JPH10186653A - Flame retardant alkali-developable photosensitive resin composition and built-up multilayred circuit board using same - Google Patents

Flame retardant alkali-developable photosensitive resin composition and built-up multilayred circuit board using same

Info

Publication number
JPH10186653A
JPH10186653A JP35069596A JP35069596A JPH10186653A JP H10186653 A JPH10186653 A JP H10186653A JP 35069596 A JP35069596 A JP 35069596A JP 35069596 A JP35069596 A JP 35069596A JP H10186653 A JPH10186653 A JP H10186653A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
photosensitive resin
parts
resin composition
developable photosensitive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP35069596A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Ono
裕之 小野
Makoto Shimose
真 下瀬
Yutaka Miyagawa
豊 宮川
Chiaki Asano
千明 浅野
Hideyasu Asakage
秀安 朝蔭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tohto Kasei Co Ltd
Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Original Assignee
Tohto Kasei Co Ltd
Nippon Steel Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tohto Kasei Co Ltd, Nippon Steel Chemical Co Ltd filed Critical Tohto Kasei Co Ltd
Priority to JP35069596A priority Critical patent/JPH10186653A/en
Publication of JPH10186653A publication Critical patent/JPH10186653A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a flame retardant alkali-developable photosensitive resin compn. capable of producing a built-up multiayered circuit board having satisfactory flame resistance with high productivity at a low cost in a satisfactory working environment and to obtain a built-up multilayred circuit board using the compsn. SOLUTION: This flame retardant alkali-developable photosensitive resin compsn. contains 100 pts.wt. photopolymerizable unsatd. compd. having 30-180 mgKOH/g acid value represented by the formula, 5-50 pts.wt. epoxy compd. and 0.1-30 pts.wt. photopolymn. initiator or sensitizer as essential components and has 5-30wt.% bromine content. In the formula, R1 is H or methyl, X is H or a monovalent residue of a polybasic acid anhydride, Y is a divalent residue of a polybasic acid anhydride and (n) is an integer.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、臭素原子を含有す
る光重合性不飽和化合物を用いた難燃性アルカリ現像型
感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは、ビルドアップ
多層基板の層間絶縁材料や、プリント配線板の永久絶縁
保護膜として好適に用いられる、難燃性アルカリ現像型
感光性樹脂組成物、及びこれを用いたビルドアップ多層
基板に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flame-retardant alkali-developable photosensitive resin composition using a photopolymerizable unsaturated compound containing a bromine atom, and more particularly to an interlayer insulating material for a build-up multilayer substrate. Also, the present invention relates to a flame-retardant alkali-developable photosensitive resin composition suitably used as a permanent insulating protective film of a printed wiring board, and a build-up multilayer substrate using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器やコンピューターなどに
は、従来に比べて一層の小型化・高機能化が要求されて
おり、それにあわせて使用される部品にもより高密度の
ものが求められている。例えばプリント配線板において
も、単位容積あたりの配線密度を向上させるために、回
路の微細化及び多層化が進められているが、さらに、特
に近年においては、ビルドアップ多層基板という超高密
度基板が提案され、実用化が進められている。このビル
ドアップ多層基板は、従来多層基板の層間導通に用いら
れてきたスルーホールに代わり、内層バイアホールを介
して層間導通をとることに特徴があり、この内層バイア
ホールを絶縁層内に設けるための方法として、レーザー
による方法と、フォトリソグラフィー法の2つが主に検
討されている。
2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices and computers have been required to be smaller and more sophisticated than before, and accordingly, components used at higher densities have been required. ing. For example, in printed wiring boards, circuit miniaturization and multilayering are being promoted in order to improve the wiring density per unit volume. It has been proposed and put into practical use. The feature of this build-up multilayer substrate is that, instead of the through hole conventionally used for interlayer conduction of the multilayer substrate, interlayer conduction is performed via an internal via hole, and this internal via hole is provided in an insulating layer. As a method, two methods, a laser method and a photolithography method, are mainly studied.

【0003】レーザーを用いたバイアホール形成方法と
しては、例えば特開昭58−64097号公報、特開昭
61−96792号公報等が開示されているが、これら
の方法は、バイアホール穴空け速度が遅いため生産性が
低く、専用の設備も新たに必要となるためコスト高とな
る欠点がある。一方、フォトリソグラフィー法に用いる
感光性樹脂材料の例としては、例えば特開平5−339
356号公報、特開平6−237094号公報、特公平
8−3633号公報等が開示されている。これらの方法
は、バイアホールの一括穴空けが可能であり、かつ従来
のプリント配線板製造設備をそのまま使用できるため、
レーザーによる方法に比べて高い生産性と低コスト化が
期待できるというメリットがある。しかし、現在用いら
れている材料は、有機溶剤で現像するタイプであるため
作業環境が悪化したり、難燃性が不十分である等の問題
を抱えており、実用上十分であるとは言い難い。
[0003] As a method of forming a via hole using a laser, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 58-64097 and 61-96792 are disclosed. However, there is a disadvantage that productivity is low due to the low speed, and a dedicated facility is newly required, resulting in high cost. On the other hand, examples of a photosensitive resin material used in a photolithography method include, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-339.
No. 356, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-237094, Japanese Patent Publication No. 8-3633, and the like are disclosed. These methods allow the simultaneous drilling of via holes and allow the use of conventional printed wiring board manufacturing facilities as they are,
There is a merit that higher productivity and lower cost can be expected as compared with the laser method. However, currently used materials are of a type that can be developed with an organic solvent, and therefore have problems such as deterioration of the working environment and insufficient flame retardancy. hard.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、良好な作業環境の下で、高い生産性・低コスト
で、十分な難燃性を有するビルドアップ多層配線板を製
造できる難燃性アルカリ現像型感光性樹脂組成物、及び
これを用いたビルドアップ多層配線板を提供することに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a high-productivity, low-cost, flame-retardant multi-layer wiring board having sufficient flame retardancy under a favorable working environment. It is an object of the present invention to provide an alkali developing photosensitive resin composition and a build-up multilayer wiring board using the same.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、このよう
な課題を解決するために、種々のエポキシアクリレート
をベースとしたカルボキシル基含有光重合性不飽和化合
物を合成し、これを種々のエポキシ化合物と共に用いて
検討した結果、臭素原子を含有するエポキシアクリレー
トを主材とするカルボキシル基含有光重合性不飽和化合
物と、エポキシ基を有する化合物とを併用することによ
り、本発明の目的を達成できることを見い出し、本発明
を完成した。
Means for Solving the Problems In order to solve such problems, the present inventors have synthesized various carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compounds based on epoxy acrylates, and As a result of using the epoxy compound with an epoxy compound, the object of the present invention was achieved by using a carboxyl group-containing photopolymerizable unsaturated compound mainly composed of epoxy acrylate containing a bromine atom and a compound having an epoxy group. We have found what we can do and completed the present invention.

【0006】すなわち、本発明は、必須成分として、下
記一般式(1)で表され、かつ酸価が30〜180mg
KOH/gである光重合性不飽和化合物100重量部、
エポキシ化合物5〜50重量部、及び光重合開始剤又は
増感剤0.1〜30重量部を配合してなり、臭素含有量
が5〜30重量%の難燃性アルカリ現像型感光性樹脂組
成物である。
That is, the present invention provides, as an essential component, a compound represented by the following general formula (1) and having an acid value of 30 to 180 mg:
100 parts by weight of a photopolymerizable unsaturated compound that is KOH / g,
A flame-retardant alkali-developable photosensitive resin composition containing 5 to 50 parts by weight of an epoxy compound and 0.1 to 30 parts by weight of a photopolymerization initiator or a sensitizer and having a bromine content of 5 to 30% by weight. Things.

