JPH10232352A - Laser scan microscope - Google Patents

Laser scan microscope

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Publication number
JPH10232352A
JPH10232352A JP9049881A JP4988197A JPH10232352A JP H10232352 A JPH10232352 A JP H10232352A JP 9049881 A JP9049881 A JP 9049881A JP 4988197 A JP4988197 A JP 4988197A JP H10232352 A JPH10232352 A JP H10232352A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
excitation laser
laser light
light receiving
scanning microscope
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP9049881A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsumi Ogino
克美 荻野
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Publication of JPH10232352A publication Critical patent/JPH10232352A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate positioning operation whenever observation is performed and periodical positioning operation, to obtain the same brightness image with excellent handleability by light receiving excitation laser light separated with a second light separation means with a multi-division photodetector, driving an adjustment means so that outputs of respective photodetectors become the same size and making coincide the outgoing direction of the excitation laser light with an optical axis. SOLUTION: This microscope is provided with the second light separation means 5 arranged on an optical path between a light source 2 and a first light separation means 9 and the multi-division photodetector 20 detecting the excitation laser light separated by this second light separation means 5. The excitation laser light whose light quantity is detected by the multi-division photodetector 20, and respective photodetectors of the multi-division photodetector 20 output signals equivalent to light receiving amounts. A control means 7 inputted with these signals drives the adjustment means 4 after it performs prescribed processing, and moves a reflection means 3 to make coincide the outgoing direction of the excitation laser light with the optical axis. Then, the control means 7 drives the adjustment means 4 so that the outputs of respective photodetectors become the same size.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は細胞内の化学反応
の瞬間的変化や過渡現象の測定に用いられるレーザ走査
顕微鏡に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser scanning microscope used for measuring instantaneous changes and transient phenomena of chemical reactions in cells.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ走査顕微鏡、例えば共焦点レーザ
走査顕微鏡は、励起レーザ光を出射する光源と、励起レ
ーザ光を所定方向へ反射させる反射ミラーと、励起レー
ザ光を反射させるとともに、蛍光を透過させるビームス
プリッタと、励起レーザ光を試料上で2次元走査する走
査装置と、走査装置と試料との間に配置された対物レン
ズと、対物レンズの焦点面と共役な位置に設けられたピ
ンホールと、ピンホールを通過した蛍光を観察する観察
装置とを備える。
2. Description of the Related Art A laser scanning microscope, for example, a confocal laser scanning microscope, includes a light source that emits an excitation laser beam, a reflection mirror that reflects the excitation laser beam in a predetermined direction, a reflection of the excitation laser beam, and a transmission of fluorescence. A beam splitter, a scanning device for two-dimensionally scanning the excitation laser beam on the sample, an objective lens disposed between the scanning device and the sample, and a pinhole provided at a position conjugate with the focal plane of the objective lens. And an observation device for observing the fluorescence that has passed through the pinhole.

【0003】この共焦点レーザ走査顕微鏡によれば、焦
点面から発光した蛍光だけがピンホールを通過するの
で、観察装置では鮮明な画像を得ることができる。
According to this confocal laser scanning microscope, only fluorescent light emitted from the focal plane passes through the pinhole, so that a clear image can be obtained with the observation device.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、共焦点レー
ザ走査顕微鏡では、ピンホールを通過した蛍光だけを観
察するため、光源から出射される励起レーザ光の光軸が
ずれると観察装置で得られる画像は非常に暗い、見難い
ものとなってしまう。
However, in the confocal laser scanning microscope, since only the fluorescence that has passed through the pinhole is observed, if the optical axis of the excitation laser light emitted from the light source is shifted, an image obtained by the observation device is obtained. Is very dark and difficult to see.

【0005】ところで、この光軸のずれは共焦点レーザ
走査顕微鏡の環境温度の変化によって、また経時的に変
化することが知られている。
By the way, it is known that the deviation of the optical axis changes with the change of the environmental temperature of the confocal laser scanning microscope and with time.

【0006】そのため、共焦点レーザ走査顕微鏡で観察
を行う度又は定期的に、励起レーザ光の光軸との位置合
わせ操作が行われている。この位置合わせの操作は、例
えば観察者が観察装置で画像を見ながら最適な明るさの
画像を得ることができる位置にピンホールの位置を調整
することで行われる。
[0006] Therefore, every time observation is performed with a confocal laser scanning microscope or at regular intervals, a positioning operation with the optical axis of the excitation laser light is performed. This positioning operation is performed, for example, by adjusting the position of the pinhole to a position where an observer can obtain an image of optimal brightness while viewing the image with the observation device.

