JPH10309689A - Conveying device - Google Patents
Conveying deviceInfo
- Publication number
- JPH10309689A JPH10309689A JP11798597A JP11798597A JPH10309689A JP H10309689 A JPH10309689 A JP H10309689A JP 11798597 A JP11798597 A JP 11798597A JP 11798597 A JP11798597 A JP 11798597A JP H10309689 A JPH10309689 A JP H10309689A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- linear guide
- transfer device
- work
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、板状のワークを精
度良く搬送する搬送装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device for transferring a plate-like work with high accuracy.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、板状のワークを搬送する搬送装置
においては、特に、ワークを段積み状態で収納するカセ
ット等にワークを収納したり取り出したりする作業を行
なう場合、ワークが板状で寸法がかなり大きいと、搬送
装置がワークを支持したときのわずかな傾きやたわみ、
カセットの設置などでのわずかな傾きが、ワークの先端
位置とカセットの収納位置のずれとしてかなり大きな値
となって表われる。2. Description of the Related Art Conventionally, in a transfer apparatus for transferring a plate-shaped work, particularly when the work is stored or taken out of a cassette or the like for storing the work in a stacked state, the work is formed in a plate shape. If the dimensions are quite large, slight tilting or bending when the transfer device supports the work,
A slight inclination due to the installation of the cassette or the like appears as a considerably large value as a deviation between the leading end position of the work and the storage position of the cassette.
【0003】この様子を図7を参照して説明する。This situation will be described with reference to FIG.
【0004】図7において、搬送装置100は、アーム
102を図中左右方向に移動させるリニアガイド104
と、リニアガイド104を支持するベース106と、ベ
ース106を水平面内で回転させるとともに上下方向に
移動させる回転昇降機構部108とから構成されてい
る。このように構成される搬送装置100においては、
回転昇降機構部108の軸の傾きが少なくベース106
の先端の傾き量がδ1のように少ない量であったとして
も、ワークWの寸法が大きい場合、アーム102の先
端、さらにはワークWの先端の傾き量は、δ1よりかな
り大きいδ3となり、ワークの先端のずれ量は大きいも
のとなる。更には、このような傾きに加えてアーム10
2およびワークのたわみがこのずれ量に加わるため、ワ
ークWの先端のずれ量は更に大きいものとなる。また、
カセットの傾きによるずれδ4も、収納しようとするワ
ークが大型化するにつれて大きくなる。In FIG. 7, a transfer device 100 includes a linear guide 104 for moving an arm 102 in the left-right direction in the figure.
, A base 106 that supports the linear guide 104, and a rotary elevating mechanism 108 that rotates the base 106 in a horizontal plane and moves the base 106 up and down. In the transport device 100 configured as described above,
The inclination of the axis of the rotary elevating mechanism 108 is small and the base 106
Even if the amount of inclination of the tip of the workpiece W is small such as δ1, when the size of the work W is large, the amount of inclination of the tip of the arm 102 and further the tip of the workpiece W becomes δ3, which is considerably larger than δ1, and Is large. Further, in addition to such a tilt, the arm 10
2 and the deflection of the work are added to this shift amount, so that the shift amount at the front end of the work W is further increased. Also,
The displacement δ4 due to the inclination of the cassette also increases as the work to be stored becomes larger.
【0005】一方、カセットに関してみれば、ワークの
収納効率を向上させるためには、ワークをなるべく狭い
ピッチで段積みしたほうが好ましい。この場合、搬送装
置100のアーム102は、1枚1枚のワークに対応し
た狭いスペース内に進入する必要があり、アーム102
の位置精度は非常に厳しいものとなる。On the other hand, regarding the cassette, it is preferable to stack the work at a pitch as narrow as possible in order to improve the storage efficiency of the work. In this case, the arm 102 of the transfer device 100 needs to enter a narrow space corresponding to each work, and the arm 102
Is very strict.
【0006】これらのことから考えると、ワークをミス
なくカセットに収納及び取り出しを行い、且つカセット
の収納効率を向上させようとすれば、搬送装置には極め
て厳しい精度が要求されることとなる。Considering these facts, in order to store and take out the work in the cassette without error and to improve the storage efficiency of the cassette, extremely strict accuracy is required for the transfer device.