【化4】 ( 式中、R1 は水素原子又はメチル基、Xは水素原子又
は下記一般式(2)で表される1価の多塩基酸無水物残
基のいずれか、Yは下記一般式(3)で表される2価の
多塩基酸無水物残基のいずれか、nは0以上の整数を表
す)
Embedded image (Wherein, R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, X is a hydrogen atom or a monovalent polybasic anhydride residue represented by the following general formula (2), and Y is the following general formula (3) Any of divalent polybasic acid anhydride residues represented by

【化5】 (式中、R2,R3,R4 はそれぞれ2価、3価、4価の有
機基を表す)
Embedded image (Wherein, R 2 , R 3 , and R 4 each represent a divalent, trivalent, or tetravalent organic group)

【化6】 (式中、R2,R3,R4 はそれぞれ2価、3価、4価の有
機基を表す)
Embedded image (Wherein, R 2 , R 3 , and R 4 each represent a divalent, trivalent, or tetravalent organic group)

【0007】また、本発明は、上記の難燃性アルカリ現
像型感光性樹脂組成物を用いて作成れたビルドアップ多
層配線板である。
[0007] The present invention is also a build-up multilayer wiring board prepared using the above flame-retardant alkali-developable photosensitive resin composition.

【0008】以下、本発明の難燃性アルカリ現像型感光
性樹脂組成物(以下、感光性樹脂組成物という)につい
て説明する。まず、本発明の感光性樹脂組成物には、必
須成分として、上記一般式(1)で表される光重合性不
飽和化合物(以下、A成分ともいう)を配合する。ここ
で、一般式(1)におけるnは20以下であることが好
ましい。nが20を超えるとアルカリ水溶液による現像
が困難となる。
Hereinafter, the flame-retardant alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention (hereinafter referred to as photosensitive resin composition) will be described. First, the photosensitive resin composition of the present invention is blended with a photopolymerizable unsaturated compound represented by the above general formula (1) (hereinafter, also referred to as component A) as an essential component. Here, n in the general formula (1) is preferably 20 or less. When n exceeds 20, development with an alkaline aqueous solution becomes difficult.

【0009】このA成分は、臭素化ビスフェノールA型
エポキシ(メタ)アクリレート化合物と、上記X(1価
の多塩基酸無水物残基)及びY(2価の多塩基酸無水物
残基)を与える酸無水物との反応生成物として得られ
る。
The component A comprises a brominated bisphenol A type epoxy (meth) acrylate compound and the above-mentioned X (monovalent polybasic acid anhydride residue) and Y (divalent polybasic acid anhydride residue). Obtained as a reaction product with the given acid anhydride.

【0010】A成分に、これらの多塩基酸無水物残基を
導入するための酸無水物としては、例えば無水マレイン
酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無
水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、
無水メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、
無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、
無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸二無水物、エチレングリコールビ
ストリメリテート二無水物、ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無
水物等の多塩基酸無水物などが挙げられる。これらの多
塩基酸無水物は1種類でもよいし、2種類以上を併用し
てもよい。
Examples of the acid anhydride for introducing these polybasic acid anhydride residues into the component A include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, and tetrahydrophthalic anhydride. Hexahydrophthalic acid,
Methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride,
Chlorendic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride,
Polybasic anhydrides such as trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, ethylene glycol bistrimellitate dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, and biphenylethertetracarboxylic dianhydride And the like. These polybasic acid anhydrides may be used alone or in combination of two or more.

【0011】また、A成分の酸価は、30〜180mg
KOH/g、好ましくは50〜100mgKOH/gで
ある。A成分の酸価が180mgKOH/gより大きい
と硬化膜の耐アルカリ性、電気特性等が悪化し、30m
gKOH/gより小さいとアルカリ水溶液に対する溶解
性が悪化するため解像度が低下する。
The acid value of the component A is 30 to 180 mg.
KOH / g, preferably 50-100 mg KOH / g. If the acid value of the component A is greater than 180 mgKOH / g, the alkali resistance and electrical properties of the cured film will deteriorate,
If it is smaller than gKOH / g, the solubility in an alkaline aqueous solution is deteriorated, so that the resolution is reduced.

【0012】A成分は、次のようにして製造することが
できる。まず、臭素化ビスフェノールAから合成された
臭素化ビスフェノールA型エポキシ化合物と(メタ)ア
クリル酸とを反応させることにより、臭素化ビスフェノ
ールA型エポキシ(メタ)アクリレート化合物を合成す
る。次いで、臭素化ビスフェノールA型エポキシ(メ
タ)アクリレート化合物を、上記のX及びYをそれぞれ
与える酸無水物混合物と反応させることにより製造でき
る。この際、例えばエチルセロソルブアセテート、ブチ
ルセロソルブアセテート等の溶媒の存在下に、反応温度
は100〜130℃、好ましくは110〜120℃で反
応させることがよい。
The component A can be produced as follows. First, a brominated bisphenol A type epoxy (meth) acrylate compound is synthesized by reacting a brominated bisphenol A type epoxy compound synthesized from brominated bisphenol A with (meth) acrylic acid. Then, a brominated bisphenol A type epoxy (meth) acrylate compound can be produced by reacting with the above-mentioned acid anhydride mixture giving X and Y, respectively. At this time, the reaction may be performed at a reaction temperature of 100 to 130 ° C, preferably 110 to 120 ° C, in the presence of a solvent such as ethyl cellosolve acetate or butyl cellosolve acetate.

【0013】また、本発明の感光性樹脂組成物には、必
須成分として、エポキシ化合物(以下、B成分ともい
う)を配合する。このB成分としては、例えばフェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型
エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビス
フェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹
脂、脂環式エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂又はそれらの
臭素化物や、フェニルグリシジルエーテル、p−ブチル
フェノールグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシ
アヌレート、ジグリシジルイソシアヌレート、アリルグ
リシジルエーテル、グリシジルメタクリレート等のエポ
キシ基を少なくとも1個有するエポキシ化合物などが挙
げられる。これらのエポキシ化合物は1種類でもよい
し、2種類以上を併用してもよい。
The photosensitive resin composition of the present invention contains an epoxy compound (hereinafter, also referred to as a component B) as an essential component. Examples of the B component include epoxy resins such as phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, and bromides thereof. And epoxy compounds having at least one epoxy group such as phenyl glycidyl ether, p-butylphenol glycidyl ether, triglycidyl isocyanurate, diglycidyl isocyanurate, allyl glycidyl ether, and glycidyl methacrylate. These epoxy compounds may be used alone or in combination of two or more.

【0014】さらに、本発明の感光性樹脂組成物には、
必須成分として、光重合開始剤又は増感剤(以下、C成
分ともいう)を配合する。このC成分は、A成分ばかり
でなく、必要に応じて配合されるエチレン結合を有する
光重合性不飽和化合物の光重合開始剤として用いられる
ものであるが、このような目的で使用されるC成分とし
ては、例えばアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセ
トフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチ
ルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、
トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセ
トフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、2
−クロロベンゾフェノン、p,p’−ビスジメチルアミ
ノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンジル、ベ
ンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソ
プロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等の
ベンゾインエーテル類、ベンジルジメチルケタール、チ
オキサンソン、2−クロロチオキサンソン、2,4−ジ
エチルチオキサンソン、2−メチルチオキサンソン、2
−イソプロピルチオキサンソン、等のイオウ化合物、2
−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノ
ン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニ
ルアントラキノン等のアントラキノン類、アゾビスイソ
ブチルニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパ
ーオキシド等の有機過酸化物、2−メルカプトベンゾイ
ミダゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−
メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物などが
挙げられる。これらの光重合開始剤又は増感剤は1種類
でもよいし、2種類以上を併用してもよい。
Further, the photosensitive resin composition of the present invention includes:
As an essential component, a photopolymerization initiator or a sensitizer (hereinafter, also referred to as a component C) is blended. The C component is used not only as the A component but also as a photopolymerization initiator for a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylene bond which is added as necessary. As the components, for example, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone,
Acetophenones such as trichloroacetophenone and p-tert-butylacetophenone; benzophenone;
Benzophenones such as -chlorobenzophenone and p, p'-bisdimethylaminobenzophenone; benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether and benzoin isobutyl ether; benzyl dimethyl ketal, thioxanthone and 2-chlorothioxane Son, 2,4-diethylthioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2
Sulfur compounds such as -isopropylthioxanthone, 2
Anthraquinones such as -ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone and 2,3-diphenylanthraquinone; organic peroxides such as azobisisobutylnitrile, benzoyl peroxide and cumene peroxide; 2-mercaptobenzimidazole , 2-mercaptobenzoxazole, 2-
And thiol compounds such as mercaptobenzothiazole. These photopolymerization initiators or sensitizers may be used alone or in combination of two or more.

