JPH10199454A - Field emission type display device and manufacture therefor - Google Patents
Field emission type display device and manufacture thereforInfo
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- JPH10199454A JPH10199454A JP73197A JP73197A JPH10199454A JP H10199454 A JPH10199454 A JP H10199454A JP 73197 A JP73197 A JP 73197A JP 73197 A JP73197 A JP 73197A JP H10199454 A JPH10199454 A JP H10199454A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電界放出素子（Fi
eld Emission Cathode, 略してFEC ）を電子源とし、こ
のＦＥＣから放出された電子を蛍光体に射突させて表示
を行う電界放出形表示装置と、その製造方法に関するも
のである。The present invention relates to a field emission device (Fi
Field of the Invention The present invention relates to a field emission display device which uses an electron emission cathode (abbreviated as FEC) as an electron source and irradiates electrons emitted from the FEC to a phosphor to perform display, and a method of manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図９（ａ）は、現在知られている一般的
な電界放出形表示装置構造の一例を示す断面図である。
陰極基板１の内面にはＦＥＣ２が形成されている。ＦＥ
Ｃ２に対面するように陰極基板１から所定の間隔をおい
て陽極基板３が設けられている。この陽極基板３の内面
には、ＦＥＣ２に対面して陽極４が設けられている。陽
極基板３と陰極基板１の外周縁部の間には封着ガラス等
からなるスペーサ部材５が設けられている。陽極基板３
と陰極基板１とスペーサ部材５によって構成される外囲
器６の内部は、高真空状態に保持されている。外囲器６
の一側部には、箱形のゲッター室７が外囲器６内に連通
して設けられている。ゲッター室７の内部にはバリウム
ゲッター８が設けられている。バリウムゲッター８は、
例えばリング状の容器の内部にＢａ系の材料を充填した
構造とされている。バリウムゲッター８は、電子の射突
等によって蛍光体等から放出されるガスを吸着し、封止
後に生じる外囲器６内の真空度の低下を防ぐためのもの
である。2. Description of the Related Art FIG. 9A is a sectional view showing an example of the structure of a general field emission display device known at present.
An FEC 2 is formed on the inner surface of the cathode substrate 1. FE
An anode substrate 3 is provided at a predetermined distance from the cathode substrate 1 so as to face C2. An anode 4 is provided on the inner surface of the anode substrate 3 so as to face the FEC 2. A spacer member 5 made of sealing glass or the like is provided between the outer peripheral edges of the anode substrate 3 and the cathode substrate 1. Anode substrate 3
The inside of the envelope 6 constituted by the cathode substrate 1 and the spacer member 5 is maintained in a high vacuum state. Envelope 6
On one side, a box-shaped getter chamber 7 is provided in communication with the envelope 6. A barium getter 8 is provided inside the getter chamber 7. Barium getter 8
For example, it has a structure in which a Ba-based material is filled in a ring-shaped container. The barium getter 8 is for adsorbing a gas emitted from a phosphor or the like due to electron bombardment or the like, and preventing a decrease in the degree of vacuum in the envelope 6 after sealing.
【０００３】図９（ｂ）は、同図（ａ）の電界放出形表
示装置におけるＦＥＣ２と陽極４の拡大断面図である。
ＦＥＣ２の構造を説明する。陰極基板１の内面には陰極
導体９が形成されている。陰極導体９の上には絶縁層１
０が設けられており、絶縁層１０の上にはゲート電極１
１が形成されている。ゲート電極１１と絶縁層１０に
は、陰極導体９に達するホール１２が形成されている。
ホール１２内の陰極導体９の上には、コーン形状のエミ
ッタ１３が形成されている。FIG. 9B is an enlarged sectional view of the FEC 2 and the anode 4 in the field emission display of FIG.
The structure of the FEC 2 will be described. A cathode conductor 9 is formed on the inner surface of the cathode substrate 1. On the cathode conductor 9, the insulating layer 1
0 is provided, and the gate electrode 1 is provided on the insulating layer 10.
1 is formed. Holes 12 reaching the cathode conductor 9 are formed in the gate electrode 11 and the insulating layer 10.
On the cathode conductor 9 in the hole 12, a cone-shaped emitter 13 is formed.
