JPH10221509A - Image-forming optical system and photographic measuring method - Google Patents

Image-forming optical system and photographic measuring method

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JPH10221509A
JPH10221509A JP9032597A JP3259797A JPH10221509A JP H10221509 A JPH10221509 A JP H10221509A JP 9032597 A JP9032597 A JP 9032597A JP 3259797 A JP3259797 A JP 3259797A JP H10221509 A JPH10221509 A JP H10221509A
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JP
Japan
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image
optical system
filter
ccd
measurement
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JP9032597A
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Japanese (ja)
Inventor
Hisao Osawa
日佐雄 大澤
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an image-forming optical system and a photographic measuring method with which a position of the gravitational center of an object image can be precisely measured when photographic measurement can be carried out by using an electronic camera or the like. SOLUTION: An image-forming optical system 1 is composed of image pick-up lenses 5a to 5c, a diaphragm 7, an ND filter 9, pick-up lenses 5d to 5f, a relay lens system 11 and a CCD (image pick up element) 13 which are arranged in the mentioned order in a direction from the object side to the CCD side. The diaphragm 7 is provided between the group of the lenses 5a to 5c and the group of the lenses 5d to 5f. The ND filter 9 having transmissivity with a radial Gaussian distribution is located at the position of the diaphragm 7. The provision of such a ND filter 9 can prevent generation of diffraction rings which are likely to occur in a normal lens system, and accordingly, it is possible to prevent occurrence of measuring deviation of a spot position caused by the diffraction rings.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、CCD撮像素子を
有する電子カメラ用等の結像光学系に関する。また、そ
のようなカメラを用いて写真計測(測量含む)を行う方
法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image forming optical system for an electronic camera having a CCD image pickup device. The present invention also relates to a method for performing photo measurement (including surveying) using such a camera.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、工業計測分野、測量分野におい
て、写真計測が盛んに行われるようになってきている。
写真計測は、ビルや橋梁といった大型の構造物の形状計
測の場合のように、測定者が必要な測定点に接近するこ
とが困難な状況でも計測が可能である。さらに、通常の
測量機と異なり、時間的に変化する形状を短時間で構造
物全体にわたって計測できるなど、様々な長所がある。
測量分野においても、写真測量は、多数の測定点を同時
に計測できることから、平板測量に変わる簡便な方式と
して利用が広がりつつある。
2. Description of the Related Art In recent years, photographic measurement has been actively performed in the fields of industrial measurement and surveying.
Photographic measurement can be performed even in a situation where it is difficult for a measurer to approach a required measurement point, such as in the case of shape measurement of a large structure such as a building or a bridge. Furthermore, unlike a normal surveying instrument, there are various advantages such as the ability to measure a time-varying shape over the entire structure in a short time.
Also in the field of surveying, photogrammetry is being used as a simple method instead of flat plate surveying, because it can measure many measurement points simultaneously.

【0003】従来のアナログ式の写真計測では、写真乾
板等を利用した銀塩カメラでステレオ写真を撮影し、こ
れをたとえば図化機と呼ばれる装置で、図化作業者が平
面図や等高線図等にしていくという作業を行っていた。
しかし、最近では計算機を利用した解析図化機と呼ばれ
るものが登場し、ほぼ自動的に図化作業が行えるように
なった。
In the conventional analog-type photo measurement, a stereo photograph is taken by a silver halide camera using a photographic dry plate or the like, and the photograph is taken, for example, by a device called a plotter. I was working on it.
However, recently, an analysis plotter using a computer has appeared, and the plotting work can be performed almost automatically.

【0004】また、写真計測においては、写真撮影時に
は電子カメラが利用されることが多くなってきた。とい
うのは、電子カメラで写真を撮影した場合、画像をスキ
ャナーなどを通すことなく直接計算機に取り込み、解析
図化装置にかけることができるからである。また、写真
乾板や写真フィルムと異なり画像が電子化(ディジタル
情報化)されていることから、長期の保存時にもデータ
の劣化がないという長所もあるためである。
In photograph measurement, an electronic camera is often used at the time of photographing. This is because when a photograph is taken with an electronic camera, the image can be directly taken into a computer without passing through a scanner or the like, and can be applied to an analytical plotting device. Another advantage is that, unlike a photographic plate or a photographic film, the image is digitized (digitalized), so that data is not degraded even during long-term storage.

