JPH10242654A - Multilayer printed wiring board and its manufacturing method - Google Patents

Multilayer printed wiring board and its manufacturing method

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JPH10242654A
JPH10242654A JP4769797A JP4769797A JPH10242654A JP H10242654 A JPH10242654 A JP H10242654A JP 4769797 A JP4769797 A JP 4769797A JP 4769797 A JP4769797 A JP 4769797A JP H10242654 A JPH10242654 A JP H10242654A
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JP
Japan
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wiring board
printed wiring
multilayer printed
copper foil
resin
Prior art date
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Pending
Application number
JP4769797A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eiitsu Shinada
詠逸 品田
義之 ▲つる▼
Yoshiyuki Tsuru
Masao Sugano
雅雄 菅野
Yuichi Shimayama
裕一 島山
Takeshi Horiuchi
猛 堀内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01078Platinum [Pt]

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multilayer printed wiring board which is excellent in the high density and the minuteness of an interconnection, which can be made thin and whose heat resistance and connecting reliability are high, and to provide a method in which the multilayer printed wiring board is manufactured with good efficiency. SOLUTION: In a multilayered printed wiring board, a plurality of insulating boards on which conductors circuits are formed in advance are laminated and bonded via a heat-resistant resin composition which is composed of a polyimide resin and of a thermosetting component, and they are connected electrically via respective through holes. In this case, the multilayered printed wiring board in which the glass transition point of the hardened substance of the heat-resistant resin composition is 180 deg.C or higher, in which its coefficient of linear expansion up to 350 deg.C from the glass transition point is 500ppm/ deg.C or lower, and in which its modulus of elasticity at 300 deg.C is 30MPa or higher and the plurality of insulating boards on which the conductor circuits are formed in advance are laminated and bonded via a heat-resistant resin composition whose glass transition point is 180 deg.C or higher, whose coefficient of linear expansion up to 350 deg.C from the glass transition point is 500ppm/ deg.C or lower, and whose modulus of elasticity at 300 deg.C is 30MPa or higher, comprising a polyimide resin and a thermosetting composition, and both are connected electrically via respective through holes.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、多層プリント配線
板およびその製造法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer printed wiring board and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器の小型化、高性能化、多機能化
に伴い、多層プリント配線板は、より一層の高密度化が
進んでいる。高密度化を達成するためには、層間の薄型
化、配線の微細化、層間接続穴の小径化が進み、さらに
は隣接する配線層のみを接続するインタスティシャルバ
イアホール(以下、IVHという。)が用いられるよう
になった。さらに高密度化のため、このIVHの小径
化、多層化が求められる状況である。多層化を図ったプ
リント配線板の一例として、内層板の外表面に絶縁層と
導体回路とを、交互に積層した構成の、いわゆるビルド
アップ多層配線板が提案されている。
2. Description of the Related Art With the miniaturization, high performance, and multifunctionality of electronic equipment, multilayer printed wiring boards have been further densified. In order to achieve high density, thinning between layers, miniaturization of wirings, and reduction in diameter of interlayer connection holes have progressed, and further, interstitial via holes (hereinafter, referred to as IVH) that connect only adjacent wiring layers. ) Has been used. In order to further increase the density, it is necessary to reduce the diameter of the IVH and increase the number of layers. As an example of a multilayer printed wiring board, a so-called build-up multilayer wiring board having a configuration in which insulating layers and conductive circuits are alternately stacked on the outer surface of an inner layer board has been proposed.

【0003】ここで、ビルドアップ多層配線板を製造す
る時の一般的な手順を示すと、内層回路が形成された内
層板の外表面には、アディティブ用接着剤の塗布および
硬化によって、第1層目の絶縁層を形成する。このアデ
ティブ用接着剤というのは、その表面に無電解めっきを
行い、導体回路を形成するための接着剤を意味する。次
に、絶縁層の所定部分には、IVHを形成するための穴
が、レーザー、ウェットエッチング、フォト法によりあ
けられる。ここで、上記各方法は、それぞれ、絶縁層に
レーザー光を照射して蒸発させる方法、化学エッチング
液により絶縁層をエッチング除去する方法、及び、絶縁
層を選択的に光硬化させ、他の部分を現像除去する方法
である。層間絶縁層に表面粗化処理を行い、その粗化面
に無電解銅めっきを析出させるための触媒を付与し、無
電解銅めっきを薄く析出させ、かつ、電気めっきのため
の電流路を形成し、その上に電気めっきで必要な厚さま
でめっきを行い、エッチングレジストを形成し、エッチ
ングレジストの形成されていない箇所を選択的にエッチ
ング除去して外層配線を形成する。また、第2層目の層
間絶縁層および導体層についても、基本的には前記ビル
ドアップ法のプロセスを繰り返すことにより形成するこ
とができる。
Here, a general procedure for manufacturing a build-up multilayer wiring board will be described. The outer surface of an inner layer board on which an inner layer circuit is formed is coated with an additive adhesive and cured by a first adhesive. A second insulating layer is formed. The additive adhesive means an adhesive for forming a conductive circuit by performing electroless plating on the surface thereof. Next, a hole for forming an IVH is formed in a predetermined portion of the insulating layer by a laser, wet etching, or photo method. Here, each of the above methods is a method of irradiating the insulating layer with a laser beam to evaporate, a method of etching and removing the insulating layer with a chemical etching solution, and a method of selectively photocuring the insulating layer, Is a method of developing and removing. Perform surface roughening treatment on the interlayer insulating layer, apply a catalyst to deposit electroless copper plating on the roughened surface, deposit electroless copper plating thinly, and form a current path for electroplating Then, plating is performed thereon to a required thickness by electroplating, an etching resist is formed, and a portion where the etching resist is not formed is selectively removed by etching to form an outer layer wiring. Further, the second interlayer insulating layer and the conductor layer can also be formed basically by repeating the process of the build-up method.

【0004】また、多層プリント配線板の薄型化のため
に、層間絶縁層の薄型化が提案されており、通常の多層
プリント配線板に使用される、ガラス布等の強化材を含
むプリプレグ等を層間絶縁層に用いると、薄型化には限
界があり、層間絶縁層としてガラス布等を含まない樹脂
シートが開発されてきている。
In order to reduce the thickness of a multilayer printed wiring board, it has been proposed to reduce the thickness of an interlayer insulating layer. For example, a prepreg containing a reinforcing material such as a glass cloth, which is used for an ordinary multilayer printed wiring board, has been proposed. When used as an interlayer insulating layer, there is a limit to the reduction in thickness, and a resin sheet not containing a glass cloth or the like has been developed as an interlayer insulating layer.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記IVH
のような凹部に対してめっきを行なうと、IVHの中央
に窪みができ、この窪みを残した状態で第2層目のビル
ドアップ層を形成すると、基板表面に凹凸ができ、平滑
性に劣る基板となって、部品実装時におけるボンディン
グ精度の低下や、配線形成時のショートや断線不良の原
因となる。
However, the above IVH
When plating is performed on such a concave portion, a dent is formed in the center of the IVH, and when the second build-up layer is formed with the dent remaining, irregularities are formed on the substrate surface, resulting in poor smoothness. As a substrate, it causes a decrease in bonding accuracy at the time of component mounting, a short circuit and a disconnection failure at the time of wiring formation.

【0006】また、多層配線板内に、ガラス布等の強化
材を含まない層が増えることにより、内層絶縁板との間
のガラス転移点、線膨張係数、あるいは貯蔵弾性率の差
により、層間絶縁層内にボイドや剥離が発生し易くなる
という課題があった。
In addition, the number of layers not containing a reinforcing material such as glass cloth in the multilayer wiring board increases, so that a difference in glass transition point, coefficient of linear expansion, or storage elastic modulus between the multilayer wiring board and the inner insulating board causes an increase in interlayer resistance. There is a problem that voids and peeling easily occur in the insulating layer.

