JPH102889A

JPH102889A - 材料評価装置

Info

Publication number: JPH102889A
Application number: JP15452496A
Authority: JP
Inventors: Ippei Ogata; 逸平緒方; Atsuhiro Sumiya; 篤宏角谷; Tsukasa Satake; 司佐竹
Original assignee: Horiba Ltd; Nippon Soken Inc
Current assignee: Horiba Ltd; Soken Inc
Priority date: 1996-06-14
Filing date: 1996-06-14
Publication date: 1998-01-06

Abstract

(57)【要約】【課題】材料評価装置において、分析計や配管内でガ
スが滞留、移動或いは拡散するに要する時間をデッドタ
イムとして予測し、このデッドタイムにおける測定デー
タに基づき正確な評価を与えることを目的とする。【解決手段】マイクロコンピュータ４０では、ガス供
給装置１０により供給されたガスが吸着種検出装置２０
及びガス分析計３１に到達するに要する各時間をデッド
タイムとしてそれぞれ予測し、これらデッドタイムの経
過に伴う吸着種検出装置２０の出力吸着種データ及びガ
ス分析計３１の出力ガス分析データをもとに触媒Ｓの評
価に必要な反応解析が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、材料評価装置に係
り、特に、触媒、吸着材や活性炭等の固体物等の材料で
生ずる反応メカニズムや吸着メカニズムを観察して、材
料の性能を評価する材料評価装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、材料評価装置は、内燃機関の排
気ガスの浄化用触媒や脱臭用吸着材等の固体物の表面に
おける吸着種を観察して、反応メカニズムや吸着メカニ
ズムを明らかにするもので、例えば、赤外分光手段を用
いたものが知られている。この材料評価装置は、固体物
の表面に存在する吸着種に固有の赤外光を検出し、この
検出赤外光から得られる赤外分光スペクトルから固体物
の表面に存在する吸着種の定性や定量を行う。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来より、
複数の分析装置を組み合わせて配管により結合すること
により構成した材料評価装置では、分析装置内でのガス
の滞留時間、配管内のガスの移動や拡散速度について
は、何ら考慮されていない。このため、反応解析にあた
り同一のガスに基づくデータを確保するという条件が満
たされておらず、正確な解析結果が得られないという不
具合がある。

【０００４】換言すれば、配管の所定の箇所におけるガ
スの状態や成分は時々刻々変動しているにもかかわら
ず、ガスの現実の流動位置における状態を同一のガスに
よるデータに基づき分析するという条件が満足されない
ため、正確な解析結果が得られないという不具合があ
る。このようなことは、ガスの組成が変化する場合に著
しい。

【０００５】そこで、本発明は、このようなことに対処
するため、材料評価装置において、分析計や配管内でガ
スが滞留、移動或いは拡散するに要する時間をデッドタ
イムとして予測し、このデッドタイムに応じた測定デー
タに基づき正確な評価を与えることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明によれば、ガス供給装置によ
り供給されたガスが吸着種検出手段に到達するに要する
時間をデッドタイムとして予測する。そして、このデッ
ドタイムの経過に伴う吸着種検出手段の出力吸着種デー
タをもとに反応解析手段が反応装置内の材料の評価に必
要な反応解析を行う。

【０００７】上述のように予測したデッドタイムを利用
することで、ガス供給装置により供給されたガスとデッ
ドタイムの経過により配管を通り吸着種検出手段に達す
るガスとが同一であるものとして把握できる。従って、
吸着種検出手段の出力吸着種データが、どの時期にガス
供給装置により供給されたガスをもとにしたデータであ
るかが特定できる。その結果、材料の反応解析が、ガス
供給装置により供給されたガスと同一のガスに対する吸
着種データをもとになされるので、正しい材料評価が可
能となる。

【０００８】また、請求項２に記載の発明によれば、ガ
ス供給装置により供給されたガスが吸着種検出手段及び
ガス分析手段に到達するに要する各時間を第１及び第２
のデッドタイムとしてそれぞれ予測し、これら第１及び
第２のデッドタイムの経過に伴う吸着種検出手段の出力
吸着種データ及びガス分析手段の出力ガス分析データを
もとに反応解析手段が材料の評価に必要な反応解析を行
う。