【0005】電子カメラは、撮像レンズで形成した対象
物の実像を、通常はCCDを用いた光検出器アレイで検
出する。ここで得られたデータは、CCD上の位置関係
を考慮した上で画像処理等が行われたり、撮像を行った
検出器の配列と同じ順序で表示装置上で表示したりす
る。写真計測においては、CCD上の位置関係を考慮し
た上で計算機上で画像中の任意の2点間の距離を測定
し、これを対象物上での長さに変換するなどして、大き
さの測定を行う。
[0005] An electronic camera detects a real image of an object formed by an imaging lens, usually by a photodetector array using a CCD. The data obtained here is subjected to image processing or the like in consideration of the positional relationship on the CCD, or is displayed on a display device in the same order as the array of detectors that have taken an image. In photo measurement, the distance between any two points in an image is measured on a computer in consideration of the positional relationship on the CCD, and the distance is converted to the length on the object, and the size is measured. Measurement.

【0006】実際の写真計測において通常以下のような
作業を行う。対象物の計測したい測定点に複数のターゲ
ットと呼ばれる反射器を貼りつけ、このターゲットから
の光の反射を写真で撮影する。あるいは測定対象に向け
てレーザー等で測定対象上の測定点を点状に照明しそれ
を撮影する。このようにして測定対象における測定点を
画像として記録する。
In actual photograph measurement, the following work is usually performed. A plurality of reflectors called targets are attached to measurement points of the object to be measured, and the reflection of light from the targets is photographed. Alternatively, a measurement point on the measurement target is illuminated in a point shape with a laser or the like toward the measurement target and photographed. In this way, the measurement points on the measurement target are recorded as images.

【0007】次に、この画像上でのターゲット間の距離
や、測定を行っている位置すなわちカメラ位置からター
ゲットまでの距離を計算し、これをもとに測定対象の形
状を測定したり、測定対象までの距離を測ったりする。
従って、対象物の写真を撮影するときには十分解像度の
高い写真を撮影することが必要となるが、このために
は、CCDの細かさ(素子の密度)が最も重要になると
いえる。
Next, the distance between the targets on the image and the distance from the position where the measurement is performed, that is, the camera position to the target, are calculated, and the shape of the measurement object is measured or measured based on the calculated distance. Measure the distance to the target.
Therefore, when taking a photograph of the object, it is necessary to take a photograph with sufficiently high resolution. For this purpose, it can be said that the fineness of the CCD (element density) is the most important.

【0008】つまり、銀塩写真が基本的にアナログ記録
であり、画像の強調を行えばかなり細かな測定を行うこ
ともできるのに対し、電子写真ではデジタル記録である
ため画像は離散化したデータとしてしか得ることはでき
ない。その結果、たとえば3,000×2,000ピク
セルのCCDを用いた電子カメラで撮影したデータに
は、基本的には3,000×2,000のデータしかな
いわけである。これでは計測精度は撮影スパンに対し
2,000分の1程度しかとれないということになる。
[0008] In other words, silver halide photography is basically an analog record, and it is possible to make very detailed measurements if the image is emphasized. You can only get as. As a result, for example, data captured by an electronic camera using a CCD of 3,000 × 2,000 pixels basically has only 3,000 × 2,000 data. This means that the measurement accuracy is only about 1/2000 of the imaging span.

【0009】そこで、より高い精度を達成するために、
ターゲットが実際に写っているCCD上の点を複数の点
から撮影した写真を統計的に処理してCCDのピクセル
以下の精度でターゲットの位置を求めたり、周囲に広が
ったターゲットの像の重心位置を求めることにより、C
CDのピクセル以下の精度で測定を行ったりすることが
行われている。
Therefore, in order to achieve higher accuracy,
Statistical processing of photographs of points on the CCD where the target is actually photographed from multiple points is used to statistically process the target to determine the position of the target with an accuracy of less than the pixels of the CCD, or the center of gravity of the image of the target spread around. By finding C
For example, measurement is performed with an accuracy equal to or less than the CD pixel.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上述
べた方法には以下のような問題点がある。良く知られて
いるように、写真レンズに限らずレンズには回折現象と
いうものが存在する。撮像レンズは有限の大きさしかな
いため、レンズの縁を境に急激な透過光強度の変化があ
るためである。その結果、撮影された像には必ず回折縞
と呼ばれるものが発生する。回折縞は、中心スポットの
周囲にできる弱いリング状の明るい領域である。
However, the above-described method has the following problems. As is well known, not only photographic lenses but also lenses have a diffraction phenomenon. This is because the imaging lens has only a finite size, and there is a sharp change in transmitted light intensity at the edge of the lens. As a result, a so-called diffraction fringe always occurs in a captured image. Diffraction fringes are weak ring-shaped bright areas formed around the center spot.