【0007】本発明は、バイアホールの有無に関わら
ず、配線の高密度化、微細化に優れ、また、配線板の薄
膜化が可能な、高い耐熱性、接続信頼性を有する多層プ
リント配線板と、このような多層プリント配線板を効率
良く製造する方法を提供することを目的とするものであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a multilayer printed wiring board having high heat resistance and connection reliability, which is excellent in high density and fine wiring, regardless of the presence or absence of via holes, and enables thinning of wiring boards. It is another object of the present invention to provide a method for efficiently manufacturing such a multilayer printed wiring board.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の多層プリント配
線板は、予め導体回路が形成された複数の絶縁板を、ポ
リアミドイミド樹脂と熱硬化性成分から成る耐熱性樹脂
組成物を介して積層接着し、スルーホールを介して電気
的に接続した多層プリント配線板において、耐熱性樹脂
組成物の硬化物の、ガラス転移点が180℃以上、ガラ
ス転移点から350℃までの線膨張係数が500ppm
/℃以下、300℃での貯蔵弾性率が30MPa以上で
あることを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a multilayer printed wiring board comprising a plurality of insulating plates on which conductive circuits are formed in advance, via a heat-resistant resin composition comprising a polyamideimide resin and a thermosetting component. In the multilayer printed wiring board bonded and electrically connected through the through holes, the cured product of the heat-resistant resin composition has a glass transition point of 180 ° C. or higher and a linear expansion coefficient from the glass transition point to 350 ° C. of 500 ppm.
/ ° C or lower and storage elastic modulus at 300 ° C is 30 MPa or more.

【0009】また、ポリアミドイミド樹脂と熱硬化性成
分から成る耐熱性樹脂組成物により、絶縁された基板の
表面に形成された少なくとも1層以上の導体回路を、少
なくとも1層以上のバイアホールを介して電気的に接続
した多層プリント配線板において、耐熱性樹脂組成物の
硬化物の、ガラス転移点が180℃以上、ガラス転移点
から350℃までの線膨張係数が500ppm/℃以
下、300℃での貯蔵弾性率が30MPa以上であるこ
とを特徴とする。
Further, at least one or more conductor circuits formed on the surface of an insulated substrate by a heat-resistant resin composition comprising a polyamide-imide resin and a thermosetting component are formed through at least one or more via holes. In the multi-layer printed wiring board electrically connected to each other, the cured product of the heat-resistant resin composition has a glass transition point of 180 ° C. or more, a linear expansion coefficient from the glass transition point to 350 ° C. of 500 ppm / ° C. or less, and 300 ° C. Is characterized by having a storage modulus of 30 MPa or more.

【0010】このような多層プリント配線板は、以下の
工程によって製造することができる。 a.ポリアミドイミド樹脂と熱硬化性成分から成る熱硬
化性ポリアミドイミド系接着フィルムを、予め導体回路
を形成した複数の絶縁板と外層銅箔との間に介在させ、
加熱・加圧により加熱硬化し積層接着する工程 b.所望の位置にドリルで貫通穴をあけ、各層を導通さ
せる導体回路を露出させる工程 c.各導体回路層を電気的に接続するためのめっき工程 d.外層銅箔上にエッチングレジストを形成し、選択エ
ッチングにより銅箔面に配線回路を形成する工程 e.エッチングレジストを除去する工程
[0010] Such a multilayer printed wiring board can be manufactured by the following steps. a. A thermosetting polyamide-imide adhesive film composed of a polyamide-imide resin and a thermosetting component, interposed between a plurality of insulating plates and an outer layer copper foil in which a conductor circuit is formed in advance,
Step of heat-curing by heating and pressurizing and laminating and bonding b. Drilling a through hole at a desired position to expose a conductor circuit for conducting each layer c. Plating step for electrically connecting each conductor circuit layer d. Forming an etching resist on the outer layer copper foil and forming a wiring circuit on the copper foil surface by selective etching; e. Step of removing etching resist

【0011】また、以下の工程によっても製造できる。 a.ポリアミドイミド樹脂と熱硬化性成分から成る熱硬
化性ポリアミドイミド系接着フィルムを、予め導体回路
を形成した内層板と外層銅箔との間に介在させ、加熱・
加圧により加熱硬化し積層接着する工程 b.外層導体上にエッチングレジストを形成し、選択エ
ッチングにより銅箔面に微細穴を形成する工程 c.エッチングレジストを除去する工程 d.微細穴の下の硬化樹脂層をレーザー穴あけで除去
し、バイアホールをあけ、内層板の導体回路を露出させ
る工程 e.内層板の導体回路と外層銅箔を電気的に接続するた
めのめっき工程 f.外層銅箔上にエッチングレジストを形成し、選択エ
ッチングにより銅箔面に配線回路を形成する工程 g.エッチングレジストを除去する工程
Further, it can also be manufactured by the following steps. a. A thermosetting polyamide-imide adhesive film composed of a polyamide-imide resin and a thermosetting component is interposed between the inner layer plate and the outer layer copper foil on which a conductor circuit has been formed in advance, and heated and heated.
Step of heat-curing under pressure and laminating and bonding b. Step of forming an etching resist on the outer layer conductor and forming fine holes in the copper foil surface by selective etching c. Removing the etching resist d. Removing the cured resin layer under the micro holes by laser drilling, drilling via holes, and exposing the conductor circuit of the inner layer plate e. Plating step for electrically connecting the conductor circuit of the inner layer plate and the outer layer copper foil f. Forming an etching resist on the outer layer copper foil and forming a wiring circuit on the copper foil surface by selective etching; g. Step of removing etching resist

【0012】さらに、h.a〜gの工程を繰り返し、2
層以上にわたって連続的にバイアホールを形成する工程
を追加することによって、多数の層を重ねることもでき
る。また、工程aにおいて使用する接着フィルムと銅箔
に代えて、予め、銅箔に直接接着材料を塗布した銅箔付
接着フィルムを使用することもできる。
Further, h. Repeat steps a to g, 2
Multiple layers can be stacked by adding a step of forming via holes continuously over more than one layer. Further, instead of the adhesive film and the copper foil used in the step a, an adhesive film with a copper foil in which an adhesive material is directly applied to the copper foil in advance can be used.

【0013】本発明において、耐熱性樹脂組成物の硬化
物のガラス転移点が180℃未満であるか、または、ガ
ラス転移点から350℃までの線膨張係数が500pp
m/℃を越えると、はんだ実装時の加熱後の冷却過程に
おいて、絶縁板との収縮の差によりボイドおよび剥離が
発生し、さらに、300℃での貯蔵弾性率が30MPa
未満の場合、加熱時に樹脂が流動し、膨張し易い部分に
樹脂が流れ、膜厚の不均一や樹脂の流動によってボイド
が発生し易くなる。
In the present invention, the cured product of the heat-resistant resin composition has a glass transition point of less than 180 ° C. or a coefficient of linear expansion from the glass transition point to 350 ° C. of 500 pp.
If the temperature exceeds m / ° C., voids and peeling occur due to the difference in shrinkage from the insulating plate in the cooling process after heating during solder mounting, and the storage elastic modulus at 300 ° C. is 30 MPa.
If it is less than 3, the resin flows at the time of heating, the resin flows to a portion which is easily expanded, and voids are easily generated due to uneven film thickness or the flow of the resin.

