ９ 対物レンズ １０ ビデオカメラ １１ 画像処理装置 １２ モニターテレビ １３ キーボード Reference Signs List 1 suction pipette 2 sample filter 3 sample charging line 4 sheath syringe 5 flow cell 6 sheath liquid bottle 7 sheath liquid chamber 8 strobe 9 objective lens 10 video camera 11 image processing device 12 monitor television 13 keyboard
Claims (5)
移動粒子に対して光を照射する光照射部と、光照射され
た粒子を撮像する撮像部と、撮像された粒子像を画像処
理する画像処理部と、画像処理結果を出力する出力部と
を備え、 画像処理部は、撮像された各粒子像について、粒径パラ
メータ、円形度パラメータ、長短径比パラメータ、以上
３つのパラメータのうち必要なパラメータを算出する算
出部と、上記算出されたパラメータから、円形度パラメ
ータによる分布データ、長短径比パラメータによる分布
データ、粒径パラメータと長短径比パラメータとによる
分布データ、円形度パラメータと長短径比パラメータと
による分布データ、粒径パラメータと円形度パラメータ
と長短径比パラメータとによる分布データ、以上５つの
分布データのうち少なくとも１つの分布データを作成し
それを分布図として出力するための図表作成部と、分布
データに対し解析を行いその解析結果を出力部に出力す
る解析部とからなることを特徴とする粒子画像分析装
置。1. A particle moving means for moving a plurality of particles,
A light irradiating unit that irradiates the moving particles with light, an imaging unit that captures the light-irradiated particles, an image processing unit that performs image processing on the captured particle image, and an output unit that outputs an image processing result. The image processing unit includes, for each of the captured particle images, a particle size parameter, a circularity parameter, a major / minor diameter ratio parameter, and a calculating unit that calculates necessary parameters among the above three parameters. , Distribution data by the circularity parameter, distribution data by the major / minor diameter ratio parameter, distribution data by the particle diameter parameter and the major / minor diameter ratio parameter, distribution data by the circularity parameter and the major / minor diameter ratio parameter, particle diameter parameter and the circularity parameter Distribution data based on the long / short diameter ratio parameter, at least one of the above five distribution data is created and distributed. A particle image analyzer, comprising: a chart creating unit for outputting a cloth diagram; and an analyzing unit for analyzing distribution data and outputting the analysis result to an output unit.
さらに備え、解析部は、その指定された領域内の分布デ
ータに対し解析を行いその解析結果を出力部に出力する
請求項１記載の粒子画像分析装置。2. The apparatus according to claim 1, further comprising a designation unit for designating a predetermined area in the distribution map, wherein the analysis unit analyzes distribution data in the designated area and outputs the analysis result to an output unit. The particle image analyzer according to Claim.
布データを累積する分布データ累積部を備え、その累積
された分布データを合成分布図として出力部に出力させ
る分布データ合成機能をさらに備えてなる請求項１又は
２記載の粒子画像分析装置。3. The chart creating section includes a distribution data accumulating section for accumulating a plurality of individually obtained distribution data, and has a distribution data synthesizing function of outputting the accumulated distribution data to an output section as a synthetic distribution chart. The particle image analyzer according to claim 1 or 2, further comprising:
れる粒子画像から、粒径パラメータ，円形度パラメータ
および長短径比パラメータの少なくとも１つのパラメー
タを算出し、得られたパラメータの値を集計し、円形度
パラメータによる分布データ，長短径比パラメータによ
る分布パラメータ，粒径パラメータと長短径比パラメー
タとによる分布データ，円形度パラメータと長短径比パ
ラメータとによる分布データ，粒径パラメータと円形度
パラメータと長短径比パラメータとによる分布データ、
以上５つの分布データのうち少なくとも１つの分布デー
タを作成しそれを分布図として出力する図表作成機能及
びその作成された分布データに対し解析を行いその解析
結果を出力する解析機能を実行するための分析用プログ
ラムを記録した記録媒体。4. A method for calculating at least one of a particle diameter parameter, a circularity parameter, and a major / minor diameter ratio parameter from a particle image obtained by sequentially imaging a plurality of moving particles, and tabulating the values of the obtained parameters. And distribution data based on the circularity parameter, distribution parameters based on the major / minor diameter ratio parameter, distribution data based on the particle diameter parameter and the major / minor diameter ratio parameter, distribution data based on the circularity parameter and the major / minor diameter ratio parameter, particle diameter parameter and the circularity parameter Distribution data based on the parameter
A chart creation function for creating at least one of the five distribution data and outputting the created distribution data as a distribution chart, and an analysis function for analyzing the created distribution data and outputting the analysis result. A recording medium on which an analysis program is recorded.
れる粒子画像から算出された粒径パラメータ，円形度パ
ラメータおよび長短径比パラメータの内の少なくとも１
つのパラメータの値を集計し、円形度パラメータによる
分布データ，長短径比パラメータによる分布パラメー
タ，粒径パラメータと長短径比パラメータとによる分布
データ，円形度パラメータと長短径比パラメータとによ
る分布データ，粒径パラメータと円形度パラメータと長
短径比パラメータとによる分布データ、以上５つの分布
データのうち少なくとも１つの分布データを作成しそれ
を分布図として出力する図表作成機能及びその作成され
た分布データに対し解析を行いその解析結果を出力する
解析機能を実行するための分析用プログラムを記録した
記録媒体。5. At least one of a particle diameter parameter, a circularity parameter, and a major / minor diameter ratio parameter calculated from a particle image obtained by sequentially imaging a plurality of moving particles.
The values of the two parameters are tabulated, and the distribution data based on the circularity parameter, the distribution parameter based on the major / minor diameter ratio parameter, the distribution data based on the particle diameter parameter and the major / minor diameter ratio parameter, the distribution data based on the circularity parameter and the major / minor diameter ratio parameter, A chart creation function for creating distribution data based on a diameter parameter, a circularity parameter, and a major / short diameter ratio parameter, at least one of the above five distribution data, and outputting it as a distribution chart, and the created distribution data. A recording medium on which an analysis program for executing an analysis function for performing an analysis and outputting the analysis result is recorded.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9150995A JPH10318904A (en) | 1996-06-10 | 1997-06-09 | Apparatus for analyzing particle image and recording medium recording analysis program therefor |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14727696 | 1996-06-10 | ||
| JP8-147276 | 1997-03-14 | ||
| JP9-60323 | 1997-03-14 | ||
| JP6032397 | 1997-03-14 | ||
| JP9150995A JPH10318904A (en) | 1996-06-10 | 1997-06-09 | Apparatus for analyzing particle image and recording medium recording analysis program therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10318904A true JPH10318904A (en) | 1998-12-04 |
Family
ID=27297147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9150995A Pending JPH10318904A (en) | 1996-06-10 | 1997-06-09 | Apparatus for analyzing particle image and recording medium recording analysis program therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10318904A (en) |
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