【0011】近似的に、中心スポットとその周辺の光量
は、レンズの有効半径をα、焦点距離をf、光の波長を
λとすると、ベッセル関数を用いて、
Approximately, assuming that the effective radius of the lens is α, the focal length is f, and the wavelength of light is λ, the Bessel function is

【0012】[0012]

【数1】 (Equation 1)

【0013】このような光学系で撮影した場合測定対象
上の点は、図4(A)のような強度分布を持った像にな
る。図4において横軸は配列されているCCDの番号で
あり、縦軸は光の強度を表す。これは、解像度が約15
μm すなわち6μm 幅のCCDセル2.5個分の場合の
点の像を図示したものであり、通常の35mmカメラ用レ
ンズとCCDに結像させるためのリレーレンズを利用し
た場合の解像度にほぼ匹敵する。なおCCDの中心に対
する像の中心位置のずれは左方向にCCD幅の1/4と
している。この光強度をCCDで検出した場合、CCD
のセルごとに光が検出されるわけであり、図4(B)の
ような強度分布になる。
When photographing with such an optical system, a point on the object to be measured becomes an image having an intensity distribution as shown in FIG. In FIG. 4, the horizontal axis represents the number of the arranged CCDs, and the vertical axis represents the light intensity. This means that the resolution is about 15
μm, that is, a point image in the case of 2.5 CCD cells having a width of 6 μm, which is almost comparable to the resolution when a normal 35 mm camera lens and a relay lens for forming an image on the CCD are used. I do. Note that the shift of the center position of the image from the center of the CCD is set to 1/4 of the CCD width in the left direction. When this light intensity is detected by the CCD, the CCD
That is, light is detected for each cell, and the intensity distribution is as shown in FIG.

【0014】写真計測においては測定対象の点を写真上
で求める必要があるが、それには撮影された像の光強度
分布からその頂点を正確に求める必要がある。この際、
図4(A)のような細かい強度分布が得られていれば、
頂点の位置を正確に求めることも容易であるが、実際に
CCDのような撮像素子で得られる強度分布は図4
(B)のようなものであり、頂点の位置をCCDのピク
セルサイズ以下で求めるということは困難が伴うもので
ある。特に図4(A)、図4(B)共にみられる強度分
布の裾の部分にある盛り上がり、すなわち回折リングが
強度分布の中心位置を実際の位置からずらせてしまうこ
とがある。
In photographic measurement, it is necessary to find a point to be measured on a photograph. To do so, it is necessary to accurately find the vertex from the light intensity distribution of a captured image. On this occasion,
If a fine intensity distribution as shown in FIG.
Although it is easy to accurately determine the position of the vertex, the intensity distribution actually obtained by an imaging device such as a CCD is shown in FIG.
(B), it is difficult to find the position of the vertex below the pixel size of the CCD. In particular, a bulge at the foot of the intensity distribution, which is seen in both FIGS. 4A and 4B, that is, the diffraction ring may shift the center position of the intensity distribution from the actual position.