【0015】また、それ自体では光重合開始剤として作
用しないが、C成分である上記の化合物と組み合わせて
用いることにより、光重合開始剤の能力を増大させ得る
ような化合物を配合することもできる。そのような化合
物としては、例えばベンゾフェノンと組み合わせて使用
すると効果のあるトリエタノールアミン等の第3級アミ
ンなどを挙げることができる。
Further, a compound which does not act as a photopolymerization initiator by itself, but which can increase the ability of the photopolymerization initiator by using it in combination with the above-mentioned compound as the component C can be blended. . Examples of such a compound include a tertiary amine such as triethanolamine which is effective when used in combination with benzophenone.

【0016】本発明の感光性樹脂組成物は、必須成分と
して、A成分、B成分及びC成分を配合してなるが、各
成分の配合割合は、A成分100重量部に対し、B成分
が5〜50重量部、好ましくは10〜30重量部、C成
分が0.1〜30重量部、好ましくは1〜20重量部で
ある。A成分100重量部に対するB成分の配合割合が
5重量部より少ないと、本発明の感光性樹脂組成物の硬
化物の特性、特に耐アルカリ性が不十分となり、50重
量部を超えると硬化物のアルカリ水溶液に対する溶解性
が低下するため現像性が悪化する。また、A成分100
重量部に対するC成分の配合割合が0.1重量部より少
ないと、光重合の速度が遅く、感度が低下する。一方、
30重量部を超えると、光が樹脂層底部まで達しにくく
なるため光重合が不十分となり、現像マージンの減少や
基板との密着力不足等の弊害を引き起こす。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises, as essential components, A component, B component and C component. The mixing ratio of each component is 100 parts by weight of A component and B component is 100 parts by weight. 5 to 50 parts by weight, preferably 10 to 30 parts by weight, and component C is 0.1 to 30 parts by weight, preferably 1 to 20 parts by weight. If the blending ratio of the component B is less than 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the component A, the properties of the cured product of the photosensitive resin composition of the present invention, particularly the alkali resistance becomes insufficient. Since the solubility in an aqueous alkali solution is reduced, the developability is deteriorated. A component 100
When the blending ratio of the component C to the parts by weight is less than 0.1 parts by weight, the photopolymerization speed is low, and the sensitivity is lowered. on the other hand,
If the amount exceeds 30 parts by weight, light hardly reaches the bottom of the resin layer, so that photopolymerization becomes insufficient, which causes adverse effects such as a decrease in development margin and insufficient adhesion to the substrate.

【0017】さらに、本発明の感光性樹脂組成物の臭素
含有量は、5〜30重量%、好ましくは10〜25重量
%である。感光性樹脂組成物中の臭素含有量が5%より
少ないと十分な難燃性が発現せず、また30%より多い
とめっき被膜のふくれ等の問題が起きやすくなる。
Further, the photosensitive resin composition of the present invention has a bromine content of 5 to 30% by weight, preferably 10 to 25% by weight. If the bromine content in the photosensitive resin composition is less than 5%, sufficient flame retardancy will not be exhibited, and if it is more than 30%, problems such as blistering of the plating film tend to occur.

【0018】本発明の感光性樹脂組成物には、その使用
目的に応じて、必須成分であるA成分以外に、他の光重
合性不飽和化合物を配合することができる。他の光重合
性不飽和化合物としては、臭素化ビスフェノールA型エ
ポキシ(メタ)アクリレート化合物以外のハロゲン化ビ
スフェノールA型エポキシ(メタ)アクリレート化合物
や、ハロゲン化されていないビスフェノールA型エポキ
シ(メタ)アクリレート化合物などが挙げられ、これら
の配合割合は、A成分100重量部に対して50重量部
以下である。これが50重量部を超えるとプレキュアー
後のタック性に問題が出てくる。
The photosensitive resin composition of the present invention may contain other photopolymerizable unsaturated compounds in addition to the essential component A, depending on the purpose of use. Other photopolymerizable unsaturated compounds include halogenated bisphenol A type epoxy (meth) acrylate compounds other than brominated bisphenol A type epoxy (meth) acrylate compounds, and non-halogenated bisphenol A type epoxy (meth) acrylate Compounds and the like are included, and the mixing ratio of these compounds is 50 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the component A. If it exceeds 50 parts by weight, a problem arises in tackiness after pre-curing.

【0019】このようなの光重合性不飽和化合物として
は、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2
−エチルヘキシル(メタ)アクリレート等の水酸基を有
するモノマー、エチレングリコールジ(メタ)アクリレ
ート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、
トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テト
ラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラ
メチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチ
ロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロ
ールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリ
トールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール
トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテト
ラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテト
ラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サ(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリ
レート等の(メタ)アクリル酸エステル類などが挙げら
れる。また、これらのハロゲン化物(臭素化ビスフェノ
ールA型エポキシ(メタ)アクリレート化合物を除く)
であってもよい。これらの化合物は1種類でもよいし、
2種類以上を併用してもよい。
Examples of such a photopolymerizable unsaturated compound include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate,
Monomers having a hydroxyl group such as -ethylhexyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate,
Triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) ) Acrylates such as acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate And the like. In addition, these halides (excluding brominated bisphenol A type epoxy (meth) acrylate compounds)
It may be. These compounds may be one kind,
Two or more types may be used in combination.

【0020】また、本発明の感光性樹脂組成物には、必
須成分である上記成分の他に、必要に応じてエポキシ基
硬化促進剤、熱重合禁止剤、可塑剤、レベリング剤、消
泡剤、体質顔料等の添加剤や有機溶剤等の配合剤などを
配合してもよい。このような添加剤、配合剤等の種類や
使用量は、本発明の感光性樹脂組成物の性質を損なわな
い範囲で適宜選択すればよい。
The photosensitive resin composition of the present invention may further comprise an epoxy group curing accelerator, a thermal polymerization inhibitor, a plasticizer, a leveling agent, a defoaming agent, if necessary, in addition to the above-mentioned essential components. An additive such as an extender or a compounding agent such as an organic solvent may be blended. The type and amount of such additives and compounding agents may be appropriately selected within a range that does not impair the properties of the photosensitive resin composition of the present invention.

【0021】エポキシ基硬化促進剤としては、例えばア
ミン化合物類、イミダゾール化合物類、カルボン酸類、
フェノール類、第4級アンモニウム塩類、メチロール基
含有化合物類などが挙げられ、これらを少量併用して塗
膜を加熱することにより、得られる絶縁被膜の耐熱性、
耐溶剤性、耐酸性、耐メッキ性、密着性、電気特性及び
硬度等の諸特性を向上させることができる。
Examples of the epoxy group curing accelerator include amine compounds, imidazole compounds, carboxylic acids,
Phenols, quaternary ammonium salts, methylol group-containing compounds and the like, and by heating the coating film in combination with a small amount of these, the heat resistance of the insulating film obtained,
Various properties such as solvent resistance, acid resistance, plating resistance, adhesion, electrical properties, and hardness can be improved.

