JPH10228869A - Plasma display - Google Patents

Plasma display

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Publication number
JPH10228869A
JPH10228869A JP9339733A JP33973397A JPH10228869A JP H10228869 A JPH10228869 A JP H10228869A JP 9339733 A JP9339733 A JP 9339733A JP 33973397 A JP33973397 A JP 33973397A JP H10228869 A JPH10228869 A JP H10228869A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
weight
oxide
photosensitive
paste
Prior art date
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Pending
Application number
JP9339733A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Horiuchi
健 堀内
Yoshiki Masaki
孝樹 正木
Yuichiro Iguchi
雄一朗 井口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP9339733A priority Critical patent/JPH10228869A/en
Publication of JPH10228869A publication Critical patent/JPH10228869A/en
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  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To accomplish prevention of erroneous operation, reduction of power consumption, and improvement of a discharging characteristic by setting a dielectric constant, porosity, and a glass transition point of a stripe barrier rib provided with a specific line width to the specific values. SOLUTION: A dielectric constant of a barrier rib with a line width of 15-50μm is set to be 4-10, 6-9 desirably, and erroneous discharge via the barrier rib is prevented, while reduction in a softening point of glass and discharge voltage can be carried out. The barrier rib, in which a pitch is set to be 100-250μm (100-160μm, desirably) while a height is set to be 50-170μm (100-170μm, desirably), is excellent in erroneous discharge prevention, strength of the barrier rib, luminance of a panel, and a discharge life. When porosity of the barrier rib is set to be 10% or less (3% or less desirably), prevention of erroneous discharge, retention of adhesion with a substrate, and prevention of reduction in a discharge life and in luminance can be accomplished. Favorably, a glass transition point of a barrier rib material is set to be 430-500 deg.C while its glass softening point is set to be 470-580 deg.C, so that sufficient burning can be carried out and distortion and the like of the barrier rib can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ、プラズマアドレス液晶ディスプレイの隔壁に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display and a partition wall of a plasma addressed liquid crystal display.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイパネル(PDP)
は液晶パネルに比べて高速の表示が可能であり、かつ大
型化が容易であることから、OA機器および広報表示装
置などの分野に浸透している。また、高品位テレビジョ
ンの分野などでの進展が非常に期待されている。
2. Description of the Related Art Plasma display panels (PDPs)
Since they can display at a higher speed than a liquid crystal panel and can be easily made larger, they have permeated OA equipment and public information display devices. Further, progress in the field of high-definition television is highly expected.

【0003】このような用途の拡大にともなって、繊細
で多数の表示セルを有するカラーPDPが注目されてい
る。PDPは、前面ガラス基板と背面ガラス基板との間
に備えられた放電空間内で対抗するアノードおよびカソ
ード電極間にプラズマ放電を生じさせ、上記放電空間内
に封入されているガスから発生した紫外線を、放電空間
内に設けた蛍光体にあてることにより表示を行うもので
ある。この場合、放電の広がりを一定領域に押さえ、表
示を規定のセル内で行わせると同時に、かつ均一な放電
空間を確保するために隔壁(障壁、リブともいう)が設
けられている。上記の隔壁の形状は、およそ幅30〜8
0μm、高さ100〜200μmであるが、通常は前面
ガラス基板や背面ガラス基板にガラスからなる絶縁ペー
ストをスクリーン印刷法で印刷・乾燥し、この印刷・乾
燥工程を10〜20回繰り返して所定の高さにした後、
焼成して形成している。しかしながら、通常のスクリー
ン印刷法では、特にパネルサイズが大型化した場合に、
あらかじめ前面透明平面板上に形成された放電電極と絶
縁ガラスペーストの印刷場所との位置あわせが難しく、
位置精度が得られ難い問題がある。しかも10〜20回
のガラスペーストの重ね合わせ印刷を行うことによって
隔壁および壁体の側面エッジ部の波打ちや裾の乱れが生
じ、高さの精度が得られないため、表示品質が悪くな
り、また作業性が悪い、歩留まりが低いという問題があ
る。特に、パターン幅が50μm、ピッチが100μm
以下になると隔壁底部がペーストのチクソトロピー性に
より滲みやすく、シャープで残渣のない隔壁形成が難し
くなる問題がある。
With the expansion of such applications, attention has been paid to color PDPs having delicate and many display cells. The PDP generates plasma discharge between opposing anode and cathode electrodes in a discharge space provided between the front glass substrate and the rear glass substrate, and emits ultraviolet light generated from a gas sealed in the discharge space. The display is performed by hitting a phosphor provided in the discharge space. In this case, a partition (also referred to as a barrier or a rib) is provided to suppress the spread of the discharge to a certain area and perform display in a specified cell, and to secure a uniform discharge space. The shape of the partition wall is approximately 30 to 8 in width.
0 μm and height of 100 to 200 μm, usually, an insulating paste made of glass is printed and dried on the front glass substrate and the rear glass substrate by a screen printing method, and the printing and drying process is repeated 10 to 20 times to obtain a predetermined value. After height
It is formed by firing. However, in the normal screen printing method, especially when the panel size is increased,
It is difficult to align the discharge electrode formed on the front transparent flat plate in advance with the printing place of the insulating glass paste,
There is a problem that it is difficult to obtain positional accuracy. In addition, by performing the superposition printing of the glass paste 10 to 20 times, the ribs and the edge of the side wall of the partition wall and the skirt are disturbed, and the accuracy of the height cannot be obtained, so that the display quality is deteriorated. There are problems of poor workability and low yield. In particular, the pattern width is 50 μm and the pitch is 100 μm
Below this, there is a problem that the bottom of the partition wall is easily spread due to the thixotropic property of the paste, and it is difficult to form a sharp and residue-free partition wall.

【0004】PDPの大面積化、高解像度化にともな
い、このようなスクリーン印刷によるい方法では、高ア
スペクト比、高精細の隔壁の製造がますます技術的に困
難となり、かつコスト的に不利になってきている。
[0004] With the increase in the area and resolution of PDPs, such a method of screen printing makes it difficult to manufacture partition walls with a high aspect ratio and high definition, and this is disadvantageous in terms of cost. It has become to.

【0005】これらの問題を改良する方法として、特開
平1−296534号公報、特開平2−165538号
公報、特開平5−342992号公報、特開平6−29
5676号公報では、隔壁を感光性ペーストを用いてフ
ォトリソグラフィ技術により形成する方法が提案されて
いる。しかしながら、これらの方法では、感光性絶縁ペ
ーストのガラス含有量が少ないために焼成後に緻密な隔
壁が得られなかったり、感光性絶縁ペーストの感度や解
像度が低い問題があった。このためにスクリーン印刷・
露光・現像の工程を繰り返し行うことによって高アスペ
クト比の隔壁を得る必要があった。しかしながら、印刷
・露光・現像を繰り返し行うのでは、位置あわせの問題
が生じたり、低コスト化に限界があった。
As a method for improving these problems, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 1-2296534, 2-165538, 5-342929, and 6-29 have been proposed.
No. 5676 proposes a method of forming a partition by a photolithography technique using a photosensitive paste. However, according to these methods, there are problems that a dense partition wall cannot be obtained after firing and that the sensitivity and resolution of the photosensitive insulating paste are low because the glass content of the photosensitive insulating paste is small. For this purpose, screen printing
It was necessary to obtain a partition wall having a high aspect ratio by repeatedly performing the exposure and development steps. However, if printing, exposure, and development are repeatedly performed, there is a problem of alignment, and there is a limit to cost reduction.

【0006】特開平8−50811号公報では、感光性
ガラスペースト法を用いて、隔壁を1回の露光で形成す
る方法が提案されている。しかし、輝度向上のため、開
口率をあげるべく線幅を細くすると、選定するガラスに
よっては、誤放電が起こりやすくなったり、放電電圧が
高くなり消費電力量が多くなる問題があった。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-50811 proposes a method in which a partition is formed by one exposure using a photosensitive glass paste method. However, if the line width is reduced in order to increase the aperture ratio in order to improve the brightness, depending on the selected glass, there is a problem that erroneous discharge is likely to occur or the discharge voltage is increased and the power consumption is increased.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、プラズマデ
ィスプレイ用隔壁に関する。本発明は、プラズマディス
プレイの低消費電力化、誤作動の少ない、放電特性の優
れたプラズマディスプレイを提供することを目的とす
る。
The present invention relates to a partition for a plasma display. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a plasma display with reduced power consumption, less malfunction, and excellent discharge characteristics.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、線幅が
15〜50μmであるストライプ状の隔壁を有するプラ
ズマディスプレイであって、該隔壁の誘電率が4〜10
であることを特徴とするプラズマディスプレイにより達
成される。
An object of the present invention is to provide a plasma display having a stripe-shaped partition having a line width of 15 to 50 μm, wherein the dielectric constant of the partition is 4 to 10 μm.
This is achieved by a plasma display characterized by the following.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】プラズマディスプレイの隔壁材料
であるガラスの誘電率は、その組成により左右される。
一般に、B23やSiO2を多く含む時は低誘電率とな
り、Bi23、PbO、Al23を多く含む時は高誘電
率となる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The dielectric constant of glass, which is a partition material of a plasma display, depends on its composition.
In general, when a large amount of B 2 O 3 or SiO 2 is included, the dielectric constant is low, and when a large amount of Bi 2 O 3 , PbO, or Al 2 O 3 is included, the dielectric constant is high.

【0010】プラズマディスプレイにおいて、隔壁の誘
電率は、画素セルの電気容量、または隔壁を介しての誤
放電の起こりやすさに影響を与える。隔壁ガラスの誘電
率について、種々の検討を行った結果、隔壁の誘電率を
4〜10にすることが重要であることを見出した。
In a plasma display, the dielectric constant of the partition affects the electric capacity of the pixel cell or the possibility of erroneous discharge through the partition. As a result of various studies on the dielectric constant of the partition wall glass, it was found that it is important to set the dielectric constant of the partition wall to 4 to 10.

【0011】4よりも小さくなると、所望のセルを放電
させたときに、隣接したセルの放電も起こってしまう、
いわゆる誤放電が発生しやすくなるため、好ましくな
い。また、4以下にするためには、誘電率が3.8程度
である酸化珪素を多く含ませねばならず、ガラス転移点
が高くなり、焼成温度が高くなることから、基板歪みの
原因となり好ましくない。10以上であると、帯電量の
増加による電力のロスが生じ、消費電力の増加を引き起
こすため好ましくない。ガラスの軟化点の低下、誤放電
防止、放電電圧の低下の点から考えると、さらに好まし
くは6〜9がよい。
If it is smaller than 4, when a desired cell is discharged, adjacent cells also discharge.
This is not preferable because so-called erroneous discharge easily occurs. In addition, in order to make it 4 or less, a large amount of silicon oxide having a dielectric constant of about 3.8 must be contained, and the glass transition point becomes high and the firing temperature becomes high. Absent. If it is 10 or more, power loss due to an increase in the amount of charge occurs, which causes an increase in power consumption, which is not preferable. From the viewpoint of lowering the softening point of the glass, preventing erroneous discharge, and lowering the discharge voltage, 6 to 9 is more preferable.

【0012】誘電率の測定は、次のように行うのがよ
い。まず試料形状は、次のものが良い。隔壁ガラスを溶
融し、3cmφ、2mm厚板に加工し、電極を形成す
る。この際、中に気泡が入らないように作製する。これ
をLCRメーター(横川ヒューレットパッカード社製
HP4284A)で20℃、1MHzで電気容量を測定
し、誘電率を算出する。
The measurement of the dielectric constant is preferably performed as follows. First, the following sample shape is good. The partition wall glass is melted and processed into a 3 cmφ, 2 mm thick plate to form an electrode. At this time, it is made so that air bubbles do not enter. This is an LCR meter (Yokogawa Hewlett-Packard Company)
The electric capacity is measured at 20 ° C. and 1 MHz with HP4284A) to calculate the dielectric constant.