【０００４】ＦＥＣ２に対面する陽極４の構造を説明す
る。陽極基板３の内面には透光性を有する陽極導体１４
が形成されている。陽極導体１４は、例えばＩＴＯ（In
diumTin Oxide）膜等の透明導電膜で構成できる。そし
て、前記陽極導体１４の表面には蛍光体層１５が被着さ
れている。The structure of the anode 4 facing the FEC 2 will be described. An anode conductor 14 having translucency is provided on the inner surface of the anode substrate 3.
Are formed. The anode conductor 14 is made of, for example, ITO (In
(Tin Oxide) film. The surface of the anode conductor 14 is covered with a phosphor layer 15.
【０００５】例えば、ＦＥＣ２において陰極導体９をス
トライプ状に構成し、ゲート電極１１を陰極導体９に直
交するストライプ状に構成し、前記陽極４を単一の陽極
導体１４の上に蛍光体層１５をベタ状に被着した構成と
する場合がある。このような構成の場合、陰極導体９と
ゲート電極１１の一方を走査するとともに、走査信号に
同期した表示信号を他方の電極に与え、陽極４には所定
の正電位を常時印加しておく。選択された陰極導体９と
ゲート１１の交点にあるエミッタ１３から電子が放出さ
れ、電子は陽極４の対向する選択された位置に射突して
当該部分を発光させる。従って、ＦＥＣ２を任意に駆動
することによって陽極４の蛍光体層１５を所望のパター
ンで発光させることができる。蛍光体層１５の発光は、
陽極導体１４及び陽極基板３を通して外囲器６の外側か
ら観察できる。For example, in the FEC 2, the cathode conductor 9 is formed in a stripe shape, the gate electrode 11 is formed in a stripe shape orthogonal to the cathode conductor 9, and the anode 4 is formed on a single anode conductor 14 by a phosphor layer 15. May be solidly applied. In such a configuration, one of the cathode conductor 9 and the gate electrode 11 is scanned, a display signal synchronized with the scanning signal is applied to the other electrode, and a predetermined positive potential is constantly applied to the anode 4. Electrons are emitted from the emitter 13 at the intersection of the selected cathode conductor 9 and the gate 11, and the electrons impinge on the opposing selected position of the anode 4 causing the portion to emit light. Accordingly, the phosphor layer 15 of the anode 4 can emit light in a desired pattern by arbitrarily driving the FEC 2. The emission of the phosphor layer 15 is
It can be observed from outside the envelope 6 through the anode conductor 14 and the anode substrate 3.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】従来の電界放出形表示
装置においては、使用するにつれて蛍光体層の発光効率
やエミッタのエミッションが著しく低下し、表示性能が
大きく損なわれるという問題があった。特に発光色が
赤、青、黄色等の所謂カラー蛍光体を用いたフルカラー
の電界放出形表示装置においては、前記問題点のために
実用化が困難とされる状態にある。In the conventional field emission display device, there has been a problem that the luminous efficiency of the phosphor layer and the emission of the emitter are remarkably reduced as the device is used, and the display performance is greatly impaired. In particular, a full-color field emission display device using a so-called color phosphor of red, blue, yellow or the like in emission color is in a state where practical use is difficult due to the above-mentioned problems.
【０００７】本発明は、蛍光体の発光効率やエミッタの
劣化を防ぐことができ、表示性能の劣化が生じにくい電
界放出形表示装置を提供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a field emission display device which can prevent the luminous efficiency of the phosphor and the deterioration of the emitter and hardly cause the deterioration of the display performance.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載された電
界放出形表示装置は、外囲器の内部に水素放出物質を設
けたことを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a field emission display device, wherein a hydrogen releasing substance is provided inside an envelope.
【０００９】請求項２に記載された電界放出形表示装置
は、請求項１記載の電界放出形表示装置において、前記
水素放出物質を前記蛍光体の近傍に設けたことを特徴と
する。According to a second aspect of the present invention, there is provided the field emission display according to the first aspect, wherein the hydrogen emitting material is provided near the phosphor.