【0022】また、熱重合禁止剤としては、例えばハイ
ドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロ
ガロール、tert−ブチルカテコール、フェノチアジ
ンなどが、可塑剤としては、例えばジブチルフタレー
ト、ジオクチルフタレート、トリクレジルなどが、消泡
剤やレベリング剤としては、例えばシリコン系、フッ素
系、アクリル系の化合物などが挙げられる。体質顔料と
しては、例えばシリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシ
ウム、クレー、アエロジル等が挙げられる。これらはそ
れぞれ1種類でもよいし、2種類以上を併用してもよ
い。
Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, tert-butyl catechol, and phenothiazine. Examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, and tricresyl. Examples of the leveling agent include silicon-based, fluorine-based, and acrylic-based compounds. Examples of the extender include silica, alumina, talc, calcium carbonate, clay, and aerosil. Each of these may be used alone or in combination of two or more.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】次に、本発明の感光性樹脂組成物
の使用方法について説明する。まず、少なくとも必須成
分を含有する本発明の感光性樹脂組成物に、適当な光重
合開始剤、増感剤、硬化促進剤、体質顔料等の添加剤を
加え、3本ロールミル等で混練して感光性レジストイン
キを調製する。次いで、このレジストインキをスクリー
ン印刷等任意の方法で基板上に塗工後、溶媒を蒸発させ
て塗膜をタックフリーにするためプレキュアーを行な
う。プレキュアー後、所望のマスクパターンをコンタク
ト(接触)又はオフコンタクト(非接触)の状態にして
組成物の塗膜が形成された基板上に置き、光源から紫外
線を照射する。
Next, a method for using the photosensitive resin composition of the present invention will be described. First, to the photosensitive resin composition of the present invention containing at least essential components, a suitable photopolymerization initiator, sensitizer, curing accelerator, additives such as extender pigment, and kneaded with a three-roll mill or the like. Prepare a photosensitive resist ink. Next, this resist ink is applied on a substrate by any method such as screen printing, and then precured to evaporate the solvent and make the coating film tack-free. After the pre-curing, a desired mask pattern is placed in a contact (contact) or off-contact (non-contact) state, placed on the substrate on which the coating film of the composition is formed, and irradiated with ultraviolet light from a light source.

【0024】本発明の感光性樹脂組成物を光硬化させる
のに適した光源としては、例えば超高圧水銀ランプ、高
圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等の紫外線ランプ
が挙げられる。また、本発明の感光性樹脂組成物は、光
のみならず熱によっても硬化させることが可能である。
The light source suitable for photocuring the photosensitive resin composition of the present invention includes, for example, an ultraviolet lamp such as an ultra-high pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, and a metal halide lamp. Further, the photosensitive resin composition of the present invention can be cured not only by light but also by heat.

【0025】紫外線により露光された領域の組成物塗膜
の成分は光重合により架橋構造化して不溶化する。次い
で、非露光領域をアルカリ水溶液を用いて除去すること
により、現像された所望のパターンを得る。本発明の感
光性樹脂組成物をアルカリ現像するに適した現像液とし
ては、例えばアルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩
の水溶液、アルカリ金属水酸化物の水溶液等を挙げるこ
とができる。特に、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭
酸リチウム等のアルカリ金属炭酸塩の0.1〜10重量
%程度の弱アルカリ性水溶液を用いて効率よく現像する
ことができる。このアルカリ現像は、10〜50℃、好
ましくは20〜40℃で市販の現像機を用いて行なえば
よい。
The components of the composition coating film in the region exposed to the ultraviolet light are cross-linked by photopolymerization to become insoluble. Next, by removing the non-exposed area using an alkaline aqueous solution, a desired developed pattern is obtained. Examples of the developer suitable for alkali developing the photosensitive resin composition of the present invention include an aqueous solution of a carbonate of an alkali metal or an alkaline earth metal, and an aqueous solution of an alkali metal hydroxide. In particular, development can be efficiently performed using a weakly alkaline aqueous solution of about 0.1 to 10% by weight of an alkali metal carbonate such as sodium carbonate, potassium carbonate, lithium carbonate or the like. This alkali development may be performed at 10 to 50 ° C, preferably 20 to 40 ° C, using a commercially available developing machine.

【0026】そして、アルカリ現像後に耐蝕性を向上さ
せるため、加熱して硬化処理を施すことか望ましい。本
発明の感光性樹脂組成物は、加熱処理を行うことによ
り、強アルカリ水に対する耐久性が著しく向上するばか
りでなく、銅等の金属に対する密着性、耐熱耐久性、表
面硬度等のプリント配線板に要求される諸性質も向上す
る。この加熱硬化条件における加熱温度は100〜20
0℃程度、加熱時間は10分間〜2時間程度でよい。ま
た、加熱処理に代えて紫外線照射を行なってもよい。
In order to improve the corrosion resistance after the alkali development, it is preferable to perform a curing treatment by heating. The photosensitive resin composition of the present invention, by performing a heat treatment, not only significantly improves the durability against strong alkaline water, but also the printed wiring board such as adhesion to metals such as copper, heat resistance and surface hardness. The various properties required for the material are also improved. The heating temperature under these heat curing conditions is 100 to 20.
The heating time may be about 0 ° C. and about 10 minutes to 2 hours. Further, ultraviolet irradiation may be performed instead of the heat treatment.

【0027】本発明の感光性樹脂組成物の溶液を調製す
るのに適した溶剤としては、例えばメチルエチルケト
ン、メチルイソプチルケトン等のケトン類、メチルセロ
ソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、セロソ
ルブアセテート等のセロソルブ類、カルビトールアセテ
ート等のカルビトール類などが挙げられる。
Solvents suitable for preparing the solution of the photosensitive resin composition of the present invention include ketones such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, and cellosolves such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve and cellosolve acetate. And carbitols such as carbitol acetate.

【0028】このようにして塗膜強度が向上されたパタ
ーンに、無電解めっきなどで信号配線を形成し、さらに
バイアホール内面めっきなどを行うことにより、耐熱
性、難燃性に優れたプリント配線板を得ることができ
る。
By forming a signal wiring by electroless plating or the like on the pattern having an improved coating film strength in this way, and further by plating the inner surface of the via hole, a printed wiring having excellent heat resistance and flame retardancy is obtained. You can get a board.

【0029】[0029]

【実施例】以下、合成例、実施例及び比較例に基づい
て、本発明を具体的に説明する。
The present invention will be specifically described below based on Synthesis Examples, Examples and Comparative Examples.

【0030】合成例1 エポキシ当量400の臭素化ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂(臭素含有率49%)200gを、ブチルセロソ
ルブアセテートに溶解し、アクリル酸37g、ベンジル
トリエチルアンモニウムクロライド0.35g、ハイド
ロキノン75mgを加え、空気を吹き込みながら90〜
100℃で10時間反応させた。得られた樹脂溶液にエ
チレングリコールビストリメリテート二無水物52g、
1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸17gを加
えて110〜120℃で5時間反応させ、酸価75mg
KOH/g(固形分値)の樹脂溶液を得た。得られた樹
脂溶液を乾燥して得られた塗膜の赤外線吸収スペクトル
(IR)を図1に示す。
Synthesis Example 1 200 g of a brominated bisphenol A type epoxy resin having an epoxy equivalent of 400 (bromine content: 49%) was dissolved in butyl cellosolve acetate, and 37 g of acrylic acid, 0.35 g of benzyltriethylammonium chloride and 75 mg of hydroquinone were added. 90 ~ while blowing air
The reaction was performed at 100 ° C. for 10 hours. 52 g of ethylene glycol bistrimellitate dianhydride was added to the obtained resin solution,
17 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was added and reacted at 110 to 120 ° C. for 5 hours to obtain an acid value of 75 mg.
A resin solution of KOH / g (solid content) was obtained. FIG. 1 shows the infrared absorption spectrum (IR) of the coating film obtained by drying the obtained resin solution.

