JPH10223320A - インターロックされたコネクター - Google Patents

インターロックされたコネクター

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JPH10223320A
JPH10223320A JP10024426A JP2442698A JPH10223320A JP H10223320 A JPH10223320 A JP H10223320A JP 10024426 A JP10024426 A JP 10024426A JP 2442698 A JP2442698 A JP 2442698A JP H10223320 A JPH10223320 A JP H10223320A
Authority
JP
Japan
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connector
interlocked
integrated
actuator
pin
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Withdrawn
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JP10024426A
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English (en)
Inventor
O Stimson Bradley
オー スティムソン ブラッドリー
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Applied Materials Inc
Original Assignee
Applied Materials Inc
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R24/00—Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure
    • H01R24/38—Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure having concentrically or coaxially arranged contacts
    • H01R24/40—Two-part coupling devices, or either of their cooperating parts, characterised by their overall structure having concentrically or coaxially arranged contacts specially adapted for high frequency
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/66—Structural association with built-in electrical component
    • H01R13/70—Structural association with built-in electrical component with built-in switch
    • H01R13/703—Structural association with built-in electrical component with built-in switch operated by engagement or disengagement of coupling parts, e.g. dual-continuity coupling part
    • H01R13/7035—Structural association with built-in electrical component with built-in switch operated by engagement or disengagement of coupling parts, e.g. dual-continuity coupling part comprising a separated limit switch
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R2103/00—Two poles