【0007】しかし、この調整は観察者の感覚によると
ころが大きく、常に定量的に同じ明るさの画像を得るこ
とはできないという問題があった。
[0007] However, this adjustment largely depends on the sense of the observer, and there is a problem that an image of the same brightness cannot always be obtained quantitatively.

【0008】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は観察を行う度又は定期点検の度に
励起レーザ光の光軸との位置合わせ操作を不要にし、し
かも常に定量的に同じ明るさの画像を得ることことがで
きる使い勝手のよいレーザ走査顕微鏡を提供することで
ある。
The present invention has been made in view of such circumstances, and its object is to eliminate the need for an operation of aligning the excitation laser beam with the optical axis each time observation or periodic inspection is performed. Another object of the present invention is to provide an easy-to-use laser scanning microscope capable of obtaining an image of the same brightness.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項1記載の発明のレーザ走査顕微鏡は、励起レー
ザ光を出射する光源と、前記励起レーザ光を反射させる
とともに、蛍光を透過させる第1の光分離手段とを備え
たレーザ走査顕微鏡において、前記光源と前記第1の光
分離手段との間の光路に配設された第2の光分離手段
と、この第2の光分離手段で分離された励起レーザ光を
検知する多分割受光素子と、前記光源と前記第2の光分
離手段との間の光路に配置され、前記励起レーザ光を所
定方向へ偏向させる偏向手段と、前記偏向手段による前
記励起レーザ光の偏向方向を調節する調節手段と、前記
多分割した受光素子それぞれの出力に基づいて前記調節
手段を駆動して、前記励起レーザ光の偏向方向を制御す
る制御手段備えることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a laser scanning microscope which emits excitation laser light, reflects the excitation laser light, and transmits fluorescence. In a laser scanning microscope provided with a first light separating means, a second light separating means disposed in an optical path between the light source and the first light separating means, and the second light separating means A multi-divided light receiving element that detects the excitation laser light separated by the light source, a deflecting unit that is disposed in an optical path between the light source and the second light separation unit, and deflects the excitation laser light in a predetermined direction; Adjusting means for adjusting the deflection direction of the excitation laser light by the deflection means; and control means for controlling the deflection direction of the excitation laser light by driving the adjustment means based on the output of each of the multi-divided light receiving elements. This The features.

【0010】反射手段と第1の光分離手段との間の光路
に配設された第2の光分離手段で分離された励起レーザ
光は多分割受光素子で光量を検出され、多分割受光素子
のそれぞれの受光素子は受光量に相当する信号を出力す
る。この信号を入力した制御手段は所定の処理を行った
後、調節手段を駆動して反射手段を動かし、励起レーザ
光の出射方向を光軸と一致させる。
The excitation laser light separated by the second light separating means disposed on the optical path between the reflecting means and the first light separating means is detected by a multi-divided light receiving element for the amount of light. Output a signal corresponding to the amount of received light. After inputting this signal, the control means performs predetermined processing and then drives the adjusting means to move the reflecting means so that the emission direction of the excitation laser light coincides with the optical axis.

【0011】請求項2記載の発明のレーザ走査顕微鏡
は、請求項1記載のレーザ走査顕微鏡において、前記制
御手段は、前記それぞれの受光素子の出力が同じ大きさ
になるように前記調節手段を駆動することを特徴とす
る。
According to a second aspect of the present invention, in the laser scanning microscope according to the first aspect, the control means drives the adjusting means so that the outputs of the respective light receiving elements have the same magnitude. It is characterized by doing.

【0012】制御手段はそれぞれの受光素子の出力が同
じ大きさになるように調節機構を駆動し、励起レーザ光
の出射方向が光軸となるように反射ミラーを動かす。
The control means drives the adjusting mechanism so that the outputs of the respective light receiving elements have the same magnitude, and moves the reflection mirror so that the emission direction of the excitation laser light is on the optical axis.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を添付
図面に基づいて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

【0014】図1はこの発明に係るレーザ走査顕微鏡の
ブロック構成図である。
FIG. 1 is a block diagram of a laser scanning microscope according to the present invention.