【0007】このような精度に対する要求を満足する方
法としては、次のような方法が考えられる。 (1)板状のワークの支持方法の改善により、ワークの
たわみを小さくする。 (2)ワークを搬送するアームの剛性を高め、アーム自
身のたわみを小さくする。 (3)カセットへのワークの受渡し方法を制限する。 (4)通常、複数個使用されているカセットの精度を良
くし、カセットが替わっても、ワークの収納位置が一定
になるようにする。 (5)搬送装置の搬送精度を向上させる。As a method for satisfying such a demand for accuracy, the following method can be considered. (1) The deflection of a work is reduced by improving the method of supporting a plate-like work. (2) The rigidity of the arm for transferring the work is increased, and the deflection of the arm itself is reduced. (3) The method of transferring the work to the cassette is restricted. (4) Normally, the accuracy of a plurality of used cassettes is improved so that the work storage position is kept constant even when the cassette is changed. (5) Improve the transfer accuracy of the transfer device.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法のうち例えば(1)の方法では、製品の品質を保つ
上で、あるいは装置の構成上の理由から、ワークに接触
してはならない部分や、接触できない部分があり、常に
は最適なワーク支持が行えないという問題点がある。However, in the above-mentioned method (1), for example, parts which must not come into contact with the workpiece for reasons of maintaining the quality of the product or of the structure of the apparatus. However, there is a problem that some parts cannot be brought into contact with each other, and optimal work support cannot always be performed.
【0009】また、(2)の方法では、アームの材質や
形状等の改善により効果が得られる可能性があるが、ワ
ークを持ったアームがカセットの狭い段積みピッチ内の
スペースに出入りする必要があるため、アームの厚みに
制約があり、アームの剛性の向上にも限界がある。In the method (2), the effect may be obtained by improving the material and shape of the arm. However, it is necessary for the arm having the work to enter and exit the space within the narrow stacking pitch of the cassette. Therefore, there is a limitation on the thickness of the arm, and there is a limit in improving the rigidity of the arm.
【0010】また、(3)の方法では、カセットの上端
あるいは下端あるいは幅方向にスペースを設けることが
考えられる。例えば、カセットの上端にスペースを設
け、ワーク収納はカセットの上の段から行なう。また、
カセットの下端にスペースを設け、ワーク排出はカセッ
トの下の段から行なう。このような方法をとれば、搬送
装置の精度に対する要求は低くなる。しかしながら、こ
のようにカセットに余分なスペースを設ければ、カセッ
トのデッドスペース分だけ収納効率が下がる。また、カ
セットへのワークの収納方法及び取り出し方法に制約が
生じる。In the method (3), a space may be provided at the upper or lower end of the cassette or in the width direction. For example, a space is provided at the upper end of the cassette, and the work is stored from the upper stage of the cassette. Also,
A space is provided at the lower end of the cassette, and the work is discharged from the lower stage of the cassette. With such a method, the demands on the accuracy of the transfer device are reduced. However, if an extra space is provided in the cassette, the storage efficiency is reduced by the dead space of the cassette. In addition, there are restrictions on the method of storing and removing the work in the cassette.
【0011】また、(4)の方法では、カセットのコス
トが上がり、カセットの数(通常かなりの数)分のコス
トアップが生じる。In the method (4), the cost of the cassette is increased, and the cost is increased by the number of cassettes (usually a considerable number).
【0012】更に、(5)の方法では、搬送装置そのも
のの、すなわち、装置駆動系や構造体の剛性アップ、精
度アップを行なう必要がある。特に、この様な上記のよ
うな搬送装置では、熱によるリニアガイド104の部分
の反りが大きな値となって表われるため、熱の影響をキ
ャンセルできる程度の剛性アップ又は冷却構造が必要と
なる。そのため、装置がかなり大型化し、コストも高く
なるといった問題が生じる。Further, in the method (5), it is necessary to increase the rigidity and accuracy of the transfer device itself, that is, the device drive system and the structure. In particular, in such a transfer apparatus as described above, since the warpage of the linear guide 104 due to heat appears as a large value, a rigidity-up or cooling structure that can cancel the influence of heat is required. Therefore, there arises a problem that the device becomes considerably large and the cost becomes high.
【0013】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、簡易な構造で、搬送精
度を向上させることができる搬送装置を提供することで
ある。Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a transfer device which has a simple structure and can improve transfer accuracy.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる搬送装置は、ベ
ースと、該ベース上に固定されたリニアガイドと、ワー
クを支持するための支持手段であって、前記リニアガイ
ドに沿って直進移動する支持手段と、前記ベースの前記
リニアガイドが固定された面の裏側に前記ベースを挟ん
で略対称に固定された所の前記リニアガイドと略同形状
のブロックとを具備することを特徴としている。Means for Solving the Problems The above-mentioned problems are solved,
In order to achieve the object, a transfer device according to the present invention includes a base, a linear guide fixed on the base, and support means for supporting a work, and linearly moves along the linear guide. It is characterized by comprising a support means and a block having substantially the same shape as that of the linear guide, which is fixed symmetrically across the base on the back side of the surface of the base on which the linear guide is fixed.