【００１０】請求項３に記載された電界放出形表示装置
は、請求項１記載の電界放出形表示装置において、前記
水素放出物質が、少なくともＺｒを含む合金を有する水
素放出ゲッターであることを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, in the field emission type display device according to the first aspect, the hydrogen emitting material is a hydrogen emitting getter having an alloy containing at least Zr. And
【００１１】請求項４に記載された電界放出形表示装置
は、請求項１記載の電界放出形表示装置において、バリ
ウムゲッターを有することを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a field emission display device according to the first aspect, further comprising a barium getter.
【００１２】請求項５に記載された電界放出形表示装置
の製造方法は、内部が高真空雰囲気とされた外囲器と、
前記外囲器の内面に設けられた電界放出素子と、前記電
界放出素子に対面して前記外囲器の内面に設けられた蛍
光体を有する陽極とを備えた電界放出形表示装置の製造
方法において、前記外囲器の内部に水素放出物質を設け
る工程と、前記外囲器を加熱するとともに前記外囲器の
内部に水素ガスを注入して前記水素放出物質に水素を吸
蔵させる工程と、前記外囲器内を高真空状態に排気した
後に前記外囲器を封止する工程とを有している。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a field emission display, comprising: an envelope having a high vacuum atmosphere inside;
A method for manufacturing a field emission display device, comprising: a field emission device provided on the inner surface of the envelope; and an anode having a phosphor provided on the inner surface of the envelope facing the field emission device. In the step of providing a hydrogen releasing substance inside the envelope, and heating the envelope and injecting hydrogen gas into the interior of the envelope to occlude hydrogen in the hydrogen releasing substance, Sealing the envelope after exhausting the inside of the envelope to a high vacuum state.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の第１の例で
ある電界放出形表示装置を図１〜図３を参照して説明す
る。本例の電界放出形表示装置は、外囲器、ＦＥＣ、陽
極等の主要な構成部分の基本構造については図９を参照
して説明した従来のものと略同一であり、必要に応じて
図９と同一の符号を使用して説明する。従来例とは異な
り、本例の電界放出形表示装置の陽極は、複数本のスト
ライプ状又は複数個のドット状に分けられている。複数
に分割された陽極の各々には、発光色が赤、青、緑の複
数種類の蛍光体が被着されている。従って、各色の陽極
を選択的に発光させることによって混色により所望のパ
ターンのフルカラー表示が可能となる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A field emission display device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The basic structure of the main components such as the envelope, the FEC, and the anode of the field emission display device of this example is substantially the same as that of the conventional device described with reference to FIG. The description will be made using the same reference numerals as in FIG. Unlike the conventional example, the anode of the field emission display of this example is divided into a plurality of stripes or a plurality of dots. A plurality of types of phosphors having emission colors of red, blue, and green are applied to each of the plurality of divided anodes. Therefore, full-color display of a desired pattern can be realized by color mixing by selectively emitting the anode of each color.
【００１４】本例で使用可能な蛍光体の種類は次の通り
である。 赤色発光蛍光体…ＳｒＴｉＯ3 ：Ｐｒ、Ｙ2 Ｏ2 Ｓ：Ｅｕ、Ｙ2 Ｏ3 ：Ｅｕ 緑色発光蛍光体…ＺｎＧａ2 Ｏ4 ：Ｍｎ、Ｇｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔｂ、ＺｎＯ：Ｚｎ 青色発光蛍光体…Ｙ2 ＳｉＯ5 ：Ｃｅ、ＺｎＧａ2 Ｏ4 、ＺｎＳ：Ａｇ、 ＳｒＧａ2 Ｓ4 ：Ｃｅ，ＮａThe types of phosphors that can be used in this embodiment are as follows. Red light-emitting phosphor: SrTiO 3 : Pr, Y 2 O 2 S: Eu, Y 2 O 3 : Eu Green light-emitting phosphor: ZnGa 2 O 4 : Mn, Gd 2 O 2 S: Tb, ZnO: Zn Blue light-emitting phosphor Body: Y 2 SiO 5 : Ce, ZnGa 2 O 4 , ZnS: Ag, SrGa 2 S 4 : Ce, Na
【００１５】本例の電界放出形表示装置は、水素放出物
質として、Ｚｒを含む合金の一例であるＺｒ−Ｖ−Ｆｅ
合金を有する水素放出ゲッターを外囲器６内又はゲッタ
ー室７内に有している。水素放出ゲッターには適当な量
の水素が吸蔵されている。外囲器６は、製造時には従来
と同様に内部を高真空雰囲気に排気した状態とするが、
外囲器６内の水素放出ゲッターが水素を放出するので使
用時には一定の水素雰囲気に保持されている。水素放出
ゲッターの外囲器６内又はゲッター室７内における固定
構造乃至取り付け構造は任意である。水素放出ゲッター
の外形状は任意である。例えば、図１（ａ）に示す水素
放出ゲッター２０のように円柱形でもよいし、同図
（ｂ）に示す水素放出ゲッター２１のように円盤形でも
よいし、同図（ｃ）に示す水素放出ゲッター２２のよう
に板状でもよいし、同図（ｄ）に示す水素放出ゲッター
２３のように円柱形の水素放出物質の中心にヒータ２４
を貫通させた通電形でもよい。この通電形の場合には、
ヒータ２４に通電して水素放出物質を活性化する。The field emission display of this embodiment is a Zr-V-Fe alloy, which is an example of an alloy containing Zr as a hydrogen releasing substance.
