JPH10186003A - Component inspecting device - Google Patents

Component inspecting device

Info

Publication number
JPH10186003A
JPH10186003A JP8358247A JP35824796A JPH10186003A JP H10186003 A JPH10186003 A JP H10186003A JP 8358247 A JP8358247 A JP 8358247A JP 35824796 A JP35824796 A JP 35824796A JP H10186003 A JPH10186003 A JP H10186003A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
current
voltage
output
current source
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8358247A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3647586B2 (en
Inventor
Satoshi Uehara
聡 上原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hioki EE Corp
Original Assignee
Hioki EE Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hioki EE Corp filed Critical Hioki EE Corp
Priority to JP35824796A priority Critical patent/JP3647586B2/en
Publication of JPH10186003A publication Critical patent/JPH10186003A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3647586B2 publication Critical patent/JP3647586B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To miniaturize a device and reduce the cost by specifying the voltage range of a current source which may be dropped by the operation of an active element when the output current of a prescribed current value is outputted from the current source within a reference voltage range, and inspecting the quality of the active element based on the output voltage. SOLUTION: An operator specifies an allowable range, e.g. ±20%, for the voltage value of the output voltage V0 stored in a memory as a reference daum. A CPU calculates a reference voltage range and stores it in the memory. An output current of a prescribed current value is fed to the equivalent input circuit of an active element 23, e. g. a photodiode 24 and the equivalent output circuit, e.g. a photo-transistor 25, from a constant-current source 21, and the active element 23 is judged as satisfactory when the voltage value of the output voltage V0 of the constant-current source 21 measured by a voltage measuring circuit 22 is within the prescribed reference voltage range. This device can be miniaturized and the cost can be reduced without requiring a constant-voltage source, a resistor, and a relay.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板やハ
イブリット用基板およびMCA(Multi Chip Module )
等の回路基板に搭載されている回路部品などの良否を検
査可能な部品検査装置に関し、詳しくは、回路基板など
に搭載されている能動素子を検査するのに適した部品検
査装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board, a hybrid board, and an MCA (Multi Chip Module).
More particularly, the present invention relates to a component inspection apparatus suitable for inspecting an active element mounted on a circuit board or the like. .

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、この種の能動素子の良否を検査
可能に構成された部品検査装置として、図5に示す検査
装置71が従来から知られている。この検査装置71
は、回路部品の各々に電気的に予めそれぞれ接触させら
れているn本のピンプローブ3a,3b,3c,3d・
・(以下、区別しないときは、「ピンプローブ3」とい
う)と、複数のピンプローブ3,3,・・から選択され
た1組のピンプローブ3,3を介して定電流を出力する
定電流源21と、選択された他の1組のピンプローブ
3,3を介して定電圧を出力する定電圧源72と、定電
圧が印加されているピンプローブ3,3間の電圧を測定
する電圧計73と、定電圧源72から出力される定電圧
に基づく電流を電流制限するための抵抗74と、定電圧
源72の接続を制御するためのリレー75とを備えてい
る。
2. Description of the Related Art For example, an inspection device 71 shown in FIG. 5 is conventionally known as a component inspection device configured to inspect the quality of an active element of this type. This inspection device 71
Are n pin probes 3a, 3b, 3c, 3d.
(Hereinafter, referred to as “pin probe 3” when not distinguished) and a constant current that outputs a constant current via a set of pin probes 3, 3 selected from a plurality of pin probes 3, 3,. A constant voltage source 72 that outputs a constant voltage via another selected set of pin probes 3 and 3, and a voltage that measures the voltage between the pin probes 3 and 3 to which the constant voltage is applied. The constant voltage source 72 includes a resistor 74 for limiting a current based on a constant voltage output from the constant voltage source 72, and a relay 75 for controlling connection of the constant voltage source 72.

【0003】この検査装置71では、例えばホトカップ
ラ23を検査する場合には、まず、同図に示すように、
リレー75を作動させることにより、抵抗74および定
電圧源72の直列回路を電圧計73に並列接続する。次
いで、ホトカップラ23におけるホトダイオード24の
アノード−カソード間にそれぞれ接触させられているピ
ンプローブ3a,3bを選択して定電流源21に接続す
ると共に、ホトトランジスタ25のコレクタ−エミッタ
間にそれぞれ接触させられているピンプローブ3c,3
dを選択して電圧計73に接続する。次に、定電圧源7
2の定電圧を抵抗74を介してホトトランジスタ25の
コレクタ−エミッタ間に印加する。
In the inspection apparatus 71, for example, when inspecting the photocoupler 23, first, as shown in FIG.
By operating the relay 75, a series circuit of the resistor 74 and the constant voltage source 72 is connected in parallel to the voltmeter 73. Next, the pin probes 3a and 3b contacting between the anode and the cathode of the photodiode 24 in the photocoupler 23 are selected and connected to the constant current source 21 and are also contacted between the collector and the emitter of the phototransistor 25, respectively. Pin probe 3c, 3
Select d and connect to voltmeter 73. Next, the constant voltage source 7
2 is applied between the collector and the emitter of the phototransistor 25 via the resistor 74.

【0004】次いで、定電流源21の電流値を所定の電
流値I11に設定し、この時の電圧計73の指示値V11
読み取る。この際、指示値V11が、予め定めた所定の許
容範囲内のときは、ホトダイオード24が導通すること
によってホトトランジスタ25が正常に作動し、これに
より、抵抗74による電圧降下が生じているため、良品
と判定する。一方、許容範囲内でないときには、ホトダ
イオード24またはホトトランジスタ25のいずれかが
正常に作動していないため、不良品と判定する。
Next, the current value of the constant current source 21 is set to a predetermined current value I 11, and the indicated value V 11 of the voltmeter 73 at this time is read. At this time, when the indicated value V 11 is within a predetermined allowable range, the photodiode 24 conducts and the phototransistor 25 operates normally, thereby causing a voltage drop due to the resistor 74. Is determined to be non-defective. On the other hand, if it is not within the allowable range, either the photodiode 24 or the phototransistor 25 does not operate normally, so that it is determined to be defective.

