JPH10255218A - Magnetic head and method of manufacturing the same - Google Patents

Magnetic head and method of manufacturing the same

Info

Publication number
JPH10255218A
JPH10255218A JP5499897A JP5499897A JPH10255218A JP H10255218 A JPH10255218 A JP H10255218A JP 5499897 A JP5499897 A JP 5499897A JP 5499897 A JP5499897 A JP 5499897A JP H10255218 A JPH10255218 A JP H10255218A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
groove
magnetic core
sliding surface
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5499897A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Suzuki
篤 鈴木
Junichi Honda
順一 本多
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP5499897A priority Critical patent/JPH10255218A/en
Publication of JPH10255218A publication Critical patent/JPH10255218A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize easier control for track width at the time of forming a magnetic gap to improve working efficiency by forming a groove in the width corresponding to a recording track width to the butting surface to form a magnetic gap of a magnetic half body and then filling the groove with a metal magnetic film. SOLUTION: A pair of magnetic core hald bodies 3m, 3n formed of a joined material joining magnetic materials 2m, 2n consisting of magnetic ferrite and non-magnetic material 1m, 1n are but-joined to form a closed magnetic path. In the process before but-joining, grooves 4m, 4n is formed in the size of track width Tw by the grinding process to the butt-joining surface and these grooves are filled, by the sputtering, with metal magnetic films 5m, 5n. After the butt- joining, the surfaces of non-magnetic materials 1m, 1n are polished by the cylindrical polishing method to form a sliding surface 11 with the magnetic recording medium. Therefore, the metal magnetic films 5m, 5n are exposed to the sliding surface 11 to form the high precision recording and reproducing magnetic gap.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばビデオテー
プレコーダーやデータストレージなどに使用される磁気
へッド及びその製造方法に係わる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head used for, for example, a video tape recorder or data storage, and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、磁気記録媒体として磁気テープを
用いた例えばVTR、DAT等の磁気記録及び再生装置
において、情報信号の短波長記録化が進められており、
これに対応して、例えばメタルテープや蒸着テープ等の
高抗磁力磁気記録媒体が使用されるようになってきてい
る。これらの高抗磁力磁気記録媒体の記録や再生を行う
ために、磁気ヘッドの磁気コア材料に高透磁率かつ高飽
和磁束密度を有する金属磁性層を用いた積層型磁気ヘッ
ド、あるいはメタルインギャップ(MIG)型の磁気ヘ
ッドなどが提案されている。
2. Description of the Related Art In recent years, short-wavelength recording of information signals has been promoted in magnetic recording and reproducing apparatuses such as VTRs and DATs using a magnetic tape as a magnetic recording medium.
Correspondingly, high coercive force magnetic recording media such as metal tapes and vapor-deposited tapes have been used. In order to perform recording and reproduction of these high coercive force magnetic recording media, a laminated magnetic head using a metal magnetic layer having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density as a magnetic core material of the magnetic head, or a metal in gap ( (MIG) type magnetic heads and the like have been proposed.

【0003】図6に従来のメタルインギャップ型の磁気
ヘッドの一例を示す。この磁気ヘッド51は、閉磁路を
構成する一対の単結晶フェライト等からなる磁気コア半
体52,53の突き合わせ面間に形成された磁気ギャッ
プgを介して、磁気コア半体52,53同士が接合一体
化されて構成されている。
FIG. 6 shows an example of a conventional metal-in-gap type magnetic head. In this magnetic head 51, the magnetic core halves 52 and 53 are connected to each other via a magnetic gap g formed between the butting surfaces of a pair of magnetic core halves 52 and 53 made of a single crystal ferrite or the like forming a closed magnetic circuit. It is configured to be joined and integrated.

【0004】磁気ギャップgは、磁気記録媒体との摺動
面56に臨んで形成され、摺動面56には磁気記録媒体
との当たり幅を規制する当たり幅規制溝55が形成され
ている。また、磁気ギャップgの両外側には、記録トラ
ックの幅Twを規制するためのトラック幅規制溝57が
形成されている。
The magnetic gap g is formed facing a sliding surface 56 with the magnetic recording medium, and the sliding surface 56 is formed with a contact width regulating groove 55 for regulating the contact width with the magnetic recording medium. Track width regulating grooves 57 for regulating the width Tw of the recording track are formed on both outer sides of the magnetic gap g.

【0005】そして、磁気コア半体52,53の突き合
わせ面側、即ち磁気ギャップg形成面である突き合わせ
面に、磁気ギャップgの形成面と平行に、またさらにト
ラック幅規制溝57の表面を覆って、例えば軟磁性合金
等からなる金属磁性膜54が形成されている。
[0005] The abutting surfaces of the magnetic core halves 52 and 53, that is, the abutting surfaces forming the magnetic gap g, cover the surface of the track width regulating groove 57 in parallel with the forming surface of the magnetic gap g. Thus, a metal magnetic film 54 made of, for example, a soft magnetic alloy is formed.

【0006】また、磁気コア半体52,53の突き合わ
せ面には、磁気ギャップgのデプスを規制するとともに
コイルを巻装するための巻線溝58が形成され、この巻
線溝58の摺動面56側及び摺動面56と反対側のトラ
ック幅規制溝57内には、磁気コア半体52,53を融
着させる融着ガラス59が充填されている。
On the abutting surfaces of the magnetic core halves 52 and 53, a winding groove 58 for restricting the depth of the magnetic gap g and winding the coil is formed. A fusion glass 59 for fusing the magnetic core halves 52 and 53 is filled in the track width regulating groove 57 on the surface 56 side and on the side opposite to the sliding surface 56.

