JPH10221161A - 振動検査方法及び検査装置 - Google Patents
振動検査方法及び検査装置Info
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- JPH10221161A JPH10221161A JP9041495A JP4149597A JPH10221161A JP H10221161 A JPH10221161 A JP H10221161A JP 9041495 A JP9041495 A JP 9041495A JP 4149597 A JP4149597 A JP 4149597A JP H10221161 A JPH10221161 A JP H10221161A
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- frequency
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Abstract
(57)【要約】
【課題】モータや玉軸受等の回転体の不良個所を容易に
判別でき、不良発生の原因を解析できるようにする。 【解決手段】検査対象となる玉軸受のボール、内輪、外
輪及びリテーナそれぞれの１次及び２次以上の高次の固
有振動周波数を保持部２１により予め算出し、設定部２
２にこれらの固有振動周波数のなかから１ｋＨｚ以下の
範囲内で２４チャネル分を設定し、加圧手段により検査
すべき玉軸受の内輪に予圧をかけ、この状態で回転手段
により玉軸受の外輪を回転し、加速度センサ１５により
玉軸受の内輪の振動加速度を測定してその出力を周波数
分析部２４により周波数スペクトル分析し、設定された
１ｋＨｚ以下の２４チャネルの各固有振動周波数それぞ
れにおけるボール、内輪、外輪及びリテーナの振動加速
度のピーク値を多チャネルピーク導出部２５により導出
し、判定部２８により各ピーク値と各基準値とを比較し
て不良の有無を判定し、表示手段１９により判定結果を
表示する。
判別でき、不良発生の原因を解析できるようにする。 【解決手段】検査対象となる玉軸受のボール、内輪、外
輪及びリテーナそれぞれの１次及び２次以上の高次の固
有振動周波数を保持部２１により予め算出し、設定部２
２にこれらの固有振動周波数のなかから１ｋＨｚ以下の
範囲内で２４チャネル分を設定し、加圧手段により検査
すべき玉軸受の内輪に予圧をかけ、この状態で回転手段
により玉軸受の外輪を回転し、加速度センサ１５により
玉軸受の内輪の振動加速度を測定してその出力を周波数
分析部２４により周波数スペクトル分析し、設定された
１ｋＨｚ以下の２４チャネルの各固有振動周波数それぞ
れにおけるボール、内輪、外輪及びリテーナの振動加速
度のピーク値を多チャネルピーク導出部２５により導出
し、判定部２８により各ピーク値と各基準値とを比較し
て不良の有無を判定し、表示手段１９により判定結果を
表示する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、モータや玉軸受
等の回転体の回転時の振動状況を検査する振動検査方法
及び検査装置に関する。
等の回転体の回転時の振動状況を検査する振動検査方法
及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、回転体である玉軸受の回転時の
振動状況を検査して玉軸受の良否を判定する場合、図４
に示すような構成により検査が行われる。
振動状況を検査して玉軸受の良否を判定する場合、図４
に示すような構成により検査が行われる。
【０００３】図４に示すように、玉軸受１はリング状の
内輪２及び外輪３とこれら内、外輪２、３間に配設され
た複数個のボール４及びこれら各ボールを保持するリテ
ーナにより構成されている。この玉軸受１を回転自在の
保持部材６により保持し、この保持部材６と共に回転手
段を構成する図外のモータにより保持部材６を回転して
玉軸受１を回転させる。尚、この保持部材６は図示しな
い架台に回転自在に取り付けられているが、この架台を
通じてノイズ的な振動が保持部材６に伝わらないように
緩衝材を介して取り付けられている。
内輪２及び外輪３とこれら内、外輪２、３間に配設され
た複数個のボール４及びこれら各ボールを保持するリテ
ーナにより構成されている。この玉軸受１を回転自在の
保持部材６により保持し、この保持部材６と共に回転手
段を構成する図外のモータにより保持部材６を回転して
玉軸受１を回転させる。尚、この保持部材６は図示しな
い架台に回転自在に取り付けられているが、この架台を
通じてノイズ的な振動が保持部材６に伝わらないように
緩衝材を介して取り付けられている。
【０００４】保持部材６の上面には平面視円形の凹所８
が形成され、更にこの凹所８の直径よりも小なる平面視
円形の凹所９が凹所８の底面に同心に形成されている。
そして、凹所８に玉軸受１の外輪３が嵌合される一方、
内輪２は凹所９の内側に位置して保持部材６に対し非接
触に保持されている。この状態で保持部材６が回転する
と、外輪３が保持部材６と一緒に回転するのである。
が形成され、更にこの凹所８の直径よりも小なる平面視
円形の凹所９が凹所８の底面に同心に形成されている。
そして、凹所８に玉軸受１の外輪３が嵌合される一方、
内輪２は凹所９の内側に位置して保持部材６に対し非接
触に保持されている。この状態で保持部材６が回転する
と、外輪３が保持部材６と一緒に回転するのである。
【０００５】また、本体１１ａと、この本体１１ａの先
端に先細テーパ部１１ｂを介して一体的に形成された球
体部１１ｃとにより、押圧体１１が構成されている。こ
の押圧体１１の球体部１１ｃが内輪２の内側に挿入さ
れ、テーパ部１１ｂが内輪２の上端縁に当接されてい
る。そして、押圧体１１と共に加圧手段を構成する油圧
シリンダ等のアクチュエータにより押圧体１１が図４中
の矢印方向に下動され、内輪２に所定の予圧が加えら
れ、このように予圧が加えられつつ外輪３のみが回転さ
れるのである。
端に先細テーパ部１１ｂを介して一体的に形成された球
体部１１ｃとにより、押圧体１１が構成されている。こ
の押圧体１１の球体部１１ｃが内輪２の内側に挿入さ
れ、テーパ部１１ｂが内輪２の上端縁に当接されてい
る。そして、押圧体１１と共に加圧手段を構成する油圧
シリンダ等のアクチュエータにより押圧体１１が図４中
の矢印方向に下動され、内輪２に所定の予圧が加えら
れ、このように予圧が加えられつつ外輪３のみが回転さ
れるのである。
【０００６】このとき、押圧体１１には圧電素子等から
