JPH10250014A - Manufacture of ceramic green sheet - Google Patents
Manufacture of ceramic green sheetInfo
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- JPH10250014A JPH10250014A JP5463297A JP5463297A JPH10250014A JP H10250014 A JPH10250014 A JP H10250014A JP 5463297 A JP5463297 A JP 5463297A JP 5463297 A JP5463297 A JP 5463297A JP H10250014 A JPH10250014 A JP H10250014A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックグリー
ンシートの製造方法に関し、さらに詳しくは均一な薄層
セラミックグリーンシートの製造方法に関する。The present invention relates to a method for producing a ceramic green sheet, and more particularly to a method for producing a uniform thin ceramic green sheet.
【0002】[0002]
【従来の技術】セラミックチップコンデンサーは電子機
器の小型化に伴い、近年その使用量の伸びに著しいもの
がある。特に、移動体通信機器などの小型化、低消費電
力化に伴った使用量の伸びはめざましい。2. Description of the Related Art In recent years, there has been a remarkable increase in the use of ceramic chip capacitors in accordance with miniaturization of electronic equipment. In particular, usage of mobile communication devices and the like has been remarkably increased due to miniaturization and low power consumption.
【0003】従来、セラミックチップコンデンサーは、
セラミック粉体、溶剤、バインダー及びその他の添加剤
(可塑剤、分散剤、帯電防止剤など)を適当な機械的分
散方法により均質に分散させたスラリーを流延キャスト
法によりキャリヤーシート上に塗布し、次いで乾燥して
セラミックグリーンシートを作成し、そのシート上に内
部電極を印刷し、所定の大きさに裁断したものを積層、
焼結し、外部電極を取り付けることにより製造してい
た。特に、セラミックグリーンシートの厚さの精度が、
最終的なチップコンデンサーの電気的性質に大きく影響
を与えるため、セラミックグリーンシートの製造段階に
おいて、スラリーの調製のみならずキャリヤーシートに
対しても、表面の異物、均一平面性、厚み均一性など高
精度の表面特性が要求されてきた。また、電子機器の小
型化に伴って、チップコンデンサー自体も小型化されて
きたため、1層のセラミックグリーンシートの厚みは数
μm程度まで薄層化する必要があり、従来よりもスラリ
ーの分散、塗布方式、キャリヤーシートに対して要求が
厳しくなってきた。Conventionally, ceramic chip capacitors have
A slurry in which ceramic powder, a solvent, a binder, and other additives (eg, a plasticizer, a dispersant, and an antistatic agent) are uniformly dispersed by an appropriate mechanical dispersion method is applied to a carrier sheet by a casting method. Then, drying is performed to form a ceramic green sheet, the internal electrodes are printed on the sheet, and those cut to a predetermined size are laminated,
It was manufactured by sintering and attaching external electrodes. In particular, the accuracy of the thickness of the ceramic green sheet,
Since this greatly affects the electrical properties of the final chip capacitor, not only the preparation of the slurry but also the carrier sheet requires high quality, such as surface foreign matter, uniform flatness, and thickness uniformity, at the ceramic green sheet manufacturing stage. Accurate surface properties have been required. In addition, with the miniaturization of electronic devices, chip capacitors themselves have also been miniaturized, so the thickness of a single ceramic green sheet must be reduced to about a few μm, and the dispersion and application of slurry is more difficult than in the past. Demands have become stricter on the method and carrier sheet.
【0004】しかし、どのように細かく製造条件を適正
化しても、例えば塗布工程において温度、湿度などの環
境条件や、溶剤の蒸発によりスラリーの流動特性が変化
し、均一で薄層のセラミックグリーンシートを長時間安
定して生産することは困難であり、生産の途中で何らか
の補正手段をとる必要があったり、もしくは製品の歩留
りが低下する問題があった。However, no matter how finely the manufacturing conditions are adjusted, the flow characteristics of the slurry change due to environmental conditions such as temperature and humidity in the coating process and the evaporation of the solvent, for example. It is difficult to stably produce a long time, and it is necessary to take some kind of correction means during the production, or there is a problem that the yield of the product is reduced.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、かか
る従来技術の欠点を改良し、均一なセラミックグリーン
シート薄膜を製造する製造方法を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to improve the disadvantages of the prior art and to provide a method for producing a uniform ceramic green sheet thin film.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、結晶配向が完
了する前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、
セラミック原料、バインダー及び溶剤からなるセラミッ
クスラリーを塗布し、乾燥、延伸処理することを特徴と
するセラミックグリーンシートの製造方法である。According to the present invention, at least one side of the polyester film before the crystal orientation is completed,
This is a method for producing a ceramic green sheet, which comprises applying a ceramic slurry comprising a ceramic raw material, a binder and a solvent, followed by drying and stretching.