【0015】この共焦点レーザ走査顕微鏡1は、レーザ
光源2と、全反射ミラー(偏向手段)3と、ビームスプ
リッタ(第2の光分離手段)5と、多分割センサ(多分
割受光素子)20と、マイクロコンピュータ(制御手
段)7と、ビームエクスパンダ8と、ビームスプリッタ
(第1の光分離手段)9と、瞳投影レンズ10と、XY
スキャナ11と、対物レンズ12と、集光レンズ13
と、検出側ピンホール14と、蛍光検出器15とを備え
る。
The confocal laser scanning microscope 1 includes a laser light source 2, a total reflection mirror (deflecting means) 3, a beam splitter (second light separating means) 5, and a multi-segment sensor (multi-segment light receiving element) 20. , Microcomputer (control means) 7, beam expander 8, beam splitter (first light separating means) 9, pupil projection lens 10, XY
A scanner 11, an objective lens 12, and a condenser lens 13
And a detection-side pinhole 14 and a fluorescence detector 15.

【0016】ビームエクスパンダ8はレンズ8a,8b
と、レンズ8aとレンズ8bとの間に配設された照明側
ピンホール8cとからなる。
The beam expander 8 has lenses 8a and 8b.
And an illumination side pinhole 8c disposed between the lens 8a and the lens 8b.

【0017】レーザ光源2から出射された励起レーザ光
を反射させる全反射ミラー3には、例えば互いに直角に
交差する2つの回転軸を駆動する電磁コイル4a,4b
を備える、ジンバル機構等の調節機構(調節手段)4が
取り付けられている。
The total reflection mirror 3 for reflecting the excitation laser light emitted from the laser light source 2 has, for example, electromagnetic coils 4a and 4b for driving two rotation axes intersecting at right angles to each other.
And an adjusting mechanism (adjusting means) 4 such as a gimbal mechanism.

【0018】ビームスプリッタ5は全反射ミラー3とビ
ームエクスパンダ8との間に配置され、数%の励起レー
ザ光だけを反射させる。
The beam splitter 5 is disposed between the total reflection mirror 3 and the beam expander 8, and reflects only a few% of the excitation laser light.

【0019】多分割センサ20は4つの受光素子21〜
24(図2参照)からなり、ビームスプリッタ5で反射
された励起レーザ光を受光する。それぞれの受光素子2
1〜24はそれぞれの受光素子21〜24の受光量に相
当する大きさの信号を出力する。
The multi-segment sensor 20 includes four light receiving elements 21 to
24 (see FIG. 2), and receives the excitation laser light reflected by the beam splitter 5. Each light receiving element 2
1 to 24 output signals having magnitudes corresponding to the amounts of light received by the respective light receiving elements 21 to 24.

【0020】マイクロコンピュータ7はそれぞれの受光
素子21〜24からの信号に基づいて、予め定められた
プログラムにしたがって調節機構4を制御する。
The microcomputer 7 controls the adjusting mechanism 4 in accordance with a predetermined program based on signals from the respective light receiving elements 21 to 24.

【0021】この実施形態では予め指定した組み合わせ
の2つの受光素子の出力を加算した後、減算して得られ
た結果に基づいて調節機構4を制御するプログラムとな
っている。すなわち、それぞれの受光素子21〜24の
出力をそれぞれ21A〜24Aとしたとき、 (21A+22A)−(23A+24A) 及び (21A+24A)−(22A+23A) の2種類の演算を行った結果に基づいて調節機構4を制
御している。
In this embodiment, a program for controlling the adjusting mechanism 4 based on the result obtained by adding the outputs of two light receiving elements of a combination designated in advance and then subtracting the outputs. That is, assuming that the outputs of the respective light receiving elements 21 to 24 are 21A to 24A, respectively, the adjustment mechanism 4 is based on the result of performing two types of calculations of (21A + 22A)-(23A + 24A) and (21A + 24A)-(22A + 23A). Is controlling.

【0022】ビームエクスパンダ8は、励起レーザ光を
対物レンズ12の瞳面を満たす大きさに拡大する。
The beam expander 8 expands the excitation laser light so as to fill the pupil plane of the objective lens 12.