【0031】合成例2 エポキシ当量400の臭素化ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂(臭素含有率49%)200gを、ブチルセロソ
ルブアセテートに溶解し、アクリル酸37g、ベンジル
トリエチルアンモニウムクロライド0.35g、ハイド
ロキノン75mgを加え、空気を吹き込みながら90〜
100℃で10時間反応させた。得られた樹脂溶液にエ
チレングリコールビストリメリテート二無水物25g、
1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸8gを加え
て110〜120℃で5時間反応させ、酸価41mgK
OH/g(固形分値)の樹脂溶液を得た。
Synthesis Example 2 200 g of a brominated bisphenol A type epoxy resin having an epoxy equivalent of 400 (bromine content: 49%) was dissolved in butyl cellosolve acetate, 37 g of acrylic acid, 0.35 g of benzyltriethylammonium chloride and 75 mg of hydroquinone were added. 90 ~ while blowing air
The reaction was performed at 100 ° C. for 10 hours. 25 g of ethylene glycol bistrimellitate dianhydride was added to the obtained resin solution,
8 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was added and reacted at 110 to 120 ° C. for 5 hours to obtain an acid value of 41 mgK.
An OH / g (solid content) resin solution was obtained.

【0032】合成例3 エポキシ当量400の臭素化ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂(臭素含有率49%)200gを、ブチルセロソ
ルブアセテートに溶解し、アクリル酸37g、ベンジル
トリエチルアンモニウムクロライド0.35g、ハイド
ロキノン75mgを加え、空気を吹き込みながら90〜
100℃で10時間反応させた。得られた樹脂溶液にエ
チレングリコールビストリメリテート二無水物15g、
1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸5gを加え
て110〜120℃で5時間反応させ、酸価26mgK
OH/g(固形分値)の樹脂溶液を得た。
Synthesis Example 3 200 g of a brominated bisphenol A type epoxy resin having an epoxy equivalent of 400 (bromine content: 49%) was dissolved in butyl cellosolve acetate, and 37 g of acrylic acid, 0.35 g of benzyltriethylammonium chloride and 75 mg of hydroquinone were added. 90 ~ while blowing air
The reaction was performed at 100 ° C. for 10 hours. 15 g of ethylene glycol bistrimellitate dianhydride was added to the obtained resin solution,
5 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was added and reacted at 110 to 120 ° C. for 5 hours to obtain an acid value of 26 mgK.
An OH / g (solid content) resin solution was obtained.

【0033】合成例4 エポキシ当量400の臭素化ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂(臭素含有率49%)200gを、ブチルセロソ
ルブアセテートに溶解し、アクリル酸37g、ベンジル
トリエチルアンモニウムクロライド0.35g、ハイド
ロキノン75mgを加え、空気を吹き込みながら90〜
100℃で10時間反応させた。得られた樹脂溶液にエ
チレングリコールビストリメリテート二無水物110
g、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸40g
を加えて110〜120℃で5時間反応させ、酸価13
0mgKOH/g(固形分値)の樹脂溶液を得た。
Synthesis Example 4 200 g of a brominated bisphenol A type epoxy resin having an epoxy equivalent of 400 (bromine content: 49%) was dissolved in butyl cellosolve acetate, and 37 g of acrylic acid, 0.35 g of benzyltriethylammonium chloride and 75 mg of hydroquinone were added. 90 ~ while blowing air
The reaction was performed at 100 ° C. for 10 hours. Ethylene glycol bis trimellitate dianhydride 110 was added to the obtained resin solution.
g, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride 40 g
And reacted at 110 to 120 ° C. for 5 hours to obtain an acid value of 13
A resin solution of 0 mgKOH / g (solid content) was obtained.

【0034】合成例5 エポキシ当量400の臭素化ビスフェノールA型エポキ
シ樹脂(臭素含有率49%)200gを、ブチルセロソ
ルブアセテートに溶解し、アクリル酸37g、ベンジル
トリエチルアンモニウムクロライド0.35g、ハイド
ロキノン75mgを加え、空気を吹き込みながら90〜
100℃で10時間反応させた。得られた樹脂溶液にエ
チレングリコールビストリメリテート二無水物220
g、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸80g
を加えて110〜120℃で5時間反応させ、酸価18
7mgKOH/g(固形分値)の樹脂溶液を得た。
Synthesis Example 5 200 g of a brominated bisphenol A type epoxy resin having an epoxy equivalent of 400 (bromine content: 49%) was dissolved in butyl cellosolve acetate, and 37 g of acrylic acid, 0.35 g of benzyltriethylammonium chloride and 75 mg of hydroquinone were added. 90 ~ while blowing air
The reaction was performed at 100 ° C. for 10 hours. Ethylene glycol bistrimellitate dianhydride 220 was added to the obtained resin solution.
g, 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride 80 g
And reacted at 110 to 120 ° C. for 5 hours to obtain an acid value of 18
A resin solution of 7 mgKOH / g (solid content) was obtained.

【0035】合成例6 エポキシ当量450のビスフェノールA型エポキシ樹脂
112gを、ブチルセロソルブアセテートに溶解し、ア
クリル酸19g、ベンジルトリエチルアンモニウムクロ
ライド0.17g、ハイドロキノン40mgを加え、空
気を吹き込みながら90〜100℃で10時間反応させ
た。得られた樹脂溶液にエチレングリコールビストリメ
リテート二無水物30g、1,2,3,6−テトラヒド
ロ無水フタル酸10gを加えて110〜120℃で5時
間反応させ、酸価78mgKOH/g(固形分値)の樹
脂溶液を得た。
Synthesis Example 6 112 g of a bisphenol A type epoxy resin having an epoxy equivalent of 450 was dissolved in butyl cellosolve acetate, 19 g of acrylic acid, 0.17 g of benzyltriethylammonium chloride and 40 mg of hydroquinone were added, and the mixture was blown with air at 90 to 100 ° C. The reaction was performed for 10 hours. 30 g of ethylene glycol bistrimellitate dianhydride and 10 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride are added to the obtained resin solution and reacted at 110 to 120 ° C. for 5 hours to obtain an acid value of 78 mgKOH / g (solid content). Value) was obtained.

【0036】実施例1 合成例1で得られた樹脂(固形分として)100重量部
に、エポキシ当量180のフェノールノボラック型エポ
キシ樹脂45重量部、光重合性不飽和化合物ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート10重量部、光重合開
始剤2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−
1−オン5重量部、エポキシ硬化剤2−エチル−4−メ
チルイミダゾール8重量部及び平均粒径5μmの炭酸カ
ルシウム微粉末5重量部を加え、3本ロールミルを用い
て混合分散させて感光性樹脂組成物(臭素含有率19
%)を得た。次に、この組成物を銅張り積層板上に塗布
し、60℃で1時間プレキュアーして室温で粘着性のな
い、厚み40μmの感光層を形成した。次いで、超高圧
水銀灯を用い、直径30〜200μmのバイアホールパ
ターンが描かれたネガマスクを密着して500mj/c
2 の紫外線照射を行い、30℃の1%炭酸ナトリウム
水溶液を2分間スプレーして現像を行った後、160℃
で60分間のアフターキュアにより硬化した塗膜を得
た。
Example 1 100 parts by weight of the resin obtained in Synthesis Example 1 (as solid content), 45 parts by weight of a phenol novolak type epoxy resin having an epoxy equivalent of 180, and 10 parts by weight of a photopolymerizable unsaturated compound dipentaerythritol hexaacrylate Part, photopolymerization initiator 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-
5 parts by weight of 1-one, 8 parts by weight of an epoxy curing agent 2-ethyl-4-methylimidazole and 5 parts by weight of calcium carbonate fine powder having an average particle diameter of 5 μm were added, mixed and dispersed using a three-roll mill, and then mixed with a photosensitive resin. Composition (bromine content 19
%). Next, this composition was applied on a copper-clad laminate and precured at 60 ° C. for 1 hour to form a 40 μm-thick photosensitive layer having no tack at room temperature. Then, using an ultra-high pressure mercury lamp, a negative mask on which a via hole pattern having a diameter of 30 to 200 μm is drawn is adhered to 500 mj / c.
m 2 ultraviolet rays, sprayed with a 1% aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 2 minutes, and developed.
To obtain a coating film cured by after-curing for 60 minutes.

