JPH10284840A - Manufacture of multilayered printed wiring board - Google Patents

Manufacture of multilayered printed wiring board

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Publication number
JPH10284840A
JPH10284840A JP8614897A JP8614897A JPH10284840A JP H10284840 A JPH10284840 A JP H10284840A JP 8614897 A JP8614897 A JP 8614897A JP 8614897 A JP8614897 A JP 8614897A JP H10284840 A JPH10284840 A JP H10284840A
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JP
Japan
Prior art keywords
hole
copper foil
epoxy resin
wiring board
printed wiring
Prior art date
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Pending
Application number
JP8614897A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobuyuki Ogawa
信之 小川
Hiroshi Shimizu
浩 清水
Katsuji Shibata
勝司 柴田
Hiromi Takahashi
広美 高橋
Ayako Matsuo
亜矢子 松尾
Akishi Nakaso
昭士 中祖
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP8614897A priority Critical patent/JPH10284840A/en
Publication of JPH10284840A publication Critical patent/JPH10284840A/en
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a multilayered board having small-diameter holes by boring a non-through hole into a specific epoxy adhesive film coated with copper foil and integrally piling up an inner circuit board upon the thermosetting epoxy resin composition layer of the adhesive film and a release sheet and a mirror plate on the copper foil of the adhesive film, and then, connecting the copper foil to an inner-layer circuit by plating the inside of the non-through hole. SOLUTION: A non-through hole 4 having a diameter of 0.15 mm is bored into an epoxy adhesive film 3 coated with copper foil 1 and containing a thermosetting epoxy resin composition layer 2 composed of a halogenated epoxy copolymer having a heavy molecular weight of >=100,000 for roughening the surface of the foil 1, a crosslinking agent, and a polyfunctional epoxy resin. An inner- layer circuit board 5 is integrally piled upon the layer 2 of the film 3 and a release sheet 6 and a mirror surface are successively laminated upon the surface of the foil 1. After the epoxy resin composition 7 of the layer 2 oozing out in the hole 4 is removed and a through hole is opened and plated with copper, a multilayered printed wiring board having a non-through hole in its surface layer can be formed by forming outer-layer wiring. The diameter of the hole 4 is adjusted to 0.13 mm at the opening and 0.12 mm at the bottom.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、多層プリント配線
板の製造方法に関する。
[0001] The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、多層プリント配線板の高密度化が
進展し、回路層と回路層の電気的接続を非貫通穴で接続
する方法が検討されており、このような例として、銅箔
の片面に絶縁接着層を設けた銅箔付き絶縁性接着フィル
ムに予め層間接続用の穴をあけたものを、内層回路板に
積層し、内層回路上の回路と銅箔付き絶縁性接着フィル
ムの銅箔を電気的に接続する方法が知られている。さら
に銅箔付き絶縁性接着フィルムの上に積層過程で塑性流
動するシートを重ね、予めあけた穴に絶縁層樹脂がしみ
出すことを防止する方法も知られている。
2. Description of the Related Art In recent years, the density of a multilayer printed wiring board has been increased, and a method of connecting electric connections between circuit layers with non-through holes has been studied. An insulating adhesive film with copper foil provided with an insulating adhesive layer on one side is pre-punched with holes for interlayer connection, laminated on an inner circuit board, and the circuit on the inner circuit and the insulating adhesive film with copper foil are laminated. A method of electrically connecting copper foils is known. Further, a method is also known in which a sheet that plastically flows in a laminating process is stacked on an insulating adhesive film with a copper foil to prevent the insulating layer resin from seeping out into a pre-drilled hole.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記多層プリント配線
板の製造方法において、非貫通穴の穴径が大きいときに
は、絶縁層樹脂のしみ出しが少ないため、または上記塑
性流動するシートによりしみ出しを防止することによ
り、十分な電気的接続が可能であったが、さらに高密度
化した多層プリント配線板では、非貫通穴の穴径が20
0μm以下となるようなものまでの要求が高くなってお
り、塑性流動するシートによる絶縁層樹脂のしみ出し防
止は不十分であり、十分な電気的接続が不可能となって
いた。
In the method of manufacturing a multilayer printed wiring board, when the diameter of the non-through hole is large, the exudation of the insulating layer resin is small, or the exudation is prevented by the plastic flowing sheet. By doing so, sufficient electrical connection was possible, but in a multilayer printed wiring board with a higher density, the hole diameter of the non-through hole was 20 mm.
There is a growing demand for a sheet having a thickness of 0 μm or less, and it is insufficient to prevent the resin in the insulating layer from seeping out by a plastically flowing sheet, and it has been impossible to make a sufficient electrical connection.

【0004】本発明は、小さな穴径でも接続信頼性に優
れた多層プリント配線板の製造方法を提供することを目
的とする。
An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a multilayer printed wiring board having excellent connection reliability even with a small hole diameter.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の多層プリント配
線板の製造方法は、銅箔1の粗化面に、分子量が10
0,000以上のハロゲン化高分子量エポキシ重合体と
架橋剤と多官能エポキシ樹脂とを構成成分とする半硬化
状態の熱硬化性エポキシ樹脂組成物層2を設けた銅箔付
きエポキシ接着フイルム3に、層間接続のための非貫通
穴となる穴4をあけ、その銅箔付きエポキシ接着フイル
ム3の熱硬化性エポキシ樹脂組成物層2が予め準備した
内層回路板5に接するように重ね、前記銅箔付きエポキ
シ接着フイルム3の銅箔1の外側に離形シート6と、鏡
板を重ね、加熱加圧して積層一体化し、非貫通穴部分に
しみ出したエポキシ樹脂組成物7をアルカリ金属水酸化
物、アルコール系溶媒、アミド系溶媒よりなる樹脂エッ
チング液により除去し、非貫通穴にめっきをおこなって
内層回路と銅箔とを電気的に接続することを特徴とす
る。
According to the method of manufacturing a multilayer printed wiring board of the present invention, a copper foil having a molecular weight of 10
An epoxy adhesive film 3 with a copper foil provided with a semi-cured thermosetting epoxy resin composition layer 2 composed of a halogenated high molecular weight epoxy polymer of not less than 000, a crosslinking agent and a polyfunctional epoxy resin. Then, a hole 4 serving as a non-through hole for interlayer connection is opened, and the thermosetting epoxy resin composition layer 2 of the epoxy adhesive film 3 with copper foil is overlapped so as to be in contact with an inner circuit board 5 prepared in advance. A release sheet 6 and a mirror plate are stacked on the outside of the copper foil 1 of the epoxy adhesive film 3 with a foil, and the epoxy resin composition 7 which has been laminated and integrated by heating and pressing is extruded into a non-through hole portion. The inner circuit and the copper foil are electrically connected by removing with a resin etching solution composed of an alcohol solvent and an amide solvent, plating the non-through hole, and electrically connecting the inner layer circuit and the copper foil.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