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  • Details Of Connecting Devices For Male And Female Coupling (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、電源を装置に接続するためのインタ
ーロックされたコネクターを提供する。 【解決手段】このインターロックされたコネクター(13
0) は、電源を作動するマイクロスイッチを作動するた
めの一体化したインターロックされた要素を有する。雌
のインターロックされたコネクターがコネクター体内の
引っ込んだ位置に偏らせた１以上の一体したピン(134)
、およびこの一体化したピンと受入れチャンバ間に位
置された一体のアクチュエータを有し、雄のコネクター
(131) の受入れチャンバ(138) への挿入に応答して、伸
ばされた位置へ一体化したピンを移動する。一体化した
ピンは、更にインターロックされたコネクターのバイパ
スを禁止するために、好ましくは装置内に取り付けられ
たマイクロスイッチを作動する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電源を装置に結合する
ためのコネクターに関する。より詳細には、本発明は、
電源を作動させるめに装置と電源間に結合されなければ
ならないインターロックされたコネクターに関する。
【０００２】
【従来の技術】電源、例えば無線周波数（ＲＦ）電源を
装置、例えばＲＦ整合ユニットに接続することは、も
し、解放した生きているケーブル端で終わっていて、電
源に他端で取り付けられている間に、接続ケーブルが装
置側で外されることができるならば、危険である。この
危険を避けるために、ケーブルは装置側で接続を切るこ
とができないように構成されていて、接続ケーブルが電
源側で外されるようにしている。装置は工業標準ケーブ
ルの受けるための標準接続ジャックを有する。接続ケー
ブル上の生きた解放端を有することに対する１つの公知
の解決策は、ケーブルと装置間に設けられたインターロ
ックされたスイッチを一般に有している。このインター
ロックされたスイッチは、雄／雌接続を囲む２つの大き
なハウジングと雄／雌接続の周りのハウジングを結合す
ることによって作動されるマイクロスイッチを含む。こ
のマイクロスイッチは、雄／雌接続がはずされたとき制
御ワイヤーによって電源を切る制御回路に順次接続され
ている。具合の悪いことに幾つかのインターロックされ
たスイッチは、雄／雌接続を囲むことなくハウジングが
結合され、電源が作動されるので、装置のオペレーター
が完全であることに大きく依存している。インターロッ
クされた要素を正しく使用するために時間がかかると
き、インターロックされたスイッチをバイパスしようと
する動機が生じる。
【０００３】図１（従来の技術）は２つ以上の高真空チ
ャンバ１４、１６を一般に含む半導体処理台（プラット
ホーム）１２に電力を供給するＡ／Ｃ電源をディエーブ
ルするための、インターロックされたスイッチアッセン
ブリーを示す。各チャンバ１４、１６は一般にＡ／Ｃ電
力を用いるＲＦ電源２２、２４からＲＦ整合ユニット１
８、２０をとおしてＲＦ電力を受け取る。このＲＦ電源
２２、２４は、各端に雄コネクターを有するフレキシブ
ルなＲＦケーブル２６、２８によってＲＦ整合ユニット
１８、２０に接続される。ＲＦ整合ユニットにおける各
々のＲＦケーブル２６、２８の接続は、ぶるさがった生
きた雄コネクターの可能性を示す。インターロックされ
たスイッチ３４、３６がＲＦ整合ユニット１８、２０に
おいて完成された雄／雌のＲＦ接続を確立するために閉
じられない限り、各々のチャンバ１４、１６は、一般に
インターロック・スイッチ・ストリング(interlock swi
tch string) ３２、３３によってディスエーブルされる
独立してエネルギーが供給されるインターロック回路３
０、３１を有している。
【０００４】図２（従来の技術）は、ＲＦケーブル２６
側の雄のＲＦコネクター４２とＲＦ整合ユニット１８側
の雌のＲＦコネクター４４がＲＦ電力をＲＦ整合ユニッ
トに供給するために結合された後、閉じられるように配
置されたインターロックされたスイッチ３４を示す。こ
のインターロックされたスイッチ３４は、ＲＦ接続の周
りの第１のハウジング４６と第２のハウジング４８をつ
なぐことによって閉じられる。図３（従来の技術）は、