【0013】本発明の隔壁各部の形状は、誤放電防止、
隔壁の強度、パネルの輝度、放電寿命の点で優れている
ことから、ピッチが100〜250μm、高さが50〜
170μmが好ましく、より好ましくは、ピッチが10
0〜160μm、高さが100〜170μmである。ま
た、ピッチをP、線幅をL、高さをHとすると、次のよ
うな関係にあるのが、好ましい。
The shape of each part of the partition wall of the present invention is to prevent erroneous discharge,
Since the strength of the partition walls, the brightness of the panel, and the discharge life are excellent, the pitch is 100 to 250 μm, and the height is 50 to 50 μm.
170 μm is preferable, and more preferably, the pitch is 10 μm.
0 to 160 μm and height is 100 to 170 μm. Further, when the pitch is P, the line width is L, and the height is H, it is preferable that the following relationship be established.

【0014】・P=100〜140μmの時 L= 15〜 40μm H=100〜140μm ・P=140〜250μmの時 L= 20〜 50μm H=120〜170μm 線幅については、上記下限より小さいと、パターン形成
時の剥がれ、倒れ、隔壁の振れ幅が大きくなるため、好
ましくない。
When P = 100-140 μm L = 15-40 μm H = 100-140 μm When P = 140-250 μm L = 20-50 μm H = 120-170 μm If the line width is smaller than the above lower limit, It is not preferable because the peeling, falling, and the swinging width of the partition wall at the time of pattern formation become large.

【0015】上記上限より大きいと開口率が小さくなる
ことによる輝度の低下が起こり、好ましくない。また開
口率が低下することにより、隣接隔壁溝への蛍光体のは
みだし、または隔壁上部への蛍光体の付着が起こりやす
くなり、歩留まりが下がるため好ましくない。
If it is larger than the above upper limit, the brightness decreases due to the decrease in the aperture ratio, which is not preferable. In addition, when the aperture ratio is reduced, the phosphor is likely to protrude into the adjacent partition groove or adhere to the upper part of the partition wall, and the yield is undesirably reduced.

【0016】高さについては、上記下限より小さいと、
放電空間が狭くなり、プラズマ領域が蛍光体に近くな
り、蛍光体がスパッタされるため、寿命の点で好ましく
ない。上記上限より大きいと放電により発生した紫外線
が、蛍光体に届くまでに吸収されてしまうために輝度が
下がり、好ましくない。また、強度的にも弱くなり、倒
れ、剥がれが生じやすくなるため好ましくない。
Regarding the height, if it is smaller than the above lower limit,
Since the discharge space becomes narrower, the plasma region becomes closer to the phosphor, and the phosphor is sputtered, it is not preferable in terms of life. If it is larger than the above upper limit, the ultraviolet light generated by the discharge is absorbed before reaching the phosphor, which lowers the luminance, which is not preferable. Further, the strength is also weak, and it is easy to fall down and peel off, which is not preferable.

【0017】本発明における隔壁の気孔率は、誘電率が
小さくなりすぎるのを防ぐ、または隔壁の倒れを防止す
る基板との密着性に優れていることから、10%以下で
あることが好ましい。より好ましくは3%以下である。
In the present invention, the porosity of the partition walls is preferably 10% or less, because the partition walls have excellent adhesion to a substrate for preventing the dielectric constant from becoming too small or preventing the partition walls from falling down. It is more preferably at most 3%.

【0018】ガラスの誘電率は最も小さいのが石英ガラ
スで3.8程度であるのに対し、気体の誘電率は1に近
いため、気孔率が大きいほど、隔壁全体の複合誘電率は
小さくなり、誤放電の原因となる。また基板との密着性
が悪化するのに加え、強度の不足、また放電時に気孔か
ら排出されるガス、水分による輝度低下などの放電特性
悪化の原因になるため、気孔率は10%以下であるのが
好ましい。パネルの放電寿命、輝度安定性などの放電特
性を考慮すると、さらに好ましくは3%以下がよい。
The lowest dielectric constant of glass is about 3.8 for quartz glass, whereas the dielectric constant of gas is close to 1, so that the larger the porosity, the smaller the composite dielectric constant of the entire partition. , Causing erroneous discharge. In addition, the porosity is 10% or less because the adhesion to the substrate is deteriorated, the strength is insufficient, and the discharge characteristics are deteriorated, such as a decrease in brightness due to gas and moisture discharged from the pores during discharge. Is preferred. Considering the discharge characteristics such as the discharge life and luminance stability of the panel, it is more preferably 3% or less.

【0019】気孔は水分吸着の原因となるため、セル放
電時に水分が蒸発し、輝度を低下させ好ましくない。特
に、空孔が多くあると、空孔の直径が1μm以下でも排
気抵抗が増加し、気孔の表面積が増えることによるガス
吸着が多くなり、好ましくない。したがって気孔を減少
させるためには、十分な焼成が必要となる。また、大き
な空孔ができると微細なパターン形成ができなくなると
いう問題がある。
Since pores cause moisture adsorption, moisture evaporates at the time of cell discharge, which undesirably lowers luminance. In particular, when there are many pores, even if the diameter of the pores is 1 μm or less, the exhaust resistance increases, and the gas adsorption due to the increase in the surface area of the pores increases, which is not preferable. Therefore, in order to reduce pores, sufficient firing is required. In addition, there is a problem that a fine pattern cannot be formed if a large hole is formed.

【0020】気孔率(P)は、隔壁材質の真密度をdt
h、隔壁の実測密度をdexとしたとき、 P=(dth − dex)/dth×100 と定義する。
The porosity (P) is obtained by calculating the true density of the partition wall material by dt.
h, when the measured density of the partition is dex, it is defined as P = (dth-dex) / dth × 100.

【0021】隔壁材質の真比重は次の様ないわゆるアル
キメデス法を用いて算出するのが好ましい。隔壁材質を
乳鉢を用いて指頭に感じない程度、325メッシュ以下
ぐらいまでに粉砕する。そしてJIS−R2205に記
載のように真比重を求める。次に実測密度の測定は隔壁
部分を形状を崩さないように削り取り、粉砕を行わない
こと以外は上記と同様にしてアルキメデス法を用いて計
測を行う。
The true specific gravity of the partition wall material is preferably calculated using the so-called Archimedes' method as follows. Using a mortar, crush the partition wall material to about 325 mesh or less so as not to be felt at the fingertips. Then, the true specific gravity is obtained as described in JIS-R2205. Next, in the measurement of the measured density, the partition is cut off so as not to lose its shape, and the measurement is performed using the Archimedes method in the same manner as described above except that pulverization is not performed.

【0022】本発明の隔壁の作製方法は特に限定しない
が、工程が少なく、微細なパターン形成が可能である感
光性ガラスペースト法で作製するのが好ましい。
Although the method for producing the partition wall of the present invention is not particularly limited, it is preferable to produce it by a photosensitive glass paste method which has few steps and can form a fine pattern.

【0023】感光性ガラスペースト法は、主としてガラ
ス粉末からなる無機成分と感光性を持つ有機成分からな
る感光性ガラスペーストを用いて、フォトマスクのパタ
ーンを露光により、焼き付け、現像により、隔壁パター
ンを形成し、その後焼成して隔壁を得る方法である。
The photosensitive glass paste method uses a photosensitive glass paste mainly composed of an inorganic component composed of glass powder and an organic component having photosensitivity, and baking and developing a pattern of a photomask by exposure and developing a partition pattern by developing. This is a method of forming and then firing to obtain partition walls.

【0024】プラズマディスプレイやプラズマアドレス
液晶ディスプレイの隔壁に用いる場合は、ガラス転移
点、熱軟化点の低いガラス基板上にパターン形成するた
め、隔壁材質として、ガラス転移点が430〜500
℃、熱軟化温度が470〜580℃のガラス材料を用い
ることが、十分な焼成を可能とする点で優れていること
から好ましい。ガラス転移点が500℃、熱軟化点が5
80℃より高いと、高温で焼成しなければならず、焼成
の際に基板に歪みが生じる。またガラス転移点が430
℃、熱軟化点が470℃より低い材料は、その後の工程
で、蛍光体を塗布、焼成する際に隔壁に歪みが生じ、剥
がれ、断線の原因になるため好ましくない。
When used for a partition of a plasma display or a plasma addressed liquid crystal display, a pattern is formed on a glass substrate having a low glass transition point and a low thermal softening point.
It is preferable to use a glass material having a thermal softening temperature of 470 to 580 ° C. from the viewpoint that sufficient firing is possible. Glass transition point 500 ° C, thermal softening point 5
If the temperature is higher than 80 ° C., it must be fired at a high temperature, and the substrate is distorted during firing. The glass transition point is 430
A material having a temperature of lower than 470 ° C. and a thermal softening point of less than 470 ° C. is not preferable because the partition walls are distorted when the phosphor is applied and fired in a subsequent step, causing peeling and disconnection.

【0025】また、基板ガラスに用いられる一般的な高
歪点ガラスの線膨張係数が80〜90×10-7であるこ
とから、基板のそりを生じさせないためには、線熱膨張
係数が50〜90×10-7、さらには、60〜90×1
-7のガラス材料を用いることが好ましい。
Further, since the linear expansion coefficient of general high strain point glass used for the substrate glass is 80 to 90 × 10 -7 , the linear thermal expansion coefficient is 50 to prevent the substrate from warping. ~ 90 × 10 -7 , and further, 60-90 × 1
It is preferable to use a glass material of 0-7 .

【0026】ガラス材料の組成としては、以下のような
ものが好ましい。酸化珪素はガラス中に、3〜60重量
%の範囲で配合することが好ましい。3重量%未満の場
合はガラス層の緻密性、強度や安定性が低下し、また熱
膨張係数が所望の値から外れ、ガラス基板とのミスマッ
チが起こりやすい。また60重量%以下にすることによ
って、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への十分な焼き
付けが可能となる。
The composition of the glass material is preferably as follows. It is preferable that silicon oxide is blended in the glass in a range of 3 to 60% by weight. If the content is less than 3% by weight, the denseness, strength and stability of the glass layer are reduced, and the coefficient of thermal expansion deviates from desired values, so that a mismatch with the glass substrate is likely to occur. By setting the content to 60% by weight or less, the thermal softening point is lowered, and sufficient baking on a glass substrate becomes possible.

【0027】酸化ホウ素はガラス中に、5〜50重量%
の範囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱
膨張係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的
特性を向上することができる。50重量%を越えるとガ
ラスの安定性が低下する。
Boron oxide is 5 to 50% by weight in the glass.
The electrical, mechanical and thermal properties such as electrical insulation, strength, coefficient of thermal expansion, and denseness of the insulating layer can be improved by blending in the range. If it exceeds 50% by weight, the stability of the glass will decrease.

【0028】酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリ
ウムのうち少なくとも1種類を3〜20重量%含むガラ
ス粉末を用いることによっても得ることができるが、リ
チウム、ナトリウム、カリウム等のアルカリ金属の酸化
物は添加量としては、20重量%以下、好ましくは、1
5重量%以下にすることによって、ペーストの安定性を
向上することができる。また、ガラス転移点、ガラス軟
化点を下げることができることから、低温焼成が可能と
なる。
It can also be obtained by using a glass powder containing at least one of lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide in an amount of 3 to 20% by weight, but alkali metal oxides such as lithium, sodium and potassium are added. The amount is 20% by weight or less, preferably 1% by weight.
By setting the content to 5% by weight or less, the stability of the paste can be improved. Further, since the glass transition point and the glass softening point can be lowered, low-temperature firing becomes possible.

【0029】酸化リチウムを含むガラス組成としては、
酸化物換算表記で 酸化リチウム 2〜15重量% 酸化珪素 15〜50重量% 酸化ホウ素 15〜40重量% 酸化バリウム 2〜15重量% 酸化アルミニウム 6〜25重量% の組成を含むことが好ましい。
As a glass composition containing lithium oxide,
It is preferable to contain a composition of lithium oxide 2-15% by weight silicon oxide 15-50% by weight boron oxide 15-40% by weight barium oxide 2-15% by weight aluminum oxide 6-25% by weight in terms of oxide.

【0030】また、上記組成で、酸化リチウムの代わり
に、酸化ナトリウム、酸化カリウムを用いても良いが、
ペーストの安定性の点で、酸化リチウムが好ましい。
In the above composition, sodium oxide or potassium oxide may be used instead of lithium oxide.
Lithium oxide is preferred from the viewpoint of paste stability.