【0015】また、この発明に係わる搬送装置におい
て、前記ブロックは、前記リニアガイドと同等の熱膨張
係数を有する材料からなることを特徴としている。Further, in the transfer device according to the present invention, the block is made of a material having a thermal expansion coefficient equivalent to that of the linear guide.
【0016】また、この発明に係わる搬送装置におい
て、前記ワークは板状の部材であることを特徴としてい
る。Further, in the transfer device according to the present invention, the work is a plate-shaped member.
【0017】また、この発明に係わる搬送装置におい
て、前記ワークは液晶表示装置用のガラス基板であるこ
とを特徴としている。Further, in the transfer device according to the present invention, the work is a glass substrate for a liquid crystal display device.
【0018】また、この発明に係わる搬送装置におい
て、前記ベースは、前記リニアガイドに比較して比重の
小さい材料からなることを特徴としている。Further, in the transfer device according to the present invention, the base is made of a material having a lower specific gravity than the linear guide.
【0019】また、この発明に係わる搬送装置におい
て、前記ベースは、前記リニアガイドに比較して熱膨張
係数の大きい材料からなることを特徴としている。Further, in the transfer apparatus according to the present invention, the base is made of a material having a larger coefficient of thermal expansion than the linear guide.
【0020】また、この発明に係わる搬送装置におい
て、前記支持手段には、少なくとも2つのプーリに掛け
渡されたエンドレスのタイミングベルトの一部が固定さ
れており、前記支持手段は前記タイミングベルトの回転
により直進駆動されることを特徴としている。Further, in the transport device according to the present invention, a part of an endless timing belt stretched over at least two pulleys is fixed to the support means, and the support means rotates the timing belt. Is driven straight ahead.
【0021】また、この発明に係わる搬送装置におい
て、前記プーリはモータにより回転駆動されることを特
徴としている。Further, in the transfer apparatus according to the present invention, the pulley is driven to rotate by a motor.
【0022】また、この発明に係わる搬送装置におい
て、前記プーリは、カバーによって覆われていることを
特徴としている。Further, in the transport device according to the present invention, the pulley is covered by a cover.
【0023】また、この発明に係わる搬送装置におい
て、前記ベースを水平面内で回転させる回転手段と、前
記ベースを上下方向に移動させる上下動手段を更に具備
することを特徴としている。Further, the transporting device according to the present invention is characterized by further comprising a rotating means for rotating the base in a horizontal plane, and a vertically moving means for vertically moving the base.
【0024】[0024]
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
【0025】図1は一実施形態に係わる搬送装置の全体
構成を示す図、図2は図1の直動機構部の側断面図、図
3は図2を下方から見た図、図4は図2のA−A断面
図、図5は図4のB−B断面図である。FIG. 1 is a view showing the overall configuration of a transfer apparatus according to one embodiment, FIG. 2 is a side sectional view of the linear motion mechanism of FIG. 1, FIG. 3 is a view of FIG. 2 viewed from below, and FIG. FIG. 5 is a sectional view taken along line AA of FIG. 2, and FIG. 5 is a sectional view taken along line BB of FIG.
【0026】図1において、搬送装置10は、アーム1
2を図中左右方向(矢印R方向)に移動させる直動機構
部14と、直動機構部14を水平面内で回転させる(矢
印T方向)とともに上下方向(矢印Z方向)に移動させ
る回転昇降機構部16とから構成されている。In FIG. 1, the transfer device 10 includes an arm 1
A linear motion mechanism 14 for moving the linear motion mechanism 2 in the horizontal direction (arrow R direction) in the figure, and a rotary elevating mechanism for rotating the linear motion mechanism 14 in a horizontal plane (arrow T direction) and moving the linear motion mechanism 14 in the vertical direction (arrow Z direction). And a mechanical unit 16.
【0027】回転昇降機構部16は、例えばロータリー
エアシリンダから構成されるが、これに限らずモータ等
により駆動されるものでもよい。The rotary elevating mechanism 16 is composed of, for example, a rotary air cylinder, but is not limited to this, and may be driven by a motor or the like.