成る加速度センサ（図示せず）が取り付けられており、
押圧体１１を介して加速度センサにより検査対象である
玉軸受１の振動加速度が測定されるのである。
成る加速度センサ（図示せず）が取り付けられており、
押圧体１１を介して加速度センサにより検査対象である
玉軸受１の振動加速度が測定されるのである。
【０００７】通常、この加速度センサの出力は分析器に
よって、１ｋＨｚ以上の周波数帯域における加速度のレ
ベルが導出され、この導出されたレベルが所定の基準レ
ベルより小さいか否かが判別され、小さければその玉軸
受は良品であり、大きければ不良品であると判断される
のである。
よって、１ｋＨｚ以上の周波数帯域における加速度のレ
ベルが導出され、この導出されたレベルが所定の基準レ
ベルより小さいか否かが判別され、小さければその玉軸
受は良品であり、大きければ不良品であると判断される
のである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この種の検
査では玉軸受１全体としての良、不良の判断はできて
も、不良と判断された場合にその不良個所がどこである
のかまではわからないため、不良発生の原因を解析する
ことができないという問題がある。
査では玉軸受１全体としての良、不良の判断はできて
も、不良と判断された場合にその不良個所がどこである
のかまではわからないため、不良発生の原因を解析する
ことができないという問題がある。
【０００９】この発明が解決しようとする課題は、モー
タや玉軸受等の回転体の不良個所を容易に判別でき、不
良発生の原因を解析できるようにすることにある。
タや玉軸受等の回転体の不良個所を容易に判別でき、不
良発生の原因を解析できるようにすることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、複数の部材から成る回転体の回転時の振動状況を検
査する振動検査方法であって、検査対象となる回転体の
各種部材の構造データ、回転数等の検査条件データに基
づき、各種部材それぞれの１次及び２次以上の高次の固
有振動周波数を予め算出し、検査対象となる回転体を前
記検査条件データである回転数で回転してそのときの振
動加速度を加速度センサによって測定し、前記加速度セ
ンサの出力を周波数スペクトル分析して、予め算出した
前記各固有振動周波数のうち検査範囲である所定周波数
以下の固有振動周波数それぞれにおける振動加速度のピ
ーク値を導出し、導出した前記各固有振動周波数におけ
るピーク値が、これら各固有振動周波数それぞれについ
て予め設定した基準値を越えているか否かによって不良
の有無を検出し、越えている場合にその基準値の固有振
動周波数が各種部材のいずれのものであるかにより不良
の部位を特定することを特徴としている。
は、複数の部材から成る回転体の回転時の振動状況を検
査する振動検査方法であって、検査対象となる回転体の
各種部材の構造データ、回転数等の検査条件データに基
づき、各種部材それぞれの１次及び２次以上の高次の固
有振動周波数を予め算出し、検査対象となる回転体を前
記検査条件データである回転数で回転してそのときの振
動加速度を加速度センサによって測定し、前記加速度セ
ンサの出力を周波数スペクトル分析して、予め算出した
前記各固有振動周波数のうち検査範囲である所定周波数
以下の固有振動周波数それぞれにおける振動加速度のピ
ーク値を導出し、導出した前記各固有振動周波数におけ
るピーク値が、これら各固有振動周波数それぞれについ
て予め設定した基準値を越えているか否かによって不良
の有無を検出し、越えている場合にその基準値の固有振
動周波数が各種部材のいずれのものであるかにより不良
の部位を特定することを特徴としている。
【００１１】このような構成によれば、加速度センサの
出力を周波数スペクトル分析して、検査範囲である所定
周波数以下の各固有振動周波数それぞれにおける振動加
速度のピーク値を導出することにより、検査中の回転体
の各種部材がどのような振動状況にあるかがわかり、導
出した各固有振動周波数それぞれにおける振動加速度の
ピーク値が各基準値を越えているか否かによって、不良
の有無の判断及び不良個所の特定を同時に行える。
出力を周波数スペクトル分析して、検査範囲である所定
周波数以下の各固有振動周波数それぞれにおける振動加
速度のピーク値を導出することにより、検査中の回転体
の各種部材がどのような振動状況にあるかがわかり、導
出した各固有振動周波数それぞれにおける振動加速度の
ピーク値が各基準値を越えているか否かによって、不良
の有無の判断及び不良個所の特定を同時に行える。
【００１２】このとき、請求項２に記載のように、リン
グ状の内輪及び外輪とこれら内外輪間に配設された複数
個のボールと各ボールを保持するリテーナとから成る玉
軸受の回転時の振動状況を検査する振動検査方法であっ
て、検査対象となる玉軸受のボールの径や個数、リテー
ナ、内輪及び外輪の径等の構造データ、内輪または外輪
に加える予圧、回転数等の検査条件データに基づき、ボ
ール、リテーナ及び内外輪それぞれの１次及び２次以上
の高次の固有振動周波数を予め算出し、検査対象となる
玉軸受の内輪または外輪のいずれかに前記検査条件デー
タである予圧を加えつつ、前記検査条件データである回
転数で内輪または外輪を回転し、回転していない外輪ま
たは内輪の振動加速度を加速度センサによって測定し、
前記加速度センサの出力を周波数スペクトル分析して、
予め算出した前記各固有振動周波数のうち検査範囲であ
る所定周波数以下の固有振動周波数それぞれにおける振
動加速度のピーク値を導出し、導出した前記各固有振動
周波数におけるピーク値が、これら各固有振動周波数そ
れぞれについて予め設定した基準値を越えているか否か
によって不良の有無を検出し、越えている場合にその基
準値の固有振動周波数がボール、リテーナ、内輪、外輪
のいずれのものであるかにより不良の部位を特定するよ
うにしてもよく、これにより複数のボール、リテーナ、
内輪、外輪から成る玉軸受のどの部材に不良が発生して
いるか容易に判断することができる。
グ状の内輪及び外輪とこれら内外輪間に配設された複数
個のボールと各ボールを保持するリテーナとから成る玉
軸受の回転時の振動状況を検査する振動検査方法であっ
て、検査対象となる玉軸受のボールの径や個数、リテー
ナ、内輪及び外輪の径等の構造データ、内輪または外輪
に加える予圧、回転数等の検査条件データに基づき、ボ
ール、リテーナ及び内外輪それぞれの１次及び２次以上
の高次の固有振動周波数を予め算出し、検査対象となる
玉軸受の内輪または外輪のいずれかに前記検査条件デー