(銅箔)本発明の銅箔付きエポキシ接着フイルムに用い
る銅箔には、電解方法または圧延方法で製造した、厚さ
12μm以上のものが使用できる。これよりも薄い銅箔
は、取り扱い性を向上させるためにキャリア層によって
支持されたものを使用することができる。
(Copper foil) As the copper foil used for the epoxy adhesive film with a copper foil of the present invention, a copper foil having a thickness of 12 μm or more produced by an electrolytic method or a rolling method can be used. A copper foil thinner than that supported by a carrier layer can be used to improve the handleability.

【0007】(熱硬化性エポキシ樹脂組成物層)本発明
に用いる分子量が100,000以上のハロゲン化高分
子量エポキシ重合体は、二官能エポキシ樹脂とハロゲン
化二官能フェノール類を二官能エポキシ樹脂とハロゲン
化二官能フェノール類の配合当量比をエポキシ基/フェ
ノール性水酸基=1/0.9〜1/1.1とし、触媒の
存在下、沸点が130℃以上のアミド系またはケトン系
溶媒中、反応固形分濃度50重量%以下で、加熱して重
合させて得られる。
(Thermosetting Epoxy Resin Composition Layer) The halogenated high molecular weight epoxy polymer having a molecular weight of 100,000 or more used in the present invention comprises a bifunctional epoxy resin and a halogenated bifunctional phenol compound as a bifunctional epoxy resin. The compounding equivalent ratio of the halogenated bifunctional phenols is set to an epoxy group / phenolic hydroxyl group = 1 / 0.9 to 1 / 1.1, in an amide or ketone solvent having a boiling point of 130 ° C. or more in the presence of a catalyst, It is obtained by heating and polymerizing at a reaction solid concentration of 50% by weight or less.

【0008】二官能エポキシ樹脂は、分子内に二個のエ
ポキシ基をもつ化合物であればどのようなものでもよ
く、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキ
シ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂などがある。これらの
化合物の分子量はどのようなものでもよい。これらの化
合物は何種類かを併用することができる。また、二官能
エポキシ樹脂以外の成分が、不純物として含まれていて
も構わない。
The bifunctional epoxy resin may be any compound as long as it has two epoxy groups in the molecule, such as bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, Examples include aliphatic chain epoxy resins. These compounds can have any molecular weight. Some of these compounds can be used in combination. Further, components other than the bifunctional epoxy resin may be contained as impurities.

【0009】ハロゲン化二官能フェノール類は、ハロゲ
ン原子および二個のフェノール性水酸基をもつ化合物で
あればどのようなものでもよく、例えば、単環二官能フ
ェノールであるヒドロキノン、レゾルシノール、カテコ
ール、多環二官能フェノールであるビスフェノールA、
ビスフェノールF、ナフタレンジオール類、ビ(ス)フ
ェノール類、これらのアルキル基置換体のハロゲン化物
などがある。これらの化合物の分子量はどのようなもの
でもよい。これらの化合物は何種類かを併用することが
できるし、ハロゲン化されていない二官能フェノール類
を併用してもよい。また、二官能フェノール類以外の成
分が、不純物として含まれていても構わない。
The halogenated bifunctional phenol may be any compound having a halogen atom and two phenolic hydroxyl groups. Examples thereof include monocyclic bifunctional phenols such as hydroquinone, resorcinol, catechol and polycyclic phenol. Bisphenol A, a bifunctional phenol,
Examples include bisphenol F, naphthalene diols, bi (s) phenols, and halides of these alkyl group-substituted products. These compounds can have any molecular weight. These compounds may be used in combination of several kinds, or non-halogenated bifunctional phenols may be used in combination. Further, components other than the bifunctional phenols may be included as impurities.

【0010】触媒はエポキシ基とフェノール性水酸基の
エーテル化反応を促進させるような触媒能をもつ化合物
であればどのようなものでもよく、例えばアルカリ金属
化合物、アルカリ土類金属化合物、イミダゾール類、有
機りん化合物、第二級アミン、第三級アミン、第四級ア
ンモニウム塩などがある。なかでもアルカリ金属化合物
が最も好ましい触媒であり、アルカリ金属化合物の例と
しては、ナトリウム、リチウム、カリウムの水酸化物、
有機酸塩、アルコラート、フェノラート、水素化物、ホ
ウ水素化物、アミドなどがある。これらの触媒は併用す
ることができる。
The catalyst may be any compound having a catalytic ability to promote the etherification reaction between the epoxy group and the phenolic hydroxyl group. Examples thereof include alkali metal compounds, alkaline earth metal compounds, imidazoles, and organic compounds. Phosphorus compounds, secondary amines, tertiary amines, quaternary ammonium salts and the like. Among them, alkali metal compounds are the most preferred catalysts. Examples of alkali metal compounds include sodium, lithium and potassium hydroxide,
Organic acid salts, alcoholates, phenolates, hydrides, borohydrides, amides and the like. These catalysts can be used in combination.

【0011】反応溶媒としてはアミド系またはケトン系
溶媒が好ましく、アミド系溶媒としては、沸点が130
℃以上で、原料となるエポキシ樹脂とフェノール類を溶
解すれば、特に制限はないが、例えばホルムアミド、N
−メチルホルムアミド、N、N−ジメチルホルムアミ
ド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N、N−
ジメチルアセトアミド、N、N、N’、N’−テトラメ
チル尿素、2−ピロリドン、N−メチル−2−ピロリド
ン、カルバミド酸エステルなどがある。これらの溶媒は
併用することができる。また、ケトン系溶媒、エーテル
系溶媒などに代表されるその他の溶媒と併用しても構わ
ない。
The reaction solvent is preferably an amide or ketone solvent, and the amide solvent has a boiling point of 130.
As long as the raw material epoxy resin and phenols are dissolved at a temperature of not less than ℃, there is no particular limitation, for example, formamide, N
-Methylformamide, N, N-dimethylformamide, acetamide, N-methylacetamide, N, N-
Examples include dimethylacetamide, N, N, N ', N'-tetramethylurea, 2-pyrrolidone, N-methyl-2-pyrrolidone, carbamic acid esters and the like. These solvents can be used in combination. Further, it may be used in combination with other solvents typified by ketone solvents, ether solvents and the like.