【0037】実施例2 合成例4で得られた樹脂(固形分として)100重量部
に、エポキシ当量180のフェノールノボラック型エポ
キシ樹脂45重量部、光重合性不飽和化合物ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート10重量部、光重合開
始剤2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−
1−オン5重量部、エポキシ硬化剤2−エチル−4−メ
チルイミダゾール8重量部及び平均粒径5μmの炭酸カ
ルシウム微粉末5重量部を加え、3本ロールミルを用い
て混合分散させて感光性樹脂組成物(臭素含有率15
%)を得た。次に、これを用い、実施例1と同様の手法
により露光、現像を行った後、アフターキュアして硬化
した塗膜を得た。
Example 2 45 parts by weight of a phenol novolak type epoxy resin having an epoxy equivalent of 180 and 100 parts by weight of a resin (as a solid content) obtained in Synthesis Example 4 and 10 parts by weight of a photopolymerizable unsaturated compound dipentaerythritol hexaacrylate Part, photopolymerization initiator 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-
5 parts by weight of 1-one, 8 parts by weight of an epoxy curing agent 2-ethyl-4-methylimidazole and 5 parts by weight of calcium carbonate fine powder having an average particle diameter of 5 μm were added, mixed and dispersed using a three-roll mill, and then mixed with a photosensitive resin. Composition (bromine content 15
%). Next, using this, exposure and development were performed in the same manner as in Example 1, and after-curing to obtain a cured coating film.

【0038】実施例3 合成例2で得られた樹脂(固形分として)100重量部
に、エポキシ当量180のフェノールノボラック型エポ
キシ樹脂45重量部、光重合性不飽和化合物ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート10重量部、光重合開
始剤2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−
1−オン5重量部、エポキシ硬化剤2−エチル−4−メ
チルイミダゾール8重量部及び平均粒径5μmの炭酸カ
ルシウム微粉末5重量部を加え、3本ロールミルを用い
て混合分散させて感光性樹脂組成物(臭素含有率22
%)を得た。次に、これを用い、実施例1と同様の手法
により露光、現像を行った後、アフターキュアして硬化
した塗膜を得た。
Example 3 45 parts by weight of a phenol novolak type epoxy resin having an epoxy equivalent of 180 and 100 parts by weight of a resin (as a solid content) obtained in Synthesis Example 2 and 10 parts by weight of a photopolymerizable unsaturated compound dipentaerythritol hexaacrylate Part, photopolymerization initiator 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-
5 parts by weight of 1-one, 8 parts by weight of an epoxy curing agent 2-ethyl-4-methylimidazole and 5 parts by weight of calcium carbonate fine powder having an average particle diameter of 5 μm were added, mixed and dispersed using a three-roll mill, and then mixed with a photosensitive resin. Composition (bromine content 22
%). Next, using this, exposure and development were performed in the same manner as in Example 1, and after-curing to obtain a cured coating film.

【0039】実施例4 合成例1で得られた樹脂(固形分として)40重量部と
合成例6で得られた樹脂(同)60重量部に、エポキシ
当量180のフェノールノボラック型エポキシ樹脂45
重量部、光重合性不飽和化合物ジペンタエリスリトール
ヘキサアクリレート10重量部、光重合開始剤2,2−
ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン5重
量部、エポキシ硬化剤2−エチル−4−メチルイミダゾ
ール8重量部及び平均粒径5μmの炭酸カルシウム微粉
末5重量部を加え、3本ロールミルを用いて混合分散さ
せて感光性樹脂組成物(臭素含有率8%)を得た。次
に、これを用い、実施例1と同様の手法により露光、現
像を行った後、アフターキュアして硬化した塗膜を得
た。
Example 4 A phenol novolak type epoxy resin 45 having an epoxy equivalent of 180 was added to 40 parts by weight of the resin (as solid content) obtained in Synthesis Example 1 and 60 parts by weight of the resin (same as above) obtained in Synthesis Example 6.
Parts by weight, 10 parts by weight of a photopolymerizable unsaturated compound dipentaerythritol hexaacrylate, a photopolymerization initiator 2,2-
5 parts by weight of dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 8 parts by weight of an epoxy curing agent 2-ethyl-4-methylimidazole and 5 parts by weight of calcium carbonate fine powder having an average particle diameter of 5 μm were added, and a three-roll mill was added. To obtain a photosensitive resin composition (bromine content: 8%). Next, using this, exposure and development were performed in the same manner as in Example 1, and after-curing to obtain a cured coating film.

【0040】比較例1 合成例5で得られた樹脂(固形分として)100重量部
に、エポキシ当量180のフェノールノボラック型エポ
キシ樹脂45重量部、光重合性不飽和化合物ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート10重量部、光重合開
始剤2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−
1−オン5重量部、エポキシ硬化剤2−エチル−4−メ
チルイミダゾール8重量部及び平均粒径5μmの炭酸カ
ルシウム微粉末5重量部を加え、3本ロールミルを用い
て混合分散させて感光性樹脂組成物(臭素含有率11
%)を得た。次に、これを用い、実施例1と同様の手法
により露光、現像を行った後、アフターキュアして硬化
した塗膜を得た。
Comparative Example 1 To 100 parts by weight of the resin (as solid content) obtained in Synthesis Example 5, 45 parts by weight of a phenol novolak type epoxy resin having an epoxy equivalent of 180, and 10 parts by weight of a photopolymerizable unsaturated compound dipentaerythritol hexaacrylate Part, photopolymerization initiator 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-
5 parts by weight of 1-one, 8 parts by weight of an epoxy curing agent 2-ethyl-4-methylimidazole and 5 parts by weight of calcium carbonate fine powder having an average particle diameter of 5 μm were added, mixed and dispersed using a three-roll mill, and then mixed with a photosensitive resin. Composition (bromine content 11
%). Next, using this, exposure and development were performed in the same manner as in Example 1, and after-curing to obtain a cured coating film.

【0041】比較例2 合成例3で得られた樹脂(固形分として)100重量部
に、エポキシ当量180のフェノールノボラック型エポ
キシ樹脂45重量部、光重合性不飽和化合物ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート10重量部、光重合開
始剤2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−
1−オン5重量部、エポキシ硬化剤2−エチル−4−メ
チルイミダゾール8重量部及び平均粒径5μmの炭酸カ
ルシウム微粉末5重量部を加え、3本ロールミルを用い
て混合分散させて感光性樹脂組成物(臭素含有率23
%)を得た。次に、これを用い、実施例1と同様の手法
により露光、現像を行った後、アフターキュアして硬化
した塗膜を得た。
Comparative Example 2 To 100 parts by weight of the resin (as solid content) obtained in Synthesis Example 3, 45 parts by weight of a phenol novolak type epoxy resin having an epoxy equivalent of 180, and 10 parts by weight of a photopolymerizable unsaturated compound dipentaerythritol hexaacrylate Part, photopolymerization initiator 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-
5 parts by weight of 1-one, 8 parts by weight of an epoxy curing agent 2-ethyl-4-methylimidazole and 5 parts by weight of calcium carbonate fine powder having an average particle diameter of 5 μm were added, mixed and dispersed using a three-roll mill, and then mixed with a photosensitive resin. Composition (bromine content 23
%). Next, using this, exposure and development were performed in the same manner as in Example 1, and after-curing to obtain a cured coating film.

【0042】比較例3 合成例1で得られた樹脂(固形分として)20重量部と
合成例6で得られた樹脂(同)80重量部に、エポキシ
当量180のフェノールノボラック型エポキシ樹脂45
重量部、光重合性不飽和化合物ジペンタエリスリトール
ヘキサアクリレート10重量部、光重合開始剤2,2−
ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン5重
量部、エポキシ硬化剤2−エチル−4−メチルイミダゾ
ール8重量部及び平均粒径5μmの炭酸カルシウム微粉
末5重量部を加え、3本ロールミルを用いて混合分散さ
せて感光性樹脂組成物(臭素含有率4%)を得た。次
に、これを用い、実施例1と同様の手法により露光、現
像を行った後、アフターキュアして硬化した塗膜を得
た。
Comparative Example 3 A phenol novolak type epoxy resin 45 having an epoxy equivalent of 180 was added to 20 parts by weight of the resin (solid content) obtained in Synthesis Example 1 and 80 parts by weight of the resin (same as above) obtained in Synthesis Example 6.
Parts by weight, 10 parts by weight of a photopolymerizable unsaturated compound dipentaerythritol hexaacrylate, a photopolymerization initiator 2,2-
5 parts by weight of dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 8 parts by weight of an epoxy curing agent 2-ethyl-4-methylimidazole and 5 parts by weight of calcium carbonate fine powder having an average particle diameter of 5 μm were added, and a three-roll mill was added. To obtain a photosensitive resin composition (bromine content: 4%). Next, using this, exposure and development were performed in the same manner as in Example 1, and after-curing to obtain a cured coating film.