A hydrogen releasing getter having an alloy is provided in the envelope 6 or the getter chamber 7. An appropriate amount of hydrogen is stored in the hydrogen release getter. The envelope 6 is evacuated to a high vacuum atmosphere as in the related art at the time of manufacture.
Since the hydrogen release getter in the envelope 6 releases hydrogen, it is maintained in a constant hydrogen atmosphere during use. The fixing structure or the mounting structure of the hydrogen release getter in the envelope 6 or the getter chamber 7 is arbitrary. The outer shape of the hydrogen release getter is arbitrary. For example, it may be cylindrical as in the hydrogen release getter 20 shown in FIG. 1A, disk-shaped as in the hydrogen release getter 21 shown in FIG. 1B, or hydrogen as shown in FIG. It may be plate-shaped as in the release getter 22, or may be a heater 24 in the center of a columnar hydrogen-emitting substance as in a hydrogen release getter 23 shown in FIG.
May be passed through. In the case of this energized type,
The heater 24 is energized to activate the hydrogen releasing substance.
【００１６】従来から使用されていた容器内にＢａ化合
物を有する非蒸発形のバリウムゲッター８も、前記水素
放出ゲッター（２０〜２４）とともに外囲器６内又はゲ
ッター室７内に設けられている。A conventionally used non-evaporable barium getter 8 having a Ba compound in a container is also provided in the envelope 6 or the getter chamber 7 together with the hydrogen release getters (20 to 24). .
【００１７】本例の電界放出形表示装置の製造方法を説
明する。ＦＥＣ２を形成した陰極基板１と、陽極４を形
成した陽極基板３を対向させ、スペーサ部材５を介して
外囲器６に組み立てておく。外囲器６内又は外囲器６に
連通したゲッター室７には水素放出ゲッターを収納して
おく。これを真空チャンバー内に収納し、真空雰囲気内
で５００℃にて１０分程加熱して封着する。この時、水
素放出ゲッターも加熱されて活性化され、吸蔵されてい
たガスが放出される。次に、真空チャンバーの中に水素
を導入し、水素放出ゲッターに水素を吸蔵させる。そし
て、真空チャンバー内から余分の水素を排気して再び高
真空とし、外囲器６を封止する。これによって、水素を
吸蔵した水素放出ゲッターが高真空雰囲気の外囲器６の
中に収納され、陽極には赤、緑、青の３色の蛍光体を備
えた本例の電界放出形表示装置が得られる。A method for manufacturing the field emission display of this embodiment will be described. The cathode substrate 1 on which the FEC 2 is formed and the anode substrate 3 on which the anode 4 is formed are opposed to each other, and assembled in an envelope 6 via a spacer member 5. A hydrogen release getter is housed in the envelope 6 or in a getter chamber 7 communicating with the envelope 6. This is housed in a vacuum chamber, and heated and sealed at 500 ° C. for about 10 minutes in a vacuum atmosphere. At this time, the hydrogen release getter is also heated and activated, and the occluded gas is released. Next, hydrogen is introduced into the vacuum chamber, and hydrogen is absorbed by the hydrogen release getter. Then, excess hydrogen is evacuated from the vacuum chamber to create a high vacuum again, and the envelope 6 is sealed. As a result, the hydrogen release getter that has absorbed hydrogen is housed in the envelope 6 in a high vacuum atmosphere, and the field emission display device of the present example is provided with phosphors of three colors of red, green, and blue on the anode. Is obtained.