【0023】ビームスプリッタ9は、励起レーザ光を透
過させないが試料16で励起された蛍光を透過させる。
The beam splitter 9 does not transmit the excitation laser light but transmits the fluorescence excited by the sample 16.

【0024】XYスキャナ11は、励起レーザ光を2次
元的(XY方向)に走査する。
The XY scanner 11 scans the excitation laser light two-dimensionally (XY directions).

【0025】対物レンズ12は、励起レーザ光を試料1
6に集光させる。
The objective lens 12 transmits the excitation laser beam to the sample 1
The light is focused on 6.

【0026】ピンホール14は、対物レンズ12の焦点
面と共役な位置に配置され、集光レンズ13で集光され
た蛍光だけを通過させる。
The pinhole 14 is disposed at a position conjugate with the focal plane of the objective lens 12 and allows only the fluorescence collected by the condenser lens 13 to pass.

【0027】蛍光検出器14はピンホール14を通過し
た蛍光を検出し、電気信号に変換し、図示しないモニタ
等によって試料16の画像化が図られる。
The fluorescence detector 14 detects the fluorescence passing through the pinhole 14, converts the fluorescence into an electric signal, and forms an image of the sample 16 using a monitor (not shown).

【0028】上記構成の共焦点レーザ走査顕微鏡の動作
を図1〜図5を参照して説明する。
The operation of the confocal laser scanning microscope having the above configuration will be described with reference to FIGS.

【0029】光源2から出射され、全反射ミラー3によ
って光路上に導かれた励起レーザ光は、ビームスプリッ
タ5を通過した後、ビームエクスパンダ8に入射し、こ
のビームエクスパンダ8で対物レンズ12の瞳面を満た
せる大きさに拡大される。
The excitation laser light emitted from the light source 2 and guided on the optical path by the total reflection mirror 3 passes through the beam splitter 5 and then enters the beam expander 8, where the objective lens 12 Is expanded to a size that can satisfy the pupil plane of

【0030】この励起レーザ光は、ビームスプリッタ9
によって反射された後、瞳投影レンズ10を介してXY
スキャナ11によって2次元的に振られ、対物レンズ1
2を介して試料16上に照射される。試料16中の蛍光
物質は励起して蛍光を発する。
The excitation laser light is applied to the beam splitter 9.
XY through the pupil projection lens 10
The objective lens 1 is swung two-dimensionally by the scanner 11.
The sample 2 is irradiated onto the sample 16 through the sample 2. The fluorescent substance in the sample 16 emits fluorescence when excited.

【0031】この蛍光は励起レーザ光とともに対物レン
ズ12からXYスキャナ11へと光路を逆行し、瞳投影
レンズ10を介してビームスプリッタ9で励起レーザ光
と分離される。
The fluorescent light travels backward along the optical path from the objective lens 12 to the XY scanner 11 together with the excitation laser light, and is separated from the excitation laser light by the beam splitter 9 via the pupil projection lens 10.

【0032】ビームスプリッタ9を通過した蛍光は集光
レンズ13で集光される。ピンホール14は試料14の
所定のスライス面の蛍光だけを通過させる(共焦点効
果)。その後、蛍光は蛍光検出器15で受光されて電気
信号に変換され、モニタで画像として表示される。
The fluorescence that has passed through the beam splitter 9 is condensed by the condenser lens 13. The pinhole 14 allows only the fluorescence of a predetermined slice surface of the sample 14 to pass therethrough (confocal effect). Thereafter, the fluorescence is received by the fluorescence detector 15 and converted into an electric signal, which is displayed as an image on a monitor.

【0033】また、ビームスプリッタ5で反射された励
起レーザ光の一部は多分割センサ20に入射する。
A part of the excitation laser light reflected by the beam splitter 5 enters the multi-segment sensor 20.