【0014】また、本発明の耐熱性樹脂組成物は、ポリ
アミドイミド樹脂と熱硬化性成分から成る、熱硬化性ポ
リアミドイミド系接着フィルムであることに特徴があ
る。ポリアミドイミド樹脂を単独で用いた場合、ガラス
転移点は高い(230〜250℃)ものの、ガラス転移
点から350℃までの線膨張係数が500ppm/℃以
上、300℃の貯蔵弾性率が30MPa以下であり、こ
れを用いた場合、はんだ実装後の基板中にボイドや剥離
が発生する。
The heat-resistant resin composition of the present invention is characterized in that it is a thermosetting polyamide-imide-based adhesive film comprising a polyamide-imide resin and a thermosetting component. When the polyamideimide resin is used alone, the glass transition point is high (230 to 250 ° C.), but the linear expansion coefficient from the glass transition point to 350 ° C. is 500 ppm / ° C. or more, and the storage elastic modulus at 300 ° C. is 30 MPa or less. When this is used, voids or peeling occur in the board after solder mounting.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】このポリアミドイミド樹脂には、
芳香族環を3個以上有するジアミンと無水トリメット酸
とを反応させて得られる芳香族ジイミドカルボン酸と、
芳香族ジイソシアネートとを反応させて得られる芳香族
ポリアミドイミド樹脂、または、芳香族ジイミドカルボ
ン酸として、2,2−ビス〔4−{4−(5−ヒドロキ
シカルボニル−1,3−ジオン−イソインドリノ)フェ
ノキシ}フェニル〕プロパンと、芳香族ジイソシアネー
トとして、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネー
トとを反応させて得られる芳香族ポリアミドイミド樹脂
を使用することが好ましい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An aromatic diimide carboxylic acid obtained by reacting a diamine having three or more aromatic rings with trimetic anhydride,
As an aromatic polyamide-imide resin obtained by reacting with an aromatic diisocyanate or an aromatic diimide carboxylic acid, 2,2-bis [4- {4- (5-hydroxycarbonyl-1,3-dione-isoindolino)] It is preferable to use an aromatic polyamideimide resin obtained by reacting [phenoxydiphenyl] propane with 4,4′-diphenylmethane diisocyanate as the aromatic diisocyanate.

【0016】芳香族環を3個以上有するジアミンには、
2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル〕プロパン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フ
ェニル〕スルホン、ビス〔4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニル〕スルホン、2,2−ビス〔4−(4−ア
ミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパン、
ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メタ
ン、4,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニ
ル、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エ
ーテル、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル〕ケトン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベ
ンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼ
ン等を、単独でまたはこれらを組み合わせて用いること
ができる。
Diamines having three or more aromatic rings include:
2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2- Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane,
Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 4,4-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) )] Phenyl] ketone, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene and the like can be used alone or in combination.

【0017】また芳香族ジイソシアネートには、4,
4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−ト
リレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシア
ネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、2,
4−トリレンダイマー等を、単独でまたは組み合わせて
用いることができる。
The aromatic diisocyanate includes 4,4
4′-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, 2,
4-Tolylene dimer or the like can be used alone or in combination.

【0018】また、本発明の熱硬化性成分は、エポキシ
樹脂とその硬化剤もしくは硬化促進剤であることを特徴
とする。エポキシ樹脂は、グリシジル基を2つ以上有し
ているものであればどのようなものでもよく、グリシジ
ル基が3つ以上であればさらに好ましい。このエポキシ
樹脂は、室温で液状でも固形でもよい。市販のものとし
ては、液状のエポキシ樹脂として、ビスフェノールA型
の、YD128、YD8125(東都化成工業株式会社
製、商品名)等、Ep815、Ep828(油化シェル
エポキシ株式会社製、商品名)等、DER337(ダウ
ケミカル工業株式会社製、商品名)等、ビスフェノール
F型の、YDF170、YDF2004等(東都化成工
業株式会社製、商品名)等が挙げられる。また、固形の
エポキシ樹脂としては、YD907、YDCN704
S、YDPN172(いずれも東都化成工業株式会社
製、商品名)等、Ep1001、Ep1010、Ep1
80S70(油化シェルエポキシ株式会社製、商品名)
等、ESA019、ESCN195(住友化学工業株式
会社製、商品名)等、DER667、DEN438(ダ
ウケミカル工業株式会社製、商品名)、EOCN102
0(日本化薬株式会社製、商品名)等が挙げられる。さ
らに、難燃性を向上するためには、臭素化エポキシ樹脂
を用いてもよく、例えば、市販のものとして、YDB4
00(東都化成工業株式会社製、商品名)等、Ep50
50(油化シェルエポキシ株式会社製、商品名)等、E
SB400(住友化学工業株式会社製、商品名)等が挙
げられる。また、これらは、単独で用いてもよいが、必
要に応じて複数のエポキシ樹脂を選択してもよい。
Further, the thermosetting component of the present invention is characterized in that it is an epoxy resin and its curing agent or curing accelerator. The epoxy resin may be any resin as long as it has two or more glycidyl groups, and more preferably three or more glycidyl groups. The epoxy resin may be liquid or solid at room temperature. Commercially available products include bisphenol A type liquid epoxy resins such as YD128 and YD8125 (trade name, manufactured by Toto Kasei Kogyo Co., Ltd.), Ep815, Ep828 (trade name, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.), and the like. And DER337 (trade name, manufactured by Dow Chemical Industry Co., Ltd.), and bisphenol F type YDF170, YDF2004, etc. (trade name, manufactured by Toto Kasei Kogyo Co., Ltd.). As solid epoxy resins, YD907, YDCN704
S, YDPN172 (all manufactured by Toto Kasei Kogyo Co., Ltd.), Ep1001, Ep1010, Ep1
80S70 (trade name, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.)
ESA019, ESCN195 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., trade name), DER667, DEN438 (manufactured by Dow Chemical Industry Co., Ltd., trade name), EOCN102
0 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) and the like. Further, in order to improve the flame retardancy, a brominated epoxy resin may be used.
00 (manufactured by Toto Kasei Kogyo Co., Ltd.), Ep50
E (manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.)
SB400 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., trade name) and the like. These may be used alone, but a plurality of epoxy resins may be selected as necessary.

【0019】エポキシ樹脂の硬化剤もしくは硬化促進剤
としては、アミン類、イミダゾール類、多官能フェノー
ル類、酸無水物、イソシアネート類等が使用できる。ア
ミン類としては、ジシアンジアミド、ジアミノジフェニ
ルメタン、グアニル尿素等があり、イミダゾール類とし
ては、アルキル置換イミダゾール、ベンズイミダゾール
等があり、多官能フェノール類としては、ヒドロキノ
ン、レゾルシノール、ビスフェノールAおよびそのハロ
ゲン化合物、さらに、これにアルデヒドとの縮合物であ
るノボラック、レゾール樹脂等があり、酸無水物として
は、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸等がある。イソシアネート類
としては、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイ
ソシアネート等があり、このイソシアネートをフェノー
ル類等でマスクしたものを使用してもよい。
As the curing agent or curing accelerator for the epoxy resin, amines, imidazoles, polyfunctional phenols, acid anhydrides, isocyanates and the like can be used. Examples of amines include dicyandiamide, diaminodiphenylmethane, and guanylurea.Examples of imidazoles include alkyl-substituted imidazole and benzimidazole.Examples of polyfunctional phenols include hydroquinone, resorcinol, bisphenol A and halogen compounds thereof. These include novolaks and resole resins which are condensates with aldehydes, and the acid anhydrides include phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, benzophenonetetracarboxylic acid and the like. Examples of the isocyanates include tolylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, and the like, and those obtained by masking this isocyanate with a phenol or the like may be used.

【0020】これらの硬化剤の必要な量は、アミン類の
場合は、アミンの活性水素の当量とエポキシ樹脂のエポ
キシ当量がほぼ等しくなる量が好ましい。例えば、1級
アミンの場合は、水素が2つあり、エポキシ樹脂1当量
に対してこの1級アミンは、0.5当量必要であり、2
級アミンの場合は、1当量必要である。次に、イミダゾ
ール類の場合は、単純に活性水素との当量比とならず、
経験的にエポキシ樹脂100重量部に対して、1〜10
重量部必要となる。多官能フェノール類や酸無水物の場
合、エポキシ樹脂1当量に対して、0.8〜1.2当量
必要である。イソシアネート類の場合は、ポリアミドイ
ミド樹脂とエポキシ樹脂のどちらにも反応するため、そ
れぞれの1当量に対して、0.8〜1.2当量必要であ
る。これらの硬化剤もしくは硬化促進剤は、単独で用い
てもよいが、必要に応じて複数の硬化剤もしくは硬化促
進剤を選択してもよい。
In the case of amines, the necessary amount of these curing agents is preferably such that the equivalent of the active hydrogen of the amine is substantially equal to the epoxy equivalent of the epoxy resin. For example, in the case of a primary amine, there are two hydrogens, and 0.5 equivalent of the primary amine is required for 1 equivalent of the epoxy resin.
In the case of a secondary amine, one equivalent is required. Next, in the case of imidazoles, the equivalence ratio with active hydrogen is not simply obtained,
Empirically, 1 to 10 parts by weight of epoxy resin
Parts by weight are required. In the case of polyfunctional phenols and acid anhydrides, 0.8 to 1.2 equivalents are required for 1 equivalent of the epoxy resin. In the case of isocyanates, it reacts with both the polyamideimide resin and the epoxy resin, so that 0.8 to 1.2 equivalents are required for 1 equivalent of each. These curing agents or curing accelerators may be used alone, but if necessary, a plurality of curing agents or curing accelerators may be selected.