【0007】本発明においてポリエステルフィルムを構
成するポリエステルとは、芳香族二塩基酸又はそのエス
テル形成性誘導体と、ジオール又はそのエステル形成性
誘導体とから合成される線状飽和ポリエステルである。
かかるポリエステルの具体例としては、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチ
レンテレフタレート、ポリ(1,4−シクロヘキシレン
ジメチレン)テレフタレート、ポリエチレン−2,6−
ナフタレートなどが挙げられ、これらの共重合体又はこ
れらと小割合の他の樹脂とのブレンドなども含まれる。
これらの中、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ン−2,6−ナフタレートが好ましい。In the present invention, the polyester constituting the polyester film is a linear saturated polyester synthesized from an aromatic dibasic acid or an ester-forming derivative thereof and a diol or an ester-forming derivative thereof.
Specific examples of such polyester include polyethylene terephthalate, polyethylene isophthalate, polybutylene terephthalate, poly (1,4-cyclohexylene dimethylene) terephthalate, and polyethylene-2,6-
Naphthalate and the like, and a copolymer of these or a blend thereof with a small proportion of another resin are also included.
Of these, polyethylene terephthalate and polyethylene-2,6-naphthalate are preferred.
【0008】本発明におけるセラミック原料としては、
既知資料に公開されている誘電体、例えばチタン酸バリ
ウム、Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3、Pb(Sm1/2,
Nb1/2)O3、Pb(Zn1/3,Nb2/3)O3、PbT
hO3、PbZrO3などが挙げられる(岡崎清著、セラ
ミック誘導体工学第4版、学献社)が、特にこれらに限
定されるものではなくセラミックチップコンデンサーに
必要な誘電特性が得られるものであればよい。[0008] As the ceramic raw material in the present invention,
Dielectrics disclosed in known materials, for example, barium titanate, Pb (Mg 1/3 , Nb 2/3 ) O 3 , Pb (Sm 1/2 ,
Nb 1/2 ) O 3 , Pb (Zn 1/3 , Nb 2/3 ) O 3 , PbT
hO 3 , PbZrO 3, etc. (by Kiyoshi Okazaki, Ceramic Derivatives Engineering 4th Edition, Gakudensha), but are not particularly limited thereto, as long as the dielectric properties required for a ceramic chip capacitor can be obtained. I just need.
【0009】本発明におけるバインダーとしては、ポリ
ウレタン系、ユリア樹脂系、メラミン樹脂系、水性高分
子−イソシアネート系、エポキシ樹脂系、酢酸ビニル樹
脂系、アクリル系等が挙げられるが、フィラーの固着力
が強くかつフィルムの延伸にも充分に追従できる特性が
求められる。かかる特性を満足するには、バインダーの
100%モジュラスが20kg/cm2以下かつ破断伸
びが500%以上であることが必要である。Examples of the binder in the present invention include polyurethane, urea resin, melamine resin, aqueous polymer-isocyanate, epoxy resin, vinyl acetate resin, and acrylic binders. Characteristics that are strong and can sufficiently follow the stretching of the film are required. In order to satisfy such characteristics, it is necessary that the binder has a 100% modulus of 20 kg / cm 2 or less and a breaking elongation of 500% or more.
【0010】なお、バインダーの100%モジュラス及
び破断伸びは、厚さ0.2mm、幅10mmのフィルム
状に成形したバインダーを引張試験することにより得ら
れる値であり、さらに100%モジュラスとは、引張伸
びが100%のときの引張強度をいう。[0010] The 100% modulus and elongation at break of the binder are values obtained by conducting a tensile test on a binder formed into a film having a thickness of 0.2 mm and a width of 10 mm. It refers to the tensile strength when the elongation is 100%.
【0011】前述のセラミック原料とバインダーの構成
比(セラミック原料)/(バインダー)は、70/30
〜95/5の範囲が好ましい。The composition ratio (ceramic raw material) / (binder) of the ceramic raw material and the binder is 70/30.
A range of 9595/5 is preferred.
【0012】次に、セラミック原料とバインダーを分散
あるいは溶解させる溶剤は、水系溶剤、有機溶剤系溶剤
等任意の溶剤を用いることができ、スラリー自身が安定
に分散状態を保持できるものであれば特に制限はない。Next, as a solvent for dispersing or dissolving the ceramic raw material and the binder, any solvent such as an aqueous solvent or an organic solvent can be used, and any solvent can be used as long as the slurry itself can stably maintain a dispersed state. No restrictions.