【0005】また、受動素子である抵抗などを検査する
場合には、まず、リレー75を作動停止させることによ
り、定電圧源72を電圧計73から切り離す。次いで、
検査対象抵抗の両端にそれぞれ接触させられているピン
プローブ3,3を選択して定電流源21に接続すると共
に、装置内において定電流源21と電圧計73とを並列
接続する。次に、定電流源21から検査対象抵抗に所定
値の定電流I12を供給し、この時の電圧計73の指示値
12を読み取る。この際、指示値V12が、予め定めた所
定の許容範囲内のときは、正規な抵抗値を有しているた
め、良品と判定する。一方、許容範囲内でないときに
は、正規な抵抗値を有していないため、不良品と判定す
る。このように、従来の検査装置71は、リレー75を
制御することによって、能動素子を検査する際には、定
電流源21、定電圧源72および電圧計73の3つを同
時に使用し、受動素子を検査する際には、定電圧源72
を電圧計73から切り離すことによって、定電流源21
および電圧計73の2つを使用し、これにより、能動素
子および受動素子の両者を1つの装置で検査することが
できるようになっている。
When testing a passive element such as a resistor, the relay 75 is first deactivated to disconnect the constant voltage source 72 from the voltmeter 73. Then
The pin probes 3 connected to both ends of the resistance to be inspected are selected and connected to the constant current source 21, and the constant current source 21 and the voltmeter 73 are connected in parallel in the apparatus. Then, a constant current is supplied I 12 of a predetermined value to be inspected resistance from the constant current source 21, reads the command value V 12 of the voltmeter 73 at this time. At this time, an instruction value V 12 is, when in the predetermined allowable range determined in advance, because it has a normalized resistance value is determined as non-defective. On the other hand, when it is not within the allowable range, it does not have a regular resistance value, and is determined to be defective. As described above, the conventional inspection device 71 controls the relay 75 to simultaneously use the constant current source 21, the constant voltage source 72, and the voltmeter 73 when inspecting the active element, When inspecting the device, the constant voltage source 72
Is disconnected from the voltmeter 73, the constant current source 21
And two voltmeters 73, so that both active and passive elements can be tested with one device.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
検査装置71には以下の問題点がある。第1に、今日に
おいては、装置の小型・低価格競争が激化しており、小
型・低価格化を達成することが早急な課題となってい
る。その一方、従来の検査装置71では、能動素子の検
査を行うために、受動素子の検査の際には不要である定
電圧源72、並びに定電圧源72の切替えを制御するた
めのリレー75および抵抗74を必要とするため、その
分、装置の大型化および高価格化を招いているという問
題点がある。第2に、例えば、受動素子と能動素子とが
混在している回路基板上のすべての回路部品を検査する
場合、回路部品の種類に応じてリレー75の切替え制御
を行う必要があるため、その切替制御時間の積み重ねに
よって検査時間が長時間化しているという問題がある。
However, the conventional inspection apparatus 71 has the following problems. First, today, competition in miniaturization and low price of devices is intensifying, and achieving miniaturization and low price is an urgent issue. On the other hand, in the conventional inspection apparatus 71, in order to inspect the active element, a constant voltage source 72 which is unnecessary at the time of inspecting the passive element, and a relay 75 for controlling the switching of the constant voltage source 72 are provided. Since the resistor 74 is required, there is a problem that the size and cost of the device are correspondingly increased. Secondly, for example, when inspecting all circuit components on a circuit board on which a passive element and an active element are mixed, it is necessary to control the switching of the relay 75 according to the type of the circuit component. There is a problem that the inspection time is lengthened by the accumulation of the switching control time.

【0007】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、装置の小型化および低価格化並びに検査時
間の短縮を図り得る部品検査装置を提供することを主目
的とする。
[0007] The present invention has been made in view of the above problems, and has as its main object to provide a component inspection apparatus capable of reducing the size and cost of the apparatus and reducing the inspection time.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項1記載の部品検査装置は、等価入力回路に供給され
る制御電流が等価出力回路内を流れる出力回路側電流の
電流値を制御する能動素子について検査可能な部品検査
装置において、等価入力回路および等価出力回路に対し
制御電流および出力回路側電流としての出力電流を供給
可能な電流源と、電流源の出力電圧を測定する電圧測定
部と、所定電流値の出力電流が電流源から等価入力回路
および等価出力回路に供給された際に、電圧測定部によ
って測定された出力電圧が所定の基準電圧範囲内のとき
に能動素子を良品と判別する良否判別部とを備えている
ことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, a control current supplied to an equivalent input circuit controls a current value of an output circuit side current flowing in an equivalent output circuit. Source device capable of supplying an output current as a control current and an output circuit side current to an equivalent input circuit and an equivalent output circuit, and a voltage measurement for measuring an output voltage of the current source A non-defective element when the output voltage measured by the voltage measuring unit is within a predetermined reference voltage range when an output current having a predetermined current value is supplied from the current source to the equivalent input circuit and the equivalent output circuit. And a pass / fail judgment unit for judging whether or not the judgment is affirmative.

【0009】一般的に、電流源に接続されている負荷イ
ンピーダンスが低下すると、電流源の出力端における出
力電圧は低下する。一方、電流源から出力させる所定電
流値の出力電流として、例えば、能動素子が線形な動作
領域内において作動するために最低限必要とされる制御
電流よりも多目の電流にすることにより、良品の能動素
子では、等価出力回路において出力回路側電流が流れよ
うとするため、等価出力回路のインピーダンスが低下す
る。したがって、この場合における電流源の出力電圧
は、所定電圧まで低下する。逆に、能動素子が不良品の
場合には、同じ値の出力電流を供給したとしても、等価
出力回路のインピーダンスが低下しないため、出力電圧
は低下しない。このように、所定電流値の出力電流を電
流源から出力させた際に、能動素子が作動することによ
って低下するであろう電流源の出力電圧範囲を基準電圧
範囲として規定しておくことにより、その出力電圧に基
づいて能動素子の良否を検査することが可能となる。
Generally, when the load impedance connected to the current source decreases, the output voltage at the output terminal of the current source decreases. On the other hand, as the output current of a predetermined current value output from the current source, for example, by setting the current higher than the minimum control current required for the active element to operate in the linear operation region, In the active element, the output circuit side current tends to flow in the equivalent output circuit, so that the impedance of the equivalent output circuit decreases. Therefore, the output voltage of the current source in this case drops to a predetermined voltage. Conversely, when the active element is defective, the output voltage does not decrease because the impedance of the equivalent output circuit does not decrease even if the same value of output current is supplied. As described above, when the output current of the predetermined current value is output from the current source, by defining the output voltage range of the current source that will be reduced by the activation of the active element as the reference voltage range, It is possible to inspect the quality of the active element based on the output voltage.

【0010】請求項2記載の部品検査装置は、請求項1
記載の部品検査装置において、良品の能動素子を作動さ
せ、その作動時における電流源の出力電流に対する出力
電圧に基づいて、基準電圧範囲を定めるための基準デー
タを生成するデータ生成部を備えていることを特徴とす
る。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a component inspection apparatus.
The described component inspection apparatus includes a data generation unit that activates a non-defective active element and generates reference data for determining a reference voltage range based on an output voltage with respect to an output current of a current source during the operation. It is characterized by the following.