【0021】また、ポリアミドイミド樹脂と熱硬化性成
分との重量比は、ポリアミドイミド樹脂100重量部に
対して、熱硬化性成分を、10〜150重量部の範囲で
あることが好ましく、10重量部未満であると、ガラス
転移点から350℃までの線膨張係数が大きく、300
℃での貯蔵弾性率が低いという、ポリアミドイミド樹脂
の特性がそのまま現れ、150重量部を超えると、相溶
性が低下し、攪拌時にゲル化する。
The weight ratio of the polyamide-imide resin to the thermosetting component is preferably 10 to 150 parts by weight, more preferably 10 to 150 parts by weight, based on 100 parts by weight of the polyamide-imide resin. Is less than 300 parts, the coefficient of linear expansion from the glass transition point to 350 ° C. is large,
The characteristic of the polyamide-imide resin that the storage elastic modulus at a temperature is low is manifest as it is, and when it exceeds 150 parts by weight, the compatibility is reduced and gelation occurs during stirring.

【0022】この他に、必要に応じてバイアホールまた
はスルーホール内壁等のめっき密着性を上げること、お
よびアディティブ法で配線板を製造するために、無電解
めっき用触媒を加えることもできる。
In addition, if necessary, a catalyst for electroless plating can be added in order to increase the plating adhesion of the inner walls of the via holes or through holes and to manufacture the wiring board by the additive method.

【0023】また、Bステージでの熱硬化性ポリアミド
イミド系接着フィルムの樹脂樹脂フロー量は、500μ
m以上が好ましく、500μm未満では、内層回路の埋
め込み性や表面に凹凸が生じる問題がある。本発明にお
いて、この樹脂樹脂フロー量は、厚さ50μmの半硬化
状の接着フィルムに直径1cmの穴をあけ、その接着フ
ィルムと銅張り積層板を重ね、温度200℃で圧力40
kgf/cm2を60分間加えたときの、試料の穴から内側に
流れ出した距離と定義する。Bステージとは、熱硬化性
樹脂の硬化反応における中間段階を意味する。Bステー
ジでの熱硬化性ポリアミドイミド系接着フィルムを低フ
ロー/高フロー、高フロー/低フロー/高フロー等の多
層構造とし、成形性と樹脂厚さ確保の両立を図ることも
できる。また、外層銅箔とBステージでの熱硬化性ポリ
アミドイミド系接着フィルムの代わりに、銅箔に直接接
着材料を塗布した、銅箔付き接着フィルムを用いてもよ
い。
The resin flow of the thermosetting polyamideimide adhesive film at the B stage is 500 μm.
m is preferable, and when it is less than 500 μm, there is a problem that the embedding property of the inner layer circuit and the unevenness are generated on the surface. In the present invention, the resin flow amount is determined by making a hole having a diameter of 1 cm in a semi-cured adhesive film having a thickness of 50 μm, laminating the adhesive film and a copper-clad laminate, and applying a pressure of 40 ° C.
It is defined as the distance flowing inward from the sample hole when kgf / cm 2 is added for 60 minutes. The B stage means an intermediate stage in the curing reaction of the thermosetting resin. The thermosetting polyamide-imide adhesive film at the B stage may have a multilayer structure such as low flow / high flow, high flow / low flow / high flow, etc., so that both moldability and resin thickness can be ensured. Further, instead of the outer layer copper foil and the thermosetting polyamideimide adhesive film in the B stage, an adhesive film with a copper foil, in which an adhesive material is directly applied to the copper foil, may be used.

【0024】高フロー(樹脂フロー量が500μm以
上)タイプのポリアミドイミド系接着フィルムを使用
し、積層したときにIVH穴内に樹脂を埋め込みできる
ため、層間絶縁層の表面が比較的平滑な状態となり、そ
の上に形成される外層導体回路に凹凸が生じなくなる。
また、ガラス転移点が180℃以上、ガラス転移点から
350℃までの線膨張係数が500ppm/℃以下、3
00℃での貯蔵弾性率が30MPa以上であることによ
り、スルーホール密度の高い部分においても、はんだ実
装時に発生するボイドや剥離を抑制でき、高い耐熱性、
接続信頼性を有する多層プリント配線板が得られる。
When a high-flow (resin flow amount of 500 μm or more) type polyamideimide-based adhesive film is used and the resin can be embedded in the IVH hole when laminated, the surface of the interlayer insulating layer becomes relatively smooth. The outer conductor circuit formed thereon has no irregularities.
Further, the glass transition point is 180 ° C. or more, and the linear expansion coefficient from the glass transition point to 350 ° C. is 500 ppm / ° C. or less.
Since the storage elastic modulus at 00 ° C. is 30 MPa or more, even in a portion having a high through-hole density, it is possible to suppress voids and peeling occurring during solder mounting, and to provide high heat resistance.
A multilayer printed wiring board having connection reliability is obtained.

【0025】[0025]

【実施例】次に、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。な
お、以下の実施例および比較例中で示す測定値は、次の
測定法によって測定したものである。
EXAMPLES Next, the present invention will be described specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. The measurement values shown in the following Examples and Comparative Examples were measured by the following measurement methods.

【0026】(1)ガラス転移点(Tg) MAC SCIENCE製TMAを用い、 治具:引っ張り チャック間距離:15mm 測定温度:室温〜350℃ 昇温速度:10℃/分 引っ張り荷重:5g サンプルサイズ:5mm幅×30mm長 で測定した。(1) Glass transition point (Tg) Using TMA manufactured by MAC SCIENCE, jig: tension, distance between chucks: 15 mm, measurement temperature: room temperature to 350 ° C., heating rate: 10 ° C./min, tensile load: 5 g, sample size: The measurement was 5 mm width × 30 mm length.

【0027】(2)線膨張係数 MAC SCIENCE製TMAを用い、 治具:引っ張り チャック間距離:15mm 測定温度:室温〜350℃ 昇温速度:10℃/分 引っ張り荷重:5g サンプルサイズ:5mm幅×30mm長 で測定した。(2) Coefficient of linear expansion Using TMA manufactured by MAC SCIENCE, jig: tension, distance between chucks: 15 mm Measurement temperature: room temperature to 350 ° C., heating rate: 10 ° C./min, tensile load: 5 g, sample size: 5 mm width × It was measured at a length of 30 mm.

【0028】(3)貯蔵弾性率 レオロジー社製DVE(DVE−V4型)を用い、 治具:引っ張り チャック間距離:20mm 測定周波数:5Hz 測定温度:室温〜350℃ 昇温速度:5℃/分 サンプルサイズ:5mm幅×30mm長 で測定した。(3) Storage elastic modulus Using DVE (DVE-V4 type) manufactured by Rheology Co., Ltd., jig: tension Distance between chucks: 20 mm Measurement frequency: 5 Hz Measurement temperature: room temperature to 350 ° C. Temperature rising rate: 5 ° C./min Sample size: 5 mm width x 30 mm length.

【0029】また、表面回路形成性およびはんだ耐熱性
の評価方法を次に示す。 (4)表面回路形成性 ライン/スペースが、100μm/100μmまで形成
できること。
A method for evaluating the surface circuit forming property and the solder heat resistance will be described below. (4) Formability of surface circuit A line / space can be formed up to 100 μm / 100 μm.