【0034】図2は励起レーザ光が光軸と一致している
場合の多分割センサの受光状態を示す図、図3(a)〜
(f)は励起レーザ光が光軸と一致している場合のマイ
クロコンピュータによる制御方法の一例を説明する図、
図4は励起レーザ光が光軸と一致していない場合の多分
割センサの受光状態の一例を示す図、図5(a)〜
(f)は励起レーザ光が光軸と一致していない場合のマ
イクロコンピュータによる制御方法の一例を説明する図
である。
FIG. 2 is a diagram showing a light receiving state of the multi-segment sensor when the excitation laser beam coincides with the optical axis, and FIGS.
(F) is a diagram for explaining an example of a control method by the microcomputer when the excitation laser beam coincides with the optical axis,
FIG. 4 is a diagram showing an example of a light receiving state of the multi-segment sensor when the excitation laser light does not coincide with the optical axis, and FIGS.
(F) is a diagram illustrating an example of a control method by the microcomputer when the excitation laser light does not coincide with the optical axis.

【0035】励起レーザ光が正しい方向へ出射されてい
る場合には、多分割センサ20のそれぞれの受光素子2
1〜24は図2に示すように同一の光量を受けるため、
それぞれの受光素子の出力21A〜24Aは同じ大きさ
となる。
When the excitation laser light is emitted in the correct direction, each light receiving element 2
1 to 24 receive the same amount of light as shown in FIG.
The outputs 21A to 24A of the respective light receiving elements have the same magnitude.

【0036】そのため、(21A+22A)(図3
(a)参照)、(23A+24A)(図3(b)参
照)、(21A+24A)(図3(d)参照)及び(2
2A+23A)(図3(e)参照)は何れも等しくなる
ので、(21A+22A)−(23A+24A)(図3
(c)参照)及び(21A+24A)−(22A+23
A)(図3(f)参照)は何れも零となり、マイクロコ
ンピュータ7は調節機構4を駆動せず、全反射ミラー3
を動かさない。
Therefore, (21A + 22A) (FIG. 3)
(See (a)), (23A + 24A) (see FIG. 3 (b)), (21A + 24A) (see FIG. 3 (d)) and (2
2A + 23A) (see FIG. 3 (e)) are equal, so (21A + 22A)-(23A + 24A) (FIG. 3
(C)) and (21A + 24A)-(22A + 23)
A) (see FIG. 3 (f)) is zero, the microcomputer 7 does not drive the adjusting mechanism 4 and the total reflection mirror 3
Do not move.

【0037】一方、顕微鏡の環境(例えば温度)が変わ
って、励起レーザ光の出射方向が変化したり、反射ミラ
ーの調節機構7の狂いによって励起レーザ光の反射方向
が変化したりして励起レーザ光が正しい方向へ出射され
なくなった場合には、多分割センサ7のそれぞれの受光
素子21〜24は、例えば図4に示すように受光する。
On the other hand, when the environment (for example, temperature) of the microscope changes, the emission direction of the excitation laser light changes, or the reflection direction of the excitation laser light changes due to the misalignment of the adjusting mechanism 7 of the reflection mirror. When light is no longer emitted in the correct direction, each of the light receiving elements 21 to 24 of the multi-segment sensor 7 receives light, for example, as shown in FIG.

【0038】このとき、それぞれの受光素子21〜24
が受ける光量は異なり、(21A+22A)(図5
(a)参照)、(23A+24A)(図5(b)参
照)、(21A+24A)(図5(d)参照)及び(2
2A+23A)(図5(e)参照)は何れも相違するよ
うになる。
At this time, each of the light receiving elements 21 to 24
Receive different light amounts, (21A + 22A) (FIG. 5)
(See (a)), (23A + 24A) (see FIG. 5 (b)), (21A + 24A) (see FIG. 5 (d)), and (2)
2A + 23A) (see FIG. 5 (e)).

【0039】したがって、(21A+22A)−(23
A+24A)(図5(c)参照)及び(21A+24
A)−(22A+23A)(図5(f)参照)は何れも
零とはならない。
Therefore, (21A + 22A)-(23
A + 24A) (see FIG. 5C) and (21A + 24).
A)-(22A + 23A) (see FIG. 5 (f)) do not become zero.

【0040】マイクロコンピュータ7は、(21A+2
2A)−(23A+24A)及び(21A+24A)−
(22A+23A)が何れも零となるように、調節機構
4を駆動して励起レーザ光が正しい方向へ出射されるよ
うに全反射ミラー3を動かす。
The microcomputer 7 calculates (21A + 2
2A)-(23A + 24A) and (21A + 24A)-
The adjusting mechanism 4 is driven so that all of (22A + 23A) become zero, and the total reflection mirror 3 is moved so that the excitation laser light is emitted in a correct direction.