【0011】基準電圧範囲を定める基準データは、検査
対象能動素子のカタログなどに記載されているデータに
基づいて演算により求めたり、部品検査装置とは別の装
置を用いて実験値に基づいて生成したりしてもよい。一
方、この部品検査装置では、検査時において実際に使用
する電流源および電圧測定部を使用することにより、基
準データ生成時における測定値と検査時における測定値
との誤差を打ち消し合わせることが可能のため、別の装
置を用いて基準データを生成したような場合と比較し、
正確な検査を行うことができる。
Reference data for defining the reference voltage range is obtained by calculation based on data described in a catalog or the like of the active element to be inspected, or generated based on an experimental value using an apparatus different from the parts inspection apparatus. Or you may. On the other hand, in this component inspection apparatus, it is possible to cancel the error between the measurement value at the time of generation of the reference data and the measurement value at the time of inspection by using the current source and voltage measurement unit actually used at the time of inspection. Therefore, compared with the case where reference data is generated using another device,
Accurate inspection can be performed.

【0012】請求項3記載の部品検査装置は、請求項2
記載の部品検査装置において、データ生成部は、出力電
流の電流値を制御すると共に、その出力電流に対する出
力電圧を電圧測定部から入力することによって、基準デ
ータを生成することを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a component inspection apparatus.
In the above-described component inspection apparatus, the data generation unit controls the current value of the output current, and generates reference data by inputting an output voltage corresponding to the output current from the voltage measurement unit.

【0013】この部品検査装置では、データ生成部が、
装置内に設けられている電流源の電流を制御して、同じ
く装置内に設けられている電圧測定部によって測定され
た電流源の出力電圧に基づいて基準データを自動的に生
成する。このため、簡易かつ正確な基準データを生成す
ることが可能となる。
[0013] In this component inspection apparatus, the data generation unit includes:
The current of a current source provided in the device is controlled, and reference data is automatically generated based on the output voltage of the current source measured by a voltage measurement unit also provided in the device. Therefore, it is possible to generate simple and accurate reference data.

【0014】請求項4記載の部品検査装置は、請求項3
記載の部品検査装置において、データ生成部は、出力回
路側電流が制御電流に対してほぼ線形に変化する領域内
における、出力電流に対する出力電圧を基準データとし
て生成することを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a component inspection apparatus.
In the above-described component inspection apparatus, the data generation unit generates, as reference data, an output voltage with respect to the output current in a region where the output circuit-side current changes substantially linearly with respect to the control current.

【0015】能動素子が作動している動作領域内におけ
る任意の出力電流に対する出力電圧を基準データとして
もよい。一方、この部品検査装置においては、出力回路
側電流が制御電流に対してほぼ線形に変化する領域にお
ける、出力電流に対する出力電圧が基準データとして生
成される。この結果、能動素子が作動を開始し始めた初
期動作領域、および出力回路側電流が飽和した状態の飽
和領域での出力電圧を基準データとすることを避けるこ
とができ、これにより、能動素子の正確な良否検査を行
うことが可能となる。
An output voltage for an arbitrary output current in an operation region where the active element is operating may be used as reference data. On the other hand, in this component inspection apparatus, an output voltage with respect to the output current in a region where the output circuit side current changes substantially linearly with respect to the control current is generated as reference data. As a result, it is possible to avoid using the output voltage in the initial operation region in which the active element starts to operate and the output voltage in the saturation region in which the output circuit side current is saturated as the reference data. An accurate pass / fail inspection can be performed.

【0016】請求項5記載の部品検査装置は、請求項1
から4のいずれかに記載の部品検査装置において、電流
源は、定電流源であることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a component inspection apparatus.
5. The component inspection apparatus according to any one of items 1 to 4, wherein the current source is a constant current source.

【0017】電流源は、定電圧源と電流制限用抵抗とを
直列接続して構成してもよいが、出力電流を正確な値に
設定するためには、電流値測定手段が必要になることが
ある。この部品検査装置では、定電流源の出力電流を設
定することにより、基準データ生成の際および検査の際
における出力電流の設定を、迅速かつ容易に、しかも正
確に行うことができる。
The current source may be constituted by connecting a constant voltage source and a current limiting resistor in series, but a current value measuring means is required to set the output current to an accurate value. There is. In this component inspection apparatus, by setting the output current of the constant current source, the output current can be set quickly, easily, and accurately when generating the reference data and when inspecting.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、回路基板検査装置を例に挙
げて、添付図面を参照しつつ、本発明に係る部品検査装
置の好適な実施の形態について説明する。なお、従来の
検査装置71と同一の構成要素については、同一の符号
を付して詳細説明を省略する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of a component inspection apparatus according to the present invention will be described below by taking a circuit board inspection apparatus as an example and referring to the accompanying drawings. Note that the same components as those of the conventional inspection device 71 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0019】図1に示す回路基板検査装置1は、回路基
板2の一方の面に形成され互いに分離独立しているn本
の回路パターンP,P・・にそれぞれ接触させるための
n本のピンプローブ3,3,・・を備えている。各ピン
プローブ3は、その先端部が上方に向くように、その基
部が図外の基板支持台に固着されることにより、回路基
板2を支持可能に構成されている。また、各ピンプロー
ブ3の基部には、ケーブル4が接続されており、これら
のケーブル4は、後述する切替部17に接続されてい
る。
A circuit board inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 has n pins for contacting n circuit patterns P, P,... Formed on one surface of a circuit board 2 and separated from each other. Probes 3, 3, ... are provided. Each pin probe 3 is configured to be able to support the circuit board 2 by fixing its base to a board support (not shown) so that the tip thereof faces upward. Cables 4 are connected to the bases of the pin probes 3, and these cables 4 are connected to a switching unit 17 described later.

【0020】次に、回路基板検査装置1の電気的な構成
およびその機能について、同図を参照して説明する。
Next, the electrical configuration and function of the circuit board inspection apparatus 1 will be described with reference to FIG.

