JPH064821A - Magnetic head and its production - Google Patents

Magnetic head and its production

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JPH064821A
JPH064821A JP15953692A JP15953692A JPH064821A JP H064821 A JPH064821 A JP H064821A JP 15953692 A JP15953692 A JP 15953692A JP 15953692 A JP15953692 A JP 15953692A JP H064821 A JPH064821 A JP H064821A
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JP
Japan
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magnetic
thin film
track width
gap
metal
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JP15953692A
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Inventor
Takashi Sato
敬 佐藤
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Sony Corp
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Sony Corp
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Publication of JPH064821A publication Critical patent/JPH064821A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To improve the output characteristic at the time of reproduction by chamfering magnetic metallic thin films to a straight shape at both ends of a magnetic gap, thereby regulating a track width. CONSTITUTION:A front gap is formed across front surfaces 1b, 2b of respective auxiliary core parts 1, 2 and a back gap is formed from the rear end face of a winding groove to the back side, i.e., the rear surfaces 1c, 2c of the respective auxiliary core parts 1, 2. Track width regulating grooves 6, 7 are so bored that the magnetic gap is regulated to the prescribed track width Tw on both surfaces of the butt surfaces 1a. These regulating grooves 6, 7 are so formed to a nearly arc shape in section from the front surfaces 1b, 2b of the core parts 1, 2 to the rear surfaces 1c, 2c. Both ends of the butt surfaces of the magnetic metallic thin films 3, 4 are chamfered to the straight shape by regulating the width Tw of the track of the magnetic gap and are formed to a nearly V shape in section. Consequently, the leakage of the magnetic fluxes in parts exclusive of the butt surfaces is suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ビデオテープレコーダ
(VTR)等の磁気記録再生装置に搭載される磁気ヘッ
ドに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head mounted on a magnetic recording / reproducing apparatus such as a video tape recorder (VTR).

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、ビデオテープレコーダ(以下、
VTR)等の磁気記録再生装置においては、高画質等の
目的として情報信号の短波長記録化が進められている。
これに伴って情報信号を磁気的信号として記録する媒
体、すなわち磁気テープ等の磁気記録媒体の分野におい
ては、磁性粉末に強磁性金属粉末を用いた、いわゆるメ
タルテープや、ベースフィルム上に強磁性金属粉末を直
接被着した、いわゆる蒸着テープ等の高抗磁力を有する
磁気記録媒体が使用されるようになってきている。
2. Description of the Related Art For example, a video tape recorder (hereinafter referred to as
In a magnetic recording / reproducing apparatus such as a VTR), a short wavelength recording of an information signal has been promoted for the purpose of high image quality and the like.
Accordingly, in the field of media for recording information signals as magnetic signals, that is, in the field of magnetic recording media such as magnetic tapes, so-called metal tapes using ferromagnetic metal powders as magnetic powders or ferromagnetic films on base films are used. A magnetic recording medium having a high coercive force such as a so-called vapor-deposited tape directly coated with a metal powder has been used.

【0003】一方、磁気ヘッドの分野においてもこれに
対処するべく研究が進められており、例えば図7に示す
ように、磁性材料よりなる磁気コア半体11、12に高
飽和磁束密度を有する金属磁性薄膜13、14を配し、
これら金属磁性薄膜13、14同士の突合わせ部分を磁
気ギャップgとした、いわゆるメタル・イン・ギャップ
型の磁気ヘッドが開発され、前述した高抗磁力磁気記録
媒体に好適な磁気ヘッドとして、VTR等の磁気記録再
生装置に実用化されている。
On the other hand, research has also been conducted in the field of magnetic heads to cope with this problem. For example, as shown in FIG. 7, magnetic core halves 11 and 12 made of a magnetic material have a high saturation magnetic flux density. Magnetic thin films 13 and 14 are arranged,
A so-called metal-in-gap type magnetic head has been developed in which the abutting portion of the metal magnetic thin films 13 and 14 is a magnetic gap g. As a magnetic head suitable for the above-mentioned high coercive force magnetic recording medium, a VTR or the like is used. Has been put to practical use in the magnetic recording / reproducing apparatus.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気コア半
体に金属磁性薄膜を成膜する方法として、従来より真空
蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、
クラスター・イオンビーム法等に代表される真空薄膜形
成技術を適用した成膜方法が知られている。ところが、
これら成膜方法を適用して作製された磁気ヘッドにおい
ては、情報信号の記録/再生に際して、磁気ギャップg
のトラック幅Twに対してこれより広幅に磁気ギャップ
gを作動させてしまい、短波長記録化を進める上で重要
な問題となっている。
By the way, as a method of forming a metal magnetic thin film on a magnetic core half body, conventionally, a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method,
A film forming method using a vacuum thin film forming technique typified by a cluster ion beam method is known. However,
In the magnetic head manufactured by applying these film forming methods, when recording / reproducing an information signal, the magnetic gap g
The magnetic gap g is actuated wider than the track width Tw, which is an important problem in promoting shorter wavelength recording.

