KR19980071216A - 인터록 접속기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 암형 접속기가 수형 접속기와 결합할 때, 인터록 스위치를 작동시키는 암형 접속기에서 스프링에 의해 편향되는 핀과 같은 일체적 인터록 요소들을 구비하는 인터록 접속기에 관한 것이다. 이러한 인터록 접속기는 접속기가 전류가 흐르는채로 접속되는 것을 방지하기 위해 전원의 작동을 중단시킨다.

Description

인터록 접속기

본 발명은 전원을 장치에 접속시키는 접속기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전원을 작동시키기 위해 장치와 전원 사이에서 접속되는 인터록 접속기에 관한 것이다.

고주파(radio frequency) 전원과 같은 전원을 고주파 매치 유닛(match unit)과 같은 장치에 연결하는데 있어서, 연결 케이블이 전원의 한단부에 여전히 연결되어 있는 전류가 흐르는 상태에서 다른 케이블 단부가 장치로부터 접속이 풀어지는 위험이 발생할 수 있다. 이러한 위험을 피하기 위해, 케이블이 장치에서 단선되지 않고, 전원에서 단선되는 형태를 가질 수도 있다. 그렇지만, 산업 분야에서, 케이블은 통상적으로 장비로서 제공되지 않는다. 오히려, 이러한 장비로는 산업 표준 케이블을 수용하는 표준 연결 잭이 포함된다.

연결 케이블 상에 전류가 여전히 흐르는 개방 단부를 갖도록 하는 공지된 해결방법으로서는 케이블 및 장치 사이에 인터록 스위치를 제공하는 것이 있다. 인터록 스위치는 연결 케이블이 장치에서 풀어질 때 전원의 작동을 중지시킨다. 인터록 스위치는 전형적으로 암형/수형 접속기 및 마이크로스위치를 포함하는 두 개의 벌크형 하우징을 포함하는데, 마이크로스위치는 암형/수형 접속기 주위의 하우징을 결합시킴으로써 작동된다. 암형/수형 접속기가 풀어지는 경우 전원을 끄는 회로를 제어하기 위해, 마이크로스위치는 제어 와이어에 의해 번갈아 연결된다. 불행하게도, 어떤 인터록 스위치는 하우징이 결합될 수 있고 전원이 암형/수형 접속기 없이 작동하기 때문에, 장비 관리자의 관리에 많이 의존한다. 인터록 요소들이 시간을 소모하며 사용되는 경우, 인터록 스위치는 바이패스되는 경향이 있다.

도 1(종래 기술)은 전형적으로 둘 이상의 고진공 챔버(14,16)를 구비한 반도체 공정 플랫포옴(12)에 전력을 공급하는 A/C 전원(10)을 제어하는 인터록 스위치 조립체를 도시하고 있다. 각 챔버(14,16)는 전형적으로 A/C 전력을 공급하는 고주 소오스(22,24)로부터 고주파 매치 유닛(18,20)을 통해 고주파 전력을 수용한다. 고주파 소오스(22,24)는 각 단부에 수형 접속기를 갖는 유연한 고주파 케이블(26,28)에 의해 고주파 매치 유닛(18,20)에 연결된다. 고주파 매치 유닛(18,20)에 각각의 고주파 케이블(26,28)을 연결하는데 있어서는 수형 접속기에 전류가 흐르는 상태로 연결될 위험을 가지고 있다. 만일 인터록 스위치(34,36)가 고주파 매치 유닛(18)에서 완전한 수형/암형 고주파 접속을 달성하는 경우, 각 챔버(14,16)는 전형적으로 인터록 스위치 스트링(string, 32,33)에 의해 제어되는 독립적으로 작동하는 인터록 회로(30,21)을 구비한다.

도 2(종래 기술)는 고주파 매치 유닛에 고주파 전력을 공급하기 위해 고주파 케이블(26)에 고주파 수형 접속기(42)를 그리고 고주파 매치 유닛(18)에 고주파 암형 접속기(44)를 연결한 후에 폐쇄되는 위치에서의 인터록 스위치(34)를 도시하고 있다. 인터록 스위치(34)는 고주파 연결부 주위에서 제 1하우징(46)과 제 2하우징(48)을 결합함으로써 폐쇄된다.

