JPH10213802A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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Publication number
JPH10213802A
JPH10213802A JP1534497A JP1534497A JPH10213802A JP H10213802 A JPH10213802 A JP H10213802A JP 1534497 A JP1534497 A JP 1534497A JP 1534497 A JP1534497 A JP 1534497A JP H10213802 A JPH10213802 A JP H10213802A
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JP
Japan
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liquid crystal
display device
alignment
crystal display
region
Prior art date
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Pending
Application number
JP1534497A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Tsumura
顯 津村
Masaya Mizunuma
昌也 水沼
Shin Tabata
伸 田畑
Akira Tamaya
晃 玉谷
Yasuhiro Morii
康裕 森井
Masayuki Fujii
雅之 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal display device having high numerical aperture by making an opening of a black matrix large by fixing a descreenation line which is formed at a boundary part between regions having deferent orientations of liquid crystal molecules held between a TFT array substrate and a counter substrate and causes light leakage to an outside of a pixel electrode. SOLUTION: Soluble polyimide is transferred on surfaces of the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10 and then is cured to form a polyimide film. Whole surface of the polyimide film is subjected to a rubbing treatment. Then, a region (region on a bus line) on which an intermediate oriented film 14b is formed is covered by using a resist and the rubbing treatment is applied again onto the resist by changing rubbing direction to execute the rubbing treatment only on a region (region on a pixel electrode) which is not covered with resist and on which an oriented film 14a on a pixel is formed. In the oriented films 14 thus formed, the oriented film 14a on the pixel and the intermediate oriented film 14b have different orientation directions.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示装置に
係わり、特にTN(ツイスティッド・ネマティック)方
式のアクティブマトリクス型液晶表示装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a TN (twisted nematic) type active matrix liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、薄型軽量、低消費電力という大き
な利点を有する液晶表示装置は、日本語ワードプロセッ
サ、ディスクトップパーソナルコンピュータ、ノートパ
ソコン等のパーソナルOA機器の表示装置や、テレビ等
の映像表示装置として積極的に用いられている。特に、
アクティブマトリクス型の液晶表示装置は、高解像度の
表示が実現できることから開発が盛んに行われている。
従来のアクティブマトリクス型液晶表示装置のアレイ基
板は、透明絶縁性基板の一主面上に、行方向に複数の走
査バスラインと列方向に複数の信号バスラインが配列形
成されると共に、走査バスラインと信号バスラインが交
差する位置に、スイッチング素子としての薄膜トランジ
スタ(以下、TFTと称する)およびこれに接続される
画素電極からなる一画素が形成され、その上に配向膜が
形成されている。一方、対向基板は、透明絶縁性基板の
一主面上に共通電極が形成され、その上に配向膜が形成
されている。このような構造を有するアレイ基板と対向
基板を電極等が形成されている面を対向させ、この間に
液晶材料を挟持して液晶パネルを構成している。通常の
液晶パネルでは、TFTアレイ基板側と対向基板側の配
向膜は互いに90度ずらした方向に配向処理されている
ため、二枚の基板間に挟持された液晶分子が厚さ方向に
90度ねじれて並ぶTN液晶が用いられている。
2. Description of the Related Art In recent years, liquid crystal display devices having great advantages such as thinness and light weight and low power consumption have been used for display devices for personal OA equipment such as a Japanese word processor, desktop personal computer, and notebook personal computer, and for video display devices such as televisions. It is actively used as Especially,
Active matrix liquid crystal display devices are being actively developed because they can realize high-resolution display.
An array substrate of a conventional active matrix type liquid crystal display device has a plurality of scanning bus lines arranged in a row direction and a plurality of signal bus lines arranged in a column direction on one main surface of a transparent insulating substrate. At a position where the line and the signal bus line intersect, one pixel including a thin film transistor (hereinafter, referred to as a TFT) as a switching element and a pixel electrode connected thereto is formed, and an alignment film is formed thereon. On the other hand, in the counter substrate, a common electrode is formed on one main surface of a transparent insulating substrate, and an alignment film is formed thereon. An array substrate having such a structure is opposed to a counter substrate on a surface on which electrodes and the like are formed, and a liquid crystal material is sandwiched therebetween to form a liquid crystal panel. In a normal liquid crystal panel, since the alignment films on the TFT array substrate side and the counter substrate side are oriented in directions shifted from each other by 90 degrees, the liquid crystal molecules sandwiched between the two substrates are turned by 90 degrees in the thickness direction. Twisted TN liquid crystals are used.

【0003】図17は従来の一般的な液晶表示装置の概
略断面図である。図において、1はガラス基板等の透明
絶縁性基板、2は透明絶縁性基板1上に形成された走査
(ゲート)バスライン、4は絶縁層を介して走査バスラ
イン2上に形成された信号(ソース)バスライン、8は
画素電極、9は透明絶縁性基板1上に複数の走査バスラ
イン2と信号バスライン4が配列形成されると共に、平
行する各々二本の走査バスライン2と信号バスライン4
で区画された領域にスイッチング素子としてのTFT
(図示せず)と画素電極8が形成されたTFTアレイ基
板である。10は対向基板で、透明絶縁性基板1上に表
示不良の原因となる光を遮光するためのブラックマトリ
クス11、カラーフィルタ等の着色層12、共通電極1
3が形成されている。14はTFTアレイ基板9と対向
基板10の表面に形成された配向膜で、TN方式の液晶
表示装置ではTFTアレイ基板9側と対向基板10側の
配向膜14は互いに90度ずらした方向に配向処理され
ている。16はTFTアレイ基板9と対向基板10の間
に挟持された液晶層、16aは液晶層16を構成する液
晶分子、17は液晶分子16aがプレチルト(電圧無印
加状態で液晶分子が基板と形成する傾斜)の方向とは異
なる方向に立ち上がるリバースチルト領域(配向異常領
域)、19は正常な配向領域とリバースチルト領域17
の境界に生じるディスクリネーションラインである。
FIG. 17 is a schematic sectional view of a conventional general liquid crystal display device. In the figure, 1 is a transparent insulating substrate such as a glass substrate, 2 is a scanning (gate) bus line formed on the transparent insulating substrate 1, and 4 is a signal formed on the scanning bus line 2 via an insulating layer. A (source) bus line, 8 is a pixel electrode, 9 is a plurality of scanning bus lines 2 and signal bus lines 4 arranged and formed on a transparent insulating substrate 1, and two scanning bus lines 2 and signal lines are arranged in parallel. Bus line 4
TFT as a switching element in the area defined by
(Not shown) and a TFT array substrate on which pixel electrodes 8 are formed. Reference numeral 10 denotes a counter substrate, a black matrix 11 for shielding light that causes display defects on the transparent insulating substrate 1, a colored layer 12 such as a color filter, and a common electrode 1.
3 are formed. Reference numeral 14 denotes an alignment film formed on the surface of the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10. In a TN type liquid crystal display device, the alignment films 14 on the TFT array substrate 9 side and the counter substrate 10 side are oriented in directions shifted from each other by 90 degrees. Is being processed. Reference numeral 16 denotes a liquid crystal layer sandwiched between the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10, 16a denotes liquid crystal molecules constituting the liquid crystal layer 16, and 17 denotes pretilt of the liquid crystal molecules 16a (the liquid crystal molecules form with the substrate in a state where no voltage is applied). A reverse tilt region (abnormal orientation region) rising in a direction different from the direction of (tilt) 19 is a normal orientation region and a reverse tilt region 17.
Is a disclination line generated at the boundary of.

【0004】このようなTN方式の液晶表示装置では、
画素電極8の周囲に走査バスライン2および信号バスラ
イン4が形成されており、液晶表示装置の動作時に、画
素電極8に電圧を印加すると、図17に示すように、大
部分の液晶分子16aは、予め配向膜14によって与え
られたプレチルト(電圧無印加状態で液晶分子が基板と
形成する傾斜)に従い正常なチルト方向に立ち上がる
が、走査バスライン2および信号バスライン4に印加さ
れる電位は画素電極8に印加される電位と異なっている
ため、走査バスライン2および信号バスライン4近傍お
よび画素電極8の周辺部では、バスラインからの横方向
電界によって、画素電極8内部での液晶分子16aのプ
レチルトの方向とは異なる方向に液晶分子16aが立ち
上がるリバースチルトと呼ばれる現象が生じ、リバース
チルト領域(配向異常領域)17が形成される。リバー
スチルト領域と、正常な配向領域との境界はディスクリ
ネーションライン19と呼ばれ、ここから光漏れが生じ
て画質不良の原因となるため、ブラックマトリクス11
で覆われている。しかし、このディスクリネーションラ
イン19の発生する位置は、バスラインに印加される電
圧によって変動するため、光漏れを防止するためには、
ブラックマトリクス11の形成部分を充分に大きくする
必要があり、液晶パネルの開口率を低下させるという問
題がある。
In such a TN type liquid crystal display device,
The scanning bus line 2 and the signal bus line 4 are formed around the pixel electrode 8, and when a voltage is applied to the pixel electrode 8 during the operation of the liquid crystal display device, as shown in FIG. Rises in a normal tilt direction according to a pretilt (tilt formed by liquid crystal molecules with the substrate in a state where no voltage is applied) given by the alignment film 14 in advance, but the potential applied to the scanning bus line 2 and the signal bus line 4 is Since the potential is different from the potential applied to the pixel electrode 8, in the vicinity of the scanning bus line 2 and the signal bus line 4 and in the peripheral portion of the pixel electrode 8, the liquid crystal molecules inside the pixel electrode 8 are generated by the lateral electric field from the bus line. A phenomenon called reverse tilt in which the liquid crystal molecules 16a rise in a direction different from the pretilt direction of the pretilt 16a occurs, and a reverse tilt region (alignment difference) occurs. Region) 17 is formed. The boundary between the reverse tilt region and the normal alignment region is called a disclination line 19, which causes light leakage and causes image quality failure.
Covered with. However, since the position where the disclination line 19 occurs varies depending on the voltage applied to the bus line, in order to prevent light leakage,
It is necessary to make the portion where the black matrix 11 is formed sufficiently large, and there is a problem that the aperture ratio of the liquid crystal panel is reduced.

