JPH10206405A - Liquid-transferring pump for liquid chromatograph and its manufacturing method - Google Patents

Liquid-transferring pump for liquid chromatograph and its manufacturing method

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JPH10206405A
JPH10206405A JP678197A JP678197A JPH10206405A JP H10206405 A JPH10206405 A JP H10206405A JP 678197 A JP678197 A JP 678197A JP 678197 A JP678197 A JP 678197A JP H10206405 A JPH10206405 A JP H10206405A
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JP
Japan
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plunger
sapphire
liquid
salt
porous
Prior art date
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Application number
JP678197A
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Japanese (ja)
Inventor
Shinichi Kuroda
晋一 黒田
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Shimadzu Corp
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Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent salt contained in an eluent from being deposited to a plunger surface and to suppress the deterioration of a plunger seal with a simple configuration by forming a plunger with porous sapphire. SOLUTION: A plunger 22 is subjected to sliding motion in a pump room 12 by an urging force by a spring 26 and the rotation of a cam 24 by a motor, thus feeding an eluate to a column through a suction passage 27, a pump room 12, and a discharge passage 28. Sapphire is used for the plunger 22 and the surface is set to a porous surface 22a. The surface of sapphire becomes porous due to light beam machining by ArF excimer laser. As a result, water can be easily retained in a fine hole on the surface of the plunger 22, so tat water can be further retained when the surface of the plunger 22 becomes dry and hence suppressing the adhesion of salt to the surface of the plunger 22, thus suppressing the deposition of salt that is generated with the adhering salt as nuclei.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プランジャを往復
運動させて溶離液を送液する液体クロマトグラフ用送液
ポンプとその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid chromatograph feed pump for sending an eluent by reciprocating a plunger and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、高速液体クロマトグラフでは、固
定相に極性の弱い液体または非極性の液体を用い、移動
相に極性の強い溶媒を用いる逆相クロマトグラフが主流
になってきている。この逆相クロマトグラフでは、溶離
液として水、有機溶媒(例えばメタノール、アセトニト
リル等)、バッファが単独で又は混合されて使用され
る。 また、イオン交換クロマトグラフや水系ゲルパー
ミエーションクロマトグラフでは、溶離液として塩類の
水溶液が使用される。このような塩類を含む溶媒を溶離
液として使用した場合には、有機溶媒を溶離液として使
用した場合に比し、送液ポンプのポンプシールの劣化が
著しく早いことがよく知られている。これは、塩のプラ
ンジャ表面への析出が起因している。
2. Description of the Related Art In recent years, in the high performance liquid chromatograph, a reversed phase chromatograph using a weakly polar liquid or a nonpolar liquid as a stationary phase and using a strongly polar solvent as a mobile phase has become mainstream. In this reversed-phase chromatography, water, an organic solvent (eg, methanol, acetonitrile, etc.), and a buffer are used alone or as a mixture as eluents. In an ion exchange chromatograph or an aqueous gel permeation chromatograph, an aqueous solution of salts is used as an eluent. It is well known that when a solvent containing such salts is used as an eluent, deterioration of a pump seal of a liquid sending pump is remarkably quicker than when an organic solvent is used as an eluent. This is due to the precipitation of salt on the plunger surface.

【0003】そこで、この析出を防ぐため、例えば実開
昭58−169561号に見られるように2個のプラン
ジャシールを用いてシール間に室を形成し、この室に対
し入口と出口を設け、室内に水を流して塩の析出を防止
する送液ポンプが案出されている。
In order to prevent this precipitation, a chamber is formed between two seals using two plunger seals, as shown in, for example, Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 58-169561, and an inlet and an outlet are provided for this chamber. 2. Description of the Related Art There has been proposed a liquid feed pump for flowing water into a room to prevent precipitation of salt.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述したような、2個
のプランジャシールを用いてシール間に室を形成したポ
ンプは、塩の析出を抑える上では有効である。しかし、
このような送液ポンプは構成が複雑になる。また、必要
時にのみ水を流すようにした場合には、操作者が定期的
にプランジャを点検し、必要なときに水を流すという煩
雑な操作を行わなければならない。さらに、水を流すの
を忘れた場合には、塩が析出してポンプシールが劣化す
る。その上、プランジャがプランジャシールを2個も貫
通しており、プランジャの摺動抵抗が大きくなるので、
出力のより大きいモータを用いなければならない。この
ため、消費電力も大きくなる。
The above-mentioned pump in which a chamber is formed between two seals using two plunger seals is effective in suppressing salt precipitation. But,
Such a liquid sending pump has a complicated configuration. In addition, when water is supplied only when necessary, the operator has to perform a complicated operation of periodically checking the plunger and supplying water when necessary. Furthermore, if the water is forgotten, the salt will precipitate and the pump seal will deteriorate. In addition, the plunger penetrates as many as two plunger seals, increasing the sliding resistance of the plunger.
Higher power motors must be used. For this reason, power consumption also increases.