【0031】酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうち少
なくとも1種類をガラス中に、5〜50重量%含むガラ
ス粉末を用いることによって、ガラス基板上に低温焼成
で隔壁が形成できる感光性ガラスペーストを得ることが
できる。50重量%を越えるとガラスの耐熱温度が低く
なり過ぎてガラス基板上への焼き付けが難しくなる。特
に、酸化ビスマスを5〜50重量%含有するガラスを用
いることは、ペーストのポットライフが長いなどの利点
がある。
By using a glass powder containing at least one of bismuth oxide, lead oxide and zinc oxide in a glass in an amount of 5 to 50% by weight, a photosensitive glass paste capable of forming a partition on a glass substrate by low-temperature firing can be obtained. Obtainable. If it exceeds 50% by weight, the heat-resistant temperature of the glass becomes too low, and it is difficult to bake the glass on a glass substrate. In particular, using glass containing 5 to 50% by weight of bismuth oxide has advantages such as a long pot life of the paste.

【0032】酸化ビスマスを含むガラス組成としては、
酸化物換算表記で 酸化ビスマス 10〜40重量% 酸化珪素 3〜50重量% 酸化ホウ素 10〜40重量% 酸化バリウム 8〜20重量% 酸化アルミニウム 10〜30重量% の組成を含むことが好ましい。
The glass composition containing bismuth oxide includes:
It is preferable that the composition contains bismuth oxide 10 to 40% by weight in terms of oxide, silicon oxide 3 to 50% by weight, boron oxide 10 to 40% by weight, barium oxide 8 to 20% by weight aluminum oxide 10 to 30% by weight.

【0033】また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛の
ような金属酸化物と酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸
化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有す
るガラスによって、より低いアルカリ含有量で熱軟化温
度や線熱膨張係数のコントロールが容易になる。
Further, a glass containing both a metal oxide such as lead oxide, bismuth oxide and zinc oxide and an alkali metal oxide such as lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide enables a heat treatment at a lower alkali content. Control of softening temperature and linear thermal expansion coefficient becomes easy.

【0034】また、ガラス粉末中に、酸化アルミニウ
ム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウ
ム、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特に酸化アルミ
ニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加することによ
り、高度や加工性を改良することができるが、熱軟化
点、熱膨張係数、屈折率の制御の点からは、その含有量
は40重量%以下が好ましく、より好ましくは25重量
%以下である。
Further, by adding aluminum oxide, barium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, zinc oxide, zirconium oxide, and the like, particularly aluminum oxide, barium oxide, and zinc oxide to the glass powder, the high quality and workability are improved. However, from the viewpoint of controlling the thermal softening point, the coefficient of thermal expansion, and the refractive index, the content is preferably 40% by weight or less, more preferably 25% by weight or less.

【0035】感光性ガラスペースト法に用いるガラス粉
末の量は、ガラス粉末と有機成分の和に対して65〜8
5重量%であるのが好ましい。65重量%より小さい
と、焼成時の収縮率が大きくなり、隔壁の断線、剥がれ
の原因となるため、好ましくない。また、焼成時に多く
の有機成分が焼失することにより、好ましくない。さら
にパターン太り、現像時の残膜の発生が起こりやすい。
85重量%より大きいと、感光性成分が少ないことによ
り、パターンの形成性が悪くなる。
The amount of the glass powder used in the photosensitive glass paste method is 65 to 8 with respect to the sum of the glass powder and the organic component.
Preferably it is 5% by weight. If it is less than 65% by weight, the shrinkage ratio during firing becomes large, which causes disconnection and peeling of the partition walls, which is not preferable. Further, many organic components are burned off during firing, which is not preferable. Further, the pattern is likely to be thickened and a residual film is likely to occur during development.
If it is more than 85% by weight, the pattern formability deteriorates due to the small amount of the photosensitive component.

【0036】一般に絶縁体として用いられるガラスは、
1.5〜1.9程度の屈折率を有している。感光性ガラ
スペースト法を用いる場合には、有機成分の平均屈折率
がガラス粉末の平均屈折率と大きく異なる場合は、ガラ
ス粉末と感光性有機成分の界面での反射・散乱が大きく
なり、精細なパターンが得られない。一般的な有機成分
の屈折率は1.45〜1.7であるため、パターン形成
性を向上させるためには、ガラス粉末と有機成分の屈折
率を整合させ、ガラス粉末の平均屈折率を1.5〜1.
65にすることが好ましい。
The glass generally used as an insulator is:
It has a refractive index of about 1.5 to 1.9. When the photosensitive glass paste method is used, if the average refractive index of the organic component is significantly different from the average refractive index of the glass powder, the reflection and scattering at the interface between the glass powder and the photosensitive organic component become large, and I can't get a pattern. Since the refractive index of a general organic component is 1.45 to 1.7, in order to improve the pattern formability, the refractive indices of the glass powder and the organic component are matched, and the average refractive index of the glass powder is 1. 0.5-1.
Preferably it is 65.

【0037】酸化ナトリウム、酸化リチウム、酸化カリ
ウム等のアルカリ金属の酸化物を合計で2〜10重量%
含有するガラスを用いることによって、熱軟化温度、熱
膨張係数のコントロールが容易になるだけでなく、ガラ
スの平均屈折率を低くすることができるため、有機物と
の屈折率差を小さくすることが容易になる。2%より小
さい時は、熱軟化温度の制御が難しくなる。10%より
大きい時は、放電時にアルカリ金属酸化物の蒸発によっ
て輝度低下をもたらす。さらにアルカリ金属の酸化物の
添加量はペーストの安定性を向上させるためにも、10
重量%より小さいことが好ましく、より好ましくは8重
量%以下である。
A total of 2 to 10% by weight of alkali metal oxides such as sodium oxide, lithium oxide and potassium oxide
By using the glass contained, not only the control of the thermal softening temperature and the coefficient of thermal expansion becomes easy, but also the average refractive index of the glass can be lowered, so that the difference in the refractive index from the organic substance can be easily reduced. become. If it is less than 2%, it becomes difficult to control the thermal softening temperature. When it is more than 10%, the brightness is reduced due to evaporation of the alkali metal oxide during discharge. Further, the addition amount of the oxide of the alkali metal is set at 10 to improve the stability of the paste.
It is preferably less than 8% by weight, more preferably less than 8% by weight.

【0038】特に、アルカリ金属の中では酸化リチウム
を用いることによって、比較的ペーストの安定性を高く
することができ、また、酸化カリウムを用いた場合は、
比較的少量の添加でも屈折率を制御できる利点があるこ
とから、アルカリ金属酸化物の中でも、酸化リチウムと
酸化カリウムの添加が有効である。
In particular, the use of lithium oxide among the alkali metals makes it possible to relatively increase the stability of the paste.
Among the alkali metal oxides, the addition of lithium oxide and potassium oxide is effective because there is an advantage that the refractive index can be controlled by adding a relatively small amount.

【0039】この結果、ガラス基板上に焼き付け可能な
熱軟化温度を有し、平均屈折率を1.5〜1.65にす
ることができ、有機成分との屈折率差を小さくすること
が容易になる。
As a result, it has a heat-softening temperature at which it can be printed on a glass substrate, can have an average refractive index of 1.5 to 1.65, and can easily reduce the refractive index difference from the organic component. become.

【0040】酸化ビスマスを含有するガラスは熱軟化温
度や耐水性向上の点から好ましいが、酸化ビスマスを1
0重量%以上含むガラスは、比誘電率が10以上になる
ものが多い。また屈折率も1.6以上と大きくなる。こ
のため酸化ナトリウム、酸化リチウム、酸化カリウムな
どのアルカリ金属の酸化物と酸化鉛を併用することによ
って、熱軟化温度、熱膨張係数、耐水性、屈折率のコン
トロールが容易になる。
Glass containing bismuth oxide is preferred from the viewpoint of improving the heat softening temperature and water resistance.
Many glasses containing 0% by weight or more have a relative dielectric constant of 10 or more. Also, the refractive index becomes as large as 1.6 or more. Therefore, by using an oxide of an alkali metal such as sodium oxide, lithium oxide or potassium oxide and lead oxide in combination, it becomes easy to control the thermal softening temperature, thermal expansion coefficient, water resistance and refractive index.

【0041】本発明におけるガラス材質の屈折率測定
は、感光性ガラスペースト法で露光する光の波長で測定
することが効果を確認する上で正確である。特に、35
0〜650nmの範囲の波長の光で測定することが好ま
しい。さらには、i線(365nm)もしくはg線(4
36nm)での屈折率測定が好ましい。
The measurement of the refractive index of the glass material in the present invention is accurate when measuring the wavelength of light to be exposed by the photosensitive glass paste method in order to confirm the effect. In particular, 35
It is preferable to measure with light having a wavelength in the range of 0 to 650 nm. Further, i-line (365 nm) or g-line (4
(36 nm) is preferred.

【0042】本発明の隔壁はコントラストをあげる点で
優れていることから、黒色に着色されていてもよい。種
々の金属酸化物を添加することによって、焼成後の隔壁
を着色することができる。例えば、感光性ペースト中に
黒色の金属酸化物を1〜10重量%含むことによって、
黒色のパターンを形成することができる。
The partition wall of the present invention may be colored black because it is excellent in increasing the contrast. By adding various metal oxides, the partition walls after firing can be colored. For example, by containing 1 to 10% by weight of a black metal oxide in the photosensitive paste,
A black pattern can be formed.

【0043】この際に用いる黒色の金属酸化物として、
Cr、Fe、Co、Mn、Cuの酸化物の内、少なくと
も1種、好ましくは3種以上を含むことによって、黒色
化が可能になる。特に、FeとMnの酸化物をそれぞれ
0.5重量%以上含有することによって、黒色パターン
を形成できる。
As the black metal oxide used at this time,
By including at least one, and preferably three or more of the oxides of Cr, Fe, Co, Mn, and Cu, blackening becomes possible. In particular, a black pattern can be formed by containing 0.5% by weight or more of each of the oxides of Fe and Mn.

【0044】さらに、黒色以外に、赤、青、緑等に発色
する無機顔料を添加したペーストを用いることによっ
て、各色のパターンを形成できる。これらの着色パター
ンは、プラズマディスプレイのカラーフィルターなどに
好適に用いることができる。
Further, in addition to black, a pattern of each color can be formed by using a paste to which an inorganic pigment which develops a color such as red, blue or green is added. These coloring patterns can be suitably used for a color filter of a plasma display and the like.

【0045】また、本発明の隔壁の比重は2〜3.3で
あることが好ましい。2以下にするためには、ガラス材
料に酸化ナトリウムや酸化カリウムなどのアルカリ金属
の酸化物を多く含ませなければならず、放電中に蒸発し
て放電特性を低下させる要因となるため、好ましくな
い。3.3以上になると、大画面化した時ディスプレイ
が重くなったり、自重で基板に歪みを生じたりするので
好ましくない。
The specific gravity of the partition wall of the present invention is preferably from 2 to 3.3. In order to reduce the content to 2 or less, the glass material must contain a large amount of an oxide of an alkali metal such as sodium oxide or potassium oxide, which is unfavorable because it evaporates during the discharge and lowers the discharge characteristics. . When it is 3.3 or more, the display becomes heavy when the screen is enlarged, or the substrate is distorted by its own weight, which is not preferable.

【0046】本発明の隔壁材料にガラス軟化点が650
〜850℃であるフィラーを10〜50重量%含ませて
もよい。これにより、感光性ガラスペースト法におい
て、パターン形成後の焼成時の収縮率が小さくなり、パ
ターン形成が容易になる。フィラーとしては、熱軟化温
度が600℃以上の高融点ガラスやセラミックスなどを
用いることができる。
The partition wall material of the present invention has a glass softening point of 650.
A filler having a temperature of 8850 ° C. may be contained in an amount of 105050% by weight. Thereby, in the photosensitive glass paste method, the shrinkage ratio during firing after pattern formation is reduced, and pattern formation is facilitated. As the filler, high melting point glass or ceramics having a thermal softening temperature of 600 ° C. or higher can be used.

