JPH1026747A - Optical modulation device - Google Patents

Optical modulation device

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Publication number
JPH1026747A
JPH1026747A JP8198309A JP19830996A JPH1026747A JP H1026747 A JPH1026747 A JP H1026747A JP 8198309 A JP8198309 A JP 8198309A JP 19830996 A JP19830996 A JP 19830996A JP H1026747 A JPH1026747 A JP H1026747A
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JP
Japan
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laser beam
light
light modulation
modulation element
laser
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Pending
Application number
JP8198309A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeo Omori
健雄 大森
Masahito Kumazawa
雅人 熊澤
Hideo Mizutani
英夫 水谷
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Publication of JPH1026747A publication Critical patent/JPH1026747A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform intensity modulations with one optical modulation piece on the same incident condition in a 1st modulation and also in a 2nd modulation by intensity-modulating a laser beam at a prescribed ratio while converging it on an optical modulation element and converging the intensity-modulated laser beam on the optical modulation element again. SOLUTION: The laser beam 2 of a linearly polarized light emitted from a laser beam source 1 is made incident on a polarizing beam splitter 3. The laser beam transmitting the plane of polarization of the splitter 3 becomes a circularly polarized light via a quater-wave plate 4 to be made incident on a condenser lens 5. The laser beam made incident on the lens 5 is converged by its condensing action to form a beam waist at the focal position of a side opposite to the beam source of the condenser lens 5. Consequently, the laser beam is made incident on the acousto-optical element 6 positioned at the focal position opposite to the beam source of the condenser lens 5 in a state in which a beam diameter is smallest. Therefore, an intensity modulation is performed according to a prescribed extinction ratio with a prescribed high diffraction efficiency in the acoustic optical element 6.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光変調装置に関し、
特にレーザビームの強度変調を行う光変調装置に関する
ものである。
The present invention relates to an optical modulation device,
In particular, the present invention relates to a light modulation device that performs intensity modulation of a laser beam.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3は、光変調素子として音響光学素子
を用いた従来の光変調装置の構成を概略的に示す図であ
る。図3の光変調装置では、レーザ光源1から射出され
た直線偏光のレーザビーム2が、偏光ビームスプリッタ
ー3および1/4波長板4を介して円偏光となり、集光
レンズ5に入射する。
2. Description of the Related Art FIG. 3 is a diagram schematically showing a configuration of a conventional light modulation device using an acousto-optic device as a light modulation device. In the light modulation device of FIG. 3, a linearly polarized laser beam 2 emitted from a laser light source 1 becomes circularly polarized light via a polarization beam splitter 3 and a 板 wavelength plate 4 and enters a condenser lens 5.

【0003】集光レンズ5を介したレーザビームは、集
光レンズ5の光源とは反対側の焦点位置に位置決めされ
た音響光学素子6上に集光する。音響光学素子6を介し
て強度変調されたレーザビームは、平面反射鏡9で反射
された後、再び音響光学素子6に入射する。音響光学素
子6を介して再度強度変調されたレーザビームは、集光
レンズ5、1/4波長板4および偏光ビームスプリッタ
ー3を介して、光路の外へ分離される。
The laser beam passing through the condenser lens 5 is condensed on an acousto-optic device 6 positioned at a focal position on the opposite side of the light source of the condenser lens 5. The laser beam intensity-modulated via the acousto-optic device 6 is reflected by the plane reflecting mirror 9 and then enters the acousto-optic device 6 again. The laser beam intensity-modulated again via the acousto-optic device 6 is separated out of the optical path via the condenser lens 5, the quarter-wave plate 4, and the polarization beam splitter 3.

【0004】1つの音響光学素子を用いる場合、その消
光比は通常1000:1程度である。すなわち、入射レ
ーザビームの強度を約1/1000倍に低減して射出す
る。したがって、図3に示すように、音響光学素子で2
回強度変調を行う場合、消光比は1000000:1程
度となり、比較的簡素な構成で大きな消光比を得ること
ができる。
When one acousto-optic element is used, its extinction ratio is usually about 1000: 1. That is, the intensity of the incident laser beam is reduced to about 1/1000 times and the laser beam is emitted. Therefore, as shown in FIG.
When performing temporal intensity modulation, the extinction ratio is about 1,000,000: 1, and a large extinction ratio can be obtained with a relatively simple configuration.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な従来の光変調装置では、集光レンズ5を介したレーザ
ビームは、ビーム径が最も小さい状態で音響光学素子6
に入射する。しかしながら、音響光学素子6を介したレ
ーザビームは発散するので、平面反射鏡9で反射されて
音響光学素子6に再び入射する際のビーム径は大きくな
っている。
By the way, in the above-mentioned conventional light modulation device, the laser beam passing through the condenser lens 5 emits the laser beam through the acousto-optic device 6 with the smallest beam diameter.
Incident on. However, since the laser beam that has passed through the acousto-optic element 6 diverges, the beam diameter at the time of being reflected by the plane reflecting mirror 9 and re-entering the acousto-optic element 6 is large.