도 3(종래 기술)은 도 1의 인터록 스위치 조립체에 대한 회로의 개략적인 다이아그램이다. 독립적으로 구동되는 인터록 회로(30)는 배터리(50), A/C 전원(10)으로부터 챔버(14)로의 전력의 공급을 방해하는 접촉자(52), 및 인터록 스위치 스트링(32)에서 전류에 의해 폐쇄되는 릴레이(54)를 포함한다. 릴레이(54)를 포함하는 인터록 스위치 스트링(32)은 개별 전원(56), 고주파 매치 유닛(18)을 연결하는 인터록 스위치(34), 및 A/C 전원의 다른 요소를 챔버(14)에 연결하는 하나 이상의 추가 채널(58,59)을 더 포함한다.

따라서, 인터록 스위치가 연결 케이블이 교체되는 경우 인터록 스위치를 연결하거나 연결을 풀기 위해 작동자에 의해 개별적인 작용을 요구하지 않는 인터록 스위치를 장치를 전원에 연결하는 연결 케이블을 사용하는데 요구하게 되었다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 인터록 스위치가 연결 케이블이 교체되는 경우 인터록 스위치를 연결하거나 연결을 풀기 위해 작동자에 의해 개별적인 작용을 요구하지 않는 인터록 스위치를 사용하는 인터록 접속기를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

도 1(종래 기술)은 고주파 케이블이 고주파 매치 유닛에 적절하게 연결되지 않을 때 고주파 전력을 진공 챔버로 제어하는 인터록 스위치를 갖는 웨이퍼 처리 플랫포옴의 개략도.

도 2(종래 기술)는 도 1에 도시된 인터록 스위치의 개략도.

도 3(종래 기술)은 A/C 전력이 도 1에 도시된 진공 챔버로 흐르는 것을 제어하는 인터록 스위치를 도시한 개략적인 회로 다이어그램.

도 4는 수형 접속기와 결합할 때 인터록 스위치를 작동시키는 일체적 인터록 요소를 구비한 암형 인터록 접속기의 단면도.

도 5는 일체적 인터록 요소를 상세하게 도시하기 위해 제거된 여러 내부 요소를 구비한 도 4의 암형 인터록 접속기의 단면도.

도 6은 수형 접속기와 결합할 때 인터록 스위치를 작동시키는 선택적인 일체적 일터록 요소를 구비한 선택적인 암형 인터록 접속기의 단면도.

도 7은 수형 접속기와 결합할 때 일체적 요소의 구동을 도시한 도 6의 암형 인터록 접속기의 단면도.

도 8은 도 6의 암형 인터록 접속기의 분해도.

도 9는 인터록 스위치에 인접한 표면 상에 장착된 도 6의 암형 인터록 접속기의 개략도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

110,130 : 암형 인터록 접속기 112,136 : 접속기 몸체부

114,138 : 수용 챔버 116,140 : 케이싱

118,142 : 접촉 코어 123,172 : 슬롯

126,152 : 스프링 131 : 수형 인터록 접속기

132 : 플런저 145 : 회전 너트

146 : 플랜지 148 : 접속기 몸체부의 제 1단편

150 : 환형 채널 154 : 접속기 몸체부의 제 2단편

164 : 마이크로스위치 166 : 지지플레이트

170 : 작동기

본 발명은 전원을 장치에 연결하는 인터록 접속기를 제공하는 것이다. 인터록 접속기는 전원을 작동시키는 마이크로스위치를 작동시키기 위한 일체적 인터록 요소를 구비한다. 암형 인터록 접속기는 접속기 몸체 내의 삽입 위치에서 편향되는 하나 이상의 일체적 핀과, 이러한 일체적 핀과 수용 챔버 사이에 위치하여 수형 접속기가 수용 챔버내로 삽입되는 것에 대응하여 일체적 핀을 연장 위치로 이동시키는 일체적 작동기를 포함한다. 일체적 핀은 바람직하게 장치내에 장착된 마이크로스위치를 작동시켜, 인터록 접속기의 바이패싱을 방지한다.

본 발명은 인터록 스위치를 작동시키는 일체적 인터록 요소를 포함하는 인터록 접속기를 제공한다. 인터록 접속기가 수형 또는 암형 접속기일 수도 있는 반면, 일체적 인터록 요소는 암형 접속기 내에 위치함으로써 돌발적인 접촉을 방지하는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명은 바람직하게는 수용 챔버를 구비한 접속기 몸체와, 이러한 접속기 몸체 내의 후회 위치에서 편향되는 하나 이상의 일체적 핀과, 일체적 핀과 수용 챔버 사이에 위치하여 수형 접속기가 수용 챔버내로 삽입되는 것에 대응하여 일체적 핀을 연장 위치로 이동시키는 일체적 작동기를 포함한다.