図１のインターロックされたスイッチアセンブリーのた
めの概略の回路図である。独立してエネルギーが供給さ
れるインターロック回路３０は、バッテリー５０、Ａ／
Ｃ電源１０からチャンバ１４への電力を中断するコンタ
クター(contactor) ５２、およびインターロック・スイ
ッチ・ストリング３２における電流によって閉じられる
リレー５４を有している。このインターロック・スイッ
チ・ストリング３２はリレー５４の他に、分離した電源
５６、ＲＦ整合ユニット１８をインターロックするイン
ターロックされたスイッチ３４、およびＡ／Ｃ電源１０
を有する他の要素をチャンバ１４へインターロックする
１以上の追加のスイッチ５８、５９を有している。
【０００５】接続ケーブルを取り外すとき、インターロ
ックスイッチがオペレーターによる別の動作を必要とし
ないで、インターロックされたスイッチを接続したり、
切ったりする、装置を電源に接続する接続ケーブルを使
用するための受動的なインターロックされたスイッチに
対する需要がある。もし、インターロックされたスイッ
チが容易にバイパスされないならば、望ましいことであ
る。
【０００６】
【発明の概要】本発明は、電源を装置に接続するための
インターロックされたコネクターを提供する。このイン
ターロックされたコネクターは、電源を作動するマイク
ロスイッチを作動するための一体化したインターロック
された要素を有する。雌のインターロックされたコネク
ターがコネクター体内の引っ込んだ位置に偏倚された
（バイアスされた）１以上の一体化したピン、およびこ
の一体化したピンと受入れチャンバ間に位置された一体
化したアクチュエータを有し、雄のコネクターの受入れ
チャンバへの挿入に応答して、延びた位置へ一体化した
ピンを移動する。一体化したピンは、更にインターロッ
クされたコネクターのバイパスを禁止するために、好ま
しくは装置内に取り付けられたマイクロスイッチを作動
する。
【０００７】以下の実施の形態を理解することによっ
て、本発明の特徴、利点および目的は容易に理解される
であろう。
【０００８】
【実施の形態】本発明は、インターロックされたスイッ
チを作動するための一体化したインターロック要素を有
するインターロックされたコネクターを提供する。イン
ターロックされたコネクターは雄か、雌の何れかのコネ
クターであるが、一体化したインターロック要素は、雌
のコネクター内に配置されることによって何気ない接触
や容易な変更ができないようにされることが好ましい。
従って、本発明は、好ましくは、受入れチャンバを有す
るコネクター体、このコネクター体内の引っ込んだ位置
に偏倚した１以上の一体化したピン、および雄のコネク
ターの受入れチャンバへの挿入に応答して、延びた位置
へ一体化したピンを移動するために、一体化したピンと
受入れチャンバ間に配置された一体化したアクチュエー
ターを有する。
【０００９】インターロックされたコネクターは、外部
電源によってエネルギーが供給される装置の基体プレー
ト上に取り付けられるのが好ましい。インターロックさ
れたコネクターに加えて、装置は、スイッチアクチュエ
ーターが延された位置で一体化したピンに接触すると、
マイクロスイッチを押すために配置された内部のマイク
ロスイッチとスイッチアクチュエーターを囲むのが好ま
しい。一体化したピンは、接続ケーブル上の雄のコネク
ターを雌のコネクターの受入れチャンバへ挿入すること
によって延ばされる。インターロックされたコネクター
の接続を切ることよって、電源がディスエーブルされ、
生きたままでぶるさがった接続ケーブルが避けられる。
インターロックされたコネクターは、ＡＣ電源、ＤＣ電
源およびＲＦ電源を含む電源を電力が接続ケーブルを通
過する装置へ安全に接続する。インターロックされたコ
ネクターを使用することができる装置の例は、真空ポン
プ、処理チャンバ、およびＲＦ整合ユニットのようなシ
リコンウェハの処理台におけるダイナミックな要素を含
む。処理台のダイナミック要素は、要素のための電源を
作動させるインターロックされたスイッチを有するのが
好ましい。最も好ましくは、各々のインターロックされ
たスイッチは、共通のＡＣ電源を作動することによって
真空チャンバへ全ての電力を作動させる。従って、処理
台上の１つの接続電力ケーブルの接続を切ることによっ
て、真空チャンバの１つへの全てのＡＣ電力が遮断され
る。
【００１０】シリコンウェハ処理台のような集積装置上
の各インターロックされたコネクターは、電源と装置の
