JPH10238918A - 特殊ガス用簡易保冷庫 - Google Patents
特殊ガス用簡易保冷庫Info
- Publication number
- JPH10238918A JPH10238918A JP4306197A JP4306197A JPH10238918A JP H10238918 A JPH10238918 A JP H10238918A JP 4306197 A JP4306197 A JP 4306197A JP 4306197 A JP4306197 A JP 4306197A JP H10238918 A JPH10238918 A JP H10238918A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- box
- exchanger
- heat
- diborane
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大気温により分解や変質を起こし易い特殊ガ
スを安価な設備で輸送および保管することを目的とす
る。 【解決手段】 本発明は、特殊ガスが充填されたシリン
ダー（Ｃ）を保冷庫（１）に格納固定し、液化窒素容器
（５）からの液化窒素により特殊ガスに特有のある一定
温度に冷却し、測温体ａの温度をその一定温度に維持し
つつ輸送および保管する構成になっている。
スを安価な設備で輸送および保管することを目的とす
る。 【解決手段】 本発明は、特殊ガスが充填されたシリン
ダー（Ｃ）を保冷庫（１）に格納固定し、液化窒素容器
（５）からの液化窒素により特殊ガスに特有のある一定
温度に冷却し、測温体ａの温度をその一定温度に維持し
つつ輸送および保管する構成になっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術】本発明は、熱の影響でその組成に
悪影響を受けやすいジボランまたはジボランを含む混合
ガス等の特殊材料ガスの輸送および保管に関するもので
ある。
悪影響を受けやすいジボランまたはジボランを含む混合
ガス等の特殊材料ガスの輸送および保管に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】特殊材料ガスであるジボラン及びジボラ
ンを含む混合ガス等は、熱の影響でその組成を変えやす
く、製造時に確認された純度が、使用する時には変化し
て使用できなかったり、あるいは使用して製品に不具合
を生じたりするため、製造、充填、保管、輸送及び使用
の各段階で、熱の影響を防ぐため冷凍庫で保管される等
の厳しい温度管理がされている。
ンを含む混合ガス等は、熱の影響でその組成を変えやす
く、製造時に確認された純度が、使用する時には変化し
て使用できなかったり、あるいは使用して製品に不具合
を生じたりするため、製造、充填、保管、輸送及び使用
の各段階で、熱の影響を防ぐため冷凍庫で保管される等
の厳しい温度管理がされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】輸送にあたっても、熱
影響での純度不良を防ぐため、現在は簡易な保管箱で日
光の直射を防ぐとともに、ドライアイスあるいは氷を一
緒に入れて冷却、輸送されている。
影響での純度不良を防ぐため、現在は簡易な保管箱で日
光の直射を防ぐとともに、ドライアイスあるいは氷を一
緒に入れて冷却、輸送されている。
【０００４】しかし、ドライアイス及び氷は、直接接触
している部分の冷却は良いものの、非接触部分での冷却
ではその能力は一段と低下する。あわせて輸送時間や外
気温の変化に対応するため、ドライアイスあるいは氷を
必要量以上に入れており、不経済な面は否定できない。
している部分の冷却は良いものの、非接触部分での冷却
ではその能力は一段と低下する。あわせて輸送時間や外
気温の変化に対応するため、ドライアイスあるいは氷を
必要量以上に入れており、不経済な面は否定できない。
【０００５】しかも、ドライアイスあるいは氷が直接接
触している部分は、その搬入の際に冷え過ぎによる霜付
きを生じやすく、その部分にほこりによる汚れが付きや
すく、極端にパーティクルを嫌う半導体工場では解決を
急がれる課題となっている。
触している部分は、その搬入の際に冷え過ぎによる霜付
きを生じやすく、その部分にほこりによる汚れが付きや
すく、極端にパーティクルを嫌う半導体工場では解決を
急がれる課題となっている。
【０００６】 以上の課題を解決するには、温度管理が
出来る機械式冷凍機を備えた保管庫を持つ運搬車で対応
する事が考えられるが、設備費用及び使用頻度から考え
ると、不経済で実用化は難しい。
出来る機械式冷凍機を備えた保管庫を持つ運搬車で対応
する事が考えられるが、設備費用及び使用頻度から考え
ると、不経済で実用化は難しい。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は簡易な温度管理機構と断熱性能を有し、高
圧ガス容器の保管が可能な保冷庫を考え、併せて、現在
使用している運搬車に積み降ろしが可能な機能を備える
事で上記問題の解決を達成した。
に、本発明は簡易な温度管理機構と断熱性能を有し、高
圧ガス容器の保管が可能な保冷庫を考え、併せて、現在
使用している運搬車に積み降ろしが可能な機能を備える
事で上記問題の解決を達成した。
【０００８】
【発明の実施の形態】特殊ガスであるジボラン（Ｂ２Ｈ
６）の主な用途は半導体製造用に使用され、その場合通
常はＮ２、Ａｒ、Ｈｅ、Ｈ２等のガスで希釈されジボラ
ン含有量はＰＰＭから数％のオーダーにして使用され
る。
６）の主な用途は半導体製造用に使用され、その場合通
常はＮ２、Ａｒ、Ｈｅ、Ｈ２等のガスで希釈されジボラ
ン含有量はＰＰＭから数％のオーダーにして使用され
る。