【0015】たとえば、図4(A)、図4(B)の例で
は、スポット全体の信号強度を光強度の単位としたCC
Dで得られる各セルの信号強度は左から、0.002
6、0.0169、0.0058、0.0675、0.
3026、0.3902、0.1749、0.013
5、0.0146、0.0098、0.0017であ
り、これから求めた光強度の重心位置は、r=0.26
8となってしまい、真の中心位置r=0.25と比べ、
CCDのセル幅に対し約1.8%の誤差を生じてしまっ
ている。
For example, in the examples of FIGS. 4A and 4B, the signal intensity of the entire spot is a unit of light intensity,
The signal strength of each cell obtained in D is 0.002 from the left.
6, 0.0169, 0.0058, 0.0675, 0.
3026, 0.3902, 0.1749, 0.013
5, 0.0146, 0.0098, 0.0017, and the barycentric position of the light intensity obtained from this is r = 0.26.
8 compared to the true center position r = 0.25.
An error of about 1.8% occurs with respect to the cell width of the CCD.

【0016】本発明は、電子カメラ等を用いて写真計測
を行う際に物体像の重心位置を精度良く測定できる結像
光学系及び写真計測方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an image forming optical system and a photograph measuring method capable of accurately measuring the position of the center of gravity of an object image when measuring a photograph using an electronic camera or the like.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の結像光学系は、面状に配列された撮像素子
上に物体の像を結像させるための結像光学系であって;
該結像光学系の絞り環の位置に、周辺部が低透過率の
NDフィルターを備えることを特徴とする。このような
結像光学系で写真計測を行う場合には、NDフィルター
により、像周辺部における回折縞を消失させることがで
きる。
In order to solve the above problems, an image forming optical system according to the present invention is an image forming optical system for forming an image of an object on an image sensor arranged in a plane. hand;
A peripheral portion is provided with an ND filter having a low transmittance at a position of a stop ring of the imaging optical system. When photograph measurement is performed using such an imaging optical system, diffraction fringes in the peripheral portion of the image can be eliminated by the ND filter.

【0018】本発明の写真計測方法は、面状に配列され
た撮像素子上に物体の像を結像させ、該撮像素子の信号
を処理することにより該像の重心位置を求める操作を含
む写真計測方法であって; 該結像光学系の絞り環の位
置に、周辺部が低透過率のNDフィルターを挿入し、
該NDフィルターにより、像周辺部における回折縞を消
失させることを特徴とする。
The photographic measuring method according to the present invention is a photograph including an operation of forming an image of an object on an image sensor arranged in a plane and processing a signal of the image sensor to obtain a position of a center of gravity of the image. A measurement method, wherein an ND filter having a low transmittance at a peripheral portion is inserted at a position of an aperture ring of the imaging optical system;
The ND filter is used to eliminate diffraction fringes in an image peripheral portion.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】図1は本発明の1実施例に係る結
像光学系の光学配置を示す図である。この結像光学系1
は、光軸3を中心として、図の左(物体側)から右(C
CD側)に向かって、3枚組の撮像レンズ5a〜c、絞
り7、NDフィルター9、3枚組の撮像レンズ5d〜
f、リレーレンズ系11、CCD(撮像素子)13が配
置されている。撮像レンズ5は測定対象の物体の像を結
像させ、この像はリレーレンズ11によってCCD13
の撮像面上に結像される。撮像レンズが6枚組となって
いるのは、各種収差を補正するためである。
FIG. 1 is a diagram showing an optical arrangement of an image forming optical system according to one embodiment of the present invention. This imaging optical system 1
Are from the left (object side) to the right (C
Toward the CD), a group of three imaging lenses 5a to 5c, an aperture 7, an ND filter 9, and a group of three imaging lenses 5d to 5d to
f, a relay lens system 11 and a CCD (image pickup device) 13 are arranged. The imaging lens 5 forms an image of the object to be measured, and this image is formed by the relay lens 11 into the CCD 13.
Is imaged on the imaging surface of. The reason why the six imaging lenses are provided is to correct various aberrations.

