JPH10283954A - Image display element and its manufacture - Google Patents

Image display element and its manufacture

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JPH10283954A
JPH10283954A JP8843997A JP8843997A JPH10283954A JP H10283954 A JPH10283954 A JP H10283954A JP 8843997 A JP8843997 A JP 8843997A JP 8843997 A JP8843997 A JP 8843997A JP H10283954 A JPH10283954 A JP H10283954A
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JP
Japan
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hole
wires
flat plate
electrodes
electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP8843997A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naoya Kikuchi
直哉 菊地
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Noritake Co Ltd
Original Assignee
Noritake Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Noritake Co Ltd filed Critical Noritake Co Ltd
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Publication of JPH10283954A publication Critical patent/JPH10283954A/en
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  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image display element, such that an increase in the size of its outer edge resulting from providing an electrode takeout wire on a side end face can be restrained, and a method for manufacturing the same. SOLUTION: An FED(field emission display device) 10 is equipped with an exhaust hole 36 provided through a back plate 18 along the direction of its thickness and a plurality of mutually insulated wires provided to electrically connect pluralities of cathode electrodes 28 and gate electrodes 30 to a plurality of back wires provided outside an airtight space 20, the cathode and gate electrodes 28, 30 being provided on one side 14 of the back plate 18 via the exhaust hole 36. Therefore, because the cathode electrodes 28 and the like, provided on one side of the back plate 18, are connected by wires to the back wires via the exhaust hole 36 provided in the back plate 18, the need to provide wires on the side end face of the FED 10 to connect the FED 10 is eliminated. Thus, an increase in the size of an outer edge resulting from providing connecting wires on the side end face is restrained in a desirable fashion.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、画像表示素子およ
びその製造方法に関し、特に、内部電極の外部電極端子
への接続構造の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an improvement in a structure for connecting internal electrodes to external electrode terminals.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、競技場等の屋内或いは屋外にお
いて多数の視聴者を対象として画像を表示する場合に
は、視距離が長いことから極めて大きな表示面が必要と
されるため、それぞれで画像表示が可能なタイル型の小
さな表示素子を多数個マトリックス状に配列することに
より、大表示面を形成したマルチスクリーン型の画像表
示装置が用いられている。大表示面の画像表示装置を一
体的に形成することが困難であると共に、全体で一画像
を表示する場合にも視距離が長い場合には各表示素子の
境界が画像の連続性を特に妨げないからである。このよ
うな表示素子は、例えば、電極から放出させられた電子
によって蛍光体を励起して発光させる蛍光表示管(Vacu
um Fluorescent Display:以下VFDという)や電界放
出表示装置(Field Emission Display:以下FEDとい
う)、或いはガス放電を利用したプラズマ・ディスプレ
イ・パネル(Plasma Display Panel:以下PDPとい
う)等で構成されている。
2. Description of the Related Art For example, when an image is displayed for a large number of viewers indoors or outdoors such as a stadium, an extremely large display surface is required due to a long viewing distance. 2. Description of the Related Art A multi-screen image display device in which a large display surface is formed by arranging a large number of small tile-type display elements capable of displaying in a matrix is used. It is difficult to integrally form an image display device having a large display surface, and when displaying one image as a whole, when the viewing distance is long, the boundaries between the display elements particularly hinder the continuity of the image. Because there is no. Such a display element is, for example, a fluorescent display tube (Vacu) that excites a phosphor with electrons emitted from an electrode to emit light.
um Fluorescent Display (hereinafter referred to as VFD), a field emission display (hereinafter referred to as FED), a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP) using gas discharge, and the like.

【0003】上記のVFDおよびFEDは、一対の平板
間に形成された気密空間に面するそれら一対の平板のう
ちの一方の一面上に複数個の陽極およびその陽極上に固
着された蛍光体層を備えると共に、気密空間内のその一
面から所定距離隔てた位置に陰極を備えたものであり、
陰極から発生する電子を蛍光体層に衝突させることによ
り、その蛍光体層を選択的に発光させるものである。ま
た、上記のPDPは、一対の平板間に形成された気密空
間内に放電電極を備えて、放電により発生するプラズマ
を利用して発光させるものである。このPDPにおいて
所望の発光色を得る場合には、放電空間内に蛍光体が備
えられて、プラズマによって生じた紫外線によって励起
された蛍光体が発光させられる。したがって、何れも自
己発光型の表示素子であることから、視野角が広く且つ
鮮明な表示が低消費電力で得られると共に、発光色の異
なる蛍光体層を用意することによりカラー表示が可能に
なる等の特徴がある。なお、各表示素子は、必要に応じ
て気密空間内に隔壁が設けられて複数の発光空間が区画
形成されることにより、表示の精細さを低下させること
なく、大表示面の表示装置を構成する場合の作業効率が
高められる。
The above-mentioned VFD and FED are composed of a plurality of anodes and a phosphor layer fixed on the anodes on one surface of one of the pair of flat plates facing an airtight space formed between the pair of flat plates. A cathode is provided at a position separated from the one surface in the airtight space by a predetermined distance,
By causing electrons generated from the cathode to collide with the phosphor layer, the phosphor layer selectively emits light. Further, the PDP has a discharge electrode in an airtight space formed between a pair of flat plates, and emits light using plasma generated by discharge. In order to obtain a desired emission color in this PDP, a phosphor is provided in the discharge space, and the phosphor excited by ultraviolet rays generated by the plasma emits light. Therefore, since both are self-luminous display elements, a wide viewing angle and clear display can be obtained with low power consumption, and color display can be performed by preparing phosphor layers having different emission colors. And so on. In addition, each display element constitutes a display device having a large display surface without deteriorating the definition of display by forming a plurality of light-emitting spaces by forming partitions in an airtight space as necessary. Work efficiency is improved.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】そして、上記のような
表示素子が多数個配列された表示装置によって、精細な
画像を表示するためには、上記隔壁を薄く形成すると共
に隣接する各表示素子相互の隙間を可及的に小さくする
ことが望まれる。そのため、各表示素子の気密空間内に
設けられている電極の端子は、例えば、特開平7−13
4559号公報に記載されているように、表示素子の側
端面を経由して一対の平板の一方或いは他方の裏面(気
密空間に面していない一面)側に取り出される。
In order to display a fine image on a display device in which a large number of display elements are arranged as described above, the partition walls are formed thin and the adjacent display elements are formed with each other. It is desired to make the gap between the two as small as possible. Therefore, the terminals of the electrodes provided in the hermetic space of each display element are described in, for example, JP-A-7-13.
As described in Japanese Patent No. 4559, the light is extracted to one or the other back surface (one surface not facing the airtight space) of the pair of flat plates via the side end surface of the display element.

【0005】しかしながら、上記のように側端面を経由
して電極を取り出す場合には、その側端面に設けられて
いる配線と、隣接して配置されている表示素子の配線と
の間の電気絶縁性を確保する必要がある。複数個の表示
素子の電極を相互に接続してそれらを一体として駆動す
る方法では、駆動電圧が高くなって絶縁耐圧の確保が困
難になると共に、電圧降下等の影響により表示素子相互
の均一な表示品質を得難くなるからである。上記の電気
絶縁性を確保する方法として、側端面における配線位置
を隣接する素子相互に異なるように設計する方法、或い
は、個々の表示素子の側端面をガラス等から成る絶縁膜
で被覆する方法等が考えられる。これらのうち前者の方
法では表示素子の電極構造が複雑になるため、一般には
後者の方法が採られる。そのため、表示素子相互の間隔
がその絶縁膜の厚さに応じて大きくなることから、表示
素子の境界部において表示のドットピッチ(以下、単に
ドットピッチという)が粗くなって表示装置における画
像の連続性が低下させられるという問題があった。しか
も、表示素子の側端面は大気に曝される部分であるた
め、雨水や結露等によって銀(Ag)、鉛(Pb)等のマイ
グレーション等の経時的変化が生じて配線が劣化し易い
という問題もあるが、画像の連続性を可及的に高める目
的で絶縁膜を薄くするほど劣化は著しくなる。
However, when the electrode is taken out via the side end face as described above, the electric insulation between the wiring provided on the side end face and the wiring of the display element arranged adjacently is taken. Needs to be secured. In the method of connecting the electrodes of a plurality of display elements to each other and driving them integrally, the driving voltage is increased to make it difficult to secure the withstand voltage, and the uniformity of the display elements due to the influence of the voltage drop and the like. This is because it becomes difficult to obtain display quality. As a method of ensuring the above-mentioned electrical insulation, a method of designing the wiring positions on the side end surfaces so that adjacent elements are different from each other, or a method of covering the side end surfaces of individual display elements with an insulating film made of glass or the like. Can be considered. In the former method, the latter method is generally employed because the electrode structure of the display element is complicated. Therefore, the interval between the display elements increases in accordance with the thickness of the insulating film, so that the display dot pitch (hereinafter, simply referred to as the dot pitch) at the boundary between the display elements becomes coarse, and the continuation of the image on the display device is reduced. There is a problem that the property is reduced. In addition, since the side end surface of the display element is exposed to the atmosphere, a change over time such as migration of silver (Ag), lead (Pb) or the like occurs due to rainwater or dew condensation, and the wiring is easily deteriorated. However, as the thickness of the insulating film is reduced for the purpose of enhancing the continuity of the image as much as possible, the deterioration becomes more remarkable.

【0006】なお、単一の表示素子で構成される表示装
置においても、表示素子の側端面を経由して電極を取り
出す場合には、上記のような経時的変化を抑制して配線
を保護するために絶縁膜が設けられる必要がある。この
ような表示装置では、画像の連続性の問題は生じない
が、側端面に設けられた絶縁膜によって装置寸法が拡大
され、その寸法拡大量が配線の劣化を可及的に抑制する
目的で絶縁膜を厚くするほど大きくなる。
[0006] Even in a display device composed of a single display element, when an electrode is taken out through a side end face of the display element, the above-described temporal change is suppressed to protect the wiring. Therefore, an insulating film needs to be provided. In such a display device, the problem of image continuity does not occur, but the size of the device is enlarged by the insulating film provided on the side end surface. The thickness increases as the thickness of the insulating film increases.