【0006】このように、従来の光変調装置では、最初
に音響光学素子6に入射するレーザビームの径を小さく
しても、再び音響光学素子6に入射するレーザビームの
径が大きくなってしまう。その結果、音響光学素子6を
二度目に通過する際に高い回折効率を得ることができ
ず、設計上の所要消光比を得ることができなかった。
As described above, in the conventional light modulation device, even if the diameter of the laser beam first entering the acousto-optic element 6 is reduced, the diameter of the laser beam entering the acousto-optic element 6 is increased again. . As a result, a high diffraction efficiency cannot be obtained when the light passes through the acousto-optic element 6 for the second time, and the required extinction ratio in design cannot be obtained.

【0007】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、1つの光変調素子において1回目も2回目も
ほぼ同じ入射条件で強度変調を行うことのできる光変調
装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and provides an optical modulation device capable of performing intensity modulation under substantially the same incident conditions for the first and second times in one optical modulation element. With the goal.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、レーザ光源から射出されたレー
ザビームの強度変調を行う光変調装置において、入射し
たレーザビームを所定の比率で強度変調するための光変
調素子と、前記レーザ光源からのレーザビームを前記光
変調素子上に集光するための第1集光手段と、前記光変
調素子を介して強度変調されたレーザビームを前記光変
調素子上に再び集光するための第2集光手段とを備えて
いることを特徴とする光変調装置を提供する。
According to the present invention, there is provided an optical modulator for modulating the intensity of a laser beam emitted from a laser light source. A light modulating element for modulating, a first condensing means for converging a laser beam from the laser light source on the light modulating element, and a laser beam intensity-modulated through the light modulating element. And a second light condensing means for condensing light again on the light modulation element.

【0009】本発明の好ましい態様によれば、前記第2
集光手段は、前記光変調素子側に凹状反射面を向けた反
射手段、あるいは前記光変調素子を介したレーザビーム
の波面を反転して位相共役波を発生させるための位相共
役鏡である。また、前記第2集光手段は、前記光変調素
子を介したレーザビームを平行光束に変換するためのリ
レーレンズと、該リレーレンズを介した平行光束を入射
方向に沿って反射するための平面反射手段とを有するの
が好ましい。
According to a preferred aspect of the present invention, the second
The condensing means is a reflecting means having a concave reflecting surface facing the light modulation element, or a phase conjugate mirror for inverting the wavefront of the laser beam passing through the light modulation element to generate a phase conjugate wave. The second condensing means includes a relay lens for converting the laser beam through the light modulation element into a parallel light beam, and a plane for reflecting the parallel light beam through the relay lens along an incident direction. It is preferable to have reflection means.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明では、レーザ光源からのレ
ーザビームが音響光学素子のような光変調素子上に集光
するとともに、光変調素子を介して一度強度変調された
レーザビームも光変調素子上に再び集光するように構成
されている。したがって、最初に光変調素子に入射する
レーザビームの径が最も小さくなるとともに、再び光変
調素子に入射するレーザビームの径も最も小さくなる。
その結果、光変調素子に対する1回目の入射条件と2回
目の入射条件とがほぼ同じになり、設計上の所要消光比
を高精度に確保することができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, a laser beam from a laser light source is condensed on a light modulation element such as an acousto-optic element, and the laser beam once intensity-modulated through the light modulation element is also subjected to light modulation. It is configured to focus light again on the element. Therefore, the diameter of the laser beam that first enters the light modulation element becomes the smallest, and the diameter of the laser beam that again enters the light modulation element also becomes the smallest.
As a result, the first incidence condition and the second incidence condition with respect to the light modulation element become substantially the same, and a required extinction ratio in design can be secured with high accuracy.

