JPH1022767A - 表面弾性波フィルタ及びその製造方法 - Google Patents
表面弾性波フィルタ及びその製造方法Info
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- JPH1022767A JPH1022767A JP17904296A JP17904296A JPH1022767A JP H1022767 A JPH1022767 A JP H1022767A JP 17904296 A JP17904296 A JP 17904296A JP 17904296 A JP17904296 A JP 17904296A JP H1022767 A JPH1022767 A JP H1022767A
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- Japan
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- wave filter
- surface acoustic
- acoustic wave
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- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 チップクラックや焼損を招くことがなくな
り、耐電力性を高めることができる表面弾性波フィルタ
及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 アンテナ段デュプレクサに用いる表面弾
性波フィルタにおいて、インターディジタル変換器の直
列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ
1 （Ｐ2 ）を接続する線路１０（Ｔ字部分）をＡｕ膜１
２で被覆する。
り、耐電力性を高めることができる表面弾性波フィルタ
及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 アンテナ段デュプレクサに用いる表面弾
性波フィルタにおいて、インターディジタル変換器の直
列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ
1 （Ｐ2 ）を接続する線路１０（Ｔ字部分）をＡｕ膜１
２で被覆する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話や通信端
末に使用するアンテナ段分波器用表面弾性波フィルタ
（以下、ＳＡＷ−Ｆと表す）及びその製造方法に関する
ものである。
末に使用するアンテナ段分波器用表面弾性波フィルタ
（以下、ＳＡＷ−Ｆと表す）及びその製造方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば、以下に示すようなものがあった。図５は従来の
アンテナ段のＳＡＷデュプレクサの回路構成図、図６は
その櫛歯パターンの上面図、図７は図６のＢ−Ｂ線断面
図である。
例えば、以下に示すようなものがあった。図５は従来の
アンテナ段のＳＡＷデュプレクサの回路構成図、図６は
その櫛歯パターンの上面図、図７は図６のＢ−Ｂ線断面
図である。
【０００３】図５において、１は水晶やＬｉＴａＯ3 等
からなる圧電基板、２はアンテナ端子（ＡＮＴ）、
Ｓ1 ，Ｓ2 ，…はＩＤＴ（インターディジタル変換器：
圧電基板１上に形成された２つの相互に入り組んだ櫛形
金属パターンであり、マイクロ波電圧とＳＡＷとの相互
交換を行う）からなる直列腕、Ｐ1 ，Ｐ2 ，…はＩＤＴ
からなる並列腕、３は送信側端子（Ｔｘ）、４は受信側
端子（Ｒｘ）である。
からなる圧電基板、２はアンテナ端子（ＡＮＴ）、
Ｓ1 ，Ｓ2 ，…はＩＤＴ（インターディジタル変換器：
圧電基板１上に形成された２つの相互に入り組んだ櫛形
金属パターンであり、マイクロ波電圧とＳＡＷとの相互
交換を行う）からなる直列腕、Ｐ1 ，Ｐ2 ，…はＩＤＴ
からなる並列腕、３は送信側端子（Ｔｘ）、４は受信側
端子（Ｒｘ）である。
【０００４】図６に示すように、ＳＡＷ−Ｆの櫛歯電極
及び接続線路５はＡｌもしくはＡｌ−Ｃｕ合金で形成さ
れ、これが直列及び並列に接続されている。
及び接続線路５はＡｌもしくはＡｌ−Ｃｕ合金で形成さ
れ、これが直列及び並列に接続されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＳＡＷ
デュプレクサの送信側には、大電力がかかるため、図５
の点線で囲んだ部分６の焼損により、チップが破壊する
といった問題があった。本発明は、上記問題点を除去
し、チップクラックや焼損を招くことがなく、耐電力性
を高めることができる表面弾性波フィルタ及びその製造
方法を提供することを目的とする。
デュプレクサの送信側には、大電力がかかるため、図５
の点線で囲んだ部分６の焼損により、チップが破壊する
といった問題があった。本発明は、上記問題点を除去
し、チップクラックや焼損を招くことがなく、耐電力性
を高めることができる表面弾性波フィルタ及びその製造
方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 （１）アンテナ段デュプレクサに用いる表面弾性波フィ
ルタにおいて、インターディジタル変換器の直列腕とイ
ンターディジタル変換器の並列腕を接続する線路をＡｕ
膜で被覆するようにしたものである。
成するために、 （１）アンテナ段デュプレクサに用いる表面弾性波フィ
ルタにおいて、インターディジタル変換器の直列腕とイ
ンターディジタル変換器の並列腕を接続する線路をＡｕ
膜で被覆するようにしたものである。
【０００７】したがって、接続線路（Ｔ字部分）の発熱
を抑制することができ、チップクラックや焼損を招くこ
とがなくなり、耐電力性を高めることができる表面弾性