【0007】本発明は、以上の事情を背景として為され
たものであって、その目的とするところは、電極取り出
し配線を側端面に設けることに起因する外縁寸法拡大を
抑制し得る画像表示素子およびその製造方法を提供する
ことにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an image display device capable of suppressing an increase in outer edge dimension caused by providing an electrode extraction wiring on a side end surface. And a method for manufacturing the same.

【0008】[0008]

【課題を解決するための第1の手段】斯かる目的を達成
するため、第1発明の画像表示素子の要旨とするところ
は、相互に所定距離隔てて位置させられてそれらの間に
気密空間を形成する第1平板および第2平板と、その気
密空間内で発光を生じさせるためにその第1平板の内面
上に設けられた複数本の電極と、その気密空間外に設け
られてそれら複数本の電極の各々が電気的に接続される
複数の電極端子とを備えた画像表示素子であって、(a)
前記第1平板を厚み方向に貫通して設けられた少なくと
も一つの貫通穴と、(b) その一つの貫通穴を介して複数
本の電極の各々を複数の電極端子の各々に電気的に接続
するために設けられ、相互に絶縁させられた複数本の接
続線とを、含むことにある。
In order to achieve the above object, the gist of the image display element of the first invention is that the image display element is positioned at a predetermined distance from each other and has an airtight space therebetween. , A plurality of electrodes provided on the inner surface of the first flat plate for generating light emission in the hermetic space, and a plurality of electrodes provided outside the hermetic space. An image display device comprising: a plurality of electrode terminals each of which is electrically connected; and (a)
(B) electrically connecting each of the plurality of electrodes to each of the plurality of electrode terminals through the at least one through hole provided through the first flat plate in the thickness direction; And a plurality of connection lines insulated from each other.

【0009】[0009]

【第1発明の効果】このようにすれば、画像表示素子に
は、第1平板を厚み方向に貫通して設けられた少なくと
も一つの貫通穴と、その一つの貫通穴を介してその第1
平板の内面上に設けられた複数本の電極の各々を気密空
間外に設けられた複数の電極端子の各々に電気的に接続
するために設けられ、相互に絶縁させられた複数本の接
続線とが備えられる。そのため、第1平板の内面に設け
られた電極が、その第1平板に設けられた貫通穴を介し
て接続線によって電極端子に接続されることから、画像
表示素子の側端面にその接続のための配線を設ける必要
がない。したがって、側端面に接続配線を設けることに
起因する素子の外縁寸法拡大が好適に抑制される。
According to this structure, the image display device has at least one through hole provided through the first flat plate in the thickness direction and the first through the one through hole.
A plurality of connection wires provided to electrically connect each of the plurality of electrodes provided on the inner surface of the flat plate to each of a plurality of electrode terminals provided outside the hermetic space, and insulated from each other And are provided. Therefore, since the electrode provided on the inner surface of the first flat plate is connected to the electrode terminal by the connection wire through the through hole provided on the first flat plate, the electrode is connected to the side end surface of the image display element for the connection. There is no need to provide wiring. Therefore, expansion of the outer edge dimension of the element due to the provision of the connection wiring on the side end surface is suitably suppressed.

【0010】[0010]

【第1発明の他の態様】ここで、好適には、前記画像表
示素子は、前記複数本の接続線を相互に離間した状態で
無機結合剤によって結合する柱状の電線固定部材が前記
貫通穴に嵌め込まれて固定されることにより、それら複
数本の接続線が前記第1平板に設けられたものである。
このようにすれば、複数本の接続線を相互に離間した状
態で結合する柱状の電線固定部材が貫通穴に嵌め込み固
定されることで、それら複数本の接続線が相互に絶縁さ
せられた状態で画像表示素子の第1平板に設けられる。
そのため、複数本の接続線は電線固定部材によって結合
させられた状態で相互の絶縁性が確保されていることか
ら、それらの間の絶縁不良の発生が抑制されて、画像表
示素子の信頼性が高められる。
According to another aspect of the first invention, preferably, the image display element includes a column-shaped wire fixing member for connecting the plurality of connection wires with an inorganic binder in a state of being separated from each other. The plurality of connection lines are provided on the first flat plate by being fitted into and fixed to the first flat plate.
According to this configuration, the columnar wire fixing member that couples the plurality of connection wires in a state of being separated from each other is fitted and fixed in the through hole, so that the plurality of connection wires are insulated from each other. Is provided on the first flat plate of the image display element.
Therefore, since the plurality of connection wires are mutually insulated while being connected by the wire fixing member, the occurrence of insulation failure therebetween is suppressed, and the reliability of the image display element is reduced. Enhanced.

【0011】また、好適には、前記貫通穴は、前記気密
空間内から排気するために設けられた排気穴であり、前
記複数本の接続線がその貫通穴内に設けられた状態にお
いてその貫通穴の内周側に前記第1平板の前記内面とそ
の内面とは反対側の裏面とを連通させる連通穴が形成さ
れているものである。このようにすれば、内部に気密空
間を備える画像表示素子において必ず設けられる排気穴
が貫通穴として利用されていることから、接続線を設け
るための貫通穴を形成するための工程が必要とならない
ため、工数の増大が抑制されると共に、第1平板の内面
上に設けられた複数本の電極を避けて貫通穴を設ける目
的で表示素子の設計が複雑になることが抑制される。な
お、貫通穴内に複数本の接続線が設けられた状態におい
ても、貫通穴の内周側には第1平板の内面と裏面とを連
通させる連通穴が形成されていることから排気穴として
の機能は失われないため、気密空間内から排気する際に
も何等支障はない。
Preferably, the through hole is an exhaust hole provided for exhausting from the airtight space, and the through hole is provided when the plurality of connection lines are provided in the through hole. A communication hole for communicating the inner surface of the first flat plate with the back surface opposite to the inner surface is formed on the inner peripheral side of the first flat plate. According to this configuration, since the exhaust hole necessarily provided in the image display element having the airtight space therein is used as the through hole, a step for forming the through hole for providing the connection line is not required. Therefore, an increase in the number of steps is suppressed, and the design of the display element is suppressed from being complicated for the purpose of providing a through hole avoiding a plurality of electrodes provided on the inner surface of the first flat plate. In addition, even when a plurality of connection lines are provided in the through hole, a communication hole for communicating the inner surface and the back surface of the first flat plate is formed on the inner peripheral side of the through hole. Since the function is not lost, there is no problem when exhausting from the airtight space.

【0012】[0012]

【課題を解決するための第2の手段】また、前記目的を
達成するための第2発明の画像表示素子の製造方法の要
旨とするところは、相互に所定距離隔てて位置させられ
てそれらの間に気密空間を形成する第1平板および第2
平板と、その気密空間内で発光を生じさせるためにその
第1平板の内面上に設けられた複数本の電極と、その気
密空間外に設けられてそれら複数本の電極の各々が電気
的に接続される複数の電極端子とを備えた画像表示素子
の製造方法であって、(a) 前記第1平板に貫通穴を設け
る貫通穴形成工程と、(b) 柱状の電線固定部材を用いて
複数本の金属線を相互に離間した状態で無機結合剤によ
って結合する金属線固定工程と、(c) それら複数本の金
属線が固定された電線固定部材を前記貫通穴に嵌め込ん
で固定することによりその貫通穴内にそれら複数本の金
属線を配設する金属線配設工程と、(d) その貫通穴に嵌
め込み固定された前記電線固定部材の両端部において、
前記複数本の金属線と前記複数本の電極および前記複数
の電極端子との各々とを相互に接続する接続工程とを、
含むことにある。
The gist of the method for manufacturing an image display device according to the second aspect of the present invention for achieving the above object is that the image display devices are positioned at a predetermined distance from each other. A first flat plate and a second flat plate forming an airtight space between them;
A flat plate, a plurality of electrodes provided on the inner surface of the first flat plate for generating light emission in the hermetic space, and each of the plurality of electrodes provided outside the hermetic space to electrically A method of manufacturing an image display device including a plurality of electrode terminals to be connected, wherein (a) a through-hole forming step of providing a through-hole in the first flat plate, and (b) a column-shaped wire fixing member. A metal wire fixing step of bonding a plurality of metal wires with an inorganic binder in a state of being separated from each other, and (c) fitting and fixing the wire fixing member to which the plurality of metal wires are fixed in the through hole. A metal wire arranging step of arranging the plurality of metal wires in the through hole by (d) at both ends of the wire fixing member fitted and fixed in the through hole,
A connection step of mutually connecting the plurality of metal wires and each of the plurality of electrodes and the plurality of electrode terminals,
To include.

【0013】[0013]

【第2発明の効果】このようにすれば、貫通穴形成工程
において、第1平板に貫通穴が設けられる一方、金属線
固定工程において、柱状の電線固定部材を用いて複数本
の金属線が相互に離間した状態で無機結合剤によって結
合され、それらに続く金属線配設工程においてその金属
線が固定された電線固定部材が貫通穴に嵌め込んで固定
されることによりその貫通穴内に複数本の金属線が配設
され、更に、接続工程において、その電線固定部材の両
端部において複数本の金属線と複数本の電極および複数
の電極端子の各々とが相互に接続される。そのため、予
め電線固定部材によって相互に絶縁させられた状態で結
合された金属線が、その電線固定部材が第1平板に設け
られた貫通穴に嵌め込み固定されることにより前記複数
本の接続線が貫通穴内に設けられ、その金属線すなわち
接続線に電極および電極端子が接続されることから、接
続配線を側端面に設ける必要がないため、画像表示素子
の外縁寸法拡大を好適に抑制し得る。しかも、上記製造
方法によれば、接続線相互の絶縁性の確保が容易になる
と共に、接続線を設け且つそれと電極および電極端子と
を接続する工程が簡単になるという利点もある。
In this way, in the through hole forming step, the first flat plate is provided with a through hole, and in the metal wire fixing step, a plurality of metal wires are formed using the columnar wire fixing member. A plurality of wires are fixed in the through-hole by being fixed to the through-hole by fixing the wire fixed to the metal wire in the subsequent metal wire arranging step in the state where they are separated from each other by the inorganic binder. Further, in the connecting step, the plurality of metal wires, the plurality of electrodes, and the plurality of electrode terminals are connected to each other at both ends of the wire fixing member. For this reason, the plurality of connection lines are formed by fitting and fixing the metal wires, which are previously insulated from each other by the wire fixing members, into the through holes provided in the first flat plate. Since the electrodes and the electrode terminals are provided in the through holes and the metal wires, ie, the connection wires, are connected to the metal wires, that is, the connection wires, it is not necessary to provide the connection wires on the side end surfaces, so that the outer edge dimension of the image display element can be suitably suppressed from increasing. Moreover, according to the above-described manufacturing method, there is an advantage that it is easy to secure the insulation between the connection lines, and the process of providing the connection lines and connecting the electrodes and the electrode terminals is simplified.