【0013】さらに、このスラリーには乾燥後のグリー
ンシートの電気的特性に影響を与えない範囲で分散剤、
可塑剤、帯電防止剤、消泡剤などを添加してもよい。Further, a dispersing agent is added to the slurry within a range that does not affect the electrical properties of the dried green sheet.
A plasticizer, an antistatic agent, an antifoaming agent and the like may be added.
【0014】本発明においてポリエステルフィルムは、
従来から知られている方法で製造することができる。例
えば、逐次二軸延伸法、同時二軸延伸法等が好ましく挙
げられる。In the present invention, the polyester film is
It can be manufactured by a conventionally known method. For example, a sequential biaxial stretching method and a simultaneous biaxial stretching method are preferably exemplified.
【0015】また、ポリエステルフィルムの詳細な製造
方法としては、例えば逐次二軸延伸法の場合、以下の条
件で製造することができる。すなわち、ポリエステルを
乾燥後、Tm〜(Tm+70)℃の温度(但し、Tm:
ポリエステルの融点)で押出機にて溶融し、ダイ(例え
ばT−ダイ、I−ダイ等)から回転冷却ドラム上に押出
し、40〜90℃で急冷して未延伸フィルムを製造し、
ついで該未延伸フィルムを(Tg−10)〜(Tg+7
0)℃の温度(Tg:ポリエステルのガラス転移温度)
で縦方向に2.5〜8.0倍の倍率で延伸し、横方向
2.5〜8.0倍の倍率で延伸し、必要に応じて180
〜250℃の温度で1〜60秒間熱固定することにより
製造できる。As a detailed method for producing a polyester film, for example, in the case of a sequential biaxial stretching method, it can be produced under the following conditions. That is, after drying the polyester, a temperature of Tm to (Tm + 70) ° C. (however, Tm:
(Melting point of polyester) in an extruder, extruded from a die (e.g., T-die, I-die, etc.) onto a rotary cooling drum, quenched at 40 to 90 ° C to produce an unstretched film,
Then, the unstretched film was treated with (Tg-10) to (Tg + 7
0) Temperature of ° C (Tg: glass transition temperature of polyester)
At a magnification of 2.5 to 8.0 times in the longitudinal direction, and at a magnification of 2.5 to 8.0 times in the horizontal direction.
It can be manufactured by heat setting at a temperature of 250250 ° C. for 1 to 60 seconds.
【0016】ポリエステルフィルムの厚みは5〜250
μmの範囲が好ましい。また、かかるポリエステルフィ
ルムとしては、結晶融解熱として示差走査熱量計を用
い、窒素気流中、10℃/分の昇温速度で測定した値が
4cal/g以上を呈する程度に結晶配向したものが好
ましい。The thickness of the polyester film is 5 to 250.
The range of μm is preferred. Further, as such a polyester film, it is preferable that the polyester film is oriented so that a value measured by a differential scanning calorimeter at a heating rate of 10 ° C./min of 4 cal / g or more in a nitrogen gas stream is 4 cal / g or more. .
【0017】前述のスラリーは、結晶配向が完了する前
のポリエステルフィルムに塗布される。ここで、結晶配
向が完了する前のポリエステルフィルムとしては、
(1)ポリマーを溶融してそのままフィルム状とした未
延伸フィルム、(2)未延伸フィルムを縦方向又は横方
向のいずれか一方に配向せしめた一軸延伸フィルム、
(3)縦方向及び横方向の二方向に低倍率配向せしめた
延伸フィルム(最終的に縦方向又は横方法に再延伸せし
めて配向結晶化を完了させる前の二軸延伸フィルム)な
どが例示される。これらの中、ポリエステルフィルム製
膜工程内で前述のスラリーを塗布することができる一軸
延伸フィルムが好ましく、縦方向に配向せしめた一軸延
伸フィルムがさらに好ましい。スラリーの塗布は任意の
方法で行なうことができる。例えば、ロールコート法、
グラビアコート法、キスコート法などが好ましく挙げら
れる。The above slurry is applied to the polyester film before the crystal orientation is completed. Here, as the polyester film before the crystal orientation is completed,
(1) an unstretched film in which a polymer is melted to form a film as it is, (2) a uniaxially stretched film in which the unstretched film is oriented in either the longitudinal direction or the transverse direction,
(3) A stretched film oriented at a low magnification in two directions of a longitudinal direction and a transverse direction (a biaxially oriented film before being finally stretched again in a longitudinal direction or a transverse method to complete oriented crystallization), and the like. You. Among these, a uniaxially stretched film to which the above-mentioned slurry can be applied in the polyester film forming step is preferable, and a uniaxially stretched film oriented in the longitudinal direction is more preferable. The slurry can be applied by any method. For example, the roll coating method,
A gravure coating method, a kiss coating method and the like are preferable.