【0021】回路基板検査装置1は、本発明における良
否判別部およびデータ生成部に相当するCPU11、メ
モリ12、キーボード13およびCRT14を備えてい
る。なお、これらは、実際には、パーソナルコンピュー
タで構成されており、同図では、機能的な構成を示して
いる。CPU11は、後述するA/D変換部16によっ
て生成されるディジタルデータDD に基づいて受動素子
の抵抗値、静電容量およびインダクタンスの測定や、能
動素子の特性の検査を行うことにより、回路基板2の良
否を判定する。メモリ12は、各ピンプローブ3に接触
する回路パターンPのパターン番号、その回路パターン
Pに接続される受動素子や能動素子などの回路部品Bに
ついての検査用の基準データ(本発明における基準電圧
範囲などに相当する)や部品番号、各回路パターンP,
P相互間の抵抗値、および各回路パターンPや回路部品
Bのそれぞれの位置、平面形状などを記憶する。この場
合、これらの情報は、回路基板2の検査に先立って予め
キーボード13や図外のマウスから入力される。CRT
14は、メモリ12に記憶されている各回路パターンP
や回路部品Bの配置図、および検査結果などを、CPU
11の制御下で映し出す。
The circuit board inspection apparatus 1 includes a CPU 11, a memory 12, a keyboard 13, and a CRT 14 corresponding to a pass / fail determination unit and a data generation unit in the present invention. These are actually configured by a personal computer, and FIG. 1 shows a functional configuration. CPU11, the resistance of the passive element on the basis of the digital data D D generated by the A / D converter 16 to be described later, the measurement and the capacitance and inductance, by inspecting the characteristics of the active element, the circuit board 2 is determined. The memory 12 stores the pattern number of the circuit pattern P contacting each pin probe 3, reference data for inspection of circuit components B such as passive elements and active elements connected to the circuit pattern P (reference voltage range in the present invention). Etc.), part numbers, circuit patterns P,
The resistance value between P, the position of each circuit pattern P and the circuit component B, the planar shape, and the like are stored. In this case, these pieces of information are input from the keyboard 13 or a mouse (not shown) in advance before the inspection of the circuit board 2. CRT
14 is a circuit pattern P stored in the memory 12
CPU and layout drawing of circuit components B
Project under 11 controls.

【0022】また、回路基板検査装置1は、計測ボード
15、A/D変換部16および切替部17を備えてい
る。計測ボード15は、図4(a)の測定系概略図に示
すように、本発明における電流源と定電流源に相当する
定電流源21、および本発明における電圧測定部に相当
する電圧測定回路22を内蔵している。計測ボード15
では、CPU11から出力される測定制御信号S11に従
い、切替部17を介してピンプローブ3に定電流源21
の定電流Io(本発明における出力電流に相当する)を
出力する。一方、電圧測定回路22は、ピンプローブ3
および切替部17を介して入力される定電流源21の出
力電圧Voの電圧値を測定する。A/D変換部16は、
計測ボード15の電圧測定回路22によって測定された
測定値をディジタルデータDD に変換する。この場合、
A/D変換部16は、順次入力される個々の測定値につ
いて変換を完了した都度、CPU11に対して変換終了
信号S12を出力する。一方、CPU11は、変換終了信
号S12が出力される毎に、A/D変換部16にラッチさ
れているディジタルデータDD を読み取りに行く。切替
部17は、CPU11から出力される切替制御信号S13
に従って選択したピンプローブ3,3・・と、定電流源
21の出力端子、電圧測定回路22の入力端子、並びに
定電流源21および電圧測定回路22のグランドGとを
互いに接続する。
The circuit board inspection apparatus 1 includes a measurement board 15, an A / D conversion unit 16, and a switching unit 17. As shown in the measurement system schematic diagram of FIG. 4A, the measurement board 15 includes a current source 21 corresponding to a current source and a constant current source according to the present invention, and a voltage measuring circuit corresponding to a voltage measuring unit according to the present invention. 22. Measurement board 15
In accordance with measurement control signals S 11 outputted from the CPU 11, a constant current source to the pin probe 3 via the switching section 17 21
Is output (corresponding to the output current in the present invention). On the other hand, the voltage measurement circuit 22
Then, the voltage value of the output voltage Vo of the constant current source 21 input via the switching unit 17 is measured. The A / D conversion unit 16
Converting the measured value measured by the voltage measurement circuit 22 of the measurement board 15 to the digital data D D. in this case,
A / D converter 16, each time the completion of the conversion for the individual measured values are sequentially input, and outputs a conversion end signal S 12 with respect to CPU 11. Meanwhile, CPU 11, every time the conversion end signal S 12 is outputted, go to read the digital data D D latched by the A / D converter 16. The switching unit 17 includes a switching control signal S 13 output from the CPU 11.
Are connected to the output terminal of the constant current source 21, the input terminal of the voltage measurement circuit 22, and the ground G of the constant current source 21 and the voltage measurement circuit 22.

【0023】次に、回路基板検装置1における回路基板
2の検査、特に、能動素子の検査について、図2〜4を
参照して説明する。
Next, the inspection of the circuit board 2 in the circuit board inspection apparatus 1, particularly, the inspection of the active element will be described with reference to FIGS.

【0024】最初に、回路基板2の検査に先立ち、回路
基板2から基準データを生成するためのデータ吸収処理
が行われる。この処理では、図2に示すように、まず、
良品の回路基板2をピンプローブ3,3・・上にセット
する(ステップ31)。次いで、回路基板2の回路パタ
ーンP,P・・にピンプローブ3,3・・をそれぞれ接
触させた状態で、CPU11が、切替制御信号S13を出
力することにより、切替部17が、2対のピンプローブ
3,3,3,3を選択する。この場合、切替部17は、
例えば、ホトカップラ23から基準データを吸収すると
きには、図4(a)に示すように、ホトカップラ23の
等価入力回路であるホトダイオード24のアノードおよ
びカソードにそれぞれ接触させられている1対のピンプ
ローブ3a,3bと、ホトトランジスタ25の等価出力
回路であるコレクタおよびエミッタにそれぞれ接触させ
られている1対のピンプローブ3c,3dを選択する。
次いで、切替部17は、ピンプローブ3a,3cを定電
流源21の出力端子および電圧測定回路22の入力端子
に共通接続し、ピンプローブ3b,3dを定電流源21
および電圧測定回路22のグランドGに共通接続する。
次に、定電流源21の開放電圧をセットする(ステップ
32)。この場合、開放電圧は、ホトダイオード24の
アノード−カソード間定格電圧およびホトトランジスタ
25のコレクタ−エミッタ間定格電圧以下の電圧(例え
ば、2V)に設定される。
First, prior to the inspection of the circuit board 2, a data absorption process for generating reference data from the circuit board 2 is performed. In this process, first, as shown in FIG.
The non-defective circuit board 2 is set on the pin probes 3, 3,... (Step 31). Then, the circuit pattern P of the circuit board 2, in a state where the pin probe 3,3 · to P · contacted respectively, CPU 11 is, by outputting the switching control signals S 13, the switching portion 17, two pairs Are selected. In this case, the switching unit 17
For example, when absorbing the reference data from the photocoupler 23, as shown in FIG. 4A, a pair of pin probes 3a, 3b and a pair of pin probes 3c and 3d that are in contact with the collector and the emitter, respectively, which are equivalent output circuits of the phototransistor 25.
Next, the switching unit 17 commonly connects the pin probes 3a and 3c to the output terminal of the constant current source 21 and the input terminal of the voltage measurement circuit 22, and connects the pin probes 3b and 3d to the constant current source 21.
And to the ground G of the voltage measuring circuit 22.
Next, the open voltage of the constant current source 21 is set (step 32). In this case, the open circuit voltage is set to a voltage (for example, 2 V) that is lower than the anode-cathode rated voltage of the photodiode 24 and the collector-emitter rated voltage of the phototransistor 25.