【0014】因みに、側端面に接続配線を設ける従来の
画像表示素子を製造するに際しては、その接続配線が側
端面に厚膜印刷法等によって形成されることから、内面
に設けられた電極や外部に設けられた電極端子との位置
合わせが必要となって製造工程が煩雑になると共に、一
般に接続配線は複数の側端面に設けられていることか
ら、各々の側端面に印刷形成するために多工程を必要と
するという問題があったのである。
Incidentally, when manufacturing a conventional image display element in which connection wiring is provided on the side end face, since the connection wiring is formed on the side end face by a thick film printing method or the like, an electrode provided on the inner face or an external It is necessary to align with the electrode terminals provided on the substrate, which complicates the manufacturing process. In addition, since connection wirings are generally provided on a plurality of side end surfaces, it is often necessary to print each side end surface. There was a problem that a process was required.

【0015】[0015]

【第2発明の他の態様】ここで、好適には、前記接続工
程は、前記複数本の電極および前記複数の電極端子と前
記複数本の金属線とをワイヤボンディングにより接続す
るものである。このようにすれば、ワイヤボンディング
では例えば数十乃至百 (μm)程度の微小な中心間隔でワ
イヤを接続し得ることから、多数の電極および電極端子
を相互に接続するために電線固定部材によって多数本の
金属線が一体に結合されている場合にも、電極相互およ
び電極端子相互の絶縁性を確保しつつ金属線すなわち接
続線との接続を成し得る。
Preferably, in the connecting step, the plurality of electrodes and the plurality of electrode terminals are connected to the plurality of metal wires by wire bonding. With this configuration, in the wire bonding, the wires can be connected at a minute center interval of, for example, about several tens to hundreds (μm). Therefore, in order to connect a large number of electrodes and electrode terminals to each other, a large number of wires and wire fixing members are used. Even in the case where the metal wires are integrally connected, the connection with the metal wire, that is, the connection wire can be made while ensuring the insulation between the electrodes and the electrode terminals.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して説明する。なお、以下の説明において、各部の
寸法比等は必ずしも正確に描かれていない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description, dimensional ratios and the like of each part are not necessarily drawn accurately.

【0017】図1は、本発明の画像表示素子の一実施例
であるFED(電界放出表示素子)10の構成を分解し
て示す斜視図である。図において、FED10は、それ
ぞれの一面12,14が向かいあうように互いに平行に
配置され且つ同様な寸法・形状の前面板16および背面
板18と、それら前面板16と背面板18との間に設け
られてそれらを所定間隔隔てて相互に接合することによ
り、気密空間20を形成するスペーサ22とを備えてい
る。本実施例においては、上記背面板18が第1平板
に、前面板16が第2平板にそれぞれ相当する。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing the structure of an FED (field emission display device) 10 which is an embodiment of the image display device of the present invention. In the figure, an FED 10 is disposed in parallel with each other so that respective one surfaces 12 and 14 face each other, and is provided between a front plate 16 and a back plate 18 having similar dimensions and shapes, and between the front plate 16 and the back plate 18. And a spacer 22 for forming an airtight space 20 by joining them at a predetermined interval. In this embodiment, the rear plate 18 corresponds to a first flat plate, and the front plate 16 corresponds to a second flat plate.

【0018】上記の前面板16および背面板18は、例
えばそれぞれ1 〜2 (mm)程度の均一な厚さで透光性を有
する軟化点が600(℃) 程度のソーダライムガラスから成
るものである。また、前記のスペーサ22は、例えば、
前面板16および背面板18と同様な外形寸法を有する
矩形枠状を成すものである。このスペーサ22は、例え
ば0.3(mm) 程度の一様な厚さで矩形枠状を成す426合
金が、電着等によってその表面に 10(μm)程度の厚さに
設けられた600(℃) 程度の軟化点の硼珪酸ガラスから成
る図示しない絶縁ガラス層に覆われて構成されている。
したがって、気密空間20の高さは例えば0.3(mm) 程度
である。
The front plate 16 and the back plate 18 are made of soda lime glass having a uniform thickness of about 1 to 2 (mm) and a light-transmitting softening point of about 600 (° C.). is there. The spacer 22 is, for example,
It has a rectangular frame shape having the same outer dimensions as the front plate 16 and the back plate 18. The spacer 22 is made of, for example, a rectangular frame-shaped 426 alloy having a uniform thickness of about 0.3 (mm) and a thickness of about 10 (μm) provided on its surface by electrodeposition or the like at 600 (° C.). It is covered with an insulating glass layer (not shown) made of borosilicate glass having a moderate softening point.
Therefore, the height of the airtight space 20 is, for example, about 0.3 (mm).

【0019】また、前面板16の一面12には、例えば
ITO(酸化インジウム錫:IndiumTin Oxide)等から
成る透明な陽極24がその一面12全面を覆って設けら
れており、更にその陽極24の表面には、1画素を構成
する区分毎にそれぞれR(赤),G(緑),B(青)の
3つの発光色に対応する蛍光体層26が設けられてい
る。したがって、図から明らかなように、本実施例にお
いては、FED10に4画素が備えられている。上記の
陽極24は、例えばスパッタ等の薄膜法によって例えば
1(μm)程度の厚さに形成されたものであり、シート抵抗
値が10 (Ω/□)以下程度と比較的高い導電性を備えて
いる。また、上記の蛍光体層26は、例えば、ZnO:Zn,
ZnS:Ag+In2O3等の電子線によって可視光を発する材料か
ら構成されるものであって、厚膜スクリーン印刷法等に
よって10〜20 (μm)程度の厚さで設けられることによ
り、面積抵抗率が500(Ω/cm2) 以下程度の導電性を備え
ている。
A transparent anode 24 made of, for example, ITO (Indium Tin Oxide) is provided on one surface 12 of the front plate 16 so as to cover the whole surface of the one surface 12. Are provided with phosphor layers 26 corresponding to three emission colors of R (red), G (green), and B (blue), respectively, for each section constituting one pixel. Therefore, as is apparent from the figure, in the present embodiment, the FED 10 has four pixels. The anode 24 is formed, for example, by a thin film method such as sputtering.
It is formed to a thickness of about 1 (μm) and has a relatively high conductivity with a sheet resistance of about 10 (Ω / □) or less. The phosphor layer 26 is made of, for example, ZnO: Zn,
ZnS: is composed of a material that emits visible light by an electron beam such as Ag + In 2 O 3 and is provided in a thickness of about 10 to 20 (μm) by a thick film screen printing method or the like, It has conductivity with a sheet resistivity of about 500 (Ω / cm 2 ) or less.

【0020】また、上記の背面板18の一面14には、
複数本のカソード電極28およびゲート電極30が互い
に直交し且つ絶縁された状態で設けられており、それら
の交差部分において、ゲート電極30には複数個の電子
通過孔32が設けられる一方、カソード電極28上には
その電子通過孔32に対応する部分に複数個のエミッタ
(冷陰極)34が設けられている。本実施例において
は、上記一面14が第1平板の内面に、カソード電極2
8およびゲート電極30が複数本の電極にそれぞれ相当
する。
The one surface 14 of the back plate 18 includes
A plurality of cathode electrodes 28 and a plurality of gate electrodes 30 are provided so as to be orthogonal and insulated from each other, and at the intersection thereof, a plurality of electron passage holes 32 are provided in the gate electrode 30. A plurality of emitters (cold cathodes) 34 are provided on the portion 28 corresponding to the electron passage holes 32. In this embodiment, the one surface 14 is provided on the inner surface of the first flat plate,
8 and the gate electrode 30 correspond to a plurality of electrodes, respectively.

