JPH10188505A - 接触式磁気ヘッドスライダ - Google Patents
接触式磁気ヘッドスライダInfo
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- JPH10188505A JPH10188505A JP34195396A JP34195396A JPH10188505A JP H10188505 A JPH10188505 A JP H10188505A JP 34195396 A JP34195396 A JP 34195396A JP 34195396 A JP34195396 A JP 34195396A JP H10188505 A JPH10188505 A JP H10188505A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気ヘッドスライダの跳躍を防止し、同時に
磁気ディスク媒体および磁気ヘッドスライダが摩耗損傷
することを防止する。 【解決手段】 コンタクトパッド１１を設けたスライダ
１０と、このスライダ１０に押し付け荷重を加えるピボ
ット１３を有する接触式磁気ヘッドスライダ１８におい
て、ピボット１３をコンタクトパッド１１の直上部に複
数設ける。さらに、ピボット１３がそれぞれ独立したサ
スペンションばね１４に配置する。これにより、ピボッ
ト回りの回転モーメントまたはスライダ重心点回りの回
転モーメントの発生によるスライダ１０の跳躍を抑止
し、高信頼性で高記録密度の接触式磁気ヘッドスライダ
が提供できる。
磁気ディスク媒体および磁気ヘッドスライダが摩耗損傷
することを防止する。 【解決手段】 コンタクトパッド１１を設けたスライダ
１０と、このスライダ１０に押し付け荷重を加えるピボ
ット１３を有する接触式磁気ヘッドスライダ１８におい
て、ピボット１３をコンタクトパッド１１の直上部に複
数設ける。さらに、ピボット１３がそれぞれ独立したサ
スペンションばね１４に配置する。これにより、ピボッ
ト回りの回転モーメントまたはスライダ重心点回りの回
転モーメントの発生によるスライダ１０の跳躍を抑止
し、高信頼性で高記録密度の接触式磁気ヘッドスライダ
が提供できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッドスライ
ダに関し、特に、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒
体と密接して相対移動し、記録再生を行う接触式磁気ヘ
ッドスライダに関する。
ダに関し、特に、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒
体と密接して相対移動し、記録再生を行う接触式磁気ヘ
ッドスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報記憶ファイルの分野におい
て、高記録密度化が着実に向上している。このため、磁
気ディスク装置では、情報の書き込み・読み出しを行う
磁気ヘッドと情報を保持している磁気ディスク媒体との
間隙をより小さくすることが、高密度記録化の重要な要
素の１つとなっている。
て、高記録密度化が着実に向上している。このため、磁
気ディスク装置では、情報の書き込み・読み出しを行う
磁気ヘッドと情報を保持している磁気ディスク媒体との
間隙をより小さくすることが、高密度記録化の重要な要
素の１つとなっている。
【０００３】磁気ヘッドと磁気ディスク媒体との間隙を
小さくするために、磁気ヘッドが磁気ディスク媒体面に
接触摺動しながら記録再生を行う、いわゆる、接触式磁
気ディスク装置が開発されている（例えば、「Ｈ．Ｈａ
ｍｉｌｔｏｎ：Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｍａｇｎｅｔｉ
ｃ Ｓｏｃｉｅｔｙｏｆ Ｊａｐａｎ，Ｖｏｌ．１５，
Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ Ｎｏ．Ｓ２（１９９１）４８
３」、および「特願平５−５０８８０８号（特表平５−
８１４４９５号公報）」参照）。
小さくするために、磁気ヘッドが磁気ディスク媒体面に
接触摺動しながら記録再生を行う、いわゆる、接触式磁
気ディスク装置が開発されている（例えば、「Ｈ．Ｈａ
ｍｉｌｔｏｎ：Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｍａｇｎｅｔｉ
ｃ Ｓｏｃｉｅｔｙｏｆ Ｊａｐａｎ，Ｖｏｌ．１５，
Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ Ｎｏ．Ｓ２（１９９１）４８
３」、および「特願平５−５０８８０８号（特表平５−
８１４４９５号公報）」参照）。
【０００４】従来、この種の接触式磁気ディスク装置に
用いる磁気ヘッドスライダは、磁気ディスク媒体に押し
つけるために、サスペンションばねに取り付けられた一
つのピボットによって、または、ジンバルばねを用いた
ピボットを使用せず、押し付け荷重を加えている。
用いる磁気ヘッドスライダは、磁気ディスク媒体に押し
つけるために、サスペンションばねに取り付けられた一
つのピボットによって、または、ジンバルばねを用いた
ピボットを使用せず、押し付け荷重を加えている。
【０００５】しかし、このような接触式磁気ディスク装
置では、磁気ディスク媒体上の突起に磁気ヘッドスライ
ダが衝突することや、磁気ヘッドスライダと磁気ディス
ク媒体との間に働く摩擦力によって、磁気ヘッドスライ
ダが磁気ディスク媒体から跳躍して、そのスペーシング
が大きくなり、そのために記録再生エラーが発生するこ
とがあり、高記録密度化および高耐久性化を実現する上
で大きな問題となっていた。
置では、磁気ディスク媒体上の突起に磁気ヘッドスライ
ダが衝突することや、磁気ヘッドスライダと磁気ディス
ク媒体との間に働く摩擦力によって、磁気ヘッドスライ
ダが磁気ディスク媒体から跳躍して、そのスペーシング
が大きくなり、そのために記録再生エラーが発生するこ
とがあり、高記録密度化および高耐久性化を実現する上
で大きな問題となっていた。
【０００６】このような磁気ヘッドスライダの摺動走行
性を安定化させるために、接触摺動部の直上部にピボッ
トを配置することが行われていた（例えば、特開平５−