【0012】重合体の合成条件としては、二官能エポキ
シ樹脂とハロゲン化二官能フェノール類の配合当量比
は、エポキシ基/フェノール性水酸基=1:0.9〜
1.1であることが望ましい。触媒の配合量は特に制限
はないが、一般にはエポキシ樹脂1モルに対して触媒は
0.0001〜0.2モル程度である。重合反応温度
は、60〜150℃であることが望ましい。60℃より
低いと高分子量化反応が著しく遅く、150℃より高い
と副反応が多くなり直鎖状に高分子量化としない。溶媒
を用いた重合反応の際の固形分濃度は50重量%以下で
あれば良いが、さらには30重量%以下にすることが望
ましい。
As for the conditions for synthesizing the polymer, the blending equivalent ratio of the bifunctional epoxy resin and the halogenated difunctional phenol is as follows: epoxy group / phenolic hydroxyl group = 1: 0.9 to
1.1 is desirable. The amount of the catalyst is not particularly limited, but is generally about 0.0001 to 0.2 mol per 1 mol of the epoxy resin. The polymerization temperature is desirably 60 to 150 ° C. When the temperature is lower than 60 ° C., the reaction for increasing the molecular weight is remarkably slow, and when the temperature is higher than 150 ° C., the side reaction increases and the molecular weight is not increased linearly. The concentration of the solid content at the time of the polymerization reaction using a solvent may be 50% by weight or less, and more preferably 30% by weight or less.

【0013】このようにして分子量が100,000以
上のハロゲン化高分子量エポキシ重合体が得られる。こ
の高分子量エポキシ重合体の架橋剤として、架橋剤の反
応性制御が容易でワニスの保存安定性が確保し易い、イ
ソシアネート類を他の活性水素を持つ化合物でマスク
(ブロック)したマスクイソシアネート類を用いること
ができる。イソシアネート類は分子内に二個以上のイソ
シアネート基を有するものであればどのようなものでも
よく、例えばフェノール類、オキシム類、アルコール類
などのマスク剤でマスクされたヘキサメチレンジイソシ
アネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、イソホ
ロンジイソシアネート、トリレンジイソシアネートなど
が挙げられる。特に硬化物の耐熱性の向上のためフェノ
ール類でマスクされたイソホロンジイソシアネート、ト
リレンジイソシアネートが好ましい。この架橋剤の量は
高分子量エポキシ重合体のアルコール性水酸基1.0当
量に対し、イソシアネート基が0.1〜1.0当量にす
ることが好ましい。
Thus, a halogenated high molecular weight epoxy polymer having a molecular weight of 100,000 or more is obtained. As a crosslinking agent for this high-molecular-weight epoxy polymer, a mask isocyanate obtained by masking (blocking) an isocyanate with a compound having another active hydrogen, in which the reactivity of the crosslinking agent is easily controlled and the storage stability of the varnish is easily ensured. Can be used. The isocyanates may be any as long as they have two or more isocyanate groups in the molecule. Examples thereof include diisocyanate and tolylene diisocyanate. In particular, isophorone diisocyanate and tolylene diisocyanate masked with a phenol for improving the heat resistance of the cured product are preferable. The amount of the crosslinking agent is preferably from 0.1 to 1.0 equivalent of the isocyanate group based on 1.0 equivalent of the alcoholic hydroxyl group of the high molecular weight epoxy polymer.

【0014】多官能エポキシ樹脂としては、分子内に二
個以上のエポキシ基を持つ化合物であればどのようなも
のでもよく、例えば、フェノールノボラック型エポキシ
樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール
型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂などの
フェノール類のグリシジルエーテルであるエポキシ樹脂
や脂環式エポキシ樹脂、エポキシ化ポリブタジエン、グ
リシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型
エポキシ樹脂、イソシアヌレート型エポキシ樹脂、可と
う性エポキシ樹脂などであり、特にフェノール型エポキ
シ樹脂、またはフェノール型エポキシ樹脂と多官能エポ
キシ樹脂との混合物が耐熱性の向上のために好ましい。
この多官能エポキシ樹脂の量は高分子量エポキシ重合体
に対し、20〜100重量部にすることが好ましい。
The polyfunctional epoxy resin may be any compound as long as it has two or more epoxy groups in the molecule. Examples thereof include a phenol novolak type epoxy resin, a cresol novolak type epoxy resin, and a resol type epoxy resin. Epoxy resins such as glycidyl ethers of phenols, such as bisphenol epoxy resins, alicyclic epoxy resins, epoxidized polybutadienes, glycidyl ester epoxy resins, glycidyl amine epoxy resins, isocyanurate epoxy resins, and flexible epoxy resins In particular, a phenolic epoxy resin or a mixture of a phenolic epoxy resin and a polyfunctional epoxy resin is preferable for improving heat resistance.
The amount of the polyfunctional epoxy resin is preferably 20 to 100 parts by weight based on the high molecular weight epoxy polymer.

【0015】これらの多官能エポキシ樹脂は、単独でま
たは二種類以上混合して用いても構わない。さらに、多
官能エポキシ樹脂の硬化剤および硬化促進剤を用いる。
エポキシ樹脂の硬化剤および硬化促進剤としては、ノボ
ラック型フェノール樹脂、ジシアンジアミド、酸無水
物、アミン類、イミダゾール類、フォスフィン類などが
挙げられる。また、これらを組み合わせて用いても構わ
ない。さらにシランカップリング剤を添加してもかまわ
ない。添加するシランカップリング剤としては、エポキ
シシラン、アミノシラン、尿素シラン等が好ましい。
These polyfunctional epoxy resins may be used alone or in combination of two or more. Further, a curing agent and a curing accelerator of the polyfunctional epoxy resin are used.
Examples of epoxy resin curing agents and curing accelerators include novolak type phenol resins, dicyandiamide, acid anhydrides, amines, imidazoles, phosphines, and the like. Further, these may be used in combination. Further, a silane coupling agent may be added. As the silane coupling agent to be added, epoxy silane, amino silane, urea silane and the like are preferable.