【0021】上記のカソード電極28は例えば、金(A
u)等の導電性の高い金属から成るものであり、ゲート
電極30はクロム(Cr)等から成るものである。また、
エミッタ34は、例えば、モリブデン(Mo)等から成る
スピント(spindt)型と呼ばれる円錐状の冷陰極であり、
複数個が何れも1(μm)程度の一様な高さに形成されてい
る。これらは何れも陽極24と同様にスパッタ等の薄膜
法によって設けられている。また、上記の電子通過孔3
2はそれぞれが直径1 〜2(μm)程度の大きさの略円形を
成すものであり、例えばイオンエッチング等でゲート電
極30を部分的に除去することによって形成されてい
る。なお、図においては省略されているが、エミッタ3
4が形成されている部分を除いたカソード電極28の略
全面を覆って二酸化珪素(SiO2)等から成る絶縁膜が設
けられ、ゲート電極30はその絶縁膜上に形成されてお
り、これによりカソード電極28とゲート電極30とが
相互に絶縁させられている。また、ゲート電極30はエ
ミッタ34の先端よりも前面板16側に位置させられて
おり、ゲート電極30と前面板16上に設けられた蛍光
体層26の表面との距離は例えば0.2 〜1 (mm)程度であ
る。なお、図においては、カソード電極28およびゲー
ト電極30の交差部分において各々6つの電子通過孔3
2およびエミッタ34が設けられているように描かれて
いるが、通常は、更に多数の例えば2000個程度の電子通
過孔32およびエミッタ34が設けられている。
The cathode electrode 28 is made of, for example, gold (A
The gate electrode 30 is made of a highly conductive metal such as u), and the gate electrode 30 is made of chromium (Cr) or the like. Also,
The emitter 34 is, for example, a conical cold cathode called a spindt type made of molybdenum (Mo) or the like.
Each of the plurality is formed at a uniform height of about 1 (μm). These are all provided by a thin film method such as sputtering, similarly to the anode 24. In addition, the above-mentioned electron passage hole 3
Numerals 2 each have a substantially circular shape having a diameter of about 1 to 2 (μm), and are formed by, for example, partially removing the gate electrode 30 by ion etching or the like. Although not shown in FIG.
An insulating film made of silicon dioxide (SiO 2 ) or the like is provided so as to cover substantially the entire surface of the cathode electrode 28 except for the portion where the electrode 4 is formed, and the gate electrode 30 is formed on the insulating film. The cathode electrode 28 and the gate electrode 30 are insulated from each other. The gate electrode 30 is located closer to the front plate 16 than the tip of the emitter 34, and the distance between the gate electrode 30 and the surface of the phosphor layer 26 provided on the front plate 16 is, for example, 0.2 to 1 ( mm). In the figure, six electron passage holes 3 are formed at intersections of the cathode electrode 28 and the gate electrode 30 respectively.
2 and the emitter 34 are provided, but usually, for example, about 2000 more electron passage holes 32 and the emitter 34 are provided.

【0022】このため、カソード電極28およびゲート
電極30にそれぞれ所定の信号電圧および走査電圧が印
加されると、それらの間の大きな電圧勾配に基づいて生
じる電界放出(Field Emission)によってエミッタ34
から電子が放出される。この電子は、前面板16上に設
けられた陽極24に所定の正電圧が印加されることによ
り、電子通過孔32を通ってその陽極24に向かって飛
ぶ。これにより、その陽極24上に設けられている前記
蛍光体層26に電子が衝突させられ、蛍光体層26が発
光させられる。
For this reason, when a predetermined signal voltage and a predetermined scanning voltage are applied to the cathode electrode 28 and the gate electrode 30, respectively, the emitter 34 is generated by a field emission caused by a large voltage gradient between them.
The electrons are emitted from. The electrons fly toward the anode 24 through the electron passage holes 32 when a predetermined positive voltage is applied to the anode 24 provided on the front plate 16. Thereby, electrons collide with the phosphor layer 26 provided on the anode 24, and the phosphor layer 26 emits light.

【0023】また、背面板18の中央部には、厚み方向
に貫通する例えば直径1 (mm)程度の排気穴36が上記の
カソード電極28およびゲート電極30と干渉しない位
置に設けられており、その排気穴36内には図1および
背面板18を裏面38側から見た状態を表す図2に示さ
れるように、電極接続部材40がその両端面42、42
が一面14および裏面38に露出した状態で例えば硼珪
酸ガラス等の低軟化点ガラスから成る無機結合剤43に
よって固定されている。この電極接続部材40は、図3
に示されるように円柱状を成すものであり、複数本のワ
イヤ44が両端面42、42においてその端面が露出し
た状態で、硼珪酸ガラス等の無機結合剤46によって一
体化させられたものである。なお、ワイヤ44は、例え
ば直径30〜50 (μm)程度の金やアルミニウム等の導電性
材料から成るものであり、上記無機結合剤46によって
互いに電気的に絶縁させられている。また、図において
は、説明の便宜上、電極接続部材40に4本のワイヤ4
4が備えられているように描かれているが、後述するよ
うに、実際には更に多数の例えば50〜100(本) 程度のワ
イヤ44が100(μm)以上の中心間隔を以て相互に絶縁状
態で備えられている。したがって、本実施例において
は、上記複数本のワイヤ44が複数の接続線に、上記の
無機結合剤46全体が複数本の接続線を相互に離間した
状態で結合する柱状の電線固定部材にそれぞれ相当し、
排気穴36が請求の範囲にいう「貫通穴」を兼ねてい
る。なお、排気穴36は電極接続部材40によって略全
体が閉塞されているが、図4に示されるように電極接続
部材40は無機接着剤43によって排気穴36内に固定
されているが、無機接着剤43はそれらの間の全体には
充填されておらず、排気穴36の内周面と電極接続部材
40の外周面との間すなわち排気穴36の内周側には、
背面板18の一面14と裏面38とを連通させる連通穴
47が形成されている。
An exhaust hole 36 having a diameter of, for example, about 1 (mm) penetrating in the thickness direction is provided at a central portion of the back plate 18 so as not to interfere with the cathode electrode 28 and the gate electrode 30. In the exhaust hole 36, as shown in FIG. 1 and FIG. 2 showing the back plate 18 viewed from the back surface 38 side, the electrode connecting member 40 has both end surfaces 42, 42.
Are fixed to the one surface 14 and the back surface 38 by an inorganic binder 43 made of low softening point glass such as borosilicate glass. This electrode connecting member 40 is similar to that shown in FIG.
And a plurality of wires 44 integrated with an inorganic binder 46 such as borosilicate glass with the end faces exposed at both end faces 42, 42. is there. Note that the wires 44 are made of a conductive material such as gold or aluminum having a diameter of about 30 to 50 (μm), for example, and are electrically insulated from each other by the inorganic binder 46. In the figure, for convenience of explanation, four wires 4 are connected to the electrode connecting member 40.
4 are provided, but as will be described later, in practice, a large number of wires 44 of, for example, about 50 to 100 (wires) are insulated from each other with a center interval of 100 (μm) or more. It is equipped with. Therefore, in the present embodiment, the plurality of wires 44 are respectively connected to the plurality of connection lines, and the entire inorganic binder 46 is connected to the column-shaped wire fixing member that connects the plurality of connection lines in a state of being separated from each other. Equivalent,
The exhaust hole 36 also serves as a “through hole” in the claims. Although the exhaust hole 36 is substantially entirely closed by the electrode connecting member 40, the electrode connecting member 40 is fixed in the exhaust hole 36 by an inorganic adhesive 43 as shown in FIG. The agent 43 is not completely filled between them, and between the inner peripheral surface of the exhaust hole 36 and the outer peripheral surface of the electrode connecting member 40, that is, on the inner peripheral side of the exhaust hole 36,
A communication hole 47 that allows the one surface 14 of the back plate 18 to communicate with the back surface 38 is formed.

【0024】また、上記図2に示されるように、背面板
18の裏面38上には、前記複数本のカソード電極28
およびゲート電極30の各々に対応する複数本の背面配
線48が排気穴36の周囲に備えられている。この背面
配線48は金、銀等の導電性材料から成るものであり、
例えば厚膜スクリーン印刷法等によって厚さ10 (μm)程
度、幅0.5 (mm)程度の寸法に形成されている。前記電極
接続部材48に備えられている複数本のワイヤ44の各
々は、一面14上において複数本のワイヤ50によって
複数本のカソード電極28およびゲート電極30の各々
に接続される一方、裏面38上において複数本のワイヤ
52によって複数本の背面配線48の各々に接続されて
いる。これらワイヤ50、52は、例えば何れも金やア
ルミニウム(Al)等の導電性材料から成り、直径は電極
接続部材40に備えられているワイヤ44と同程度とで
ある。これにより、FED10の気密空間20内におい
て一面14上に備えられている複数本のカソード電極2
8およびゲート電極30の各々が、背面板18の側端面
を経由することなく気密空間20外に位置する裏面38
上に設けられた背面配線48の各々に電気的に接続され
ている。また、背面板18の裏面38には、前記排気穴
36の開口を覆うようにそれよりも大径の開口を備えた
排気管54が鉛ガラス等の無機結合剤によって気密に固
着されており、その内側にはゲッタ56(図2では省
略)が備えられている。なお、図において54は、背面
配線48に通電するためのFe-Ni-Cr等から成る電極端子
であり、排気管52によってその背面配線48に押しつ
けられた状態で固定されている。この電極端子58は背
面配線48に対応する数だけ設けられるが、図において
は2つだけ示されている。本実施例においては、上記の
背面配線48或いは背面配線48および電極端子58が
請求の範囲でいう「複数の電極端子」に相当する。
As shown in FIG. 2, the plurality of cathode electrodes 28 are formed on the back surface 38 of the back plate 18.
A plurality of back wirings 48 corresponding to each of the gate electrodes 30 are provided around the exhaust hole 36. The back wiring 48 is made of a conductive material such as gold or silver.
For example, it is formed to have a thickness of about 10 (μm) and a width of about 0.5 (mm) by a thick film screen printing method or the like. Each of the plurality of wires 44 provided on the electrode connecting member 48 is connected to each of the plurality of cathode electrodes 28 and the gate electrodes 30 by the plurality of wires 50 on one surface 14, while on the back surface 38. Are connected to each of the plurality of back wirings 48 by a plurality of wires 52. Each of the wires 50 and 52 is made of, for example, a conductive material such as gold or aluminum (Al), and has the same diameter as the wire 44 provided in the electrode connecting member 40. Thus, the plurality of cathode electrodes 2 provided on one surface 14 in the hermetic space 20 of the FED 10
8 and the gate electrode 30 are provided on the back surface 38 located outside the hermetic space 20 without passing through the side end surface of the back plate 18.
It is electrically connected to each of the rear wirings 48 provided above. An exhaust pipe 54 having an opening with a diameter larger than that of the exhaust hole 36 is hermetically fixed to the back surface 38 of the back plate 18 with an inorganic binder such as lead glass. The inside thereof is provided with a getter 56 (omitted in FIG. 2). In the figure, reference numeral 54 denotes an electrode terminal made of Fe-Ni-Cr or the like for supplying a current to the rear wiring 48, and is fixed in a state pressed against the rear wiring 48 by the exhaust pipe 52. Although the number of the electrode terminals 58 is provided corresponding to the number of the back wirings 48, only two are shown in the figure. In the present embodiment, the back wiring 48 or the back wiring 48 and the electrode terminals 58 correspond to “plurality of electrode terminals” in claims.