クロス接続からのあらゆる危険を防ぐために、独特の大
きさや形状を有している。例えば、処理台は、２つ以上
の真空チャンバを動作するための２つ以上のＲＦ整合ユ
ニットと２つ以上の電源を有している。ＲＦ整合ユニッ
トとＲＦ電源のクロス接続は、一般に処理台を止める処
理制御にエラーを生じる。ＲＦ電源のクロス接続は、接
続ケーブルが各々の電源を正しいＲＦ整合ユニットに繋
ぐまで、２つのチャンバが動作しないように、隣のＲＦ
電力ケーブル上で異なったインターロックされたコネク
ターを使用することによって避けられる。ぶるさがった
生きた接続ケーブルの問題は、追加の装置を電源、例え
ばＲＦ電源に直列、あるいは並列に繋げる全ての接続ケ
ーブルに対して起きるので、本発明のインターロックさ
れたコネクターは、ＲＦ整合ユニットのような装置を処
理チャンバのような他の装置に接続するために用いるこ
ともできる。
【００１１】本発明は、図面に示された特定のＲＦコネ
クターを参照して説明される。このＲＦコネクターは、
絶縁体のケーシングによって囲まれた接触コアをとおし
てＲＦ電力を伝送する。しかし、特定のコネクターのイ
ンターロックされた要素は、他のＲＦコネクターまたは
他の電源用コネクターに容易に転用される。図４は、雄
のコネクターが繋げられたとき、インターロックされた
スイッチを作動するための一体化したインターロック要
素を有する雌のインターロックされたコネクター１１０
の断面図である。この雌のインターロックされたコネク
ター１１０は、雄のコネクターを受けるための受入れチ
ャンバ１１４を有する金属コネクター体１１２を有す
る。コネクター体１１２は、ポリマーの絶縁体ケーシン
グ１１６とＲＦ電力を伝送する金属の接触コア１１８を
収容する。接触コア１１８は、回路、例えばスロットの
あるピン、はんだのカップ、マイクロストリップ等を完
成するためのあらゆる形状を有することができる。コネ
クター体１１２は、雄のコネクターを受入れチャンバ１
１４に固定するための外側のネジ１２０を有する。コネ
クター体１１２は、ＲＦ整合ユニットまたはシリコンウ
ェハ処理チャンバ用のハウジングのような装置の固いプ
レート上に、雌のインターロックされたコネクター１１
０を取り付けるためのフランジ１２２に固定される。
【００１２】インターロックされたコネクター１１０の
コネクター体１１２は、スプリング１２６によって引き
込まれた位置に偏倚された一体化したピン１２４を受け
るための機械加工されたスロット１２３を有する。この
引き込まれた位置は、図示されるようにコネクター体１
１２の外側に露出した一体化したピン１２４の位置を残
しているか、または一体化したピン１２４は、以下に記
載された他の実施の形態に示されるようにコネクター体
１１２内に完全に引き込まれてもよい。一体化したピン
１２４の一端の曲げられたチップ１２８は受入れチャン
バ内に伸びている。雄のコネクターの受入れチャンバ１
１４への挿入によって、一体化したピン１２４の曲げら
れたチップ１２８は押されて、スプリング１２６が圧縮
され、一体化したピン１２４が装置へ延びる。ピンが延
びると、一体化したピン１２４は、ＲＦ電力をＲＦ装
置、例えばＲＦ整合ユニットへ供給するＲＦ電源に対し
てＡＣ電力を制御するマイクロスイッチと係合する。好
ましくは、マイクロスイッチは、以下に記載された他の
実施の形態に対して記載されるように容易にバイパスさ
れない場合、装置内に取付けられる。
【００１３】図５は、一体化したインターロック要素の
詳細を更に示すために、幾つかの内部要素が除かれた図
４の雌のインターロックされたコネクターの断面図であ
る。図５に示されるように、ポリマーの絶縁体ケーシン
グ１１６と接触コア１１８がコネクター体１１２から除
かれると、一体化したピン１２４とスプリング１２６
は、コネクター体１１２における機械加工されたスロッ
ト１２３に容易に挿入される。この絶縁体ケーシング１
１６は、機械加工されたスロット１２３内のスプリング
１２６を保持するようにし、スプリングは、機械加工さ
れたスロット１２３内に一体化したピン１２４を保持す
る。機械加工されたスロット１２３は従来のコネクター
に切削されるのが好ましい。図６−図９に、好適な雌の
インターロックされたコネクター１３０が示されてい
る。図６は、雄のコネクター１３１と繋がれたとき、イ
ンターロックされたスイッチを作動するための他の一体
化したインターロック要素を有する雌のインターロック
されたコネクター１３０の断面図である。好ましい雌の