タである予圧を加えつつ、前記検査条件データである回
転数で内輪または外輪を回転し、回転していない外輪ま
たは内輪の振動加速度を加速度センサによって測定し、
前記加速度センサの出力を周波数スペクトル分析して、
予め算出した前記各固有振動周波数のうち検査範囲であ
る所定周波数以下の固有振動周波数それぞれにおける振
動加速度のピーク値を導出し、導出した前記各固有振動
周波数におけるピーク値が、これら各固有振動周波数そ
れぞれについて予め設定した基準値を越えているか否か
によって不良の有無を検出し、越えている場合にその基
準値の固有振動周波数がボール、リテーナ、内輪、外輪
のいずれのものであるかにより不良の部位を特定するよ
うにしてもよく、これにより複数のボール、リテーナ、
内輪、外輪から成る玉軸受のどの部材に不良が発生して
いるか容易に判断することができる。
【００１３】また、請求項３に記載の発明は、複数の部
材から成る回転体の回転時の振動状況を検査する振動検
査装置において、検査対象となる回転体の各種部材の構
造データ、回転数等の検査条件データが入力され、これ
らの入力データに基づき、各種部材それぞれの１次及び
２次以上の高次の固有振動周波数を予め算出して保持す
る保持部と、前記検査条件データの回転数で回転中の回
転体の振動加速度を測定する加速度センサと、前記保持
部により算出された検査対象となる回転体の各種部材そ
れぞれの各固有振動周波数のうち検査範囲である所定周
波数以下の固有振動周波数を設定する設定部と、前記加
速度センサの出力を周波数スペクトル分析する周波数分
析部と、前記周波数分析部による分析結果が入力され前
記設定部により設定された各固有振動周波数それぞれに
おける振動加速度のピーク値を導出する多チャネルピー
ク導出部と、前記多チャネルピーク導出部により導出さ
れた前記各固有振動周波数におけるピーク値が、これら
各固有振動周波数それぞれについて予め設定した基準値
を越えているか否かにより各種部材それぞれにおける不
良の有無を判定する判定部と、前記多チャネルピーク導
出部により導出される各ピーク値及び前記判定部の判定
結果を表示する表示手段とを備えていることを特徴とし
ている。
材から成る回転体の回転時の振動状況を検査する振動検
査装置において、検査対象となる回転体の各種部材の構
造データ、回転数等の検査条件データが入力され、これ
らの入力データに基づき、各種部材それぞれの１次及び
２次以上の高次の固有振動周波数を予め算出して保持す
る保持部と、前記検査条件データの回転数で回転中の回
転体の振動加速度を測定する加速度センサと、前記保持
部により算出された検査対象となる回転体の各種部材そ
れぞれの各固有振動周波数のうち検査範囲である所定周
波数以下の固有振動周波数を設定する設定部と、前記加
速度センサの出力を周波数スペクトル分析する周波数分
析部と、前記周波数分析部による分析結果が入力され前
記設定部により設定された各固有振動周波数それぞれに
おける振動加速度のピーク値を導出する多チャネルピー
ク導出部と、前記多チャネルピーク導出部により導出さ
れた前記各固有振動周波数におけるピーク値が、これら
各固有振動周波数それぞれについて予め設定した基準値
を越えているか否かにより各種部材それぞれにおける不
良の有無を判定する判定部と、前記多チャネルピーク導
出部により導出される各ピーク値及び前記判定部の判定
結果を表示する表示手段とを備えていることを特徴とし
ている。
【００１４】このような構成によれば、加速度センサに
より回転中の回転体の振動加速度が測定され、周波数分
析部によって加速度センサの出力が周波数スペクトル分
析され、設定部により設定された所定周波数以下の固有
振動周波数それぞれにおける振動加速度のピーク値が多
チャネルピーク導出部により導出され、判定部によりこ
れら各ピーク値と各基準値とが比較されて不良の有無が
判定され、表示手段に各ピーク値とその判定結果が表示
され、この表示から検査中の回転体の各種部材のいずれ
に不良があるのかを容易に判断することが可能である。
より回転中の回転体の振動加速度が測定され、周波数分
析部によって加速度センサの出力が周波数スペクトル分
析され、設定部により設定された所定周波数以下の固有
振動周波数それぞれにおける振動加速度のピーク値が多
チャネルピーク導出部により導出され、判定部によりこ
れら各ピーク値と各基準値とが比較されて不良の有無が
判定され、表示手段に各ピーク値とその判定結果が表示
され、この表示から検査中の回転体の各種部材のいずれ
に不良があるのかを容易に判断することが可能である。
【００１５】さらに、請求項４に記載のように、少なく
ともリング状の内輪及び外輪とこれら内外輪間に配設さ
れた複数個のボールと各ボールを保持するリテーナとか
ら成る玉軸受の回転時の振動状況を検査する振動検査装
置において、検査対象となる玉軸受のボールの径や個
数、リテーナ、内輪及び外輪の径等の構造データ、内輪
または外輪に加える予圧、回転数等の検査条件データが
入力され、これらの入力データに基づき、ボール、リテ
ーナ及び内外輪それぞれの１次及び２次以上の高次の固
有振動周波数を予め算出して保持する保持部と、検査す
る玉軸受の内輪または外輪に前記検査条件データである
予圧を加える加圧手段と、前記加圧手段により予圧を加
えた状態で前記検査条件データである回転数で検査対象
となる玉軸受の内輪または外輪を回転する回転手段と、
回転していない検査中の玉軸受の外輪または内輪の振動
加速度を測定する加速度センサと、前記保持部により算
出されたボール、リテーナ、内輪、外輪それぞれの各固
有振動周波数のうち検査範囲である所定周波数以下の固
有振動周波数を設定する設定部と、前記加速度センサの
出力を周波数スペクトル分析する周波数分析部と、前記
周波数分析部による分析結果が入力され前記設定部によ
り設定された各固有振動周波数それぞれにおける振動加
速度のピーク値を導出する多チャネルピーク導出部と、
前記多チャネルピーク導出部により導出された前記各固
有振動周波数におけるピーク値が、これら各固有振動周
波数それぞれについて予め設定した基準値を越えている
か否かによりボール、リテーナ、内輪、外輪それぞれに
おける不良の有無を判定する判定部と、前記多チャネル
ピーク導出部により導出される各ピーク値及び前記判定
部の判定結果を表示する表示手段とを備えていてもよ
く、これによって複数のボール、リテーナ、内輪、外輪
から成る玉軸受のどの部材に不良が発生しているか容易
に判断することが可能になる。
ともリング状の内輪及び外輪とこれら内外輪間に配設さ