【0005】つまり、前述の成膜方法にて金属磁性薄膜
を成膜すると、磁気コア半体に適用された磁性材料(以
下、コア材料と略する。)に対する金属磁性薄膜用の磁
性材料(以下、薄膜材料と略する。)の被覆特性上、例
えば前記図7に示すように、金属磁性薄膜13、14の
突き合わせ面13a、14aの両端、いわゆるトラック
エッジが丸みを帯びて、すなわち前記突き合わせ面13
a、14aからトラック幅規制溝15、16にかけて略
円弧形状を呈して湾曲に形成される。この結果、前記突
き合わせ面13a、14a間のみならず、前述の丸みを
帯びたトラックエッジからも磁束が漏洩し(いわゆる、
フリンジング現象。)、すなわち磁気ギャップgの所定
トラック幅Twより広幅に磁束が漏洩し、消去作用が生
じてしまうというものである。
That is, when the metal magnetic thin film is formed by the above-described film forming method, the magnetic material for the metal magnetic thin film (hereinafter, referred to as the core material) applied to the magnetic core half body (hereinafter, referred to as the core material) , Abbreviated as thin film material), for example, as shown in FIG. 7, both ends of the abutting surfaces 13a and 14a of the metal magnetic thin films 13 and 14, so-called track edges are rounded, that is, the abutting surfaces. Thirteen
The portions a, 14a and the track width regulating grooves 15, 16 are formed in a curved shape having a substantially arc shape. As a result, the magnetic flux leaks not only between the abutting surfaces 13a and 14a but also from the rounded track edge (so-called,
Fringing phenomenon. ), That is, the magnetic flux leaks wider than the predetermined track width Tw of the magnetic gap g, and the erasing action occurs.

【0006】一般に民生用ビデオテープレコーダ(以
下、VTRと略する。)等の磁気記録再生装置等におい
ては、高密度記録を達成するために、いわゆるアジマス
記録と称される記録方式を採用するものが増えている。
これは、磁気ヘッドが磁気コア半体の側面に対して角度
θ(いわゆる、アジマス角θである。)を持った磁気ギ
ャップgを有して形成され、これにより例えば図8に示
す如く情報信号を磁気テープ等の磁気記録媒体17の走
行方向に対して傾斜して記録する、すなわち多大な情報
を1トラックに記録するべく長尺なトラック幅を有して
記録するものである。ここで、異なるアジマス角θを持
った2つの磁気ヘッドが搭載されると、このアジマス角
θにより情報を記録した磁気記録媒体表面、すなわち磁
性層に磁気異方性を生じ、いわゆるガードバンドを不要
(すなわち隣接するトラックA、B同士のクロストーク
等を防止できる。)として、さらに高密度記録を達成す
ることができる。
Generally, in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a consumer video tape recorder (hereinafter abbreviated as VTR), a recording system called so-called azimuth recording is adopted in order to achieve high density recording. Is increasing.
This is formed by the magnetic head having a magnetic gap g having an angle .theta. (So-called azimuth angle .theta.) With respect to the side surface of the magnetic core half body, whereby an information signal as shown in FIG. Is recorded with an inclination with respect to the traveling direction of the magnetic recording medium 17 such as a magnetic tape, that is, with a long track width for recording a large amount of information on one track. Here, when two magnetic heads having different azimuth angles θ are mounted, magnetic anisotropy is generated on the surface of the magnetic recording medium on which information is recorded, that is, the magnetic layer due to the azimuth angles θ, and a so-called guard band is unnecessary. (In other words, crosstalk between adjacent tracks A and B can be prevented.) As a result, higher density recording can be achieved.

【0007】ところが、このアジマス記録方式を採用す
る磁気記録再生装置に前述の磁気ヘッドが搭載され、情
報の記録/再生等に際して磁気記録媒体上を走行する
と、磁気ギャップgの所定トラック幅Twより広幅に磁
気ギャップgが作動してしまい、すなわち前記図7及び
前記図8A部に示す如く所定のトラック幅Twに対して
幅広のトラック幅Tw1 にて情報信号が記録され、さら
に、前述のトラック幅Tw1 より幅広に消去作用を生じ
てしまい、この結果、先に記録した情報、すなわちトラ
ックB領域の一部を消去してしまうことになる。このた
め、記録トラックBの再生に際してその出力特性が低下
してしまうことはいうまでもない。
However, when the above-mentioned magnetic head is mounted on the magnetic recording / reproducing apparatus adopting the azimuth recording method and the recording medium is recorded / reproduced on the magnetic recording medium, the magnetic head is wider than the predetermined track width Tw of the magnetic gap g. The magnetic gap g is actuated, that is, the information signal is recorded with the track width Tw 1 wider than the predetermined track width Tw as shown in FIGS. 7 and 8A. The erasing action is generated wider than Tw 1, and as a result, the previously recorded information, that is, a part of the track B area is erased. Therefore, it goes without saying that the output characteristic of the recording track B is deteriorated during reproduction.