インターロックされたコネクター１３０は、ピン１２４
の曲げられたチップに代えて１以上の一体化したピンを
作動するために、シリンダー状のプランジャー１３２を
用いて、図４と図５に示された雌のインターロックされ
たコネクター１１０と同じ機能を達成する。雌のインタ
ーロックされたコネクター１３０は、雄のコネクター１
３１の端部１３９を受け入れるための受入れチャンバ１
３８を有していて、金属の、好ましくは真鍮からできて
いるコネクター体１３６を含む。コネクター体１３６
は、好ましくはポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）またはフッ化・エチレン／プロピレン・ポリマー
（ＦＥＰ）のようなフルオロカーボンポリマーから作ら
れた絶縁体ケーシング１４０を収容する。絶縁体ケーシ
ング１４０は、ＲＦ電力を伝送する、好ましくはベリリ
ウム／銅合金から作られる金属の接触コア１４２を保護
する。この接触コア１４２は、回路、例えばスロットの
あるピン、はんだのカップ、マイクロストリップ等を完
成するためのあらゆる形状を有することができる。コネ
クター体１３６は、雄のコネクター１３１じょうの回転
ナット１４５を固定するための外側のネジ１４４を有す
る。コネクター体１３６は、ＲＦ整合ユニットやシリコ
ンウェハ処理チャンバ用のハウジングのような固いプレ
ート上に雌のインターロックされたコネクター１３０を
取り付けるためのフランジ１４６に固定する。コネクタ
ー体１３６は、以下に図８に対して説明されるインター
ロックされたコネクターを組み立てるのを助ける２つの
セクションを有している。コネクター体１３６の第１の
セクション１４８は、フランジ１４６に固定され、一体
化したピン１３４を固定するシリンダー状のプランジャ
ー１３２を受けるための環状チャネル１５０を有してい
る。各々の一体化したピン１３４は、図６に示される引
っ込んだ位置に一体化したピン１３４を保持するスプリ
ングによって偏倚されている。コネクター体１３６の第
２のセクション１５４は、第１のセクション１４８の環
状チャネル１５０にシリンダー状のプランジャ１３２を
保持し、第２のセクション１５４に対して第１のセクシ
ョン１４８の端部１５６を押圧するか、または縁曲げす
ることによって固定される。
【００１４】図７は、雄のコネクター１３１に繋げられ
たとき、一体化した要素の運動を示す第６図の雌のイン
ターロックされたコネクター１３０の断面図である。雄
のコネクター１３１は、スプリング１５２を圧縮するシ
リンダー状のプランジャー１３２を押し、一体化したピ
ン１３４を図７に示された伸びた位置へ移動する。図８
は、図６の雌のインターロックされたコネクターの分解
図である。いろいろな要素が鋳造され、または機械加工
される。絶縁体ケーシング１４０と金属の接触コア１４
２は、コネクター体１３６の第１のセクション１４８に
挿入される。シリンダー状のプランジャーがコネクター
体１３６の第１のセクションの環状チャネル１５０に配
置される前に、一体化したピン１３４は、シリンダー状
のプランジャー１３２に挿入され、スプリング１５２に
よってかぶせられる。コネクター体１３６の第２のセク
ション１５４は、第１のセクション１４８の環状チャネ
ル１５０にシリンダー状のプランジャー１３２を保持
し、第２のセクションに対して第１のセクション１４８
の端部を押圧するか、縁曲げすることによって固定され
る。
【００１５】図９は、図６と図７に示された雄のＲＦコ
ネクターと同じ雄のＲＦコネクター１６０と組み合わせ
た、図６の雌のインターロックされたコネクター１３０
の概略図である。この雌のインターロックされたコネク
ター１３０は、ＲＦ電源のインピーダンスを処理チャン
バのインピーダンスに整合するために一般に用いられる
装置、例えばＲＦ整合ユニット１８のハウジング１６８
の外面上に取り付けられる。雌のインターロックされた
コネクターのバイパスは、追加のインターロック要素が
タンパーから保護される場合に、装置のハウジング１６
１へ伸びる一体化したピン１３４を有することによって
避けられる。好適なインターロック要素は図９に示さ
れ、以下に詳細に説明される。しかし、一体化したピン
１３４は電源を装置にインターロックするあらゆる手段
に用いられることができる。
【００１６】図９を参照すると、図１と図３においては
インターロックされたスイッチ３４として機能するマイ
クロスイッチ１６４がハウジング１６２内で支持プレー