【0018】なお、セラミックグリーンシートの誘電特
性に影響を与えない範囲で、スラリーを塗布する前にフ
ィルム上に機能付与層を設けることができる。機能付与
層としては、離形層、易接着性層(プライマー層)など
が例示できる。A function-imparting layer can be provided on the film before applying the slurry within a range that does not affect the dielectric properties of the ceramic green sheet. Examples of the function imparting layer include a release layer and an easily adhesive layer (primer layer).
【0019】上記の方法で結晶配向が完了する前のポリ
エステルフィルムに塗布されたスラリーは熱処理、その
他の方法で乾燥され、延伸処理される。例えば一軸延伸
フィルムを用いた場合、乾燥はフィルムの延伸又は熱固
定における熱処理工程で行なうことが好ましい。The slurry applied to the polyester film before the completion of the crystal orientation by the above-mentioned method is dried by a heat treatment or another method and stretched. For example, when a uniaxially stretched film is used, drying is preferably performed in a heat treatment step in stretching or heat setting the film.
【0020】結晶配向が完了する前のポリエステルフィ
ルム上に形成される塗膜(セラミックグリーンシート)
の厚さ(乾燥後の厚さ)は、自由に選定しうるが1〜1
0μmであることが好ましい。Coating film (ceramic green sheet) formed on polyester film before crystal orientation is completed
(Thickness after drying) can be freely selected,
It is preferably 0 μm.
【0021】かかる塗膜の厚さ斑は、乾燥、延伸処理に
より、解消されるので均一な厚さのグリーンシートを得
ることができる。Such unevenness in the thickness of the coating film is eliminated by drying and stretching, so that a green sheet having a uniform thickness can be obtained.
【0022】なお、ここで得られたグリーンシートは、
次の電極印刷、積層、焼成などの加工工程を経るが、そ
れらの工程は従来と変わらない工程を使用することがで
きる。また、キャリヤーシートとして用いたポリエステ
ルフィルムは、上記のいずれかの工程内でセラミックグ
リーンシートから剥離される。The green sheet obtained here is:
Processing steps such as electrode printing, laminating, and firing are performed, and the same steps as those in the related art can be used. Further, the polyester film used as the carrier sheet is separated from the ceramic green sheet in any of the above steps.
【0023】[0023]
【実施例】以下、本発明を実施例により詳述する。な
お、実施例中に「部」とあるのは「重量部」を示す。The present invention will be described below in detail with reference to examples. In the examples, “parts” means “parts by weight”.
【0024】[実施例1]チタン酸バリウムをポリウレ
タン水分散体(第一工業製薬(株)製、スーパーフレッ
クス300、バインダー単独の特性(100%モジュラ
ス17kg/cm2、破断伸び1230%))に混合
し、機械的に分散しセラミックスラリーを調製した。Example 1 Barium titanate was converted to an aqueous polyurethane dispersion (Superflex 300, manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., with the properties of a binder alone (100% modulus 17 kg / cm 2 , elongation at break 1230%)) The mixture was mixed and mechanically dispersed to prepare a ceramic slurry.
【0025】次に、固有粘度0.66(35℃、o−ク
ロロフェノール中)のポリエチレンテレフタレートを2
0℃に維持した回転冷却ドラム上に溶融押出し、急冷し
て未延伸フィルムを作成し、次いで該未延伸フィルムを
縦方向に90℃で3.6倍延伸した後、前記スラリーを
40g/m2(wet)の量でキスコート法にて塗布し
た。引き続き105℃で横方向に3.9倍延伸し、さら
に205℃で熱処理して厚さ2μmのセラミックグリー
ンシート層と厚さ38μmのポリエステルフィルムから
なるセラミックグリーンシート積層体を得た。このセラ
ミックグリーンシートの100mm幅における厚さの最
大値と最小値の差は0.1μmであった。また、任意に
選定した1cm2の表面における亀裂の数を目視で検査
したところ亀裂は全く観察されなかった。Next, polyethylene terephthalate having an intrinsic viscosity of 0.66 (35 ° C., in o-chlorophenol) was added to 2
After being melt-extruded on a rotary cooling drum maintained at 0 ° C. and quenched to prepare an unstretched film, the unstretched film was stretched 3.6 times in the machine direction at 90 ° C., and the slurry was 40 g / m 2. (Wet) in a kiss coat method. Subsequently, the film was stretched 3.9 times in the horizontal direction at 105 ° C., and further heat-treated at 205 ° C. to obtain a ceramic green sheet laminate comprising a ceramic green sheet layer having a thickness of 2 μm and a polyester film having a thickness of 38 μm. The difference between the maximum value and the minimum value of the thickness of this ceramic green sheet in a width of 100 mm was 0.1 μm. Further, when the number of cracks on the surface of 1 cm 2 arbitrarily selected was visually inspected, no cracks were observed.