【0043】比較例4 合成例1で得られた樹脂(固形分として)100重量部
に、エポキシ当量310の臭素化フェノールノボラック
型エポキシ樹脂(臭素含有率41%)75重量部、光重
合性不飽和化合物ジペンタエリスリトールヘキサアクリ
レート10重量部、光重合開始剤2,2−ジメトキシ−
1,2−ジフェニルエタン−1−オン5重量部、エポキ
シ硬化剤2−エチル−4−メチルイミダゾール8重量部
及び平均粒径5μmの炭酸カルシウム微粉末5重量部を
加え、3本ロールミルを用いて混合分散させて感光性樹
脂組成物(臭素含有率32%)を得た。次に、これを用
い、実施例1と同様の手法により露光、現像を行った
後、アフターキュアして硬化した塗膜を得た。
Comparative Example 4 75 parts by weight of a brominated phenol novolak-type epoxy resin having an epoxy equivalent of 310 (bromine content: 41%) was added to 100 parts by weight of the resin (as a solid content) obtained in Synthesis Example 1; 10 parts by weight of a saturated compound dipentaerythritol hexaacrylate, a photopolymerization initiator 2,2-dimethoxy-
5 parts by weight of 1,2-diphenylethan-1-one, 8 parts by weight of an epoxy curing agent 2-ethyl-4-methylimidazole and 5 parts by weight of calcium carbonate fine powder having an average particle size of 5 μm were added, and the mixture was rolled using a three-roll mill. The mixture was dispersed to obtain a photosensitive resin composition (bromine content: 32%). Next, using this, exposure and development were performed in the same manner as in Example 1, and after-curing to obtain a cured coating film.

【0044】上記の実施例及び比較例によって得られた
各種サンプルについて、難燃性、解像度、マイグレーシ
ョン特性及び耐薬品性を評価した。また、実施例1〜4
及び比較例1〜4で得られた各種硬化塗膜の表面を、そ
れぞれ過マンガン酸カリウムのアルカリ溶液を用いて粗
化処理したのち、無電解銅メッキ、電解銅メッキにより
厚さ約30μmの銅メッキ層を全面に形成したビルドア
ップ2層基板を作成した。得られた2層基板を10mm
×10mmにカットしたものを試験片として、はんだ耐
熱性試験を行なった。さらに、この2層基板の銅メッキ
層をエッチングして電極を形成したものをサンプルとし
て、体積抵抗率を測定した。これらの試験結果を表1に
示す。なお、各種物性データは以下の条件で測定した。
Various samples obtained in the above Examples and Comparative Examples were evaluated for flame retardancy, resolution, migration characteristics and chemical resistance. Examples 1 to 4
After roughening the surfaces of the various cured coating films obtained in Comparative Examples 1 to 4 using an alkali solution of potassium permanganate, copper having a thickness of about 30 μm is formed by electroless copper plating or electrolytic copper plating. A build-up two-layer substrate having a plating layer formed on the entire surface was prepared. The obtained two-layer substrate is 10 mm
A solder heat resistance test was performed using a test piece cut to × 10 mm. Further, the volume resistivity was measured using a sample obtained by etching the copper plating layer of the two-layer substrate to form an electrode. Table 1 shows the test results. In addition, various physical property data were measured on condition of the following.

【0045】(1)難燃性 アフターキュア後の塗膜を銅張積層板から引き剥がした
ものを試験片とし、UL規格に準じて測定 V−0:燃焼時間が最大10秒以内、平均5秒以内 V−1:燃焼時間が最大30秒以内、平均25秒以内 HB :燃え尽きてしまう
(1) Flame Retardancy The after-cured coating film was peeled off from the copper-clad laminate and used as a test piece, and measured according to UL standards. V-0: Burning time within 10 seconds at maximum, average 5 Within seconds V-1: Burning time within 30 seconds at maximum, within 25 seconds on average HB: Burn out

【0046】(2)解像度 塗膜厚み40μmにおいて現像可能なバイアホールの最
小径(μm)
(2) Resolution Minimum diameter (μm) of a via hole developable at a coating thickness of 40 μm

【0047】(3)マイグレーション特性 銅箔厚み18μmのガラスエポキシ基板上に形成した線
間0.15mmのくし型電極パターンの上に、感光性樹
脂層を約40μmに形成した試験片を作成し、121
℃、85%RH、DC50Vに設定した不飽和型プレッ
シャークッカー試験機内にセットして、電極間にかかる
電圧の経時変化(初期抵抗値及び300時間経過後抵抗
値)を測定した。
(3) Migration Characteristics A test piece having a photosensitive resin layer of about 40 μm was formed on a comb-shaped electrode pattern having a line interval of 0.15 mm formed on a glass epoxy substrate having a copper foil thickness of 18 μm. 121
The temperature was set in an unsaturated pressure cooker tester set at a temperature of 85 ° C., 85% RH, and 50 V DC, and the change over time (initial resistance and resistance after 300 hours) of the voltage applied between the electrodes was measured.

【0048】(4)耐薬品性 露光現像した後、160℃で60分間加熱した塗膜を、
下記の薬品に下記の条件で浸漬し、浸漬後の外観を評価
した。 耐酸性 5%HCl 24時間 耐アルカリ性 5%NaOH 24時間浸漬 耐溶剤性 NMP40℃−10分間(NMP:N−
メチル−ピロリドン) ○:塗膜に異常が見られないもの ×:塗膜に異常が見られるもの
(4) Chemical Resistance After exposure and development, the coating film heated at 160 ° C. for 60 minutes was
It was immersed in the following chemicals under the following conditions, and the appearance after immersion was evaluated. Acid resistance 5% HCl 24 hours Alkali resistance 5% NaOH 24 hours immersion Solvent resistance NMP 40 ° C-10 minutes (NMP: N-
(Methyl-pyrrolidone) :: No abnormality is found in the coating film ×: An abnormality is found in the coating film

【0049】(5)はんだ耐熱性 40℃、相対湿度90%で、96時間吸湿させた試験片
を260℃のハンダ浴に10秒間浸漬し、膨れやクラッ
クの発生状態(試験片10個中における発生回数)を確
認した。
(5) Solder heat resistance The test piece, which had been absorbed for 96 hours at 40 ° C. and 90% relative humidity, was immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds, and the state of swelling and crack generation (in 10 test pieces) Number of occurrences).

【0050】(6)体積抵抗率 JIS C6481に準拠して実施。測定は、常態及び
40℃・相対湿度90%・96時間吸湿後について行な
った。
(6) Volume resistivity Implemented in accordance with JIS C6481. The measurement was carried out under normal conditions and at 40 ° C./relative humidity 90% / after absorbing moisture for 96 hours.