【０００９】上述のように予測した第１及び第２のデッ
ドタイムを利用することで、ガス供給装置により供給さ
れたガスと、第１デッドタイムの経過により第１配管を
通り吸着種検出手段に達するガス及び第２デッドタイム
の経過により第２配管を通りガス分析手段に達するガス
とが、同一であるものとして把握できる。従って、吸着
種検出手段の出力吸着種データ及びガス分析手段の出力
ガス分析データがどの時期にガス供給装置により供給さ
れたガスをもとにしたデータであるか、及びこれら両デ
ータが共に同一のガスをもとにしたデータであることを
特定できる。その結果、材料の反応解析が、ガス供給装
置により供給されたガスと同一のガスに対する吸着種デ
ータ及びガス分析データをもとになされるので、正しい
材料評価が可能となる。

【００１０】また、上述した請求項１、２に記載の発明
の作用効果は、ガス供給装置の供給ガスの組成が過渡的
に変化する場合に特に著しい。また、請求項１、２に記
載の発明において、ガス供給装置の供給ガスとしてエン
ジンの排気ガスを利用した場合には、各発明の作用効果
が、現実に則したガスに基づいたものとして達成され得
る。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を、
図１乃至図４に基づいて説明する。図１は、本発明を適
用した材料評価装置を示している。この材料評価装置
は、ガス供給装置１０を備えている。このガス供給装置
１０は、複数のガスボンベ１１ａ乃至１１ｄを備えてお
り、これらガスボンベ１１ａ乃至１１ｄは、それぞれ、
ＣＯガス、ＮＯガス、Ｏ₂ガス及びＨ₂ガスをガス調整
装置１０に原料ガス（キャリアガスを含む）として圧送
する。なお、本実施の形態では、排気ガス浄化触媒を評
価する評価用ガスとして、車両用内燃機関の排気ガスと
類似する組成のガスを供給するため、上記４種類のガス
を採用している。

【００１２】ガス調整装置１０は、４つの開閉弁１２ａ
乃至１２ｄを備えており、これら各開閉弁１２ａ乃至１
２ｄは、その各開弁により、各ガスボンベ１１ａ乃至１
１ｄからの原料ガスをそれぞれ各マスフローコントロー
ラ１３ａ乃至１３ｄに供給する。マスフローコントロー
ラ１３ａは、その制御弁の開度に応じ、開閉弁１２ａか
らの原料ガスを配管Ｐ１を通して配管Ｐ２内に供給し、
マスフローコントローラ１３ｂは、その制御弁の開度に
応じ、開閉弁１２ｂからの原料ガスを配管Ｐ３を通して
配管２内に供給する。また、マスフローコントローラ１
３ｃは、その制御弁の開度に応じ、開閉弁１２ｃからの
原料ガスを配管Ｐ４及び配管Ｐ３の下流部を通して配管
２内に供給し、マスフローコントローラ１３ｄは、その
制御弁の開度に応じ、開閉弁１２ｄからの原料ガスを配
管Ｐ５及び両配管Ｐ４、Ｐ３の各下流部を通して配管２
内に供給する。

【００１３】このようにして配管Ｐ２内に供給された４
つの原料ガスは、当該配管Ｐ２内で合流されて、所定の
組成を有する評価用ガスとして吸着種検出装置２０に供
給される。また、ガス調整装置１０は、制御装置１４を
有しており、この制御装置１４は、図示しないパネルの
入力スイッチ等の操作により各開閉弁１２ａ乃至１２ｄ
の開閉制御を行うとともに、各マスフローコントローラ
１３ａ乃至１３ｄの制御を行う。