【0025】以上のように構成されたFED10は、例
えば、図5に示される工程に従って製造される。図にお
いて、工程1Aのロッド作製工程および工程2Aの切断
工程は、電極接続部材40を前面板16および背面板1
8とは別に作製するための電極接続部材作製工程、すな
わちワイヤ44を柱状の電線固定部材(すなわち無機結
合剤46)で相互に離間した状態で結合する金属線固定
工程に対応する。すなわち、先ず工程1Aにおいて、前
記図3に示される円柱形状を軸心方向に延長した形状の
ロッド状の電極接続部材母材60(図7参照)を作製
し、次いで工程2Aにおいて、その電極接続部材母材6
0をダイヤモンドカッタ等の切断工具を用いて図7に一
点鎖線で示されるように軸心方向に略垂直に切断するこ
とにより製造される。なお、上記の電極接続部材母材6
0は、例えば図6に製造装置を模式的に示されるような
簡便な方法で製造される。
The FED 10 configured as described above is manufactured, for example, according to the process shown in FIG. In the figure, in the rod manufacturing step of step 1A and the cutting step of step 2A, the electrode connecting member 40 is connected to the front plate 16 and the back plate 1.
8 corresponds to an electrode connecting member manufacturing step for manufacturing separately, that is, a metal wire fixing step in which the wires 44 are connected to each other in a state of being separated from each other by a columnar electric wire fixing member (that is, an inorganic binder 46). That is, first, in step 1A, a rod-shaped electrode connecting member base material 60 (see FIG. 7) in which the columnar shape shown in FIG. 3 is extended in the axial direction is produced, and then, in step 2A, the electrode connection is formed. Member base material 6
0 is cut substantially perpendicularly to the axial direction as shown by a dashed line in FIG. 7 using a cutting tool such as a diamond cutter. The above-described electrode connecting member base material 6
0 is manufactured by a simple method, for example, as schematically shown in FIG.

【0026】図6において、水槽62内には硼珪酸ガラ
ス等のガラス粉末がアルコール等の有機溶剤に溶解させ
られたガラススラリ64が蓄えられており、そのガラス
スラリ64中に適当な長さのワイヤ44が巻き取られた
複数個のリール66および多数のガイド穴68を備えた
下側ガイド板70が沈められている。なお、下側ガイド
板70はリール66よりも上方であってガラススラリ6
4内に全体が位置する高さに固定されている。水槽62
の上方には下側ガイド板70と同様に多数のガイド穴7
2を備えた上側ガイド板74がその下側ガイド板70と
平行に配置されている。上記のリール66に巻き取られ
ているワイヤ44は、下側ガイド板70のガイド穴68
を通って上方に立ち上げられ、上側ガイド板74のガイ
ド穴72を通してその上面76上に先端が固定されてい
る。なお、上記ガイド穴68、72は、例えば100(μm)
程度の中心間隔で50〜100 個が下側ガイド板70および
上側ガイド板74の同位置に設けられている。また、図
においては2(個) のリール66および2(本) のワイヤ4
4が示されているが、実際にはガイド穴68、72の個
数に対応する数のリール66が水槽62内に備えられ、
全てのガイド穴68、72にワイヤ44が通されて上側
ガイド板74に固定されている。
In FIG. 6, a glass slurry 64 in which glass powder such as borosilicate glass is dissolved in an organic solvent such as alcohol is stored in a water tank 62, and an appropriate length of glass slurry 64 is stored in the glass slurry 64. A lower guide plate 70 having a plurality of reels 66 around which the wires 44 are wound and a number of guide holes 68 is submerged. The lower guide plate 70 is located above the reel 66 and the glass slurry 6
4 is fixed at a height where the whole is located. Aquarium 62
A large number of guide holes 7 are provided above the
The upper guide plate 74 provided with the second guide plate 2 is arranged in parallel with the lower guide plate 70. The wire 44 wound on the reel 66 is connected to the guide hole 68 of the lower guide plate 70.
Through the guide hole 72 of the upper guide plate 74, and the tip is fixed on the upper surface 76 thereof. The guide holes 68 and 72 are, for example, 100 (μm)
About 50 to 100 pieces are provided at the same position of the lower guide plate 70 and the upper guide plate 74 at the center interval of the order. In the figure, two reels 66 and two (wires) 4
4 are shown, but in reality, a number of reels 66 corresponding to the number of the guide holes 68, 72 are provided in the water tank 62,
The wires 44 pass through all the guide holes 68 and 72 and are fixed to the upper guide plate 74.

【0027】上記のような配置状態から上側ガイド板7
4を下側ガイド板70との平行状態を保ちつつ図に矢印
で示されるように上方にゆっくり移動させると、複数本
のワイヤ44が互いにガイド穴68、72と等しい中心
間隔を以て引き上げられ、それら複数本のワイヤ44の
各々の表面にはガラススラリ64が付着させられる。す
なわち、複数本のワイヤ44相互の間および最外周に位
置するワイヤ44の表面にはガラススラリ64が付着さ
せられる。この引き上げられたワイヤ44の束を適当な
長さに切断して軸心方向に伸ばした状態で例えば600 〜
800(℃) 程度の温度で熱処理することにより、図7に示
されるような複数本のワイヤ44が無機結合剤46(硼
珪酸ガラス)によって相互に離間した(すなわち絶縁し
た)状態で結合させられたロッド状の電極接続部材母材
60が得られる。このとき、複数のガイド穴68、72
は全体が略円形を成すように配置されていることから、
電極接続部材母材60延いては電極接続部材40の軸心
方向に垂直な断面が略円形となるが、その断面は図7に
示されるような完全な円形ではなく、実際にはワイヤ4
4の表面に沿った凹凸を備えた形状となっている。前記
電極接続部材40は、このように作製された電極接続部
材母材60を適当な寸法で切断することにより形成され
ることから、柱状の電線固定部材(無機結合剤46)に
よって複数本のワイヤ44が相互に離間した状態で無機
結合剤によって結合されて構成されることとなる。
From the above arrangement, the upper guide plate 7
When the wire 4 is slowly moved upward as shown by the arrow in the figure while maintaining the parallel state with the lower guide plate 70, the plurality of wires 44 are pulled up with a center interval equal to the guide holes 68 and 72, and A glass slurry 64 is attached to each surface of the plurality of wires 44. That is, the glass slurry 64 is attached between the plurality of wires 44 and on the surface of the wire 44 located at the outermost periphery. The raised bundle of wires 44 is cut to an appropriate length and stretched in the axial direction, for example, 600 to
By performing heat treatment at a temperature of about 800 (° C.), a plurality of wires 44 as shown in FIG. 7 are bonded in a state where they are separated from each other (ie, insulated) by an inorganic binder 46 (borosilicate glass). Thus, a rod-shaped electrode connecting member base material 60 is obtained. At this time, the plurality of guide holes 68, 72
Are arranged so as to form a substantially circular shape,
Although the cross section perpendicular to the axial center direction of the electrode connecting member base material 60 and the electrode connecting member 40 is substantially circular, the cross section is not a perfect circular shape as shown in FIG.
4 has a shape with irregularities along the surface. Since the electrode connecting member 40 is formed by cutting the electrode connecting member base material 60 thus manufactured to an appropriate size, a plurality of wires are formed by a columnar wire fixing member (inorganic binder 46). 44 are connected to each other by an inorganic binder in a state where they are separated from each other.

【0028】図5に戻って、工程1B乃至工程6は背面
板18の処理工程である。先ず、工程1Bの貫通穴形成
工程において、ドリル等によって背面板18に排気穴3
6を穿孔形成する。次いで、工程2Bのカソード形成工
程において、その排気穴36が設けられた背面板18の
一面14上に例えばスパッタ法等で金等から成る導電膜
を成膜してパターニングすることによりカソード電極2
8を形成する。続く工程3のゲート形成工程において
は、カソード電極28上に絶縁膜を形成した後、その絶
縁膜上に同様にスパッタ法等によってクロム等から成る
導電膜を成膜し、パターニングすると共にエッチングや
イオンエッチング等によってその導電膜を部分的に除去
して前記電子通過孔32を備えたゲート電極30を形成
する。なお、ゲート電極のパターニングは後述のエミッ
タ34を形成した後に行ってもよい。そして、工程4の
エミッタ形成工程において、上記電子通過孔32が形成
された位置においてカソード電極28上の絶縁膜を部分
的に除去した後、スパッタ法等でモリブデン膜を成膜す
る。これにより、絶縁膜が除去された部分においてはカ
ソード電極28上にモリブデン膜が成膜されるが、その
形状は自然に円錐状を成すものとなるため、前記のよう
な形状にエミッタ34が形成されるのである。ゲート電
極30上に形成された不要のモリブデン膜はこの後除去
される。
Returning to FIG. 5, Steps 1B to 6 are processing steps of the back plate 18. First, in the through hole forming step of the step 1B, the exhaust holes 3 are formed in the back plate 18 by a drill or the like.
6 is perforated. Next, in a cathode forming step of step 2B, a conductive film made of gold or the like is formed on the one surface 14 of the back plate 18 provided with the exhaust holes 36 by, for example, a sputtering method and is patterned to form the cathode electrode 2.
8 is formed. In the gate forming step of the subsequent step 3, after forming an insulating film on the cathode electrode 28, a conductive film made of chromium or the like is formed on the insulating film in the same manner by sputtering or the like, and is patterned and etched or ionized. The conductive film is partially removed by etching or the like to form the gate electrode 30 having the electron passage holes 32. The patterning of the gate electrode may be performed after forming an emitter 34 described later. Then, in the emitter forming step of step 4, after the insulating film on the cathode electrode 28 is partially removed at the position where the electron passage holes 32 are formed, a molybdenum film is formed by a sputtering method or the like. As a result, a molybdenum film is formed on the cathode electrode 28 in the portion where the insulating film has been removed. However, the shape of the molybdenum film naturally forms a conical shape. It is done. Unnecessary molybdenum film formed on gate electrode 30 is removed thereafter.

