JPH10200234A - Printed wiring board with fine pattern and manufacturing method thereof - Google Patents

Printed wiring board with fine pattern and manufacturing method thereof

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JPH10200234A
JPH10200234A JP44997A JP44997A JPH10200234A JP H10200234 A JPH10200234 A JP H10200234A JP 44997 A JP44997 A JP 44997A JP 44997 A JP44997 A JP 44997A JP H10200234 A JPH10200234 A JP H10200234A
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JP
Japan
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pattern
etching
etching resist
metal foil
resist
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JP44997A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideki Mukai
秀樹 向
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PFU Ltd
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PFU Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a fine pattern at fine pitches even on a thick metal foil, by etching utilizing a multiply formed etching resist. SOLUTION: A multiply formed etching resist is utilized for etching and it includes a first and second resists. The first etching resist to be formed on the top of a pattern 5 is a metallic resist 2 for films such as dry films or solder plating and second etching resist to be formed on the pattern bottom is an electrodeposited one. These resists are utilized for a plurality of times for etching. The first resist on the pattern top functions as a film for producing the second resist on the pattern bottom and hence the alignment of the second resist-producing film can be omitted as overhangs on the pattern 5 serve for side face screens at the pattern top.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント回路板の
高密度化に対応して、プリント配線板のパターンの形成
を高密度に実現するための、微細パターンのプリント配
線板の製造方法に関わり、従来のプリント配線板の製造
技術や設備そして材料を用いて実現できる微細パターン
のプリント配線板の実現に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a fine-pattern printed wiring board for realizing a high-density pattern formation of a printed wiring board in response to the high density of the printed circuit board. The present invention also relates to the realization of a printed circuit board having a fine pattern that can be realized by using a conventional printed wiring board manufacturing technique, equipment, and materials.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4に示す従来例のプリント配線板のパ
ターン51は、絶縁基板52に接着された銅箔53を、
一種類のエッチングレジスト54にてエッチングして形
成していた。
2. Description of the Related Art A conventional printed wiring board pattern 51 shown in FIG.
It was formed by etching with one type of etching resist 54.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記の従来
のプリント配線板のパターンの次の問題点の解決を課題
とする。 従来のプリント配線板のパターンは、絶縁基板に接着
された銅箔を一種類のエッチングレジストにてエッチン
グして形成しており、銅箔厚さにほぼ一定するエッチフ
ァクタの存在により、完成したパターンの断面は台形形
状であり、微細なパターンを微細なピッチで形成する
と、上部で断線、底部で隣接パターンとの短絡が発生す
る。 上記対策として、微細なパターンを形成するには銅箔
の厚さを薄くすることで解決をはかってきた。しかし銅
箔の厚さを薄くすることは、電気的特性を満足するには
不適当な場合が多くある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the following problems of the above-mentioned conventional printed wiring board pattern. The pattern of a conventional printed wiring board is formed by etching copper foil bonded to an insulating substrate with one type of etching resist. Has a trapezoidal cross-section, and when a fine pattern is formed at a fine pitch, a disconnection occurs at the top and a short circuit occurs with the adjacent pattern at the bottom. As a countermeasure, a fine pattern is formed by reducing the thickness of the copper foil. However, reducing the thickness of the copper foil is often unsuitable for satisfying the electrical characteristics.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題を解決
するために、プリント配線板の微細なパターンを、複数
回形成したエッチングレジストの利用によるエッチング
で形成した。この手段によって、金属箔の厚さを薄くす
ることなく複数回に分割してエッチングしたため、金属
箔の厚さが厚くても微細なパターンを微細なピッチで形
成することを可能とする微細パターンのプリント配線板
を提供する。
According to the present invention, in order to solve the above problems, a fine pattern of a printed wiring board is formed by etching using an etching resist formed a plurality of times. By this means, since the metal foil is etched by dividing into a plurality of times without reducing the thickness of the metal foil, a fine pattern that enables a fine pattern to be formed at a fine pitch even if the thickness of the metal foil is large. Provide a printed wiring board.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】まず、請求項1の第1の発明にお
いては、図1に示すように、例えば銅などの金属箔4を
複数回形成したエッチングレジスト1の利用によるエッ
チングで微細なパターン5を形成した。この手段によっ
て、金属箔の厚さを薄くすることなく複数回に分割して
あたかも金属箔の厚さを薄くしたようにしてエッチング
したため、金属箔の厚さが厚くても微細なパターンを微
細なピッチで形成することを可能とする作用を得る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, according to a first aspect of the present invention, as shown in FIG. 1, a fine pattern is formed by etching using an etching resist 1 in which a metal foil 4 such as copper is formed a plurality of times. 5 was formed. By this means, since the metal foil is divided into a plurality of times without being thinned and etched as if the metal foil was thinned, a fine pattern can be formed even if the metal foil is thick. An effect that enables formation at a pitch is obtained.