【0008】また、当該磁気ヘッドの製造工程(又は検
査工程)においては、例えば光学顕微鏡、画像処理装置
等を利用して光学的/人為的に磁気ギャップgのトラッ
ク幅Twの寸法測定を実施している。しかし、前述した
如く金属磁性薄膜の突合わせ面の両端が円弧形状をなし
ているために、その寸法測定に測定誤差を生じさせてし
まい、正確な/所定のトラック幅Twを有した磁気ヘッ
ドを作製することも困難であり、また、前述の、所定ト
ラック幅Twに対して広幅にトラック幅Tw1が作動す
るという、いわゆるフリンジング現象の解消にも到底至
っていない。
Further, in the manufacturing process (or inspection process) of the magnetic head, the dimension of the track width Tw of the magnetic gap g is optically / artificially measured by using, for example, an optical microscope, an image processing device or the like. ing. However, as described above, since both ends of the abutting surface of the metal magnetic thin film have an arc shape, a measurement error occurs in the dimension measurement, and a magnetic head having an accurate / predetermined track width Tw is obtained. It is also difficult to manufacture, and the so-called fringing phenomenon in which the track width Tw 1 operates wider than the predetermined track width Tw has not been solved yet.

【0009】このように、従来のメタル・イン・ギャッ
プ型の磁気ヘッドにおいては、金属磁性薄膜の突き合わ
せ面の両端、いわゆるトラックエッジが湾曲/円弧形状
を呈して形成されることに伴って、情報信号の記録に際
しては既に情報を記録したトラックに対する消去作用を
高じ、並びに情報信号の再生に際しては出力特性を減じ
せしめてしまい、その改善が待たれていた。
As described above, in the conventional metal-in-gap type magnetic head, both ends of the abutting surface of the metal magnetic thin film, so-called track edges, are formed in a curved / arcuate shape. When recording a signal, the erasing action on a track on which information has already been recorded is enhanced, and when reproducing an information signal, the output characteristic is reduced, and improvement thereof has been awaited.

【0010】そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、磁気ギャップgのトラック幅
Twを規制し、すなわち記録時の隣接トラックに対する
消去作用を減じせしめ再生時の出力特性の向上が望める
磁気ヘッドを提供することを目的とする。
Therefore, the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and regulates the track width Tw of the magnetic gap g, that is, reduces the erasing action on an adjacent track at the time of recording, and the output characteristics at the time of reproduction. It is an object of the present invention to provide a magnetic head that can be improved.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上述の目
的を達成せんものと鋭意研究の結果、バイアススパッタ
法を適用して磁性材料等よりなる基板、すなわち磁気コ
ア半体の突き合わせ面に金属磁性薄膜を成膜すれば、該
金属磁性薄膜の突合わせ面の両端が直線状に面取りされ
て形成され、所定のトラック幅Twが確保されるとの知
見を得た。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have made earnest studies as to achieve the above-mentioned object, and as a result, applied a bias sputtering method to a substrate made of a magnetic material or the like, that is, an abutting surface of a magnetic core half body. It has been found that when a metal magnetic thin film is formed on the metal magnetic thin film, both ends of the abutting surface of the metal magnetic thin film are chamfered linearly to secure a predetermined track width Tw.

【0012】本発明は、このような知見に基づいて完成
されたものであり、少なくとも一方の磁気コア半体の突
合わせ部に金属磁性薄膜が配され、これら磁気コア半体
同士を突き合わせることで閉磁路が構成されるとともに
前記金属磁性薄膜の突合わせ面に磁気ギャップが構成さ
れてなる磁気ヘッドにおいて、前記金属磁性薄膜が磁気
ギャップの両端部において直線状に面取りされ、トラッ
ク幅が規制されていることを特徴とするものである。
The present invention has been completed on the basis of such knowledge, and a metal magnetic thin film is arranged at the abutting portion of at least one magnetic core half body, and these magnetic core half bodies are butted to each other. In a magnetic head having a closed magnetic circuit and a magnetic gap formed on the abutting surface of the metal magnetic thin film, the metal magnetic thin film is chamfered linearly at both ends of the magnetic gap to regulate the track width. It is characterized by that.

【0013】また、本発明の製造方法は、トラック幅規
制溝が形成された基板上に金属磁性薄膜を形成してなる
磁気コア半体を他の磁気コア半体とギャップ材を介して
接合一体化する磁気ヘッドの製造方法において、前記金
属磁性薄膜をバイアススパッタ法により成膜することを
特徴とするものである。
Further, in the manufacturing method of the present invention, the magnetic core half body formed by forming the metal magnetic thin film on the substrate on which the track width regulating groove is formed is integrally joined with another magnetic core half body through the gap material. In the method of manufacturing a magnetic head, the metal magnetic thin film is formed by a bias sputtering method.