【0029】以上のように各電極28等を膜形成した
後、工程5の金属線配設工程すなわち電極接続部材固定
工程においては、前記工程1A、2Aに従って製造され
た電極接続部材40を背面板18の排気穴36に嵌め込
み、鉛ガラス等の低軟化点ガラスを排気穴36の内壁面
との隙間に塗布して例えば500(℃) 程度以上の温度で熱
処理する。これにより、電極接続部材40が排気穴36
内に固定される。なお、電極接続部材40と排気穴36
の内壁面との隙間は完全には埋められず、排気穴36の
断面積に対して10〜70 (%) 程度の断面積で背面板18
を貫通する隙間が残存している。その後、接続工程に対
応する工程6のワイヤボンディング工程において、電極
接続部材40の両端面42、42とカソード電極28、
ゲート電極30および背面配線48とをワイヤ50、5
2をワイヤボンディングして接続する。これにより、前
記図1に示される背面板18が得られる。
After the electrodes 28 and the like are formed as described above, in the metal wire arranging step of step 5, ie, the electrode connecting member fixing step, the electrode connecting member 40 manufactured according to the steps 1A and 2A is attached to the back plate. Then, a low softening point glass such as lead glass is applied to the gap between the inner wall surface of the exhaust hole 36 and heat-treated at a temperature of, for example, about 500 (° C.) or more. As a result, the electrode connection member 40 is
Fixed inside. The electrode connection member 40 and the exhaust hole 36
The gap with the inner wall surface of the rear plate 18 is not completely filled, and has a cross-sectional area of about 10 to 70 (%) with respect to the cross-sectional area of the exhaust hole 36.
Is left. Thereafter, in a wire bonding step of Step 6 corresponding to the connecting step, both end surfaces 42 and 42 of the electrode connecting member 40 and the cathode electrode 28,
The wires 50 and 5 are connected to the gate electrode 30 and the back wiring 48.
2 are connected by wire bonding. Thereby, the back plate 18 shown in FIG. 1 is obtained.

【0030】また、工程1Cおよび2Cは前面板16の
処理工程である。すなわち、工程1Cの陽極形成工程に
おいて、一面12にITOから成る陽極24をスパッタ
等の薄膜法によって形成し、工程2Cの蛍光体層形成工
程において、RGB3色に対応する3種の蛍光体を色毎
に定められた所定位置に厚膜スクリーン印刷法等によっ
て塗布して蛍光体層26を設ける。このようにして、背
面板18および前面板16をそれぞれ処理すると共に、
スペーサ22、排気管54、ゲッタ56、および電極端
子58を別途用意し、これらを工程7の組合せ工程にお
いて、図1に示されるように前面板16の一面12と背
面板18の一面14とが向かい合うように積み重ねる。
このとき、スペーサ22の上下端面等には鉛ガラスから
成る図示しないシールガラス等の封着剤が塗布されてい
る。そして、工程8の加熱工程において、その封着剤の
種類によって定められる例えば470 〜500(℃) 程度の温
度で加熱処理することにより、前面板16乃至排気管5
4が気密に接合される。前記工程1Aおよび工程5にお
ける処理温度は、この工程8における熱処理中に電極接
続部材40を構成する無機結合剤46が軟化し或いは電
極接続部材40全体が背面板18から脱落することがな
いように選択されたそれら無機結合剤46および低軟化
点ガラスの種類に応じて定められているのである。この
後、工程9の排気工程において排気穴36と電極接続部
材40との隙間に形成された連通穴47を介して排気管
54から排気し、気密空間20内が例えば5 ×10-7(Tor
r)程度の真空度に到達した状態でその排気管54の先端
を溶断して封止することにより、FED10が得られ
る。
Steps 1C and 2C are processing steps for the front plate 16. That is, in the anode forming step of step 1C, an anode 24 made of ITO is formed on one surface 12 by a thin film method such as sputtering, and in the phosphor layer forming step of step 2C, three kinds of phosphors corresponding to three colors of RGB are colored. The phosphor layer 26 is provided by applying a thick film screen printing method or the like to a predetermined position determined for each. In this way, the back plate 18 and the front plate 16 are each processed,
The spacer 22, the exhaust pipe 54, the getter 56, and the electrode terminal 58 are separately prepared, and these are combined with each other in the combination step of Step 7, as shown in FIG. Stack them face-to-face.
At this time, a sealing agent such as a not-shown seal glass made of lead glass is applied to the upper and lower end surfaces of the spacer 22 and the like. In the heating step 8, the heat treatment is performed at a temperature of, for example, about 470 to 500 (° C.) determined by the type of the sealing agent, so that the front plate 16 to the exhaust pipe 5 are heated.
4 are hermetically bonded. The processing temperature in the steps 1A and 5 is set so that the inorganic binder 46 constituting the electrode connecting member 40 is not softened during the heat treatment in the step 8 or the entire electrode connecting member 40 does not fall off the back plate 18. It is determined according to the type of the selected inorganic binder 46 and the low softening point glass. Thereafter, in the exhaust step of step 9, exhaust is performed from the exhaust pipe 54 through the communication hole 47 formed in the gap between the exhaust hole 36 and the electrode connecting member 40, and the inside of the hermetic space 20 is, for example, 5 × 10 −7 (Tor
r) The FED 10 is obtained by fusing and sealing the end of the exhaust pipe 54 in a state where the degree of vacuum has reached about the degree of r).

【0031】ここで、本実施例によれば、FED10に
は、背面板18を厚み方向に貫通して設けられた排気穴
36と、その排気穴36を介してその背面板18の一面
14上に設けられた複数本のカソード電極28およびゲ
ート電極30の各々を気密空間20外に設けられた複数
の背面配線48の各々に電気的に接続するために設けら
れ、相互に絶縁させられた複数本のワイヤ44とが備え
られる。そのため、背面板18の一面14に設けられた
カソード電極28等が、その背面板18に設けられた排
気穴36を介してワイヤ44によって背面配線48に接
続されることから、FED10の側端面にその接続のた
めの配線を設ける必要がない。したがって、側端面に接
続配線を設けることに起因する外縁寸法拡大が好適に抑
制される。
According to the present embodiment, the FED 10 has an exhaust hole 36 penetrating through the back plate 18 in the thickness direction, and the one side 14 of the back plate 18 through the exhaust hole 36. Are provided to electrically connect each of the plurality of cathode electrodes 28 and the gate electrodes 30 provided to each of the plurality of back wirings 48 provided outside the hermetic space 20, and are mutually insulated from each other. A book wire 44 is provided. Therefore, the cathode electrode 28 and the like provided on one surface 14 of the back plate 18 are connected to the back wiring 48 by the wires 44 through the exhaust holes 36 provided in the back plate 18, so that the side end surface of the FED 10 There is no need to provide wiring for the connection. Therefore, an increase in the outer edge dimension caused by providing the connection wiring on the side end surface is suitably suppressed.

【0032】因みに、従来のFED等の画像表示素子に
おいては、図8(a) に模式的に示されるように背面板7
8の側端面80を経由してその気密空間内に設けられた
電極を外部に接続するための接続配線82が設けられて
いた。しかしながら、このような表示素子を複数個配列
して形成される大型の画像表示装置においては、図8
(b) に示されるように側端面80における接続配線82
相互の短絡を防止すると共に、経時変化に起因する接続
配線82の劣化を防止するためにガラス等の絶縁材料か
ら成る被覆膜84を設ける必要がある。そのため、画像
表示素子の外縁寸法がその被覆膜84の厚さだけ大きく
なることから、表示素子相互の間隔が拡大して画像の連
続性が低下させられて高い表示品質が得られないという
問題があった。なお、図において86はスペーサであ
り、88は前面板である。また、本図においては、説明
の便宜上図1等とは素子の上下関係が反対に示されてお
り、ゲッタや排気管等は省略されている。なお、本実施
例においても、前面板14に設けられている陽極24は
FED10の側端面を経由して裏面38側に取り出す必
要があるが、陽極24は複数のFED10相互に共通に
接続し得るため絶縁不良の問題は生じ得ず、また、金属
に比較して安定な酸化膜から成るものであることから経
時的な劣化の問題も生じ難いため、FED10の外縁寸
法の拡大要因とはなり難いのである。
By the way, in a conventional image display device such as an FED, as shown schematically in FIG.
The connection wiring 82 for connecting the electrode provided in the hermetic space to the outside via the side end face 80 of the connector 8 was provided. However, in a large-sized image display device formed by arranging a plurality of such display elements, FIG.
(b) As shown in FIG.
It is necessary to provide a coating film 84 made of an insulating material such as glass in order to prevent a mutual short circuit and prevent deterioration of the connection wiring 82 due to a change with time. Therefore, since the outer edge dimension of the image display element is increased by the thickness of the coating film 84, the interval between the display elements is enlarged, the continuity of the image is reduced, and a high display quality cannot be obtained. was there. In the drawing, reference numeral 86 denotes a spacer, and 88 denotes a front plate. Further, in this figure, for convenience of explanation, the vertical relationship of the elements is shown opposite to that in FIG. 1 and the like, and the getters, exhaust pipes, and the like are omitted. In this embodiment as well, the anode 24 provided on the front plate 14 needs to be taken out to the back surface 38 via the side end surface of the FED 10, but the anode 24 can be connected to a plurality of FEDs 10 in common. Therefore, the problem of insulation failure cannot occur, and the problem of deterioration with time is unlikely to occur because the oxide film is made of a stable oxide film as compared with metal. It is.