【0006】次に、請求項2の第2の発明においては、
図2に示すように、前記複数回のエッチングに利用する
エッチングレジストは、パターン5上部を形成する第一
のエッチングレジストはフィルム系あるいは金属系のエ
ッチングレジスト2とし、パターン5下部を形成する第
二のエッチングレジストを電着系のエッチングレジスト
3とした。この手段によって、金属箔の厚さを薄くする
ことなく2種類のエッチングレジストを利用し金属箔の
厚さを複数段階に分割してエッチングしたため、あたか
も金属箔の厚さを薄くしたようにして、しかもパターン
5上部を形成する第一のエッチングレジストは、パター
ン5上のオーバハング部がパターン5上部の側面の遮光
部ともなり、パターン5下部を形成する第二のエッチン
グレジストの製造用フィルムとしても機能して第二のエ
ッチングレジストの製造用フィルムの位置合わせを省き
微細なパターンを微細なピッチで高い精度で形成するこ
とを可能とする作用を得る。
Next, in a second aspect of the present invention,
As shown in FIG. 2, the etching resist used for the plurality of etchings is a film-based or metal-based etching resist 2 for the first etching resist for forming the upper part of the pattern 5 and the second etching resist for forming the lower part of the pattern 5. Was used as an electrodeposition type etching resist 3. By this means, without reducing the thickness of the metal foil, the thickness of the metal foil was divided into a plurality of stages and etched using two types of etching resists, so that as if the thickness of the metal foil was reduced, In addition, the first etching resist forming the upper portion of the pattern 5 functions as a film for manufacturing the second etching resist forming the lower portion of the pattern 5 because the overhang portion on the pattern 5 also functions as a light shielding portion on the side surface of the upper portion of the pattern 5. As a result, it is possible to obtain the effect that the positioning of the film for manufacturing the second etching resist can be omitted and a fine pattern can be formed at a fine pitch with high precision.

【0007】また、請求項3の第3の発明においては、
図3に示すように、第一のフィルム系あるいは金属系の
エッチングレジスト2を、金属箔4の表面に形成しエッ
チングしてプリント配線板6の表面にパターン5の上部
を一次形成する工程P01と、当該パターン5の下部の
金属箔4の表面と前記一次形成したパターン5の側面に
第二のエッチングレジストの電着系のエッチングレジス
ト3を形成しエッチングしてプリント配線板の表面にパ
ターン5の下部を二次形成して完成する工程P02とで
構成した。この手段によって、金属箔の厚さを薄くする
ことなく2種類のエッチングレジストを利用し金属箔の
厚さを複数段階に分割してエッチングしたため、あたか
も金属箔の厚さを薄くしたようにして微細なパターンを
微細なピッチで形成することを可能とするとともに、従
来のプリント配線板の製造技術や設備そして材料を用い
て、シンプルな工程で実現できる作用を得る。
[0007] In a third aspect of the present invention,
As shown in FIG. 3, a step P01 of forming a first film-based or metal-based etching resist 2 on the surface of the metal foil 4 and etching it to form the upper portion of the pattern 5 on the surface of the printed wiring board 6 firstly. An electrodeposition type etching resist 3 of a second etching resist is formed on the surface of the metal foil 4 below the pattern 5 and on the side surface of the pattern 5 formed primarily, and etched to form the pattern 5 on the surface of the printed wiring board. And a step P02 of completing the lower portion by secondary forming. By this means, the thickness of the metal foil is divided into a plurality of stages and etched by using two types of etching resists without reducing the thickness of the metal foil, so that the fineness is as if the thickness of the metal foil was reduced. It is possible to form a simple pattern at a fine pitch, and to obtain an effect that can be realized by a simple process using a conventional printed wiring board manufacturing technology, equipment and materials.