【0028】直動機構部14は、回転昇降機構部16の
回転軸18の上端に固定されたベース20と、ベース2
0上に固定されたリニアガイドのレール22と、レール
22にスライド自在に支持されたスライダ24と、スラ
イダ24に固定されたアーム12とを備えている。スラ
イダ24は、図2に示す様にレール22にガイドされて
移動するベアリング26と、ベアリング26上に固定さ
れアーム12を支持する支持部材28とから構成されて
いる。アーム12はワークWを支持して搬送する。な
お、本実施形態では、ワークWを液晶表示装置用ガラス
基板としている。The linear motion mechanism 14 includes a base 20 fixed to the upper end of the rotating shaft 18 of the rotary elevating mechanism 16 and a base 2.
The rail 22 includes a linear guide rail 22 fixed on the rail 0, a slider 24 slidably supported by the rail 22, and the arm 12 fixed to the slider 24. As shown in FIG. 2, the slider 24 includes a bearing 26 which is guided and moved by the rail 22 and a support member 28 fixed on the bearing 26 and supporting the arm 12. The arm 12 supports and transports the work W. In this embodiment, the work W is a glass substrate for a liquid crystal display device.
【0029】図2に示す様に、ベース20の下面には、
ベース20を挟んでレール22と対称な位置に、断面形
状がレール22とほぼ同一形状で、同一材質のブロック
30が固定されている。As shown in FIG. 2, on the lower surface of the base 20,
At a position symmetrical to the rail 22 across the base 20, a block 30 of substantially the same shape and the same material as the rail 22 is fixed.
【0030】スライダ24は、図4、図5に示す様にタ
イミングベルト32の固定部32aの部分に、固定部材
34により固定されており、タイミングベルト32が回
転駆動されると、スライダ24が矢印R方向に移動す
る。The slider 24 is fixed to a fixing portion 32a of the timing belt 32 by a fixing member 34 as shown in FIGS. 4 and 5, and when the timing belt 32 is driven to rotate, the slider 24 Move in the R direction.
【0031】ベース20の上面の両端部には、図5に示
す様にタイミングプーリ36,38が回転可能に支持さ
れており、エンドレスのタイミングベルト32が巻掛け
られている。タイミングプーリ38には図示しないテン
ション機構が設けられており、タイミングベルト32の
テンションを調整している。As shown in FIG. 5, timing pulleys 36 and 38 are rotatably supported at both ends of the upper surface of the base 20, and an endless timing belt 32 is wound therearound. The timing pulley 38 is provided with a tension mechanism (not shown), and adjusts the tension of the timing belt 32.
【0032】一方、図3及び図5に示す様に、ベース2
0の下面の一端には、タイミングプーリ40が回転可能
に支持されており、タイミングプーリ36と軸42によ
り連結されている。On the other hand, as shown in FIGS.
A timing pulley 40 is rotatably supported at one end of the lower surface of the “0”, and is connected to the timing pulley 36 by a shaft 42.
【0033】ベース20の下側中央には、駆動用のタイ
ミングプーリ44が、サーボモータ46の回転軸と減速
機48を介して連結された状態で配置されており、サー
ボモータ46の回転をベルト50に伝達している。At the lower center of the base 20, a timing pulley 44 for driving is arranged in a state of being connected to a rotating shaft of a servomotor 46 via a speed reducer 48, and the rotation of the servomotor 46 is controlled by a belt. 50.
【0034】図3に示す様に、タイミングプーリ40,
44間には、タイミングベルト50が巻掛けられ、アイ
ドラー52,54の位置を調整することにより、タイミ
ングベルト50のテンション調整を行う。As shown in FIG. 3, the timing pulleys 40,
A timing belt 50 is wound around the gap 44, and the tension of the timing belt 50 is adjusted by adjusting the positions of the idlers 52 and 54.
【0035】以上の構成により、アーム12はベース2
0に対して次の様に動作する。With the above configuration, the arm 12 is connected to the base 2
It operates as follows for 0.