【0033】また、本実施例においては、FED10
は、複数本のワイヤ44を相互に離間した状態で結合す
る柱状の電線固定部材すなわち無機結合剤46が、それ
ら複数本のワイヤ44を結合した状態すなわち電極接続
部材40が排気穴36に嵌め込まれて固定されることに
より、それら複数本のワイヤ44が背面板18に設けら
れている。このようにすれば、複数本のワイヤ44を相
互に離間した状態で結合して構成される柱状の電極接続
部材40が排気穴36に嵌め込み固定されることで、そ
れら複数本のワイヤ44がFED10に設けられる。そ
のため、複数本のワイヤ44は無機結合剤46によって
結合させられた電極接続部材40の状態で相互の絶縁性
が確保されていることから、それらの間の絶縁不良の発
生が抑制されて、FED10の信頼性が高められる。な
お、電極接続部材40においては、複数本のワイヤ44
の中心間隔を100(μm)程度以上とすれば相互の絶縁性が
十分に得られるため、例えば、直径1 (mm)程度の排気穴
36に嵌め込む場合には数十乃至百本程度のワイヤ44
を電極接続部材40に備えることができる。したがっ
て、ワイヤ44の本数を可及的に多くすることで1種の
電極接続部材40で多品種の画像表示素子に対応するこ
とが可能である。このとき、電極数がワイヤ44の数よ
りも少ない場合には余剰となるワイヤ44を電極と接続
することなく遊ばせておけば何等不都合は生じない。し
かも、電極接続部材40は、ロッド状の電極接続部材母
材60から任意の寸法に切断して作製されるものである
ことから、任意の背面板18の厚さに対応し得るため、
一層多品種への対応が容易である。
In this embodiment, the FED 10
The column-shaped electric wire fixing member, that is, the inorganic binding agent 46 that couples the plurality of wires 44 in a state of being separated from each other, the state in which the plurality of wires 44 are joined, that is, the electrode connecting member 40 is fitted in the exhaust hole 36. The plurality of wires 44 are provided on the back plate 18 by being fixed. In this manner, the columnar electrode connecting member 40 formed by connecting the plurality of wires 44 in a state of being separated from each other is fitted into and fixed to the exhaust hole 36, so that the plurality of wires 44 are connected to the FED 10. Is provided. Therefore, since the plurality of wires 44 are mutually insulated in a state of the electrode connecting members 40 bonded by the inorganic binder 46, the occurrence of poor insulation therebetween is suppressed, and the FED 10 Reliability is improved. In the electrode connecting member 40, a plurality of wires 44
When the center distance between the two is about 100 (μm) or more, mutual insulation is sufficiently obtained. For example, when fitting into the exhaust hole 36 having a diameter of about 1 (mm), several tens to about one hundred wires are used. 44
Can be provided in the electrode connection member 40. Therefore, by increasing the number of wires 44 as much as possible, it is possible to use one kind of electrode connecting member 40 to cope with various kinds of image display elements. At this time, if the number of electrodes is smaller than the number of wires 44, no inconvenience will occur if the surplus wires 44 are allowed to play without being connected to the electrodes. Moreover, since the electrode connecting member 40 is formed by cutting the rod-shaped electrode connecting member base material 60 to an arbitrary size, it can correspond to an arbitrary thickness of the back plate 18.
It is easy to handle more types.

【0034】また、本実施例においては、ワイヤ44が
設けられる貫通穴は、気密空間20内から排気するため
に設けられた排気穴36であり、電極接続部材40が排
気穴36内に設けられた状態においてその排気穴36の
内周側に背面板18の一面14と裏面38とを連通させ
る連通穴47が形成される。このようにすれば、内部に
気密空間20を備えるFED10において必ず設けられ
る排気穴36が貫通穴として利用されていることから、
ワイヤ44を設けるための貫通穴を別途形成するための
工程が必要とならないため、工数の増大が抑制されると
共に、背面板18の一面14上に設けられた複数本のカ
ソード電極28等を避けて貫通穴を設ける目的でFED
10の設計が複雑になることが抑制される。なお、排気
穴36は完全に閉塞されてはいないため、気密空間20
からの排気は何等支障なく実施できる。
In this embodiment, the through hole in which the wire 44 is provided is the exhaust hole 36 provided for exhausting from the airtight space 20, and the electrode connecting member 40 is provided in the exhaust hole 36. In this state, a communication hole 47 is formed on the inner peripheral side of the exhaust hole 36 to allow the one surface 14 of the back plate 18 to communicate with the back surface 38. With this configuration, since the exhaust hole 36 always provided in the FED 10 including the airtight space 20 therein is used as a through hole,
Since a step of separately forming a through hole for providing the wire 44 is not required, an increase in the number of steps is suppressed, and a plurality of cathode electrodes 28 and the like provided on the one surface 14 of the back plate 18 are avoided. FED for the purpose of providing a through hole
It is suppressed that the design of 10 becomes complicated. Since the exhaust hole 36 is not completely closed, the airtight space 20
The exhaust from can be performed without any trouble.

【0035】また、本実施例においては、工程1Bの貫
通穴形成工程において、背面板18に排気穴36が設け
られる一方、工程1A、1Bの金属線固定工程すなわち
電極接続部材作製工程において、複数本のワイヤ44が
無機結合剤46によって相互に絶縁させられた状態で一
体的に結合されることにより柱状の電極接続部材40が
作製され、それらに続く工程5の金属線配設工程すなわ
ち電極接続部材固定工程においてその電極接続部材40
が排気穴36に嵌め込まれて固定され、更に、工程6の
ワイヤボンディング工程において、その電極接続部材4
0の両端部42、42において複数本のワイヤ44と複
数本のカソード電極28等および複数の背面配線48の
各々とが相互に接続される。そのため、別途作製された
柱状の電極接続部材40が背面板18に設けられた排気
穴36に嵌め込み固定されることにより前記複数本のワ
イヤ44が排気穴36内に設けられ、その電極接続部材
40に備えられているワイヤ44にカソード電極28等
および背面配線48が接続されることから、接続配線を
側端面に設ける必要がないため、FED10の外縁寸法
拡大を好適に抑制し得る。しかも、上記製造方法によれ
ば、ワイヤ44相互の絶縁性の確保が容易になると共
に、ワイヤ44を設け且つそれと電極および背面配線4
8とを接続する工程が簡単になるという利点もある。
In this embodiment, in the through hole forming step of step 1B, the exhaust hole 36 is provided in the back plate 18, while in the metal wire fixing step of steps 1A and 1B, ie, the electrode connecting member forming step, a plurality of holes are formed. By connecting the wires 44 integrally with each other in a state where they are insulated from each other by the inorganic binder 46, the columnar electrode connecting members 40 are manufactured, and the metal wire arranging step of Step 5 following them, that is, the electrode connection In the member fixing step, the electrode connecting member 40
Is fitted into the exhaust hole 36 and fixed. Further, in the wire bonding step of step 6, the electrode connecting member 4
The plurality of wires 44 are connected to each of the plurality of cathode electrodes 28 and the like and the plurality of back wirings 48 at both ends 42 of the zero. Therefore, the plurality of wires 44 are provided in the exhaust holes 36 by fitting and fixing the separately formed columnar electrode connecting members 40 in the exhaust holes 36 provided in the back plate 18. Since the cathode electrode 28 and the like and the back wiring 48 are connected to the wires 44 provided in the FED 10, there is no need to provide connection wiring on the side end surface, so that the outer edge dimension of the FED 10 can be suitably suppressed from increasing. In addition, according to the above-described manufacturing method, it is easy to ensure the mutual insulation of the wires 44, and at the same time, the wires 44 are provided, and
There is also an advantage that the step of connecting the P.8 and the P.8 is simplified.

【0036】以上、本発明の一実施例を図面を参照して
詳細に説明したが、本発明は、更に別の態様でも実施で
きる。
While the embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings, the present invention can be embodied in still another embodiment.

【0037】例えば、実施例においては、本発明がFE
D10に適用された場合について説明したが、一対の平
板によって形成される気密空間と、その気密空間内で発
光を生じさせるための複数本の電極とを備えた画像表示
素子であれば、PDPやVFD等の他の画像表示素子に
も本発明は同様に適用される。
For example, in the embodiment, the present invention
The case where the present invention is applied to D10 has been described. However, any image display device including an airtight space formed by a pair of flat plates and a plurality of electrodes for emitting light in the airtight space may be a PDP, The present invention is similarly applied to other image display elements such as VFD.

【0038】また、実施例においては、複数本のワイヤ
44が相互に絶縁させられた状態で一体化させられた電
極接続部材40が排気穴36に嵌め込まれることで複数
本の接続線が設けられていたが、例えば、個々に絶縁被
覆を設けられた複数本の被覆ワイヤを排気穴36内に挿
入し、カソード電極28等に接続してもよい。
In the embodiment, a plurality of connection lines are provided by fitting the electrode connection member 40 integrated with the plurality of wires 44 in a state where the wires 44 are insulated from each other. However, for example, a plurality of coated wires each provided with an insulating coating may be inserted into the exhaust hole 36 and connected to the cathode electrode 28 or the like.

【0039】また、実施例においては、排気穴36が接
続線を通すための貫通穴として用いられていたが、排気
穴36とは別に接続線用の貫通穴を1乃至複数個設けて
もよい。この場合、素子の完成状態で貫通穴が気密に閉
塞されていれば、その貫通穴の位置は排気管54によっ
て気密に封止される位置に限られず、それよりも外周側
の任意の位置に設けても差し支えない。なお、実施例に
おいては、排気穴36が排気機能を失わないように、電
極接続部材40と排気穴36との間に連通穴47が形成
されるように無機結合剤43でその電極接続部材40が
固定されていたが、例えば、ワイヤ44とカソード電極
28、ゲート電極30、および背面配線48とを接続す
るワイヤ50、52によって実質的に電極接続部材40
を固定できる場合には、無機結合剤43によって電極接
続部材40を固定する必要はなく、排気穴36の内周面
との間に十分な大きさの連通穴47が確保されることと
なる。また、電極接続部材40自身に軸心方向に貫通す
る貫通穴が設けられて、その貫通穴から排気可能であれ
ば、電極接続部材40と排気穴36との間は完全に無機
結合剤43等によって閉塞されてもよい。
In the embodiment, the exhaust hole 36 is used as a through hole for passing the connection line. However, one or more through holes for the connection line may be provided separately from the exhaust hole 36. . In this case, if the through hole is hermetically closed in the completed state of the element, the position of the through hole is not limited to the position hermetically sealed by the exhaust pipe 54, but may be any position on the outer peripheral side. It can be provided. In the embodiment, in order to prevent the exhaust hole 36 from losing the exhaust function, the inorganic binder 43 is used to form the electrode connecting member 40 so that a communication hole 47 is formed between the electrode connecting member 40 and the exhaust hole 36. Is fixed, for example, the electrode connecting member 40 is substantially formed by wires 50 and 52 connecting the wire 44 to the cathode electrode 28, the gate electrode 30, and the back wiring 48.
In this case, it is not necessary to fix the electrode connecting member 40 with the inorganic binder 43, and a sufficiently large communication hole 47 is secured between the electrode connecting member 40 and the inner peripheral surface of the exhaust hole 36. If the electrode connecting member 40 itself is provided with a through-hole penetrating in the axial direction, and if the exhaust can be performed through the through-hole, the space between the electrode connecting member 40 and the exhaust hole 36 is completely made of the inorganic binder 43 or the like. May be closed.