【0005】従来提案されたリバースチルトによる配向
異常領域の発生を防止する方法として、特開平7−12
0765号公報では、画素電極上をラビングにより平行
配向処理し、画素電極周辺部およびバスライン上を傾斜
垂直配向とすることにより、横方向電界によって画素電
極周辺部の液晶分子の配向が平行方向に傾く現象を緩和
させる方法が提案されている。また、特開平8−036
181号公報では、画素電極領域と画素周辺領域におけ
る液晶分子のプレチルト角を変えることにより、横方向
電界によってリバースチルトによる配向異常領域が発生
するのを防止する方法も提案されている。
As a method for preventing the occurrence of an abnormal alignment region due to a reverse tilt proposed in the prior art, Japanese Patent Laid-Open No.
In the publication No. 0765, the alignment of the liquid crystal molecules in the peripheral portion of the pixel electrode in the parallel direction is caused by the lateral electric field by performing the parallel alignment process by rubbing on the pixel electrode and the tilted vertical alignment in the peripheral portion of the pixel electrode and on the bus line. A method for alleviating the tilt phenomenon has been proposed. Also, JP-A-8-036
Japanese Patent Publication No. 181 proposes a method of preventing the occurrence of an abnormal alignment region due to a reverse tilt due to a lateral electric field by changing a pretilt angle of liquid crystal molecules in a pixel electrode region and a pixel peripheral region.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
液晶表示装置においては、リバースチルト領域17の発
生に起因するディスクリネーションライン19を、充分
大きなブラックマトリクス11によって覆う必要がある
ため、液晶パネルの開口率が低下するという問題があっ
た。このリバースチルトによる配向異常領域の発生を防
止する方法として、従来いくつかの方法が提案されてき
たが、いずれもリバースチルト現象が生じるのを緩和す
るに留まり、完全にディスクリネーションラインの発生
を防止することはできない。
As described above, in the conventional liquid crystal display device, it is necessary to cover the disclination line 19 caused by the occurrence of the reverse tilt region 17 with a sufficiently large black matrix 11. There is a problem that the aperture ratio of the liquid crystal panel is reduced. As a method of preventing the occurrence of the abnormal alignment region due to the reverse tilt, several methods have been conventionally proposed.However, all of these methods only reduce the occurrence of the reverse tilt phenomenon and completely reduce the occurrence of the disclination line. It cannot be prevented.

【0007】この発明は、上記のような問題を解決する
ためになされたもので、高開口率の液晶表示装置を提供
することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a liquid crystal display device having a high aperture ratio.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明に係わる液晶表
示装置は、透明絶縁性基板と、透明絶縁性基板上で行方
向に形成された複数本の走査バスライン、および走査バ
スラインと交差する列方向に形成された複数本の信号バ
スラインと、平行する各々二本の走査バスラインと信号
バスラインで区画された領域にスイッチング素子および
スイッチング素子と電気的に接続された画素電極とを有
する第一の基板と、他の透明絶縁性基板上にブラックマ
トリクスおよび対向電極が形成された第二の基板と、第
一の基板および第二の基板上に形成された配向膜と、対
向する第一の基板および第二の基板間に挟持された液晶
分子からなる液晶層を備え、第一の基板および第二の基
板上に形成された少なくともいずれか一方の配向膜は、
液晶分子の配向を互いに異ならせる領域を有すると共
に、この領域の境界を隣接する画素電極間に少なくとも
ーつ有するよう処理されているものである。また、液晶
分子の配向が互いに異なる領域の境界は、画素電極と走
査バスラインおよび信号バスラインの間にある。また
は、液晶分子の配向が互いに異なる領域の境界は、走査
バスラインおよび信号バスライン上にある。
A liquid crystal display device according to the present invention intersects a transparent insulating substrate, a plurality of scanning bus lines formed in a row direction on the transparent insulating substrate, and the scanning bus lines. It has a plurality of signal bus lines formed in the column direction, and a switching element and a pixel electrode electrically connected to the switching element in a region partitioned by two scanning bus lines and signal bus lines each in parallel. A first substrate, a second substrate having a black matrix and a counter electrode formed on another transparent insulating substrate, and an alignment film formed on the first substrate and the second substrate, It comprises a liquid crystal layer composed of liquid crystal molecules sandwiched between one substrate and a second substrate, at least one of the alignment films formed on the first substrate and the second substrate,
It has a region in which the orientations of liquid crystal molecules are different from each other, and is processed to have at least one boundary between the regions between adjacent pixel electrodes. In addition, boundaries between regions where the orientations of liquid crystal molecules are different from each other are between the pixel electrodes and the scanning bus lines and the signal bus lines. Alternatively, boundaries between regions where the orientations of liquid crystal molecules are different from each other are on the scanning bus lines and the signal bus lines.

【0009】また、液晶分子の配向が互いに異なる領域
は、配向膜を異なる配向方向に配向処理することにより
形成されているものである。または、液晶分子の配向が
互いに異なる領域は、配向膜の配向強度(アンカリング
強度)が異なるよう配向処理することにより形成されて
いるものである。または、液晶分子の配向が互いに異な
る領域は、液晶分子のプレチルト角が異なるよう配向膜
を配向処理することにより形成されているものである。
また、配向膜を構成する材料あるいは配向膜の表面状態
を所定の領域で異ならせることにより、配向膜の配向強
度あるいは液晶分子のプレチルト角を変えているもので
ある。または、液晶分子の配向が互いに異なる領域の境
界は、配向膜をエッチングして形成された溝部により形
成されているものである。または、液晶分子の配向が互
いに異なる領域の境界は、配向膜に形成された凸部によ
り形成されているものである。
The regions in which the alignment of the liquid crystal molecules is different from each other are formed by performing an alignment treatment on the alignment film in different alignment directions. Alternatively, the regions where the orientations of the liquid crystal molecules are different from each other are formed by performing an orientation treatment so that the orientation strength (anchoring strength) of the orientation film is different. Alternatively, regions where the orientations of the liquid crystal molecules are different from each other are formed by subjecting the orientation film to an orientation treatment so that the pretilt angles of the liquid crystal molecules are different.
Further, the alignment strength of the alignment film or the pretilt angle of the liquid crystal molecules is changed by changing the material forming the alignment film or the surface state of the alignment film in a predetermined region. Alternatively, boundaries between regions in which the orientations of the liquid crystal molecules are different from each other are formed by grooves formed by etching the orientation film. Alternatively, boundaries between regions in which the orientations of liquid crystal molecules are different from each other are formed by protrusions formed in the orientation film.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

実施の形態1.以下、この発明の一実施の形態である液
晶表示装置を図について説明する。図1は本発明の実施
の形態1による液晶表示装置の一画素部分の概略平面
図、図2は図1のA−A線に沿った断面図である。図に
おいて、1はガラス基板等の透明絶縁性基板、2は透明
絶縁性基板1上に形成された走査(ゲート)バスライン
で、複数本が所定の間隔を有して平行に形成されてい
る。3は補助容量線、4は絶縁層を介して走査バスライ
ン2上に形成された信号(ソース)バスラインで、複数
本が所定の間隔を有して平行に形成されると共に、走査
バスライン2と信号バスライン4は互いに交差する方向
に配列形成されている。5はスイッチング素子としての
TFTで、走査バスライン2と信号バスライン4の交差
部分に形成されている。6、7はTFTの構成要素であ
るソース電極とドレイン電極で、ソース電極6は信号バ
スライン4から延長して形成され、ドレイン電極7は画
素電極8と電気的に接続されている。9は透明絶縁性基
板1上に複数の走査バスライン2と信号バスライン4が
配列形成されると共に、平行する各々二本の走査バスラ
イン2と信号バスライン4で区画された領域にスイッチ
ング素子としてのTFT5と画素電極8が形成されたT
FTアレイ基板である。
Embodiment 1 FIG. Hereinafter, a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic plan view of one pixel portion of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. In the figure, reference numeral 1 denotes a transparent insulating substrate such as a glass substrate, and 2 denotes a scanning (gate) bus line formed on the transparent insulating substrate 1, a plurality of which are formed in parallel with a predetermined interval. . Reference numeral 3 denotes an auxiliary capacitance line, and 4 denotes a signal (source) bus line formed on the scanning bus line 2 via an insulating layer. A plurality of signal (source) bus lines are formed in parallel at a predetermined interval. 2 and the signal bus line 4 are arranged in a direction crossing each other. Reference numeral 5 denotes a TFT as a switching element, which is formed at the intersection of the scanning bus line 2 and the signal bus line 4. Reference numerals 6 and 7 denote a source electrode and a drain electrode which are components of the TFT. The source electrode 6 is formed to extend from the signal bus line 4, and the drain electrode 7 is electrically connected to the pixel electrode 8. Reference numeral 9 denotes a plurality of scanning bus lines 2 and signal bus lines 4 arranged and formed on the transparent insulating substrate 1 and switching elements in a region partitioned by two parallel scanning bus lines 2 and signal bus lines 4. TFT 5 on which TFT 5 and pixel electrode 8 are formed
It is an FT array substrate.

【0011】10は対向基板で、透明絶縁性基板1上に
表示不良の原因となる光を遮光するためのブラックマト
リクス11、カラーフィルタ等の着色層12、共通電極
13が形成されている。ブラックマトリクス11は画素
電極8以外の部分を覆うように形成されている。14は
TFTアレイ基板9と対向基板10の表面に形成された
配向膜で、画素電極8の外周部と走査バスライン2との
間の境界線15a、および画素電極8の外周部と信号バ
スライン4との間の境界線15bで囲まれた矩形状の領
域(画素電極8を含む領域で、以下、画素電極上領域と
称す)に形成されている配向膜を画素上配向膜14a
(TFTアレイ基板9上の配向膜)、14c(対向基板
10上の配向膜)、および近接する二本の境界線15a
間および近接する二本の境界線15b間の領域(走査バ
スライン2および信号バスライン4を含む領域で、以
下、バスライン上領域と称す)に形成されている配向膜
を中間配向膜14b(TFTアレイ基板9上の配向
膜)、14d(対向基板10上配向膜)とする。画素上
配向膜14aと中間配向膜14b、および画素上配向膜
14cと中間配向膜14dには、異なる配向処理が施さ
れている。また、16はTFTアレイ基板9と対向基板
10の間に挟持された液晶層、16aは液晶層16を構
成する液晶分子、18は液晶分子16aの配向が異なる
領域の境界に生じるディスクリネーションラインであ
る。
Reference numeral 10 denotes a counter substrate, on which a black matrix 11 for shielding light that causes display defects, a colored layer 12 such as a color filter, and a common electrode 13 are formed on the transparent insulating substrate 1. The black matrix 11 is formed so as to cover portions other than the pixel electrodes 8. Reference numeral 14 denotes an alignment film formed on the surface of the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10, and a boundary 15a between the outer peripheral portion of the pixel electrode 8 and the scanning bus line 2, and the outer peripheral portion of the pixel electrode 8 and the signal bus line. The alignment film formed in a rectangular region (a region including the pixel electrode 8 and hereinafter referred to as a pixel electrode upper region) surrounded by a boundary line 15b between the upper alignment film 14a and the upper alignment film 14a
(The alignment film on the TFT array substrate 9), 14c (the alignment film on the counter substrate 10), and two adjacent boundary lines 15a.
An alignment film formed in a region between and between two adjacent boundary lines 15b (a region including the scanning bus line 2 and the signal bus line 4; hereinafter, referred to as a region above the bus line) is replaced with an intermediate alignment film 14b ( (Alignment film on TFT array substrate 9) and 14d (alignment film on counter substrate 10). Different alignment treatments are applied to the on-pixel alignment film 14a and the intermediate alignment film 14b, and to the on-pixel alignment film 14c and the intermediate alignment film 14d. Reference numeral 16 denotes a liquid crystal layer sandwiched between the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10, 16a denotes liquid crystal molecules constituting the liquid crystal layer 16, and 18 denotes a disclination line generated at a boundary between regions in which the liquid crystal molecules 16a have different orientations. It is.