【0007】また、摺動面56と反対側、すなわちバッ
ク側には融着ガラス59を充填し磁気コア半体を融着さ
せる融着ガラス充填溝61が形成されている。
On the side opposite to the sliding surface 56, that is, on the back side, a fusing glass filling groove 61 for filling the fusing glass 59 and fusing the magnetic core half is formed.

【0008】一方、磁気コア半体52,53の外側面
に、上述の巻線溝58に巻装されるコイルの巻装状態を
確保するための例えば断面略コ字状の巻線ガイド溝60
が設けられている。
On the other hand, on the outer surfaces of the magnetic core halves 52 and 53, for example, a winding guide groove 60 having a substantially U-shaped cross section for securing the winding state of the coil wound in the winding groove 58 described above.
Is provided.

【0009】次に、この磁気ヘッド51のような構成の
磁気ヘッドにおけるトラック幅の規制方法をその製法と
共に説明する。まず、図7Aに示すように、単結晶フェ
ライト等からなる基板71に、複数のトラック幅規制溝
57を所定のピッチで形成する。このとき、トラック幅
規制溝57は、その側面57sが鉛直面に対してある角
度θを有する斜面として形成される。また、トラック幅
規制溝57を掘った後に残った突起部72が磁気ギャッ
プ面となる。
Next, a method of regulating the track width in a magnetic head having a configuration like this magnetic head 51 will be described together with its manufacturing method. First, as shown in FIG. 7A, a plurality of track width regulating grooves 57 are formed at a predetermined pitch on a substrate 71 made of single crystal ferrite or the like. At this time, the track width regulating groove 57 is formed as a slope having a side surface 57s having a certain angle θ with respect to the vertical plane. Further, the protrusion 72 left after the track width regulating groove 57 is dug becomes a magnetic gap surface.

【0010】次に、図7Bに示すように、突起部72の
表面に鏡面加工を施す。このとき、トラック幅規制溝5
7の側面57sが鉛直面に対して角度θを有しているた
め、鏡面加工に伴う突起部72の厚み寸法変化Δdに従
って、トラック幅Twが制御される。
Next, as shown in FIG. 7B, the surface of the projection 72 is mirror-finished. At this time, the track width regulating groove 5
7 has an angle θ with respect to the vertical plane, the track width Tw is controlled in accordance with the thickness dimension change Δd of the protrusion 72 due to mirror finishing.

【0011】次に、図8Cに示すように、トラック幅規
制溝57の表面上に金属磁性膜54をスパッタリング等
の方法により成膜し、磁気コア半体ブロック73を形成
する。
Next, as shown in FIG. 8C, a metal magnetic film 54 is formed on the surface of the track width regulating groove 57 by a method such as sputtering to form a magnetic core half block 73.

【0012】その後、図8Dに示すように、同様の方法
で作製されたもう一方の磁気コア半体ブロック73と、
磁気ギャップ面を構成する突起部72同士が重なり合う
ように調整した上で、接合一体化し、磁気コアブロック
74を形成する。これにより重なり合った突起部72に
より記録トラック幅Twが規定される。
Thereafter, as shown in FIG. 8D, another magnetic core half block 73 manufactured by the same method,
The magnetic core block 74 is formed by adjusting the protrusions 72 constituting the magnetic gap surface so as to overlap each other, and then joining and integrating them. Thus, the recording track width Tw is defined by the overlapping projections 72.

【0013】この後は、図示しないが、磁気コアブロッ
ク74をトラック幅規制溝57の部分で切断することに
より、ヘッドチップに分割して、図6に示した構造の磁
気ヘッド51を製造することができる。
Thereafter, although not shown, the magnetic core block 74 is cut at the portion of the track width regulating groove 57 to be divided into head chips to manufacture the magnetic head 51 having the structure shown in FIG. Can be.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような方法によりトラック幅Twを規制する場合には、
以下に挙げる問題を生じる。
However, when the track width Tw is regulated by the above-described method,
The following problems arise.

【0015】まず、砥石摩耗によるトラック幅規制溝5
7の寸法変化が挙げられる。トラック幅規制溝57を形
成するには、基板71を砥石で加工して形成するが、長
期間使用している内に砥石が摩耗していくため、同じ位
置合わせで切削加工を行っているとトラック幅規制溝の
寸法が変化して行く。従って、トラック幅Twも変化す
るため、磁気ヘッド51の特性にも変化が生じてしま
う。
First, a track width regulating groove 5 due to abrasion of a grindstone 5
7 dimensional change. In order to form the track width regulating groove 57, the substrate 71 is formed by processing with a grindstone. However, since the grindstone wears out during use for a long time, if the cutting process is performed with the same alignment. The dimensions of the track width regulating groove change. Therefore, since the track width Tw also changes, the characteristics of the magnetic head 51 also change.

【0016】また、トラック幅規制溝57を形成する加
工機械の送り精度、特にY軸方向、即ちトラック幅規制
溝57の方向に略垂直な方向へのピッチ送り精度が良好
でない場合には、ピッチ送り精度の累積誤差がトラック
の位置合わせに悪影響を及ぼし、トラック位置のズレ量
が増加する原因の1つとなる。
If the feeding precision of the processing machine for forming the track width regulating groove 57, particularly the pitch feeding precision in the Y-axis direction, that is, the direction substantially perpendicular to the direction of the track width regulating groove 57, is not good, Accumulated errors in feed accuracy have an adverse effect on track alignment, which is one of the causes of an increase in track position deviation.