波フィルタを得ることができる。 （２）上記（１）記載の表面弾性波フィルタにおいて、
前記線路はＡｌ−Ｃｕ合金膜からなり、その上にＣｒ膜
を介してＡｕ膜を形成するようにしたものである。
を抑制することができ、チップクラックや焼損を招くこ
とがなくなり、耐電力性を高めることができる表面弾性
波フィルタを得ることができる。 （２）上記（１）記載の表面弾性波フィルタにおいて、
前記線路はＡｌ−Ｃｕ合金膜からなり、その上にＣｒ膜
を介してＡｕ膜を形成するようにしたものである。
【０００８】したがって、上記（１）の効果に加えて、
Ｃｒ膜を介したＡｕ膜の形成によるワイヤボンディング
パッドの形成と同時に、インターディジタル変換器の直
列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ
1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部分）のＣｒ膜を介した
Ａｕ被覆膜を形成することができる。 （３）上記（１）記載の表面弾性波フィルタにおいて、
前記線路はＡｌ−Ｃｕ合金膜からなり、その上にＮｉＣ
ｒ膜を介してＡｕ膜を形成するようにしたものである。
Ｃｒ膜を介したＡｕ膜の形成によるワイヤボンディング
パッドの形成と同時に、インターディジタル変換器の直
列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ
1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部分）のＣｒ膜を介した
Ａｕ被覆膜を形成することができる。 （３）上記（１）記載の表面弾性波フィルタにおいて、
前記線路はＡｌ−Ｃｕ合金膜からなり、その上にＮｉＣ
ｒ膜を介してＡｕ膜を形成するようにしたものである。
【０００９】したがって、上記（１）の効果に加えて、
ＮｉＣｒ膜を介したワイヤボンディングパッドの形成と
同時に、インターディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2
とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との
接続線路（Ｔ字部分）のＮｉＣｒ膜を介したＡｕ被覆膜
を形成することができる。 （４）アンテナ段デュプレクサに用いる表面弾性波フィ
ルタの製造方法において、インターディジタル変換器の
直列腕とインターディジタル変換器の並列腕をＡｌ−Ｃ
ｕ合金膜により形成する工程と、前記インターディジタ
ル変換器の直列腕とインターディジタル変換器の並列腕
を接続する線路をＡｕ膜で被覆する工程とを施すように
したものである。
ＮｉＣｒ膜を介したワイヤボンディングパッドの形成と
同時に、インターディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2
とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との
接続線路（Ｔ字部分）のＮｉＣｒ膜を介したＡｕ被覆膜
を形成することができる。 （４）アンテナ段デュプレクサに用いる表面弾性波フィ
ルタの製造方法において、インターディジタル変換器の
直列腕とインターディジタル変換器の並列腕をＡｌ−Ｃ
ｕ合金膜により形成する工程と、前記インターディジタ
ル変換器の直列腕とインターディジタル変換器の並列腕
を接続する線路をＡｕ膜で被覆する工程とを施すように
したものである。
【００１０】したがって、簡単な工程で信頼性の高い表
面弾性波フィルタを製造することができる。 （５）上記（４）記載の表面弾性波フィルタの製造方法
において、前記Ａｕ膜の形成をワイヤボンディングパッ
ドの形成と同一の工程で行うようにしたものである。
面弾性波フィルタを製造することができる。 （５）上記（４）記載の表面弾性波フィルタの製造方法
において、前記Ａｕ膜の形成をワイヤボンディングパッ
ドの形成と同一の工程で行うようにしたものである。
【００１１】したがって、ワイヤボンディングパッドの
形成と同時に、インターディジタル変換器の直列腕
Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ
1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部分）のＡｕ被覆膜を形
成することができ、コストダウンを図ることができる。
形成と同時に、インターディジタル変換器の直列腕
Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ
1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部分）のＡｕ被覆膜を形
成することができ、コストダウンを図ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の実
施例を示すアンテナ段のＳＡＷデュプレクサの回路構成
図、図２は図１のＡ部の拡大平面図、図３は図２のＡ−
Ａ線断面図である。なお、ここで、従来のものと同じ部
分については、同じ符号を付してそれらの説明は省略し
ている。
て図を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の実
施例を示すアンテナ段のＳＡＷデュプレクサの回路構成
図、図２は図１のＡ部の拡大平面図、図３は図２のＡ−
Ａ線断面図である。なお、ここで、従来のものと同じ部
分については、同じ符号を付してそれらの説明は省略し
ている。
【００１３】これらの図に示すように、圧電基板１上に
は、Ａｌ−Ｃｕ膜からなるインターディジタル変換器の
直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の並列腕
Ｐ1（Ｐ2 ）をつなぐ接続線路１０は三叉路（Ｔ字部