【0026】[比較例1]実施例1と同じセラミックス
ラリーを、厚さ38μmの二軸延伸ポリエチレンテレフ
タレートフィルムの表面にキスコート法にて、乾燥厚さ
が2μmになるよう塗布してセラミックグリーンシート
積層体を得た。しかし、塗布時に発生したスジのため、
100mm幅における厚さの最大値と最小値の差が0.
5μmと大きく、また任意に選定した1cm2の表面に
おける亀裂の数は少なかったものの厚み斑による乾燥条
件の変化により塗布層の厚い部分ではクレーター状の表
面欠陥が発生した。Comparative Example 1 The same ceramic slurry as in Example 1 was applied to the surface of a 38 μm-thick biaxially stretched polyethylene terephthalate film by a kiss coating method so as to have a dry thickness of 2 μm, and a ceramic green sheet was laminated. I got a body. However, due to streaks generated during application,
The difference between the maximum value and the minimum value of the thickness at a width of 100 mm is 0.
Although the number of cracks on the randomly selected surface of 1 cm 2 was small as large as 5 μm, crater-like surface defects occurred in the thick portion of the coating layer due to changes in drying conditions due to uneven thickness.
【0027】[0027]
【発明の効果】本発明によれば、均一な薄膜セラミック
グリーンシートを連続してかつ高い歩留りで製造するこ
とができる。According to the present invention, uniform thin film ceramic green sheets can be manufactured continuously and at a high yield.
Claims (5)
ィルムの少なくとも片面に、セラミック原料、バインダ
ー及び溶剤からなるセラミックスラリーを塗布し、乾
燥、延伸処理することを特徴とするセラミックグリーン
シートの製造方法。1. A method for producing a ceramic green sheet, comprising applying a ceramic slurry comprising a ceramic raw material, a binder and a solvent to at least one surface of a polyester film before completion of crystal orientation, followed by drying and stretching.
0kg/cm2かつ破断伸びが500%以上の特性を有
する有機高分子である請求項1記載のセラミックグリー
ンシートの製造方法。2. A binder having a 100% modulus of 2
The method for producing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the organic polymer is an organic polymer having characteristics of 0 kg / cm 2 and elongation at break of 500% or more.
ィルムが、逐次二軸延伸において未延伸フィルムを縦方
向又は横方向のいずれか一方に配向せしめた一軸延伸ポ
リエステルフィルムである請求項1記載のセラミックグ
リーンシートの製造方法。3. The ceramic according to claim 1, wherein the polyester film before completion of the crystal orientation is a uniaxially stretched polyester film obtained by orienting an unstretched film in one of a longitudinal direction and a transverse direction in sequential biaxial stretching. Green sheet manufacturing method.
テレフタレートフィルムである請求項1記載のセラミッ
クグリーンシートの製造方法。4. The method for producing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the polyester film is a polyethylene terephthalate film.
−2,6−ナフタレートフィルムである請求項1記載の
セラミックグリーンシートの製造方法。5. The method according to claim 1, wherein the polyester film is a polyethylene-2,6-naphthalate film.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5463297A JPH10250014A (en) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | Manufacture of ceramic green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5463297A JPH10250014A (en) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | Manufacture of ceramic green sheet |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10250014A true JPH10250014A (en) | 1998-09-22 |
Family
ID=12976144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5463297A Pending JPH10250014A (en) | 1997-03-10 | 1997-03-10 | Manufacture of ceramic green sheet |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10250014A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220133199A (en) | 2020-01-30 | 2022-10-04 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | Co-polyester film, laminated film, and method of using them |
-
1997
- 1997-03-10 JP JP5463297A patent/JPH10250014A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220133199A (en) | 2020-01-30 | 2022-10-04 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | Co-polyester film, laminated film, and method of using them |
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