【0025】次に、オペレータによってデータの吸収回
数と増加電流値(例えば、0.1mA)とがセットされ
ると(ステップ33)、CPU11は、吸収回数をカウ
ント値nとして内部のカウンタにセットすると共に、増
加電流値をメモリ12に記憶させる。この場合、吸収回
数は、CPU11によって行われる定電流源21の出力
電圧Voの測定回数を意味し、増加電流値は、1回の測
定が実行された後に次の測定の際において定電流源21
の定電流Ioを段階的に増加させる電流値を意味する。
次に、初期電流(例えば、1mA)を定電流源21から
出力させ(ステップ34)、その際の定電流源21の出
力電圧Voの電圧値(つまりホトトランジスタ25のコ
レクタ−エミッタ間電圧)を電圧測定回路22に測定さ
せる。次いで、A/D変換部16が、電圧測定回路22
によって測定された出力電圧Voの電圧値をディジタル
データDD に変換し、CPU11が、変換したディジタ
ルデータを入力することによって出力電圧Voの電圧値
を読み取る(ステップ35)。次に、CPU11は、読
取値が開放電圧よりも低下したか否かを判別する(ステ
ップ36)。低下したと判別したときには、その時にお
ける定電流Ioの電流値I1 と、出力電圧Voの電圧値
1 とをデータとして吸収する(ステップ37)。一
方、低下していないと判別したとき、およびデータを吸
収したときには、カウンタのカウント値が値nに達して
いるか否かを判別し(ステップ38)、達していないと
判別したときには、カウンタをカウントアップすると共
に定電流源21の定電流Ioを増加電流値分だけ増加さ
せる(ステップ39)。
Next, when the number of times of data absorption and the increased current value (for example, 0.1 mA) are set by the operator (step 33), the CPU 11 sets the number of times of absorption as a count value n in an internal counter. At the same time, the increased current value is stored in the memory 12. In this case, the number of times of absorption means the number of times of measurement of the output voltage Vo of the constant current source 21 performed by the CPU 11, and the increased current value is the value of the constant current source 21 in the next measurement after one measurement is performed.
Means a current value that increases the constant current Io in a stepwise manner.
Next, an initial current (for example, 1 mA) is output from the constant current source 21 (step 34), and the voltage value of the output voltage Vo of the constant current source 21 (that is, the voltage between the collector and the emitter of the phototransistor 25) is determined. The voltage measurement circuit 22 measures the voltage. Next, the A / D converter 16 sets the voltage measurement circuit 22
The voltage value of the measured output voltage Vo is converted into digital data D D by, CPU 11 can read the voltage value of the output voltage Vo by inputting the converted digital data (step 35). Next, the CPU 11 determines whether or not the read value has dropped below the open-circuit voltage (step 36). When determining reduced and includes a current value I 1 of the constant current Io at that time, to absorb the voltage value V 1 as data in the output voltage Vo (step 37). On the other hand, when it is determined that the count has not decreased and when the data has been absorbed, it is determined whether or not the count value of the counter has reached the value n (step 38). At the same time, the constant current Io of the constant current source 21 is increased by the increased current value (step 39).

【0026】次いで、定電流Ioを増加させたときの電
流値における定電流源21の出力電圧Voの電圧値を読
み取り(ステップ35)、上記したステップ36〜38
を繰り返す。ステップ38においてカウント値が値nに
達したと判別したときには、検査用データの作成処理を
実行する(ステップ40)。この検査用データの作成処
理では、CPU11は、まず、読取値が開放電圧よりも
低下したとき(つまりホトトランジスタ25が作動した
とき)の定電流源21の出力電圧Voの電圧値から、ホ
トトランジスタ25に流れる電流(本発明における出力
回路側電流に相当する)が飽和した状態における出力電
圧Voの電圧値までの電圧範囲を求める。次いで、その
電圧範囲のうち、ホトトランジスタ25に流れる電流が
ホトダイオード24に流れる制御電流に対してほぼ線形
に変化する領域内における、定電流Ioの電流値Im
と、そのときの定電流源21の出力電圧Voの電圧値
m とを基準データとしてメモリ12に記憶させる。な
お、ホトトランジスタ25を流れる電流が線形に変化し
ている領域にあるか否かは、定電流源21の出力電圧V
oの電圧値を監視することにより判定することができ
る。具体的には、定電流Ioを増加したときに出力電圧
Voの電圧値が低下しているときには、ホトトランジス
タ25を流れる電流が線形に変化していると判別し、定
電流Ioを増加しても出力電圧Voの電圧値が低下しな
くなったときには、ホトトランジスタ25が飽和状態で
動作していると判別する。
Next, the voltage value of the output voltage Vo of the constant current source 21 at the current value when the constant current Io is increased is read (step 35), and the aforementioned steps 36 to 38 are performed.
repeat. When it is determined in step 38 that the count value has reached the value n, a process for creating inspection data is executed (step 40). In the process of creating the inspection data, the CPU 11 first determines the phototransistor from the voltage value of the output voltage Vo of the constant current source 21 when the read value falls below the open circuit voltage (that is, when the phototransistor 25 is activated). The voltage range up to the voltage value of the output voltage Vo in a state where the current (corresponding to the output circuit side current in the present invention) flowing through the circuit 25 is saturated is obtained. Next, the current value Im of the constant current Io in a region where the current flowing through the phototransistor 25 changes almost linearly with respect to the control current flowing through the photodiode 24 within the voltage range.
When, it is stored in the memory 12 and the voltage value V m of the output voltage Vo of the constant current source 21 at that time as the reference data. It should be noted that whether or not the current flowing through the phototransistor 25 is in a linearly changing region is determined by the output voltage V
It can be determined by monitoring the voltage value of o. Specifically, when the voltage value of the output voltage Vo decreases when the constant current Io increases, it is determined that the current flowing through the phototransistor 25 changes linearly, and the constant current Io is increased. Also, when the voltage value of the output voltage Vo does not decrease, it is determined that the phototransistor 25 is operating in a saturated state.