分）になっている。この部分には、高周波特性上、ジュ
ール熱が発生し、チップクラック（圧電基板１の基材の
ＬｉＴａＯ3 ）を招き易いので、この実施例では、この
部分にＣｒ膜１１を介してＡｕ膜１２を形成するように
している。ここで、Ｃｒ膜１１は接続線路であるＡｌ−
Ｃｕ膜にＡｕ膜が接着し易いようにするためのものであ
る。
は、Ａｌ−Ｃｕ膜からなるインターディジタル変換器の
直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の並列腕
Ｐ1（Ｐ2 ）をつなぐ接続線路１０は三叉路（Ｔ字部
分）になっている。この部分には、高周波特性上、ジュ
ール熱が発生し、チップクラック（圧電基板１の基材の
ＬｉＴａＯ3 ）を招き易いので、この実施例では、この
部分にＣｒ膜１１を介してＡｕ膜１２を形成するように
している。ここで、Ｃｒ膜１１は接続線路であるＡｌ−
Ｃｕ膜にＡｕ膜が接着し易いようにするためのものであ
る。
【００１４】なお、Ｃｒ−Ａｕ膜に代えて、ＮｉＣｒ−
Ａｕ膜を被覆する。すなわち、ＮｉＣｒ膜を介してＡｕ
膜１２を形成するようにしてもよい。このように、Ｃｒ
−Ａｕ膜（ＮｉＣｒ−Ａｕ）膜を被覆することによっ
て、熱抵抗を減らすようにしている。このように構成し
たので、インターディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2
とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との
接続線路（Ｔ字部分）の発熱を抑制することができ、チ
ップクラックや焼損を招くことがなくなり、耐電力性が
向上した。
Ａｕ膜を被覆する。すなわち、ＮｉＣｒ膜を介してＡｕ
膜１２を形成するようにしてもよい。このように、Ｃｒ
−Ａｕ膜（ＮｉＣｒ−Ａｕ）膜を被覆することによっ
て、熱抵抗を減らすようにしている。このように構成し
たので、インターディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2
とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との
接続線路（Ｔ字部分）の発熱を抑制することができ、チ
ップクラックや焼損を招くことがなくなり、耐電力性が
向上した。
【００１５】更に、より具体的には、以下のような効果
を奏することができる。ＡｕとＡｌの導電率は、略同等
なので、単純にＡｌ（＋５％Ｃｕ）厚さ０．４μｍにＣ
ｒ−Ａｕ（厚さ０．４μｍ）をカバーとして付けた場
合、その部分の導電度は２倍（電気抵抗は１／２）とな
る。これは発熱（ジュール熱）の低減をもたらし、耐電
力を増すことになる。Ａｕカバーの幅を広くしたり、更
に、Ａｕカバーの厚みを増したりすると、より導電度は
上がり（電気抵抗は下がり）、耐電力性が向上すること
が、実験により確認できた。
を奏することができる。ＡｕとＡｌの導電率は、略同等
なので、単純にＡｌ（＋５％Ｃｕ）厚さ０．４μｍにＣ
ｒ−Ａｕ（厚さ０．４μｍ）をカバーとして付けた場
合、その部分の導電度は２倍（電気抵抗は１／２）とな
る。これは発熱（ジュール熱）の低減をもたらし、耐電
力を増すことになる。Ａｕカバーの幅を広くしたり、更
に、Ａｕカバーの厚みを増したりすると、より導電度は
上がり（電気抵抗は下がり）、耐電力性が向上すること
が、実験により確認できた。
【００１６】図４は従来の表面弾性波フィルタと本発明
の表面弾性波フィルタとの耐電力特性を示す図である。
なお、ここで、環境温度は２５°Ｃ、周波数は８００〜
９００ＭＨｚ、入力パワーは２〜６ｗである。この図か
ら明らかなように、Ａｕカバーなしの場合は耐電力２
ｗ、Ａｕカバー有（厚さ０．４μｍ）の場合は耐電力４
ｗ、Ａｕカバー有（厚さ０．８μｍ）の場合は耐電力６
ｗを示した。
の表面弾性波フィルタとの耐電力特性を示す図である。
なお、ここで、環境温度は２５°Ｃ、周波数は８００〜
９００ＭＨｚ、入力パワーは２〜６ｗである。この図か
ら明らかなように、Ａｕカバーなしの場合は耐電力２
ｗ、Ａｕカバー有（厚さ０．４μｍ）の場合は耐電力４
ｗ、Ａｕカバー有（厚さ０．８μｍ）の場合は耐電力６
ｗを示した。
【００１７】次に、この表面弾性波フィルタの製造方法
について説明する。 （１）まず、圧電基板１上にＡｌ−Ｃｕ合金のインター
ディジタル変換器（櫛歯パターン）を形成する。 （２）次いで、ワイヤボンディングパッドの形成用マス
クパターンに、上記したインターディジタル変換器の直
列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ
1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部分）１０の形成用マス
クパターンを付加しておき、Ｃｒ膜１１を介したＡｕ膜
１２によるワイヤボンディングパッドの形成と同時に、
インターディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインタ
ーディジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路
（Ｔ字部分）１０のＣｒ膜１１を介したＡｕ膜１２の形
成を行う。
について説明する。 （１）まず、圧電基板１上にＡｌ−Ｃｕ合金のインター
ディジタル変換器（櫛歯パターン）を形成する。 （２）次いで、ワイヤボンディングパッドの形成用マス
クパターンに、上記したインターディジタル変換器の直
列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ
1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部分）１０の形成用マス
クパターンを付加しておき、Ｃｒ膜１１を介したＡｕ膜
１２によるワイヤボンディングパッドの形成と同時に、
インターディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインタ
ーディジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路
（Ｔ字部分）１０のＣｒ膜１１を介したＡｕ膜１２の形
成を行う。
【００１８】また、ワイヤボンディングパッドの形成が
ＮｉＣｒ−Ａｕ膜によって行われる場合には、これに対
応して、インターディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2
とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との
接続線路（Ｔ字部分）のＮｉＣｒ膜を介したＡｕ被覆膜
の形成を同時に行うようにする。このように、ワイヤボ
ンディングパッドとＴ字部分の被覆とを同時に行うこと
ができるので、本発明における特別な工程増はない。つ
まり、コストアップを防ぐことができる。
ＮｉＣｒ−Ａｕ膜によって行われる場合には、これに対
応して、インターディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2
とインターディジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との
接続線路（Ｔ字部分）のＮｉＣｒ膜を介したＡｕ被覆膜
の形成を同時に行うようにする。このように、ワイヤボ
ンディングパッドとＴ字部分の被覆とを同時に行うこと
ができるので、本発明における特別な工程増はない。つ
まり、コストアップを防ぐことができる。
【００１９】なお、上記実施例では送信側のインターデ
ィジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2とインターディジタ
ル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部
分）へのＡｕ膜の被覆について述べたが、受信側のイン
ターディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターデ
ィジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ
字部分）へのＡｕ膜の被覆に適用できることは言うまで
もない。
ィジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2とインターディジタ
ル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部
分）へのＡｕ膜の被覆について述べたが、受信側のイン
ターディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターデ
ィジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ
字部分）へのＡｕ膜の被覆に適用できることは言うまで
もない。
【００２０】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００２１】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、接続線路（Ｔ字部
分）の発熱を抑制することができ、チップクラックや焼
損を招くことがなくなり、耐電力性を高めることができ
る表面弾性波フィルタを得ることができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、接続線路（Ｔ字部
分）の発熱を抑制することができ、チップクラックや焼
損を招くことがなくなり、耐電力性を高めることができ
る表面弾性波フィルタを得ることができる。
【００２２】（２）請求項２記載の発明によれば、上記
（１）の効果に加えて、Ｃｒ膜を介したＡｕ膜の形成に
よるワイヤボンディングパッドの形成と同時に、インタ
ーディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディ
ジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字
部分）のＣｒ膜を介したＡｕ被覆膜を形成することがで
きる。
（１）の効果に加えて、Ｃｒ膜を介したＡｕ膜の形成に
よるワイヤボンディングパッドの形成と同時に、インタ
ーディジタル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディ
ジタル変換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字
部分）のＣｒ膜を介したＡｕ被覆膜を形成することがで
きる。
【００２３】（３）請求項３記載の発明によれば、上記
（１）の効果に加えて、ＮｉＣｒ膜を介したワイヤボン
ディングパッドの形成と同時に、インターディジタル変
換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の
並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部分）のＮｉＣ
ｒ膜を介したＡｕ被覆膜を形成することができる。 （４）請求項４記載の発明によれば、簡単な工程で信頼
性の高い表面弾性波フィルタを製造することができる。
（１）の効果に加えて、ＮｉＣｒ膜を介したワイヤボン
ディングパッドの形成と同時に、インターディジタル変
換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変換器の
並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部分）のＮｉＣ
ｒ膜を介したＡｕ被覆膜を形成することができる。 （４）請求項４記載の発明によれば、簡単な工程で信頼