３６１９０号公報）。
性を安定化させるために、接触摺動部の直上部にピボッ
トを配置することが行われていた（例えば、特開平５−
３６１９０号公報）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の接触式
磁気ヘッドスライダでは、磁気ヘッドスライダと磁気デ
ィスク媒体を接近させて摺動させるために加える押し付
け荷重を、ピボットが１つまたはピボットレスで加えて
いた。このため、接触摺動の際に発生する摩擦力が起源
となって、磁気ヘッドスライダのピボットまたは重心を
中心とした回転モーメントが発生し、磁気ヘッドスライ
ダの跳躍量が大きくなり、記録再生ができなくなるとい
う欠点があった。
磁気ヘッドスライダでは、磁気ヘッドスライダと磁気デ
ィスク媒体を接近させて摺動させるために加える押し付
け荷重を、ピボットが１つまたはピボットレスで加えて
いた。このため、接触摺動の際に発生する摩擦力が起源
となって、磁気ヘッドスライダのピボットまたは重心を
中心とした回転モーメントが発生し、磁気ヘッドスライ
ダの跳躍量が大きくなり、記録再生ができなくなるとい
う欠点があった。
【０００８】本発明の目的は、上述した点に鑑み、磁気
ヘッドスライダの跳躍量および摩耗損傷の低減を十分な
程度に実現し、高記録密度で高信頼性の磁気ディスク装
置を提供することにある。特に、磁気ヘッドスライダに
押し付け荷重を加えるピボットを２つ以上配置した磁気
ヘッドスライダを提供することにある。
ヘッドスライダの跳躍量および摩耗損傷の低減を十分な
程度に実現し、高記録密度で高信頼性の磁気ディスク装
置を提供することにある。特に、磁気ヘッドスライダに
押し付け荷重を加えるピボットを２つ以上配置した磁気
ヘッドスライダを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】次に、本発明の作用につ
いて説明する。図１は、本発明の接触式磁気ヘッドスラ
イダの一例を示す図である。図１を参照すると、本発明
の接触式磁気ヘッドスライダ１８には３つのコンタクト
パッド１１が形成してあり、このコンタクトパッド１１
は磁気ディスク媒体１６が回転移動する磁気ディスク媒
体の進行方向１７の側に１つ、そして、進行逆方向側に
２つ配置してある。これら３つのコンタクトパッド１１
の直上部中心位置にはそれぞれ押し付け荷重を加えるピ
ポット１３を設けたことが特徴である。
いて説明する。図１は、本発明の接触式磁気ヘッドスラ
イダの一例を示す図である。図１を参照すると、本発明
の接触式磁気ヘッドスライダ１８には３つのコンタクト
パッド１１が形成してあり、このコンタクトパッド１１
は磁気ディスク媒体１６が回転移動する磁気ディスク媒
体の進行方向１７の側に１つ、そして、進行逆方向側に
２つ配置してある。これら３つのコンタクトパッド１１
の直上部中心位置にはそれぞれ押し付け荷重を加えるピ
ポット１３を設けたことが特徴である。
【００１０】図２は、従来の磁気ヘッドスライダの一例
を示す図である。図２を参照すると、従来の磁気ヘッド
スライダでは、コンタクトパッドに摩擦力が働いた場
合、ピボットが１つしかないため、摺動による摩擦力２
１によりピボット回りの回転モーメント２０が発生す
る。この回転モーメントによって、図３に示すように、
コンタクトパッドが磁気ディスク媒体１６上から離れて
しまう現象が起こる、すなわち跳躍振動３０が発生して
しまう。
を示す図である。図２を参照すると、従来の磁気ヘッド
スライダでは、コンタクトパッドに摩擦力が働いた場
合、ピボットが１つしかないため、摺動による摩擦力２
１によりピボット回りの回転モーメント２０が発生す
る。この回転モーメントによって、図３に示すように、
コンタクトパッドが磁気ディスク媒体１６上から離れて
しまう現象が起こる、すなわち跳躍振動３０が発生して
しまう。
【００１１】そして、このような磁気ディスク媒体進行
方向のコンタクトパッドの跳躍振動がいったん発生する
と、ピポッド回りの回転モーメント２０があるために、
図４に示すように、連鎖的に磁気ディスク媒体進行逆方
向のコンタクトパッドの跳躍振動３０が発生してしま
う。
方向のコンタクトパッドの跳躍振動がいったん発生する
と、ピポッド回りの回転モーメント２０があるために、
図４に示すように、連鎖的に磁気ディスク媒体進行逆方
向のコンタクトパッドの跳躍振動３０が発生してしま
う。
【００１２】また、図５〜図７に示すような、ピボット
レスサスペンションばね５０を用いたピポッドのない磁
気ヘッドスライダでも、重心点回りの回転モーメント５
１が存在するために、ピボットが１つの従来磁気ヘッド
スライダと同様に跳躍振動３０が発生してしまう。
レスサスペンションばね５０を用いたピポッドのない磁
気ヘッドスライダでも、重心点回りの回転モーメント５
１が存在するために、ピボットが１つの従来磁気ヘッド
スライダと同様に跳躍振動３０が発生してしまう。
【００１３】さらに、図８に示すように、ピボットの位
置を磁気ヘッドエレメントが形成させたコンタクトパッ
ドの直上部中心位置に配置した場合でも、図９に示すよ
うに、ピボットが１つのためにピボット回りの回転モー
メント２０によって跳躍振動３０が発生していまう。
置を磁気ヘッドエレメントが形成させたコンタクトパッ
ドの直上部中心位置に配置した場合でも、図９に示すよ
うに、ピボットが１つのためにピボット回りの回転モー
メント２０によって跳躍振動３０が発生していまう。
【００１４】ここで、図１に示す本発明の接触式磁気ヘ
ッドスライダ１８では、ピボット１３を複数設けたこと
によって、前記ピボット回りの回転モーメントを分散さ
せて跳躍の発生を抑制するという原理を用いている。ま
た、コンタクトパッド１１の直上部中心位置にピボット
１３を配置することによって、重心位置とピボット位置
が離れるので、重心回りの回転モーメントによる跳躍振
動の発生を抑制できる。
ッドスライダ１８では、ピボット１３を複数設けたこと
によって、前記ピボット回りの回転モーメントを分散さ
せて跳躍の発生を抑制するという原理を用いている。ま
た、コンタクトパッド１１の直上部中心位置にピボット
１３を配置することによって、重心位置とピボット位置
が離れるので、重心回りの回転モーメントによる跳躍振
動の発生を抑制できる。