【００１４】吸着種検出装置２０は、図１にて示すごと
く、反応装置２１を有しており、この反応装置２１内に
は、ペレットやハニカム等の触媒Ｓが、図示しない保持
機構により保持収納されている。また、反応装置２１に
は、ヒータ２４が付設されており、このヒータ２４は、
反応装置２１内の加熱炉（図示しない）を８００℃程度
まで加熱する。

【００１５】この加熱下にて、配管Ｐ２からの評価用ガ
スは、反応装置２１内に流入して触媒Ｓを通り、配管Ｐ
６内に流出する。なお、触媒Ｓに評価用ガスが流入する
と、この触媒Ｓが反応装置２１の上壁を通して赤外光を
輻射するとともに、この触媒Ｓの表面には、評価用ガス
中の吸着種が吸着する。また、反応装置２１上には、顕
微鏡機構２２が、反応装置２１内の触媒Ｓの表面を同反
応装置２１の上壁を通して観察するように当該反応装置
２１上に付設されている。

【００１６】また、顕微鏡機構２２上には、吸着種分析
計２３が設けられており、この吸着種分析計２３は、そ
の光学系により、触媒Ｓからの赤外光を受け、スペクト
ルとして分光分析し、この分析データＫをマイクロコン
ピュータ４０に出力する。この吸着種分析計２３として
は、温度測定機能を有し、特に、成形体表面の高温分析
観測に適した輻射型フーリエ変換赤外分光光度計、或い
は粉体表面の分析観測に適した拡散反射型フーリエ変換
赤外分光光度計が採用される。なお、これら光度計に代
えて、赤外分光計、ラマン分光計、フーリエ変換ラマン
分光計等による吸着種分析が可能な分光計を採用しても
よい。

【００１７】ガス分析装置３０は、両ガス分析計３１、
３２を有しており、ガス分析計３１は、反応装置２１か
ら配管Ｐ６内に流出する評価用ガスを供給されて、この
評価用ガスの気相成分を分析しこの分析結果を分析デー
タＡとしてマイクロコンピュータ４０に出力する。ま
た、このガス分析計３１は、当該評価用ガスを配管Ｐ７
を通してガス分析計３２に供給する。

【００１８】このガス分析計３２は、ガス分析計３１か
ら配管Ｐ７内に流出する評価用ガスを供給されて、この
評価用ガスの気相成分を分析しこの分析結果を分析デー
タＢとしてマイクロコンピュータ４０に出力する。ま
た、このガス分析計３２は、当該評価用ガスを配管Ｐ８
を通して排出する。マイクロコンピュータ４０は、図２
にて示すフローチャートに従い、コンピュータプログラ
ムを実行し、この実行中にて、ヒータ２４に対する通電
処理、制御装置１４に対する制御処理及び吸着種分析計
２３からの分析データＫ及び両ガス分析計３１、３２か
らの各分析データＡ、Ｂに基づき反応解析処理を行う。

【００１９】また、マイクロコンピュータ４０のＲＯＭ
には、予め、各所定のデッドタイムＴａ、Ｔｂ、Ｔｃが
デッドタイムデータとして記憶されている。ここで、デ
ッドタイムＴａは、評価用ガスが配管Ｐ２の配管Ｐ１と
の接続位置から配管Ｐ２を通り反応装置２１の触媒Ｓま
で移動拡散するに要する時間及び触媒Ｓの輻射赤外光が
吸着種分析計２３に到達し分析されるに要する時間の和
をいう。

【００２０】また、デッドタイムＴｂは、評価用ガスが
触媒Ｓから配管Ｐ６を通りガス分析計３１まで移動拡散
して分析されるに要する時間の和をいう。また、デッド
タイムＴｃは、評価用ガスが触媒Ｓ、配管Ｐ６、ガス分
析計３１及び配管Ｐ７を通りガス分析計３２まで移動拡
散して分析されるに要する時間の和をいう。本実施の形
態では、Ｔａ、Ｔｂ、Ｔｃは、それぞれ、５秒、８秒、
１０秒に設定してある。なお、各デッドタイムＴａ、Ｔ
ｂ、Ｔｃにおいて、吸着種分析計２３及び両ガス分析計
３１、３２による分析時間が小さい場合には、これらの
分析に要する時間は無視してよい。