【0017】さらに、上述のトラック幅Twの規制方法
においては、制御が容易でない鏡面加工の除去寸法Δd
にトラック幅Twが依存するため、トラック幅Twの寸
法制御が容易ではなく、作業上も非効率的である。
Further, in the above-described method of regulating the track width Tw, the removal dimension Δd of the mirror-finished surface which is not easily controlled is used.
Since the track width Tw depends on the track width Tw, it is not easy to control the dimension of the track width Tw, and the operation is inefficient.

【0018】また、図9A及び図9Bに、従来の磁気ヘ
ッドの摺動面及びその一部の拡大図をそれぞれ示す。例
えばスパッタリング等の方法により金属磁性膜54を成
膜した場合には、トラック端部等のコーナー部は、図9
B中矢印aで示すように丸みを生じてしまう。このよう
に丸みを生じてしまうため、記録トラックのエッジ部分
がはっきりせず、磁気記録媒体への記録パターンのエッ
ジ部がにじんでしまう、いわゆるサイドフリンジング現
象を引き起こすことがある。
FIGS. 9A and 9B show enlarged views of a sliding surface of a conventional magnetic head and a part thereof, respectively. For example, in the case where the metal magnetic film 54 is formed by a method such as sputtering, the corners such as the track ends are formed as shown in FIG.
As shown by an arrow a in B, roundness occurs. Since such roundness occurs, the edge portion of the recording track is not clear and the edge portion of the recording pattern on the magnetic recording medium is blurred, which may cause a so-called side fringing phenomenon.

【0019】さらに、トラック幅規制溝57の側面57
sの傾斜角度θの設定いかんでは、傾斜した溝側面57
sが、磁気記録媒体における記録パターン上の隣接する
トラックの信号に影響を及ぼす、いわゆるクロストーク
現象を発生させる可能性もある。
Further, the side surface 57 of the track width regulating groove 57
setting the inclination angle θ of the s
There is a possibility that s affects a signal of an adjacent track on a recording pattern on the magnetic recording medium, that is, a so-called crosstalk phenomenon occurs.

【0020】上述した問題の解決のために、本発明にお
いては、サイドフリンジングやクロストーク等の発生を
回避すると共に、トラック幅を高精度にかつ容易に制御
できる磁気ヘッド及びその製造方法を提供するものであ
る。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a magnetic head capable of avoiding the occurrence of side fringing and crosstalk and controlling the track width with high precision and ease, and a method of manufacturing the same. Is what you do.

【0021】[0021]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
磁気ギャップが形成される磁気コア半体の突き合わせ面
の記録トラック形成位置に、この記録トラックの幅に相
当する幅の溝が形成され、かつこの溝の内部に金属磁性
膜が埋め込まれてなるものである。
According to the present invention, there is provided a magnetic head comprising:
A groove having a width corresponding to the width of the recording track is formed at the recording track forming position on the abutting surface of the magnetic core half where the magnetic gap is formed, and a metal magnetic film is embedded in the groove. It is.

【0022】本発明の磁気ヘッドの製造方法は、非磁性
材料と磁性材料を接合した接合基板に記録トラックの幅
に相当する幅の溝を形成する工程と、この溝内を埋めて
金属磁性膜を形成して磁気コア半体ブロックを形成する
工程と、一対の磁気コア半体ブロックを溝を形成した側
の面を突き合わせて磁気コアブロックを形成する工程
と、この磁気コアブロックにおける溝を形成した磁気コ
ア半体ブロックの突き合わせ面と交差する非磁性材料の
面を加工して磁気記録媒体との摺動面を形成し、溝内の
金属磁性膜を摺動面に臨ませる工程を有するものであ
る。
According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, a step of forming a groove having a width corresponding to the width of a recording track in a bonding substrate in which a non-magnetic material and a magnetic material are bonded, and filling the groove with a metal magnetic film Forming a magnetic core half-block, forming a magnetic core block by abutting a pair of magnetic core half-blocks on the side on which the groove is formed, and forming a groove in the magnetic core block. Having a process of forming a sliding surface with a magnetic recording medium by processing a surface of a non-magnetic material that intersects abutting surfaces of the formed magnetic core half-blocks, and allowing a metal magnetic film in a groove to face the sliding surface. It is.

【0023】上述の本発明の構成によれば、記録トラッ
ク形成位置に記録トラックの幅に相当する幅の溝が形成
され、この溝の内部に金属磁性膜が埋め込まれているこ
とにより、記録トラックの幅が高精度に制御される。ま
た記録トラックのエッジをシャープにすることができ
る。
According to the configuration of the present invention described above, a groove having a width corresponding to the width of the recording track is formed at the recording track forming position, and the metal magnetic film is embedded in the groove, whereby the recording track is formed. Is controlled with high precision. Further, the edge of the recording track can be sharpened.