れた複数個のボールと各ボールを保持するリテーナとか
ら成る玉軸受の回転時の振動状況を検査する振動検査装
置において、検査対象となる玉軸受のボールの径や個
数、リテーナ、内輪及び外輪の径等の構造データ、内輪
または外輪に加える予圧、回転数等の検査条件データが
入力され、これらの入力データに基づき、ボール、リテ
ーナ及び内外輪それぞれの１次及び２次以上の高次の固
有振動周波数を予め算出して保持する保持部と、検査す
る玉軸受の内輪または外輪に前記検査条件データである
予圧を加える加圧手段と、前記加圧手段により予圧を加
えた状態で前記検査条件データである回転数で検査対象
となる玉軸受の内輪または外輪を回転する回転手段と、
回転していない検査中の玉軸受の外輪または内輪の振動
加速度を測定する加速度センサと、前記保持部により算
出されたボール、リテーナ、内輪、外輪それぞれの各固
有振動周波数のうち検査範囲である所定周波数以下の固
有振動周波数を設定する設定部と、前記加速度センサの
出力を周波数スペクトル分析する周波数分析部と、前記
周波数分析部による分析結果が入力され前記設定部によ
り設定された各固有振動周波数それぞれにおける振動加
速度のピーク値を導出する多チャネルピーク導出部と、
前記多チャネルピーク導出部により導出された前記各固
有振動周波数におけるピーク値が、これら各固有振動周
波数それぞれについて予め設定した基準値を越えている
か否かによりボール、リテーナ、内輪、外輪それぞれに
おける不良の有無を判定する判定部と、前記多チャネル
ピーク導出部により導出される各ピーク値及び前記判定
部の判定結果を表示する表示手段とを備えていてもよ
く、これによって複数のボール、リテーナ、内輪、外輪
から成る玉軸受のどの部材に不良が発生しているか容易
に判断することが可能になる。
【００１６】このとき、請求項３または４に記載の発明
において、請求項５に記載のように、前記周波数分析部
による分析結果が入力され前記所定周波数よりも高帯域
における振動加速度のピーク値を導出する他のピーク導
出部を更に備え、前記表示手段が前記他のピーク導出部
により導出されるピーク値を表示する機能をも有してい
ると効果的である。
において、請求項５に記載のように、前記周波数分析部
による分析結果が入力され前記所定周波数よりも高帯域
における振動加速度のピーク値を導出する他のピーク導
出部を更に備え、前記表示手段が前記他のピーク導出部
により導出されるピーク値を表示する機能をも有してい
ると効果的である。
【００１７】
【発明の実施の形態】この発明の一実施形態について図
１ないし図３を参照して説明する。ここで、図１はブロ
ック図、図２及び図３は動作説明図である。尚、玉軸受
自体の構成、回転手段及び加圧手段の構成は図４に示す
ものと同様であるため、以下の説明では図４も参照す
る。
１ないし図３を参照して説明する。ここで、図１はブロ
ック図、図２及び図３は動作説明図である。尚、玉軸受
自体の構成、回転手段及び加圧手段の構成は図４に示す
ものと同様であるため、以下の説明では図４も参照す
る。
【００１８】図１において、１５は圧電素子などから成
る加速度センサであり、図４に示すような押圧体１１に
取り付けられている。そして、検査対象である玉軸受１
が保持部材６に保持され、加圧手段によりこの玉軸受１
の内輪２に後述する検査条件データである所定の予圧が
加えられた状態で、モータによる保持部材６の回転によ
って外輪３のみが後述する検査条件データである所定の
回転数で回転され、このときの回転していない内輪２の
振動加速度が押圧体１１を介して加速度センサにより測
定される。
る加速度センサであり、図４に示すような押圧体１１に
取り付けられている。そして、検査対象である玉軸受１
が保持部材６に保持され、加圧手段によりこの玉軸受１
の内輪２に後述する検査条件データである所定の予圧が
加えられた状態で、モータによる保持部材６の回転によ
って外輪３のみが後述する検査条件データである所定の
回転数で回転され、このときの回転していない内輪２の
振動加速度が押圧体１１を介して加速度センサにより測
定される。
【００１９】さらに図１において、１６は加速度センサ
１５の出力を増幅するチャージアンプ、１７はチャージ
アンプ１６の増幅出力が入力される高速フーリエ変換ア
ナライザ（以下、ＦＦＴという）、１８はパーソナルコ
ンピュータ（以下、パソコンという）、１９はＣＲＴや
液晶ディスプレイ等から成る表示手段である。
１５の出力を増幅するチャージアンプ、１７はチャージ
アンプ１６の増幅出力が入力される高速フーリエ変換ア
ナライザ（以下、ＦＦＴという）、１８はパーソナルコ
ンピュータ（以下、パソコンという）、１９はＣＲＴや
液晶ディスプレイ等から成る表示手段である。
【００２０】ここでパソコン１８は、検査対象となる所
定型番の玉軸受１のボール４、内輪２、外輪３及びリテ
ーナそれぞれの１次及び２次以上の高次の固有振動周波
数を予め算出して保持する保持部２１としての機能と、
保持部２１により算出されたボール４、内輪２、外輪
３、リテーナそれぞれの各固有振動周波数のうち所定周
波数である１ｋＨｚ以下の検査範囲における２４チャネ
ルの固有振動周波数が入力手段の操作によって設定され
る設定部２２としての機能とを有している。
定型番の玉軸受１のボール４、内輪２、外輪３及びリテ
ーナそれぞれの１次及び２次以上の高次の固有振動周波
数を予め算出して保持する保持部２１としての機能と、
保持部２１により算出されたボール４、内輪２、外輪
３、リテーナそれぞれの各固有振動周波数のうち所定周
波数である１ｋＨｚ以下の検査範囲における２４チャネ
ルの固有振動周波数が入力手段の操作によって設定され
る設定部２２としての機能とを有している。
【００２１】ところで、保持部２１では、検査すべき所
定品番の玉軸受１のボール４の径や個数、内輪２及び外
輪３の径、リテーナの径、各々の材質等の構造データ
と、内輪２に加える予圧、回転数等の検査条件データと
が図示しないキーボード等の入力手段の操作によって入
力される。そして、これらの入力データに基づきボール
４、内輪２、外輪３及びリテーナそれぞれの１次及び２
次以上の高次の固有振動周波数を所定の演算式に基づく
演算により予め算出して保持するのである。
定品番の玉軸受１のボール４の径や個数、内輪２及び外
輪３の径、リテーナの径、各々の材質等の構造データ
と、内輪２に加える予圧、回転数等の検査条件データと
が図示しないキーボード等の入力手段の操作によって入
力される。そして、これらの入力データに基づきボール
４、内輪２、外輪３及びリテーナそれぞれの１次及び２