性の高い表面弾性波フィルタを製造することができる。
【００２４】（５）請求項５記載の発明によれば、ワイ
ヤボンディングパッドの形成と同時に、インターディジ
タル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変
換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部分）の
Ａｕ被覆膜を形成することができ、コストダウンを図る
ことができる。
ヤボンディングパッドの形成と同時に、インターディジ
タル変換器の直列腕Ｓ1 ，Ｓ2 とインターディジタル変
換器の並列腕Ｐ1 （Ｐ2 ）との接続線路（Ｔ字部分）の
Ａｕ被覆膜を形成することができ、コストダウンを図る
ことができる。
【図１】本発明の実施例を示すアンテナ段のＳＡＷデュ
プレクサの回路構成図である。
プレクサの回路構成図である。
【図２】図１のＡ部の拡大平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】従来の表面弾性波フィルタと本発明の表面弾性
波フィルタとの耐電力特性を示す図である。
波フィルタとの耐電力特性を示す図である。
【図５】従来のアンテナ段のＳＡＷデュプレクサの回路
構成図である。
構成図である。
【図６】従来のアンテナ段のＳＡＷデュプレクサの櫛歯
パターンの上面図である。
パターンの上面図である。
【図７】図５のＢ−Ｂ線断面図である。
１ 圧電基板 ２ アンテナ端子（ＡＮＴ） ３ 送信側端子（Ｔｘ） ４ 受信側端子（Ｒｘ） ５ ＳＡＷ−Ｆの櫛歯電極及び接続線路 Ｓ1 ，Ｓ2 インターディジタル変換器の直列腕 Ｐ1 （Ｐ2 ） インターディジタル変換器の並列腕 １０ 接続線路（Ｔ字部分） １１ Ｃｒ膜又はＮｉＣｒ膜 １２ Ａｕ膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島村 一 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 アンテナ段デュプレクサに用いる表面弾
性波フィルタにおいて、 インターディジタル変換器の直列腕とインターディジタ
ル変換器の並列腕を接続する線路をＡｕ膜で被覆するよ
うにしたことを特徴とする表面弾性波フィルタ。 - 【請求項２】 請求項１記載の表面弾性波フィルタにお
いて、前記線路はＡｌ−Ｃｕ合金膜からなり、その上に
Ｃｒ膜を介してＡｕ膜を形成することを特徴とする表面
弾性波フィルタ。 - 【請求項３】 請求項１記載の表面弾性波フィルタにお
いて、前記線路はＡｌ−Ｃｕ合金膜からなり、その上に
ＮｉＣｒ膜を介してＡｕ膜を形成することを特徴とする
表面弾性波フィルタ。 - 【請求項４】 アンテナ段デュプレクサに用いる表面弾
性波フィルタの製造方法において、（ａ）インターディ
ジタル変換器の直列腕とインターディジタル変換器の並
列腕をＡｌ−Ｃｕ合金膜により形成する工程と、（ｂ）
前記インターディジタル変換器の直列腕とインターディ
ジタル変換器の並列腕を接続する線路をＡｕ膜で被覆す
る工程とを施すことを特徴とする表面弾性波フィルタの
製造方法。 - 【請求項５】 請求項４記載の表面弾性波フィルタの製
造方法において、前記Ａｕ膜の形成をワイヤボンディン
グパッドの形成と同一の工程で行うことを特徴とする表
面弾性波フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17904296A JPH1022767A (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | 表面弾性波フィルタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17904296A JPH1022767A (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | 表面弾性波フィルタ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1022767A true JPH1022767A (ja) | 1998-01-23 |
Family
ID=16059112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17904296A Pending JPH1022767A (ja) | 1996-07-09 | 1996-07-09 | 表面弾性波フィルタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1022767A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6891449B2 (en) * | 2000-04-03 | 2005-05-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Antenna duplexer |
| JP2008072771A (ja) * | 2007-12-05 | 2008-03-27 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| US20150236238A1 (en) * | 2014-02-18 | 2015-08-20 | Yosuke Hamaoka | Elastic wave element and ladder filter using same |
-
1996
- 1996-07-09 JP JP17904296A patent/JPH1022767A/ja active Pending
Cited By (6)
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