【0040】また、実施例においては、複数本のワイヤ
44をガラススラリ64内から引き上げることにより電
極接続部材母材60を作製していたが、ガラススラリ6
4に代えて溶融ガラスが用いられていても差し支えな
い。なお、ガラススラリ64や溶融ガラスの粘度やワイ
ヤ44の引き上げ速度等は、ワイヤ44の中心間隔等に
応じて好適に柱状体が得られるように適宜設定される。
In the embodiment, the electrode connecting member base material 60 is manufactured by pulling up the plurality of wires 44 from the inside of the glass slurry 64.
A molten glass may be used instead of 4. In addition, the viscosity of the glass slurry 64 and the molten glass, the pulling speed of the wire 44, and the like are appropriately set according to the center interval of the wire 44 and the like so that a columnar body can be suitably obtained.

【0041】また、実施例においては、カソード電極2
8およびゲート電極30がそれぞれ2本設けられたFE
D10に本発明が適用された場合について説明したが、
電極数が更に多い場合にも本発明は同様に適用される。
このような場合には、実施例で示したようにカソード電
極28等と電極接続部材40のワイヤ44とをワイヤボ
ンディングによって接続すれば、一面14から離隔した
位置においてそれらが相互に接続されることとなるた
め、複数本のカソード電極28およびゲート電極30相
互の短絡のおそれは特に生じない。
In the embodiment, the cathode electrode 2
8 and two FEs each having two gate electrodes 30
Although the case where the present invention is applied to D10 has been described,
The present invention is similarly applied to a case where the number of electrodes is larger.
In such a case, if the cathode electrode 28 and the like and the wire 44 of the electrode connecting member 40 are connected by wire bonding as shown in the embodiment, they are connected to each other at a position separated from the one surface 14. Therefore, there is no particular possibility that the plurality of cathode electrodes 28 and gate electrodes 30 may be short-circuited to each other.

【0042】また、前面板16の一面12に設けられた
蛍光体層26相互の間には、必要に応じて絶縁層を形成
してブラックマスクを設けてもよい。
Further, between the phosphor layers 26 provided on the one surface 12 of the front plate 16, an insulating layer may be formed as necessary to provide a black mask.

【0043】その他、一々例示はしないが、本発明はそ
の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものであ
る。
Although not specifically exemplified, the present invention can be variously modified without departing from the spirit thereof.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例のFEDの構成を示す分解斜
視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a configuration of an FED according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のFEDの背面板を裏面側から見た状態を
示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a state in which a back plate of the FED of FIG. 1 is viewed from the back surface side.

【図3】図1のFEDに用いられる電極接続部材を示す
図である。
FIG. 3 is a view showing an electrode connecting member used in the FED of FIG. 1;

【図4】図1のFEDの背面板の一部を拡大して示す図
である。
FIG. 4 is an enlarged view showing a part of a back plate of the FED of FIG. 1;

【図5】図1のFEDの製造工程を説明する工程図であ
る。
FIG. 5 is a process diagram illustrating a manufacturing process of the FED of FIG. 1;

【図6】図5の工程1Aにおける電極接続部材母材の製
造装置を説明する図である。
6 is a diagram illustrating an apparatus for manufacturing a base material for an electrode connecting member in step 1A of FIG.

【図7】図5の装置によって製造された電極接続部材母
材を示す図である。
FIG. 7 is a view showing an electrode connecting member base material manufactured by the apparatus of FIG. 5;

【図8】(a) は従来のFEDの全体を模式的に示す斜視
図であり、(b) は(a) のFEDが複数個配列される場合
における境界部を拡大して示す図である。
FIG. 8A is a perspective view schematically showing the entire conventional FED, and FIG. 8B is an enlarged view showing a boundary portion when a plurality of FEDs of FIG. .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10:FED(画像表示素子) 14:一面(内面) 16:前面板(第2平板) 18:背面板(第1平板) 20:気密空間 {28:カソード電極、30:ゲート電極}(複数本の
電極) 36:貫通穴 40:電極接続部材 44:ワイヤ(接続線) 48:背面配線(複数の電極端子)
10: FED (image display element) 14: one surface (inner surface) 16: front plate (second flat plate) 18: rear plate (first flat plate) 20: airtight space {28: cathode electrode, 30: gate electrode} (multiple) 36: Through hole 40: Electrode connecting member 44: Wire (connection line) 48: Back wiring (plural electrode terminals)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01J 9/32 H01J 9/32 A 29/90 29/90 29/94 29/94 31/12 31/12 C ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI H01J 9/32 H01J 9/32 A 29/90 29/90 29/94 29/94 31/12 31/12 C

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 相互に所定距離隔てて位置させられてそ
れらの間に気密空間を形成する第1平板および第2平板
と、該気密空間内で発光を生じさせるために該第1平板
の内面上に設けられた複数本の電極と、該気密空間外に
設けられて該複数本の電極の各々が電気的に接続される
複数の電極端子とを備えた画像表示素子であって、 前記第1平板を厚み方向に貫通して設けられた少なくと
も一つの貫通穴と、 該一つの貫通穴を介して複数本の電極の各々を複数の電
極端子の各々に電気的に接続するために設けられ、相互
に絶縁させられた複数本の接続線とを、含むことを特徴
とする画像表示素子。
1. A first flat plate and a second flat plate which are located at a predetermined distance from each other to form an airtight space therebetween, and an inner surface of the first flat plate for generating light emission in the airtight space. An image display element comprising: a plurality of electrodes provided thereon; and a plurality of electrode terminals provided outside the hermetic space and each of the plurality of electrodes is electrically connected. At least one through-hole provided through one flat plate in the thickness direction, and provided to electrically connect each of the plurality of electrodes to each of the plurality of electrode terminals through the one through-hole. And a plurality of connection lines insulated from each other.
【請求項2】 前記複数本の接続線を相互に離間した状
態で無機結合剤によって結合する柱状の電線固定部材が
前記貫通穴に嵌め込まれて固定されることにより、前記
複数本の接続線が前記第1平板に設けられたものである
請求項1の画像表示素子。
2. A plurality of connection wires are fixed by being inserted into and fixed to the through-hole in a columnar wire fixing member that is connected to each other by an inorganic binder in a state where the plurality of connection wires are separated from each other. 2. The image display device according to claim 1, wherein the image display device is provided on the first flat plate.
【請求項3】 前記貫通穴は、前記気密空間内から排気
するために設けられた排気穴であり、前記複数本の接続
線が該貫通穴内に設けられた状態において該貫通穴の内
周側に前記第1平板の前記内面と該内面とは反対側の裏
面とを連通させる連通穴が形成されているものである請
求項1の画像表示素子。
3. The through hole is an exhaust hole provided to exhaust air from the hermetic space, and an inner peripheral side of the through hole when the plurality of connection lines are provided in the through hole. 2. The image display device according to claim 1, further comprising a communication hole for communicating the inner surface of the first flat plate with a back surface opposite to the inner surface.
【請求項4】 相互に所定距離隔てて位置させられてそ
れらの間に気密空間を形成する第1平板および第2平板
と、該気密空間内で発光を生じさせるために該第1平板
の内面上に設けられた複数本の電極と、該気密空間外に
設けられて該複数本の電極の各々が電気的に接続される
複数の電極端子とを備えた画像表示素子の製造方法であ
って、 前記第1平板に貫通穴を設ける貫通穴形成工程と、 柱状の電線固定部材を用いて複数本の金属線を相互に離
間した状態で無機結合剤によって結合する金属線固定工
程と、 該複数本の金属線が固定された電線固定部材を前記貫通
穴に嵌め込んで固定することにより該貫通穴内に該複数
本の金属線を配設する金属線配設工程と、 該貫通穴に嵌め込み固定された前記電線固定部材の両端
部において、前記複数本の金属線と前記複数本の電極お
よび前記複数の電極端子との各々とを相互に接続する接
続工程とを、含むことを特徴とする画像表示素子の製造
方法。
4. A first flat plate and a second flat plate which are located at a predetermined distance from each other to form an airtight space therebetween, and an inner surface of the first flat plate for generating light emission in the airtight space. A method for manufacturing an image display element, comprising: a plurality of electrodes provided thereon; and a plurality of electrode terminals provided outside the hermetic space and each of the plurality of electrodes is electrically connected. A through hole forming step of providing a through hole in the first flat plate; a metal wire fixing step of joining a plurality of metal wires with an inorganic binder in a state of being separated from each other using a columnar wire fixing member; A metal wire arranging step of arranging the plurality of metal wires in the through hole by fitting and fixing an electric wire fixing member to which the metal wires are fixed in the through hole; At both ends of the wire fixing member, A method for manufacturing an image display element to the connecting step of connecting the respective of metal wires and said plurality of electrodes and the plurality of electrode terminals to each other, to include the features.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2003088301A1 (en) * 2002-04-17 2003-10-23 Kabushiki Kaisha Toshiba Image display and method for manufacturing the same
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