【0036】サーボモータ46が回転すると、減速機4
8を介してタイミングプーリ44が回転する。タイミン
グプーリ44が回転すると、タイミングベルト50を介
してタイミングプーリ40が回転駆動される。タイミン
グプーリ40が回転すると、タイミングプーリ36がタ
イミングプーリ40と一体に回転され、タイミングベル
ト32を介してタイミングプーリ38も回転される。こ
れにより、タイミングベルト32の固定部32aの部分
に固定されたスライダー24が矢印Rの方向に移動す
る。そして、アーム12及びアーム12に支持されたワ
ークWが矢印Rの方向に移動する。When the servo motor 46 rotates, the speed reducer 4
8, the timing pulley 44 rotates. When the timing pulley 44 rotates, the timing pulley 40 is rotationally driven via the timing belt 50. When the timing pulley 40 rotates, the timing pulley 36 rotates integrally with the timing pulley 40, and the timing pulley 38 also rotates via the timing belt 32. As a result, the slider 24 fixed to the fixed portion 32a of the timing belt 32 moves in the direction of arrow R. Then, the arm 12 and the work W supported by the arm 12 move in the direction of the arrow R.
【0037】また、ベース20は、回転昇降機構部16
により、矢印T方向に回転されるとともに、矢印Z方向
に上下動されるので、この動作と直動機構部14の総合
動作として、ワークWがT,Z,Rの3方向へ搬送され
る。The base 20 is provided with the rotary elevating mechanism 16.
As a result, the work W is conveyed in three directions of T, Z, and R as a result of this operation and the overall operation of the linear motion mechanism 14 because the work W is moved up and down in the arrow Z direction.
【0038】なお、タイミングプーリ36,38の周囲
には、タイミングベルト32が出入りするための切欠き
があるカバー(図示せず)を設け、ベース20の下部に
はタイミングプーリ40,44を覆うカバー(図示せ
ず)を設け、回転昇降機構部16の回転軸18が摺動す
る部分には溝をつけたリング(図示せず)を設ける。そ
して、上記のカバー及びリング及び回転昇降機構部16
の本体56を真空吸引することによりクリーン化を図っ
ている。A cover (not shown) having a notch through which the timing belt 32 enters and exits is provided around the timing pulleys 36 and 38, and a cover that covers the timing pulleys 40 and 44 is provided below the base 20. (Not shown), and a grooved ring (not shown) is provided in the portion of the rotary elevating mechanism 16 where the rotating shaft 18 slides. Then, the above-mentioned cover and ring and the rotary elevating mechanism 16
The main body 56 is cleaned by vacuum suction.
【0039】以上述べた様な搬送装置においては、直動
機構部14が先端部であり、回転昇降機構部16にとっ
ても、また、搬送装置を組込んで構成されるシステムの
周辺装置とのレイアウト上の都合からも、直動機構部1
4は可能な限り軽量・コンパクトであることが要求され
る。In the transfer apparatus as described above, the linear motion mechanism section 14 is the leading end, and the rotary elevating mechanism section 16 also has a layout with peripheral devices of a system configured by incorporating the transfer apparatus. For the above reasons, the linear motion mechanism 1
4 is required to be as light and compact as possible.
【0040】従って、通常、直動機構部14のベース2
0の材料には、アルミ等の軽比重の材質が選択され、ま
た、スペース面からも、ベース20の厚み、形状はでき
る限り小さくしてコンパクト化が望まれる。一方、レー
ル22は、通常市販メーカーの規格品であり、硬度、精
度等の面から材質は鉄又はステンレスなどに限られる。Therefore, usually, the base 2 of the linear motion mechanism 14
A material having a low specific gravity, such as aluminum, is selected as the zero material, and the thickness and shape of the base 20 are desired to be made as small as possible from the viewpoint of space, thereby achieving compactness. On the other hand, the rail 22 is usually a standard product of a commercial manufacturer, and the material is limited to iron or stainless steel in terms of hardness, accuracy, and the like.
【0041】さらに、搬送装置には、R方向への移動の
精度が要求されることから、本実施形態のように、駆動
系としてサーボモータ46を使用したサーボ制御系を用
いることが望ましい。Further, since the transfer device is required to have the accuracy of movement in the R direction, it is desirable to use a servo control system using a servo motor 46 as a drive system as in this embodiment.