【0008】[0008]

【実施例】以下、図1ないし図3の本発明に関わる図面
を説明する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a first embodiment of the present invention; FIG.

【0009】図1ないし図3の本発明に関わる図面に用
いた符号について一括して以下に説明する。1はパター
ン5形成部分に施す耐エッチング性の皮膜のエッチング
レジストである。2はエッチングレジスト1のうちで感
光性のフィルム状あるいは金属めっきでなるエッチング
レジストである。3はエッチングレジスト1のうちで帯
電により耐エッチング性の皮膜を付着するエッチングレ
ジストである。4は絶縁基板の片面あるいは両面に接着
するパターン5を形成するための導体として銅などを用
いた金属箔である。5は金属箔4をエッチングで形成し
たパターンである。6は絶縁基板にパターン5を形成し
たプリント配線板である。
Reference numerals used in the drawings of the present invention shown in FIGS. 1 to 3 are collectively described below. Reference numeral 1 denotes an etching resist of an etching-resistant film applied to a portion where the pattern 5 is formed. Reference numeral 2 denotes an etching resist formed of a photosensitive film or metal plating in the etching resist 1. Reference numeral 3 denotes an etching resist of the etching resist 1 to which an etching resistant film is attached by charging. Reference numeral 4 denotes a metal foil using copper or the like as a conductor for forming a pattern 5 to be adhered to one or both surfaces of the insulating substrate. Reference numeral 5 denotes a pattern formed by etching the metal foil 4. Reference numeral 6 denotes a printed wiring board having a pattern 5 formed on an insulating substrate.

【0010】図1は、本発明の原理図である。同図にお
いて、例えば銅などの金属箔4を半分づつ2段階でエッ
チングレジスト1の利用によるエッチングで微細なパタ
ーン5を形成した。このことによって、金属箔の厚さを
薄くすることなく半分づつ2段階に分割してあたかも金
属箔の厚さを半分に薄くしたようにしてエッチングした
ため、金属箔の厚さが厚くても微細なパターンを微細な
ピッチで形成することができる。なお本図では各段階の
エッチング深さを金属箔の厚さの半分としたが、精度を
含めた製造能力によって段階数と各段階のエッチング深
さを可変とすることができる。
FIG. 1 is a diagram showing the principle of the present invention. In FIG. 1, a fine pattern 5 is formed by etching a metal foil 4 of, for example, copper by using an etching resist 1 in two stages in half. This allows the metal foil to be divided into two stages in half without reducing the thickness of the metal foil and to be etched as if the thickness of the metal foil was reduced by half. Patterns can be formed at a fine pitch. Although the etching depth in each step is set to half of the thickness of the metal foil in this drawing, the number of steps and the etching depth in each step can be varied depending on the manufacturing capability including accuracy.