【0016】(銅箔付きエポキシ接着フイルム)この熱
硬化性エポキシ樹脂組成物を、銅箔のマット面側に半硬
化状態の熱硬化性エポキシ樹脂組成物層2として設ける
には、この分子量が100,000以上のハロゲン化高
分子量エポキシ重合体と架橋剤と多官能エポキシ樹脂を
混合して接着剤ワニスとし、ブレードコータ、ナフコー
タ、スクイズコータ等の後計量系コーティング方式や、
リバースロールコータ、キスロールコータ、キャストコ
ータ、スプレーコータ、押し出しコータ等の前計量系コ
ーティング方式によって塗布し、溶剤を蒸発させながら
熱硬化性エポキシ樹脂組成物を半硬化させる。
(Epoxy Adhesive Film with Copper Foil) In order to provide this thermosetting epoxy resin composition as a semi-cured thermosetting epoxy resin composition layer 2 on the matte side of a copper foil, the molecular weight is 100. An adhesive varnish is prepared by mixing a halogenated high molecular weight epoxy polymer of 2,000 or more, a crosslinking agent and a polyfunctional epoxy resin, and a post-metering coating method such as a blade coater, a naf coater, and a squeeze coater,
The thermosetting epoxy resin composition is applied by a pre-metering coating method such as a reverse roll coater, a kiss roll coater, a cast coater, a spray coater, or an extrusion coater, and semi-cured while evaporating the solvent.

【0017】また、上記の熱硬化性エポキシ樹脂組成物
ワニスを、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の支
持フィルム上に塗布し、溶剤を蒸発させながら熱硬化性
エポキシ樹脂組成物を半硬化させその支持フィルムを剥
離して、フイルム化したものを銅箔のマット面に貼り合
わせることもできる。この熱硬化性エポキシ樹脂組成物
層2は、2回以上に塗布・乾燥を行って形成したり、2
枚以上のフイルム化された熱硬化性エポキシ樹脂組成物
を用いて形成することもできる。
Further, the above-mentioned thermosetting epoxy resin composition varnish is applied on a supporting film such as a polyethylene terephthalate film, and the thermosetting epoxy resin composition is semi-cured while evaporating the solvent, and the supporting film is peeled off. Then, the film can be bonded to the mat surface of the copper foil. This thermosetting epoxy resin composition layer 2 is formed by applying and drying two or more times,
It can also be formed using more than one filmed thermosetting epoxy resin composition.

【0018】(非貫通穴となる穴)また、銅箔付きエポ
キシ接着フイルム3にあけた層間接続のための非貫通穴
となる穴4の所で、積層過程で、熱硬化性エポキシ樹脂
組成物層自身の流動、しみだしによって、積層体と鏡板
が接着してしまうことの防止が可能である。
(Hole to be a non-through hole) Further, at the hole 4 to be a non-through hole for interlayer connection in the epoxy adhesive film 3 with copper foil, a thermosetting epoxy resin composition It is possible to prevent the laminate and the end plate from adhering due to the flow and seepage of the layer itself.

【0019】(離型シート)この目的に合う離型シート
としては、例えば、厚さ25μmのテドラーシート(デ
ユポン社製、商品名)を用いることが好ましい。
(Release Sheet) As a release sheet suitable for this purpose, for example, a 25 μm-thick Tedlar sheet (trade name, manufactured by DuPont) is preferably used.

【0020】(内層回路板)本発明の内層用両面配線板
としては、ガラスエポキシ銅張積層板や紙フェノール銅
張積層板、コンポジット銅張積層板、ポリイミド銅張積
層板等が使用できる。これらの銅張積層板に、ドリルで
貫通穴をあけた後、銅めっきを行い、不要な箇所の銅を
エッチング除去して、貫通穴付きの内層用両面配線板を
製造できる。また、このような方法にかならずしも限定
されるものではなく、めっき用触媒を内部に含有する絶
縁基板、あるいは絶縁基板の表面に無電解めっき用接着
剤を塗布した基板に、穴をあけ、回路を形成しない箇所
にめっきレジストを形成し、めっきを行うことによって
作製した、貫通穴を有する両面板も使用できる。
(Inner Circuit Board) As the double-sided wiring board for the inner layer of the present invention, a glass epoxy copper-clad laminate, a paper phenol copper-clad laminate, a composite copper-clad laminate, a polyimide copper-clad laminate, or the like can be used. After drilling through holes in these copper-clad laminates, copper plating is performed, and copper in unnecessary portions is removed by etching, so that an inner-layer double-sided wiring board with through holes can be manufactured. Further, the method is not necessarily limited, and a hole is formed in an insulating substrate containing a plating catalyst therein or a substrate having an electroless plating adhesive applied to the surface of the insulating substrate to form a circuit. It is also possible to use a double-sided plate having a through hole, which is produced by forming a plating resist at a portion where it is not formed and performing plating.

【0021】(エポキシ樹脂組成物の除去)本発明で用
いる樹脂エッチング液は、アルカリ金属水酸化物、アル
コール系溶媒、アミド系溶媒を配合、混合して調製す
る。ここでアルカリ金属水酸化物は、どのようなもので
もよく、例えば水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム、水酸化ルビジウム、水酸化セシウム等が
ある。これらのうち、水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ムがエポキシ樹脂組成物のエッチング性が高いため、特
に好ましい。
(Removal of Epoxy Resin Composition) The resin etching solution used in the present invention is prepared by mixing and mixing an alkali metal hydroxide, an alcohol solvent and an amide solvent. Here, any alkali metal hydroxide may be used, and examples thereof include lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, rubidium hydroxide, and cesium hydroxide. Of these, sodium hydroxide and potassium hydroxide are particularly preferred because of their high etching properties of the epoxy resin composition.