【００１８】本例の電界放出形表示装置によれば、外囲
器６内は一定の水素ガス圧に保持される。外囲器６内の
水素には、外囲器６内の部品等の表面に付着している異
物を除去する清浄作用がある。即ち、エミッタ及び蛍光
体の表面に吸着されたＨ2 ＯからはＯが派生し、ガラス
・蛍光体塗布用のバインダ・カソード表面等からはＣ系
ガス（ＣＯ，ＣＯ2 等）が放出されるが、外囲器６内の
水素はこれらと結びつき、ＯＨ又はＣＨ系のガスに変え
る。このガスは水素放出ゲッター又はバリウムゲッター
８に吸着される。これによって外囲器６内の水素は減る
が、水素ガスの雰囲気圧の減少に対応して水素放出ゲッ
ターから水素が放出されるので、外囲器６内の水素の圧
力は一定の値に維持される。なお、水素放出ゲッターは
水素ガスの雰囲気圧によって水素が出入りするが、水素
以外のＣＯやＣＨ系のガスは吸着するのみで放出するこ
とはない。According to the field emission display of this embodiment, the inside of the envelope 6 is maintained at a constant hydrogen gas pressure. The hydrogen in the envelope 6 has a cleaning action of removing foreign substances adhering to the surfaces of components and the like in the envelope 6. That is, O is derived from H 2 O adsorbed on the surface of the emitter and the phosphor, and C-based gas (CO, CO 2, etc.) is released from the glass, the binder for coating the phosphor, the cathode surface, and the like. However, the hydrogen in the envelope 6 combines with these and changes to OH or CH-based gas. This gas is adsorbed on the hydrogen release getter or barium getter 8. As a result, the hydrogen in the envelope 6 is reduced, but the hydrogen is released from the hydrogen release getter in response to the decrease in the atmospheric pressure of the hydrogen gas. Therefore, the hydrogen pressure in the envelope 6 is maintained at a constant value. Is done. Although the hydrogen release getter allows hydrogen to enter and exit depending on the atmospheric pressure of the hydrogen gas, CO and CH-based gases other than hydrogen are only adsorbed and not released.
【００１９】図２は、種々のガスがＦＥＣ２のエミッシ
ョンに与える影響を示すグラフであり、ＦＥＣ２の陽極
電流とガスの雰囲気圧力との関係を各ガス毎に示したも
のである。この図から分かるように、Ｈ2 や不活性ガス
であるＮ2 は圧力が増してもＦＥＣ２のエミッションに
は殆ど影響せず、陽極電流は変化しない。しかしなが
ら、ＣＯやＳＯ2 があると、その圧力が増すほどにエミ
ッションが低下して陽極電流が減少する。なお、ＣＯに
水素が結合して生じるＣＨ系のガスである例えばＣＨ4
は、Ｈ2 ほどではないが、ＣＯやＳＯ2 に比べればエミ
ッションに与える影響は小さい。このように、本例にお
いては外囲器６の内部にはＨ2 があるが、これはエミッ
ションには影響はなく、Ｈ2 はＦＥＣ２のエミッション
に悪影響を与えるＯ2 やＣＯ等をより影響の小さいガス
に変えて吸着させ、エミッションを維持する働きをす
る。FIG. 2 is a graph showing the effect of various gases on the emission of the FEC 2 and shows the relationship between the anode current of the FEC 2 and the atmospheric pressure of the gas for each gas. As can be seen from this figure, even if the pressure increases, H 2 and N 2, which is an inert gas, hardly affect the emission of FEC2, and the anode current does not change. However, when CO or SO 2 is present, as the pressure increases, the emission decreases and the anode current decreases. It is to be noted that a CH-based gas generated by combining hydrogen with CO, for example, CH 4
Is not as high as H 2 , but has less effect on emissions than CO and SO 2 . As described above, in this example, H 2 is present inside the envelope 6, but this does not affect the emission, and H 2 is more likely to affect O 2 , CO, and the like, which adversely affect the emission of the FEC 2 . It works by adsorbing it by converting it into a small gas to maintain the emission.