【０００９】ジボランは毒性が強く、生体粘膜の水分と
接触して数秒以内にホウ酸と水素に加水分解する際に高
い反応熱を出し粘膜を損傷させる。許容濃度は０．１Ｐ
ＰＭである。また、ジボランは常温でゆっくり分解し、
水素と高級ボラン等になるため、−３０℃以下に保持せ
ずに時間を経過したものは品位が低下する。
接触して数秒以内にホウ酸と水素に加水分解する際に高
い反応熱を出し粘膜を損傷させる。許容濃度は０．１Ｐ
ＰＭである。また、ジボランは常温でゆっくり分解し、
水素と高級ボラン等になるため、−３０℃以下に保持せ
ずに時間を経過したものは品位が低下する。
【００１０】以上のような特性のあるジボランまたはジ
ボランを含有するガスを長距離輸送や長時間保管する必
要が度々おこる。これらの要望に対処し、ジボランまた
はジボランを含有するガスを安全に輸送および保管する
本発明による簡易保冷庫の好適な実施形態について説明
する。
ボランを含有するガスを長距離輸送や長時間保管する必
要が度々おこる。これらの要望に対処し、ジボランまた
はジボランを含有するガスを安全に輸送および保管する
本発明による簡易保冷庫の好適な実施形態について説明
する。
【００１１】
【実施例】シリンダー（Ｃ）（直径約２０ｃｍｘ高さ約
１６０ｃｍ）を数本乃至十数本格納出来る箱体を用意す
る。該箱体は全面を熱の不良導体で形成され、外部から
熱の侵入および内部からの熱の放射を防ぐように構成さ
れている。
１６０ｃｍ）を数本乃至十数本格納出来る箱体を用意す
る。該箱体は全面を熱の不良導体で形成され、外部から
熱の侵入および内部からの熱の放射を防ぐように構成さ
れている。
【００１２】例えば、図１（側面図）、図２（平面図）
のように箱体としての保冷庫（１）は断熱材（２）で形
成され、熱交換器（３）を保冷庫（１）内に固定し、保
護板（４）で熱交換器（３）を保護する。前記熱交換器
（３）に液化窒素容器（５）からバルブ（Ｖ）を通して
液化窒素をフレキシブルホース（６）により導入し、前
記熱交換器（３）で気化させ、保冷庫内の空気を冷却
し、冷熱を利用した後の気化窒素は熱交換器（３）の放
出口よりガス放出調節バルブ（Ｗ）を通して大気に放出
される。該ガス放出調節バルブ（Ｗ）をつけることによ
り前記熱交換器（３）に液化窒素および低温窒素ガスを
長時間保持可能となり寒冷の一層の効率利用ができる。
のように箱体としての保冷庫（１）は断熱材（２）で形
成され、熱交換器（３）を保冷庫（１）内に固定し、保
護板（４）で熱交換器（３）を保護する。前記熱交換器
（３）に液化窒素容器（５）からバルブ（Ｖ）を通して
液化窒素をフレキシブルホース（６）により導入し、前
記熱交換器（３）で気化させ、保冷庫内の空気を冷却
し、冷熱を利用した後の気化窒素は熱交換器（３）の放
出口よりガス放出調節バルブ（Ｗ）を通して大気に放出
される。該ガス放出調節バルブ（Ｗ）をつけることによ
り前記熱交換器（３）に液化窒素および低温窒素ガスを
長時間保持可能となり寒冷の一層の効率利用ができる。
【００１３】保冷庫（１）内の上部および下部に各々測
温体ａおよび測温体ｂを設置し、測温体ａおよび測温体
ｂの温度表示８ａおよび８ｂにより、液化窒素導入のた
めのバルブ（Ｖ）並びにガス放出調節バルブ（Ｗ）の開
度を調節する。又、必要に応じて保冷庫内温度を自動的
に一定させるためにバルブ（Ｖ）を電磁弁等に替え温度
計８ａと連動させバルブ（Ｖ）の開度を変えることもで
きる。
温体ａおよび測温体ｂを設置し、測温体ａおよび測温体
ｂの温度表示８ａおよび８ｂにより、液化窒素導入のた
めのバルブ（Ｖ）並びにガス放出調節バルブ（Ｗ）の開
度を調節する。又、必要に応じて保冷庫内温度を自動的
に一定させるためにバルブ（Ｖ）を電磁弁等に替え温度
計８ａと連動させバルブ（Ｖ）の開度を変えることもで
きる。
【００１４】物品固定用支柱（７）は特殊ガスが充填さ
れたシリンダー（Ｃ）を固定し、保冷庫（１）を液化窒
素容器（５）と共にトラックに乗せ容易に移動可能とす
ることもできる。
れたシリンダー（Ｃ）を固定し、保冷庫（１）を液化窒
素容器（５）と共にトラックに乗せ容易に移動可能とす
ることもできる。
【００１５】また、保冷庫（１）は直方体の一面全体を
扉（９）にし、シリンダー等の重量物の出し入れを容易
にしている。
扉（９）にし、シリンダー等の重量物の出し入れを容易
にしている。
【００１６】このような保冷庫で輸送や保管せねばなら
ない特殊ガスは、前述の Ｎ２、Ａｒ、Ｈｅ、Ｈ２等の
ガスで希釈されたジボラン（Ｂ２Ｈ６）の外に、Ｎ２、
Ａｒ、Ｈｅ、Ｈ２等のガスで希釈されたテルル化水素
（ＴｅＨ２）やスチビン（ＳｂＨ３）等が考えられる。
ない特殊ガスは、前述の Ｎ２、Ａｒ、Ｈｅ、Ｈ２等の
ガスで希釈されたジボラン（Ｂ２Ｈ６）の外に、Ｎ２、
Ａｒ、Ｈｅ、Ｈ２等のガスで希釈されたテルル化水素
（ＴｅＨ２）やスチビン（ＳｂＨ３）等が考えられる。
【００１７】また、冷熱源として液化窒素の外に液化酸
素、液化空気の低温液化ガスが考えられる。
素、液化空気の低温液化ガスが考えられる。
【００１８】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば大
気温により分解等の変質を起こし易い特殊ガスを簡便に
製作可能な保冷庫により輸送および保管することが出来
るので特殊ガスの流通コスト削減に大いに寄与すること
ができる。
気温により分解等の変質を起こし易い特殊ガスを簡便に
製作可能な保冷庫により輸送および保管することが出来
るので特殊ガスの流通コスト削減に大いに寄与すること
ができる。
【図１】本発明による特殊ガス用簡易保冷庫の側面図
【図２】本発明による特殊ガス用簡易保冷庫の平面図