【0011】以下、本発明の実施例を、添付図面に基づ
いて説明する。図1は、本発明の第1実施例にかかる光
変調装置の構成を概略的に示す図である。図1の光変調
装置では、レーザ光源1から射出された直線偏光のレー
ザビーム2が、偏光ビームスプリッター3に入射する。
偏光ビームスプリッター3の偏光面を透過したレーザビ
ームは、1/4波長板4を介して円偏光となり、集光レ
ンズ5に入射する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of an optical modulation device according to a first embodiment of the present invention. In the light modulation device shown in FIG. 1, a linearly polarized laser beam 2 emitted from a laser light source 1 is incident on a polarization beam splitter 3.
The laser beam transmitted through the polarization plane of the polarization beam splitter 3 becomes circularly polarized light via the 1 / wavelength plate 4 and enters the condenser lens 5.

【0012】集光レンズ5に入射したレーザビームはそ
の集光作用により絞られ、集光レンズ5の光源とは反対
側の焦点位置にビームウェストが形成される。こうし
て、集光レンズ5の光源とは反対側の焦点位置に位置決
めされた音響光学素子6には、ビーム径が最も小さい状
態でレーザビームが入射する。したがって、音響光学素
子6では、所定の高い回折効率で所定の消光比にしたが
う強度変調が行われる。
The laser beam incident on the condenser lens 5 is condensed by its condensing action, and a beam waist is formed at a focal position of the condenser lens 5 opposite to the light source. Thus, the laser beam enters the acousto-optic element 6 positioned at the focal point on the opposite side of the light source of the condenser lens 5 with the smallest beam diameter. Therefore, in the acousto-optic device 6, intensity modulation is performed at a predetermined high diffraction efficiency and at a predetermined extinction ratio.

【0013】音響光学素子6を透過したレーザビーム
は、発散しながら球面反射鏡7に入射する。球面反射鏡
7は、音響光学素子6側に凹面を向けた曲率半径Rの反
射球面を有し、上述のビームウェスト位置から所定距離
Rだけ間隔を隔てた位置に配置されている。したがっ
て、球面反射鏡7で反射されたレーザビームはその集光
作用により絞られ、集光レンズ5の球面反射鏡側の焦点
位置に再びビームウェストが形成される。
The laser beam transmitted through the acousto-optic element 6 enters the spherical reflecting mirror 7 while diverging. The spherical reflecting mirror 7 has a reflecting spherical surface having a radius of curvature R with the concave surface facing the acousto-optic element 6 side, and is arranged at a position separated by a predetermined distance R from the beam waist position. Therefore, the laser beam reflected by the spherical reflecting mirror 7 is condensed by the focusing action, and a beam waist is formed again at the focal position of the focusing lens 5 on the spherical reflecting mirror side.

【0014】こうして、2回目においても1回目と同
様、音響光学素子6にはビーム径が最も小さい状態でレ
ーザビームが入射する。したがって、音響光学素子6で
は、所定の高い回折効率で所定の消光比にしたがう強度
変調が再度行われる。音響光学素子6を透過して再び強
度変調されたレーザビームは、集光レンズ5を介して平
行光束となり、1/4波長板4に入射する。1/4波長
板4を介したレーザビームは、レーザ光源1から射出さ
れた直線偏光に対して偏光面が90°だけ回転した直線
偏光となり、偏光ビームスプリッター3の偏光面で反射
された後、光路の外へ分離される。
In this manner, the laser beam is incident on the acousto-optic element 6 in the second time, similarly to the first time, with the beam diameter being the smallest. Therefore, in the acousto-optic device 6, intensity modulation is performed again at a predetermined high diffraction efficiency according to a predetermined extinction ratio. The laser beam transmitted through the acousto-optic element 6 and intensity-modulated again becomes a parallel light beam via the condenser lens 5 and enters the quarter-wave plate 4. The laser beam passing through the 1 / wavelength plate 4 becomes linearly polarized light whose polarization plane is rotated by 90 ° with respect to the linearly polarized light emitted from the laser light source 1, and after being reflected by the polarization plane of the polarization beam splitter 3, Separated out of the optical path.

【0015】このように、第1実施例では、球面反射鏡
7の作用により、音響光学素子6を介して一度強度変調
されたレーザビームを、音響光学素子6上に再び集光す
ることができる。換言すれば、1回目においても2回目
においても音響光学素子6に入射するレーザビームの径
が最も小さくなる。その結果、音響光学素子6に対する
1回目の入射条件と2回目の入射条件とがほぼ同じにな
り、設計上の所要消光比を高精度に確保することができ
る。
As described above, in the first embodiment, the laser beam once intensity-modulated through the acousto-optic device 6 can be focused again on the acousto-optic device 6 by the action of the spherical reflecting mirror 7. . In other words, the diameter of the laser beam incident on the acousto-optic element 6 becomes the smallest both in the first time and in the second time. As a result, the first incidence condition and the second incidence condition with respect to the acousto-optic element 6 become substantially the same, and the required extinction ratio in design can be secured with high accuracy.