【0022】ここでアルコール系溶媒は、どのようなも
のでもよく、例えばメタノール、エタノール、1−プロ
パノール、2−プロパノール、1−ブタノール、2−ブ
タノール、iso−ブタノール、tert−ブタノー
ル、1−ペンタノール、2−ペンタノール、3−ペンタ
ノール、2−メチル−1−ブタノール、iso−ペンチ
ルアルコール、tert−ペンチルアルコール、3−メ
チル−2−ブタノール、ネオペンチルアルコール、1−
ヘキサノール、2−メチル−1−ペンタノール、4−メ
チル−2−ペンタノール、2−エチル−1−ブタノー
ル、1−ヘプタノール、2−ヘプタノール、3−ヘプタ
ノール、シクロヘキサノール、1−メチルシクロヘキサ
ノール、2−メチルシクロヘキサノール、3−メチルシ
クロヘキサノール、4−メチルシクロヘキサノール、エ
チレングリコール、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレ
ングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコー
ルモノブチルエーテル、ジエチレングリコール、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプ
ロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエー
テル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコー
ルモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエ
チルエーテル、テトラエチレングリコール、ポリエチレ
ングリコール、1,2−プロパンジオール、1,3−プ
ロパンジオール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブ
タンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタ
ンジオール、1,5−ペンタンジオール、グリセリン、
ジプロピレングリコールなどがある。これらのうちジエ
チレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレング
リコール、#300(この数字は、平均分子量を表し、
例えば、#300は、平均分子量が300であることを
いう。)以下のポリエチレングリコールがアルカリ金属
水酸化物の溶解性が高く、さらにエポキシ樹脂組成物の
エッチング性が高いために、特に好ましい。これらの溶
媒は、何種類かを併用することもできる。
Here, the alcohol solvent may be any solvent, for example, methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, 1-butanol, 2-butanol, iso-butanol, tert-butanol, 1-pentanol. 2-pentanol, 3-pentanol, 2-methyl-1-butanol, iso-pentyl alcohol, tert-pentyl alcohol, 3-methyl-2-butanol, neopentyl alcohol, 1-
Hexanol, 2-methyl-1-pentanol, 4-methyl-2-pentanol, 2-ethyl-1-butanol, 1-heptanol, 2-heptanol, 3-heptanol, cyclohexanol, 1-methylcyclohexanol, -Methylcyclohexanol, 3-methylcyclohexanol, 4-methylcyclohexanol, ethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol mono Ethyl ether, diethylene glycol monopropyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene Recall, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, tetraethylene glycol, polyethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 2,3-butanediol, 1,5-pentanediol, glycerin,
And dipropylene glycol. Of these, diethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol, # 300 (this number represents the average molecular weight,
For example, # 300 means that the average molecular weight is 300. The following polyethylene glycols are particularly preferred because of their high solubility of alkali metal hydroxides and high etchability of the epoxy resin composition. Some of these solvents can be used in combination.

【0023】ここでアミド系溶媒は、どのようなもので
もよく、例えばホルムアミド、N−メチルホルムアミ
ド、N,N−ジメチルホルムアミド、アセトアミド、N
−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N,N,N’,N’−テトラメチル尿素、2−ピロ
リドン、N−メチル−2−ピロリドン、カルバミド酸エ
ステルなどがある。これらのうちN,N−ジメチルホル
ムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル
−2−ピロリドンがエポキシ樹脂組成物を膨潤させる効
果があり、分解物の溶解性が良好なために特に好まし
い。これらの溶媒は併用することができる。また、ケト
ン系溶媒、エーテル系溶媒などに代表されるその他の溶
媒と併用しても構わない。
Here, the amide solvent may be any solvent, for example, formamide, N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, acetamide, N
-Methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N, N, N ', N'-tetramethylurea, 2-pyrrolidone, N-methyl-2-pyrrolidone, carbamic acid esters and the like. Of these, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, and N-methyl-2-pyrrolidone are particularly preferred because they have an effect of swelling the epoxy resin composition and have good solubility of decomposed products. These solvents can be used in combination. Further, it may be used in combination with other solvents typified by ketone solvents, ether solvents and the like.

【0024】ここで併用できるケトン系溶媒は、どのよ
うなものでもよく、例えばアセトン、エチルエチルケト
ン、2−ペンタノン、3−ペンタノン、2−ヘキサノ
ン、メチルイソブチルケトン、2−ヘプタノン、4−ヘ
プタノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノンなど
がある。
The ketone solvent which can be used in combination here may be any solvent, for example, acetone, ethyl ethyl ketone, 2-pentanone, 3-pentanone, 2-hexanone, methyl isobutyl ketone, 2-heptanone, 4-heptanone, Examples include diisobutyl ketone and cyclohexanone.

【0025】ここで併用できるエーテル系溶媒は、どの
ようなものでもよく、例えばジプロピルエーテル、ジイ
ソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、アニソール、
フェネトール、ジオキサン、テトラヒドロフラン、エチ
レングリコールジメチルエーテル、エチレングリコール
ジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエー
テル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどがあ
る。
The ether solvent that can be used in combination here may be any solvent, for example, dipropyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, anisole,
Examples include phenetole, dioxane, tetrahydrofuran, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, and the like.

【0026】樹脂エッチング液のアルカリ金属水酸化物
の濃度は、どのような濃度でもかまわないが、0.5〜
5重量%の範囲が好ましい。0.5重量%未満である
と、エポキシ樹脂硬化物の分解速度が低下するため好ま
しくなく、5重量%を超えるとアルカリ金属水酸化物が
完全に溶解できないので好ましくない。
The concentration of the alkali metal hydroxide in the resin etching solution may be any concentration,
A range of 5% by weight is preferred. When the amount is less than 0.5% by weight, the decomposition rate of the cured epoxy resin decreases, and when it exceeds 5% by weight, the alkali metal hydroxide cannot be completely dissolved.

【0027】樹脂エッチング液のアルコール系溶媒の濃
度は、どのような濃度でもかまわないが、4.5〜30
重量%の範囲が好ましい。4.5重量%未満であると、
アルカリ金属水酸化物が溶解できず、30重量%を超え
るとエポキシ樹脂組成物のエッチング性が低下するので
好ましくない。
The concentration of the alcohol-based solvent in the resin etching solution may be any concentration, but may be from 4.5 to 30.
A range of weight% is preferred. If it is less than 4.5% by weight,
If the alkali metal hydroxide cannot be dissolved, and exceeds 30% by weight, the etching property of the epoxy resin composition deteriorates, which is not preferable.