【0020】撮像レンズ5a〜cと5d〜fとの間に
は、絞り7が設けられている。そして、結像光学系1の
絞り7の位置に、半径方向にガウス分布の透過率を持っ
たNDフィルター9が挿入されている。このようなND
フィルター9によって、結像光学系で形成される像の光
強度分布がガウス分布を持つことになり、通常の光学系
で形成されるベッセル関数型の光強度分布に特有の中心
スポットの周囲における回折リングの発生がなくなり、
回折リングによるスポット位置の計測ずれが生じなくな
る。したがって、このようなNDフィルターを光学系の
絞り位置に挿入することにより、高い精度で写真計測を
行える写真光学系を提供することができる。
An aperture 7 is provided between the imaging lenses 5a to 5c and 5d to 5f. An ND filter 9 having a Gaussian distribution transmittance in the radial direction is inserted at the position of the stop 7 of the imaging optical system 1. Such ND
Due to the filter 9, the light intensity distribution of the image formed by the imaging optical system has a Gaussian distribution, and diffraction around the center spot peculiar to the Bessel function type light intensity distribution formed by the ordinary optical system. The occurrence of rings disappears,
Measurement deviation of the spot position due to the diffraction ring does not occur. Therefore, by inserting such an ND filter at the stop position of the optical system, it is possible to provide a photographic optical system capable of performing photographic measurement with high accuracy.

【0021】図2は、本実施例によるNDフィルターの
透過率分布を示す。このNDフィルターでは、透過率分
布がexp{ -2(r/3a)2 }(aは光学系の有効
半径)になるようにしてある。従って、周辺の透過光量
が1/e6≒1/400に落ちるように濃度分布を調節
してあるが、これはNDフィルター固定枠、絞り、レン
ズ枠による回折を十分抑えるためである。絞り環、レン
ズ等が有限の大きさを持っている以上、その縁による回
折の現象は厳密には避けられないが、以上のようにND
フィルターを挿入することにより、全光量に対する回折
光量を事実上無視できるほどに小さくすれば、回折が起
こっていないとみなせるわけである。このようなNDフ
ィルターは、一例として、光吸収ガラスの厚さを中心と
周辺で変えて、さらにフィルター全体の厚さを均一にす
るための透明ダミーガラスと貼り合わせることにより作
製することができる。
FIG. 2 shows a transmittance distribution of the ND filter according to the present embodiment. This ND filter, the transmittance distribution exp {- 2 (r / 3a ) 2} (a is effective radius of the optical system) are set to be in. Therefore, the density distribution is adjusted so that the amount of transmitted light at the periphery is reduced to 1 / e 6 ≒ 1/400. This is to sufficiently suppress diffraction by the ND filter fixed frame, the aperture, and the lens frame. As long as the aperture ring, lens, etc. have a finite size, the diffraction phenomenon due to the edge cannot be strictly avoided, but as described above, ND
If the amount of diffracted light with respect to the total amount of light is made substantially negligible by inserting a filter, it can be considered that no diffraction has occurred. As an example, such an ND filter can be manufactured by changing the thickness of the light absorbing glass between the center and the periphery and bonding the light absorbing glass to a transparent dummy glass for making the overall thickness of the filter uniform.

【0022】このようなNDフィルターを用いた光学系
による結像結果を図3(A)に示す。また、この結像を
CCD素子で受光した場合の各CCDセルの信号強度分
布を図3(B)に示す。ここで、光学系の有効径、焦点
距離、光波長、像の位置などは、図4に示した従来例と
同様とした。
FIG. 3A shows an image formed by an optical system using such an ND filter. FIG. 3B shows the signal intensity distribution of each CCD cell when this image is received by the CCD element. Here, the effective diameter, the focal length, the light wavelength, the position of the image, and the like of the optical system were the same as those in the conventional example shown in FIG.

【0023】図3の場合、回折リングは発生しておら
ず、光強度分布は比較的単調なカーブを描いていること
がわかる。さらに、各CCDの信号強度値は左から、
0.0006、0.0029、0.0113、0.03
34、0.0767、0.1364、0.1877、
0.2001、0.1652、0.1056、0.05
23、0.0201、0.0060、0.0013、
0.0002になり、これから求めた像の重心位置はr
=0.254となって、真の値r=0.25に比べ0.
4%の誤差にとどめることができた。
In the case of FIG. 3, it can be seen that no diffraction ring occurs and the light intensity distribution draws a relatively monotonous curve. Further, the signal intensity value of each CCD is from the left,
0.0006, 0.0029, 0.0113, 0.03
34, 0.0767, 0.1364, 0.1877,
0.2001, 0.1652, 0.1056, 0.05
23, 0.0201, 0.0060, 0.0013,
0.0002, and the position of the center of gravity of the image obtained from this is r
= 0.254, which is 0. 0 compared to the true value r = 0.25.
The error was kept to 4%.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
により、撮像素子上に結像した測定対象の像の位置を高
い精度で計測することができるようになり、写真計測に
おける精度の向上に寄与することができる。さらに写真
計測を基本に置くマシンビジョンの技術においても、物
体認識の精度向上に寄与することができる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, the position of the image of the measurement object formed on the image sensor can be measured with high accuracy, and the accuracy in photographic measurement can be improved. Can be contributed to. In addition, machine vision technology based on photo measurement can contribute to the improvement of object recognition accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の1実施例に係る結像光学系の光学配置
を示す図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating an optical arrangement of an imaging optical system according to an embodiment of the present invention.