【0005】本発明の目的は、上記問題に鑑み、プラン
ジャ自体の構造に工夫をして塩が析出しにくいものと
し、簡単な構成でもポプランジャシールの劣化を抑制す
ることができるようにした液体クロマトグラフ用送液ポ
ンプを提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to improve the structure of the plunger itself so that salt is less likely to precipitate, and to suppress the deterioration of the pop plunger seal even with a simple structure. An object of the present invention is to provide a liquid sending pump for chromatography.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明では、プランジャ
を往復運動させて溶離液を送液する液体クロマトグラフ
用送液ポンプにおいて、該プランジャに単結晶サファイ
アを用いるとともに、これを多孔質化したことを特徴と
している。
According to the present invention, a single crystal sapphire is used for the plunger in a liquid chromatograph liquid sending pump for sending an eluent by reciprocating a plunger, and the plunger is made porous. It is characterized by:

【0007】この多孔質化により、液体クロマトグラフ
用送液ポンプにおいて、該プランジャの表面の微細な穴
の中に水分が保持されやすく、そのためにプランジャ表
面が乾燥状態になった時もさらに水分を保持できるた
め、プランジャ表面への塩の付着を抑制でき、結果とし
てその付着した塩を核として生じる塩の析出を抑制でき
る。しかも、素材にサファイア単結晶を用いているの
で、機械的強度、耐薬品性などに優れたプランジャとす
ることができる。
[0007] Due to this porous structure, in the liquid pump for liquid chromatography, moisture is easily retained in the fine holes in the surface of the plunger, so that even when the plunger surface is in a dry state, more moisture is absorbed. Since the salt can be retained, the adhesion of the salt to the plunger surface can be suppressed, and as a result, the precipitation of the salt generated by using the attached salt as a nucleus can be suppressed. Moreover, since a sapphire single crystal is used as a material, a plunger excellent in mechanical strength, chemical resistance, and the like can be obtained.

【0008】また、本発明では、従来よりその加工性が
困難であった単結晶材料であるサファイア製プランジャ
にエキシマレーザ等の光ビームを照射することによりこ
の表面の多孔質化を行い、機械的強度劣化のない微細な
多孔質化表面を得ることにより多孔質プランジャを製造
する。そして、このプランジャを用いて送液ポンプを製
造する。
In the present invention, the surface is made porous by irradiating a light beam such as an excimer laser to a plunger made of sapphire, which is a single crystal material which has been conventionally difficult to process. A porous plunger is manufactured by obtaining a fine porous surface without deterioration in strength. Then, a liquid feed pump is manufactured using the plunger.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】図1に、本発明の一実施例である
高速液体クロマトグラフ用送液ポンプの断面図を示す。
このポンプはシリンダ11、ポンプ室12を有するポン
プヘッド13、ポンプヘッド13とシリンダ11とを固
定するフランジ14とから構成される。 シリンダ11
内に嵌挿されたクロスヘッド20の一端にはプランジャ
ホルダ21が取り付けてあり、このプランジャホルダ2
1にはプランジャ22が圧入するようにして固定されて
いる。クロスヘッド20の他端側はカムフォロア23が
設けてあり、カムフォロア23はモータにより回転する
カム24の周縁に接している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a cross-sectional view of a high-performance liquid chromatograph liquid sending pump according to an embodiment of the present invention.
This pump comprises a cylinder 11, a pump head 13 having a pump chamber 12, and a flange 14 for fixing the pump head 13 and the cylinder 11. Cylinder 11
A plunger holder 21 is attached to one end of the crosshead 20 fitted inside the plunger holder 2.
1, a plunger 22 is fixed so as to be press-fitted. A cam follower 23 is provided on the other end side of the crosshead 20, and the cam follower 23 is in contact with a peripheral edge of a cam 24 rotated by a motor.