【符合の説明】 １・・・保冷庫 ２・・・断熱材 ３・・・熱交換器 ４・・・保護板 ５・・・液化窒素容器 ６・・・フレキシブルホース ７・・・物品固定用支柱 ８ａ、８ｂ・・・温度計 ９・・・扉 ａ、ｂ・・・測温体 Ｃ・・・シリンダー Ｖ・・・バルブ Ｗ・・・ガス放出調節バルブ
Claims (1)
- 【請求項１】 ある一定温度以上で分解する特殊ガスま
たは該特殊ガスを含む混合ガスが充填されたシリンダー
（Ｃ）を液化ガスの冷熱により前記特殊ガスに特有のあ
る一定温度以下に測温体ａを維持して輸送および保管す
ることを特徴とする特殊ガス用簡易保冷庫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4306197A JPH10238918A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 特殊ガス用簡易保冷庫 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4306197A JPH10238918A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 特殊ガス用簡易保冷庫 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10238918A true JPH10238918A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12653360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4306197A Pending JPH10238918A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 特殊ガス用簡易保冷庫 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10238918A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2443202A (en) * | 2006-10-25 | 2008-04-30 | Mccoy Drilling Fluids Ltd | Apparatus and method for cooling a flow of gas |
| WO2009130436A1 (en) * | 2008-04-25 | 2009-10-29 | Mccoy Drilling Fluids Limited | Method and apparatus for cooling a flow of gas |
| JP2010533015A (ja) * | 2007-07-13 | 2010-10-21 | アムロナ・アーゲー | 閉鎖空間における防火及び／又は消火方法並びに閉鎖空間における防火及び／又は消火装置 |
| JP2016516973A (ja) * | 2013-03-29 | 2016-06-09 | トキタエ エルエルシー | 温度制御されたポータブル冷却ユニット |
| US10941971B2 (en) | 2013-03-29 | 2021-03-09 | Tokitae Llc | Temperature-controlled portable cooling units |
| US11105556B2 (en) | 2013-03-29 | 2021-08-31 | Tokitae, LLC | Temperature-controlled portable cooling units |
-
1997
- 1997-02-27 JP JP4306197A patent/JPH10238918A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2443202A (en) * | 2006-10-25 | 2008-04-30 | Mccoy Drilling Fluids Ltd | Apparatus and method for cooling a flow of gas |
| JP2010533015A (ja) * | 2007-07-13 | 2010-10-21 | アムロナ・アーゲー | 閉鎖空間における防火及び／又は消火方法並びに閉鎖空間における防火及び／又は消火装置 |
| US8602119B2 (en) | 2007-07-13 | 2013-12-10 | Amrona Ag | Method and device for preventing and/or extinguishing fires in enclosed spaces |
| WO2009130436A1 (en) * | 2008-04-25 | 2009-10-29 | Mccoy Drilling Fluids Limited | Method and apparatus for cooling a flow of gas |
| JP2016516973A (ja) * | 2013-03-29 | 2016-06-09 | トキタエ エルエルシー | 温度制御されたポータブル冷却ユニット |
| US10941971B2 (en) | 2013-03-29 | 2021-03-09 | Tokitae Llc | Temperature-controlled portable cooling units |
| US11105556B2 (en) | 2013-03-29 | 2021-08-31 | Tokitae, LLC | Temperature-controlled portable cooling units |
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