【0024】上述の本発明製法によれば、記録トラック
の幅に相当する幅の溝内に先に形成した金属磁性膜を摺
動面に臨ませることにより、金属磁性膜により記録トラ
ックの幅が高精度に規定された磁気ヘッドを製造するこ
とができる。
According to the method of the present invention described above, the width of the recording track is reduced by the metal magnetic film by allowing the previously formed metal magnetic film to face the sliding surface in the groove having a width corresponding to the width of the recording track. A magnetic head defined with high precision can be manufactured.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】本発明は、一対の磁気コア半体が
接合一体化され、磁気コア半体の突き合わせ面間に磁気
ギャップが形成されてなる磁気ヘッドにおいて、突き合
わせ面の記録トラック形成位置に、記録トラックの幅に
相当する幅の溝が形成され、かつ溝の内部に金属磁性膜
が埋め込まれてなる磁気ヘッドである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention relates to a magnetic head in which a pair of magnetic core halves are joined and integrated, and a magnetic gap is formed between the butting surfaces of the magnetic core halves. A magnetic head formed with a groove having a width corresponding to the width of a recording track and a metal magnetic film embedded in the groove.

【0026】また本発明は、上記磁気ヘッドにおいて、
磁気コア半体の金属磁性膜を除いた部分が、記録媒体と
の摺動面側に配置された非磁性材料と、摺動面とは反対
側に配置された磁性材料とから構成される接合材料によ
り形成されて成る構成とする。
According to the present invention, in the above magnetic head,
The joint of the half of the magnetic core except for the metal magnetic film is composed of a non-magnetic material disposed on the sliding surface side with the recording medium and a magnetic material disposed on the opposite side to the sliding surface. It is configured to be formed of a material.

【0027】本発明は、非磁性材料と磁性材料を接合し
た接合基板に記録トラックの幅に相当する幅の溝を形成
する工程と、溝内を埋めて金属磁性膜を形成して磁気コ
ア半体ブロックを形成する工程と、一対の磁気コア半体
ブロックを溝を形成した側の面を突き合わせて磁気コア
ブロックを形成する工程と、磁気コアブロックにおける
溝を形成した磁気コア半体ブロックの突き合わせ面と交
差する非磁性材料の面を加工して磁気記録媒体との摺動
面を形成し、溝内の上記金属磁性膜を摺動面に臨ませる
工程を有する磁気ヘッドの製造方法である。
According to the present invention, there is provided a step of forming a groove having a width corresponding to the width of a recording track on a bonding substrate in which a nonmagnetic material and a magnetic material are bonded, and forming a metal magnetic film by filling the groove to form a magnetic core half. Forming a body block, forming a magnetic core block by abutting a pair of magnetic core half blocks on surfaces on which grooves are formed, and butting a magnetic core half block having a groove in the magnetic core block A method of manufacturing a magnetic head, comprising the steps of forming a sliding surface with a magnetic recording medium by processing a surface of a nonmagnetic material that intersects with a surface, and allowing the metal magnetic film in a groove to face the sliding surface.

【0028】以下、図面を参照して本発明の磁気ヘッド
及びその製造方法の実施例を説明する。図1は、本発明
の磁気ヘッドの一実施例を示す。本例の磁気ヘッド20
は、主として非磁性材料1m,1nと磁性材料(例えば
磁性フェライト)2m,2nを接合した接合材料よりな
る一対の磁気コア半体3m,3nが接合一体化されてな
る。そして、接合された磁気コア半体3m,3nによっ
て閉磁路が形成され、これら磁気コア半体3m,3nの
突き合わせ面間に記録再生ギャップとして動作する、所
定のアジマス角を有する磁気ギャップg1が形成されて
いる。
Hereinafter, embodiments of a magnetic head and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the magnetic head of the present invention. Magnetic head 20 of this example
Is formed by joining and integrating a pair of magnetic core halves 3m and 3n mainly made of a joining material in which non-magnetic materials 1m and 1n and magnetic materials (for example, magnetic ferrites) 2m and 2n are joined. Then, a closed magnetic path is formed by the joined magnetic core halves 3m and 3n, and a magnetic gap g1 having a predetermined azimuth angle is formed between the butted surfaces of the magnetic core halves 3m and 3n and operates as a recording / reproducing gap. Have been.

【0029】そして、図2Aに図1の磁気ヘッド20の
A−A′線上の断面図、図2Bに摺動面の平面図をそれ
ぞれ示すように、本例の磁気ヘッド20では特に、磁気
ギャップg1のトラック幅Twを規制するために、磁気
コア半体3m,3nのトラックに相当する部分に、即
ち、非磁性材料1m,1nによる摺動面11の一部にト
ラック幅Tw寸法分の溝4(4m,4n)が堀られ、こ
の溝4m,4nの内部に磁性材料2m,2nと接合する
金属磁性膜5m,5nが充填されて成る。
FIG. 2A is a cross-sectional view of the magnetic head 20 of FIG. 1 taken along the line AA ', and FIG. 2B is a plan view of the sliding surface. In order to regulate the track width Tw of g1, a groove corresponding to the track width Tw is formed in a portion corresponding to the track of the magnetic core halves 3m and 3n, that is, in a part of the sliding surface 11 made of the nonmagnetic material 1m and 1n. 4 (4m, 4n) are dug, and the metal magnetic films 5m, 5n to be joined to the magnetic materials 2m, 2n are filled in the grooves 4m, 4n.

【0030】そして、これら磁気コア半体3m,3nの
突き合せ面には、コイルを巻装させるための巻線溝6
(6m,6n)が各磁気コア半体3m,3nの相対向す
る位置にコア厚方向に貫通して設けられている。
The butting surfaces of the magnetic core halves 3m and 3n are provided with winding grooves 6 for winding coils.
(6m, 6n) are provided in positions facing each other of the magnetic core halves 3m, 3n in the core thickness direction.