ト１６６に固定される。この支持プレート１６６は、ス
ライドするアクチュエータ１７０を受けるためのスロッ
トを有する。このスライドするアクチュエータ１７０
は、支持プレート１６６にある溝に固定される平らなピ
ン１７４を受け入れるためのスロット１７２を有し、支
持プレート１６６のスロット１６８内でスライドするア
クチュエータ１７０の運動を制限する。マイクロスイッ
チ１６４は、スプリングがロードされたプランジャー１
７６を有し、ピン１３４が雌のコネクター１３０から伸
びて、アクチュエータ１７０をプランジャー１７６へス
ライドすると、マイクロスイッチ１６４を閉じる。ピン
１３４が雌のコネクター１３０の方へ引っ込んで、プラ
ンジャー１７６がアクチュエータ１７０をスライドする
ようにすると、スプリングがロードされたプランジャー
１７６は、マイクロスイッチ１６４を開く。マイクロス
イッチ１６４は、好ましくは、図３のインターロックさ
れたスイッチ３４のために示されたスイッチストリング
３２のようなインターロック・スイッチ・ストリング１
７８の一部である。１つのピン１３４のみが１つのマイ
クロスイッチをアクチュエータするために必要とされ、
必要に応じて、他のピンは雌のコネクター１３０から伸
びないように切り取られる。
【００１７】以上の説明は本発明の好適な実施の形態に
なされたが、本発明の他の実施の形態が本発明の範囲か
ら逸脱することなく考えることができる。本発明の範囲
は、請求項によって定められる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＲＦケーブルがＲＦ整合ユニットに正しく接続
されないとき、真空チャンバへのＲＦ電力をディスエー
ブルするインターロックされたスイッチを有する従来の
ウェハ処理台の概略図である。
【図２】図１に示されている従来のインターロックされ
たスイッチの概略図である。
【図３】図１に示された従来の真空チャンバへのＡ／Ｃ
電力をディスエーブルするインターロクされたスイッチ
を示す概略の回路図である。
【図４】雄のコネクターと繋がれたとき、インターロッ
クされたスイッチを作動するための一体化したインター
ロック要素を有する雌のインターロックされたコネクタ
ーの断面図である。
【図５】一体化したインターロックされた要素の詳細を
示すために、いろいろな内部要素を取り除いた、図４の
雌のインターロックされたコネクターの断面図である。
【図６】雄のコネクターと繋がれたとき、インターロッ
クされたスイッチを作動するための他の一体化したイン
ターロック要素を有する他の雌のインターロックされた
コネクターの断面図である。
【図７】雄のコネクターと繋がれたときの一体化した要
素の運動を示す、図６の雌のインターロックされたコネ
クターの断面図である。
【図８】図６の雌のインターロックされたコネクターの
ための分解図である。
【図９】インターロックされたスイッチに隣接する面上
に取付けらえた、図６の雌のインターロックされたコネ
クターの概略図である。

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】インターロックされたコネクターであっ
    て、 コネクター体とコネクターが繋がれたとき、マイクロス
    イッチを作動するために前記コネクター体から延びるよ
    うに配置された１以上の一体化したインターロック要
    素、を有することを特徴とするインターロックされたコ
    ネクター。
  2. 【請求項２】前記一体化したインターロック要素は、ス
    プリングによってバイアスされた一体化したピンを有す
    ることを特徴とする請求項１に記載のコネクター。
  3. 【請求項３】前記コネクターは、雌のＲＦコネクターで
    あることを特徴とする請求項２に記載のコネクター。
  4. 【請求項４】雌のインターロックされたコネクターであ
    って、 受入れチャンバを有するコネクター体と、 前記コネクター体内の引っ込んだ位置にバイアスされた
    一体化したピンと、 受入れチャンバに挿入された雄のコネクターによって係
    合されたとき、延びた位置へ前記一体化したピンを移動
    するアクチュエータ、を有することを特徴とする雌のイ
    ンターロックされたコネクター。
  5. 【請求項５】前記一体化したピンは、スプリングによっ
    てバイアスされることを特徴とする請求項４に記載のコ
    ネクター。