【0051】[0051]

【表1】 [Table 1]

【0052】[0052]

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、人体への
悪影響が少ないアルカリ水溶液で現像することができ、
耐熱性、解像度、耐薬品性、耐酸性及び耐アルカリ性に
優れ、かつ難燃性を有する感光性樹脂組成物である。し
たがって、本発明の感光性樹脂組成物を用いると、良好
な作業環境の下に、高い生産性と低コストで、十分な難
燃性を有するビルドアップ多層配線板が製造でき、さら
には難燃性を有したソルダーレジスト等の永久保護膜の
用途にも有望な材料である。
The photosensitive resin composition of the present invention can be developed with an aqueous alkali solution having little adverse effect on the human body,
It is a photosensitive resin composition having excellent heat resistance, resolution, chemical resistance, acid resistance and alkali resistance, and having flame retardancy. Therefore, when the photosensitive resin composition of the present invention is used, a build-up multilayer wiring board having a sufficient flame retardancy can be produced at a high productivity and at a low cost under a favorable working environment. It is also a promising material for use in permanent protective films such as solder resists having properties.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】合成例1で合成した臭素化エポキシアクリレー
ト酸無水物付加体の赤外線吸収スペクトルである。
FIG. 1 is an infrared absorption spectrum of a brominated epoxy acrylate anhydride adduct synthesized in Synthesis Example 1.

フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G03F 7/028 G03F 7/028 H05K 3/28 H05K 3/28 D 3/46 3/46 T // C09D 4/02 C09D 4/02 (72)発明者 浅野 千明 千葉県習志野市香澄3−6−16 (72)発明者 朝蔭 秀安 東京都江戸川区西瑞江2−25Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI G03F 7/028 G03F 7/028 H05K 3/28 H05K 3/28 D 3/46 3/46 T // C09D 4/02 C09D 4/02 ( 72) Inventor Chiaki Asano 3-6-16 Kasumi, Narashino-shi, Chiba (72) Inventor Hideyasu Togane 2-25 Nishi Mizue, Edogawa-ku, Tokyo

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 必須成分として、下記一般式(1)で表
され、かつ酸価が30〜180mgKOH/gの光重合
性不飽和化合物100重量部、エポキシ化合物5〜50
重量部、及び光重合開始剤又は増感剤0.1〜30重量
部を配合してなり、臭素含有量が5〜30重量%の難燃
性アルカリ現像型感光性樹脂組成物。 【化1】 ( 式中、R1 は水素原子又はメチル基、Xは水素原子又
は下記一般式(2)で表される1価の多塩基酸無水物残
基のいずれか、Yは下記一般式(3)で表される2価の
多塩基酸無水物残基のいずれか、nは0以上の整数を表
す) 【化2】 (式中、R2,R3,R4 はそれぞれ2価、3価、4価の有
機基を表す) 【化3】 (式中、R2,R3,R4 はそれぞれ2価、3価、4価の有
機基を表す)
1. As an essential component, 100 parts by weight of a photopolymerizable unsaturated compound represented by the following general formula (1) and having an acid value of 30 to 180 mg KOH / g, and an epoxy compound of 5 to 50
A flame-retardant alkali-developable photosensitive resin composition comprising 0.1 parts by weight of a photopolymerization initiator or a sensitizer and having a bromine content of 5 to 30% by weight. Embedded image (Wherein, R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, X is a hydrogen atom or a monovalent polybasic anhydride residue represented by the following general formula (2), and Y is the following general formula (3) Any of divalent polybasic acid anhydride residues represented by the formula: n represents an integer of 0 or more. (In the formula, R 2 , R 3 , and R 4 each represent a divalent, trivalent, or tetravalent organic group.) (Wherein, R 2 , R 3 , and R 4 each represent a divalent, trivalent, or tetravalent organic group)
【請求項2】 一般式(1)におけるnが、20以下で
ある請求項1記載の難燃性アルカリ現像型感光性樹脂組
成物。
2. The flame-retardant alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 1, wherein n in the general formula (1) is 20 or less.
【請求項3】 請求項1記載の光重合性不飽和化合物
が、臭素化ビスフェノールA型エポキシ(メタ)アクリ
レート化合物と、エチレングリコールビストリメリテー
ト二無水物及び1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタ
ル酸酸無水物との反応生成物である請求項1又は2記載
の難燃性アルカリ現像型感光性樹脂組成物。
3. The photopolymerizable unsaturated compound according to claim 1, wherein the brominated bisphenol A type epoxy (meth) acrylate compound is mixed with ethylene glycol bistrimellitate dianhydride and 1,2,3,6-tetrahydroanhydride. 3. The flame-retardant alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 1, which is a reaction product with phthalic anhydride.
【請求項4】 請求項1記載の光重合性不飽和化合物1
00重量部に対し、一般式(1)で表されたもの以外の
光重合性不飽和化合物50重量部以下を配合してなる請
求項1又は2記載の難燃性アルカリ現像型感光性樹脂組
成物。
4. The photopolymerizable unsaturated compound 1 according to claim 1,
3. The flame-retardant alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 1, wherein 50 parts by weight or less of a photopolymerizable unsaturated compound other than the compound represented by the general formula (1) is added to 00 parts by weight. Stuff.
【請求項5】 請求項1〜4記載の難燃性アルカリ現像
型感光性樹脂組成物を用いて作成されたビルドアップ多
層配線板。
5. A build-up multilayer wiring board prepared using the flame-retardant alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 1.
JP35069596A 1996-12-27 1996-12-27 Flame retardant alkali-developable photosensitive resin composition and built-up multilayred circuit board using same Withdrawn JPH10186653A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35069596A JPH10186653A (en) 1996-12-27 1996-12-27 Flame retardant alkali-developable photosensitive resin composition and built-up multilayred circuit board using same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35069596A JPH10186653A (en) 1996-12-27 1996-12-27 Flame retardant alkali-developable photosensitive resin composition and built-up multilayred circuit board using same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10186653A true JPH10186653A (en) 1998-07-14

Family

ID=18412224

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP35069596A Withdrawn JPH10186653A (en) 1996-12-27 1996-12-27 Flame retardant alkali-developable photosensitive resin composition and built-up multilayred circuit board using same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10186653A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11835858B2 (en) 2020-06-19 2023-12-05 Canon Kabushiki Kaisha Photo-curable composition and methods for preparing cured film, optical component, circuit substrate, electrical component and replica mold using the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11835858B2 (en) 2020-06-19 2023-12-05 Canon Kabushiki Kaisha Photo-curable composition and methods for preparing cured film, optical component, circuit substrate, electrical component and replica mold using the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3121213B2 (en) Photosensitive resin composition
JP4878597B2 (en) Photosensitive resin composition, printed wiring board, and semiconductor package substrate
JP5722418B1 (en) Photosensitive resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board
JP2001302871A (en) Photocurable/thermosetting resin composition and printed wiring board having solder resist coating film and resin insulating layer formed by using the same
JP2002293882A (en) Photo-curing and thermosetting resin composition, and print wiring board
JP4558178B2 (en) Light or thermosetting resin composition and printed wiring board
JPH0940751A (en) Impact-resistant insulating resin composition
JP2002006487A (en) Photosensitive flame-retardant resin composition
JP2003280192A (en) Photosetting and thermosetting resin composition
JP2005283762A (en) Photosensitive thermosetting resin composition and flexible printed wiring board
JP4273894B2 (en) Resin composition
JP2002265567A (en) Photosensitive flame-retardant resin and its composition
JPH11316457A (en) Photosensitive resin composition and printed circuit board having solder resist film or resin insulating layer formed from the composition
JP2007304543A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive film, resist pattern forming method, and printed wiring board and method for manufacturing the same
JPH10186653A (en) Flame retardant alkali-developable photosensitive resin composition and built-up multilayred circuit board using same
JP4720000B2 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive film using this composition
JPH1060087A (en) Photopolymerizable unsaturated compound containing carboxylic group and alkali-developing type photosensitive resin composition
JP2533557B2 (en) Photosensitive resin composition
JPH11242332A (en) Resin composition, its hardened body and printed circuit board
JP4168095B2 (en) Photosensitive resin composition
JPH11305430A (en) Alkali devdlopable photosensitive resin composition
JPH06192387A (en) Curable resin with activation energy
JPH11184086A (en) Resin composition, permanent resist and cured matter
JPH08286371A (en) Photosensitive resin and photosensitive resin composition
JP2003149807A (en) Flame-retardant photosensitive resin composition having flexibility and cured body thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20040302