【0011】図2は、本発明の実施例図である。同図に
おいて、前記複数回のエッチングに利用するエッチング
レジストを、パターン5上部を形成する第一のエッチン
グレジストはドライフィルムなどのフィルム系あるいは
はんだめっきなどの金属系のエッチングレジスト2と
し、パターン5下部を形成する第二のエッチングレジス
トを電着系のエッチングレジスト3とした。このことに
よって、金属箔の厚さを薄くすることなく2種類のエッ
チングレジストを利用し金属箔の厚さを複数段階に分割
してエッチングしたため、あたかも金属箔の厚さを薄く
したようにして、しかもパターン5上部を形成する第一
のエッチングレジストは、パターン5上のオーバハング
部がパターン5上部の側面の遮光部ともなり、パターン
5下部を形成する第二のエッチングレジストの製造用フ
ィルムとしても機能して第二のエッチングレジストの製
造用フィルムの位置合わせを省き微細なパターンを微細
なピッチで高い精度で形成することができる。
FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention. In the same drawing, the etching resist used for the plurality of etchings is changed to a first etching resist for forming the upper part of the pattern 5 by a film-based etching resist 2 such as a dry film or a metal-based etching resist 2 such as solder plating. Was used as an electrodeposition etching resist 3. Because of this, the thickness of the metal foil was divided into multiple stages and etched using two types of etching resists without reducing the thickness of the metal foil, so as if the thickness of the metal foil was reduced, In addition, the first etching resist forming the upper portion of the pattern 5 functions as a film for manufacturing the second etching resist forming the lower portion of the pattern 5 because the overhang portion on the pattern 5 also functions as a light shielding portion on the side surface of the upper portion of the pattern 5. As a result, the alignment of the film for manufacturing the second etching resist can be omitted, and a fine pattern can be formed at a fine pitch with high accuracy.

【0012】図3は、本発明の製造工程図である。同図
において、第一のフィルム系あるいは金属系のエッチン
グレジスト2を、図示しないエッチングレジストの製造
用フィルムを用いて露光と現像により金属箔4の表面に
同図(a)に示すように形成しエッチングしてプリント
配線板の表面にパターン5の上部を同図(b)に示すよ
うに一次形成する工程P01と、当該パターン5の下部
の金属箔4の表面と前記一次形成したパターン5の側面
に同図(c)に示すように第二のエッチングレジストの
電着系のエッチングレジスト3を同図(d)に示すよう
にエッチングレジストの製造用フィルムを用いず露光と
現像により形成しエッチングしてプリント配線板の表面
にパターン5の下部を同図(e)に示すように二次形成
して完成する工程P02とで構成した。このことによっ
て、金属箔の厚さを薄くすることなく2種類のエッチン
グレジストを利用し金属箔の厚さを複数段階に分割して
エッチングしたため、あたかも金属箔の厚さを薄くした
ようにして微細なパターンを微細なピッチで形成するこ
とを可能とするとともに、従来のプリント配線板の製造
技術や設備そして材料を用いて、さらに同図(d)に示
すように第一のエッチングレジストは、パターン5上の
オーバハング部がパターン5上部の側面の遮光部ともな
り、パターン5下部を形成する第二のエッチングレジス
トの製造用フィルムとしても機能して第二のエッチング
レジストの製造用フィルムの位置合わせを省き微細なパ
ターンを微細なピッチで高い精度とシンプルな工程で実
現することができる。
FIG. 3 is a manufacturing process diagram of the present invention. In the figure, a first film-based or metal-based etching resist 2 is formed on the surface of a metal foil 4 by exposure and development using a film for manufacturing an etching resist (not shown) as shown in FIG. A step P01 in which the upper portion of the pattern 5 is primarily formed on the surface of the printed wiring board by etching as shown in FIG. 2B, and the surface of the metal foil 4 below the pattern 5 and the side surface of the pattern 5 which has been primarily formed. As shown in FIG. 3C, an electrodeposition type etching resist 3 of a second etching resist is formed by exposure and development without using a film for manufacturing an etching resist as shown in FIG. Then, the lower part of the pattern 5 is secondarily formed on the surface of the printed wiring board as shown in FIG. As a result, the thickness of the metal foil is divided into a plurality of stages and etched using two types of etching resists without reducing the thickness of the metal foil. In addition to making it possible to form a simple pattern at a fine pitch, the first etching resist can be formed using a conventional printed wiring board manufacturing technique, equipment and materials, as shown in FIG. The overhanging portion on the upper surface 5 also functions as a light shielding portion on the side surface of the upper portion of the pattern 5, and also functions as a film for manufacturing the second etching resist forming the lower portion of the pattern 5, thereby aligning the film for manufacturing the second etching resist. It is possible to realize a fine pattern at a fine pitch with high precision and a simple process.