【００２０】また、従来の電界放出形表示装置におい
て、劣化した蛍光体をＡＥＳ分析によって調べたとこ
ろ、カーボンの増加が認められた。これは、前述した外
囲器６内のＣＯ、ＣＯ2 等のガスが蛍光体の劣化の主要
な原因と考えられる。このＣ系のガスによる蛍光体への
悪影響は、ＳｒＴｉＯ3 ：ＰｒやＹ2 ＳｉＯ5 ：Ｃｅに
おいて特に著しい。本例によれば、外囲器６の内部の水
素ガスがＣＯ、ＣＯ2 等のガスをＣＨ系のガスにして無
害化するので、蛍光体のカーボン吸着が減り、寿命特性
が大幅に改善されるものと考えられる。In the conventional field emission display device, when the deteriorated phosphor was examined by AES analysis, an increase in carbon was recognized. It is considered that the gas such as CO and CO 2 in the envelope 6 is a main cause of the deterioration of the phosphor. The adverse effect of the C-based gas on the phosphor is particularly remarkable in SrTiO 3 : Pr and Y 2 SiO 5 : Ce. According to this example, since the hydrogen gas inside the envelope 6 converts CO, CO 2 and other gases into CH-based gas and renders it harmless, the carbon adsorption of the phosphor is reduced, and the life characteristics are greatly improved. It is considered to be.
【００２１】以上説明した作用によって、外囲器６内の
蛍光体やエミッタは常に清浄な状態に維持される。これ
により、蛍光体層の発光効率は低下しにくい。またＯ等
による酸化によってエミッタの仕事関数が増大するのを
防止することができるので、エミッタにおけるエミッシ
ョンが低下しにくい。従って、表示部における発光輝度
は低下しにくく、長時間使用しても輝度の低下が少な
い。By the operation described above, the phosphor and the emitter in the envelope 6 are always kept in a clean state. Thereby, the luminous efficiency of the phosphor layer does not easily decrease. In addition, since the work function of the emitter can be prevented from increasing due to oxidation by O or the like, the emission at the emitter is not easily reduced. Therefore, the light emission luminance of the display portion is hardly reduced, and the luminance does not decrease even after long use.
【００２２】図３〜図８は、種々の蛍光体を使用した電
界放出形表示装置において、水素放出ゲッターを使用し
た場合（本発明）と、水素放出ゲッターを使用しない場
合（比較例）を、装置の発光強度の相対値と使用時間と
の関係について比較したものである。程度の差異はある
が、何れの蛍光体においても水素放出ゲッターを使用し
た本発明の方が使用しない場合よりも発光輝度が劣化し
にくいことが証明された。FIGS. 3 to 8 show a field emission display device using various phosphors, in which a hydrogen emission getter is used (the present invention) and in which no hydrogen emission getter is used (comparative example). It is a comparison of the relationship between the relative value of the light emission intensity of the device and the use time. Although varying in degree, it was proved that the emission luminance of any of the phosphors was less likely to be degraded in the present invention using the hydrogen release getter than in the case where it was not used.
【００２３】本例においては、水素放出ゲッターを設け
る位置はゲッター室７内でもよいものとしたが、放出す
る水素ガスによる影響がエミッタや蛍光体に及びやすく
するためには、水素放出ゲッターは外囲器６の内部、特
にエミッタ１３や蛍光体層１５の近傍に設けることが好
ましい。In this embodiment, the position where the hydrogen release getter is provided may be inside the getter chamber 7. However, in order to make the effect of the released hydrogen gas easier on the emitter and the phosphor, the hydrogen release getter must be located outside. It is preferable to provide it inside the enclosure 6, especially near the emitter 13 and the phosphor layer 15.