【0031】巻線溝6m,6nの摺動面側に磁気コア半
体3m,3nを融着させるための融着ガラス9が充填さ
れ、この融着ガラス9は、摺動面11と反対側、すなわ
ちバック側に形成された融着ガラス充填溝7にも充填さ
れている。
The sliding surfaces of the winding grooves 6m, 6n are filled with a fusion glass 9 for fusing the magnetic core halves 3m, 3n, and the fusion glass 9 is opposite to the sliding surface 11. That is, the molten glass filling groove 7 formed on the back side is also filled.

【0032】磁気ギャップg1は、磁気記録媒体との摺
動面11に臨んで形成され、摺動面11には磁気記録媒
体との当たり幅を規制する当たり幅規制溝10が形成さ
れている。
The magnetic gap g1 is formed facing the sliding surface 11 with the magnetic recording medium, and the sliding surface 11 is formed with a contact width regulating groove 10 for regulating the contact width with the magnetic recording medium.

【0033】一方、磁気コア半体3m,3nの外側面
に、上述の巻線溝6m,6nに巻装されるコイルの巻装
状態を確保するための例えば断面略コ字状の巻線ガイド
溝8が設けられている。
On the other hand, on the outer surfaces of the magnetic core halves 3m and 3n, for example, a winding guide having a substantially U-shaped cross section for ensuring the winding state of the coils wound in the winding grooves 6m and 6n. A groove 8 is provided.

【0034】本例の磁気へッド20においては、トラッ
ク幅Twの制御はエッチング等により形成された溝4
m,4nの幅をもってトラック幅を規制するため、より
高精度なトラック幅寸法の制御が可能となると同時に、
容易にトラック幅の制御を行うことができるので、製造
における作業効率の向上が図られる。
In the magnetic head 20 according to the present embodiment, the track width Tw is controlled by the groove 4 formed by etching or the like.
Since the track width is regulated by the widths of m and 4n, it is possible to control the track width dimension with higher accuracy.
Since the track width can be easily controlled, work efficiency in manufacturing can be improved.

【0035】また、この溝4m,4nにより、トラック
のエッジが極めてシャープに形成されているため、磁気
記録媒体における記録パターン上の端部のにじみ現象を
回避することができ、さらには従来のようなトラック幅
規制溝57のサイド部分によって引き起こされていた隣
接トラック信号への影響も抑制することができる。
Since the grooves 4m and 4n make the edges of the tracks extremely sharp, it is possible to avoid the bleeding phenomenon at the end of the recording pattern on the magnetic recording medium. The influence on the adjacent track signal caused by the side portion of the track width regulating groove 57 can also be suppressed.

【0036】さらに、本例の磁気ヘッド20において
は、金属磁性膜5m,5n以外の磁気コア半体3m,3
nを、摺動面11側の非磁性材料1m,1nと、摺動面
11とは反対側の磁性材料2m,2nとで形成した複合
材料により構成しているため、摺動面11上で金属磁性
膜5m,5nによるトラック部以外の部分には、磁性体
が存在しない構造となる。従って、摺動面11におい
て、トラック部以外の領域は非磁性材であって、磁性体
が存在しないので、隣接する記録トラックとのクロスト
ーク現象も回避することができる。
Further, in the magnetic head 20 of the present embodiment, the magnetic core halves 3m, 3m other than the metal magnetic films 5m, 5n.
n is composed of a composite material formed of the non-magnetic materials 1m and 1n on the sliding surface 11 side and the magnetic materials 2m and 2n on the opposite side of the sliding surface 11, The magnetic material does not exist in portions other than the track portion by the metal magnetic films 5m and 5n. Therefore, the area other than the track portion on the sliding surface 11 is a non-magnetic material and has no magnetic material, so that a crosstalk phenomenon with an adjacent recording track can be avoided.

【0037】この磁気ヘッド20は、例えば次のように
製造する。まず、図3Aに示すように、平板状の非磁性
材料基板21と平板状の例えば磁性フェライトによる磁
性材料基板22とを接合して平板状の接合基板23を作
製する。
The magnetic head 20 is manufactured, for example, as follows. First, as shown in FIG. 3A, a flat non-magnetic material substrate 21 and a flat magnetic material substrate 22 made of, for example, magnetic ferrite are bonded to form a flat bonded substrate 23.

【0038】次に、図3Bに示すように、後に金属磁性
膜を充填し、かつトラック幅Twを規制するための溝4
を複数形成する。この溝4の形成方法に関しては、砥石
による機械加工の他、各種のエッチング法やレーザー加
工技術を用いることができる。
Next, as shown in FIG. 3B, a groove 4 for filling the metal magnetic film later and regulating the track width Tw is formed.
Are formed. Regarding the method of forming the grooves 4, various etching methods and laser processing techniques can be used in addition to machining with a grindstone.

【0039】このようにして形成された溝4の内部に、
図示しないが、スパッタリング等の方法で金属磁性膜5
を充填する。その後、金属磁性膜5の成膜面を研磨する
ことにより、図4Cに示すように、溝4の内部にのみ金
属磁性膜5が充填された接合基板23を得る。
In the thus formed groove 4,
Although not shown, the metal magnetic film 5 is formed by a method such as sputtering.
Fill. Thereafter, the bonding surface 23 in which the metal magnetic film 5 is filled only in the groove 4 is obtained as shown in FIG.