【0041】この実施形態によれば、全反射ミラー3と
ビームエクスパンダ8との間の光路に配設されたビーム
スプリッタ5で分離された励起レーザ光を多分割センサ
20で受光し、それぞれの受光素子21〜24の出力が
同じ大きさになるように調節機構4を駆動して全反射ミ
ラー3を動かし、励起レーザ光を正しい方向へ出射させ
ることができる。
According to this embodiment, the excitation laser light separated by the beam splitter 5 disposed in the optical path between the total reflection mirror 3 and the beam expander 8 is received by the multi-split sensor 20, and each of them is received. By driving the adjusting mechanism 4 to move the total reflection mirror 3 so that the outputs of the light receiving elements 21 to 24 have the same magnitude, the excitation laser light can be emitted in the correct direction.

【0042】したがって、観察を行う度又は定期点検の
度に励起レーザ光の光軸との位置合わせ操作が不要とな
り、しかも常に定量的に同じ明るさの画像を得ることこ
とができるので、共焦点レーザ走査顕微鏡の使い勝手が
よくなる。
Therefore, it is not necessary to perform an alignment operation with the optical axis of the excitation laser beam every time an observation or a periodic inspection is performed, and an image with the same brightness can always be obtained quantitatively. The usability of the laser scanning microscope is improved.

【0043】また、ビームスプリッタ5は全反射ミラー
3とビームエキスパンダ8との間の光路に配設したの
で、以下の長所を有する。
Since the beam splitter 5 is disposed on the optical path between the total reflection mirror 3 and the beam expander 8, it has the following advantages.

【0044】多分割センサとしては、径の小さい(1m
m程度)励起レーザ光を受光できる小型のものを用いる
ことができる(例えば、ビームエキスパンダの後では励
起レーザ光の径は10mm程度となる)。
As a multi-split sensor, a small diameter (1 m
m) which can receive the excitation laser light (for example, the diameter of the excitation laser light is about 10 mm after the beam expander).

【0045】例えばそれぞれの励起レーザ光に対するビ
ームエキスパンダの構成の異なるものを用いる必要があ
る、紫外レーザ光と可視の励起レーザ光とを出射できる
マルチタイプの光源を用いる場合でも、1つのビームス
プリッタでよい。
For example, even when a multi-type light source capable of emitting ultraviolet laser light and visible excitation laser light is used, it is necessary to use different beam expanders for each excitation laser light. Is fine.

【0046】なお、前述の実施形態では、制御手段はマ
イクロコンピュータを用いソフトウェア処理を行う構成
例を示したが、ランダムロジック回路を用いて調節機構
の駆動を制御するようにしてもよい。また、本実施形態
の共焦点レーザ走査顕微鏡は、蛍光観察を行うものとし
たが、本発明はこれに限らず、例えば、単に試料の反射
光を観察するものであってもよい。このとき、図1に示
すビームスプリッタ9はハーフミラーにおきかえられ
る。さらに、励起レーザ光を偏光する部材は全反射ミラ
ーに限らず、例えば、音響光学偏向器(AOD)や平行
平面板等であってもよい。
In the above-described embodiment, the control unit performs the software processing using the microcomputer. However, the control unit may control the driving of the adjustment mechanism using a random logic circuit. In addition, the confocal laser scanning microscope of the present embodiment performs the fluorescence observation, but the present invention is not limited to this, and for example, may simply observe the reflected light of the sample. At this time, the beam splitter 9 shown in FIG. 1 is replaced with a half mirror. Further, the member that polarizes the excitation laser light is not limited to the total reflection mirror, and may be, for example, an acousto-optic deflector (AOD) or a plane-parallel plate.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上に説明したように請求項1又は2に
記載の発明のレーザ走査顕微鏡によれば、偏光手段と第
1の光分離手段との間の光路に配設された第2の光分離
手段で分離された励起レーザ光を多分割受光素子で受光
し、それぞれの受光素子の出力が同じ大きさになるよう
に調節手段を駆動して偏向手段を介した励起レーザ光の
出射方向を光軸と一致させるので、観察を行う度や定期
的な励起レーザ光の光軸との位置合わせ操作を不要にで
き、しかも常に定量的に同じ明るさの画像を得ることこ
とができ、レーザ走査顕微鏡を使い勝手のよいものとす
ることができる。
As described above, according to the laser scanning microscope of the first or second aspect of the present invention, the second light source disposed in the optical path between the polarizing means and the first light separating means. The excitation laser light separated by the light separating means is received by the multi-divided light receiving element, and the adjusting means is driven so that the output of each light receiving element has the same magnitude, and the emission direction of the excitation laser light through the deflecting means. Coincides with the optical axis, which eliminates the need for each observation and periodic alignment operation with the excitation laser light's optical axis.Also, images with the same brightness can always be obtained quantitatively. The scanning microscope can be made easy to use.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1はこの発明に係る共焦点レーザ走査顕微鏡
のブロック構成図である。
FIG. 1 is a block diagram of a confocal laser scanning microscope according to the present invention.