【0014】[0014]

【作用】本発明においては、金属磁性薄膜の突合わせ面
の両端が直線状に面取りされ、すなわち断面略V字形状
を呈して形成されるため、所定のトラック幅Twにて情
報信号を記録でき、記録に際する隣接トラックへの消磁
/消去作用を減じせしめ、再生に際する出力低下を防止
することができる。
In the present invention, both ends of the abutting surface of the metal magnetic thin film are chamfered linearly, that is, formed to have a substantially V-shaped cross section, so that an information signal can be recorded with a predetermined track width Tw. It is possible to reduce the degaussing / erasing action on the adjacent tracks during recording, and prevent the output from decreasing during reproduction.

【0015】また、本発明の製造方法においては、バイ
アススパッタ法を適用しているため、所定のトラック幅
Twを有した金属磁性薄膜を精度良く成膜でき、また、
当該磁気ヘッドの製造工程(又は検査工程)に際してト
ラック幅Twを容易に寸法測定/検査することができ、
作業(検査)能率を向上することができる。
Further, since the bias sputtering method is applied in the manufacturing method of the present invention, a metal magnetic thin film having a predetermined track width Tw can be formed with high precision, and
In the manufacturing process (or inspection process) of the magnetic head, the track width Tw can be easily measured / inspected,
Work (inspection) efficiency can be improved.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。本実施例の磁
気ヘッドは、図1乃至図2に示す如く補助コア部1、2
と金属磁性薄膜3、4よりなる一対の磁気コア半体I、
IIが前記金属磁性薄膜3、4同士を突合わせて接合一
体化されて閉磁路が構成されたものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail below with reference to the drawings. The magnetic head of this embodiment has auxiliary core portions 1 and 2 as shown in FIGS.
And a pair of magnetic core halves I composed of the metal magnetic thin films 3 and 4,
Reference numeral II is a closed magnetic circuit formed by abutting and integrating the metal magnetic thin films 3 and 4 with each other.

【0017】前記図1に示す如く補助コア部1、2は、
例えばMn−Zn系フェライトやNi−Zn系フェライ
ト等の酸化物磁性材料等より形成され、略矩形状の平板
状に形成されている。一方の補助コア部1の突合わせ面
1aには、当該磁気ヘッドに信号を供給したり或いは磁
気ヘッドより信号を取り出すための巻線を巻装する断面
略台形状の巻線溝5が、後述する磁気ギャップg(フロ
ントギャップ)のデプス長さDpを規制して穿設されて
いる。この結果、前記突合わせ面1aには、前記巻線溝
5の上端面からフロント側、すなわち各補助コア部1、
2の上面1b、2bに亘ってフロントギャップ、前記巻
線溝5の下端面からバック側、すなわち各補助コア部
1、2の下面1c、2cにかけてバックギャップが形成
される。
As shown in FIG. 1, the auxiliary core portions 1 and 2 are
For example, it is formed of an oxide magnetic material such as Mn-Zn ferrite or Ni-Zn ferrite and is formed in a substantially rectangular flat plate shape. A winding groove 5 having a substantially trapezoidal cross section, on which a winding for supplying a signal to the magnetic head or for extracting a signal from the magnetic head is wound, is formed on the abutting surface 1a of one auxiliary core portion 1, which will be described later. The magnetic gap g (front gap) is formed by limiting the depth length Dp. As a result, on the abutting surface 1a, from the upper end surface of the winding groove 5 to the front side, that is, each auxiliary core portion 1,
A front gap is formed over the upper surfaces 1b and 2b of the second winding 2, and a back gap is formed from the lower end surface of the winding groove 5 to the back side, that is, the lower surfaces 1c and 2c of the auxiliary core portions 1 and 2.

【0018】また、前記突合わせ面1aの両側には、後
述する磁気ギャップgを所定のトラック幅Twに規制す
るよう、後述する金属磁性薄膜の厚さ等を考慮してトラ
ック幅規制溝6、7が穿設されている。これらトラック
幅規制溝6、7はフロント側よりバック側に亘って、す
なわち各補助コア部1、2の上面1b、2bから下面1
c、2cにかけて断面略円弧状に形成されている。勿
論、トラック幅規制溝6、7の形状は前述した形状、す
なわち断面略円弧形状に限られず、当該磁気ヘッドの必
要特性に応じて断面略V字状等とされていてもよい。
Further, on both sides of the abutting surface 1a, a track width regulating groove 6 is formed in consideration of the thickness of a metal magnetic thin film which will be described later so as to regulate a magnetic gap g which will be described later to a predetermined track width Tw. 7 is drilled. These track width regulating grooves 6, 7 extend from the front side to the back side, that is, from the upper surfaces 1b, 2b to the lower surface 1 of each auxiliary core portion 1, 2.
It is formed to have a substantially arcuate cross section from c to 2c. Of course, the shape of the track width regulating grooves 6 and 7 is not limited to the above-mentioned shape, that is, a substantially arcuate cross section, and may be a substantially V-shaped cross section or the like depending on the required characteristics of the magnetic head.