【００２４】本例の電界放出形表示素子は、コーン形状
のエミッタの上方にゲートを設け、そのさらに上方に設
けたアノードに電子を到達させる図９に示したような構
造を有するものであった。しかしながら本発明は、絶縁
基板の上にエミッタとゲートとアノードを適当な間隔を
おいて配置した平面タイプ（所謂プレーナ形）の電界放
出形表示素子にも適用することができる。The field emission display device of this embodiment has a structure as shown in FIG. 9 in which a gate is provided above a cone-shaped emitter, and electrons reach an anode provided further above the gate. . However, the present invention can also be applied to a flat-type (so-called planar type) field emission display device in which an emitter, a gate, and an anode are arranged at appropriate intervals on an insulating substrate.
【００２５】[0025]
【発明の効果】本発明の電界放出形表示装置及びその製
造方法によれば、所定圧力の水素ガスを外囲器の内部に
保持することができ、この水素ガスによってエミッタや
蛍光体を清浄化することができるので、エミッタのエミ
ションが低下しにくくなり、蛍光体は劣化しにくくな
り、電界放出形表示装置の表示を高輝度化できるととも
に寿命が改善されるという効果が得られる。According to the field emission display of the present invention and the method of manufacturing the same, hydrogen gas at a predetermined pressure can be held inside the envelope, and the hydrogen gas cleans the emitter and the phosphor. Therefore, the emission of the emitter is hardly reduced, the phosphor is hardly deteriorated, and the display of the field emission display device can have high brightness and the life can be improved.
【図１】本発明における水素放出ゲッターの形状例を示
す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a shape example of a hydrogen release getter according to the present invention.
【図２】種々のガスがＦＥＣのエミッションに与える影
響を示すグラフであり、ＦＥＣの陽極電流とガスの雰囲
気圧力との関係を各ガス毎に示したものである。FIG. 2 is a graph showing the influence of various gases on the emission of FEC, and shows the relationship between the anode current of FEC and the atmospheric pressure of the gas for each gas.
【図３】ＺｎＯ：Ｚｎ蛍光体を用いた電界放出形表示装
置において、水素放出ゲッターを使用した場合（本発
明）と、水素放出ゲッターを使用しない場合（比較例）
を、装置の発光強度の相対値と使用時間との関係につい
て比較したものである。FIG. 3 shows a case where a hydrogen emission getter is used (in the present invention) and a case where no hydrogen emission getter is used (comparative example) in a field emission display device using a ZnO: Zn phosphor.
Are compared with respect to the relationship between the relative value of the light emission intensity of the device and the use time.
【図４】ＳｒＴｉＯ3 ：Ｐｒ蛍光体を用いた電界放出形
表示装置において、水素放出ゲッターを使用した場合
（本発明）と、水素放出ゲッターを使用しない場合（比
較例）を、装置の発光強度の相対値と使用時間との関係
について比較したものである。FIG. 4 shows the emission intensity of a field emission display device using a SrTiO 3 : Pr phosphor when a hydrogen emission getter is used (the present invention) and when no hydrogen emission getter is used (a comparative example). Are compared with respect to the relationship between the relative value and the usage time.
【図５】Ｙ2 ＳｉＯ5 ：Ｃｅ蛍光体を用いた電界放出形
表示装置において、水素放出ゲッターを使用した場合
（本発明）と、水素放出ゲッターを使用しない場合（比
較例）を、装置の発光強度の相対値と使用時間との関係
について比較したものである。FIG. 5 shows a field emission display device using a Y 2 SiO 5 : Ce phosphor, in which a hydrogen emission getter is used (the present invention) and in which no hydrogen emission getter is used (a comparative example). It is a comparison of the relationship between the relative value of the light emission intensity and the use time.
【図６】ＺｎＧａ2 Ｏ4 ：Ｍｎ蛍光体を用いた電界放出
形表示装置において、水素放出ゲッターを使用した場合
（本発明）と、水素放出ゲッターを使用しない場合（比
較例）を、装置の発光強度の相対値と使用時間との関係
について比較したものである。FIG. 6 shows a field emission display device using a ZnGa 2 O 4 : Mn phosphor, in which a hydrogen emission getter is used (the present invention) and in which no hydrogen emission getter is used (a comparative example). It is a comparison of the relationship between the relative value of the light emission intensity and the use time.