【0047】高融点ガラス粉末としては、酸化珪素、酸
化アルミニウムを15重量%以上含有するガラス粉末が
好ましく、これらの含有量合計がガラス粉末中50重量
%以上であることが、必要な熱特性を持たせるためには
有効である。一例としては、以下の組成を含有するガラ
ス粉末を用いることが好ましい。
As the high melting point glass powder, a glass powder containing 15% by weight or more of silicon oxide and aluminum oxide is preferable, and the total content of these should be 50% by weight or more in the glass powder. It is effective to have. As an example, it is preferable to use a glass powder containing the following composition.

【0048】 酸化珪素 :15〜50重量% 酸化ホウ素 : 5〜20重量% 酸化アルミニウム:15〜50重量% 酸化バリウム : 2〜10重量% 有機成分は、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光
性ポリマーのうち少なくとも1種類から選ばれる感光性
成分を含有し、さらに必要に応じて、バインダー、光重
合開始剤、紫外線吸収剤、増感剤、増感助剤、重合禁止
剤、可塑剤、増粘剤、有機溶媒、酸化防止剤、分散剤、
消泡剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤などの添加剤成
分を加えることも行われる。
Silicon oxide: 15 to 50% by weight Boron oxide: 5 to 20% by weight Aluminum oxide: 15 to 50% by weight Barium oxide: 2 to 10% by weight Organic components are photosensitive monomers, photosensitive oligomers, and photosensitive polymers. And a binder, a photopolymerization initiator, an ultraviolet absorber, a sensitizer, a sensitization aid, a polymerization inhibitor, a plasticizer, and a thickener, if necessary. Agents, organic solvents, antioxidants, dispersants,
Additive components such as defoamers, organic or inorganic suspending agents are also added.

【0049】感光性成分としては、光不溶化型のものと
光可溶化型のものがあり、光不溶化型のものとして、 (A)分子内に不飽和基などを1つ以上有する官能性の
モノマー、オリゴマー、ポリマーを含有するもの (B)芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物、有機
ハロゲン化合物などの感光性化合物を含有するもの (C)ジアゾ系アミンとホルムアルデヒドとの縮合物な
どいわゆるジアゾ樹脂といわれるもの等がある。
The photosensitive component includes a photo-insolubilizing type and a photo-solubilizing type. The photo-insolubilizing type includes: (A) a functional monomer having at least one unsaturated group in the molecule. (B) those containing photosensitive compounds such as aromatic diazo compounds, aromatic azide compounds, and organic halogen compounds. (C) So-called diazo resins such as condensates of diazo amines and formaldehyde. And others.

【0050】また、光可溶型のものとしては、 (D)ジアゾ化合物の無機塩や有機酸とのコンプレック
ス、キノンジアゾ類を含有するもの (E)キノンジアゾ類を適当なポリマーバインダーと結
合させた、例えばフェノール、ノボラック樹脂のナフト
キノン−1,2−ジアジド−5−スルフォン酸エステル
等がある。
Examples of the photo-soluble type include (D) a complex of an inorganic salt or an organic acid of a diazo compound, and a quinone diazo compound containing the quinone diazo compound. For example, phenol, naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonic acid ester of a novolak resin, and the like.

【0051】本発明において用いる感光性成分は、上記
のすべてのものを用いることができる。感光性ペースト
として、ガラス粉末と混合して簡便に用いることができ
る感光性成分は、(A)のものが好ましい。
As the photosensitive component used in the present invention, all of the above can be used. As the photosensitive component which can be simply used as a photosensitive paste by being mixed with glass powder, the component (A) is preferred.

【0052】感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽
和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、メ
チルアクリレート、エチルアクリレート、n−プロピル
アクリレート、イソプロピルアクリレート、n−ブチル
アクリレート、sec−ブチルアクリレート、sec−
ブチルアクリレート、イソ−ブチルアクリレート、te
rt−ブチルアクリレート、n−ペンチルアクリレー
ト、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブト
キシエチルアクリレート、ブトキシトリエチレングリコ
ールアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシ
クロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルアク
リレート、2−エチルヘキシルアクリレート、グリセロ
ールアクリレート、グリシジルアクリレート、ヘプタデ
カフロロデシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルア
クリレート、イソボニルアクリレート、2−ヒドロキシ
プロピルアクリレート、イソデシルアクリレート、イソ
オクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、2−メ
トキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコー
ルアクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリ
レート、オクタフロロペンチルアクリレート、フェノキ
シエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、トリ
フロロエチルアクリレート、アリル化シクロヘキシルジ
アクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレー
ト、1,3−ブチレングリコールジアクリレート、エチ
レングリコールジアクリレート、ジエチレングリコール
ジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレー
ト、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリ
トールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジトリメチ
ロールプロパンテトラアクリレート、グリセロールジア
クリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレ
ングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、アクリルア
ミド、アミノエチルアクリレート、フェニルアクリレー
ト、フェノキシエチルアクリレート、ベンジルアクリレ
ート、1−ナフチルアクリレート、2−ナフチルアクリ
レート、ビスフェノールAジアクリレート、ビスフェノ
ールA−エチレンオキサイド付加物のジアクリレート、
ビスフェノールA−プロピレンオキサイド付加物のジア
クリレート、チオフェノールアクリレート、ベンジルメ
ルカプタンアクリレート等のアクリレート、また、これ
らの芳香環の水素原子のうち、1〜5個を塩素または臭
素原子に置換したモノマー、もしくは、スチレン、p−
メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチ
レン、塩素化スチレン、臭素化スチレン、α−メチルス
チレン、塩素化α−メチルスチレン、臭素化α−メチル
スチレン、クロロメチルスチレン、ヒドロキシメチルス
チレン、カルボキシメチルスチレン、ビニルナフタレ
ン、ビニルアントラセン、ビニルカルバゾール、およ
び、上記化合物の分子内のアクリレートを一部もしくは
すべてをメタクリレートに変えたもの、γ−メタクリロ
キシプロピルトリメトキシシラン、1−ビニル−2−ピ
ロリドンなどが挙げられる。本発明ではこれらを1種ま
たは2種以上使用することができる。
The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond, and specific examples thereof include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, and sec-butyl. Acrylate, sec-
Butyl acrylate, iso-butyl acrylate, te
rt-butyl acrylate, n-pentyl acrylate, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate Heptadecafluorodecyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobonyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodecyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octafuro Pentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, allylated cyclohexyl diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene Glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, glycerol diacrylate, methoxylated cyclohexyl diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, Polypropylene Glycol diacrylate, triglycerol diacrylate,
Trimethylolpropane triacrylate, acrylamide, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, benzyl acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, bisphenol A diacrylate, diacrylate of bisphenol A-ethylene oxide adduct,
Diacrylates of bisphenol A-propylene oxide adducts, acrylates such as thiophenol acrylate and benzyl mercaptan acrylate, and monomers in which 1 to 5 hydrogen atoms of these aromatic rings have been substituted with chlorine or bromine atoms, or Styrene, p-
Methylstyrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, chlorinated styrene, brominated styrene, α-methylstyrene, chlorinated α-methylstyrene, brominated α-methylstyrene, chloromethylstyrene, hydroxymethylstyrene, carboxymethyl Styrene, vinyl naphthalene, vinyl anthracene, vinyl carbazole, and those obtained by changing some or all of the acrylate in the molecule of the above compound to methacrylate, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 1-vinyl-2-pyrrolidone, etc. No. In the present invention, one or more of these can be used.

【0053】これら以外に、不飽和カルボン酸等の不飽
和酸を加えることによって、感光後の現像性を向上する
ことができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として
は、アクリル酸、メタアクリル酸、イタコン酸、クロト
ン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、またはこれ
らの酸無水物などがあげられる。
In addition, the developability after exposure can be improved by adding an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0054】これらモノマーの含有率は、ガラス粉末と
感光性成分の和に対して、5〜30重量%が好ましい。
これ以外の範囲では、パターンの形成性の悪化、硬化後
の硬度不足が発生するため好ましくない。
The content of these monomers is preferably 5 to 30% by weight based on the sum of the glass powder and the photosensitive component.
Outside of this range, the pattern formability deteriorates and the hardness becomes insufficient after curing.

【0055】バインダーとしては、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合
体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−
メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレン重
合体、ブチルメタクリレート樹脂などがあげられる。
As the binder, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylate polymer, acrylate polymer, acrylate-
Examples include methacrylate copolymers, α-methylstyrene polymers, and butyl methacrylate resins.

【0056】また、前述の炭素−炭素二重結合を有する
化合物のうち少なくとも1種類を重合して得られたオリ
ゴマーやポリマーを用いることができる。重合する際
に、これら光反応性モノマーの含有率が、10重量%以
上、さらに好ましくは35重量%以上になるように、他
の感光性のモノマーと共重合することができる。
Also, an oligomer or polymer obtained by polymerizing at least one of the compounds having a carbon-carbon double bond described above can be used. During the polymerization, the copolymer may be copolymerized with another photosensitive monomer so that the content of the photoreactive monomer is 10% by weight or more, more preferably 35% by weight or more.

【0057】共重合するモノマーとしては、不飽和カル
ボン酸等の不飽和酸を共重合することによって、感光後
の現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の
具体的な例としては、アクリル酸、メタアクリル酸、イ
タコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル
酢酸、またはこれらの酸無水物などがあげられる。
As the monomer to be copolymerized, the developability after exposure can be improved by copolymerizing an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0058】こうして得られた側鎖にカルボキシル基等
の酸性基を有するポリマーもしくはオリゴマーの酸価
(AV)は50〜180、さらには70〜140の範囲
が好ましい。また、酸価が50未満であると未露光部の
現像液に対する溶解性が低下するようになるため現像液
濃度を濃くことになり、露光部まで剥がれが発生し、高
精細なパターンが得られにくい。酸価が180を越える
と、現像許容幅が狭くなる。
The polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group in the side chain thus obtained has an acid value (AV) of preferably from 50 to 180, more preferably from 70 to 140. Further, when the acid value is less than 50, the solubility of the unexposed portion in the developing solution is reduced, so that the concentration of the developing solution is increased, and peeling occurs to the exposed portion, and a high-definition pattern is obtained. Hateful. When the acid value exceeds 180, the allowable development width becomes narrow.

【0059】以上示した、ポリマーもしくはオリゴマー
に対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させ
ることによって、感光性を持つ感光性ポリマーや感光性
オリゴマーとして用いることができる。好ましい光反応
性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチ
レン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリ
ル基、メタクリル基などがあげられる。
By adding a photoreactive group to a side chain or a molecular terminal of the polymer or oligomer described above, it can be used as a photosensitive polymer or a photosensitive oligomer having photosensitivity. Preferred photoreactive groups are those having an ethylenically unsaturated group. Examples of the ethylenically unsaturated group include a vinyl group, an allyl group, an acryl group, and a methacryl group.

【0060】このような側鎖をオリゴマーやポリマーに
付加させる方法は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ
基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基や
イソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やア
クリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはア
リルクロライドを付加反応させて作る方法がある。
A method for adding such a side chain to an oligomer or a polymer is to use an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group, or an acrylic acid, for a mercapto group, an amino group, a hydroxyl group or a carboxyl group in the polymer. There is a method in which chloride, methacrylic chloride or allyl chloride is added to make an addition reaction.

【0061】グリシジル基を有するエチレン性不飽和化
合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グ
リシジル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル
酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロト
ン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエ
ーテルなどがあげられる。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, glycidyl crotonate, and glycidyl ether isocrotonic acid. .

【0062】イソシアネート基を有するエチレン性不飽
和化合物としては、(メタ)アクリロイルイソシアネー
ト、(メタ)アクリロイルエチルイソシアネート等があ
る。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having an isocyanate group include (meth) acryloyl isocyanate and (meth) acryloylethyl isocyanate.

【0063】また、グリシジル基やイソシアネート基を
有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライ
ド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライド
は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカ
ルボキシル基に対して0.05〜1モル当量付加させる
ことが好ましい。
The ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride is used in an amount of 0.05 to 0.05 to the mercapto group, amino group, hydroxyl group and carboxyl group in the polymer. It is preferable to add one molar equivalent.