【0030】(5)はんだ耐熱性 288℃のはんだ浴に10秒フロートし、常温まで冷却
する工程を3回繰り返し、プリント配線板中の樹脂層を
観察し、ボイドや剥離の有無を調べる。
(5) Solder Heat Resistance The process of floating in a solder bath at 288 ° C. for 10 seconds and cooling to room temperature is repeated three times, and the resin layer in the printed wiring board is observed to check for voids or peeling.

【0031】(ポリアミドイミド樹脂の合成)還流冷却
器を連結したコック付き25mlの水分定量受器、温度
計、撹拌機を備えた1リットルのセパラブルフラスコ
に、芳香族環を3個以上有するジアミンとして、2,2
−ビス−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プ
ロパン123.2g(0.3mol)、無水トリメリッ
ト酸115.3g(0.6mol)を、溶媒としてNM
P(N−メチル−2−ピロリドン)716gを仕込み、
80℃で30分撹拌した。そして、水と共沸可能な芳香
族炭化水素としてトルエン143gを投入してから温度
を上げ約160℃で2時間還流させた。水分定量受器に
水が約10.8ml以上溜まっていること、水の留出が
見られなくなっていることを確認し、水分定量受器に溜
まっている留出液を除去しながら約190℃まで温度を
上げて、トルエンを除去した。その後、溶液を室温に戻
し、芳香族ジイソシアネートとして4,4‘−ジフェニ
ルメタンジイソシアネート75.1g(0.3mol)
を投入し、190℃で2時間反応させた。反応終了後、
芳香族ポリアミドイミド樹脂のNMP溶液樹脂を得た。
(Synthesis of Polyamideimide Resin) A diamine having three or more aromatic rings is placed in a 1-liter separable flask equipped with a faucet connected to a reflux condenser and having a 25 ml water content receiver, a thermometer and a stirrer. As 2, 2
-Bis- [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (123.2 g, 0.3 mol) and trimellitic anhydride (115.3 g, 0.6 mol) were used as solvents in NM.
716 g of P (N-methyl-2-pyrrolidone) was charged,
Stirred at 80 ° C. for 30 minutes. Then, 143 g of toluene was charged as an aromatic hydrocarbon azeotropic with water, and then the temperature was increased and the mixture was refluxed at about 160 ° C. for 2 hours. Confirm that water has accumulated in the water content determination receiver at least about 10.8 ml and that distilling of water has not been observed, and remove the distillate remaining in the water content determination device at about 190 ° C. The temperature was increased to remove the toluene. Thereafter, the solution was returned to room temperature, and 75.1 g (0.3 mol) of 4,4′-diphenylmethane diisocyanate was used as an aromatic diisocyanate.
And reacted at 190 ° C. for 2 hours. After the reaction,
An NMP solution resin of an aromatic polyamideimide resin was obtained.

【0032】(樹脂組成物の配合)上記芳香族ポリアミ
ドイミド樹脂に、熱硬化性成分としてエポキシ樹脂とフ
ェノール樹脂を加え、常温で約1時間撹拌し、樹脂組成
物とした。
(Blending of resin composition) An epoxy resin and a phenol resin were added as thermosetting components to the aromatic polyamideimide resin, and the mixture was stirred at room temperature for about 1 hour to obtain a resin composition.

【0033】(Bステージフィルム形成)その樹脂組成
物を、離形フィルム上に塗布し、110℃−15分乾燥
させた。その結果、乾燥後の膜厚が約50μmとなっ
た。
(Formation of B-stage film) The resin composition was applied on a release film and dried at 110 ° C for 15 minutes. As a result, the film thickness after drying was about 50 μm.

【0034】実施例1 図1(a)に示すように、基材厚さ0.2mm、銅箔厚
さ18μmのガラスエポキシ銅張積層板MCL−E−6
79(日立化成工業株式会社製、商品名)の表面にエッ
チングレジストを形成し、そのエッチングレジストから
露出した銅をエッチング除去することによって、内層回
路板1を作製した。次に、図1(b)に示すように、芳
香族ポリアミドイミド樹脂100重量部に対し、クレゾ
ールノボラック型エポキシ樹脂のESCN195(住友
化学工業株式会社製、商品名)21.3重量部とビスフ
ェノールA型フェノール樹脂のVH4170(大日本イ
ンキ化学工業株式会社製、商品名)12.5重量部から
成り、硬化物の特性がそれぞれ、ガラス転移点=241
℃、ガラス転移点から350℃までの線膨張係数=17
0ppm/℃、300℃の貯蔵弾性率=103Mpaで
あって、厚さが50μmのBステージのポリアミドイミ
ド系接着フィルム2を介して、内層回路板1と18μm
厚の外層銅箔3を、180℃、60分、30kgf/c
2の条件で積層接着した。このフィルムの樹脂フロー
は、800μmであった。次に、図1(c)に示すよう
に、所望の位置に直径0.3mmのドリルを用いて、穴
あけを行い、貫通穴4を設けた。次に、図1(d)に示
すように、無電解めっきを約15μm行い、貫通穴4の
内壁にめっき5を析出させ、表面の不要な箇所の銅をエ
ッチング除去してライン/スペース=100μm/10
0μmの配線6を形成し、8層の多層プリント配線板を
作製した。その結果、はんだ耐熱性が良好であった。
Example 1 As shown in FIG. 1A, a glass epoxy copper clad laminate MCL-E-6 having a base material thickness of 0.2 mm and a copper foil thickness of 18 μm.
An inner layer circuit board 1 was produced by forming an etching resist on the surface of No. 79 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) and etching away copper exposed from the etching resist. Next, as shown in FIG. 1 (b), 21.3 parts by weight of a cresol novolac type epoxy resin ESCN195 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., trade name) and bisphenol A were added to 100 parts by weight of the aromatic polyamideimide resin. Type phenolic resin, VH4170 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc., trade name) 12.5 parts by weight, and each cured product has a glass transition point of 241.
° C, linear expansion coefficient from glass transition point to 350 ° C = 17
0 ppm / ° C., storage elastic modulus at 300 ° C. = 103 Mpa, and 18 μm with the inner circuit board 1 via the B-stage polyamideimide adhesive film 2 having a thickness of 50 μm.
Thick outer layer copper foil 3 is applied at 180 ° C. for 60 minutes at 30 kgf / c.
It was laminated and bonded under the condition of m 2 . The resin flow of this film was 800 μm. Next, as shown in FIG. 1C, a through hole 4 was formed at a desired position by using a drill having a diameter of 0.3 mm. Next, as shown in FIG. 1 (d), electroless plating is performed to about 15 μm, plating 5 is deposited on the inner wall of the through hole 4, and copper in unnecessary portions on the surface is removed by etching to obtain a line / space = 100 μm. / 10
The wiring 6 having a thickness of 0 μm was formed, and an eight-layer multilayer printed wiring board was manufactured. As a result, the solder heat resistance was good.