【図2】図2は励起レーザ光が光軸と一致している場合
の多分割センサの受光状態を示す図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a light receiving state of a multi-segment sensor when an excitation laser beam coincides with an optical axis.

【図3】図3(a)〜(f)は励起レーザ光が光軸と一
致している場合のマイクロコンピュータによる制御方法
の一例を説明する図である。
FIGS. 3A to 3F are diagrams illustrating an example of a control method by a microcomputer when an excitation laser beam coincides with an optical axis.

【図4】図4は励起レーザ光が光軸と一致していない場
合の多分割センサの受光状態の一例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a light receiving state of the multi-segment sensor when the excitation laser light does not coincide with the optical axis.

【図5】図5(a)〜(f)は励起レーザ光が光軸と一
致していない場合のマイクロコンピュータによる制御方
法の一例を説明する図である。
FIGS. 5A to 5F are diagrams illustrating an example of a control method by a microcomputer when the excitation laser light does not coincide with the optical axis.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 共焦点レーザ走査顕微鏡 2 レーザ光源 3 全反射ミラー(偏向手段) 4 調節機構(調節手段) 5 ビームスプリッタ(第2の光分離手段) 7 マイクロコンピュータ(制御手段) 9 ビームスプリッタ(第1の光分離手段) 20 多分割センサ(多分割受光素子) 21〜24 受光素子 Reference Signs List 1 confocal laser scanning microscope 2 laser light source 3 total reflection mirror (deflecting means) 4 adjusting mechanism (adjusting means) 5 beam splitter (second light separating means) 7 microcomputer (control means) 9 beam splitter (first light) Separation unit) 20 Multi-segment sensor (multi-segment light receiving element) 21 to 24 light receiving element

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 励起レーザ光を出射する光源と、 前記励起レーザ光を反射させるとともに、蛍光を透過さ
せる第1の光分離手段とを備えたレーザ走査顕微鏡にお
いて、 前記光源と前記第1の光分離手段との間の光路に配設さ
れた第2の光分離手段と、 この第2の光分離手段で分離された励起レーザ光を検知
する多分割受光素子と、前記光源と前記第2の光分離手
段との間の光路に配置され、前記励起レーザ光を所定方
向へ偏向させる偏向手段と、 前記偏向手段による前記励起レーザ光の偏向方向を調節
する調節手段と、 前記多分割した受光素子それぞれの出力に基づいて前記
調節手段を駆動して、前記励起レーザ光の偏向方向を制
御する制御手段とを備えることを特徴とするレーザ走査
顕微鏡。
1. A laser scanning microscope comprising: a light source that emits excitation laser light; and a first light separating unit that reflects the excitation laser light and transmits fluorescence. A second light separating unit disposed on an optical path between the light source and the second light separating unit; a multi-divided light receiving element for detecting an excitation laser beam separated by the second light separating unit; A deflecting unit disposed on an optical path between the light separating unit and deflecting the excitation laser light in a predetermined direction; an adjusting unit for adjusting a deflection direction of the excitation laser light by the deflecting unit; A laser scanning microscope comprising: a control unit that drives the adjustment unit based on each output to control a deflection direction of the excitation laser light.
【請求項2】 前記制御手段は、前記それぞれの受光素
子の出力が同じ大きさになるように前記調節手段を駆動
することを特徴とする請求項1記載のレーザ走査顕微
鏡。
2. The laser scanning microscope according to claim 1, wherein said control means drives said adjusting means so that outputs of said respective light receiving elements have the same magnitude.
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