【0064】感光性ガラスペースト中の感光性ポリマ
ー、感光性オリゴマーおよびバインダーからなるポリマ
ー成分の量としては、パターン形成性、焼成後の収縮率
の点で優れていることから、ガラス粉末と感光性成分の
和に対して、5〜30重量%であることが好ましい。こ
の範囲外では、パターン形成が不可能もしくは、パター
ンの太りがでるため好ましくない。
The amount of the polymer component comprising the photosensitive polymer, the photosensitive oligomer and the binder in the photosensitive glass paste is excellent in terms of the pattern forming property and the shrinkage ratio after firing. It is preferably 5 to 30% by weight based on the sum of the components. Outside this range, it is not preferable because pattern formation is impossible or the pattern becomes thick.

【0065】光重合開始剤としての具体的な例として、
ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4,
4−ビス(ジメチルアミン)ベンゾフェノン、4,4−
ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジク
ロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルジフ
ェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,
2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−
2−フェニル−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒド
ロキシ−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチル
ジクロロアセトフェノン、チオキサントン、2−メチル
チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−イソ
プロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベ
ンジル、ベンジルジメチルケタノール、ベンジルメトキ
シエチルアセタール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、
2−t−ブチルアントラキノン、2−アミルアントラキ
ノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンズ
アントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン、
4−アジドベンザルアセトフェノン、2,6−ビス(p
−アジドベンジリデン)シクロヘキサノン、2,6−ビ
ス(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキ
サノン、2−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(o
−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−プロ
パンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシ
ム、1,3−ジフェニル−プロパントリオン−2−(o
−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−3−
エトキシ−プロパントリオン−2−(o−ベンゾイル)
オキシム、ミヒラーケトン、2−メチル−[4−(メチ
ルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノ
ン、2−ベンジル−2ジメチルアミノ−1−(4−モル
フォリノフェニル)−ブタノン−1、ナフタレンスルホ
ニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、N−
フェニルチオアクリドン、4,4−アゾビスイソブチロ
ニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンズチアゾール
ジスルフィド、トリフェニルホスフィン、カンファーキ
ノン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過
酸化ベンゾインおよびエオシン、メチレンブルーなどの
光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタノールアミ
ンなどの還元剤の組み合わせなどがあげられる。本発明
ではこれらを1種または2種以上使用することができ
る。
As specific examples of the photopolymerization initiator,
Benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,
4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4-
Bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4-benzoyl-4-methyldiphenylketone, dibenzylketone, fluorenone, 2,
2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-
2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyl, Benzyl dimethyl ketanol, benzyl methoxyethyl acetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone,
2-t-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzosuberone, methyleneanthrone,
4-azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p
-Azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butadione-2- (o
-Methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-propanetrione-2- (o
-Ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-
Ethoxy-propanetrione-2- (o-benzoyl)
Oxime, Michler's ketone, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, naphthalenesulfonyl chloride , Quinoline sulfonyl chloride, N-
Light such as phenylthioacridone, 4,4-azobisisobutyronitrile, diphenyl disulfide, benzthiazole disulfide, triphenylphosphine, camphorquinone, carbon tetrabromide, tribromophenyl sulfone, benzoin peroxide and eosin, and methylene blue Examples include a combination of a reducing dye and a reducing agent such as ascorbic acid and triethanolamine. In the present invention, one or more of these can be used.

【0066】光重合開始剤は、感光性成分に対し、0.
05〜30重量%の範囲で添加され、より好ましくは、
0.1〜15重量%である。重合開始剤の量が少なすぎ
ると、光感度が不良となり、光重合開始剤の量が多すぎ
れば、露光部の残存率が小さくなりすぎるおそれがあ
る。
The photopolymerization initiator is used in an amount of 0.
In the range of 0.5 to 30% by weight, more preferably
0.1 to 15% by weight. If the amount of the polymerization initiator is too small, the photosensitivity becomes poor, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion may be too small.

【0067】紫外線吸収剤を添加することも有効であ
る。紫外線吸収効果の高い化合物を添加することによっ
て高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。紫外
線吸収剤としては有機系染料からなるもの、中でも35
0〜450nmの波長範囲で高UV吸収係数を有する有
機系染料が好ましく用いられる。具体的には、アゾ系染
料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アミノケトン
系染料、アントラキノン系、ベンゾフェノン系、ジフェ
ニルシアノアクリレート系、トリアジン系、p−アミノ
安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は吸光剤
として添加した場合にも、焼成後の絶縁膜中に残存しな
いで吸光剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので
好ましい。これらの中でもアゾ系およびベンゾフェノン
系染料が好ましい。
It is also effective to add an ultraviolet absorber. By adding a compound having a high ultraviolet absorption effect, a high aspect ratio, high definition, and high resolution can be obtained. UV absorbers composed of organic dyes, especially 35
Organic dyes having a high UV absorption coefficient in the wavelength range of 0 to 450 nm are preferably used. Specifically, azo dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, aminoketone dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes, triazine dyes, p-aminobenzoic acid dyes and the like can be used. Even when the organic dye is added as a light absorbing agent, it is preferable because deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorbing agent can be reduced without remaining in the insulating film after firing. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferred.

【0068】有機染料の添加量はガラス粉末に対して
0.05〜1重量部が好ましい。0.05重量%以下で
は紫外線吸光剤の添加効果が減少し、1重量%を越える
と焼成後の絶縁膜特性が低下するので好ましくない。よ
り好ましくは0.1〜0.18重量%である。
The addition amount of the organic dye is preferably 0.05 to 1 part by weight based on the glass powder. When the content is less than 0.05% by weight, the effect of adding the ultraviolet absorbent is reduced, and when it exceeds 1% by weight, the properties of the insulating film after firing are deteriorated, which is not preferable. More preferably, it is 0.1 to 0.18% by weight.

【0069】有機染料からなる紫外線吸光剤の添加方法
の一例を上げると、有機染料を予め有機溶媒に溶解した
溶液を作製し、それをペースト作製時に混練する方法以
外に、該有機溶媒中にガラス粉末を混合後、乾燥する方
法があげられる。この方法によってガラス粉末の個々の
粒子表面に有機の膜をコートしたいわゆるカプセル状の
粉末が作製できる。
One example of the method of adding an ultraviolet light absorber composed of an organic dye is as follows. In addition to the method of preparing a solution in which an organic dye is dissolved in an organic solvent in advance and kneading the solution at the time of preparing the paste, a method of adding glass to the organic solvent is also used. After mixing the powder, a method of drying the powder is used. By this method, a so-called capsule-like powder in which the surface of each particle of the glass powder is coated with an organic film can be produced.

【0070】本発明において、ガラス粉末に含まれるP
b、Fe、Cd、Mn、Co、Mgなどの金属および酸
化物がペースト中に含有する感光性成分と反応してペー
ストが短時間でゲル化し、塗布できなくなる場合があ
る。このような反応を防止するために安定化剤を添加し
てゲル化を防止することが好ましい。用いる安定化剤と
しては、トリアゾール化合物が好ましく用いられる。ト
リアゾール化合物としては、ベンゾトリアゾール誘導体
が好ましく用いられる。この中でも特にベンゾトリアゾ
ールが有効に作用する。本発明において使用されるベン
ゾトリアゾールによるガラス粉末の表面処理の一例を上
げると、ガラス粉末に対して所定の量のベンゾトリアゾ
ールを酢酸メチル、酢酸エチル、エチルアルコール、メ
チルアルコールなどの有機溶媒に溶解した後、これら粉
末が十分に浸すことができるように溶液中に1〜24時
間浸積する。浸積後、好ましくは20〜30℃下で自然
乾燥して溶媒を蒸発させてトリアゾール処理を行った粉
末を作製する。使用される安定化剤の割合(安定化剤/
ガラス粉末)は0.05〜5重量%が好ましい。
In the present invention, P contained in the glass powder
Metals and oxides such as b, Fe, Cd, Mn, Co, and Mg may react with the photosensitive components contained in the paste, causing the paste to gel in a short time, making application impossible. In order to prevent such a reaction, it is preferable to add a stabilizer to prevent gelation. As the stabilizer used, a triazole compound is preferably used. As the triazole compound, a benzotriazole derivative is preferably used. Among them, benzotriazole works particularly effectively. As an example of surface treatment of glass powder with benzotriazole used in the present invention, a predetermined amount of benzotriazole with respect to glass powder was dissolved in an organic solvent such as methyl acetate, ethyl acetate, ethyl alcohol, and methyl alcohol. Thereafter, the powder is immersed in the solution for 1 to 24 hours so that it can be sufficiently immersed. After immersion, preferably, the powder is naturally dried at 20 to 30 ° C., and the solvent is evaporated to prepare a powder which has been subjected to a triazole treatment. Percentage of stabilizer used (stabilizer /
Glass powder) is preferably 0.05 to 5% by weight.

【0071】増感剤は、感度を向上させるために添加さ
れる。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオ
キサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビ
ス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、
2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘ
キサノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザ
ル)−4−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、
4,4−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、
4,4−ビス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビ
ス(ジエチルアミノ)カルコン、p−ジメチルアミノシ
ンナミリデンインダノン、p−ジメチルアミノベンジリ
デンインダノン、2−(p−ジメチルアミノフェニルビ
ニレン)−イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−
ジメチルアミノベンザル)アセトン、1,3−カルボニ
ル−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)アセトン、
3,3−カルボニル−ビス(7−ジエチルアミノクマリ
ン)、N−フェニル−N−エチルエタノールアミン、N
−フェニルエタノールアミン、N−トリルジエタノール
アミン、N−フェニルエタノールアミン、ジメチルアミ
ノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソア
ミル、3−フェニル−5−ベンゾイルチオテトラゾー
ル、1−フェニル−5−エトキシカルボニルチオテトラ
ゾールなどがあげられる。本発明ではこれらを1種また
は2種以上使用することができる。なお、増感剤の中に
は光重合開始剤としても使用できるものがある。増感剤
を本発明の感光性ペーストに添加する場合、その添加量
は感光性成分に対して通常0.05〜30重量%、より
好ましくは0.1〜10重量%である。増感剤の量が少
なすぎれば光感度を向上させる効果が発揮されず、増感
剤の量が多すぎれば露光部の残存率が小さくなりすぎる
おそれがある。
The sensitizer is added to improve the sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone,
2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, Michler's ketone,
4,4-bis (diethylamino) -benzophenone,
4,4-bis (dimethylamino) chalcone, 4,4-bis (diethylamino) chalcone, p-dimethylaminocinnamylidene indanone, p-dimethylaminobenzylidene indanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene)- Isonaphthothiazole, 1,3-bis (4-
Dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonyl-bis (4-diethylaminobenzal) acetone,
3,3-carbonyl-bis (7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N
-Phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, N-phenylethanolamine, isoamyl dimethylaminobenzoate, isoamyl diethylaminobenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole and the like. Can be In the present invention, one or more of these can be used. Some sensitizers can also be used as photopolymerization initiators. When a sensitizer is added to the photosensitive paste of the present invention, the addition amount is usually 0.05 to 30% by weight, more preferably 0.1 to 10% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity is not exhibited, and if the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the exposed portion may be too small.

【0072】重合禁止剤は、保存時の熱安定性を向上さ
せるために添加される。重合禁止剤の具体的な例として
は、ヒドロキノン、ヒドロキノンのモノエステル化物、
N−ニトロソジフェニルアミン、フェノチアジン、p−
t−ブチルカテコール、N−フェニルナフチルアミン、
2,6−ジ−t−ブチル−p−メチルフェノール、クロ
ラニール、ピロガロールなどが挙げられる。重合禁止剤
を添加する場合、その添加量は、感光性ペースト中に、
通常、0.001〜1重量%である。
The polymerization inhibitor is added to improve the heat stability during storage. Specific examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, monoesterified hydroquinone,
N-nitrosodiphenylamine, phenothiazine, p-
t-butylcatechol, N-phenylnaphthylamine,
2,6-di-t-butyl-p-methylphenol, chloranil, pyrogallol and the like. When adding a polymerization inhibitor, the amount added, in the photosensitive paste,
Usually, it is 0.001 to 1% by weight.