인터록 접속기는 바람직하게는 외부 전원에 의해 동력이 공급된 장치의 베이스 플레이트 상에 장착된다. 인터록 접속기에 추가하여, 장치는 내부 마이크로스위치와 스위치 작동기가 연장 위치에서 일체적 핀과 접촉할 때 마이크로스위치의 작용을 저하시키기 위해 설치된 스위치 작동기를 포함한다. 일체적 핀은 암형 접속기의 수용 챔버 내로 연결 케이블 상의 수형 접속기를 삽입함으로써 연장된다. 인터록 접속기의 단절은 전원을 단절시켜 연결 케이블에서 여전히 전류가 흐르는 것을 방지한다.

인터록 접속기는 AC 소오스, DC 소오스, 고주파 소오스를 포함하는 전원을 장치에 안전하게 연결하는데, 이때 전력은 연결 케이블을 통해 전달된다. 인터록 접속기를 사용하는 장치의 예로는 진공 펌프, 처리 챔버, 및 고주파 매치 유닛과 같은 실리콘 웨이퍼 처리 플랫포옴 내의 동적 요소를 포함한다. 처리 플랫포옴의 각각의 동적 요소는 바람직하게는 요소에 대한 전원을 작동시키는 인터록 스위치를 구비한다. 가장 바람직하게는, 각각의 인터록 스위치는 공통의 AC 전원을 작동시킴으로써 진공 챔버에 모든 전력을 인가한다. 따라서, 처리 플랫포옴 상에서 하나의 전력 연결 케이블의 풀어짐은 하나의 진공 챔버로의 모든 AC 전력의 공급을 금지한다.

실리콘 웨이퍼 처리 플랫포옴과 같은 일체적 장치 상의 각각의 인터록 접속기는 전원과 장치의 연결에서의 위험을 방지하기 위해 독특한 크기 또는 형상을 가질 수도 있다. 예컨대, 처리 플랫포옴은 둘 이상의 고주파 매치 유닛 및 둘 이상의 전공 챔버를 작동시키기 위한 둘 이상의 고주파 전원을 구비할 수도 있다. 고주파 매치 유닛과 고주파 전원의 연결은 전형적으로 처리 플랫포옴을 폐쇄하는 제어 공정에서 문제점을 일으킨다. 고주파 전원의 연결은 인접하는 고주파 전력 케이블 상에 다른 인터록 접속기를 사용함으로써 피하게 되어, 연결 케이블이 각 고주파 전원을 적절한 고주파 매치 유닛에 연결할 때까지 양 챔버는 작동하지 않게 된다.

본 발명의 인터록 접속기는 고주파 매치 유닛과 같은 장치를 처리 챔버와 같은 다른 장치에 연결하기 위해 사용될 수도 있는데, 추가 장치를 고주파 전원과 같은 일련의 또는 평행한 전원에 연결하는 모든 연결 케이블에 대해 전류가 흐르고 있는 상태에서 연결 케이블이 풀어지는 현상이 발생하기 때문이다.

본 발명은 도면들에 도시된 특정한 고주파 접속기를 참조하여 상세하게 설명한다. 고주파 접속기는 절연체 케이싱으로 둘러 싸인 접촉 코어를 통해 고주파 전력을 이송시킨다. 그렇지만, 특정한 접속기의 인터록 요소들은 다른 고주파 접속기 또는 다른 전원에 대한 접속기로 빠르게 전달된다.

도 4는 수형 접속기와 결합하여 인터록 스위치를 작동시키는 일체적 인터록 요소를 구비한 암형 인터록 접속기(110)의 단면도이다. 이러한 암형 인터록 접속기(110)는 수형 접속기를 수용하는 수용 챔버(114)를 구비한 금속성 접속기 몸체부(112)를 포함한다. 접속기 몸체부(112)는 절연 중합체 케이싱(116)과 고주파 전력을 이송하는 금속성 접촉 코어(118)를 수용하고 있다. 접촉 코어(118)는 회로를 완성하기 위한 형상, 즉 슬롯된 핀, 솔더 컵, 마이크로스트립 등과 같은 형상을 가질 수도 있다. 접속기 몸체부(112)는 수형 접속기를 수용 챔버(114)내에 고정시키기 위한 외부 나사(120)를 구비하고 있다. 접속기 몸체부(112)는 고주파 매치 유닛 또는 실리콘 웨이퍼 처리 챔버용 하우징과 같은 장치의 견고한 플레이트 상에 암형 인터록 접속기(110)를 장착하기 위한 플랜지(122)에 고정된다.