【0012】次に本実施の形態による液晶表示装置の製
造方法を説明する。まず、TFTアレイ基板9の製造方
法を説明する。まず透明絶縁性基板1の表面に250n
m厚の金属膜をスパッタ法により形成した後、写真製版
法により形成したレジストを用いてパターニングして、
ゲート電極(図示せず)を有する8μm幅の走査バスラ
イン2、および補助容量線3を形成し、その後レジスト
を除去する。次にプラズマCVD法により絶縁層となる
350nm厚のシリコン酸化膜、500nm厚のアモル
ファスシリコン膜、200nm厚のシリコン窒化膜を順
次形成した後、レジストを形成し、シリコン窒化膜をフ
ッ酸系エッチング液によりパターンエッチングしてチャ
ネル保護膜(図示せず)を形成し、その後レジストを除
去する。次に50nm厚の不純物がドープされたn+
アモルファスシリコン膜をプラズマCVD法により形成
した後、アモルファスシリコン膜およびn+ 型アモルフ
ァスシリコン膜を写真製版法により形成したレジストを
用いて同時にパターニングして、ゲート電極の上方の位
置に半導体層およびオーミックコンタクト層(図示せ
ず)を形成し、その後レジストを除去する。
Next, a method of manufacturing the liquid crystal display device according to the present embodiment will be described. First, a method for manufacturing the TFT array substrate 9 will be described. First, 250 n is applied to the surface of the transparent insulating substrate 1.
After forming a metal film having a thickness of m by sputtering, patterning is performed using a resist formed by photolithography,
An 8 μm-wide scanning bus line 2 having a gate electrode (not shown) and an auxiliary capacitance line 3 are formed, and then the resist is removed. Next, a silicon oxide film having a thickness of 350 nm, an amorphous silicon film having a thickness of 500 nm, and a silicon nitride film having a thickness of 200 nm are sequentially formed by a plasma CVD method, and then a resist is formed. To form a channel protective film (not shown), and then remove the resist. Next, an n + -type amorphous silicon film doped with an impurity having a thickness of 50 nm is formed by a plasma CVD method, and the amorphous silicon film and the n + -type amorphous silicon film are simultaneously patterned using a resist formed by a photoengraving method. Then, a semiconductor layer and an ohmic contact layer (not shown) are formed at a position above the gate electrode, and then the resist is removed.

【0013】次にスパッタ法により50nm厚のCr膜
および500nm厚のAl膜を連続して成膜した後、レ
ジストを形成し、Al膜を硝酸、燐酸、酢酸および水の
混酸溶液、およびCr膜を硝酸セリウムアンモニウム溶
液により順次パターンエッチングして、8μm幅の信号
バスライン4、ソース電極6およびドレイン電極7を形
成し、その後レジストを除去する。次にソース電極6と
ドレイン電極7をマスクとして、ソース電極6とドレイ
ン電極7の間に露出したn+ 型アモルファスシリコン膜
(オーミックコンタクト層)をエッチング除去する。次
に透明導電膜として100nm厚のITO(Indium Tin
Oxide)膜等をスパッタ法により形成した後、レジスト
を形成し、王水系エッチング液によりパターンエッチン
グして、縦100μm横300μmの矩形状の画素電極
8を形成し、その後レジストを除去する。最後にパッシ
ベーション膜として200nm厚のシリコン窒化膜を形
成する。
Next, a Cr film having a thickness of 50 nm and an Al film having a thickness of 500 nm are successively formed by sputtering, a resist is formed, and the Al film is mixed with a mixed acid solution of nitric acid, phosphoric acid, acetic acid and water, and a Cr film. Is sequentially pattern-etched with a cerium ammonium nitrate solution to form a signal bus line 4 having a width of 8 μm, a source electrode 6 and a drain electrode 7, and then the resist is removed. Next, using the source electrode 6 and the drain electrode 7 as a mask, the n + -type amorphous silicon film (ohmic contact layer) exposed between the source electrode 6 and the drain electrode 7 is removed by etching. Next, a 100 nm thick ITO (Indium Tin) is used as a transparent conductive film.
Oxide) After a film or the like is formed by a sputtering method, a resist is formed, and pattern etching is performed using an aqua regia-based etchant to form a rectangular pixel electrode 8 having a length of 100 μm and a width of 300 μm, and then the resist is removed. Finally, a 200-nm-thick silicon nitride film is formed as a passivation film.

【0014】以上の工程により形成されたTFTアレイ
基板9の表面に、配向膜用の転写版を用いて可溶性ポリ
イミドを転写し、プレキュアで溶媒分を飛散させた後に
アフターキュアを行い、約100nm厚のポリイミド膜
を形成する。ポリイミド膜の配向処理は、まずポリイミ
ド膜の表面全体に通常のラビング布を巻いたラビングロ
ーラによるラビング処理を行う。次に中間配向膜14b
が形成される領域(バスライン上領域)を写真製版法に
より形成されたレジストを用いて被覆し、レジスト上か
らラビング方向を変えて再度ラビング処理して、レジス
トで被覆されていない画素上配向膜14aが形成される
領域(画素電極上領域)のみラビング処理する。最後に
レジストを除去し、洗浄および乾燥を行う。このように
して形成された配向膜14では、画素上配向膜14aと
中間配向膜14bの配向方向が異なっている。
The soluble polyimide is transferred to the surface of the TFT array substrate 9 formed by the above steps using a transfer plate for an alignment film, and after the solvent is scattered by pre-curing, after-curing is performed to obtain a film having a thickness of about 100 nm. Is formed. In the orientation treatment of the polyimide film, first, a rubbing treatment is performed by a rubbing roller in which a normal rubbing cloth is wound over the entire surface of the polyimide film. Next, the intermediate alignment film 14b
Is formed using a resist formed by a photoengraving method, the rubbing direction is changed from above the resist, and the rubbing treatment is performed again, so that an alignment film on the pixel which is not covered with the resist is formed. The rubbing process is performed only on the region where the region 14a is formed (region on the pixel electrode). Finally, the resist is removed, and washing and drying are performed. In the alignment film 14 thus formed, the alignment directions of the on-pixel alignment film 14a and the intermediate alignment film 14b are different.

【0015】次に、対向基板10の製造方法について説
明する。まず透明絶縁性基板1の表面に300nm厚の
Cr等の金属膜をスパッタ法により形成した後、写真製
版法により形成したレジストを用いて格子形状にパター
ニングしてブラックマトリクス11を形成し、その後レ
ジストを除去する。次に格子形状のブラックマトリクス
11の開口部に、顔料分散型レジストを用いて1. 5μ
m厚の赤、青、緑の着色層12を形成する。次に共通電
極13として透明導電膜を100nm厚スパッタ法によ
り形成する。以上の工程により形成された対向基板10
の表面に、配向膜用の転写版を用いて可溶性ポリイミド
を転写し、プレキュアで溶媒分を飛散させた後にアフタ
ーキュアを行い、約100nm厚のポリイミド膜を形成
する。ポリイミド膜の配向処理は、TFTアレイ基板9
上の配向膜14と同様の方法により配向処理され、TF
Tアレイ基板9と対向基板10を対向させた場合に、T
FTアレイ基板9の画素上配向膜14aに対向する位置
に形成された対向基板10上の画素上配向膜14cと、
中間配向膜14bに対向する位置に形成された対向基板
10上の中間配向膜14dでは、配向方向が異なるよう
に配向処理されている。
Next, a method for manufacturing the counter substrate 10 will be described. First, a 300 nm-thick metal film such as Cr is formed on the surface of the transparent insulating substrate 1 by a sputtering method, and then patterned in a lattice shape using a resist formed by a photoengraving method to form a black matrix 11, and then the resist is formed. Is removed. Next, 1.5 μm was formed in the openings of the lattice-shaped black matrix 11 using a pigment-dispersed resist.
An m-thick red, blue, and green coloring layer 12 is formed. Next, a transparent conductive film is formed as the common electrode 13 by a 100-nm thick sputtering method. Counter substrate 10 formed by the above steps
The soluble polyimide is transferred to the surface of the substrate by using a transfer plate for an alignment film, the solvent is scattered by pre-curing, and after-curing is performed to form a polyimide film having a thickness of about 100 nm. The alignment treatment of the polyimide film is performed on the TFT array substrate 9
The alignment treatment is performed in the same manner as the alignment film 14 above, and TF
When the T array substrate 9 and the opposing substrate 10 face each other, T
An alignment film 14c on the counter substrate 10 formed at a position facing the alignment film 14a on the FT array substrate 9;
In the intermediate alignment film 14d on the counter substrate 10 formed at a position facing the intermediate alignment film 14b, the alignment processing is performed so that the alignment directions are different.