次以上の高次の固有振動周波数を所定の演算式に基づく
演算により予め算出して保持するのである。
【００２２】このとき、保持部２１は、後述するように
ＦＦＴ１７によって導出される多チャネルピーク値、オ
ーバオールピーク値及び周波数スペクトル分析データ
を、ＨＤＤ等を用いて随時取り出しが可能なように保持
するようになっている。
ＦＦＴ１７によって導出される多チャネルピーク値、オ
ーバオールピーク値及び周波数スペクトル分析データ
を、ＨＤＤ等を用いて随時取り出しが可能なように保持
するようになっている。
【００２３】また、設定部２２には、保持部２１によっ
て算出されたボール４、内輪２、外輪３及びリテーナの
ｎ次（ｎ＝１，２，３，…）の各固有振動周波数のなか
から、１ｋＨｚ以下のものが２４チャネル分適宜選択さ
れて設定されるようになっている。
て算出されたボール４、内輪２、外輪３及びリテーナの
ｎ次（ｎ＝１，２，３，…）の各固有振動周波数のなか
から、１ｋＨｚ以下のものが２４チャネル分適宜選択さ
れて設定されるようになっている。
【００２４】一方ＦＦＴ１７は、チャージアンプ１６に
より増幅された加速度センサ１５の出力を周波数スペク
トル分析する周波数分析部２４としての機能と、周波数
分析部２４による分析結果が入力されパソコン１８の設
定部２２に設定された２４チャネルの各固有振動周波数
それぞれにおける振動加速度のピーク値を導出する多チ
ャネルピーク導出部２５としての機能と、周波数分析部
２４による分析結果が入力され所定周波数である１ｋＨ
ｚより高帯域における振動加速度のピーク値を導出する
オーバオールピーク導出部２６としての機能とを備えて
いる。
より増幅された加速度センサ１５の出力を周波数スペク
トル分析する周波数分析部２４としての機能と、周波数
分析部２４による分析結果が入力されパソコン１８の設
定部２２に設定された２４チャネルの各固有振動周波数
それぞれにおける振動加速度のピーク値を導出する多チ
ャネルピーク導出部２５としての機能と、周波数分析部
２４による分析結果が入力され所定周波数である１ｋＨ
ｚより高帯域における振動加速度のピーク値を導出する
オーバオールピーク導出部２６としての機能とを備えて
いる。
【００２５】ところでパソコン１８は、検査中の玉軸受
１のボール４、内輪２、外輪３、リテーナそれぞれにお
ける不良の有無を判定する判定部２８としての機能と、
ＦＦＴ１７の周波数分析部２４からの表示用データに基
づき表示手段１９を制御する表示制御部としての機能と
を更に有している。
１のボール４、内輪２、外輪３、リテーナそれぞれにお
ける不良の有無を判定する判定部２８としての機能と、
ＦＦＴ１７の周波数分析部２４からの表示用データに基
づき表示手段１９を制御する表示制御部としての機能と
を更に有している。
【００２６】この判定部２８には、ＦＦＴ１７の多チャ
ネルピーク導出部２５により導出される２４チャネルの
各固有振動周波数におけるピーク値が入力される一方、
入力手段の操作により、２４チャネルの各固有振動周波
数それぞれについて検査すべき所定品番の玉軸受の仕様
に基づく基準値が予め設定される。そして、判定部２８
により、２４チャネルの各ピーク値それぞれが各基準値
を越えているか否かを判定し、検査中の玉軸受１のボー
ル４、内輪２、外輪３、リテーナそれぞれにおける不良
の有無を判定するのである。
ネルピーク導出部２５により導出される２４チャネルの
各固有振動周波数におけるピーク値が入力される一方、
入力手段の操作により、２４チャネルの各固有振動周波
数それぞれについて検査すべき所定品番の玉軸受の仕様
に基づく基準値が予め設定される。そして、判定部２８
により、２４チャネルの各ピーク値それぞれが各基準値
を越えているか否かを判定し、検査中の玉軸受１のボー
ル４、内輪２、外輪３、リテーナそれぞれにおける不良
の有無を判定するのである。
【００２７】尚、判定部２８に設定される各基準値に
は、この所定品番の玉軸受を使用する上で支障のない値
が選定され、要望に応じて適宜変更することが可能にな
っている。
は、この所定品番の玉軸受を使用する上で支障のない値
が選定され、要望に応じて適宜変更することが可能にな
っている。
【００２８】また表示手段１９は、周波数分析部２４に
よる１ｋＨｚ以下の２４チャネル分の周波数スペクトル
図を表示する第１表示部３０としての機能と、周波数分
析部２４による１ｋＨｚ以上の１チャネルの周波数スペ
クトル図を表示する第２表示部３１としての機能と、多
チャネルピーク導出部２５により導出される２４チャネ
ル分の各ピーク値とこれらに対応する各基準値及び判定
部２８の判定結果を一覧表の形式で表示する第３表示部
３２としての機能とを有している。
よる１ｋＨｚ以下の２４チャネル分の周波数スペクトル
図を表示する第１表示部３０としての機能と、周波数分
析部２４による１ｋＨｚ以上の１チャネルの周波数スペ
クトル図を表示する第２表示部３１としての機能と、多
チャネルピーク導出部２５により導出される２４チャネ
ル分の各ピーク値とこれらに対応する各基準値及び判定
部２８の判定結果を一覧表の形式で表示する第３表示部
３２としての機能とを有している。
【００２９】そして、パソコン１８の表示制御部の制御
により、表示手段１９はこれら各表示部３０〜３２の機
能に基づく表示を行うのである。
により、表示手段１９はこれら各表示部３０〜３２の機
能に基づく表示を行うのである。
【００３０】ところで、１０個のボールを有するある品
番の玉軸受について、検査条件データとしての予圧が
０．８ｋｇｆ、回転数が１８００ｒｐｍの条件下で、保
持部２１により、ボール４、内輪２、外輪３及びリテー
ナそれぞれの１次及び２次以上の高次の固有振動周波数
を演算したところ、例えば図２に示すような結果が得ら
れる。ここで、図２中の回転周波数とは検査条件の回転
数から求められるｎ次の周波数である。
番の玉軸受について、検査条件データとしての予圧が
０．８ｋｇｆ、回転数が１８００ｒｐｍの条件下で、保
持部２１により、ボール４、内輪２、外輪３及びリテー
ナそれぞれの１次及び２次以上の高次の固有振動周波数
を演算したところ、例えば図２に示すような結果が得ら
れる。ここで、図２中の回転周波数とは検査条件の回転
数から求められるｎ次の周波数である。
【００３１】そして、このように予め算出したボール
４、内輪２、外輪３及びリテーナのｎ次の固有振動周波
数のなかから、所定周波数である１ｋＨｚ以下の２４チ
ャネル分の固有振動周波数を選択して設定部２２に設定
するのである。
４、内輪２、外輪３及びリテーナのｎ次の固有振動周波