인터록 접속기(110)의 접속기 몸체부(112)는 스프링(126)에 의해 삽입 위치로 편향되는 일체적 핀(124)을 수용하는 슬롯(123)이 형성되어 있다. 삽입 위치는 도시된 바와 같이 접속기 몸체부(112)의 외측으로 노출된 일체적 핀(124)의 일부를 남겨두거나, 또는 일체적 핀(124)가 이하에 기술될 선택적인 실시예에서 알 수 있는 바와 같이, 접속기 몸체부(112) 내로 완전히 삽입될 수 있도록 한다. 일체적 핀(124) 상의 굽혀진 팁부(128)는 수용 챔버(114) 내로 연장한다. 수용 챔버(114) 내로의 수형 접속기의 삽입은 일체적 핀(124)의 굽혀진 팁부(128)를 밀어서 스프링력(126)를 발생시키고, 장치 내로 일체적 핀(124)을 연장시킨다. 일체적 핀은 연장되는 경우, 고주파 전력을 고주파 매치 유닛과 같은 고주파 장치에 공급하는 고주파 전원에서 AC 전력을 제어하는 마이크로스위치를 결합시킬 수 있다. 바람직하게는, 마이크로스위치는 이하에 기술된 선택적인 실시예에서 기술된 바와 같이, 장치 내에서 용이하게 바이패스되지 않는 곳에 장착된다.

도 5는 일체적 인터록 요소를 보다 상세하게 나타내기 위해 제거된 여러 내부 요소를 구비한 도 4의 암형 인터록 접속기의 단면도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 절연 중합체 케이싱(116)과 접촉 코어(118)가 접속기 몸체부(112)로부터 제거되는 경우, 일체적 핀(124)과 스프링(126)은 접속기 몸체부(112)내의 슬롯에 용이하게 삽입된다. 절연체 케이싱(116)은 슬롯(123) 내에서의 스프링(126)의 유지를 보조하고, 스프링은 슬롯(123)내에서 일체적 핀(124)을 유지한다. 슬롯(123)은 바람직하게는 종래의 전형적인 접속기 내에서 단절된다.

바람직한 암형 인터록 접속기(130)가 도 6 내지 도 9에 도시되어 있다. 도 6은 수형 접속기(131)가 결합하여 인터록 스위치를 작동하는 선택적인 인터록 요소를 구비한 암형 인터록 접속기(130)의 단면도이다. 바람직한 암형 인터록 접속기(130)는 핀(124) 상에서 굽혀진 팁부(128)를 대신하여 하나 이상의 일체적 핀(134)을 작동시키기 위해 원통형 플런저(132)를 사용한 도 4 및 도 5에 도시된 암형 인터록 접속기(110)와 동일한 기능을 행한다. 암형 인터록 접속기(130)는 수형 접속기(131)의 단부(139)를 수용하는 수용 챔버(138)를 구비한 바람직하게는 황동으로 구성된 금속성 접속기 몸체부(136)를 포함한다. 접속기 몸체부(136)는 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 또는 불소화된 에틸렌/프로필렌 중합체(FEP)와 같은 탄화불소로 구성된 절연체 케이싱(140)을 수용한다. 이러한 절연체 케이싱(140)은 고주파 전력을 이송하는 바람직하게는 베릴륨/구리 합금으로 구성된 금속성 접촉 코어(142)을 둘러싸고 있다. 접촉 코어(142)는 회로를 완성하기 위한 형상, 즉 슬롯된 핀, 솔더 컵, 마이크로스트립 등과 같은 형상을 가질 수도 있다. 접속기 몸체부(136)는 수형 접속기(131) 상의 회전 너트(145)를 고정시키기 위한 외부 나사(144)를 구비하고 있다. 접속기 몸체부(136)는 고주파 매치 유닛 또는 실리콘 웨이퍼 처리 챔버용 하우징과 같은 장치의 견고한 플레이트 상에 암형 인터록 접속기(130)를 장착하기 위한 플랜지(146)에 고정된다. 접속기 몸체부(136)는 이하에 도 8을 참조하여 기술된 바와 같이 인터록 접속기의 조립을 보조하는 두 단편을 구비하고 있다. 접속기 몸체부(136)의 제 1단편(148)은 플랜지(146)에 고정되고, 일체적 핀(134)을 고정시키는 원통형 플런저(132)를 수용하는 환형 채널(150)를 구비한다. 각각의 일체적 핀(134)은 도 6에 도시된 바와 같이 삽입 위치에서 일체적 핀(134)을 유지하는 스프링(152)에 의해 편향된다. 접속기 몸체부(136)의 제 2단편(154)은 제 1단편(148)의 환형 채널(150)에 원통형 플런저(132)를 유지하며, 제 2단편(154)에 대항하여 제 1단편(148)의 에지(156)를 가압 또는 크림핑함으로써 고정된다.