【0016】配向膜14が形成されたTFTアレイ基板
9の配向膜14の外周部に、シール材としてエポキシ系
接着剤を液晶注入口以外の部分に塗布し、一方、配向膜
14が形成された対向基板10の表面に、粒径5μmの
スペーサ(例えば、積水ファインケミカル社製のミクロ
バール)を散布する。次にTFTアレイ基板9と対向基
板10の配向膜14が形成された面を対向させて圧着
し、加熱によりシール材を硬化させ、TFTアレイ基板
9と対向基板10を貼り合わせる。このとき、対向する
画素上配向膜14aと14c、および中間配向膜14b
と14dは、配向方向が90度異なるように配向処理さ
れている。次に液晶注入口から液晶組成物として、例え
ば、ZL−1565(メルク社製)にS811(メルク
社製)を0. 1重量%添加したものを注入し、5μm厚
の液晶層16を形成した後、液晶注入口を紫外線硬化樹
脂を用いて封止する。最後に貼り合わされたTFTアレ
イ基板9と対向基板10の外側に偏光板(図示せず)を
配置することによりアクティブマトリクス型液晶表示装
置の液晶パネルを形成する。
An epoxy-based adhesive was applied as a sealing material to portions other than the liquid crystal injection port on the outer peripheral portion of the alignment film 14 of the TFT array substrate 9 on which the alignment film 14 was formed, while the alignment film 14 was formed. A spacer having a particle size of 5 μm (for example, Microbar manufactured by Sekisui Fine Chemical Co., Ltd.) is sprayed on the surface of the counter substrate 10. Next, the TFT array substrate 9 and the surface of the counter substrate 10 on which the alignment film 14 is formed are pressure-bonded to each other, the sealing material is cured by heating, and the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10 are bonded to each other. At this time, the opposing pixel alignment films 14a and 14c and the intermediate alignment film 14b
And 14d are oriented so that the orientation directions differ by 90 degrees. Next, as a liquid crystal composition, for example, ZL-1565 (manufactured by Merck) to which 0.1% by weight of S811 (manufactured by Merck) was added was injected to form a liquid crystal layer 16 having a thickness of 5 μm. Thereafter, the liquid crystal injection port is sealed with an ultraviolet curable resin. Finally, a liquid crystal panel of an active matrix type liquid crystal display device is formed by disposing a polarizing plate (not shown) on the outside of the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10 which are bonded together.

【0017】従来の液晶表示装置では、図17に示すよ
うに、共通電極13と画素電極8間に電圧を印加した直
後に、ディスクリネーションライン19が画素電極8上
に入り込み、その後次第に走査バスライン2あるいは信
号バスライン4側に移動する現象が見られるが、本構成
の液晶表示装置では、TFTアレイ基板9および対向基
板10上に配向方向が異なる画素上配向膜14a、14
cと中間配向膜14b、14dを形成して、液晶分子1
6aの配向に予めひずみを与えてディスクリネーション
ライン18を画素上配向膜14a、14cと中間配向膜
14b、14dの境界付近、すなわち画素電極8の外側
に発生させておくことにより、走査バスライン2あるい
は信号バスライン4に印加される電圧が変化して横方向
電界が生じてもディスクリネーションライン18はほと
んど移動しない。このような現象が生じる原因について
は、配向膜14から与えられる液晶分子16aの配向ひ
ずみによって発生するディスクリネーションライン18
の方が、バスラインからの横方向電界によるディスクリ
ネーションライン19よりエネルギー的に安定であるた
め、横方向電界により液晶分子16aの配向ひずみによ
って発生しているディスクリネーションライン18を消
滅あるいは移動させるだけのエネルギーを有しないため
と考えられる。
In the conventional liquid crystal display device, as shown in FIG. 17, immediately after a voltage is applied between the common electrode 13 and the pixel electrode 8, the disclination line 19 enters the pixel electrode 8, and thereafter the scanning bus is gradually increased. Although the phenomenon of moving to the line 2 or the signal bus line 4 side is observed, in the liquid crystal display device of this configuration, the pixel alignment films 14 a and 14 having different alignment directions are formed on the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10.
c and intermediate alignment films 14b and 14d to form liquid crystal molecules 1
By applying a strain to the orientation of 6a in advance and generating a disclination line 18 near the boundary between the on-pixel alignment films 14a, 14c and the intermediate alignment films 14b, 14d, that is, outside the pixel electrode 8, the scanning bus line Even if the voltage applied to the signal bus line 2 or the signal bus line 4 changes to generate a horizontal electric field, the disclination line 18 hardly moves. As for the cause of such a phenomenon, the disclination line 18 generated by the alignment distortion of the liquid crystal molecules 16 a given from the alignment film 14 is formed.
Is more energetically stable than the disclination line 19 due to the lateral electric field from the bus line, so that the disclination line 18 generated due to the orientation distortion of the liquid crystal molecules 16a due to the lateral electric field disappears or moves. This is probably because they do not have enough energy to make it work.

【0018】本構成の液晶表示装置を実際に駆動したと
ころ、図3に示すように、ディスクリネーションライン
18は、画素上配向膜14a、14cが形成された領域
と中間配向膜14b、14dが形成された領域の境界部
分であるB点に固定され、走査バスライン2あるいは信
号バスライン4に印加される電圧が変化してもディスク
リネーションライン18は移動しなかった。これに対し
て従来の液晶表示装置では、走査バスライン2あるいは
信号バスライン4に印加される電圧の変化により、ディ
スクリネーションライン19が最大画素電極8内のC点
まで達するため、ディスクリネーションライン19から
の光漏れを防止するためには、C点の位置までブラック
マトリクス11を形成しなければならなかった。
When the liquid crystal display device of this configuration is actually driven, as shown in FIG. 3, the disclination line 18 is formed by the region where the pixel alignment films 14a and 14c are formed and the intermediate alignment films 14b and 14d. The disclination line 18 did not move even when the voltage applied to the scanning bus line 2 or the signal bus line 4 was fixed at the point B, which is the boundary between the formed regions. On the other hand, in the conventional liquid crystal display device, the disclination line 19 reaches the point C in the maximum pixel electrode 8 due to a change in the voltage applied to the scanning bus line 2 or the signal bus line 4. In order to prevent light leakage from the line 19, the black matrix 11 had to be formed up to the position of the point C.

【0019】この発明によれば、TFTアレイ基板9お
よび対向基板10上に配向方向が異なる画素上配向膜1
4a、14cと中間配向膜14b、14dを形成し、予
め液晶分子16aの配向にひずみを与えてディスクリネ
ーションライン18を画素上配向膜14a、14cと中
間配向膜14b、14dの境界付近、すなわち画素電極
8の外側に発生させておくことにより、走査バスライン
2あるいは信号バスライン4に印加される電圧が変化し
て横方向電界が生じてもディスクリネーションライン1
8は移動しないため、ディスクリネーションライン18
からの光漏れを覆うためのブラックマトリクス11は画
素上配向膜14a、14cと中間配向膜14b、14d
の境界部分(B点)まで形成すればよく、その結果、液
晶表示装置の開口率を従来より約5%向上させることが
できる。
According to the present invention, on-pixel alignment film 1 having different alignment directions on TFT array substrate 9 and counter substrate 10.
4a, 14c and the intermediate alignment films 14b, 14d are formed, and the alignment of the liquid crystal molecules 16a is preliminarily strained so that the disclination line 18 is formed near the boundary between the on-pixel alignment films 14a, 14c and the intermediate alignment films 14b, 14d, By generating the voltage outside the pixel electrode 8, the voltage applied to the scanning bus line 2 or the signal bus line 4 changes and a horizontal electric field is generated.
8 does not move, so the disclination line 18
The black matrix 11 for covering light leakage from the pixel is composed of upper alignment films 14a and 14c and intermediate alignment films 14b and 14d.
May be formed up to the boundary portion (point B). As a result, the aperture ratio of the liquid crystal display device can be improved by about 5% as compared with the related art.

【0020】実施の形態2.実施の形態1では、画素電
極上領域と、バスライン上領域とで、配向方向が異なる
配向膜14を形成し、ディスクリネーションライン18
を画素電極8と走査バスライン2あるいは信号バスライ
ン4の間に固定したが、画素単位で一つおきに開口部を
有するレジストパターンを形成し、このレジスト上から
ラビング処理して、図4に示すように、隣接する画素間
で配向方向が異なる配向膜14を形成することにより、
ディスクリネーションライン18は、画素と画素の境界
付近に生じて固定されるため、ディスクリネーションラ
イン18からの光漏れを覆うためのブラックマトリクス
11の開口部を大きくでき、液晶表示装置の開口率を従
来より約4%向上させることができる。
Embodiment 2 In the first embodiment, the alignment film 14 having different alignment directions is formed in the region above the pixel electrode and the region above the bus line.
Is fixed between the pixel electrode 8 and the scanning bus line 2 or the signal bus line 4. However, a resist pattern having openings every other pixel is formed, and a rubbing process is performed on the resist. As shown, by forming an alignment film 14 having different alignment directions between adjacent pixels,
Since the disclination line 18 is formed and fixed near the boundary between pixels, the opening of the black matrix 11 for covering light leakage from the disclination line 18 can be enlarged, and the aperture ratio of the liquid crystal display device can be increased. Can be improved by about 4% compared to the related art.

【0021】実施の形態3.実施の形態1および実施の
形態2では、配向膜14を構成するポリイミド膜の配向
処理を写真製版法により所定のパターンを有するレジス
トを形成し、このレジスト上からラビング処理して所定
の領域で配向方向が異なる配向膜14を形成したが、所
定の領域に開口部を有する金属マスクを用い、このマス
ク上からラビング処理することによっても、所定の領域
で配向方向の異なる配向膜14を形成することができ
る。金属マスクのパターンを、実施の形態1と同様の画
素電極上領域に対応する位置に開口部を有するマスクを
用いた場合には、図2に示すように、ディスクリネーシ
ョンライン18は、画素電極8と走査バスライン2ある
いは信号バスライン4の間に固定されるため、ディスク
リネーションライン18からの光漏れを覆うためのブラ
ックマトリクス11の開口部を大きくでき、液晶表示装
置の開口率を従来より約3%向上させることができる。
また、金属マスクのパターンを、実施の形態2と同様の
画素単位でーつおきの画素に対応する位置に開口部を有
するマスクを用いた場合には、図4に示すように、ディ
スクリネーションライン18は、画素と画素の境界付近
に固定されるため、ディスクリネーションライン18か
らの光漏れを覆うためのブラックマトリクス11の開口
部を大きくでき、液晶表示装置の開口率を従来より約4
%向上させることができる。
Embodiment 3 In the first and second embodiments, the polyimide film constituting the alignment film 14 is formed by forming a resist having a predetermined pattern by a photoengraving method and then rubbing the resist onto a predetermined region. Although the alignment films 14 having different directions are formed, a metal mask having an opening in a predetermined region is used, and rubbing treatment is performed on the mask to form the alignment films 14 having different alignment directions in the predetermined region. Can be. When the metal mask pattern is a mask having an opening at a position corresponding to the region above the pixel electrode as in the first embodiment, as shown in FIG. 8 is fixed between the scanning bus line 2 and the signal bus line 4, the opening of the black matrix 11 for covering light leakage from the disclination line 18 can be enlarged, and the aperture ratio of the liquid crystal display device can be reduced. About 3%.
When a metal mask pattern having an opening at a position corresponding to every other pixel in the same pixel unit as in the second embodiment is used, as shown in FIG. Since the line 18 is fixed near the boundary between the pixels, the opening of the black matrix 11 for covering the light leakage from the disclination line 18 can be made large, and the aperture ratio of the liquid crystal display device can be reduced by about 4 from the conventional one.
% Can be improved.