【0028】樹脂エッチング液のアミド系溶媒の濃度
は、どのような濃度でもかまわないが、65〜95重量
%の範囲が好ましい。65重量%未満であると、エポキ
シ樹脂組成物のエッチング性が低下し、95重量%を超
えると結果としてアルカリ金属水酸化物の濃度やアルコ
ール系溶媒の濃度が低下するので好ましくない。
The concentration of the amide solvent in the resin etching solution may be any concentration, but is preferably in the range of 65 to 95% by weight. When the content is less than 65% by weight, the etching property of the epoxy resin composition is reduced, and when the content is more than 95% by weight, the concentration of the alkali metal hydroxide and the concentration of the alcohol solvent are undesirably reduced.

【0029】[0029]

【実施例】【Example】

実施例1 図1(a)に示すように、銅箔付きエポキシ接着フイル
ム3として、厚さ18μmの銅箔1の粗化面に厚さ50
μmの熱硬化性エポキシ樹脂組成物層2を塗布して形成
し、半硬化状態にしたMCF−3000E(日立化成工
業株式会社製、商品名)を準備する。この銅箔付きエポ
キシ接着フイルム3に、穴径0.15mmの非貫通穴と
なる穴4をドリルであけた。次に、予め準備した内層回
路板5と、穴あけした銅箔付きエポキシ接着フイルム3
と、銅箔付きエポキシ接着フイルム3の銅箔1面の外側
に、離形シート6として、厚さ25μmのテドラーシー
ト(デユポン社製、商品名)を、さらにその外側に厚さ
3mmのステンレス製鏡板を、これらの順番で重ね合わ
せ、温度170℃、圧力2.5MPaで60分間、加圧
加熱して積層一体化した後、鏡板を除去し、離形シート
6を剥がして、図1(b)に示す多層板を得た。次に、
非貫通穴部分にしみ出したエポキシ樹脂組成物7を、水
酸化ナトリウム3重量%、ジエチレングリコールモノメ
チルエーテル22重量%、N、N−ジメチルホルムアミ
ド75重量%からなる樹脂エッチング液に60℃、30
分浸漬させることにより、除去した。その後流水により
5分間洗浄し、70℃、10分間乾燥した(図1(c)
に示す。)。次に、図1(d)に示すように、穴径0.
3mmの貫通穴をドリルであけ、厚さ12μmの銅めっ
きを行った後、不要な箇所の銅をエッチング除去して外
層配線を形成して、図1(e)に示すように、表層に非
貫通穴を有する高密度の多層プリント配線板を得た。上
記多層プリント配線板において、非貫通穴の大きさは、
開口部の穴径が0.13mmであり、底部の穴径が0.
12mmであって、260℃で10秒ホットオイルに浸
漬し、20℃の水に10秒浸漬することを1サイクルと
するホットオイル試験を100サイクル行った後でも、
電気抵抗の上昇は10%以内であった。
Example 1 As shown in FIG. 1A, as an epoxy adhesive film 3 with a copper foil, a thickness of 50 μm was applied to a roughened surface of a copper foil 1 having a thickness of 18 μm.
An MCF-3000E (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), which is formed by applying a μm thermosetting epoxy resin composition layer 2 and is in a semi-cured state, is prepared. A hole 4 serving as a non-through hole having a hole diameter of 0.15 mm was drilled in the epoxy adhesive film 3 with a copper foil. Next, an inner layer circuit board 5 prepared in advance and an epoxy adhesive film 3 with a perforated copper foil
And a 25 μm-thick Tedlar sheet (trade name, manufactured by DuPont) as a release sheet 6 outside the copper foil 1 surface of the copper-foiled epoxy adhesive film 3, and a 3 mm-thick stainless steel end plate on the outside. Are laminated in this order, and heated under pressure at a temperature of 170 ° C. and a pressure of 2.5 MPa for 60 minutes to be laminated and integrated, the end plate is removed, the release sheet 6 is peeled off, and FIG. Was obtained. next,
The epoxy resin composition 7 extruded into the non-through hole portion was added to a resin etching solution containing 3% by weight of sodium hydroxide, 22% by weight of diethylene glycol monomethyl ether, and 75% by weight of N, N-dimethylformamide at 60 ° C. and 30%.
It was removed by immersion for a minute. Thereafter, the substrate was washed with running water for 5 minutes and dried at 70 ° C. for 10 minutes (FIG. 1C).
Shown in ). Next, as shown in FIG.
After drilling a 3 mm through hole and performing copper plating with a thickness of 12 μm, unnecessary portions of copper are removed by etching to form an outer layer wiring, and as shown in FIG. A high-density multilayer printed wiring board having through holes was obtained. In the multilayer printed wiring board, the size of the non-through hole is
The opening has a hole diameter of 0.13 mm and the bottom has a hole diameter of 0.1 mm.
12 mm, immersed in hot oil at 260 ° C. for 10 seconds, and immersed in water at 20 ° C. for 10 seconds even after performing 100 cycles of the hot oil test, which is one cycle.
The rise in electrical resistance was within 10%.

【0030】実施例2 水酸化カリウム3重量%、ジエチレングリコールモノメ
チルエーテル22重量%、N,N−ジメチルホルムアミ
ド75重量%からなる樹脂エッチング液を使用した以
外、実施例1と同様の操作を行い、表層に非貫通穴を有
する高密度の多層プリント配線板を得た。上記多層プリ
ント配線板において、非貫通穴の大きさは、開口部の穴
径が0.13mmであり、底部の穴径が0.10mmで
あって、260℃で10秒ホットオイルに浸漬し、20
℃の水に10秒浸漬することを1サイクルとするホット
オイル試験を100サイクル行った後でも、電気抵抗の
上昇は10%以内であった。
Example 2 The same operation as in Example 1 was carried out except that a resin etching solution consisting of 3% by weight of potassium hydroxide, 22% by weight of diethylene glycol monomethyl ether and 75% by weight of N, N-dimethylformamide was used. A high-density multilayer printed wiring board having a non-through hole was obtained. In the multilayer printed wiring board, the size of the non-through hole is such that the hole diameter of the opening is 0.13 mm, the hole diameter of the bottom is 0.10 mm, and immersed in hot oil at 260 ° C. for 10 seconds; 20
Even after 100 cycles of a hot oil test in which immersion in water at 10 ° C. for 10 seconds was one cycle, the increase in electrical resistance was within 10%.