【0019】そして、前述した巻線溝5及びトラック幅
規制溝6、7を含む突合わせ面1a、2a全面に亘っ
て、高飽和磁束密度を有し且つ軟磁気特性に優れた金属
磁性薄膜3、4がバイアススパッタ法によって被着形成
されている。この金属磁性薄膜3、4には、Fe−Al
−Si系合金、Fe−Si系合金、Fe−Ni系合金、
Fe−Ga−Si−Ru系合金、Co−Nb−Nd系合
金、Co−Nb−Ta系合金等、従来より公知とされて
いる磁性材料を使用してかまわない。
The metal magnetic thin film 3 having a high saturation magnetic flux density and an excellent soft magnetic characteristic is formed over the entire butting surfaces 1a, 2a including the winding groove 5 and the track width regulating grooves 6, 7 described above. 4 are deposited by the bias sputtering method. The metal magnetic thin films 3 and 4 are made of Fe-Al.
-Si alloy, Fe-Si alloy, Fe-Ni alloy,
A conventionally known magnetic material such as an Fe-Ga-Si-Ru-based alloy, a Co-Nb-Nd-based alloy, or a Co-Nb-Ta-based alloy may be used.

【0020】これにより、磁気コア半体I、IIが形成
される。
As a result, the magnetic core halves I and II are formed.

【0021】そして、特に本実施例においては、前述の
金属磁性薄膜3、4の突合わせ面3a、4aの両端が磁
気ギャップgのトラック幅Twを規制して直線状に面取
りされ、断面略V字状に形成されている。この結果、前
記突合わせ面3a、4a間以外での磁束の漏洩、いわゆ
るフリンジング現象が抑制され、従来の磁気ヘッドの如
く磁気ギャップgの所定トラック幅Twに対して広幅
に、すなわち磁気記録媒体に対して所定のトラック幅T
w以上に記録/消去等を行うトラック幅Tw1 を有して
磁気ギャップgが作動することが解消される。したがっ
て、情報信号の記録に際して隣接トラックへの消磁作
用、並びに情報信号の再生に際しての出力低下等を低減
できることはいうまでもない。
In particular, in this embodiment, both ends of the abutting surfaces 3a, 4a of the metal magnetic thin films 3, 4 described above are chamfered linearly by restricting the track width Tw of the magnetic gap g, and the cross section is approximately V. It is formed in a letter shape. As a result, leakage of magnetic flux other than between the abutting surfaces 3a and 4a, so-called fringing phenomenon is suppressed, and the magnetic gap g is wider than the predetermined track width Tw of the magnetic gap g, that is, the magnetic recording medium as in the conventional magnetic head. For a predetermined track width T
It is possible to eliminate the operation of the magnetic gap g with the track width Tw 1 for performing recording / erasing or the like greater than w. Therefore, it goes without saying that it is possible to reduce the degaussing action on the adjacent track when recording the information signal, and the reduction in output when reproducing the information signal.

【0022】そして、これら磁気コア半体I、IIが、
SiO2 等のアモルファス合金等の非磁性材料よりなる
ギャップ膜(図示を省略する。)を介して前述の金属磁
性薄膜3、4同士を突合わせることにより、金属磁性薄
膜3、4の突き合わせ面3a、4a間に磁気ギャップg
が形成されて、当該磁気ヘッドが構成されている。な
お、磁気記録媒体に対する当たりを確保するべくトラッ
ク幅規制溝6、7内には、前述したアモルファス合金等
の非磁性材料が充填されている。さらに、当該磁気ヘッ
ドと磁気記録媒体との当たり特性、摺動特性等を確保す
るために、各補助コア部1、2のフロント側、すなわち
磁気記録媒体と対向する磁気記録媒体摺接面1b、2b
は、前記金属磁性薄膜3、4の一端面を露出するまで円
弧状に研磨されている。
Then, these magnetic core halves I and II are
The metal magnetic thin films 3 and 4 are butted against each other through a gap film (not shown) made of a non-magnetic material such as an amorphous alloy such as SiO 2 so that the abutting surface 3a of the metal magnetic thin films 3 and 4 is abutted. Magnetic gap g between 4a
Are formed to constitute the magnetic head. The track width regulating grooves 6 and 7 are filled with a non-magnetic material such as the above-mentioned amorphous alloy in order to secure the contact with the magnetic recording medium. Further, in order to secure the contact characteristics, the sliding characteristics, etc. between the magnetic head and the magnetic recording medium, the magnetic recording medium sliding contact surface 1b facing the front side of each auxiliary core portion 1, 2, that is, the magnetic recording medium, 2b
Is polished in an arc shape until one end surfaces of the metal magnetic thin films 3 and 4 are exposed.