【0040】次に、図4Dに示すように、接合基板23
に巻線溝6及び融着ガラス充填溝7を形成し、磁気コア
半体ブロック25を得る。この場合、金属磁性膜5と磁
性材料基板22との接合部分が残るように、巻線溝6を
形成する。
Next, as shown in FIG.
The magnetic core half block 25 is obtained by forming the winding groove 6 and the fused glass filling groove 7 in FIG. In this case, the winding groove 6 is formed such that the joint between the metal magnetic film 5 and the magnetic material substrate 22 remains.

【0041】次に、一対の磁気コア半体ブロック25の
ギャップ面上に、図示しないが、SiO2 等の非磁性材
料からなるギャップ膜を成膜する。このギャップ膜は磁
気ギャップg1となるものであり、各磁気コア半体ブロ
ック25に成膜するギャップ膜の膜厚は、作製する磁気
ヘッド20のギャップ長の半分となるようにする。
Next, a gap film (not shown) made of a non-magnetic material such as SiO 2 is formed on the gap surfaces of the pair of magnetic core half blocks 25. The gap film serves as a magnetic gap g1, and the thickness of the gap film formed on each magnetic core half block 25 is set to be half the gap length of the magnetic head 20 to be manufactured.

【0042】以上のようにして作製された一対の磁気コ
ア半体ブロック25を、それぞれのギャップ面が対向す
るように突き合わせて、相対向する巻線溝6及び融着ガ
ラス充墳溝7内にガラス棒を挿入し、このガラス棒を溶
融する。この結果、図5Eに示すように、ガラス棒が溶
けて、融着ガラス9によって磁気コア半体ブロック25
が接合一体化されて、磁気コアブロック26が形成され
る。
The pair of magnetic core half blocks 25 manufactured as described above are abutted so that their respective gap surfaces are opposed to each other, and are inserted into the facing winding groove 6 and the fused glass filling groove 7. A glass rod is inserted and the glass rod is melted. As a result, as shown in FIG. 5E, the glass rod is melted, and the magnetic core half block 25 is melted by the fusion glass 9.
Are joined and integrated to form a magnetic core block 26.

【0043】次に、図5Fに示すように、磁気コアブロ
ック26の非磁性材料の側に円筒研磨を施して磁気記録
媒体との摺動面11を形成する。これにより、記録トラ
ックの幅に相当する幅の溝4内に形成された金属磁性膜
5が摺動面11に臨み、記録トラック幅をこの金属磁性
膜5により規定することができる。
Next, as shown in FIG. 5F, the nonmagnetic material side of the magnetic core block 26 is subjected to cylindrical polishing to form the sliding surface 11 with the magnetic recording medium. Thus, the metal magnetic film 5 formed in the groove 4 having a width corresponding to the width of the recording track faces the sliding surface 11, and the recording track width can be defined by the metal magnetic film 5.

【0044】また、融着ガラス充填溝7の下半分以降を
除去し、磁気コアブロック26の外側面に略コ字形状の
巻線ガイド溝8を形成する。さらに、図示しないが、磁
気へッドの磁気記録媒体に対する当たり幅を規制するた
めに、媒体摺動面の両端となる位置に当たり幅規制溝1
0を所定のアジマス角を有するように形成する。
Further, the lower half and subsequent portions of the fusing glass filling groove 7 are removed, and a substantially U-shaped winding guide groove 8 is formed on the outer surface of the magnetic core block 26. Further, although not shown, in order to regulate the contact width of the magnetic head with respect to the magnetic recording medium, the width regulating grooves 1 are located at positions at both ends of the medium sliding surface.
0 is formed so as to have a predetermined azimuth angle.

【0045】そして、最後に磁気コアブロック26を切
断して磁気コアとし、この切り出された磁気コアを所定
の形状に整えて、図1及び図2に示すような磁気へッド
20が得られる。
Finally, the magnetic core block 26 is cut into a magnetic core, and the cut magnetic core is adjusted to a predetermined shape to obtain the magnetic head 20 as shown in FIGS. .

【0046】このように磁気ヘッド20を製造すること
により、記録トラックが、エッチング等によってトラッ
ク幅Twに形成された溝4内に形成された金属磁性膜5
によって規定されるため、記録トラックのエッジが非常
にシャープにかつ高精度に形成される。また、接合基板
23に形成した溝4によりトラック幅Twが規定できる
ので、容易にトラック幅Twを形成することができる。
従って、従来型の磁気へッドで問題となっているサイド
フリンジング現象や、クロストーク等を回避することが
できる。
By manufacturing the magnetic head 20 in this manner, the recording track is formed by the metal magnetic film 5 formed in the groove 4 having the track width Tw by etching or the like.
Therefore, the edge of the recording track is formed very sharply and with high precision. Further, since the track width Tw can be defined by the groove 4 formed in the bonding substrate 23, the track width Tw can be easily formed.
Therefore, it is possible to avoid the side fringing phenomenon, crosstalk, and the like, which are problems in the conventional magnetic head.

【0047】尚、本例では、トラック幅Twを規制しか
つ金属磁性膜5を充填するための溝4を先に形成し、こ
の溝4内に金属磁性膜5を充填した後、巻線溝6及び融
着ガラス充填溝7を形成したが、その他例えば金属磁性
膜5を充填する前に巻線溝6及び融着ガラス充填溝7を
形成しておき、金属磁性膜5を巻線溝6内にも形成する
構造としても構わない。
In this embodiment, a groove 4 for regulating the track width Tw and filling the metal magnetic film 5 is formed first, and after filling the metal magnetic film 5 in this groove 4, the winding groove is formed. 6 and the fusing glass filling groove 7 are formed. However, for example, before filling the metal magnetic film 5, the winding groove 6 and the fusing glass filling groove 7 are formed, and the metal magnetic film 5 is It may be a structure formed inside.