【0010】プランジャ22はポンプ室12内に挿入さ
れ、フランジ14との接続部分にはプランジャシール2
5が嵌挿されている。そして、プランジャ22はバネ2
6による付勢力と、モータによるカムの回転運動とによ
りポンプ室内で摺動運動をするようになっている。
The plunger 22 is inserted into the pump chamber 12, and has a plunger seal 2 at a connection portion with the flange 14.
5 is inserted. And the plunger 22 is the spring 2
The sliding motion in the pump chamber is performed by the biasing force of the motor 6 and the rotational motion of the cam by the motor.

【0011】ポンプ室12には、それぞれ逆止弁を有す
る液体吸引路27と液体吐出路28とが形成されてお
り、プランジャの摺動運動により、液体のポンピング作
用が行われる。これにより、移動相貯槽から溶離液が液
体吸引路27、ポンプ室12、液体吐出路28を通って
外部のカラムへ送液される。
The pump chamber 12 is formed with a liquid suction passage 27 and a liquid discharge passage 28 each having a check valve, and the pumping action of the liquid is performed by the sliding movement of the plunger. Thereby, the eluent is sent from the mobile phase storage tank to the external column through the liquid suction path 27, the pump chamber 12, and the liquid discharge path 28.

【0012】以上の構造は従来のプランジャポンプと同
じである。本発明に係る送液ポンプでは、上記のような
ポンプに用いられるプランジャ22にサファイアを用い
るとともに、その表面を人工的に多孔質面22aとした
ものである。単結晶サファイアのプランジャ22自身
は、高硬度で機械的強度が強く、しかも耐薬品性などに
優れているので従来から用いられていた。しかし、その
反面、表面に塩が析出しやすいために、従来例で示した
ような水洗浄を行う機構を設ける必要があった。本発明
では後述する方法により、サファイア表面を多孔質面2
2aとすることができので、これにより、サファイア表
面の水分保持力を高めることができることとなって塩の
析出が抑えられるようになった。即ち、プランジャ表面
に設けられた微細な孔の中に水分が保持されやすくな
り、そのためにプランジャ22の表面が乾燥状態になっ
た時もプランジャの多孔質面22aの多孔質内に水分を
保持できるため、塩の付着を抑制することができ、結果
としてその付着した塩を核にできる塩の析出を抑制でき
る。
The above structure is the same as that of the conventional plunger pump. In the liquid feed pump according to the present invention, sapphire is used for the plunger 22 used in the above-described pump, and the surface thereof is artificially made to be a porous surface 22a. The single crystal sapphire plunger 22 itself has been used conventionally because it has high hardness, high mechanical strength, and excellent chemical resistance. However, on the other hand, a salt is easily deposited on the surface, so that it is necessary to provide a mechanism for performing water washing as shown in the conventional example. In the present invention, the sapphire surface is made porous by the method described below.
Since it can be set to 2a, it is possible to increase the water holding power of the sapphire surface, thereby suppressing the precipitation of salt. That is, moisture is easily retained in the fine holes provided on the plunger surface, and therefore, even when the surface of the plunger 22 is in a dry state, moisture can be retained in the porous surface 22a of the plunger. Therefore, it is possible to suppress the attachment of the salt, and as a result, it is possible to suppress the precipitation of the salt having the attached salt as a nucleus.