【0023】ところで、前述の磁気ヘッドを作製するに
は、以下のようにして行う。本実施例の磁気ヘッドを作
製するにあたり、まず、図3に示す如く酸化物磁性材料
よりなる平面矩形状の長方体のコアブロック1dを準備
する。そして、前記コアブロック1dの一主面1a、す
なわちコアブロック同士の突き合わせ時の接合面1a
に、例えば回転砥石等による機械的手段にて、図4に示
すような断面略円弧状のトラック幅規制溝6をその接合
面1a全幅に亘って形成する。さらに、コアブロック1
dには図4に示すような前記トラック幅規制溝6に略直
交するように巻線を巻装するための巻線溝5を、やはり
回転砥石等によって形成する。
By the way, the above-mentioned magnetic head is manufactured as follows. In manufacturing the magnetic head of the present embodiment, first, as shown in FIG. 3, a rectangular rectangular planar core block 1d made of an oxide magnetic material is prepared. The main surface 1a of the core block 1d, that is, the joint surface 1a when the core blocks are abutted to each other
Further, the track width regulating groove 6 having a substantially arcuate cross section as shown in FIG. 4 is formed over the entire width of the joint surface 1a by a mechanical means such as a rotary grindstone. Furthermore, core block 1
In d, a winding groove 5 for winding a winding is formed by a rotary grindstone or the like so as to be substantially orthogonal to the track width regulating groove 6 as shown in FIG.

【0024】次に、前述のトラック幅規制溝6間の平坦
な面、すなわち磁気ギャップg形成面1aに、鏡面加工
を施す。このとき、前記磁気ギャップ形成面1aに対し
て後述する金属磁性薄膜の厚さ等を考慮した所定所定寸
法に精度を出すことはいうまでもない。また、例えばト
ラック幅規制溝6形成面6aと磁気ギャップg形成面1
aとの成す稜線にできたバリ除去をも重ねて行う。
Next, the flat surface between the track width regulating grooves 6, that is, the magnetic gap g forming surface 1a is mirror-finished. At this time, it goes without saying that the magnetic gap forming surface 1a is provided with a predetermined predetermined dimension in consideration of the thickness of the metal magnetic thin film described later and the like. Further, for example, the track width regulation groove 6 forming surface 6a and the magnetic gap g forming surface 1
The burr formed on the ridgeline formed by a is also removed.

【0025】そして、図5に示す如く前述の各溝を含ん
でコアブロック1dの一主面1a全面に亘って金属磁性
薄膜3を被着形成する。ここで、金属磁性薄膜3が所定
のトラック幅Twを規制するよう、すなわち所定のトラ
ック幅Twを規制して突き合わせ面3aの両端が直線状
に面取りされるよう、バイアススパッタ法を適用して成
膜する。
Then, as shown in FIG. 5, a metal magnetic thin film 3 is deposited over the entire one main surface 1a of the core block 1d including the above-mentioned grooves. Here, the bias sputtering method is applied so that the metal magnetic thin film 3 regulates a predetermined track width Tw, that is, the predetermined track width Tw is regulated so that both ends of the abutting surface 3a are chamfered linearly. To film.

【0026】このバイアススパッタ法は、例えば基板に
負のバイアス電圧を印加し、すなわち基板表面に負電位
を集中させ、薄膜が成膜される速度VM と薄膜が除去さ
れる(いわゆる平坦化される)速度VE のバランスを制
御することによって平坦な薄膜を形成する、というもの
である。したがって、このバイアススパッタ法を適用し
てコアブロック1dの一主面1aに対して前述の金属磁
性薄膜3を成膜すれば、コアブロック1dに負のバイア
ス電圧を印加することによって、コアブロック1dの一
主面1a、すなわち磁気ギャップ形成面1aとトラック
幅規制溝6形成面6aとが交錯する稜角に負電位が集中
し、これによって、前記図2に示す如く磁気ギャップ形
成面1a上では、金属磁性薄膜3が除去される速度VE
に対して金属磁性薄膜3が成膜される速度VM が大きい
ため(VE <VM )、平坦な金属磁性薄膜3が成膜さ
れ、また、前述の負電位が集中する磁気ギャップ形成面
1aとトラック幅規制溝6形成面6aとが交錯する稜角
においては、同様に金属磁性薄膜3が除去される速度V
E に対して金属磁性薄膜3が成膜される速度VM が大き
い(VE <VM )ものの、その差は前者に比べて小さい
ことから、金属磁性薄膜3がその磁気ギャップ形成面1
aの側縁を直線状として、すなわち前記側縁が直線状に
面取りされて形成される。
In this bias sputtering method, for example, a negative bias voltage is applied to the substrate, that is, a negative potential is concentrated on the substrate surface, and the thin film is formed at a speed V M and the thin film is removed (so-called flattening). That is, a flat thin film is formed by controlling the balance of the velocity V E. Therefore, if the above-mentioned metal magnetic thin film 3 is formed on one main surface 1a of the core block 1d by applying this bias sputtering method, by applying a negative bias voltage to the core block 1d, the core block 1d can be formed. The negative potential is concentrated on the one main surface 1a, that is, the ridge angle at which the magnetic gap forming surface 1a and the track width regulation groove 6 forming surface 6a intersect, and as a result, on the magnetic gap forming surface 1a as shown in FIG. Speed V E at which the metal magnetic thin film 3 is removed
On the other hand, since the speed V M at which the metal magnetic thin film 3 is formed is high (V E <V M ), the flat metal magnetic thin film 3 is formed and the magnetic gap forming surface on which the negative potential is concentrated is formed. At the ridge angle at which 1a intersects with the track width regulation groove 6 forming surface 6a, the speed V at which the metal magnetic thin film 3 is similarly removed
Although the speed V M at which the metal magnetic thin film 3 is formed with respect to E is high (V E <V M ), the difference is smaller than that of the former, so that the metal magnetic thin film 3 has the magnetic gap forming surface 1.
The side edge of a is formed in a linear shape, that is, the side edge is chamfered in a linear shape.