【００１５】さらに、すべてのピボットをコンタクトパ
ッド直上部中心位置から磁気ディスク媒体の進行方向に
１μｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフセットさせるこ
とによって、図１０に示すコンタクトパッドに働く摩擦
力ベクトル１００と跳躍方向の力ベクトル１０１との合
成ベクトル１０２による力を押さえ込むことができ、跳
躍の発生をさらに効率よく抑制することができる。
ッド直上部中心位置から磁気ディスク媒体の進行方向に
１μｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフセットさせるこ
とによって、図１０に示すコンタクトパッドに働く摩擦
力ベクトル１００と跳躍方向の力ベクトル１０１との合
成ベクトル１０２による力を押さえ込むことができ、跳
躍の発生をさらに効率よく抑制することができる。
【００１６】次に、コンタクトパッドがスライダ重心よ
りも記録媒体の進行方向の前方に位置した場合、前記コ
ンタクトパッド上部のピボットのみをコンタクトパッド
直上部中心位置から磁気ディスク媒体の進行方向に１μ
ｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフセットさせることに
よって、磁気ヘッドスライダ重心回りの回転モーメント
とコンタクトパッドの跳躍方向の力の合成ベクトル力を
押さえ込むことができ、跳躍の発生を効率よく抑制する
ことができる。
りも記録媒体の進行方向の前方に位置した場合、前記コ
ンタクトパッド上部のピボットのみをコンタクトパッド
直上部中心位置から磁気ディスク媒体の進行方向に１μ
ｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフセットさせることに
よって、磁気ヘッドスライダ重心回りの回転モーメント
とコンタクトパッドの跳躍方向の力の合成ベクトル力を
押さえ込むことができ、跳躍の発生を効率よく抑制する
ことができる。
【００１７】また、図１１（ｄ）に示すように、複数の
ピボットがそれぞれ独立したサスペンションばねに配置
されることによって、各ピポッドに加える押し付け荷重
を独立制御できるために、さらに跳躍を抑制することが
できる。
ピボットがそれぞれ独立したサスペンションばねに配置
されることによって、各ピポッドに加える押し付け荷重
を独立制御できるために、さらに跳躍を抑制することが
できる。
【００１８】本発明によると、以上の原理に基づき、磁
気ヘッドスライダの跳躍を防止することができ、磁気デ
ィスク装置に関する高記録密度および高信頼性を実現す
ることができる。
気ヘッドスライダの跳躍を防止することができ、磁気デ
ィスク装置に関する高記録密度および高信頼性を実現す
ることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の接触式磁気ディス
ク装置の具体的な実施の形態について説明する。
ク装置の具体的な実施の形態について説明する。
【００２０】図１２は、本発明の接触式磁気ヘッドスラ
イダを用いた接触式磁気ディスク装置の基本構成を示す
断面図である。図１２を参照すると、磁気ディスク媒体
１６は、基板１２４上に下地層１２３，磁性体１２２，
保護膜１２１および潤滑剤１２０を順次成膜して形成し
たものであって、基板１２４には、直径９０ｍｍおよび
厚さ０．３ｍｍのガラスが用いられる。下地層１２３に
は、スパッタ法によってＣｒを１００ｎｍの膜厚に成膜
して形成される。磁性体１２２は、スパッタ法によって
ＣｏＣｒＴａＰｔを３０ｎｍの膜厚に成膜して形成され
る。保護膜１２１は、スパッタ法によってダイヤモンド
ライクカーボンを５ｎｍの膜厚に成膜して形成される。
潤滑剤１２０は、ディップ法によってパーフルオロポリ
エーテルを５ｎｍの膜厚に成膜して形成される。
イダを用いた接触式磁気ディスク装置の基本構成を示す
断面図である。図１２を参照すると、磁気ディスク媒体
１６は、基板１２４上に下地層１２３，磁性体１２２，
保護膜１２１および潤滑剤１２０を順次成膜して形成し
たものであって、基板１２４には、直径９０ｍｍおよび
厚さ０．３ｍｍのガラスが用いられる。下地層１２３に
は、スパッタ法によってＣｒを１００ｎｍの膜厚に成膜
して形成される。磁性体１２２は、スパッタ法によって
ＣｏＣｒＴａＰｔを３０ｎｍの膜厚に成膜して形成され
る。保護膜１２１は、スパッタ法によってダイヤモンド
ライクカーボンを５ｎｍの膜厚に成膜して形成される。
潤滑剤１２０は、ディップ法によってパーフルオロポリ
エーテルを５ｎｍの膜厚に成膜して形成される。
【００２１】一方、本発明の接触式磁気ヘッドスライダ
１８は、支持アーム１５に取り付けられ他端部近傍にピ
ボット１３を設けたサスペンションばね１４と、このサ
スペンションばね１４に支持されるジンバルばね１２
と、ジンバルばね１２に保持するスライダ１０とからな
り、このスライダ１０には磁気ディスク媒体１６に接触
・摺動するためのコンタクトパッド１１と磁気ディスク
媒体１６に対して記録再生を行うための磁気記録再生素
子１９とを備えている。
１８は、支持アーム１５に取り付けられ他端部近傍にピ
ボット１３を設けたサスペンションばね１４と、このサ
スペンションばね１４に支持されるジンバルばね１２
と、ジンバルばね１２に保持するスライダ１０とからな
り、このスライダ１０には磁気ディスク媒体１６に接触
・摺動するためのコンタクトパッド１１と磁気ディスク
媒体１６に対して記録再生を行うための磁気記録再生素
子１９とを備えている。
【００２２】サスペンションばね１４は、基本的には長
さ１０ｍｍ，幅１．２ｍｍおよび厚さ０．０５ｍｍのス
テンレスが用いられる。また、複数のピボットに対して
異なる押し付け荷重を加えるときには、長さ１０ｍｍ，
幅０．３ｍｍで厚さを０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍに変化
させたステンレスが用いられる。そして、サスペンショ
ンばねによって、スライダ１０を磁気ディスク媒体１６
に押し付けるときのトータル荷重は５００ｍｇｆとし
た。
さ１０ｍｍ，幅１．２ｍｍおよび厚さ０．０５ｍｍのス
テンレスが用いられる。また、複数のピボットに対して
異なる押し付け荷重を加えるときには、長さ１０ｍｍ，