【0013】次に、サファイアの表面の多孔質化の方法
について説明する。図2はサファイア表面の多孔質化に
使用する方法の説明図である。図に示すように、サファ
イアの多孔質化はパルス的に照射される光ビーム加工に
より行われる。図において、31はArFエキシマレー
ザ、32はマスク、33はマスクを走査するための駆動
装置、34はサファイアSを回転前後運動させるワーク
駆動装置、35はArFエキシマレーザ31、マスク駆
動装置33、ワーク駆動装置34を制御する制御装置で
ある。
Next, a method for making the surface of sapphire porous will be described. FIG. 2 is an explanatory view of a method used for making the sapphire surface porous. As shown in the figure, sapphire is made porous by light beam processing that is irradiated in a pulsed manner. In the figure, 31 is an ArF excimer laser, 32 is a mask, 33 is a driving device for scanning the mask, 34 is a work driving device for rotating the sapphire S back and forth, 35 is an ArF excimer laser 31, a mask driving device 33, and a work. This is a control device that controls the driving device 34.

【0014】図のようにArFエキシマレーザ31から
照射されたレーザ光が、レーザ光を集束させる集光光学
系を介してマスク32に向けられ、マスクを通過したレ
ーザ光がさらに集光されてワークであるサファイア製の
プランジャに照射される。すると、レーザ光エネルギー
により、サファイア表面が微細に除去され、多孔質化さ
せることができる。レーザ照射条件は例えばエネルギー
密度2〜4J/cm2で1パルスあたり1〜0.2ミク
ロンの深さのサファイア表面が除去される。このように
して、サファイア表面にマイクロクラックのない微細な
多孔加工ができる。
As shown in the figure, a laser beam irradiated from an ArF excimer laser 31 is directed to a mask 32 via a condensing optical system for converging the laser beam, and the laser beam passing through the mask is further condensed to work. Sapphire plunger. Then, the sapphire surface is finely removed by the laser light energy, and the sapphire can be made porous. Laser irradiation conditions are, for example, an energy density of 2 to 4 J / cm 2 and a sapphire surface with a depth of 1 to 0.2 μm per pulse is removed. Thus, microporous processing without microcracks on the sapphire surface can be performed.

【0015】特に、波長193nmの紫外光であるAr
Fエキシマレーザでは、CO2 レーザやYAGレーザの
ような赤外光と異なり、ミクロンレベルの表面領域だけ
にほとんどのエネルギーが吸収され、しかも熱によらず
に光分解反応で化学結合を切断することができる。それ
ゆえ、素材の照射部分以外には損傷や熱影響を与えない
ため、非常に高品質な多孔質のサファイア製プランジャ
が得られ、過酷な条件で使用されるサファイアプランジ
ャの加工には最適の加工法である。なお、ArFエキシ
マレーザのときより深い孔にはなるが、CO2 レーザを
用いた光ビーム加工によった場合でも多孔加工は可能で
ある。
In particular, Ar which is ultraviolet light having a wavelength of 193 nm is used.
Unlike infrared light such as CO2 lasers and YAG lasers, F excimer lasers absorb most of their energy only in the micron-level surface area, and can break chemical bonds by photolysis without heat. it can. Therefore, since it does not cause damage or thermal effect except for the irradiated part of the material, a very high quality porous sapphire plunger can be obtained, which is the optimal processing for processing sapphire plungers used in severe conditions Is the law. Although the hole becomes deeper than that of the ArF excimer laser, it is possible to form a hole even by light beam processing using a CO2 laser.

【0016】さらに、多孔質の孔の直径はレーザのエネ
ルギーを変化させることにより、調整できるが、0.1
〜3ミクロン程度のものがプランジャポンプ用として適
当である。また、レーザの照射領域を調整することによ
り、多孔質の表面率が調整できるが、多孔質の表面率を
全面積の0.1〜5%(特に0.1〜1%)とすること
が塩の析出の抑制効果が優れていた。
Further, the diameter of the porous hole can be adjusted by changing the energy of the laser.
Those of about 3 microns are suitable for plunger pumps. The surface area of the porous material can be adjusted by adjusting the irradiation area of the laser, but the surface area of the porous material is preferably set to 0.1 to 5% (particularly 0.1 to 1%) of the entire area. The effect of suppressing salt precipitation was excellent.