【0073】可塑剤の具体的な例としては、ジブチルフ
タレート、ジオクチルフタレート、ポリエチレングリコ
ール、グリセリンなどがあげられる。
Specific examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol, glycerin and the like.

【0074】酸化防止剤は、保存時におけるアクリル系
共重合体の酸化を防ぐために添加される。酸化防止剤の
具体的な例として2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾ
ール、ブチル化ヒドロキシアニソール、2,6−ジ−t
−4−エチルフェノール、2,2−メチレン−ビス−
(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2−
メチレン−ビス−(4−エチル−6−t−ブチルフェノ
ール)、4,4−ビス−(3−メチル−6−t−ブチル
フェノール)、1,1,3−トリス−(2−メチル−6
−t−ブチルフェノール)、1,1,3−トリス−(2
−メチル−4−ヒドロキシ−t−ブチルフェニル)ブタ
ン、ビス[3,3−ビス−(4−ヒドロキシ−3−t−
ブチルフェニル)ブチリックアシッド]グリコールエス
テル、ジラウリルチオジプロピオナート、トリフェニル
ホスファイトなどが挙げられる。
The antioxidant is added to prevent oxidation of the acrylic copolymer during storage. Specific examples of antioxidants include 2,6-di-t-butyl-p-cresol, butylated hydroxyanisole, and 2,6-di-t.
-4-ethylphenol, 2,2-methylene-bis-
(4-methyl-6-t-butylphenol), 2,2-
Methylene-bis- (4-ethyl-6-t-butylphenol), 4,4-bis- (3-methyl-6-t-butylphenol), 1,1,3-tris- (2-methyl-6
-T-butylphenol), 1,1,3-tris- (2
-Methyl-4-hydroxy-t-butylphenyl) butane, bis [3,3-bis- (4-hydroxy-3-t-
[Butylphenyl) butyric acid] glycol ester, dilaurylthiodipropionate, triphenylphosphite and the like.

【0075】酸化防止剤を添加する場合、その添加量は
通常、添加量は、ペースト中に、通常、0.001〜1
重量%である。
When an antioxidant is added, the amount added is usually 0.001 to 1 in the paste.
% By weight.

【0076】本発明の感光性ペーストには、溶液の粘度
を調整したい場合、有機溶媒を加えてもよい。このとき
使用される有機溶媒としては、メチルセロソルブ、エチ
ルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルエチルケト
ン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロ
ペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアル
コール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシ
ド、γ−ブチロラクトン、ブロモベンゼン、クロロベン
ゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安
息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上
を含有する有機溶媒混合物が用いられる。
When it is desired to adjust the viscosity of the solution, an organic solvent may be added to the photosensitive paste of the present invention. The organic solvent used at this time includes methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, bromobenzene, Chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid, and the like, and an organic solvent mixture containing at least one of these are used.

【0077】有機成分の屈折率とは、露光により感光性
成分を感光させる時点におけるペースト中の有機成分の
屈折率のことである。つまり、ペーストを塗布し、乾燥
工程後に露光を行う場合は、乾燥工程後のペースト中の
有機成分の屈折率のことである。例えば、ペーストをガ
ラス基板上に塗布した後、50〜100℃で1〜30分
乾燥して屈折率を測定する方法などがある。
The refractive index of the organic component means the refractive index of the organic component in the paste at the time of exposing the photosensitive component by exposure. In other words, when the paste is applied and the exposure is performed after the drying step, it refers to the refractive index of the organic component in the paste after the drying step. For example, there is a method of applying a paste on a glass substrate, drying the paste at 50 to 100 ° C. for 1 to 30 minutes, and measuring the refractive index.

【0078】本発明における屈折率の測定は、一般的に
行われるエリプソメトリー法やVブロック法が好まし
く、測定は露光する光の波長で行うことが効果を確認す
る上で正確である。特に、350〜650nmの範囲中
の波長の光で測定することが好ましい。さらには、i線
(365nm)もしくはg線(436nm)での屈折率
測定が好ましい。
The measurement of the refractive index in the present invention is preferably performed by a generally performed ellipsometry method or V-block method, and the measurement is performed at the wavelength of the light to be exposed, which is accurate for confirming the effect. In particular, it is preferable to measure with light having a wavelength in the range of 350 to 650 nm. Further, it is preferable to measure the refractive index at the i-line (365 nm) or the g-line (436 nm).

【0079】また、有機成分が光照射によって重合した
後の屈折率を測定するためには、ペースト中に対して光
照射する場合と同様の光を有機成分のみに照射すること
によって測定できる。
The refractive index after the organic component is polymerized by light irradiation can be measured by irradiating only the organic component with the same light as when irradiating the paste.

【0080】また、増感剤は、露光波長に吸収を有して
いるものが用いられる、この場合、吸収波長近傍では屈
折率が極端に高くなるため、増感剤を多量に添加するこ
とによって、有機成分の屈折率を向上することができ
る。この場合の増感剤の添加量は3〜10重量%添加す
ることができる。
As the sensitizer, one having absorption at the exposure wavelength is used. In this case, the refractive index becomes extremely high near the absorption wavelength. In addition, the refractive index of the organic component can be improved. In this case, the sensitizer may be added in an amount of 3 to 10% by weight.

【0081】感光性ペーストは、通常、ガラス粉末、紫
外線吸光剤、感光性ポリマー、感光性モノマー、光重合
開始剤、ガラスフリットおよび溶媒等の各種成分を所定
の組成となるように調合した後、3本ローラや混練機で
均質に混合分散し作製する。
The photosensitive paste is usually prepared by mixing various components such as a glass powder, an ultraviolet absorber, a photosensitive polymer, a photosensitive monomer, a photopolymerization initiator, a glass frit and a solvent so as to have a predetermined composition. The mixture is uniformly mixed and dispersed with three rollers or a kneading machine.

【0082】ペーストの粘度はガラス粉末、増粘剤、有
機溶媒、可塑剤および沈殿防止剤などの添加割合によっ
て適宜調整されるが、その範囲は2000〜20万cp
s(センチ・ポイズ)である。例えばガラス基板への塗
布をスクリーン印刷法以外にスピンコート法で行う場合
は、200〜5000cpsが好ましい。スクリーン印
刷法で1回塗布して膜厚10〜20μmを得るには、5
万〜20万cpsが好ましい。
The viscosity of the paste is appropriately adjusted depending on the ratio of glass powder, thickener, organic solvent, plasticizer, suspending agent and the like, but the range is from 2000 to 200,000 cp.
s (centipoise). For example, when applying to a glass substrate by a spin coating method other than the screen printing method, 200 to 5000 cps is preferable. In order to obtain a film thickness of 10 to 20 μm by applying once by the screen printing method, 5
10,000 to 200,000 cps is preferable.

【0083】次に、感光性ペーストを用いてパターン加
工を行う一例について説明するが、本発明はこれに限定
されない。
Next, an example of performing pattern processing using a photosensitive paste will be described, but the present invention is not limited to this.

【0084】ガラス基板やセラミックスの基板、もしく
は、ポリマー製フィルムの上に、感光性ペーストを全面
塗布、もしくは部分的に塗布する。塗布方法としては、
スクリーン印刷、バーコーター、ロールコーター、ダイ
コーター、ブレードコーター等の方法を用いることがで
きる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、
ペーストの粘度を選ぶことによって調整できる。
A photosensitive paste is applied over the entire surface or a part of a glass substrate, a ceramic substrate, or a polymer film. As the application method,
Methods such as screen printing, a bar coater, a roll coater, a die coater, and a blade coater can be used. The coating thickness is determined by the number of coatings, screen mesh,
It can be adjusted by choosing the viscosity of the paste.

【0085】ここでペーストを基板上に塗布する場合、
基板と塗布膜との密着性を高めるために基板の表面処理
を行うことができる。表面処理液としてはシランカップ
リング剤、例えばビニルトリクロロシラン、ビニルトリ
メトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、トリス−
(2−メトキシエトキシ)ビニルシラン、γ−グリシド
キシプロピルトリメトキシシラン、γ−(メタクリロキ
シプロピル)トリメトキシシラン、γ(2−アミノエチ
ル)アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプ
ロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルト
リメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシ
ランなどあるいは有機金属例えば有機チタン、有機アル
ミニウム、有機ジルコニウムなどである。シランカップ
リング剤あるいは有機金属を有機溶媒、例えばエチレン
グリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモ
ノエチルエーテル、メチルアルコール、エチルアルコー
ル、プロピルアルコール、ブチルアルコールなどで0.
1〜5%の濃度に希釈したものを用いる。次にこの表面
処理液をスピナーなどで基板上に均一に塗布した後に8
0〜140℃で10〜60分間乾燥することによって表
面処理ができるまた、フィルム上に塗布した場合、フィ
ルム上で乾燥を行った後、次の露光工程を行う場合と、
ガラスやセラミックの基板上に張り付けた後、露光工程
を行う方法がある。
Here, when applying the paste on the substrate,
Surface treatment of the substrate can be performed to enhance the adhesion between the substrate and the coating film. Examples of the surface treatment liquid include silane coupling agents such as vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, and tris-silane.
(2-methoxyethoxy) vinylsilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ- (methacryloxypropyl) trimethoxysilane, γ (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane and the like, or organic metals such as organic titanium, organic aluminum and organic zirconium. The silane coupling agent or the organic metal is dissolved in an organic solvent, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol, butyl alcohol or the like.
Use the one diluted to a concentration of 1 to 5%. Next, after applying this surface treatment liquid uniformly on the substrate with a spinner or the like, 8
Surface treatment can be performed by drying at 0 to 140 ° C. for 10 to 60 minutes.When applied on a film, after drying on the film, performing the next exposure step,
There is a method in which an exposure step is performed after the film is pasted on a glass or ceramic substrate.

【0086】塗布した後、露光装置を用いて露光を行
う。露光は通常のフォトリソグラフィーで行われるよう
に、フォトマスクを用いてマスク露光する方法が一般的
である。用いるマスクは、感光性有機成分の種類によっ
て、ネガ型もしくはポジ型のどちらかを選定する。
After application, exposure is performed using an exposure device. The exposure is generally performed by a mask exposure using a photomask, as is performed by ordinary photolithography. As the mask to be used, either a negative type or a positive type is selected depending on the type of the photosensitive organic component.

【0087】また、フォトマスクを用いずに、赤色や青
色のレーザー光などで直接描画する方法を用いても良
い。
Further, a method of directly drawing with red or blue laser light without using a photomask may be used.

【0088】露光装置としては、ステッパー露光機、プ
ロキシミティ露光機等を用いることができる。また、大
面積の露光を行う場合は、ガラス基板などの基板上に感
光性ペーストを塗布した後に、搬送しながら露光を行う
ことによって、小さな露光面積の露光機で、大きな面積
を露光することができる。
As an exposure apparatus, a stepper exposure machine, a proximity exposure machine, or the like can be used. In the case of performing a large-area exposure, after applying a photosensitive paste on a substrate such as a glass substrate, and performing the exposure while transporting, it is possible to expose a large area with an exposure machine having a small exposure area. it can.

【0089】この際使用される活性光源は、たとえば、
可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザー
光などが挙げられるが、これらの中で紫外線が好まし
く、その光源としてはたとえば低圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用
できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。
露光条件は塗布厚みによって異なるが、1〜100mW
/cm2の出力の超高圧水銀灯を用いて20秒〜30分
間露光を行う。
The active light source used at this time is, for example,
Visible light, near-ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, laser light, etc. are preferable. Among them, ultraviolet light is preferable. Etc. can be used. Among these, an ultra-high pressure mercury lamp is preferred.
Exposure conditions vary depending on the coating thickness, but 1 to 100 mW
Exposure is performed for 20 seconds to 30 minutes using an ultra-high pressure mercury lamp having an output of / cm 2 .

【0090】塗布した感光性ペースト表面に酸素遮蔽膜
を設けることによって、パターン形状を向上することが
できる。酸素遮蔽膜の一例としては、ポリビニルアルコ
ール(PVA)やセルロースなどの膜、あるいは、ポリ
エステルなどのフィルムが上げられる。
By providing an oxygen shielding film on the surface of the applied photosensitive paste, the pattern shape can be improved. As an example of the oxygen shielding film, a film of polyvinyl alcohol (PVA) or cellulose, or a film of polyester or the like can be given.