【００２１】情報記録媒体５０は、マイクロコンピュー
タ４０からの出力データを記録する。また、ＣＲＴ６０
は、マイクロコンピュータ４０からの出力データを表示
する。このように構成した本実施の形態において、材料
評価装置が作動しマイクロコンピュータ４０が図２のフ
ローチャートに従いコンピュータプログラムの実行を開
始する。

【００２２】すると、ステップ１００において、ヒータ
２４の通電処理、各開閉弁１２ａ〜１２ｄの開弁処理が
行われ、かつ、変数データｉがｉ＝１とセットされる。
これに伴い、ガス供給装置１０が、制御装置１４による
開閉弁１２ａ〜１２ｄの開弁のもと各ガスボンベ１１ａ
〜１１ｄからのガスの組成比を調整し評価用ガスとして
配管Ｐ２内に流入させるとともにヒータ２４が反応装置
２１を加熱する。

【００２３】ステップ１００における処理後、ステップ
１１０にて、マイクロコンピュータ４０に内蔵のタイマ
がリセット始動される。ここで、上述した配管Ｐ２内へ
の評価用ガスの流入開始時期及びタイマの計時開始時期
は時刻Ｔ＝Ｔ₀とする。しかして、時刻Ｔ＝Ｔ₀後は、
配管Ｐ２内に流入した評価用ガスが当該配管Ｐ２にて移
動拡散を行いながら流動し、ヒータ２４により加熱され
ている反応装置２１に達する。そして、この評価用ガス
は触媒Ｓを通り配管Ｐ６内に流出する。ここで、評価用
ガスが触媒Ｓに流入した時点でこの評価用ガスの吸着種
が触媒Ｓの表面に吸着するとともに、この触媒Ｓが赤外
光を顕微鏡機構２２に向けて輻射する。すると、吸着種
分析計２３がこの顕微鏡機構２２を通し当該赤外光を受
けてスペクトル分析し、吸着種データＫをマイクロコン
ピュータ４０に出力する。この出力は、時刻Ｔ＝Ｔ₀後
デッドタイムＴａの経過に伴いリアルタイムでなされ
る。

【００２４】タイマの計時値ＴがデッドタイムＴａに達
したことにより、ステップ１２０における判定がＹＥＳ
となり、ステップ１２１において、吸着種分析計２３の
吸着種データＫがマイクロコンピュータ４０のＲＡＭの
記憶エリアａｉ＝ａ１に記憶され、デッドタイムＴａが
Ｔａ＝Ｔａ＋２と加算更新される（ステップ１２２参
照）。

【００２５】然る後、触媒Ｓから流出した評価用ガスが
配管６を通りガス分析計３１まで移動拡散し、このガス
分析計３１が評価用ガスを受けて分析しガスデータＡを
マイクロコンピュータ４０に出力する。この出力は、評
価用ガスの触媒Ｓから流出後タイマの計時値Ｔのデッド
タイムＴｂへの到達時にリアルタイムでなされる。しか
して、ステップ１３０においてＹＥＳとの判定がなさ
れ、ガスデータＡが、ステップ１３１にて、ＲＡＭの記
憶エリアｂｉ＝ｂ１に記憶され、デッドタイムＴｂがＴ
ｂ＝Ｔｂ＋２と更新される（ステップ１３２参照）。

【００２６】然る後、ガス分析計３１から流出した評価
用ガスが配管７を通りガス分析計３２まで移動拡散し、
このガス分析計３２が評価用ガスを受けて分析しガスデ
ータＢをマイクロコンピュータ４０に出力する。この出
力は、評価用ガスの触媒Ｓから流出後タイマの計時値Ｔ
のデッドタイムＴｃへの到達時にリアルタイムでなされ
る。