【0048】本発明の磁気ヘッド及びその製造方法は、
上述の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸
脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
The magnetic head and the method of manufacturing the same according to the present invention
The present invention is not limited to the above-described example, and may take various other configurations without departing from the spirit of the present invention.

【0049】[0049]

【発明の効果】本発明の磁気ヘッドによれば、記録トラ
ックの幅の制御を、エッチング等により形成され金属磁
性膜が充填された溝によって行うことができ、この溝の
幅をもってトラック幅を規制するため、トラック幅の制
御が従来に比して容易になり、製造における作業効率の
向上が図られる。特に、トラック幅規制溝の形成にエッ
チングを用いた場合は、溝が高精度に形成できるため、
高精度なトラック幅の制御が可能となる。
According to the magnetic head of the present invention, the width of a recording track can be controlled by a groove formed by etching or the like and filled with a metal magnetic film, and the track width is regulated by the width of the groove. Therefore, the control of the track width becomes easier as compared with the related art, and the working efficiency in manufacturing is improved. In particular, when etching is used to form the track width regulating groove, the groove can be formed with high precision.
It is possible to control the track width with high accuracy.

【0050】また金属磁性膜が充填された溝を形成する
ことにより、記録トラックのエッジが非常にシャープに
形成できる。従って、従来型の磁気へッドで問題となっ
ているサイドフリンジング現象を回避することができ
る。
By forming the groove filled with the metal magnetic film, the edge of the recording track can be formed very sharply. Therefore, it is possible to avoid the side fringing phenomenon which is a problem in the conventional magnetic head.

【0051】さらに、金属磁性膜以外の磁気コア半体
を、摺動面側を非磁性材料、摺動面とは反対側を磁性材
料で形成した複合材料により構成したときには、摺動面
上で金属磁性膜によるトラック部以外の部分には磁性体
が存在しない構造となるため、隣接する記録トラックと
のクロストーク現象も回避することができる。
Further, when the magnetic core half other than the metal magnetic film is formed of a composite material formed of a non-magnetic material on the sliding surface side and a magnetic material on the opposite side to the sliding surface, the magnetic core half is formed on the sliding surface. Since the magnetic material does not exist in a portion other than the track portion due to the metal magnetic film, a crosstalk phenomenon with an adjacent recording track can be avoided.

【0052】本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、
トラック幅を容易にかつ高精度に形成することが可能と
なり、従来のトラック幅規制法に起因した諸問題を改善
しうる優れた磁気ヘッドを容易に製造することができ
る。
According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention,
It is possible to easily and accurately form the track width, and it is possible to easily manufacture an excellent magnetic head that can solve various problems caused by the conventional track width regulation method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の磁気ヘッドの実施例の概略構成図(斜
視図)である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram (perspective view) of an embodiment of a magnetic head according to the present invention.

【図2】A 図1の磁気ヘッドのA−A′を含む面によ
る断面図である。 B 図1の磁気ヘッドの摺動面の平面図である。
FIG. 2A is a cross-sectional view of the magnetic head of FIG. 1 taken along a plane including AA '; B is a plan view of a sliding surface of the magnetic head of FIG. 1.

【図3】A、B 図1の磁気ヘッドの製造工程図であ
る。
3A and 3B are manufacturing process diagrams of the magnetic head of FIG. 1;

【図4】C、D 図1の磁気ヘッドの製造工程図であ
る。
4C and 4D are manufacturing process diagrams of the magnetic head of FIG. 1;

【図5】E、F 図1の磁気ヘッドの製造工程図であ
る。
5E and 5F are manufacturing process diagrams of the magnetic head of FIG. 1;

【図6】メタルインギャップ型の磁気ヘッドの一例の概
略構成図(斜視図)である。
FIG. 6 is a schematic configuration diagram (perspective view) of an example of a metal-in-gap type magnetic head.

【図7】A、B 図6の磁気ヘッドの製造工程図であ
る。
7A and 7B are manufacturing process diagrams of the magnetic head of FIG. 6;

【図8】C、D 図6の磁気ヘッドの製造工程図であ
る。
8C and 8D are manufacturing process diagrams of the magnetic head of FIG. 6;

【図9】A 図6の磁気ヘッドの摺動面の平面図であ
る。 B 図9Aの一部の拡大図である。
FIG. 9A is a plan view of a sliding surface of the magnetic head of FIG. 6; B is an enlarged view of a part of FIG. 9A.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1m,1n 非磁性材料、2m,2n 磁性材料、3
m,3n 磁気コア半体、4,4m,4n 溝、5,5
m,5n 金属磁性膜、6,6m,6n 巻線溝、7
融着ガラズ充填溝、8 巻線ガイド溝、9 融着ガラ
ス、10 当たり幅規制溝、11 摺動面、20 磁気
ヘッド、21 非磁性材料基板、22 磁性材料基板、
23 接合基板、25 磁気コア半体ブロック、26
磁気コアブロック、51 磁気ヘッド、52,53 磁
気コア半体、54 金属磁性膜、55当たり幅規制溝、
56 摺動面、57 トラック幅規制溝、58 巻線
溝、59融着ガラス、60 巻線ガイド溝、61 融着
ガラス充填溝、71 基板、72 突起部、73 磁気
コア半体ブロック、74 磁気コアブロック、g,g1
磁気ギャップ、Tw トラック幅
1m, 1n non-magnetic material, 2m, 2n magnetic material, 3
m, 3n magnetic core half, 4,4m, 4n groove, 5,5
m, 5n metal magnetic film, 6, 6m, 6n winding groove, 7
Fusing glass filling groove, 8 winding guide groove, 9 fusing glass, 10 width limiting groove, 11 sliding surface, 20 magnetic head, 21 non-magnetic material substrate, 22 magnetic material substrate,
23 bonding substrate, 25 magnetic core half block, 26
Magnetic core block, 51 magnetic head, 52, 53 magnetic core half, 54 metal magnetic film, 55 width limiting groove,
56 sliding surface, 57 track width regulating groove, 58 winding groove, 59 fusion glass, 60 winding guide groove, 61 fusion glass filling groove, 71 substrate, 72 projection, 73 magnetic core half block, 74 magnetism Core block, g, g1
Magnetic gap, Tw track width