【0035】実施例2 図2(a)に示すように、基材厚さ0.4mm、銅箔厚
み18μmのMCL−E−679(日立化成工業株式会
社製、商品名)を使用し、所望の位置に直径0.3mm
のドリルで穴あけし、次いで無電解めっきを約12μm
行った後、エッチングレジストを形成し、そのエッチン
グレジストから露出した銅をエッチング除去することに
よって、内層回路板1を作製した。次に、図2(b)に
示すように、内層回路板1の両面に実施例1で使用し
た、厚さが50μmのBステージのポリアミドイミド系
接着フィルム2と、厚さが18μmの外層銅箔3を、1
80℃、60分、30kgf/cm2の条件で積層接着
した。次に、図2(c)に示すように、外層銅箔3のバ
イアホール9となる部分をエッチング除去し、100μ
mの開口部7を設けた。次に、図2(d)に示すよう
に、露出したバイアホール9となる部分の樹脂を、レー
ザー穴あけ機GS−500H(住友重機械工業株式会社
製、商品名)を用いて、周波数=150Hz、電圧=2
0kV、パルスエネルギー=85mJ、ショット数=7
ショットの条件で、内層の銅箔が露出するまで除去し
た。次に、図2(e)に示すように、無電解めっきを約
15μm行って、バイアホール9の箇所で外層銅箔と内
層回路とを電気的に接続した後、表面の不要な箇所の銅
をエッチング除去して、ライン/スペース=100μm
/100μmの配線を形成し、4層のビルドアッププリ
ント配線板とした。次に、図2(f)に示すように、4
層のビルドアッププリント配線板の両面に実施例1で使
用した、厚さが50μmのBステージのポリアミドイミ
ド系接着フィルム2と18μmの外層銅箔3を、180
℃、60分、30kgf/cm2の条件で積層接着し
た。次に、図2(g)に示すように、外層銅箔3のバイ
アホール9となる部分をエッチング除去し、100μm
の開口部7を設けた。次に、図2(h)に示すように、
露出したバイアホール9となる部分の樹脂を、レーザー
穴あけ機GS−500Hにより、内層の銅箔が露出する
まで除去し、さらに、直径0.3mmのドリルにより穴
あけを行って、貫通穴を設けた。次に、図2(i)に示
すように、無電解めっきを15μm行って、貫通穴4と
バイアホール9の箇所で、各層間を電気的に接続した
後、表面の不要な箇所の銅をエッチング除去して、ライ
ン/スペース=100μm/100μmの配線を形成
し、6層のビルドアッププリント配線板を作製した。そ
の結果、はんだ耐熱性が良好であった。
Example 2 As shown in FIG. 2 (a), using MCL-E-679 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) having a base material thickness of 0.4 mm and a copper foil thickness of 18 μm, 0.3mm diameter at the position
And then electroless plating about 12μm
After that, an etching resist was formed, and copper exposed from the etching resist was removed by etching, whereby the inner layer circuit board 1 was manufactured. Next, as shown in FIG. 2B, a 50 μm thick B-stage polyamideimide adhesive film 2 used in Example 1 and an 18 μm thick outer layer copper were used on both surfaces of the inner circuit board 1. Foil 3
Laminate bonding was performed at 80 ° C. for 60 minutes at 30 kgf / cm 2 . Next, as shown in FIG. 2C, a portion to be the via hole 9 of the outer layer copper foil 3 is removed by etching,
m opening 7 was provided. Next, as shown in FIG. 2 (d), the resin in the exposed via hole 9 was removed by using a laser drilling machine GS-500H (trade name, manufactured by Sumitomo Heavy Industries, Ltd.) at a frequency of 150 Hz. , Voltage = 2
0 kV, pulse energy = 85 mJ, number of shots = 7
Under the conditions of the shot, it was removed until the inner layer copper foil was exposed. Next, as shown in FIG. 2 (e), electroless plating is performed by about 15 μm to electrically connect the outer layer copper foil and the inner layer circuit at the via hole 9. Is removed by etching to obtain a line / space = 100 μm
/ 100 μm wiring was formed to form a four-layer build-up printed wiring board. Next, as shown in FIG.
The B-stage polyamide-imide adhesive film 2 having a thickness of 50 μm and the outer copper foil 3 having a thickness of 18 μm used in Example 1 were applied to both sides of the build-up printed wiring board having a thickness of 180 μm.
Laminate bonding was performed at 30 ° C. for 60 minutes at 30 kgf / cm 2 . Next, as shown in FIG. 2 (g), a portion to become the via hole 9 of the outer layer copper foil 3 was removed by etching to obtain a 100 μm
Opening 7 was provided. Next, as shown in FIG.
The exposed portion of the resin to be the via hole 9 was removed by a laser drilling machine GS-500H until the inner layer copper foil was exposed, and further, a through hole was formed by drilling with a 0.3 mm diameter drill. . Next, as shown in FIG. 2 (i), electroless plating is performed at 15 μm to electrically connect the respective layers at the locations of the through holes 4 and the via holes 9, and then copper at unnecessary locations on the surface is removed. The wiring was removed by etching to form a line / space = 100 μm / 100 μm, and a six-layer build-up printed wiring board was manufactured. As a result, the solder heat resistance was good.

【0036】実施例3 図3(a)に示すように、基材厚さ0.2mm、銅箔厚
み18μmのMCL−E−679(日立化成工業株式会
社製、商品名)の表面にエッチングレジストを形成し、
そのエッチングレジストから露出した銅をエッチング除
去することによって、内層回路板1を作製した。次に、
図3(b)に示すように、内層回路板1の両面に、実施
例1で使用した、厚さ50μmのBステージのポリアミ
ドイミド系接着フィルム2と、18μmの外層銅箔3
を、180℃、60分、30kgf/cm2の条件で積
層接着した。次に、図3(c)に示すように、所望の位
置に直径0.3mmのドリルを用いて、穴あけを行い、
貫通穴4を設けた。次に、図3(d)に示すように、無
電解めっきを約15μm行い、貫通穴4の内壁にめっき
5を析出させ、表面の不要な箇所の銅をエッチング除去
してライン/スペース=100μm/100μmの配線
6を形成し、4層の多層プリント配線板を作製した。次
に、図3(e)に示すように、4層の多層プリント配線
板の両面に、実施例1で使用した、厚さが50μmのB
ステージのポリアミドイミド系接着フィルム2と、18
μmの外層銅箔3を、180℃、60分、30kgf/
cm2の条件で積層接着した。次に、図3(f)に示す
ように、外層銅箔3のバイアホール9となる部分をエッ
チング除去し、100μmの開口部7を設けた。次に、
図3(g)に示すように、露出したバイアホール9とな
る部分の樹脂を、レーザー穴あけ機GS−500Hによ
り、内層の銅箔が露出するまで除去した。次に、図3
(h)に示すように、無電解めっきを約15μm行っ
て、バイアホール9の箇所で外層銅箔と内層回路とを電
気的に接続した後、表面の不要な箇所の銅をエッチング
除去して、ライン/スペース=100μm/100μm
の配線を形成し、6層のビルドアッププリント配線板と
した。次に、図3(i)に示すように、6層のビルドア
ッププリント配線板の両面に実施例1で使用したBステ
ージのポリアミドイミド系接着フィルム2と18μmの
外層銅箔3を、180℃、60分、30kgf/cm2
の条件で積層接着した。次に、図3(j)に示すよう
に、外層銅箔3のバイアホール9となる部分をエッチン
グ除去し、100μmの開口部7を設けた。次に、図3
(k)に示すように、露出したバイアホール9となる部
分の樹脂を、レーザー穴あけ機GS−500Hにより、
内層の銅箔が露出するまで除去し、さらに、直径0.3
mmのドリルにより穴あけを行って、貫通穴4を設け
た。次に、図3(l)に示すように、無電解めっきを1
5μm行って、貫通穴4とバイアホール9の箇所で、各
層間を電気的に接続した後、表面の不要な箇所の銅をエ
ッチング除去して、ライン/スペース=100μm/1
00μmの配線を形成し、8層のビルドアッププリント
配線板を作製した。その結果、はんだ耐熱性が良好であ
った。
Example 3 As shown in FIG. 3A, an etching resist was applied to the surface of MCL-E-679 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) having a base material thickness of 0.2 mm and a copper foil thickness of 18 μm. To form
The inner layer circuit board 1 was produced by etching away the copper exposed from the etching resist. next,
As shown in FIG. 3 (b), on both sides of the inner circuit board 1, a 50 μm thick B-stage polyamide-imide adhesive film 2 used in Example 1 and an 18 μm outer copper foil 3
Were laminated and bonded at 180 ° C. for 60 minutes at 30 kgf / cm 2 . Next, as shown in FIG. 3C, a hole is drilled at a desired position using a drill having a diameter of 0.3 mm.
A through hole 4 was provided. Next, as shown in FIG. 3 (d), electroless plating is performed to about 15 μm, plating 5 is deposited on the inner wall of the through hole 4, and copper at unnecessary portions on the surface is removed by etching to obtain a line / space = 100 μm. The wiring 6 of / 100 μm was formed, and a four-layer multilayer printed wiring board was manufactured. Next, as shown in FIG. 3E, the 50 μm thick B used in Example 1 was applied to both surfaces of the four-layer multilayer printed wiring board.
Stage polyamide-imide adhesive film 2 and 18
μm outer layer copper foil 3 at 180 ° C. for 60 minutes, 30 kgf /
The laminate was adhered under the condition of cm 2 . Next, as shown in FIG. 3 (f), a portion to be the via hole 9 of the outer layer copper foil 3 was removed by etching to provide an opening 7 of 100 μm. next,
As shown in FIG. 3 (g), the resin in the portion to be the exposed via hole 9 was removed by a laser drilling machine GS-500H until the inner layer copper foil was exposed. Next, FIG.
As shown in (h), electroless plating is performed by about 15 μm to electrically connect the outer layer copper foil and the inner layer circuit at the location of the via hole 9, and then the unnecessary portion of the surface is etched away by copper. , Line / space = 100 μm / 100 μm
Were formed to form a six-layer build-up printed wiring board. Next, as shown in FIG. 3 (i), the B-stage polyamideimide adhesive film 2 used in Example 1 and the 18 μm outer copper foil 3 were applied to both surfaces of a six-layer build-up printed wiring board at 180 ° C. , 60 minutes, 30kgf / cm 2
Under the conditions described below. Next, as shown in FIG. 3 (j), a portion to be the via hole 9 of the outer layer copper foil 3 was removed by etching to provide an opening 7 of 100 μm. Next, FIG.
As shown in (k), the resin in the exposed via hole 9 is removed by a laser drilling machine GS-500H.
Remove until the inner layer copper foil is exposed.
A through hole 4 was provided by drilling with a mm drill. Next, as shown in FIG.
After conducting 5 μm and electrically connecting the respective layers at the locations of the through holes 4 and the via holes 9, copper in unnecessary portions on the surface was removed by etching, and line / space = 100 μm / 1.
A wiring of 00 μm was formed, and an eight-layer build-up printed wiring board was manufactured. As a result, the solder heat resistance was good.