【0027】なお、データ吸収処理においては、ホトカ
ップラ23についてのデータ吸収以外にも、回路パター
ンP,P間の抵抗値なども測定されてメモリ12に記憶
される。また、このデータ吸収処理は複数の良品回路基
板2について行い、吸収したデータの平均値を基準デー
タとしてもよい。このようにすることによって、回路基
板2に搭載されている回路部品Bのばらつきに対処する
ことができる。さらに、上記したデータ吸収処理のステ
ップ35において、定電流源21の出力電圧Voの電圧
値が低下しないときには、開放電圧を変化させて、再度
データ吸収処理を行うようにしてもよい。
In the data absorption process, in addition to the data absorption of the photocoupler 23, the resistance value between the circuit patterns P and P is measured and stored in the memory 12. This data absorption processing may be performed on a plurality of good circuit boards 2, and the average value of the absorbed data may be used as the reference data. By doing so, it is possible to cope with variations in the circuit components B mounted on the circuit board 2. Furthermore, when the voltage value of the output voltage Vo of the constant current source 21 does not decrease in step 35 of the above-described data absorption processing, the open-circuit voltage may be changed and the data absorption processing may be performed again.

【0028】次に、検査対象の回路基板2を実際に検査
する検査処理について、図3を参照して説明する。
Next, an inspection process for actually inspecting the circuit board 2 to be inspected will be described with reference to FIG.

【0029】最初に、オペレータによって、許容できる
出力電圧Voの電圧範囲がセットされる(ステップ5
1)。具体的には、このステップ51では、オペレータ
によって、基準データとしてメモリ12に記憶されてい
る出力電圧Voの電圧値Vm に対して、許容できる範囲
(例えば、±20%)が指定される。これにより、CP
U11は、0.8×Vm 〜1.2×Vm までの基準電圧
範囲を演算し、演算した基準電圧範囲をメモり12に記
憶させる。次いで、定電流源21の開放電圧を、データ
吸収処理においてセットされた開放電圧と等しい電圧値
にセットする(ステップ52)。次に、検査対象である
同種の回路基板2がピンプローブ3,3・・上にセット
されると(ステップ53)、CPU11は、定電流源2
1の定電流Ioを、基準データとしての電流値Im にセ
ットする(ステップ54)。そして、CPU11は、こ
の時に電圧測定回路22によって測定された出力電圧V
oの電圧値VCEm を読み取る(ステップ55)。
First, an allowable voltage range of the output voltage Vo is set by the operator (step 5).
1). More specifically, in the step 51, the operator, with respect to the voltage value V m of the output voltage Vo stored in the memory 12 as the reference data, the permissible range (e.g., ± 20%) is designated. Thereby, the CP
U 11 calculates a reference voltage range from 0.8 × V m to 1.2 × V m, and stores the calculated reference voltage range in the memory 12. Next, the open circuit voltage of the constant current source 21 is set to a voltage value equal to the open circuit voltage set in the data absorption processing (step 52). Next, when the same type of circuit board 2 to be inspected is set on the pin probes 3, 3,... (Step 53), the CPU 11
1 of the constant current Io, is set to the current value I m of the reference data (step 54). Then, the CPU 11 outputs the output voltage V measured by the voltage measurement circuit 22 at this time.
The voltage value V CEm of o is read (step 55).

【0030】次いで、CPU11は、電圧値VCEm が基
準電圧範囲内であるか否かを判別する(ステップ5
6)。基準電圧範囲内であると判別したときは、良品コ
ードをセットし(ステップ57)、許容電圧範囲内でな
いと判別したときには、不良品コードをセットする(ス
テップ58)。この後、他の回路部品Bについても検査
し(ステップ59)、すべての回路部品Bについて検査
を終了したときに検査結果をCRT14に表示する(ス
テップ60)。この場合、1つでも不良品コードがセッ
トされているときには、不良基板の旨を表示し、不良品
コードがセットされていないときには良品基板である旨
を表示する。なお、CRT14に不良基板表示を行う場
合に、CPU11は、その回路パターンPや回路部品B
の位置を併せて表示させることもできる。かかる場合に
は、作業者は、不良個所を容易に特定することができ
る。この後、CPU11は、検査すべき所定枚数の回路
基板2を検査したか否かを判別し(ステップ61)、所
定枚数の回路基板2の検査を終了していない判別したと
きは、次の検査対象の回路基板2がセットされると(ス
テップ53)、上記したステップ54〜60を繰り返
す。一方、所定枚数の回路基板2を検査していると判別
したときは、検査処理を終了する。
Next, the CPU 11 determines whether or not the voltage value V CEm is within the reference voltage range (step 5).
6). If it is determined that the voltage is within the reference voltage range, a non-defective code is set (step 57). If it is determined that the voltage is not within the allowable voltage range, a defective code is set (step 58). Thereafter, the other circuit components B are also inspected (step 59), and when the inspection is completed for all the circuit components B, the inspection result is displayed on the CRT 14 (step 60). In this case, when at least one defective product code is set, the fact that the board is defective is displayed, and when no defective product code is set, the fact that it is a good board is displayed. When a defective board is displayed on the CRT 14, the CPU 11 uses the circuit pattern P or the circuit component B.
Can also be displayed together. In such a case, the operator can easily specify the defective part. Thereafter, the CPU 11 determines whether a predetermined number of circuit boards 2 to be inspected have been inspected (step 61). If it is determined that the inspection of the predetermined number of circuit boards 2 has not been completed, the next inspection is performed. When the target circuit board 2 is set (step 53), steps 54 to 60 described above are repeated. On the other hand, when it is determined that a predetermined number of circuit boards 2 have been inspected, the inspection processing ends.

【0031】なお、この回路基板検査装置1において検
査できる能動素子はホトカップラ23に限らず、例え
ば、トランジスタやFETなどを検査することができ
る。この場合、図4(b)に示すように、トランジスタ
26のベース、コレクタおよびエミッタにそれぞれ接触
しているピンプローブ3a,3c,3dを選択した後、
上記したデータ吸収処理および検査処理と同じようにし
て、データの吸収および検査を行うことができる。
The active elements that can be inspected by the circuit board inspection apparatus 1 are not limited to the photocoupler 23, but can be, for example, transistors and FETs. In this case, as shown in FIG. 4B, after selecting the pin probes 3a, 3c and 3d which are in contact with the base, collector and emitter of the transistor 26, respectively,
Data absorption and inspection can be performed in the same manner as the data absorption processing and inspection processing described above.