幅０．３ｍｍで厚さを０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍに変化
させたステンレスが用いられる。そして、サスペンショ
ンばねによって、スライダ１０を磁気ディスク媒体１６
に押し付けるときのトータル荷重は５００ｍｇｆとし
た。
【００２３】支持アーム１５は、長さ１５ｍｍ、幅３ｍ
ｍおよび厚さ１ｍｍのステンレスが用いられる。ピボッ
ト１３は、サスペンションばねを加圧成形して直径０．
２ｍｍ、高さ０．１ｍｍの球形突起を作製した。ジンバ
ルばね１２は、長さ２ｍｍ、幅１ｍｍ、厚さ０．０１ｍ
ｍのステンレスが用いられ、サスペンションばね１４に
接着される。スライダ１０は、幅１ｍｍ，長さ１．２ｍ
ｍおよび厚さ０．３ｍｍのＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣが用いら
れる。
ｍおよび厚さ１ｍｍのステンレスが用いられる。ピボッ
ト１３は、サスペンションばねを加圧成形して直径０．
２ｍｍ、高さ０．１ｍｍの球形突起を作製した。ジンバ
ルばね１２は、長さ２ｍｍ、幅１ｍｍ、厚さ０．０１ｍ
ｍのステンレスが用いられ、サスペンションばね１４に
接着される。スライダ１０は、幅１ｍｍ，長さ１．２ｍ
ｍおよび厚さ０．３ｍｍのＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣが用いら
れる。
【００２４】磁気記録再生素子１９は、ＮｉＦｅ合金薄
膜をヨーク材料とした薄膜ヘッドが用いられる。コンタ
クトパッド１１は、Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板上にケミカ
ルベーパーデポジション法によってダイヤモンドライク
カーボンを４μｍ堆積させた後、アルゴンイオンによる
ミリング加工によって直径３０μｍに形成したものを用
いた。
膜をヨーク材料とした薄膜ヘッドが用いられる。コンタ
クトパッド１１は、Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板上にケミカ
ルベーパーデポジション法によってダイヤモンドライク
カーボンを４μｍ堆積させた後、アルゴンイオンによる
ミリング加工によって直径３０μｍに形成したものを用
いた。
【００２５】次に、図１１（ａ）に示す磁気ヘッドスラ
イダは、磁気ヘッドスライダ進行方向前方にコンタクト
パッドＡ１１２を２つ、後方にコンタクトパッドＢ１１
３を１つ配置した。そして、これらコンタクトパッド
は、それぞれ以下の位置に配置した。コンタクトパッド
Ａは、磁気ヘッドスライダ進行方向前方の縁から５０μ
ｍ、内周および外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を
中心として直径３０μｍとした。
イダは、磁気ヘッドスライダ進行方向前方にコンタクト
パッドＡ１１２を２つ、後方にコンタクトパッドＢ１１
３を１つ配置した。そして、これらコンタクトパッド
は、それぞれ以下の位置に配置した。コンタクトパッド
Ａは、磁気ヘッドスライダ進行方向前方の縁から５０μ
ｍ、内周および外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を
中心として直径３０μｍとした。
【００２６】コンタクトパッドＢは、磁気ヘッドスライ
ダ進行方向後方の縁から５０μｍの内外周の中心位置に
配置した。また、スライダに押し付け荷重を加えるピポ
ッドは、ピボットの中心がコンタクトパッドの中心に位
置するようにそれぞれ配置した。このピボットの位置
は、後述するように変化させた。
ダ進行方向後方の縁から５０μｍの内外周の中心位置に
配置した。また、スライダに押し付け荷重を加えるピポ
ッドは、ピボットの中心がコンタクトパッドの中心に位
置するようにそれぞれ配置した。このピボットの位置
は、後述するように変化させた。
【００２７】これらの磁気ヘッドスライダを、図１２に
示したように、ジンバルばね１２に接着し、このジンバ
ルばねはサスペンションばね１４に取り付け、サスペン
ションばね１４は支持アーム１５に取り付けた。そし
て、磁気ヘッドスライダ１８は毎分５４００回転で回転
する磁気ディスク媒体１６に密接して摺動させた。
示したように、ジンバルばね１２に接着し、このジンバ
ルばねはサスペンションばね１４に取り付け、サスペン
ションばね１４は支持アーム１５に取り付けた。そし
て、磁気ヘッドスライダ１８は毎分５４００回転で回転
する磁気ディスク媒体１６に密接して摺動させた。
【００２８】なお、上述した基板１２４，下地層１２
３，磁性体１２２，保護膜１２１，潤滑剤１２０，スラ
イダ１０，磁気記録再生素子１９，サスペンションばね
１４，ジンバルばね１２，支持アーム１５およびコンタ
クトパッド１１の材料、形成方法などは、特に限定され
るものではなく、公知の材料および形成方法を特別な制
限なく用いることができる。
３，磁性体１２２，保護膜１２１，潤滑剤１２０，スラ
イダ１０，磁気記録再生素子１９，サスペンションばね
１４，ジンバルばね１２，支持アーム１５およびコンタ
クトパッド１１の材料、形成方法などは、特に限定され
るものではなく、公知の材料および形成方法を特別な制
限なく用いることができる。
【００２９】
【実施例】次に、本発明の接触式磁気ヘッドスライダの
具体的な実施例について説明する。
具体的な実施例について説明する。
【００３０】［実施例１］ 図１１（ａ）に示すスライ
ダ用い、コンタクトパッドを、磁気ディスク媒体進行方
向後方の縁から５０μｍの内外周の中心位置に１つ、磁
気ディスク媒体進行方向前方の縁から５０μｍ、内周お
よび外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を中心とした
ところに２つ配置した磁気ヘッドスライダを用いた。ピ
ボットは同一のサスペンションばね上に３つ形成し、ピ
ボットの位置は、それぞれのコンタクトパッドの中心位
置に配置した。
ダ用い、コンタクトパッドを、磁気ディスク媒体進行方
向後方の縁から５０μｍの内外周の中心位置に１つ、磁
気ディスク媒体進行方向前方の縁から５０μｍ、内周お
よび外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を中心とした