【0037】実施例4 芳香族ポリアミドイミド樹脂100重量部に対し、クレ
ゾールノボラック型エポキシ樹脂のEOCN1020
(日本化薬株式会社製、商品名)21.7重量部と、ク
レゾールノボラック型フェノール樹脂のKA1160
(大日本インキ化学工業株式会社製、商品名)13.2
重量部から成り、硬化物の特性がそれぞれ、ガラス転移
点=241℃、ガラス転移点から350℃までの線膨張
係数=170ppm/℃、300℃の貯蔵弾性率=10
3Mpaであって、厚さが50μmのBステージのポリ
アミドイミド系接着フィルムを使用した以外は、実施例
1と同様にして、8層の多層プリント配線板を作製し
た。このフィルムの樹脂フローは、700μmであっ
た。その結果、はんだ耐熱性が良好であった。
Example 4 A cresol novolak epoxy resin EOCN1020 was added to 100 parts by weight of an aromatic polyamideimide resin.
(Manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) 21.7 parts by weight and cresol novolak type phenol resin KA1160
(Trade name, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) 13.2
The cured product has a glass transition point of 241 ° C., a coefficient of linear expansion from the glass transition point to 350 ° C. = 170 ppm / ° C., and a storage modulus at 300 ° C. = 10, respectively.
An 8-layer multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1, except that a B-stage polyamideimide-based adhesive film having a thickness of 3 Mpa and a thickness of 50 μm was used. The resin flow of this film was 700 μm. As a result, the solder heat resistance was good.

【0038】実施例5 芳香族ポリアミドイミド樹脂100重量部に対し、EO
CN1020(日本化薬株式会社製、商品名)21.7
重量部と、KA1160(大日本インキ化学工業株式会
社製、商品名)13.2重量部から成り、硬化物の特性
がそれぞれ、ガラス転移点=241℃、ガラス転移点か
ら350℃までの線膨張係数=170ppm/℃、30
0℃の貯蔵弾性率=103Mpaであって、厚さが50
μmのBステージのポリアミドイミド系接着フィルムを
使用した以外は、実施例2と同様にして、6層のビルド
アッププリント配線板を作製した。その結果、はんだ耐
熱性が良好であった。
Example 5 EO was added to 100 parts by weight of an aromatic polyamideimide resin.
CN1020 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) 21.7
Parts by weight and 13.2 parts by weight of KA1160 (trade name, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), and the properties of the cured product are glass transition point = 241 ° C. and linear expansion from the glass transition point to 350 ° C., respectively. Coefficient = 170 ppm / ° C, 30
Storage modulus at 0 ° C. = 103 Mpa and thickness of 50
A six-layer build-up printed wiring board was produced in the same manner as in Example 2 except that a B-staged polyamideimide-based adhesive film of μm was used. As a result, the solder heat resistance was good.

【0039】実施例6 芳香族ポリアミドイミド樹脂100重量部に対し、EO
CN1020(日本化薬株式会社製、商品名)21.7
重量部と、KA1160(大日本インキ化学工業株式会
社製、商品名)13.2重量部から成り、硬化物の特性
がそれぞれ、ガラス転移点=241℃、ガラス転移点か
ら350℃までの線膨張係数=170ppm/℃、30
0℃の貯蔵弾性率=103Mpaであって、厚さが50
μmのBステージのポリアミドイミド系接着フィルムを
使用した以外は、実施例3と同様にして、8層のビルド
アッププリント配線板を作製した。その結果、はんだ耐
熱性が良好であった。
Example 6 EO was added to 100 parts by weight of an aromatic polyamide-imide resin.
CN1020 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) 21.7
Parts by weight and 13.2 parts by weight of KA1160 (trade name, manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), and the properties of the cured product are glass transition point = 241 ° C. and linear expansion from the glass transition point to 350 ° C., respectively. Coefficient = 170 ppm / ° C, 30
Storage modulus at 0 ° C. = 103 Mpa and thickness of 50
An eight-layer build-up printed wiring board was produced in the same manner as in Example 3, except that a B-staged polyamideimide-based adhesive film of μm was used. As a result, the solder heat resistance was good.

【0040】比較例1 芳香族ポリアミドイミド樹脂単体であり、硬化物の特性
がそれぞれ、ガラス転移点=229℃、ガラス転移点か
ら350℃までの線膨張係数=6400ppm/℃、3
00℃の貯蔵弾性率=5.2Mpaであって、厚さが5
0μmのBステージのポリアミドイミド接着フィルムを
使用した以外は、実施例1と同様にして、8層の多層プ
リント配線板を作製した。その結果、はんだ耐熱性試験
後に、多層配線板中の接着フィルム層にボイドが発生
し、はんだ耐熱性が低下した。
Comparative Example 1 An aromatic polyamide-imide resin was used alone, and the cured product had a glass transition point of 229 ° C. and a linear expansion coefficient from the glass transition point to 350 ° C. of 6400 ppm / ° C., respectively.
Storage modulus at 00 ° C. = 5.2 Mpa and thickness 5
An eight-layer multilayer printed wiring board was produced in the same manner as in Example 1 except that a B-stage polyamideimide adhesive film of 0 μm was used. As a result, after the solder heat resistance test, voids were generated in the adhesive film layer in the multilayer wiring board, and the solder heat resistance was reduced.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の多層プ
リント配線板およびその製造法によって、IVHを多段
真上に重ねることができ、高密度化が可能で基板表面が
平滑、および耐熱性に優れるため、多層プリント配線板
の配線形成性、実装信頼性および耐熱性を向上させるこ
とが出来るという優れた効果が得られる。
As described above, according to the multilayer printed wiring board of the present invention and the method of manufacturing the same, the IVH can be superimposed directly on multiple stages, the density can be increased, the substrate surface is smooth, and the heat resistance is improved. Therefore, an excellent effect of improving the wiring formability, mounting reliability and heat resistance of the multilayer printed wiring board can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)〜(d)は、それぞれ本発明の一実施例
を説明するための各工程における断面図である。
FIGS. 1A to 1D are cross-sectional views in respective steps for describing one embodiment of the present invention.