【0091】PVA膜の形成方法は濃度が0.5〜5重
量%の水溶液をスピナーなどの方法で基板上に均一に塗
布した後に70〜90℃で10〜60分間乾燥すること
によって水分を蒸発させて行う。また水溶液中にアルコ
ールを少量添加すると絶縁膜との塗れ性が良くなり蒸発
が容易になるので好ましい。さらに好ましいPVAの溶
液濃度は、1〜3重量%である。この範囲にあると感度
が一層向上する。PVA塗布によって感度が向上するの
は次の理由が推定される。すなわち感光性成分が光反応
する際に、空気中の酸素があると光硬化の感度を妨害す
ると考えられるが、PVAの膜があると余分な酸素を遮
断できるので露光時に感度が向上すると考えられる。
The PVA film is formed by uniformly applying an aqueous solution having a concentration of 0.5 to 5% by weight on a substrate by a method such as a spinner and then drying at 70 to 90 ° C. for 10 to 60 minutes to evaporate water. Let me do it. In addition, it is preferable to add a small amount of alcohol to the aqueous solution because the coatability with the insulating film is improved and the evaporation is facilitated. A more preferred solution concentration of PVA is 1 to 3% by weight. Within this range, the sensitivity is further improved. The reason why the sensitivity is improved by the PVA application is presumed as follows. That is, when the photosensitive component undergoes a photoreaction, the presence of oxygen in the air is considered to hinder the photocuring sensitivity, but the presence of a PVA film is considered to improve the sensitivity during exposure because excess oxygen can be blocked. .

【0092】ポリエステルやポリプロピレン、ポリエチ
レン等の透明なフィルムを用いる場合は、塗布後の感光
性ペーストの上に、これらのフィルムを張り付けて用い
る方法もある。
When a transparent film of polyester, polypropylene, polyethylene, or the like is used, there is a method in which these films are attached to the applied photosensitive paste.

【0093】露光後、感光部分と非感光部分の現像液に
対する溶解度差を利用して、現像を行うが、この場合、
浸漬法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法で行う。
After the exposure, development is performed utilizing the difference in solubility between the photosensitive portion and the non-photosensitive portion in the developing solution.
The immersion method, the shower method, the spray method, and the brush method are used.

【0094】用いる現像液は、感光性ペースト中の有機
成分が溶解可能である有機溶媒を使用できる。また該有
機溶媒にその溶解力が失われない範囲で水を添加しても
よい。感光性ペースト中にカルボキシル基等の酸性基を
持つ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像でき
る。アルカリ水溶液として水酸化ナトリウムや炭酸ナト
リウム、水酸化カルシウム水溶液などのような金属アル
カリ水溶液を使用できるが、有機アルカリ水溶液を用い
た方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好まし
い。
As the developer to be used, an organic solvent in which the organic components in the photosensitive paste can be dissolved can be used. Water may be added to the organic solvent as long as the solvent does not lose its solubility. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, development can be performed with an aqueous alkali solution. As the alkaline aqueous solution, a metallic alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide, sodium carbonate, calcium hydroxide aqueous solution, etc. can be used, but it is preferable to use an organic alkaline aqueous solution since the alkaline component can be easily removed during firing.

【0095】有機アルカリとしては、アミン化合物を用
いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニ
ウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウム
ヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノール
アミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は通常
0.01〜10重量%、より好ましくは0.1〜5重量
%である。アルカリ濃度が低すぎると可溶部が除去され
ず、アルカリ濃度が高すぎると、パターン部を剥離さ
せ、また非可溶部を腐食させるおそれがあり好ましくな
い。また、現像時の現像温度は、20〜50℃で行うこ
とが工程管理上好ましい。
As the organic alkali, an amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, diethanolamine and the like. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble portion is not removed, and if the alkali concentration is too high, the pattern portion may be peeled off and the non-soluble portion may be corroded, which is not preferable. The development temperature during development is preferably from 20 to 50 ° C. from the viewpoint of process control.

【0096】次に焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気
や、温度はペーストや基板の種類によって異なるが、空
気中、窒素、水素等の雰囲気中で焼成する。焼成炉とし
ては、バッチ式の焼成炉やベルト式の連続型焼成炉を用
いることができる。ガラス基板上にパターン加工する場
合は、540〜610℃の温度で10〜60分間保持し
て焼成を行う。
Next, firing is performed in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of the paste and the substrate, but firing is performed in an atmosphere of air, nitrogen, hydrogen, or the like. As the firing furnace, a batch-type firing furnace or a belt-type continuous firing furnace can be used. When patterning is performed on a glass substrate, baking is performed at a temperature of 540 to 610 ° C. for 10 to 60 minutes.

【0097】また、以上の塗布や露光、現像、焼成の各
工程中に、乾燥、予備反応の目的で、50〜300℃加
熱工程を導入しても良い。
A heating step at 50 to 300 ° C. may be introduced for the purpose of drying and preliminary reaction during each of the steps of coating, exposing, developing and baking.

【0098】[0098]

【実施例】【Example】

実施例1 以下に、本発明を実施例を用いて、具体的に説明する。
ただし、本発明はこれに限定されない。なお、実施例、
比較例中の濃度(%)は特にことわらない限り重量%で
ある。
Example 1 Hereinafter, the present invention will be specifically described using examples.
However, the present invention is not limited to this. Note that the embodiment,
The concentration (%) in the comparative examples is% by weight unless otherwise specified.

【0099】まず感光性ガラスペーストを作製した。溶
媒(γ−ブチロラクトン)およびポリマーを40%溶液
となるよう混合し、攪拌しながら60℃まで加熱しすべ
てのポリマーを均質に溶解させた。
First, a photosensitive glass paste was prepared. The solvent (γ-butyrolactone) and the polymer were mixed to form a 40% solution and heated to 60 ° C. with stirring to dissolve all the polymers homogeneously.

【0100】ポリマーは、40%のメタアクリル酸(M
AA)、30%のメチルメタアクリレート(MMA)お
よび30%のスチレン(St)からなる共重合体のカル
ボキシル基に対して0.4当量のグリシジルメタアクリ
レート(GMA)を付加反応させた重量平均分子量43
000、酸価95の感光性ポリマーを用いた。
The polymer was 40% methacrylic acid (M
AA), a weight average molecular weight obtained by subjecting a copolymer consisting of 30% methyl methacrylate (MMA) and 30% styrene (St) to an addition reaction of 0.4 equivalent of glycidyl methacrylate (GMA) to a carboxyl group. 43
000, a photosensitive polymer having an acid value of 95 was used.

【0101】ついで溶液を室温まで冷却し、感光性ポリ
マー25重量部、感光性モノマー10重量部、光重合開
始剤3重量部、増感剤1.8重量部の割合になるように
これらを加えて溶解させた。その後、この溶液を400
メッシュのフィルターを用いて濾過し、有機ビヒクルを
作製した。ここで本実施例に用いた、感光性モノマー、
光重合開始剤、増感剤は次のような化合物である。
Then, the solution was cooled to room temperature, and these were added so that the ratio of the photosensitive polymer was 25 parts by weight, the photosensitive monomer was 10 parts by weight, the photopolymerization initiator was 3 parts by weight, and the sensitizer was 1.8 parts by weight. To dissolve. Thereafter, the solution was
The mixture was filtered using a mesh filter to produce an organic vehicle. Here, the photosensitive monomer used in this example,
The photopolymerization initiator and the sensitizer are the following compounds.

【0102】感光性モノマー;A photosensitive monomer;

【化1】 光重合開始剤 ;2−ベンジル−2ジメチルアミノ−1
−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1 増感剤 ;2,4−ジエチルチオキサントン 次に、スダン(アゾ系有機染料)とガラス粉末に対して
0.13%の割合で秤量した。スダンとは化学式C24
204O、分子量380.45のアゾ系有機染料であ
る。そのスダンをアセトンに溶解させ、分散剤を加えて
ホモジナイザで均質に攪拌し、この溶液中にガラス粉末
を添加して均質に分散・混合後、ロータリーエバポレー
タを用いて、150〜200℃の温度で乾燥し、アセト
ンを蒸発させた。こうして有機染料からなる紫外線吸収
剤の膜でガラス粉末の表面を均質にコーティングした
(いわゆるカプセル処理した)粉末を作製した。
Embedded image Photopolymerization initiator; 2-benzyl-2 dimethylamino-1
-(4-morpholinophenyl) -butanone-1 Sensitizer; 2,4-diethylthioxanthone Then, it was weighed at a ratio of 0.13% with respect to sudan (azo organic dye) and glass powder. Sudan is the chemical formula C 24 H
An azo organic dye having 20 N 4 O and a molecular weight of 380.45. Dissolve the sudan in acetone, add a dispersant, stir homogeneously with a homogenizer, add glass powder into this solution, uniformly disperse and mix, and then use a rotary evaporator at a temperature of 150 to 200 ° C. Dry and evaporate the acetone. In this way, a powder was obtained in which the surface of the glass powder was uniformly coated with a film of an ultraviolet absorbent composed of an organic dye (so-called capsule treatment).

【0103】ガラス粉末は、Li2O 9%、SiO2
22%、B23 33%、BaO4%、Al23 23
%、ZnO 2%、MgO 7%の組成のものを用い
た。ガラス粉末は、あらかじめアトラクターにて微粉末
にし、平均粒径2.6μmの非球状粉末を使用した。ガ
ラス転移点は476℃、軟化点は519℃、g線での屈
折率は1.59であった。このガラスを2mm厚板に加
工し、インピーダンスメーターで20℃、1MHzで測
定したところ比誘電率は8.3であった。
The glass powder was 9% Li 2 O, SiO 2
22%, B 2 O 3 33%, BaO 4%, Al 2 O 3 23
%, ZnO 2%, and MgO 7%. The glass powder was made into a fine powder in advance using an attractor, and a non-spherical powder having an average particle size of 2.6 μm was used. The glass transition point was 476 ° C, the softening point was 519 ° C, and the refractive index at g-line was 1.59. This glass was processed into a 2 mm thick plate, and the relative dielectric constant was 8.3 when measured at 20 ° C. and 1 MHz with an impedance meter.

【0104】上記有機ビヒクルと上記紫外線吸収剤添加
のガラス粉末を49.8重量部/70重量部になるよう
に添加し、3本ローラで混合・分散して、感光性ガラス
ペーストを調整した。
The organic vehicle and the glass powder to which the ultraviolet absorber had been added were added so as to be 49.8 parts by weight / 70 parts by weight, and mixed and dispersed with three rollers to prepare a photosensitive glass paste.

【0105】次にガラス基板として交流方式のプラズマ
ディスプレイパネル部材作製を目的としてサイズ220
×300mm(A4サイズ)の背面板用ガラスおよび前
面板用ガラス基板を使用した。背面板用ガラス基板に、
アドレス電極として感光性銀ペーストを用いてフォトリ
ソ法により、焼成厚み10μm、線幅40μm、ピッチ
150μmの電極パターンを形成した。前面板用ガラス
基板には、バス電極付き透明電極を形成した。すなわ
ち、透明電極は、ITOをスパッタ法で形成後、レジス
ト塗布し、露光・現像処理、エッチング処理によって焼
成厚み0.1μm、線幅200μmの透明電極を形成し
た。また、黒色銀粉末を用いて感光性銀ペーストを用い
てフォトリソ法により、焼成厚み10μm、線幅50μ
m、ピッチ150μmの黒色のバス電極を形成した。
Next, in order to produce a plasma display panel member of an AC type as a glass substrate, a size 220 was used.
A 300 mm (A4 size) glass for a back plate and a glass substrate for a front plate were used. On the glass substrate for the back plate,
An electrode pattern having a fired thickness of 10 μm, a line width of 40 μm, and a pitch of 150 μm was formed by a photolithography method using a photosensitive silver paste as an address electrode. A transparent electrode with a bus electrode was formed on the glass substrate for the front plate. That is, the transparent electrode was formed by sputtering ITO, applying a resist, exposing, developing, and etching to form a transparent electrode having a fired thickness of 0.1 μm and a line width of 200 μm. In addition, a baked thickness of 10 μm and a line width of 50 μm were obtained by photolithography using a photosensitive silver paste using black silver powder.
m, a black bus electrode having a pitch of 150 μm was formed.