도 7은 수형 접속기(131)와 결합할 때 일체적 요소의 구동을 나타내는 도 6의 암형 인터록 접속기(130)의 단면도이다. 수형 접속기(131)는 스프링(152)를 가압하는 원통형 플런저(132)를 내리눌러, 도 7에 도시된 바와 같이 연장된 위치로 일체적 핀(134)을 이동시킨다.

도 8은 도 6의 암형 인터록 접속기에 사용되는 부품들의 분해도이다. 다양한 요소들이 주조되거나 기계가공될 수 있다. 절연체 케이싱(140)과 금속성 접촉 코어(142)는 접속기 몸체부(136)의 제 1단편(148)에 삽입된다. 일체적 핀(134)은 원통형 플런저(132)에 삽입되어, 원통형 플런저가 접속기 몸체부(136)의 제 1단편(148)의 환형 채널(150)에 위치하기 전에 스프링에 의해 둘러 싸여진다. 접속기 몸체부(136)의 제 2단편(154)가 제 1단편(148)의 환형 채널(150)내에 원통형 플런저(132)를 유지한다.

도 9는 도 6 및 도7에 도시된 수형 고주파 접속기와 유사한 수형 고주파 접속기(160)와 결합하는 도 6의 암형 인터록 접속기(130)의 개략도이다. 암형 인터록 접속기(130)는 고주파 전원의 임피던스를 처리 챔버의 임피던스와 일치시키기 위해 전형적으로 사용되는 고주파 매치 유닛(18)과 같은 장치의 하우징(162)의 외부면 상에 장착된다. 암형 인터록 접속기의 바이패싱은 장치의 하우징(161)내로 연장하는 일체적 핀(134)을 추가 인터록 요소가 탬퍼링(tempering)하는 것을 방지하는 곳에 구비함으로써 방지된다. 바람직한 인터록 요소들은 도 9에 도시되어 있으며, 이하에 상세하게 기술한다. 그렇지만, 일체적 핀(134)은 전원을 장치에 인터록시키기 위한 어떠한 방식으로 사용될 수 있음을 인정해야 한다.

도 9를 참조하면, 도 1 및 도 3에서 인터록 스위치(34)로써 역할할 수 있는 마이크로스위치(164)가 하우징(162) 내의 지지플레이트(166)에 고정되어 있다. 이러한 지지플레이트(166)는 미끄럼가능한 작동기(170)를 수용하는 슬롯(168)을 구비한다. 이러한 미끄럼가능한 작동기(170)는 지지플레이트(166)의 그루브에 고정되는 편평한 핀(174)을 수용하는 슬롯(172)를 구비하여, 지지플레이트(166)의 슬롯(168) 내로 미끄럼가능한 작동기(170)가 이동하는 것을 제한한다. 마이크로스위치(164)는 핀(134)이 암형 접속기(130)로부터 연장하여 플런저(176)로 작동기(170)가 미끄러질 때 마이크로스위치(164)를 폐쇄하는 스프링 로더(loader) 플런저(176)를 구비한다. 이러한 스프링 로더 플런저(176)는 핀(134)이 플런저(176)가 작동기(170)를 미끄러지게 하도록 암형 접속기(130)를 향해 들어갈 때, 마이크로스위치(164)를 개방시킨다. 마이크로스위치(164)는 도 3에서 인터록 스위치(34)용으로 도시된 스위치 스트링(32)과 같은 바람직하게는 인터록 스위치 스트링(178)의 일부분이다. 하나의 마이크로스위치와 추가 핀들을 작동시키기 위해 단지 하나의 핀(134)만이 필요하다면, 암형 접속기(130)로부터 연장되지 않도록 절단될 수 있다.

지금까지 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명하였지만, 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예들이 개조될 수도 있다. 본 발명의 범위는 이하의 청구범위에 의해 결정된다.

상기한 본 발명에 따르면, 암형 인터록 접속기와 인터록 스위치가 구비된 인터록 접속기를 제공함으로써, 연결 케이블이 장치로부터 풀어지더라도 인터록 스위치가 전원을 제어함으로써 전류가 흐르는 상태에서 접속이 풀어지는 위험을 방지할 수 있다.