【図2】(a)〜(i)は、それぞれ本発明のほかの実
施例を説明するための各工程における断面図である。
2 (a) to 2 (i) are cross-sectional views in respective steps for explaining another embodiment of the present invention.

【図3】(a)〜(l)は、それぞれ本発明のさらにほ
かの実施例を説明するための各工程における断面図であ
る。
3 (a) to 3 (l) are cross-sectional views in respective steps for explaining still another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1.内層回路板 2.ポリアミ
ドイミド系接着フィルム 3.外層銅箔 4.貫通穴 5.めっき 6.配線 7.開口部 8.バイアホ
ールとなる穴 9.バイアホール
1. 1. inner layer circuit board 2. Polyamide-imide adhesive film Outer layer copper foil 4. Through hole 5. Plating 6. Wiring 7. Opening 8. 8. Hole to be a via hole Via hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島山 裕一 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館研究所内 (72)発明者 堀内 猛 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館研究所内 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Yuichi Shimayama 1500 Ogawa Ogawa, Shimodate City, Ibaraki Prefecture Inside the Shimodate Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd. Inside the Shimodate Research Laboratory

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】予め導体回路が形成された複数の絶縁板
を、ポリアミドイミド樹脂と熱硬化性成分から成る耐熱
性樹脂組成物を介して積層接着し、スルーホールを介し
て電気的に接続した多層プリント配線板において、耐熱
性樹脂組成物の硬化物の、ガラス転移点が180℃以
上、ガラス転移点から350℃までの線膨張係数が50
0ppm/℃以下、300℃での貯蔵弾性率が30MP
a以上であることを特徴とする多層プリント配線板。
1. A plurality of insulating plates on which conductor circuits are formed in advance are laminated and bonded via a heat-resistant resin composition comprising a polyamideimide resin and a thermosetting component, and are electrically connected via through holes. In the multilayer printed wiring board, the cured product of the heat-resistant resin composition has a glass transition point of 180 ° C. or higher and a linear expansion coefficient from the glass transition point to 350 ° C. of 50.
0 ppm / ° C or less, storage elastic modulus at 300 ° C is 30MP
a. The multilayer printed wiring board characterized by being not less than a.
【請求項2】ポリアミドイミド樹脂と熱硬化性成分から
成る耐熱性樹脂組成物により、絶縁された基板の表面に
形成された少なくとも1層以上の導体回路を、少なくと
も1層以上のバイアホールを介して電気的に接続した多
層プリント配線板において、耐熱性樹脂組成物の硬化物
の、ガラス転移点が180℃以上、ガラス転移点から3
50℃までの線膨張係数が500ppm/℃以下、30
0℃での貯蔵弾性率が30MPa以上であることを特徴
とする多層プリント配線板。
2. A heat-resistant resin composition comprising a polyamide-imide resin and a thermosetting component allows at least one or more conductive circuits formed on the surface of an insulated substrate to pass through at least one or more via holes. The glass transition point of the cured product of the heat-resistant resin composition is 180 ° C. or higher and 3
Coefficient of linear expansion up to 50 ° C is 500 ppm / ° C or less, 30
A multilayer printed wiring board having a storage elastic modulus at 0 ° C. of 30 MPa or more.
【請求項3】耐熱性樹脂組成物中の熱硬化性成分が、エ
ポキシ樹脂とその硬化剤もしくは硬化促進剤から成るこ
とを特徴とする請求項1または2に記載の多層プリント
配線板。
3. The multilayer printed wiring board according to claim 1, wherein the thermosetting component in the heat-resistant resin composition comprises an epoxy resin and a curing agent or a curing accelerator thereof.
【請求項4】ポリアミドイミド樹脂と熱硬化性成分の重
量比が、ポリアミドイミド樹脂100重量部に対して、
熱硬化性樹脂成分が10〜150重量部の範囲であるこ
とを特徴とする請求項3に記載の多層プリント配線板。
4. The weight ratio of the polyamide-imide resin and the thermosetting component is 100 parts by weight of the polyamide-imide resin.
The multilayer printed wiring board according to claim 3, wherein the thermosetting resin component is in a range of 10 to 150 parts by weight.
【請求項5】a.ポリアミドイミド樹脂と熱硬化性成分
から成る熱硬化性ポリアミドイミド系接着フィルムを、
予め導体回路を形成した複数の絶縁板と外層銅箔との間
に介在させ、加熱・加圧により加熱硬化し積層接着する
工程 b.所望の位置にドリルで貫通穴をあけ、各層を導通さ
せる導体回路を露出させる工程 c.各導体回路層を電気的に接続するためのめっき工程 d.外層銅箔上にエッチングレジストを形成し、銅箔を
選択的にエッチング除去し、配線回路を形成する工程 e.エッチングレジストを除去する工程 から成ることを特徴とする多層プリント配線板の製造
法。
5. A method according to claim 1, A thermosetting polyamide-imide adhesive film composed of a polyamide-imide resin and a thermosetting component,
A step of interposing between a plurality of insulating plates in which a conductor circuit has been formed in advance and an outer layer copper foil, heating and curing by heating and pressing, and laminating and bonding b. Drilling a through hole at a desired position to expose a conductor circuit for conducting each layer c. Plating step for electrically connecting each conductor circuit layer d. Forming an etching resist on the outer layer copper foil, selectively removing the copper foil by etching, and forming a wiring circuit e. A method for producing a multilayer printed wiring board, comprising a step of removing an etching resist.
【請求項6】a.ポリアミドイミド樹脂と熱硬化性成分
から成る熱硬化性ポリアミドイミド系接着フィルムを、
予め導体回路を形成した内層板と外層銅箔との間に介在
させ、加熱・加圧により、加熱硬化し積層接着する工程 b.外層導体上にエッチングレジストを形成し、銅箔を
選択的にエッチング除去し、微細穴を形成する工程 c.エッチングレジストを除去する工程 d.微細穴から露出した硬化樹脂層を、レーザー穴あけ
で除去し、バイアホールをあけ、内層板の導体回路を露
出させる工程 e.内層板の導体回路と外層銅箔を電気的に接続するた
めのめっき工程 f.外層銅箔上にエッチングレジストを形成し、選択エ
ッチングにより銅箔面に配線回路を形成する工程 g.エッチングレジストを除去する工程 から成ることを特徴とする多層プリント配線板の製造
法。
6. A method according to claim 6, A thermosetting polyamide-imide adhesive film composed of a polyamide-imide resin and a thermosetting component,
A step of interposing between an inner layer plate in which a conductor circuit has been previously formed and an outer layer copper foil, heating and curing by heating and pressing, and laminating and bonding b. A step of forming an etching resist on the outer layer conductor and selectively etching away the copper foil to form fine holes c. Removing the etching resist d. A step of removing the cured resin layer exposed from the fine holes by laser drilling, making a via hole, and exposing the conductive circuit of the inner layer plate e. Plating step for electrically connecting the conductor circuit of the inner layer plate and the outer layer copper foil f. Forming an etching resist on the outer layer copper foil and forming a wiring circuit on the copper foil surface by selective etching; g. A method for producing a multilayer printed wiring board, comprising a step of removing an etching resist.
【請求項7】h.a〜gの工程を繰り返し、2層以上に
わたって連続的にバイアホールを形成する工程をさらに
有することを特徴とする請求項6に記載の多層プリント
配線板の製造法。
7. h. The method for producing a multilayer printed wiring board according to claim 6, further comprising a step of repeating steps a to g to form via holes continuously over two or more layers.
【請求項8】Bステージでの熱硬化性ポリアミドイミド
系接着フィルムの樹脂樹脂フロー量が、500μm以上
であることを特徴とする請求項5〜7のうちいずれかに
記載の多層プリント板の製造法。
8. The production of a multilayer printed board according to claim 5, wherein the resin flow of the thermosetting polyamideimide-based adhesive film in the B stage is 500 μm or more. Law.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012227534A (en) * 2005-11-08 2012-11-15 Hitachi Chem Co Ltd Metal foil with adhesive layer, metal-clad laminate, and printed wiring board and multilayer wiring board obtained by using the metal-clad laminate

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