【図2】本実施例のNDフィルターの透過率分布を示
す。
FIG. 2 shows a transmittance distribution of the ND filter of the present embodiment.

【図3】(A)は本発明の一実施例に係るNDフィルタ
ーを用いた光学系による結像結果を示す。(B)はこれ
をCCD素子で受光した場合の各CCDセルの信号強度
分布を示す。
FIG. 3A shows an imaging result by an optical system using an ND filter according to one embodiment of the present invention. (B) shows the signal intensity distribution of each CCD cell when this is received by the CCD element.

【図4】(A)は従来の光学系による結像結果を示す。
(B)はこれをCCD素子で受光した場合の各CCDセ
ルの信号強度分布を示す。
FIG. 4A shows an imaging result by a conventional optical system.
(B) shows the signal intensity distribution of each CCD cell when this is received by the CCD element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 結像光学系 3 光軸 5 撮像レンズ 7 絞り 9 NDフィルター 11 リレーレンズ 13 CCD Reference Signs List 1 imaging optical system 3 optical axis 5 imaging lens 7 aperture 9 ND filter 11 relay lens 13 CCD

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 面状に配列された撮像素子上に物体の像
を結像させるための結像光学系であって;該結像光学系
の絞り環の位置に、周辺部が低透過率のNDフィルター
を備えることを特徴とする結像光学系。
1. An imaging optical system for forming an image of an object on an image sensor arranged in a plane, wherein a peripheral portion has a low transmittance at a position of an aperture ring of the imaging optical system. An imaging optical system comprising the ND filter according to (1).
【請求項2】 上記結像光学系が写真計測(測量含む)
装置中に含まれ、 上記NDフィルターにより、像周辺部における回折縞を
消失させることを特徴とする請求項1記載の結像光学
系。
2. The method according to claim 1, wherein the image forming optical system is a photograph measurement (including a survey).
The imaging optical system according to claim 1, wherein the imaging optical system is included in an apparatus, wherein the ND filter eliminates diffraction fringes in a peripheral portion of the image.
【請求項3】 上記NDフィルターがガウス型の透過率
分布を有する請求項1又は2記載の結像光学系。
3. The imaging optical system according to claim 1, wherein the ND filter has a Gaussian transmittance distribution.
【請求項4】 面状に配列された撮像素子上に物体の像
を結像させ、該撮像素子の信号を処理することにより該
像の重心位置を求める操作を含む写真計測方法であっ
て;該結像光学系の絞り環の位置に、周辺部が低透過率
のNDフィルターを挿入し、 該NDフィルターにより、像周辺部における回折縞を消
失させることを特徴とする写真計測方法。
4. A photographic measurement method including an operation of forming an image of an object on an imaging element arranged in a plane and processing a signal of the imaging element to obtain a position of a center of gravity of the image; A photographic measurement method comprising: inserting an ND filter having a low transmittance at a peripheral portion at a position of an aperture ring of the imaging optical system; and eliminating diffraction fringes at a peripheral portion of the image by the ND filter.
JP9032597A 1997-02-03 1997-02-03 Image-forming optical system and photographic measuring method Pending JPH10221509A (en)

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JP9032597A Pending JPH10221509A (en) 1997-02-03 1997-02-03 Image-forming optical system and photographic measuring method

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JP (1) JPH10221509A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011002514A (en) * 2009-06-16 2011-01-06 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology Phase contrast microscope
JP2015007725A (en) * 2013-06-26 2015-01-15 株式会社フォトニックラティス Optical imaging device

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