【0106】さらに前面板用ガラス基板上に誘電体ペー
ストを20μm塗布し、430℃で20分間保持して焼
き付けた。次に形成した、透明電極、黒色電極、誘電体
層を一様に被覆するように電子ビーム蒸着機を用いて、
MgOを蒸着した。蒸着膜の厚みは0.5μmである。
Further, a dielectric paste was applied to a thickness of 20 μm on the glass substrate for the front plate, and was baked by holding at 430 ° C. for 20 minutes. Next, using an electron beam evaporator to uniformly cover the formed transparent electrode, black electrode, and dielectric layer,
MgO was deposited. The thickness of the deposited film is 0.5 μm.

【0107】背面板用ガラス基板上にビスマス系ガラス
の感光性ガラスペーストを誘電体として15μm塗布し
た。ビスマス系ガラス粉末の組成は、Bi23が26重
量%含まれたものを用いた。80℃で30分乾燥した
後、露光量10J/cm2で全面露光した。
A photosensitive glass paste of bismuth-based glass was applied as a dielectric on a glass substrate for a back plate at a thickness of 15 μm. The composition of the bismuth-based glass powder used contained 26% by weight of Bi 2 O 3 . After drying at 80 ° C. for 30 minutes, the entire surface was exposed at an exposure amount of 10 J / cm 2 .

【0108】隔壁形成のため、感光性ガラスペースト
を、背面板用ガラス基板上に、325メッシュのスクリ
ーンを用いてスクリーン印刷により、均一に塗布した。
塗布膜にピンホールなどの発生を回避するために塗布・
乾燥を数回以上繰り返し行い、膜厚みの調整を行った。
途中の乾燥は80℃で10分間行った。その後、80℃
で1時間保持して乾燥した。
For forming the partition walls, a photosensitive glass paste was uniformly applied on a glass substrate for a back plate by screen printing using a 325 mesh screen.
To avoid the occurrence of pinholes on the coating film,
Drying was repeated several times or more to adjust the film thickness.
Drying was performed at 80 ° C. for 10 minutes. Then 80 ° C
And dried for 1 hour.

【0109】続いて、150μmピッチのネガ型のクロ
ムマスクを用いて、上面から50mJ/cm2出力の超
高圧水銀灯で紫外線露光した。露光量は1.2J/cm
2であった。
Subsequently, using a negative type chromium mask having a pitch of 150 μm, the surface was exposed to ultraviolet light from an upper surface by an ultra-high pressure mercury lamp having an output of 50 mJ / cm 2 . Exposure is 1.2 J / cm
Was 2 .

【0110】次に、35℃に保持したモノエタノールア
ミンの0.3重量%の水溶液をシャワーで120秒間か
けることにより現像し、その後シャワースプレーを用い
て水洗浄し、光硬化していないスペース部分を除去して
背面板用ガラス基板上にストライプ状の隔壁を形成し
た。
Next, a 0.3% by weight aqueous solution of monoethanolamine kept at 35 ° C. was developed by applying a shower for 120 seconds, followed by washing with water using a shower spray, and a space portion not cured by light. Was removed to form striped partition walls on the glass substrate for the back plate.

【0111】このようにして隔壁を形成した背面板用ガ
ラス基板を、空気中で580℃で30分間焼成を行い、
絶縁隔壁を作製した。絶縁隔壁の断面形状をレーザ顕微
鏡で測定したところ、ピッチ150μm、線幅(半値
幅)30μm、高さ120μmであった。
The glass substrate for the back plate on which the partition walls are formed as described above is baked at 580 ° C. for 30 minutes in air.
An insulating partition was produced. When the cross-sectional shape of the insulating partition wall was measured with a laser microscope, the pitch was 150 μm, the line width (half width) was 30 μm, and the height was 120 μm.

【0112】上記と同様の条件で100mm角ソーダガ
ラス基板で、隔壁を形成し、その隔壁からアルキメデス
法により密度を測定し、気孔率を算出したところ、2.
5%であった。
A partition was formed on a 100 mm square soda glass substrate under the same conditions as above, and the density was measured from the partition by the Archimedes method to calculate the porosity.
5%.

【0113】絶縁隔壁を形成した背面板用ガラス基板の
隔壁内の所定の溝に感光性ペースト法を用いて、蛍光体
層を形成した。すなわち、赤(R)を形成する場合、R
の感光性蛍光体ペーストを用いて、印刷・フォトマスク
の位置あわせ・露光・現像・焼成(500℃、30分)
を行い、所定の位置に形成する。緑(G)、青(B)に
関しても同様の操作を行い、3色の蛍光体を所定の位置
に形成した。
A phosphor layer was formed in a predetermined groove in the partition of the glass substrate for the back plate on which the insulating partition was formed by using a photosensitive paste method. That is, when forming red (R), R
Printing, photomask positioning, exposure, development, and baking (500 ° C, 30 minutes) using the photosensitive phosphor paste
Is performed to form a predetermined position. The same operation was performed for green (G) and blue (B) to form phosphors of three colors at predetermined positions.

【0114】次に、前面板および背面板用ガラス基板に
シール剤となる低融点ガラスペーストを設け、所定の配
置になるよう位置あわせして対向配置し、450℃、3
0分間処理しガラス基板を封止した。その後、表示領域
内部の排気及びNe99%、Xe1%の混合ガスの封入
を行ってプラズマディスプレイパネルを完成させた。
Next, a low-melting glass paste as a sealant was provided on the front and rear glass substrates, and the glass paste was positioned so as to have a predetermined arrangement, and opposed to each other.
The glass substrate was sealed by treating for 0 minutes. Thereafter, the inside of the display area was evacuated and a mixed gas of 99% Ne and 1% Xe was sealed to complete a plasma display panel.

【0115】次に、パネルを放電試験装置に接続し、発
光状態を維持するために、画素セルに流れる放電電流の
時間変化を調べたところ、ピーク電流は0.7Aであっ
た。さらに隔壁を介しての誤放電の発生頻度を測定する
ために、隔壁形成方向にそって、1列おきに点灯させた
ところ、誤放電は全くみられず、良好なものであった。
Next, the panel was connected to a discharge tester, and the time change of the discharge current flowing through the pixel cell was examined in order to maintain the light emitting state. As a result, the peak current was 0.7 A. Further, in order to measure the frequency of occurrence of erroneous discharge via the partition walls, the lamps were lit every other row along the partition wall forming direction, and no erroneous discharge was observed, which was favorable.

【0116】実施例2 感光性モノマーおよびガラス粉末を下記のものに変え、
感光性ペーストの組成を、感光性ポリマー37.5重量
部、感光性モノマー15重量部、光重合開始剤4.8重
量部、増感剤4.8重量部の割合になるようにこれらを
加え、ガラスと有機成分を70:62.1に重量比で混
合した以外は実施例1と同様に行った。
Example 2 The photosensitive monomer and glass powder were changed to the following,
These were added so that the composition of the photosensitive paste was 37.5 parts by weight of the photosensitive polymer, 15 parts by weight of the photosensitive monomer, 4.8 parts by weight of the photopolymerization initiator, and 4.8 parts by weight of the sensitizer. The procedure was the same as in Example 1, except that the glass and the organic component were mixed in a weight ratio of 70: 62.1.

【0117】 モノマー:X2N-CH(CH3)-CH2-(OCH2CH(CH3))n-NX2 X= -CH2CH(OH)-CH2O-CO-C(CH3)=CH2 n= 2〜10 ガラス粉末:組成 Li2O 7%、SiO2 23%、
23 32%、BaO 4%、Al23 22%、Z
nO 2%、MgO 6%、CaO 4%、平均粒径
2.6μmの非球状粉末、ガラス転移点487℃、軟化
点528℃、g線での屈折率1.59、誘電率8.1 ピーク電流が0.65Aになり、誤放電が全く見られ
ず、良好なものであった。
Monomer: X 2 N—CH (CH 3 ) —CH 2 — (OCH 2 CH (CH 3 )) n-NX 2 X = —CH 2 CH (OH) —CH 2 O—CO—C (CH 3 ) = CH 2 n = 2-10 glass powder: composition Li 2 O 7%, SiO 2 23%,
B 2 O 3 32%, BaO 4%, Al 2 O 3 22%, Z
nO 2%, MgO 6%, CaO 4%, non-spherical powder having an average particle size of 2.6 μm, glass transition point 487 ° C., softening point 528 ° C., refractive index at g line 1.59, dielectric constant 8.1 peak The current was 0.65 A, no erroneous discharge was observed, and the product was good.

【0118】比較例 ガラス粉末は主成分がPbO−B23−SiO2、平均
粒径3.5μm、球状、比誘電率が11であるものを用
い、露光量を7J/cm2にし、現像時間を50秒と
し、焼成を580℃で行った以外は、実施例1と同様に
して検討を行った。
Comparative Example A glass powder having a main component of PbO—B 2 O 3 —SiO 2 , an average particle size of 3.5 μm, a spherical shape, and a relative dielectric constant of 11 was used, and the exposure amount was 7 J / cm 2 . The study was conducted in the same manner as in Example 1 except that the development time was set to 50 seconds and the firing was performed at 580 ° C.

【0119】実施例1と同様に発光状態を維持する時
の、放電電流のピーク値を調べたところ、1.2Aと実
施例より大きな値となった。
When the peak value of the discharge current when the light emitting state was maintained in the same manner as in Example 1, the peak value was 1.2 A, which was larger than that in Example.

【0120】[0120]

【発明の効果】本発明により、プラズマディスプレイの
消費電力を低くし、かつ誤放電を防止することができる
According to the present invention, the power consumption of the plasma display can be reduced and erroneous discharge can be prevented.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】線幅が15〜50μmであるストライプ状
の隔壁を有するプラズマディスプレイであって、該隔壁
の誘電率が4〜10であることを特徴とするプラズマデ
ィスプレイ。
1. A plasma display having a stripe-shaped partition having a line width of 15 to 50 μm, wherein the partition has a dielectric constant of 4 to 10.
【請求項2】隔壁のピッチが100〜250μm、高さ
が50〜170μmであることを特徴とする請求項1記
載のプラズマディスプレイ。
2. The plasma display according to claim 1, wherein the partition walls have a pitch of 100 to 250 μm and a height of 50 to 170 μm.
【請求項3】隔壁のピッチが100〜160μm、高さ
が100〜170μmであることを特徴とする請求項1
記載のプラズマディスプレイ。
3. The method according to claim 1, wherein the pitch of the partition walls is 100 to 160 μm and the height is 100 to 170 μm.
The plasma display as described.
【請求項4】気孔率が10%以下であることを特徴とす
る請求項1記載のプラズマディスプレイ。
4. The plasma display according to claim 1, wherein the porosity is 10% or less.
【請求項5】気孔率が3%以下であることを特徴とする
請求項1記載のプラズマディスプレイ。
5. The plasma display according to claim 1, wherein the porosity is 3% or less.
【請求項6】ガラス転移点が430〜500℃、ガラス
軟化点が470〜580℃のガラス材料を用いることを
特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイ。
6. The plasma display according to claim 1, wherein a glass material having a glass transition point of 430 to 500 ° C. and a glass softening point of 470 to 580 ° C. is used.
【請求項7】隔壁が下記組成のガラスを含むことを特徴
とする請求項1記載のプラズマディスプレイ。 酸化リチウム : 2〜15重量% 酸化珪素 :15〜50重量% 酸化ホウ素 :15〜40重量% 酸化バリウム : 2〜15重量% 酸化アルミニウム: 6〜25重量%
7. The plasma display according to claim 1, wherein the partition contains glass having the following composition. Lithium oxide: 2 to 15% by weight Silicon oxide: 15 to 50% by weight Boron oxide: 15 to 40% by weight Barium oxide: 2 to 15% by weight Aluminum oxide: 6 to 25% by weight
【請求項8】ガラスの屈折率が1.5〜1.65である
ことを特徴とする隔壁を有する請求項1記載のプラズマ
ディスプレイ。
8. The plasma display according to claim 1, further comprising a partition having a refractive index of 1.5 to 1.65.
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