【0013】なお本実施例では、微細なパターンの形成
を片面プリント配線板の場合を中心に述べてきたが、両
面プリント配線板の場合でも、また多層プリント配線板
の場合の外層や内層のパターンでも本発明の組合せによ
って、同様の効果を得ることができる。
In this embodiment, the formation of a fine pattern has been described mainly on the case of a single-sided printed wiring board. However, even in the case of a double-sided printed wiring board, the pattern of an outer layer or an inner layer in the case of a multilayer printed wiring board is described. However, similar effects can be obtained by the combination of the present invention.

【0014】[0014]

【発明の効果】以上説明した本発明の効果について,請
求項順に説明する。
The effects of the present invention described above will be described in the order of claims.

【0015】請求項1記載の構成を備えた微細パターン
のプリント配線板は、金属箔を複数回形成したエッチン
グレジストの利用によるエッチングで形成した。このこ
とによって、金属箔の厚さを薄くすることなく複数回に
分割してあたかも金属箔の厚さを薄くしたようにしてエ
ッチングしたため、金属箔の厚さが厚くても微細なパタ
ーンを微細なピッチで形成することができる。
The printed wiring board having a fine pattern having the structure described in claim 1 is formed by etching using an etching resist in which a metal foil is formed a plurality of times. This allows the metal foil to be etched multiple times without reducing the thickness of the metal foil, as if the metal foil were thinner. It can be formed at a pitch.

【0016】請求項2記載の構成を備えた微細パターン
のプリント配線板は、複数回のエッチングに利用するエ
ッチングレジストは、パターン上部を形成する第一のエ
ッチングレジストをフィルム系あるいは金属系のエッチ
ングレジストとし、パターン下部を形成する第二のエッ
チングレジストを電着系のエッチングレジストとした。
このことによって、金属箔の厚さを薄くすることなく2
種類のエッチングレジストを利用し金属箔の厚さを複数
段階に分割してエッチングしたため、あたかも金属箔の
厚さを薄くしたようにして、請求項1に記述の効果に加
え、パターン上部を形成する第一のエッチングレジスト
はパターン下部を形成する第二のエッチングレジストの
製造用フィルムとしても機能して第二のエッチングレジ
ストの製造用フィルムの位置合わせを省き、微細なパタ
ーンを微細なピッチで高い精度で形成することができ
る。
In the printed wiring board having a fine pattern having the configuration according to claim 2, the etching resist used for etching a plurality of times is a film-based or metal-based etching resist that forms the first etching resist for forming the upper part of the pattern. The second etching resist forming the lower part of the pattern was used as an electrodeposition etching resist.
This makes it possible to reduce the thickness of the metal foil without reducing the thickness.
Since the thickness of the metal foil is divided into a plurality of stages and etched using various kinds of etching resists, the upper portion of the pattern is formed as if the thickness of the metal foil was reduced, in addition to the effect described in claim 1. The first etching resist also functions as a film for manufacturing the second etching resist that forms the lower part of the pattern, omitting the alignment of the film for manufacturing the second etching resist, and forming a fine pattern with a fine pitch and high precision. Can be formed.