  6. 【請求項６】前記コネクターは、コネクター体内に配置
    された絶縁体ケーシングと前記絶縁体ケーシング内に配
    置された接触コアを有することを特徴とする請求項５に
    記載のコネクター。
  7. 【請求項７】前記アクチュエータは受入れチャンバに延
    びる一体化ピンの曲げられた端部であることを特徴とす
    る請求項６に記載のコネクター。
  8. 【請求項８】インターロックアッセンブリーであって、 受入れチャンバを有するコネクター体、前記コネクター
    体内の引っ込んだ位置にバイアスされた一体化したピ
    ン、および雄のコネクターの受入れチャンバへの挿入に
    応答して、一体化したピンを延びた位置へ移動するため
    に、前記一体化したピンと受入れチャンバ間に配置され
    た第１のアクチュエータ、および第２のアクチュエータ
    を有するインターロックされたスイッチを備え、前記第
    ２のアクチュエータが延びた位置において一体化したピ
    ンに係合したとき、マイクロスイッチを押すように位置
    されていることを特徴とするインターロックアッセンブ
    リー。
  9. 【請求項９】前記一体化したピンはスプリングによって
    バイアスされることを特徴とする請求項８に記載のアッ
    センブリー。
  10. 【請求項１０】前記第１のアクチュエータは、受入れチ
    ャンバに延びる一体化したピンの曲げられた端部である
    ことを特徴とする請求項９に記載のアッセンブリー。
  11. 【請求項１１】前記コネクターは、前記コネクター体内
    に位置した絶縁体ケーシングと前記絶縁体ケーシング内
    に位置した接触コアを有することを特徴とする請求項１
    ０に記載のアッセンブリー。
  12. 【請求項１２】前記雌のインターロックされたコネクタ
    ーはＲＦ装置上に取付けらえることを特徴とする請求項
    １１に記載のアッセンブリー。
  13. 【請求項１３】前記ＲＦ装置は、ＲＦ整合ユニットであ
    ることを特徴とする請求項１２に記載のアッセンブリ
    ー。
  14. 【請求項１４】インターロックアッセンブリーであっ
    て、 コネクター体、前記コネクター体内の引っ込んだ位置に
    バイアスされた一体化したピン、および前記コネクター
    が繋がれたとき、前記一体化したピンを延びた位置へ移
    動するために、配置された第１のアクチュエータ、およ
    び第２のアクチュエータを有するインターロックされた
    スイッチを備え、前記第２のアクチュエータが延ばされ
    た位置において一体化したピンに係合したとき、マイク
    ロスイッチを押すように位置されていることを特徴とす
    るインターロックアッセンブリー。
  15. 【請求項１５】前記一体化したピンはスプリングによっ
    てバイアスされることを特徴とする請求項１４に記載の
    アッセンプリー。
  16. 【請求項１６】前記第１のアクチュエータは、前記コネ
    クター体における受入れチャンバに延びる一体化したピ
    ンの曲げられた端部であることを特徴とする請求項１５
    に記載のアッセンブリー。
  17. 【請求項１７】前記コネクターは、前記コネクター体内
    に配置された絶縁体ケーシングと前記絶縁体ケーシング
    内に配置された接触コアを有することを特徴とする請求
    項１６に記載のアッセンブリー。
  18. 【請求項１８】前記雌のコネクターは、ＲＦ装置に取付
    けられることを特徴とする請求項１７に記載のアッセン
    ブリー。
  19. 【請求項１９】前記ＲＦ装置は、ＲＦ整合ユニットであ
    ることを特徴とする請求項１８に記載のアッセンブリ
    ー。
  20. 【請求項２０】前記インターロック・スイッチ・ストリ
    ングは、ＲＦ整合ユニットへのＡ／Ｃ電力を中断するこ
    とを特徴とする請求項１４に記載のアッセンブリー。
JP10024426A 1997-02-10 1998-02-05 インターロックされたコネクター Withdrawn JPH10223320A (ja)

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SG72787A1 (en) 2000-05-23

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