【0022】実施の形態4.実施の形態1では、ポリイ
ミド膜を所定の領域でラビング方向を変えてラビング処
理することにより、所定の領域で配向方向の異なる配向
膜14を形成したが、ポリイミド膜の代わりに、光配向
機能、すなわち照射した紫外線の偏光方向に対応した方
向に液晶の配向機能を有する有機薄膜を用い、所定の領
域に開口部を有するマスクと偏光紫外線により、所定の
領域で配向方向の異なる配向膜を形成することができ
る。光配向機能を有する有機薄膜を用いた場合の配向処
理方法は、まず所定の領域に開口部を有するマスクを介
して紫外線を照射し、次に上記のマスクと開口部の位置
が逆のマスクを介して偏光方向が異なる紫外線を照射す
る。
Embodiment 4 In the first embodiment, the alignment film 14 having a different alignment direction is formed in a predetermined region by changing the rubbing direction in a predetermined region by performing a rubbing process on the polyimide film. However, instead of the polyimide film, an optical alignment function, That is, using an organic thin film having a liquid crystal alignment function in a direction corresponding to the polarization direction of the irradiated ultraviolet light, an alignment film having a different alignment direction is formed in a predetermined region by using a mask having an opening in a predetermined region and polarized ultraviolet light. be able to. In the case of using an organic thin film having an optical alignment function, the alignment treatment method is as follows. First, ultraviolet light is irradiated through a mask having an opening in a predetermined region, and then a mask in which the position of the opening is opposite to that of the above mask is used. UV light having a different polarization direction is irradiated through the light source.

【0023】配向方向の異なる領域を、図2に示すよう
に、画素電極上領域とバスライン上領域とする場合に
は、まず、画素電極上領域に対応する位置に開口部を有
するマスクを介して紫外線を照射し、次に上記のマスク
と開口部の位置が逆のマスクを介して偏光方向が異なる
紫外線を照射する。このようにして画素電極上領域とバ
スライン上領域で配向方向の異なる配向膜14を形成す
ることによっても、ディスクリネーションライン18
を、画素電極8と走査バスライン2あるいは信号バスラ
イン4の間に固定できるため、ディスクリネーションラ
イン18からの光漏れを覆うためのブラックマトリクス
11の開口部を大きくして、液晶表示装置の開口率を従
来より約3%向上させることができる。なお、図5に示
すように、バスライン上領域に形成される配向膜14
に、配向方向が異なる複数の領域を形成してもよい。こ
のとき配向方向が異なる領域の境界毎にディスクリネー
ションラインが生じる。また、配向方向の異なる領域
を、図4に示すように、隣接する画素間とする場合に
は、まず画素単位でーつおきの画素に対応する位置に開
口部を有するマスクを介して紫外線を照射し、次に上記
のマスクと開口部の位置が逆のマスクを介して偏光方向
が異なる紫外線を照射する。このようにして隣接する画
素間で配向方向の異なる配向膜14を形成することによ
っても、ディスクリネーションライン18を、画素と画
素の境界付近に固定できるため、ディスクリネーション
ライン18からの光漏れを覆うためのブラックマトリク
ス11の開口部を大きくして、液晶表示装置の開口率を
従来より約3%向上させることができる。
As shown in FIG. 2, when the regions having different alignment directions are a region above the pixel electrode and a region above the bus line, first, a mask having an opening at a position corresponding to the region above the pixel electrode is provided. Then, ultraviolet rays having different polarization directions are irradiated through a mask in which the position of the opening is opposite to that of the mask. By forming the alignment film 14 having different alignment directions in the region above the pixel electrode and the region above the bus line in this manner, the disclination line 18 can be formed.
Can be fixed between the pixel electrode 8 and the scanning bus line 2 or the signal bus line 4. Therefore, the opening of the black matrix 11 for covering the light leakage from the disclination line 18 is enlarged, The aperture ratio can be improved by about 3% compared to the related art. Incidentally, as shown in FIG. 5, the alignment film 14 formed in the region above the bus line is formed.
In addition, a plurality of regions having different alignment directions may be formed. At this time, a disclination line is generated at each boundary between regions having different orientation directions. When the regions having different alignment directions are located between adjacent pixels as shown in FIG. 4, ultraviolet light is first applied through a mask having openings at positions corresponding to every other pixel in pixel units. Then, ultraviolet rays having different polarization directions are irradiated through a mask in which the positions of the openings are opposite to those of the above mask. By forming the alignment films 14 having different alignment directions between adjacent pixels in this manner, the disclination line 18 can be fixed near the boundary between pixels, and thus light leakage from the disclination line 18 can be prevented. The opening ratio of the black matrix 11 for covering the liquid crystal display device can be increased, and the aperture ratio of the liquid crystal display device can be improved by about 3% compared with the related art.

【0024】実施の形態5.図6および図7はこの発明
の実施の形態5を示す液晶表示装置の概略断面図であ
る。図において、20は第一ポリイミド膜、21は第二
ポリイミド膜である。なお、その他の構成は図2に示す
実施の形態1と同様であるので説明を省略する。次に、
本実施の形態による液晶表示装置の製造方法について説
明する。まず、実施の形態1と同様の方法によりTFT
アレイ基板9および対向基板10を形成する。次にTF
Tアレイ基板9および対向基板10の表面にポリアミッ
ク酸溶液を転写版で転写し、プレキュアで溶媒分を飛散
させた後にアフターキュアして、第一ポリイミド膜20
を形成する。次に第一ポリイミド膜20上に、可溶性ポ
リイミド溶液を転写版で転写し、プレキュアで溶媒分を
飛散させた後にアフターキュアして第二ポリイミド膜2
1を形成する。次にレジストを塗布し、露光、現像によ
りレジストパターンを形成し、このレジストを用いて第
二ポリイミド膜21をエッチング除去し、所定の領域に
のみ第二ポリイミド膜21を形成する。次にレジストを
除去後、全面を配向処理する。このとき、全面を同時に
配向処理したが、第一ポリイミド膜20と第二ポリイミ
ド膜21では膜質が異なるため、異なる配向処理強度で
配向処理され、第一ポリイミド膜20が形成された領域
と第二ポリイミド膜21が形成された領域では配向膜1
4の配向強度(アンカリング強度)が異なり、液晶分子
16aの配向にひずみを与えることができる。以降は、
実施の形態1と同様の方法により液晶表示装置を形成す
る。
Embodiment 5 6 and 7 are schematic sectional views of a liquid crystal display device according to Embodiment 5 of the present invention. In the figure, reference numeral 20 denotes a first polyimide film, and reference numeral 21 denotes a second polyimide film. The other configuration is the same as that of the first embodiment shown in FIG. next,
A method for manufacturing the liquid crystal display device according to the present embodiment will be described. First, a TFT is formed in the same manner as in the first embodiment.
An array substrate 9 and a counter substrate 10 are formed. Then TF
The polyamic acid solution is transferred to the surface of the T-array substrate 9 and the counter substrate 10 by a transfer plate, and after the solvent is scattered by pre-curing, the after-curing is performed.
To form Next, the soluble polyimide solution is transferred onto the first polyimide film 20 with a transfer plate, and the solvent is scattered by pre-curing.
Form one. Next, a resist is applied, a resist pattern is formed by exposure and development, and the second polyimide film 21 is removed by etching using the resist, so that the second polyimide film 21 is formed only in a predetermined region. Next, after removing the resist, the entire surface is subjected to an alignment treatment. At this time, the entire surface was simultaneously subjected to the alignment treatment. However, since the first polyimide film 20 and the second polyimide film 21 have different film qualities, the first polyimide film 20 and the second polyimide film 20 are subjected to the alignment treatment at different strengths. In the region where the polyimide film 21 is formed, the alignment film 1 is formed.
4 have different alignment strengths (anchoring strengths), which can give a distortion to the alignment of the liquid crystal molecules 16a. Later,
A liquid crystal display device is formed by a method similar to that of the first embodiment.

【0025】図6は、第二ポリイミド膜21を画素単位
でーつおきに形成した場合で、このようにして形成され
た配向膜14は、隣接する画素間で配向処理強度(ある
いはアンカリング強度)が異なるため、ディスクリネー
ションライン18を、画素と画素の境界付近に固定で
き、ディスクリネーションライン18からの光漏れを覆
うためのブラックマトリクス11の開口部を大きくし
て、液晶表示装置の開口率を従来より約4%向上させる
ことができる。また、図7は、第二ポリイミド膜21を
画素電極上領域に形成した場合で、このようにして形成
された配向膜14は、画素電極上領域とバスライン上領
域では配向処理強度(あるいはアンカリング強度)が異
なるため、ディスクリネーションライン18を画素電極
8と走査バスライン2あるいは信号バスライン4の間に
固定できるため、ディスクリネーションライン18から
の光漏れを覆うためのブラックマトリクス11の開口部
を大きくして、液晶表示装置の開口率を従来より約5%
向上させることができる。
FIG. 6 shows a case where the second polyimide film 21 is formed every other pixel, and the alignment film 14 formed in this manner has an alignment processing strength (or anchoring strength) between adjacent pixels. ), The disclination line 18 can be fixed near the boundary between the pixels, and the opening of the black matrix 11 for covering the light leakage from the disclination line 18 is increased, so that the liquid crystal display device The aperture ratio can be improved by about 4% compared to the related art. FIG. 7 shows a case where the second polyimide film 21 is formed in the region above the pixel electrode. The alignment film 14 thus formed has an alignment treatment strength (or an anchor strength) in the region above the pixel electrode and the region above the bus line. Since the disclination line 18 is different, the disclination line 18 can be fixed between the pixel electrode 8 and the scanning bus line 2 or the signal bus line 4, so that the black matrix 11 for covering light leakage from the disclination line 18 is formed. Enlarged aperture to increase liquid crystal display device aperture ratio by about 5%
Can be improved.