【0017】請求項3記載の構成を備えた微細パターン
のプリント配線板は、第一のフィルム系あるいは金属系
のエッチングレジストを、金属箔の表面に形成しエッチ
ングしてプリント配線板の表面にパターンの上部を一次
形成する工程と、当該パターンの下部の金属箔の表面と
前記一次形成したパターンの側面に第二のエッチングレ
ジストの電着系のエッチングレジストを形成しエッチン
グしてプリント配線板の表面にパターンの下部を二次形
成して完成する工程とで構成した。このことによって、
請求項1または2に記述の効果に加え、従来のプリント
配線板の製造技術や設備そして材料を用いて、シンプル
な工程で実現できる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a printed wiring board having a fine pattern, wherein a first film-based or metal-based etching resist is formed on the surface of a metal foil and etched to form a pattern on the surface of the printed wiring board. Forming the upper portion of the pattern, and forming an electrodeposition-based etching resist of a second etching resist on the surface of the metal foil below the pattern and on the side surface of the pattern formed first, and etching the surface of the printed wiring board. And forming the lower part of the pattern secondarily to complete the pattern. This allows
In addition to the effects described in the first or second aspect, the present invention can be realized by a simple process using a conventional printed wiring board manufacturing technique, equipment, and materials.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の原理図である。FIG. 1 is a principle diagram of the present invention.

【図2】本発明の実施例図である。FIG. 2 is an embodiment diagram of the present invention.

【図3】本発明の製造工程図である。FIG. 3 is a manufacturing process diagram of the present invention.

【図4】従来例の実施例図である。FIG. 4 is an embodiment diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,2,3 エッチングレジスト 4 金属箔 5 パターン 6 プリント配線板 1,2,3 Etching resist 4 Metal foil 5 Pattern 6 Printed wiring board

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プリント配線板(6)の微細なパターン
(5)を、複数回形成したエッチングレジスト(1)の
利用によるエッチングで形成したこと、を特徴とする微
細パターンのプリント配線板。
1. A printed circuit board having a fine pattern, wherein a fine pattern (5) of the printed circuit board (6) is formed by etching using an etching resist (1) formed a plurality of times.
【請求項2】 前記複数回のエッチングに利用するエッ
チングレジスト(1)は、パターン(5)上部を形成す
る第一のエッチングレジストをフィルム系あるいは金属
系のエッチングレジスト(2)と、パターン(5)下部
を形成する第二のエッチングレジストを電着系のエッチ
ングレジスト(3)とでなる、ことを特徴とする請求項
1記載の微細パターンのプリント配線板。
2. An etching resist (1) used for the plurality of times of etching includes a first etching resist forming an upper part of a pattern (5) and a film-based or metal-based etching resist (2) and a pattern (5). 2. The printed wiring board with a fine pattern according to claim 1, wherein the second etching resist forming the lower portion is formed of an electrodeposition etching resist.
【請求項3】 第一のフィルム系あるいは金属系のエッ
チングレジスト(2)を、金属箔(4)の表面に形成し
エッチングしてプリント配線板(6)の表面にパターン
(5)の上部を一次形成する工程(P01)と、当該パ
ターン(5)の下部の金属箔(4)の表面と前記一次形
成したパターン(5)の側面に第二のエッチングレジス
トの電着系のエッチングレジスト(3)を形成しエッチ
ングしてプリント配線板の表面にパターン(5)の下部
を二次形成して完成する工程(P02)とでなる、こと
を特徴とする微細パターンのプリント配線板の製造方
法。
3. A first film-based or metal-based etching resist (2) is formed on the surface of the metal foil (4) and etched to form an upper portion of the pattern (5) on the surface of the printed wiring board (6). A step of primary forming (P01), an electrodeposition type etching resist (3) of a second etching resist on the surface of the metal foil (4) below the pattern (5) and on the side of the pattern (5) formed primary. ), And forming a second portion on the surface of the printed wiring board by etching to form a lower portion of the pattern (5) and completing the same (P02).
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