【0016】図2は、本発明の第2実施例にかかる光変
調装置の構成を概略的に示す図である。第2実施例は第
1実施例と類似の構成を有する。しかしながら、第1実
施例における球面反射鏡7が、第2実施例ではリレーレ
ンズ8および平面反射鏡9と置換されている点だけが基
本的に相違する。したがって、図2において、第1実施
例の構成要素と同様の機能を有する要素には、図1と同
じ参照符号を付している。以下、第1実施例との相違点
に着目して第2実施例を説明する。
FIG. 2 is a diagram schematically showing the configuration of an optical modulator according to a second embodiment of the present invention. The second embodiment has a configuration similar to that of the first embodiment. However, the only difference is that the spherical reflecting mirror 7 in the first embodiment is replaced by the relay lens 8 and the plane reflecting mirror 9 in the second embodiment. Therefore, in FIG. 2, elements having the same functions as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as in FIG. Hereinafter, the second embodiment will be described focusing on the differences from the first embodiment.

【0017】図2の光変調装置では、レーザ光源1から
射出された直線偏光のレーザビーム2が、偏光ビームス
プリッター3および1/4波長板4を介して、集光レン
ズ5に入射する。集光レンズ5を介したレーザビームは
音響光学素子6上に集光され、音響光学素子6では1回
目の強度変調が行われる。音響光学素子6を透過したレ
ーザビームは、発散しながらリレーレンズ8に入射し、
平行光束となる。リレーレンズ8を介したレーザビーム
は、平面反射鏡9によって、入射方向に沿って反射され
た後、再びリレーレンズ8に入射する。
In the light modulation device shown in FIG. 2, a linearly polarized laser beam 2 emitted from a laser light source 1 is incident on a condenser lens 5 via a polarization beam splitter 3 and a quarter-wave plate 4. The laser beam having passed through the condenser lens 5 is condensed on the acousto-optic device 6, and the acousto-optic device 6 performs the first intensity modulation. The laser beam transmitted through the acousto-optic element 6 enters the relay lens 8 while diverging,
It becomes a parallel light flux. The laser beam having passed through the relay lens 8 is reflected by the plane reflecting mirror 9 along the incident direction, and then enters the relay lens 8 again.

【0018】リレーレンズ8を介したレーザビームは、
音響光学素子6上に再び集光する。したがって、音響光
学素子6では、2回目も所定の高い回折効率で所定の消
光比にしたがう強度変調が行われる。音響光学素子6を
透過したレーザビームは、集光レンズ5、1/4波長板
4および偏光ビームスプリッター3を介して、光路の外
へ取り出される。
The laser beam passing through the relay lens 8 is
The light is focused again on the acousto-optic device 6. Therefore, in the acousto-optic device 6, the intensity modulation is performed for a second time at a predetermined high diffraction efficiency according to a predetermined extinction ratio. The laser beam transmitted through the acousto-optic device 6 is extracted out of the optical path via the condenser lens 5, the quarter-wave plate 4, and the polarization beam splitter 3.

【0019】このように、第2実施例においても、リレ
ーレンズ8と平面反射鏡9との組み合わせ作用により、
音響光学素子6を介して一度強度変調されたレーザビー
ムを、音響光学素子6上に再び集光することができる。
その結果、音響光学素子6に対する1回目の入射条件と
2回目の入射条件とがほぼ同じになり、設計上の所要消
光比を高精度に確保することができる。
As described above, also in the second embodiment, the combination of the relay lens 8 and the plane reflecting mirror 9 causes
The laser beam whose intensity has been modulated once via the acousto-optic element 6 can be focused again on the acousto-optic element 6.
As a result, the first incidence condition and the second incidence condition with respect to the acousto-optic element 6 become substantially the same, and the required extinction ratio in design can be secured with high accuracy.