【００２７】しかして、ステップ１４０においてＹＥＳ
との判定がなされ、ガスデータＢが、ステップ１４１に
て、ＲＡＭの記憶エリアｃｉ＝ｃ１に記憶され、デッド
タイムＴｃがＴｃ＝Ｔｃ＋２と加算更新される（ステッ
プ１４２参照）。このようにしてステップ１４２におけ
る処理が終了すると、ステップ１５０において、ＲＡＭ
の各記憶エリアａ１、ｂ１及びｃ１にそれぞれ記憶した
吸着種データＫ、ガスデータＡ及びガスデータＢに基づ
き反応解析が行われる。

【００２８】この場合、上述したごとく、記憶エリアａ
１に記憶した吸着種データＫは、評価用ガスが配管Ｐ２
に流入した後、上記更新前のデッドタイムＴａの経過時
に、吸着種分析計２３から出力された吸着種データＫで
ある。また、記憶エリアｂ１に記憶したガスデータＡ
は、評価用ガスが触媒Ｓから流出した後、上記更新前の
デッドタイムＴｂの経過時に、ガス分析計３１から出力
されたガスデータＡであり、記憶エリアｃ１に記憶した
ガスデータＢは、評価用ガスがガス分析計Ａから流出し
た後、上記更新前のデッドタイムＴｃの経過時に、ガス
分析計３２から出力されたガスデータＢである（図３及
び図４参照）。

【００２９】換言すれば、評価用ガスが配管Ｐ２への流
入した後、この評価用ガスに対する吸着種分析計２３の
吸着種データＫの出力時期、ガス分析計３１のガスデー
タＡの出力時期及びガス分析計３２のガスデータＢの出
力時期を各デッドタイムＴａ、Ｔｂ及びＴｃでもってそ
れぞれ予測した上で、これらのデッドタイムＴａ、Ｔｂ
及びＴｃの経過時の吸着種データＫ、ガスデータＡ及び
ガスデータＢ（図３及び図４にて示すデータ群１）に基
づき反応解析が行われる。

【００３０】従って、評価用ガスが、配管Ｐ２に流入し
た後、過渡的に流動拡散等の変動を生じても、デッドタ
イムＴａ、Ｔｂ及びＴｃの経過時の吸着種データＫ、ガ
スデータＡ及びガスデータＢが同一の評価用ガスをもと
に得ることができ、これによる反応解析でもって、触媒
Ｓの評価を正確に行える。上述のようにステップ１５０
における反応解析が終了すると、この反応解析データが
ステップ１５１にて情報記録媒体５０及びＣＲＴ６０に
出力される。これにより、上記反応解析データが情報記
録媒体５０に記憶されるとともにＣＲＴ６０に表示され
る。

【００３１】なお、ステップ１５２において、変数ｉが
ｉ＝ｉ＋１＝２に更新されて、コンピュータプログラム
がステップ１２０に戻る。然る後、時刻Ｔ＝Ｔ₀＋２に
て配管Ｐ２に流入する評価ガスを対象として、ステップ
１２０乃至ステップ１５２までの処理が、上記デッドタ
イムＴａ＝Ｔａ＋２、Ｔｂ＝Ｔｂ＋２及びＴｃ＝Ｔｃ＋
２との更新のもとに繰り返される。

【００３２】具体的には、時刻Ｔ＝Ｔ₀＋２後タイマの
計時値ＴがデッドタイムＴａ＝Ｔａ＋２になると、ステ
ップ１２０にてＹＥＳと判定される。すると、このとき
に吸着種分析計２３から出力される吸着種データＫが、
ステップ１２１にて、ＲＡＭの記憶エリアａ２に記憶さ
れ、デッドタイムＴａ＝Ｔａ＋２と更新される。なお、
このデッドタイムＴａは、最初のときの値を基準にする
と、Ｔａ＋４を意味する。

【００３３】然る後、タイマの計時値Ｔがデッドタイム
Ｔｂ＝Ｔｂ＋２に達すると、ステップ１３０における判
定がＹＥＳとなる。そして、このときにガス分析計３１
から出力されるガスデータＡがステップ１３１にてＲＡ
Ｍの記憶エリアｂ２に記憶され、デッドタイムＴｂ＝Ｔ
ｂ＋２と更新される。なお、このデッドタイムＴｂは、
最初のときの値を基準にすると、Ｔｂ＋４を意味する。