【図７】Ｙ2 Ｏ2 Ｓ：Ｅｕ、Ｇｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔｂ、Ｚｎ
Ｓ：Ａｇの各蛍光体を用いた電界放出形表示装置におい
て、水素放出ゲッターを使用した場合（本発明）と、水
素放出ゲッターを使用しない場合（比較例）を、装置の
発光強度の相対値と使用時間との関係について比較した
ものである。FIG. 7: Y 2 O 2 S: Eu, Gd 2 O 2 S: Tb, Zn
S: relative values of the emission intensity of the field emission display device using each phosphor of Ag when using a hydrogen emission getter (the present invention) and when not using a hydrogen emission getter (comparative example) And a comparison of the relationship between the usage time.
【図８】ＺｎＧａ2 Ｏ4 、ＳｒＧａ2 Ｓ4 ：Ｃｅ，Ｎ
ａ、Ｙ2 Ｏ3 ：Ｅｕの各蛍光体を用いた電界放出形表示
装置において、水素放出ゲッターを使用した場合（本発
明）と、水素放出ゲッターを使用しない場合（比較例）
を、装置の発光強度の相対値と使用時間との関係につい
て比較したものである。FIG. 8 shows ZnGa 2 O 4 , SrGa 2 S 4 : Ce, N
a, In a field emission display device using each phosphor of Y 2 O 3 : Eu, a case where a hydrogen emission getter is used (the present invention) and a case where no hydrogen emission getter is used (comparative example)
Are compared with respect to the relationship between the relative value of the light emission intensity of the device and the use time.
【図９】（ａ）は一般的な電界放出形表示装置の断面図
である。（ｂ）は（ａ）の外囲器６における部分拡大図
である。FIG. 9A is a cross-sectional view of a general field emission display device. (B) is a partial enlarged view of the envelope 6 of (a).
２ 電界放出素子（ＦＥＣ） ４ 陽極 ６ 外囲器 ８ バリウムゲッター １５ 蛍光体層 ２０，２１，２２，２３ 水素放出物質としての水素放
出ゲッター2 Field emission device (FEC) 4 Anode 6 Envelope 8 Barium getter 15 Phosphor layer 20, 21, 22, 23 Hydrogen emission getter as hydrogen emission material
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田村 清 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 (72)発明者 佐藤 義孝 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on front page (72) Inventor Kiyoshi Tamura 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba Futaba Electronics Co., Ltd. (72) Inventor Yoshitaka Sato 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba Futaba Electronics Co., Ltd.
Claims (5)
とを特徴とする電界放出形表示装置。1. A field emission display device wherein a hydrogen releasing substance is provided inside an envelope.
設けたことを特徴とする請求項１記載の電界放出形表示
装置。2. The field emission display according to claim 1, wherein the hydrogen-emitting substance is provided near the phosphor.
含む合金を有する水素放出ゲッターである請求項１記載
の電界放出形表示装置。3. The field emission display according to claim 1, wherein the hydrogen-emitting substance is a hydrogen-emitting getter having an alloy containing at least Zr.
の電界放出形表示装置。4. The field emission display according to claim 1, further comprising a barium getter.
前記外囲器の内面に設けられた電界放出素子と、前記電
界放出素子に対面して前記外囲器の内面に設けられた蛍
光体を有する陽極とを備えた電界放出形表示装置の製造
方法において、前記外囲器の内部に水素放出物質を設け
る工程と、前記外囲器を加熱するとともに前記外囲器の
内部に水素ガスを注入して前記水素放出物質に水素を吸
蔵させる工程と、前記外囲器内を高真空状態に排気した
後に前記外囲器を封止する工程とを有する電界放出形表
示装置の製造方法。5. An envelope having a high-vacuum atmosphere inside,
A method for manufacturing a field emission display device, comprising: a field emission device provided on the inner surface of the envelope; and an anode having a phosphor provided on the inner surface of the envelope facing the field emission device. In the step of providing a hydrogen releasing substance inside the envelope, and heating the envelope and injecting hydrogen gas into the interior of the envelope to occlude hydrogen in the hydrogen releasing substance, Evacuation of the inside of the envelope to a high vacuum state, and then sealing the envelope.
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|---|---|---|---|---|
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| WO2002011192A1 (en) * | 2000-07-28 | 2002-02-07 | Saes Getters S.P.A. | Integrated capacitive device with hydrogen degradable dielectric layer protected by getter layer |
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