数のなかから、所定周波数である１ｋＨｚ以下の２４チ
ャネル分の固有振動周波数を選択して設定部２２に設定
するのである。
【００３２】このように、１ｋＨｚ以下の２４チャネル
分の固有振動周波数の設定を行った後、加圧手段により
検査条件データの予圧値で玉軸受１の内輪２を予圧し、
この状態でモータによる保持部材６の回転により外輪３
のみを回転し、加速度センサ１５により内輪２の振動加
速度を測定するのである。
分の固有振動周波数の設定を行った後、加圧手段により
検査条件データの予圧値で玉軸受１の内輪２を予圧し、
この状態でモータによる保持部材６の回転により外輪３
のみを回転し、加速度センサ１５により内輪２の振動加
速度を測定するのである。
【００３３】このときの加速度センサ１５の出力がチャ
ージアンプ１６により増幅されて周波数分析部２４に入
力され、この周波数分析部２４によって加速度センサ１
５の出力が周波数スペクトル分析される。そして、多チ
ャネルピーク導出部２５により、設定部２２に設定され
た２４チャネルの各固有振動周波数それぞれにおける振
動加速度のピーク値が導出される一方、オーバオールピ
ーク導出部２６により、１ｋＨｚ以上での振動加速度の
ピーク値が導出される。
ージアンプ１６により増幅されて周波数分析部２４に入
力され、この周波数分析部２４によって加速度センサ１
５の出力が周波数スペクトル分析される。そして、多チ
ャネルピーク導出部２５により、設定部２２に設定され
た２４チャネルの各固有振動周波数それぞれにおける振
動加速度のピーク値が導出される一方、オーバオールピ
ーク導出部２６により、１ｋＨｚ以上での振動加速度の
ピーク値が導出される。
【００３４】例えばある不良品について、周波数分析部
２４による周波数スペクトル分析の結果得られた１ｋＨ
ｚ以下の周波数スペクトル図の例を示すと図３に示すよ
うになり、ボール、内輪、外輪、リテーナそれぞれの各
固有振動周波数において顕著なピークを有する波形が得
られるのである。
２４による周波数スペクトル分析の結果得られた１ｋＨ
ｚ以下の周波数スペクトル図の例を示すと図３に示すよ
うになり、ボール、内輪、外輪、リテーナそれぞれの各
固有振動周波数において顕著なピークを有する波形が得
られるのである。
【００３５】次に判定部２８により、これら多チャネル
ピーク導出部２５により導出された２４チャネルの各ピ
ーク値それぞれが各々に対応する基準値それぞれを越え
ているか否かが判定され、越えている場合には不良（Ｎ
Ｇ）、越えていない場合には良（ＯＫ）と判定され、表
示手段１９により、多チャネルピーク導出部２５によっ
て導出された２４チャネルの各ピーク値とこれらに対応
する各基準値及び判定部２８の判定結果が一覧表の形式
で表示される。
ピーク導出部２５により導出された２４チャネルの各ピ
ーク値それぞれが各々に対応する基準値それぞれを越え
ているか否かが判定され、越えている場合には不良（Ｎ
Ｇ）、越えていない場合には良（ＯＫ）と判定され、表
示手段１９により、多チャネルピーク導出部２５によっ
て導出された２４チャネルの各ピーク値とこれらに対応
する各基準値及び判定部２８の判定結果が一覧表の形式
で表示される。
【００３６】この表示手段１９の表示から、検査中の玉
軸受１のボール４、内輪２、外輪３、リテーナのいずれ
に不良があるのかを作業者は容易に判断することができ
るのである。
軸受１のボール４、内輪２、外輪３、リテーナのいずれ
に不良があるのかを作業者は容易に判断することができ
るのである。
【００３７】尚、表示手段１９には、周波数分析部２４
による１ｋＨｚ以下の周波数スペクトル図と１ｋＨｚ以
上の周波数スペクトル図とが適宜表示され、上記した一
覧表の表示とあわせて、検査対象の不良原因の解析に供
される。
による１ｋＨｚ以下の周波数スペクトル図と１ｋＨｚ以
上の周波数スペクトル図とが適宜表示され、上記した一
覧表の表示とあわせて、検査対象の不良原因の解析に供
される。
【００３８】従って、上記実施形態によれば、加速度セ
ンサ１５の出力を周波数分析部２４により周波数スペク
トル分析して、多チャネルピーク導出部２５によりボー
ル４、内輪２、外輪３及びリテーナそれぞれの１ｋＨｚ
以下の２４チャネルの各固有振動周波数それぞれにおけ
る振動加速度のピーク値を導出し、判定部２８によりこ
れら各ピーク値と各基準値とを比較して不良の有無を判
定し、表示手段１９によりその判定結果を表示するよう
にしたため、検査対象となる玉軸受１のボール４、内輪
２、外輪３及びリテーナのいずれに不良があるのかを容
易に判断することができ、このように不良個所を特定す
ることによって不良発生の原因を解析することが可能に
なる。
ンサ１５の出力を周波数分析部２４により周波数スペク
トル分析して、多チャネルピーク導出部２５によりボー
ル４、内輪２、外輪３及びリテーナそれぞれの１ｋＨｚ
以下の２４チャネルの各固有振動周波数それぞれにおけ
る振動加速度のピーク値を導出し、判定部２８によりこ
れら各ピーク値と各基準値とを比較して不良の有無を判
定し、表示手段１９によりその判定結果を表示するよう
にしたため、検査対象となる玉軸受１のボール４、内輪
２、外輪３及びリテーナのいずれに不良があるのかを容
易に判断することができ、このように不良個所を特定す
ることによって不良発生の原因を解析することが可能に
なる。
【００３９】また、表示手段１９により良、不良の結果
が表示されるため、表示手段１９の表示を見るだけで容
易に良、不良を判別でき、検査を行う作業者が作業に熟
達していなくても誤りなく不良判別を行うことができ、
検査の作業能率の向上を図ることが可能になる。
が表示されるため、表示手段１９の表示を見るだけで容
易に良、不良を判別でき、検査を行う作業者が作業に熟
達していなくても誤りなく不良判別を行うことができ、
検査の作業能率の向上を図ることが可能になる。
【００４０】さらに、表示手段１９により１ｋＨｚ以上
の周波数スペクトル図が表示されるため、特に詳細な不
良箇所の特定や不良原因の解析を行う必要がないときに
は、この表示に基づいて検査中の玉軸受１の良、不良を
判定することができる。
の周波数スペクトル図が表示されるため、特に詳細な不
良箇所の特定や不良原因の解析を行う必要がないときに
は、この表示に基づいて検査中の玉軸受１の良、不良を
判定することができる。
【００４１】なお、上記実施形態では、回転体を玉軸受
とした場合について説明しているが、検査対象となる回
転体は、上記した玉軸受に限定されるものではなく、モ
ータであってもよい。そして、モータ単体の振動加速度