【００３４】ついで、タイマの計時値Ｔがデッドタイム
Ｔｃ＝Ｔｃ＋２に達すると、ステップ１４０における判
定がＹＥＳとなる。そして、このときにガス分析計３２
から出力されるガスデータＢがステップ１４１にてＲＡ
Ｍの記憶エリアｃ２に記憶され、デッドタイムＴｃ＝Ｔ
ｃ＋２と更新される。なお、このデッドタイムＴｃは、
最初のときの値を基準にすると、Ｔｃ＋４を意味する。

【００３５】しかして、ステップ１５０では、ＲＡＭの
各記憶エリアａ２、ｂ２及びｃ２にそれぞれ記憶した吸
着種データＫ、ガスデータＡ及びガスデータＢ（図３及
び図４にて示すデータ群２）に基づき反応解析が行われ
る。この場合、評価用ガスが時刻Ｔ＝Ｔ₀＋２にて配管
Ｐ２に流入した後、この評価用ガスに対する吸着種分析
計２３の吸着種データＫの出力時期、ガス分析計３１の
ガスデータＡの出力時期及びガス分析計３２のガスデー
タＢの出力時期を各デッドタイムＴａ＋２、Ｔｂ＋２及
びＴｃ＋２でもってそれぞれ予測した上で、これらのデ
ッドタイムＴａ＋２、Ｔｂ＋２及びＴｃ＋２の経過時の
吸着種データＫ、ガスデータＡ及びガスデータＢに基づ
き反応解析が行われる（図３及び図４参照）。

【００３６】従って、評価用ガスが、時刻Ｔ＝Ｔ₀＋２
にて配管Ｐ２に流入した後、過渡的に流動拡散等の変動
を生じても、デッドタイムＴａ＋２、Ｔｂ＋２及びＴｃ
＋２の経過時の吸着種データＫ、ガスデータＡ及びガス
データＢが同一の評価用ガスをもとに得ることができ、
これによる反応解析でもって、触媒Ｓの評価を正確に行
える。このような効果は、評価用ガスの組成が過渡的に
変化する場合に特に著しい。

【００３７】なお、ステップ１５２において、変数ｉが
ｉ＝ｉ＋１＝３に更新されて、コンピュータプログラム
がステップ１２０に戻る。以後、２秒経過毎に配管Ｐ２
に流入する評価用ガスを順次対象として、上述と実質的
に同様の処理が繰り返される。図４は、上記実施の形態
の変形例を示している。

【００３８】この変形例では、上記実施の形態にて述べ
たガス供給装置１０に代えて、図４にて示すごとく、ガ
ス供給装置１０ａが採用されている。このガス供給装置
１０ａは、内燃機関Ｅと、燃料タンクＴｋと、制御装置
７０とにより構成されている。しかして、ガス供給装置
１０ａは、内燃機関Ｅで発生した排気ガスを反応装置２
１に供給する。これにより、吸着種検出装置２０は、反
応装置２１にて、排気ガスに基づき、上記実施の形態に
て述べたと実質的に同様に、吸着種分析計２３及び両ガ
ス分析計３１、３２の各出力データをＲＡＭに記憶し、
この記憶データに基づき反応解析を行う。この場合、ガ
ス供給装置において内燃機関を利用するので、上記評価
ガスではなく、実際の排気ガスを活用した反応解析が上
記実施の形態と同様に達成できる。

【００３９】なお、内燃機関Ｅは、燃料タンクＴｋから
ガソリン又は軽油等を供給されて制御装置７０の制御の
もとに作動する。また、制御装置７０は、内燃機関Ｅの
作動条件を設定変更するようになっており、例えば、リ
ッチ状態、ストイキ状態或いはリーン状態で内燃機関を
作動させ、排気ガスの組成を変えることができる。その
他の構成及び作用効果は、上記実施の形態と同様であ
る。