【0042】以上のような要求を、通常の構成(本実施
形態のブロック30を用いない構成)で行うと、次のよ
うな(1)→(2),(1)→(3)という作用にな
る。 (1)サーボモータ46の発熱及びレール22の摺動等
による発熱が生じ、ベース20とレール22に熱が伝達
される。 (2)ベース20とレール22の熱膨張率が異なる為、
バイメタル効果によりソリ(曲がり)が発生する(図6
参照)。 (3)レール22の熱膨張を規制できる程度にベース2
0の剛性をアップする(すなわち、ベース20のレール
22の取付け部の厚みを大きくして、放熱性を大きくす
ると同時に、レール22の曲がりの力に勝る剛性アップ
を図る)と、直動機構部14の軽量化、コンパクト化が
不可能になる。When the above request is made in a normal configuration (a configuration not using the block 30 of this embodiment), the following operations (1) → (2), (1) → (3) are performed. become. (1) Heat is generated by the servo motor 46 and the slide of the rail 22, and the heat is transmitted to the base 20 and the rail 22. (2) Since the base 20 and the rail 22 have different coefficients of thermal expansion,
Warpage occurs due to the bimetal effect (Fig. 6)
reference). (3) Base 2 enough to control thermal expansion of rail 22
When the rigidity of the rail 20 is increased (that is, the thickness of the mounting portion of the base 20 to which the rail 22 is attached is increased to increase the heat dissipation, and at the same time, the rigidity to overcome the bending force of the rail 22 is increased), It is impossible to reduce the weight and size of the 14.
【0043】そこで、本実施形態に示す様にレール22
と同一材質、同等形状のブロック30を設け、ベース2
0を中心としてレール22とブロック30が対称な位置
になるように配置する。これにより、(2)で述べたよ
うな熱膨張が、ベース20の上下で同等に起こることに
なり、結果として、ベース20に熱膨張による曲げの力
が作用しない。Therefore, as shown in this embodiment, the rail 22
A block 30 of the same material and the same shape as that of the base 2 is provided.
The rail 22 and the block 30 are arranged so as to be symmetrical with respect to 0. As a result, the thermal expansion described in (2) occurs equally above and below the base 20, and as a result, the bending force due to the thermal expansion does not act on the base 20.
【0044】また、(3)で述べたように、アルミ材質
のベース20で、レール22と同等の剛性を得るには相
当のベース厚み寸法が必要となるが、レール22と同一
材質のブロック30を配置することにより、レール22
と同等の断面寸法の増加のみで熱によるベース20のソ
リが防止できる。As described in (3), the base 20 made of aluminum requires a considerable base thickness to obtain the same rigidity as that of the rail 22, but the block 30 made of the same material as the rail 22 is required. By disposing the rail 22
The warpage of the base 20 due to heat can be prevented only by an increase in the cross-sectional dimension equivalent to that of the above.
【0045】また、本実施形態の方法は、通常、アーム
のたわみ、振動等をおさえるために行う補強バーの役割
をするものでなく、あくまで、熱によるベースのソリを
抑制することを目的としている。そのため、補強バーの
役割をするためには、断面形状、材質等、強度的に大き
ければ大きい程高い効果を得られるのに対し、本実施形
態のソリを防止する役割を果たすブロック30は、あく
まで、ガイドレールと同一の材質(熱膨張率)、形状で
あることが一番高い効果が得られる。The method of the present embodiment does not normally serve as a reinforcing bar for suppressing bending, vibration, and the like of the arm, and is intended only to suppress warping of the base due to heat. . Therefore, in order to play the role of the reinforcing bar, the higher the strength, such as the cross-sectional shape and the material, the higher the effect can be obtained. On the other hand, the block 30 that serves to prevent warping in the present embodiment is only The highest effect can be obtained when the guide rail is made of the same material (thermal expansion coefficient) and shape as the guide rail.
【0046】すなわち、ブロック30の形状は、ガイド
レールが小さければスペース的、重量的にも小さなもの
で高い効果が得られ、特に本実施形態のような軽量・省
スペースが必要な搬送装置の先端軸に用いることで大き
な効果を得ることができる。 (他の実施形態) (1)上記の実施形態では、ブロック30の長手方向
(R方向)長さをレール22と同一長さとしたが、例え
ば、ワークとの受け渡し精度を、スライダー24が右端
へ移動した場合のみ(アーム12及びワークWがR方向
に一番出っ張った状態のみ)規制したい場合は、ブロッ
ク30の長手方向長さを半分にし、長手方向位置右半分
にのみ配置しても、効果がある。 (2)ブロック30の形状は、レール22との熱膨張量
のバランスがとれるものであれば、どのような形状でも
よい。 (3)レール22は、ベース20を介して、ブロック3
0に直接取付け(ボルトにより、ベース20をサンドイ
ッチした状態)でも可能である。 (4)R方向への駆動方法は、タイミングベルトによら
ず、ワイヤー、ボールネジ等他の方法でもよい。 (5)搬送装置としてT,R,Zの3軸構成にて説明し
たが、R軸を含めば2軸又は4軸以上の構成でもよい。 (6)ブロック30の材質は、レール22とほぼ同一の
熱膨張率の材質ならばどのようなものでもよい。That is, as for the shape of the block 30, if the guide rail is small, the space and the weight are small and a high effect can be obtained. A great effect can be obtained by using the shaft. (Other Embodiments) (1) In the above-described embodiment, the length of the block 30 in the longitudinal direction (R direction) is the same as the length of the rail 22. If it is desired to restrict the movement only when the arm 30 and the work W are most protruded in the R direction, the length of the block 30 in the longitudinal direction can be reduced to half, and the arrangement can be made even if the block 30 is arranged only in the right half in the longitudinal direction. There is. (2) The shape of the block 30 may be any shape as long as the amount of thermal expansion with the rail 22 can be balanced. (3) The rail 22 is connected to the block 3 via the base 20.