【0026】実施の形態6.図8および図9はこの発明
の実施の形態6を示す液晶表示装置の概略断面図であ
る。なお、図中の符号は実施の形態1と同様であるので
説明を省略する。次に、本実施の形態による液晶表示装
置の製造方法について説明する。まず、実施の形態1と
同様の方法によりTFTアレイ基板9および対向基板1
0を形成する。次にTFTアレイ基板9および対向基板
10の表面に、可溶性ポリイミド溶液を転写版で転写
し、プレキュアで溶媒分を飛散させた後にアフターキュ
アを行い、ポリイミド膜を形成後、全面を配向処理して
配向膜14を形成する。次に所定の領域に開口部を有す
るマスクを介して紫外線を照射した後に、γ−ブチロラ
クトンで洗浄する。このとき、紫外線を照射した領域の
配向膜14は、γ−ブチロラクトンに一部溶解し、紫外
線を照射していない領域より配向処理強度(あるいはア
ンカリング強度)が弱くなる。その結果、紫外線を照射
した領域と照射していない領域では配向膜14の表面状
態が異なるため配向処理強度が異なり、紫外線を照射し
た領域と照射していない領域の液晶分子16aの配向に
ひずみを与えることができる。以降は、実施の形態1と
同様の方法により液晶表示装置を形成する。
Embodiment 6 FIG. 8 and 9 are schematic sectional views of a liquid crystal display device according to Embodiment 6 of the present invention. Note that the reference numerals in the figure are the same as those in the first embodiment, and a description thereof will be omitted. Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device according to the present embodiment will be described. First, the TFT array substrate 9 and the counter substrate 1 are formed in the same manner as in the first embodiment.
0 is formed. Next, a soluble polyimide solution is transferred to the surface of the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10 by a transfer plate, and after solvent is scattered by pre-curing, after-curing is performed. An alignment film 14 is formed. Next, after irradiating ultraviolet rays through a mask having an opening in a predetermined region, the substrate is washed with γ-butyrolactone. At this time, the alignment film 14 in the region irradiated with ultraviolet light partially dissolves in γ-butyrolactone, and the alignment treatment strength (or anchoring strength) is lower than that in the region not irradiated with ultraviolet light. As a result, since the surface state of the alignment film 14 is different between the region irradiated with the ultraviolet light and the region not irradiated with the ultraviolet light, the intensity of the alignment treatment is different, and the alignment of the liquid crystal molecules 16a in the region irradiated with the ultraviolet light and the region not irradiated with the ultraviolet light is distorted. Can be given. Thereafter, a liquid crystal display device is formed by the same method as in the first embodiment.

【0027】図8は、画素単位でーつおきの画素に対応
する位置に開口部を有するマスクを介して紫外線を照射
した場合で、このようにして形成された配向膜14は、
隣接する画素間で配向処理強度(あるいはアンカリング
強度)が異なるため、ディスクリネーションライン18
を、画素と画素の境界付近に固定でき、ディスクリネー
ションライン18からの光漏れを覆うためのブラックマ
トリクス11の開口部を大きくして、液晶表示装置の開
口率を従来より約3%向上させることができる。また、
図9は、バスライン上領域に対応する位置に開口部を有
するマスクを介して紫外線を照射した場合で、このよう
にして形成された配向膜14は、画素電極上領域とバス
ライン上領域では配向処理強度(あるいはアンカリング
強度)が異なるため、ディスクリネーションライン18
を画素電極8と走査バスライン2あるいは信号バスライ
ン4の間に固定できるため、ディスクリネーションライ
ン18からの光漏れを覆うためのブラックマトリクス1
1の開口部を大きくして、液晶表示装置の開口率を従来
より約4%向上させることができる。
FIG. 8 shows a case where ultraviolet rays are irradiated through a mask having openings at positions corresponding to every other pixel in pixel units. The alignment film 14 thus formed is
Since the alignment processing strength (or anchoring strength) differs between adjacent pixels, the disclination line 18
Can be fixed near the boundary between pixels, and the opening of the black matrix 11 for covering light leakage from the disclination line 18 is increased, thereby improving the aperture ratio of the liquid crystal display device by about 3% compared to the conventional case. be able to. Also,
FIG. 9 shows a case where ultraviolet light is irradiated through a mask having an opening at a position corresponding to the area on the bus line, and the alignment film 14 formed in this manner is in the area on the pixel electrode and the area on the bus line. Since the orientation processing strength (or anchoring strength) is different, the disclination line 18
Can be fixed between the pixel electrode 8 and the scanning bus line 2 or the signal bus line 4, so that the black matrix 1 for covering light leakage from the disclination line 18
By increasing the size of the opening 1, the aperture ratio of the liquid crystal display device can be improved by about 4% as compared with the related art.

【0028】実施の形態7.図10および図11はこの
発明の実施の形態7を示す液晶表示装置の概略断面図で
ある。なお、図中の符号は実施の形態5と同様であるの
で説明を省略する。次に、本実施の形態による液晶表示
装置の製造方法について説明する。まず、実施の形態1
と同様の方法によりTFTアレイ基板9および対向基板
10を形成する。次にTFTアレイ基板9および対向基
板10の表面にポリアミック酸溶液を転写版で転写し、
プレキュアで溶媒分を飛散させた後にアフターキュアし
て、第一ポリイミド膜20を形成する。次に第一ポリイ
ミド膜20上に、可溶性ポリイミド溶液を転写版で転写
し、プレキュアで溶媒分を飛散させた後にアフターキュ
アして第二ポリイミド膜21を形成する。次にレジスト
を塗布し、露光、現像によりレジストパターンを形成
し、このレジストを用いて第二ポリイミド膜21をエッ
チング除去し、所定の領域にのみ第二ポリイミド膜21
を形成する。次にレジストを除去後、全面をラビング処
理する。このとき、全面を同時にラビング処理したが、
第一ポリイミド膜20と第二ポリイミド膜21では膜が
異なるため、第一ポリイミド膜20が形成された領域と
第二ポリイミド膜21が形成された領域の液晶分子16
aのプレチルト角が異なり、液晶分子16aの配向にひ
ずみを与えることができる。以降は、実施の形態1と同
様の方法により液晶表示装置を形成する。
Embodiment 7 10 and 11 are schematic sectional views of a liquid crystal display device according to Embodiment 7 of the present invention. Note that the reference numerals in the figure are the same as those in the fifth embodiment, and thus description thereof will be omitted. Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device according to the present embodiment will be described. First, Embodiment 1
A TFT array substrate 9 and a counter substrate 10 are formed in the same manner as described above. Next, a polyamic acid solution is transferred to the surfaces of the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10 by using a transfer plate.
After the solvent is scattered by pre-curing, after-curing is performed to form the first polyimide film 20. Next, the soluble polyimide solution is transferred onto the first polyimide film 20 with a transfer plate, the solvent is scattered by pre-curing, and after-curing to form the second polyimide film 21. Next, a resist is applied, a resist pattern is formed by exposure and development, and the second polyimide film 21 is removed by etching using the resist.
To form Next, after removing the resist, the entire surface is rubbed. At this time, the whole surface was rubbed at the same time,
Since the first polyimide film 20 and the second polyimide film 21 have different films, the liquid crystal molecules 16 in the region where the first polyimide film 20 is formed and the region where the second polyimide film 21 is formed
Since the pretilt angles of the liquid crystal molecules a are different, distortion can be given to the alignment of the liquid crystal molecules 16a. Thereafter, a liquid crystal display device is formed by the same method as in the first embodiment.

【0029】図10は、第二ポリイミド膜21を画素単
位でーつおきに形成した場合で、このようにして形成さ
れた配向膜14は、隣接する画素間で液晶分子16aの
プレチルト角が異なるため、ディスクリネーションライ
ン18を、画素と画素の境界付近に固定でき、ディスク
リネーションライン18からの光漏れを覆うためのブラ
ックマトリクス11の開口部を大きくして、液晶表示装
置の開口率を従来より約3%向上させることができる。
また、図11は、第二ポリイミド膜21を画素電極上領
域に形成した場合で、このようにして形成された配向膜
14は、画素電極上領域とバスライン上領域では液晶分
子16aのプレチルト角が異なるため、ディスクリネー
ションライン18を画素電極8と走査バスライン2ある
いは信号バスライン4の間に固定できるため、ディスク
リネーションライン18からの光漏れを覆うためのブラ
ックマトリクス11の開口部を大きくして、液晶表示装
置の開口率を従来より約3%向上させることができる。
FIG. 10 shows a case where the second polyimide film 21 is formed every other pixel, and the alignment film 14 thus formed has different pretilt angles of the liquid crystal molecules 16a between adjacent pixels. Therefore, the disclination line 18 can be fixed near the boundary between the pixels, and the opening of the black matrix 11 for covering the light leakage from the disclination line 18 is enlarged, thereby increasing the aperture ratio of the liquid crystal display device. It can be improved by about 3% compared to the related art.
FIG. 11 shows a case where the second polyimide film 21 is formed in the region above the pixel electrode. The alignment film 14 thus formed has a pretilt angle of the liquid crystal molecules 16a in the region above the pixel electrode and the region above the bus line. Since the disclination line 18 can be fixed between the pixel electrode 8 and the scanning bus line 2 or the signal bus line 4, the opening of the black matrix 11 for covering light leakage from the disclination line 18 is formed. By increasing the aperture ratio, the aperture ratio of the liquid crystal display device can be improved by about 3% as compared with the related art.