【0027】なお、このとき、コアブロック1dにかけ
る負のバイアス電圧は電源装置の電圧容量等によって異
なり、例えば1kwの電力容量を持つ電源装置を使用し
た場合には、例えば許容量内の電力700wを使用し、
コアブロック1dには250V程度の負バイアス電圧を
かけるものとする。勿論、電力容量の大きな電源装置を
使用すればより高い負バイアス電圧が印加できることは
いうまでもなく、これによってさらに金属磁性薄膜3の
突き合わせ面3a側縁の平坦化効果、すなわちトラック
幅Twの精度を高めることが期待できる。
At this time, the negative bias voltage applied to the core block 1d varies depending on the voltage capacity of the power supply device and the like. When a power supply device having a power capacity of 1 kw is used, for example, an electric power of 700 w within an allowable amount is used. Use
A negative bias voltage of about 250V is applied to the core block 1d. Of course, it is needless to say that a higher negative bias voltage can be applied by using a power supply device having a large power capacity, which further flattens the side edge of the metal magnetic thin film 3 on the abutting surface 3a, that is, the accuracy of the track width Tw. Can be expected to increase.

【0028】なお、金属磁性薄膜3の材料としては、高
い飽和磁束密度を有し且つ軟磁気特性に優れた強磁性材
料が使用されるが、かかる強磁性材料としては従来から
公知のものがいずれも使用でき、例示するならば、Fe
−Al−Si系合金、Fe−Si系合金、Fe−Ni系
合金、Fe−Ga−Si−Ru系合金、Co−Nb−N
d系合金、Co−Nb−Ta系合金等が挙げられる。
As the material of the metal magnetic thin film 3, a ferromagnetic material having a high saturation magnetic flux density and an excellent soft magnetic property is used. Can also be used, and if exemplified, Fe
-Al-Si type alloy, Fe-Si type alloy, Fe-Ni type alloy, Fe-Ga-Si-Ru type alloy, Co-Nb-N
Examples include d-based alloys and Co-Nb-Ta-based alloys.

【0029】以上、説明した作業を繰り返してコアブロ
ック2d作成する。このとき、該コアブロック2dには
巻線溝に相当する溝部は形成しなくともよい。
The operations described above are repeated to create the core block 2d. At this time, it is not necessary to form a groove portion corresponding to the winding groove in the core block 2d.

【0030】そして、図6に示す如く前述の金属磁性薄
膜3、4を接合面としてこれらコアブロック1d、2d
同士、すなわち、磁気ギャップg形成面1a、2a同士
を対向させてトラック幅Twを合わせる。この結果、前
記フェライトブロック1d、2d対が接合一体化され
る。そして、磁気記録媒体摺接面に相当するフェライト
ブロック1d、2dの前面1c、2cに対して円筒研磨
を施し、最後に、前記図6中破線で示す切断位置でスラ
イシングし、本実施例の磁気ヘッドを完成する。
As shown in FIG. 6, the core blocks 1d and 2d are formed by using the metal magnetic thin films 3 and 4 as joint surfaces.
The track widths Tw are matched with each other, that is, with the magnetic gap g forming surfaces 1a and 2a facing each other. As a result, the ferrite blocks 1d and 2d are joined and integrated. Then, the front surfaces 1c, 2c of the ferrite blocks 1d, 2d corresponding to the sliding surfaces of the magnetic recording medium are cylindrically polished, and finally, slicing is performed at the cutting position shown by the broken line in FIG. Complete the head.

【0031】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明の思想を逸脱しない範囲で種々変更可能であ
る。
Although one embodiment of the present invention has been described above, various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明によれば、少なくとも一方の磁気コア半体の突合わせ
部に金属磁性薄膜が配され、これら磁気コア半体同士を
突き合わせることで閉磁路が構成されるとともに前記金
属磁性薄膜の突合わせ面に磁気ギャップが構成されてな
る磁気ヘッドにおいて、前記金属磁性薄膜が磁気ギャッ
プの両端部において直線状に面取りされることによっ
て、所定のトラック幅Twに規制され、したがって、磁
気ギャップgのフリンジング現象を解消することがで
き、情報信号記録時における隣接トラックへの消磁作
用、並びに情報信号再生時における出力低下等を低減で
きる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, the metal magnetic thin film is arranged at the abutting portion of at least one magnetic core half body, and these magnetic core half bodies are abutted with each other. In a magnetic head in which a closed magnetic path is formed by and a magnetic gap is formed on the abutting surface of the metal magnetic thin film, the metal magnetic thin film is chamfered linearly at both ends of the magnetic gap, The fringing phenomenon of the magnetic gap g can be eliminated by being restricted by the track width Tw, and the degaussing action on the adjacent track at the time of recording the information signal and the reduction of the output at the time of reproducing the information signal can be reduced.