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一対の磁気コア半体が接合一体化され、
該磁気コア半体の突き合わせ面間に磁気ギャップが形成
されてなる磁気ヘッドにおいて、 上記突き合わせ面の記録トラック形成位置に、該記録ト
ラックの幅に相当する幅の溝が形成され、 かつ上記溝の内部に金属磁性膜が埋め込まれてなること
を特徴とする磁気ヘッド。
1. A pair of magnetic core halves are joined and integrated,
In a magnetic head in which a magnetic gap is formed between abutting surfaces of the magnetic core halves, a groove having a width corresponding to the width of the recording track is formed at a recording track forming position on the abutting surface. A magnetic head comprising a metal magnetic film embedded therein.
【請求項2】 上記磁気コア半体の上記金属磁性膜を除
いた部分が、記録媒体との摺動面側に配置された非磁性
材料と、摺動面とは反対側に配置された磁性材料とから
構成される接合材料により形成されて成ることを特徴と
する請求項第1項記載の磁気ヘッド。
2. A portion of the magnetic core half except for the metal magnetic film is formed of a non-magnetic material disposed on a sliding surface side with a recording medium and a magnetic material disposed on a side opposite to the sliding surface. 2. The magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic head is formed of a bonding material composed of a material.
【請求項3】 非磁性材料と磁性材料を接合した接合基
板に記録トラックの幅に相当する幅の溝を形成する工程
と、 上記溝内を埋めて金属磁性膜を形成して磁気コア半体ブ
ロックを形成する工程と、 一対の上記磁気コア半体ブロックを上記溝を形成した側
の面を突き合わせて磁気コアブロックを形成する工程
と、 上記磁気コアブロックにおける上記溝を形成した上記磁
気コア半体ブロックの突き合わせ面と交差する上記非磁
性材料の面を加工して磁気記録媒体との摺動面を形成
し、上記溝内の上記金属磁性膜を該摺動面に臨ませる工
程を有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
3. A step of forming a groove having a width corresponding to the width of a recording track on a bonding substrate in which a nonmagnetic material and a magnetic material are bonded, and forming a metal magnetic film by filling the groove to form a magnetic core half. A step of forming a block; a step of abutting a pair of the magnetic core half blocks on surfaces on which the grooves are formed to form a magnetic core block; and a step of forming the magnetic core half in the magnetic core block having the grooves formed therein. Forming a sliding surface with the magnetic recording medium by processing a surface of the non-magnetic material that intersects with the abutting surface of the body block, and causing the metal magnetic film in the groove to face the sliding surface. A method for manufacturing a magnetic head, comprising:
JP5499897A 1997-03-10 1997-03-10 Magnetic head and method of manufacturing the same Pending JPH10255218A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5499897A JPH10255218A (en) 1997-03-10 1997-03-10 Magnetic head and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5499897A JPH10255218A (en) 1997-03-10 1997-03-10 Magnetic head and method of manufacturing the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10255218A true JPH10255218A (en) 1998-09-25

Family

ID=12986339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5499897A Pending JPH10255218A (en) 1997-03-10 1997-03-10 Magnetic head and method of manufacturing the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10255218A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100320709B1 (en) Magnetic head
JPS63146202A (en) Magnetic head and its production
JPH10255218A (en) Magnetic head and method of manufacturing the same
JPS59215022A (en) Manufacture of magnetic head
JP3462023B2 (en) Method of manufacturing side core type magnetic head slider
JPH01251403A (en) Magnetic head and manufacture of same
JP2900635B2 (en) Method of manufacturing composite magnetic head
JP3104185B2 (en) Magnetic head
JPH0648529B2 (en) Magnetic head
JPH064821A (en) Magnetic head and its production
JP2594168B2 (en) Floating magnetic head
JP2580767B2 (en) Method for manufacturing advanced erase type composite magnetic head
JPH0227506A (en) Composite type magnetic head and its production
JP2000339617A (en) Production of magnetic head
JPH03113812A (en) Composite type magnetic head
JPH0546009B2 (en)
JP2000123315A (en) Magnetic head and manufacture thereof
JP2000322705A (en) Magnetic head
JPS6378309A (en) Magnetic head
JPH0778851B2 (en) Method of manufacturing magnetic head
JPH04245006A (en) Magnetic head for hard disk
JPH11213324A (en) Magnetic head
JPH0652510A (en) Magnetic head, magnetic head slider, and manufacture of magnetic head
JPS6313107A (en) Magnetic head
JP2000149212A (en) Magnetic head and magnetic head device provided with the magnetic head