【0032】以上のように、本実施形態に係る回路基板
検査装置1によれば、定電流源21から所定電流値の出
力電流Im を能動素子の等価入力回路(例えばホトダイ
オード24)および等価出力回路(例えばホトトランジ
スタ25)に供給し、その際に電圧測定回路22によっ
て測定された定電流源21の出力電圧Voの電圧値が所
定の基準電圧範囲内のときに能動素子を良品と判別する
ことにより、従来の検査装置71における定電圧源7
2、抵抗74およびリレー74を不要にすることがで
き、これにより、装置の小型・低価格化を図ることがで
きる。また、リレー75の切替制御を不要にすることが
できる結果、検査時間を短縮することができる。
As described above, according to the circuit board inspection apparatus 1 of the present embodiment, the output current Im having the predetermined current value from the constant current source 21 is supplied to the equivalent input circuit (for example, the photodiode 24) of the active element and the equivalent output. When the voltage value of the output voltage Vo of the constant current source 21 measured by the voltage measuring circuit 22 at this time is within a predetermined reference voltage range, the active element is determined to be non-defective. Thus, the constant voltage source 7 in the conventional inspection device 71
2. The need for the resistor 74 and the relay 74 can be obviated, whereby the size and cost of the device can be reduced. In addition, since the switching control of the relay 75 can be omitted, the inspection time can be shortened.

【0033】なお、本発明は、上記した実施形態に限定
されない。例えば、本発明に係る部品検査装置は、回路
基板2上に搭載された回路部品Bの検査に限らず、回路
部品単体で検査する検査装置にも適用可能である。この
場合、ピンプローブ3に代えて、クリップ型の接触子を
用いることによって、定電流源21や電圧測定回路22
を回路部品Bに接続することができる。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the component inspection device according to the present invention is applicable not only to the inspection of the circuit component B mounted on the circuit board 2 but also to an inspection device that inspects the circuit component alone. In this case, a clip-type contact is used in place of the pin probe 3, so that the constant current source 21 and the voltage measurement circuit 22 are used.
Can be connected to the circuit component B.

【0034】また、本実施形態において説明したデータ
吸収処理を行わずに、能動素子のデータシートなどか
ら、定電流源21から出力される定電流が所定電流値の
ときにおける定電流源21の出力電圧Voの電圧値を計
算によって求めた後に、作業者がキーボード13を用い
てメモリ12に記憶させてもよい。ただし、本実施形態
のようにCPU11が自動的に基準データを生成するこ
とにより、省力化を図ることができる。また、データ吸
収処理において、検査処理時に実際に使用する定電流源
21および電圧測定回路22を使用することにより、基
準データとしての電流値Im および出力電圧の電圧値V
m と、検査処理時における設定値である電流値Im およ
び測定値である電圧値VCEm との誤差を打ち消し合わせ
ることが可能のため、正確な検査を行うことができる。
Further, the output of the constant current source 21 when the constant current output from the constant current source 21 is a predetermined current value can be obtained from the data sheet of the active element without performing the data absorption processing described in the present embodiment. After calculating the voltage value of the voltage Vo, the operator may store the voltage Vo in the memory 12 using the keyboard 13. However, when the CPU 11 automatically generates the reference data as in the present embodiment, it is possible to save labor. In the data absorption treatment, by using a constant current source 21 and the voltage measurement circuit 22 is actually used in the inspection process, the voltage value of the current value I m and the output voltage of the reference data V
Since the error between m and the current value Im , which is the set value at the time of the inspection processing, and the voltage value V CEm , which is the measured value, can be canceled out, an accurate inspection can be performed.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上のように、請求項1記載の部品検査
装置によれば、例えば、所定電流値の出力電流を電流源
から出力させた際に、能動素子が作動することによって
低下するであろう電流源の電圧範囲を基準電圧範囲とし
て規定しておくことにより、電流源の出力電圧に基づい
て能動素子の良否を検査することができる。これによ
り、従来の検査装置71における定電圧源72などを不
要にすることができる結果、装置の小型・低価格化を図
ることができる。また、従来の検査装置71におけるリ
レー75の切替制御を不要にすることができるため、検
査時間を短縮することができる。
As described above, according to the component inspection apparatus of the first aspect, for example, when an output current having a predetermined current value is output from a current source, the output current is reduced by activating the active element. By defining the voltage range of the current source as a reference voltage range, it is possible to inspect the quality of the active element based on the output voltage of the current source. As a result, the constant voltage source 72 and the like in the conventional inspection device 71 can be made unnecessary, so that the size and cost of the device can be reduced. Further, since the switching control of the relay 75 in the conventional inspection device 71 can be made unnecessary, the inspection time can be shortened.

【0036】また、請求項2記載の部品検査装置によれ
ば、検査時において実際に使用する電流源および電圧測
定部を使用することにより、基準データ生成時における
測定値と検査時における測定値との誤差を打ち消し合わ
せることができ、これにより、別の装置を用いて基準デ
ータを生成したような場合と比較し、正確な検査を行う
ことができる。
According to the second aspect of the present invention, by using the current source and the voltage measuring unit actually used at the time of the inspection, the measured value at the time of generating the reference data and the measured value at the time of the inspection can be obtained. Can be canceled out, whereby an accurate inspection can be performed as compared with a case where reference data is generated using another device.

【0037】また、請求項3記載の部品検査装置によれ
ば、データ生成部が、装置内に設けられている電流源の
電流を制御して、同じく装置内に設けられている電圧測
定部によって測定された電流源の出力電圧に基づいて基
準データを自動的に生成することにより、簡易かつ正確
な基準データを生成することができる。
According to the third aspect of the present invention, the data generating section controls the current of the current source provided in the apparatus, and controls the current by the voltage measuring section also provided in the apparatus. By automatically generating the reference data based on the measured output voltage of the current source, simple and accurate reference data can be generated.

【0038】さらに、請求項4記載の部品検査装置によ
れば、出力回路側電流が制御電流に対してほぼ線形に変
化する領域における、出力電流に対する出力電圧を基準
データとして生成することによって、能動素子の正確な
良否検査を行うことができる。
Further, according to the component inspection apparatus of the fourth aspect, the output voltage with respect to the output current is generated as the reference data in the region where the output circuit side current changes substantially linearly with respect to the control current, so that the active circuit is activated. An accurate quality inspection of the element can be performed.