【0031】実施例3 水酸化ナトリウム3重量%、トリエチレングリコール2
7重量%、N、N−ジメチルホルムアミド70重量%か
らなる樹脂エッチング液を使用した以外、実施例1と同
様の操作を行い、表層に非貫通穴を有する高密度の多層
プリント配線板を得た。上記多層プリント配線板におい
て、非貫通穴の大きさは、開口部の穴径が0.13mm
であり、底部の穴径が0.10mmであって、260℃
で10秒ホットオイルに浸漬し、20℃の水に10秒浸
漬することを1サイクルとするホットオイル試験を10
0サイクル行った後でも、電気抵抗の上昇は10%以内
であった。
Example 3 Sodium hydroxide 3% by weight, triethylene glycol 2
A high-density multilayer printed wiring board having a non-through hole in the surface layer was obtained in the same manner as in Example 1, except that a resin etching solution consisting of 7% by weight and 70% by weight of N, N-dimethylformamide was used. . In the multilayer printed wiring board, the size of the non-through hole is such that the hole diameter of the opening is 0.13 mm.
And the bottom hole diameter is 0.10 mm,
Immersion in hot oil for 10 seconds and immersion in water at 20 ° C. for 10 seconds as one cycle
Even after 0 cycles, the increase in electrical resistance was within 10%.

【0032】実施例4 水酸化ナトリウム3重量%、#300ポリエチレングリ
コール27重量%、N、N−ジメチルホルムアミド70
重量%からなる樹脂エッチング液を使用した以外、実施
例1と同様の操作を行い、表層に非貫通穴を有する高密
度の多層プリント配線板を得た。上記多層プリント配線
板において、非貫通穴の大きさは、開口部の穴径が0.
13mmであり、底部の穴径が0.08mmであって、
260℃で10秒ホットオイルに浸漬し、20℃の水に
10秒浸漬することを1サイクルとするホットオイル試
験を100サイクル行った後でも、電気抵抗の上昇は1
0%以内であった。
Example 4 Sodium hydroxide 3% by weight, # 300 polyethylene glycol 27% by weight, N, N-dimethylformamide 70
A high-density multilayer printed wiring board having a non-through hole in the surface layer was obtained by performing the same operation as in Example 1 except that a resin etching solution consisting of wt% was used. In the multilayer printed wiring board, the size of the non-through hole is such that the hole diameter of the opening is 0.
13 mm, the bottom hole diameter is 0.08 mm,
Even after performing 100 cycles of the hot oil test in which immersion in hot oil at 260 ° C. for 10 seconds and immersion in water at 20 ° C. for 10 seconds is one cycle, the increase in electric resistance is 1
It was within 0%.

【0033】実施例5 水酸化ナトリウム3重量%、ジエチレングリコールモノ
チルエーテル22重量%、N、N−ジメチルアセトアミ
ド75重量%からなる樹脂エッチング液を使用した以
外、実施例1と同様の操作を行い、表層に非貫通穴を有
する高密度の多層プリント配線板を得た。上記多層プリ
ント配線板において、非貫通穴の大きさは、開口部の穴
径が0.13mmであり、底部の穴径が0.08mmで
あって、260℃で10秒ホットオイルに浸漬し、20
℃の水に10秒浸漬することを1サイクルとするホット
オイル試験を100サイクル行った後でも、電気抵抗の
上昇は10%以内であった。
Example 5 The same operation as in Example 1 was performed except that a resin etching solution consisting of 3% by weight of sodium hydroxide, 22% by weight of diethylene glycol monotyl ether, and 75% by weight of N, N-dimethylacetamide was used. A high-density multilayer printed wiring board having non-through holes in the surface layer was obtained. In the multilayer printed wiring board, the size of the non-through hole is such that the hole diameter of the opening is 0.13 mm, the hole diameter of the bottom is 0.08 mm, and immersed in hot oil at 260 ° C. for 10 seconds; 20
Even after 100 cycles of a hot oil test in which immersion in water at 10 ° C. for 10 seconds was one cycle, the increase in electrical resistance was within 10%.

【0034】実施例6 水酸化ナトリウム3重量%、ジエチレングリコールモノ
メチルエーテル22重量%、N −メチル−2−ピロリ
ドン75重量%からなる樹脂エッチング液を使用した以
外、実施例1と同様の操作を行い、表層に非貫通穴を有
する高密度の多層プリント配線板を得た。上記多層プリ
ント配線板において、非貫通穴の大きさは、開口部の穴
径が0.13mmであり、底部の穴径が0.10mmで
あって、260℃で10秒ホットオイルに浸漬し、20
℃の水に10秒浸漬することを1サイクルとするホット
オイル試験を100サイクル行った後でも、電気抵抗の
上昇は10%以内であった。
Example 6 The same operation as in Example 1 was carried out except that a resin etching solution comprising 3% by weight of sodium hydroxide, 22% by weight of diethylene glycol monomethyl ether and 75% by weight of N-methyl-2-pyrrolidone was used. A high-density multilayer printed wiring board having non-through holes in the surface layer was obtained. In the multilayer printed wiring board, the size of the non-through hole is such that the hole diameter of the opening is 0.13 mm, the hole diameter of the bottom is 0.10 mm, and immersed in hot oil at 260 ° C. for 10 seconds; 20
Even after 100 cycles of a hot oil test in which immersion in water at 10 ° C. for 10 seconds was one cycle, the increase in electrical resistance was within 10%.

【0035】比較例1 離形シートを使用せず、積層過程で塑性流動する厚さ1
50μmのオピュランシート(三井石油化学工業株式会
社製、商品名)を使用し、非貫通部分の樹脂しみ出しを
防止し、樹脂エッチング液を使用しなかった以外、実施
例1と同様の操作を行った。得られた非貫通穴を確認し
たところ、樹脂のしみ出しを防止することができず、内
層回路との接続ができなかった。
COMPARATIVE EXAMPLE 1 Thickness of plastic flow 1 during lamination process without using release sheet
The same operation as in Example 1 was performed except that a 50 μm opulan sheet (trade name, manufactured by Mitsui Petrochemical Industry Co., Ltd.) was used to prevent exudation of the resin in the non-penetrating portion, and that no resin etching solution was used. . When the obtained non-through hole was confirmed, it was not possible to prevent the exudation of the resin, and it was not possible to connect to the inner layer circuit.