の測定に使用した場合には、モータの良、不良の評価を
行うことが可能になり、このとき図２における回転周波
数のｎ次の各固有振動周波数についての振動加速度のピ
ーク値を各基準値と比較することで評価することができ
る。
とした場合について説明しているが、検査対象となる回
転体は、上記した玉軸受に限定されるものではなく、モ
ータであってもよい。そして、モータ単体の振動加速度
の測定に使用した場合には、モータの良、不良の評価を
行うことが可能になり、このとき図２における回転周波
数のｎ次の各固有振動周波数についての振動加速度のピ
ーク値を各基準値と比較することで評価することができ
る。
【００４２】さらに、上記実施形態では、１ｋＨｚ以下
の周波数範囲内で２４チャネルの固有振動周波数を設定
するようにしているが、この発明は特にこのように１ｋ
Ｈｚを基準にすることに限定されるものではなく、また
設定するチャネル数も２４チャネルに限るものではなく
それ以上或いは以下の複数チャネルであってもよいのは
勿論である。
の周波数範囲内で２４チャネルの固有振動周波数を設定
するようにしているが、この発明は特にこのように１ｋ
Ｈｚを基準にすることに限定されるものではなく、また
設定するチャネル数も２４チャネルに限るものではなく
それ以上或いは以下の複数チャネルであってもよいのは
勿論である。
【００４３】また、上記実施形態では、検査する玉軸受
１の内輪２に予圧をかけて外輪３のみを回転する場合に
ついて説明しているが、これとは逆に外輪３に予圧をか
けて内輪２のみを回転し、回転しない外輪３の振動加速
度を加速度センサ１５により測定するようにしてもよい
のは言うまでもない。
１の内輪２に予圧をかけて外輪３のみを回転する場合に
ついて説明しているが、これとは逆に外輪３に予圧をか
けて内輪２のみを回転し、回転しない外輪３の振動加速
度を加速度センサ１５により測定するようにしてもよい
のは言うまでもない。
【００４４】
【発明の効果】以上のように、請求項１及び３に記載の
発明によれば、検査対象となる回転体の各種部材のいず
れに不良があるのかを容易に判断することができ、この
ように不良個所を特定することにより、不良発生の原因
を解析して的確な不良対策を採ることができ、検査の作
業能率及び質の向上を図ることが可能になる。
発明によれば、検査対象となる回転体の各種部材のいず
れに不良があるのかを容易に判断することができ、この
ように不良個所を特定することにより、不良発生の原因
を解析して的確な不良対策を採ることができ、検査の作
業能率及び質の向上を図ることが可能になる。
【００４５】また、請求項２及び４に記載の発明によれ
ば、回転体が、複数のボール、これら各ボールを保持す
るリテーナ、内輪、外輪から成る玉軸受の場合に、これ
らボール、リテーナ、内輪、外輪のいずれに不良がある
のかを容易に判断して不良発生の原因の解析を行うこと
ができる。
ば、回転体が、複数のボール、これら各ボールを保持す
るリテーナ、内輪、外輪から成る玉軸受の場合に、これ
らボール、リテーナ、内輪、外輪のいずれに不良がある
のかを容易に判断して不良発生の原因の解析を行うこと
ができる。
【００４６】また、請求項５に記載の発明によれば、特
に詳細な不良箇所の特定や不良原因の解析を行う必要が
ないときに、表示手段に表示される他のピーク導出部に
よる導出ピーク値の表示から検査中の玉軸受の良、不良
を判定することができる。
に詳細な不良箇所の特定や不良原因の解析を行う必要が
ないときに、表示手段に表示される他のピーク導出部に
よる導出ピーク値の表示から検査中の玉軸受の良、不良
を判定することができる。
【図１】この発明の一実施形態のブロック図である。
【図２】同上の動作説明図である。
【図３】同上の動作説明図である。
【図４】この発明の背景となる玉軸受の振動検査工程の
説明図である。
説明図である。
１ 玉軸受 ２ 内輪 ３ 外輪 ４ ボール ６ 保持部材（回転手段） １１ 押圧体（加圧手段） １５ 加速度センサ １７ ＦＦＴ １８ パソコン １９ 表示手段 ２１ 保持部 ２２ 設定部 ２４ 周波数分析部 ２５ 多チャネルピーク導出部 ２６ オーバオールピーク導出部 ２８ 判定部 ３０ 第１表示部 ３１ 第２表示部 ３２ 第３表示部
Claims (5)
- 【請求項１】 複数の部材から成る回転体の回転時の振
動状況を検査する振動検査方法であって、 検査対象となる回転体の各種部材の構造データ、回転数
等の検査条件データに基づき、各種部材それぞれの１次
及び２次以上の高次の固有振動周波数を予め算出し、 検査対象となる回転体を前記検査条件データである回転
数で回転してそのときの振動加速度を加速度センサによ
って測定し、 前記加速度センサの出力を周波数スペクトル分析して、
予め算出した前記各固有振動周波数のうち検査範囲であ
る所定周波数以下の固有振動周波数それぞれにおける振
動加速度のピーク値を導出し、 導出した前記各固有振動周波数におけるピーク値が、こ
れら各固有振動周波数それぞれについて予め設定した基
準値を越えているか否かによって不良の有無を検出し、
越えている場合にその基準値の固有振動周波数が各種部
材のいずれのものであるかにより不良の部位を特定する
ことを特徴とする振動検査方法。 - 【請求項２】 リング状の内輪及び外輪とこれら内外輪
間に配設された複数個のボールと各ボールを保持するリ
テーナとから成る玉軸受の回転時の振動状況を検査する
振動検査方法であって、 検査対象となる玉軸受のボールの径や個数、リテーナ、
内輪及び外輪の径等の構造データ、内輪または外輪に加
える予圧、回転数等の検査条件データに基づき、ボー
ル、リテーナ及び内外輪それぞれの１次及び２次以上の
高次の固有振動周波数を予め算出し、 検査対象となる玉軸受の内輪または外輪のいずれかに前
記検査条件データである予圧を加えつつ、前記検査条件
データである回転数で内輪または外輪を回転し、 回転していない外輪または内輪の振動加速度を加速度セ
ンサによって測定し、 前記加速度センサの出力を周波数スペクトル分析して、
予め算出した前記各固有振動周波数のうち検査範囲であ
る所定周波数以下の固有振動周波数それぞれにおける振
動加速度のピーク値を導出し、 導出した前記各固有振動周波数におけるピーク値が、こ
れら各固有振動周波数それぞれについて予め設定した基
準値を越えているか否かによって不良の有無を検出し、
越えている場合にその基準値の固有振動周波数がボー
ル、リテーナ、内輪、外輪のいずれのものであるかによ
り不良の部位を特定することを特徴とする振動検査方
法。 - 【請求項３】 複数の部材から成る回転体の回転時の振