It is also possible to mount the base 20 directly (with the base 20 sandwiched by bolts). (4) The driving method in the R direction may be another method such as a wire or a ball screw, without depending on the timing belt. (5) Although the three-axis configuration of T, R, and Z has been described as the transport device, a configuration having two axes or four or more axes may be used including the R axis. (6) The material of the block 30 may be any material as long as it has substantially the same coefficient of thermal expansion as the rail 22.
【0047】[0047]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
搬送装置の直進軸のベースの上に設置されたレールと同
等の熱膨張率のブロックを、ベースの下に配置するとい
う簡単な方法により、発熱による直進軸のソリをなくす
ことができる。As described above, according to the present invention,
By a simple method of disposing a block having a coefficient of thermal expansion equivalent to that of a rail mounted on the base of the straight shaft of the transfer device below the base, it is possible to eliminate warping of the straight shaft due to heat generation.
【0048】また、本発明による発熱による直進軸のソ
リ防止を行なえば、他の方法による防止方法に比べ、次
のような効果がある。 (1)軽量・コンパクトであり、搬送装置全体の小型化
を図ることができる。 (2)ブロックを追加するのみであるので、コストアッ
プがほとんどない。 (3)構造が簡単であり、特別な制御・補正等が不要で
ある。The prevention of warpage of the straight-moving shaft due to heat generation according to the present invention has the following effects as compared with the prevention method using other methods. (1) It is lightweight and compact, and can reduce the size of the entire transfer device. (2) Since only blocks are added, there is almost no increase in cost. (3) The structure is simple, and no special control or correction is required.
【0049】[0049]
【図1】一実施形態に係わる搬送装置の全体構成を示す
図である。FIG. 1 is a diagram illustrating an overall configuration of a transport device according to an embodiment.
【図2】図1の直動機構部の側断面図である。FIG. 2 is a side sectional view of the linear motion mechanism section of FIG.
【図3】図2を下方から見た図である。FIG. 3 is a view of FIG. 2 as viewed from below.
【図4】図2のA−A断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line AA of FIG. 2;
【図5】図4のB−B断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line BB of FIG. 4;
【図6】熱膨張によりベースが反った状態を示した図で
ある。FIG. 6 is a diagram showing a state in which the base is warped due to thermal expansion.
【図7】従来の搬送装置の構成を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration of a conventional transport device.
10 搬送装置 12 アーム 14 直動機構部 16 回転昇降機構部 18 回転軸 20 ベース 22 レール 24 スライダー 26 ベアリング 28 支持部 30 ブロック 32,50 タイミングベルト 34 固定部材 36,38,40,44 タイミングプーリ 42 軸 46 モータ 48 減速機 52,54 アイドラー 56 回転昇降機構部本体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Conveying apparatus 12 Arm 14 Linear motion mechanism part 16 Rotating elevating mechanism part 18 Rotating shaft 20 Base 22 Rail 24 Slider 26 Bearing 28 Supporting part 30 Block 32,50 Timing belt 34 Fixing member 36,38,40,44 Timing pulley 42 Shaft 46 Motor 48 Reduction gear 52, 54 Idler 56 Rotary lifting mechanism main body
Claims (10)
ガイドに沿って直進移動する支持手段と、 前記ベースの前記リニアガイドが固定された面の裏側に
前記ベースを挟んで略対称に固定された所の前記リニア
ガイドと略同形状のブロックとを具備することを特徴と
する搬送装置。1. A base, a linear guide fixed on the base, support means for supporting a work, the support means moving straight along the linear guide, and the linear guide of the base And a block having substantially the same shape as the linear guide, which is fixed symmetrically across the base on the back side of the surface on which the base is fixed.