【0036】比較例2 樹脂エッチング液を使用せず、アルカリ過マンガン酸溶
液を使用してしみ出したエポキシ樹脂組成物の除去を行
なったこと以外、実施例1と同様の操作を行った。得ら
れた非貫通穴を確認したところ、しみ出した樹脂を除去
することができず、内層回路との接続ができなかった。
Comparative Example 2 The same operation as in Example 1 was performed except that the exuded epoxy resin composition was removed using an alkaline permanganate solution without using a resin etching solution. When the obtained non-through hole was confirmed, the exuded resin could not be removed, and connection with the inner layer circuit could not be made.

【0037】[0037]

【発明の効果】本発明の多層プリント配線板の製造方法
により、表層に200μm以下の非貫通穴を有する高密
度の多層プリント配線板の製造が可能である。
According to the method for manufacturing a multilayer printed wiring board of the present invention, a high-density multilayer printed wiring board having a non-through hole of 200 μm or less in the surface layer can be manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)〜(e)は、それぞれ本発明の一実施例
を説明するための各製造工程を示す断面図である。
FIGS. 1A to 1E are cross-sectional views showing respective manufacturing steps for explaining one embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1.銅箔 2.熱硬化性エポキシ樹脂組成物層 3.銅箔付きエポキシ接着フイルム 4.非貫通穴となる穴 5.内層回路板 6.離形シート 7.非貫通穴内にしみ出したエポキシ樹脂組成物 1. Copper foil 2. 2. Thermosetting epoxy resin composition layer 3. Epoxy adhesive film with copper foil 4. Holes that become non-through holes Inner layer circuit board 6. Release sheet 7. Epoxy resin composition exuded into non-through holes

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 広美 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館研究所内 (72)発明者 松尾 亜矢子 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館研究所内 (72)発明者 中祖 昭士 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館研究所内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiromi Takahashi 1500 Oji Ogawa, Shimodate City, Ibaraki Pref.Hitachi Chemical Industry Co., Ltd. Inside Shimodate Research Laboratory (72) Inventor: Shoji Nakaso 1500 Ogawa Oji, Shimodate City, Ibaraki Prefecture, Hitachi Chemical Industry Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】銅箔(1)の粗化面に、分子量が100,
000以上のハロゲン化高分子量エポキシ重合体と架橋
剤と多官能エポキシ樹脂とを構成成分とする半硬化状態
の熱硬化性エポキシ樹脂組成物層(2)を設けた銅箔付
きエポキシ接着フイルム(3)に、層間接続のための非
貫通穴となる穴(4)をあけ、その銅箔付きエポキシ接
着フイルム(3)の熱硬化性エポキシ樹脂組成物層
(2)が予め準備した内層回路板(5)に接するように
重ね、前記銅箔付きエポキシ接着フイルム(3)の銅箔
(1)の外側に離形シート(6)と、鏡板を重ね、加熱
加圧して積層一体化し、非貫通穴部分にしみ出したエポ
キシ樹脂組成物(7)をアルカリ金属水酸化物、アルコ
ール系溶媒、アミド系溶媒よりなる樹脂エッチング液に
より除去し、非貫通穴にめっきをおこなって内層回路と
銅箔とを電気的に接続することを特徴とする多層プリン
ト配線板の製造方法。
1. A copper foil having a molecular weight of 100,
Epoxy adhesive film with copper foil provided with a semi-cured thermosetting epoxy resin composition layer (2) comprising a halogenated high molecular weight epoxy polymer of 000 or more, a crosslinking agent and a polyfunctional epoxy resin (3) ), A hole (4) serving as a non-through hole for interlayer connection is formed, and the thermosetting epoxy resin composition layer (2) of the epoxy adhesive film with copper foil (3) is prepared in advance in the inner circuit board ( 5), a release sheet (6) and a mirror plate are stacked on the outside of the copper foil (1) of the epoxy adhesive film with copper foil (3), and laminated by heating and pressing to form a non-through hole. The exuded epoxy resin composition (7) is removed with a resin etching solution composed of an alkali metal hydroxide, an alcohol-based solvent, and an amide-based solvent, and plating is applied to the non-through hole to remove the inner layer circuit and the copper foil. Electrically connected Method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim Rukoto.
【請求項2】非貫通穴となる穴(4)の穴径が、200
μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の多層
プリント配線板の製造方法。
2. A non-through hole (4) having a hole diameter of 200
The method for producing a multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the thickness is not more than μm.
【請求項3】樹脂エッチング液のアルカリ金属水酸化物
が、水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムであり、
0.5〜5重量%の濃度で樹脂エッチング液中に存在す
ることを特徴とする請求項1または2に記載の多層プリ
ント配線板の製造方法。
3. An alkali metal hydroxide of a resin etching solution is sodium hydroxide or potassium hydroxide,
3. The method for producing a multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the compound is present in the resin etching solution at a concentration of 0.5 to 5% by weight.
【請求項4】樹脂エッチング液のアルコール系溶媒が、
ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレ
ングリコール、#300以下のポリエチレングリコール
またはこれらの組み合わせからなる群から選ばれ、4.
5〜30重量%の濃度で樹脂エッチング液中に存在する
ことを特徴とする請求項1〜3のうちいずれかに記載の
多層プリント配線板の製造方法。
4. An alcohol-based solvent for a resin etching solution,
3. selected from the group consisting of diethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol, polyethylene glycol of # 300 or less, or a combination thereof;
The method for producing a multilayer printed wiring board according to any one of claims 1 to 3, wherein the compound is present in the resin etching solution at a concentration of 5 to 30% by weight.
【請求項5】樹脂エッチング液のアミド系溶媒がN,N
−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N−メチル−2−ピロリドンまたはこれらの組み合
わせからなる群から選ばれ、65〜95重量%の濃度で
樹脂エッチング液中に存在することを特徴とする請求項
1〜4のうちいずれかに記載の多層プリント配線板の製
造方法。
5. The method of claim 1, wherein the amide solvent of the resin etching solution is N, N
Selected from the group consisting of -dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, or a combination thereof, and present in the resin etching solution at a concentration of 65 to 95% by weight. Item 5. The method for producing a multilayer printed wiring board according to any one of Items 1 to 4.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6739040B1 (en) * 1999-10-28 2004-05-25 Ajinomoto Co., Inc. Method of manufacturing multilayered printed wiring board using adhesive film
KR100699916B1 (en) * 2006-04-12 2007-03-28 이기주 Control system of bath or heating for improvement of thermal efficiency

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