【0020】さらに、第3の実施例として、図4に示す
ように、図2の第2実施例における1/4波長板4に代
えてファラデー効果を用いた素子すなわちファラデー回
転素子40を使用することもできる。ファラデー回転素
子40は、直線偏光を片道で45度回転させるように設
定されている。したがって、音響光学素子6に入射する
光線は直線偏光のままであり、入射光の偏光特性によっ
て効率が異なる結晶を用いた音響光学素子を使用するこ
とができる。音響光学素子6を介して一度強度変調され
たレーザビームは、平面反射鏡9で反射され、音響光学
素子6に入射する。
Further, as a third embodiment, as shown in FIG. 4, an element using the Faraday effect, that is, a Faraday rotation element 40 is used instead of the quarter-wave plate 4 in the second embodiment of FIG. You can also. The Faraday rotation element 40 is set so as to rotate linearly polarized light by 45 degrees in one way. Therefore, the light beam incident on the acousto-optic device 6 remains linearly polarized, and an acousto-optic device using a crystal having a different efficiency depending on the polarization characteristics of the incident light can be used. The laser beam whose intensity has been modulated once via the acousto-optic element 6 is reflected by the plane reflecting mirror 9 and enters the acousto-optic element 6.

【0021】音響光学素子6で再び強度変調されたレー
ザビームは、ファラデー回転素子40を再度通過して、
元の入射光に対して偏光面が90度回転した直線偏光と
なり、偏光ビームスプリッター3に入射する。こうし
て、偏光ビームスプリッター3に入射したレーザビーム
は、第2実施例と同様に、光路外へ反射される。なお、
第3実施例において、ファラデー回転素子40を透過し
た後のレーザビームの直線偏光面と音響光学素子6の入
射偏光面とを、その回折効率が最も高い方向に合わせる
必要がある。
The laser beam intensity-modulated again by the acousto-optic element 6 passes through the Faraday rotation element 40 again, and
It becomes linearly polarized light whose polarization plane is rotated by 90 degrees with respect to the original incident light, and enters the polarization beam splitter 3. Thus, the laser beam incident on the polarizing beam splitter 3 is reflected out of the optical path as in the second embodiment. In addition,
In the third embodiment, the linear polarization plane of the laser beam after passing through the Faraday rotator 40 and the incident polarization plane of the acousto-optic element 6 need to be adjusted to the direction with the highest diffraction efficiency.

【0022】なお、第1実施例において、球面反射鏡7
に代えて位相共役鏡を用いることもできる。位相共役鏡
は、入射光の波面時間を逆転し、波面が反転した位相共
役波を発生させる反射鏡である(たとえば、OplusE,
1995年6月号,第68頁〜第72頁参照)。
In the first embodiment, the spherical reflecting mirror 7 is used.
Instead, a phase conjugate mirror can be used. The phase conjugate mirror is a reflecting mirror that reverses the wavefront time of the incident light and generates a phase conjugate wave with the wavefront inverted (for example, OplusE,
June 1995, pp. 68-72).

【0023】また、上述の第1実施例〜第3実施例にお
いて、光変調素子として音響光学素子を用いた例を示し
ている。しかしながら、たとえば磁気光学素子や電気光
学素子のような光変調素子を用いて、本発明の作用効果
を得ることができることは明らかである。さらに、上述
の第1実施例〜第3実施例において、音響光学素子の透
過光を利用した例を示している。しかしながら、音響光
学素子の反射光を利用する光変調装置に対して本発明を
適用することもできる。
Further, in the above-described first to third embodiments, examples are shown in which an acousto-optic element is used as a light modulation element. However, it is clear that the effects of the present invention can be obtained using a light modulation element such as a magneto-optical element or an electro-optical element. Further, in the first to third embodiments described above, examples are shown in which the transmitted light of the acousto-optic element is used. However, the present invention can also be applied to a light modulator using reflected light of an acousto-optic element.

【0024】[0024]

【効果】以上説明したように、本発明によれば、1回目
に光変調素子に入射するレーザビームの径も、2回目に
光変調素子に入射するレーザビームの径も最小にするこ
とができる。すなわち、光変調素子に対する1回目の入
射条件と2回目の入射条件とがほぼ同じになり、設計上
の所要消光比を高精度に確保することができる。
As described above, according to the present invention, the diameter of the laser beam incident on the light modulation element for the first time and the diameter of the laser beam incident on the light modulation element for the second time can be minimized. . That is, the first incidence condition and the second incidence condition with respect to the light modulation element are substantially the same, and the required extinction ratio in design can be secured with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例にかかる光変調装置の構成
を概略的に示す図である。
FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a light modulation device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2実施例にかかる光変調装置の構成
を概略的に示す図である。
FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a configuration of a light modulation device according to a second embodiment of the present invention.

【図3】光変調素子として音響光学素子を用いた従来の
光変調装置の構成を概略的に示す図である。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a configuration of a conventional light modulation device using an acousto-optic element as a light modulation element.