Claims (20)

1. 접속기 몸체부와,

   접속기가 결합할 때 마이크로스위치를 작동시키도록 상기 접속기 몸체부로부터 연장하여 위치한 하나 이상의 일체적 인터록 요소들을 포함하는 것을 특징으로 하는 접속기.
2. 제 1항에 있어서, 상기 일체적 인터록 요소들은 스프링에 의해 편향되는 일체적 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 접속기.
3. 제 2항에 있어서, 상기 접속기는 암형 고주파 접속기인 것을 특징으로 하는 접속기.
4. 수용 챔버를 구비한 접속기 몸체부와,

   상기 접속기 몸체부 내의 삽입 위치에서 편향되는 일체적 핀과,

   수형 접속기가 상기 수용 챔버 내로 삽입되어 결합할 때, 상기 일체적 핀을 연장된 위치로 이동시키는 작동기를 포함하는 것을 특징으로 하는 암형 인터록 접속기.
5. 제 4항에 있어서, 상기 일체적 핀은 스프링에 의해 편향되는 것을 특징으로 하는 접속기.
6. 제 5항에 있어서, 상기 접속기는 상기 접속기 몸체부 내에 위치한 절연체 케이싱과 상기 절연체 케이싱 내에 위치한 접촉 코어를 포함하는 고주파 접속기인 것을 특징으로 하는 접속기.
7. 제 6항에 있어서, 상기 작동기는 상기 수용 챔버 내로 연장하는 상기 일체적 핀의 굽혀진 단부인 것을 특징으로 하는 접속기.
8. 수용 챔버를 구비한 접속기 몸체부와, 상기 접속기 몸체부 내의 삽입 위치에서 편향되는 일체적 핀과, 상기 일체적 핀과 상기 수용 챔버 사이에 위치하여 수형 접속기의 상기 수용 챔버로의 삽입에 대응하여 상기 일체적 핀을 연장 위치로 이동시키는 제 1작동기를 포함하는 암형 인터록 접속기와,

   상기 연장 위치에서 일체적 핀과 결합할 때 마이크로스위치를 누르기 위해 설치된 제 2작동기를 포함하는 인터록 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
9. 제 8항에 있어서, 상기 일체적 핀은 스프링에 의해 편향되는 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
10. 제 9항에 있어서, 상기 제 1작동기는 상기 수용 챔버 내로 연장하는 일체적 핀의 굽혀진 단부인 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
11. 제 10항에 있어서, 상기 접속기는 상기 접속기 몸체부에 위치한 절연체 케이싱과 상기 절연체 케이싱 내에 위치한 접촉 코어를 포함하는 고주파 접속기인 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
12. 제 11항에 있어서, 상기 암형 인터록 접속기는 고주파 장치에 장착되는 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
13. 제 12항에 있어서, 상기 고주파 장치는 고주파 매치 유닛인 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
14. 접속기 몸체부와, 상기 접속기 몸체부 내의 삽입 위치에서 편향되는 일체적 핀과, 접속기가 결합할 때 상기 일체적 핀을 연장 위치로 이동시키는 제 1작동기를 포함하는 접속기와,

    상기 연장 위치에서 일체적 핀과 결합할 때 마이크로스위치를 누르기 위해 설치된 제 2작동기를 포함하는 인터록 스위치를 포함하며,

    상기 마이크로스위치는 전원의 작동을 중단시키는 인터록 스위치 스트링의 일부인 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
15. 제 14항에 있어서, 상기 일체적 핀은 스프링에 의해 편향되는 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
16. 제 15항에 있어서, 상기 제 1작동기는 상기 접속기 몸체부의 상기 수용 챔버 내로 연장하는 상기 일체적 핀의 굽혀진 단부인 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
17. 제 16항에 있어서, 상기 접속기는 상기 접속기 몸체부 내에 위치한 절연체 케이싱과 상기 절연체 케이싱 내에 위치한 접촉 코어를 포함하는 고주파 접속기인 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
18. 제 17항에 있어서, 상기 암형 접속기는 고주파 장치에 장착되는 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
19. 제 18항에 있어서, 상기 고주파 장치는 고주파 매치 유닛인 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.
20. 제 20항에 있어서, 상기 인터록 스위치 스트링은 상기 고주파 매치 유닛으로의 A/C 전력의 공급을 중단시키는 것을 특징으로 하는 인터록 조립체.