【0030】実施の形態8.図12および図13はこの
発明の実施の形態8を示す液晶表示装置の概略断面図で
ある。なお、図中の符号は実施の形態1と同様であるの
で説明を省略する。次に、本実施の形態による液晶表示
装置の製造方法について説明する。まず、実施の形態1
と同様の方法によりTFTアレイ基板9および対向基板
10を形成する。次にTFTアレイ基板9および対向基
板10の表面に、可溶性ポリイミド溶液を転写版で転写
し、プレキュアで溶媒分を飛散させた後にアフターキュ
アを行い、ポリイミド膜による配向膜14を形成後、ラ
ビング処理を全面に行う。次に所定の領域に開口部を有
するマスクを介して紫外線を照射した後に、γ−ブチロ
ラクトンで洗浄する。このとき、紫外線を照射した領域
の配向膜14は、γ−ブチロラクトンに一部溶解し、紫
外線を照射していない領域より液晶分子16aのプレチ
ルト角が小さくなる。その結果、紫外線を照射した領域
と照射していない領域では、配向膜14の表面状態が異
なるため、液晶分子16aのプレチルト角が異なり、液
晶分子16aの配向にひずみを与えることができる。以
降は、実施の形態1と同様の方法により液晶表示装置を
形成する。
Embodiment 8 12 and 13 are schematic cross-sectional views of a liquid crystal display device according to Embodiment 8 of the present invention. Note that the reference numerals in the figure are the same as those in the first embodiment, and a description thereof will be omitted. Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device according to the present embodiment will be described. First, Embodiment 1
A TFT array substrate 9 and a counter substrate 10 are formed in the same manner as described above. Next, a soluble polyimide solution is transferred to the surface of the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10 by a transfer plate, and after solvent is scattered by pre-curing, after-curing is performed. After forming an alignment film 14 of a polyimide film, a rubbing treatment is performed. Is performed on the entire surface. Next, after irradiating ultraviolet rays through a mask having an opening in a predetermined region, the substrate is washed with γ-butyrolactone. At this time, the alignment film 14 in the region irradiated with the ultraviolet light partially dissolves in γ-butyrolactone, and the pretilt angle of the liquid crystal molecules 16a becomes smaller than that in the region not irradiated with the ultraviolet light. As a result, since the surface state of the alignment film 14 is different between the region irradiated with the ultraviolet light and the region not irradiated with the ultraviolet light, the pretilt angle of the liquid crystal molecules 16a is different, and distortion can be given to the alignment of the liquid crystal molecules 16a. Thereafter, a liquid crystal display device is formed by the same method as in the first embodiment.

【0031】図12は、画素単位でーつおきの画素に対
応する位置に開口部を有するマスクを介して紫外線を照
射した場合で、このようにして形成された配向膜14
は、隣接する画素間で液晶分子16aのプレチルト角が
異なるため、ディスクリネーションライン18を、画素
と画素の境界付近に固定でき、ディスクリネーションラ
イン18からの光漏れを覆うためのブラックマトリクス
11の開口部を大きくして、液晶表示装置の開口率を従
来より約3%向上させることができる。また、図13
は、バスライン上領域に対応する位置に開口部を有する
マスクを介して紫外線を照射した場合で、このようにし
て形成された配向膜14は、画素電極上領域とバスライ
ン上領域では液晶分子16aのプレチルト角が異なるた
め、ディスクリネーションライン18を画素電極8と走
査バスライン2あるいは信号バスライン4の間に固定で
きるため、ディスクリネーションライン18からの光漏
れを覆うためのブラックマトリクス11の開口部を大き
くして、液晶表示装置の開口率を従来より約4%向上さ
せることができる。
FIG. 12 shows a case where ultraviolet light is irradiated through a mask having an opening at a position corresponding to every other pixel in pixel units.
Since the pretilt angle of the liquid crystal molecules 16a differs between adjacent pixels, the disclination line 18 can be fixed near the boundary between pixels, and the black matrix 11 for covering light leakage from the disclination line 18 can be fixed. , The aperture ratio of the liquid crystal display device can be improved by about 3% as compared with the related art. FIG.
Is a case where ultraviolet rays are irradiated through a mask having an opening at a position corresponding to the area above the bus line, and the alignment film 14 thus formed has liquid crystal molecules in the area above the pixel electrode and the area above the bus line. Since the pretilt angle of 16a is different, the disclination line 18 can be fixed between the pixel electrode 8 and the scanning bus line 2 or the signal bus line 4, so that the black matrix 11 for covering light leakage from the disclination line 18 is provided. , The aperture ratio of the liquid crystal display device can be improved by about 4% as compared with the related art.

【0032】実施の形態9.図14はこの発明の実施の
形態9を示す液晶表示装置の概略断面図である。図にお
いて、22は配向膜14に形成された溝部で、画素電極
8と走査バスライン2あるいは信号バスライン4の間
に、近接する走査バスライン2あるいは信号バスライン
4に沿って平行に形成されている。なお、その他の構成
は図2に示す実施の形態1と同様であるので説明を省略
する。次に、本実施の形態による液晶表示装置の製造方
法について説明する。まず、実施の形態1と同様の方法
によりTFTアレイ基板9および対向基板10を形成す
る。次にTFTアレイ基板9および対向基板10の表面
に、可溶性ポリイミド溶液を転写版で転写し、プレキュ
アで溶媒分を飛散させた後にアフターキュアを行い、ポ
リイミド膜を形成後、全面にラビング処理を行い配向膜
14を形成する。次に溝部22に対応する位置に開口部
を有するマスクを介して紫外線を照射した後、γ−ブチ
ロラクトンに浸漬する。このとき、紫外線を照射した領
域の配向膜14は、γ−ブチロラクトンにエッチング除
去され、溝部22が形成される。平坦な配向膜14に溝
部22を設けることにより、溝部22の部分で配向規制
力やプレチルト角等が異なり、溝部22が形成された部
分の液晶分子16aの配向にひずみを与えることができ
る。以降は、実施の形態1と同様の方法により液晶表示
装置を形成する。
Embodiment 9 FIG. 14 is a schematic sectional view of a liquid crystal display device according to Embodiment 9 of the present invention. In the figure, reference numeral 22 denotes a groove formed in the alignment film 14, which is formed between the pixel electrode 8 and the scanning bus line 2 or the signal bus line 4 in parallel along the adjacent scanning bus line 2 or the signal bus line 4. ing. The other configuration is the same as that of the first embodiment shown in FIG. Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device according to the present embodiment will be described. First, a TFT array substrate 9 and a counter substrate 10 are formed by the same method as in the first embodiment. Next, the soluble polyimide solution is transferred to the surface of the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10 by a transfer plate, and after solvent is scattered by pre-curing, after-curing is performed. After forming a polyimide film, rubbing is performed on the entire surface. An alignment film 14 is formed. Next, after irradiating ultraviolet rays through a mask having an opening at a position corresponding to the groove 22, the substrate is immersed in γ-butyrolactone. At this time, the alignment film 14 in the region irradiated with the ultraviolet light is etched away by γ-butyrolactone, and the groove 22 is formed. By providing the grooves 22 in the flat alignment film 14, the alignment regulating force, the pretilt angle, and the like are different in the grooves 22, and the alignment of the liquid crystal molecules 16 a in the portions where the grooves 22 are formed can be distorted. Thereafter, a liquid crystal display device is formed by the same method as in the first embodiment.

【0033】本実施の形態によれば、ディスクリネーシ
ョンライン18を溝部22が形成された部分、すなわ
ち、画素電極8と走査バスライン2あるいは信号バスラ
イン4の間に固定できるため、ディスクリネーションラ
イン18からの光漏れを覆うためのブラックマトリクス
11の開口部を大きくして、液晶表示装置の開口率を従
来より約4%向上させることができる。
According to the present embodiment, the disclination line 18 can be fixed at the portion where the groove 22 is formed, that is, between the pixel electrode 8 and the scanning bus line 2 or the signal bus line 4. The opening of the black matrix 11 for covering the light leakage from the line 18 is enlarged, so that the aperture ratio of the liquid crystal display device can be improved by about 4% as compared with the related art.

【0034】実施の形態10.実施の形態9では、配向
膜14に溝部22を形成したが、図15に示すように、
配向膜14に凸部23を形成することによっても、凸部
23が形成された部分で液晶分子16aの配向にひずみ
を与えることができ、ディスクリネーションライン18
を凸部23が形成された部分に固定することができる。
配向膜14の凸部23の形成方法は、TFTアレイ基板
9および対向基板10の表面にポリアミック酸溶液を転
写版で転写し、プレキュアで溶媒分を飛散させた後にア
フターキュアして、第一ポリイミド膜20を形成する。
次に第一ポリイミド膜20上に、可溶性ポリイミド溶液
を転写版で転写し、プレキュアで溶媒分を飛散させた後
にアフターキュアして第二ポリイミド膜21を形成す
る。次にレジストを塗布し、露光、現像により凸部23
が形成される部分にレジストを形成し、このレジストを
用いて第二ポリイミド膜21をエッチング除去して、第
二ポリイミド膜21による凸部23を形成する。次にレ
ジストを除去後、全面を配向処理し、凸部23を有する
配向膜14を形成する。
Embodiment 10 FIG. In the ninth embodiment, the groove 22 is formed in the alignment film 14, but as shown in FIG.
By forming the protrusions 23 on the alignment film 14, the alignment of the liquid crystal molecules 16 a can be given a strain at the portions where the protrusions 23 are formed, and the disclination lines 18 are formed.
Can be fixed to the portion where the convex portion 23 is formed.
The method for forming the projections 23 of the alignment film 14 is as follows. A polyamic acid solution is transferred to the surface of the TFT array substrate 9 and the counter substrate 10 by a transfer plate, and after the solvent is scattered by pre-curing, after-curing is performed. The film 20 is formed.
Next, the soluble polyimide solution is transferred onto the first polyimide film 20 with a transfer plate, the solvent is scattered by pre-curing, and after-curing to form the second polyimide film 21. Next, a resist is applied, and the projections 23 are exposed and developed.
A resist is formed in a portion where is formed, and the second polyimide film 21 is removed by etching using the resist to form a convex portion 23 of the second polyimide film 21. Next, after removing the resist, the entire surface is subjected to an alignment process to form the alignment film 14 having the convex portions 23.