【図4】本発明の第3実施例にかかる光変調装置の構成
を概略的に示す図である。
FIG. 4 is a diagram schematically showing a configuration of a light modulation device according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レーザ光源 2 レーザビーム 3 偏光ビームスプリッター 4 1/4波長板 5 集光レンズ 6 音響光学素子 7 球面反射鏡 8 リレーレンズ 9 平面反射鏡 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser light source 2 Laser beam 3 Polarization beam splitter 4 1/4 wavelength plate 5 Condensing lens 6 Acousto-optic element 7 Spherical reflecting mirror 8 Relay lens 9 Planar reflecting mirror

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザ光源から射出されたレーザビーム
の強度変調を行う光変調装置において、 入射したレーザビームを所定の比率で強度変調するため
の光変調素子と、 前記レーザ光源からのレーザビームを前記光変調素子上
に集光するための第1集光手段と、 前記光変調素子を介して強度変調されたレーザビームを
前記光変調素子上に再び集光するための第2集光手段と
を備えていることを特徴とする光変調装置。
An optical modulator for modulating the intensity of a laser beam emitted from a laser light source, comprising: a light modulation element for modulating the intensity of an incident laser beam at a predetermined ratio; First condensing means for condensing light on the light modulation element, and second light condensing means for condensing the laser beam intensity-modulated via the light modulation element again on the light modulation element. An optical modulation device comprising:
【請求項2】 前記第2集光手段は、前記光変調素子側
に凹状反射面を向けた反射手段であることを特徴とする
請求項1に記載の光変調装置。
2. The light modulation device according to claim 1, wherein the second light collection means is a reflection means having a concave reflection surface facing the light modulation element.
【請求項3】 前記第2集光手段は、前記光変調素子を
介したレーザビームの波面を反転して位相共役波を発生
させるための位相共役鏡であることを特徴とする請求項
1に記載の光変調装置。
3. The apparatus according to claim 1, wherein the second condensing means is a phase conjugate mirror for generating a phase conjugate wave by inverting the wavefront of the laser beam passing through the light modulation element. An optical modulator according to any one of the preceding claims.
【請求項4】 前記第2集光手段は、前記光変調素子を
介したレーザビームを平行光束に変換するためのリレー
レンズと、該リレーレンズを介した平行光束を入射方向
に沿って反射するための平面反射手段とを有することを
特徴とする請求項1に記載の光変調装置。
4. A relay lens for converting a laser beam passing through the light modulation element into a parallel light beam, and the second light focusing unit reflects the parallel light beam passing through the relay lens along an incident direction. The light modulating device according to claim 1, further comprising a plane reflecting means for the light.
【請求項5】 前記第1集光手段は、前記レーザ光源か
らのレーザビームのうち所定の偏光方向を有するレーザ
ビームを透過するための偏光ビームスプリッターと、該
偏光ビームスプリッターを介したレーザビームを円偏光
に変換するための1/4波長板と、該1/4波長板を介
したレーザビームを前記光変調素子上に集光するための
集光レンズとを有することを特徴とする請求項1乃至4
のいずれか1項に記載の光変調装置。
5. The first condensing means includes: a polarizing beam splitter for transmitting a laser beam having a predetermined polarization direction among laser beams from the laser light source; and a laser beam passing through the polarizing beam splitter. 9. A light-emitting device comprising: a quarter-wave plate for converting into circularly polarized light; and a condensing lens for condensing a laser beam passing through the quarter-wave plate on the light modulation element. 1 to 4
The light modulation device according to any one of the above items.
【請求項6】 前記第1集光手段は、前記レーザ光源か
らのレーザビームのうち所定の偏光方向を有するレーザ
ビームを透過するための偏光ビームスプリッターと、該
偏光ビームスプリッターを介したレーザビームの偏波面
を45度回転させるためのファラデー回転素子と、該フ
ァラデー回転素子を介したレーザビームを前記光変調素
子上に集光するための集光レンズとを有することを特徴
とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光変調装
置。
6. The first condensing means includes: a polarizing beam splitter for transmitting a laser beam having a predetermined polarization direction among laser beams from the laser light source; and a laser beam splitter for passing the laser beam through the polarizing beam splitter. 4. A device according to claim 1, further comprising: a Faraday rotator for rotating a polarization plane by 45 degrees; and a condenser lens for converging a laser beam passing through the Faraday rotator onto the light modulation element. 5. The light modulation device according to any one of 4.
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