等の熱膨張係数を有する材料からなることを特徴とする
請求項1に記載の搬送装置。2. The transfer device according to claim 1, wherein the block is made of a material having a thermal expansion coefficient equivalent to that of the linear guide.
徴とする請求項1に記載の搬送装置。3. The transfer device according to claim 1, wherein the work is a plate-shaped member.
板であることを特徴とする請求項3に記載の搬送装置。4. The transfer device according to claim 3, wherein the work is a glass substrate for a liquid crystal display device.
して比重の小さい材料からなることを特徴とする請求項
1に記載の搬送装置。5. The transfer device according to claim 1, wherein the base is made of a material having a lower specific gravity than the linear guide.
して熱膨張係数の大きい材料からなることを特徴とする
請求項5に記載の搬送装置。6. The transfer device according to claim 5, wherein the base is made of a material having a larger thermal expansion coefficient than the linear guide.
ーリに掛け渡されたエンドレスのタイミングベルトの一
部が固定されており、前記支持手段は前記タイミングベ
ルトの回転により直進駆動されることを特徴とする請求
項1に記載の搬送装置。7. A part of an endless timing belt wrapped around at least two pulleys is fixed to the support means, and the support means is driven straight by rotation of the timing belt. The transport device according to claim 1, wherein
ることを特徴とする請求項7に記載の搬送装置。8. The transfer device according to claim 7, wherein the pulley is driven to rotate by a motor.
いることを特徴とする請求項7に記載の搬送装置。9. The transfer device according to claim 7, wherein the pulley is covered by a cover.
転手段と、前記ベースを上下方向に移動させる上下動手
段を更に具備することを特徴とする請求項1に記載の搬
送装置。10. The transport apparatus according to claim 1, further comprising a rotating unit that rotates the base in a horizontal plane, and a vertical moving unit that moves the base in a vertical direction.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11798597A JPH10309689A (en) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | Conveying device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11798597A JPH10309689A (en) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | Conveying device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10309689A true JPH10309689A (en) | 1998-11-24 |
Family
ID=14725174
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11798597A Withdrawn JPH10309689A (en) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | Conveying device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10309689A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006200929A (en) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Nsk Ltd | Mobile stage mechanism |
US10163667B2 (en) | 2007-03-22 | 2018-12-25 | Brooks Automation, Inc. | Linear wafer drive for handling wafers during semiconductor fabrication |
-
1997
- 1997-05-08 JP JP11798597A patent/JPH10309689A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006200929A (en) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Nsk Ltd | Mobile stage mechanism |
US10163667B2 (en) | 2007-03-22 | 2018-12-25 | Brooks Automation, Inc. | Linear wafer drive for handling wafers during semiconductor fabrication |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7387118B2 (en) | Wire saw | |
JP4629731B2 (en) | Work transfer system | |
JP2003017889A (en) | Stacker for tray feeder | |
KR20060041618A (en) | Substrate transport apparatus | |
JPH1154588A (en) | Substrate transfer device and substrate processing device using the same | |
US5957651A (en) | Substrate carrying apparatus | |
WO2021200534A1 (en) | Linear conveyor | |
JP3954686B2 (en) | Substrate transport apparatus and substrate transport method | |
US20100019117A1 (en) | Six-bar linkage positioning mechanism | |
JP3778694B2 (en) | Cassette box delivery device | |
JPH10309689A (en) | Conveying device | |
US6305294B1 (en) | Apparatus traveling on closed track on wall surface | |
JP3832745B2 (en) | Overhead traveling vehicle system | |
JP4824645B2 (en) | Substrate transfer device | |
US20060104787A1 (en) | Substrate delivering apparatus | |
JPH03128807A (en) | Conveyor device | |
JP7503950B2 (en) | Industrial Robots | |
KR101394482B1 (en) | Substrate processing apparatus | |
JP3890896B2 (en) | Substrate transfer robot | |
JPH0669255A (en) | Thin film member containing apparatus | |
KR200317190Y1 (en) | Balance maintaing device of up/down carriage for stocker | |
JPH0871909A (en) | Wire saw | |
US11123874B2 (en) | Transfer robot and work transfer system including the same | |
WO2023162167A1 (en) | Conveyance path switching device, conveyance system, and conveyance path switching method | |
JP4451901B2 (en) | Transport device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040803 |