【００４０】なお、上記実施の形態では、吸着種分析計
２３及び両ガス分析計３１、３２は、共に、連続的に分
析データを出力する例について説明したが、これに限ら
ず、例えば、吸着種分析計２３として、５秒毎に分析デ
ータを出力する吸着種分析計を採用し、また、両ガス分
析計３１、３２として、２秒毎に分析データを出力する
ガス分析計をそれぞれ採用して実施してもよい。

【００４１】この場合、マイクロコンピュータ４０への
入力を要する時に吸着種分析計やガス分析計から分析デ
ータが出力されない場合には、既に出力済みの最新の分
析データを利用して必要な演算処理を行うようにすれば
よい。また、本発明の実施にあたっては、両ガス分析計
３１、３２の双方或いは一方を廃止して実施してもよ
い。

【００４２】上記実施の形態の各フローチャートにおけ
る各ステップは、それぞれ、機能実行手段としてハード
ロジック構成により実現するようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示す概略構成図であ
る。

【図２】図１のマイクロコンピュータの作用を示すフロ
ーチャートである。

【図３】時刻Ｔ＝Ｔ₀秒を基準として２秒経過毎に配管
Ｐ２に流入する評価用ガスを測定対象とした場合の吸着
種分析計及び両ガス分析計の各出力データの出力時期を
示す図表である。

【図４】変数ｉに対応する吸着種データＫ及び両ガスデ
ータＡ、Ｂ（図３の各データ群）を記憶するＲＡＭの記
憶エリアａｉ、ｂｉ及びｃｉを示す図表である。

【図５】上記実施の形態の変形例を示す概略構成図であ
る。

【符号の説明】

１０、１０ａ…ガス供給装置、１４、７０…制御装置、
２０…吸着種検出装置、２１…反応装置、２２…顕微鏡
機構、２３…吸着種分析計、２４…ヒータ、３１、３２
…ガス分析計、４０…マイクロコンピュータ、Ｐ２乃至
Ｐ７…配管、Ｓ…触媒。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者佐竹司京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地株式会社堀場製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガス供給装置（１０、１０ａ）と、評価すべき材料（Ｓ）を収容してなる反応装置（２１）
を有し、前記ガス供給装置から配管（Ｐ２）を通し前記
反応装置内に供給されるガスを前記材料を通し加熱下に
て供給させることにより前記材料に吸着種を吸着させる
とともに前記材料からの赤外光を分析し吸着種データを
出力する吸着種検出手段（２０）と、前記ガス供給装置により供給されたガスが前記吸着種検
出手段に到達するに要する時間をデッドタイムとして予
測し、このデッドタイムの経過に伴う前記吸着種検出手
段の出力吸着種データをもとに前記材料の評価に必要な
反応解析を行う反応解析手段（４０、５０、６０）とを
備える材料評価装置。
【請求項２】ガス供給装置（１０、１０ａ）と、評価すべき材料（Ｓ）を収容してなる反応装置（２１）
を有し、前記ガス供給装置から第１配管（Ｐ２）を通し
前記反応装置内に供給されるガスを前記材料を通し加熱
下にて供給させることにより前記材料に吸着種を吸着さ
せるとともに前記材料からの赤外光を分析し吸着種デー
タを出力する吸着種検出手段（２０）と、前記反応装置から第２配管（Ｐ６、Ｐ７）を通し流出す
るガスを分析してガス分析データを出力するガス分析手
段（３１、３２）と、前記ガス供給装置により供給されたガスが前記吸着種検
出手段及びガス分析手段に到達するに要する各時間を第
１及び第２のデッドタイムとしてそれぞれ予測し、これ
ら第１及び第２のデッドタイムの経過に伴う前記吸着種
検出手段の出力吸着種データ及び前記ガス分析手段の出
力ガス分析データをもとに前記材料の評価に必要な反応
解析を行う反応解析手段（４０、５０、６０）とを備え
る材料評価装置。