ところに２つ配置した磁気ヘッドスライダを用いた。ピ
ボットは同一のサスペンションばね上に３つ形成し、ピ
ボットの位置は、それぞれのコンタクトパッドの中心位
置に配置した。
【００３１】［実施例２］ 図１１（ｂ）に示すスライ
ダ用い、コンタクトパッドを、磁気ディスク媒体進行方
向前方の縁から５０μｍの内外周の中心位置に１つ、磁
気ディスク媒体進行方向後方の縁から５０μｍ、内周お
よび外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を中心とした
ところに２つ配置した磁気ヘッドスライダを用いた。ピ
ボットは同一のサスペンションばね上に３つ形成し、ピ
ボットの位置は、それぞれのコンタクトパッドの中心位
置に配置した。
ダ用い、コンタクトパッドを、磁気ディスク媒体進行方
向前方の縁から５０μｍの内外周の中心位置に１つ、磁
気ディスク媒体進行方向後方の縁から５０μｍ、内周お
よび外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を中心とした
ところに２つ配置した磁気ヘッドスライダを用いた。ピ
ボットは同一のサスペンションばね上に３つ形成し、ピ
ボットの位置は、それぞれのコンタクトパッドの中心位
置に配置した。
【００３２】［実施例３〜実施例１３］ 図１１（ｂ）
に示すスライダ用い、コンタクトパッドを磁気ディスク
媒体の進行方向１１１の後方の縁から１５０μｍ、内周
および外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を中心とし
たところに２つ、磁気ディスク媒体の進行方向１１１の
前方の縁から１５０μｍの内外周の中心位置に１つ配置
した磁気ヘッドスライダを用いた。ピボットは同一のサ
スペンションばね上に３つ形成し、ピボットの位置は、
それぞれのコンタクトパッドの中心位置から磁気ディス
ク媒体の進行方向にオフセットさせ、そのオフセット量
は−５０μｍ〜１４０μm と変化させた。
に示すスライダ用い、コンタクトパッドを磁気ディスク
媒体の進行方向１１１の後方の縁から１５０μｍ、内周
および外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を中心とし
たところに２つ、磁気ディスク媒体の進行方向１１１の
前方の縁から１５０μｍの内外周の中心位置に１つ配置
した磁気ヘッドスライダを用いた。ピボットは同一のサ
スペンションばね上に３つ形成し、ピボットの位置は、
それぞれのコンタクトパッドの中心位置から磁気ディス
ク媒体の進行方向にオフセットさせ、そのオフセット量
は−５０μｍ〜１４０μm と変化させた。
【００３３】［実施例１４〜実施例２４］ 図１１
（ｂ）に示すスライダ用い、コンタクトパッドを、磁気
ディスク媒体の進行方向１１１の後方の縁から１５０μ
ｍ、内周および外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を
中心としたところに２つ、磁気ディスク媒体の進行方向
１１１の前方の縁から１５０μｍの内外周の中心位置に
１つ配置した磁気ヘッドスライダを用いた。
（ｂ）に示すスライダ用い、コンタクトパッドを、磁気
ディスク媒体の進行方向１１１の後方の縁から１５０μ
ｍ、内周および外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を
中心としたところに２つ、磁気ディスク媒体の進行方向
１１１の前方の縁から１５０μｍの内外周の中心位置に
１つ配置した磁気ヘッドスライダを用いた。
【００３４】ピボットは、同一のサスペンションばね上
に３つ形成し、そのピボットの位置は、磁気ディスク媒
体の進行方向１１１の後方の２つのコンタクトパッドの
中心位置直上にそれぞれ配置し、スライダ重心よりも磁
気ディスク媒体の進行方向の前方に位置したコンタクト
パッドである磁気ディスク媒体の進行方向前方のコンタ
クトパッド上部のピボットを、コンタクトパッド中心位
置から磁気ディスク媒体の進行方向に１μｍ以上１００
μｍ以下の範囲でオフセットさせ、そのオフセット量は
−５０μｍ〜１４０μｍと変化させた。
に３つ形成し、そのピボットの位置は、磁気ディスク媒
体の進行方向１１１の後方の２つのコンタクトパッドの
中心位置直上にそれぞれ配置し、スライダ重心よりも磁
気ディスク媒体の進行方向の前方に位置したコンタクト
パッドである磁気ディスク媒体の進行方向前方のコンタ
クトパッド上部のピボットを、コンタクトパッド中心位
置から磁気ディスク媒体の進行方向に１μｍ以上１００
μｍ以下の範囲でオフセットさせ、そのオフセット量は
−５０μｍ〜１４０μｍと変化させた。
【００３５】［実施例２５］ 図１１（ｃ）に示すスラ
イダ用い、コンタクトパッドを、磁気ディスク媒体の進
行方向後方の縁から５０μｍの内周および外周の縁から
それぞれ５０μｍの位置に２つ、磁気ディスク媒体の進
行方向前方の縁から５０μｍ、内周および外周の縁から
それぞれ５０μｍの位置を中心としたところに２つ配置
した磁気ヘッドスライダを用いた。ピボットは同一のサ
スペンションばね上に４つ形成し、ピボットの位置は、
それぞれのコンタクトパッドの中心位置に配置した。
イダ用い、コンタクトパッドを、磁気ディスク媒体の進
行方向後方の縁から５０μｍの内周および外周の縁から
それぞれ５０μｍの位置に２つ、磁気ディスク媒体の進
行方向前方の縁から５０μｍ、内周および外周の縁から
それぞれ５０μｍの位置を中心としたところに２つ配置
した磁気ヘッドスライダを用いた。ピボットは同一のサ
スペンションばね上に４つ形成し、ピボットの位置は、
それぞれのコンタクトパッドの中心位置に配置した。
【００３６】［実施例２６］ 図１３（ａ）に示すスラ
イダ用い、コンタクトパッドを、磁気ディスク媒体進行
方向後方の縁から５０μｍの内外周の中心位置に１つ、
磁気ディスク媒体進行方向前方の縁から５０μｍ、内周
および外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を中心とし
たところに２つ配置した磁気ヘッドスライダを用いた。
ピボットは同一のサスペンションばね上に３つ形成し、
ピボットの位置は、それぞれのコンタクトパッドの直上
位置からスライダ中心方向に２００μｍの位置にそれぞ
れ配置した。