動状況を検査する振動検査装置において、 検査対象となる回転体の各種部材の構造データ、回転数
等の検査条件データが入力され、これらの入力データに
基づき、各種部材それぞれの１次及び２次以上の高次の
固有振動周波数を予め算出して保持する保持部と、 前記検査条件データの回転数で回転中の回転体の振動加
速度を測定する加速度センサと、 前記保持部により算出された検査対象となる回転体の各
種部材それぞれの各固有振動周波数のうち検査範囲であ
る所定周波数以下の固有振動周波数を設定する設定部
と、 前記加速度センサの出力を周波数スペクトル分析する周
波数分析部と、 前記周波数分析部による分析結果が入力され前記設定部
により設定された各固有振動周波数それぞれにおける振
動加速度のピーク値を導出する多チャネルピーク導出部
と、 前記多チャネルピーク導出部により導出された前記各固
有振動周波数におけるピーク値が、これら各固有振動周
波数それぞれについて予め設定した基準値を越えている
か否かにより各種部材それぞれにおける不良の有無を判
定する判定部と、 前記多チャネルピーク導出部により導出される各ピーク
値及び前記判定部の判定結果を表示する表示手段とを備
えていることを特徴とする振動検査装置。 - 【請求項４】 リング状の内輪及び外輪とこれら内外輪
間に配設された複数個のボールと各ボールを保持するリ
テーナとから成る玉軸受の回転時の振動状況を検査する
振動検査装置において、 検査対象となる玉軸受のボールの径や個数、リテーナ、
内輪及び外輪の径等の構造データ、内輪または外輪に加
える予圧、回転数等の検査条件データが入力され、これ
らの入力データに基づき、ボール、リテーナ及び内外輪
それぞれの１次及び２次以上の高次の固有振動周波数を
予め算出して保持する保持部と、 検査する玉軸受の内輪または外輪に前記検査条件データ
である予圧を加える加圧手段と、 前記加圧手段により予圧を加えた状態で前記検査条件デ
ータである回転数で検査対象となる玉軸受の内輪または
外輪を回転する回転手段と、 回転していない検査中の玉軸受の外輪または内輪の振動
加速度を測定する加速度センサと、 前記保持部により算出されたボール、リテーナ、内輪、
外輪それぞれの各固有振動周波数のうち検査範囲である
所定周波数以下の固有振動周波数を設定する設定部と、 前記加速度センサの出力を周波数スペクトル分析する周
波数分析部と、 前記周波数分析部による分析結果が入力され前記設定部
により設定された各固有振動周波数それぞれにおける振
動加速度のピーク値を導出する多チャネルピーク導出部
と、 前記多チャネルピーク導出部により導出された前記各固
有振動周波数におけるピーク値が、これら各固有振動周
波数それぞれについて予め設定した基準値を越えている
か否かによりボール、リテーナ、内輪、外輪それぞれに
おける不良の有無を判定する判定部と、 前記多チャネルピーク導出部により導出される各ピーク
値及び前記判定部の判定結果を表示する表示手段とを備
えていることを特徴とする振動検査装置。 - 【請求項５】 前記周波数分析部による分析結果が入力
され前記所定周波数よりも高帯域における振動加速度の
ピーク値を導出する他のピーク導出部を更に備え、前記
表示手段が前記他のピーク導出部により導出されるピー
ク値を表示する機能をも有することを特徴とする請求項
３または４記載の振動検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9041495A JPH10221161A (ja) | 1997-02-10 | 1997-02-10 | 振動検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9041495A JPH10221161A (ja) | 1997-02-10 | 1997-02-10 | 振動検査方法及び検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10221161A true JPH10221161A (ja) | 1998-08-21 |
Family
ID=12609946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9041495A Withdrawn JPH10221161A (ja) | 1997-02-10 | 1997-02-10 | 振動検査方法及び検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10221161A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000051037A3 (en) * | 1999-02-22 | 2001-02-22 | Northeast Equipment Inc Doing | Apparatus and method for monitoring and maintaining plant equipment |
| WO2002037067A1 (fr) * | 2000-11-06 | 2002-05-10 | Nsk Ltd. | Dispositif et procede diagnostiquant des anomalies pour une installation mecanique |
| JP2003074478A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Toshiba Corp | 半導体製造装置用回転機の寿命予測方法及び半導体製造装置 |
| JP2003185535A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-03 | Nsk Ltd | 評価装置 |
| JP2009020090A (ja) * | 2007-06-11 | 2009-01-29 | Nsk Ltd | 異常診断装置、及び異常診断方法 |
| JP2009109267A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Nsk Ltd | 転がり軸受の異常判定方法及び異常判定装置 |
| CN104266748A (zh) * | 2014-09-15 | 2015-01-07 | 无锡双益精密机械有限公司 | 一种轴承噪音自动检测机 |
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