【0017】本発明では、プランジャの材質を単結晶の
サファイアであるとしたが、前記のプランジャに対する
要求を満足できるものであれば他の各種単結晶材、たと
えばルビー、YAG 等でも同様の効果が得られる。
In the present invention, the material of the plunger is single crystal sapphire. However, the same effect can be obtained with various other single crystal materials such as ruby and YAG as long as the requirements for the plunger can be satisfied. can get.

【0018】また、多孔質を有するプランジャ材料とし
てサファイアやルビーなどの単結晶材の代わりに焼結セ
ラミック材を用いることが考えられるが、焼結セラミッ
ク材は硬度の点でや表面面粗さ向上のための加工性の点
でサファイア等に劣ることから、多孔質化したサファイ
ア製プランジャがより有効な材料である。
It is conceivable to use a sintered ceramic material instead of a single crystal material such as sapphire or ruby as a porous plunger material. However, the sintered ceramic material has an improved hardness and surface roughness. Therefore, a porous sapphire plunger is a more effective material because it is inferior to sapphire or the like in terms of workability for forming.

【0019】[0019]

【発明の効果】本発明に係る高速液体クロマトグラフ用
送液ポンプでは、ポンプシールを貫通して往復運動する
プランジャを多孔質のサファイアで形成しており、プラ
ンジャ表面の気孔に水が入って留まるので、溶離液に含
まれる塩のプランジャ表面への析出が妨げられ、ポンプ
シールの劣化を大幅に抑制することができるという優れ
た効果がある。
According to the present invention, the plunger which reciprocates through the pump seal is formed of porous sapphire, and water enters and stays in the pores on the plunger surface. Therefore, there is an excellent effect that the precipitation of the salt contained in the eluent on the plunger surface is prevented, and the deterioration of the pump seal can be greatly suppressed.

【0020】その上、構成が簡単であり、製造コストお
よびランニングコストを低減でき、しかも使用に際し塩
の析出を防止するための特別な操作をする必要がないと
いう優れた効果もある。
In addition, there is an excellent effect that the structure is simple, the production cost and the running cost can be reduced, and there is no need to perform a special operation for preventing the precipitation of salt at the time of use.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例である液体クロマトグラフ用
送液ポンプの断面図。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a liquid chromatography pump according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例である液体クロマトグラフ用
送液ポンプに用いるプランジャの多孔質化の方法を説明
する図。
FIG. 2 is a view for explaining a method for making a plunger porous for use in a liquid chromatograph liquid transfer pump according to one embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11:シリンダ 12:ポンプ室 13:ポンプヘッド 14:フランジ 22:プランジャ、 22a:多孔質面 25:プランジャシール 31:ArFエキシマレーザ 32:マスク 33:マスク駆動装置 34:ワーク駆動装置 35:制御装置 11: Cylinder 12: Pump chamber 13: Pump head 14: Flange 22: Plunger, 22a: Porous surface 25: Plunger seal 31: ArF excimer laser 32: Mask 33: Mask driving device 34: Work driving device 35: Control device

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プランジャを往復運動させて溶離液を送
液する液体クロマトグラフ用送液ポンプにおいて、該プ
ランジャを多孔質のサファイアにより形成したことを特
徴とする高速液体クロマトグラフ用送液ポンプ。
1. A liquid chromatography pump for liquid chromatography which reciprocates a plunger to feed an eluent, wherein the plunger is formed of porous sapphire.
【請求項2】 前記液体クロマトグラフ送液用ポンプの
サファイア製のプランジャをエキシマレーザの光ビーム
を用いて表面を多孔質化することにより製造したことを
特徴とする液体クロマトグラフ用送液ポンプの製造方
法。
2. A liquid chromatograph liquid transfer pump according to claim 1, wherein said sapphire plunger of said liquid chromatograph liquid transfer pump is manufactured by making its surface porous using a light beam of an excimer laser. Production method.
JP678197A 1997-01-17 1997-01-17 Liquid-transferring pump for liquid chromatograph and its manufacturing method Pending JPH10206405A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021132604A1 (en) * 2019-12-27 2021-07-01 京セラ株式会社 Plunger, pump, and liquid analysis device

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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