イダ用い、コンタクトパッドを、磁気ディスク媒体進行
方向後方の縁から５０μｍの内外周の中心位置に１つ、
磁気ディスク媒体進行方向前方の縁から５０μｍ、内周
および外周の縁からそれぞれ５０μｍの位置を中心とし
たところに２つ配置した磁気ヘッドスライダを用いた。
ピボットは同一のサスペンションばね上に３つ形成し、
ピボットの位置は、それぞれのコンタクトパッドの直上
位置からスライダ中心方向に２００μｍの位置にそれぞ
れ配置した。
【００３７】［実施例２７〜実施例３０］ 図１１
（ｄ）に示すスライダ用い、コンタクトパッドを、磁気
ディスク媒体の進行方向前方の縁から５０μｍの内外周
の中心位置に１つ、磁気ディスク媒体の進行方向後方の
縁から５０μｍ、内周および外周の縁からそれぞれ５０
μｍの位置を中心としたところに２つ配置した磁気ヘッ
ドスライダを用いた。ピボットは、幅０．３ｍｍの３つ
のサスペンションばね（図中、分割サスペンションばね
１１０）にそれぞれ１つずつ独立に形成した。ピボット
の位置は、それぞれのコンタクトパッドの中心位置に配
置した。そして、サスペンションばねの厚さを変化さ
せ、各ピボットに加える押し付け荷重を５０ｍｇｆ〜４
００ｍｇｆと変化させた。
（ｄ）に示すスライダ用い、コンタクトパッドを、磁気
ディスク媒体の進行方向前方の縁から５０μｍの内外周
の中心位置に１つ、磁気ディスク媒体の進行方向後方の
縁から５０μｍ、内周および外周の縁からそれぞれ５０
μｍの位置を中心としたところに２つ配置した磁気ヘッ
ドスライダを用いた。ピボットは、幅０．３ｍｍの３つ
のサスペンションばね（図中、分割サスペンションばね
１１０）にそれぞれ１つずつ独立に形成した。ピボット
の位置は、それぞれのコンタクトパッドの中心位置に配
置した。そして、サスペンションばねの厚さを変化さ
せ、各ピボットに加える押し付け荷重を５０ｍｇｆ〜４
００ｍｇｆと変化させた。
【００３８】［比較例］ 本発明の実施例と従来技術と
の比較を行うために、本発明の考え方を採用しない従来
の磁気ヘッドスライダの例（比較例）として、図１３
（ｂ）に示すスライダ用い、コンタクトパッドを、磁気
ディスク媒体の進行方向１１１の後方の縁から５０μｍ
の内外周の中心位置に１つ、磁気ディスク媒体の進行方
向１１１の前方の縁から５０μｍ、内周および外周の縁
からそれぞれ５０μｍの位置を中心としたところに２つ
配置した磁気ヘッドスライダを用いた。ピボットは、ス
ライダ重心１３０の位置である磁気ディスク媒体の進行
方向１１１の中心かつ磁気ディスク媒体内外周の中心位
置に１つ配置した。
の比較を行うために、本発明の考え方を採用しない従来
の磁気ヘッドスライダの例（比較例）として、図１３
（ｂ）に示すスライダ用い、コンタクトパッドを、磁気
ディスク媒体の進行方向１１１の後方の縁から５０μｍ
の内外周の中心位置に１つ、磁気ディスク媒体の進行方
向１１１の前方の縁から５０μｍ、内周および外周の縁
からそれぞれ５０μｍの位置を中心としたところに２つ
配置した磁気ヘッドスライダを用いた。ピボットは、ス
ライダ重心１３０の位置である磁気ディスク媒体の進行
方向１１１の中心かつ磁気ディスク媒体内外周の中心位
置に１つ配置した。
【００３９】次に、上述した実施例１〜実施例３０およ
び比較例に示す磁気ヘッドスライダを、毎分７２００回
転の磁気ディスク媒体上に、半径２５ｍｍの位置で摺動
させ、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク媒体との間隔
をレーザ干渉計で測定し、その最大値を最大跳躍量とし
て求めた。
び比較例に示す磁気ヘッドスライダを、毎分７２００回
転の磁気ディスク媒体上に、半径２５ｍｍの位置で摺動
させ、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク媒体との間隔
をレーザ干渉計で測定し、その最大値を最大跳躍量とし
て求めた。
【００４０】これらの摺動試験の試験結果（最大跳躍
量）を表１および表２に示す。
量）を表１および表２に示す。
【００４１】
【表１】
【００４２】
【表２】 表１および表２の実施例１〜実施例３０の試験結果およ
び比較例の試験結果から、以下の〜に示すように考
察できる。
び比較例の試験結果から、以下の〜に示すように考
察できる。
【００４３】 第１実施例、第２実施、第２５実施例
および比較例に関する試験結果を参照すると、ピボット
を複数設けた場合には、ピボットが１つの場合（比較例
の場合）に比べて、最大跳躍量が６分の１以下になって
いる。最大跳躍量が小さいと磁気ディスク装置の記録密
度を向上させることが可能で、かつ、跳躍したときの磁
気ディスク媒体および磁気ヘッドスライダに加わる摺動
エネルギが小さくなるため摩耗損傷が少なくなる。すな
わち、磁気ヘッドスライダに押し付け荷重を加えるピボ
ットを２つ以上設けることにより、高記録密度で高信頼
性の接触式磁気ヘッドスライダを提供できるという効果
を得ることができる。
および比較例に関する試験結果を参照すると、ピボット
を複数設けた場合には、ピボットが１つの場合（比較例
の場合）に比べて、最大跳躍量が６分の１以下になって
いる。最大跳躍量が小さいと磁気ディスク装置の記録密
度を向上させることが可能で、かつ、跳躍したときの磁
気ディスク媒体および磁気ヘッドスライダに加わる摺動
エネルギが小さくなるため摩耗損傷が少なくなる。すな
わち、磁気ヘッドスライダに押し付け荷重を加えるピボ
ットを２つ以上設けることにより、高記録密度で高信頼
性の接触式磁気ヘッドスライダを提供できるという効果
を得ることができる。
【００４４】 第１実施例、第２実施例および第２６
実施例に関する試験結果を参照すると、ピボットを複数
設けた場合でも、ピボット位置かコンタクトパッドの直
上部に位置する場合には跳躍量が３分の１以下になって
いる。すなわち、ピボット位置をコンタクトパッドの直
上部に配置することによって、より効果的に接触式磁気
ヘッドスライダの性能を向上させることができる。
実施例に関する試験結果を参照すると、ピボットを複数
設けた場合でも、ピボット位置かコンタクトパッドの直
上部に位置する場合には跳躍量が３分の１以下になって
いる。すなわち、ピボット位置をコンタクトパッドの直
上部に配置することによって、より効果的に接触式磁気
ヘッドスライダの性能を向上させることができる。