【0033】また、本発明の製造方法によれば、トラッ
ク幅規制溝が形成された基板上に金属磁性薄膜を形成し
てなる磁気コア半体を他の磁気コア半体とギャップ材を
介して接合一体化する磁気ヘッドの製造方法において、
前記金属磁性薄膜をバイアススパッタ法により成膜する
ので、前記金属磁性薄膜が所定のトラック幅Twを規制
して精度よく形成されるため、前述の疑似ギャップ作用
を解消することができるだけでなく、製造工程又は検査
工程におけるトラック幅Twの寸法測定/検査を容易な
らしめ、作業/検査能率を向上できる。
Further, according to the manufacturing method of the present invention, the magnetic core half body formed by forming the metal magnetic thin film on the substrate in which the track width regulating groove is formed is passed through another magnetic core half body and the gap member. In a method of manufacturing a magnetic head that is integrally bonded,
Since the metal magnetic thin film is formed by the bias sputtering method, the metal magnetic thin film is formed with high accuracy by controlling the predetermined track width Tw, so that the above-mentioned pseudo-gap effect can be eliminated and the manufacturing process can be improved. The dimension measurement / inspection of the track width Tw in the process or the inspection process can be facilitated, and the work / inspection efficiency can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例の概略構成
を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an embodiment of a magnetic head according to the present invention.

【図2】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例の要部平面
図である。
FIG. 2 is a plan view of an essential part of an embodiment of a magnetic head according to the present invention.

【図3】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の一例を工
程順に示すものであり、コアブロックを示す概略斜視図
である。
FIG. 3 is a schematic perspective view showing a core block, showing an example of a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention in the order of steps.

【図4】コアブロックの一主面に対してトラック幅規制
溝及び巻線溝を形成する工程を示す概略斜視図である。
FIG. 4 is a schematic perspective view showing a step of forming a track width regulating groove and a winding groove on one main surface of the core block.

【図5】コアブロックの一主面に対して金属磁性薄膜を
被着形成する工程を示す概略斜視図である。
FIG. 5 is a schematic perspective view showing a step of depositing and forming a metal magnetic thin film on one main surface of a core block.

【図6】一対のコアブロック同士を接合一体化する工程
を示す概略斜視図である。
FIG. 6 is a schematic perspective view showing a step of joining and integrating a pair of core blocks.

【図7】従来の磁気ヘッドの要部平面図である。FIG. 7 is a plan view of a main part of a conventional magnetic head.

【図8】従来の磁気ヘッドを磁気記録媒体に対してアク
セスさせた状態を示す模式図である。
FIG. 8 is a schematic diagram showing a state in which a conventional magnetic head has accessed a magnetic recording medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

I、II ・・・・・ 磁気コア半体 1、2 ・・・・・ 補助コア部 3、4 ・・・・・ 金属磁性薄膜 5 ・・・・・ 巻線溝 6、7 ・・・・・ トラック幅規制溝 I, II ・ ・ ・ Magnetic core half body 1, 2 ・ ・ ・ Auxiliary core portion 3, 4 ・ ・ ・ Metal magnetic thin film 5 ・ ・ ・ Winding groove 6, 7・ Track width control groove

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも一方の磁気コア半体の突合わ
せ部に金属磁性薄膜が配され、これら磁気コア半体同士
を突き合わせることで閉磁路が構成されるとともに前記
金属磁性薄膜の突合わせ面に磁気ギャップが構成されて
なる磁気ヘッドにおいて、 前記金属磁性薄膜が磁気ギャップの両端部において直線
状に面取りされ、トラック幅が規制されていることを特
徴とする磁気ヘッド。
1. A magnetic metal thin film is arranged at the abutting portion of at least one magnetic core half, and a closed magnetic path is formed by abutting these magnetic core halves, and the abutting surface of the metallic magnetic thin film is formed. 2. A magnetic head having a magnetic gap formed in, wherein the metal magnetic thin film is chamfered linearly at both ends of the magnetic gap, and the track width is regulated.
【請求項2】 トラック幅規制溝が形成された基板上に
金属磁性薄膜を形成してなる磁気コア半体を他の磁気コ
ア半体とギャップ材を介して接合一体化する磁気ヘッド
の製造方法において、 前記金属磁性薄膜をバイアススパッタ法により成膜する
ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
2. A method of manufacturing a magnetic head in which a magnetic core half body formed by forming a metal magnetic thin film on a substrate having a track width regulating groove is joined and integrated with another magnetic core half body via a gap material. 2. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the metal magnetic thin film is formed by a bias sputtering method.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5860647A (en) * 1994-06-02 1999-01-19 Ricoh Company, Ltd. Paper discharge device and storing unit for image forming apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5860647A (en) * 1994-06-02 1999-01-19 Ricoh Company, Ltd. Paper discharge device and storing unit for image forming apparatus

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