【0035】本実施の形態によれば、ディスクリネーシ
ョンライン18を凸部23が形成された部分、すなわ
ち、画素電極8と走査バスライン2あるいは信号バスラ
イン4の間に固定できるため、ディスクリネーションラ
イン18からの光漏れを覆うためのブラックマトリクス
11の開口部を大きくして、液晶表示装置の開口率を従
来より約4%向上させることができる。なお、実施の形
態1〜実施の形態10において、ディスクリネーション
ラインを発生させるための処理を、TFTアレイ基板9
および対向基板10上の配向膜14に行ったが、いずれ
か一方の基板上の配向膜に処理を行うだけでもよい。
According to the present embodiment, the disclination line 18 can be fixed at the portion where the projection 23 is formed, that is, between the pixel electrode 8 and the scanning bus line 2 or the signal bus line 4. The aperture of the black matrix 11 for covering the light leakage from the nation line 18 is made large, and the aperture ratio of the liquid crystal display device can be improved by about 4% compared to the related art. In the first to tenth embodiments, the processing for generating the disclination line is performed by the TFT array substrate 9.
Although the process is performed on the alignment film 14 on the counter substrate 10, the process may be performed only on the alignment film on one of the substrates.

【0036】実施の形態1〜実施の形態10により得ら
れた結果を図16にまとめて示す。
The results obtained by the first to tenth embodiments are summarized in FIG.

【0037】[0037]

【発明の効果】以上のように、TFTアレイ基板および
対向基板に形成される配向膜に、液晶分子の配向を互い
に異ならせる領域を設け、異なる配向領域の境界部分に
形成されるディスクリネーションラインを画素電極の外
側に固定することにより、バスラインに電圧が印加され
てもディスクリネーションラインは移動しないため、デ
ィスクリネーションラインからの光漏れを覆うためのブ
ラックマトリクスの開口部を大きくでき、高開口率の液
晶表示装置を提供することができる。
As described above, the alignment films formed on the TFT array substrate and the counter substrate are provided with the regions where the alignment of the liquid crystal molecules is different from each other, and the disclination lines formed at the boundaries between the different alignment regions. Is fixed to the outside of the pixel electrode, the disclination line does not move even if a voltage is applied to the bus line, so that the opening of the black matrix for covering light leakage from the disclination line can be enlarged, A liquid crystal display device with a high aperture ratio can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施の形態1による液晶表示装置
を示すが平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 この発明の実施の形態1による液晶表示装置
を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.

【図3】 この発明の実施の形態1による液晶表示装置
を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.

【図4】 この発明の実施の形態2による液晶表示装置
を示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.

【図5】 この発明の実施の形態4による液晶表示装置
を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図6】 この発明の実施の形態5による液晶表示装置
を示す断面図である。
FIG. 6 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図7】 この発明の実施の形態5による液晶表示装置
を示す断面図である。
FIG. 7 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図8】 この発明の実施の形態6による液晶表示装置
を示す断面図である。
FIG. 8 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図9】 この発明の実施の形態6による液晶表示装置
を示す断面図である。
FIG. 9 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図10】 この発明の実施の形態7による液晶表示装
置を示す断面図である。
FIG. 10 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to a seventh embodiment of the present invention.

【図11】 この発明の実施の形態7による液晶表示装
置を示す断面図である。
FIG. 11 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to a seventh embodiment of the present invention.

【図12】 この発明の実施の形態8による液晶表示装
置を示す断面図である。
FIG. 12 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to an eighth embodiment of the present invention.

【図13】 この発明の実施の形態8による液晶表示装
置を示す断面図である。
FIG. 13 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to an eighth embodiment of the present invention.

【図14】 この発明の実施の形態9による液晶表示装
置を示す断面図である。
FIG. 14 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to Embodiment 9 of the present invention.

【図15】 この発明の実施の形態10による液晶表示
装置を示す断面図である。
FIG. 15 is a sectional view showing a liquid crystal display device according to a tenth embodiment of the present invention.

【図16】 この発明の結果をまとめた図である。FIG. 16 is a diagram summarizing the results of the present invention.

【図17】 従来のこの種液晶表示装置を示す断面図で
ある。
FIG. 17 is a cross-sectional view showing a conventional liquid crystal display of this type.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 透明絶縁性基板、2 走査(ゲート)バスライン、
3 補助容量線、4 信号(ソース)バスライン、5
TFT、6 ソース電極、7 ドレイン電極、8 画素
電極、9 TFTアレイ基板、10 対向基板、11
ブラックマトリクス、12 着色層、13 共通電極、
14 配向膜、15a、15b 境界線、16 液晶
層、16a 液晶分子、17 リバースチルト領域(配
向異常領域)、18 ディスクリネーションライン、1
9 ディスクリネーションライン、20第一ポリイミド
膜、21 第二ポリイミド膜、22 溝部、23 凸
部。
1 transparent insulating substrate, 2 scanning (gate) bus lines,
3 auxiliary capacitance line, 4 signal (source) bus line, 5
TFT, 6 source electrode, 7 drain electrode, 8 pixel electrode, 9 TFT array substrate, 10 opposing substrate, 11
Black matrix, 12 colored layers, 13 common electrodes,
14 alignment film, 15a, 15b boundary line, 16 liquid crystal layer, 16a liquid crystal molecule, 17 reverse tilt region (abnormal alignment region), 18 disclination line, 1
9 Disclination line, 20 first polyimide film, 21 second polyimide film, 22 groove, 23 convex.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 玉谷 晃 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 森井 康裕 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 藤井 雅之 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Akira Tamaya 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Mitsubishi Electric Corporation (72) Inventor Yasuhiro Morii 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo (72) Inventor Masayuki Fujii 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Sanishi Electric Co., Ltd.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明絶縁性基板と、 上記透明絶縁性基板上で行方向に形成された複数本の走
査バスライン、およびこの走査バスラインと交差する列
方向に形成された複数本の信号バスラインと、 平行する各々二本の上記走査バスラインと上記信号バス
ラインで区画された領域にスイッチング素子およびこの
スイッチング素子と電気的に接続された画素電極とを有
する第一の基板、 他の透明絶縁性基板上にブラックマトリクスおよび対向
電極が形成された第二の基板、 上記第一の基板および上記第二の基板上に形成された配
向膜、 対向する上記第一の基板および上記第二の基板間に挟持
された液晶分子からなる液晶層を備え、 上記第一の基板および上記第二の基板上に形成された少
なくともいずれか一方の上記配向膜は、上記液晶分子の
配向を互いに異ならせる領域を有すると共に、この領域
の境界を隣接する上記画素電極間に少なくともーつ有す
るよう処理されていることを特徴とする液晶表示装置。
1. A transparent insulating substrate, a plurality of scanning bus lines formed in a row direction on the transparent insulating substrate, and a plurality of signal buses formed in a column direction intersecting the scanning bus line. A first substrate having a switching element and a pixel electrode electrically connected to the switching element in a region defined by each of the two scanning bus lines and the signal bus lines in parallel; A second substrate having a black matrix and a counter electrode formed on an insulating substrate; an alignment film formed on the first substrate and the second substrate; a first substrate facing the second substrate; A liquid crystal layer comprising liquid crystal molecules sandwiched between substrates, wherein at least one of the alignment films formed on the first substrate and the second substrate has an alignment of the liquid crystal molecules. The liquid crystal display device is characterized in that the liquid crystal display device has a region in which is different from each other, and is processed to have at least one boundary between the regions between the adjacent pixel electrodes.
【請求項2】 液晶分子の配向が互いに異なる領域の境
界は、画素電極と走査バスライン、および上記画素電極
と信号バスラインの間にあることを特徴とする請求項1
記載の液晶表示装置。
2. A boundary between regions having different alignments of liquid crystal molecules between a pixel electrode and a scanning bus line and between the pixel electrode and a signal bus line.
The liquid crystal display device as described in the above.
【請求項3】 液晶分子の配向が互いに異なる領域の境
界は、走査バスラインおよび信号バスライン上にあるこ
とを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein boundaries of regions in which the orientations of liquid crystal molecules are different from each other are on a scanning bus line and a signal bus line.
【請求項4】 液晶分子の配向が互いに異なる領域は、
配向膜を異なる配向方向に配向処理することにより形成
されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一
項記載の液晶表示装置。
4. A region where the orientation of liquid crystal molecules is different from each other,
The liquid crystal display device according to any one of claims 1 to 3, wherein the liquid crystal display device is formed by performing an alignment treatment on alignment films in different alignment directions.
【請求項5】 液晶分子の配向が互いに異なる領域は、
配向膜の配向強度(アンカリング強度)が異なるよう配
向処理することにより形成されていることを特徴とする
請求項1〜3のいずれか一項記載の液晶表示装置。
5. The region where the orientation of liquid crystal molecules is different from each other,
The liquid crystal display device according to any one of claims 1 to 3, wherein the liquid crystal display device is formed by performing an alignment treatment so that the alignment strength (anchoring strength) of the alignment film is different.
【請求項6】 液晶分子の配向が互いに異なる領域は、
液晶分子のプレチルト角が異なるよう配向膜を配向処理
することにより形成されていることを特徴とする請求項
1〜3のいずれか一項記載の液晶表示装置。
6. A region in which the orientations of liquid crystal molecules are different from each other,
The liquid crystal display device according to any one of claims 1 to 3, wherein the liquid crystal display device is formed by performing an alignment treatment on an alignment film such that the pretilt angles of the liquid crystal molecules are different.
【請求項7】 配向膜を構成する材料あるいは配向膜の
表面状態を所定の領域で異ならせることにより、上記配
向膜の配向強度あるいは液晶分子のプレチルト角を変え
ていることを特徴とする請求項5または請求項6記載の
液晶表示装置。
7. The alignment strength of the alignment film or the pretilt angle of liquid crystal molecules is changed by changing the material forming the alignment film or the surface state of the alignment film in a predetermined region. The liquid crystal display device according to claim 5 or 6.
【請求項8】 液晶分子の配向が互いに異なる領域の境
界は、配向膜をエッチングして形成された溝部により形
成されていることを特徴とする請求項1または請求項2
記載の液晶表示装置。
8. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein a boundary between regions in which the alignment of the liquid crystal molecules is different from each other is formed by a groove formed by etching the alignment film.
The liquid crystal display device as described in the above.
【請求項9】 液晶分子の配向が互いに異なる領域の境
界は、配向膜に形成された凸部により形成されているこ
とを特徴とする請求項1または請求項2記載の液晶表示
装置。
9. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein a boundary between regions in which the alignment of the liquid crystal molecules is different from each other is formed by a convex portion formed on the alignment film.
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