【００４５】 第３実施例〜第１３実施例を比較する
と、ピボットをコンタクトパッドの中心位置から磁気デ
ィスク媒体の進行方向に１μｍ以上１００μｍ以下の範
囲でオフセットさせた場合に、最大跳躍量が２分の１以
下になっている。すなわち、すべてのピボットの位置を
コンタクトパッドの中心位置から磁気ディスク媒体の進
行方向に１μｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフセット
させることによって、より効果的に高記録密度で高信頼
性の接触式磁気ヘッドスライダを提供できるという効果
を得ることができる。
と、ピボットをコンタクトパッドの中心位置から磁気デ
ィスク媒体の進行方向に１μｍ以上１００μｍ以下の範
囲でオフセットさせた場合に、最大跳躍量が２分の１以
下になっている。すなわち、すべてのピボットの位置を
コンタクトパッドの中心位置から磁気ディスク媒体の進
行方向に１μｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフセット
させることによって、より効果的に高記録密度で高信頼
性の接触式磁気ヘッドスライダを提供できるという効果
を得ることができる。
【００４６】 第１４実施例〜第２４実施例を比較す
ると、スライダ重心よりも磁気ディスク媒体の進行方向
の前方に位置したコンタクトパッド上部のピボットをコ
ンタクトパッド中心位置から磁気ディスク媒体の進行方
向に１μｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフセットさせ
た場合に、最大跳躍量が２分の１以下になっている。す
なわち、スライダ重心よりも磁気ディスク媒体の進行方
向の前方に位置したコンタクトパッド上部のピボット
を、コンタクトパッド中心位置から磁気ディスク媒体の
進行方向に１μｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフセッ
トさせることによって、より効果的に高記録密度で高信
頼性の接触式磁気ヘッドスライダを提供できるという効
果を得ることができる。
ると、スライダ重心よりも磁気ディスク媒体の進行方向
の前方に位置したコンタクトパッド上部のピボットをコ
ンタクトパッド中心位置から磁気ディスク媒体の進行方
向に１μｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフセットさせ
た場合に、最大跳躍量が２分の１以下になっている。す
なわち、スライダ重心よりも磁気ディスク媒体の進行方
向の前方に位置したコンタクトパッド上部のピボット
を、コンタクトパッド中心位置から磁気ディスク媒体の
進行方向に１μｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフセッ
トさせることによって、より効果的に高記録密度で高信
頼性の接触式磁気ヘッドスライダを提供できるという効
果を得ることができる。
【００４７】 第２７実施例〜第３０実施例および第
２実施例を比較すると、３つのピボットがそれぞれ独立
したサスペンションばねに配置し、押し付け荷重を適切
に加えることによって、３つのピポッドが独立していな
いサスペンションばねに配置した場合に比較して最大跳
躍量が３分の１以下になっている。すなわち、複数のピ
ボットをそれぞれ独立したサスペンションばねに配置す
ることにより、「高記録密度で高信頼性の接触式磁気ヘ
ッドスライダを提供できる」という効果がさらに顕著に
なる。
２実施例を比較すると、３つのピボットがそれぞれ独立
したサスペンションばねに配置し、押し付け荷重を適切
に加えることによって、３つのピポッドが独立していな
いサスペンションばねに配置した場合に比較して最大跳
躍量が３分の１以下になっている。すなわち、複数のピ
ボットをそれぞれ独立したサスペンションばねに配置す
ることにより、「高記録密度で高信頼性の接触式磁気ヘ
ッドスライダを提供できる」という効果がさらに顕著に
なる。
【００４８】以上の〜項に示す考察から、本発明の
接触式磁気ヘッドスライダは、従来の接触式磁気ヘッド
スライダと比較して、少なくとも６分の１以下の最大跳
躍量が達成され、高記録密度および高信頼性を達成でき
ることが分かる。
接触式磁気ヘッドスライダは、従来の接触式磁気ヘッド
スライダと比較して、少なくとも６分の１以下の最大跳
躍量が達成され、高記録密度および高信頼性を達成でき
ることが分かる。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、コ
ンタクトパッドと磁気ディスク媒体との摺動による摩擦
力が起源となって生じる磁気ヘッドスライダの跳躍を、
ピボットを複数設けることにより、さらに、コンタクト
パッドの直上部中心位置にピボットを配置しすること
や、複数のピボットをそれぞれ独立したサスペンション
ばねに配置することにより、跳躍量を大幅に低減し、高
記録密度で高信頼性の接触式磁気ヘッドスライダを提供
できるという効果がある。
ンタクトパッドと磁気ディスク媒体との摺動による摩擦
力が起源となって生じる磁気ヘッドスライダの跳躍を、
ピボットを複数設けることにより、さらに、コンタクト
パッドの直上部中心位置にピボットを配置しすること
や、複数のピボットをそれぞれ独立したサスペンション
ばねに配置することにより、跳躍量を大幅に低減し、高
記録密度で高信頼性の接触式磁気ヘッドスライダを提供
できるという効果がある。
【図１】本発明の接触式磁気ヘッドスライダの基本構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】従来のピボットが１つの接触式磁気ヘッドスラ
イダの摺動状態を示す断面図である。
イダの摺動状態を示す断面図である。
【図３】従来のピボットが１つの接触式磁気ヘッドスラ
イダの摺動状態を示す断面図であり、跳躍を生じている
様子を示す。
イダの摺動状態を示す断面図であり、跳躍を生じている
様子を示す。
【図４】従来のピボットが１つの接触式磁気ヘッドスラ
イダの摺動状態を示す断面図であり、跳躍を生じている
様子を示す。
イダの摺動状態を示す断面図であり、跳躍を生じている
様子を示す。
【図５】従来のピボットレスの接触式磁気ヘッドスライ
ダの摺動状態を示す断面図である。