【0039】また、請求項5記載の部品検査装置によれ
ば、定電流源の出力電流を設定することにより、基準デ
ータ生成の際におよび検査の際における出力電流の設定
を、迅速かつ容易に、しかも正確に行うことができる。
According to the component inspection apparatus of the fifth aspect, by setting the output current of the constant current source, the output current can be set quickly and easily when generating the reference data and when inspecting. In addition, it can be performed accurately.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置の
ブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram of a circuit board inspection device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置に
おけるデータ吸収処理のフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart of a data absorption process in the circuit board inspection device according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置に
おける検査処理のフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart of an inspection process in the circuit board inspection apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図4】(a)はホトカップラについてデータ吸収処理
および検査処理を行う際の測定系の概略を示す測定系概
略図であり、(b)はトランジスタについてデータ吸収
処理および検査処理を行う際の測定系の概略を示す測定
系概略図である。
FIG. 4A is a schematic diagram of a measurement system schematically illustrating a data absorption process and an inspection process for a photocoupler, and FIG. 4B is a measurement diagram illustrating a measurement process of a transistor when the data absorption process and an inspection process are performed. 1 is a schematic diagram of a measurement system showing an outline of a system.

【図5】従来の検査装置における測定系の概略を示す測
定系概略図である。
FIG. 5 is a schematic diagram of a measurement system schematically showing a measurement system in a conventional inspection apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 回路基板検査装置 11 CPU 15 計測ボード 21 定電流源 22 電圧測定回路 23 ホトカップラ 24 ホトダイオード 25 ホトトランジスタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Circuit board inspection apparatus 11 CPU 15 Measurement board 21 Constant current source 22 Voltage measurement circuit 23 Photocoupler 24 Photodiode 25 Phototransistor

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 等価入力回路に供給される制御電流が等
価出力回路内を流れる出力回路側電流の電流値を制御す
る能動素子について検査可能な部品検査装置において、 前記等価入力回路および等価出力回路に対し前記制御電
流および前記出力回路側電流としての出力電流を供給可
能な電流源と、当該電流源の出力電圧を測定する電圧測
定部と、所定電流値の前記出力電流が前記電流源から前
記等価入力回路および前記等価出力回路に供給された際
に、前記電圧測定部によって測定された前記出力電圧が
所定の基準電圧範囲内のときに前記能動素子を良品と判
別する良否判別部とを備えていることを特徴とする部品
検査装置。
1. A component inspection apparatus capable of inspecting an active element for controlling a current value of an output circuit side current flowing through an equivalent output circuit, wherein a control current supplied to an equivalent input circuit is provided. A current source capable of supplying an output current as the control current and the output circuit side current, a voltage measurement unit that measures an output voltage of the current source, and the output current having a predetermined current value is supplied from the current source to the output source. A pass / fail determination unit that determines the active element as a non-defective product when the output voltage measured by the voltage measurement unit is within a predetermined reference voltage range when supplied to the equivalent input circuit and the equivalent output circuit. A parts inspection apparatus characterized by:
【請求項2】 良品の前記能動素子を作動させ、その作
動時における前記電流源の前記出力電流に対する前記出
力電圧に基づいて、前記基準電圧範囲を定めるための基
準データを生成するデータ生成部を備えていることを特
徴とする請求項1記載の部品検査装置。
2. A data generator for operating a non-defective active element and generating reference data for determining the reference voltage range based on the output voltage with respect to the output current of the current source during the operation. The component inspection apparatus according to claim 1, further comprising:
【請求項3】 前記データ生成部は、前記出力電流の電
流値を制御すると共に、その出力電流に対する前記出力
電圧を前記電圧測定部から入力することによって、前記
基準データを生成することを特徴とする請求項2記載の
部品検査装置。
3. The data generator controls the current value of the output current, and generates the reference data by inputting the output voltage corresponding to the output current from the voltage measuring unit. The component inspection apparatus according to claim 2, wherein
【請求項4】 前記データ生成部は、前記出力回路側電
流が前記制御電流に対してほぼ線形に変化する領域内に
おける、前記出力電流に対する前記出力電圧を前記基準
データとして生成することを特徴とする請求項3記載の
部品検査装置。
4. The data generating section generates the output voltage for the output current as the reference data in a region where the output circuit side current changes substantially linearly with respect to the control current. The component inspection apparatus according to claim 3, wherein
【請求項5】 前記電流源は、定電流源であることを特
徴とする請求項1から4のいずれかに記載の部品検査装
置。
5. The component inspection apparatus according to claim 1, wherein the current source is a constant current source.
JP35824796A 1996-12-26 1996-12-26 Parts inspection device Expired - Lifetime JP3647586B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35824796A JP3647586B2 (en) 1996-12-26 1996-12-26 Parts inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35824796A JP3647586B2 (en) 1996-12-26 1996-12-26 Parts inspection device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10186003A true JPH10186003A (en) 1998-07-14
JP3647586B2 JP3647586B2 (en) 2005-05-11

Family

ID=18458299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP35824796A Expired - Lifetime JP3647586B2 (en) 1996-12-26 1996-12-26 Parts inspection device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3647586B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017150911A (en) * 2016-02-24 2017-08-31 日置電機株式会社 Circuit board inspection device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103884942B (en) * 2014-03-31 2016-08-31 苏州热工研究院有限公司 A kind of degradation system and method for photoelectrical coupler

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017150911A (en) * 2016-02-24 2017-08-31 日置電機株式会社 Circuit board inspection device

Also Published As

Publication number Publication date
JP3647586B2 (en) 2005-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3088727B2 (en) Quiescent current measuring device
JP2008538863A (en) Supply voltage monitoring
JP2002236151A (en) External test auxiliary device and test method of semiconductor device
JP2002156399A (en) Device and method for inspecting circuit board
JP4022297B2 (en) Semiconductor measurement equipment that can dynamically change criteria
JPH0526985A (en) Semiconductor integrated circuit measuring
JP2000243795A (en) Power supply current measurement circuit of burn-in tester
US20010028256A1 (en) Diagnostic apparatus for electronics circuit and diagnostic method using same
JPH10186003A (en) Component inspecting device
JP3784479B2 (en) Circuit board inspection method
JP2005069864A (en) Apparatus, system, method, program and auxiliary means for inspecting substrate
JP2002158265A (en) Testing device and method of electronic device
JP4259692B2 (en) Circuit board inspection equipment
JP2002005999A (en) Semiconductor testing device
JP3353288B2 (en) LSI test equipment
JP2002156403A (en) Apparatus for testing electronic device
JP3588221B2 (en) Measurement unit self-diagnosis device of circuit board inspection device
JPH01129432A (en) Integrated circuit
KR950003122Y1 (en) In-circuit tster system apparatus
JP3436138B2 (en) Bias power supply circuit for semiconductor test equipment
JPH10253714A (en) Method and apparatus for measuring electronic device
JP2002286800A (en) Semiconductor testing device
KR0134695B1 (en) Checker for soldering
JPH11202032A (en) Method and apparatus for inspecting board
JPH0580093A (en) Inspecting apparatus of impedance of electronic circuit

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040528

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040615

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040806

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050208

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050209

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080218

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100218

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120218

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120218

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140218

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term