ダの摺動状態を示す断面図である。
【図６】従来のピボットレスの接触式磁気ヘッドスライ
ダの摺動状態を示す断面図であり、跳躍を生じている様
子を示す。
ダの摺動状態を示す断面図であり、跳躍を生じている様
子を示す。
【図７】従来のピボットレスの接触式磁気ヘッドスライ
ダの摺動状態を示す断面図であり、跳躍を生じている様
子を示す。
ダの摺動状態を示す断面図であり、跳躍を生じている様
子を示す。
【図８】従来のピボットが１つの接触式磁気ヘッドスラ
イダの摺動状態を示す断面図である。
イダの摺動状態を示す断面図である。
【図９】従来のピボットが１つの接触式磁気ヘッドスラ
イダの摺動状態を示す断面図であり、跳躍を生じている
様子を示す。
イダの摺動状態を示す断面図であり、跳躍を生じている
様子を示す。
【図１０】本発明の別の接触式磁気ヘッドスライダの摺
動状態を示す断面図である。
動状態を示す断面図である。
【図１１】本発明の接触式磁気ヘッドスライダのコンタ
クトパッドとピボット位置関係およびサスペンション構
成を示す図である。
クトパッドとピボット位置関係およびサスペンション構
成を示す図である。
【図１２】本発明の接触式磁気ヘッドスライダを用いた
接触式磁気ディスク装置の基本構成を示す断面図であ
る。
接触式磁気ディスク装置の基本構成を示す断面図であ
る。
【図１３】本発明のおよび従来の接触式磁気ヘッドスラ
イダのコンタクトパッドとピボット位置関係を示す図で
ある。
イダのコンタクトパッドとピボット位置関係を示す図で
ある。
１０ スライダ １１ コンタクトパッド １２ ジンバルばね １３ ピボット １４ サスペンションばね １５ 支持アーム １６ 磁気ディスク媒体 １７，１１１ 磁気ディスク媒体の進行方向 １８ 磁気ヘッドスライダ １９ 磁気記録再生素子 ２０ ピボット回りの回転モーメント ２１ 摺動による摩擦力 ３０ 跳躍振動 ５０ ピボットレスサスペンションばね ５１ 重心点回りの回転モーメント １００ 摩擦力ベクトル １０１ 跳躍方向の力ベクトル １０２ 合成ベクトル １１０ 分割サスペンションばね １１２ コンタクトパッドＡ １１３ コンタクトパッドＢ １２０ 潤滑剤 １２１ 保護膜 １２２ 磁性体 １２３ 下地層 １２４ 基板 １３０ スライダ重心
Claims (5)
- 【請求項１】 コンタクトパッドを設けた磁気ヘッドス
ライダと、この磁気ヘッドスライダに押し付け荷重を加
えるピボットを有する接触式磁気ヘッドスライダにおい
て、前記ピボットを２つ以上設けることを特徴とする接
触式磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項２】 ピボットがコンタクトパッドの直上部に
位置することを特徴とする請求項１記載の接触式磁気ヘ
ッドスライダ。 - 【請求項３】 すべてのピボットをコンタクトパッドの
中心位置から磁気ディスク媒体の進行方向に１μｍ以上
１００μｍ以下の範囲でオフセットさせることを特徴と
する請求項１記載の接触式磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項４】 スライダ重心よりも磁気ディスク媒体の
進行方向の前方に位置したコンタクトパッド上部のピボ
ットをコンタクトパッドの中心位置から磁気ディスク媒
体の進行方向に１μｍ以上１００μｍ以下の範囲でオフ
セットさせることを特徴とする請求項１記載の接触式磁
気ヘッドスライダ。 - 【請求項５】 複数のピボットがそれぞれ独立したサス
ペンションばねに配置されていることを特徴とする請求
項１，２，３または４記載の接触式磁気ヘッドスライ
ダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34195396A JP2950266B2 (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 接触式磁気ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34195396A JP2950266B2 (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 接触式磁気ヘッドスライダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10188505A true JPH10188505A (ja) | 1998-07-21 |
| JP2950266B2 JP2950266B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=18350050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34195396A Expired - Fee Related JP2950266B2 (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 接触式磁気ヘッドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2950266B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001016949A1 (fr) * | 1999-08-30 | 2001-03-08 | Seiko Instruments Inc. | Tete optique |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP34195396A patent/JP2950266B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001016949A1 (fr) * | 1999-08-30 | 2001-03-08 | Seiko Instruments Inc. | Tete optique |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2950266B2 (ja) | 1999-09-20 |
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